KR20230045007A - Laminates and electromagnetic wave absorbers - Google Patents

Laminates and electromagnetic wave absorbers Download PDF

Info

Publication number
KR20230045007A
KR20230045007A KR1020237002628A KR20237002628A KR20230045007A KR 20230045007 A KR20230045007 A KR 20230045007A KR 1020237002628 A KR1020237002628 A KR 1020237002628A KR 20237002628 A KR20237002628 A KR 20237002628A KR 20230045007 A KR20230045007 A KR 20230045007A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
orientation
fiber assembly
laminate
reflective substrate
nanofibers
Prior art date
Application number
KR1020237002628A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
유스케 가마노
쇼타로 마스다
마사야 나가이
다다오 나가츠마
마사유키 후지타
Original Assignee
닛토덴코 가부시키가이샤
고꾸리쯔 다이가꾸 호우징 오사까 다이가꾸
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 닛토덴코 가부시키가이샤, 고꾸리쯔 다이가꾸 호우징 오사까 다이가꾸 filed Critical 닛토덴코 가부시키가이샤
Publication of KR20230045007A publication Critical patent/KR20230045007A/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/12—Layered products comprising a layer of synthetic resin next to a fibrous or filamentary layer
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B3/00—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar form; Layered products having particular features of form
    • B32B3/26—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar form; Layered products having particular features of form characterised by a particular shape of the outline of the cross-section of a continuous layer; characterised by a layer with cavities or internal voids ; characterised by an apertured layer
    • B32B3/263—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar form; Layered products having particular features of form characterised by a particular shape of the outline of the cross-section of a continuous layer; characterised by a layer with cavities or internal voids ; characterised by an apertured layer characterised by a layer having non-uniform thickness
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/28—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42
    • B32B27/283—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42 comprising polysiloxanes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B5/00—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts
    • B32B5/02—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts characterised by structural features of a fibrous or filamentary layer
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B7/00—Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
    • B32B7/03—Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers with respect to the orientation of features
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B7/00—Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
    • B32B7/04—Interconnection of layers
    • B32B7/12—Interconnection of layers using interposed adhesives or interposed materials with bonding properties
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B9/00—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00
    • B32B9/005—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00 comprising one layer of ceramic material, e.g. porcelain, ceramic tile
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/15—Nano-sized carbon materials
    • C01B32/158—Carbon nanotubes
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K9/00—Screening of apparatus or components against electric or magnetic fields
    • H05K9/0073—Shielding materials
    • H05K9/0081—Electromagnetic shielding materials, e.g. EMI, RFI shielding
    • H05K9/009—Electromagnetic shielding materials, e.g. EMI, RFI shielding comprising electro-conductive fibres, e.g. metal fibres, carbon fibres, metallised textile fibres, electro-conductive mesh, woven, non-woven mat, fleece, cross-linked
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2262/00—Composition or structural features of fibres which form a fibrous or filamentary layer or are present as additives
    • B32B2262/10—Inorganic fibres
    • B32B2262/106—Carbon fibres, e.g. graphite fibres
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/20—Properties of the layers or laminate having particular electrical or magnetic properties, e.g. piezoelectric
    • B32B2307/212—Electromagnetic interference shielding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/40—Properties of the layers or laminate having particular optical properties
    • B32B2307/416—Reflective
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/50—Properties of the layers or laminate having particular mechanical properties
    • B32B2307/56—Damping, energy absorption
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/70—Other properties
    • B32B2307/732—Dimensional properties
    • B32B2307/737—Dimensions, e.g. volume or area
    • B32B2307/7375—Linear, e.g. length, distance or width
    • B32B2307/7376—Thickness
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/70—Other properties
    • B32B2307/748—Releasability
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08—Oxides
    • C23C14/081—Oxides of aluminium, magnesium or beryllium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01Q—ANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
    • H01Q17/00—Devices for absorbing waves radiated from an antenna; Combinations of such devices with active antenna elements or systems
    • H01Q17/002—Devices for absorbing waves radiated from an antenna; Combinations of such devices with active antenna elements or systems using short elongated elements as dissipative material, e.g. metallic threads or flake-like particles

Abstract

본 발명에 따른 적층체는, 복수 개의 나노 섬유가 시트 형상으로 모여 있는 섬유 집합체와, 상기 섬유 집합체가 설치되며 0.1% 이상의 반사율을 갖는 반사 기판을 포함하며, 상기 섬유 집합체는 상기 섬유 집합체의 두께 방향 일부에 형성되는 제1 배향부와, 상기 제1 배향부보다 상기 반사 기판쪽에 형성되며 상기 제1 배향부보다 배향도가 낮은 제2 배향부를 포함한다.The laminate according to the present invention includes a fiber assembly in which a plurality of nanofibers are gathered in a sheet shape, and a reflective substrate having a reflectance of 0.1% or more on which the fiber assembly is installed, and the fiber assembly is in the thickness direction of the fiber assembly. It includes a first alignment portion formed on a portion thereof, and a second alignment portion formed on a side of the reflective substrate and having a lower degree of orientation than the first alignment portion.

Figure P1020237002628
Figure P1020237002628

Description

적층체 및 전자파 흡수체Laminates and electromagnetic wave absorbers

본 발명은 적층체 및 전자파 흡수체에 관한 것이다.The present invention relates to a laminate and an electromagnetic wave absorber.

휴대 전화, 무선 LAN, 요금 자동 수취 시스템(ETC), 고도 도로 교통 시스템, 자동차 주행 지원 도로 시스템, 위성 방송 등과 같은 다양한 정보 통신 시스템에서는, 주로 수 기가헤르츠(GHz)의 주파수 대역을 갖는 센티미터파라고 불리는 전자파가 사용된다.In various information and communication systems such as mobile phones, wireless LANs, automatic toll collection systems (ETC), advanced road traffic systems, automobile driving support road systems, satellite broadcasting, etc., it is mainly referred to as a centimeter wave with a frequency band of several gigahertz (GHz). So-called electromagnetic waves are used.

근래에는, 송신되는 데이터를 더 대용량화할 수 있도록, 30GHz~300GHz의 이른바 밀리미터파 대역의 주파수를 갖는 밀리미터파, 300GHz~3THz의 이른바 테라헤르츠 대역의 주파수를 갖는 테라헤르츠파 등과 같이, 보다 높은 주파수 대역의 전자파를 이용하는 기술의 연구가 진행되고 있다.Recently, in order to increase the capacity of transmitted data, a millimeter wave having a frequency of a so-called millimeter wave band of 30 GHz to 300 GHz, a terahertz wave having a frequency of a so-called terahertz band of 300 GHz to 3 THz, etc., a higher frequency band Research on technologies using electromagnetic waves is being conducted.

향후에는, 이렇게 보다 높은 주파수 대역의 전자파를 이용하는 기술에 대응하여, 전자파를 흡수하는 전자파 흡수체에서도 밀리미터파 대역 이상의 전자파에 대해 전자파 흡수 성능을 발휘할 수 있는 전자파 흡수체에 대한 요구가 높아질 것으로 생각된다.In the future, in response to such a technology using electromagnetic waves of a higher frequency band, it is thought that the demand for an electromagnetic wave absorber capable of exhibiting electromagnetic wave absorbing performance for electromagnetic waves of a millimeter wave band or higher will increase even in an electromagnetic wave absorber that absorbs electromagnetic waves.

이와 같이 보다 높은 주파수의 전자파를 흡수하는 전자파 흡수체로서, 예를 들어, 실리콘 기판 상에 복수 개의 카본 나노 튜브가 수직으로 정렬되어 THz 대역에서부터 적외선 영역에 걸쳐 높은 흡수 성능을 발휘할 수 있는 카본 나노 튜브 집합체가 개시되어 있다(예를 들어, 비특허문헌 1 참조).As such an electromagnetic wave absorber that absorbs higher frequency electromagnetic waves, for example, a carbon nanotube aggregate in which a plurality of carbon nanotubes are vertically aligned on a silicon substrate and can exhibit high absorption performance from the THz band to the infrared region. has been disclosed (see, for example, Non-Patent Document 1).

Leimeng Sun et al., "Wafer-scale vertically aligned carbon nanotubes for broadband terahertz wave absorption", Carbon, vol.154, p.503-509 (2019) Leimeng Sun et al., "Wafer-scale vertically aligned carbon nanotubes for broadband terahertz wave absorption", Carbon, vol.154, p.503-509 (2019)

그러나, 비특허문헌 1에서는, 실리콘 기판 상에 형성된 카본 나노 튜브의 길이 방향 배향(경사)의 변화가 밀리미터파 대역 이상의 전자파의 흡수 성능에 영향을 미치는 것에 대해서는 기재되어 있지 않다. 비특허문헌 1에서와 같이 카본 나노 튜브 집합체를 전자파 흡수체로서 사용함에 있어, 카본 나노 튜브의 길이 방향 배향에 차이를 두어 밀리미터파 대역 이상의 전자파의 흡수 성능을 향상시키는 것에 대해서는 검토되어 있지 않다.However, in Non-Patent Document 1, it is not described that a change in longitudinal orientation (inclination) of a carbon nanotube formed on a silicon substrate affects the ability to absorb electromagnetic waves in the millimeter wave band or higher. As in Non-Patent Document 1, when using a carbon nanotube aggregate as an electromagnetic wave absorber, improving the ability to absorb electromagnetic waves in the millimeter wave band or higher by making a difference in the longitudinal orientation of the carbon nanotubes has not been studied.

본 발명의 일 형태는 전자파 흡수체에 사용했을 때에 밀리미터파 대역 이상의 높은 주파수의 전자파를 양호하게 흡수할 수 있는 적층체를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of one embodiment of the present invention is to provide a laminate capable of satisfactorily absorbing high-frequency electromagnetic waves of a millimeter wave band or higher when used for an electromagnetic wave absorber.

본 발명에 따른 적층체의 일 양태는 복수 개의 나노 섬유가 시트 형상으로 집합된 섬유 집합체와, 상기 섬유 집합체가 설치되며 0.1% 이상의 반사율을 갖는 반사 기판을 포함하며, 상기 섬유 집합체는 상기 섬유 집합체의 두께 방향 일부에 형성되는 제1 배향부와, 상기 제1 배향부보다 상기 반사 기판쪽에 형성되며 상기 제1 배향부보다 배향도가 낮은 제2 배향부를 포함한다.One aspect of the laminate according to the present invention includes a fiber assembly in which a plurality of nanofibers are assembled in a sheet shape, and a reflective substrate on which the fiber assembly is installed and having a reflectance of 0.1% or more, the fiber assembly of the fiber assembly It includes a first alignment portion formed on a portion of the thickness direction, and a second alignment portion formed closer to the reflective substrate than the first alignment portion and having a lower degree of orientation than the first alignment portion.

본 발명에 따른 적층체의 일 양태는, 전자파 흡수체에 사용했을 때에 밀리미터파 대역 이상의 높은 주파수의 전자파를 양호하게 흡수할 수 있다.One aspect of the laminate according to the present invention can satisfactorily absorb high-frequency electromagnetic waves in the millimeter wave band or higher when used for an electromagnetic wave absorber.

도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 적층체를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 배향도의 설명도이다.
도 3은 카본 나노 튜브 집합체 제조 장치의 모식도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 적층체를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시형태에 따른 적층체를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 6은 적층체의 사시도이다.
도 7은 실시예 1에 있어 제1 배향부의 섬유 집합체 두께 방향 단면을 나타내는 SEM 사진이다.
도 8은 실시예 1에 있어 제2 배향부의 섬유 집합체 두께 방향 단면을 나타내는 SEM 사진이다.
도 9는 인장 시험의 설명도이다.1 is a diagram schematically showing a laminate according to a first embodiment of the present invention.
2 is an explanatory diagram of an orientation diagram.
3 is a schematic diagram of a carbon nanotube aggregate production device.
4 is a diagram schematically showing a laminate according to a second embodiment of the present invention.
5 is a diagram schematically showing a laminate according to a third embodiment of the present invention.
6 is a perspective view of a laminate.
7 is a SEM photograph showing a cross section in the thickness direction of the fiber assembly of the first alignment portion in Example 1.
8 is a SEM photograph showing a cross section in the thickness direction of the fiber assembly of the second alignment portion in Example 1.
9 is an explanatory diagram of a tensile test.

이하에서는, 본 발명의 실시형태에 대해 상세하게 설명한다. 한편, 설명의 이해를 쉽게 하기 위해, 각 도면에서 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 부호를 붙이며 중복되는 설명을 생략한다. 또한, 도면에서 각 부재의 축척은 실제와는 다른 경우가 있다. 본 명세서에서 수치 범위를 나타내는 "~"는, 따로 전제하지 않는 한, 그 앞뒤에 기재된 수치를 하한값 및 상한값으로서 포함함을 의미한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, embodiment of this invention is described in detail. On the other hand, in order to facilitate understanding of the description, the same reference numerals are attached to the same components in each drawing, and redundant descriptions are omitted. In addition, the scale of each member in the drawing may differ from the actual scale. In this specification, "~" indicating a numerical range means that the numerical values described before and after it are included as the lower limit and the upper limit unless otherwise premised.

[제1 실시형태][First Embodiment]

<적층체><Laminate>

본 발명의 제1 실시형태에 따른 적층체에 대해 설명한다. 도 1은 본 실시형태에 따른 적층체를 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 따른 적층체(1A)는 섬유 집합체(시트, 10)와, 섬유 집합체(10)가 설치되는 반사 기판(20)을 포함하는 바, 윗쪽에서 아랫쪽으로 입사하는 전자파를 흡수하고, 반사되는 전자파를 감쇠시킬 수 있다. 한편, 도 1에 나타내는 화살표는 전자파 진행 방향의 일 예를 나타내며, 화살표의 두께가 전자파의 강도를 나타내는 것으로 한다.The laminate according to the first embodiment of the present invention will be described. 1 is a diagram schematically showing a laminate according to the present embodiment. As shown in Fig. 1, the laminate 1A according to the present embodiment includes a fiber assembly (sheet) 10 and a reflective substrate 20 on which the fiber assembly 10 is installed, incident from top to bottom. It can absorb the electromagnetic wave that travels and attenuate the reflected electromagnetic wave. Meanwhile, an arrow shown in FIG. 1 indicates an example of an electromagnetic wave propagation direction, and it is assumed that the thickness of the arrow indicates the strength of the electromagnetic wave.

본 실시형태에서는 섬유 집합체(10)의 반사 기판(20) 쪽을 아래 또는 아랫쪽이라 하고, 반사 기판(20) 쪽의 반대 방향을 위 또는 윗쪽이라 하지만, 이것이 보편적인 상하 관계를 나타내는 것은 아니다.In this embodiment, the reflective substrate 20 side of the fiber assembly 10 is referred to as the lower or lower side, and the opposite direction to the reflective substrate 20 side is referred to as the upper or upper side, but this does not represent a universal vertical relationship.

(섬유 집합체)(fiber aggregate)

섬유 집합체(10)는 복수 개의 나노 섬유(11)를 포함하는 바, 복수 개의 나노 섬유(11)가 모여 시트 형상으로 형성되어 있다. 그리고, 각각의 나노 섬유(11)가 길이 방향으로 시트 형상 섬유 집합체(10)의 한쪽 주면(하면, 10a)에서 다른쪽 주면(상면, 10b)으로 연장되어 있다. 각각의 나노 섬유(11)는 전체로서는 섬유 집합체(10)의 하면(10a) 및 상면(10b)에 대해 대략 수직으로 연장되어 있다. 각각의 나노 섬유(11)는 그 일단이 섬유 집합체(10)의 한쪽인 하면(10a)에 도달하며, 타단이 섬유 집합체(10)의 다른쪽인 상면(10b)에 도달한다. 섬유 집합체(10)는, 하면(10a)을 반사 기판(20)에 접촉하는 면으로 하고, 상면(10b)을 외부에 위치하는 면으로 할 수 있다.The fiber assembly 10 includes a plurality of nanofibers 11, and the plurality of nanofibers 11 are gathered and formed in a sheet shape. Then, each nanofiber 11 extends from one main surface (lower surface, 10a) to the other main surface (upper surface, 10b) of the sheet-shaped fiber assembly 10 in the longitudinal direction. Each nanofiber 11 extends substantially perpendicularly to the lower surface 10a and upper surface 10b of the fiber assembly 10 as a whole. Each nanofiber 11 has one end reaching the lower surface 10a, which is one side of the fiber assembly 10, and the other end reaching the upper surface 10b, which is the other side of the fiber assembly 10. The fiber assembly 10 may have a lower surface 10a as a surface in contact with the reflective substrate 20 and an upper surface 10b as a surface located outside.

나노 섬유(11)는 유전율에 있어 이방성을 가지는 것이 바람직하다. 즉, 나노 섬유(11)가 갖는 유전율에는, 축의 수평 방향과 수직 방향에 있어 이방성이 존재함이 바람직하다. 나노 섬유(11)는 유전율에 이방성을 갖는 섬유라면 특별히 한정되지 않는다.The nanofibers 11 preferably have anisotropy in dielectric constant. That is, it is preferable that the permittivity of the nanofiber 11 has anisotropy in the horizontal and vertical directions of the axis. The nanofiber 11 is not particularly limited as long as it is a fiber having anisotropy in dielectric constant.

나노 섬유(11)의 평균 굵기(평균 직경)는, 나노 섬유(11)의 굵기를 원 상당(equivalent) 직경으로 나타낸 경우에, 통상 0.3nm~1000nm임이 바람직하며, 1nm~100nm이면 보다 바람직하고, 2nm~50nm이면 더 바람직하다. 나노 섬유(11)의 굵기는 광 산란 장치, 레이저 현미경, 주사형 전자 현미경(SEM), 투과 전자 현미경(TEM) 등을 이용하여 구할 수 있다. 예를 들어, SEM, TEM 등에서 임의로 선택한 소정 갯수(예를 들어 10~200개)의 나노 섬유(11)의 직경 방향 길이를 측정하고 그 평균값을 산출함으로써, 나노 섬유(11)의 평균 직경을 구할 수 있다.The average thickness (average diameter) of the nanofibers 11, when the thickness of the nanofibers 11 is expressed as an equivalent diameter, is usually preferably 0.3 nm to 1000 nm, more preferably 1 nm to 100 nm, It is more preferable in it being 2 nm - 50 nm. The thickness of the nanofiber 11 can be obtained using a light scattering device, a laser microscope, a scanning electron microscope (SEM), a transmission electron microscope (TEM), or the like. For example, by measuring the radial length of a predetermined number (eg, 10 to 200) of nanofibers 11 arbitrarily selected in SEM, TEM, etc. and calculating the average value, the average diameter of the nanofibers 11 can be obtained. can

나노 섬유(11)로는, 카본 나노 튜브("CNT"라 하는 경우가 있음)를 필요에 따라 적절하게 사용할 수 있다.As the nanofibers 11, carbon nanotubes (sometimes referred to as “CNT”) can be appropriately used as needed.

카본 나노 튜브는 단층 카본 나노 튜브(single-walled carbon nanotube: SWCNT)일 수도 있고, 다층 카본 나노 튜브(multi-walled carbon nanotube: MWCNT)일 수도 있다.The carbon nanotube may be a single-walled carbon nanotube (SWCNT) or a multi-walled carbon nanotube (MWCNT).

카본 나노 튜브의 층 갯수 평균은 바람직하게는 2~30층이며, 보다 바람직하게는 3~15층이다. 카본 나노 튜브의 최대 층 갯수는 바람직하게는 40층 이하이며, 보다 바람직하게는 30층 이하이다. 카본 나노 튜브의 최소 층 갯수는 바람직하게는 25층 이하이며, 보다 바람직하게는 20층 이하이다.The average number of carbon nanotube layers is preferably 2 to 30 layers, more preferably 3 to 15 layers. The maximum number of layers of carbon nanotubes is preferably 40 or less, more preferably 30 or less. The minimum number of layers of carbon nanotubes is preferably 25 or less, more preferably 20 or less.

카본 나노 튜브의 직경은 바람직하게는 0.3nm~200nm이며, 보다 바람직하게는 1nm~100nm이고, 더 바람직하게는 2nm~50nm이다. 카본 나노 튜브의 횡단면은 대략 원형, 타원형, 다각형 등일 수 있다.The diameter of the carbon nanotube is preferably 0.3 nm to 200 nm, more preferably 1 nm to 100 nm, still more preferably 2 nm to 50 nm. A cross section of a carbon nanotube may be approximately circular, elliptical, polygonal or the like.

