KR20230081635A - Horizontal articulated robot - Google Patents

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KR20230081635A
KR20230081635A KR1020220155104A KR20220155104A KR20230081635A KR 20230081635 A KR20230081635 A KR 20230081635A KR 1020220155104 A KR1020220155104 A KR 1020220155104A KR 20220155104 A KR20220155104 A KR 20220155104A KR 20230081635 A KR20230081635 A KR 20230081635A
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articulated robot
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KR1020220155104A
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히로히코 스기야마
다모츠 구리바야시
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니덱 인스트루먼츠 가부시키가이샤
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Abstract

수평 방향으로 암이 동작하는 수평 다관절 로봇에 있어서, 관절부로부터 수평 다관절 로봇의 내부로의 액체의 침입을 억제하는 것이 가능한 수평 다관절 로봇을 제공한다.
이 수평 다관절 로봇은, 제1 암부(7)와, 제1 암부(7)의 상측에 배치되고 제1 암부(7)에 회동 가능하게 연결되는 제2 암부(8)를 구비하고 있다. 제1 암부(7)는, 제1 암부(7)와 제2 암부(8)의 연결 부분이 되는 관절부(11)에 있어서 제1 암부(7)의 외주측 부분의 일부를 구성하는 환상의 베어링 캡 부재(26)를 구비하고, 제2 암부(8)는, 관절부(11)에 있어서 제2 암부(8)의 외주측 부분을 구성하는 암부 본체(29)를 구비하고 있다. 암부 본체(29)는, 관절부(11)의 직경 방향의 외측으로부터 베어링 캡 부재(26)의 상측 부분을 전체 둘레에 걸쳐서 덮는 통 형상의 통 형상 덮개부(29a)를 구비하고 있고, 통 형상 덮개부(29a)의 하단은, 베어링 캡 부재(26)의 상단보다도 하측에 배치되어 있다.In a horizontal articulated robot whose arm moves in the horizontal direction, there is provided a horizontal articulated robot capable of suppressing liquid from entering the inside of the horizontal articulated robot from a joint part.
This horizontal articulated robot includes a first arm portion 7 and a second arm portion 8 disposed above the first arm portion 7 and connected to the first arm portion 7 so that rotation is possible. The first arm portion 7 is an annular bearing constituting a part of the outer peripheral side portion of the first arm portion 7 in the joint portion 11 serving as a connecting portion between the first arm portion 7 and the second arm portion 8. The cap member 26 is provided, and the second arm portion 8 includes an arm body 29 constituting an outer circumferential side portion of the second arm portion 8 in the joint portion 11 . The arm main body 29 is provided with a tubular lid portion 29a that covers the upper portion of the bearing cap member 26 over the entire circumference from the outer side in the radial direction of the joint portion 11, and is provided with a tubular cover portion. The lower end of the portion 29a is disposed below the upper end of the bearing cap member 26 .

Figure P1020220155104
Figure P1020220155104

Description

수평 다관절 로봇{HORIZONTAL ARTICULATED ROBOT}Horizontal articulated robot {HORIZONTAL ARTICULATED ROBOT}

본 발명은, 수평 방향으로 암이 동작하는 수평 다관절 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to a horizontal articulated robot whose arm moves in a horizontal direction.

종래, 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 반송 대상물을 반송하기 위한 수평 다관절 로봇이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 수평 다관절 로봇은, 반송 대상물이 탑재되는 핸드와, 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 암과, 암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고 있다. 암은, 서로 회동 가능하게 연결되는 제1 암부와 제2 암부로 구성되어 있다.Conventionally, a horizontal multi-joint robot for conveying objects such as glass substrates and semiconductor wafers is known (see Patent Document 1, for example). The horizontal articulated robot described in Patent Literature 1 includes a hand on which an object to be conveyed is mounted, an arm to which the hand is rotatably connected to the front end side, and a main body to which the proximal end side of the arm is rotatably connected. An arm is comprised from the 1st arm part and the 2nd arm part connected mutually so that rotation is possible.

특허문헌 1에 기재된 수평 다관절 로봇에서는, 제1 암부의 기단측은, 본체부에 회동 가능하게 연결되어 있다. 제2 암부의 기단측은, 제1 암부의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 핸드는, 제2 암부의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 제1 암부는, 본체부보다도 상측에 배치되고, 제2 암부는, 제1 암부보다도 상측에 배치되고, 핸드는, 제2 암부보다도 상측에 배치되어 있다. 본체부와 제1 암부의 연결 부분, 제1 암부와 제2 암부의 연결 부분, 및 제2 암부와 핸드의 연결 부분은, 관절부로 되어 있다.In the horizontal articulated robot described in Patent Literature 1, the proximal end of the first arm unit is rotatably connected to the body unit. The base end side of the 2nd arm part is connected to the front end side of the 1st arm part so that rotation is possible. The hand is connected to the tip side of the second arm portion so that rotation is possible. The first arm portion is disposed above the body portion, the second arm portion is disposed above the first arm portion, and the hand is disposed above the second arm portion. The connecting portion between the body portion and the first arm portion, the connecting portion between the first arm portion and the second arm portion, and the connecting portion between the second arm portion and the hand are joint portions.

일본 특허 공개 제2019-118962호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2019-118962

특허문헌 1에 기재된 수평 다관절 로봇이, 예를 들어 액체를 사용하는 소정의 처리가 행하여진 후의 반도체 웨이퍼를 반송하는 경우, 반도체 웨이퍼 상에 남아 있는 액체가 반도체 웨이퍼로부터 낙하하여, 관절부로부터 수평 다관절 로봇의 내부에 들어갈 우려가 있다. 또한, 관절부로부터 수평 다관절 로봇의 내부에 액체가 들어가면, 수평 다관절 로봇의 내부에서 부식이 발생할 우려가 생긴다.When the horizontal multi-joint robot described in Patent Literature 1 transports a semiconductor wafer after a predetermined process using liquid is performed, for example, the liquid remaining on the semiconductor wafer falls from the semiconductor wafer, and the horizontal multi-joint robot from the joint part There is a risk of entering the inside of the joint robot. In addition, if liquid enters the inside of the horizontal articulated robot from the joints, corrosion may occur inside the horizontal articulated robot.

그래서, 본 발명의 과제는, 수평 방향으로 암이 동작하는 수평 다관절 로봇에 있어서, 관절부로부터 수평 다관절 로봇의 내부로의 액체의 침입을 억제하는 것이 가능한 수평 다관절 로봇을 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a horizontal articulated robot capable of suppressing liquid from entering the inside of the horizontal articulated robot from the joints in a horizontal articulated robot whose arm moves in the horizontal direction.

상기의 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 수평 다관절 로봇은, 수평 방향으로 암이 동작하는 수평 다관절 로봇에 있어서, 지지부와, 지지부의 상측에 배치됨과 함께 지지부에 회동 가능하게 연결되는 피지지부를 구비하고, 지지부는, 지지부와 피지지부의 연결 부분이 되는 관절부에 있어서 지지부의 외주측 부분의 적어도 일부를 구성하는 환상의 지지측 부재를 구비하고, 피지지부는, 관절부에 있어서 피지지부의 외주측 부분의 적어도 일부를 구성하는 피지지측 부재를 구비하고, 피지지측 부재는, 관절부의 직경 방향의 외측으로부터 지지측 부재의 적어도 상측 부분을 전체 둘레에 걸쳐서 덮는 통 형상의 통 형상 덮개부를 구비하고, 통 형상 덮개부의 하단은, 지지측 부재의 상단보다도 하측에 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the horizontal articulated robot of the present invention is a horizontal articulated robot in which an arm operates in a horizontal direction, a support part, and a supported part disposed above the support part and rotatably connected to the support part. The support part includes an annular support-side member constituting at least a part of an outer circumferential side of the support part in the joint part serving as a connecting part between the support part and the supported part, and the supported part comprises an outer circumferential side of the supported part in the joint part. a supported-side member constituting at least a part of the portion, the supported-side member having a tubular lid covering the entire circumference of at least an upper portion of the support-side member from a radially outer side of the joint portion, and It is characterized in that the lower end of the lid portion is arranged lower than the upper end of the support-side member.

본 발명의 수평 다관절 로봇에서는, 지지부는, 지지부와 피지지부의 연결 부분이 되는 관절부에 있어서 지지부의 외주측 부분의 적어도 일부를 구성하는 환상의 지지측 부재를 구비하고, 지지부의 상측에 배치되는 피지지부는, 관절부에 있어서 피지지부의 외주측 부분의 적어도 일부를 구성하는 피지지측 부재를 구비하고 있다. 또한, 본 발명에서는, 피지지측 부재는, 관절부의 직경 방향의 외측으로부터 지지측 부재의 적어도 상측 부분을 전체 둘레에 걸쳐서 덮는 통 형상의 통 형상 덮개부를 구비하고 있고, 통 형상 덮개부의 하단은, 지지측 부재의 상단보다도 하측에 배치되어 있다. 그 때문에, 본 발명에서는, 관절부에 있어서, 통 형상 덮개부의 하측을 통과한 액체가 지지측 부재의 상측을 통과하지 않으면, 관절부로부터 수평 다관절 로봇의 내부에 액체는 침입하지 않는다. 따라서, 본 발명에서는, 예를 들어 반송 대상물에서 낙하한 액체가 관절부로부터 수평 다관절 로봇의 내부에 침입하는 것을 억제하는 것이 가능해진다.In the horizontal articulated robot of the present invention, the support part includes an annular support side member constituting at least a part of the outer circumferential side part of the support part in the joint part serving as the connecting part between the support part and the supported part, and the sebum disposed above the support part. The support portion includes a supported side member constituting at least a part of an outer circumferential side portion of the supported portion in the joint portion. Further, in the present invention, the supported-side member has a tubular cylindrical cover portion covering the entire circumference of at least the upper portion of the support-side member from the outside in the radial direction of the joint portion, and the lower end of the tubular cover portion is the support-side member. It is arranged on the lower side than the top of the . Therefore, in the present invention, in the joint portion, if the liquid passing through the lower side of the tubular cover portion does not pass through the upper side of the supporting member, the liquid does not enter the inside of the horizontal articulated robot from the joint portion. Therefore, in the present invention, for example, it becomes possible to suppress liquid that has fallen from the object to be transported from penetrating into the inside of the horizontal articulated robot from the joints.

본 발명에 있어서, 예를 들어 수평 다관절 로봇은, 반송 대상물이 탑재되는 피지지부로서의 핸드를 구비하고, 암은, 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 지지부로서의 선단측 암부를 구비하고 있다.In the present invention, for example, a horizontal articulated robot has a hand as a supported part on which a conveyance object is mounted, and an arm has a distal end side arm as a support to which the hand is rotatably connected to the distal end side.

