KR20240059983A - 기판이송장치 및 기판이송방법 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 기판이송장치는, 기판을 부상시키는 부상스테이지; 상기 부상스테이지의 로딩부에 승강되게 설치되며, 상기 기판이 안착되는 승강핀; 및 상기 승강핀의 하강 시 상기 기판과 상기 부상스테이지 사이 공기의 배출을 가이드하도록, 상기 로딩부의 상면에 홈 형상으로 형성된 배출라인;을 포함한다.

Description

기판이송장치 및 기판이송방법{APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}

본 발명은 기판이송장치 및 기판이송방법으로서, 유리와 같은 기판을 이송하는 기판이송장치 및 기판이송방법에 관한 것이다.

플랫 패널 형상의 디스플레이를 제조하는 공정에서는, 유리 등으로 제작된 기판의 표면에 RGB잉크(RED, GREEN, BLUE), 레지스트액 등의 약액을 도포하는 코팅공정이 수반된다.

디스플레이가 종래에는 증착 방식을 사용하여 R,G,B Pixel을 만들어 냈지만, 설비 가격과 유지보수 가격이 비싸서 잉크젯 프린팅 방식을 사용해서 R, G, B Pixel 인쇄 방식을 사용하게 되었다.

대한민국 공개특허공보 제10-2020-0097640호

본 발명은 기판을 부상스테이지 상에 평평하게 배치시키는 기판이송장치 및 기판이송방법을 제공하는 데에 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 기판이송장치는, 기판을 부상시키는 부상스테이지; 상기 부상스테이지의 로딩부에 승강되게 설치되며, 상기 기판이 안착되는 승강핀; 및 상기 승강핀의 하강 시 상기 기판과 상기 부상스테이지 사이 공기의 배출을 가이드하도록, 상기 로딩부의 상면에 홈 형상으로 형성된 배출라인;을 포함한다.

상기 배출라인은 상기 로딩부 상면의 일측부 에지부터 타측부 에지까지 이어져서 형성될 수 있다.

일례로서 상기 배출라인은 복수 개가 상기 로딩부의 상면에서 서로 교차되게 형성될 수 있다.

다른 일례로서 상기 배출라인은 복수 개가 상기 로딩부 상면의 중심으로부터 방사방향으로 형성될 수 있다.

한편 본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판을 부상스테이지의 로딩부에 로딩시키는 기판로딩단계; 및 상기 부상스테이지의 일측에 배치된 그리퍼가 상기 기판의 일측부 하면을 흡착하는 기판흡착단계;를 포함하며, 상기 기판흡착단계는 상기 그리퍼가 상기 기판의 일측부 하면을 센터부로부터 에지부로 순차적으로 흡착하는 기판이송방법이 제공될 수 있다.

상기 기판흡착단계는, 상기 그리퍼에 상기 기판 일측부 하면의 상기 센터부를 흡착시키는 센터부흡착단계; 및 상기 그리퍼에 상기 기판 일측부 하면의 상기 에지부를 흡착시키는 에지부흡착단계;를 포함할 수 있다.

상기 그리퍼는 상기 기판의 왕복 이송방향으로 길게 형성되고, 상기 기판의 왕복 이송방향을 따라 서로 이격된 복수 개의 흡입구를 포함하며, 상기 기판흡착단계는, 복수 개의 상기 흡입구에서 상기 그리퍼의 센터부에 배치된 상기 흡입구부터 상기 그리퍼의 양단부에 배치된 상기 흡입구 측으로 순차적으로 흡입작동될 수 있다.

상기 기판로딩단계는, 상기 기판을 상기 로딩부에 설치된 승강핀에 안착시키는 기판안착단계; 및 상기 승강핀을 하강시켜 상기 기판을 상기 로딩부에 안착시키는 핀하강단계;를 포함할 수 있다.

본 발명은 부상스테이지의 로딩부 상면에 홈 형상으로 형성된 배출라인이 구성되어, 승강핀의 하강 시 기판과 부상스테이지 사이 공기의 배출을 가이드함으로써, 기판과 부상스테이지 사이에 잔여공기가 없도록 하여 에어포켓이 형성되지 않도록 함에 따라, 기판을 플랫하게 부상스테이지의 로딩부에 로딩완료시킬 수 있는 효과를 가진다.

