KR20240037727A - An Interposing Type of an Apparatus for Detaching a Micro LED - Google Patents
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Abstract
본 발명은 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치에 관한 것이다. 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치는 상하로 이동 가능한 유도 튜브(12); 유도 튜브(11)의 내부에 따라 이동되면서 유도 튜브(12)의 끝 부분으로부터 돌출 가능한 니들 유닛(17); 및 니들 유닛(17)의 의하여 상하로 이동 가능한 접착 필름(16)을 포함한다.The present invention relates to an interposing micro LED separation device. The interposing micro LED separation device includes a guide tube (12) that can move up and down; A needle unit 17 capable of protruding from the end of the guide tube 12 while moving along the inside of the guide tube 11; and an adhesive film 16 that can be moved up and down by the needle unit 17.
Description
본 발명은 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an interposing micro LED separation device.
다양한 광 산업 분야에서 엘이디 소자가 사용되고, 예를 들어 디스플레이에 엘이디 소자가 적용될 수 있다. 엘이디 소자 방식의 디스플레이는 전력 소모량이 작으면서 효율과 신뢰성이 높다는 이점을 가진다. 또한 픽셀의 화소 기능을 가지는 100 ㎛ 이하의 마이크로 엘이디 소자로 이루어진 단위 패널을 타일 배치 방식으로 배치되면 디스플레이의 대면적화가 가능하다는 장점을 가진다. 이로 인하여 마이크로 엘이디를 디스플레이에 적용하기 위한 다양한 개발이 이루어지고 있다. 특허공개번호 10-2019-0006430은 RGB 서브 픽셀의 크기가 수십 ㎛가 되는 마이크로 디스플레이 및 그 제작 방법에 대하여 개시한다. 또한 특허공개번호 20-2018-0031126은 디스플레이 패널용 엘이디 칩의 실장 방법 및 이를 이용한 디스플레이 패널에 대하여 개시한다. 마이크로 엘이디 소자의 배치에 의한 디스플레이의 제조 과정에서 일부 엘이디 소자의 작동 오류가 발생되거나, 제조된 디스플레이 유닛에서 일부 엘이디 소자가 오류가 발생되면 마이크로 엘이디는 기판 또는 웨이퍼로부터 분리될 필요가 있다. 선행기술은 예를 들어 정렬 오류와 같은 오류가 발생된 엘이디 소자를 효과적으로 분리시킬 수 있는 기술에 대하여 개시하지 않는다.LED devices are used in various optical industries, and for example, LED devices can be applied to displays. LED-based displays have the advantage of low power consumption and high efficiency and reliability. In addition, when unit panels made of micro LED elements of 100 ㎛ or less with a pixel function are arranged in a tile arrangement, it has the advantage of enabling a larger display area. As a result, various developments are being made to apply micro LEDs to displays. Patent Publication No. 10-2019-0006430 discloses a micro display in which RGB subpixels have a size of several tens of ㎛ and a method of manufacturing the same. Additionally, Patent Publication No. 20-2018-0031126 discloses a method of mounting an LED chip for a display panel and a display panel using the same. If an operation error occurs in some LED elements during the manufacturing process of a display by arranging micro LED elements, or if an error occurs in some LED elements in the manufactured display unit, the micro LEDs need to be separated from the substrate or wafer. The prior art does not disclose a technology that can effectively separate LED elements in which errors, such as alignment errors, have occurred.
본 발명은 선행기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.The present invention is intended to solve the problems of the prior art and has the following purposes.
본 발명의 목적은 접착 필름 및 니들에 의하여 웨이퍼 또는 기판의 미리 결정된 위치에 배치된 마이크로 엘이디를 효과적으로 분리시킬 수 있는 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치를 제공하는 것이다.The purpose of the present invention is to provide an interposing micro LED separation device that can effectively separate micro LEDs placed at a predetermined location on a wafer or substrate using an adhesive film and a needle.
본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치는 상하로 이동 가능한 유도 튜브; 유도 튜브의 내부에 따라 이동되면서 유도 튜브의 끝 부분으로부터 돌출 가능한 니들 유닛; 및 니들 유닛의 의하여 상하로 이동 가능한 접착 필름을 포함한다.According to a preferred embodiment of the present invention, an interposing micro LED separation device includes a guide tube capable of moving up and down; A needle unit that can protrude from the end of the guide tube while moving along the inside of the guide tube; and an adhesive film that can be moved up and down by the needle unit.
