KR20230130231A - 대면적 ｆｍｍ 증착시스템 - Google Patents

대면적 ｆｍｍ 증착시스템 Download PDF

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KR20230130231A KR1020220027129A KR20220027129A KR20230130231A KR 20230130231 A KR20230130231 A KR 20230130231A KR 1020220027129 A KR1020220027129 A KR 1020220027129A KR 20220027129 A KR20220027129 A KR 20220027129A KR 20230130231 A KR20230130231 A KR 20230130231A
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transfer
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최상규
박창선
박광수
신규남
정광호
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주식회사 야스
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Abstract

본 발명의 목적은 대면적 기판, 특히 6세대(약 1,500 x 1,800mm) 이상의 대면적 기판에 OLED 박막을 형성하는 증착 시스템에서 기판과 마스크를 좀 더 효율적으로 이송할 수 있는 증착 시스템을 제공하고자 하는 것이다.
본 발명은,
마스크를 대면적 기판에 적용하여 물질을 증착하는 증착시스템으로서,
기판을 이송하기 위해 이송 로봇이 배치되는 전달 챔버;
상기 전달 챔버로부터 로봇에 의해 기판이 반입되어 기판에 물질을 증착하기 위한 증착 챔버; 및
증착 챔버에 반입되기 전 또는 증착 챔버로부터 반출된 후에 기판이 보관되는 기판 버퍼 챔버;를 포함하고,
상기 이송 로봇이 기판을 버퍼 챔버에서 증착 챔버로 또는 기판 버퍼 챔버에서 증착 챔버로 이송하고, 증착 챔버에서 마스크와 기판을 정렬한 후 합착하여 증착 공정을 실시한 후 마스크와 기판을 탈착하고, 이송 로봇으로 증착된 기판을 증착 챔버에서 다른 증착 챔버 또는 다른 버퍼 챔버로 이송하며,
상기 기판 버퍼 챔버는 기판 이송 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 증착 시스템을 제공한다.

Description

대면적 ＦＭＭ 증착시스템{Large Area FMM Evaporation System}
본 발명은 대면적 기판에 OLED 박막을 형성하는 증착 시스템에 관한 것이다. 보다 구체적으로는, FMM(Fine Metal Mask)를 적용한 증착시스템으로서 대면적 기판과 마스크를 이송할 수 있는 챔버의 기능 및 배치에 관한 것이다.
대면적 기판에 FMM을 적용하여 OLED 박막을 증착하는 시스템은 기판과 마스크 모두 대면적화 됨에 따라 증착 챔버에 대한 반송 수단과 반송 경로, 및 공간을 최적화할 필요가 있다.
관련 선행 기술로서 특허출원 제10-2021-0014254호가 있다.
본 발명의 목적은 대면적 기판, 특히 6세대(약 1,500 x 1,800mm) 이상의 대면적 기판 또는 6세대 절반(1,500 x 925mm) 크기의 기판에 OLED 박막을 형성하는 증착 시스템에서 기판과 마스크를 좀 더 효율적으로 이송할 수 있는 증착 시스템을 제공하고자 하는 것이다.
본 발명은,
마스크를 대면적 기판에 적용하여 물질을 증착하는 증착시스템으로서,
기판을 이송하기 위해 이송 로봇이 배치되는 전달 챔버;
상기 전달 챔버로부터 로봇에 의해 기판이 반입되어 기판에 물질을 증착하기 위한 증착 챔버; 및
증착 챔버에 반입되기 전 또는 증착 챔버로부터 반출된 후에 기판이 보관되는 기판 버퍼 챔버;를 포함하고,
상기 이송 로봇이 기판을 버퍼 챔버에서 증착 챔버로 또는 기판 버퍼 챔버에서 증착 챔버로 이송하고, 증착 챔버에서 마스크와 기판을 정렬한 후 합착하여 증착 공정을 실시한 후 마스크와 기판을 탈착하고, 이송 로봇으로 증착된 기판을 증착 챔버에서 다른 증착 챔버 또는 다른 버퍼 챔버로 이송하며,
상기 기판 버퍼 챔버는 기판 이송 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 증착 시스템을 제공한다.