본 발명에 있어서, 예를 들어 수평 다관절 로봇은, 반송 대상물이 탑재되는 핸드를 구비하고, 암은, 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 피지지부로서의 선단측 암부와, 선단측 암부의 기단측이 선단측에 회동 가능하게 연결되는 지지부로서의 기단측 암부를 구비하고 있다.In the present invention, for example, a horizontal articulated robot includes a hand on which an object to be conveyed is mounted, and the arm includes a distal arm portion as a supported portion to which the hand is rotatably connected to the distal end side, and a proximal end of the distal arm portion. The side is provided with a proximal end side arm part as a support part connected to the distal end side so that rotation is possible.

본 발명에 있어서, 예를 들어 수평 다관절 로봇은, 암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 지지부로서의 본체부를 구비하고, 암은, 본체부에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 피지지부로서의 기단측 암부를 구비하고 있다.In the present invention, for example, a horizontal articulated robot includes a body portion as a support portion to which the proximal end side of the arm is rotatably connected, and the arm has a proximal end side as a supported portion to which the proximal end side is rotatably connected to the main body portion. A dark part is provided.

본 발명에 있어서, 수평 다관절 로봇은, 반송 대상물이 탑재됨과 함께 암의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 핸드를 구비하고, 핸드는, 핸드의 선단측에 배치됨과 함께 반송 대상물의 단부면이 맞닿는 맞닿음면을 갖는 단부면 맞닿음 부재와, 맞닿음면을 향하여 반송 대상물을 압박하는 압박 부재와, 핸드의 기단측의 내부에 배치됨과 함께 압박 부재를 이동시키는 이동 기구와, 이동 기구를 상측에서 덮는 커버를 구비하고, 이동 기구에는, 압박 부재의 기단이 연결되고, 커버는, 압박 부재의 기단측 부분을 상측에서 덮고 있는 것이 바람직하다. 이렇게 구성하면, 예를 들어 반송 대상물에서 낙하한 액체가 압박 부재의 기단측 부분에 부착되는 것을 커버에 의해 억제하는 것이 가능해진다. 따라서, 예를 들어 반송 대상물에서 낙하한 액체가 핸드의 기단측의 내부에 침입하는 것을 커버에 의해 억제하는 것이 가능해진다.In the present invention, the horizontal articulated robot includes a hand rotatably connected to the distal end side of the arm while carrying an object to be transported, and the hand is disposed on the distal end side of the hand, and the end surface of the object to be transported is in contact with each other. An end face abutting member having an abutting surface, a pressing member that presses an object to be conveyed toward the abutting surface, a moving mechanism disposed inside the proximal end side of the hand and moving the pressing member, and a moving mechanism from above. It is preferable that a covering cover is provided, the base end of the pressing member is connected to the moving mechanism, and the cover covers the base end side portion of the pressing member from above. With this configuration, it is possible to suppress, for example, liquid that has fallen from the object to be conveyed from adhering to the proximal end side portion of the pressing member by the cover. Therefore, it becomes possible to suppress, for example, liquid that has fallen from the object to be conveyed from penetrating into the inside of the proximal end side of the hand with the cover.

본 발명에 있어서, 수평 다관절 로봇은, 반송 대상물이 탑재됨과 함께 암의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 핸드를 구비하고, 핸드는, 핸드의 선단측에 배치됨과 함께 반송 대상물의 단부면이 맞닿는 맞닿음면을 갖는 단부면 맞닿음 부재와, 맞닿음면을 향하여 반송 대상물을 압박하는 압박 부재와, 핸드의 기단측의 내부에 배치됨과 함께 압박 부재를 이동시키는 이동 기구와, 이동 기구를 상측에서 덮는 커버를 구비하고, 이동 기구는, 압박 부재의 기단이 선단에 고정되는 슬라이드 축과, 슬라이드 축을 슬라이드 가능하게 보유 지지하는 축 보유 지지 부재를 구비하고, 축 보유 지지 부재에는, 슬라이드 축이 삽입 관통되는 관통 구멍이 형성되고, 슬라이드 축은, 축 보유 지지 부재에 대하여 직선적으로 슬라이드 가능하게 되어 있고, 슬라이드 축의 선단측에는, 슬라이드 축의 직경 방향의 외측으로 넓어지는 플랜지부가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이렇게 구성하면, 예를 들어 반송 대상물에서 낙하한 액체가 축 보유 지지 부재의 관통 구멍을 통과하여 핸드의 기단측의 내부에 침입하는 것을 플랜지부에 의해 억제하는 것이 가능해진다.In the present invention, the horizontal articulated robot includes a hand rotatably connected to the distal end side of the arm while carrying an object to be transported, and the hand is disposed on the distal end side of the hand, and the end surface of the object to be transported is in contact with each other. An end face abutting member having an abutting surface, a pressing member that presses an object to be conveyed toward the abutting surface, a moving mechanism disposed inside the proximal end side of the hand and moving the pressing member, and a moving mechanism from above. A covering cover is provided, and the moving mechanism includes a slide shaft to which the base end of the pressing member is fixed to the front end, and a shaft holding member for slideably holding the slide shaft, and the slide shaft is inserted into the shaft holding member. It is preferable that a through hole is formed, the slide shaft can slide linearly with respect to the shaft holding member, and a flange portion extending outward in the radial direction of the slide shaft is formed on the tip side of the slide shaft. With this configuration, it is possible to suppress, for example, liquid that has fallen from the object to be conveyed through the through hole of the shaft holding member and infiltrate into the inside of the proximal end side of the hand by the flange portion.

이상과 같이, 본 발명의 수평 다관절 로봇에서는, 관절부로부터 수평 다관절 로봇의 내부로의 액체의 침입을 억제하는 것이 가능해진다.As described above, in the horizontal articulated robot of the present invention, it is possible to suppress the intrusion of liquid from the joints into the inside of the horizontal articulated robot.

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 수평 다관절 로봇의 평면도이다.
도 2는, 도 1에 도시하는 수평 다관절 로봇의 측면도이다.
도 3은, 도 1에 도시하는 암이 연장되어 있는 상태의 핸드 및 암의 평면도이다.
도 4는, 도 3의 E-E 단면의 단면도이다.
도 5는, 도 4의 F부의 확대도이다.
도 6은, 도 4의 G부의 확대도이다.
도 7은, 도 4의 H부의 확대도이다.
도 8은, 도 3의 J-J 단면의 단면도이다.1 is a plan view of a horizontal articulated robot according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a side view of the horizontal articulated robot shown in Fig. 1;
Fig. 3 is a plan view of the hand and arm shown in Fig. 1 in a state where the arm is extended.
FIG. 4 is a cross-sectional view of the EE section of FIG. 3 .
FIG. 5 is an enlarged view of portion F in FIG. 4 .
FIG. 6 is an enlarged view of portion G in FIG. 4 .
FIG. 7 is an enlarged view of portion H in FIG. 4 .
Fig. 8 is a cross-sectional view of the JJ section in Fig. 3;

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described, referring drawings.

(수평 다관절 로봇의 개략 구성)(Schematic configuration of horizontal articulated robot)

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 수평 다관절 로봇(1)의 평면도이다. 도 2는, 도 1에 도시하는 수평 다관절 로봇(1)의 측면도이다.1 is a plan view of a horizontal articulated robot 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view of the horizontal articulated robot 1 shown in FIG. 1 .

본 형태의 수평 다관절 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 함)은, 반송 대상물인 반도체 웨이퍼(2)(이하, 「웨이퍼(2)」라 함)를 반송하기 위한 산업용 로봇이다. 웨이퍼(2)는, 원판 형상으로 형성되어 있다. 본 형태에서는, 웨이퍼(2)에 대하여 액체를 사용하는 소정의 처리가 행하여지고, 로봇(1)은, 처리 후의 웨이퍼(2)를 반송한다.The horizontal articulated robot 1 (hereinafter referred to as "robot 1") of this embodiment is an industrial robot for conveying a semiconductor wafer 2 (hereinafter referred to as "wafer 2") as an object to be conveyed. am. The wafer 2 is formed in a disk shape. In this embodiment, a predetermined process using a liquid is performed on the wafer 2, and the robot 1 transports the processed wafer 2.

로봇(1)은, 웨이퍼(2)가 탑재되는 핸드(3)와, 핸드(3)가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 암(4)과, 암(4)의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부(5)를 구비하고 있다. 또한, 로봇(1)은, 본체부(5)를 수평 방향으로 직선적으로 이동시키는 수평 이동 기구(도시 생략)를 구비하고 있다. 본 형태의 로봇(1)은, 2개의 핸드(3) 및 2개의 암(4)을 구비하고 있고, 2개의 암(4)의 각각에 하나의 핸드(3)가 회동 가능하게 연결되어 있다. 본체부(5)에는, 2개의 암(4)의 기단측이 회동 가능하게 연결되어 있다.In the robot 1, a hand 3 on which the wafer 2 is mounted, an arm 4 to which the hand 3 is rotatably connected to the front end side, and the proximal end side of the arm 4 are rotatably connected. It is provided with a main body portion 5 to be. In addition, the robot 1 is equipped with a horizontal movement mechanism (not shown) which linearly moves the body part 5 in the horizontal direction. The robot 1 of this form is equipped with two hands 3 and two arms 4, and one hand 3 is connected to each of the two arms 4 so that rotation is possible. The proximal ends of the two arms 4 are connected to the body portion 5 so that rotation is possible.

암(4)은, 서로 상대 회동 가능하게 연결되는 제1 암부(7)와 제2 암부(8)의 2개의 암부로 구성되어 있다. 암(4)은, 수평 방향으로 동작한다. 구체적으로는, 암(4)은, 수평 방향에 있어서 신축 동작을 한다. 제1 암부(7) 및 제2 암부(8)는, 중공 형상으로 형성되어 있다. 제1 암부(7)의 기단측은, 본체부(5)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 제1 암부(7)의 선단측에는, 제2 암부(8)의 기단측이 회동 가능하게 연결되어 있다. 제2 암부(8)의 선단측에는, 핸드(3)가 회동 가능하게 연결되어 있다. 본 형태의 제2 암부(8)는, 선단측 암부이고, 제1 암부(7)는, 기단측 암부이다.The arm 4 is comprised of two arm parts, the 1st arm part 7 and the 2nd arm part 8 connected mutually so that relative rotation is possible. The arm 4 operates in a horizontal direction. Specifically, the arm 4 expands and contracts in the horizontal direction. The 1st arm part 7 and the 2nd arm part 8 are formed in hollow shape. The base end side of the 1st arm part 7 is connected to the body part 5 so that rotation is possible. The base end side of the 2nd arm part 8 is connected to the front end side of the 1st arm part 7 so that rotation is possible. A hand 3 is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 8 . The 2nd arm part 8 of this form is a front-end side arm part, and the 1st arm part 7 is a proximal-side arm part.

