KR20230112256A - Wave-shaped steretchable wiring and its manufacturing method - Google Patents
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Abstract
본 발명은 물결 모양 배선 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 연신 시에도 전기 전도도의 감소가 적어 스트레쳐블 소자에 널리 이용될 수 있는 배선을 제공한다.The present invention relates to a corrugated wire and a method for manufacturing the same, and provides a wire that can be widely used in stretchable devices due to a small decrease in electrical conductivity even when stretched.
Description
본 발명은 물결 모양 배선 및 이의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a corrugated wire and a manufacturing method thereof.
최근 몇 년간 디스플레이 및 바이오센서 분야에서 플렉서블 소자가 화두가 되고 있다. 소자의 유연성을 높이기 위해서는 소자가 인장되었을 때 내부의 회로가 연신된 상태에서도 전기 전도성을 유지해야만 한다.In recent years, flexible devices have become a hot topic in the fields of displays and biosensors. In order to increase the flexibility of the device, when the device is stretched, electrical conductivity must be maintained even when the internal circuit is stretched.
이러한 회로 소재로 호스트-게스트 전도성 중합체가 개발되었다. 구체적으로, 호스트-게스트 전도성 중합체는 주로 PEDOT(poly(3,4-ethlenedioxythiophene)):PSS(polystyrene sulfonate), 나노 금속 및 CNT(Carbon Nanotube)와 같은 전도성 물질을 신축성 고분자 내에 삽입하여 제조하는 것이다.Host-guest conductive polymers have been developed as such circuit materials. Specifically, the host-guest conductive polymer is prepared by inserting a conductive material such as poly(3,4-ethlenedioxythiophene) (PEDOT):polystyrene sulfonate (PSS), nanometal, and carbon nanotube (CNT) into a stretchable polymer.
그러나, 비록 호스트-게스트 전도성 중합체가 회로의 유연성을 높일 수 있는 가능성을 보여주었음에도 이러한 중합체의 전기적 안정성은 기존 배선용 금속에 크게 못 미치는 수준에 불과하여, 전기가 지속적으로 인가되는 경우 전기전도도가 저하하는 문제점이 있다.However, even though host-guest conductive polymers have shown the possibility of increasing circuit flexibility, the electrical stability of these polymers is only at a level that is significantly lower than that of conventional metals for wiring, and there is a problem in that electrical conductivity decreases when electricity is continuously applied.
이와 같은 문제점을 해결하고 최대 연신율을 높이기 위해 키리가미 모양 또는 리본 모양과 같은 설계법이 제안되었으나, 이를 실현하기 위해서는 매우 정교한 설계와 제조가 필요하여 대량생산 공정에 적합하지 않은 문제점이 있다.In order to solve these problems and increase the maximum elongation, design methods such as Kirigami shape or ribbon shape have been proposed.
또한, 회로의 연신율을 높이기 위해서는 피치의 길이를 늘리거나, 회로 섹션의 폭을 줄이는 방법이 제안되고 있으나, 회로 클러스터가 여러 개인 마이크로 디바이스에서는 전기 저항이 과도하게 증가하며 장치로 전달할 수 있는 최대 전력이 제한되는 문제점이 있다.In addition, in order to increase the elongation of the circuit, a method of increasing the length of the pitch or reducing the width of the circuit section has been proposed, but in a micro device with several circuit clusters, electrical resistance increases excessively and the maximum power that can be delivered to the device is limited.
이에, 본 발명에서는 이러한 문제점을 해결할 수 있는 연신 배선을 제공하고자 한다.Accordingly, the present invention intends to provide a stretched wire capable of solving these problems.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 물결 모양 배선을 제공하는 것을 목적으로 한다.In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a corrugated wiring.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 양태는 물결 모양 배선에 관한 것이다.One aspect of the present invention for achieving the above object relates to a corrugated wiring.
상기 일 양태에 있어, 일정한 길이를 갖는 직선형인 복수의 피치(pitch) 구간; 및 피치 구간 사이를 연결하는 반원형인 복수의 커브 구간;이 반복적으로 연결된 것일 수 있다.In the above aspect, a plurality of straight pitch sections having a constant length; And a plurality of semicircular curve sections connecting between the pitch sections; may be repeatedly connected.
