KR20220055406A - 수지 밀봉 장치 및 워크 반송 방법 - Google Patents

Abstract

[과제] 밀봉 금형에 대한 성형 전후의 워크 반입 반출 동작을 효율적으로 행하여, 장치의 가동 효율을 높이고, 설비 비용도 저감할 수 있는 수지 밀봉 장치를 제공한다.
[해결 수단] 반송 장치(3)의 하형 대향면에는 성형 전의 워크(W)를 유지하는 워크 유지부(3c)와 수지(R)를 유지하는 수지 유지부(3d)가 설치되고, 상형 대향면에는 성형 후의 워크(W)를 상형면으로부터 받는 워크 수취부(3a)가 설치되어 있다.

Description

수지 밀봉 장치 및 워크 반송 방법{RESIN SEALING APPARATUS AND WORK TRANSPORTING METHOD}

본 발명은 밀봉 금형에 성형 전의 워크와 수지의 반입과 성형 후 워크의 반출을 동시에 행하는 반송 장치를 탑재한 트랜스퍼 성형에 의한 수지 밀봉 장치 및 워크 반송 방법에 관한 것이다.

수지 밀봉 장치는 로더에 의해 성형 전의 워크(기판 등)를 워크 공급부로부터 밀봉 금형에 반입하여 밀봉 금형에서 수지 밀봉한 후, 언로더에 의해 성형 후의 워크를 밀봉 금형으로부터 반출하고 불필요 수지를 분리하여 성형품을 성형품 수납부에 수납하도록 되어 있다. 로더 및 언로더는 공통의 가이드 레일 위를 이동 가능하게 설치되고, 프레스부에 갖춘 밀봉 금형에 번갈아 이동 가능하게 설치되어 있다(특허문헌 1참조).

또, 반송 장치가 성형 전후의 워크를 유지하는 기능을 가지고, 성형 전의 워크 및 수지를 유지하여 하형에 반입하고, 성형 후의 워크 및 불필요 수지(스크랩)를 하형으로부터 받아 반출하는 수지 밀봉 장치도 제안되어 있다(특허문헌 2 참조).

일본 특개 2008-179025호 공보 일본 특개 2020-26088호 공보

상기한 특허문헌 1, 2에 개시하는 수지 밀봉 장치에서는, 밀봉 금형을 형 개방한 상태에서 로더가 진퇴하여 성형 전의 워크를 반입하고, 로더 또는 언로더가 성형 후의 워크를 반출하는 반입 반출 동작은 밀봉 금형의 수지 밀봉 동작에서 보면 다운타임이 되어, 장치의 가동 효율이 저하한다.

특히 로더나 언로더가 번갈아 밀봉 금형에 진퇴 이동하는 시간의 로스가 커, 다운타임의 연장으로 이어지고 있었다.

본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어졌으며, 밀봉 금형에 대한 성형 전후의 워크 반입 반출 동작을 효율적으로 행하여, 장치의 가동 효율을 높이고, 설비 비용도 저감할 수 있는 수지 밀봉 장치 및 워크 반송 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 이하의 구성을 갖춘다.

워크 및 수지를 유지하여 밀봉 금형에 반송하고, 상기 밀봉 금형으로부터 성형 후의 워크를 받아 반출하는 반송 장치를 갖춘 트랜스퍼 성형에 의한 수지 밀봉 장치로서, 상기 반송 장치의 하형 대향면에는 성형 전의 워크를 유지하는 워크 유지부와 수지를 유지하는 수지 유지부가 설치되고, 상형 대향면에는 성형 후의 워크를 상형면으로부터 받는 워크 수취부가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

이것에 의해, 반송 장치에 의해 성형 전의 워크를 워크 유지부에서 유지하고, 태블릿 수지를 수지 유지부에서 유지한 채, 형 개방한 밀봉 금형 내에 진입하여 성형 전의 워크 및 수지를 하형에 전달하고, 성형 후의 워크를 상형으로부터 워크 수취부에 받아 반출할 수 있다. 따라서, 반송 장치에 의한 1회의 밀봉 금형으로의 진퇴 동작으로, 성형 전후의 워크의 반입 반출 동작을 효율적으로 행할 수 있어, 장치의 가동 효율을 높이고, 설비 비용도 저감할 수 있다.

상기 반송 장치에는 밀봉 금형에 진입할 때, 워크를 공급하는 하형 클램프면을 클리닝하고, 상기 밀봉 금형으로부터 퇴피할 때, 상형 클램프면을 클리닝하는 클리너가 설치되어 있는 것이 바람직하다.

이것에 의해, 반송 장치의 1회의 밀봉 금형으로의 진퇴 동작에 의해, 하형 클램프면을 클리닝하고 나서 성형 전의 워크를 공급할 수 있고, 성형 후의 워크를 받고 나서 상형 클램프면을 클리닝할 수 있다. 따라서, 워크의 반입 반출 동작에 맞추어 상하 금형 클램프면의 클리닝 동작을 모두 행함으로써, 장치의 가동 효율이 높아지는데다 설비 비용도 저감할 수 있다.

상기 밀봉 금형 중 상형에는, 워크를 유지하는 개폐 가능한 척 발톱을 갖춘 척 기구가 설치되어 있고, 상기 척 발톱은 상시 닫히도록 바이어스되어 있어도 된다.