제1 암부(7)는, 본체부(5)에 대하여 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동한다. 제2 암부(8)는, 제1 암부(7)에 대하여 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동한다. 핸드(3)는, 제2 암부(8)에 대하여 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동한다. 제1 암부(7)는, 본체부(5)보다도 상측에 배치되고, 제2 암부(8)는, 제1 암부(7)보다도 상측에 배치되어 있다. 핸드(3)는, 제2 암부(8)보다도 상측에 배치되어 있다. 제1 암부(7)와 본체부(5)의 연결 부분은, 관절부(10)로 되어 있다. 제1 암부(7)와 제2 암부(8)와의 연결 부분은, 관절부(11)로 되어 있다. 제2 암부(8)와 핸드(3)와의 연결 부분은, 관절부(12)로 되어 있다.The first arm portion 7 rotates with respect to the main body portion 5 in the vertical direction as an axial direction of rotation. The second arm portion 8 rotates with respect to the first arm portion 7 in the vertical direction as an axial direction of rotation. The hand 3 rotates with respect to the second arm portion 8 in the vertical direction as an axial direction of rotation. The 1st arm part 7 is arrange|positioned above the main body part 5, and the 2nd arm part 8 is arrange|positioned above the 1st arm part 7. The hand 3 is disposed above the second arm portion 8 . The connecting portion between the first arm portion 7 and the main body portion 5 is a joint portion 10 . The connection portion between the first arm portion 7 and the second arm portion 8 is a joint portion 11 . The connection portion between the second arm portion 8 and the hand 3 is a joint portion 12 .

본 형태에서는, 핸드(3)와 제2 암부(8)의 관계에 있어서, 제2 암부(8)는, 지지부로 되어 있고, 핸드(3)는, 지지부인 제2 암부(8)의 상측에 배치됨과 함께 제2 암부(8)에 회동 가능하게 연결되는 피지지부로 되어 있다. 또한, 제1 암부(7)와 제2 암부(8)의 관계에 있어서, 제1 암부(7)는, 지지부로 되어 있고, 제2 암부(8)는, 지지부인 제1 암부(7)의 상측에 배치됨과 함께 제1 암부(7)에 회동 가능하게 연결되는 피지지부로 되어 있다. 또한, 본체부(5)와 제1 암부(7)의 관계에 있어서, 본체부(5)는, 지지부로 되어 있고, 제1 암부(7)는, 지지부인 본체부(5)의 상측에 배치됨과 함께 본체부(5)에 회동 가능하도록 피지지부로 되어 있다.In this embodiment, in the relationship between the hand 3 and the second arm portion 8, the second arm portion 8 serves as a support portion, and the hand 3 is positioned above the second arm portion 8 serving as the support portion. While being arranged, it becomes a supported part connected to the 2nd arm part 8 so that rotation is possible. In addition, in the relationship between the first arm portion 7 and the second arm portion 8, the first arm portion 7 serves as a support portion, and the second arm portion 8 is a support portion of the first arm portion 7. While being arranged on the upper side, it becomes a supported part connected to the 1st arm part 7 so that rotation is possible. Further, in the relationship between the body portion 5 and the first arm portion 7, the body portion 5 serves as a support portion, and the first arm portion 7 is disposed above the body portion 5 serving as the support portion. Together with, it is a supported part so as to be able to rotate to the main body part 5.

(본체부, 암 및 핸드의 구성)(Configuration of body, arm and hand)

도 3은, 도 1에 도시하는 암(4)이 신장되어 있는 상태의 핸드(3) 및 암(4)의 평면도이다. 도 4는, 도 3의 E-E 단면의 단면도이다. 도 5는, 도 4의 F부의 확대도이다. 도 6은, 도 4의 G부의 확대도이다. 도 7은, 도 4의 H부의 확대도이다.FIG. 3 is a plan view of the hand 3 and arm 4 shown in FIG. 1 in a state where the arm 4 is extended. FIG. 4 is a cross-sectional view of a section E-E in FIG. 3 . FIG. 5 is an enlarged view of portion F in FIG. 4 . FIG. 6 is an enlarged view of portion G in FIG. 4 . FIG. 7 is an enlarged view of portion H in FIG. 4 .

본체부(5)는, 중공 형상으로 형성되는 케이스체(14)를 구비하고 있다. 케이스체(14)의 내부에는, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 케이스체(14)에 대하여 회동 가능한 중공 형상의 회동 축(15)이 배치되어 있다. 또한, 본체부(5)는, 케이스체(14)의 상단에 형성되는 개구를 막도록 케이스체(14)의 상단부에 고정되는 원판 형상의 커버(16)와, 케이스체(14) 또는 커버(16)에 고정되는 통 형상의 고정 부재(17)를 구비하고 있다. 커버(16)의 외형은, 케이스체(14)의 외형보다도 크게 되어 있다. 고정 부재(17)에는, 풀리(18)가 고정되어 있다.The body portion 5 includes a case body 14 formed in a hollow shape. Inside the case body 14, a hollow rotation shaft 15 capable of rotating with respect to the case body 14 with the vertical direction serving as an axis of rotation is disposed. In addition, the body portion 5 includes a disk-shaped cover 16 fixed to the upper end of the case body 14 so as to close an opening formed at the upper end of the case body 14, and the case body 14 or the cover ( 16) is provided with a tubular fixing member 17 fixed to it. The outer shape of the cover 16 is larger than the outer shape of the case body 14 . A pulley 18 is fixed to the fixing member 17 .

회동 축(15)은, 상하 방향을 축 방향으로 하는 대략 원통 형상으로 형성되어 있다. 고정 부재(17)는, 상하 방향을 축 방향으로 하는 대략 원통 형상으로 형성되어 있다. 회동 축(15)은, 고정 부재(17)의 내주측에 배치되어 있다. 커버(16)의 중심부에는, 고정 부재(17)의 일부가 배치되는 관통 구멍이 형성되어 있고, 고정 부재(17)는, 커버(16)의 중심부에 고정되어 있다. 고정 부재(17)의 상단은, 커버(16)의 상면보다도 상측에 배치되고, 고정 부재(17)의 하단은, 커버(16)의 상면보다도 하측에 배치되어 있다.The rotation shaft 15 is formed in a substantially cylindrical shape with the vertical direction as the axial direction. The fixing member 17 is formed in a substantially cylindrical shape with the vertical direction being the axial direction. The rotation shaft 15 is disposed on the inner circumferential side of the fixing member 17 . A through hole in which a part of the fixing member 17 is disposed is formed in the central portion of the cover 16 , and the fixing member 17 is fixed to the central portion of the cover 16 . The upper end of the fixing member 17 is disposed above the upper surface of the cover 16, and the lower end of the fixing member 17 is disposed below the upper surface of the cover 16.

회동 축(15)의 상단은, 커버(16)의 상면보다도 상측에 배치되어 있다. 회동 축(15)의 상단에는, 제1 암부(7)의 기단측이 고정되어 있다. 케이스체(14)의 내부에는, 케이스체(14)에 대하여 회동 축(15)을 회동시키기 위한 모터(도시 생략)가 배치되어 있다. 이 모터에는, 예를 들어 풀리, 벨트 및 감속기를 통해 회동 축(15)이 연결되어 있다.The upper end of the pivot shaft 15 is disposed above the upper surface of the cover 16 . The base end side of the 1st arm part 7 is fixed to the upper end of the pivot shaft 15. Inside the case body 14, a motor (not shown) for rotating the pivot shaft 15 with respect to the case body 14 is disposed. The rotation axis 15 is connected to this motor via a pulley, a belt, and a reduction gear, for example.

제1 암부(7)는, 가늘고 긴 중공의 상자 형상으로 형성되는 암부 본체(21)와, 평판 형상의 2매의 커버(22, 23)를 구비하고 있다(도 4 참조). 암부 본체(21)의 상면은, 암부 본체(21)의 선단부를 제외하고 개구되어 있다. 암부 본체(21)의 하면은, 암부 본체(21)의 기단부를 제외하고 개구되어 있다. 커버(22)는, 암부 본체(21)의 상면에 형성되는 개구를 막도록 암부 본체(21)의 상면측에 고정되어 있다. 커버(23)는, 암부 본체(21)의 하면에 형성되는 개구를 막도록 암부 본체(21)의 하면측에 고정되어 있다.The 1st arm part 7 is equipped with the arm part main body 21 formed in the shape of an elongated hollow box, and two flat-plate covers 22 and 23 (refer FIG. 4). The upper surface of the arm main body 21 is open except for the front end of the arm main body 21 . The lower surface of the arm body 21 is open except for the proximal end of the arm body 21 . The cover 22 is fixed to the upper surface side of the arm body 21 so as to close an opening formed on the upper surface of the arm body 21 . The cover 23 is fixed to the lower surface side of the arm body 21 so as to close an opening formed on the lower surface of the arm body 21 .

암부 본체(21)의 기단측의 하면에는, 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍이 형성되어 있다. 암부 본체(21)의 선단측의 상면에는, 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍이 형성되어 있다. 제1 암부(7)는, 암부 본체(21)의 기단부에 고정되는 고정 부재(24)와, 암부 본체(21)의 선단부에 고정되는 중공 형상의 고정축(25) 및 베어링 캡 부재(26)를 구비하고 있다. 고정축(25)에는, 풀리(27)가 고정되어 있다.A through hole penetrating in the vertical direction is formed in the lower surface of the base end side of the arm main body 21 . A through hole penetrating in the vertical direction is formed in the upper surface of the front end side of the arm main body 21 . The first arm portion 7 includes a fixing member 24 fixed to the proximal end of the arm body 21, a hollow fixing shaft 25 fixed to the distal end of the arm body 21, and a bearing cap member 26. is provided. A pulley 27 is fixed to the fixed shaft 25 .

제2 암부(8)는, 가늘고 긴 중공의 상자 형상으로 형성되는 암부 본체(29)와, 평판 형상의 2매의 커버(30, 31)를 구비하고 있다(도 4 참조). 암부 본체(29)의 상면은, 암부 본체(29)의 선단부를 제외하고 개구되어 있다. 암부 본체(29)의 하면은, 암부 본체(29)의 기단부를 제외하고 개구되어 있다. 커버(30)는, 암부 본체(29)의 상면에 형성되는 개구를 막도록 암부 본체(29)의 상면측에 고정되어 있다. 커버(31)는, 암부 본체(29)의 하면에 형성되는 개구를 막도록 암부 본체(29)의 하면측에 고정되어 있다.The 2nd arm part 8 is provided with the arm main body 29 formed in the shape of an elongated hollow box, and two flat-plate covers 30 and 31 (refer FIG. 4). The upper surface of the arm main body 29 is open except for the front end of the arm main body 29 . The lower surface of the arm main body 29 is open except for the proximal end of the arm main body 29 . The cover 30 is fixed to the upper surface side of the arm body 29 so as to close an opening formed on the upper surface of the arm body 29 . The cover 31 is fixed to the lower surface side of the arm body 29 so as to close an opening formed on the lower surface of the arm body 29 .