본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 접착 필름을 유도 튜브의 끝 부분에 밀착시키는 밀착 유닛을 더 포함한다.According to another suitable embodiment of the present invention, it further includes an adhesion unit that adheres the adhesive film to the end of the guide tube.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 유도 튜브의 상하 이동을 위한 상하 구동 유닛을 더 포함한다.According to another suitable embodiment of the present invention, it further includes a vertical driving unit for vertical movement of the guide tube.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 접착 필름은 폴리이미드 소재가 된다.According to another suitable embodiment of the present invention, the adhesive film is made of polyimide material.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 접착 필름은 서로 마주보는 위치에 배치된 두 개의 필름 롤러에 의하여 이동 가능하다.According to another suitable embodiment of the present invention, the adhesive film is movable by two film rollers disposed at opposite positions.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 유도 튜브의 측면에 배치된 수집 빈을 더 포함한다.According to another suitable embodiment of the present invention, it further comprises a collection bin disposed on a side of the guide tube.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 유도 튜브가 접착 필름과 접촉되는 접촉 면에 형성된 적어도 하나의 밀착 평면 부분을 더 포함한다.According to another suitable embodiment of the present invention, the guide tube further comprises at least one contact planar portion formed on a contact surface in contact with the adhesive film.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 니들 유닛은 VCM(Voice Coil Motor)에 의하여 작동된다.According to another suitable embodiment of the present invention, the needle unit is operated by a VCM (Voice Coil Motor).
본 발명에 따른 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치는 기판 또는 웨이퍼로부터 예를 들어 100 ㎛ 이하의 크기를 가지는 마이크로 엘이디 소자의 효과적인 분리가 가능하도록 한다. 본 발명에 따른 분리 장치는 접착 필름과 니들 구조에 의하여 주위 엘이디 소자에 영향을 미치지 않으면서 예를 들어 정해진 형태로 정렬되지 않은 정렬 불량 상태의 마이크로 엘이디 소자가 분리되도록 한다. 예를 들어 본 발명에 따른 분리 장치는 50*30um 내지 10*10um의 크기를 가지면서 5 내지 50 um의 두께를 마이크로 엘이디의 분리가 가능하다. 본 발명에 따른 분리 장치는 다양한 종류의 웨이퍼와 같은 기판으로부터 엘이디 소자의 분리가 가능하고 기판의 종류에 의하여 본 발명은 제한되지 않는다.The interposing micro LED separation device according to the present invention enables effective separation of micro LED elements having a size of, for example, 100 μm or less from a substrate or wafer. The separation device according to the present invention allows, for example, misaligned micro LED elements that are not aligned in a given shape to be separated without affecting surrounding LED elements due to the adhesive film and needle structure. For example, the separation device according to the present invention is capable of separating micro LEDs with a size of 50*30um to 10*10um and a thickness of 5 to 50um. The separation device according to the present invention is capable of separating LED elements from various types of substrates such as wafers, and the present invention is not limited by the type of substrate.
도 1은 본 발명에 따른 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 분리 장치의 상세도를 도시한 것이다.
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 분리 장치에 의하여 마이크로 엘이디가 분리되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 분리 장치를 위한 작동 설비의 실시 예를 도시한 것이다.Figure 1 shows an example of an interposing micro LED separation device according to the present invention.
Figure 2 shows a detailed view of the separation device according to the invention.
Figures 3 and 4 show an example of a process in which micro LEDs are separated by the separation device according to the present invention.
Figure 5 shows an embodiment of the operating equipment for the separation device according to the invention.
아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.Below, the present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in the attached drawings, but the examples are for a clear understanding of the present invention and the present invention is not limited thereto. In the description below, components having the same reference numerals in different drawings have similar functions, so unless necessary for understanding the invention, the description will not be repeated, and well-known components will be briefly described or omitted, but the present invention It should not be understood as being excluded from the embodiments.
도 1은 본 발명에 따른 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치의 실시 예를 도시한 것이다.Figure 1 shows an example of an interposing micro LED separation device according to the present invention.
도 1을 참조하면, 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치는 상하로 이동 가능한 유도 튜브(12); 유도 튜브(12)의 내부에 따라 이동되면서 유도 튜브(12)의 끝 부분으로부터 돌출 가능한 니들 유닛(17); 및 니들 유닛(17)의 의하여 상하로 이동 가능한 접착 필름(16)을 포함한다.Referring to Figure 1, the interposing micro LED separation device includes a guide tube 12 that can move up and down; A needle unit 17 capable of protruding from the end of the guide tube 12 while moving along the inside of the guide tube 12; and an adhesive film 16 that can be moved up and down by the needle unit 17.