전술한 카본 나노 튜브의 층 갯수, 층 갯수 분포, 직경 등은 예를 들어 SEM, TEM에 의한 촬상(撮像) 화상에 기초하여 측정할 수 있다.The number of layers, the distribution of the number of layers, the diameter, and the like of the aforementioned carbon nanotubes can be measured based on images captured by SEM or TEM, for example.

도 1에 나타내는 바와 같이, 섬유 집합체(10)는, 섬유 집합체(10)의 두께 방향 일부에 형성된 제1 배향부(101), 제2 배향부(102), 제3 배향부(103)를 구비한다.As shown in FIG. 1 , the fiber assembly 10 includes a first orientation section 101, a second orientation section 102, and a third orientation section 103 formed on a part of the fiber assembly 10 in the thickness direction. do.

제1 배향부(101)는 상면(10b) 쪽에 구비되어 소정의 배향도를 가지는 영역인 바, 제1 배향부(101)를 구성하는 나노 섬유(11)의 배향도는 비교적 높다.The first alignment portion 101 is a region provided on the upper surface 10b and has a predetermined degree of orientation, and the degree of orientation of the nanofibers 11 constituting the first alignment portion 101 is relatively high.

본 실시형태에서 배향도라 함은, 섬유 집합체(10)의 두께 방향에 대한 나노 섬유(11)의 경사를 각도 θ라고 했을 때에, 각도 θ의 코사인 값 cosθ이다. 즉, 배향도는 섬유 집합체(10)의 두께 방향에 대한 나노 섬유(11) 경사의 크기를 나타낸다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 제1 배향부(101)에 존재하는 나노 섬유(11)의 복수 개의 경사를 각도 θn(n은 1 이상의 정수)이라 하고, 복수 개의 각도 θn의 평균값을 평균 각도 θα라 했을 때에, 제1 배향부(101)의 배향도는 제1 배향부(101)에 존재하는 나노 섬유(11)의 평균 각도 θα의 코사인(cosθα) 값이다.In this embodiment, the degree of orientation is the cosine value cosθ of the angle θ when the angle θ is the inclination of the nanofibers 11 with respect to the thickness direction of the fiber aggregate 10. That is, the degree of orientation represents the size of the inclination of the nanofibers 11 with respect to the thickness direction of the fiber assembly 10. As shown in FIG. 2, the plurality of inclinations of the nanofibers 11 present in the first orientation portion 101 are referred to as angles θn (n is an integer greater than or equal to 1), and the average value of the plurality of angles θn is referred to as the average angle θα. In this case, the degree of orientation of the first alignment portion 101 is the cosine value of the average angle θα of the nanofibers 11 present in the first alignment portion 101 .

배향도는, 예를 들어, 섬유 집합체(10)의 주면(하면(10a), 상면(10b))에 대해 수직 방향으로 커팅한(섬유 집합체(10)의 두께 방향을 따라 커팅한) 단면 화상을 SEM이나 TEM에 의해 취득하고 그 화상을 해석함으로써 구할 수 있다.The orientation diagram is, for example, an SEM image of a cross section cut in a direction perpendicular to the main surfaces (lower surface 10a, upper surface 10b) of the fiber assembly 10 (cut along the thickness direction of the fiber assembly 10). or obtained by TEM and by analyzing the image.

화상 해석에서는, 화상 내 모든 나노 섬유를 침상(針狀) 입자로서 추출하여, 추출된 각 침상 입자의 배향 각도를 구할 수 있다. 각 침상 입자의 배향 각도에 변동이 있는 경우에는, 각도의 변동이 소정 각도로 있을 때마다 침상 입자를 구획하여, 구획된 각 부분의 길이를 각각 구한다.In image analysis, all the nanofibers in the image are extracted as acicular particles, and the orientation angle of each extracted acicular particle can be obtained. When the orientation angle of each acicular particle fluctuates, the acicular particle is segmented every time the angle fluctuates at a predetermined angle, and the length of each segmented portion is obtained.

그리고, 화상 내 화상 해석에서 얻어진 구획된 각 부분의 길이에 구획된 각 부분의 각도를 곱한 값의 합을, 화상 해석에서 얻어진 구획된 각 부분의 길이의 합으로 나눔으로써, 제1 배향부(101)를 구성하는 나노 섬유(11)의 경사의 가중 평균값을 산출할 수 있다. 산출된 가중 평균값을 제1 배향부(101)를 구성하는 나노 섬유(11)의 평균 각도 θα라고 할 수 있다. 즉, 취득된 화상에서 ((구획된 각 부분의 길이 × 구획된 각 부분의 각도)의 합/구획된 각 부분의 길이의 합)을 구함으로써, 제1 배향부(101)를 구성하는 나노 섬유(11)의 평균 각도 θα가 구해진다. 그리고, 구해진 평균 각도 θα에 대해 cosθα를 구함으로써, 제1 배향부(101)의 배향도를 구할 수 있다. 이와 같은 해석에는, Winroof((주)미타니 상사 제조) 등과 같은 화상 해석 소프트웨어의 침상 분리 기능 등을 이용할 수 있다.Then, the first alignment unit 101 is obtained by dividing the sum of the values obtained by multiplying the length of each segmented portion obtained by image analysis within the image by the angle of each segmented portion by the sum of the lengths of each segmented portion obtained by image analysis. ) It is possible to calculate the weighted average value of the inclination of the nanofibers 11 constituting. The calculated weighted average value may be referred to as an average angle θα of the nanofibers 11 constituting the first alignment portion 101 . That is, nanofibers constituting the first alignment portion 101 by obtaining (sum of (length of each segmented portion × angle of each segmented portion) / sum of lengths of each segmented portion) from the acquired image. The average angle θα of (11) is obtained. Then, the degree of orientation of the first alignment unit 101 can be obtained by obtaining cosθα for the obtained average angle θα. For such an analysis, a bed separation function or the like of image analysis software such as Winroof (manufactured by Mitani Corporation) or the like can be used.

제1 배향부(101)는 소정의 배향도를 가지며, 나노 섬유(11)가 섬유 집합체(10)의 두께 방향에 대해 소정의 경사를 가지기 때문에, 제1 배향부(101)의 두께 방향에 대해 대략 수직으로 입사한 전자파는 제1 배향부(101) 안으로 침입하기 쉽다. 또한, 제1 배향부(101) 안으로 침입한 전자파가 나노 섬유(11)에 충돌하더라도, 나노 섬유(11)의 배향성이 크므로 겉보기 유전율은 작아서 공기와 거의 같다. 그리하여, 공기와 나노 섬유(11) 간 계면에서의 유전율 차이가 작으므로, 전자파는 나노 섬유(11) 표면에서 잘 반사되지 않아 제1 배향부(101)의 내부에 침입하기 쉽다.The first orientation portion 101 has a predetermined degree of orientation, and since the nanofibers 11 have a predetermined inclination with respect to the thickness direction of the fiber aggregate 10, the thickness direction of the first orientation portion 101 is approximately Electromagnetic waves incident vertically tend to penetrate into the first alignment portion 101 . In addition, even if electromagnetic waves penetrating into the first alignment portion 101 collide with the nanofibers 11, the orientation of the nanofibers 11 is high, so the apparent permittivity is small and almost equal to that of air. Thus, since the difference in permittivity at the interface between air and the nanofibers 11 is small, electromagnetic waves are not easily reflected from the surface of the nanofibers 11 and are easily penetrated into the first alignment portion 101 .

제1 배향부(101)는 섬유 집합체(10)의 두께 방향의 한쪽 단부쪽(상면(10b)쪽)에 형성됨이 바람직하다. 섬유 집합체(10)의 상면(10b)과 그 근방(상면(10b) 부근)을 포함하는 영역에 형성됨이 바람직하다. 한편, 상면(10b)과 그 근방이라 함은 상면(10b)에서부터 두께 방향으로 최대 20㎛까지를 말한다.The first orientation portion 101 is preferably formed on one end side (upper surface 10b side) of the fiber assembly 10 in the thickness direction. It is preferably formed in a region including the upper surface 10b of the fibrous assembly 10 and its vicinity (near the upper surface 10b). On the other hand, the upper surface 10b and its vicinity refer to a maximum of 20 μm from the upper surface 10b in the thickness direction.

제1 배향부(101)가 섬유 집합체(10)의 두께 방향으로 상면(10b) 쪽에 형성되는 것으로 하자. 이 경우, 제1 배향부(101)는, 전술한 바와 같이, 소정의 배향도를 가지고, 제1 배향부(101)를 구성하는 나노 섬유(11)가 섬유 집합체(10)의 두께 방향에 대해 소정의 경사를 가지므로, 외부에서부터 섬유 집합체(10)의 상면(10b)에 대해 대략 수직으로 입사한 전자파를 섬유 집합체(10)의 가장 바깥쪽 표면에서 내부로 침입하기 쉽게 할 수 있다.Assume that the first orientation portion 101 is formed on the upper surface 10b side in the thickness direction of the fiber aggregate 10. In this case, as described above, the first orientation portion 101 has a predetermined degree of orientation, and the nanofibers 11 constituting the first orientation portion 101 have a predetermined orientation in the thickness direction of the fiber assembly 10. Since it has an inclination of , it is possible to make it easier for the electromagnetic waves incident from the outside to the upper surface 10b of the fiber assembly 10 to be substantially perpendicular to the inside from the outermost surface of the fiber assembly 10.

제1 배향부(101)의 두께는 3.0㎛ 이상이면 바람직하고, 보다 바람직하게는 5.0㎛~500㎛이고, 더 바람직하게는 10.0㎛~300㎛이다. 제1 배향부(101)의 두께가 3.0㎛ 이상이면, 전자파를 제1 배향부(101)의 내부로 충분히 침입시킬 수 있으므로 전자파가 외부에 누설되는 것을 억제할 수 있다.The thickness of the first alignment portion 101 is preferably 3.0 μm or more, more preferably 5.0 μm to 500 μm, still more preferably 10.0 μm to 300 μm. When the thickness of the first alignment portion 101 is 3.0 μm or more, electromagnetic waves can sufficiently penetrate into the first alignment portion 101, so that leakage of electromagnetic waves to the outside can be suppressed.

제1 배향부(101)의 두께(두께 방향에서 보았을 때 제1 배향부(101)가 복수 개 존재하는 경우에는 두께의 합계)는 섬유 집합체(10)의 전체 두께(제1 배향부(101)의 두께와 제2 배향부(102)의 두께와 제3 배향부(103)의 두께의 합)에 대해, 바람직하게는 0.001%~80%이고, 보다 바람직하게는 0.01%~50%이며, 더 바람직하게는 0.1%~20%이다. 제1 배향부(101)의 두께가 섬유 집합체(10)의 전체 두께에 대해 0.001%~80%이면, 전자파를 제1 배향부(101) 내부로 침입시킬 수 있으므로 전자파가 외부에 누설되기 어렵게 할 수 있다.The thickness of the first orientation portion 101 (the sum of the thicknesses when there are a plurality of first orientation portions 101 when viewed in the thickness direction) is the total thickness of the fiber assembly 10 (the first orientation portion 101). The sum of the thickness of the second alignment portion 102 and the thickness of the third alignment portion 103) is preferably 0.001% to 80%, more preferably 0.01% to 50%, and further Preferably they are 0.1% - 20%. If the thickness of the first alignment portion 101 is 0.001% to 80% of the total thickness of the fiber assembly 10, electromagnetic waves can penetrate into the first alignment portion 101, making it difficult for electromagnetic waves to leak to the outside. can

제2 배향부(102)는 제1 배향부(101)보다 반사 기판(20) 쪽에 형성되며, 제1 배향부(101)보다 낮은 배향도를 가진다. 제2 배향부(102)의 배향도는 제1 배향부(101)의 배향도와 마찬가지 방법으로 구할 수 있다. 즉, 제2 배향부(102)에 존재하는 나노 섬유(11)의 복수 개의 경사를 각도 θn(n은 1 이상의 정수)이라 하고, 그 복수 개의 각도 θn의 평균값을 평균 각도 θβ라 했을 때에, 제2 배향부(102)의 배향도는 제2 배향부(102)에 존재하는 나노 섬유(11)의 평균 각도 θβ의 코사인값(cosθβ)이다.The second alignment unit 102 is formed closer to the reflective substrate 20 than the first alignment unit 101 and has a lower orientation than the first alignment unit 101 . The degree of orientation of the second alignment part 102 can be obtained in the same way as the degree of orientation of the first alignment part 101 . That is, when the plurality of inclinations of the nanofibers 11 present in the second orientation unit 102 are referred to as angle θn (n is an integer greater than or equal to 1), and the average value of the plurality of angles θn is referred to as the average angle θ β , The degree of orientation of the second alignment portion 102 is the cosine value (cosθ β ) of the average angle θ β of the nanofibers 11 present in the second alignment portion 102 .

제2 배향부(102)의 배향도는 제1 배향부(101)의 배향도보다 낮으므로, 제2 배향부(102)를 구성하는 나노 섬유(11)는 제1 배향부(101)를 구성하는 나노 섬유(11)보다 섬유 집합체(10) 두께 방향에 대해 큰 경사를 가진다. 그리고, 제2 배향부(102)를 구성하는 나노 섬유(11)는 크게 만곡하여 많이 구불구불하면서 연장되는 바, 제1 배향부(101)를 구성하는 나노 섬유(11)에 비해 수직 방향으로 기둥 형상으로 연장되지 않는 부분을 많이 가진다. 그리하여, 제2 배향부(102)를 구성하는 나노 섬유(11)는 나노 섬유(11)가 연장되는 방향에 있어 불규칙성을 가질 수 있으므로, 제2 배향부(102)는 복수 개의 나노 섬유(11)가 3차원적으로 엉켜서 그물코 형상의 구조(그물코 구조)를 형성하는 부분을 포함할 수 있다.Since the degree of orientation of the second orientation part 102 is lower than that of the first orientation part 101, the nanofibers 11 constituting the second orientation part 102 are nanofibers constituting the first orientation part 101. It has a larger inclination with respect to the thickness direction of the fiber aggregate 10 than the fiber 11. In addition, the nanofibers 11 constituting the second orientation part 102 are greatly curved and extend while being meandering, and compared to the nanofibers 11 constituting the first orientation part 101, the pillars in the vertical direction It has many parts that do not extend into the shape. Thus, since the nanofibers 11 constituting the second orientation portion 102 may have irregularities in the direction in which the nanofibers 11 extend, the second orientation portion 102 includes a plurality of nanofibers 11 may include a part that is three-dimensionally entangled to form a mesh structure (network structure).

제2 배향부(102)를 구성하는 나노 섬유(11)는 제1 배향부(101)를 구성하는 나노 섬유(11)보다 섬유 집합체(10)의 두께 방향에 대해 더 큰 각도로 경사져 있으므로, 전자파가 제2 배향부(102) 안으로 침입하면, 제2 배향부(102)를 구성하는 나노 섬유(11)에 의해 많이 충돌하게 되어 전자파의 나노 섬유(11)에 충돌하는 횟수를 늘릴 수 있다. 또한, 전자파가 나노 섬유(11)에 충돌하면, 나노 섬유(11)의 배향성이 낮은 바 겉보기 유전율이 커진다. 공기와 나노 섬유(11) 간 계면에서의 유전율 차이가 크므로, 전자파가 나노 섬유(11)의 표면에서 반사하기 쉬워진다. 이 때, 전자파의 일부는 나노 섬유(11)에서 흡수되면서 투과된다. 전자파는 제2 배향부(102)를 구성하는 나노 섬유(11)에 충돌하여 반사될 때마다 전자파의 일부가 나노 섬유(11)에 흡수되면서 투과되므로, 전자파가 나노 섬유(11)에 충돌하여 반사됨과 함께 전자파의 일부는 나노 섬유(11)에 흡수되면서 투과되는 것을 반복함으로써, 전자파를 감쇠시킬 수 있다. 따라서, 제2 배향부(102)에서는, 전자파가 제2 배향부(102) 내에서 반사 기판(20) 쪽으로 진행할수록 감쇠될 수 있는 바, 최종적으로는, 외부에서 조사(照射)된 전자파를 제2 배향부(102)에서 전부 흡수시킬 수 있다.Since the nanofibers 11 constituting the second orientation portion 102 are inclined at a larger angle with respect to the thickness direction of the fiber assembly 10 than the nanofibers 11 constituting the first orientation portion 101, the electromagnetic wave When intrudes into the second alignment unit 102, it collides more with the nanofibers 11 constituting the second alignment unit 102, and the number of times electromagnetic waves collide with the nanofibers 11 can be increased. In addition, when electromagnetic waves collide with the nanofibers 11, the orientation of the nanofibers 11 is low, so the apparent permittivity increases. Since the difference in permittivity at the interface between air and the nanofibers 11 is large, electromagnetic waves are easily reflected on the surface of the nanofibers 11 . At this time, some of the electromagnetic waves are transmitted while being absorbed by the nanofibers 11 . Whenever the electromagnetic waves collide with the nanofibers 11 constituting the second orientation unit 102 and are reflected, a part of the electromagnetic waves is absorbed and transmitted through the nanofibers 11, so the electromagnetic waves collide with the nanofibers 11 and are reflected. Along with this, some of the electromagnetic waves can be absorbed and transmitted through the nanofibers 11 repeatedly, thereby attenuating the electromagnetic waves. Therefore, in the second alignment unit 102, electromagnetic waves can be attenuated as they progress toward the reflective substrate 20 within the second alignment unit 102, and finally, electromagnetic waves irradiated from the outside are removed. All can be absorbed in the 2 orientation part 102.

제2 배향부(102)의 배향도는 반사 기판(20)의 주면(主面)에 대해 0.80 미만임이 바람직하며, 보다 바람직하게는 0.77 이하이고, 더 바람직하게는 0.75 이하이다. 제2 배향부(102)의 배향도가 0.80 미만이면, 제2 배향부(102)를 구성하는 나노 섬유(11)의 경사가 커서 전자파의 다중 반사를 보다 많이 발생시킬 수 있다. 또한, 섬유 집합체(10)의 강도를 높일 수 있으므로, 용이하게 시트 형상으로 구성할 수가 있다. The degree of orientation of the second alignment portion 102 is preferably less than 0.80, more preferably 0.77 or less, and still more preferably 0.75 or less with respect to the main surface of the reflective substrate 20. When the degree of orientation of the second alignment unit 102 is less than 0.80, the nanofibers 11 constituting the second alignment unit 102 have a large inclination, so multiple reflections of electromagnetic waves can be generated more. In addition, since the strength of the fibrous aggregate 10 can be increased, it can be easily formed into a sheet shape.

제1 배향부(101)의 배향도와 제2 배향부(102)의 배향도의 차이는 0.01 이상일 수 있다.A difference between the degree of orientation of the first alignment part 101 and the degree of orientation of the second alignment part 102 may be 0.01 or more.

제2 배향부(102)는 섬유 집합체(10)의 두께 방향의 다른쪽 단부쪽(하면(10a)쪽)에 형성됨이 바람직하다. 즉, 제2 배향부(102)는 섬유 집합체(10)의 하면(10a)과 그 근방(하면(10a) 부근)을 포함하는 영역에 형성됨이 바람직하다. 한편, 하면(10a)과 그 근방이라 함은 하면(10a)에서부터 두께 방향으로 최대 20㎛까지의 영역이다. 제2 배향부(102)가 섬유 집합체(10)의 두께 방향으로 하면(10a) 쪽에 형성되어 있으면, 섬유 집합체(10) 내부로 침입한 전자파를 제2 배향부(102)에서 확실하게 감쇠시키기 쉬워진다.The second orientation portion 102 is preferably formed on the other end side (lower surface 10a side) of the fiber assembly 10 in the thickness direction. That is, the second orientation portion 102 is preferably formed in a region including the lower surface 10a of the fibrous assembly 10 and the vicinity thereof (near the lower surface 10a). On the other hand, the lower surface 10a and its vicinity is a region from the lower surface 10a to a maximum of 20 μm in the thickness direction. If the second orientation section 102 is formed on the lower surface 10a side in the thickness direction of the fiber assembly 10, electromagnetic waves penetrating into the inside of the fiber assembly 10 can be easily attenuated with the second orientation section 102 reliably. lose

제2 배향부(102)의 두께는 3.0㎛ 이상이면 바람직하고, 보다 바람직하게는 5.0㎛~50㎛이고, 더 바람직하게는 10.0㎛~200㎛이다. The thickness of the second alignment portion 102 is preferably 3.0 μm or more, more preferably 5.0 μm to 50 μm, still more preferably 10.0 μm to 200 μm.