암부 본체(29)의 기단측의 하면에는, 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍이 형성되어 있다. 암부 본체(29)의 선단측의 상면에는, 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍이 형성되어 있다. 제2 암부(8)는, 암부 본체(29)의 기단부에 고정되는 통 형상의 고정 부재(32)와, 암부 본체(29)의 선단부에 고정되는 통 형상의 고정 부재(34)를 구비하고 있다. 고정 부재(32)에는, 풀리(33)가 고정되어 있다.A through hole penetrating in the vertical direction is formed in the lower surface of the base end side of the arm main body 29 . A through hole penetrating in the vertical direction is formed in the upper surface of the front end side of the arm main body 29 . The second arm 8 includes a tubular fixing member 32 fixed to the proximal end of the arm main body 29 and a tubular fixing member 34 fixed to the distal end of the arm main body 29. . A pulley 33 is fixed to the fixing member 32 .

핸드(3)는, 웨이퍼(2)가 탑재되는 웨이퍼 탑재부(36)와, 핸드(3)의 기단부를 구성하는 핸드 기부(37)와, 핸드 기부(37)에 고정되는 고정 부재(38)를 구비하고 있다. 고정 부재(38)에는, 풀리(39)가 고정되어 있다. 웨이퍼 탑재부(36)는, 대략 Y형의 평판 형상으로 형성되어 있다. 웨이퍼 탑재부(36)는, 핸드 기부(37)의 선단부에 고정되어 있다. 핸드 기부(37)는, 중공 형상으로 형성되어 있다. 핸드(3)의 보다 구체적인 구성에 대해서는 후술한다.The hand 3 includes a wafer mounting portion 36 on which the wafer 2 is mounted, a hand base 37 constituting the proximal end of the hand 3, and a fixing member 38 fixed to the hand base 37. are equipped A pulley 39 is fixed to the fixing member 38 . The wafer mounting portion 36 is formed in a substantially Y-shaped flat plate shape. The wafer mounting portion 36 is fixed to the distal end of the hand base 37 . The hand base 37 is formed in a hollow shape. A more specific configuration of the hand 3 will be described later.

(관절부의 구성)(Composition of joints)

도 5에 도시하는 바와 같이, 고정 부재(17)의, 커버(16)의 상면보다도 상측에 배치되는 부분인 상단부(17a)는, 대경부(17b)와, 대경부(17b)보다도 외경이 작은 중간 직경부(17c)와, 중간 직경부(17c)보다도 외경이 작은 소경부(17d)에 의해 구성되어 있다. 대경부(17b)와 중간 직경부(17c)와 소경부(17d)는, 하측으로부터 이 순서로 배치되어 있다. 대경부(17b)의 하면은, 커버(16)의 상면에 접촉하고 있다. 대경부(17b)의 하면과 커버(16)의 상면의 사이에는, 대경부(17b)의 내주측으로의 액체의 침입을 방지하기 위한 O링 등의 시일 부재가 배치되어 있다.As shown in FIG. 5, the upper end portion 17a, which is a portion of the fixing member 17 disposed above the upper surface of the cover 16, has a larger diameter portion 17b and a smaller outer diameter than the large diameter portion 17b. It is constituted by a middle diameter portion 17c and a small diameter portion 17d whose outer diameter is smaller than that of the middle diameter portion 17c. The large-diameter portion 17b, the middle-diameter portion 17c, and the small-diameter portion 17d are arranged in this order from the lower side. The lower surface of the large-diameter portion 17b is in contact with the upper surface of the cover 16 . Between the lower surface of the large-diameter portion 17b and the upper surface of the cover 16, a sealing member such as an O-ring for preventing liquid from entering the inner circumferential side of the large-diameter portion 17b is disposed.

관절부(10)에서는, 상술한 바와 같이, 고정 부재(17)의 내주측에 회동 축(15)이 배치되어 있다. 고정 부재(17)의 상단부(17a)는, 관절부(10)에 있어서 본체부(5)의 외주면의 일부를 구성하고 있다. 구체적으로는, 상단부(17a)는, 관절부(10)에 있어서 본체부(5)의 외주면의 상단부를 구성하고 있다. 본 형태의 고정 부재(17)는, 관절부(10)에 있어서 본체부(5)의 외주측 부분의 일부를 구성하는 환상의 지지측 부재로 되어 있다.In the joint portion 10, as described above, the pivot shaft 15 is arranged on the inner circumferential side of the fixing member 17. The upper end portion 17a of the fixing member 17 constitutes a part of the outer peripheral surface of the body portion 5 in the joint portion 10 . Specifically, the upper end portion 17a constitutes the upper end portion of the outer circumferential surface of the body portion 5 in the joint portion 10 . The fixing member 17 of this form is an annular support side member constituting a part of the outer peripheral side portion of the body portion 5 in the joint portion 10 .

회동 축(15)은, 베어링(42)을 통해 고정 부재(17)에 회동 가능하게 지지되어 있다. 풀리(18)는, 고정 부재(17)의 소경부(17d)의 상단부에 고정되어 있다. 회동 축(15)의 상단부 및 고정 부재(17)의 상단부(17a)는, 암부 본체(21)의 기단측의 하면에 형성되는 관통 구멍에 삽입되어 있다. 회동 축(15)의 상단부 및 소경부(17d)는, 암부 본체(21)의 기단측의 내부에 배치되어 있다. 풀리(18) 및 베어링(42)도, 암부 본체(21)의 기단측의 내부에 배치되어 있다.The pivoting shaft 15 is rotatably supported by the fixing member 17 via a bearing 42 . The pulley 18 is fixed to the upper end of the small diameter portion 17d of the fixing member 17 . The upper end of the pivot shaft 15 and the upper end 17a of the fixing member 17 are inserted into through holes formed in the lower surface of the base end side of the arm main body 21 . The upper end of the pivot shaft 15 and the small diameter portion 17d are arranged inside the base end side of the arm main body 21 . The pulley 18 and the bearing 42 are also disposed inside the base end side of the arm main body 21 .

고정 부재(24)는, 암부 본체(21)의 기단측의 내부에서 암부 본체(21)의 기단부에 고정되어 있다. 또한, 고정 부재(24)는, 회동 축(15)의 상단에 고정되어 있고, 베어링(42)을 통해 고정 부재(17)에 회동 가능하게 지지되어 있다. 그 때문에, 암부 본체(21)는, 고정 부재(17)에 대하여 회동 가능하게 되어 있다. 즉, 제1 암부(7)는, 고정 부재(17) 및 케이스체(14)에 대하여 회동 가능하게 되어 있다.The fixing member 24 is fixed to the proximal end of the arm main body 21 inside the proximal end side of the arm main body 21 . Moreover, the fixing member 24 is fixed to the upper end of the pivot shaft 15, and is supported by the fixing member 17 via the bearing 42 so that rotation is possible. Therefore, the arm main body 21 can rotate with respect to the fixing member 17 . That is, the first arm portion 7 can rotate with respect to the fixing member 17 and the case body 14 .

암부 본체(21)의 기단측 부분은, 관절부(10)에 있어서 제1 암부(7)의 외주측 부분을 구성하고 있다. 암부 본체(21)의 하면은, 고정 부재(17)의 중간 직경부(17c)의 상단보다도 하측에 배치되어 있다. 암부 본체(21)의 기단부에는, 관절부(10)의 직경 방향의 외측으로부터 중간 직경부(17c)의 상단부 및 소경부(17d)를 전체 둘레에 걸쳐서 덮는(둘러싸는) 통 형상의 통 형상 덮개부(21a)가 형성되어 있다. 즉, 암부 본체(21)는, 관절부(10)의 직경 방향의 외측으로부터 고정 부재(17)의 상측 부분을 전체 둘레에 걸쳐서 덮는 통 형상의 통 형상 덮개부(21a)를 구비하고 있다. 본 형태의 암부 본체(21)는, 관절부(10)에 있어서 제1 암부(7)의 외주측 부분을 구성하는 피지지측 부재로 되어 있다.The proximal side portion of the arm main body 21 constitutes the outer peripheral side portion of the first arm portion 7 in the joint portion 10 . The lower surface of the arm main body 21 is disposed below the upper end of the intermediate diameter portion 17c of the fixing member 17 . At the proximal end of the arm main body 21, there is a tubular cover portion that covers (surrounds) the upper end of the middle diameter portion 17c and the small diameter portion 17d over the entire circumference from the outer side in the radial direction of the joint portion 10. (21a) is formed. That is, the arm body 21 is provided with a tubular lid portion 21a that covers the upper portion of the fixing member 17 over the entire circumference from the outer side of the joint portion 10 in the radial direction. The arm main body 21 of this embodiment is a supported member constituting an outer circumferential side portion of the first arm 7 in the joint 10 .

통 형상 덮개부(21a)의 하면은, 암부 본체(21)의 하면의 일부를 구성하고 있다. 통 형상 덮개부(21a)의 하면은, 중간 직경부(17c)의 상단보다도 하측에 배치되어 있다. 즉, 통 형상 덮개부(21a)의 하면은, 소경부(17d)의 상면보다도 하측에 배치되어 있고, 통 형상 덮개부(21a)의 하단은, 고정 부재(17)의 상단보다도 하측에 배치되어 있다.The lower surface of the tubular lid portion 21a constitutes a part of the lower surface of the arm main body 21 . The lower surface of the tubular lid portion 21a is disposed below the upper end of the intermediate diameter portion 17c. That is, the lower surface of the cylindrical lid portion 21a is disposed below the upper surface of the small-diameter portion 17d, and the lower end of the cylindrical lid portion 21a is disposed below the upper end of the fixing member 17. there is.

관절부(11)에 있어서, 고정축(25)은, 암부 본체(21)의 선단측의 내부에 배치되어 있다. 고정축(25)은, 상하 방향을 축 방향으로 하는 가늘고 긴 원통 형상으로 형성되어 있다. 암부 본체(21)에는, 고정축(25)의 하단부가 고정되어 있다. 풀리(27)는, 고정축(25)의 상단에 고정되어 있다. 풀리(27)는, 암부 본체(29)의 기단측의 내부에 배치되어 있다. 베어링 캡 부재(26)는, 원환상으로 형성되어 있다. 또한, 베어링 캡 부재(26)는, 상하 방향의 길이가 짧은 편평한 원통 형상으로 형성되어 있다.In the joint part 11, the fixing shaft 25 is arrange|positioned inside the front end side of the arm part main body 21. The fixed shaft 25 is formed in an elongated cylindrical shape with the vertical direction as the axial direction. The lower end of the fixed shaft 25 is fixed to the arm main body 21 . The pulley 27 is fixed to the upper end of the fixed shaft 25 . The pulley 27 is disposed inside the base end side of the arm main body 29 . The bearing cap member 26 is formed in an annular shape. In addition, the bearing cap member 26 is formed in a flat cylindrical shape with a short vertical length.