상기 일 양태에 있어, 상기 물결 모양 배선은 수직 단면이 삼각형 형상인 것을 특징으로 하는 것일 수 있다.In the above aspect, the corrugated wiring may have a triangular cross section in a vertical section.
상기 일 양태에 있어, 상기 피치 구간의 길이를 L, 상기 커브 구간의 반지름을 R이라 할 때, 상기 물결 모양 배선이 이루는 파형(waveform)의 폭은 L + 2R로, 주기는 4R로 표현되는 것일 수 있다.In the above aspect, when the length of the pitch section is L and the radius of the curve section is R, the width of the waveform formed by the corrugated wiring is L + 2R, and the period is 4R.
상기 일 양태에 있어, 상기 피치 구간의 길이(L)와 상기 커브 구간의 반지름(R)의 비율인 P/R은 0.1 내지 2.0일 수 있다.In the above aspect, P/R, which is a ratio between the length L of the pitch section and the radius R of the curve section, may be 0.1 to 2.0.
상기 일 양태에 있어, 상기 물결 모양 배선의 밑변 두께는 0.001 내지 1.00 cm일 수 있다.In the above aspect, a base thickness of the corrugated wiring may be 0.001 cm to 1.00 cm.
상기 일 양태에 있어, 상기 물결 모양 배선의 단면은 밑변:제1 모서리:제2 모서리의 비가 1:0.3 내지 1.5:0.3 내지 1.5인 삼각형 형상인 것을 특징으로 하는 것일 수 있다.In the above aspect, the cross section of the corrugated wire may have a triangular shape in which a base:first edge:second edge ratio is 1:0.3 to 1.5:0.3 to 1.5.
상기 일 양태에 있어, 상기 물결 모양 배선은 길이를 초기 길이 대비 50% 연신하였을 때 전기 전도도가 초기 전기 전도도 대비 30% 이상으로 유지되는 것일 수 있다.In the above aspect, electrical conductivity of the corrugated wire may be maintained at 30% or more compared to the initial electrical conductivity when the length of the corrugated wire is elongated by 50% compared to the initial length.
또한, 본 발명의 다른 일 양태는 물결 모양 배선의 제조 방법에 관한 것이다.Further, another aspect of the present invention relates to a method for manufacturing a corrugated wiring.
상기 다른 일 양태에 있어, 기판, 상기 기판 상에 포토레지스트를 증착하여 타겟을 제조하는 제1단계; 상기 포토레지스트에 경화를 수행하는 제2단계; 상기 타겟에 리소그래피를 수행하는 제3단계; 상기 타겟의 식각을 수행하는 제4단계; 및 상기 타겟 상에 스퍼터링을 수행하여 물결 모양 배선을 제조하는 제5단계;를 포함하는 것일 수 있다.In the other aspect, a first step of preparing a target by depositing a substrate and a photoresist on the substrate; a second step of curing the photoresist; a third step of performing lithography on the target; A fourth step of etching the target; and a fifth step of producing a corrugated wire by performing sputtering on the target.
본 발명에 따른 물결 모양 배선은 길이를 초기 길이 대비 50% 연신하였을 때에도 전기 전도도가 초기 전기 전도도 대비 30% 이상으로 유지되어 신축성 전기 소자에 널리 사용될 수 있다.The corrugated wiring according to the present invention maintains electrical conductivity of 30% or more compared to the initial electrical conductivity even when the length is stretched by 50% compared to the initial length, and thus can be widely used in stretchable electric devices.
도 1은 본 발명의 일 실시예를 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예의 제조방법을 나타낸 개략도이다.
도 3은 배선의 저항을 비교한 그래프이다.
도 4는 배선의 연신 시 전기 전도도의 변화를 상대적으로 나타낸 그래프이다.1 is a schematic diagram showing one embodiment of the present invention.
Figure 2 is a schematic diagram showing a manufacturing method of one embodiment of the present invention.
3 is a graph comparing the resistance of wiring.
4 is a graph showing relative changes in electrical conductivity when wires are stretched.