유도 튜브(12)는 전체적으로 속이 빈 실린더 형상이 되면서 수직 방향으로 연장될 수 있고, 상하 이동이 가능한 구조가 될 수 있다. 유도 튜브(12)는 예를 들어 모터와 같은 구동 유닛(11); 구동 유닛(11)에 의하여 작동되는 작동 축(111); 및 작동 축(111)을 따라 상하 이동을 하는 유도 블록(113)에 의하여 상하로 이동될 수 있다. 유도 튜브(12)의 상하 이동을 다양한 구조로 이루어질 수 있고 이에 의하여 본 발명은 제한되지 않는다. 유도 튜브(12)은 유도 블록(113)에 결합된 유도 브래킷(112)에 결합될 수 있고, 유도 브래킷(112)은 수직 결합 부분과 수평 고정 부분으로 이루어질 수 있다. 유도 튜브(12)의 위쪽 끝 부분에 고정 판(121)이 형성될 수 있고, 고정 판(121)이 수평 고정 부분에 결합되어 유도 튜브(12)가 유도 브래킷(112)에 결합될 수 있다. 유도 튜브(12)의 내부에 니들 모듈이 배치될 수 있고, 니들 모듈은 유도 튜브(12)의 끝 부분에 배치되어 유도 튜브(12)의 외부로 돌출 가능한 니들(17); 니들(17)의 위쪽 끝 부분으로부터 연장되는 유동 관(171); 및 유동 관(171)의 둘레 면에 배치되는 작동 유닛(172)을 포함한다. 작동 유닛(172)은 예를 들어 VCM(voice coil motor) 구조를 포함할 수 있고, VCM 구조에 의하여 니들(17)이 미리 결정된 거리만큼 상하로 이동될 수 있다. 니들(17)은 다양한 작동 수단에 의하여 상하로 이동될 수 있고 이에 의하여 본 발명은 제한되지 않는다. 니들(17)은 상하로 이동되면서 유도 튜브(12)의 아래쪽 끝 부분에 형성된 노출 홀을 통하여 유도 튜브(17)의 외부로 돌출될 수 있다. 유동 관(171)은 니들(17)의 위쪽 끝 부분으로부터 연장되어 기체를 유입 또는 배출시키는 밀착 유닛(15)과 연결될 수 있다. 밀착 유닛(15)은 기체를 흡입하거나, 유입시키는 기능을 가질 수 있고, 이에 의하여 접착 필름(16)이 유도 튜브(12)의 끝 부분에 밀착되거나, 분리될 수 있다. 밀착 유닛(15)은 기체 도관(151)을 통하여 유도 튜브(12)의 내부와 연결될 수 있고, 기체 도관(151)을 통하여 유도 튜브(12)의 내부 기체가 흡입되거나, 유도 튜브(12)의 내부로 기체가 유입될 수 있다.The guide tube 12 has an overall hollow cylinder shape, can extend in the vertical direction, and can have a structure capable of moving up and down. The guide tube 12 includes a drive unit 11, for example a motor; an actuating shaft 111 operated by a drive unit 11; And it can be moved up and down by a guide block 113 that moves up and down along the operating axis 111. The up and down movement of the guide tube 12 may be achieved in various structures, and the present invention is not limited thereby. The induction tube 12 may be coupled to an induction bracket 112 coupled to the induction block 113, and the induction bracket 112 may be comprised of a vertical coupling portion and a horizontal fixation portion. A fixing plate 121 may be formed at the upper end of the induction tube 12, and the fixing plate 121 may be coupled to the horizontal fixing portion so that the induction tube 12 may be coupled to the induction bracket 112. A needle module may be placed inside the induction tube 12, and the needle module may include a needle 17 disposed at the end of the induction tube 12 and protruding to the outside of the induction tube 12; a flow tube 171 extending from the upper end of the needle 17; and an operating unit 172 disposed on the circumferential surface of the flow tube 171. The operation unit 172 may include, for example, a voice coil motor (VCM) structure, and the needle 17 may be moved up and down a predetermined distance by the VCM structure. The needle 17 can be moved up and down by various operating means, and the present invention is not limited thereby. The needle 17 may move up and down and protrude out of the induction tube 17 through an exposed hole formed at the lower end of the induction tube 12. The flow tube 171 extends from the upper end of the needle 17 and may be connected to the adhesion unit 15 for introducing or discharging gas. The adhesion unit 15 may have a function of inhaling or introducing gas, thereby allowing the adhesive film 16 to be adhered to or separated from the end of the guide tube 12. The adhesion unit 15 may be connected to the inside of the guide tube 12 through the gas conduit 151, and the internal gas of the guide tube 12 may be sucked in or the gas inside the guide tube 12 may be sucked in through the gas conduit 151. Gas may flow inside.