제2 배향부(102)의 두께(두께 방향에서 보았을 때 제2 배향부(102)가 복수 개 존재하는 경우에는 두께의 합계)는 섬유 집합체(10)의 전체 두께(제1 배향부(101)의 두께와 제2 배향부(102)의 두께와 제3 배향부(103)의 두께의 합)에 대해, 바람직하게는 0.001%~80%이고, 보다 바람직하게는 0.01%~50%이며, 더 바람직하게는 0.1%~20%이다. 제2 배향부(102)의 두께가 상기의 바람직한 범위에 있으면, 제2 배향부(102) 내부로 침입한 전자파는, 제2 배향부(102)를 구성하는 나노 섬유(11)에 의해 많이 반사시킬 수 있다. 그리하여, 전자파는 더 감쇠되기 쉬워지는 바, 전자파 차단 성능을 보다 향상시킬 수 있고, 섬유 집합체(10)의 시트 형상 유지도 안정시킬 수 있다.The thickness of the second orientation portion 102 (the sum of the thicknesses when there are a plurality of second orientation portions 102 when viewed in the thickness direction) is the total thickness of the fiber assembly 10 (the first orientation portion 101). The sum of the thickness of the second alignment portion 102 and the thickness of the third alignment portion 103) is preferably 0.001% to 80%, more preferably 0.01% to 50%, and further Preferably they are 0.1% - 20%. When the thickness of the second alignment portion 102 is within the above preferred range, electromagnetic waves penetrating into the second alignment portion 102 are largely reflected by the nanofibers 11 constituting the second alignment portion 102. can make it Thus, since electromagnetic waves are more easily attenuated, the electromagnetic wave shielding performance can be further improved, and the maintenance of the sheet shape of the fiber aggregate 10 can also be stabilized.

제3 배향부(103)는 제1 배향부(101)와 제2 배향부(102) 사이에 형성된다. 제3 배향부(103)의 배향도는, 제1 배향부(101)와 제2 배향부(102) 사이에서 배향도가 급격히 변화하지 않는다면, 특별히 한정되지는 않으며, 제1 배향부(101)보다 높을 수도 있고, 제1 배향부(101)의 배향도와 제2 배향부(102)의 배향도 사이일 수도 있다.The third alignment unit 103 is formed between the first alignment unit 101 and the second alignment unit 102 . The degree of orientation of the third orientation section 103 is not particularly limited, and may be higher than that of the first orientation section 101, as long as the degree of orientation does not change rapidly between the first orientation section 101 and the second orientation section 102. Or, it may be between the orientation degree of the first orientation part 101 and the orientation degree of the second orientation part 102.

예를 들어, 제3 배향부(103)의 배향도가 제1 배향부(101)보다 높은 경우에는, 전자파가 나노 섬유(11)에서 반사 및 흡수되지 않고 섬유 집합체(10)의 내부를 진행하기 쉬운 영역의 두께가 늘어나게 되므로, 실질적으로는 제1 배향부(101)의 두께를 증가시키게 된다고 할 수 있다. 이 경우에는, 제1 배향부(101)를 통과하여 제3 배향부(103) 안으로 침입한 전자파는, 제3 배향부(103)를 구성하는 나노 섬유(11)에 충돌하더라도 나노 섬유(11)의 표면에서의 반사가 억제되면서 제3 배향부(103) 안을 진행할 수 있으므로, 섬유 집합체(10) 안으로 침입하는 전자파를 늘릴 수 있다.For example, when the degree of orientation of the third alignment portion 103 is higher than that of the first alignment portion 101, electromagnetic waves are not reflected and absorbed by the nanofibers 11 and tend to propagate through the fiber assembly 10. Since the thickness of the region is increased, it can be said that the thickness of the first alignment portion 101 is substantially increased. In this case, the electromagnetic waves passing through the first alignment portion 101 and entering the third alignment portion 103 may collide with the nanofibers 11 constituting the third alignment portion 103, but the nanofibers 11 Since reflection on the surface of the fiber can be suppressed while propagating through the third alignment unit 103, electromagnetic waves penetrating into the fiber assembly 10 can be increased.

제3 배향부(103)의 배향도가 제1 배향부(101)의 배향도와 제2 배향부(102)의 배향도 사이에 있는 경우에는, 전자파가 나노 섬유(11)에서 반사 및 흡수되기 쉬운 영역의 두께가 커지게 되므로, 실질적으로 제2 배향부(102)의 두께를 증가시키게 된다고 할 수 있다. 이 경우에는, 제1 배향부(101)를 통과하여 제3 배향부(103) 안으로 침입한 전자파는, 제3 배향부(103)를 구성하는 나노 섬유(11)에 다중 반사되어 감쇠되면서 제3 배향부(103) 안을 진행할 수 있으므로, 섬유 집합체(10)의 내부에 침입하는 전자파를 고효율로 흡수할 수 있다.When the degree of orientation of the third alignment portion 103 is between the degree of orientation of the first alignment portion 101 and the degree of orientation of the second alignment portion 102, the area in which electromagnetic waves are easily reflected and absorbed by the nanofibers 11 Since the thickness increases, it can be said that the thickness of the second alignment portion 102 is substantially increased. In this case, the electromagnetic waves passing through the first alignment unit 101 and entering the third alignment unit 103 are multi-reflected by the nanofibers 11 constituting the third alignment unit 103 and are attenuated while the third alignment unit 103 is attenuated. Since it can propagate through the orientation section 103, electromagnetic waves penetrating into the inside of the fiber assembly 10 can be absorbed with high efficiency.

제3 배향부(103)의 배향도는 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)의 배향도와 마찬가지 방법으로 구할 수 있다. 즉, 제3 배향부(103)에 존재하는 나노 섬유(11)의 복수 개의 경사를 각도 θn(n은 1 이상의 정수)이라 하고, 그 복수 개의 각도 θn의 평균값을 평균 각도 θγ라 했을 때에, 제3 배향부(103)의 배향도는 제3 배향부(103)에 존재하는 나노 섬유(11)의 평균 각도 θγ의 코사인값(cosθγ)이다.The degree of orientation of the third alignment part 103 can be obtained in the same way as the degree of orientation of the first alignment part 101 and the second alignment part 102 . That is, when the plurality of inclinations of the nanofibers 11 present in the third orientation portion 103 are referred to as angles θn (n is an integer greater than or equal to 1), and the average value of the plurality of angles θn is referred to as the average angle θ γ , The degree of orientation of the third alignment portion 103 is the cosine value (cosθ γ ) of the average angle θ γ of the nanofibers 11 present in the third alignment portion 103 .

제3 배향부(103)의 두께는 섬유 집합체(10)의 두께에서 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)의 두께를 제외한 만큼이며, 특별히 한정되지 않고서 적절하게 설계할 수 있다.The thickness of the third orientation portion 103 is the thickness of the fiber assembly 10 minus the thickness of the first orientation portion 101 and the second orientation portion 102, and can be appropriately designed without being particularly limited. .

섬유 집합체(10)의 전체 두께는 적절하게 설계할 수 있는 바, 예를 들어, 5㎛~5000㎛임이 바람직하며, 10㎛~4000㎛이면 보다 바람직하고, 100㎛~2000㎛이면 더 바람직하다. 섬유 집합체(10)의 두께는 공지된 측정 방법을 이용할 수 있는 바, 예를 들어, 섬유 집합체(10)의 면방향 단부로부터 0.2mm 이상 안쪽에서 무작위로 추출한 소정 갯수(예를 들어, 3개)의 평균값일 수 있다.The total thickness of the fiber assembly 10 can be appropriately designed, and for example, it is preferably 5 μm to 5000 μm, more preferably 10 μm to 4000 μm, and even more preferably 100 μm to 2000 μm. A known measurement method can be used for the thickness of the fiber assembly 10, for example, a predetermined number (eg, 3) randomly extracted from the inside of 0.2 mm or more from the face direction end of the fiber assembly 10 may be the average value of

섬유 집합체(10)를 구성하는 나노 섬유(11)가 반사 기판(20)의 표면에 존재하는 미세한 요철에 들어가 반사 기판(20)의 표면에 추종하면서 접촉함으로써, 나노 섬유(11)와 반사 기판(20)의 표면 간에 반데르발스 힘(Van der Waals force)이 작용할 수 있으므로, 섬유 집합체(10)는 반사 기판(20)에 대해 점착력을 발현할 수 있다. 이 점착력에 의해 섬유 집합체(10)는 반사 기판(20)에 접착될 수 있으므로, 점착제 등을 사용하지 않더라도 섬유 집합체(10)를 반사 기판(20)에 직접 적층시킬 수 있다.The nanofibers 11 constituting the fiber aggregate 10 enter the fine irregularities present on the surface of the reflective substrate 20 and contact the surface of the reflective substrate 20 while following, thereby forming the nanofibers 11 and the reflective substrate ( 20), since Van der Waals force can act between the surfaces of the fiber assembly 10, the fiber assembly 10 can develop adhesive force with respect to the reflective substrate 20. Since the fiber assembly 10 can be adhered to the reflective substrate 20 by this adhesive force, the fiber assembly 10 can be directly laminated on the reflective substrate 20 without using an adhesive or the like.

섬유 집합체(10)는 섬유 집합체(10)와 반사 기판(20) 간 접착력을 0.2N/cm2 이상으로 하는 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는 0.25N/cm2 이상이고, 더 바람직하게는 0.3N/cm2 이상이다. 접착력이 0.2N/cm2 이상이면, 섬유 집합체(10)는 반사 기판(20)에 붙여진 상태를 유지할 수 있다.In the fiber assembly 10, the adhesive force between the fiber assembly 10 and the reflective substrate 20 is preferably 0.2 N/cm 2 or more, more preferably 0.25 N/cm 2 or more, and even more preferably 0.3 N /cm 2 or more. If the adhesive force is 0.2 N/cm 2 or more, the fiber aggregate 10 can maintain a state attached to the reflective substrate 20 .

한편, 접착력은 섬유 집합체(10)와 반사 기판(20)을 수직 방향으로 박리시키는데에 필요한 접착력이다. 접착력은, 적층체(1A)를 그 하면(10a)과 상면(10b) 양쪽에서부터 수직 방향으로 소정 속도(예를 들어, 1mm/min)에 의해 잡아당기고서 적층체(1A)가 파괴될 때에 필요한 힘을 측정함으로써 구해진다. 한편, 적층체(1A)의 파괴는 섬유 집합체(10)와 반사 기판(20) 간 계면 파괴, 그리고 섬유 집합체(10) 또는 반사 기판(20) 내부에서의 파괴를 포함한다. 접착력의 측정은 공지의 인장 시험기, 핀 스터브(pin stub), 로드 셀(load cell) 등을 이용하여 실시할 수 있다. 접착력은 복수 회(예를 들어, 2회) 측정했을 때의 평균값으로 할 수도 있다.On the other hand, the adhesive force is the adhesive force required to separate the fiber aggregate 10 and the reflective substrate 20 in the vertical direction. The adhesive force is required when the laminate 1A is destroyed by pulling it in the vertical direction from both the lower surface 10a and the upper surface 10b at a predetermined speed (for example, 1 mm/min). It is obtained by measuring the force. On the other hand, destruction of the laminate 1A includes interface destruction between the fiber assembly 10 and the reflective substrate 20, and destruction within the fiber assembly 10 or the reflective substrate 20. The adhesive force may be measured using a known tensile tester, pin stub, load cell, or the like. Adhesive force can also be made into the average value at the time of measuring multiple times (for example, twice).

(반사 기판), (reflective substrate),

반사 기판(20)은 섬유 집합체가 설치되는 기재(基材)로서, 밀리미터파 대역 이상의 높은 주파수의 전자파에 대해 0.1% 이상의 반사율을 가진다. 반사 기판(20)은 그 주면에 섬유 집합체(10)를 안정시켜 설치한다는 점에서 평활성을 가지는 것이 바람직하다.The reflective substrate 20 is a base material on which the fiber assembly is installed, and has a reflectance of 0.1% or more with respect to high-frequency electromagnetic waves of a millimeter wave band or higher. The reflective substrate 20 preferably has smoothness in that the fiber aggregate 10 is stably installed on its main surface.

반사 기판(20)은 0.1% 이상의 반사율을 갖는 재료이면 기재로서 사용할 수 있다. 반사 기판(20)을 형성하는 재료로는, 예를 들어, 실리콘, 알루미늄, 구리 등과 같은 금속; 석영 유리, 지르코니아, 알루미나 등과 같은 금속 산화물; 탄화규소 등과 같은 탄화물; 질화규소, 질화알루미늄, 질화갈륨 등과 같은 질화물; 합성 수지 등을 들 수 있다.As the reflective substrate 20, any material having a reflectance of 0.1% or more can be used as a base material. Materials forming the reflective substrate 20 include, for example, metals such as silicon, aluminum, and copper; metal oxides such as quartz glass, zirconia, alumina and the like; carbides such as silicon carbide; nitrides such as silicon nitride, aluminum nitride, gallium nitride and the like; A synthetic resin etc. are mentioned.

이어서, 본 실시형태에 따른 적층체 제조방법에 대해 설명한다. 나노 섬유에 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)를 형성하여 섬유 집합체(10)를 제조한 다음, 반사 기판(20)에 설치함으로써 적층체(1A)를 제조할 수 있다.Next, the method for manufacturing the laminate according to the present embodiment will be described. The fiber assembly 10 may be manufactured by forming the first orientation part 101 and the second orientation part 102 on the nanofibers, and then installing the fiber assembly 10 on the reflective substrate 20 to manufacture the laminate 1A.

섬유 집합체(10) 제조방법에 대해 설명한다.A method for manufacturing the fiber aggregate 10 will be described.

나노 섬유(11)가 카본 나노 튜브인 경우에 대해 설명한다. 이 경우, 섬유 집합체(10)는, 예를 들어, 기재 상에 촉매층을 형성하고 열, 플라즈마 등에 의해 촉매를 활성화시킨 상태에서 탄소원을 공급하여 카본 나노 튜브를 성장시킴으로써 제조할 수 있다. 그리고, 화학 기상 성장법(Chemical Vapor Deposition: CVD법)에 의해 제조하는 것이 바람직하다. 이 방법에 의해, 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)를 가지면서 기재로부터 전체로서 하면(10a) 및 상면(10b)에 대해 대략 수직으로 배향되며 각각의 카본 나노 튜브가 길이 방향으로 하면(10a)에서 상면(10b)으로 연장되는 카본 나노 튜브 집합체를 섬유 집합체(10)로서 제조할 수 있다.A case where the nanofibers 11 are carbon nanotubes will be described. In this case, the fiber assembly 10 can be manufactured, for example, by forming a catalyst layer on a substrate and supplying a carbon source to grow carbon nanotubes in a state in which the catalyst is activated by heat, plasma, or the like. And it is preferable to manufacture by the chemical vapor deposition method (Chemical Vapor Deposition: CVD method). By this method, while having the first orientation portion 101 and the second orientation portion 102, each carbon nanotube is oriented substantially perpendicular to the lower surface 10a and the upper surface 10b as a whole from the substrate, and each carbon nanotube has a length A carbon nanotube assembly extending from the lower surface 10a to the upper surface 10b in the direction can be manufactured as the fiber assembly 10.

섬유 집합체(10)를 제조하기 위한 장치로는, 카본 나노 튜브를 제조할 수 있는 장치일 수 있으며, 예를 들어, 열 CVD 장치를 이용할 수 있다. 열 CVD 장치의 일 예를 도 3에 나타낸다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 열 CVD 장치(40)는 통 형상의 반응 용기(41)와, 반응 용기(41)를 둘러싸는 전기관 형상의 로(爐,42)를 구비한다. 반응 용기(41)로는, 바람직하게는 예를 들어, 내열성의 석영관 등이 사용된다. 전기관 형상의 로(42)로는 저항 가열식 등을 사용할 수 있다. 열 CVD 장치(40) 안에 기재(성장용 기재, 43)을 배치하고 그 위에 카본 나노 튜브를 성장시킴으로써 섬유 집합체(10)를 제조할 수 있다.An apparatus for producing the fiber aggregate 10 may be an apparatus capable of producing carbon nanotubes, and for example, a thermal CVD apparatus may be used. An example of a thermal CVD apparatus is shown in FIG. 3 . As shown in FIG. 3 , the thermal CVD apparatus 40 includes a tubular reaction container 41 and an electric tube-shaped furnace 42 surrounding the reaction container 41 . As the reaction container 41, preferably, for example, a heat-resistant quartz tube or the like is used. As the electric tube-shaped furnace 42, a resistance heating type or the like can be used. The fiber aggregate 10 can be manufactured by disposing a base material (substrate for growth) 43 in a thermal CVD apparatus 40 and growing carbon nanotubes thereon.

기재(43)를 형성하는 재료로는, 예를 들어, 평활성을 가지면서 카본 나노 튜브 제조에 견딜 수 있는 고온 내열성을 갖는 재료를 들 수 있다. 이와 같은 재료로는, 예를 들어, 석영 유리, 지르코니아, 알루미나 등과 같은 금속 산화물, 실리콘(실리콘 웨이퍼 등), 알루미늄, 구리 등과 같은 금속, 탄화규소 등과 같은 탄화물, 질화규소, 질화알루미늄, 질화갈륨 등과 같은 질화물 등을 들 수 있다.As a material forming the substrate 43, for example, a material having smoothness and high-temperature heat resistance capable of withstanding carbon nanotube production is exemplified. Such materials include, for example, metal oxides such as quartz glass, zirconia, and alumina, silicon (silicon wafers, etc.), metals such as aluminum and copper, carbides such as silicon carbide, and the like, silicon nitride, aluminum nitride, and gallium nitride. A nitride etc. are mentioned.

섬유 집합체(10)를 구성하는 카본 나노 튜브의 제조에서는, 기재 상에 임의의 촉매로 이루어지는 촉매층을 배치한다. 촉매로는, 예를 들어, 철, 코발트, 니켈, 금, 백금, 은, 구리 등의 금속 촉매를 들 수 있다.In the production of carbon nanotubes constituting the fiber aggregate 10, a catalyst layer composed of an arbitrary catalyst is disposed on a substrate. Examples of the catalyst include metal catalysts such as iron, cobalt, nickel, gold, platinum, silver, and copper.

섬유 집합체(10)를 제조할 때에는 필요에 따라 기재와 촉매층 사이에 중간층을 구비하는 것이 바람직하다. 중간층을 구성하는 재료로는, 예를 들어, 금속, 금속 산화물 등을 들 수 있는데, 금속 산화물이 바람직하다. 금속 산화물로는 알루미나 등이 필요에 따라 적절하게 사용된다.When manufacturing the fiber aggregate 10, it is preferable to provide an intermediate layer between the base material and the catalyst layer, if necessary. Examples of the material constituting the intermediate layer include metals and metal oxides, but metal oxides are preferable. As the metal oxide, alumina or the like is appropriately used as needed.

섬유 집합체 제조에 사용할 수 있는 중간층의 양은, 바람직하게는 50ng/cm2~10000ng/cm2이며, 보다 바람직하게는 100ng/cm2~9000ng/cm2이고, 더 바람직하게는 200ng/cm2~8000ng/cm2이다. 중간층의 양을 상기 범위 내로 조정함으로써, 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)를 갖는 섬유 집합체(10)가 형성되기 쉬워진다.The amount of the intermediate layer usable for producing the fiber aggregate is preferably 50ng/cm 2 to 10000ng/cm 2 , more preferably 100ng/cm 2 to 9000ng/cm 2 , and even more preferably 200ng/cm 2 to 8000ng /cm 2 . By adjusting the amount of the intermediate layer within the above range, the fiber assembly 10 having the first orientation portion 101 and the second orientation portion 102 is easily formed.

촉매층의 형성 방법으로는 임의의 적절한 방법을 채용할 수 있다. 촉매층의 형성 방법으로는, 예를 들어, 금속 촉매를 전자 빔(EB), 스퍼터 등에 의해 증착시키는 방법, 금속 촉매 미립자의 현탁액을 기재 상에 도포하는 방법 등을 들 수 있다.Arbitrary appropriate methods can be employed as a method of forming the catalyst layer. As a method of forming the catalyst layer, for example, a method of depositing a metal catalyst by electron beam (EB), sputtering, or the like, a method of applying a suspension of metal catalyst fine particles on a substrate, and the like are exemplified.