이하 본 발명에 따른 물결 모양 배선에 대하여 상세히 설명한다. 다음에 소개하는 도면들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 예로써 제공하는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 제시되는 도면들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있으며, 이하 제시되는 도면들은 본 발명의 사상을 명확히 하기 위해 과장되어 도시될 수 있다. 이때, 본 발명에서 사용하는 기술 용어 및 과학 용어에 있어서 다른 정의가 없다면, 이 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 통상적으로 이해하고 있는 의미를 가지며, 하기의 설명 및 첨부 도면에서 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 설명은 생략한다.Hereinafter, the corrugated wiring according to the present invention will be described in detail. The drawings introduced below are provided as examples so that the spirit of the present invention can be sufficiently conveyed to those skilled in the art. Therefore, the present invention may be embodied in other forms without being limited to the drawings presented below, and the drawings presented below may be exaggerated to clarify the spirit of the present invention. At this time, unless there is another definition in the technical terms and scientific terms used in the present invention, they have meanings commonly understood by those of ordinary skill in the art to which this invention belongs, and in the following description and accompanying drawings, the description of known functions and configurations that may unnecessarily obscure the gist of the present invention will be omitted.
본 발명은 연신 시에도 전기 전도도의 감소폭이 작아 스트레처블(stretchable) 소자에 널리 이용할 수 있는 물결 모양 배선을 제공한다.The present invention provides a corrugated wire that can be widely used in stretchable devices because the reduction in electrical conductivity is small even during stretching.
이때, 상기 물결 모양 배선은 일정한 길이를 갖는 직선형인 복수의 피치(pitch) 구간; 및 피치 구간 사이를 연결하는 반원형인 복수의 커브 구간;이 반복적으로 연결된 것일 수 있다.At this time, the wavy wiring is a plurality of straight pitch (pitch) section having a certain length; And a plurality of semicircular curve sections connecting between the pitch sections; may be repeatedly connected.
상기 물결 모양 배선은 수직 단면이 삼각형 형상인 것을 특징으로 하는 것일 수 있다. 이때, 상기 단면이 직사각형으로 형성되는 경우 연신 시에 압력으로 인해 물질이 변형되거나 손실이 발생할 수 있으며, 이로 인해 전기 전도도가 감소할 수 있다.The corrugated wiring may have a triangular cross section in a vertical section. In this case, when the cross section is formed in a rectangular shape, the material may be deformed or lost due to pressure during stretching, and as a result, electrical conductivity may be reduced.
상기 피치 구간의 길이를 L, 상기 커브 구간의 반지름을 R이라 할 때, 상기 물결 모양 배선이 이루는 파형(waveform)의 폭은 L + 2R로, 주기는 4R로 표현되는 것일 수 있다. 이와 같은 형상을 갖춤으로써 물결 모양 배선의 연신 시 전기 전도도 감소폭을 줄일 수 있다.When the length of the pitch section is L and the radius of the curve section is R, the width of the waveform formed by the wavy wiring may be expressed as L + 2R and the period as 4R. By having such a shape, it is possible to reduce the decrease in electrical conductivity when the corrugated wire is stretched.
상기 피치 구간의 길이를 L, 상기 커브 구간의 반지름을 R이라 할 때, 이들의 비율인 P/R은 0.1 내지 2.0일 수 있다. 이때, 바람직하게는 P/R이 0.5 내지 1.8, 더욱 바람직하게는 0.8 내지 1.5일 수 있다. 이와 같은 비율을 유지함으로써 연신으로 인한 물질 손실을 줄일 수 있어 물결 모양 배선의 연신 시 전기 전도도 감소폭을 줄일 수 있다.When the length of the pitch section is L and the radius of the curve section is R, their ratio P/R may be 0.1 to 2.0. At this time, P/R may be preferably 0.5 to 1.8, more preferably 0.8 to 1.5. By maintaining such a ratio, material loss due to stretching can be reduced, and thus, when the corrugated wire is stretched, the decrease in electrical conductivity can be reduced.
