KR20230033854A - Grommet and apparatus for treating substrate the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate processing apparatus for processing a substrate.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 세정, 증착, 포토 리소그래피, 에칭, 그리고 이온주입 등과 같은 다양한 공정이 수행된다. 패턴을 형성하기 위해 수행되는 포토 리소그래피 공정은 반도체 소자의 고집적화를 이루는데 중요한 역할을 수행한다. In general, in order to manufacture a semiconductor device, various processes such as cleaning, deposition, photolithography, etching, and ion implantation are performed. A photolithography process performed to form a pattern plays an important role in achieving high integration of a semiconductor device.
포토리소그래피 공정은 실리콘으로 이루어진 반도체 기판 상에 포토레지스트패턴을 형성하기 위해 수행된다. 포토리소그래피 공정은 기판 상에 포토레지스트 막을 형성하기 위한 코팅 및 소프트 베이크 공정, 포토레지스트 막으로부터 포토레지스트 패턴을 형성하기 위한 노광 및 현상 공정, 상기 포토레지스트 막 또는 패턴의 에지 부위를 제거하기 위한 에지 비드 제거(edge bead removal; 이하 'EBR'라 한다) 공정 및 에지 노광(edgeexposure of wafer; 이하 'EEW'라 한다) 공정, 상기 포토레지스트 패턴을 안정화 및 치밀화시키기 위한 하드 베이크 공정 등을 포함한다. A photolithography process is performed to form a photoresist pattern on a semiconductor substrate made of silicon. The photolithography process includes a coating and soft bake process for forming a photoresist film on a substrate, an exposure and development process for forming a photoresist pattern from the photoresist film, and an edge bead for removing an edge portion of the photoresist film or pattern. It includes an edge bead removal (hereinafter referred to as 'EBR') process, an edge exposure of wafer (hereinafter referred to as 'EEW') process, a hard bake process for stabilizing and densifying the photoresist pattern, and the like.
이러한 포토리소그래피 공정을 수행하는 기판 처리 장치에는 다수의 처리 유닛들이 배치되며, 각각의 처리 유닛에는 전원 케이블 및 시그널 케이블이 연결되며, 이러한 케이블이 통과하는 삽입구에는 케이블 보호 및 기류 차단을 위한 그로멧(grommet)이 설치된다. A plurality of processing units are disposed in the substrate processing apparatus performing the photolithography process, and a power cable and a signal cable are connected to each processing unit, and a grommet for protecting the cable and blocking air flow is provided at the insertion hole through which these cables pass. ) is installed.
그러나, 기존의 그로멧은 작업자가 그로맷을 칼로 어떻게 자르느냐에 따라 기류 차단 정도가 결정이 되기 때문에 작업자에 따른 편차가 존재하였다. However, since the air flow blocking degree of the existing grommet is determined depending on how the worker cuts the grommet with a knife, there is variation according to the worker.
본 발명의 목적은 작업자간의 따른 편차를 줄이고 설비간 유닛간 내부 기류 편차를 줄일 수 있는 그로멧 및 이를 갖는 기판 처리 장치를 제공한다.An object of the present invention is to provide a grommet and a substrate processing apparatus having the grommet capable of reducing variation between workers and reducing internal airflow variation between units between facilities.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급된 과제로 제한되지 않는다. 언급되지 않은 다른 기술적 과제들은 이하의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problem to be solved by the present invention is not limited to the problem mentioned above. Other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
본 발명의 일 측면에 따르면, 처리 유닛; 상기 처리 유닛이 다단으로 적층 배치되는 그리고 일측에 유틸리티 공간을 제공하는 설비 프레임; 상기 유틸리티 공간과 상기 처리 유닛 사이의 벽면에 제공되고, 유틸리티 케이블 배선을 위한 그로멧을 포함하되; 상기 그로멧은 제1도어와 제2도어를 포함하고, 상기 제1도어와 상기 제2도어 사이에 유틸리티 케이블의 인입을 위한 개구가 제공되는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.According to one aspect of the present invention, a processing unit; a facility frame in which the processing units are stacked in multiple stages and provides a utility space on one side; It is provided on a wall surface between the utility space and the processing unit, and includes a grommet for wiring a utility cable; The grommet may include a first door and a second door, and an opening for introducing a utility cable may be provided between the first door and the second door.
또한, 상기 제1도어와 상기 제2도어는 상기 유틸리티 케이블 인입을 위해 회동이 가능하도록 일측이 힌지 결합될 수 있다.In addition, one side of the first door and the second door may be hinged so as to be able to rotate for the utility cable entry.
또한, 상기 제1도어와 상기 제2도어는 상기 개구를 밀폐하기 위한 방향으로 원위치되도록 탄성력을 제공하는 탄성부재를 더 포함할 수 있다.In addition, the first door and the second door may further include an elastic member providing an elastic force so that the original position in the direction for sealing the opening.
또한, 상기 제1도어는 상기 개구를 통과하는 상기 유틸리티 케이블과 접촉되는 플렉시블한 소재의 제1차단 시트; 및 상기 제1차단 시트의 가장자리를 지지하도록 제공되고, 정면에서 바라보았을 때 상기 제2도어와 인접한 상기 제1차단 시트의 일측 가장자리를 제외한 나머지 가장자리를 따라 제공되는 제1프레임을 포함할 수 있다.In addition, the first door may include a first blocking sheet made of a flexible material in contact with the utility cable passing through the opening; and a first frame provided to support an edge of the first blocking sheet and provided along an edge other than one edge of the first blocking sheet adjacent to the second door when viewed from the front.
또한, 상기 제2도어는 상기 개구를 통과하는 상기 유틸리티 케이블과 접촉되는 플렉시블한 소재의 제2차단 시트; 및 상기 제2차단 시트의 가장자리를 지지하도록 제공되고, 정면에서 바라보았을 때 상기 제1도어와 인접한 상기 제2차단 시트의 일측 가장자리를 제외한 나머지 가장자리를 따라 제공되는 제2프레임을 포함할 수 있다.In addition, the second door may include a second blocking sheet made of a flexible material in contact with the utility cable passing through the opening; and a second frame provided to support an edge of the second blocking sheet and provided along an edge other than one edge of the second blocking sheet adjacent to the first door when viewed from the front.
또한, 상기 개구는 상기 제1차단 시트와 상기 제2차단 시트 사이에 슬롯 형태로 제공될 수 있다.Also, the opening may be provided in the form of a slot between the first blocking sheet and the second blocking sheet.
또한, 상기 개구는 상기 제1차단 시트의 일측 가장자리와 상기 제2차단 시트의 일측 가장자리에 호 형상으로 제공될 수 있다.In addition, the opening may be provided in an arc shape at one edge of the first blocking sheet and one edge of the second blocking sheet.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 제1도어; 상기 제1도어와 나란히 위치되는 제2도어를 포함하되, 상기 제1도어와 상기 제2도어 사이에 유틸리티 케이블의 인입을 위한 개구가 제공되는 그로멧이 제공될 수 있다.According to another aspect of the present invention, the first door; A second door positioned parallel to the first door may be provided, and a grommet may be provided between the first door and the second door to provide an opening for a utility cable to be introduced.
또한, 상기 제1도어와 상기 제2도어는 상기 유틸리티 케이블 인입을 위해 회동이 가능하도록 일측이 힌지 결합될 수 있다.In addition, one side of the first door and the second door may be hinged so as to be able to rotate for the utility cable entry.
또한, 상기 제1도어와 상기 제2도어는 상기 개구를 밀폐하기 위한 방향으로 원위치되도록 탄성력을 제공하는 탄성부재를 더 포함할 수 있다.In addition, the first door and the second door may further include an elastic member providing an elastic force so that the original position in the direction for sealing the opening.
