KR20240039686A - 버퍼가 구비된 efem - Google Patents

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Abstract

본 발명은 버퍼가 구비된 EFEM에 관한 것으로서, 특히 내부에 반송실이 형성된 하우징과; 상기 하우징의 전방에 구비되고, 내부에 웨이퍼가 적재된 다수의 풉(FOUP: Front Opening Unified Pod)이 각각 로딩되는 다수의 로드포트(Load Port)와; 상기 하우징의 반송실 내에서 동작하여, 상기 웨이퍼에 소정의 공정처리를 하는 공정장비에 상기 로드포트에 로딩된 풉 내의 공정처리 전 웨이퍼를 전달함과 아울러 상기 공정장비에 의해 공정처리 완료된 웨이퍼를 상기 로드포트에 로딩된 풉 내에 전달하는 반송로봇과; 상기 다수의 로드포트 전부에 풉이 로딩된 경우 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 상태로 OHT 장비에 의해 이송되고 있던 풉이 로딩되는 OHT포트를 구비하고, 상기 OHT포트에 로딩된 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 풉이 상기 로드포트로 이송되기 전에 경유하는 버퍼포트를 구비하며, 상기 로드포트에서 상기 반송로봇을 통해 공정처리가 완료된 웨이퍼를 전달받은 풉을 상기 OHT포트에 로딩하여 상기 OHT 장비로 이송시키는 버퍼시스템;을 포함하여 구성되어, OHT 장비의 물동량을 분산시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

버퍼가 구비된 EFEM{Equipment Front End Module with buffer}
본 발명은 버퍼가 구비된 EFEM에 관한 것으로서, 특히 반도체 공정 장비들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장에 구비되어 풉(FOUP: Front-Opening Unified Pod)을 이송하는 OHT의 물동량을 분산시킬 수 있는 버퍼가 구비된 EFEM에 관한 것이다.
반도체 소자를 제조하는 각 공정을 수행하는 공정장비는 내부로부터 발생되는 미세한 파티클이나 극미량의 오염 등의 발생요인을 최소화하면서 동시에 외부로부터 유입되는 미세한 파티클과 극미량의 오염 등은 미연에 차단함으로써 높은 제품수율과 높은 제품신뢰성을 유지한다.
특히, 내부에 다수의 웨이퍼를 수평하게 적재하고 전면에 구비된 도어를 통해 웨이퍼가 내외부를 출입할 수 있도록 하는 풉(FOUP: Front Opening Unified Pod)과, 상기 풉 내부에 적재된 웨이퍼를 공정챔버로 이송시키는 역할을 수행하는 EFEM(Equipment Front End Module)과 같은 웨이퍼 이송장비를 이용하여 피티클과 오염을 차단하고 있다.
웨이퍼 이송 자동화 모듈인 EFEM은 반도체 공정 장비들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장에 구비된 OHT(Overhead Hoist Transport) 장비로부터 공정처리가 안된 웨이퍼가 저장된 풉을 제공받은 후, 웨이퍼를 공정장비에 제공하여 공정처리가 완료된 웨이퍼가 저장된 풉을 OHT 장비에 제공한다.
이렇게 OHT 장비는 반도체 제조 라인의 천장을 따라 움직이면서 웨이퍼가 저장된 풉을 여기저기로 분주하게 이송시키기 때문에, 종종 반도체 공정장비들의 공정처리 시간과의 버퍼링 문제 발생으로 OHT 장비가 수행 작업을 지속하지 못하고 잠시 멈추는 문제가 발생될 수 있다.