상기 물결 모양 배선의 밑변 두께는 0.001 내지 1.00 cm일 수 있다. 이와 같은 범위에서 배선의 밑변 두께를 유지함으로써 최대 연신율을 높게 유지할 수 있다. 배선 밑변의 두께가 이보다 작을 경우 배선의 단면적이 줄어듦에 따라 배선의 저항이 크게 상승할 수 있어 좋지 않고, 이보다 클 경우 배선의 연신 시 물질의 손실이 커져 전기 전도도 감소가 크게 발생할 수 있다.A base thickness of the corrugated wiring may be 0.001 cm to 1.00 cm. By maintaining the thickness of the base of the wire within this range, the maximum elongation rate can be maintained high. If the thickness of the bottom of the wire is smaller than this, it is not good because the resistance of the wire may greatly increase as the cross-sectional area of the wire is reduced.
상기 물결 모양 배선의 단면은 밑변:제1 모서리:제2 모서리의 비가 1:0.3 내지 1.5:0.3 내지 1.5인 삼각형 형상인 것을 특징으로 하는 것일 수 있다. 이와 같은 비율을 유지함으로써 물결 모양 배선의 연신 시 전기 전도도 감소폭을 줄일 수 있다.The cross section of the corrugated wire may have a triangular shape in which a base:first edge:second edge ratio is 1:0.3 to 1.5:0.3 to 1.5. By maintaining this ratio, it is possible to reduce the decrease in electrical conductivity when the corrugated wire is stretched.
상기 물결 모양 배선은 길이를 초기 길이 대비 50% 연신하였을 때 전기 전도도가 초기 전기 전도도 대비 30% 이상으로 유지되는 것일 수 있다. 이때, 바람직하게는 35%, 더욱 바람직하게는 40% 이상일 수 있다.The corrugated wire may have electrical conductivity maintained at 30% or more compared to the initial electrical conductivity when the length is elongated by 50% compared to the initial length. At this time, it may be preferably 35%, more preferably 40% or more.
상기 물결 모양 배선은 후술하는 단계적 공정에 따라 제조되는 것일 수 있다.The corrugated wiring may be manufactured according to a step-by-step process described below.
이때, 상기 단계적 공정은 상기 다른 일 양태에 있어, 기판, 상기 기판 상에 포토레지스트를 증착하여 타겟을 제조하는 제1단계; 상기 포토레지스트에 경화를 수행하는 제2단계; 상기 타겟에 리소그래피를 수행하는 제3단계; 상기 타겟의 식각을 수행하는 제4단계; 및 상기 타겟 상에 스퍼터링을 수행하여 물결 모양 배선을 제조하는 제5단계;를 포함하는 것일 수 있다.At this time, the step-by-step process according to the other aspect, the first step of manufacturing a target by depositing a substrate, a photoresist on the substrate; a second step of curing the photoresist; a third step of performing lithography on the target; A fourth step of etching the target; and a fifth step of producing a corrugated wire by performing sputtering on the target.
상기 제1단계에 있어서, 상기 포토레지스트는 공지의 방법으로 증착하는 것일 수 있다.In the first step, the photoresist may be deposited by a known method.
상기 제 2단계에 있어서, 상기 패터닝은 포토레지스트 층에 패턴을 형성하는 것을 의미하며, 이때 상기 패턴은 전술한 물결 모양 배선의 형태에 따라 조절하는 것일 수 있다.In the second step, the patterning means forming a pattern on the photoresist layer, and at this time, the pattern may be adjusted according to the shape of the wavy wiring described above.
상기 제 5단계에 있어서, 상기 스퍼터링은 Pt, Cu, Ag, Ru, Ti, Al, Au, Ni, Pd 및 Zn 중 선택된 어느 하나의 금속 또는 둘 이상의 합금을 증착하는 것일 수 있다. 이때, 상기 합금은 예를 들어, PdAu, NiAu 및 TiAu와 같은 조성일 수 있다.In the fifth step, the sputtering may be depositing any one metal selected from Pt, Cu, Ag, Ru, Ti, Al, Au, Ni, Pd, and Zn or an alloy of two or more. In this case, the alloy may have a composition such as, for example, PdAu, NiAu, and TiAu.
이하, 실시예를 통해 본 발명에 따른 물결 모양 배선에 대하여 더욱 상세히 설명한다. 다만 하기 실시예는 본 발명을 상세히 설명하기 위한 하나의 참조일 뿐 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 여러 형태로 구현될 수 있다. Hereinafter, the corrugated wiring according to the present invention will be described in more detail through examples. However, the following examples are only one reference for explaining the present invention in detail, but the present invention is not limited thereto, and may be implemented in various forms.
