KR20240028785A - Cross-sectional inspection device of glass substrate and inspection method using it - Google Patents

Cross-sectional inspection device of glass substrate and inspection method using it Download PDF

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이선필
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 유리기판의 단면 검사 장치.유리기판에 대해 제1 경사각(Θ)을 가지며, 유리기판의 개질 영역 상부면 이미지를 생성하는 제1 비전 유닛과, 상기 유리기판에 대해 상기 제1 경사각과 상이한 제2 경사각(Θ+Δθ)을 가지며, 상기 유리기판의 개질 영역 하부면 이미지를 생성하는 제2 비전 유닛과, 상기 제1 비전 유닛 및 상기 제2 비전 유닛과 전기적으로 연결되며, 상기 제1 비전 유닛과 상기 제2 비전 유닛으로부터 생성된 이미지를 합성하여 최종 이미지를 출력하는 이미지 출력부를 포함하며, 상기 이미지 출력부에 출력된 최종 이미지를 기반으로 실제 개질 영역의 깊이를 계측하는 것을 특징으로 한다.A cross-sectional inspection device for a glass substrate according to an embodiment of the present invention. A first vision unit having a first inclination angle (Θ) with respect to the glass substrate and generating an image of the upper surface of the modified area of the glass substrate, and A second vision unit has a second tilt angle (Θ+Δθ) different from the first tilt angle and generates an image of the lower surface of the modified area of the glass substrate, and is electrically connected to the first vision unit and the second vision unit. It includes an image output unit that synthesizes the images generated from the first vision unit and the second vision unit to output a final image, and measures the depth of the actual modified area based on the final image output to the image output unit. It is characterized by:

Description

유리기판의 단면 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법{Cross-sectional inspection device of glass substrate and inspection method using it} Cross-sectional inspection device of glass substrate and inspection method using it}

본 발명은 유리기판의 단면 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 두 대의 비전 유닛을 활용하여 유리기판 단면의 개질 영역 깊이를 비파괴적으로 검사하기 위한 장치 및 그 장치를 이용한 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a cross-sectional inspection device for a glass substrate and an inspection method using the same. More specifically, a device for non-destructively inspecting the depth of the modified area of a cross-section of a glass substrate using two vision units, and inspection using the device. It's about method.

최근의 IT기술은 급격한 성장과 함께 평면 디스플레이의 수요 증가와 기술 또한 급속도로 발전하고 있다. 특히 모바일 관련 제품들은 제품의 수요 교체주기가 다른 일반 가전제품에 비해 상대적으로 빨라 모바일 디스플레이 생산이 가속화되고 설비 투자도 계속 확대되어 가고 있다. 이러한 고품질 평면 디스플레이 제작을 위해서는 일정한 품질과 신뢰도를 확인할 수 있는 검사 장비뿐만 아니라 검사 속도까지 만족시킬 수 있는 자동화된 장비가 필요하다. 기존에는 유리 절단을 위해 레이저 가공 공정을 진행한 후 유리 내부 단면 개질 깊이를 알아보기 위해서 파괴 샘플링 검사를 진행했다. 그러나 이러한 경우 검사 과정이 복잡하고 많은 시간이 소요되며 작업 관리 또한 쉽지 않다. 이에 따라 최근에는 유리의 단면 개질 깊이 측정 시 높은 신뢰도와 고속화된 자동 검사 장비로 구현하고 비 파괴할 수 있는 검사 방법이 요구되고 있는 실정이다. Recently, along with the rapid growth of IT technology, demand for flat displays and technology are also rapidly developing. In particular, mobile-related products have a relatively faster demand replacement cycle than other general home appliances, so mobile display production is accelerating and facility investment continues to expand. In order to produce such high-quality flat displays, not only inspection equipment that can confirm consistent quality and reliability, but also automated equipment that can satisfy inspection speed is required. Previously, a laser processing process was performed to cut glass, and then a destructive sampling test was performed to determine the depth of modification of the internal cross-section of the glass. However, in these cases, the inspection process is complex and time-consuming, and task management is also not easy. Accordingly, in recent years, there has been a demand for an inspection method that can be implemented with high reliability and high-speed automatic inspection equipment and is non-destructive when measuring the cross-sectional modification depth of glass.

한국공개특허 제10-2008-0037927호는 유리기판의 품질 검사장치에 관한 것으로, 이송유닛을 통해 공정설비로 공급 시, 그 유리기판이 이송되는 상태에서 In-stiu의 검사방식으로 너울 발생 여부를 실시간 검사하거나, 또는 유리기판이 정지해 있을 때 실시간으로 너울 발생 여부를 검사하는 검사유닛을 구성함에 있어서, 상기 검사유닛은, 유리기판의 표면을 투과하는 조명을 조사하는 조명부; 상기 조명부에 의해 유리기판으로 조명 투과시, 상기 유리기판을 투과하는 조명으로부터 발생하는 유리기판 표면의 그림자 영상을 촬영하는 영상처리부; 및, 상기 영상처리부로부터 촬영된 그림자 영상으로부터 유리기판의 표면에 대한 너울 발생 여부를 검사하는 제어부를 포함하여 구성함을 특징으로 한다.Korean Patent Publication No. 10-2008-0037927 relates to a quality inspection device for glass substrates. When the glass substrate is supplied to the process equipment through a transfer unit, the presence of swells is checked using the In-stiu inspection method while the glass substrate is being transferred. In constructing an inspection unit that performs real-time inspection or inspects whether swells occur in real time when the glass substrate is at rest, the inspection unit includes: a lighting unit that irradiates light penetrating the surface of the glass substrate; an image processing unit that captures a shadow image on the surface of the glass substrate generated from the light passing through the glass substrate when light is transmitted through the lighting unit to the glass substrate; And, it is characterized by comprising a control unit that checks whether swells occur on the surface of the glass substrate from the shadow image captured by the image processing unit.