상기 증착 시스템은 마스크가 보관되는 마스크 버퍼 챔버를 더 포함하고,
상기 전달 챔버에 배치된 이송 로봇은 기판 뿐 아니라 마스크도 이송하며,
상기 마스크는 이송 로봇에 의해 마스크 버퍼 챔버에서 증착 챔버로 반입되고, 이송 로봇에 의해 증착 챔버로부터 마스크 버퍼 챔버로 반출되는 것을 특징으로 하는 증착 시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 증착 챔버는 두 개의 기판을 교차 증착 공정을 실시할 수 있는 듀얼 챔버로서,
두 쌍의 기판과 마스크를 각각 정렬할 수 있는 제1 및 제2의 두 개의 정렬 장치;
한 개 이상의 증착 소스와 한 개 이상의 셔터가 포함된 소스 모듈; 및
상기 소스 모듈을 스캔 이송하는 스캔 장치를; 구비하여,
소스 모듈은 증착 챔버 중앙에서 대기하여 제1 정렬 장치에서 기판과 마스크가 정렬 하는 동안 제2의 기판에 증착 공정을 실시한 다음, 정령이 완료된 제1 정렬 장치 쪽 기판에 대해 증착 공정을 실시하거나, 소스 모듈이 증착 챔버 일측 단부 쪽에서 대기하여 제2 정렬 장치에서 기판과 마스크가 정렬 하는 동안 제1 정렬 장치 쪽의 기판에 증착 공정을 실시한 다음 제2 정렬 장치 쪽 기판에 대해 증착하는 것을 특징으로 하는 증착 시스템을 제공한다.
상기 기판 버퍼 챔버는 기판 이송 수단으로서, 기판을 평면상에서 회전시킬 수 있는 기판 지지부 조립체를 구비하여, 기판의 위치를 180°회전시켜 이송 로봇에 의해 이송되는 과정에서 반전된 기판 위치를 바로 잡아 주는 것을 특징으로 하는 증착 시스템을 제공한다.
상기 기판 버퍼 챔버는 기판 지지부 조립체의 위치와 방향을 판별할 수 있는 위치 감지 센서를 구비하고, 기판 지지부 조립체는 상기 위치 감지 센서에 대응하여 감지되는 기판 지지부 조립체 위치감지부를 구비한 것을 특징으로 하는 증착 시스템을 제공한다.
상기 기판 지지부 조립체는 기판 위치 조종용 액츄에이터를 더 구비하여 기판의 배열 위치를 정밀하게 보정하거나, 기판 버퍼 챔버 내에서 기판 지지부 조립체 이외의 타 설비에 대해 기판의 위치 기준점이 되어주는 것을 특징으로 하는 증착 시스템을 제공한다.
상기 기판 버퍼 챔버는 기판 위치 확인용 영상 카메라를 구비하고, 기판 지지부 조립체는 UVW 모션을 할 수 있는 UVW 스테이지를 구비하여 기판의 위치를 정밀하게 보정하거나, 기판 버퍼 챔버 내에서 기판 지지부 조립체 이외의 타 설비에 대해 기판의 위치 기준점이 되어 주는 것을 특징으로 하는 증착 시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 마스크 버퍼 챔버는,
기판 버퍼 챔버의 상단에 배치되고, 기판 이송 방향과 수직인 방향에 추가된 게이트 벨브;
상기 게이트 벨브 방향으로 마스크를 이송할 수 있고 회피 동작이 가능한 마스크 이송 장치; 및
마스크 이송 장치의 이송 정밀도를 보정하는 마스크 센터링 장치;를 구비하여,
새로운 마스크가 마스크 이송 장치에 의해 상기 게이트 벨브를 통해 마스크 버퍼 챔버로 이송되고, 상기 마스크 센터링 장치가 마스크의 하면에 접촉 하여 마스크를 받아 마스크를 들어 마스크 이송 정밀도를 보정하고, 이송 로봇이 마스크 버퍼 챔버 안으로 투입되고, 마스크 센터링 장치를 하강하여 마스크를 이송 로봇에게 전달하는 것을 특징으로 하는 마스크 버퍼 챔버를 제공한다.