이것에 의해, 척 기구에 갖춘 개폐 가능한 척 발톱을, 형 개방과 함께 닫음으로써 성형 후의 워크를 상형면에 유지할 수 있다.

상기 밀봉 금형의 형 개방 동작에 의해 이젝터 핀을 상형의 수지 성형면으로부터 돌출시켜 성형 후의 워크가 상형 클램프면으로부터 이형되어 상기 척 기구의 척 발톱에 의해 유지되도록 해도 된다.

이것에 의해, 성형 후의 워크를 이젝터 핀에 의해 상형 클램프면으로부터 이형시켜도, 척 기구의 닫힌 척 발톱에 의해 유지할 수 있으므로, 성형 후의 워크가 상형 클램프면으로부터 낙하하지 않는다.

상기 밀봉 금형 중 하형에는, 형 폐쇄 상태에서 상기 척 기구에 갖춘 척 발톱을 개방 상태로 하는 개폐 부재가 설치되어 있는 것이 바람직하다.

이것에 의해, 하형에 설치한 개폐 부재에 의해 척 발톱을 형 폐쇄 상태에서 성형 전의 워크로부터 개방 상태로 함으로써, 형 폐쇄 동작에 의해 척 발톱이 밀봉 금형과 간섭하지 않고 클램프할 수 있다.

상기 반송 장치에는, 상기 워크 수취부의 상승 동작에 따라 상기 척 기구의 척 발톱을 개방하게 하여 상기 워크 수취부에 전달하는 액추에이터가 설치되어 있어도 된다.

이것에 의해, 워크 수취부의 상승 동작에 따라 액추에이터가 척 기구의 척 발톱을 개방하게 하므로, 성형 후의 워크를 반송 장치가 워크 수취부에서 확실하게 받을 수 있다.

밀봉 금형에 대하여 성형 전의 워크를 반입하고 성형 후의 워크를 반출하는 워크 반송 방법으로서, 반송 장치가 성형 전의 워크 및 수지를 유지하고 형 개방한 상기 밀봉 금형에 진입하는 공정과, 상기 밀봉 금형에 진입한 상기 반송 장치가 하형에 성형 전의 워크 및 수지를 반입하는 공정과, 상기 반송 장치가 성형 후의 워크를 상형으로부터 받아 상기 밀봉 금형으로부터 반출하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이것에 의해, 반송 장치에 의한 밀봉 금형으로의 1회의 진퇴 동작으로, 성형 전의 워크의 반입 동작 및 성형 후의 워크의 반출 동작을 효율적으로 행할 수 있어, 장치의 가동 효율을 높이고, 설비 비용도 저감할 수 있다.

형 개방한 상기 밀봉 금형에 상기 반송 장치가 진입하면서 하형 클램프면을 하형용 클리너에 의해 클리닝하는 공정과, 상기 밀봉 금형으로부터 상기 반송 장치가 퇴피하면서 상형 클램프면을 상형용 클리너에 의해 클리닝하는 공정을 더 가지고 있어도 된다.

이것에 의해, 반송 장치의 밀봉 금형으로의 진퇴 동작에 맞추어 금형 클리닝 동작도 함께 행함으로써, 장치의 가동 효율이 높아짐과 아울러 설비 비용도 저감할 수 있다.

밀봉 금형에 대한 성형 전후의 워크 반입 반출 동작을 효율적으로 행하여, 장치의 가동 효율을 높이고, 설비 비용도 저감할 수 있는 수지 밀봉 장치 및 워크 반송 방법을 제공할 수 있다.

도 1은 밀봉 금형에 대한 반송 장치의 성형 전후의 워크 반입 반출 동작을 포함하는 수지 밀봉 동작의 단면 설명도이다.
도 2는 도 1에 이어지는 수지 밀봉 동작의 단면 설명도이다.
도 3은 도 2에 이어지는 수지 밀봉 동작의 단면 설명도이다.
도 4는 도 3에 이어지는 수지 밀봉 동작의 단면 설명도이다.
도 5는 도 4에 이어지는 수지 밀봉 동작의 단면 설명도이다.
도 6은 도 5에 이어지는 수지 밀봉 동작의 단면 설명도이다.
도 7은 도 6에 이어지는 수지 밀봉 동작의 단면 설명도이다.
도 8은 도 7에 이어지는 수지 밀봉 동작의 단면 설명도이다.
도 9는 도 8에 이어지는 수지 밀봉 동작의 단면 설명도이다.
도 10은 밀봉 금형의 형 폐쇄 상태를 도시하는 측면도이다.
도 11은 도 10에 이어지는 밀봉 금형의 형 개방 개시 상태를 도시하는 측면도이다.
도 12는 도 11에 이어지는 반송 장치의 클리닝 동작을 도시하는 단면 설명도이다.
도 13은 도 12에 이어지는 반송 장치의 클리닝 동작을 도시하는 단면 설명도이다.
도 14는 도 13에 이어지는 반송 장치의 클리닝 동작을 도시하는 단면 설명도이다.
도 15는 도 14에 이어지는 반송 장치의 클리닝 동작을 도시하는 단면 설명도이다.
도 16은 수지 밀봉 장치의 외관 평면도이다.

(발명을 실시하기 위한 형태)

이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태에 대해 도 16 및 도 1을 참조하여 설명한다. 도 16은 수지 밀봉 장치의 외관 평면도이며, 도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 수지 밀봉 장치의 수지 밀봉 동작의 단면 설명도이다.