그리고 본 발명은 그리퍼의 복수 개 흡입구에서 그리퍼의 센터에 배치된 흡입구부터 그리퍼의 에지에 배치된 흡입구 측으로 순차적으로 흡입작동되도록 구성됨으로써, 기판과 부상스테이지 사이에 잔여공기가 없애서 기판을 플랫하게 부상스테이지의 로딩부에 로딩완료시킬 수 있는 장점을 지닌다.

나아가 본 발명은 상술된 구성적 특징에 따라, 인쇄헤드에 의한 기판의 잉크코팅이 기판에서 정확히 설정된 위치에 구현됨으로써, 대면적 글래스와 같은 기판의 인쇄 시 제품불량이 발생하는 것을 방지할 수 있는 이점을 가진다.

도 1은 종래기술에 따른 기판이송장치에 의해 기판이 이송되면서 잉크헤드의 잉크로 도포되는 것을 나타낸 측면도이다.
도 2는 도 1의 기판이송장치에서 부상스테이지의 로딩부에 설치된 승강핀에 기판이 안착된 것을 나타낸 측면도이다.
도 3은 도 1의 기판이송장치에서 기판의 일측부 하면을 흡착하여 기판을 이송시키는 그리퍼를 나타낸 평면도이다.
도 4는 종래기술에 따른 기판이송방법을 나타낸 플로우차트이다.
도 5는 종래기술에 따른 기판이송장치 및 기판이송방법에 의해 기판이 부상스테이지 상에서 굴곡되게 배치된 것을 나타낸 측면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치에서 부상스테이지의 로딩부에 설치된 승강핀에 기판이 안착된 것을 나타낸 측면도이다.
도 7은 도 6의 승강핀이 하강 시 로딩부에 형성된 배출라인을 통해 공기가 배출되는 것을 나타낸 사시도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 배출라인을 나타낸 평면도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 배출라인을 나타낸 평면도이다.
도 10은 도 8의 기판이송장치의 부상스테이지에 안착된 기판을 이송시키는 그리퍼를 나타낸 평면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송방법을 나타낸 플로우차트이다.
도 12는 본 발명에 따른 기판이송장치 및 기판이송방법에 의해 기판이 부상스테이지 상에서 평평하게 배치된 것을 나타낸 측면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다. 또한, 본 명세서에서, '상', '상부', '상면', '하', '하부', '하면', '측면' 등의 용어는 도면을 기준으로 한 것이며, 실제로는 구성요소가 배치되는 방향에 따라 달라질 수 있을 것이다.

덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할 때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 구성요소를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.

도 1은 종래기술에 따른 기판이송장치에 의해 기판이 이송되면서 잉크헤드의 잉크로 도포되는 것을 나타낸 측면도이다.

도면을 참조하면, 기판(1)이 부상스테이지(10)에 로딩된 후 그리퍼(도 3의 30)에 의해 흡착 홀딩된 다음, 부상스테이지(10) 상에서 부상된 상태로 왕복이송되면서 기판(1)에 대한 약액 도포작업이 이루어진다.

부상스테이지(10)의 상측에는 인쇄헤드(H)가 배치되며, 인쇄헤드(H)는 부상스테이지(10)와 인쇄헤드(H) 사이를 통해 이송되는 기판(1)에 약액을 분사한다. 이때 약액은 일례로서 RGB잉크(RED, GREEN, BLUE)일 수 있으며 디스플레이의 소재로서 사용되는 기판(1)을 컬러기판(1)으로 만들기 위해 사용된다.