한국공개특허 제10-2008-0037927호(2008.05.02)Korean Patent Publication No. 10-2008-0037927 (2008.05.02)

본 발명의 일 실시예는 두 대의 비전 유닛을 통해 유리기판 개질 영역의 상부면 이미지 및 하부면 이미지를 하나의 출력화면에 동시에 표현함으로써, 개질 영역의 상부면과 하부면 사이의 상대 거리인 개질 영역 깊이 값을 측정하고 측정된 개질 영역의 깊이 값으로부터 실제 개질 영역의 깊이 값을 환산하여 유리 단면 개질 영역의 깊이 측정에 있어서 신뢰성 및 검사 속도를 향상시키는 유리기판 단면 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법을 제공하고자 한다.One embodiment of the present invention displays the upper surface image and the lower surface image of the modified area of the glass substrate simultaneously on one output screen through two vision units, thereby determining the modified area, which is the relative distance between the upper and lower surfaces of the modified area. Provides a glass substrate cross-section inspection device and an inspection method using the same that improve reliability and inspection speed in measuring the depth of the glass cross-section modification zone by measuring the depth value and converting the depth value of the actual modification zone from the measured depth value of the modification zone. I want to do it.

본 발명의 일 실시예에 따른 유리기판의 단면 검사 장치는 유리기판에 대해 제1 경사각(Θ)을 가지며, 유리기판의 개질 영역 상부면 이미지를 생성하는 제1 비전 유닛과, 상기 유리기판에 대해 상기 제1 경사각과 상이한 제2 경사각(Θ+

Figure pat00002
)을 가지며, 상기 유리기판의 개질 영역 하부면 이미지를 생성하는 제2 비전 유닛과, 상기 제1 비전 유닛 및 상기 제2 비전 유닛과 전기적으로 연결되며, 상기 제1 비전 유닛과 상기 제2 비전 유닛으로부터 생성된 이미지를 합성하여 최종 이미지를 출력하는 이미지 출력부를 포함하며, 상기 이미지 출력부에 출력된 최종 이미지를 기반으로 실제 개질 영역의 깊이를 계측하는 것을 특징으로 한다.A cross-sectional inspection device for a glass substrate according to an embodiment of the present invention includes a first vision unit having a first inclination angle Θ with respect to the glass substrate and generating an image of the upper surface of the modified area of the glass substrate, and A second inclination angle (Θ+) different from the first inclination angle
Figure pat00002
), and is electrically connected to a second vision unit that generates an image of the lower surface of the modified area of the glass substrate, the first vision unit, and the second vision unit, and is electrically connected to the first vision unit and the second vision unit. It includes an image output unit that synthesizes the images generated from and outputs a final image, and measures the depth of the actual modified area based on the final image output to the image output unit.

상기 제2 비전 유닛은 상기 제1 비전 유닛과 동일한 제1 경사각을 가진 상태에서 상기 개질 영역 상부면의 이미지를 생성하고, 상기 제1 비전 유닛으로부터 생성된 상기 개질 영역 상부면 이미지와 상기 제2 비전 유닛으로부터 생성된 상기 개질 영역 상부면 이미지가 일치되도록 제2 경사각으로 조절하는 것을 특징으로 한다.The second vision unit generates an image of the upper surface of the modified area at a first inclination angle equal to that of the first vision unit, and the image of the upper surface of the modified area generated from the first vision unit is combined with the second vision unit. The second inclination angle is adjusted to match the upper surface image of the modified area generated from the unit.

상기 유리기판을 로딩한 후 상기 유리 기판을 설정된 방향 및 속도로 이동시키는 유리기판 이송부를 더 포함하며, 상기 유리 기판 이송부는 컨베이어 형태인 것을 특징으로 한다. It further includes a glass substrate transfer unit that moves the glass substrate in a set direction and speed after loading the glass substrate, and the glass substrate transfer unit is characterized in that it is in the form of a conveyor.

상기 제2 비전 유닛은 높이 변위 값을 조절하여 상기 유리기판의 개질 영역 하부면에 비전 초점이 맞춰진 상태에서 상기 개질 영역 하부면 이미지를 생성하는 것을 특징으로 한다.The second vision unit is characterized in that it generates an image of the lower surface of the modified area of the glass substrate with the vision focused on the lower surface of the modified area of the glass substrate by adjusting the height displacement value.

상기 이미지 출력부에서 출력된 최종 이미지를 통해 유리기판의 개질 영역 깊이를 측정하고, 아래의 < 수학식 1 >을 이용하여 실제 개질 영역의 깊이를 계측하는 것을 특징으로 한다.The depth of the modified area of the glass substrate is measured through the final image output from the image output unit, and the depth of the actual modified area is measured using <Equation 1> below.

< 수학식 1 ><Equation 1>

실제 개질 영역의 깊이(d) = 계측길이E 유리의 굴절율E tan-1 (Θ+Δθ) ° Ecos-1 (Θ+Δθ) °Depth of actual modified zone (d) = Measured length E Refractive index of glass E tan -1 (Θ+Δθ) ° Ecos -1 (Θ+Δθ) °

상기 최종 출력 이미지가 기 설정된 밝기 값 이하인 경우, 유리기판 바닥면에 후면광 유닛(back-light unit) 또는 반사판을 삽입하여 상기 최종 출력 이미지의 밝기를 증가시키는 것을 특징으로 한다. When the final output image is below a preset brightness value, the brightness of the final output image is increased by inserting a back-light unit or a reflector on the bottom surface of the glass substrate.