수지 밀봉 장치(1)는 상형 및 하형 캐버티 타입의 밀봉 금형(2)을 가지는 트랜스퍼 성형 장치를 예시한다. 반송 장치(3)에 의해 반입되는 워크(W)는 박판 형상의 캐리어(예를 들면, 리드프레임, 수지 기판, 구리판, 유리판, 수지 다층 기판 등)에 반도체칩 등의 전자부품이 탑재된 것을 상정하여 수지 밀봉하는 경우에 대해 설명한다.

도 16에 있어서, 수지 밀봉 장치(1)는 일례로서 워크 공급부(A), 프레스부(B), 성형품 수납부(C)가 분리 가능한 유닛으로서 옆으로 나란히 배치된 구성을 도시한다. 또한, 이들 유닛이 일체로 된 장치 구성이어도 된다. 워크 공급부(A)에는, 성형 전의 워크(W)를 공급 가능하게 수납하는 공급 매거진(10), 태블릿 수지(R)를 공급하는 수지 공급부(11)를 갖추고 있다. 공급 매거진(10)은 복수의 워크(W)가 하우징 등에 유지되어 있고, 하우징 등으로부터 워크(W)가 한 장씩 꺼내어져 반송 장치(3)에 전달된다. 또 수지 공급부(11)는 밀봉 금형(2)의 포트 구멍에 대응한 배열로 수지(R)가 홀더 기구에 유지되고, 홀더 기구로부터 수지(R)가 반송 장치(3)에 전달된다.

프레스부(B)는 상형 및 하형 캐버티 타입의 밀봉 금형(2)을 가진다. 본 실시예에서는 2개의 프레스부(B)를 병설한 경우를 예시했지만 이것보다 적거나 많아도 된다. 후술하는 바와 같이, 밀봉 금형(2)에는 반송 장치(3)의 1회의 진퇴 동작에 의해 워크(W) 및 수지(R)가 반입되고, 성형 후의 워크(W)가 반출된다. 반송 장치(3)는 워크 공급부(A), 프레스부(B), 성형품 수납부(C)에 걸쳐 가설된 레일부(12)를 따라 왕복 운동하도록 설치되어 있다.

성형품 수납부(C)에는, 성형 후의 워크(W)로부터 불필요 수지를 분리하는 디 게이트부(13), 불필요 수지가 제거된 성형 후의 워크(W)(성형품)를 수납 매거진 등에 수납하는 성형품 수납부(14)가 설치되어 있다. 밀봉 금형(2)으로부터 반송 장치(3)에 의해 반출된 성형 후의 워크(W)는 디게이트부(13)에서 게이트 브레이크되어 불필요 수지와 분리되고, 도시하지 않은 픽업에 의해 성형품이 성형품 수납부(14)에 수납된다.

다음에 프레스부(B)에 갖춘 밀봉 금형(2)의 구성예에 대해 설명한다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 밀봉 금형(2)은 상형(4)(고정형) 및 하형(5)(가동형)을 갖추고 있다. 상형(4)의 클램프면에는, 상형 캐버티 오목부(4a)와 이것에 연속하는 상형 러너 게이트(4b) 및 상형 컬(4c)이 새겨져 있다. 상형(4)에는, 하형(5)의 승강 동작에 따라 동작하는 이형 기구(6)가 설치되어 있다. 상형 캐버티 오목부(4a), 상형 컬(4c) 및 상형 러너 게이트(4b)를 포함하는 수지로에는, 상형 이젝터 핀(6a)이 진퇴 가능하게 설치되어 있다. 상형 이젝터 핀(6a)은 상형(4) 내에 설치된 상형 이젝터 핀 플레이트(6b)에 수직 하방으로 기립한 자세로 지지되어 있다. 상형 이젝터 핀 플레이트(6b)는 상형(4)과의 사이에 코일스프링(6c)을 통하여 매달아 지지되어 있다. 코일스프링(6c)은 눌러 축소된 상태에서 장착되기 때문에, 상형 이젝터 핀 플레이트(6b)를 상시 하방향으로 바이어스하고 있고, 상형 이젝터 핀(6a)은 선단부가 상형 클램프면으로부터 하방으로 돌출하도록 바이어스되어 있다. 상형 이젝터 핀 플레이트(6b)에는, 상형 연결 로드(6d)가 수직 하방으로 기립한 자세로, 선단면이 상형 클램프면으로부터 노출 가능하게 지지되어 있다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 상형(4)에는, 성형 후의 워크(W)를 양측에서 유지하는 척 기구(8)가 설치되어 있다. 척 기구(8)는, 예를 들면, L자 모양으로 형성된 개폐 가능한 한 쌍의 척 발톱(8a)을 갖추고 있다. 한 쌍의 척 발톱(8a)은 지면에 수직 방향으로 복수 개소에 수지로를 피하도록 설치되어 있다. 각 척 발톱(8a)은 L자 모양으로 되어 있고, 절곡부에 설치한 지지축(8b)을 중심으로 회동 가능(정역회전 가능)하게 연결되어 있다. 척 발톱(8a)의 수하(垂下) 부분은 상형면으로부터 하방으로 연장 설치되어 워크(W)를 유지 가능하게 배치되고, 수평 부분은 후술하는 바와 같이 가압 볼(8d)에 대한 맞닿음 개소(8d1)가 된다. 척 발톱(8a)의 맞닿음 개소(8d1)의 상부에는 가압 볼(8d)이 설치되고, 맞닿음 개소(8d1)의 하부에는 코일스프링(8c)이 설치되어 있다. 코일스프링(8c)은 맞닿음 개소(8d1)를 가압 볼(8d)에 맞닿도록 상시 상방으로 바이어스하고 있어, 척 발톱(8a)의 수하 부분의 하단을 닫는 방향으로 상시 작용시켜 워크(W)의 낙하를 막고 있다.