유도 블록(113)의 아래쪽 부분에 서로 마주보도록 고정 블록(19a, 19b)이 형성될 수 있고, 각각의 고정 블록(19a, 19b)에 제1, 2 필름 롤러(13a, 13b)가 배치될 수 있다. 제1 필름 롤러(13a)로부터 제2 필름 롤러(13b)로 접착 필름(16)이 연장될 수 있고, 제1, 2 필름 롤러(13a, 13b) 사이에 제1, 2 유도 롤러 모듈(14a, 14b)가 배치되어 접착 필름(16)의 장력을 조절하거나, 이동을 유도할 수 있다. 접착 필름(16)는 전체적으로 사각 필름 형상으로 연장될 수 있고, 제1 필름 롤러(13a)에서 풀리고 제2 필름 롤러(13b)에 감길 수 있다. 접착 필름(16)은 제1 필름 롤러(13a)로부터 제1 유도 롤러 모듈(14a)을 경유하여 유도 튜브(12)의 아래쪽 끝 부분으로 연장될 수 있다. 이후 접착 필름(16)은 유도 튜브(12)의 아래쪽 면에 접촉된 이후 제2 유도 롤러 모듈(14b)을 경유하여 제2 필름 롤러(13b))에 감길 수 있다. 접착 필름(16)은 예를 들어 아크릴 접착 필름, 실리콘 접착 필름 또는 이와 유사한 접착 필름이 될 수 있지만 바람직하게 폴리이미드 접착 필름이 될 수 있다. 폴리이미드 접착 필름은 전기적, 기계적 또는 화학적 특성이 우수하고, 테프론으로 코팅이 되는 경우 내열 또는 내전압 특성이 우수하다는 이점을 가진다. 접착 필름(16)은 다양한 합성수지 소재로 만들어질 수 있고 이에 의하여 본 발명은 제한되지 않는다. 니들(17)이 유도 튜브(12)의 아래쪽으로 돌출되면서 접착 필름(16)을 아래쪽으로 가압하여 정해진 지점에 위치하는 마이클로 엘이디를 분리할 수 있고, 접착 필름(16)에 접착된 마이크로 엘이디는 수집 빈(18)에 수집될 수 있다. 구체적으로 마이크로 엘이디가 접착 필름에 부착되면 제2 필름 롤러(13b)이 회전되면서 접착 필름(16)이 수집 빈(18)의 방향으로 이동되면서 수집 빈(18)의 앞쪽에 형성된 분리 커터에 의하여 마이크로 엘이디가 접착 필름(16)으로부터 분리되어 수집 빈(18)에 수집될 수 있다. 마이크로 엘이디는 다양한 방법으로 수집될 수 있고 이에 의하여 본 발명은 제한되지 않는다.Fixed blocks 19a and 19b may be formed to face each other in the lower portion of the guide block 113, and first and second film rollers 13a and 13b may be disposed on each of the fixed blocks 19a and 19b. there is. The adhesive film 16 may extend from the first film roller 13a to the second film roller 13b, and the first and second guide roller modules 14a, 14b) is disposed to adjust the tension of the adhesive film 16 or induce movement. The adhesive film 16 may extend overall into a square film shape, and may be unwound from the first film roller 13a and wound around the second film roller 13b. The adhesive film 16 may extend from the first film roller 13a to the lower end of the guide tube 12 via the first guide roller module 14a. Thereafter, the adhesive film 16 may be wound around the second film roller 13b via the second guide roller module 14b after contacting the lower surface of the guide tube 12. The adhesive film 16 may be, for example, an acrylic adhesive film, a silicone adhesive film, or a similar adhesive film, but is preferably a polyimide adhesive film. Polyimide adhesive films have excellent electrical, mechanical, and chemical properties, and when coated with Teflon, they have the advantage of excellent heat resistance or voltage resistance. The adhesive film 16 may be made of various synthetic resin materials, and the present invention is not limited thereby. As the needle 17 protrudes downward from the guide tube 12, the adhesive film 16 can be pressed downward to separate the micro LED located at a designated point, and the micro LED attached to the adhesive film 16 can be separated. Can be collected in collection bin 18. Specifically, when the micro LED is attached to the adhesive film, the second film roller 13b rotates and the adhesive film 16 moves in the direction of the collection bin 18, and the micro LED is separated by a separation cutter formed in front of the collection bin 18. The LEDs may be separated from the adhesive film 16 and collected in the collection bin 18. Micro LEDs can be collected in a variety of ways and the present invention is not limited thereby.