본 발명의 일 실시예에 따른 유리기판 단면 검사 장치를 이용한 검사 방법은 유리기판 개질 영역의 상부면 이미지를 측정하는 제1 비전 유닛 및 하부면 이미지를 측정하는 제2 비전 유닛을 포함하는 유리기판 단면 검사 장치를 이용한 유리기판 단면 검사 방법에 있어서, 상기 제1 비전 유닛을 통해 상기 유리기판 개질 영역 상부면의 이미지를 생성하는 단계와, 상기 제2 비전 유닛을 통해 유리기판 개질 영역 상부면의 이미지를 생성하는 단계와, 상기 제2 비전 유닛의 경사각을 조절하여 두 개의 비전 유닛으로부터 얻어진 상부면 이미지가 일치되도록 한 후 상기 제2 비전 유닛의 경사각(Θ+Δθ)을 고정시키는 단계와, 상기 제2 비전 유닛의 높이 변위 값을 변경하여 상기 유리기판 개질 영역 하부면의 이미지를 생성하는 단계와, 상기 제1 비전 유닛으로부터 얻어진 개질 영역 상부면의 이미지와 상기 제2 비전 유닛으로부터 얻어진 개질 영역 하부면의 이미지를 합성하여 최종 이미지를 생성하는 단계와, 상기 최종 이미지를 통해 상기 개질 영역의 상대 거리를 측정하고, 이를 기반으로 실제 개질 영역의 깊이를 계산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. An inspection method using a glass substrate cross-section inspection device according to an embodiment of the present invention includes a first vision unit that measures the upper surface image of the modified area of the glass substrate and a second vision unit that measures the lower surface image. A method for inspecting a cross-section of a glass substrate using an inspection device, comprising: generating an image of the upper surface of the modified area of the glass substrate through the first vision unit; and generating an image of the upper surface of the modified area of the glass substrate through the second vision unit. generating, adjusting the inclination angle of the second vision unit so that the upper surface images obtained from the two vision units match, and then fixing the inclination angle (Θ+Δθ) of the second vision unit; generating an image of the lower surface of the modified area of the glass substrate by changing the height displacement value of the vision unit; and an image of the upper surface of the modified area obtained from the first vision unit and the lower surface of the modified area obtained from the second vision unit. The method includes generating a final image by compositing images, measuring the relative distance of the modified area through the final image, and calculating the depth of the actual modified area based on this.

상기 실제 개질 영역의 깊이를 계측하는 단계는 아래의 < 수학식 1 >을 이용하는 것을 특징으로 한다.The step of measuring the depth of the actual reformed area is characterized by using <Equation 1> below.

< 수학식 1 ><Equation 1>

실제 개질 영역의 깊이(d) = 계측길이E 유리의 굴절율E tan-1 (Θ+Δθ) ° Ecos-1 (Θ+Δθ) °Depth of actual modified zone (d) = Measured length E Refractive index of glass E tan -1 (Θ+Δθ) ° Ecos -1 (Θ+Δθ) °

개시된 기술은 다음의 효과를 가질 수 있다. 다만, 특정 실시예가 다음의 효과를 전부 포함하여야 한다거나 다음의 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 개시된 기술의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.The disclosed technology can have the following effects. However, since it does not mean that a specific embodiment must include all of the following effects or only the following effects, the scope of rights of the disclosed technology should not be understood as being limited thereby.

본 발명의 일 실시예에 따른 유리기판 단면 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법은 두 대의 비전 유닛을 통해 유리기판 개질 영역의 상부면 이미지 및 하부면 이미지를 하나의 출력화면에 동시에 표현함으로써, 개질 영역의 상부면과 하부면 사이의 상대 거리인 개질 영역 깊이 값을 측정하고 측정된 개질 영역의 깊이 값으로부터 실제 개질 영역의 깊이 값을 환산하여 유리 단면 개질 영역의 깊이 측정에 있어서 신뢰성 및 검사 속도를 향상시키는 효과를 제공할 수 있다.A glass substrate cross-sectional inspection device and an inspection method using the same according to an embodiment of the present invention simultaneously display the upper and lower surface images of the modified area of the glass substrate on one output screen through two vision units, thereby Measuring the depth value of the modified area, which is the relative distance between the upper and lower surfaces, and converting the depth value of the actual modified area from the measured depth value of the modified area, improves reliability and inspection speed in measuring the depth of the modified area on the glass cross-section. It can provide an effect.

도 1은 유리기판의 내부 단면을 관찰하기 위한 일반적인 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유리기판 단면 검사 장치의 구성을 도시한 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리기판의 단면 검사 장치를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유리기판의 단면 검사 장치를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 유리기판의 단면 검사 장치를 이용한 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 6 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리기판의 단면 검사 방법을 설명하기 위한 도면이다. Figure 1 is a diagram for explaining a general method for observing the internal cross section of a glass substrate.
Figure 2 is a configuration diagram showing the configuration of a glass substrate cross-section inspection device according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 shows a cross-sectional inspection device for a glass substrate according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 shows a cross-sectional inspection device for a glass substrate according to another embodiment of the present invention.
Figure 5 is a flowchart for explaining an inspection method using a cross-section inspection device for a glass substrate according to an embodiment of the present invention.
6 to 10 are diagrams for explaining a cross-section inspection method of a glass substrate according to an embodiment of the present invention.

본 발명에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로, 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 본 발명에서 제시된 목적 또는 효과는 특정 실시예가 이를 전부 포함하여야 한다거나 그러한 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 본 발명의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.Since the description of the present invention is only an example for structural or functional explanation, the scope of the present invention should not be construed as limited by the examples described in the text. In other words, since the embodiments can be modified in various ways and can have various forms, the scope of rights of the present invention should be understood to include equivalents that can realize the technical idea. In addition, the purpose or effect presented in the present invention does not mean that a specific embodiment must include all or only such effects, so the scope of the present invention should not be understood as limited thereby.

한편, 본 출원에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.Meanwhile, the meaning of the terms described in this application should be understood as follows.

"제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.Terms such as “first” and “second” are used to distinguish one component from another component, and the scope of rights should not be limited by these terms. For example, a first component may be named a second component, and similarly, the second component may also be named a first component.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어"있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어"있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.When a component is referred to as being “connected” to another component, it should be understood that it may be directly connected to the other component, but that other components may exist in between. On the other hand, when a component is referred to as being “directly connected” to another component, it should be understood that there are no other components in between. Meanwhile, other expressions that describe the relationship between components, such as "between" and "immediately between" or "neighboring" and "directly neighboring" should be interpreted similarly.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다"또는 "가지다" 등의 용어는 실시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Singular expressions should be understood to include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise, and terms such as “comprise” or “have” refer to implemented features, numbers, steps, operations, components, parts, or them. It is intended to indicate the existence of a combination, and should be understood as not precluding the possibility of the presence or addition of one or more other features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

각 단계들에 있어 식별부호(예를 들어, a, b, c 등)는 설명의 편의를 위하여 사용되는 것으로 식별부호는 각 단계들의 순서를 설명하는 것이 아니며, 각 단계들은 문맥상 명백하게 특정 순서를 기재하지 않는 이상 명기된 순서와 다르게 일어날 수 있다. 즉, 각 단계들은 명기된 순서와 동일하게 일어날 수도 있고 실질적으로 동시에 수행될 수도 있으며 반대의 순서대로 수행될 수도 있다.For each step, identification codes (e.g., a, b, c, etc.) are used for convenience of explanation. The identification codes do not explain the order of each step, and each step clearly follows a specific order in context. Unless specified, events may occur differently from the specified order. That is, each step may occur in the same order as specified, may be performed substantially simultaneously, or may be performed in the opposite order.