또한, 상기 제1도어는 상기 개구를 통과하는 상기 유틸리티 케이블과 접촉되는 플렉시블한 소재의 제1차단 시트; 및 상기 제1차단 시트의 가장자리를 지지하도록 제공되고, 정면에서 바라보았을 때 상기 제2도어와 인접한 상기 제1차단 시트의 일측 가장자리를 제외한 나머지 가장자리를 따라 제공되는 제1프레임을 포함할 수 있다.In addition, the first door may include a first blocking sheet made of a flexible material in contact with the utility cable passing through the opening; and a first frame provided to support an edge of the first blocking sheet and provided along an edge other than one edge of the first blocking sheet adjacent to the second door when viewed from the front.
또한, 상기 제2도어는 상기 개구를 통과하는 상기 유틸리티 케이블과 접촉되는 플렉시블한 소재의 제2차단 시트; 및 상기 제2차단 시트의 가장자리를 지지하도록 제공되고, 정면에서 바라보았을 때 상기 제1도어와 인접한 상기 제2차단 시트의 일측 가장자리를 제외한 나머지 가장자리를 따라 제공되는 제2프레임을 포함할 수 있다.In addition, the second door may include a second blocking sheet made of a flexible material in contact with the utility cable passing through the opening; and a second frame provided to support an edge of the second blocking sheet and provided along an edge other than one edge of the second blocking sheet adjacent to the first door when viewed from the front.
또한, 상기 개구는 상기 제1차단 시트와 상기 제2차단 시트 사이에 슬롯 형태로 제공될 수 있다.Also, the opening may be provided in the form of a slot between the first blocking sheet and the second blocking sheet.
또한, 상기 개구는 상기 제1차단 시트의 일측 가장자리와 상기 제2차단 시트의 일측 가장자리에 호 형상으로 제공될 수 있다. In addition, the opening may be provided in an arc shape at one edge of the first blocking sheet and one edge of the second blocking sheet.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 그로메의 닫힘 형상이 항상 같기 때문에 작업자에 따른 편차 줄이고 설비 또는 유닛간 내부 기류 편차 줄일 수 있는 각별한 효과를 기대할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, since the closing shape of the grommet is always the same, a special effect of reducing deviation according to the operator and reducing internal airflow deviation between facilities or units can be expected.
본 발명의 효과는 상술한 효과들로 제한되지 않는다. 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects described above. Effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from this specification and the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1의 도포 블록 또는 현상 블록을 보여주는 기판 처리 장치의 단면도이다.
도 3은 도 1의 기판 처리 장치의 평면도이다.
도 4는 반송 로봇의 핸드의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 5는 도 3의 열 처리 챔버의 일 예를 개략적으로 보여주는 평면도이다.
도 6은 도 5의 열 처리 챔버의 정면도이다.
도 7은 회전하는 기판에 처리액을 공급하여 기판을 액 처리하는 액 처리 챔버의 일 실시예를 보여주는 단면도이다.
도 8은 도 7의 액 처리 챔버의 평면도이다.
도 9는 도 3의 반송 로봇의 일 예를 보여주는 사시도이다.
도 10은 적층 배치된 열처리 챔버들을 보여주는 사시도이다.
도 11은 열처리 챔버에 유틸리티 케이블이 연결된 상태를 보여주는 도면이다.
도 12는 도 10 및 도 11에 도시된 그로멧을 설명하기 위한 사시도이다.
도 13 및 도 14는 그로멧의 닫힘 및 열림 상태를 보여주는 도면들이다.
도 15 및 도 16은 그로멧의 다른 실시예를 보여주는 도면들이다.
도 17은 그로멧의 변형예를 보여주는 도면이다. 1 is a perspective view schematically showing a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view of a substrate processing apparatus showing the application block or developing block of FIG. 1 .
FIG. 3 is a plan view of the substrate processing apparatus of FIG. 1 .
4 is a diagram showing an example of a hand of a transfer robot.
FIG. 5 is a plan view schematically showing an example of the heat treatment chamber of FIG. 3 .
6 is a front view of the thermal processing chamber of FIG. 5;
7 is a cross-sectional view showing an embodiment of a liquid processing chamber for liquid processing a substrate by supplying a processing liquid to a rotating substrate.
8 is a plan view of the liquid processing chamber of FIG. 7 .
9 is a perspective view showing an example of the transfer robot of FIG. 3 .
10 is a perspective view showing heat treatment chambers in a stacked arrangement.
11 is a view showing a state in which a utility cable is connected to a heat treatment chamber.
12 is a perspective view for explaining the grommet shown in FIGS. 10 and 11;
13 and 14 are views showing closed and opened states of the grommet.
15 and 16 are views showing another embodiment of the grommet.
17 is a view showing a modified example of a grommet.
본 발명의 다른 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술 되는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.Other advantages and features of the present invention, and methods for achieving them, will become clear with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and may be implemented in various different forms, but only the present embodiments make the disclosure of the present invention complete, and the common knowledge in the art to which the present invention belongs It is provided to fully inform the holder of the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.
만일 정의되지 않더라도, 여기서 사용되는 모든 용어들(기술 혹은 과학 용어들을 포함)은 이 발명이 속한 종래 기술에서 보편적 기술에 의해 일반적으로 수용되는 것과 동일한 의미가 있다. 일반적인 사전들에 의해 정의된 용어들은 관련된 기술 그리고/혹은 본 출원의 본문에 의미하는 것과 동일한 의미를 갖는 것으로 해석될 수 있고, 그리고 여기서 명확하게 정의된 표현이 아니더라도 개념화되거나 혹은 과도하게 형식적으로 해석되지 않을 것이다. 본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. Even if not defined, all terms (including technical or scientific terms) used herein have the same meaning as generally accepted by common technology in the prior art to which this invention belongs. Terms defined by general dictionaries may be interpreted to have the same meaning as they have in the related art and/or the text of the present application, and are not conceptualized or overly formalized, even if not expressly defined herein. won't Terms used in this specification are for describing embodiments and are not intended to limit the present invention.
본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다' 및/또는 이 동사의 다양한 활용형들 예를 들어, '포함', '포함하는', '포함하고', '포함하며' 등은 언급된 조성, 성분, 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 조성, 성분, 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 또한 '구비한다', '갖는다' 등도 이와 동일하게 해석되어야 한다.In this specification, singular forms also include plural forms unless specifically stated otherwise in a phrase. As used in the specification, 'comprise' and/or various conjugations of this verb, such as 'comprise', 'comprising', 'comprising', 'comprising', etc., refer to a mentioned composition, ingredient, component, Steps, acts and/or elements do not preclude the presence or addition of one or more other compositions, ingredients, components, steps, acts and/or elements. In addition, 'to have', 'to have', etc. should be interpreted in the same way.
본 실시예의 설비는 반도체 웨이퍼 또는 평판 표시 패널과 같은 기판에 대해 포토리소그래피 공정을 수행하는 데 사용되는 것으로 설명하나, 이는 설명의 편의를 위한 것이고 본 발명은 기판을 처리하기 위해 기판을 이송하는 로봇을 포함하는 다른 장치에도 사용될 수 있다.The equipment of this embodiment is described as being used to perform a photolithography process on a substrate such as a semiconductor wafer or a flat panel display panel, but this is for convenience of description and the present invention provides a robot for transferring a substrate to process the substrate. It can also be used for other devices including
이하에서는, 도 1 내지 도 17을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대하여 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 17 .