상기 방법으로 형성된 촉매층은 가열 처리 등에 의해 복수 개의 미립자로 미립화됨으로써, 섬유 집합체(10)의 제조에 사용될 수 있다. 이 때, 중간층 또는 기재 상의 미립화된 촉매의 갯수 밀도가 너무 크면, 각각의 카본 나노 튜브가 인접하는 카본 나노 튜브와 간섭하는 바, 대략 수직으로 성장하는 경향을 가지게 되어 섬유 집합체(10)의 제2 배향부(102)에서의 배향도를 작게 하는 것이 곤란해진다. 한편, 중간층 또는 기재 상의 미립화된 촉매의 갯수 밀도가 너무 작으면, 섬유 집합체(10)의 강도가 불충분하게 되어 시트 형상으로 취급하기가 곤란하다. 그러므로, 상기의 관점에서 중간층 또는 기재 상의 미립화된 촉매의 갯수 밀도는, 바람직하게는 5개/㎛2~10000개/㎛2이며, 보다 바람직하게는 50개/㎛2~5000개/㎛2이고, 더 바람직하게는 100개/㎛2~2000개/㎛2이다.The catalyst layer formed by the above method can be used in the manufacture of the fiber assembly 10 by being atomized into a plurality of fine particles by heat treatment or the like. At this time, if the number density of the atomized catalysts on the intermediate layer or substrate is too high, each carbon nanotube interferes with the adjacent carbon nanotubes and tends to grow substantially vertically, resulting in the second It becomes difficult to make the degree of orientation in the orientation part 102 small. On the other hand, if the number density of the atomized catalyst on the intermediate layer or substrate is too small, the strength of the fiber aggregate 10 becomes insufficient and it is difficult to handle it in a sheet shape. Therefore, in view of the above, the number density of the atomized catalyst on the intermediate layer or substrate is preferably 5/μm 2 to 10000 particles/μm 2 , more preferably 50 particles/μm 2 to 5000 particles/μm 2 , , more preferably 100 pieces/μm 2 to 2000 pieces/μm 2 .

중간층 또는 기재 상의 미립화된 촉매의 갯수 밀도는 촉매층의 양, 그리고 미립화할 때의 가열 온도, 가열 시간을 제어함으로써 제어할 수 있다.The number density of the atomized catalyst on the intermediate layer or substrate can be controlled by controlling the amount of the catalyst layer and the heating temperature and heating time during atomization.

섬유 집합체 제조에 사용할 수 있는 촉매층의 양은, 바람직하게는 50ng/cm2~3000ng/cm2이며, 보다 바람직하게는 100ng/cm2~2500ng/cm2이고, 더 바람직하게는 200ng/cm2~2000ng/cm2이다. 촉매층의 양을 상기 범위 내로 조정함으로써, 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)를 갖는 섬유 집합체(10)가 형성되기 쉬워진다.The amount of the catalyst layer usable for producing the fiber aggregate is preferably 50ng/cm 2 to 3000ng/cm 2 , more preferably 100ng/cm 2 to 2500ng/cm 2 , and even more preferably 200ng/cm 2 to 2000ng /cm 2 . By adjusting the amount of the catalyst layer within the above range, the fiber assembly 10 having the first orientation portion 101 and the second orientation portion 102 is easily formed.

촉매를 미립화할 때의 가열 온도는 600℃~1000℃임이 바람직하며, 650℃~950℃이면 보다 바람직하고, 700℃~900℃이면 더 바람직하다. 상기 가열 온도에 의해, 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)가 적절하게 형성된 섬유 집합체(10)를 얻을 수 있다.The heating temperature when atomizing the catalyst is preferably 600°C to 1000°C, more preferably 650°C to 950°C, and even more preferably 700°C to 900°C. By the heating temperature, the fiber assembly 10 in which the first orientation portion 101 and the second orientation portion 102 are appropriately formed can be obtained.

한편, 촉매를 가열할 때에 촉매는 열 외에도 플라즈마에 의해 활성화될 수 있으나, 조작 편의성 및 제조 비용의 면에서는 열에 의해 활성화하는 것이 바람직하다.On the other hand, when heating the catalyst, the catalyst may be activated by plasma in addition to heat, but it is preferable to activate by heat in terms of operation convenience and manufacturing cost.

촉매를 미립화할 때의 가열 시간은 바람직하게는 0분~180분이며, 보다 바람직하게는 5분~150분이고, 더 바람직하게는 10분~120분이다. 상기 가열 처리에 의해, 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)가 적절하게 형성된 섬유 집합체(10)를 얻을 수 있다. 한편, 가열 시간이라 함은 소정의 설정 온도에서의 가열 시간을 말한다.The heating time for atomizing the catalyst is preferably 0 to 180 minutes, more preferably 5 to 150 minutes, still more preferably 10 to 120 minutes. By the heat treatment, the fiber assembly 10 in which the first orientation section 101 and the second orientation section 102 are appropriately formed can be obtained. On the other hand, the heating time refers to the heating time at a predetermined set temperature.

상기와 같은 가열 처리 등의 방법으로 형성된 촉매 미립자의 크기는, 원 상당 직경의 평균 입자 직경이 바람직하게는 1nm~100nm이며, 보다 바람직하게는 5nm~70nm이고, 더 바람직하게는 10nm~50nm이다. 촉매 미립자의 크기가 상기의 원 상당 직경의 평균 입자 직경 범위 내이면, 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)가 적절하게 형성된 섬유 집합체(10)를 용이하게 얻을 수 있다.As for the size of the catalyst fine particles formed by the above heat treatment or the like, the average particle diameter of equivalent circular diameter is preferably 1 nm to 100 nm, more preferably 5 nm to 70 nm, still more preferably 10 nm to 50 nm. If the size of the catalyst fine particles is within the average particle diameter range of the above-mentioned circle equivalent diameter, the fibrous assembly 10 in which the first orientation section 101 and the second orientation section 102 are properly formed can be easily obtained.

이어서, 상기와 같은 방법으로 미립화된 촉매를 열, 플라즈마 등에 의해 활성화시킨 상태에서 탄소원을 공급하여 카본 나노 튜브를 성장시킨다.Subsequently, carbon nanotubes are grown by supplying a carbon source in a state in which the atomized catalyst is activated by heat, plasma, or the like.

카본 나노 튜브 집합체 제조에 사용할 수 있는 탄소원으로는, 예를 들어, 메탄, 에틸렌, 아세틸렌, 벤젠 등과 같은 탄화수소; 메탄올, 에탄올 등과 같은 알코올 등을 들 수 있다. 사용할 탄소원의 종류에 따라 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)의 형성을 제어할 수 있다. 그 중에서도 에틸렌을 사용하는 것이 바람직하다. 탄소원으로서 에틸렌을 사용함으로써, 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)를 형성하기 쉬워진다.Examples of the carbon source usable for producing the carbon nanotube aggregate include hydrocarbons such as methane, ethylene, acetylene, and benzene; and alcohols such as methanol and ethanol. Formation of the first alignment portion 101 and the second alignment portion 102 may be controlled according to the type of carbon source to be used. Among them, it is preferable to use ethylene. By using ethylene as a carbon source, it becomes easy to form the 1st orientation part 101 and the 2nd orientation part 102.

탄소원은 수소, 수증기, 불활성 가스 중 한 가지 이상과 함께 혼합 가스로서 공급된다. 혼합 가스의 조성을 제어함으로써, 생성되는 섬유 집합체의 배향도를 제어할 수 있는 바, 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)의 형성을 제어할 수 있다. 예를 들어, 혼합 가스 중 수소 및 수증기의 농도를 제어하고. 촉매 미립자의 갯수 밀도와 원 상당 직경의 평균 입자 직경을 적절하게 제어함으로써, 적절한 배향도를 갖는 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)를 형성할 수 있다.The carbon source is supplied as a mixed gas together with at least one of hydrogen, water vapor, and an inert gas. By controlling the composition of the mixed gas, the degree of orientation of the resulting fiber aggregate can be controlled, and thus the formation of the first alignment portion 101 and the second alignment portion 102 can be controlled. For example, controlling the concentration of hydrogen and water vapor in the mixed gas. By appropriately controlling the number density of the catalyst fine particles and the average particle diameter of the equivalent circle diameter, the first alignment portion 101 and the second alignment portion 102 having an appropriate degree of orientation can be formed.

상기의 관점에서, 혼합 가스 중 탄소원(바람직하게는, 에틸렌)의 23℃에서의 농도는 바람직하게는 1체적%(vol%)~30vol% 이며, 보다 바람직하게는 3vol%~25vol%이고, 더 바람직하게는 5vol%~20vol%이다.In view of the above, the concentration of the carbon source (preferably ethylene) in the mixed gas at 23°C is preferably 1 vol% to 30 vol%, more preferably 3 vol% to 25 vol%, and further Preferably it is 5 vol% - 20 vol%.

혼합 가스 중 수소의 23℃에서의 농도는 바람직하게는 10vol%~80vol% 이며, 보다 바람직하게는 20vol%~70vol%이고, 더 바람직하게는 30vol%~60vol%이다.The concentration of hydrogen in the mixed gas at 23°C is preferably 10 vol% to 80 vol%, more preferably 20 vol% to 70 vol%, still more preferably 30 vol% to 60 vol%.

또한, 혼합 가스 중 수증기의 23℃에서의 농도는 바람직하게는 10ppm~5000ppm이며, 보다 바람직하게는 50ppm~3000ppm이고, 더 바람직하게는 100ppm~2000ppm이다.In addition, the concentration of water vapor at 23°C in the mixed gas is preferably 10 ppm to 5000 ppm, more preferably 50 ppm to 3000 ppm, still more preferably 100 ppm to 2000 ppm.

혼합 가스의 나머지 부분은 헬륨이나 질소 등과 같은 불활성 가스로 하는 것이 바람직하다. 혼합 가스 중 불활성 가스의 23℃에서의 농도는 바람직하게는 10vol%~95vol% 이며, 보다 바람직하게는 20vol%~90vol%이다.The remainder of the mixed gas is preferably an inert gas such as helium or nitrogen. The concentration of the inert gas in the mixed gas at 23°C is preferably 10 vol% to 95 vol%, more preferably 20 vol% to 90 vol%.

혼합 가스에 있어 탄소원(바람직하게는, 에틸렌)과 수소의 23℃에서의 체적비(수소/탄소원)는 바람직하게는 1~40이며, 보다 바람직하게는 2~15이다. 상기 체적비가 상기 범위 내에 있으면, 적절한 배향도를 갖는 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)를 구비한 섬유 집합체를 제조할 수 있다.In the mixed gas, the volume ratio (hydrogen/carbon source) of carbon source (preferably ethylene) and hydrogen at 23°C is preferably 1 to 40, more preferably 2 to 15. When the volume ratio is within the above range, a fiber assembly having a first orientation portion 101 and a second orientation portion 102 having an appropriate degree of orientation can be manufactured.

섬유 집합체(10)의 제조 온도로는 임의의 온도를 적절하게 채용할 수 있다. 적절한 배향도를 갖는 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)를 형성함에 있어 충분하게 발현될 수 있는 촉매 입자를 형성하기 위해, 섬유 집합체(10)의 제조 온도는 바람직하게는 400℃~1000℃이며, 보다 바람직하게는 500℃~900℃이고, 더 바람직하게는 600℃~800℃이다. 제조 온도를 400℃~1000℃의 범위 내로 함으로써, 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)의 형성을 제어할 수 있다.Any temperature can be suitably employed as the production temperature of the fiber aggregate 10. In order to form catalyst particles that can be sufficiently expressed in forming the first orientation portion 101 and the second orientation portion 102 having an appropriate degree of orientation, the manufacturing temperature of the fiber aggregate 10 is preferably 400 ° C. to 1000°C, more preferably 500°C to 900°C, still more preferably 600°C to 800°C. Formation of the 1st orientation part 101 and the 2nd orientation part 102 can be controlled by carrying out manufacturing temperature in the range of 400 degreeC - 1000 degreeC.

한편, 촉매의 미립화와 카본 나노 튜브의 성장 중 적어도 한쪽을 상기 온도에서 실시할 수 있다. 또한, 촉매 미립화와 카본 나노 튜브 성장의 온도는 같을 수도 있고 서로 다를 수도 있다. Meanwhile, at least one of catalyst atomization and carbon nanotube growth can be performed at the above temperature. In addition, the temperatures of catalyst atomization and carbon nanotube growth may be the same or different.

섬유 집합체(10)는, 상기와 같이 하여 기재 상에 형성한 다음, 기재로부터 박리하여 취득한다. 섬유 집합체(10)는 제2 배향부(102)를 구비하는 바, 기재 상에 형성된 시트 형상을 유지한 상태에서 기재로부터 박리할 수 있다.The fiber aggregate 10 is obtained by being peeled from the substrate after being formed on the substrate as described above. Since the fiber assembly 10 includes the second orientation portion 102, it can be peeled from the substrate while maintaining the sheet shape formed on the substrate.

섬유 집합체(10)를 제조한 후, 전술한 바와 같이 제2 배향부(102)쪽 주면(主面)을 하면으로 하여 반사 기판(20)에 설치함으로써 적층체(1A)를 제조할 수 있다.After manufacturing the fiber assembly 10, as described above, the laminate 1A can be manufactured by setting the main surface on the side of the second orientation section 102 as the lower surface and attaching it to the reflective substrate 20.

한편, 기재를 반사 기판(20)으로 사용할 수 있는 경우에는, 반사 기판(20)으로서 기재를 사용할 수도 있다. 이 경우, 카본 나노 튜브에 의해 형성된 섬유 집합체(10)가 반사 기판(20) 상에 설치된 적층체(1A)가 얻어진다.On the other hand, when the substrate can be used as the reflective substrate 20, the substrate can also be used as the reflective substrate 20. In this case, a laminate 1A in which the fiber aggregate 10 formed of carbon nanotubes is provided on the reflective substrate 20 is obtained.

이와 같이 적층체(1A)는 섬유 집합체(10) 및 반사 기판(20)을 구비하며, 섬유 집합체(10)는 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)를 구비한다. 제1 배향부(101)를 구성하는 나노 섬유(11)는 전자파가 섬유 집합체(10)의 두께 방향에서 내부로 침입할 수 있는 정도로 경사져 있는 바, 제1 배향부(101)는 전자파를 상면(10b)에서 제2 배향부(102) 쪽으로 제1 배향부(101)의 내부에 침입시킬 수 있다. 제2 배향부(102)는 제1 배향부(101)보다 반사 기판(20) 쪽에 형성되며, 제1 배향부(101)보다 배향도가 낮다. 그리하여, 제2 배향부(102) 안으로 침입한 전자파는 나노 섬유(11)에 충돌하여 다른 나노 섬유(11) 쪽으로 반사될 수 있다. 또한, 전자파의 일부는 나노 섬유(11)에서 감쇠하여 투과될 수 있으므로, 나노 섬유(11)에서 반사된 전자파는 반사 전에 비해 감쇠될 수 있다. 전자파가 제2 배향부(102)를 구성하는 나노 섬유(11)에서 다중 반사됨으로써, 제2 배향부(102)는 전자파를 감쇠시키면서 반사 기판(20) 쪽으로 침입시킬 수 있으며, 최종적으로는 제2 배향부(102)에서 전자파를 전부 흡수할 수 있다. 그러므로, 전자파가 반사 기판(20)에 도달하는 일은 거의 없으며, 가령 반사 기판(20)에서 반사되더라도, 전자파는 제2 배향부(102)에서 거의 흡수될 수 있다.In this way, the laminate 1A includes a fiber assembly 10 and a reflective substrate 20, and the fiber assembly 10 includes a first alignment portion 101 and a second alignment portion 102. The nanofibers 11 constituting the first orientation portion 101 are inclined to the extent that electromagnetic waves can invade the inside in the thickness direction of the fiber assembly 10, and the first orientation portion 101 directs electromagnetic waves to the upper surface ( In 10b), the second alignment unit 102 may penetrate into the first alignment unit 101 . The second alignment unit 102 is formed closer to the reflective substrate 20 than the first alignment unit 101 , and has a lower degree of orientation than the first alignment unit 101 . Thus, electromagnetic waves penetrating into the second alignment portion 102 may collide with the nanofibers 11 and be reflected toward other nanofibers 11 . In addition, since some of the electromagnetic waves may be attenuated and transmitted through the nanofibers 11, the electromagnetic waves reflected from the nanofibers 11 may be attenuated compared to before reflection. As the electromagnetic waves are multiplely reflected by the nanofibers 11 constituting the second alignment unit 102, the second alignment unit 102 can infiltrate the electromagnetic waves toward the reflective substrate 20 while attenuating them, and finally the second alignment unit 102 All electromagnetic waves can be absorbed by the orientation unit 102 . Therefore, electromagnetic waves rarely reach the reflective substrate 20 , and even if they are reflected by the reflective substrate 20 , most of the electromagnetic waves can be absorbed by the second alignment portion 102 .

따라서, 적층체(1A)는, 섬유 집합체(10)에 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)를 형성하고 배향도에 차이를 둠으로써, 전자파가 섬유 집합체(10)의 내부로 침입하는 것을 용이하게 하면서 내부로 침입한 전자파가 외부에 누설되는 것을 저감할 수 있다. 그리고, 섬유 집합체(10)는, 섬유 집합체(10)를 나노 섬유(11)로 구성함으로써, 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)에 있어 밀리미터파 대역(30GHz~300GHz)의 주파수를 갖는 밀리미터파, 테라헤르츠 대역(300GHz~3THz)의 주파수를 갖는 테라헤르츠파, 그리고 적외선, 가시광 등과 같이 보다 높은 주파수 대역의 전자파를 외부로부터 내부에 침입시킬 수 있으면서, 내부로 침입한 전자파가 외부에 누설되는 것을 저감할 수 있다. Therefore, in the laminate 1A, the first orientation portion 101 and the second orientation portion 102 are formed in the fiber assembly 10 and the degree of orientation is different, so that electromagnetic waves are transmitted to the inside of the fiber assembly 10. It is possible to reduce leakage of electromagnetic waves that have penetrated to the outside while facilitating penetration. In addition, the fiber assembly 10 configures the fiber assembly 10 with the nanofibers 11, so that the first orientation section 101 and the second orientation section 102 have a millimeter wave band (30 GHz to 300 GHz). Millimeter waves with frequencies, terahertz waves with frequencies in the terahertz band (300 GHz to 3 THz), and electromagnetic waves with higher frequency bands such as infrared and visible light can penetrate from the outside to the inside, while the electromagnetic waves that penetrate inside Leakage to the outside can be reduced.

따라서, 적층체(1A)는 밀리미터파 대역 이상의 높은 주파수의 전자파의 반사율을 저감할 수 있다. 그리하여, 적층체(1A)는 전자파 흡수체에 사용하는 경우, 밀리미터파 대역 이상의 높은 주파수의 전자파를 양호하게 흡수할 수 있다.Therefore, the laminate 1A can reduce the reflectance of electromagnetic waves having a high frequency of a millimeter wave band or higher. Thus, when the laminate 1A is used as an electromagnetic wave absorber, it can satisfactorily absorb high-frequency electromagnetic waves in the millimeter wave band or higher.

적층체(1A)는 제1 배향부(101)를 섬유 집합체(10)의 두께 방향의 한쪽 단부쪽(상면(10b)쪽)에 형성할 수 있다. 제1 배향부(101)가 섬유 집합체(10)에 있어 전자파가 입사하는 표면쪽에 배치됨으로써, 외부에서 섬유 집합체(10)로 입사하는 전자파를 확실하게 내부에 침입시키면서 감쇠시킬 수 있다. 따라서, 적층체(1A)는 전자파의 반사율을 보다 확실하게 낮출 수 있는 바, 밀리미터파 대역 이상의 높은 주파수의 전자파 흡수 효율을 보다 향상시킬 수 있다.In the laminate 1A, the first orientation portion 101 may be formed on one end side (upper surface 10b side) of the fiber assembly 10 in the thickness direction. Since the first orientation unit 101 is disposed on the surface side of the fiber assembly 10 on which electromagnetic waves are incident, electromagnetic waves incident from the outside to the fiber assembly 10 can be reliably penetrated and attenuated. Therefore, since the laminate 1A can more reliably lower the reflectance of electromagnetic waves, the efficiency of absorbing high frequencies of electromagnetic waves in the millimeter wave band or higher can be further improved.