도 2는 본 발명에 따른 분리 장치의 상세도를 도시한 것이다.Figure 2 shows a detailed view of the separation device according to the invention.
도 2를 참조하면, 서로 마주보도록 배치된 한 쌍의 고정 블록(19a, 19b)은 전체적으로 U 형상이 될 수 있고, 유도 튜브(12)는 두 개의 고정 블록(19a, 19b)의 사이에 위치할 수 있다. 위에서 설명된 것처럼 유도 튜브(121)의 위쪽에 고정 판(121)이 형성될 수 있고, 고정 판(121)이 유도 브래킷에 결합될 수 있다. 그리고 유도 브래킷의 상하 이동에 의하여 유도 튜브(12) 및 두 개의 고정 블록(19a, 19b)이 상하로 이동될 수 있다. 제1 유도 롤러 모듈(14a)은 수직 방향으로 배치되는 한 쌍의 방향 유도 롤러(141, 142) 및 한 쌍의 방향 유도 롤러(141, 142)의 사이에 배치되는 장력 롤러(143)로 이루어질 수 있다. 또한 제2 유도 롤러 모듈(14b)은 서로 마주보도록 수직 방향을 따라 배치되는 한 쌍의 방향 유도 롤러(144, 145); 및 한 쌍의 방향 유도 롤러(144, 145)의 사이에 배치되어 한 쌍의 장력 조절 롤러(146, 147)를 포함할 수 있다. 접착 필름(16)은 제1 필름 롤러(13a)로부터 제1 방향 유도 롤러(141), 제1 장력 조절 롤러(143), 제2 방향 유도 롤러(142)를 경유하여 유도 튜브(12)의 아래쪽 끝 부분으로 연장될 수 있다. 접착 필름(16)은 유도 튜브(12)의 아래쪽 끝 부분에 접촉된 이후 제3 방향 유도 롤러(144), 제3, 4 장렬 조절 롤러(146, 147)의 사이 및 제4 방향 유도 롤러(145)를 경유하여 제2 필름 롤러(13b)에 감길 수 있다.Referring to Figure 2, a pair of fixed blocks (19a, 19b) arranged to face each other may have an overall U shape, and the guide tube 12 may be located between the two fixed blocks (19a, 19b). You can. As described above, a fixing plate 121 may be formed above the guide tube 121, and the fixing plate 121 may be coupled to the guide bracket. Additionally, the guide tube 12 and the two fixing blocks 19a and 19b can be moved up and down by moving the guide bracket up and down. The first guide roller module 14a may be composed of a pair of direction guide rollers 141 and 142 disposed in a vertical direction and a tension roller 143 disposed between the pair of direction guide rollers 141 and 142. there is. In addition, the second guide roller module 14b includes a pair of directional guide rollers 144 and 145 arranged along the vertical direction to face each other; and a pair of tension control rollers 146 and 147 disposed between the pair of direction guide rollers 144 and 145. The adhesive film 16 is applied to the lower side of the guide tube 12 from the first film roller 13a via the first direction guide roller 141, the first tension control roller 143, and the second direction guide roller 142. It can be extended towards the end. After contacting the lower end of the guide tube 12, the adhesive film 16 is between the third direction guide roller 144, the third and fourth row adjustment rollers 146 and 147, and the fourth direction guide roller 145. ) can be wound around the second film roller (13b).