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 보여주는 사시도이고, 도 2는 도 1의 도포 블록 또는 현상 블록을 보여주는 기판 처리 장치의 단면도이고, 도 3은 도 1의 기판 처리 장치의 평면도이다.1 is a perspective view schematically showing a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of the substrate processing apparatus showing an application block or developing block of FIG. 1, and FIG. 3 is a substrate processing apparatus of FIG. 1 is a plan view of
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치(10)는 인덱스 모듈(100, index module), 처리 모듈(300, processing module), 그리고 인터페이스 모듈(500, interface module)을 포함한다. 1 to 3, the
일 실시예에 의하면, 인덱스 모듈(100), 처리 모듈(300), 그리고 인터페이스 모듈(500)은 순차적으로 일렬로 배치된다. 이하에서 인덱스 모듈(100), 처리 모듈(300), 그리고 인터페이스 모듈(500)이 배열된 방향을 제1 방향(12)이라 하고, 상부에서 바라볼 때 제1 방향(12)과 수직한 방향을 제2 방향(14)이라 하고, 제1 방향(12) 및 제2 방향(14)에 모두 수직한 방향을 제3 방향(16)으로 정의한다.According to one embodiment, the
인덱스 모듈(100)은 기판(W)이 수납된 용기(F)로부터 기판(W)을 처리 모듈(300)로 반송하고, 처리가 완료된 기판(W)을 용기(F)로 수납한다. 인덱스 모듈(100)의 길이 방향은 제2 방향(14)으로 제공된다. 인덱스 모듈(100)은 로드 포트(110)와 인덱스 프레임(130)을 가진다. 인덱스 프레임(130)을 기준으로 로드 포트(110)는 처리 모듈(300)의 반대 측에 위치된다. 기판(W)들이 수납된 용기(F)는 로드 포트(110)에 놓인다. 로드 포트(110)는 복수 개가 제공될 수 있으며, 복수의 로드 포트(110)는 제2 방향(14)을 따라 배치될 수 있다. The
용기(F)로는 전면 개방 일체 식 포드(Front Open Unified Pod:FOUP)와 같은 밀폐용 용기(F)가 사용될 수 있다. 용기(F)는 오버헤드 트랜스퍼(Overhead Transfer), 오버헤드 컨베이어(Overhead Conveyor), 또는 자동 안내 차량(Automatic Guided Vehicle)과 같은 이송 수단(도시되지 않음)이나 작업자에 의해 로드 포트(110)에 놓일 수 있다. As the container F, an airtight container F such as a Front Open Unified Pod (FOUP) may be used. The container F may be placed in the
인덱스 프레임(130)의 내부에는 인덱스 로봇(132)이 제공된다. 인덱스 프레임(130) 내에는 길이 방향이 제2 방향(14)으로 제공된 가이드 레일(136)이 제공되고, 인덱스 로봇(132)은 가이드 레일(136) 상에서 이동 가능하게 제공될 수 있다. 인덱스 로봇(132)은 기판(W)이 놓이는 핸드를 포함하며, 핸드는 전진 및 후진 이동, 제3 방향(16)을 축으로 한 회전, 그리고 제3 방향(16)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다. An
처리 모듈(300)은 기판(W)에 대해 도포 공정 및 현상 공정을 수행할 수 있다. 처리 모듈(300)은 용기(F)에 수납된 기판(W)을 전달받아 기판 처리 공정을 수행할 수 있다. 처리 모듈(300)은 도포 블록(300a) 및 현상 블록(300b)을 가진다. 도포 블록(300a)은 기판(W)에 대해 도포 공정을 수행하고, 현상 블록(300b)은 기판(W)에 대해 현상 공정을 수행한다. 도포 블록(300a)은 복수 개가 제공되며, 이들은 서로 적층되게 제공된다. 현상 블록(300b)은 복수 개가 제공되며, 이들은 서로 적층되게 제공된다. 도 1의 실시 예에 의하면, 도포 블록(300a)과 현상 블록(300b)는 각각 2개씩 제공된다. 도포 블록(300a)들은 현상 블록(300b)들의 아래에 배치될 수 있다. 일 예에 의하면, 2개의 도포 블록(300a)들은 서로 동일한 공정을 수행하며, 서로 동일한 구조로 제공될 수 있다. 또한, 2개의 현상 블록(300b)들은 서로 동일한 공정을 수행하며, 서로 동일한 구조로 제공될 수 있다.The
도 3을 참조하면, 도포 블록(300a)은 열 처리 챔버(320), 반송 챔버(350), 액 처리 챔버(360), 그리고 버퍼 챔버(312, 316)를 가진다. 열 처리 챔버(320)는 기판(W)에 대해 열 처리 공정을 수행한다. 열 처리 공정은 냉각 공정 및 가열 공정을 포함할 수 있다. 액 처리 챔버(360)는 기판(W) 상에 액을 공급하여 액 막을 형성한다. 액 막은 포토레지스트막 또는 반사방지막일 수 있다. 반송 챔버(350)는 도포 블록(300a) 내에서 열 처리 챔버(320)와 액 처리 챔버(360) 간에 기판(W)을 반송한다. Referring to FIG. 3 , the
반송 챔버(350)는 그 길이 방향이 제1 방향(12)과 평행하게 제공된다. 반송 챔버(350)에는 반송 로봇(900)이 제공된다. 반송 로봇(900)은 열 처리 챔버(320), 액 처리 챔버(360), 그리고 버퍼 챔버(312, 316) 간에 기판을 반송한다. 일 예에 의하면, 반송 로봇(900)은 기판(W)이 놓이는 핸드를 가지며, 핸드는 전진 및 후진 이동, 제3 방향(16)을 축으로 한 회전, 그리고 제3 방향(16)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다. 반송 챔버(350) 내에는 그 길이 방향이 제1 방향(12)과 평행하게 제공되는 가이드 레일(356)이 제공되고, 반송 로봇(900)은 가이드 레일(356) 상에서 이동 가능하게 제공될 수 있다. The
도 4는 반송 로봇의 핸드의 일 예를 보여주는 도면이다. 4 is a diagram showing an example of a hand of a transfer robot.
도 4를 참조하면, 핸드(910)는 핸드 본체(910a)와 지지 핑거(910b)들을 포함한다. 핸드 본체(910a)는 기판의 직경보다 큰 내경을 갖는 대략 말굽 형상으로 형성된다. 단, 핸드 본체(910a)의 형상은 이에 한정되지 않는다. 핸드 본체(910a)의 선단부를 포함한 4곳에는 지지 핑거(910b)들이 내측 방향으로 설치된다. 핸드 본체(910a)는 내부에 진공유로(미도시됨)가 형성된다. 진공유로(미도시됨)는 진공 라인을 통해 진공 펌프와 연결된다.Referring to FIG. 4 , a
다시 도 1 내지 도 3을 참조하면, 열 처리 챔버(320)는 복수 개로 제공된다. 열 처리 챔버(320)들은 제1 방향(12)을 따라 배치된다. 열처리 챔버(320)들은 반송 챔버(350)의 일 측에 위치된다.Referring back to FIGS. 1 to 3 , a plurality of
도 5는 도 3의 열 처리 챔버의 일 예를 개략적으로 보여주는 평면도이고, 도 6은 도 5의 열 처리 챔버의 정면도이다. FIG. 5 is a plan view schematically illustrating an example of the heat treatment chamber of FIG. 3 , and FIG. 6 is a front view of the heat treatment chamber of FIG. 5 .