적층체(1A)는 제1 배향부(101)와 제2 배향부(102) 중 어느 한쪽 또는 양쪽의 두께를 3.0㎛ 이상으로 할 수 있다. 제1 배향부(101)의 두께가 3.0㎛ 이상이면, 외부에서 입사하는 전자파를 제1 배향부(101)의 내부에 충분히 침입시킬 수 있고 전자파가 외부에 누설되는 것을 억제할 수 있는 바, 섬유 집합체(10)의 전자파 반사율을 더욱 저감할 수 있다. 또한, 제2 배향부(102)의 두께가 3.0㎛ 이상이면, 제2 배향부(102) 안으로 침입한 전자파의 다중 반사를 충분히 행할 수 있는 바, 섬유 집합체(10)의 전자파 반사율을 더욱 저감할 수 있다. 따라서, 적층체(1A)는 제1 배향부(101)와 제2 배향부(102) 중 어느 한쪽 또는 양쪽의 두께를 3.0㎛ 이상으로 함으로써, 외부에서 입사하는 전자파의 반사율을 더욱 낮게 할 수 있다.In the layered product 1A, either one or both of the first alignment portion 101 and the second alignment portion 102 may have a thickness of 3.0 μm or more. If the thickness of the first alignment portion 101 is 3.0 μm or more, electromagnetic waves incident from the outside can sufficiently penetrate into the first alignment portion 101 and leakage of electromagnetic waves to the outside can be suppressed. The electromagnetic wave reflectance of the assembly 10 can be further reduced. In addition, when the thickness of the second alignment portion 102 is 3.0 μm or more, multiple reflections of electromagnetic waves penetrating into the second alignment portion 102 can be sufficiently performed, and thus the electromagnetic wave reflectance of the fiber assembly 10 can be further reduced. can Therefore, in the layered body 1A, the reflectance of electromagnetic waves incident from the outside can be further reduced by setting the thickness of one or both of the first alignment portion 101 and the second alignment portion 102 to 3.0 μm or more. .

적층체(1A)는 섬유 집합체(10)의 두께를 10㎛~5000㎛로 할 수 있다. 섬유 집합체(10)의 두께가 10㎛~5000㎛이면, 섬유 집합체(10)는 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)의 두께를 충분히 확보할 수 있는 바, 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)가 각각의 기능을 확실하게 발휘할 수 있다. 그리하여, 적층체(1A)는 외부에서 입사하는 전자파의 반사율을 더욱 안정적으로 낮게 할 수 있다.In the layered product 1A, the fiber aggregate 10 may have a thickness of 10 μm to 5000 μm. If the thickness of the fiber assembly 10 is 10 μm to 5000 μm, the fiber assembly 10 can sufficiently secure the thickness of the first orientation part 101 and the second orientation part 102, and the first orientation part (101) and the second orientation section 102 can reliably exert their respective functions. Thus, the laminate 1A can more stably lower the reflectance of electromagnetic waves incident from the outside.

적층체(1A)는 섬유 집합체(10)와 반사 기판(20) 간 접착력을 0.2N/cm2 이상으로 할 수 있다. 이로써, 적층체(1A)는 섬유 집합체(10)가 반사 기판(20)에 붙어 있는 상태를 유지할 수 있는 바, 섬유 집합체(10)가 반사 기판(20)으로부터 박리되는 것을 저감할 수 있다. 따라서, 적층체(1A)는 전자파의 반사율이 낮은 상태를 안정적으로 유지할 수 있다.The laminate 1A may have an adhesive force between the fiber aggregate 10 and the reflective substrate 20 of 0.2 N/cm 2 or more. As a result, in the laminate 1A, the fiber aggregate 10 can maintain a state in which it is attached to the reflective substrate 20, and thus, peeling of the fiber aggregate 10 from the reflective substrate 20 can be reduced. Therefore, the laminate 1A can stably maintain a state in which the reflectance of electromagnetic waves is low.

적층체(1A)는 나노 섬유(11)로서 카본 나노 튜브를 사용할 수 있다. 카본 나노 튜브는 탄소 섬유나 금속 산화물 섬유 등보다 높은 전자파 흡수 성능을 가진다. 특히, 카본 나노 튜브는 밀리미터파, 테라헤르츠파, 적외선, 가시광 등과 같이 보다 높은 주파수 대역의 전자파에 대해 높은 흡수 성능을 가진다. 그러므로, 적층체(1A)는 나노 섬유(11)로서 카본 나노 튜브를 사용함으로써, 섬유 집합체(10)로 하여금 밀리미터파 이상의 보다 높은 주파수 대역의 전자파에 대한 흡수 성능을 안정적으로 발휘시킬 수 있다. 또한, 카본 나노 튜브는 제조시에 임의의 형상을 갖도록 제조하기 쉬운 바, 나노 섬유(11)로서 카본 나노 튜브를 사용하면, 소정의 위치와 길이를 갖는 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)를 구비하는 섬유 집합체(10)를 제조하기 쉬워진다. 따라서, 적층체(1A)는 전자파의 반사율이 낮은 섬유 집합체(10)를 안정적으로 구비할 수 있다.In the laminate 1A, carbon nanotubes can be used as the nanofibers 11 . Carbon nanotubes have higher electromagnetic wave absorption performance than carbon fibers or metal oxide fibers. In particular, carbon nanotubes have high absorption performance for electromagnetic waves of a higher frequency band, such as millimeter waves, terahertz waves, infrared rays, and visible light. Therefore, by using carbon nanotubes as the nanofibers 11 in the laminate 1A, the fiber assembly 10 can stably exhibit absorbing performance for electromagnetic waves in a higher frequency band of millimeter waves or higher. In addition, since carbon nanotubes are easy to manufacture to have arbitrary shapes during manufacture, when carbon nanotubes are used as nanofibers 11, first alignment portions 101 having predetermined positions and lengths and second alignment portions 101 are formed. It becomes easy to manufacture the fiber assembly 10 provided with the part 102. Therefore, the laminate 1A can stably include the fiber assembly 10 having a low electromagnetic wave reflectance.

적층체(1A)는 제2 배향부(102)를 섬유 집합체(10)의 하면(10a)쪽, 즉, 하면(10a) 부근의 영역에 구비할 수 있다. 제2 배향부(102)는 제1 배향부(101)보다 배향도가 낮으며, 섬유 집합체(10)의 두께 방향에 대한 나노 섬유(11)의 경사가 크므로, 적층체(1A)는 전자파를 섬유 집합체(10)의 내부로 끌어들이기 쉽게 할 수 있으며, 섬유 집합체(10)의 내부에 끌어들인 전자파를 제2 배향부(102)에서 다중 반사시킴으로써 감쇠시킬 수 있다. 또한, 제2 배향부(102)는 섬유 집합체(10)의 두께 방향에 대한 나노 섬유(11)의 경사가 커서 나노 섬유(11)끼리의 엉킴을 강화할 수 있는 바, 섬유 집합체(10)의 기계적 강도를 향상시킬 수 있다. 그러므로, 적층체(1A)는 높은 강도를 가질 수 있다.The laminate 1A may include the second orientation portion 102 on the lower surface 10a side of the fiber assembly 10, that is, in the vicinity of the lower surface 10a. The second orientation portion 102 has a lower degree of orientation than the first orientation portion 101, and since the nanofibers 11 have a large inclination with respect to the thickness direction of the fiber assembly 10, the laminate 1A blocks electromagnetic waves. It can be easily attracted to the inside of the fiber assembly 10, and the electromagnetic waves drawn into the inside of the fiber assembly 10 can be attenuated by multiple reflection at the second orientation unit 102. In addition, the second orientation unit 102 has a large inclination of the nanofibers 11 with respect to the thickness direction of the fiber assembly 10, so that the entanglement of the nanofibers 11 can be strengthened, and the mechanical properties of the fiber assembly 10 strength can be improved. Therefore, the laminate 1A can have high strength.

본 실시형태에 따른 적층체(1A)는, 전술한 바와 같이, 밀리미터파 대역 이상의 보다 높은 주파수 대역의 전자파에 대해 우수한 흡수 성능을 가진다는 점에서, 전자파 흡수체에 필요에 따라 적절하게 사용할 수 있다. 전자파 흡수체는 적층체(1A)로 구성될 수도 있고, 적층체(1A)를 구비하고서 다른 부재를 또 구비할 수도 있다.As described above, the laminate 1A according to the present embodiment has excellent absorbing performance for electromagnetic waves in a higher frequency band of millimeter wave band or higher, so that it can be suitably used as an electromagnetic wave absorber as needed. The electromagnetic wave absorber may be composed of the laminate 1A, or may further include other members in addition to the laminate 1A.

한편, 본 실시형태에서 제1 배향부(101)는 섬유 집합체(10)의 상면(10b)에서부터 가운데 부분에 걸쳐 형성될 수도 있다.Meanwhile, in the present embodiment, the first orientation portion 101 may be formed from the upper surface 10b of the fiber assembly 10 to the middle portion.

본 실시형태에서 제2 배향부(102)는 섬유 집합체(10)의 두께 방향 중간에 형성될 수도 있는 바, 예를 들어 제2 배향부(102)는 섬유 집합체(10)의 가운데 부분에서부터 하면(10a)에 걸쳐 형성될 수도 있고, 섬유 집합체(10)의 가운데 부분에 형성될 수도 있다.In this embodiment, the second orientation portion 102 may be formed in the middle of the thickness direction of the fiber assembly 10, for example, the second orientation portion 102 is formed from the center of the fiber assembly 10 to the lower surface ( 10a), or may be formed in the middle of the fiber assembly 10.

본 실시형태에서는 섬유 집합체(10)는 제1 배향부(101) 및 제2 배향부(102)에 의해 구성될 수도 있다. 이 경우, 제1 배향부(101)는 섬유 집합체(10)의 상면(10b)에서부터 가운데 부분에 걸쳐 형성되며, 제2 배향부(102)는 가운데 부분에서부터 섬유 집합체(10)의 하면(10a) 부근에 형성되는 것이 바람직하다.In this embodiment, the fiber assembly 10 may be constituted by the first orientation section 101 and the second orientation section 102. In this case, the first orientation part 101 is formed from the upper surface 10b of the fiber assembly 10 to the middle part, and the second orientation part 102 is formed from the middle part to the lower surface 10a of the fiber assembly 10 It is preferable to form in the vicinity.

[제2 실시형태][Second Embodiment]

본 발명의 제2 실시형태에 따른 적층체에 대해, 도면을 참조하여 설명한다. 도 4는 본 실시형태에 따른 적층체를 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 4에 나타내는 바와 같이 본 실시형태에 따른 적층체(1B)는, 전술한 도 1에 나타내는 제1 실시형태에 따른 적층체(1A)와 비교하면, 섬유 집합체(10)와 반사 기판(20) 사이에 접합층(30)을 구비한다. 적층체(1B)는 접합층(30) 이외에는 제1 실시형태에 따른 적층체(1A)와 마찬가지이므로, 접합층(30)의 구성에 대해서만 설명한다.A laminate according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 4 is a diagram schematically showing a laminate according to the present embodiment. As shown in Fig. 4, the laminate 1B according to the present embodiment is compared with the laminate 1A according to the first embodiment shown in Fig. 1 described above, and the fiber assembly 10 and the reflective substrate 20 A bonding layer 30 is provided therebetween. Since the laminate 1B is the same as the laminate 1A according to the first embodiment except for the bonding layer 30, only the configuration of the bonding layer 30 will be described.

접합층(30)은 섬유 집합체(10)와 반사 기판(20)을 접합시키는 기능을 갖는다. 접합층(30)은 양면 점착 테이프, 점착제, 접착제 등에 의해 구성될 수 있다.The bonding layer 30 has a function of bonding the fiber aggregate 10 and the reflective substrate 20 together. The bonding layer 30 may be formed of a double-sided adhesive tape, an adhesive, an adhesive, or the like.

양면 점착 테이프로는, 공지의 양면 점착 테이프를 사용할 수 있다.As a double-sided adhesive tape, a well-known double-sided adhesive tape can be used.

점착제로는, 섬유 집합체(10)와 반사 기판(20)을 접합시킬 수 있으면 되며 임의의 적절한 점착제가 사용될 수 있다. 점착제로는, 예를 들어, 아크릴계 점착제, 우레탄계 점착제, 실리콘계 점착제, 고무계 점착제 등을 들 수 있다.As the adhesive, any suitable adhesive can be used as long as it can bond the fiber aggregate 10 and the reflective substrate 20 together. Examples of the pressure-sensitive adhesive include acrylic pressure-sensitive adhesives, urethane-based pressure-sensitive adhesives, silicone-based pressure-sensitive adhesives, and rubber-based pressure-sensitive adhesives.

접착제는 섬유 집합체(10)와 반사 기판(20)을 접합시킬 수 있으면 되는 바, 임의의 적절한 접착제를 사용할 수 있다. 접착제로는, 예를 들어, 열가소성 접착제, 열경화성 접착제, 수계(水系) 세라믹 접착제, 유기 용제계 세라믹 접착제, 무기계 접착제 등을 들 수 있다. 이 중에서도 수계 세라믹 접착제 및 유기 용제계 세라믹 접착제는 내구성이 우수하다는 점에서 바람직하다. 수계 세라믹 접착제는 보다 내구성이 좋은 접착제층을 형성할 수 있다는 점에서 보다 바람직하다. 유기 용제계 세라믹 접착제는 카본 나노 튜브와의 친화성이 우수한 바, 나노 섬유(11)로서 카본 나노 튜브를 사용할 때에 필요에 따라 적절하게 사용할 수 있다는 점에서 더 바람직하다. As long as the adhesive can bond the fiber aggregate 10 and the reflective substrate 20 together, any suitable adhesive can be used. Examples of the adhesive include thermoplastic adhesives, thermosetting adhesives, water-based ceramic adhesives, organic solvent-based ceramic adhesives, and inorganic adhesives. Among these, water-based ceramic adhesives and organic solvent-based ceramic adhesives are preferable in terms of excellent durability. A water-based ceramic adhesive is more preferable in that it can form a more durable adhesive layer. Organic solvent-based ceramic adhesives are more preferable in that they can be appropriately used as needed when using carbon nanotubes as the nanofibers 11 because they have excellent affinity with carbon nanotubes.

열가소성 접착제로는, 예를 들어, 아크릴 수지계 접착제 등을 들 수 있다.As a thermoplastic adhesive, an acrylic resin adhesive etc. are mentioned, for example.

열경화성 접착제로는, 예를 들어, 알칼리 금속 규산염계 접착제, 인산염계 접착제, 실리카졸계 접착제, 카본계 접착제, 실리콘계 접착제 등을 들 수 있다.Examples of the thermosetting adhesive include alkali metal silicate-based adhesives, phosphate-based adhesives, silica sol-based adhesives, carbon-based adhesives, and silicone-based adhesives.

수계 세라믹 접착제는, 알칼리 금속 규산염, 인산염(예를 들어, 인산알루미늄), 금속 알콕시드 등과 같은 경화 성분을 경화시킴으로써 접착성을 발현시킬 수 있는 접착제이다. 수계 세라믹 접착제는 경화제(경화 촉진제), 충전제 등을 또한 포함할 수 있다. 그리고, 수계 세라믹 접착제는 임의의 적절한 분산매(예를 들어, 물)을 포함할 수 있다.A water-based ceramic adhesive is an adhesive that can exhibit adhesiveness by curing a curing component such as an alkali metal silicate, a phosphate (eg, aluminum phosphate), a metal alkoxide or the like. The water-based ceramic adhesive may also contain curing agents (curing accelerators), fillers, and the like. And, the water-based ceramic adhesive may include any suitable dispersion medium (eg, water).

경화제로는, 예를 들어, 아연, 마그네슘, 칼슘, 아연, 알루미늄 등의 산화물 또는 수산화물; 나트륨, 칼륨, 칼슘 등의 규화물; 알루미늄, 아연 등의 인산염; 칼슘, 바륨, 마그네슘 등의 붕산염; 마그네슘, 칼슘 등의 규산염; I족 붕산염 등을 들 수 있다.Examples of the curing agent include oxides or hydroxides of zinc, magnesium, calcium, zinc, and aluminum; Silicides, such as sodium, potassium, and calcium; phosphates such as aluminum and zinc; borates such as calcium, barium and magnesium; silicates such as magnesium and calcium; Group I borates etc. are mentioned.

충전제로는, 예를 들어, 알루미나, 실리카, 지르코니아, 산화아연, 산화마그네슘, 산화티탄, 산화세륨 등과 같은 금속 산화물; 티탄산칼륨, 티탄산스트론튬, 티탄산바륨, 황산바륨 등과 같은 금속 복합 산화물; 질화알루미늄, 질화붕소, 질화규소, 질화갈륨 등과 같은 질화물 등을 들 수 있다.Examples of the filler include metal oxides such as alumina, silica, zirconia, zinc oxide, magnesium oxide, titanium oxide, and cerium oxide; metal complex oxides such as potassium titanate, strontium titanate, barium titanate, barium sulfate and the like; and nitrides such as aluminum nitride, boron nitride, silicon nitride, and gallium nitride.

유기 용제계 세라믹 접착제는 무기물, 바인더, 유기 용제를 포함할 수 있다.The organic solvent-based ceramic adhesive may include an inorganic material, a binder, and an organic solvent.

무기물로는, 예를 들어, Al, Si, Ti, K 등의 원소를 포함하는 무기 화합물을 사용할 수 있다. 무기 화합물은 상기 원소를 한 종류만 단독으로 사용할 수도 있고, 두 종류 이상을 포함할 수도 있다. 무기 화합물로는, 예를 들어, 알루미나, 실리카, 산화티탄, 지르코니아, 산화아연, 산화마그네슘, 산화세륨 등과 같은 금속 산화물; 티탄산칼륨, 티탄산스트론튬, 티탄산바륨, 황산바륨 등과 같은 금속 복합 산화물; 질화알루미늄, 질화붕소, 질화규소, 질화갈륨 등과 같은 질화물; 탄화규소 등과 같은 탄화물; 알루미나의 가넷(garnet) 구조에 이트륨 등을 도핑시킨 형광체 재료 등을 사용할 수 있다.As the inorganic substance, for example, an inorganic compound containing an element such as Al, Si, Ti, or K can be used. The inorganic compound may use only one type of the above elements or may include two or more types. Examples of the inorganic compound include metal oxides such as alumina, silica, titanium oxide, zirconia, zinc oxide, magnesium oxide, and cerium oxide; metal complex oxides such as potassium titanate, strontium titanate, barium titanate, barium sulfate and the like; nitrides such as aluminum nitride, boron nitride, silicon nitride, gallium nitride and the like; carbides such as silicon carbide; A phosphor material obtained by doping yttrium or the like in a garnet structure of alumina may be used.

바인더로는, 예를 들어, 금속 알콕시드; 오르가노폴리실록산 등과 같은 실리콘계 수지 등을 들 수 있다.Examples of the binder include metal alkoxides; and silicone-based resins such as organopolysiloxane and the like.

유기 용제로는, 휘발성 유기 용매(예를 들어, 비등점이 150℃ 미만인 유기 용매), 비휘발성 유기 용매(예를 들어, 비등점이 150℃ 이상인 유기 용매) 등을 사용할 수 있다. 비휘발성 용매로는, 예를 들어, 부틸디글리콜에테르, 디에틸렌글리콜디부틸에테르 등과 같은 에테르류를 들 수 있다. 반사 기판(20) 상에 접착제를 도포하여 도포층을 형성한 다음, 도포층에 섬유 집합체(10)를 배치하고, 도포층을 건조시켜 접합층(30)을 형성할 때에, 유기 용매로서 비휘발성 유기 용매를 포함하는 유기 용제계 세라믹 접착제를 사용하면, 반사 기판(20) 상에 도포층을 형성하고 도포층에 섬유 집합체(10)를 배치하는 동안에 불필요한 용매의 휘발을 억제할 수 있다. 그리하여, 접착제의 도포량(실질적으로는, 용매 도포량)을 적게 함으로써, 원하는 두께를 갖는 접합층(30)을 형성할 수 있다.As the organic solvent, a volatile organic solvent (eg, an organic solvent having a boiling point of less than 150°C), a non-volatile organic solvent (eg, an organic solvent having a boiling point of 150°C or higher), and the like can be used. Examples of the non-volatile solvent include ethers such as butyl diglycol ether and diethylene glycol dibutyl ether. When an adhesive is applied on the reflective substrate 20 to form a coating layer, the fiber aggregate 10 is disposed on the coating layer, and the bonding layer 30 is formed by drying the coating layer, the non-volatile organic solvent is used. When an organic solvent-based ceramic adhesive containing an organic solvent is used, volatilization of unnecessary solvent can be suppressed while an application layer is formed on the reflective substrate 20 and the fiber assembly 10 is disposed on the application layer. Thus, the bonding layer 30 having a desired thickness can be formed by reducing the application amount of the adhesive (actually, the amount of solvent application).

무기계 접착제로는, 예를 들어, 세라믹 접착제, 실리카계 접착제 등을 들 수 있다.Examples of inorganic adhesives include ceramic adhesives and silica adhesives.

세라믹 접착제는, 알칼리 금속 규산염, 인산염, 금속 알콕시드 등과 같은 경화 성분을 경화시킴으로써 접착성을 발현시킬 수 있는 접착제이다. 바람직하게는, 경화 성분으로서 알칼리 금속 규산염 또는 인산염(예를 들어, 인산알루미늄)을 포함하는 세라믹 접착제가 사용된다.Ceramic adhesives are adhesives that can exhibit adhesiveness by curing a curing component such as an alkali metal silicate, phosphate, or metal alkoxide. Preferably, a ceramic adhesive containing an alkali metal silicate or phosphate (eg aluminum phosphate) as a curing component is used.