또한, 본 발명은,
기판을 이송하기 위해 이송 로봇이 배치되는 전달 챔버와 상기 전달 챔버로부터 로봇에 의해 기판이 반입되어 기판에 물질을 증착하기 위한 증착 챔버를 구비한 증착 시스템에 배치되는 기판 버퍼 챔버로서,
상기 기판 버퍼 챔버는 기판을 평면상에서 회전시킬 수 있는 기판 지지부 조립체를 구비하여, 기판의 위치를 반전 시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 버퍼 챔버를 제공한다.
본 발명에 따르면, 기판과 마스크는 이송 로봇이 이송을 담당하여 증착 시스템의 구성과 물류 이송을 간소화할 수 있다.
또한, 기판 버퍼 챔버에 기판의 위치를 반전시키는 수단, 기판의 위치를 정밀 보정할 수 있는 수단들이 구비되어 기판 이송 과정에서 발생될 수 있는 기판 위치의 오차를 줄여주므로 대면적 기판의 이송 과정에서 발생된 오차로 인해 발생되는 불량을 상당히 줄일 수 있다. 즉, 대면적 기판의 경우, 미미한 오차의 위치 변경도 개별 소자에 대해서는 큰 위치 변경이 일어날 수 있는 점을 효율적으로 대처한다.
또한, 기판 버퍼 챔버와 마스크 버퍼 챔버는 동일 위치에 복층 구조로 설치되어 증찻 시스템 전체가 점유하는 공간을 절약하고 이송 경로를 간소화한다.
도 1은 본 발명의 증착시스템의 레이아웃 이다.
도 2는 증착 챔버의 구성을 설명하는 평면 모식도이다.
도 3은 본 발명의 기판 버퍼 챔버의 구성을 설명하는 평면 모식도이다.
도 4는 본 발명의 마스크 버퍼 챔버의 구성을 설명하는 평면 모식도이다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 증착시스템의 레이아웃을 보여준다.
중심부에 기판과 마스크를 증착챔버로 반입 및 반출하여 이송하는 기판/마스크 전달 챔버(100)들이 버퍼 챔버(300, 400)를 사이에 두고 일렬로 배열되고, 증착을 수행하는 증착 챔버(200)들은 기판/마스크 전달 챔버(100)들의 양옆에 배열된다. 버퍼 챔버는 평면도에서 하나의 챔버로 보이지만, 실제로는 복층 구조로 위층은 마스크 버퍼 챔버(400)이고, 아래층은 기판 버퍼 챔버(300)이다. 버퍼 챔버의 복층 구조를 통해 증착시스템의 레이아웃은 상당히 간소화 된다.
본 발명의 증착시스템은 특히, 6세대(약 1,500 x 1,800mm) 이상의 대면적 기판에 OLED 박막을 형성하기 위한 것이다. 기판과 마스크가 모두 대면적화됨에 따라 각각의 이송을 최적화할 필요가 있어 구성한 시스템이다.
상기와 같은 도 1의 증착시스템에서 전달 챔버(100)에는 이송 로봇이 배치되며, 상기 이송 로봇은 기판의 이송과 마스크 이송을 모두 담당할 수 있다. 즉, 이송 로봇은 전달 챔버에서 기판을 지지하여 증착 챔버에 반입하고, 증착이 완료된 기판을 증착 챔버로부터 반출하여 기판 버퍼 챔버에 배송하며, 새로 반입되거나 반출되어야 하는 마스크가 있을 경우, 마스크 버퍼 챔버로부터 마스크를 지지하여 증착 챔버로 반입하거나 증착 챔버에 있던 마스크를 버퍼 챔버로 반출하여 준다.
증착 챔버(200)에는 정렬 장치와 증착원이 있어, 반입된 기판과 마스크를 정렬하고 합착 한 후, 증착원이 스캐닝 되면서 기판에 물질을 증착한다. 증착을 마친 기판에서 마스크가 탈착되고, 로봇이 기판을 인수하여 증착챔버로부터 반출하여 기판 버퍼 챔버(300)로 이송한다. 경우에 따라 이송 로봇은 기판을 또 다른 증착 챔버로 이송할 수도 있다. 예를 들면, 클러스터 증착시스템에서 이송 로봇은 증착챔버에서 반출한 기판을 다른 증착 챔버로 이송한다.