도 5와 도 6을 참조하면, 열 처리 챔버(320)는 하우징(321), 냉각 유닛(322), 가열 유닛(323), 그리고 반송 플레이트(324)를 가진다. Referring to FIGS. 5 and 6 , the
하우징(321)은 대체로 직육면체의 형상으로 제공된다. 하우징(321)의 측벽에는 기판(W)이 출입되는 반입구(미도시)가 형성된다. 반입구는 개방된 상태로 유지될 수 있다. 선택적으로 반입구를 개폐하도록 도어(도시되지 않음)가 제공될 수 있다. 냉각 유닛(322), 가열 유닛(323), 그리고 반송 플레이트(324)는 하우징(321) 내에 제공된다. 냉각 유닛(322) 및 가열 유닛(323)은 제2 방향(14)을 따라 배열된다. 일 예에 의하면, 냉각 유닛(322)은 가열 유닛(323)에 비해 반송 챔버(350)에 더 가깝게 위치될 수 있다.The
냉각 유닛(322)은 냉각 판(322a)을 가진다. 냉각 판(322a)은 상부에서 바라볼 때 대체로 원형의 형상을 가질 수 있다. 냉각 판(322a)에는 냉각 부재(322b)가 제공된다. 일 예에 의하면, 냉각 부재(322b)는 냉각 판(322a)의 내부에 형성되며, 냉각 유체가 흐르는 유로로 제공될 수 있다. The
가열 유닛(323)은 가열 판(323a), 커버(323c), 그리고 히터(323b)를 가진다. 가열 판(323a)은 상부에서 바라볼 때 대체로 원형의 형상을 가진다. 가열 판(323a)은 기판(W)보다 큰 직경을 가진다. 가열 판(323a)에는 히터(323b)가 설치된다. 히터(323b)는 전류가 인가되는 발열 저항체로 제공될 수 있다. 가열 판(323a)에는 제3 방향(16)을 따라 상하 방향으로 구동 가능한 리프트 핀(323e)들이 제공된다. 리프트 핀(323e)은 가열 유닛(323) 외부의 반송 수단으로부터 기판(W)을 인수받아 가열 판(323a) 상에 내려놓거나 가열 판(323a)으로부터 기판(W)을 들어올려 가열 유닛(323) 외부의 반송 수단으로 인계한다. 일 예에 의하면, 리프트 핀(323e)은 3개가 제공될 수 있다. 커버(323c)는 내부에 하부가 개방된 공간을 가진다.The
커버(323c)는 가열 판(323a)의 상부에 위치되며 구동기(3236d)에 의해 상하 방향으로 이동된다. 커버(323c)가 이동되어 커버(323c)와 가열 판(323a)이 형성하는 공간은 기판(W)을 가열하는 가열 공간으로 제공된다. The
반송 플레이트(324)는 대체로 원판 형상을 제공되고, 기판(W)과 대응되는 직경을 가진다. 반송 플레이트(324)의 가장자리에는 노치(324b)가 형성된다. 노치(324b)는 상술한 반송 로봇(352)의 핸드(354)에 형성된 돌기(3543)와 대응되는 형상을 가질 수 있다. 또한, 노치(324b)는 핸드(354)에 형성된 돌기(3543)와 대응되는 수로 제공되고, 돌기(3543)와 대응되는 위치에 형성된다. 핸드(354)와 반송 플레이트(324)가 상하 방향으로 정렬된 위치에서 핸드(354)와 반송 플레이트(324)의 상하 위치가 변경하면 핸드(354)와 반송 플레이트(324) 간에 기판(W)의 전달이 이루어진다. 반송 플레이트(324)는 가이드 레일(324d) 상에 장착되고, 구동기(324c)에 의해 가이드 레일(324d)을 따라 제1영역(3212)과 제2영역(3214) 간에 이동될 수 있다. 반송 플레이트(324)에는 슬릿 형상의 가이드 홈(324a)이 복수 개 제공된다. 가이드 홈(324a)은 반송 플레이트(324)의 끝 단에서 반송 플레이트(324)의 내부까지 연장된다. 가이드 홈(324a)은 그 길이 방향이 제2 방향(14)을 따라 제공되고, 가이드 홈(324a)들은 제1 방향(12)을 따라 서로 이격되게 위치된다. 가이드 홈(324a)은 반송 플레이트(324)와 가열 유닛(323) 간에 기판(W)의 인수인계가 이루어질 때 반송 플레이트(324)와 리프트 핀(323e)이 서로 간섭되는 것을 방지한다. The conveying
기판(W)의 냉각은 기판(W)이 놓인 반송 플레이트(324)가 냉각 판(322a)에 접촉된 상태에서 이루어진다. 냉각 판(322a)과 기판(W) 간에 열 전달이 잘 이루어지도록 반송 플레이트(324)는 열 전도성이 높은 재질로 제공된다. 일 예에 의하면, 반송 플레이트(324)는 금속 재질로 제공될 수 있다. Cooling of the substrate W is performed in a state where the
열 처리 챔버(320)들 중 일부의 열처리 챔버(320)에 제공된 가열 유닛(323)은 기판(W) 가열 중에 가스를 공급하여 기판 상에 포토레지스트의 부착율을 향상시킬 수 있다. 일 예에 의하면, 가스는 헥사메틸디실란(HMDS, hexamethyldisilane) 가스일 수 있다. The
다시 도 1 내지 도 3을 참조하면, 액 처리 챔버(360)는 복수 개로 제공된다. 액 처리 챔버(360)들 중 일부는 서로 적층되도록 제공될 수 있다. 일 예로, 액 처리 챔버(360)는 하나의 챔버에 다수의 도포 유닛들이 배치된 멀티 유닛 배치 구조를 갖는다. 멀티 유닛 배치 방식의 액 처리 챔버는 상부에 공조 장치(800)가 설치되며, 공조 장치(800)로부터 공기의 다운 플로우 상태에서 공정을 실시하게 된다. Referring back to FIGS. 1 to 3 , a plurality of
액 처리 챔버(360)들은 반송 챔버(350)의 일 측에 배치된다. 액 처리 챔버(360)들은 제1 방향(12)을 따라 나란히 배열된다. 액 처리 챔버(360)들 중 어느 일부는 인덱스 모듈(100)과 인접한 위치에 제공된다. 이하, 인덱스 모듈(100)에 인접하게 위치한 액 처리 챔버(360)를 전단 액 처리 챔버(362)(front liquid processing chamber)라 칭한다. 액 처리 챔버(360)들 중 다른 일부는 인터페이스 모듈(500)과 인접한 위치에 제공된다. 이하, 인터레이스 모듈(500)에 인접하게 위치한 액 처리 챔버(360)를 후단 액처리 챔버(364)(rear heat processing chamber)라 칭한다. The
전단 액 처리 챔버(362)는 기판(W)상에 제1액을 도포하고, 후단 액 처리 챔버(364)는 기판(W) 상에 제2액을 도포한다. 제1액과 제2액은 서로 상이한 종류의 액일 수 있다. 일 실시 예에 의하면, 제1액은 반사 방지막이고, 제2액은 포토레지스트이다. 포토레지스트는 반사 방지막이 도포된 기판(W) 상에 도포될 수 있다. 선택적으로 제1액은 포토레지스트이고, 제2액은 반사 방지막일 수 있다. 이 경우, 반사 방지막은 포토레지스트가 도포된 기판(W) 상에 도포될 수 있다. 선택적으로 제1액과 제2액은 동일한 종류의 액이고, 이들은 모두 포토레지스트일 수 있다.The previous
현상 블록(300b)은 도포 블록(300a)과 동일한 구조를 가지며, 현상 블록(300b)에 제공된 액 처리 챔버는 기판 상에 현상액을 공급한다.The developing
인터페이스 모듈(500)은 처리 모듈(300)을 외부의 노광 장치(700)와 연결한다. 인터페이스 모듈(500)은 인터페이스 프레임(510), 부가 공정 챔버(520), 인터페이스 버퍼(530), 그리고 인터페이스 로봇(550)을 가진다. The