여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.All terms used herein, unless otherwise defined, have the same meaning as commonly understood by a person of ordinary skill in the field to which the present invention pertains. Terms defined in commonly used dictionaries should be interpreted as consistent with the meaning they have in the context of the related technology, and cannot be interpreted as having an ideal or excessively formal meaning unless clearly defined in the present application.

도 1은 유리기판의 내부 단면을 관찰하기 위한 일반적인 방법을 설명하기 위한 도면이다. Figure 1 is a diagram for explaining a general method for observing the internal cross section of a glass substrate.

도 1을 참조하면, 도 1(i)에 도시된 바와 같이 레이저 가공 공정을 통해 개질 영역(100a)이 형성된 유리기판(100)을 물질적으로 분단시킨다. 이후, 고 배율 비전 또는 광학 현미경을 통해 얻어진 이미지(도 1(ii) 참조.)를 통해 가공된 유리기판 내부의 단면 개질 영역 깊이를 계측할 수 있다. 이러한 방법은 검사 과정이 복잡하고 많은 시간이 소요되며 작업 관리가 쉽지 않은 단점이 있다. 본 발명은 이러한 단점을 극복하고 비 파괴 검사를 통해 효과적으로 빠르게 가공된 개질 영역의 깊이를 측정할 수 있는 장치 및 방법을 개시하고자 한다. Referring to FIG. 1, the glass substrate 100 on which the modified region 100a is formed is physically divided through a laser processing process, as shown in FIG. 1(i). Thereafter, the depth of the cross-sectional modification region inside the processed glass substrate can be measured through images obtained through high-magnification vision or an optical microscope (see FIG. 1(ii)). These methods have the disadvantages that the inspection process is complicated, takes a lot of time, and is not easy to manage. The present invention is intended to overcome these shortcomings and disclose an apparatus and method that can effectively and quickly measure the depth of the processed modified region through non-destructive testing.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유리기판 단면 검사 장치의 구성을 도시한 구성도이다. Figure 2 is a configuration diagram showing the configuration of a glass substrate cross-section inspection device according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 유리기판 단면 검사 장치(200)는 유리기판 이송부(210), 이미지 촬영부(220), 이미지 출력부(230) 및 측정부(240)로 구성될 수 있다. Referring to FIG. 2, the glass substrate cross-section inspection device 200 may be comprised of a glass substrate transfer unit 210, an image capture unit 220, an image output unit 230, and a measurement unit 240.

유리기판 이송부(210)는 레이저 가공으로 개질 영역이 형성된 유리기판을 로딩한 후 일정 속도로 움직여 유리기판을 이동시킨다. The glass substrate transfer unit 210 loads a glass substrate on which a modified area is formed through laser processing and then moves the glass substrate at a constant speed.

이미지 촬영부(220)는 유리기판에 대해 경사각 조절이 가능한 제1 비전부(220a) 및 제2 비전부(220b)를 포함하며, 유리기판의 개질 영역 상부면 및 하부면의 이미지를 촬영한다. 여기서, 제1 비전부(220a)는 유리기판의 개질 영역 상부면의 이미지를 생성하며, 제2 비전부(220b)는 유리기판의 개질 영역 상부면 및 하부면의 이미지를 생성한다. The image capturing unit 220 includes a first vision unit 220a and a second vision unit 220b capable of adjusting an inclination angle with respect to the glass substrate, and captures images of the upper and lower surfaces of the modified area of the glass substrate. Here, the first vision unit 220a generates an image of the upper surface of the modified area of the glass substrate, and the second vision unit 220b generates images of the upper and lower surfaces of the modified area of the glass substrate.

이미지 출력부(230)는 이미지 촬영부(220)에서 생성된 유리기판의 개질 영역 이미지를 출력한다. 이미지 출력부(230)는 1차적으로 제1 비전부(220a) 및 제2 비전부(220b)에서 각각 생성된 개질 영역 상부면 이미지를 동시에 출력할 수 있다. 이때, 제어부(235)를 통해 제2 비전부(220b)의 경사각이 조절되며, 제어부(235)는 제2 비전부(220b)의 경사각을 조절하면서 실시간으로 이미지 출력부(230)를 통해 출력된 두 개의 이미지를 확인할 수 있다. 제2 비전부(220b)의 경사각은 출력된 두 개의 이미지가 일치되는 시점에서 고정 값으로 설정된다. The image output unit 230 outputs an image of the modified area of the glass substrate generated by the image capture unit 220. The image output unit 230 may simultaneously output the upper surface images of the modified area generated in the first vision unit 220a and the second vision unit 220b. At this time, the inclination angle of the second vision unit 220b is adjusted through the control unit 235, and the control unit 235 adjusts the inclination angle of the second vision unit 220b to output the image output through the image output unit 230 in real time. You can check two images. The inclination angle of the second vision unit 220b is set to a fixed value when the two output images match.

또한, 이미지 출력부(230)는 2차적으로 제1 비전부(220a) 및 경사각이 조절된 제2 비전부(220b)에서 각각 생성된 개질 영역 상부면 및 하부면 이미지를 동시에 출력한다. 이때, 제어부(235)를 통해 제2 비전부(220b)의 높이 변위 값이 조절되며, 높이 변위 값은 유리기판의 개질 영역 하부면에 비전 초점이 맞추어지도록 조절된다. Additionally, the image output unit 230 simultaneously outputs images of the upper and lower surfaces of the modified area generated by the first vision unit 220a and the second vision unit 220b with the tilt angle adjusted, respectively. At this time, the height displacement value of the second vision unit 220b is adjusted through the control unit 235, and the height displacement value is adjusted so that the vision is focused on the lower surface of the modified area of the glass substrate.