가압 볼(8d)의 상부는 회동 막대(8e)의 일단부(8e1)와 맞닿아 있다. 또, 회동 막대(8e)의 타단부(8e2)는 상형 로드(8f)의 상단부와 맞닿아 있다. 회동 막대(8e)는 지점(8e3)을 중심으로 회동 가능하게 설치되어 있다. 상형 로드(8f)는 상형(4)의 연직 방향에 설치된 삽입 구멍(8g) 내를 상하동 가능하게 삽입되어 있다. 쌍을 이루는 척 발톱(8a)은 코일스프링(8c)의 탄성력에 의해 맞닿음 개소(8d1), 가압 볼(8d)을 통하여 회동 막대(8e)의 일단부(8e1)를 상방으로 밀어올리도록 바이어스되어 있다. 이 때문에 한 쌍의 척 발톱(8a)은 수하 부분의 선단부가 상시 닫히도록 바이어스되어 있다. 이때, 회동 막대(8e)는 지점(8e3)을 중심으로 회전하여 타단부(8e2)가 상형 로드(8f)를 밀어내린다.

또한, 상기한 척 기구(8)에 구비한 척 발톱(8a)은 후술하는 반송 장치(3)의 워크 수취부(3a)의 승강 동작에 맞추어 개방 조작이 행해지도록 되어 있다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 하형(5)의 클램프면에는, 상형 캐버티 오목부(4a)에 대향하는 위치에 하형 캐버티 오목부(5a)가 설치되어 있다. 또, 상형 컬(4c)에 대향하는 위치에 포트(5b)가 설치되고, 포트(5b) 내에는 플런저(5c)가 승강 가능하게 설치되어 있다. 또 하형(5)에는, 하형 연결 로드(5d)가 하형 클램프면으로부터 선단이 상시 돌출한 상태로 설치되어 있다. 하형 연결 로드(5d)는 상형 연결 로드(6d)에 대향 배치되어 있고, 형 폐쇄했을 때 하형 연결 로드(5d)의 하형 클램프면으로부터 돌출한 로드 선단부로 상형 연결 로드(6d)의 하단면을 밀어올린다. 이것에 의해, 상형 이젝터 핀 플레이트(6b)가 코일스프링(6c)의 바이어스에 저항하여 밀어 올려지고, 상형 이젝터 핀(6a)의 선단부가 상형(4) 내로 퇴피하도록 되어 있다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 하형(5)에는, 형 폐쇄 상태에서 척 기구(8)에 갖춘 척 발톱(8a)을 개방 상태로 하는 하형 푸시 로드(9)(고정 로드: 개폐 부재)가 연직 방향으로 설치되어 있다. 하형 푸시 로드(9)의 선단(상단)은 하형 클램프면으로부터 상방으로 돌출 설치되어 있다. 하형 푸시 로드(9)는 상형(4)의 연직 방향에 설치된 삽입 구멍(8g) 내에 삽입된 상형 로드(8f)와 대향하는 위치에 설치되어 있다. 또한, 하형(5)에 있어서, 하형 푸시 로드(9)(도 2 참조)는 하형 연결 로드(5d)(도 1 참조)와는 평면시로 상이한 위치에 각각 배치되어 있다.

밀봉 금형(2)이 형 폐쇄되면, 하형 푸시 로드(9)의 선단이 삽입 구멍(8g)에 진입하여 상형 로드(8f)를 상방으로 밀어올린다. 그리고, 상형 로드(8f)의 상단부는 회동 막대(8e)의 타단부(8e2)를 밀어올려 지점(8e3)을 중심으로 회전한다. 이때, 회동 막대(8e)의 일단부(8e1)가 하방으로 밀어 내려지기 때문에, 가압 볼(8d)을 통하여 맞닿음 개소(8d1)가 코일스프링(8c)의 바이어스에 저항하여 밀어 내려진다. 이때, 지축(8b)에 연결된 한 쌍의 척 발톱(8a)의 수하 부분의 선단은 양측으로 이간하는 위치로 벌어진다(개방 상태). 또한, 척 발톱(8a)의 수하 부분의 선단부(하단부)는, 상형 클램프면으로부터, 상시 돌출 설치된 상태가 되지만, 하형 클램프면에 설치된 발톱 이스케이프 오목부(5e)(도 6 참조)에 수용되기 때문에서, 형 폐쇄해도 하형(5)과 간섭하는 일은 없다.