인터페이스 프레임(510)의 상단에는 내부에 하강기류를 형성하는 팬필터유닛이 제공될 수 있다. 부가 공정 챔버(520), 인터페이스 버퍼(530), 그리고 인터페이스 로봇(550)은 인터페이스 프레임(510)의 내부에 배치된다. 부가 공정 챔버(520)는 도포 블록(300a)에서 공정이 완료된 기판(W)이 노광 장치(700)로 반입되기 전에 소정의 부가 공정을 수행할 수 있다. 선택적으로 부가 공정 챔버(520)는 노광 장치(700)에서 공정이 완료된 기판(W)이 현상 블록(300b)으로 반입되기 전에 소정의 부가 공정을 수행할 수 있다. 일 예에 의하면, 부가 공정은 기판(W)의 에지 영역을 노광하는 에지 노광 공정, 또는 기판(W)의 상면을 세정하는 상면 세정 공정, 또는 기판(W)의 하면을 세정하는 하면 세정공정일 수 있다. 부가 공정 챔버(520)는 복수 개가 제공되고, 이들은 서로 적층되도록 제공될 수 있다. 부가 공정 챔버(520)는 모두 동일한 공정을 수행하도록 제공될 수 있다. 선택적으로 부가 공정 챔버(520)들 중 일부는 서로 다른 공정을 수행하도록 제공될 수 있다.A fan filter unit forming a downdraft therein may be provided at the upper end of the
인터페이스 버퍼(530)는 도포 블록(300a), 부가 공정 챔버(520), 노광 장치(700), 그리고 현상 블록(300b) 간에 반송되는 기판(W)이 반송도중에 일시적으로 머무르는 공간을 제공한다. 인터페이스 버퍼(530)는 복수 개가 제공되고, 복수의 인터페이스 버퍼(530)들은 서로 적층되게 제공될 수 있다.The
일 예에 의하면, 반송 챔버(350)의 길이 방향의 연장선을 기준으로 일 측면에는 부가 공정 챔버(520)가 배치되고, 다른 측면에는 인터페이스 버퍼(530)가 배치될 수 있다.According to an example, the
인터페이스 로봇(550)은 도포 블록(300a), 부가 공정 챔버(520), 노광 장치(700), 그리고 현상 블록(300b) 간에 기판(W)을 반송한다. 인터페이스 로봇(550)은 기판(W)을 반송하는 반송 핸드를 가질 수 있다. 인터페이스 로봇(550)은 1개 또는 복수 개의 로봇으로 제공될 수 있다. 일 예에 의하면, 인터페이스 로봇(550)은 제1로봇(552) 및 제2로봇(554)을 가진다. 제1로봇(552)은 도포 블록(300a), 부가 공정 챔버(520), 그리고 인터페이스 버퍼(530) 간에 기판(W)을 반송하고, 제2로봇(554)은 인터페이스 버퍼(530)와 노광 장치(700) 간에 기판(W)을 반송하고, 제2로봇(4604)은 인터페이스 버퍼(530)와 현상 블록(300b) 간에 기판(W)을 반송하도록 제공될 수 있다.The
제1로봇(552) 및 제2로봇(554)은 각각 기판(W)이 놓이는 반송 핸드를 포함하며, 핸드는 전진 및 후진 이동, 제3 방향(16)에 평행한 축을 기준으로 한 회전, 그리고 제3 방향(16)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다. The
이하에서는, 액 처리 챔버의 구조에 대해서 상세히 설명한다. 아래에서는 도포 블록에 제공된 액 처리 챔버를 예로 들어 설명한다. 또한, 액 처리 챔버는 기판(W) 상에 포토 레지스트를 도포하는 챔버인 경우를 예로 들어 설명한다. 그러나, 액 처리 챔버는 기판(W)에 보호막 또는 반사 방지막과 같은 막을 형성하는 챔버일 수 있다. 또한, 액 처리 챔버는 기판(W)에 현상액을 공급하여 기판(W)을 현상 처리하는 챔버일 수 있다.Hereinafter, the structure of the liquid processing chamber will be described in detail. Below, the liquid treatment chamber provided in the application block will be described as an example. In addition, a case where the liquid processing chamber is a chamber for coating a photoresist on the substrate W will be described as an example. However, the liquid processing chamber may be a chamber for forming a film such as a protective film or an anti-reflection film on the substrate W. Also, the liquid processing chamber may be a chamber that develops the substrate W by supplying a developing solution to the substrate W.
도 7은 회전하는 기판(W)에 처리액을 공급하여 기판(W)을 액 처리하는 액 처리 챔버의 일 실시예를 보여주는 단면도이고, 도 8은 도 7의 액 처리 챔버의 평면도이다. FIG. 7 is a cross-sectional view showing an embodiment of a liquid processing chamber for liquid processing the substrate W by supplying a processing liquid to the rotating substrate W, and FIG. 8 is a plan view of the liquid processing chamber of FIG. 7 .
도 7과 도 8을 참조하면, 액 처리 챔버(1000)는 하우징(1100), 제1 처리 유닛(1201a), 제2 처리 유닛(1201b), 액 공급 유닛(1400), 배기 유닛(1600), 그리고 제어기(1800)를 포함한다. 7 and 8 , the
하우징(1100)은 내부 공간을 가지는 직사각의 통 형상으로 제공된다. 하우징(1100)의 일측에는 개구(1101a, 1101b)가 형성된다. 개구(1101a, 1101b)는 기판(W)이 반출입되는 통로로 기능한다. 개구(1101a, 1101b)에는 도어(1103a, 1103b)가 설치되며, 도어(1103a, 1103b)는 개구(1101a, 1101b)를 개폐한다. The
하우징(1100)의 상벽에는 그 내부 공간으로 하강기류를 공급하는 필터 박스를 갖는 공조 장치(800)가 배치된다. 공조 장치(800)는 외부의 공기를 내부 공간으로 도입하여 여과하는 필터를 가진다.An
하우징(1100)의 내부 공간에는 제1 처리 유닛(1201a)과 제2 처리 유닛(1201b)이 제공된다. 제1 처리 유닛(1201a)과 제2 처리 유닛(1201b)은 일 방향을 따라 배열된다. A
제1 처리 유닛(1201a)은 제1 처리 용기(1220a)와 제1 지지 유닛(1240a)을 가진다. The
제1 처리 용기(1220a)는 제1 내부 공간(1222a)을 가진다. 제1 내부 공간(1222a)은 상부가 개방되도록 제공된다. The
제1 지지 유닛(1240a)은 제1 처리 용기(1220a)의 제1 내부 공간(1222a)에서 기판(W)을 지지한다. 제1 지지 유닛(1240a)은 제1 지지판(1242a), 제1 구동축(1244a), 그리고 제1 구동기(1246a)를 가진다. 제1 지지판(1242a)은 그 상부면이 원형으로 제공된다. 제1 지지판(1242a)은 기판(W)보다 작은 직경을 가진다. 제1 지지판(1242a)은 진공압에 의해 기판(W)을 지지하도록 제공된다. 선택적으로 제1 지지판(1242a)은 기판(W)을 지지하는 기계적 클램핑 구조를 가질 수 있다. 제1 지지판(1242a)의 저면 중앙에는 제1 구동축(1244a)이 결합되고, 제1 구동축(1244a)에는 제1 구동축(1244a)에 회전력을 제공하는 제1 구동기(1246a)가 제공된다. 제1 구동기(1246a)는 모터일 수 있다.The
제2 처리 유닛(1201b)은 제2 처리 용기(1220b)와 제2 지지 유닛(1240b)을 가지고, 제2 지지 유닛(1240b)은 제2 지지판(1242b), 제2 구동축(1244b), 그리고 제2 구동기(1246b)를 가진다. 제2 처리 용기(1220b) 및 제2 지지 유닛(1240b)은 제1 처리 용기(1220a) 및 제1 지지 유닛(1240a)과 대체로 동일한 구조를 가진다. The