베어링 캡 부재(26)는, 암부 본체(21)의 선단부의 상면측에 고정되어 있다. 베어링 캡 부재(26)의 상단은, 암부 본체(21)의 상면 및 커버(22)의 상면보다도 상측에 배치되어 있다. 베어링 캡 부재(26)는, 관절부(11)에 있어서 제1 암부(7)의 외주면의 일부를 구성하고 있다. 구체적으로는, 베어링 캡 부재(26)는, 관절부(11)에 있어서 제1 암부(7)의 외주면의 상단부를 구성하고 있다. 베어링 캡 부재(26)는, 후술하는 베어링(45)을 상측에서 누르는 기능을 해내고 있다. 본 형태의 베어링 캡 부재(26)는, 관절부(11)에 있어서 제1 암부(7)의 외주측 부분의 일부를 구성하는 환상의 지지측 부재로 되어 있다.The bearing cap member 26 is fixed to the upper surface side of the distal end of the arm main body 21 . The upper end of the bearing cap member 26 is disposed above the upper surface of the arm main body 21 and the upper surface of the cover 22 . The bearing cap member 26 constitutes a part of the outer circumferential surface of the first arm portion 7 in the joint portion 11 . Specifically, the bearing cap member 26 constitutes the upper end of the outer circumferential surface of the first arm portion 7 in the joint portion 11 . The bearing cap member 26 performs a function of pressing the bearing 45 to be described later from above. The bearing cap member 26 of this form is an annular support side member constituting a part of the outer circumferential side portion of the first arm portion 7 in the joint portion 11 .

고정 부재(32)는, 암부 본체(29)의 기단측의 하면에 고정되어 있다. 고정 부재(32)의 상단부의 외주면은, 암부 본체(29)의 기단부의 하면에 형성되는 관통 구멍의 내주면에 접촉하고 있다. 풀리(33)는, 고정 부재(32)의 하단에 고정되어 있다. 고정 부재(32)는, 베어링 캡 부재(26)의 내주측에 삽입되어 있고, 고정 부재(32)의 하단부 및 풀리(33)는, 암부 본체(21)의 선단측의 내부에 배치되어 있다. 풀리(33)와 풀리(18)에는, 도시를 생략하는 벨트가 걸쳐져 있다.The fixing member 32 is fixed to the lower surface of the base end side of the arm main body 29 . The outer circumferential surface of the upper end of the fixing member 32 is in contact with the inner circumferential surface of a through hole formed in the lower surface of the proximal end of the arm main body 29 . The pulley 33 is fixed to the lower end of the fixing member 32 . The fixing member 32 is inserted into the inner circumferential side of the bearing cap member 26, and the lower end of the fixing member 32 and the pulley 33 are arranged inside the front end side of the arm main body 21. A belt (not shown) is strung over the pulley 33 and the pulley 18 .

고정축(25)은, 고정 부재(32) 및 풀리(33)의 내주측에 배치되어 있다. 고정 부재(32) 및 풀리(33)는, 베어링(44)를 통해 고정축(25)에 회동 가능하게 지지되어 있다. 또한, 고정 부재(32) 및 풀리(33)는, 베어링(45)을 통해 암부 본체(21)의 선단부 및 베어링 캡 부재(26)에 회동 가능하게 지지되어 있다. 그 때문에, 고정 부재(32)는, 암부 본체(21) 및 고정축(25)에 대하여 회동 가능하게 되어 있다. 즉, 제2 암부(8)는, 제1 암부(7)에 대하여 회동 가능하게 되어 있다.The fixed shaft 25 is disposed on the inner peripheral side of the fixed member 32 and the pulley 33 . The fixed member 32 and the pulley 33 are rotatably supported by the fixed shaft 25 via the bearing 44 . Further, the fixing member 32 and the pulley 33 are rotatably supported by the front end of the arm body 21 and the bearing cap member 26 via the bearing 45 . Therefore, the fixing member 32 can rotate with respect to the arm main body 21 and the fixing shaft 25 . That is, the second arm portion 8 can rotate with respect to the first arm portion 7 .

암부 본체(29)의 기단측 부분은, 관절부(11)에 있어서 제2 암부(8)의 외주측 부분을 구성하고 있다. 암부 본체(29)의 기단부의 하면에는, 베어링 캡 부재(26)의 상단부가 배치되는 오목부(29b)가 형성되어 있다. 오목부(29b)는, 상측을 향하여 오목해지는 원환상으로 형성되어 있다. 암부 본체(29)의 하면은, 베어링 캡 부재(26)의 상단보다도 하측에 배치되어 있다. 본 형태의 암부 본체(29)는, 관절부(11)에 있어서 제2 암부(8)의 외주측 부분을 구성하는 피지지측 부재로 되어 있다.The proximal side portion of the arm main body 29 constitutes the outer peripheral side portion of the second arm portion 8 in the joint portion 11 . On the lower surface of the proximal end of the arm main body 29, a concave portion 29b is formed where the upper end of the bearing cap member 26 is disposed. The concave portion 29b is formed in an annular shape that is concave upward. The lower surface of the arm main body 29 is disposed below the upper end of the bearing cap member 26 . The arm main body 29 of this embodiment is a supported member constituting an outer circumferential side portion of the second arm 8 in the joint 11 .

관절부(11)의 직경 방향에 있어서의 오목부(29b)의 외측 부분은, 관절부(11)의 직경 방향의 외측으로부터 베어링 캡 부재(26)의 상단부를 전체 둘레에 걸쳐서 덮는 통 형상의 통 형상 덮개부(29a)로 되어 있다. 즉, 암부 본체(29)의 기단부에는, 관절부(11)의 직경 방향의 외측으로부터 베어링 캡 부재(26)의 상단부를 전체 둘레에 걸쳐서 덮는 통 형상의 통 형상 덮개부(29a)가 형성되어 있고, 암부 본체(29)는, 관절부(11)의 직경 방향의 외측으로부터 베어링 캡 부재(26)의 상측 부분을 전체 둘레에 걸쳐서 덮는 통 형상의 통 형상 덮개부(29a)를 구비하고 있다. 상술한 바와 같이, 암부 본체(29)의 하면은, 베어링 캡 부재(26)의 상단보다도 하측에 배치되어 있고, 통 형상 덮개부(29a)의 하단은, 베어링 캡 부재(26)의 상단보다도 하측에 배치되어 있다.The outer portion of the concave portion 29b in the radial direction of the joint portion 11 is a tubular cover that covers the upper end of the bearing cap member 26 over the entire circumference from the outside of the joint portion 11 in the radial direction. It becomes part 29a. That is, at the proximal end of the arm main body 29, there is formed a tubular cover portion 29a covering the upper end of the bearing cap member 26 over the entire circumference from the outer side in the radial direction of the joint portion 11, The arm main body 29 is provided with a tubular lid portion 29a that covers the upper portion of the bearing cap member 26 over the entire circumference from the outer side of the joint portion 11 in the radial direction. As described above, the lower surface of the arm main body 29 is disposed lower than the upper end of the bearing cap member 26, and the lower end of the cylindrical lid 29a is lower than the upper end of the bearing cap member 26. is placed on

관절부(12)에 있어서, 암부 본체(29)의 내부에는, 암부 본체(29)의 하단측에서 상측으로 돌출되는 원통 형상의 중공축부(29c)가 형성되어 있다. 고정 부재(34)는, 원환상으로 형성되어 있다. 또한, 고정 부재(34)는, 상하 방향의 길이가 짧은 편평한 원통 형상으로 형성되어 있다. 고정 부재(34)는, 암부 본체(29)의 선단부의 상면측에 고정되어 있다. 고정 부재(34)의 상단은, 암부 본체(29)의 상면 및 커버(30)의 상면보다도 상측에 배치되어 있다. 고정 부재(34)는, 관절부(12)에 있어서 제2 암부(8)의 외주면의 일부를 구성하고 있다. 구체적으로는, 고정 부재(34)는, 관절부(12)에 있어서 제2 암부(8)의 외주면의 상단부를 구성하고 있다. 본 형태의 고정 부재(34)는, 관절부(12)에 있어서 제2 암부(8)의 외주측 부분의 일부를 구성하는 환상의 지지측 부재로 되어 있다.In the joint portion 12, a cylindrical hollow shaft portion 29c projecting upward from the lower end side of the arm body 29 is formed inside the arm body 29. The fixing member 34 is formed in an annular shape. Further, the fixing member 34 is formed in a flat cylindrical shape with a short vertical length. The fixing member 34 is fixed to the upper surface side of the distal end of the arm main body 29 . The upper end of the fixing member 34 is disposed above the upper surface of the arm main body 29 and the upper surface of the cover 30 . The fixing member 34 constitutes a part of the outer circumferential surface of the second arm portion 8 in the joint portion 12 . Specifically, the fixing member 34 constitutes the upper end of the outer circumferential surface of the second arm portion 8 in the joint portion 12 . The fixing member 34 of this form is an annular support side member constituting a part of the outer peripheral side portion of the second arm portion 8 in the joint portion 12 .

고정 부재(38)는, 플랜지부(38b)를 갖는 플랜지가 구비된 원통 형상으로 형성되어 있다. 고정 부재(38)는, 핸드 기부(37)의 하면에 고정되어 있다. 풀리(39)는, 고정 부재(38)의 하단에 고정되어 있다. 풀리(39)의 상단부 및 고정 부재(38)의 하단부는, 고정 부재(34)의 내주측에 삽입되어 있다. 풀리(39)의 하단부는, 암부 본체(29)의 선단측의 내부에 배치되어 있다. 풀리(39)와 풀리(27)에는, 도시를 생략하는 벨트가 걸쳐져 있다. 중공축부(29c)는, 풀리(39)의 내주측에 배치되어 있다. 고정 부재(38) 및 풀리(39)는, 베어링(47)을 통해 중공축부(29c)에 회동 가능하게 지지되어 있다. 그 때문에, 고정 부재(38) 및 풀리(39)는, 암부 본체(29)에 대하여 회동 가능하게 되어 있다. 즉, 핸드(3)는, 제2 암부(8)에 대하여 회동 가능하게 되어 있다.The fixing member 38 is formed in a cylindrical shape with a flange having a flange portion 38b. The fixing member 38 is fixed to the lower surface of the hand base 37 . The pulley 39 is fixed to the lower end of the fixing member 38 . The upper end of the pulley 39 and the lower end of the fixing member 38 are inserted into the inner peripheral side of the fixing member 34 . The lower end of the pulley 39 is disposed inside the front end side of the arm main body 29 . A belt, not shown, is hung over the pulley 39 and the pulley 27 . The hollow shaft portion 29c is disposed on the inner peripheral side of the pulley 39 . The fixing member 38 and the pulley 39 are rotatably supported by the hollow shaft part 29c via the bearing 47. For this reason, the fixing member 38 and the pulley 39 can rotate with respect to the arm body 29 . That is, the hand 3 can rotate with respect to the second arm portion 8 .