등록특허 10-2126466
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 풉을 임시 보관할 수 있는 버퍼(Buffer) 공간을 EFEM 내에 별도로 마련하여 OHT 장비의 물동량을 분산시킬 수 있는 버퍼가 구비된 EFEM을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM는 내부에 반송실이 형성된 하우징과; 상기 하우징의 전방에 구비되고, 내부에 웨이퍼가 적재된 다수의 풉(FOUP: Front Opening Unified Pod)이 각각 로딩되는 다수의 로드포트(Load Port)와; 상기 하우징의 반송실 내에서 동작하여, 상기 웨이퍼에 소정의 공정처리를 하는 공정장비에 상기 로드포트에 로딩된 풉 내의 공정처리 전 웨이퍼를 전달함과 아울러 상기 공정장비에 의해 공정처리 완료된 웨이퍼를 상기 로드포트에 로딩된 풉 내에 전달하는 반송로봇과; 상기 다수의 로드포트 전부에 풉이 로딩된 경우 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 상태로 OHT 장비에 의해 이송되고 있던 풉이 로딩되는 OHT포트를 구비하고, 상기 OHT포트에 로딩된 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 풉이 상기 로드포트로 이송되기 전에 경유하는 버퍼포트를 구비하며, 상기 로드포트에서 상기 반송로봇을 통해 공정처리가 완료된 웨이퍼를 전달받은 풉을 상기 OHT포트에 로딩하여 상기 OHT 장비로 이송시키는 버퍼시스템;을 포함하여 구성된다.
여기에서, 상기 버퍼시스템은 상기 공정장비에 인접 배치되는 프레임과; 상기 프레임에 구비되고, 상기 OHT포트와 버퍼포트가 구비된 풉 셸프와; 상기 풉 셸프의 상부에서 X축, Y축, Z축 방향으로 동작하여 상기 OHT포트에 로딩되어 있는 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 풉을 상기 버퍼포트에 로딩함과 아울러 상기 버퍼포트에 로딩된 풉을 상기 로드포트에 로딩하고, 상기 로드포트에 로딩되어 있는 공정처리 완료된 웨이퍼가 적재된 풉을 상기 OHT포트에 로딩하는 무빙유닛;을 포함하여 구성된다.
한편, 상기 무빙유닛은 상기 로드포트에 로딩되어 있는 공정처리 완료된 웨이퍼가 적재된 풉을 상기 버퍼포트에 로딩할 수 있고, 상기 버퍼포트에 로딩되어 있는 공정처리 완료된 웨이퍼가 적재된 풉을 상기 OHT포트에 로딩할 수 있다.
그리고, 상기 무빙유닛은 상기 프레임 상에서 X축 방향으로 슬라이딩하는 케이싱과; 상기 케이싱을 따라 Y축 방향으로 슬라이딩하는 제1이동블록과; 상기 제1이동블록을 따라 Y축 방향으로 슬라이딩하는 제2이동블록과; 상기 제2이동블록을 따라 Y축 방향으로 슬라이딩하는 제3이동블록과; 상기 제3이동블록의 하측에서 일정각도 회동하는 회동블록과; 상기 회동블록과 함께 회동하면서 Z축 방향으로 승강하고 상기 풉을 파지하는 파지블록;으로 구성된다.
한편, 상기 제3이동블록에는 상기 회동블록을 일정각도 회동시키는 회동력 제공부가 구비되되; 상기 회동력 제공부는 제3이동블록에 설치되는 회동모터와; 상기 회동모터의 모터축을 따라 직선이동하는 브라켓과; 일단이 상기 브라켓에 회전가능하게 연결되는 링크와; 상단이 상기 링크의 타단에 연결되고 하단이 제3이동블록에 형성된 곡선형의 가이드홀을 관통하여 상기 회동블록에 연결되는 연결봉;으로 구성된다.
그리고, 상기 회동블록에는 상기 파지블록을 상하방향으로 승강시키는 승강 유도부가 구비되되; 상기 승강 유도부는 회동블록에 설치되는 승강모터와; 상기 승강모터의 모터축으로부터 동력을 제공받아 회전하는 샤프트와; 상기 샤프트에 이격 설치되어 샤프트와 함께 회전하는 다수의 풀리와; 상기 풀리에 권취되고 끝단이 회동블록을 관통하여 상기 파지블록에 연결되는 연결띠;로 구성된다.