액 공급 유닛(1400)은 기판(W) 상에 액을 공급한다. 액 공급 유닛(1400)은 제1 노즐(1420a), 제2 노즐(1420b), 그리고 처리액 노즐(1440)을 포함한다. 제1 노즐(1420a)은 제1 지지 유닛(1240a)에 제공된 기판(W)에 액을 공급하고, 제2 노즐(1420b)은 제2 지지 유닛(1240b)에 제공된 기판(W)에 액을 공급한다. 제1 노즐(1420a)과 제2 노즐(1420b)은 동일한 종류의 액을 공급하도록 제공될 수 있다. 일 예에 의하면, 제1 노즐(1420a)과 제2 노즐(1420b)은 기판(W)을 세정하는 린스액을 공급할 수 있다. 예컨대, 린스액은 물(water)일 수 있다. 다른 예에 의하면, 제1 노즐(1420a)과 제2 노즐(1420b)은 기판(W)의 에지 영역에서 포토레지스트를 제거하는 제거액을 공급할 수 있다. 예컨대, 제거액은 시너(thinner)일 수 있다. 제1 노즐(1420a)과 제2 노즐(1420b)은 각각 그 회전축을 중심으로 공정 위치와 대기 위치 간에 회전될 수 있다. 공정 위치는 기판(W) 상에 액을 토출하는 위치이고, 대기 위치는 기판(W) 상에 액의 토출 없이 제1 노즐(1420a) 및 제2 노즐(1420b)이 각각 대기하는 위치이다.The
처리액 노즐(1440)은 제1 지지 유닛(1240a)에 제공된 기판(W) 및 제2 지지 유닛(1240b)에 제공된 기판(W)에 처리액을 공급한다. 처리액은 포토 레지스트일 수 있다. 처리액 노즐(1440)이 가이드(1442)를 따라서 제1공정 위치, 대기 위치, 그리고 제2공정 위치 간에 이동되도록 노즐 구동기(1448)은 처리액 노즐(1440)을 구동한다. 제1공정 위치는 제1 지지 유닛(1240a)에 지지된 기판(W)으로 처리액을 공급하는 위치이고, 제2공정 위치는 제2 지지 유닛(1240b)에 지지된 기판(W)으로 처리액을 공급하는 위치이다. 대기 위치는 처리액 노즐(1440)로부터 포토레지스트의 토출이 이루어지지 않을 때 제1 처리 유닛(1201a)과 제2 처리 유닛(1201b) 사이에 위치된 대기 포트(1444)에서 대기하는 위치이다.The
제1 처리 용기(1220a)의 내부 공간(1201a)에는 기액 분리판(1229a)이 제공될 수 있다. 기액 분리판(1229a)는 제1 처리 용기(1220a)의 바닥벽으로부터 상부로 연장되게 제공될 수 있다. 기액 분리판(1229a)은 링 형상으로 제공될 수 있다. A gas-
일 예에 의하면, 기액 분리판(1229a)의 외측은 액 배출을 위한 배출 공간으로 제공되고, 기액 분리판(1229a)의 내측은 분위기 배기를 위한 배기 공간으로 제공될 수 있다. 제1 처리 용기(1220a)의 바닥벽에는 처리액을 배출하는 배출관(1228a)이 연결된다. 배출관(1228a)은 제1 처리 용기(1220a)의 측벽과 기액 분리판(1229a) 사이로 유입된 처리액을 제1 처리 용기(1220a)의 외부로 배출한다. 제1 처리 용기(1220a)의 측벽과 기액 분리판(1229a) 사이의 공간으로 흐르는 기류는 기액 분리판(1229a)의 내측으로 유입된다. 이 과정에서 기류 내에 함유된 처리액은 배출 공간에서 배출관(1228a)을 통해 제1 처리 용기(1220a)의 외부로 배출되고, 기류는 제1 처리 용기(1220a)의 배기 공간으로 유입된다.According to an example, the outer side of the gas-
도시하지 않았으나, 제1 지지판(1242a)과 제1 처리 용기(1220a)의 상대 높이를 조절하는 승강 구동기가 제공될 수 있다. Although not shown, a lift driver for adjusting relative heights of the
도 9는 도 3의 반송 로봇의 일 예를 보여주는 사시도이다. 9 is a perspective view showing an example of the transfer robot of FIG. 3 .
이하, 도 9의 로봇(900)은, 도 3의 반송 로봇인 것으로 설명한다. 그러나 이와 달리, 반송 로봇은 인덱스 로봇일 수 있고, 선택적으로 기판 처리 장치(1) 내에 제공되는 다른 로봇일 수 있다. Hereinafter, the
도 9를 참조하면, 반송 로봇(900)은 로봇 본체(902), 수평 구동부(930), 수직 구동부(940)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 9 , the
로봇 본체(902)는 기판을 지지하여 진퇴(X 방향) 동작과 회전 동작(θ방향)이 가능한 핸드(910)와 핸드(910)를 지지하는 베이스를 포함하는 핸드 구동부(920)를 포함할 수 있다. The
핸드 구동부(920)는 핸드(910)를 각각 수평 이동시키며, 핸드(910)는 핸드 구동부(920)에 의해 개별 구동된다. 핸드 구동부(920)에는 내부의 구동부(미도시됨)와 연결된 연결암(912)을 포함하며, 연결암(912)의 단부에는 핸드(910)가 설치된다. 본 실시예에 있어서, 반송 로봇(900)은 2개의 핸드(910)를 구비하나, 핸드(910)의 개수는 기판 처리 시스템(1000)의 공정 효율에 따라 증가할 수도 있다. 핸드 구동부(920)의 아래에는 회전부(미도시됨)가 설치된다. 회전부는 핸드 구동부(920)와 결합하고, 회전하여 핸드 구동부(920)를 회전시킨다. 이에 따라, 핸드(910)들이 함께 회전한다. The hand driving unit 920 moves the
수평 구동부(930)와 수직 구동부(940)는 하나의 몸체 프레임(990)에 장착된다. The
몸체 프레임(990)은 수개의 프레임이 서로 결합된 형태로 제공될 수 있다. 몸체 프레임(990)은 로봇 본체를 Y 방향으로 안내하는 상부 수평 구동부(930a)와 하부 수평 구동부(930b), 상하부 수평 구동부(930a,930b) 사이에 수직 방향으로 세워진 수직 보조 프레임(992), 하부 수평 구동부(930b)와는 평행하게 연장되어 몸체 프레임(990) 형태를 만드는 수평 보조 프레임(993), 상하부 수평 구동부(930a,930b)와 수평 보조 프레임(993)의 끝단을 서로 결합되도록 하여 몸체 프레임(990)의 측부 형태를 만드는 결합 보조 프레임(994)으로 구성될 수 있다.The
이와 같이, 몸체 프레임(990)은 다수개의 보조 프레임(992,993,994)에 의해 결합되어 있으므로 그 강성이 강화되고, 이에 따라 장시간 사용시에도 그 형태를 온전히 유지할 수 있는 등 내구성이 강화된다. In this way, since the
수평 구동부(930a,930b)는 상술한 바와 같이 로봇 본체(902)를 Y 방향으로 이동시키기 위한 주행 가이드로서, 수직 구동부(940)의 양 선단부와 결합된다. 수평 구동부(930a,930b) 중에서 특히 하부 수평 구동부(930b)의 내면에는 이송 벨트를 포함하는 수평 방향 구동부(미도시됨)가 내장된다. 따라서, 이송 벨트의 구동에 의해 로봇 본체(902)는 수평 구동부(930a,930b)를 따라 수평 이동된다. As described above, the
수직 구동부(940)는 로봇 본체(902)를 Z 방향으로 이동시키기 위한 일종의 주행 구동부로서, 상하부 수평 구동부(930b,930a)와 결합된다. 따라서, 로봇 본체(902)는 수평 구동부(930b,930a)에 의해 안내되어 Y 방향으로 이동되는 동시에 수직 구동부(940)에 의해 안내되어 Z 방향으로도 이동될 수 있다. 즉, 로봇 본체(902)는 Y 방향과 Z 방향의 합에 상당하는 사선 방향으로 이동될 수 있는 것이다. The
한편, 수직 구동부(940)는 서로 이격된 복수개, 예를 들어, 두개의 수직한 프레임으로 구성되는 바, 두개의 프레임 사이의 이격된 공간으로 로봇 본체(902)는 자유로이 드나들 수 있다. On the other hand, the
수직 구동부(940)의 수직 프레임(950) 내부에는 이송 벨트를 포함하는 수직 방향 구동부(이하 수직 구동부라 함)가 내장된다. Inside the