본 발명의 하나의 실시 예에 따르면, 분리 장치는 유도 튜브(12)가 접착 필름(16)과 접촉되는 접촉 면에 형성된 적어도 하나의 밀착 평면 부분(22a 내지 22d)을 포함한다. 유도 튜브(12)는 전체적으로 실린더 형상이 될 수 있고, 아래쪽 끝 부분에 돌출 계단(21)이 형성될 수 있다. 돌출 계단(21)은 유도 튜브(12)의 아래쪽 면으로부터 돌출되도록 형성된 판 형상이 될 수 있고, 서로 마주보는 두 개의 면이 유도 튜브(12)의 테두리와 일체로 형성되면서 서로 마주보는 다른 두 개의 면이 직사각형이 될 수 있다. 구체적으로 돌출 계단(21)은 서로 마주보는 두 개의 면이 곡면이 되면서 서로 마주보는 다른 두개의 면이 직사각 형상이 되는 판 형상이 될 수 있다. 돌출 계단(21)은 유도 튜브(12)와 일체로 형성될 수 있고, 돌출 튜브(21)의 아래쪽 끝 부분을 지름을 기준으로 양쪽으로 일정 거리만큼 이동된 서로 평행한 두 개의 분할 선을 따라 깎아내는 것에 의하여 돌출 계단(21)이 형성될 수 있다. 돌출 계단(21)의 아래쪽 면에 접착 필름(16)이 접촉될 수 있고, 돌출 계단(21)의 아래쪽 면에 다수 개의 밀착 평면 부분(22a, 22b, 22c, 22d)가 형성될 수 있다. 구체적으로 전체적으로 사각형이 되는 돌출 계단(21)의 접촉 면의 중심에서 서로 만나는 두 개의 직선에 의하여 네 개의 부분의 나누어지고, 각각의 부분이 밀착 평면 부분(22a 내지 22d)가 될 수 있다. 접촉 면의 중간 부분에 돌출 홀(23)이 형성될 수 있고, 돌출 홀(23)을 통하여 위에서 설명된 니들이 유도 튜브(12)의 아래쪽으로 돌출될 수 있다. 또한 각각의 밀착 평면 부분(22a 내지 22d)에 흡착 홀(24)이 형성되어 밀착 유닛에 의한 기체의 흡입에 의하여 접착 필름(16)의 돌출 계단(21)의 아래쪽 면에 해당하는 접착 면에 긴밀하게 접촉될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the separation device includes at least one close contact planar portion 22a to 22d formed on a contact surface where the guide tube 12 is in contact with the adhesive film 16. The guide tube 12 may have an overall cylindrical shape, and a protruding step 21 may be formed at the lower end. The protruding step 21 may have a plate shape formed to protrude from the lower surface of the induction tube 12, and the two sides facing each other are formed integrally with the rim of the induction tube 12, and the other two sides facing each other are formed integrally with the edge of the induction tube 12. The sides can be rectangular. Specifically, the protruding stairs 21 may have a plate shape in which two surfaces facing each other are curved and the other two surfaces facing each other are rectangular. The protruding step 21 may be formed integrally with the guide tube 12, and the lower end of the protruding tube 21 is cut along two dividing lines parallel to each other that are moved a certain distance on both sides based on the diameter. The protruding steps 21 may be formed by putting out the protruding stairs. The adhesive film 16 may be in contact with the lower surface of the protruding step 21, and a plurality of close contact flat portions 22a, 22b, 22c, and 22d may be formed on the lower surface of the protruding step 21. Specifically, the protruding step 21, which is generally square, is divided into four parts by two straight lines that meet each other at the center of the contact surface, and each part can become a close contact flat part 22a to 22d. A protruding hole 23 may be formed in the middle portion of the contact surface, and the needle described above may protrude downward from the guide tube 12 through the protruding hole 23. In addition, an adsorption hole 24 is formed in each of the adhesion plane portions 22a to 22d, so that the adhesion surface corresponding to the lower surface of the protruding step 21 of the adhesive film 16 is closely adhered to the adhesive film 16 by suction of gas by the adhesion unit. can be contacted.
수집 빈(18)은 제2 고정 블록(19b)의 아래쪽에 배치되어 위쪽 면이 열린 사각 박스 형상이 되면서 유도 튜브(12)의 측면 방향으로 연장되어 돌출 계단(21)에 인접할 수 있다. 수집 빈(18)이 돌출 계단(21)에 인접하는 부분에 분리 커터가 형성될 수 있고, 이에 의하여 접착 필름(16)에 부착된 마이크로 엘이디가 분리 커터에 의하여 분리되어 수집 빈(18)에 수집될 수 있다. 분리된 마이크로 엘이디는 다양한 방법으로 분리되어 수집될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.The collection bin 18 is disposed below the second fixing block 19b, has a square box shape with an open upper surface, and extends in the side direction of the guide tube 12 to be adjacent to the protruding step 21. A separation cutter may be formed in the portion where the collection bin 18 is adjacent to the protruding step 21, whereby the micro LEDs attached to the adhesive film 16 are separated by the separation cutter and collected in the collection bin 18. It can be. Separated micro LEDs can be separated and collected in various ways and are not limited to the presented examples.
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 분리 장치에 의하여 마이크로 엘이디가 분리되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.Figures 3 and 4 show an example of a process in which micro LEDs are separated by the separation device according to the present invention.