또한, 상기 파지블록에는 풉 파지부가 구비되되; 상기 풉 파지부는 파지블록에 설치되는 파지모터와; 상기 파지모터의 모터축을 따라 직선이동하는 이동암과; 상기 이동암의 양 끝단에 경사지게 설치되고 경사홀이 형성된 한 쌍의 경사판과; 상기 경사홀 내에서 이동을 하는 관통핀이 설치되어 이동암의 전후진에 따라 간격이 벌어지거나 좁아지는 한 쌍의 파지브라켓;으로 구성된다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 버퍼가 구비된 EFEM은 로드포트 전부에 풉이 로딩되어 있는 경우 풉을 임시보관할 수 있는 OHT포트를 버퍼시스템에 구비함으로써 OHT 장비의 물동량을 분산시킬 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM을 간단히 보인 도.
도 2 및 도 3은 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 버퍼시스템을 보인 도.
도 4는 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 풉 셸프를 보인 도.
도 5는 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 무빙유닛을 보인 도.
도 6은 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 제3이동블록과 회동블록 및 파지블록을 보인 도.
도 7 및 도 8은 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 회동력 제공부를 보인 도.
도 9 내지 도 11은 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 승강 유도부를 보인 도.
도 12는 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 풉 파지부를 보인 도.
이하, 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM을 간단히 보인 도이다.
그리고, 도 2 및 도 3은 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 버퍼시스템을 보인 도이며, 도 4는 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 풉 셸프를 보인 도이고, 도 5는 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 무빙유닛을 보인 도이며, 도 6은 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 제3이동블록과 회동블록 및 파지블록을 보인 도이다.
또한, 도 7 및 도 8은 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 회동력 제공부를 보인 도이고, 도 9 내지 도 11은 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 승강 유도부를 보인 도이며, 도 12는 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 풉 파지부를 보인 도이다.
본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM(Equipment Front End Module)은 하우징(100)과, 상기 하우징(100)의 전방에 구비되어 웨이퍼(미도시)가 내부에 적재된 풉(FOUP: Front Opening Unified Pod,F)이 로딩되는 다수의 로드포트(Load Port,200)와, 상기 풉(F) 내부의 웨이퍼를 이송하는 반송로봇(300)과, 상기 풉(F)을 임시 보관하는 버퍼링 공간을 구비한 버퍼시스템(400)을 포함하여 구성된다.
상기 하우징(100)은 내부에 반송실(100a)이 형성되고, 상기 반송실(100a) 내에는 반송로봇(300)이 구비된다.
상기 로드포트(200)는 하우징(100) 옆에 다수개가 구비되고, 상면에 다수의 풉(F)이 각각 로딩된다.
상기 풉(F)은 공정장비(A)에 의해 소정의 공정처리를 해야 하는 다수의 웨이퍼가 내부에 수평하게 적재되고, 더불어 공정장비(A)에 의해 소정의 공정처리가 완료된 웨이퍼가 내부에 적재된다.
부연하면, 로드포트(200)는 반도체 제조라인에 구비된 공정장비(A)에 의해 공정처리를 받아야 하는 웨이퍼의 대기하는 공간이면서, 동시에 공정장비(A)에 의해 공정처리가 완료된 웨이퍼가 다음 공정장비(A)로 이송될 때까지 대기하는 공간이다.
상기 반송로봇(300)은 하우징(100)의 반송실(100a) 내에서 동작하여 웨이퍼를 이송한다. 반송로봇(300)은 전개 가능한 링크암을 구비하여 소정의 공정처리를 하는 공정장비(A)에 로드포트(200)에 로딩된 풉(F) 내부의 공정처리 전 웨이퍼를 전달하면서, 동시에 공정장비(A)에 의해 공정처리 완료된 웨이퍼를 로드포트(200)에 로딩된 풉(F) 내에 전달한다.
즉, 반송로봇(300)은 로드포트(200)와 공정장비(A) 사이를 왕복하면서 웨이퍼를 이송시킨다.
상기 버퍼시스템(400)은 프레임(410)과, 상기 프레임(410)에 구비되는 풉 셸프(FOUP Shelf,420)와, 상기 풉 셸프(420)의 상부에서 기동하는 무빙유닛(430)을 포함하여 구성된다.
상기 프레임(410)은 공정장비(A)에 인접 배치되는 것으로서, 하우징(100)을 둘러싸도록 설치되고 풉 셸프(420)와 무빙유닛(430)을 지지한다.