도 10은 적층 배치된 열처리 챔버들을 보여주는 사시도이고, 도 11은 열처리 챔버에 유틸리티 케이블이 연결된 상태를 보여주는 도면이며, 도 12는 도 10 및 도 11에 도시된 그로멧을 설명하기 위한 사시도이다. 도 13 및 도 14는 그로멧의 닫힘 및 열림 상태를 보여주는 도면들이다. FIG. 10 is a perspective view showing stacked heat treatment chambers, FIG. 11 is a view showing a state in which utility cables are connected to the heat treatment chambers, and FIG. 12 is a perspective view for explaining the grommets shown in FIGS. 10 and 11 . 13 and 14 are views showing closed and opened states of the grommet.
도 10 내지 도 14를 참조하면, 열처리 챔버(320)들은 설비 프레임(810)에 적층 배치될 수 있다. 설비 프레임(810)의 일측에는 유틸리티 공간(820)이 제공된다. Referring to FIGS. 10 to 14 ,
여기서, 설비 프레임(810)에 열처리 챔버(3200들이 적층 배치된 것으로 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 설비 프레임(810)에는 액처리 챔버와 같은 다양한 기판 처리 유닛들이 적층 배치될 수 있다. Here, although the heat treatment chambers 3200 are illustrated as being stacked and disposed on the
그로멧(600)은 유틸리티 공간(820)과 열처리 챔버(320) 사이의 일측면에 형성된 케이블 삽입구(도 12에 도시됨;321)) 상에 제공될 수 있다. 그로멧(600)은 유틸리티 케이블(601)의 손상 방지 및 열처리 챔버(320) 내부와 외부(유틸리티 공간) 간의 기류를 최소화하기 위해 제공된다. The
일 실시예에 따르면, 그로멧(600)은 제1도어(610)와 제2도어(620)를 포함할 수 있다. 제1도어(610)와 제2도어(620) 사이에는 유틸리티 케이블(601)의 인입을 위한 개구(틈새;602)가 제공될 수 있다. 개구(602)는 제1도어(610)와 제2도어(620)의 이격 공간에 의해 제공될 수 있다. 일 예로, 개구(602)는 슬롯 형태로 제공될 수 있다.According to one embodiment, the
제1도어(610)와 상기 제2도어(620)는 유틸리티 케이블(601) 배설 작업이 용이하도록 회동될 수 있다. 이를 위해 제1도어(610)와 제2도어(620)의 일측이 힌지(630) 결합된다. The
제1도어(610)와 제2도어(620)는 닫힘 방향으로 원위치되도록 탄성력을 제공하는 탄성부재가 힌치(630) 내에 제공될 수 있다. An elastic member providing elastic force may be provided in the
제1도어(610)는 제1차단시트(614)와 제1프레임(612)을 포함할 수 있다. 제1차단시트(614)는 개구(602)를 통과하는 유틸리티 케이블(601)과 접촉되는 부분으로 플렉시블한 소재로 제공될 수 있다. 일 예로, 제1차단 시트(614)는 EPDM(ethylene propylene diene monomer)일 수 있다. 제1프레임(612)은 제1차단 시트(614)의 가장자리를 지지하도록 제공될 수 있다. 일 예로, 제1프레임(612)은 정면에서 바라보았을 때 제2도어(620)와 인접한 제1차단 시트(614)의 일측 가장자리를 제외한 나머지 가장자리를 따라 제공될 수 있다. The
제2도어(620)는 제2차단시트(624)와 제2프레임(622)을 포함할 수 있다. 제2차단시트(624)는 개구(602)를 통과하는 유틸리티 케이블(601)과 접촉되는 부분으로 플렉시블한 소재로 제공될 수 있다. 일 예로, 제2차단 시트(624)는 EPDM(ethylene propylene diene monomer)일 수 있다. 제2프레임(622)은 제2차단 시트(624)의 가장자리를 지지하도록 제공될 수 있다. 일 예로, 제2프레임(622)은 정면에서 바라보았을 때 제1도어(610)와 인접한 제2차단 시트(624)의 일측 가장자리를 제외한 나머지 가장자리를 따라 제공될 수 있다. The
상술한 바와 같이, 그로멧(600)은 벽면 고정형 클램프 타입으로 일정한 형상을 유지할 수 있어 작업자에 따라 달라지는 설비 내부 기류 편차를 줄일 수 있다.As described above, the
도 15 및 도 16은 그로멧의 다른 실시예를 보여주는 도면들이다.15 and 16 are views showing another embodiment of the grommet.
도 15 및 도 16에서와 같이, 그로멧(600a)은 도 12에 도시된 그로멧(600)과 거의 동일한 구성으로 제공될 수 있다. As shown in FIGS. 15 and 16 , the
다만, 본 실시예의 그로멧(600a)은 개구(602)가 원형으로 제공된다는데 그 차이점이 있다. 즉, 개구(602)는 제1차단 시트(614a)의 일측 가장자리와 제2차단 시트(624a)의 일측 가장자리에는 호 형상의 오목한 홈(616,626)에 의해 제공되며, 이들에 의해 유틸리티 케이블(601)이 통과할 수 있는 통로가 제공된다. However, the
도 17은 그로멧의 변형예를 보여주는 도면이다. 17 is a view showing a modified example of a grommet.
도 17에서와 같이, 변형예에 따른 그로멧(600b)은 복수의 개구들이 제공된다는데 그 특징이 있다. 일 예로, 제1차단 시트(614b)의 일측 가장자리와 제2차단 시트(624b)의 일측 가장자리에 그 길이방향을 따라 호 형상의 오목한 홈(617,627)들이 다수개 제공되며, 각각의 개구에는 하나의 유틸리티 케이블(602)이 인입될 수 있다. As shown in FIG. 17, the
이상의 실시 예들은 본 발명의 이해를 돕기 위하여 제시된 것으로, 본 발명의 범위를 제한하지 않으며, 이로부터 다양한 변형 가능한 실시 예들도 본 발명의 범위에 속하는 것임을 이해하여야 한다. 본 발명의 기술적 보호범위는 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이며, 본 발명의 기술적 보호범위는 특허청구범위의 문언적 기재 그 자체로 한정되는 것이 아니라 실질적으로는 기술적 가치가 균등한 범주의 발명에 대하여까지 미치는 것임을 이해하여야 한다.It should be understood that the above embodiments are presented to aid understanding of the present invention, do not limit the scope of the present invention, and various deformable embodiments also fall within the scope of the present invention. The scope of technical protection of the present invention should be determined by the technical spirit of the claims, and the scope of technical protection of the present invention is not limited to the literal description of the claims themselves, but is substantially equal to the scope of technical value. It should be understood that it extends to the invention of.