또, 도 2에 도시하는 바와 같이, 한 쌍의 척 발톱(8a)의 수하 부분의 선단에는 워크(W)를 끼워 넣는 대향 위치에 오목홈(8a1)이 각각 형성되어 있어, 워크(W)를 확실하게 끼울 수 있다. 오목홈(8a1)은 성형 후의 워크(W)가 상형 이젝터 핀(6a)에 의해 밀어 내려져 상형(4)으로부터 이형할 때 워크(W)를 상형(4)으로부터 떼어 낙하시키지 않을 정도로 오목홈(8a1)이 설치되어 있어, 과도한 누름력을 피하도록 되어 있다. 또한, 척 기구(8) 전체를 상하동시키는 기구이어도 된다.

밀봉 금형(2)은 상형(4)이 고정형, 하형(5)이 가동형에 대해 설명했지만, 상형(4)이 가동형이고 하형(5)이 고정형이어도, 쌍방이 가동형이어도 된다. 상형(4) 및 하형(5)의 쌍방에 캐버티 오목부가 각각 설치되어 있었지만, 상형(4)에만 또는 하형(5)에만 설치되어 있어도 된다. 밀봉 금형(2)은 공지의 형 개폐 기구(도시하지 않음)에 의해 형 개폐가 행해진다. 예를 들면, 형 개폐 기구는 한 쌍의 플래튼과, 한 쌍의 플래튼이 가설되는 복수의 연결 기구(타이바나 기둥부)와, 플래튼을 가동(승강)시키는 구동원(예를 들면, 전동 모터) 및 구동 전달 기구(예를 들면, 토글 링크) 등을 갖추고 구성되어 있다(구동용 기구에 대해서는 모두 도시하지 않음).

도 2에 도시하는 바와 같이, 반송 장치(3)는 성형 전의 워크(W) 및 수지(R)를 유지하여 밀봉 금형(2)에 반송하고, 밀봉 금형(2)으로부터 성형 후의 워크(W)를 받아 반출한다. 반송 장치(3)의 상형 대향면에는 성형 후의 워크를 받는 워크 수취부(3a)가, 예를 들면, 모터 구동 또는 에어 실린더에 의한 승강 기구에 의해 워크(W)에 대해 접리 동작 가능하게 설치되어 있다. 반송 장치(3)에는, 워크 수취부(3a)의 상승 동작에 따라 척 기구(8)의 척 발톱(8a)을 개방시키는 개방 로드(3b)(액추에이터)가, 예를 들면, 에어 실린더(3h) 등에 의해 승강 가능하게 설치되어 있다. 또한, 에어 실린더(3h) 대신에 다른 구동원, 예를 들면, 모터, 솔레노이드 등을 사용해도 된다.

반송 장치(3)가 형 개방한 밀봉 금형(2) 내에 진입하면, 상형 클램프면으로부터 이형하고, 척 발톱(8a)에 유지된 성형 후의 워크(W)를 받기 위해 워크 수취부(3a)가 상승한다. 이때, 도 2에 도시하는 바와 같이, 에어 실린더(3h)를 작동시켜 개방 로드(3b)를 상방으로 신장시켜 삽입 구멍(8g)에 진입시키면, 상형 로드(8f)가 상방으로 밀어 올려진다. 상형 로드(8f)는, 회동 막대(8e)의 타단부(8e2)가 밀어 올려져 일단부(8e1)가 밀어 내려지도록, 지점(8e3)을 중심으로 소정량 회전시킨다. 이때, 회동 막대(8e)의 일단부(8e1)가 가압 볼(8d)을 통하여 맞닿음 개소(8d1)를 코일스프링(8c)의 바이어스에 저항하여 밀어 내린다. 이 때문에, 한 쌍의 척 발톱(8a)의 선단은 양측으로 이간하는 방향으로 벌어진다(개방 상태). 이것에 의해, 척 발톱(8a)에 유지되어 있던 성형 후의 워크(W)는 상승 위치에 있는 워크 수취부(3a)에 전달된다.

또, 도 1에 도시하는 바와 같이, 반송 장치(3)의 하형 대향면에는 성형 전의 워크(W)를 유지하는 워크 유지부(3c)와 태블릿 수지(R)를 유지하는 수지 유지부(3d)가 설치되어 있다. 워크 유지부(3c)에는, 성형 전의 워크(W)를 지지하는 지지 핸드(3e)가 개폐 가능하게 설치되어 있다. 워크 유지부(3c) 및 수지 유지부(3d)는, 예를 들면, 도시하지 않은 모터 구동 또는 에어 실린더에 의한 승강 기구에 의해 승강 가능하게 설치되어 있다. 또 수지 유지부(3d)에는, 태블릿 수지(R)를 수납하는 수납 통(3f)과 바닥부를 개폐하는 셔터(3g)가 설치되어 있다. 또한, 수지(R)는 열경화형의 에폭시계 수지가 사용되고, 고형의 원기둥 태블릿 수지에 한하지 않고 과립상 수지, 분말상 수지, 액상 수지 등 여러 형태의 수지(R)가 사용된다. 이하 수지(R)라고 기재한다.

도 13에 도시하는 바와 같이, 반송 장치(3)의 밀봉 금형(2)에 대한 진입 방향 선두측에는, 클리너(7)가 설치되어 있다. 클리너(7)는 금형 클램프면을 회전 브러시로 문지르면서 진퇴 운동하여, 수지 찌꺼기 등의 진애를 문질러 떼어내고 흡인 제거하도록 되어 있다. 클리너(7)는, 밀봉 금형(2)에 진입할 때, 성형 전의 워크(W)를 공급하는 하형면을 하형용 클리너(7a)에 의해 클리닝하고, 밀봉 금형(2)으로부터 퇴피할 때, 상형면을 상형용 클리너(7b)에 의해 클리닝하도록 승강 조작하여 전환하여 사용된다.