상기 풉 셸프(420)는 OHT포트(421)와 버퍼포트(422)를 구비하는 것으로서, 하우징(100)과 로드포트(200)의 상부에 위치한다. 이러한 풉 셸프(420)에는 하나의 OHT포트(421)와 3개의 버퍼포트(422)로 구성된다.
상기 OHT포트(421)에는 풉(F)이 로딩되는데, OHT포트(421)에 로딩되는 풉(F)에는 공정장비(A)에 의한 소정의 공정처리 전의 웨이퍼가 적재될 수도 있고, 공정장비(A)에 의해 소정의 공정처리가 완료된 후의 웨이퍼가 적재될 수도 있다.
즉, 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 OHT 장비(O)로 이송하다가 다수의 로드포트(200) 중 어느 하나의 로드포트(200)에 로딩하려고 할 때, 이 다수의 로드포트(200) 전부에 이미 로딩된 풉(F)이 있는 경우에는 OHT 장비(O)는 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 OHT포트(421)에 로딩한다.
그리고, 로드포트(200)에서 로딩된 상태로 반송로봇(300)을 통해 공정처리가 완료된 웨이퍼를 전달받은 풉(F)은 무빙유닛(430)으로 OHT포트(421)에 로딩된 후 OHT 장비(O)를 이용하여 다른 공정장비 쪽으로 이송시킬 수 있다.
상기 버퍼포트(422)는 OHT포트(421)에 로딩되어 있는 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 로드포트(200)에 이송하기 전에 경유하는 곳이다.
한편, 풉 셸프(420)에는 풉(F) 내부에 질소와 같은 불활성 가스를 주입하여 웨이퍼를 퍼지할 수 있는 기능이 포함되어 있다.
상기 무빙유닛(430)은 풉 셸프(420)의 상부에서 X축, Y축, Z축 방향으로 동작하여 OHT포트(421)에 로딩되어 잇는 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 버퍼포트(422)에 로딩함과 아울러 버퍼포트(422)에 로딩된 풉(F)을 로드포트(200)에 로딩하고, 로드포트(200)에 로딩되어 있는 공정처리 완료된 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 OHT포트(421)에 로딩한다.
물론, 무빙유닛(430)은 로드포트(200)에 로딩되어 있는 공정처리 완료된 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 버퍼포트(422)가 비어 있는 경우 그 비어 있는 버퍼포트(422)에 로딩할 수 있을 뿐만 아니라, 버퍼포트(422)에 로딩되어 있는 공정처리 완료된 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 OHT포트(421)가 비어 있는 경우 그 OHT포트(421)에 로딩할 수도 있다.
그리고, 무빙유닛(430)을 통하지 않고서도 OHT 장비(O)가 버퍼포트(422)에 로딩된 풉(F)을 로드포트(200)에 직접 이송하여 로딩하는 것도 가능하다.
한편, 무빙유닛(430)은 케이싱(431)과, 상기 케이싱(431)에 설치되는 제1이동블록(432)과, 상기 제1이동블록(432)의 하측에 설치되는 제2이동블록(433)과, 상기 제2이동블록(433)의 하측에 설치되는 제3이동블록(434)과, 제3이동블록(434)의 하측에 설치되는 회동블록(435)과, 상기 회동블록(435)의 하측에 설치되는 파지블록(436)을 포함하여 구성된다.
상기 케이싱(431)은 프레임(410)에 수평방향으로 설치된 X축 레일(411)을 따라 X축 방향으로 슬라이딩 이동한다.
상기 제1이동블록(432)은 케이싱(431)에 설치되되 Y축 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되므로, 케이싱(431)이 X축 방향으로 이동할 때 함께 X축 방향으로 이동하면서 동시에 Y축 방향으로 독자적으로 슬라이딩 이동할 수 있다.
상기 제2이동블록(433)은 제1이동블록(432) 상에서 Y축 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치된다. 따라서 케이싱(431)과 제1이동블록(432)을 따라 X축 방향으로 이동하면서 동시에 Y축 방향으로 독자적으로 슬라이딩 이동할 수 있다.