또한 부상스테이지(10)는 기판(1)을 에어로 부상시키기 위한 에어홀을 포함한다. 이때 에어홀은 에어를 분출하는 에어분출홀과, 에어가 흡입되는 에어흡입홀을 포함한다. 에어분출홀은 에어를 기판(1)이 위치된 상측으로 분출하여 기판(1)을 일정 정도 부상시킨다. 에어흡입홀은 기판(1)이 위치된 상측의 에어를 흡입하여 기판(1)을 잡아당긴다. 이러한 에어흡입홀은 에어분출홀로부터 분출된 에어에 의해 부상된 기판(1)이 흔들리지 않고 안정적인 자세로 부상되도록 한다. 부상스테이지(10)는 기판(1)의 이송방향으로 입구부상부분(11, 로딩부), 도포부상부분(12) 및 출구부상부분(13)으로 나뉠 수 있다. 부상스테이지(10)에서 인쇄헤드(H)의 하측에 위치된 부분인 도포부상부분(12)은 다른 부분에 비하여 상대적으로 더 많은 수의 에어분출홀과 에어흡입홀이 형성된다. 이는 인쇄헤드(H)에 의해 약액이 기판(1)의 상면에 토출하는 단계에서, 기판(1)의 부상높이를 낮추면서 기판(1)과 부상스테이지(10)의 이격거리를 정밀하게 제어하고, 기판(1)의 흔들림을 더욱 방지하여 안정적인 부상이 유지되도록 한다.

도 2는 도 1의 기판이송장치에서 부상스테이지의 로딩부에 설치된 승강핀에 기판이 안착된 것을 나타낸 측면도이고, 도 3은 도 1의 기판이송장치에서 기판의 일측부 하면을 흡착하여 기판을 이송시키는 그리퍼를 나타낸 평면도이며, 도 4는 종래기술에 따른 기판이송방법을 나타낸 플로우차트이다.

기판(1)의 상면이 인쇄헤드에 의해 약액으로 도포되기 전에, 기판(1)은 부상스테이지(10)의 로딩부에 로딩된다.

구체적으로, 종래의 기판이송방법은 기판로딩단계(S10)와 기판흡착단계(S20)를 포함한다. 기판로딩단계(S10)에서는 기판안착단계(S11)와 핀하강단계(S12)로 이루어진다. 즉 부상스테이지(10)의 로딩부에 설치된 승강핀(20)이 상승된 상태에서 기판(1)이 승강핀(20)에 안착되는 기판안착단계(S11)가 먼저 수행된다. 이후 핀하강단계(S12)에서 승강핀(20)이 하강하여 기판(1)이 부상스테이지(10)의 로딩부에 로딩완료된다.

다음으로 기판흡착단계(S20)에서는 그리퍼(30)가 기판(1)의 측부 하면을 동시에 흡착한다. 그리퍼(30)는 기판(1) 측부의 하측에 배치되어, 상면에 형성된 흡입구(30a)로 공기를 흡입함으로써 기판(1)의 측부 하면을 동시에 흡착함에 따라 기판(1)을 홀딩한다. 이때 그리퍼(30)는 도면에 도시된 바와 같이 기판(1)의 일측부 하측에만 배치될 수 있으며, 비록 도면에 도시되지는 않았지만 기판(1)의 양측부 각각의 하측에 배치될 수도 있다.

도 5는 종래기술에 따른 기판이송장치 및 기판이송방법에 의해 기판이 부상스테이지 상에서 굴곡되게 배치된 것을 나타낸 측면도이다.

도 2, 도 3 및 도 5를 참조하면, 유리(glass) 등으로 제작된 기판(1)은 그 크기가 커지는 경우, 부상스테이지(10)의 로딩부에 평평한 상태로 로딩되지 못하는 문제점이 있다.

구체적으로 기판(1)은 매우 얇은 플레이트 형상으로서 승강핀(20)이 하강 시 기판(1)과 부상스테이지(10) 사이의 공기가 원활하게 배출되지 못함에 따라, 기판(1)의 하측에 잔여공기가 남을 수 있다. 즉 도면에 도시된 바와 같이 기판(1)의 중간부 하측에 에어포켓과 같은 잔여공기가 발생할 수 있는 문제점이 있다. 나아가 기판(1)은 전체적으로 부상스테이지(10) 상에 배치되고 일측부가 그리퍼(30) 상에 배치되는데, 상술된 바와 같은 기판(1) 중간부의 잔여공기로 인하여, 그리퍼(30)가 기판(1)을 흡착 시에도 기판(1)의 중간부가 부상스테이지(10)에서 약간 뜬 상태를 유지하게 되는 문제점이 있다.