증착 챔버(200)는 2장의 기판이 함께 존재할 수 있는 공간을 구비한 듀얼 챔버로 구성되는 것이 바람직하다. 그에 따라 2대의 정렬 장치를 구비하나, 증착원은 하나만 배치하여도 2장의 기판에 대해 스캔 증착할 수 있다. 증착원은 한 개 이상의 소스와, 한 개 이상의 셔터가 포함된 소스 모듈과 스캔 이동할 수 있는 이동 수단을 포함한다. 증착원은 증착 챔버 중앙에서 대기하여 한 쪽의(제1) 기판/마스크 정렬 과정 동안 다른 한 쪽의(제2) 기판에 증착 공정을 실시하거나, 증착 챔버의 일측 단부에서 대기하여 한 쪽의(제1) 기판/마스크 정렬 중 다른 한 쪽의(제2) 기판에 증착 공정을 실시하는 방식으로 운용된다.
기판 버퍼 챔버(300)는 회전 가능한 기판 지지부 조립체(310)를 구비하며, 전달 챔버(100)에서 다음 전달 챔버로 기판이 이송될 때 발생하는 기판 방향 반전 현상을 보완할 수 있다.
즉, 전달 챔버(100)에 있는 이송 로봇이 기판 버퍼 챔버(300)로부터 기판을 인수하여 증착 챔버(200)로 배송할 때 로봇 암을 90도 각도로 회전하며, 증착 완료된 기판을 인수하여 다음 번 기판 버퍼 챔버(300-1)로 배송할 때 다시 90도 회전하게 되므로, 기판은 xy 평면 상에서 z축을 중심으로 마치 180도 회전한 것과 같은 반전된 상태로 다음 번 기판 버퍼 챔버(300-1)에 배송된다. 그에 따라 기판 버퍼 챔버(300-1)에는 인수된 기판을 다시 180도 회전시켜 본래 기판이 있었던 위치로 바로잡아 주는 것이다. 도 1의 기판 버퍼 챔버(300-1: 기판 버퍼 챔버의 부호는 300이지만, 위치 관계를 설명하기 위해 도 1의 두번째 위치한 것에 편의상 300-1로 표시함) 이후에 배열된 기판 버퍼 챔버들은 이러한 회전 가능한 기판 지지부 조립체(310)를 구비하며, 모든 기판 버퍼 챔버(300)에 회전 가능한 기판 지지부 조립체(310)를 설치할 수 있다. 기판 지지부 조립체(310)는 기판을 고정할 수 있는 기판 고정부재와 회전 구동 가능한 구동부재를 포함한다.
추가로, 기판 지지부 조립체(310)의 회전 동작의 감시를 위해, 기판 버퍼 챔버는 위치감지센서(312)를 구비하며, 위치감지센서(312)는 위치 및/또는 방향을 판별하는 물리 접촉 센서 혹은 광 센서로 구성될 수 있다. 또한, 상기 위치감지센서(312)에 대해 반응할 수 있는 기판 지지부 조립체 위치감지부(311)가 기판 지지부 조립체(310)에 설치된다. 위치감지센서(312)는 기판 지지부 조립체 위치감지부(311)의 위치를 검지하여 회전 구동을 실시한다.
또한, 기판 버퍼 챔버(300) 내부의 기판 지지부 조립체(310)에 기판 위치 조정용 엑추에이터(320)를 구비하여, 기판의 위치 정밀도를 보정한다. 즉, 기판 지지부 조립체(310)의 소정 위치에 기판 위치 조정용 엑추에이터(320)를 설치하여로봇이 이송해 온 기판에 대해 기판 위치 조정용 엑추에이터(320)가 구동되어 기판 위치를 바로잡는다.