상기 제3이동블록(434)은 제2이동블록(433) 상에서 Y축 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치된다. 따라서 케이싱(431)과 제1이동블록(432) 및 제2이동블록(433)을 따라 X축 방향으로 이동하면서 동시에 Y축 방향으로 독자적으로 슬라이딩 이동할 수 있다.
이와 같은 제3이동블록(434)에는 회동블록(435)을 일정각도 회동시키는 회동력 제공부(437)가 구비된다.
상기 회동력 제공부(437)는 회동모터(437a)와, 상기 회동모터(437a)의 모터축에 설치되는 브라켓(437b)과, 일단이 상기 브라켓(437b)에 연결되는 링크(437c)와, 상단이 상기 링크(437c)의 타단에 연결되는 연결봉(437d)으로 구성된다.
상기 회동모터(437a)는 제3이동블록(434)에 설치되어 회동블록(435)이 일정각도 회동할 수 있도록 동력을 제공한다.
상기 브라켓(437b)은 회동모터(437a)의 모터축을 따라 직선이동한다. 즉 회동모터(437a)의 모터축이 일방향으로 회전하면 브라켓(437b)은 전진하고 타방향으로 회전하면 브라켓(437b)은 전진한다.
상기 링크(437c)는 일단이 브라켓(437b)에 회전가능하게 연결되고 타단이 제3이동블록(434)에 형성된 가이드홀(434a) 쪽으로 연장된다.
상기 연결봉(437d)은 상단이 링크(437c)의 타단에 연결되면서 하단이 곡선형의 가이드홀(434a)을 관통하여 회동블록(435)에 연결된다. 따라서 회동모터(437a)의 모터축이 회전을 하면 연결봉(437d)이 가이드홀(434a) 내에서 이동을 하면서 회동블록(435)을 일정각도 회동시킨다.
상기 회동블록(435)은 제3이동블록(434)의 하측에서 일정각도 회동한다. 따라서 회동블록(435)은 X축으로 이동을 하면서 Y축으로 이동을 할 수 있다.
이와 같은 회동블록(435)에는 파지블록(436)을 상하방향으로 승강시키는 승강 유도부(438)가 구비된다.
상기 승강 유도부(438)는 회동블록(435)에 설치되는 승강모터(438a)와, 상기 승강모터(438a)의 모터축으로부터 동력을 제공받아 회전하는 샤프트(438b)와, 상기 샤프트(438b)에 이격 설치되어 샤프트(438b)와 함게 회전하는 다수의 풀리(438c)와, 상기 풀리(438c)에 권취되고 끝단이 파지블록(436)에 연결되는 연결띠(438d)로 구성된다.
상기 승강모터(438a)는 파지블록(436)이 위아래로 움직일 수 있는 동력을 제공한다.
상기 샤프트(438b)는 체인이나 풀리 등과 같은 동력연결수단을 통해서 승강모터(438a)의 모터축과 연결된어, 모터축이 회전을 하면 샤프트(438b)도 회전한다.
상기 풀리(438c)는 샤프트(438b)에 일정간격으로 3개가 설치된다.
상기 연결띠(438d)는 끝단이 회동블록(435)을 관통하여 아래쪽에 있는 파지블록(436)과 연결된다. 3개의 풀리(438c)에 권취된 연결띠(438d) 중에서 샤프트(438b)의 양 끝에 있는 풀리(438c)의 2개의 연결띠(438d) 끝단은 같은 방향으로 회동블록(435)을 관통하고, 중앙에 있는 풀리(438c)의 연결띠(438d) 끝단은 그 맞은편으로 회동블록(435)을 관통한다.
따라서, 승강모터(438a)가 회전하여 풀리(438c)에서 연결띠(438d)가 풀려 나오면 파지블록(436)은 아래쪽으로 이동하고 연결띠(438d)가 풀리(438c)에 감기면 파지블록(436)은 위쪽으로 이동한다.
상기 파지블록(436)은 회동블록(435)과 함께 회동하면서 Z축 방향으로 승강하고 풉(F)을 파지한다.