기판(1)이 평평하게 부상스테이지(10) 상에 배치되지 못하고 위와 같이 일부가 약간 뜬 상태를 유지하게 되는데, 이러한 상태에서 그리퍼(30)의 복수 개 흡입구(30a)가 일시에 공기를 흡입하여 기판(1)을 흡착한 후 기판(1)을 인쇄헤드 측으로 이송하게 되는 경우, 인쇄헤드에 의한 기판(1)의 잉크 도포 시 인쇄의 오차가 생김에 따라 제품불량이 발생하게 된다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치에서 부상스테이지의 로딩부에 설치된 승강핀에 기판이 안착된 것을 나타낸 측면도이고, 도 7은 도 6의 승강핀이 하강 시 로딩부에 형성된 배출라인을 통해 공기가 배출되는 것을 나타낸 사시도이다.

도면을 참조하면, 본 발명에 따른 기판이송장치는 부상스테이지(100), 승강핀(200) 및 배출라인(400)을 포함한다.

먼저 부상스테이지(100)는 기판(1)을 일정 높이로 부상시킴으로써, 그리퍼(도 10의 300)가 기판(1)을 흡착하여 기판(1)을 이송 시 기판(1)이 원활하게 이동될 수 있도록 한다.

상기 승강핀(200)은 부상스테이지(100)의 로딩부(110)에 승강되게 설치된다. 기판(1)은 승강핀(200)이 상승 시 안착됨으로써 부상스테이지(100)의 로딩부(110)에 위치하게 된다. 나아가 승강핀(200)이 로딩부(110)의 상면과 동일 또는 더 낮은 높이로 하강 시, 기판(1)은 부상스테이지(100)의 로딩부(110) 상에 배치하게 된다.

그리고 상기 배출라인(400)은 부상스테이지(100)의 로딩부(110)의 상면에 홈 형상으로 형성된다. 이와 같은 구조의 배출라인(400)은 승강핀(200)의 하강 시 기판(1)과 부상스테이지(100) 사이 공기의 배출을 가이드하는 역할을 수행한다. 기판(1)은 매우 얇은 플레이트 형상으로서 쉽게 굴곡되게 배치될 수 있는데, 승강핀(200)이 하강 시 기판(1)과 부상스테이지(100)의 로딩부(110) 사이의 공기가 원활하게 배출되지 못하는 경우, 평평하지 않는 상태로 로딩부(110)에 배치될 수 있는 문제점이 있다. 이러한 문제점을 극복하기 위해 본 발명은 로딩부(110)에 홈 형상의 배출라인(400)이 구성됨으로써, 승강핀(200)의 하강 시 기판(1)과 부상스테이지(100) 사이 공기가 원활하게 배출되도록 가이드함에 따라, 도 12에 도시된 바와 같이 부상스테이지(100)의 로딩부(110)에 기판(1)이 평평한 상태로 배치될 수 있다. 즉 배출라인(400)은 기판(1)과 부상스테이지(100) 사이에 잔여공기가 없도록 하여 에어포켓이 형성되지 않도록 함에 따라, 기판(1)이 플랫하게 부상스테이지(100)의 로딩부(110)에 로딩완료될 수 있다.

이와 같은 배출라인(400)은 로딩부(110) 상면의 일측부 에지부터 타측부 에지까지 이어져서 형성됨으로써, 로딩부(110) 상측의 공기가 양측으로 용이하게 빠져나갈 수 있다. 나아가, 배출라인(400)은 위와 같은 홈 구조를 바탕으로 하여 여러 가지 형태를 취할 수 있다.

구체적으로 배출라인(400)은 다른 실시예로서 도 8에 도시된 바와 같이 복수 개가 로딩부(110)의 상면에서 서로 교차되게 형성될 수 있다. 배출라인(400)은 복수 개가 양측 방향으로만 형성된 구조에 더하여 서로 교차되게 연결된 구조를 취함으로써, 양측 방향으로 연장된 복수 개의 홈 사이의 공기도 교차연장된 부분을 통하여 원활하게 배출시킬 수 있다.

또한 배출라인(400)은 또 다른 실시예로서 도 9에 도시된 바와 같이 복수 개가 로딩부(110) 상면의 중심으로부터 방사방향으로 형성될 수 있다. 배출라인(400)은 이러한 방사방향 연장구조로 인하여 기판(1)의 중간부 하측에 위치되는 공기를 보다 원활하게 외측으로 배출시킬 수 있음에 따라, 기판(1)의 중간부가 들뜨는 현상을 효율적으로 방지할 수 있다.