기판 위치 조정용 엑추에이터는 실린더 또는 서보 모터를 사용할 수 있다. 또한, 기판 위치 조정용 엑추에이터(320)는 타 설비들에 대해 기판 위치 기준점으로 활용할 수 있는 기능을 포함한다. 본 실시예는 기판 코너에 근접한 4군데에 기판 위치 조정용 엑추에이터(320)를 설치하여, 배송된 기판에 대해 4군데에 있는 기판 위치 조정용 엑추에이터(320)가 기판 쪽으로 접근하여 정해진 소정 위치에서 멈추도록 구동되면서 그 구동력에 의해 기판을 밀어 기판의 위치를 바로잡도록 구성된다. 기판 위치 조정용 엑추에이터는 필요에 따라 2개보다 더 많은 개수를 배치할 수도 있다.
또한, 기판 버퍼 챔버 하단에 기판의 외곽을 측정하는 영상 카메라(320-1)를 설치하고, 기판 지지부 조립체는 UVW 스테이지를 구비하여, 영상 카메라를 통하여 기판 이송 로봇의 이송 정밀도를 검사하여 UVW 스테이지를 구동하여 기판위치를 보정하거나, 타 설비들에 대해 기판 위치 기준점으로 활용할 수 있는 기능을 포함한다. 영상 카메라는 적어도 2개 이상을 사용하는 것이 바람직하다. UVW 스테이지는 기판 지지부 조립체와 직접적으로 결합되어, UVW 스테이지가 움직이면 기판 지지부 조립체의 기판이 XYθ 방향으로 이동하는 방식으로 구성될 수 있다.
상술한 바와 같이, 기판 이송 로봇은 마스크도 이송 가능 하여 마스크를 마스크 버퍼 챔버에서 증착 챔버로 이송하고, 반대로 마스크를 증착 챔버에서 마스크 버퍼 챔버로 이송하기도 한다. 마스크를 보관 및 이송하는 적어도 하나 이상의 마스크 버퍼 챔버(400)는 기판 버퍼 챔버(300)의 위층에 복층 구조로 설치되어, 로봇은 기판 이송과 같은 경로로 마스크도 이송할 수 있다.
이와 같은 구성은 별도의 마스크 이송 장치를 구성할 필요가 없어 증착시스템의 설비를 간소화할 수 있다.
한편, 마스크는 소정 주기로 교체가 필요하며, 이를 위해 마스크 버퍼 챔버로부터 외부로 반출하거나 새 마스크를 외부로부터 마스크 버퍼 챔버로 반입하여야 한다. 이를 위해, 마스크를 외부로부터 마스크 버퍼 챔버로 반입하거나 반대로 반출하는 마스크 이송 장치를 구성한다.
즉, 마스크 버퍼 챔버(400)에 기판 이송 방향(x방향)과 수직인 방향(y방향)으로 게이트 벨브(402)를 설치하고, 상기 게이트 벨브(402) 방향으로 마스크(401)를 이송할 수 있는 마스크 이송 장치(410)와 마스크 이송 장치의 이송 정밀도를 보정하는 마스크 센터링 장치(420)를 설치하여 마스크 교체가 필요한 경우, 새로운 마스크를 추가된 게이트 벨브(402) 방향으로부터 마스크 이송 장치에 의해 마스크 버퍼 챔버로 이송하고, 마스크 센터링 장치가 마스크의 장변 하면에 접촉 후 들어서 마스크 이송 정밀도를 보정한다.
마스크 이송 장치는 롤러, 선형 이송 장치(LMS), 자기부상이송장치 중 적어도 하나 이상의 요소로 구성될 수 있다.
즉, 선형 이송 장치와 같은 마스크 이송 장치가 게이트 벨브(402)를 통해 새 마스크를 마스크 버퍼 챔버 안으로 반입하면, 마스크 하면에서 마스크를 접촉 지지하는 마스크 센터링 장치(420)가 새 마스크를 인수하고, 마스크의 위치를 보정하고, 마스크 하면 쪽으로 로봇이 투입되어 마스크 센터링 장치가 마스크와 함께 하강하여 마스크를 로봇에게 인계한다.
이러한 마스크의 이송 과정에서, 마스크 이송장치와 마스크 센터링 장치는 서로 간섭하지 않도록 배치되며, 마스크 센터링 장치는 이송 로봇과 서로 간섭하지 않도록 배치된다.