이러한 파지블록(436)에는 풉 파지부(439)가 구비된다.
상기 풉 파지부(439)는 파지블록(436)에 설치되는 파지모터(439a)와, 상기 파지모터(439a)의 모터축을 따라 직선이동하는 이동암(439b)과, 상기 이동암(439b)의 양 끝단에 경사지게 설치되고 경사홀(439d)이 형성된 한 쌍의 경사판(439c)과, 상기 경사홀(439d) 내에서 이동을 하는 관통핀(439f)이 설치되어 이동암(439b)의 전후진에 따라 간격이 벌어지거나 좁아지는 한 쌍의 파지브라켓(439e)으로 구성된다.
상기 파지모터(439a)는 파지블록(436)이 풉(F)을 파지할 수 있는 동력을 제공한다.
상기 이동암(439b)은 파지모터(439a)의 모터축이 일방향으로 회전하면 일측으로 직선이동하고 타방향으로 회전하면 반대방향으로 직선이동한다.
상기 파지브라켓(439e)은 파지블록(436)을 관통하여 설치되는 것으로서, 상면에 관통핀(439f)이 구비되고, 이 관통핀(439f)은 경사홀(439d) 내에서 이동을 하여 한 쌍의 파지브라켓(439e) 사이를 좁혀 풉(F)을 파지하거나 한 쌍의 파지브라켓(439e) 사이를 넓혀 파지했던 풉(F)을 놓는다.
100: 하우징 100a: 반송실
200: 로드포트 300: 반송로봇
400: 버퍼시스템 410: 프레임
411: X축 레일 420: 풉 셸프
421: OHT포트 422: 버퍼포트
430: 무빙유닛 431: 케이싱
432: 제1이동블록 433: 제2이동블록
434: 제3이동블록 434a: 가이드홀
435: 회동블록 436: 파지블록
437: 회동력 제공부 437a: 회동모터
437b: 브라켓 437c: 링크
437d: 연결봉 438: 승강 유도부
438a: 승강모터 438b: 샤프트
438c: 풀리 438d: 연결띠
439: 풉 파지부 439a: 파지모터
439b: 이동암 439c: 경사판
439d: 경사홀 439e: 파지브라켓
439f: 관통핀 A: 공정장비
F: 풉 W: 웨이퍼

Claims (8)

  1. 내부에 반송실(100a)이 형성된 하우징(100)과;
    상기 하우징(100)의 전방에 구비되고, 내부에 웨이퍼가 적재된 다수의 풉(FOUP: Front Opening Unified Pod,F)이 각각 로딩되는 다수의 로드포트(Load Port,200)와;
    상기 하우징(100)의 반송실(100a) 내에서 동작하여, 상기 웨이퍼에 소정의 공정처리를 하는 공정장비(A)에 상기 로드포트(200)에 로딩된 풉(F) 내의 공정처리 전 웨이퍼를 전달함과 아울러 상기 공정장비(A)에 의해 공정처리 완료된 웨이퍼를 상기 로드포트(200)에 로딩된 풉(F) 내에 전달하는 반송로봇(300)과;
    상기 다수의 로드포트(200) 전부에 풉(F)이 로딩된 경우 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 상태로 OHT 장비(O)에 의해 이송되고 있던 풉(F)이 로딩되는 OHT포트(421)를 구비하고, 상기 OHT포트(421)에 로딩된 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 풉(F)이 상기 로드포트(200)로 이송되기 전에 경유하는 버퍼포트(422)를 구비하며, 상기 로드포트(200)에서 상기 반송로봇(300)을 통해 공정처리가 완료된 웨이퍼를 전달받은 풉(F)을 상기 OHT포트(421)에 로딩하여 상기 OHT 장비(O)로 이송시키는 버퍼시스템(400);을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 버퍼가 구비된 EFEM.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 버퍼시스템(400)은 상기 공정장비(A)에 인접 배치되는 프레임(410)과;
    상기 프레임(410)에 구비되고, 상기 OHT포트(421)와 버퍼포트(422)가 구비된 풉 셸프(420)와;
    상기 풉 셸프(420)의 상부에서 X축, Y축, Z축 방향으로 동작하여 상기 OHT포트(421)에 로딩되어 있는 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 상기 버퍼포트(422)에 로딩함과 아울러 상기 버퍼포트(422)에 로딩된 풉(F)을 상기 로드포트(200)에 로딩하고, 상기 로드포트(200)에 로딩되어 있는 공정처리 완료된 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 상기 OHT포트(421)에 로딩하는 무빙유닛(430);을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 버퍼가 구비된 EFEM.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 무빙유닛(430)은 상기 로드포트(200)에 로딩되어 있는 공정처리 완료된 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 상기 버퍼포트(422)에 로딩할 수 있는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 버퍼가 구비된 EFEM.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 무빙유닛(430)은 상기 버퍼포트(422)에 로딩되어 있는 공정처리 완료된 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 상기 OHT포트(421)에 로딩할 수 있는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 버퍼가 구비된 EFEM.