고정 부재(38)의 플랜지부(38b)는, 관절부(12)의 직경 방향의 외측으로 넓어지는 원환상으로 형성되어 있다. 플랜지부(38b)는, 고정 부재(38)의 하측 부분에 형성되어 있다. 고정 부재(38)는, 관절부(12)에 있어서 핸드(3)의 외주면의 일부를 구성하고 있다. 구체적으로는, 고정 부재(38)는, 관절부(12)에 있어서 핸드(3)의 외주면의 하단부를 구성하고 있다. 플랜지부(38b)의 하면에는, 고정 부재(34)의 상단부가 배치되는 오목부(38c)가 형성되어 있다. 오목부(38c)는, 상측을 향하여 오목해지는 원환상으로 형성되어 있다. 플랜지부(38b)의 하면은, 고정 부재(34)의 상단보다도 하측에 배치되어 있다. 본 형태의 고정 부재(38)는, 관절부(12)에 있어서 핸드(3)의 외주측 부분의 일부를 구성하는 피지지측 부재로 되어 있다.The flange portion 38b of the fixing member 38 is formed in an annular shape extending outward in the radial direction of the joint portion 12 . The flange portion 38b is formed on a lower portion of the fixing member 38 . The fixing member 38 constitutes a part of the outer circumferential surface of the hand 3 in the joint portion 12 . Specifically, the fixing member 38 constitutes the lower end of the outer circumferential surface of the hand 3 in the joint portion 12 . On the lower surface of the flange portion 38b, a concave portion 38c is formed where the upper end of the fixing member 34 is disposed. The concave portion 38c is formed in an annular shape that is concave upward. The lower surface of the flange portion 38b is disposed below the upper end of the fixing member 34 . The fixing member 38 of this embodiment is a supported member constituting a part of the outer peripheral side portion of the hand 3 in the joint portion 12 .

관절부(12)의 직경 방향에 있어서의 오목부(38c)의 외측 부분은, 관절부(12)의 직경 방향의 외측으로부터 고정 부재(34)의 상단부를 전체 둘레에 걸쳐서 덮는 통 형상의 통 형상 덮개부(38a)로 되어 있다. 즉, 고정 부재(38)에는, 관절부(12)의 직경 방향의 외측으로부터 고정 부재(34)의 상단부를 전체 둘레에 걸쳐서 덮는 통 형상의 통 형상 덮개부(38a)가 형성되어 있고, 고정 부재(38)는, 관절부(12)의 직경 방향의 외측으로부터 고정 부재(34)의 상측 부분을 전체 둘레에 걸쳐서 덮는 통 형상의 통 형상 덮개부(38a)를 구비하고 있다. 상술한 바와 같이, 플랜지부(38b)의 하면은, 고정 부재(34)의 상단보다도 하측에 배치되어 있고, 통 형상 덮개부(38a)의 하단은, 고정 부재(34)의 상단보다도 하측에 배치되어 있다.The outer portion of the concave portion 38c in the radial direction of the joint portion 12 is a tubular lid covering the entire circumference of the upper end of the fixing member 34 from the outer side of the joint portion 12 in the radial direction. (38a). That is, the fixing member 38 is formed with a tubular tubular lid portion 38a covering the entire circumference of the upper end of the fixing member 34 from the outer side in the radial direction of the joint portion 12, and the fixing member ( 38) is provided with a tubular lid portion 38a covering the entire circumference of the upper portion of the fixing member 34 from the outer side of the joint portion 12 in the radial direction. As described above, the lower surface of the flange portion 38b is disposed below the upper end of the fixing member 34, and the lower end of the cylindrical cover 38a is disposed below the upper end of the fixing member 34. has been

(핸드의 구성)(composition of the hand)

도 8은, 도 3의 J-J 단면의 단면도이다.Fig. 8 is a cross-sectional view of the J-J section of Fig. 3;

핸드 3는, 웨이퍼 탑재부(36), 핸드 기부(37) 및 고정 부재(38)에 추가하여, 웨이퍼(2)의 단부면이 맞닿는 맞닿음면을 갖는 2개의 단부면 맞닿음 부재(48)와, 웨이퍼(2)가 적재되는 2개의 웨이퍼 적재 부재(49)와, 단부면 맞닿음 부재(48)의 맞닿음면을 향하여 웨이퍼(2)를 압박하는 압박 부재(50)와, 압박 부재(50)를 이동시키는 이동 기구(51)를 구비하고 있다. 핸드 기부(37)는, 핸드 기부 본체(53)와, 핸드 기부 본체(53)의 상면에 고정되는 커버(54)를 구비하고 있다.In addition to the wafer mounting portion 36, the hand base 37, and the fixing member 38, the hand 3 includes two end face abutting members 48 having abutting faces with which the end faces of the wafer 2 abut. , the two wafer mounting members 49 on which the wafer 2 is loaded, the pressing member 50 for pressing the wafer 2 toward the abutting surface of the end surface abutting member 48, and the pressing member 50 ) is provided with a moving mechanism 51 for moving the. The hand base 37 includes a hand base body 53 and a cover 54 fixed to an upper surface of the hand base body 53 .

단부면 맞닿음 부재(48)는, 대략 Y 형상을 이루는 웨이퍼 탑재부(36)의 선단부의 2군데에 배치되어 있다. 즉, 단부면 맞닿음 부재(48)는, 핸드(3)의 선단측에 배치되어 있다. 웨이퍼 적재 부재(49)는, 웨이퍼 탑재부(36)의 기단측에 배치되어 있다. 웨이퍼(2)는, 2개의 단부면 맞닿음 부재(48)와 2개의 웨이퍼 적재 부재(49)에 탑재된다.The end surface abutting members 48 are disposed at two locations at the distal end of the wafer mounting portion 36 forming a substantially Y shape. That is, the end face contact member 48 is disposed on the front end side of the hand 3 . The wafer mounting member 49 is disposed on the base end side of the wafer mounting portion 36 . The wafer 2 is mounted on two end face contact members 48 and two wafer mounting members 49 .

압박 부재(50)는, 웨이퍼(2)의 단부면에 접촉하는 2개의 롤러(56)와, 2개의 롤러(56)를 회전 가능하게 보유 지지하는 롤러 보유 지지 부재(57)와, 롤러 보유 지지 부재(57)가 고정되는 기재(58)를 구비하고 있다. 롤러(56)는, 대략 Y 형상을 이루는 롤러 보유 지지 부재(57)의 선단부의 2군데에 설치되어 있다. 기재(58)는, 상하 방향을 두께 방향으로 하는 가늘고 긴 직사각형의 평판 형상으로 형성되어 있다. 기재(58)는, 압박 부재(50)의 기단측 부분을 구성하고 있다. 롤러 보유 지지 부재(57)는, 기재(58)의 길이 방향의 일단부로 되는 선단부에 고정되어 있다.The pressing member 50 includes two rollers 56 contacting the end surface of the wafer 2, a roller holding member 57 rotatably holding the two rollers 56, and holding the rollers. The member 57 is provided with a substrate 58 to which it is fixed. The rollers 56 are provided at two locations at the distal end of a roller holding member 57 forming a substantially Y shape. The base material 58 is formed in the shape of an elongated rectangular flat plate with the vertical direction being the thickness direction. The substrate 58 constitutes a proximal end side portion of the pressing member 50 . The roller holding member 57 is fixed to the distal end portion of the substrate 58 in the longitudinal direction.

이동 기구(51)는, 핸드 기부(37)의 내부에 배치되어 있다. 즉, 이동 기구(51)는, 핸드(3)의 기단측의 내부에 배치되어 있다. 구체적으로는, 핸드 기부 본체(53)에, 핸드 기부 본체(53)의 상면에서 하측을 향하여 오목해지는 오목부가 형성되어 있고, 이 오목부 중에 이동 기구(51)가 배치되어 있다. 이동 기구(51)는, 구동원으로서의 에어 실린더(60)와, 에어 실린더(60)의 동력으로 수평 방향으로 슬라이드하는 슬라이드 축(61)과, 슬라이드 축(61)을 슬라이드 가능하게 보유 지지하는 축 보유 지지 부재(62)를 구비하고 있다.The moving mechanism 51 is arranged inside the hand base 37 . That is, the moving mechanism 51 is arranged inside the proximal end side of the hand 3 . Specifically, the hand base body 53 is formed with a concave portion concave downward from the upper surface of the hand base body 53, and the moving mechanism 51 is disposed in the concave portion. The moving mechanism 51 includes an air cylinder 60 as a drive source, a slide shaft 61 that slides in the horizontal direction with the power of the air cylinder 60, and a shaft holding the slide shaft 61 so as to be slidable. A supporting member 62 is provided.

에어 실린더(60)는, 핸드 기부 본체(53)에 고정되어 있다. 슬라이드 축(61)은, 가늘고 긴 원주상으로 형성되어 있다. 슬라이드 축(61)의 축 방향에 있어서의 슬라이드 축(61)의 일단인 슬라이드 축(61)의 기단부는, 에어 실린더(60)의 로드에 설치되어 있다. 슬라이드 축(61)의 축방향에 있어서의 슬라이드 축(61)의 타단인 슬라이드 축(61)의 선단에는, 기재(58)의 기단이 고정되어 있다. 즉, 슬라이드 축(61)의 선단에는, 압박 부재(50)의 기단이 고정되어 있다. 또한, 압박 부재(50)의 기단이 이동 기구(51)에 연결되어 있다.The air cylinder 60 is fixed to the hand base body 53. The slide shaft 61 is formed in an elongated columnar shape. The proximal end of the slide shaft 61, which is one end of the slide shaft 61 in the axial direction of the slide shaft 61, is attached to the rod of the air cylinder 60. The base end of the base material 58 is fixed to the front end of the slide shaft 61, which is the other end of the slide shaft 61 in the axial direction of the slide shaft 61. That is, the base end of the pressing member 50 is fixed to the tip of the slide shaft 61 . In addition, the base end of the pressing member 50 is connected to the moving mechanism 51 .

슬라이드 축(61)의 선단측에는, 슬라이드 축(61)의 직경 방향의 외측으로 넓어지는 플랜지부(61a)가 형성되어 있다. 본 형태에서는, 슬라이드 축(61)의 선단부가 플랜지부(61a)로 되어 있다. 플랜지부(61a)는, 원환상으로 형성되어 있다. 슬라이드 축(61)의 축 방향에서 본 때에, 플랜지부(61a)의 외형은, 기재(58)의 외형보다도 크게 되어 있다.On the distal end side of the slide shaft 61, a flange portion 61a extending outward in the radial direction of the slide shaft 61 is formed. In this embodiment, the front end of the slide shaft 61 serves as the flange portion 61a. The flange portion 61a is formed in an annular shape. When viewed from the axial direction of the slide shaft 61, the outer shape of the flange portion 61a is larger than the outer shape of the substrate 58.