도 10은 도 8의 기판이송장치의 부상스테이지에 안착된 기판을 이송시키는 그리퍼를 나타낸 평면도이고, 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송방법을 나타낸 플로우차트이며, 도 12는 본 발명에 따른 기판이송장치 및 기판이송방법에 의해 기판이 부상스테이지 상에서 평평하게 배치된 것을 나타낸 측면도이다.

도 10을 참조하면, 그리퍼(300)는 기판(1)의 왕복 이송방향으로 길게 형성된 구조를 취할 수 있다. 이때 그리퍼(300)는 기판(1)의 왕복 이송방향을 따라 서로 이격된 복수 개의 흡입구(300a)를 포함할 수 있다. 즉 그리퍼(300)는 길이방향을 따라 복수 개의 흡입구(300a)가 서로 이격되게 배치된 구조를 취할 수 있다.

도 10 및 도 11을 참조하면, 본 발명에 따른 기판이송방법은 기판로딩단계(S100)와 기판흡착단계(S200)를 포함한다.

구체적으로 기판로딩단계(S100)는 기판안착단계(S110)와 핀하강단계(S120)를 포함한다. 기판안착단계(S110)는 기판(1)을 로딩부(110)에 설치된 승강핀(200)에 안착시키는 단계이고, 핀하강단계(S120)는 승강핀(200)을 하강시켜 기판(1)을 로딩부(110)에 안착시키는 단계이다. 이와 같이 승강핀(200)이 상승 및 하강하면서 기판(1)을 부상스테이지(100)의 로딩부(110)에 로딩완료시킬 수 있다.

다음으로 기판흡착단계(S200)는 부상스테이지(100)의 측방향에 배치된 그리퍼(300)가 기판(1)의 측부 하면을 흡착하는 단계이다. 본 발명에서 이러한 기판흡착단계(S200)는 그리퍼(300)가 기판(1)의 측부 하면을 센터부(1c)로부터 에지부(1e)로 순차적으로 흡착하도록 구성된다. 이와 같은 순차적 흡착으로 인하여, 기판(1)과 부상스테이지(100) 사이에 잔여공기가 없도록 함으로써 기판(1)의 하측에 에어포켓이 형성되지 않도록 함에 따라, 도 12에 도시된 바와 같이 기판(1)이 플랫하게 부상스테이지(100)의 로딩부(110)에 로딩완료될 수 있다.

구체적으로, 기판흡착단계(S200)는 센터부흡착단계(S210)와 에지부흡착단계(S220)를 포함할 수 있다. 센터부흡착단계(S210)는 그리퍼(300)에 기판(1) 측부 하면의 센터부(1c)를 흡착시키는 단계이다. 그리고 에지부흡착단계(S220)는 그리퍼(300)에 기판(1) 측부 하면의 에지부(1e)를 흡착시키는 단계이다. 이와 같이 기판(1)의 측부 하면에서 센터부(1c)를 그리퍼(300)에 먼저 흡착시키고, 이후 에지부(1e)를 그리퍼(300)에 흡착시킴으로써, 부상스테이지(100)의 로딩부(110)에 기판(1)을 플랫하게 로딩완료시킬 수 있다.

더욱 구체적으로, 기판흡착단계(S200)는 복수 개의 흡입구(300a) 중에서 그리퍼(300)의 센터에 배치된 흡입구(300a)부터 그리퍼(300)의 에지에 배치된 흡입구(300a) 측으로 순차적으로 흡입작동될 수 있다. 즉 그리퍼(300)의 센터에 배치된 흡입구(300a)가 제일 먼저 기판(1) 측부 하면을 흡착하면, 이후 다른 흡입구(300a)들도 에지 측으로 순차적으로 함께 흡착작동을 하면서, 기판(1)을 흡착하여 홀딩할 수 있다.

이와 같이 그리퍼(300)에서 기판(1)에 대한 복수 개 흡입구(300a)의 흡착작동이 순차적으로 수행됨으로써, 부상스테이지(100)의 로딩부(110)에 기판(1)을 플랫하게 로딩완료시킬 수 있다.