  5. 청구항 2에 있어서,
    상기 무빙유닛(430)은 상기 프레임(410) 상에서 X축 방향으로 슬라이딩하는 케이싱(431)과;
    상기 케이싱(431)을 따라 Y축 방향으로 슬라이딩하는 제1이동블록(432)과;
    상기 제1이동블록(432)을 따라 Y축 방향으로 슬라이딩하는 제2이동블록(433)과;
    상기 제2이동블록(433)을 따라 Y축 방향으로 슬라이딩하는 제3이동블록(434)과;
    상기 제3이동블록(434)의 하측에서 일정각도 회동하는 회동블록(435)과;
    상기 회동블록(435)과 함께 회동하면서 Z축 방향으로 승강하고 상기 풉(F)을 파지하는 파지블록(436);으로 구성된 것을 특징으로 하는 버퍼가 구비된 EFEM.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 제3이동블록(434)에는 상기 회동블록(435)을 일정각도 회동시키는 회동력 제공부(437)가 구비되되,
    상기 회동력 제공부(437)는 제3이동블록(434)에 설치되는 회동모터(437a)와;
    상기 회동모터(437a)의 모터축을 따라 직선이동하는 브라켓(437b)과;
    일단이 상기 브라켓(437b)에 회전가능하게 연결되는 링크(437c)와;
    상단이 상기 링크(437c)의 타단에 연결되고 하단이 제3이동블록(434)에 형성된 곡선형의 가이드홀(434a)을 관통하여 상기 회동블록(435)에 연결되는 연결봉(437d);으로 구성된 것을 특징으로 하는 버퍼가 구비된 EFEM.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 회동블록(435)에는 상기 파지블록(436)을 상하방향으로 승강시키는 승강 유도부(438)가 구비되되,
    상기 승강 유도부(438)는 회동블록(435)에 설치되는 승강모터(438a)와;
    상기 승강모터(438a)의 모터축으로부터 동력을 제공받아 회전하는 샤프트(438b)와;
    상기 샤프트(438b)에 이격 설치되어 샤프트(438b)와 함께 회전하는 다수의 풀리(438c)와;
    상기 풀리(438c)에 권취되고 끝단이 회동블록(435)을 관통하여 상기 파지블록(436)에 연결되는 연결띠;로 구성된 것을 특징으로 하는 버퍼가 구비된 EFEM.
  8. 청구항 5에 있어서,
    상기 파지블록(436)에는 풉 파지부(439)가 구비되되,
    상기 풉 파지부(439)는 파지블록(436)에 설치되는 파지모터(439a)와;
    상기 파지모터(439a)의 모터축을 따라 직선이동하는 이동암(439b)과;
    상기 이동암(439b)의 양 끝단에 경사지게 설치되고 경사홀(439d)이 형성된 한 쌍의 경사판(439c)과;
    상기 경사홀(439d) 내에서 이동을 하는 관통핀(439f)이 설치되어 이동암(439b)의 전후진에 따라 간격이 벌어지거나 좁아지는 한 쌍의 파지브라켓(439e);으로 구성된 것을 특징으로 하는 버퍼가 구비된 EFEM.
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