이와 같은 구성은 별도의 마스크 챔버를 증착 챔버에 인접하여 구성할 필요가 없고, 마스크를 증착 챔버에서 반입/반출 하기위해 증착 챔버와 마스크 챔버 사이에 마스크 이송장치를 구성하지 않기 때문에 증착 챔버 내부 구성이 간소화되고, 마스크의 이송 또한 로봇이 겸하게 되어 증착 시스템의 구성이 전체적으로 간소화되며, 택타임도 단축될 수 있다.
상기와 같은 증착 시스템은 클러스터 증착 시스템과 인라인 증착 시스템 모두에 적용될 수 있다.
상술된 사항에서 별도의 정의가 없는 경우, 본 명세서에서 사용된 모든 기술 및 과학적 용어는 본 발명이 속하는 기술분야에서 숙련된 전문가에 의해서 통상적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않은 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다. 명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 단수형은 문맥에 의해 복수형을 포함할 수 있다.
본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 제작을 할 수 있다는 것은 자명하다.
전달 챔버(100)
증착 챔버(200)
기판 버퍼 챔버(300)
기판 버퍼 챔버(300-1)
마스크 버퍼 챔버(400)
기판 지지부 조립체(310)
기판 지지부 조립체 위치감지부(311)
위치감지센서(312)
기판 위치 조정용 엑추에이터(320)
마스크(401)
게이트 벨브(402)
마스크 이송 장치(410)
마스크 센터링 장치(420)

Claims (12)

  1. 마스크를 대면적 기판에 적용하여 물질을 증착하는 증착시스템으로서,
    기판을 이송하기 위해 이송 로봇이 배치되는 전달 챔버;
    상기 전달 챔버로부터 로봇에 의해 기판이 반입되어 기판에 물질을 증착하기 위한 증착 챔버; 및
    증착 챔버에 반입되기 전 또는 증착 챔버로부터 반출된 후에 기판이 보관되는 기판 버퍼 챔버;를 포함하고,
    상기 이송 로봇이 기판을 기판 버퍼 챔버에서 증착 챔버로 또는 증착 챔버에서 다른 증착 챔버로 이송하고, 증착 챔버에서 마스크와 기판을 정렬한 후 합착하여 증착 공정을 실시한 후 마스크와 기판을 탈착하고, 이송 로봇으로 증착된 기판을 증착 챔버에서 다른 증착 챔버 또는 다른 기판 버퍼 챔버로 이송하며,
    상기 기판 버퍼 챔버는 기판 이송 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 증착 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 증착 시스템은 마스크가 보관되는 마스크 버퍼 챔버를 더 포함하고,
    상기 전달 챔버에 배치된 이송 로봇은 기판 뿐 아니라 마스크도 이송하며,
    상기 마스크는 이송 로봇에 의해 마스크 버퍼 챔버에서 증착 챔버로 반입되고, 이송 로봇에 의해 증착 챔버로부터 마스크 버퍼 챔버로 반출되는 것을 특징으로 하는 증착 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 증착 챔버는 두 개의 기판을 교차 증착 공정을 실시할 수 있는 듀얼 챔버로서,
    두 쌍의 기판과 마스크를 각각 정렬할 수 있는 제1 및 제2의 두 개의 정렬 장치;
    한 개 이상의 증착 소스와 한 개 이상의 셔터가 포함된 소스 모듈; 및
    상기 소스 모듈을 스캔 이송하는 스캔 장치를; 구비하여,
    소스 모듈은 증착 챔버 중앙에서 대기하여 제1 정렬 장치에서 기판과 마스크가 정렬 하는 동안 제2의 기판에 증착 공정을 실시한 다음, 정렬이 완료된 제1 정렬 장치 쪽 기판에 대해 증착 공정을 실시하거나, 소스 모듈이 증착 챔버 일측 단부 쪽에서 대기하여 제2 정렬 장치에서 기판과 마스크가 정렬 하는 동안 제1 정렬 장치 쪽의 기판에 증착 공정을 실시한 다음 제2 정렬 장치 쪽 기판에 대해 증착하는 것을 특징으로 하는 증착 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 상기 기판 버퍼 챔버는 기판 이송 수단으로서, 기판을 평면상에서 회전시킬 수 있는 기판 지지부 조립체를 구비하여, 기판의 위치를 180°회전시켜 이송 로봇에 의해 이송되는 과정에서 반전된 기판 위치를 바로 잡아 주는 것을 특징으로 하는 증착 시스템.