측정부(240)는 이미지 출력부(230)에서 2차적으로 출력된 유리기판의 개질 영역의 상부면 및 하부면 이미지를 통해 개질 영역의 상대 거리를 측정하고, 이를 기반으로 유리기판 개질 영역의 실제 깊이 값을 계산한다. The measuring unit 240 measures the relative distance of the modified area through the upper and lower surface images of the modified area of the glass substrate that are output secondarily from the image output unit 230, and based on this, determines the actual modified area of the glass substrate. Calculate the depth value.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리기판의 단면 검사 장치를 도시한 것이다.Figure 3 shows a cross-sectional inspection device for a glass substrate according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 유리기판의 단면 검사 장치(300)는 유리기판 이송부(미도시), 제1 비전 유닛(310) 및 제2 비전 유닛(320)으로 구성될 수 있다. 도시되지는 않았으나, 제1 비전 유닛(310) 및 제2 비전 유닛(320)과 전기적으로 연결되어 제1 비전 유닛(310) 및 제2 비전 유닛(320)으로부터 촬영된 이미지를 보여주는 이미지 출력부(미도시)를 더 포함할 수 있다. Referring to FIG. 3, the cross-sectional inspection device 300 for a glass substrate may be comprised of a glass substrate transfer unit (not shown), a first vision unit 310, and a second vision unit 320. Although not shown, an image output unit ( (not shown) may further be included.

먼저, 유리기판 이송부는 레이저로 가공된 개질 영역을 포함하는 유리기판이 로딩되고, 로딩된 유리기판을 일정 속도로 이동시켜 유리기판의 단면 검사가 용이하도록 한다. 유리기판 이송부는 사용자가 설정한 방향 및 속도로 움직일 수 있다. 유리기판 이송부는 컨베이어 형태로 형성될 수 있으나 로딩된 유리기판을 일정 속도로 이송할 수 있는 수단이면 반드시 이에 한정하지는 않는다. First, the glass substrate transfer unit loads a glass substrate including a modified area processed with a laser, and moves the loaded glass substrate at a constant speed to facilitate cross-sectional inspection of the glass substrate. The glass substrate transfer unit can move in the direction and speed set by the user. The glass substrate transfer unit may be formed in the form of a conveyor, but is not necessarily limited to this as long as it is a means that can transfer the loaded glass substrate at a constant speed.

제1 비전 유닛(310)은 유리기판의 개질 영역 상부면 이미지를 생성하기 위한 것으로, 제1 비전 유닛(310)은 유리기판에 대해 일정 각도의 경사각을 가지도록 위치된다. 이때, 제1 비전 유닛(310)의 경사각은 유리기판의 개질 영역 상부면에 비전 초점이 맞추어지는 각도로 설정된다.The first vision unit 310 is used to generate an image of the upper surface of the modified area of the glass substrate. The first vision unit 310 is positioned to have a predetermined inclination angle with respect to the glass substrate. At this time, the inclination angle of the first vision unit 310 is set to an angle at which the vision is focused on the upper surface of the modified area of the glass substrate.

제2 비전 유닛(320)은 유리기판의 개질 영역 상부면 및 하부면 이미지 생성을 위한 것이다. 제2 비전 유닛(320)은 유리기판의 개질 영역 상부면 촬영 시 제1 비전 유닛(310)과 동일한 경사각을 가지며, 제2 비전 유닛(320)을 통해 생성된 개질 영역 상부면 이미지를 생성된 이미지와 제1 비전 유닛(310)을 통해 생성된 개질 영역 상부면 이미지가 일치되도록 제2 비전 유닛(320)의 경사각을 조절할 수 있다. 이 과정에서 제2 비전 유닛(320)은 제1 비전 유닛(310)과 동일한 이미지를 얻기 위해 제1 비전 유닛(310)의 제1 경사각(Θ)을 기준으로 일정 각도(θ) 더 기울어진 제2 경사각(Θ+Δθ)으로 조절된다.The second vision unit 320 is for generating images of the upper and lower surfaces of the modified area of the glass substrate. The second vision unit 320 has the same inclination angle as the first vision unit 310 when photographing the upper surface of the modified area of the glass substrate, and the image of the upper surface of the modified area generated through the second vision unit 320 is used to generate the image. The inclination angle of the second vision unit 320 may be adjusted so that the upper surface image of the modified area generated through the first vision unit 310 matches the image. In this process, the second vision unit 320 is tilted at a certain angle θ based on the first inclination angle Θ of the first vision unit 310 to obtain the same image as the first vision unit 310. 2 It is adjusted by the inclination angle (Θ+Δθ).

또한, 제2 비전 유닛(320)은 유리기판의 개질 영역 하부면 이미지를 생성하기 위해 높이 변위 값(Z)을 조절하여 유리기판의 개질 영역 하부면에 비전 초점이 맞춰지도록 할 수 있다. Additionally, the second vision unit 320 may adjust the height displacement value (Z) to create an image of the lower surface of the modified area of the glass substrate so that the vision is focused on the lower surface of the modified area of the glass substrate.