실리카계 접착제는, 입자 표면에 실란올기를 구비한 무수(無水) 규산 미립자, 오르가노폴리실록산 등과 같은 실리카계 경화 성분을 경화시킴으로써 접착성을 발현시킬 수 있는 접착제이다. 실리카계 경화 성분으로는, 예를 들어, 용융 실리카, 초미립자 실리카(예를 들어, 입자 직경이 10nm~100nm), 오르가노폴리실록산, 실란 화합물, 유기 규소 화합물 등과 같은 실리콘계 재료 등이 사용될 수 있다.A silica-based adhesive is an adhesive that can exhibit adhesiveness by curing a silica-based curing component such as anhydrous silicic acid fine particles having silanol groups on the surface of particles and organopolysiloxane. As the silica-based curing component, for example, silicon-based materials such as fused silica, ultrafine particle silica (eg, particle diameter of 10 nm to 100 nm), organopolysiloxane, silane compounds, organosilicon compounds, and the like can be used.

세라믹 접착제 및 실리카계 접착제는 경화제(경화 촉진제)와 충전제(필러) 중 적어도 한쪽을 포함할 수 있다. 또한, 세라믹 접착제는 임의의 적절한 분산매를 포함할 수 있다.Ceramic adhesives and silica-based adhesives may contain at least one of a curing agent (hardening accelerator) and a filler (filler). In addition, the ceramic adhesive may contain any suitable dispersion medium.

세라믹 접착제에서 상기 알칼리 금속 규산염과 조합하여 사용되는 경화제로는, 예를 들어, 아연, 마그네슘, 칼슘 등의 산화물 또는 수산화물; 나트륨, 칼륨, 칼슘 등의 규화물; 알루미늄, 아연 등의 인산염; 칼슘, 바륨, 마그네슘 등의 붕산염 등을 들 수 있다. 상기 인산염과 조합하여 사용되는 경화제로는, 예를 들어, 마그네슘, 칼슘, 아연, 알루미늄 등의 산화물 또는 수산화물; 마그네슘, 칼슘 등의 규산염; II족 붕산염 등을 들 수 있다.Curing agents used in combination with the alkali metal silicate in ceramic adhesives include, for example, oxides or hydroxides of zinc, magnesium, calcium and the like; Silicides, such as sodium, potassium, and calcium; phosphates such as aluminum and zinc; Borates, such as calcium, barium, and magnesium, etc. are mentioned. Examples of the curing agent used in combination with the phosphate include oxides or hydroxides of magnesium, calcium, zinc, and aluminum; silicates such as magnesium and calcium; Group II borates etc. are mentioned.

상기 충전제로는, 예를 들어, 알루미나, 실리카, 지르코니아, 산화마그네슘 등을 들 수 있다.As said filler, alumina, a silica, a zirconia, magnesium oxide etc. are mentioned, for example.

상기 분산제로는 임의의 적절한 용매가 사용된다. 상기 용매로는, 수계 용매를 사용할 수도 있고, 유기계 용매를 사용할 수도 있다. 수계 용매는 접합층(30)의 내열성을 더 높인다는 점에서 바람직하다. 또한, 유기계 용매는 카본 나노 튜브로 형성된 섬유 집합체(10)와의 친화성이 우수하다는 점에서 바람직하다.Any suitable solvent is used as the dispersing agent. As the solvent, an aqueous solvent or an organic solvent may be used. An aqueous solvent is preferable in that it further enhances the heat resistance of the bonding layer 30 . In addition, the organic solvent is preferable in that it has excellent affinity with the fiber aggregate 10 formed of carbon nanotubes.

상기 세라믹 접착제 내의 성분에 대해서는, 섬유 집합체(10)를 형성하는 기재(基材)를 구성하는 재료 등에 따라 최적의 재료를 적절히 선택할 수 있다. 예를 들어, 기재의 표면에 형성되는 중간층으로서 알루미나를 사용하려는 경우에, 경화 성분으로서 금속 알콕시드를 사용하고, 충전제로서 알루미나를 사용하며, 분산매로서 메탄올 등과 같은 알코올을 사용하는 것이 바람직하다.Regarding the components in the ceramic adhesive, an optimal material can be appropriately selected according to the materials constituting the base material forming the fiber aggregate 10 and the like. For example, in the case of using alumina as an intermediate layer formed on the surface of a substrate, it is preferable to use a metal alkoxide as a curing component, alumina as a filler, and an alcohol such as methanol as a dispersion medium.

접합층(30)은 섬유 집합체(10)와 반사 기판(20) 간 접착력이 0.2N/cm2 이상인 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는 0.25N/cm2 이상이고, 더 바람직하게는 0.3N/cm2 이상이다. 접합층(30)의 접착력이 0.2N/cm2 이상이면, 섬유 집합체(10)와 반사 기판(20)이 박리되는 것을 억제하여 접합 상태를 유지할 수 있다.The adhesive force of the bonding layer 30 between the fiber assembly 10 and the reflective substrate 20 is preferably 0.2 N/cm 2 or more, more preferably 0.25 N/cm 2 or more, and even more preferably 0.3 N/cm 2 or more If the adhesive strength of the bonding layer 30 is 0.2 N/cm 2 or more, separation between the fiber aggregate 10 and the reflective substrate 20 can be suppressed and the bonded state can be maintained.

적층체(1B)는, 섬유 집합체(10)를 제조한 다음, 반사 기판(20) 상에 반사 기판(20)의 적어도 일부에 구비된 접합층(30)을 사이에 두고 섬유 집합체(10)를 제2 배향부(102)쪽 주면을 하면으로 하여 적층시킴으로써 제조할 수 있다.In the laminate 1B, after manufacturing the fiber assembly 10, the fiber assembly 10 is formed on the reflective substrate 20 with the bonding layer 30 provided on at least a part of the reflective substrate 20 therebetween. It can be manufactured by laminating the main surface on the side of the second orientation section 102 as the lower surface.

접합층(30)이 양면 점착 테이프인 경우에는, 반사 기판(20) 상에서 섬유 집합체(10)가 설치되는 면의 적어도 일부에 대응하는 위치에 양면 점착 테이프를 붙인다. 양면 점착 테이프는, 섬유 집합체(10)의 제2 배향부(102)쪽 주면의 적어도 일부에 대응하는 반사 기판(20)의 위치에 붙일 수도 있고, 제2 배향부(102) 쪽 주면의 바깥 둘레부의 일부 또는 전부에 대응하는 반사 기판(20)의 위치에 붙일 수도 있다. 예를 들어, 섬유 집합체(10)가 평면시(平面視)로 보았을 때에 사각 형상인 경우에는, 양면 점착 테이프는, 제2 배향부(102) 쪽 주면의 네 귀퉁이, 서로 대향하는 변의 일부 등에 대응하는 반사 기판(20)의 위치에 붙일 수 있다. 그리하여, 섬유 집합체(10)의 제2 배향부(102) 쪽 주면을 양면 점착 테이프에 갖다붙임으로써, 섬유 집합체(10)를 접합층(30)인 양면 점착 테이프를 통해 반사 기판(20)에 고정시킬 수 있다.When the bonding layer 30 is a double-sided adhesive tape, the double-sided adhesive tape is applied to a position corresponding to at least a part of the surface on which the fiber aggregate 10 is installed on the reflective substrate 20 . The double-sided adhesive tape may be attached to a position of the reflective substrate 20 corresponding to at least a part of the main surface of the fiber assembly 10 on the second orientation section 102 side, or on the outer circumference of the main surface on the second orientation section 102 side. It may be attached to a position of the reflective substrate 20 corresponding to part or all of the portion. For example, when the fiber aggregate 10 has a square shape when viewed in a plan view, the double-sided adhesive tape corresponds to the four corners of the main surface on the side of the second orientation section 102, part of the sides facing each other, and the like. It can be attached to the position of the reflective substrate 20 to be. Then, by attaching the main surface of the fiber assembly 10 on the side of the second orientation portion 102 to the double-sided adhesive tape, the fiber assembly 10 is fixed to the reflective substrate 20 through the double-sided adhesive tape serving as the bonding layer 30. can make it

접합층(30)이 점착제 또는 접착제를 이용하여 형성되는 경우에는, 반사 기판(20) 상에서 섬유 집합체(10)가 설치되는 면의 적어도 일부에 대응하는 위치에 점착제 또는 접착제의 도포액을 도포함으로써 도포층을 형성한다. 도포층은 섬유 집합체(10)의 제2 배향부(102) 쪽 주면의 적어도 일부에 대응하는 위치에 형성될 수도 있고, 제2 배향부(102) 쪽 주면의 바깥 둘레부의 일부 또는 전부에 대응하는 반사 기판(20)의 위치에 형성될 수도 있다. 예를 들어, 섬유 집합체(10)가 평면시로 보았을 때에 사각 형상인 경우에는, 도포층은 제2 배향부(102) 쪽 주면의 네 귀퉁이, 서로 대향하는 변의 일부 등에 대응하는 반사 기판(20)의 위치에 형성될 수 있다. 그리하여, 섬유 집합체(10)의 제2 배향부(102) 쪽 주면을 도포층에 접촉시킨 후 도포층을 경화시켜 경화물인 접합층(30)을 형성함으로써, 섬유 집합체(10)를 접합층(30)을 통해 반사 기판(20)에 고정시킬 수 있다.When the bonding layer 30 is formed using a pressure-sensitive adhesive or adhesive, application by applying a coating liquid of the pressure-sensitive adhesive or adhesive to a position corresponding to at least a part of the surface on which the fiber aggregate 10 is installed on the reflective substrate 20 form a layer The coating layer may be formed at a position corresponding to at least a part of the main surface of the fiber assembly 10 on the side of the second orientation part 102, or corresponding to part or all of the outer circumference of the main surface on the side of the second orientation part 102. It may be formed at the location of the reflective substrate 20 . For example, when the fiber assembly 10 has a square shape when viewed in plan view, the coating layer is the reflective substrate 20 corresponding to the four corners of the main surface on the side of the second orientation section 102 and part of the sides facing each other. It can be formed at the location of. Thus, the main surface of the fiber assembly 10 on the side of the second orientation part 102 is brought into contact with the coating layer, and then the coating layer is cured to form the bonding layer 30, which is a cured product, to form the bonding layer 30 of the fiber aggregate 10. ) through which it can be fixed to the reflective substrate 20 .

이와 같이 적층체(1B)는 섬유 집합체(10)와 반사 기판(20) 사이에 접합층(30)을 구비함으로써, 섬유 집합체(10)와 반사 기판(20)을 안정적으로 접합할 수 있다. 전자파를 섬유 집합체(10) 내부로 침입시키고 내부로 침입한 전자파가 외부로 누설되는 것을 저감하기 위해서는, 섬유 집합체(10)에 포함되는 제1 배향부(101)를 구성하는 나노 섬유(11)의 경사가 전자파의 진행 방향에 대해 가급적 변동하지 않도록 고정되는 것이 중요하다. 적층체(1B)는 접합층(30)에 의해 섬유 집합체(10)를 반사 기판(20)에 안정적으로 고정시킬 수 있는 바, 섬유 집합체(10)의 상면(10b)에 대한 전자파의 입사 각도가 변동하는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 적층체(1B)는 전자파를 섬유 집합체(10) 내부에 안정적으로 침입시킬 수 있으며, 내부에 침입한 전자파가 외부로 누설되는 것을 보다 확실하게 저감할 수 있다.In this way, since the laminate 1B includes the bonding layer 30 between the fiber assembly 10 and the reflective substrate 20, the fiber assembly 10 and the reflective substrate 20 can be stably bonded. In order to infiltrate the electromagnetic waves into the fiber assembly 10 and reduce the leakage of the electromagnetic waves that have penetrated to the outside, the nanofibers 11 constituting the first orientation portion 101 included in the fiber assembly 10 It is important that the slope be fixed so as not to fluctuate as much as possible with respect to the traveling direction of the electromagnetic wave. In the laminate 1B, the fiber assembly 10 can be stably fixed to the reflective substrate 20 by the bonding layer 30, and the incident angle of the electromagnetic wave with respect to the upper surface 10b of the fiber assembly 10 is fluctuations can be suppressed. Therefore, the laminate 1B can stably allow electromagnetic waves to enter the fiber assembly 10, and can more reliably reduce leakage of the electromagnetic waves penetrating the inside to the outside.

[제3 실시형태][Third Embodiment]

본 발명의 제3 실시형태에 따른 적층체에 대해, 도면을 참조하여 설명한다. 도 5는 본 실시형태에 따른 적층체를 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 따른 적층체(1C)는, 전술한 도 1에 나타내는 제1 실시형태에 따른 적층체(1A)와 비교하면, 섬유 집합체(10)보다 두께가 얇은 압축부(13)를 섬유 집합체(10)에 구비한다.A laminate according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 5 is a diagram schematically showing a laminate according to the present embodiment. As shown in FIG. 5 , the laminate 1C according to the present embodiment is compressed with a thinner thickness than the fiber aggregate 10 compared to the laminate 1A according to the first embodiment shown in FIG. 1 described above. A portion (13) is provided to the fiber assembly (10).

압축부(13)는, 섬유 집합체(10)의 상면(10b) 일부에 대해 소정 하중을 가하여 섬유 집합체(10)를 반사 기판(20) 쪽으로 압축시킴으로써 형성할 수 있다. 이 때, 압축부(13)를 구성하는 나노 섬유(11)가 반사 기판(20)의 표면 쪽으로 가압됨으로써, 나노 섬유(11)는 반사 기판(20)에 대해 점착력을 발현하여 압축부(13)를 반사 기판(20)에 접착시킬 수 있다. 한편, 하중의 크기는 특별히 한정되지 않으며, 섬유 집합체(10)의 크기나 압축부(13)가 형성되는 크기 등에 따라 적절하게 설정할 수 있다.The compression unit 13 can be formed by compressing the fiber assembly 10 toward the reflective substrate 20 by applying a predetermined load to a portion of the upper surface 10b of the fiber assembly 10 . At this time, as the nanofibers 11 constituting the compression unit 13 are pressed toward the surface of the reflective substrate 20, the nanofibers 11 express adhesive force to the reflective substrate 20, thereby forming the compression unit 13. may be adhered to the reflective substrate 20 . On the other hand, the magnitude of the load is not particularly limited and can be appropriately set according to the size of the fiber aggregate 10 or the size of the compression portion 13 formed.

압축부(13)는 섬유 집합체(10)의 두께에 대해 95% 이하의 두께를 가지며, 바람직하게는 93% 이하이고, 보다 바람직하게는 90% 이하이다. 압축부(13)의 두께가 섬유 집합체(10) 두께에 대해 95% 이하이면, 압축부(13)는, 섬유 집합체(10)의 일부에 하중을 가하여 형성될 때에, 나노 섬유(11)가 반사 기판(20)의 표면 쪽으로 압축되어 반사 기판(20)에 대해 점착력을 발현할 수 있다.The compression portion 13 has a thickness of 95% or less of the thickness of the fiber aggregate 10, preferably 93% or less, and more preferably 90% or less. When the thickness of the compression portion 13 is 95% or less of the thickness of the fiber assembly 10, the compression portion 13 is formed by applying a load to a portion of the fiber assembly 10, so that the nanofibers 11 reflect It is compressed toward the surface of the substrate 20 and may exhibit adhesive force to the reflective substrate 20 .

압축부(13)는 섬유 집합체(10)와 반사 기판(20) 간 접착력이 0.2N/cm2 이상이며, 바람직하게는 0.25N/cm2 이상이고, 보다 바람직하게는 0.3N/cm2 이상이다. 압축부(13)의 접착력이 0.2N/cm2 이상이면, 섬유 집합체(10)와 반사 기판(20)이 박리되는 것을 억제하여 접합 상태를 유지할 수 있다.The compression unit 13 has an adhesive force between the fiber assembly 10 and the reflective substrate 20 of 0.2 N/cm 2 or more, preferably 0.25 N/cm 2 or more, and more preferably 0.3 N/cm 2 or more. . If the adhesive force of the compression part 13 is 0.2 N/cm 2 or more, separation between the fiber aggregate 10 and the reflective substrate 20 can be suppressed and a bonded state can be maintained.

압축부(13)는 섬유 집합체(10)를 평면시로 보았을 때에 그 적어도 일부에 형성되는 것이 바람직하다. 압축부(13)의 위치는, 섬유 집합체(10)의 형상, 크기 등에 따라 최적의 장소로 적절하게 결정하는 것이 바람직하다. 도 6은 적층체의 사시도이다. 도 6에 나타내는 바와 같이, 섬유 집합체(10)를 평면시로 보았을 때에 사각 형상으로 형성되어 있는 경우에, 압축부(13)는 섬유 집합체(10) 상면(10b)의 네 귀퉁이에 형성되는 것이 바람직하다. 이로써, 섬유 집합체(10)는 네 귀퉁이에서 반사 기판(20)과의 접합 상태를 보다 높일 수 있는 바, 반사 기판(20)에 의해 안정적으로 접착될 수 있다. 또한, 압축부(13)는 섬유 집합체(10) 상면(10b)에 있어 서로 대향하는 한 쌍의 두 변 중 적어도 일부에 형성될 수도 있고, 상면(10b)의 네 변 중 세 변 또는 네 변의 적어도 일부에 형성될 수도 있다.The compression portion 13 is preferably formed on at least a part of the fiber aggregate 10 when viewed in a plan view. The location of the compression unit 13 is preferably determined appropriately as an optimal location according to the shape, size, and the like of the fiber aggregate 10 . 6 is a perspective view of a laminate. As shown in Fig. 6, when the fibrous assembly 10 is formed in a square shape when viewed in a plan view, the compression portion 13 is preferably formed at the four corners of the upper surface 10b of the fibrous assembly 10. do. As a result, the bonding state of the fiber assembly 10 with the reflective substrate 20 at the four corners can be improved, so that it can be stably adhered by the reflective substrate 20 . In addition, the compression unit 13 may be formed on at least a part of two sides of a pair that are opposite to each other in the upper surface 10b of the fiber assembly 10, or at least three of the four sides or at least four sides of the upper surface 10b. It may be formed in part.

적층체(1C)는, 섬유 집합체(10)를 반사 기판(20) 상에 배치한 다음, 섬유 집합체(10)의 상면(10b) 쪽에서 섬유 집합체(10)의 일부를 가압하여 압축부(13)를 형성함으로써 얻어진다.In the laminate 1C, the fiber assembly 10 is placed on the reflective substrate 20, and then a portion of the fiber assembly 10 is pressed from the upper surface 10b of the fiber assembly 10 to form a compression unit 13. It is obtained by forming

이와 같이, 적층체(1C)는 섬유 집합체(10)에 압축부(13)를 구비함으로써, 압축부(13)에 발생하는 점착력에 의해 섬유 집합체(10)는 반사 기판(20)에 안정적으로 접합될 수 있다. 상기 제2 실시형태에서 설명한 바와 같이, 전자파를 섬유 집합체(10)의 내부에 침입시키고 내부에 침입한 전자파가 외부로 누설되는 것을 저감하기 위해서는, 섬유 집합체(10)에 포함되는 제1 배향부(101)를 구성하는 나노 섬유(11)의 경사가 전자파 진행 방향에 대해 가급적 변동하지 않도록 고정되는 것이 중요하다. 적층체(1C)는 섬유 집합체(10)가 반사 기판(20)에 안정적으로 고정됨으로써, 전술한 제2 실시형태에 따른 적층체(1B)와 마찬가지로, 섬유 집합체(10) 상면(10c)에 대해 전자파의 입사 각도가 변동하는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 적층체(1C)는 적층체(1B)와 마찬가지로, 전자파를 섬유 집합체(10) 내부에 안정적으로 침입시킬 수 있고, 내부에 침입한 전자파가 외부로 누설되는 것을 보다 확실하게 저감할 수 있다.In this way, since the laminate 1C includes the compression unit 13 in the fiber assembly 10, the fiber assembly 10 is stably bonded to the reflective substrate 20 by the adhesive force generated in the compression unit 13. It can be. As described in the second embodiment, in order to infiltrate the electromagnetic waves into the fiber assembly 10 and reduce the leakage of the electromagnetic waves penetrating the inside to the outside, the first orientation part included in the fiber assembly 10 ( It is important that the inclination of the nanofibers 11 constituting 101) is fixed so as not to fluctuate as much as possible with respect to the propagation direction of the electromagnetic waves. In the laminate 1C, the fiber assembly 10 is stably fixed to the reflective substrate 20, so that the fiber assembly 10 is stably fixed to the upper surface 10c of the fiber assembly 10, similarly to the laminate 1B according to the second embodiment. It is possible to suppress fluctuations in the angle of incidence of electromagnetic waves. Therefore, in the laminate 1C, as in the laminate 1B, electromagnetic waves can be stably introduced into the fiber assembly 10, and leakage of the electromagnetic waves penetrating into the inside can be more reliably reduced. .