도 3 및 도 4를 참조하면, 웨이퍼와 같은 기판(44)에 배치된 다수 개의 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)를 분리하는 과정은 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)가 배치된 기판(44)이 컨베이어를 따라 이동되는 단계(P31); 유도 튜브(12) 및 니들(17)을 포함하는 분리 장치가 분리되어야 하는 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)의 위쪽으로 이동되는 단계(P32); 위치 산출을 위한 비전 유닛에 의하여 유도 튜브(12)와 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)의 상대적인 위치가 확인되는 단계(P33); 유도 튜브(12)가 아래쪽으로 이동되는 단계(P34); 니들(17)이 아래쪽으로 이동되면서 기체가 흡입되어 접착 필름(16)이 유도 튜브(12)의 아래쪽에 형성된 돌출 계단(21)에 밀착되는 단계(P35); 니들(17)이 유도 튜브(12)의 아래쪽으로 돌출되면서 접착 필름(16)에 압력을 가하여 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)가 접착 필름(16)에 부착되어 기판(44)으로부터 분리되는 단계(P36); 니들(17)의 원래의 위치로 복원되면서 기체가 유입되는 단계(P47); 및 이동 튜브(12)가 원래의 위치로 복원되는 단계(P38)를 포함한다.Referring to FIGS. 3 and 4, the process of separating a plurality of micro LEDs (45_1 to 45_N) disposed on a substrate 44 such as a wafer is to move the substrate 44 on which the micro LEDs (45_1 to 45_N) are disposed on a conveyor. Steps to follow (P31); A step (P32) in which the separation device including the guide tube 12 and the needle 17 is moved upwards of the micro LEDs 45_1 to 45_N to be separated; A step (P33) of confirming the relative positions of the guide tube 12 and the micro LEDs 45_1 to 45_N by a vision unit for position calculation; The guide tube 12 is moved downward (P34); A step (P35) in which gas is sucked as the needle 17 moves downward and the adhesive film 16 is brought into close contact with the protruding step 21 formed at the bottom of the guide tube 12; The needle 17 protrudes downward from the guide tube 12 and applies pressure to the adhesive film 16 so that the micro LEDs 45_1 to 45_N are attached to the adhesive film 16 and separated from the substrate 44 (P36) ); A step in which gas is introduced while the needle 17 is restored to its original position (P47); and a step (P38) in which the moving tube 12 is restored to its original position.
웨이퍼와 같은 기판(44)에 다수 개의 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)가 정렬되어 배치될 수 있고, 미리 결정된 정렬 방향을 벗어난 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)가 분리 대상이 될 수 있다. 유도 튜브(12)의 내부에 유도 관(41)이 형성될 수 있고, 유도 튜브(12)의 아래쪽에 돌출 계단(21)이 형성될 수 있다. 유도 관(41)은 통하여 기체가 유동될 수 있고, 유도 관(41)의 끝 부분에 돌출 계단(21)을 연결하는 유동 홀(42)이 형성될 수 있다. 유도 튜브(12)가 기판(44)의 위쪽으로부터 아래쪽으로 이동되면(P34), 돌출 계단(21)이 분리되어야 하는 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)의 위쪽에 위치할 수 있고, 니들(17)이 접착 필름(16)을 아래쪽으로 가압할 수 있다(P35). 이에 의하여 분리되어야 하는 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)가 접착 필름(16)에 접착되어 기판(44)으로부터 분리될 수 있다(P36). 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)가 분리되면 니들(17)이 위쪽으로 이동될 수 있고(P37), 이후 이동 튜브(12)가 원래의 위치로 이동될 수 있다(P38). 또한 접착 필름(16)이 이동되면서 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)가 수집 빈에 수집될 수 있다. 다양한 종류의 기판(44)에 정렬된 다양한 용도를 가진 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)가 본 발명에 따른 분리 장치에 의하여 분리될 수 있고, 기판(44)의 종류 또는 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)가 종류의 의하여 제한되지 않는다.A plurality of micro LEDs 45_1 to 45_N may be aligned and disposed on the wafer-like substrate 44, and micro LEDs 45_1 to 45_N that deviate from a predetermined alignment direction may be subject to separation. An induction tube 41 may be formed inside the induction tube 12, and a protruding step 21 may be formed below the induction tube 12. Gas can flow through the guide pipe 41, and a flow hole 42 connecting the protruding step 21 may be formed at the end of the guide pipe 41. When the guide tube 12 is moved from the top of the substrate 44 to the bottom (P34), the protruding step 21 may be located above the micro LEDs 45_1 to 45_N to be separated, and the needle 17 The adhesive film 16 can be pressed downward (P35). As a result, the micro LEDs 45_1 to 45_N to be separated can be attached to the adhesive film 16 and separated from the substrate 44 (P36). When the micro LEDs 45_1 to 45_N are separated, the needle 17 can be moved upward (P37), and then the moving tube 12 can be moved to its original position (P38). Additionally, as the adhesive film 16 moves, the micro LEDs 45_1 to 45_N may be collected in the collection bin. Micro LEDs (45_1 to 45_N) with various purposes arranged on various types of substrates 44 can be separated by the separation device according to the present invention, and the type of substrate 44 or the micro LEDs (45_1 to 45_N) can be separated. Not limited by type.