이미지 출력부는 제1 비전 유닛(310) 및 제2 비전 유닛(320)을 통해 얻어진 개질 영역 상부면 이미지 및 개질 영역 하부면 이미지를 출력하여 표현한다. 이미지 출력부를 통해 출력된 이미지를 기반으로 개질 영역 상부면 이미지와 개질 영역 하부면 이미지 사이의 상대 거리를 측정하고, 이를 기반으로 실제 개질 영역의 깊이를 계산할 수 있다. The image output unit outputs and expresses the upper surface image of the modified area and the lower surface image of the modified area obtained through the first vision unit 310 and the second vision unit 320. Based on the image output through the image output unit, the relative distance between the upper image of the modified area and the lower image of the modified area can be measured, and the depth of the actual modified area can be calculated based on this.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유리기판의 단면 검사 장치를 도시한 것이다.Figure 4 shows a cross-sectional inspection device for a glass substrate according to another embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 도 3과 같은 유리기판의 단면 검사 장치에 후면광 유닛(back-light unit) 또는 반사판(410)이 추가된 형태로, 유리기판의 개질 영역 하부면 측정 시 유리기판의 광 투과율이 낮거나 개질 영역의 깊이가 깊은 경우, 상부면 이미지에 비해 하부면 이미지의 밝기가 어두워 정확한 하부면 이미지 관찰이 어려울 수 있다. 예를 들어, 상기 최종 출력 이미지가 기 설정된 밝기 값 이하인 경우, 도 4와 같이 유리기판 바닥면에 반사판을 삽입하면 개질 영역 이미지의 밝기를 증가시켜 개질 깊이의 측정 정확도를 향상시킬 수 있다. Referring to FIG. 4, a back-light unit or reflector 410 is added to the cross-sectional inspection device of a glass substrate as shown in FIG. 3, and the light of the glass substrate is measured when measuring the lower surface of the modified area of the glass substrate. If the transmittance is low or the depth of the modified area is deep, the brightness of the lower surface image is darker than the upper surface image, making it difficult to accurately observe the lower surface image. For example, if the final output image is below the preset brightness value, inserting a reflector into the bottom surface of the glass substrate as shown in FIG. 4 can increase the brightness of the modified area image and improve the measurement accuracy of the modification depth.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 유리기판의 단면 검사 장치를 이용한 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다. Figure 5 is a flowchart for explaining an inspection method using a cross-section inspection device for a glass substrate according to an embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 레이저 가공으로 개질 영역이 형성된 유리기판을 검사 장치의 유리기판 이송부에 로딩시킨다. Referring to FIG. 5, a glass substrate on which a modified area is formed through laser processing is loaded into the glass substrate transfer unit of the inspection device.

이어서, 도 6과 같이 유리기판의 개질 영역 상부면에 비전 초점이 맞춰지도록 제1 비전 유닛의 경사각을 조절하고, 제1 비전 유닛을 통해 유리기판 개질 영역 상부면의 이미지를 생성한다(단계 S500). 도 6은 제1 경사각(Θ)을 가지는 제1 비전 유닛(600)으로부터 출력된 개질 영역 상부면의 이미지(A)를 도시하고 있다. Next, the inclination angle of the first vision unit is adjusted so that the vision is focused on the upper surface of the modified area of the glass substrate as shown in FIG. 6, and an image of the upper surface of the modified area of the glass substrate is generated through the first vision unit (step S500). . FIG. 6 shows an image A of the upper surface of the modified area output from the first vision unit 600 having a first inclination angle Θ.

다음으로, 도 7과 같이 제2 비전 유닛(710)의 경사각을 제1 비전 유닛(700)과 같은 제1 경사각으로 조절하고, 제2 비전 유닛(710)을 통해 유리기판 개질 영역 상부면의 이미지를 생성한다(단계 S510). 도 7은 제1 경사각(Θ)을 가지는 제2 비전 유닛(710)으로부터 출력된 개질 영역 상부면의 이미지(B)를 도시하고 있다.Next, as shown in FIG. 7, the inclination angle of the second vision unit 710 is adjusted to the same first inclination angle as the first vision unit 700, and an image of the upper surface of the glass substrate modification area is captured through the second vision unit 710. Generate (step S510). FIG. 7 shows an image B of the upper surface of the modified area output from the second vision unit 710 having the first inclination angle Θ.

이어서, 도 8과 같이 제2 비전 유닛(810)의 경사각을 조절하여 두 개의 비전 유닛으로부터 얻어진 상부면 이미지가 일치되도록 한다(단계 S520). 더욱 구체적으로 설명하면, 제1 비전 유닛(800)으로부터 얻어진 이미지(A)와 제2 비전 유닛(810)으로부터 얻어진 이미지(B)를 비교한 후 제2 비전 유닛(810)의 경사각을 조절하여 'C'와 같이 상부면 이미지가 일치되도록 한다. 이때, 제2 비전 유닛(810)의 조절된 경사각을 제2 경사각(Θ+Δθ)이라 한다. 제2 비전 유닛(810)의 경사각 미세 조절을 통해 두 개의 비전 유닛의 상부면 이미지가 정확히 일치되면 제1 비전 유닛(800)과 제2 비전 유닛(810)의 경사각은 고정 값으로 설정한다. Next, as shown in FIG. 8, the inclination angle of the second vision unit 810 is adjusted so that the upper surface images obtained from the two vision units match (step S520). More specifically, after comparing the image (A) obtained from the first vision unit 800 and the image (B) obtained from the second vision unit 810, the inclination angle of the second vision unit 810 is adjusted to ' Make sure the upper surface image matches as shown in C'. At this time, the adjusted tilt angle of the second vision unit 810 is referred to as the second tilt angle (Θ+Δθ). When the upper surface images of the two vision units exactly match through fine adjustment of the inclination angle of the second vision unit 810, the inclination angle of the first vision unit 800 and the second vision unit 810 is set to a fixed value.

다음으로, 도 9과 같이 제2 비전 유닛(910)의 높이 변위 값(Z)를 변경하여 유리기판 내부로 비전 초점을 이동시켜 개질 영역 하부면의 이미지를 생성한다(단계 S530). 제2 비전 유닛(910)의 높이 변위 값의 조절은 비전 초점이 개질 영역이 끝나는 지점에 도달한 시점에서 중지하는 것이 바람직하다. 이때, 도 8에서와 같이 제1 비전 유닛과 제2 비전 유닛의 개질 영역 상부면 이미지를 일치시켰으므로, 제1 비전 유닛이 제2 비전 유닛의 개질 영역 상부면 이미지의 관찰을 대신할 수 있다. Next, as shown in FIG. 9, the height displacement value (Z) of the second vision unit 910 is changed to move the vision focus inside the glass substrate to generate an image of the lower surface of the modified area (step S530). It is desirable to stop adjusting the height displacement value of the second vision unit 910 when the vision focus reaches the end of the modified area. At this time, since the upper surface images of the modified area of the first and second vision units are matched as shown in FIG. 8, the first vision unit can replace the observation of the upper surface image of the modified area of the second vision unit.

