KR20230102113A - 이송 장치 - Google Patents

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KR20230102113A KR1020210191996A KR20210191996A KR20230102113A KR 20230102113 A KR20230102113 A KR 20230102113A KR 1020210191996 A KR1020210191996 A KR 1020210191996A KR 20210191996 A KR20210191996 A KR 20210191996A KR 20230102113 A KR20230102113 A KR 20230102113A
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최중길
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Abstract

이송 장치는 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 이송하기 위한 것으로써, 상기 물품의 이송시 상기 집적회로 소자의 제조 라인의 천정을 따라 주행하도록 구비되는 물품 이송부, 및 상기 물품의 이송시 상기 물품 이송부와 주고받는 상기 물품을 임시 보관할 수 있게 상기 물품 이송부의 주행 방향을 기준으로 일측 또는/및 타측에 위치하도록 구비되는 임시 보관부를 포함하도록 이루어질 수 있고, 특히 상기 임시 보관부는 상기 일측 또는/및 타측을 따라 연장되는 적어도 2열 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 그리고 상기 적어도 2열 구조 내에서 상기 물품을 운반시키도록 구비되는 운반부를 더 포함할 수 있다.

Description

이송 장치{TRANSFERRING APPARATUS}
본 발명은 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 집적회로 소자의 제조에 사용하기 위한 물품을 이송하기 위한 이송 장치에 관한 것이다.
반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에서는 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품, 즉 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 다수매 적재하는 풉(FOUP) 등과 같은 물품에 대한 이송 공정이 빈번하게 이루어지고 있는데, 최근에는 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에 구비되는 OHT(overhaed hoist transport) 등과 같은 이송 장치를 사용하고 있다.
OHT 등과 같은 이송 장치는 주로 천장에 위치하는 주행 레일을 따라 주행하는 주행 대차로 이루어지는 물품 이송부를 포함함과 아울러 집적회로 소자의 제조 장치와 주고받는 물품을 보관하는 보관부 등을 포함할 수 있다.
보관부는 집적회로 소자의 제조 라인의 다양한 장소에 위치하도록 구비될 수 있는 것으로써, 예를 들면 물품 이송부의 주행 방향을 기준으로 일측 또는/및 타측에 위치하도록 구비되는 임시 보관부(STB : Side Track Buffer) 등이 있다.
그런데 종래의 임시 보관부는 물품을 임시 보관하는 공간이 상대적으로 협소하다는 문제점이 있다.
한국등록특허 10-2206058호
본 발명의 일 목적은 집적회로 소자의 제조에서 물품의 이송시 집적회로 소자의 제조 라인의 천정을 따라 주행하도록 구비되는 물품 이송부의 주행 방향을 기준으로 일측 또는/및 타측에 위치하도록 구비되는 임시 보관부의 물품 적재 공간을 상대적으로 넓게 확보할 수 있는 이송 장치를 제공하는데 있다.
상기 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치는 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 이송하기 위한 것으로써, 상기 물품의 이송시 상기 집적회로 소자의 제조 라인의 천정을 따라 주행하도록 구비되는 물품 이송부, 및 상기 물품의 이송시 상기 물품 이송부와 주고받는 상기 물품을 임시 보관할 수 있게 상기 물품 이송부의 주행 방향을 기준으로 일측 또는/및 타측에 위치하도록 구비되는 임시 보관부를 포함하도록 이루어질 수 있고, 특히 상기 임시 보관부는 상기 일측 또는/및 타측을 따라 연장되는 적어도 2열 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 그리고 상기 적어도 2열 구조 내에서 상기 물품을 운반시키도록 구비되는 운반부를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 임시 보관부의 적어도 2열 구조는 분리 및 결합시킬 수 있는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 임시 보관부의 적어도 2열 구조는 서로 다른 높이를 갖도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 적어도 2열 구조에서의 하부가 적어도 2단의 단차 구조를 가질 수 있게 상기 적어도 2열 구조에서의 상부가 상기 천정에 대략 동일한 높이를 갖도록 배치되도록 설치할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 운반부는 전진 및 후진이 가능하도록 구비됨과 아울러 상기 물품을 지지할 수 있는 블레이드 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치는 임시 보관부의 물품 적재 공간을 상대적으로 넓게 확보함으로써 한 번에 보다 많은 물품을 임시 보관할 수 있기 때문에 물품의 이송시 소요되는 시간을 충분하게 단축시킬 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치는 물품의 이송에 따른 소요 시간을 충분하게 단축시킬 수 있기 때문에 집적회로 소자의 제조에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)는 반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에 사용하기 위한 물품(13)을 이송하는 이송 공정의 수행시 집접회로 소자의 제조 장치로 이송이 이루어지는 물품(13)을 임시 보관하는데 사용하기 위한 것으로써, 물품 이송부(15), 임시 보관부(21) 등을 포함하는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.