축 보유 지지 부재(62)는, 직육면체의 블록 형상으로 형성되어 있다. 축 보유 지지 부재(62)는, 핸드 기부 본체(53)에 고정되어 있다. 축 보유 지지 부재(62)에는, 슬라이드 축(61)이 삽입 관통되는 관통 구멍(62a)이 형성되어 있다. 슬라이드 축(61)은, 축 보유 지지 부재(62)에 대하여 직선적으로 슬라이드 가능하게 되어 있다. 에어 실린더(60)는, 2개의 롤러(56)가 웨이퍼(2)의 단부면에 접촉하는 웨이퍼 보유 지지 위치(도 1, 도 3 참조)와, 2개의 롤러(56)가 웨이퍼(2)의 단부면에서 이격되도록 퇴피하는 퇴피 위치 사이에서 슬라이드 축(61) 및 압박 부재(50)를 이동시킨다.The shaft holding member 62 is formed in a rectangular parallelepiped block shape. The shaft holding member 62 is fixed to the hand base body 53 . A shaft holding member 62 is formed with a through hole 62a through which the slide shaft 61 is inserted. The slide shaft 61 is linearly slidable with respect to the shaft holding member 62 . The air cylinder 60 has a wafer holding position (see FIGS. 1 and 3) where the two rollers 56 come into contact with the end surface of the wafer 2, and the two rollers 56 are The slide shaft 61 and the pressing member 50 are moved between the retracted positions to be retracted so as to be spaced apart from the end face.

핸드 기부 본체(53)의 상면에 고정되는 커버(54)는, 이동 기구(51)를 상측에서 덮고 있다. 또한, 커버(54)는, 압박 부재(50)의 기단측 부분을 상측에서 덮고 있다. 구체적으로는, 커버(54)는, 압박 부재(50)가 퇴피 위치에 배치되어 있을 때의 기재(58)의 대부분을 상측에서 덮음과 함께, 압박 부재(50)가 웨이퍼 보유 지지 위치에 배치되어 있을 때의 기재(58)의 기단측 부분을 상측에서 덮고 있다. 압박 부재(50)가 웨이퍼 보유 지지 위치에 배치되어 있는 상태에 있어서도, 슬라이드 축(61)의 선단은, 커버(54)의 하측에 배치되어 있고, 플랜지부(61a)는, 커버(54)에 의해 상측에서 덮여 있다.A cover 54 fixed to the upper surface of the hand base body 53 covers the moving mechanism 51 from above. Further, the cover 54 covers the base end side portion of the pressing member 50 from above. Specifically, the cover 54 covers most of the substrate 58 from above when the pressing member 50 is placed in the retracted position, and the pressing member 50 is placed in the wafer holding position. The base end side portion of the substrate 58 when present is covered from above. Even in the state where the pressing member 50 is disposed at the wafer holding position, the tip of the slide shaft 61 is disposed below the cover 54, and the flange portion 61a is attached to the cover 54. covered from the upper side by

(본 형태의 주된 효과)(Main effect of this form)

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 본체부(5)는, 관절부(10)에 있어서 본체부(5)의 외주측 부분의 일부를 구성하는 환상의 고정 부재(17)를 구비하고, 본체부(5)의 상측에 배치되는 제1 암부(7)는, 관절부(10)에 있어서 제1 암부(7)의 외주측 부분을 구성하는 암부 본체(21)를 구비하고 있다. 또한, 본 형태에서는, 암부 본체(21)는, 관절부(10)의 직경 방향의 외측으로부터 고정 부재(17)의 상측 부분을 전체 둘레에 걸쳐서 덮는 통 형상의 통 형상 덮개부(21a)를 구비하고 있고, 통 형상 덮개부(21a)의 하단은, 고정 부재(17)의 상단보다도 하측에 배치되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 관절부(10)에 있어서, 통 형상 덮개부(21a)의 하측을 통과한 액체가 고정 부재(17)의 상측을 통과하지 않으면, 관절부(10)로부터 본체부(5)의 내부에 액체는 침입하지 않는다. 따라서, 본 형태에서는, 예를 들어 웨이퍼(2)에서 낙하한 액체가 관절부(10)로부터 본체부(5)의 내부에 침입하는 것을 억제하는 것이 가능해진다.As described above, in this embodiment, the body portion 5 is provided with an annular fixing member 17 constituting a part of the outer peripheral side portion of the body portion 5 in the joint portion 10, and the body portion ( The first arm portion 7 disposed above 5) includes an arm body 21 constituting an outer circumferential side portion of the first arm portion 7 in the joint portion 10 . In addition, in this embodiment, the arm body 21 is provided with a tubular cover portion 21a covering the upper portion of the fixing member 17 over the entire circumference from the outer side in the radial direction of the joint portion 10, The lower end of the tubular lid portion 21a is disposed lower than the upper end of the fixing member 17 . Therefore, in this embodiment, in the joint portion 10, if the liquid that has passed through the lower side of the tubular cover portion 21a does not pass through the upper side of the fixing member 17, the body portion 5 is removed from the joint portion 10. The inside of the liquid does not penetrate. Accordingly, in this embodiment, it is possible to suppress liquid that has fallen from the wafer 2 from penetrating into the inside of the body portion 5 from the joint portion 10, for example.

본 형태에서는, 제1 암부(7)는, 관절부(11)에 있어서 제1 암부(7)의 외주측 부분의 일부를 구성하는 환상의 베어링 캡 부재(26)를 구비하고, 제1 암부(7)의 상측에 배치되는 제2 암부(8)는, 관절부(11)에 있어서 제2 암부(8)의 외주측 부분을 구성하는 암부 본체(29)를 구비하고 있다. 또한, 본 형태에서는, 암부 본체(29)는, 관절부(11)의 직경 방향의 외측으로부터 베어링 캡 부재(26)의 상측 부분을 전체 둘레에 걸쳐서 덮는 통 형상의 통 형상 덮개부(29a)를 구비하고 있고, 통 형상 덮개부(29a)의 하단은, 베어링 캡 부재(26)의 상단보다도 하측에 배치되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 관절부(11)에 있어서, 통 형상 덮개부(29a)의 하측을 통과한 액체가 베어링 캡 부재(26)의 상측을 통과하지 않으면, 관절부(11)로부터 제1 암부(7)의 내부에 액체는 침입하지 않는다. 따라서, 본 형태에서는, 예를 들어 웨이퍼(2)에서 낙하한 액체가 관절부(11)로부터 제1 암부(7)의 내부에 침입하는 것을 억제하는 것이 가능해진다.In this embodiment, the first arm portion 7 includes an annular bearing cap member 26 constituting a part of the outer peripheral side portion of the first arm portion 7 in the joint portion 11, and the first arm portion 7 ) The second arm part 8 disposed above has an arm body 29 constituting an outer circumferential side portion of the second arm part 8 in the joint part 11 . In addition, in this embodiment, the arm body 29 is provided with a tubular cover portion 29a covering the upper portion of the bearing cap member 26 over the entire circumference from the outer side in the radial direction of the joint portion 11. and the lower end of the tubular lid portion 29a is disposed lower than the upper end of the bearing cap member 26 . Therefore, in this embodiment, in the joint portion 11, if the liquid that has passed through the lower side of the cylindrical cover portion 29a does not pass through the upper side of the bearing cap member 26, the first arm portion ( 7) The liquid does not intrude into the inside. Accordingly, in this embodiment, it is possible to suppress liquid falling from the wafer 2 from penetrating into the inside of the first arm portion 7 from the joint portion 11 , for example.

본 형태에서는, 제2 암부(8)는, 관절부(12)에 있어서 제2 암부(8)의 외주측 부분의 일부를 구성하는 환상의 고정 부재(34)를 구비하고, 제2 암부(8)의 상측에 배치되는 핸드(3)는, 관절부(12)에 있어서 핸드(3)의 외주측 부분의 일부를 구성하는 고정 부재(38)를 구비하고 있다. 또한, 본 형태에서는, 고정 부재(38)는, 관절부(12)의 직경 방향의 외측으로부터 고정 부재(34)의 상측 부분을 전체 둘레에 걸쳐서 덮는 통 형상의 통 형상 덮개부(38a)를 구비하고 있고, 통 형상 덮개부(38a)의 하단은, 고정 부재(34)의 상단보다도 하측에 배치되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 관절부(12)에 있어서, 통 형상 덮개부(38a)의 하측을 통과한 액체가 고정 부재(38)의 상측을 통과하지 않으면, 관절부(12)로부터 제2 암부(8)의 내부에 액체는 침입하지 않는다. 따라서, 본 형태에서는, 예를 들어 웨이퍼(2)에서 낙하한 액체가 관절부(12)로부터 제2 암부(8)의 내부에 침입하는 것을 억제하는 것이 가능해진다.In this embodiment, the second arm portion 8 includes an annular fixing member 34 constituting a part of the outer peripheral side portion of the second arm portion 8 in the joint portion 12, and the second arm portion 8 The hand 3 disposed above has a fixing member 38 constituting a part of the outer circumferential side portion of the hand 3 in the joint portion 12 . Further, in this embodiment, the fixing member 38 is provided with a tubular lid portion 38a covering the upper portion of the fixing member 34 over the entire circumference from the outer side in the radial direction of the joint portion 12, The lower end of the tubular lid portion 38a is disposed lower than the upper end of the fixing member 34 . Therefore, in this embodiment, in the joint portion 12, if the liquid that has passed through the lower side of the tubular cover portion 38a does not pass through the upper side of the fixing member 38, the second arm portion 8 from the joint portion 12 ) does not infiltrate the inside of the Accordingly, in this embodiment, it is possible to suppress liquid falling from the wafer 2 from penetrating into the inside of the second arm portion 8 from the joint portion 12, for example.

본 형태에서는, 기단이 이동 기구(51)에 연결되는 압박 부재(50)의 기단측 부분은, 핸드 기부(37)의 내부에 배치되는 이동 기구(51)를 상측에서 덮는 커버(54)에 의해 상측에서 덮여 있다. 구체적으로는, 기재(58)의, 적어도 기단측 부분이 커버(54)에 의해 상측에서 덮여 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 예를 들어 웨이퍼(2)에서 낙하한 액체가 기재(58)의, 적어도 기단측 부분에 부착되기 어려워진다. 따라서, 본 형태에서는, 예를 들어 웨이퍼(2)에서 낙하한 액체가 핸드 기부(37)의 내부에 침입하는 것을 커버(54)에 의해 억제하는 것이 가능해진다.In this embodiment, the base end portion of the pressing member 50 whose base end is connected to the moving mechanism 51 is covered by a cover 54 disposed inside the hand base 37 and covering the moving mechanism 51 from above. covered from the top. Specifically, at least the proximal side portion of the substrate 58 is covered from above with the cover 54 . Therefore, in the present embodiment, it is difficult for the liquid that has fallen from the wafer 2 to adhere to the substrate 58, at least at the proximal end side. Accordingly, in this embodiment, it is possible to suppress, for example, liquid falling from the wafer 2 from penetrating into the inside of the hand base 37 by the cover 54 .