(실시예)(Example)

이하에서는, 실시예 및 비교예를 들어 실시형태를 구체적으로 설명하나, 실시형태가 이들 실시예 및 비교예에 의해 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, embodiments will be specifically described by way of Examples and Comparative Examples, but the embodiments are not limited by these Examples and Comparative Examples.

<실시예 1><Example 1>

[적층체의 제작][Production of Laminate]

실리콘 기재(발쿠어 FFT社 제조, 두께 700㎛, 파장 1.0THz에서의 반사율 35%) 상에, 스퍼터링 장치(시바우라 메카트로닉스社 제조, 상품명 "CFS-4ES")에 의해 3757ng/cm2의 Al2O3 박막을 형성하였다(도달 진공도 8.0×10-4Pa, 스퍼터링 가스 Ar, 가스 압력 0.50Pa). 상기 스퍼터링 장치를 이용하여 Al2O3 박막 상에 촉매층으로서 317 ng/cm2의 Fe 박막을 형성하였다(스퍼터링 가스 Ar, 가스 압력 1.0Pa).On a silicon substrate (manufactured by Valcour FFT, thickness 700 μm, reflectance 35% at a wavelength of 1.0 THz), Al 2 of 3757 ng/cm 2 was applied by a sputtering device (manufactured by Shibaura Mechatronics, trade name “CFS-4ES”). An O 3 thin film was formed (ultimate vacuum degree 8.0×10 -4 Pa, sputtering gas Ar, gas pressure 0.50 Pa). An Fe thin film of 317 ng/cm 2 as a catalyst layer was formed on the Al2O 3 thin film using the sputtering device (sputtering gas Ar, gas pressure 1.0 Pa).

이어서, Al2O3 박막 및 촉매층이 형성된 기재를 30mmΦ의 석영관 내에 탑재하고, 헬륨 및 수소를 포함하는 혼합 가스(헬륨과 수소의 유량비 105sccm/80sccm, 수분율 1000rpm)를 석영관 내에 흐르게 하여 석영관 내 공기를 혼합 가스로 치환하였다. 그 후, 혼합 가스를 계속 흐르게 하면서 전기관 형상 로를 이용하여 관내 온도를 765℃까지 승온(관내 온도를 765℃로 유지한 시간: 0분)시킴으로써, 촉매층을 구성하는 Fe를 미립자화하였다.Subsequently, the substrate on which the Al 2 O 3 thin film and the catalyst layer were formed was mounted in a 30 mm Φ quartz tube, and a mixed gas containing helium and hydrogen (helium and hydrogen flow rate 105 sccm/80 sccm, moisture content 1000 rpm) was flowed in the quartz tube to My air was replaced with a mixed gas. Thereafter, the temperature inside the tube was raised to 765°C using an electric tube furnace while the mixed gas was continuously flowing (time for maintaining the temperature inside the tube at 765°C: 0 minutes), thereby forming fine particles of Fe constituting the catalyst layer.

관내 온도가 765℃에 도달한 후에, 석영관 안으로 헬륨, 수소, 에틸렌을 포함하는 혼합 가스(헬륨, 수소, 에틸렌의 유량비 90sccm/80sccm/150sccm, 수분율 1000ppm)를 60분간 계속 흐르게 함으로써 석영관 내 가스를 치환하면서 카본 나노 튜브를 실리콘 기재 상에서 성장시켰다.After the temperature inside the tube reached 765°C, a mixed gas containing helium, hydrogen, and ethylene (helium, hydrogen, and ethylene flow rate: 90sccm/80sccm/150sccm, moisture content: 1000ppm) was continuously flowed into the quartz tube for 60 minutes to While replacing the carbon nanotubes were grown on the silicon substrate.

원료 가스의 공급을 정지하고서, 헬륨 및 수소를 포함하는 혼합 가스(헬륨과 수소의 유량비 105sccm/80sccm, 수분율 1000ppm)를 석영관 안으로 흐르게 하면서 상온(常溫)까지 냉각하였다.The supply of source gas was stopped, and the mixture was cooled to room temperature while flowing a mixed gas containing helium and hydrogen (helium and hydrogen flow rate: 105 sccm/80 sccm, moisture content: 1000 ppm) into the quartz tube.

상기 조작에 의해 두께가 1000㎛인 시트 형상의 섬유 집합체를 촉매층 상에 형성함으로써 섬유 집합체를 얻었다. 섬유 집합체를 실리콘 기재로부터 분리한 다음, 반사 기판(실리콘 기판)의 설치면에 있어 섬유 집합체 설치면의 바깥 둘레부에 대응하는 위치에 양면 점착 테이프(No.5000NS, 닛토덴코社 제조)를 붙이고, 섬유 집합체를 반사 기판 상에 적층함으로써, 양면 점착 테이프를 통해 반사 기판 상에 섬유 집합체가 적층된 적층체를 얻었다.A fiber aggregate was obtained by forming a sheet-shaped fiber aggregate having a thickness of 1000 μm on the catalyst layer by the above operation. After the fiber assembly is separated from the silicon substrate, a double-sided adhesive tape (No.5000NS, manufactured by Nitto Denko) is attached to a position corresponding to the outer circumference of the fiber assembly installation surface on the installation surface of the reflective substrate (silicon substrate), By laminating the fiber aggregate on the reflective substrate, a laminate was obtained in which the fiber aggregate was laminated on the reflective substrate via a double-sided adhesive tape.

[적층체 구조의 평가][Evaluation of laminate structure]

적층체를 구성하는 섬유 집합체의 두께와, 섬유 집합체의 제1 배향부 및 제2 배향부의 배향도를 측정하였다.The thickness of the fiber aggregate constituting the laminate and the degree of orientation of the first orientation portion and the second orientation portion of the fiber aggregate were measured.

(섬유 집합체 두께의 측정)(Measurement of fiber aggregate thickness)

섬유 집합체를 면 방향에 수직인 방향으로 절단한 단면을 SEM에 의해 촬상(撮像)하고, 섬유 집합체의 두께를 복수 개 개소에서 측정하여 평균값을 구했다. 섬유 집합체의 두께 측정 결과를 표 1에 나타낸다. 한편, 도 7은 제1 배향부의 섬유 집합체 두께 방향 단면을 나타내는 SEM 사진이며, 도 8은 제2 배향부의 섬유 집합체 두께 방향 단면을 나타내는 SEM 사진이다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 섬유 집합체는 그 상면 부근에 카본 나노 튜브의 제1 배향부가 형성되며, 카본 나노 튜브는 소정의 경사를 가짐이 확인되었다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 섬유 집합체는 그 하면 부근에 카본 나노 튜브의 배향도가 낮은 제2 배향부가 형성되며, 복수 개의 카본 나노 튜브가 서로 엉켜서 그물코 구조가 형성되어 있음이 확인되었다.A cross section of the fiber aggregate cut in a direction perpendicular to the plane direction was imaged by SEM, and the thickness of the fiber aggregate was measured at a plurality of locations, and an average value was obtained. Table 1 shows the results of measuring the thickness of the fiber aggregate. Meanwhile, FIG. 7 is a SEM picture showing a cross section of the fiber assembly in the thickness direction of the first orientation part, and FIG. 8 is a SEM picture showing the cross section of the fiber assembly in the thickness direction of the second orientation part. As shown in FIG. 7, it was confirmed that the first orientation portion of the carbon nanotubes was formed in the vicinity of the upper surface of the fiber assembly, and the carbon nanotubes had a predetermined inclination. As shown in Fig. 8, it was confirmed that a second orientation portion having a low degree of orientation of the carbon nanotubes was formed near the lower surface of the fiber assembly, and a plurality of carbon nanotubes were entangled with each other to form a network structure.

(섬유 집합체의 제1 배향부 및 제2 배향부의 배향도 측정)(Measurement of degree of orientation of the first orientation part and the second orientation part of the fiber assembly)

섬유 집합체에 있어 섬유 집합체 주면(主面) 부근의 제1 배향부의 배향도 및 두께 방향 하면 부근의 제2 배향부의 배향도를 각각 측정하였다. 배향도는 이하와 같이 측정하였다.In the fiber assembly, the degree of orientation of the first orientation part near the main surface of the fiber assembly and the degree of orientation of the second orientation part near the lower surface in the thickness direction were measured, respectively. The degree of orientation was measured as follows.

SEM을 이용하여, 섬유 집합체를 면 방향에 수직하게 절단한 단면을 촬상하고, 세로 3㎛×가로 6㎛ 영역의 2만배의 단면 화상을 취득하였다. 얻어진 단면 화상에 대해, WinROOF 2018((주)미타니 상사 제조)의 침상(針狀) 분리 계측 성능을 이용하여 카본 나노 튜브를 침상 입자로 간주해서 화상 해석을 실시함으로써, 침상 입자의 길이 및 배향 각도를 산출하였다. 이러한 계측 기능에서는 섞여진 침상 입자를 분리하여 계측할 수 있다. 화상 해석에 의한 산출은 이하의 순서로 실시된다. 한편, 상기의 배향 각도는 섬유 집합체의 두께 방향에 대한 각도이다.Using an SEM, a cross-section of the fiber aggregate cut perpendicularly to the plane direction was imaged, and a 20,000-fold cross-sectional image of an area of 3 μm long × 6 μm wide was obtained. For the obtained cross-sectional image, by using the acicular separation measurement performance of WinROOF 2018 (manufactured by Mitani Corporation), carbon nanotubes are regarded as acicular particles and subjected to image analysis, thereby performing image analysis on the length and orientation angle of the acicular particles. was calculated. In this measurement function, mixed acicular particles can be separated and measured. Calculation by image analysis is performed in the following procedure. On the other hand, the above orientation angle is an angle with respect to the thickness direction of the fiber aggregate.

1.캘리브레이션 설정1. Calibration settings

2.ROI 설정(절단 범위: 가로 6㎛×세로 3㎛)2.ROI setting (cutting range: width 6㎛ × length 3㎛)

3.배경 제거(물체 크기: 0.248㎛)3. Background removal (object size: 0.248㎛)

4.중앙값 필터에 의한 처리(필터 크기: 3×3)4. Processing by median filter (filter size: 3×3)

5.룩업 테이블 변환(히스토그램 평균 휘도 보정, 보정 기준값: 90)5. Look-up table conversion (histogram average luminance correction, correction reference value: 90)

6.단일 역치에 의한 이치화(binarization) (역치: 90, 투명도: 53)6. Binarization by a single threshold (Threshold: 90, Transparency: 53)

7.모르폴로지(morphology) 처리(클로징 처리, 횟수: 1회)7. Morphology treatment (closing treatment, number of times: 1 time)

8.삭제(일정한 입자 직경 면적: 0.00101㎛2)8. Deleted (constant particle diameter area: 0.00101㎛ 2 )

9.침상 입자의 분리 및 계측(계측 최소 길이: 50nm, 최대 계측 폭: 5nm)9.Separation and measurement of acicular particles (minimum measurement length: 50 nm, maximum measurement width: 5 nm)

제1 배향부의 배향도를 측정할 때에는, 적층체를 제작할 때에 촉매층을 형성하고 있던 쪽(실리콘 기재쪽)의 반대쪽인 주면으로부터 두께 방향으로 20㎛까지의 화상을 취득하여 화상 해석을 실시함으로써, 침상 입자의 길이 및 배향 각도를 산출하였다.When measuring the degree of orientation of the first alignment portion, an image of up to 20 μm in the thickness direction from the main surface on the opposite side to the side on which the catalyst layer was formed (silicon substrate side) was acquired when the laminate was produced, and image analysis was performed to obtain needle-like particles. The length and orientation angle of were calculated.

그리고, 화상 내 화상 해석에서 얻어진 구획된 각 부분의 길이에 구획된 각 부분의 각도를 곱한 값의 합을, 화상 해석에서 얻어진 구획된 각 부분의 길이의 합으로 나눔으로써, 제1 배향부를 구성하는 카본 나노 튜브의 경사의 가중 평균값을 산출하였다. 이렇게 산출된 가중 평균값을 제1 배향부를 구성하는 카본 나노 튜브의 평균 각도 θα라고 하였다. 그리고, 구해진 평균 각도 θα에 대해 cosθα를 구함으로써, 제1 배향부의 배향도를 구하였다.And, by dividing the sum of the value obtained by multiplying the length of each segmented part obtained by the image analysis within the image by the angle of each segmented part by the sum of the lengths of each segmented part obtained by the image analysis, to configure the first alignment unit A weighted average value of the slopes of the carbon nanotubes was calculated. The weighted average value calculated in this way was referred to as the average angle θα of the carbon nanotubes constituting the first alignment part. Then, the degree of orientation of the first alignment portion was obtained by obtaining cos θα for the obtained average angle θα.

제2 배향부의 배향도를 측정할 때에는, 적층체를 제작할 때에 촉매층을 형성하고 있던 쪽(실리콘 기재쪽) 주면으로부터 두께 방향으로 20㎛까지의 화상을 취득하여 화상 해석을 실시함으로써, 침상 입자의 길이 및 배향 각도를 산출하였다.When measuring the degree of orientation of the second alignment portion, an image of up to 20 μm in the thickness direction from the main surface on which the catalyst layer was formed (silicon substrate side) was obtained and image analysis was performed to determine the length and length of the acicular particles The orientation angle was calculated.

그리고, 화상 내 화상 해석에서 얻어진 구획된 각 부분의 길이에 구획된 각 부분의 각도를 곱한 값의 합을, 화상 해석에서 얻어진 구획된 각 부분의 길이의 합으로 나눔으로써, 제2 배향부를 구성하는 카본 나노 튜브의 경사의 가중 평균값을 산출하였다. 이렇게 산출된 가중 평균값을 제2 배향부를 구성하는 카본 나노 튜브의 평균 각도 θβ라고 하였다. 그리고, 구해진 평균 각도 θβ에 대해 cosθβ를 구함으로써, 제2 배향부의 배향도를 구하였다.Then, by dividing the sum of the values obtained by multiplying the angle of each segmented portion by the length of each segmented portion obtained from the image analysis within the image by the sum of the lengths of each segmented portion obtained from the image analysis, the second alignment unit is formed. A weighted average value of the slopes of the carbon nanotubes was calculated. The weighted average value thus calculated was referred to as the average angle θ β of the carbon nanotubes constituting the second alignment portion. Then, the degree of orientation of the second alignment portion was obtained by obtaining cosθ β with respect to the obtained average angle θ β .

제1 배향부 및 제2 배향부의 배향도 측정 결과를 표 1에 나타낸다.Table 1 shows the results of measuring the degree of orientation of the first alignment unit and the second alignment unit.

(적층체 반사율의 평가)(Evaluation of laminate reflectance)

적층체의 반사율을 테라헤르츠 시간 영역 분광법(THz-TDS법)의 원리를 이용한 측정 장치(THz-TDS 장치)에 의해 측정하였다. Mg 도핑된 LiNbO3를 이용한 광 정류(整流)에 의해 발생시킨 테라헤르츠파의 펄스파를 적층체의 제1 배향부 쪽에서 섬유 집합체의 상면에 대해 수직으로 되도록 입사시켰다. 섬유 집합체에서 반사된 테라헤르츠파를 CdTe 결정에 의해 전기 광학 샘플링하여 검출하였다. 본 실시예에서 사용한 테라헤르츠파는 펄스파인 바, 0.3THz~1.0THz의 주파수 대역 성분을 포함한다. 그리하여, 반사된 테라헤르츠파의 펄스파 시간 파형을 취득하여 푸리에 변환함으로써, 1.0THz의 전자파에서의 적층체 반사율(단위: dB)을 측정하였다.The reflectance of the laminate was measured by a measuring device (THz-TDS device) using the principle of terahertz time domain spectroscopy (THz-TDS method). Pulse waves of terahertz waves generated by light rectification using Mg-doped LiNbO 3 were incident perpendicularly to the upper surface of the fiber assembly from the first alignment part side of the laminate. The terahertz waves reflected from the fiber assembly were detected by electro-optical sampling with a CdTe crystal. The terahertz wave used in this embodiment is a pulse wave and includes a frequency band component of 0.3 THz to 1.0 THz. Then, the pulse wave time waveform of the reflected terahertz wave was acquired and Fourier transformed to measure the reflectance of the laminate (unit: dB) in electromagnetic waves of 1.0 THz.

(섬유 집합체의 반사 기재에 대한 접착력 측정)(Measurement of adhesion of fiber aggregate to reflective substrate)

섬유 집합체의 반사 기재에 대한 접착력은, 적층체를 수직 방향(적층체의 주면에 직교하는 방향)으로 1mm/분의 속도로 잡아당기는 인장 시험을 실시함으로써 적층체가 파괴될 때의 힘을 측정하였다. 인장 시험에 의한 파괴 모드는 섬유 집합체와 반사 기재 간 계면에서의 파괴(계면 파괴)와, 섬유 집합체 또는 반사 기재 내부에서의 파괴를 포함한다. 상기 인장 시험에는 인장 시험기(EZ-S 500N, 시마즈 제작소社 제조), 핀 스터브(알루미늄제, 평면부: Φ12mm) 및 로드 셀(500N 나사식 평면형 그립, 시마즈 제작소社 제조)을 사용하였다. 인장 시험을 실시하는 방법에 대해서는 도 9에 나타내었다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 핀 스터브의 돌기부(핀)를 로드 셀 사이에 끼우고서 핀 스터브를 로드 셀에 고정시킨 측정용 지그를 한 쌍 준비하여, 각각의 핀 스터브의 평면부(시트부) 상에 양면 점착 테이프를 붙였다. 그리고, 적층체의 하면을 아랫쪽에 위치하는 핀 스터브의 평면부에 양면 점착 테이프를 사이에 두고 고정시켰다. 이어서, 윗쪽에 위치하는 핀 스터브의 평면부를 적층체 상면에 설치하고서 상방에 위치하는 로드 셀을 이용하여 적층체 쪽으로 0.5N의 하중을 가함으로써, 윗쪽에 위치하는 핀 스터브의 평면부를 양면 점착 테이프를 사이에 두고 적층체에 고정시켰다. 상방에 위치하는 로드 셀을 그 핀 스터브가 고정된 쪽의 반대 방향으로 인장 시험기에 의해 1mm/분의 인장 속도로 잡아당겨 적층체가 파괴될 때의 힘을 측정함으로써, 섬유 집합체의 반사 기재에 대한 접착력을 구했다.The adhesive strength of the fiber aggregate to the reflective substrate was measured by performing a tensile test in which the laminate was pulled in a vertical direction (direction perpendicular to the main surface of the laminate) at a rate of 1 mm/min, and the force when the laminate was destroyed was measured. Failure modes by the tensile test include destruction at the interface between the fiber aggregate and the reflective substrate (interfacial failure) and destruction inside the fiber aggregate or the reflective substrate. For the tensile test, a tensile tester (EZ-S 500N, manufactured by Shimadzu Corporation), a pin stub (made of aluminum, flat surface: Φ 12 mm), and a load cell (500N screw type flat grip, manufactured by Shimadzu Corporation) were used. A method of conducting a tensile test is shown in FIG. 9 . As shown in Fig. 9, a pair of measuring jigs in which the pin stub is fixed to the load cell while the protrusion (pin) of the pin stub is interposed between the load cells is prepared, and the flat part (seat part) of each pin stub is prepared. Double-sided adhesive tape was applied on top. Then, the lower surface of the laminate was fixed to the flat surface of the pin stub located on the lower side with a double-sided adhesive tape interposed therebetween. Then, by installing the flat part of the upper pin stub on the upper surface of the laminate and applying a load of 0.5 N toward the laminate using the load cell located above, the flat part of the upper pin stub is covered with double-sided adhesive tape. It was placed in between and fixed to the laminate. The load cell located upward is pulled in the direction opposite to the side to which the pin stub is fixed by a tensile tester at a tensile speed of 1 mm / min, and the force when the laminate is destroyed is measured. Adhesion of the fiber assembly to the reflective substrate saved

<실시예 2><Example 2>

실시예 1에서 촉매층의 Fe를 미립자화할 때의 가열 시간을 30분간으로 변경한 점 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 실시하였다.Example 1 was carried out in the same manner as in Example 1, except that the heating time for micronizing Fe in the catalyst layer was changed to 30 minutes.