먼저, 집적회로 소자의 제조 장치는 노광 장치, 코팅 장치, 현상 장치, 박막 형성 장치, 식각 장치 등일 수 있고, 집적회로 소자의 제조 라인의 정해진 위치에 다수개가 배열되는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 아울러 공정 진행 순서에 따라 서로 이웃하게 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
이에, 집적회로 소자의 제조 장치에서의 물품(13) 이송을 위하여 이송 장치(100)가 집적회로 소자의 제조 라인의 다양한 장소에 위치하도록 구비될 수 있고, 또한 집적회로 소자의 제조 라인에는 제조 장치와 이송 장치(100) 사이에서의 이송이 이루어지는 물품(13)을 보관하기 위한 스토커(stocker) 등과 같은 보관부 등이 위치하도록 구비될 수 있다.
집적회로 소자의 제조에서 이송되는 물품(13)의 예로서는 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 다수매 적재하는 풉(FOUP), 집적회로 소자의 제조에 사용되는 레티클을 다수매 적재하는 컨테이너 등일 수 있다.
언급한 바와 같이, 이송 장치(100)는 집적회로 소자의 제조 라인의 다양한 장소에 위치하도록 구비될 수 있는데, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)는 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에 위치하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
구체적으로, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)는 천장에 위치하는 주행 레일(19)과 주행 레일(19)을 따라 주행하는 주행 대차(17)로 이루어지는 물품 이송부(15)를 포함함과 아울러 물품 이송부(15)를 사용한 물품(13)의 이송시 물품(13)을 임시 보관하는 임시 보관부(21)를 포함하는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 특히 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)에서의 임시 보관부(21)는 물품 이송부(15)의 주행 방향을 기준으로 일측 또는/및 타측에 위치하도록 구비되는 버퍼 부재(STB : Side Track Buffer)일 수 있다.
다만, 본 발명의 예시시적인 실시예들에서는 임시 보관부(21)를 물품 이송부(15)의 주행 방향을 기준으로 일측에만 위치하도록 구비하지만, 이와 달리 임시 보관부(21)를 물품 이송부(15)의 주행 방향을 기준으로 타측에만 위치하도록 구비하거나, 임시 보관부(21)를 물품 이송부(15)의 주행 방향을 기준으로 양측 모두에 위치하도록 구비할 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)를 사용하는 물품(13)의 이송시에는 물품 이송부(15)와 주고받는 물품(13)을 임시 보관부(21)에 임시 보관할 수 있는 것으로써, 물품 이송부(15)와 물품(13)을 주고받을 수 있도록 이루어질 수 있을 뿐만 아니라 임시 보관부(21)에 임시 보관 중에 있는 물품(13)을 승강 부재 등을 사용하여 제조 장치와도 주고받을 수 있도록 이루어질 수 있을 것이다.
이에, 임시 보관부(21)에서의 물품(13)을 임시 보관하는 공간을 상대적으로 넓게 확보하는 것이 물품(13)의 이송에 따른 이송 공정에 보다 유리할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)에서는 임시 보관부(21)를 종래의 단일 구조를 갖도록 구비되는 것과는 달리 적어도 2열 구조를 갖도록 구비할 수 있다.
구체적으로, 본 발명의 예시적인 실시예들에서의 임시 보관부(21)는 물품 이송부(15)의 주행 방향을 기준으로 일측 또는/및 타측을 따라 연장되는 적어도 2열 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 즉 주행 대차(17)의 주행 방향(x 방향)을 기준으로 이와 수직하는 일측 방향(+y 방향) 또는/및 타측 방향(-y 방향)을 따라 적어도 두 개가 배열되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
본 발명에 따르면, 주행 대차(17)의 주행 방향을 기준으로 이와 수직하는 일측 방향을 따라 제1 임시 보관부(23) 그리고 제1 임시 보관부(23)로부터 연장되는 제2 임시 보관부(25)가 배열되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
다만, 본 발명에서는 주행 대차(17)의 주행 방향을 기준으로 일측 방향을 따라 제1 임시 보관부(23) 및 제2 임시 보관부(25)가 배열되는 구조에 대하여 설명하고 있지만, 언급한 일측 방향 또는/및 타측 방향을 따라 적어도 2열로 배열되는 구조를 갖도록 구비될 경우에는 그 개수에 한정되지 않을 것이다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 임시 보관부(21)에서의 2열 구조는 서로 분리 및 결합시킬 수 있는 구조를 갖도록 구비될 수 있는데, 예를 들면 제1 임시 보관부(23) 및 제2 임시 보관부(25)를 서로 분리 및 결합시킬 수 있는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 더욱이 제1 임시 보관부(23)를 기본으로 제2 내지 제n 임시 보관부(n은 3이상의 자연수)까지 분리 및 결합시키도록 구비될 수 있을 것이다.