100 : 인덱스 모듈
300 : 처리 모듈
500 : 인터페이스 모듈
900 : 반송 로봇
600 : 그로멧
601 : 개구
602 : 유틸리티 케이블
610 : 제1도어
620 : 제2도어100: index module 300: processing module
500: interface module 900: transfer robot
600: grommet 601: opening
602: utility cable 610: first door
620: second door
Claims (14)
상기 처리 유닛이 다단으로 적층 배치되는 그리고 일측에 유틸리티 공간을 제공하는 설비 프레임;
상기 유틸리티 공간과 상기 처리 유닛 사이의 벽면에 제공되고, 유틸리티 케이블 배선을 위한 그로멧을 포함하되;
상기 그로멧은
제1도어와 제2도어를 포함하고, 상기 제1도어와 상기 제2도어 사이에 유틸리티 케이블의 인입을 위한 개구가 제공되는 기판 처리 장치.processing unit;
a facility frame in which the processing units are stacked in multiple stages and provides a utility space on one side;
It is provided on a wall surface between the utility space and the processing unit, and includes a grommet for wiring a utility cable;
The grommet
A substrate processing apparatus comprising a first door and a second door, wherein an opening for introducing a utility cable is provided between the first door and the second door.
상기 제1도어와 상기 제2도어는 상기 유틸리티 케이블 인입을 위해 회동이 가능하도록 일측이 힌지 결합되는 기판 처리 장치.According to claim 1,
The substrate processing apparatus wherein one side of the first door and the second door is hinged so as to be rotatable for the utility cable entry.
상기 제1도어와 상기 제2도어는
상기 개구를 밀폐하기 위한 방향으로 원위치되도록 탄성력을 제공하는 탄성부재를 더 포함하는 기판 처리 장치.According to claim 1,
The first door and the second door
The substrate processing apparatus further comprises an elastic member providing an elastic force to return to the original position in a direction for sealing the opening.
상기 제1도어는
상기 개구를 통과하는 상기 유틸리티 케이블과 접촉되는 플렉시블한 소재의 제1차단 시트; 및
상기 제1차단 시트의 가장자리를 지지하도록 제공되고, 정면에서 바라보았을 때 상기 제2도어와 인접한 상기 제1차단 시트의 일측 가장자리를 제외한 나머지 가장자리를 따라 제공되는 제1프레임을 포함하는 기판 처리 장치.According to claim 1 or 2,
The first door
a first blocking sheet made of a flexible material in contact with the utility cable passing through the opening; and
and a first frame provided to support an edge of the first blocking sheet and provided along an edge other than one edge of the first blocking sheet adjacent to the second door when viewed from the front.
상기 제2도어는
상기 개구를 통과하는 상기 유틸리티 케이블과 접촉되는 플렉시블한 소재의 제2차단 시트; 및
상기 제2차단 시트의 가장자리를 지지하도록 제공되고, 정면에서 바라보았을 때 상기 제1도어와 인접한 상기 제2차단 시트의 일측 가장자리를 제외한 나머지 가장자리를 따라 제공되는 제2프레임을 포함하는 기판 처리 장치.According to claim 4,
the second door
a second blocking sheet made of a flexible material in contact with the utility cable passing through the opening; and
and a second frame provided to support an edge of the second blocking sheet and provided along an edge other than one edge of the second blocking sheet adjacent to the first door when viewed from the front.
상기 개구는
상기 제1차단 시트와 상기 제2차단 시트 사이에 슬롯 형태로 제공되는 기판 처리 장치.According to claim 5,
the opening
A substrate processing apparatus provided in the form of a slot between the first blocking sheet and the second blocking sheet.
상기 개구는
상기 제1차단 시트의 일측 가장자리와 상기 제2차단 시트의 일측 가장자리에 호 형상으로 제공되는 기판 처리 장치.According to claim 4,
the opening
A substrate processing apparatus provided in an arc shape on one edge of the first blocking sheet and one edge of the second blocking sheet.
제1도어;
상기 제1도어와 나란히 위치되는 제2도어를 포함하되,
상기 제1도어와 상기 제2도어 사이에 유틸리티 케이블의 인입을 위한 개구가 제공되는 그로멧. In the grommet installed on the chamber wall through which the utility line passes:
first door;
Including a second door positioned side by side with the first door,
A grommet provided with an opening for entering a utility cable between the first door and the second door.
상기 제1도어와 상기 제2도어는 상기 유틸리티 케이블 인입을 위해 회동이 가능하도록 일측이 힌지 결합되는 그로멧. According to claim 8,
The grommet wherein one side of the first door and the second door is hinged so as to be able to rotate for the utility cable entry.
상기 제1도어와 상기 제2도어는
상기 개구를 밀폐하기 위한 방향으로 원위치되도록 탄성력을 제공하는 탄성부재를 더 포함하는 그로멧. According to claim 9,
The first door and the second door
Grommet further comprising an elastic member providing an elastic force so that the original position in the direction for sealing the opening.
상기 제1도어는
상기 개구를 통과하는 상기 유틸리티 케이블과 접촉되는 플렉시블한 소재의 제1차단 시트; 및
상기 제1차단 시트의 가장자리를 지지하도록 제공되고, 정면에서 바라보았을 때 상기 제2도어와 인접한 상기 제1차단 시트의 일측 가장자리를 제외한 나머지 가장자리를 따라 제공되는 제1프레임을 포함하는 그로멧. According to claim 9,
The first door
a first blocking sheet made of a flexible material in contact with the utility cable passing through the opening; and
A grommet comprising a first frame provided to support an edge of the first blocking sheet and provided along an edge other than one edge of the first blocking sheet adjacent to the second door when viewed from the front.
상기 제2도어는
상기 개구를 통과하는 상기 유틸리티 케이블과 접촉되는 플렉시블한 소재의 제2차단 시트; 및
상기 제2차단 시트의 가장자리를 지지하도록 제공되고, 정면에서 바라보았을 때 상기 제1도어와 인접한 상기 제2차단 시트의 일측 가장자리를 제외한 나머지 가장자리를 따라 제공되는 제2프레임을 포함하는 그로멧. According to claim 11,
the second door
a second blocking sheet made of a flexible material in contact with the utility cable passing through the opening; and
A grommet comprising a second frame provided to support an edge of the second blocking sheet and provided along an edge other than one edge of the second blocking sheet adjacent to the first door when viewed from the front.
상기 개구는
상기 제1차단 시트와 상기 제2차단 시트 사이에 슬롯 형태로 제공되는 그로멧. According to claim 12,
the opening
A grommet provided in the form of a slot between the first blocking sheet and the second blocking sheet.
상기 개구는
상기 제1차단 시트의 일측 가장자리와 상기 제2차단 시트의 일측 가장자리에 호 형상으로 제공되는 그로멧.
According to claim 12,
the opening
A grommet provided in an arc shape on one edge of the first blocking sheet and one edge of the second blocking sheet.
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