<실시예 3><Example 3>

실시예 1에서 중간층의 Al2O3 박막의 형성량과, 촉매층의 촉매 담지량을 변경한 점 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 실시하였다.Example 1 was carried out in the same manner as in Example 1, except that the amount of the Al 2 O 3 thin film formed in the middle layer and the amount of catalyst supported in the catalyst layer were changed.

<실시예 4><Example 4>

실시예 1에서 중간층의 Al2O3 박막의 형성량과, 촉매층의 촉매 담지량과, CVD 조건의 수분율(水分率)을 변경한 점 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 실시하였다.Example 1 was carried out in the same manner as in Example 1 except that the amount of the Al 2 O 3 thin film formed in the middle layer, the amount of catalyst supported in the catalyst layer, and the water content under CVD conditions were changed.

<실시예 5><Example 5>

실시예 1에서 중간층의 Al2O3 박막의 형성량과, 촉매층의 촉매 담지량 및 가열 시간과, CVD 조건의 수분율을 변경했으며, 반사 기판으로서 실리콘 기판을 구리 기판으로 변경하였다. 양면 점착 테이프는 사용하지 않고서, 섬유 집합체를 평면시로 보았을 때의 네 귀퉁이를 압축해서 섬유 집합체를 반사 기판 상에 적층함으로써, 적층체 제작 방법을 변경하였다. 상기 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 하여 실시하였다.In Example 1, the formation amount of the Al 2 O 3 thin film of the intermediate layer, the supported catalyst amount and heating time of the catalyst layer, and the moisture content of the CVD conditions were changed, and the silicon substrate was changed to a copper substrate as a reflective substrate. The manufacturing method of the laminate was changed by compressing the four corners of the fiber aggregate in a planar view and laminating the fiber aggregate on the reflective substrate without using the double-sided adhesive tape. It carried out similarly to Example 1 except the above.

<비교예 1><Comparative Example 1>

비교예 1은 실시예 1의 섬유 집합체가 반사 기판에 적층되는 방향을 역으로 한 것이다. 즉, 실시예 1에서 섬유 집합체 제작시에 사용한 실리콘 기재를 섬유 집합체로부터 박리시켜 섬유 집합체 제작시에 섬유 집합체의 촉매층을 형성했었던 쪽(실리콘 기재쪽)의 반대쪽 주면을 반사 기판(실리콘)에 붙임으로써 적층체를 제작하였다. 섬유 집합체 제작시에 섬유 집합체의 촉매층을 형성했었던 쪽 주면에서부터 두께 방향으로 20㎛까지의 영역을 제1 배향부라 하고, 섬유 집합체 제작시에 촉매층을 형성했었던 쪽의 반대쪽 주면에서부터 두께 방향으로 20㎛까지의 영역을 제2 배향부라 하였다. 상기 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 하여 실시하였다.In Comparative Example 1, the direction in which the fiber assembly of Example 1 was laminated on the reflective substrate was reversed. That is, by peeling the silicone substrate used in the fabrication of the fiber aggregate in Example 1 from the fiber aggregate and attaching the main surface opposite to the side (silicon substrate side) on which the catalyst layer was formed in the fabrication of the fiber aggregate to the reflective substrate (silicon). A laminate was produced. The area from the main surface of the fiber assembly on which the catalyst layer was formed during fabrication to 20 μm in the thickness direction is called the first orientation region, and from the main surface on the opposite side to the side where the catalyst layer was formed during fabrication of the fiber aggregate to 20 μm in the thickness direction. The region of is referred to as the second alignment portion. It carried out similarly to Example 1 except the above.

<비교예 2><Comparative Example 2>

비교예 2는 실시예 3의 섬유 집합체가 반사 기판에 적층되는 방향을 역으로 한 것이다. 즉, 실시예 3에서 섬유 집합체 제작시에 사용한 실리콘 기재를 섬유 집합체로부터 박리시켜 섬유 집합체 제작시에 섬유 집합체의 촉매층을 형성했었던 쪽(실리콘 기재쪽)의 반대쪽 주면을 반사 기판에 붙임으로써 적층체를 제작하였다. 섬유 집합체 제작시에 섬유 집합체의 촉매층을 형성했었던 쪽 주면에서부터 두께 방향으로 20㎛까지의 영역을 제1 배향부라 하고, 섬유 집합체 제작시에 촉매층을 형성했었던 쪽의 반대쪽 주면에서부터 두께 방향으로 20㎛까지의 영역을 제2 배향부라 하였다. 상기 이외에는 실시예 3과 마찬가지로 하여 실시하였다.In Comparative Example 2, the direction in which the fiber assembly of Example 3 was laminated on the reflective substrate was reversed. That is, the silicone substrate used in the fabrication of the fiber aggregate in Example 3 was peeled off from the fiber aggregate, and the main surface opposite to the side (silicon substrate side) on which the catalyst layer was formed was attached to the reflective substrate to form a laminate. produced. The area from the main surface of the fiber assembly on which the catalyst layer was formed during fabrication to 20 μm in the thickness direction is called the first orientation region, and from the main surface on the opposite side to the side where the catalyst layer was formed during fabrication of the fiber aggregate to 20 μm in the thickness direction. The region of is referred to as the second alignment portion. Except for the above, it carried out similarly to Example 3, and implemented.

<비교예 3><Comparative Example 3>

비교예 3은 실시예 4의 섬유 집합체가 반사 기판에 적층되는 방향을 역으로 한 것이다. 즉, 실시예 4에서 섬유 집합체 제작시에 사용한 실리콘 기재를 섬유 집합체로부터 박리시켜 섬유 집합체 제작시에 섬유 집합체의 촉매층을 형성했었던 쪽(실리콘 기재쪽)의 반대쪽 주면이 반사 기판에 접촉하도록, 양면 점착 테이트는 사용하지 않고서 섬유 집합체를 반사 기판 상에 설치하였다. 그리고, 섬유 집합체를 평면시로 보았을 때의 네 귀퉁이를 압축해서 섬유 집합체를 반사 기판 상에 적층함으로써 적층체를 제작하였다. 섬유 집합체 제작시에 섬유 집합체의 촉매층을 형성했었던 쪽 주면에서부터 두께 방향으로 20㎛까지의 영역을 제1 배향부라 하고, 섬유 집합체 제작시에 촉매층을 형성했었던 쪽의 반대쪽 주면에서부터 두께 방향으로 20㎛까지의 영역을 제2 배향부라 하였다. 상기 이외에는 실시예 4와 마찬가지로 하여 실시하였다.In Comparative Example 3, the direction in which the fiber assembly of Example 4 was laminated on the reflective substrate was reversed. That is, the silicone substrate used in the fabrication of the fiber aggregate in Example 4 is peeled off from the fiber aggregate, and the main surface of the fiber aggregate on the opposite side of the fiber aggregate where the catalyst layer was formed (silicon substrate side) is in contact with the reflective substrate, so that both sides are adhered. The fiber assembly was installed on the reflective substrate without using a tate. Then, a laminate was produced by compressing the four corners of the fiber aggregate when viewed in plan view and laminating the fiber aggregate on the reflective substrate. The area from the main surface of the fiber assembly on which the catalyst layer was formed during fabrication to 20 μm in the thickness direction is called the first orientation region, and from the main surface on the opposite side to the side where the catalyst layer was formed during fabrication of the fiber aggregate to 20 μm in the thickness direction. The region of is referred to as the second alignment portion. Except for the above, it carried out similarly to Example 4, and implemented.

<비교예 4><Comparative Example 4>

비교예 1에서 양면 테이프는 사용하지 않고서 섬유 집합체를 반사 기판 상에 설치한 점 이외에는, 비교예 1과 마찬가지로 하여 실시하였다. In Comparative Example 1, it was carried out in the same manner as in Comparative Example 1, except that the double-sided tape was not used and the fiber aggregate was installed on the reflective substrate.

각 실시예 및 비교예의 적층체를 구성하는 섬유 집합체의 두께와, 섬유 집합체의 제1 배향부 및 제2 배향부의 배향도와, 접착력의 측정 결과를 표 1에 나타내었다.Table 1 shows the thickness of the fiber aggregates constituting the laminates of each Example and Comparative Example, the degree of orientation of the first and second orientation parts of the fiber aggregate, and the measurement results of the adhesive force.

Figure pct00001
Figure pct00001

표 1로부터 알 수 있듯이, 실시예 1~5에서는, 적층체에 있어 섬유 집합체의 배향도가 높은 제1 배향부쪽으로 입사시킨 테라헤르츠파 중에서 주파수가 1.0THz인 테라헤르츠파에서의 적층체의 반사율은 -21.6dB 이하였다. 한편, 비교예 1~4에서는, 적층체에 있어 섬유 집합체의 배향도가 낮은 제1 배향부쪽으로 입사시킨 테라헤르츠파 중에서 주파수가 1.0THz인 테라헤르츠파에서의 적층체의 반사율이 -16.5dB 이상이었다.As can be seen from Table 1, in Examples 1 to 5, the reflectance of the laminate in the terahertz wave having a frequency of 1.0 THz among the terahertz waves incident toward the first orientation part where the orientation degree of the fiber aggregate in the laminate is high is -21.6dB or less. On the other hand, in Comparative Examples 1 to 4, the reflectance of the laminate in the terahertz wave having a frequency of 1.0 THz among the terahertz waves incident toward the first orientation portion having a low degree of orientation of the fiber aggregate in the laminate was -16.5 dB or more. .

실시예 1~5의 적층체는, 비교예 1~4의 적층체와는 달리, 섬유 집합체의 전자파 조사쪽에 위치하는 제1 배향부의 배향도가 전자파 조사쪽의 반대쪽에 위치하는 제2 배향부의 배향도보다 높도록 배향도에 차이를 두어 제1 배향부쪽에 테라헤르츠파가 조사되도록 구성되어 있다. 실시예 1~5의 적층체는, 비교예 1~4의 적층체와 같이 섬유 집합체의 전자파 조사쪽에 위치하는 제1 배향부의 배향도를 전자파 조사쪽의 반대쪽에 위치하는 제2 배향부의 배향도보다 낮도록 배향도에 차이를 둔 적층체에 비해, 테라헤르츠파의 반사율을 저감시킬 수 있음이 확인되었다. 따라서, 본 실시형태에 따른 적층체를 전자파 흡수체로서 사용했을 때에, 테라헤르츠파 대역 이상의 높은 주파수의 전자파 흡수에 유효하게 이용할 수 있다고 할 수 있다.In the laminates of Examples 1 to 5, unlike the laminates of Comparative Examples 1 to 4, the degree of orientation of the first orientation part located on the electromagnetic wave irradiation side of the fiber aggregate is higher than the orientation degree of the second orientation part located on the opposite side to the electromagnetic wave irradiation side. It is configured so that the terahertz wave is irradiated toward the first alignment part with a difference in degree of orientation so as to be high. In the laminates of Examples 1 to 5, like the laminates of Comparative Examples 1 to 4, the degree of orientation of the first orientation part located on the electromagnetic wave irradiation side of the fiber aggregate is lower than the orientation degree of the second orientation part located on the opposite side of the electromagnetic wave irradiation side. It was confirmed that the reflectance of terahertz waves can be reduced compared to a laminate having a difference in orientation. Therefore, when the laminate according to the present embodiment is used as an electromagnetic wave absorber, it can be said that it can be effectively used for absorbing high-frequency electromagnetic waves in the terahertz wave band or higher.

이상에서와 같이 실시형태를 설명하였는데, 상기 실시형태는 예시에 해당하는 것이며, 상기 실시형태에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 상기 실시형태는 그 밖의 다양한 형태로 실시될 수 있으며, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 조합, 생략, 치환, 변경 등을 행할 수 있다. 이들 실시형태 및 그 변형은 발명의 범위와 그 요지에 포함되며, 청구범위에 기재된 발명과 그 균등 범위에 포함된다.Although the embodiments have been described as above, the embodiments correspond to examples, and the present invention is not limited by the embodiments. The above embodiment can be implemented in various other forms, and various combinations, omissions, substitutions, changes, and the like can be performed without departing from the gist of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and their equivalents.

본 출원은 2020년 8월 5일에 출원된 일본국 특허출원 2020-132858호에 기초하는 우선권을 주장하는 것이며, 일본국 특허출원 2020-132858호의 전체 내용을 본 출원에 원용한다.This application claims priority based on Japanese Patent Application No. 2020-132858 for which it applied on August 5, 2020, and uses all the contents of Japanese Patent Application No. 2020-132858 for this application.

1A,1B,1C 적층체
10 섬유 집합체
101 제1 배향부
102 제2 배향부
103 제3 배향부
10a 주면(하면)
10b 주면(상면)
11 나노 섬유
13 압축부
20 반사 기판1A, 1B, 1C laminate
10 fiber aggregate
101 first orientation unit
102 second orientation unit
103 third orientation unit
10a gives (if)
10b main surface (upper surface)
11 nanofibers
13 compression part
20 reflective substrate

Claims (9)

복수 개의 나노 섬유가 시트 형상으로 모여 있는 섬유 집합체와,
상기 섬유 집합체가 설치되며 0.1% 이상의 반사율을 갖는 반사 기판을 포함하며,
상기 섬유 집합체는,
상기 섬유 집합체의 두께 방향 일부에 형성되는 제1 배향부와,
상기 제1 배향부보다 상기 반사 기판쪽에 형성되며 상기 제1 배향부보다 배향도가 낮은 제2 배향부를 포함하는 것인 적층체.A fiber aggregate in which a plurality of nanofibers are gathered in a sheet shape;
The fiber assembly is installed and includes a reflective substrate having a reflectance of 0.1% or more,
The fiber aggregate,
A first orientation part formed in a part of the thickness direction of the fiber assembly;
and a second alignment portion formed closer to the reflective substrate than the first alignment portion and having a lower degree of orientation than the first alignment portion. 제1항에 있어서,
상기 제1 배향부는 상기 섬유 집합체의 두께 방향에 있어 상기 반사 기판쪽의 반대 방향에 위치하는 단부쪽에 형성되는 것인 적층체.According to claim 1,
The first alignment portion is formed on an end side located in a direction opposite to the reflective substrate side in the thickness direction of the fiber assembly. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 배향부와 상기 제2 배향부 중 어느 한쪽 또는 양쪽의 두께가 3.0㎛ 이상인 적층체.According to claim 1 or 2,
A laminate in which either or both of the first orientation portion and the second orientation portion have a thickness of 3.0 μm or more. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 섬유 집합체의 두께가 10㎛~5000㎛인 적층체.According to any one of claims 1 to 3,
A laminate in which the thickness of the fiber assembly is 10 μm to 5000 μm. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 섬유 집합체와 상기 반사 기판 간 접착력이 0.2N/cm2 이상인 적층체.According to any one of claims 1 to 4,
A laminate having an adhesive force between the fiber assembly and the reflective substrate of 0.2 N/cm 2 or more. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 섬유 집합체와 상기 반사 기판의 사이에 접합층을 포함하며,
상기 접합층에 있어 상기 섬유 집합체와 상기 반사 기판 간 접착력이 0.2N/cm2 이상인 적층체.According to any one of claims 1 to 4,
A bonding layer between the fiber assembly and the reflective substrate,
In the bonding layer, the adhesive strength between the fiber assembly and the reflective substrate is 0.2 N/cm 2 or more. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 섬유 집합체는 상기 섬유 집합체의 두께에 대해 95% 이하의 두께를 갖는 압축부를 포함하며,
상기 압축부에 있어 상기 섬유 집합체와 상기 반사 기판 간 접착력이 0.2N/cm2 이상인 적층체.According to any one of claims 1 to 4,
The fiber assembly includes a compression portion having a thickness of 95% or less of the thickness of the fiber assembly,
A laminate having an adhesive force between the fiber assembly and the reflective substrate in the compression unit of 0.2 N/cm 2 or more. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 나노 섬유가 카본 나노 튜브인 적층체.According to any one of claims 1 to 7,
A laminate in which the nanofibers are carbon nanotubes. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 적층체를 포함하는 전자파 흡수체.An electromagnetic wave absorber comprising the laminate according to any one of claims 1 to 8.
KR1020237002628A 2020-08-05 2021-07-28 Laminates and electromagnetic wave absorbers KR20230045007A (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020132858 2020-08-05
JPJP-P-2020-132858 2020-08-05
PCT/JP2021/027978 WO2022030335A1 (en) 2020-08-05 2021-07-28 Multilayer body and electromagnetic wave absorber

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230045007A true KR20230045007A (en) 2023-04-04

Family

ID=80119791

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020237002628A KR20230045007A (en) 2020-08-05 2021-07-28 Laminates and electromagnetic wave absorbers

Country Status (6)

Country Link
EP (1) EP4194194A1 (en)
JP (1) JPWO2022030335A1 (en)
KR (1) KR20230045007A (en)
CN (1) CN116209566A (en)
TW (1) TW202212120A (en)
WO (1) WO2022030335A1 (en)

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010192581A (en) * 2009-02-17 2010-09-02 National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology Electromagnetic wave radiator and electromagnetic wave absorber
WO2010124260A1 (en) * 2009-04-24 2010-10-28 Lockheed Martin Corporation Cnt-infused emi shielding composite and coating
CN104244689B (en) * 2014-10-05 2018-01-12 复旦大学 A kind of adjustable microwave absorbing material of absorption frequency and preparation method thereof
US10490314B2 (en) * 2015-08-12 2019-11-26 King Abdulaziz University Graphene oxide free-standing film and methods for shielding electromagnetic radiation at microwave frequencies
JP2019102665A (en) * 2017-12-04 2019-06-24 国立大学法人北海道大学 Electromagnetic wave absorber
JP7367520B2 (en) 2019-02-21 2023-10-24 三菱ケミカル株式会社 Ethylene-vinyl alcohol copolymer resin composition, multilayer structure and packaging

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Leimeng Sun et al., "Wafer-scale vertically aligned carbon nanotubes for broadband terahertz wave absorption", Carbon, vol.154, p.503-509 (2019)

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2022030335A1 (en) 2022-02-10
TW202212120A (en) 2022-04-01
CN116209566A (en) 2023-06-02
WO2022030335A1 (en) 2022-02-10
EP4194194A1 (en) 2023-06-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Jia et al. Wide-band tunable microwave-absorbing ceramic composites made of polymer-derived SiOC ceramic and in situ partially surface-oxidized ultra-high-temperature ceramics
Xu et al. High-performance electromagnetic wave absorbing CNT/SiCf composites: synthesis, tuning, and mechanism
Hou et al. Reduced graphene oxide/silicon nitride composite for cooperative electromagnetic absorption in wide temperature spectrum with excellent thermal stability
US9119294B2 (en) Electromagnetic interference shielding structure including carbon nanotube or nanofiber films
Liang et al. Controllable fabricating dielectric–dielectric SiC@ C core–shell nanowires for high-performance electromagnetic wave attenuation
US10995195B2 (en) Composite nanofiber sheet
Lv et al. Doping strategy to boost the electromagnetic wave attenuation ability of hollow carbon spheres at elevated temperatures
KR101015293B1 (en) Fibrous columnar structure assembly and adhesive member using the same
KR101921584B1 (en) Transparent conductive articles
Zang et al. Microwave absorption enhancement of rectangular activated carbon fibers screen composites
US20110287218A1 (en) Energy absorbing materials
WO2007046412A1 (en) Electromagnetic wave absorber
KR20150001751A (en) Cns-shielded wires
CN110235537B (en) Electromagnetic wave absorbing sheet
Plyushch et al. Silicon carbide/phosphate ceramics composite for electromagnetic shielding applications: Whiskers vs particles
Dang et al. Effect of carbon fiber addition on the electromagnetic shielding properties of carbon fiber/polyacrylamide/wood based fiberboards
Wang et al. Ti3C2T X MXene Beaded SiC Nanowires for Efficient Microwave Absorption
US20220119316A1 (en) Ceramic composites and methods of making and using the same
EP3432350A1 (en) Conveying fixing jig
KR20230045007A (en) Laminates and electromagnetic wave absorbers
US20190218426A1 (en) Adhesive structure
KR102645530B1 (en) Multifunctional composite film having heat dissipation and electronmagnetic shielding/absorption cpapticy and method for manufacturing thereof
Zhang et al. Nacre-inspired conductive carbon nanotube-intercalated graphite nanoplatelet network as multifunctional thermal management materials
Cai et al. Broadband electromagnetic shielding performance of carbon nanotube-carbon fibre/silicon carbide cross-scale laminated composites
JP2013119504A (en) Carbon nanotube aggregate and viscoelastic body using the same