본 형태에서는, 압박 부재(50)의 기단이 선단에 고정되는 슬라이드 축(61)은, 슬라이드 축(61)이 삽입 관통되는 관통 구멍(62a)이 형성되는 축 보유 지지 부재(62)에 슬라이드 가능하게 보유 지지되어 있지만, 슬라이드 축(61)의 선단측에는, 슬라이드 축(61)의 직경 방향의 외측으로 넓어지는 플랜지부(61a)가 형성되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 예를 들어 웨이퍼(2)에서 낙하한 액체가 축 보유 지지 부재(62)의 관통 구멍(62a)을 통과하여 핸드 기부(37)의 내부에 침입하는 것을 플랜지부(61a)에 의해 억제하는 것이 가능해진다.In this embodiment, the slide shaft 61 to which the base end of the pressing member 50 is fixed to the front end is slidable to the shaft holding member 62 in which a through hole 62a through which the slide shaft 61 is inserted is formed. However, on the distal end side of the slide shaft 61, a flange portion 61a extending outward in the radial direction of the slide shaft 61 is formed. Therefore, in this embodiment, for example, the liquid that has fallen from the wafer 2 passes through the through hole 62a of the shaft holding member 62 and penetrates into the inside of the hand base 37, and the flange portion 61a ) can be suppressed.

(다른 실시 형태)(another embodiment)

상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만, 이것에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 여러가지 변형 실시가 가능하다.Although the form mentioned above is an example of the suitable form of this invention, it is not limited to this, In the range which does not change the summary of this invention, various modifications are possible.

상술한 형태에 있어서, 슬라이드 축(61)의 선단측에 형성되는 플랜지부(61a)가 슬라이드 축(61)의 선단부로 되어 있지 않아도 된다. 즉, 플랜지부(61a)는, 슬라이드 축(61)의 축 방향에 있어서, 기재(58)의 기단과 축 보유 지지 부재(62) 사이에 형성되어 있으면 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 암(4)은, 서로 회동 가능하게 연결되는 3개 이상의 암부로 구성되어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)이 갖는 핸드(3) 및 암(4)의 수는 1개여도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은, 웨이퍼(2) 이외의 반송 대상물을 반송해도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 로봇(1)은, 반송 대상물을 반송하기 위한 로봇이지만, 본 발명이 적용되는 로봇은, 다른 용도로 사용되는 로봇이어도 된다.In the form described above, the flange portion 61a formed on the front end side of the slide shaft 61 does not have to be the front end of the slide shaft 61. That is, the flange portion 61a may be formed between the base end of the substrate 58 and the shaft holding member 62 in the axial direction of the slide shaft 61 . Moreover, in the aspect mentioned above, the arm 4 may be comprised by 3 or more arm parts mutually connected so that rotation is possible. In the above-described aspect, the number of hands 3 and arms 4 included in the robot 1 may be one. Also, in the above-described aspect, the robot 1 may transport an object other than the wafer 2 . Further, in the form described above, the robot 1 is a robot for transporting an object to be transported, but the robot to which the present invention is applied may be a robot used for other purposes.

1: 로봇(수평 다관절 로봇)
2: 웨이퍼(반도체 웨이퍼, 반송 대상물)
3: 핸드(피지지부)
4: 암
5: 본체부(지지부)
7: 제1 암부(지지부, 피지지부, 기단측 암부)
8: 제2 암부(지지부, 피지지부, 선단측 암부)
10 ~ 12: 관절부
17: 고정 부재(지지측 부재)
21: 암부 본체(피지지측 부재)
21a: 통 형상 덮개부
26: 베어링 캡 부재(지지측 부재)
29: 암부 본체(피지지측 부재)
29a: 통 형상 덮개부
34: 고정 부재(지지측 부재)
38: 고정 부재(피지지측 부재)
38a: 통 형상 덮개부
48: 단부면 맞닿음 부재
50: 압박 부재
51: 이동 기구
54: 커버
61: 슬라이드 축
61a: 플랜지부
62: 축 보유 지지 부재
62a: 관통 구멍1: Robot (horizontal articulated robot)
2: Wafer (semiconductor wafer, object to be conveyed)
3: hand (sebum support part)
4: cancer
5: body part (support part)
7: 1st arm part (support part, support part, proximal side arm part)
8: 2nd arm part (support part, support part, distal side arm part)
10 to 12: joints
17: fixed member (support side member)
21 Arm main body (supported side member)
21a: tubular cover
26: bearing cap member (support side member)
29 arm body (supported side member)
29a: tubular cover
34: fixed member (support side member)
38: fixed member (supported side member)
38a: tubular cover
48: end face contact member
50: absence of compression
51: moving mechanism
54: cover
61: slide axis
61a: flange portion
62: axis holding member
62a: through hole

Claims (6)

수평 방향으로 암이 동작하는 수평 다관절 로봇에 있어서,
지지부와, 상기 지지부의 상측에 배치됨과 함께 상기 지지부에 회동 가능하게 연결되는 피지지부를 구비하고,
상기 지지부는, 상기 지지부와 상기 피지지부의 연결 부분이 되는 관절부에 있어서 상기 지지부의 외주측 부분의 적어도 일부를 구성하는 환상의 지지측 부재를 구비하고,
상기 피지지부는, 상기 관절부에 있어서 상기 피지지부의 외주측 부분의 적어도 일부를 구성하는 피지지측 부재를 구비하고,
상기 피지지측 부재는, 상기 관절부의 직경 방향의 외측으로부터 상기 지지측 부재의 적어도 상측 부분을 전체 둘레에 걸쳐서 덮는 통 형상의 통 형상 덮개부를 구비하고,
상기 통 형상 덮개부의 하단은, 상기 지지측 부재의 상단보다도 하측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 수평 다관절 로봇.In a horizontal articulated robot in which an arm moves in a horizontal direction,
A support portion and a supported portion disposed above the support portion and rotatably connected to the support portion;
The support portion includes an annular support-side member constituting at least a part of an outer circumferential side portion of the support portion in a joint portion serving as a connecting portion between the support portion and the supported portion,
The supported portion includes a supported side member constituting at least a part of an outer peripheral side portion of the supported portion in the joint portion,
The supported-side member includes a tubular lid portion covering the entire circumference of at least an upper portion of the support-side member from a radially outer side of the joint portion,
The horizontal articulated robot characterized in that the lower end of the tubular cover part is disposed lower than the upper end of the support side member. 제1항에 있어서, 반송 대상물이 탑재되는 상기 피지지부로서의 핸드를 구비하고,
상기 암은, 상기 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 상기 지지부로서의 선단측 암부를 구비하는 것을 특징으로 하는 수평 다관절 로봇.The method according to claim 1, comprising a hand as the supported portion on which an object to be conveyed is mounted,
The horizontal articulated robot according to claim 1, wherein the arm includes a distal end side arm portion as the support portion to which the hand is rotatably connected to the distal end side. 제1항에 있어서, 반송 대상물이 탑재되는 핸드를 구비하고,
상기 암은, 상기 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 상기 피지지부로서의 선단측 암부와, 상기 선단측 암부의 기단측이 선단측에 회동 가능하게 연결되는 상기 지지부로서의 기단측 암부를 구비하는 것을 특징으로 하는 수평 다관절 로봇.The method according to claim 1, comprising a hand on which an object to be conveyed is mounted,
The arm includes a proximal arm portion as the supported portion to which the hand is rotatably connected to the distal end side, and a proximal arm portion as the support portion to which the proximal end side of the distal arm portion is rotatably connected to the distal end side. A horizontal articulated robot characterized by 제1항에 있어서, 상기 암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 상기 지지부로서의 본체부를 구비하고,
상기 암은, 상기 본체부에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 상기 피지지부로서의 기단측 암부를 구비하는 것을 특징으로 하는 수평 다관절 로봇.The method according to claim 1, wherein a proximal end side of the arm is provided with a body portion as the support portion rotatably connected,
The horizontal articulated robot according to claim 1 , wherein the arm includes a proximal side arm portion as the supported portion to which the proximal side is rotatably connected to the body portion. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 반송 대상물이 탑재됨과 함께 상기 암의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 핸드를 구비하고,
상기 핸드는, 상기 핸드의 선단측에 배치됨과 함께 상기 반송 대상물의 단부면이 맞닿는 맞닿음면을 갖는 단부면 맞닿음 부재와, 상기 맞닿음면을 향하여 상기 반송 대상물을 압박하는 압박 부재와, 상기 핸드의 기단측의 내부에 배치됨과 함께 상기 압박 부재를 이동시키는 이동 기구와, 상기 이동 기구를 상측에서 덮는 커버를 구비하고,
상기 이동 기구에는, 상기 압박 부재의 기단이 연결되고,
상기 커버는, 상기 압박 부재의 기단측 부분을 상측에서 덮고 있는 것을 특징으로 하는 수평 다관절 로봇.The method according to any one of claims 1 to 4, further comprising a hand rotatably connected to the distal end of the arm while the object to be conveyed is mounted,
The hand includes: an end face abutting member disposed on the front end side of the hand and having an abutting surface against which an end face of the conveying object abuts; a pressing member for pressing the conveying object toward the abutting surface; A moving mechanism disposed inside the proximal end side of the hand and moving the pressing member, and a cover covering the moving mechanism from above;
The base end of the pressing member is connected to the moving mechanism,
The horizontal articulated robot, characterized in that the cover covers a proximal side portion of the pressing member from an upper side. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 반송 대상물이 탑재됨과 함께 상기 암의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 핸드를 구비하고,
상기 핸드는, 상기 핸드의 선단측에 배치됨과 함께 상기 반송 대상물의 단부면이 맞닿는 맞닿음면을 갖는 단부면 맞닿음 부재와, 상기 맞닿음면을 향하여 상기 반송 대상물을 압박하는 압박 부재와, 상기 핸드의 기단측의 내부에 배치됨과 함께 상기 압박 부재를 이동시키는 이동 기구와, 상기 이동 기구를 상측에서 덮는 커버를 구비하고,
상기 이동 기구는, 상기 압박 부재의 기단이 선단에 고정되는 슬라이드 축과, 상기 슬라이드 축을 슬라이드 가능하게 보유 지지하는 축 보유 지지 부재를 구비하고,
상기 축 보유 지지 부재에는, 상기 슬라이드 축이 삽입 관통되는 관통 구멍이 형성되고,
상기 슬라이드 축은, 상기 축 보유 지지 부재에 대하여 직선적으로 슬라이드 가능하게 되어 있고,
상기 슬라이드 축의 선단측에는, 상기 슬라이드 축의 직경 방향의 외측으로 넓어지는 플랜지부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 수평 다관절 로봇.The method according to any one of claims 1 to 4, further comprising a hand rotatably connected to the distal end of the arm while the object to be conveyed is mounted,
The hand includes: an end face abutting member disposed on the front end side of the hand and having an abutting surface against which an end face of the conveying object abuts; a pressing member for pressing the conveying object toward the abutting surface; A moving mechanism disposed inside the proximal end side of the hand and moving the pressing member, and a cover covering the moving mechanism from above;
The movement mechanism includes a slide shaft to which the base end of the pressing member is fixed to the front end, and a shaft holding member for slideably holding the slide shaft,
A through hole through which the slide shaft is inserted is formed in the shaft holding member,
The slide shaft is linearly slidable with respect to the shaft holding member,
A horizontal articulated robot characterized in that a flange portion extending outward in a radial direction of the slide shaft is formed on the distal end of the slide shaft.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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