그 다음, 제1 비전 유닛으로부터 얻어진 개질 영역 상부면의 이미지와 제2 비전 유닛으로부터 얻어진 개질 영역 하부면의 이미지를 합성한다(단계 S540). 합성된 이미지(D)를 분석하여 개질 영역의 시작 상부면 이미지로부터 개질 영역이 끝나는 하부면 이미지의 상대 거리를 측정(단계 S550)하여 실제 개질 영역의 깊이를 계산한다(단계 S560). 실제 개질 영역의 깊이는 아래의 < 수학식 1 >과 같이 계산될 수 있다. Next, the image of the upper surface of the modified area obtained from the first vision unit and the image of the lower surface of the modified area obtained from the second vision unit are synthesized (step S540). By analyzing the synthesized image (D), the relative distance between the upper surface image where the modified region starts and the lower surface image where the modified region ends is measured (step S550) to calculate the actual depth of the modified region (step S560). The depth of the actual reformed region can be calculated as shown in Equation 1 below.

< 수학식 1 ><Equation 1>

실제 개질 영역의 깊이(d) = 계측길이 × 유리의 굴절율 × tan-1 (Θ+Δθ) ° × cos-1 (Θ+Δθ) °Depth of actual modified area (d) = measured length × refractive index of glass × tan -1 (Θ+Δθ) ° × cos -1 (Θ+Δθ) °

도 10을 참조하여 유리기판의 개질 영역 깊이를 측정 예시를 설명하면 다음과 같다. 먼저, 유리기판 내부의 굴절률(n)이 1.5, 제2 비전 유닛의 회전 각도(Δθ)가 30°, 제1 비전 유닛과 제2 비전 유닛으로부터 얻어진 개질 영역의 깊이를 33.3μm 라고하면 실제 개질 영역의 깊이(d)는 < 수학식 1 >에 따라 33.3μm ×1.5 × tan-130°× cos-130°= 99μm로 합성 검사 이미지에 의해 측정된개질 영역의 깊이 값으로부터 실제 개질 영역의 깊이 값으로 환산할 수 있다. An example of measuring the depth of the modified region of a glass substrate will be described with reference to FIG. 10 as follows. First, assuming that the refractive index (n) inside the glass substrate is 1.5, the rotation angle (Δθ) of the second vision unit is 30°, and the depth of the modified area obtained from the first and second vision units is 33.3 μm, the actual modified area is The depth (d) is 33.3μm × 1.5 × tan -1 30°×cos -1 30°=99μm according to <Equation 1>, which is the depth of the actual modified region from the depth value of the modified region measured by the synthetic inspection image. It can be converted into a value.

더욱 상세하게는 도 10과 같이 측정된 개질 영역의 깊이 값에 대한 환산 값은 서로 다른 매질에서 나타나는 굴절 이미지 상의 크기 변화로 인해 보정 상수 (α)를 적용할 필요가 있다.More specifically, it is necessary to apply a correction constant (α) to the conversion value for the depth value of the modified region measured as shown in FIG. 10 due to size changes in refractive images that appear in different media.

상술한 바와 같이 두 대의 비전 유닛을 통해 유리기판 개질 영역의 상부면 이미지 및 하부면 이미지를 하나의 출력화면에 동시에 표현함으로써, 개질 영역의 상부면과 하부면 사이의 상대 거리인 개질 영역 깊이 값을 측정하고 측정된 개질 영역의 깊이 값으로부터 실제 개질 영역의 깊이 값을 환산하여 유리 단면 개질 영역의 깊이 측정에 있어서 신뢰성 및 검사 속도를 향상시키는 효과를 얻을 수 있다. As described above, by simultaneously displaying the upper surface image and the lower surface image of the modified area of the glass substrate on one output screen through two vision units, the modified area depth value, which is the relative distance between the upper and lower surfaces of the modified area, is calculated. By measuring and converting the depth value of the actual modified region from the measured depth value of the modified region, it is possible to obtain the effect of improving reliability and inspection speed in measuring the depth of the modified region of the glass cross-section.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the present invention has been described above with reference to preferred embodiments, those skilled in the art may make various modifications and changes to the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. You will understand that you can do it.

100: 유리 기판 100a : 개질 영역
200, 300 : 유리기판 단면 검사 장치 210 : 유리기판 이송부
220 : 이미지 촬영부 230 : 이미지 출력부
235 : 제어부 240 : 측정부
220a : 제1 비전부 220b : 제2 비전부
310, 600, 700, 800, 900 : 제1 비전 유닛
320, 610, 710, 810, 910 : 제2 비전 유닛
410 : 반사판100: glass substrate 100a: modified area
200, 300: Glass substrate cross-section inspection device 210: Glass substrate transfer unit
220: image capture unit 230: image output unit
235: control unit 240: measurement unit
220a: 1st vision part 220b: 2nd vision part
310, 600, 700, 800, 900: 1st vision unit
320, 610, 710, 810, 910: 2nd vision unit
410: reflector

Claims (8)