결과적으로, 본 발명은 부상스테이지(100)의 로딩부(110) 상면에 홈 형상으로 형성된 배출라인(400)이 구성되어, 승강핀(200)의 하강 시 기판(1)과 부상스테이지(100) 사이 공기의 배출을 가이드함으로써, 기판(1)과 부상스테이지(100) 사이에 잔여공기가 없도록 하여 에어포켓이 형성되지 않도록 함에 따라, 기판(1)을 플랫하게 부상스테이지(100)의 로딩부(110)에 로딩완료시킬 수 있다.

그리고 본 발명은 그리퍼(300)의 복수 개 흡입구(300a)에서 그리퍼(300)의 센터에 배치된 흡입구(300a)부터 그리퍼(300)의 에지에 배치된 흡입구(300a) 측으로 순차적으로 흡입작동되도록 구성됨으로써, 기판(1)과 부상스테이지(100) 사이에 잔여공기가 없애서 기판(1)을 플랫하게 부상스테이지(100)의 로딩부(110)에 로딩완료시킬 수 있다.

나아가 본 발명은 상술된 구성적 특징에 따라, 인쇄헤드에 의한 기판(1)의 잉크코팅이 기판(1)에서 정확히 설정된 위치에 구현됨으로써, 대면적 글래스와 같은 기판(1)의 인쇄 시 제품불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

1 : 기판 1c : 센터부
1e : 에지부 100 : 부상스테이지
110 : 로딩부 200 : 승강핀
300 : 그리퍼 300a : 흡입구
400 : 배출라인
S100 : 기판로딩단계 S110 : 기판안착단계
S120 : 핀하강단계 S200 : 기판흡착단계
S210 : 센터부흡착단계 S220 : 에지부흡착단계

Claims (8)

1. 기판을 부상시키는 부상스테이지;
   상기 부상스테이지의 로딩부에 승강되게 설치되며, 상기 기판이 안착되는 승강핀; 및
   상기 승강핀의 하강 시 상기 기판과 상기 부상스테이지 사이 공기의 배출을 가이드하도록, 상기 로딩부의 상면에 홈 형상으로 형성된 배출라인;
   을 포함하는 기판이송장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 배출라인은 상기 로딩부 상면의 일측부 에지부터 타측부 에지까지 이어져서 형성된 기판이송장치.
   
3. 제2항에 있어서,
   상기 배출라인은 복수 개가 상기 로딩부의 상면에서 서로 교차되게 형성된 기판이송장치.
   
4. 제2항에 있어서,
   상기 배출라인은 복수 개가 상기 로딩부 상면의 중심으로부터 방사방향으로 형성된 기판이송장치.
   
5. 기판을 부상스테이지의 로딩부에 로딩시키는 기판로딩단계; 및
   상기 부상스테이지의 측방향에 배치된 그리퍼가 상기 기판의 측부 하면을 흡착하는 기판흡착단계;를 포함하며,
   상기 기판흡착단계는 상기 그리퍼가 상기 기판의 측부 하면을 센터부로부터 에지부로 순차적으로 흡착하는 기판이송방법.
   
6. 제5항에 있어서,
   상기 기판흡착단계는
   상기 그리퍼에 상기 기판 측부 하면의 상기 센터부를 흡착시키는 센터부흡착단계; 및
   상기 그리퍼에 상기 기판 측부 하면의 상기 에지부를 흡착시키는 에지부흡착단계;
   를 포함하는 기판이송방법.
   
7. 제5항에 있어서,
   상기 그리퍼는 상기 기판의 왕복 이송방향으로 길게 형성되고, 상기 기판의 왕복 이송방향을 따라 서로 이격된 복수 개의 흡입구를 포함하며,
   상기 기판흡착단계는,
   복수 개의 상기 흡입구에서 상기 그리퍼의 센터에 배치된 상기 흡입구부터 상기 그리퍼의 에지에 배치된 상기 흡입구 측으로 순차적으로 흡입작동되는 기판이송방법.
   
8. 제5항에 있어서,
   상기 기판로딩단계는,
   상기 기판을 상기 로딩부에 설치된 승강핀에 안착시키는 기판안착단계; 및
   상기 승강핀을 하강시켜 상기 기판을 상기 로딩부에 안착시키는 핀하강단계;
   를 포함하는 기판이송방법.
   

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