또한, 달리 정의되지 않은 한, 모든 기술적 용어 및 과학적 용어는 본 발명이 속하는 당업자 중 하나에 의해 일반적으로 이해되는 의미와 동일한 의미를 갖는다. 본원에서 설명에 사용되는 용어는 단지 특정 실시예를 효과적으로 기술하기 위함이고 본 발명을 제한하는 것으로 의도되지 않는다.Also, unless defined otherwise, all technical and scientific terms have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. The terminology used in the description herein is merely to effectively describe specific embodiments and is not intended to limit the present invention.
[실시예][Example]
두께가 3 mm인 기판 상에 포토레지스트 층을 증착하였다. 이후 포토레지스트 층에 패터닝을 수행하고, 패터닝 형상에 따라 리소그래피 및 식각을 차례로 수행한 다음, 최종적으로 Pt 스퍼터링을 수행하여 단면이 밑변의 길이가 3 mm, 높이가 3 mm인 삼각형 형상을 가지며, 총 길이가 28 mm인 물결 모양 배선을 제조하였다.A photoresist layer was deposited on the substrate with a thickness of 3 mm. Thereafter, patterning was performed on the photoresist layer, lithography and etching were sequentially performed according to the patterning shape, and finally Pt sputtering was performed to have a triangular cross section having a base length of 3 mm and a height of 3 mm, and a wavy wire having a total length of 28 mm.
[비교예 1][Comparative Example 1]
두께가 3 mm이며, 단면이 직사각형 형상을 가지며, 총 길이가 28 mm인 물결 모양 배선을 제조하였다.A corrugated wire having a thickness of 3 mm, a cross section of a rectangular shape, and a total length of 28 mm was manufactured.
[비교예 2][Comparative Example 2]
두께가 3 mm이며, 단면이 직사각형 형상을 가지며, 비교예 1에 비해 45도 기울어져 형성된 총 길이가 28 mm인 물결 모양 배선을 제조하였다.A wavy wire having a thickness of 3 mm, a cross section having a rectangular shape, and a total length of 28 mm formed at an angle of 45 degrees compared to Comparative Example 1 was manufactured.
[특성 평가 방법][Characteristic evaluation method]
실시예, 비교예 1 및 2의 저항을 측정하고, 이들을 연신하며 전기 전도도의 변화를 관찰하였다.Resistances of Examples and Comparative Examples 1 and 2 were measured, and changes in electrical conductivity were observed while stretching them.
표 1 및 도 2에서 확인할 수 있는 바와 같이, 실시예의 전기 저항이 가장 낮은 것을 알 수 있다. 단, 전도체의 전기 저항은 그 단면적에 반비례하므로, 이와 같은 결과는 단순하게 실시예의 형태로 인해 비교예보다 전기 저항이 낮음을 의미하지는 않는다.As can be seen from Table 1 and FIG. 2, it can be seen that the electrical resistance of the embodiment is the lowest. However, since the electrical resistance of a conductor is inversely proportional to its cross-sectional area, such a result does not mean that the electrical resistance is lower than that of the comparative example simply due to the shape of the embodiment.
도 3을 참조하면, 배선을 연신함에 따라 전기 전도도가 초기에 비해 어떻게 변화하였는지 확인할 수 있다. 도 3에서 A shape는 실시예를, plane은 비교예 1을, / shape는 비교예 2를 지칭한다. Referring to FIG. 3 , it can be seen how the electrical conductivity changed compared to the initial stage as the wire was stretched. In FIG. 3, A shape refers to an embodiment, plane refers to Comparative Example 1, and / shape refers to Comparative Example 2.
비교예 1(plane)은 연신 직후 약 2 mm 연신(약 7%)까지 전기 전도도가 감소하는 경향이 크지 않았으나, 이후 전기 전도도가 급격하게 감소하기 시작하여 15 mm 연신(약 54%) 시에 초기 전기 전도도 대비 10% 미만으로 낮아진 것을 확인할 수 있다.In Comparative Example 1 (plane), the electrical conductivity did not show a significant decrease until about 2 mm stretching (about 7%) immediately after stretching, but the electrical conductivity began to decrease rapidly thereafter, and at the time of 15 mm stretching (about 54%) It can be confirmed that the electrical conductivity was lowered to less than 10% compared to the initial electrical conductivity.