유리기판에 대해 제1 경사각(Θ)을 가지며, 유리기판의 개질 영역 상부면 이미지를 생성하는 제1 비전 유닛;
상기 유리기판에 대해 상기 제1 경사각과 상이한 제2 경사각(Θ+Δθ)을 가지며, 상기 유리기판의 개질 영역 하부면 이미지를 생성하는 제2 비전 유닛; 및
상기 제1 비전 유닛 및 상기 제2 비전 유닛과 전기적으로 연결되며, 상기 제1 비전 유닛과 상기 제2 비전 유닛으로부터 생성된 이미지를 합성하여 최종 이미지를 출력하는 이미지 출력부
를 포함하며, 상기 이미지 출력부에 출력된 최종 이미지를 기반으로 실제 개질 영역의 깊이를 계측하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 단면 검사 장치.
a first vision unit having a first inclination angle Θ with respect to the glass substrate and generating an image of the upper surface of the modified area of the glass substrate;
a second vision unit having a second tilt angle (Θ+Δθ) different from the first tilt angle with respect to the glass substrate and generating an image of a lower surface of the modified area of the glass substrate; and
An image output unit electrically connected to the first vision unit and the second vision unit and outputting a final image by combining images generated from the first vision unit and the second vision unit.
A cross-sectional inspection device for a glass substrate, comprising: measuring the depth of the actual modified area based on the final image output to the image output unit.
 제1항에 있어서, 상기 제2 비전 유닛은
상기 제1 비전 유닛과 동일한 제1 경사각을 가진 상태에서 상기 개질 영역 상부면의 이미지를 생성하고, 상기 제1 비전 유닛으로부터 생성된 상기 개질 영역 상부면 이미지와 상기 제2 비전 유닛으로부터 생성된 상기 개질 영역 상부면 이미지가 일치되도록 제2 경사각으로 조절하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 단면 검사 장치.
 The method of claim 1, wherein the second vision unit
An image of the upper surface of the modified area is generated at a first inclination angle equal to that of the first vision unit, and the upper surface image of the modified area is generated from the first vision unit and the modified area is generated from the second vision unit. A cross-sectional inspection device for a glass substrate, characterized in that the second inclination angle is adjusted so that the image of the upper surface of the area matches.
 제1항에 있어서,
상기 유리기판을 로딩한 후 상기 유리 기판을 설정된 방향 및 속도로 이동시키는 유리기판 이송부를 더 포함하며, 상기 유리 기판 이송부는 컨베이어 형태인 것을 특징으로 하는 유리기판의 단면 검사 장치.
 According to paragraph 1,
A cross-sectional inspection device for a glass substrate, further comprising a glass substrate transfer unit that moves the glass substrate in a set direction and speed after loading the glass substrate, wherein the glass substrate transfer unit is in the form of a conveyor.
 제1항에 있어서,
상기 제2 비전 유닛은 높이 변위 값을 조절하여 상기 유리기판의 개질 영역 하부면에 비전 초점이 맞춰진 상태에서 상기 개질 영역 하부면 이미지를 생성하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 단면 검사 장치.
 According to paragraph 1,
The second vision unit adjusts the height displacement value to generate an image of the lower surface of the modified area with the vision focused on the lower surface of the modified area of the glass substrate.
 제1항에 있어서, 상기 이미지 출력부에서 출력된 최종 이미지를 통해 유리기판의 개질 영역 깊이를 측정하고, 아래의 < 수학식 1 >을 이용하여 실제 개질 영역의 깊이를 계측하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 단면 검사 장치.
< 수학식 1 >
실제 개질 영역의 깊이(d) = 계측길이× 유리의 굴절율× tan-1 (Θ+Δθ) ° ×cos-1 (Θ+Δθ) °
 The glass according to claim 1, wherein the depth of the modified area of the glass substrate is measured through the final image output from the image output unit, and the depth of the actual modified area is measured using <Equation 1> below. A device for inspecting the cross-section of a board.
<Equation 1>
Depth of actual modified area (d) = measured length × refractive index of glass × tan -1 (Θ+Δθ) ° × cos -1 (Θ+Δθ) °
 제1항에 있어서,
상기 최종 출력 이미지가 기 설정된 밝기 값 이하인 경우, 유리기판 바닥면에 후면광 유닛(back-light unit) 또는 반사판을 삽입하여 상기 최종 출력 이미지의 밝기를 증가시키는 것을 특징으로 하는 유리기판의 단면 검사 장치.
 According to paragraph 1,
When the final output image is below a preset brightness value, a cross-sectional inspection device for a glass substrate, characterized in that the brightness of the final output image is increased by inserting a back-light unit or a reflector on the bottom surface of the glass substrate. .
 유리기판 개질 영역의 상부면 이미지를 측정하는 제1 비전 유닛 및 하부면 이미지를 측정하는 제2 비전 유닛을 포함하는 유리기판 단면 검사 장치를 이용한 유리기판 단면 검사 방법에 있어서,
상기 제1 비전 유닛을 통해 상기 유리기판 개질 영역 상부면의 이미지를 생성하는 단계;
상기 제2 비전 유닛을 통해 유리기판 개질 영역 상부면의 이미지를 생성하는 단계;
상기 제2 비전 유닛의 경사각을 조절하여 두 개의 비전 유닛으로부터 얻어진 상부면 이미지가 일치되도록 한 후 상기 제2 비전 유닛의 경사각(Θ+
Figure pat00004
)을 고정시키는 단계;
상기 제2 비전 유닛의 높이 변위 값을 변경하여 상기 유리기판 개질 영역 하부면의 이미지를 생성하는 단계;
상기 제1 비전 유닛으로부터 얻어진 개질 영역 상부면의 이미지와 상기 제2 비전 유닛으로부터 얻어진 개질 영역 하부면의 이미지를 합성하여 최종 이미지를 생성하는 단계; 및
상기 최종 이미지를 통해 상기 개질 영역의 상대 거리를 측정하고, 이를
기반으로 실제 개질 영역의 깊이를 계산하는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 단면 검사 방법.
In the glass substrate cross-section inspection method using a glass substrate cross-section inspection device including a first vision unit for measuring the upper surface image of the glass substrate modified area and a second vision unit for measuring the lower surface image,
generating an image of the upper surface of the modified area of the glass substrate through the first vision unit;
generating an image of the upper surface of the glass substrate modification area through the second vision unit;
After adjusting the inclination angle of the second vision unit so that the upper surface images obtained from the two vision units match, the inclination angle of the second vision unit (Θ+
Figure pat00004
) fixing;
generating an image of the lower surface of the modified area of the glass substrate by changing a height displacement value of the second vision unit;
generating a final image by combining the image of the upper surface of the modified area obtained from the first vision unit and the image of the lower surface of the modified area obtained from the second vision unit; and
Measure the relative distance of the modified area through the final image, and measure the
Calculating the depth of the actual reformed zone based on
A cross-sectional inspection method of a glass substrate comprising:
 제7항에 있어서, 상기 실제 개질 영역의 깊이를 계측하는 단계는 아래의 < 수학식 1 >을 이용하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 단면 검사 방법.
< 수학식 1 >
실제 개질 영역의 깊이(d) = 계측길이× 유리의 굴절율× tan-1 (Θ+Δθ) ° ×cos-1 (Θ+Δθ) °
 The cross-sectional inspection method of a glass substrate according to claim 7, wherein the step of measuring the depth of the actual modified area uses <Equation 1> below.
<Equation 1>
Depth of actual modified area (d) = measured length × refractive index of glass × tan -1 (Θ+Δθ) ° × cos -1 (Θ+Δθ) °
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