도 5는 본 발명에 따른 분리 장치를 위한 작동 설비의 실시 예를 도시한 것이다.Figure 5 shows an embodiment of the operating equipment for the separation device according to the invention.
도 5를 참조하면, 분리 장치(10)는 X축 따라 이동 가능한 이동 가이드(51)에 결합될 수 있고, 이동 가이드(52)가 Y축을 따라 이동될 수 있다. 이에 의하여 분리 장치(10)는 수직 브래킷(51)에 의하여 이동 가이드(52)에 결합될 수 있고, 분리 장치는 수직 브래킷(61)을 따라 Z축 방향을 따라 이동될 수 있다. 이에 의하여 분리 장치(10)가 XYZ-축을 따라 동될 수 있다. 컨베이어(53)를 따라 기판(54)이 이동될 수 있고, 기판(54)이 정해진 위치로 이동되면 분리 장치(10)가 기판(54)의 위쪽으로 이동될 수 있다. 카메라와 같은 위치 산출 비전 유닛(55)에 의하여 유도 튜브와 마이크로 엘이디 사이의 상대적인 위치가 확인될 수 있고, 이에 기초하여 유도 튜브와 니들의 이동 거리가 결정될 수 있다. 분리 장치(10), 이동 가이드(52). 컨베이어(53)은 직육면체 형상의 베이스 프레임(56)의 위쪽에 배치될 수 있다. 베이스 프레임(56)의 아래쪽에 분리 장치(10)의 작동을 위한 다양한 수단이 배치될 수 있다. 분리 장치(10)는 다양한 설비에 결합될 수 있고 이에 의하여 본 발명은 제한되지 않는다.Referring to FIG. 5 , the separation device 10 may be coupled to a movable guide 51 movable along the X-axis, and the movable guide 52 may be movable along the Y-axis. Thereby, the separation device 10 can be coupled to the movement guide 52 by the vertical bracket 51, and the separation device can be moved along the Z-axis direction along the vertical bracket 61. This allows the separation device 10 to be moved along the XYZ-axes. The substrate 54 may be moved along the conveyor 53, and when the substrate 54 is moved to a predetermined position, the separation device 10 may be moved above the substrate 54. The relative position between the guide tube and the micro LED can be confirmed by a position calculation vision unit 55 such as a camera, and the moving distance of the guide tube and the needle can be determined based on this. Separation device (10), movement guide (52). The conveyor 53 may be placed above the base frame 56 of a rectangular parallelepiped shape. Various means for operating the separation device 10 may be arranged below the base frame 56. Separation device 10 can be combined with various equipment and the present invention is not limited thereby.
위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.Although the present invention has been described in detail above with reference to the presented embodiments, those skilled in the art will be able to make various variations and modifications without departing from the technical spirit of the present invention by referring to the presented embodiments. . The present invention is not limited by such variations and modifications, but is limited by the claims appended below.
11: 상하 구동 유닛
12: 유도 튜브
13a, 13b: 필름 롤러
16: 접착 필름
17: 니들 유닛
18: 수집 빈
21: 돌출 계단
22a 내지 22d: 밀착 평면 부분11: up and down drive unit 12: guide tube
13a, 13b: film roller 16: adhesive film
17: Needle unit 18: Collection bin
21: protruding steps 22a to 22d: close contact plane portion
Claims (8)
유도 튜브(12)의 내부에 따라 이동되면서 유도 튜브(12)의 끝 부분으로부터 돌출 가능한 니들 유닛(17); 및
니들 유닛(17)의 의하여 상하로 이동 가능한 접착 필름(16)을 포함하는 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치.a guide tube (12) capable of moving up and down;
A needle unit 17 capable of protruding from the end of the guide tube 12 while moving along the inside of the guide tube 12; and
An interposing micro LED separation device including an adhesive film (16) that can be moved up and down by a needle unit (17).
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020220116611A KR20240037727A (en) | 2022-09-15 | 2022-09-15 | An Interposing Type of an Apparatus for Detaching a Micro LED |
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| KR1020220116611A KR20240037727A (en) | 2022-09-15 | 2022-09-15 | An Interposing Type of an Apparatus for Detaching a Micro LED |
Publications (1)
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Citations (2)
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E902 | Notification of reason for refusal |