  5. 제4항에 있어서, 상기 기판 버퍼 챔버는 기판 지지부 조립체의 위치와 방향을 판별할 수 있는 위치 감지 센서를 구비하고, 기판 지지부 조립체는 상기 위치 감지 센서에 대응하여 감지되는 기판 지지부 조립체 위치감지부를 구비한 것을 특징으로 하는 증착 시스템.
  6. 제4항에 있어서, 상기 기판 지지부 조립체는 기판 위치 조종용 액츄에이터를 더 구비하여 기판의 위치를 정밀하게 보정하거나, 기판 버퍼 챔버 내에서 기판 지지부 조립체 이외의 타 설비에 대해 기판의 위치 기준점이 되어주는 것을 특징으로 하는 증착 시스템.
  7. 제4항에 있어서, 상기 기판 버퍼 챔버는 기판 위치 확인용 영상 카메라를 구비하고, 기판 지지부 조립체는 UVW 모션을 할 수 있는 UVW 스테이지를 구비하여 기판의 위치를 정밀하게 보정하거나, 기판 버퍼 챔버 내에서 기판 지지부 조립체 이외의 타 설비에 대해 기판의 위치 기준점이 되어 주는 것을 특징으로 하는 증착 시스템.
  8. 제2항에 있어서, 마스크 버퍼 챔버는,
    기판 버퍼 챔버의 상단에 배치되고, 기판 이송 방향과 수직인 방향에 추가된 게이트 벨브;
    상기 게이트 벨브 방향으로 마스크를 이송할 수 있는 마스크 이송 장치; 및
    마스크 이송 장치의 이송 정밀도를 보정하는 마스크 센터링 장치;를 구비하여,
    새로운 마스크가 마스크 이송 장치에 의해 상기 게이트 벨브를 통해 마스크 버퍼 챔버로 이송되고, 상기 마스크 센터링 장치가 마스크의 하면에 접촉 하여 마스크를 받아 마스크를 들어 마스크 이송 정밀도를 보정하고, 이송 로봇이 마스크 버퍼 챔버 안으로 투입되고, 마스크 센터링 장치를 하강하여 마스크를 이송 로봇에게 전달하는 것을 특징으로 하는 마스크 버퍼 챔버.
  9. 기판을 이송하기 위해 이송 로봇이 배치되는 전달 챔버와 상기 전달 챔버로부터 로봇에 의해 기판이 반입되어 기판에 물질을 증착하기 위한 증착 챔버를 구비한 증착 시스템에 배치되는 기판 버퍼 챔버로서,
    상기 기판 버퍼 챔버는 기판을 평면상에서 회전시킬 수 있는 기판 지지부 조립체를 구비하여, 기판의 위치를 반전 시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 버퍼 챔버.
  10. 제9항에 있어서, 상기 기판 버퍼 챔버는 기판 지지부 조립체의 위치와 방향을 판별할 수 있는 위치 감지 센서를 구비하고, 기판 지지부 조립체는 상기 위치 감지 센서에 대응하여 감지되는 기판 지지부 조립체 위치감지부를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 버퍼 챔버.
  11. 제9항에 있어서, 상기 기판 지지부 조립체는 기판 위치 조종용 액츄에이터를 더 구비하여 기판의 위치를 정밀하게 보정하거나, 기판 버퍼 챔버 내에서 기판 지지부 조립체 이외의 타 설비에 대해 기판의 위치 기준점이 되어주는 것을 특징으로 하는 기판 버퍼 챔버.
  12. 제9항에 있어서, 상기 기판 버퍼 챔버는 기판 위치 확인용 영상 카메라를 구비하고, 기판 지지부 조립체는 UVW 모션을 할 수 있는 UVW 스테이지를 구비하여 기판의 위치를 정밀하게 보정하거나, 기판 버퍼 챔버 내에서 기판 지지부 조립체 이외의 타 설비에 대해 기판의 위치 기준점이 되어 주는 것을 특징으로 하는 기판 버퍼 챔버.








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