다음에 밀봉 금형(2)에 대한 반송 장치(3)의 성형 전후의 워크(W)의 반입 반출 동작을 포함하는 수지 밀봉 동작에 대해 도 10 내지 도 15의 단면도에 기초하여 도 1 내지 도 9를 참조하면서 설명한다.

우선, 반송 장치(3)는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 형 개방한 밀봉 금형(2)에, 성형 전 워크(W)와 수지(R)를 반입하고, 밀봉 금형(2)을 형 폐쇄하여 수지 밀봉 동작을 개시한다. 포트 내에 공급되어 용융된 수지(R)를 플런저에 의해 캐버티 내로 밀어 보내고 가열 가압한 채 경화시킨다.

도 10에 도시하는 바와 같이, 수지 밀봉이 완료된 형 폐쇄한 밀봉 금형(2)을 도 11에 도시하는 바와 같이 형 개방한다. 구체적으로는, 도시하지 않은 형 개폐 기구를 작동시켜 도 12에 도시하는 바와 같이 하형(5)을 하동시켜 형 개방을 행한다.

이때, 도 5에 도시하는 상태로부터 도 1에 도시하는 바와 같이, 하형 연결 로드(5d)에 의한 상형 연결 로드(6d)의 밀어올림이 해제되기 때문에, 상형 이젝터 핀 플레이트(6b)는 코일스프링(6c)의 바이어스에 의해 하방향으로 이동하고, 상형 이젝터 핀(6a)이 상형면(상형 캐버티 오목부(4a), 상형 컬(4c) 등)로부터 돌출하여 성형품을 이형시킨다. 또, 도 6에 도시하는 상태로부터 도 2에 도시하는 바와 같이, 하형 푸시 로드(9)의 상형 로드(8f)로의 밀어올림이 해제되므로, 한 쌍의 척 발톱(8a)은 코일스프링(8c)의 바이어스에 의해 개방 위치로부터 닫힘 위치로 돌아가고, 성형 후의 워크(W)는 상형(4)의 척 발톱(8a)에 유지된다.

또한, 상형 이젝터 핀(6a)의 푸시에 의해 성형 후의 워크(W)가 상형(4)의 형면으로부터 이형되어도, 척 발톱(8a)의 유지부에 옆으로 긴 홈 형상의 오목홈(8a1)이 형성되어 있기 때문에 워크(W)가 낙하하지는 않는다. 또, 오목홈(8a1)을 긴 홈으로 하지 않아도 상형 이젝터 핀(6a)의 워크(W)에 대한 과도한 가압력을 풀어주도록 척 발톱(8a)의 수하 부분이 상하동 또는 신축하는 기구이어도 되는 등, 다른 구성을 채용해도 된다.

도 12에 도시하는 바와 같이, 형 개방한 밀봉 금형(2)에, 반송 장치(3)가 성형 전 워크(W)와 수지(R)를 반입한다. 반송 장치(3)는 하형 대향면에 설치된 워크 유지부(3c)에 성형 전의 워크(W)를 유지하고, 수지 유지부(3d)에 수지(R)를 유지한 채 하형(3)에 대향하는 위치까지 진입한다.

이때, 도 12에 도시하는 바와 같이, 반송 장치(3)의 진입 방향 선두측에 갖춘 클리너(7)(하형용 클리너(7a))가 하형(5)의 클램프면을 클리닝 동작하면서 밀봉 금형(2)에 진입한다. 클리너(7)는 하형(5)에 근접한 위치에서 하형용 브러시를 회전시켜 하형 클램프면을 문지르면서 집진한다.

또한, 도 12 내지 도 15에 있어서, 개개의 워크(W)를 척 발톱(8a) 또는 지지 핸드(3e)로 끼운 상태를 도시했지만, 스트립 형상의 워크(W)인 경우에는 척 발톱(8a) 또는 지지 핸드(3e)는 워크(W)당 적어도 2개소에서 끼우면 충분하다.

반송 장치(3)가 하형(5)을 클리닝하면서 밀봉 금형(2)에 진입하여, 세트 위치에 이르면, 도 13에 도시하는 바와 같이, 하형(3)에 성형 전 워크(W) 및 수지(R)를 공급한다. 구체적으로는, 하형 대향면에 설치된 워크 유지부(3c) 및 수지 유지부(3d)를 하형(3)에 근접하도록 하동시켜 하형 캐버티 오목부(5a)에 위치 맞춤하고 성형 전의 워크(W)의 지지 핸드(3e)를 개방하여 전달하고, 도 2에 도시하는 바와 같이, 포트(5b)와 수납통(3f)을 위치 맞춤하고 셔터(3g)를 개방하여 수지(R)를 포트(5b) 내에 투입한다. 또한, 워크 유지부(3c) 및 수지 유지부(3d)를 하동시켰지만, 반송 장치(3) 전체를 하동시켜도 되고, 하형(5)이 상동해도 된다.