이와 같이, 적어도 2열 구조의 임시 보관부(21)를 서로 분리 및 결합시키도록 구비하는 것은 원하는 만큼의 물품(13)을 적재할 수 있는 적재 공간을 용이하게 확보하기 위함이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)는 임시 보관부(21)가 2열 구조를 갖도록 구비될 수 있기 때문에 임시 보관부(21) 내에서의 물품(13)을 운반시킬 수 있는 부재인 운반부(27)를 더 포함하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
본 발명에서의 운반부(27)는 전진 및 후진이 가능하도록 구비됨과 아울러 물품 이송부(15)와 주고받는 물품(13)을 지지할 수 있는 블레이드 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)에서의 임시 보관부(21)의 적어도 2열 구조는 서로 다른 높이를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 천정(11)에 대략 동일한 높이를 갖도록 배치되게 설치될 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)에서의 임시 보관부(21)는 적어도 2열 구조에서의 하부가 적어도 2단의 단차 구조를 가질 수 있도록 구비될 수 있다.
예들 들면, 제1 임시 보관부(23)보다 제2 임시 보관부(25)가 더 높은 길이를 갖도록 구비함과 아울러 제1 임시 보관부(23) 및 제2 임시 보관부(25)를 천정(11)에 대략 동일한 높이를 갖도록 배치되게 설치함으로써 제1 임시 보관부(23) 및 제2 임시 보관부(25)의 하부가 2단의 단차 구조를 갖도록 할 수 있는 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)에서의 임시 보관부(21)를 적어도 2열 구조에서의 하부가 적어도 2단의 단차 구조를 갖도록 구비하는 것은 운반부(27)의 전진 및 후진에 따른 움직임을 보다 용이하게 확보하기 위함이다.
그리고 본 발명에 따르면 임시 보관부(21)를 적어도 2열 구조에서의 하부가 적어도 2단의 단차 구조를 갖도록 구비함으로써 운반부(27) 또한 승강 및 하강하는 구조를 갖도록 구비될 수도 있을 것이다.
이와 달리, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)에서의 임시 보관부(21)에는 물품(13)이 놓이는 선반(29)이 구비될 수 있는데, 선반(29)을 승강 및 하강하는 구조를 갖도록 구비함에 의해서도 적어도 2단의 단차 구조를 갖도록 구비되는 임시 보관부(21)에서의 물품(13)의 운반을 달성할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)를 사용하는 물품(13)의 이송에 대한 예를 들면, 물품 이송부(15)로부터 임시 보관부(21)로 물품(13)을 받아서 먼저 1열의 제1 임시 보관부(23)를 거쳐 2열의 제2 임시 보관부(25)에 임시 보관시킴과 아울러 다시 물품 이송부(15)로부터 임시 보관부(21)로 물품(13)을 받아서 1열의 제1 임시 보관부(23)에 임시 보관시킬 수 있을 것이다.
그리고 임시 보관부(21)에 1열의 제1 임시 보관부(23)에 임시 보관되는 물품(13)을 물품 이송부(15)로 전달함과 아울러 다시 2 열의 제2 임시 보관부(25)에 임시 보관되는 물품(13)을 1열의 제1 임시 보관부(23)를 거쳐 물품 이송부(15)로 전달할 수 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)는 임시 보관부(21)의 물품(13) 적재 공간을 상대적으로 넓게 확보함으로써 한 번에 보다 많은 물품(13)을 임시 보관하거나 또는 주고받을 수 있기 때문에 물품(13)의 이송시 소요되는 시간을 충분하게 단축시킬 수 있을 것이고, 이에 물품(13)의 이송에 따른 소요 시간을 충분하게 단축시킬 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치는 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 다수매 수납하는 풉 등과 같은 물품을 이송하는 이송 공정에 사용할 수 있기에, 반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 천정
13 : 물품
15 : 물품 이송부
21 : 임시 보관부
27 : 운반부
100 : 이송 장치

Claims (5)

  1. 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 이송하기 위한 이송 장치에 있어서,
    상기 물품의 이송시 상기 집적회로 소자의 제조 라인의 천정을 따라 주행하도록 구비되는 물품 이송부; 및
    상기 물품의 이송시 상기 물품 이송부와 주고받는 상기 물품을 임시 보관할 수 있게 상기 물품 이송부의 주행 방향을 기준으로 일측 또는/및 타측에 위치하도록 구비되는 임시 보관부를 포함하되,
    상기 임시 보관부는 상기 일측 또는/및 타측을 따라 연장되는 적어도 2열 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 그리고 상기 적어도 2열 구조 내에서 상기 물품을 운반시키도록 구비되는 운반부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 임시 보관부의 적어도 2열 구조는 분리 및 결합시킬 수 있는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 임시 보관부의 적어도 2열 구조는 서로 다른 높이를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 적어도 2열 구조에서의 하부가 적어도 2단의 단차 구조를 가질 수 있게 상기 적어도 2열 구조에서의 상부가 상기 천정에 대략 동일한 높이를 갖도록 배치되도록 설치하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 운반부는 전진 및 후진이 가능하도록 구비됨과 아울러 상기 물품을 지지할 수 있는 블레이드 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
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