또한, 비교예 2(/ shape)는 모든 구간에 걸쳐 지속적으로 전기 전도도가 감소하여, 최종적으로 30 mm 연신(약 107%) 시에는 초기 대비 30%의 전기 전도도를 보였다.In addition, Comparative Example 2 (/ shape) showed a continuous decrease in electrical conductivity over all sections, and finally showed 30% of the initial electrical conductivity at the time of 30 mm elongation (about 107%).
반면, 실시예는 5 mm 연신(약 18%) 시에도 전기 전도도가 거의 변하지 않았으며, 이후 계속해서 전기 전도도가 감소하나, 30 mm 연신(약 107%) 시에도 초기 대비 45% 이상의 전기 전도도를 보여 비교예 1 및 2에 비해 우수한 연신 소자로 적용할 수 있음을 알 수 있다.On the other hand, in the embodiment, the electrical conductivity hardly changed even when stretched 5 mm (about 18%), and the electrical conductivity continued to decrease thereafter, but even when stretched 30 mm (about 107%), the electrical conductivity was 45% or more compared to the initial level. It can be seen that it can be applied as an excellent stretching element compared to Comparative Examples 1 and 2.
이상과 같이 특정된 사항들과 한정된 실시예를 통해 본 발명을 설명하였으나, 이는 본 발명의 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. Although the present invention has been described through specific details and limited examples as described above, this is only provided to help the overall understanding of the present invention, the present invention is not limited to the above embodiments, and those skilled in the art can make various modifications and variations from these descriptions.
따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.Therefore, the spirit of the present invention should not be limited to the described embodiments, and not only the claims described later, but also all modifications equivalent or equivalent to these claims belong to the scope of the present invention.
Claims (7)
상기 물결 모양 배선은 수직 단면이 삼각형 형상인 것을 특징으로 하는 물결 모양 배선.A plurality of straight pitch sections having a certain length; And a plurality of semi-circular curve sections connecting between the pitch sections; with wavy wiring repeatedly connected thereto,
The corrugated wiring is a corrugated wiring, characterized in that the vertical cross section is a triangular shape.
상기 피치 구간의 길이를 L, 상기 커브 구간의 반지름을 R이라 할 때, 상기 물결 모양 배선이 이루는 파형(waveform)의 폭은 L + 2R로, 주기는 4R로 표현되는 물결 모양 배선.According to claim 1,
When the length of the pitch section is L and the radius of the curve section is R, the width of the waveform formed by the corrugated wiring is L + 2R, and the period is expressed as 4R.
상기 피치 구간의 길이(L)와 상기 커브 구간의 반지름(R)의 비율인 P/R은 0.1 내지 2.0인 물결 모양 배선.According to claim 2,
P / R, which is the ratio of the length (L) of the pitch section and the radius (R) of the curve section, is a corrugated wiring of 0.1 to 2.0.
상기 물결 모양 배선의 밑변 두께는 0.001 내지 1.00 cm인 물결 모양 배선.According to claim 1,
The corrugated wiring has a base thickness of 0.001 to 1.00 cm of the corrugated wiring.
상기 물결 모양 배선의 단면은 밑변:제1 모서리:제2 모서리의 비가 1:0.3 내지 1.5:0.3 내지 1.5인 삼각형 형상인 것을 특징으로 하는 물결 모양 배선.According to claim 1,
The corrugated wiring, characterized in that the cross section of the corrugated wiring has a triangular shape in which the ratio of the base: first corner: second corner is 1: 0.3 to 1.5: 0.3 to 1.5.
상기 물결 모양 배선은 길이를 초기 길이 대비 50% 연신하였을 때 전기 전도도가 초기 전기 전도도 대비 30% 이상으로 유지되는 물결 모양 배선.According to claim 1,
The corrugated wiring is a corrugated wiring whose electrical conductivity is maintained at 30% or more compared to the initial electrical conductivity when the length is elongated by 50% compared to the initial length.
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