이어서 도 13에 도시하는 바와 같이, 반송 장치(3)의 상형 대향면에 설치된 워크 수취부(3a)를 상승시켜 성형 후의 워크(W)를 받는다. 구체적으로는 도 14에 도시하는 바와 같이 워크 수취부(3a)를 상형(4)에 근접하는 위치까지 상승시키고, 도 2에 도시하는 에어 실린더(3h)를 작동시켜 개방 로드(3b)에 의해 상형 로드(8f)를 밀어올려 상형(4) 내에 설치된 척 기구(8)의 한 쌍의 척 발톱(8a)을 개방시키고, 성형 후의 워크(W)를 받는다(도 2, 도 3 참조). 또, 도 14에 도시하는 바와 같이, 클리너(7)는 상형(4)의 클램프면의 클리닝 동작에 대비하여 상형(4)에 근접한 위치에 상형용 클리너(7b)를 이동시키고, 상형(4)측의 집진 동작으로 전환한다.

도 14에 도시하는 바와 같이, 성형 후의 워크(W)를 워크 수취부(3a)에 받은 반송 장치(3)는 워크 수취부(3a)를 하강시키면, 밀봉 금형(2)으로부터 퇴피한다. 이때, 반송 장치(3)의 후단측에 갖춘 클리너(7)의 상형용 클리너(7b)가 상형(4)의 클램프면을 클리닝 동작하면서 밀봉 금형(2)으로부터 퇴피한다. 클리너(7)는 상형(4)에 근접한 위치에서 상형용 브러시를 회전시켜 상형 클램프면을 문지르면서 집진한다. 또한, 워크 수취부(3a)가 상동했지만, 반송 장치(3) 전체를 상동시켜도 되고, 상형(4)의 척 발톱(8a)이 하동해도 된다.

다음에, 도 15 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 성형 전 워크(W) 및 수지(R)가 하형(5)에 공급되고, 반송 장치(3)가 퇴피한 밀봉 금형(2)을 형 폐쇄한다. 도 5에 도시하는 바와 같이, 상형(4)과 하형(5)이 형 폐쇄하면, 하형 연결 로드(5d)에 의해 상형 연결 로드(6d)가 밀어 올려지고, 상형 이젝터 핀 플레이트(6b)가 코일스프링(6c)의 바이어스에 저항하여 밀어 올련진다. 이것에 의해, 상형(4)의 수지로(상형 캐버티 오목부(4a), 상형 컬(4c) 등) 내에 돌출해 있던 상형 이젝터 핀(6a)은 상형(4)의 내부로 퇴피한다. 또, 도 6에 도시하는 바와 같이, 하형 푸시 로드(9)가 상형 로드(8f)를 밀어올려, 척 기구(8)를 통하여 척 발톱(8a)을 닫은 상태로부터 개방 상태로 하여 하형(5)과 간섭하지 않고 발톱 이스케이프 오목부(5e)에 수용된다.

다음에 도 6에 도시하는 바와 같이 플런저(5c)를 밀어올려, 포트(5b) 내에서 용융된 수지(R)를 상형 컬(4c), 상형 러너 게이트(4b)를 통하여 상형 캐버티 오목부(4a) 및 하형 캐버티 오목부(5a)에 충전한다. 또한, 워크(W)가 리드프레임 등 워크(W)에 관통구멍을 가지는 워크(W)인 경우에는, 상형 캐버티 오목부(4a)로부터 리드 간의 간극을 통하여 하형 캐버티 오목부(5a)에 수지(R)가 충전된다. 하형 클램프면에도, 하형 러너 게이트가 새겨져 있어도 된다. 상형 캐버티 오목부(4a) 및 하형 캐버티 오목부(5a)에 수지(R)가 충전되면, 도 7에 도시하는 바와 같이, 가열 경화가 진행되어 수지 밀봉 동작이 완료된다(큐어).

수지 밀봉 동작이 완료되면, 도 8에 도시하는 바와 같이, 밀봉 금형(2)을 형 개방한다. 구체적으로는, 형 개폐 기구를 작동시켜 하형(5)을 하동시킨다. 이때, 도 1에서 설명한 바와 같이, 하형 연결 로드(5d)에 의한 상형 연결 로드(6d)의 밀어올림이 해제되기 때문에, 상형 이젝터 핀 플레이트(6b)는 코일스프링(6c)의 바이어스에 의해 하방향으로 이동하고, 상형 이젝터 핀(6a)이 상형면(상형 캐버티 오목부(4a), 상형 컬(4c) 등의 수지로)으로부터 돌출하여 성형품을 이형시킨다. 또, 도 2에 도시하는 바와 같이, 하형 푸시 로드(9)의 상형 로드(8f)로의 밀어올림이 해제되므로, 척 발톱(8a)은 코일스프링(8c)의 바이어스에 의해 개방 위치로부터 닫힌 위치로 돌아가고, 성형 후의 워크(W)는 상형(4)의 척 발톱(8a)의 오목홈(8a1)에 유지된다.

다음에 도 9에 도시하는 바와 같이, 형 개방한 밀봉 금형(2)에, 반송 장치(3)가 성형 전 워크(W)와 수지(R)를 반입한다. 반송 장치(3)는, 도 12에 도시하는 바와 같이, 선두측에 갖춘 클리너(7)가 하형(5)의 클램프면을 클리닝 동작하면서 밀봉 금형(2)에 진입한다. 또, 하형 대향면에 설치된 워크 유지부(3c)에 성형 전의 워크(W)를 유지하고, 수지 유지부(3d)에 수지(R)를 유지한 채 하형(3)에 대향하는 위치까지 진입한다.

상기한 바와 같이, 반송 장치(3)에 의해 성형 전의 워크(W)를 워크 유지부(3c)에서 유지하고, 수지(R)를 수지 유지부(3d)에서 유지한 채, 형 개방한 밀봉 금형(2) 내에 진입하여 성형 전의 워크(W) 및 수지(R)를 하형(5)에 전달하고, 성형 후의 워크(W)를 상형(4)으로부터 워크 수취부(3a)에 받아 반출할 수 있으므로, 반송 장치(3)에 의한 1회의 밀봉 금형(2)으로의 진퇴 동작으로, 성형 전후의 워크(W)의 반입 반출 동작을 효율적으로 행할 수 있어, 장치의 가동 효율을 높이고, 설비 비용도 저감할 수 있다. 또한 하나의 금형에 대하여 로더의 반입 동작과 언로더의 반출 동작에 의한 2회분의 진퇴 동작이 반송 장치(3)에 의한 1회의 진퇴 동작으로 끝나기 때문에 장치의 가동 효율을 향상시킬 수 있다.

또 반송 장치(3)는 밀봉 금형(2)에 진입할 때, 워크(W)를 공급하는 하형 클램프면을 클리닝하고, 밀봉 금형(2)으로부터 퇴피할 때, 상형 클램프면을 클리닝하는 클리너(7)가 설치되어 있기 때문에, 밀봉 금형(2)으로의 진퇴 동작에 의해, 하형 클램프면을 클리닝하고 나서 성형 전의 워크(W)를 공급할 수 있고, 성형 후의 워크(W)를 받고 나서 상형 클램프면을 클리닝할 수 있다. 따라서, 금형 클리닝 동작도 힘께 행함으로써, 장치의 가동 효율이 높아짐과 아울러 설비 비용도 저감할 수 있다.

W 워크
A 워크 공급부
B 프레스부
C 성형품 수납부
1 수지 밀봉 장치
3d 수지 유지부
3e 지지 핸드
3f 수납통
3g 셔터
3h 에어 실린더
4 상형
4a 상형 캐버티 오목부
4b 상형 러너 게이트
4c 상형 컬
4d 상형 척 기구
4e 척 핸드
5 하형
5a 하형 캐버티 오목부
5b 포트
5c 플런저
5d 하형 연결 로드
5e 발톱 이스케이프 오목부
6 이형 기구
6a 상형 이젝터 핀
6b 상형 이젝터 핀 플레이트
6c 코일스프링
6d 상형 연결 로드
7 클리너
7a 하형용 클리너
7b 상형용 클리너
8 척 기구
8a 척 발톱
8a1 오목홈
8b 지축
8c 코일스프링
8d 가압 볼
8d1 맞닿음 개소
8e 회동 막대
8e1 일단부
8e2 타단부
8e 지점
8f 상형 로드
8g 삽입 구멍
9 하형 푸시 로드
10 공급 매거진
11 수지 공급부
12 레일부
13 디게이트부
14 성형품 수납부

Claims (8)

1. 워크 및 수지를 유지하여 밀봉 금형에 반송하고, 상기 밀봉 금형으로부터 성형 후의 워크를 받아 반출하는 반송 장치를 갖춘 트랜스퍼 성형에 의한 수지 밀봉 장치로서,
   상기 반송 장치의 하형 대향면에는 성형 전의 워크를 유지하는 워크 유지부와 수지를 유지하는 수지 유지부가 설치되고, 상형 대향면에는 성형 후의 워크를 상형면으로부터 받는 성형 후의 워크 수취부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 반송 장치에는, 상기 밀봉 금형에 진입할 때 워크를 공급하는 하형 클램프면을 클리닝하고, 상기 밀봉 금형으로부터 퇴피할 때 상형 클램프면을 클리닝하는 클리너가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 밀봉 금형 중 상형에는, 워크를 유지하는 개폐 가능한 척 발톱을 갖춘 척 기구가 설치되어 있고, 상기 척 발톱은 상시 닫히도록 바이어스되어 있는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 밀봉 금형의 형 개방 동작에 의해 이젝터 핀을 상형의 수지 성형면으로부터 돌출시켜 성형 후의 워크가 상형 클램프면으로부터 이형되고 상기 척 기구의 척 발톱에 의해 유지되는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 장치.
5. 제3항에 있어서,
   상기 밀봉 금형 중 하형에는, 형 폐쇄 상태에서 상기 척 기구에 갖춘 척 발톱을 개방 상태로 하는 개폐 부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 장치.
6. 제3항에 있어서,
   상기 반송 장치에는, 상기 워크 수취부의 상승 동작에 따라 상기 척 기구의 척 발톱을 개방시켜 상기 워크 수취부에 전달하는 액추에이터가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 장치.
7. 밀봉 금형에 대하여 성형 전의 워크를 반입하고 성형 후의 워크를 반출하는 워크 반송 방법으로서,
   반송 장치가 성형 전의 워크 및 수지를 유지하고 형 개방한 상기 밀봉 금형에 진입하는 공정과,
   상기 밀봉 금형에 진입한 상기 반송 장치가 하형에 성형 전의 워크 및 수지를 반입하는 공정과,
   상기 반송 장치가 성형 후의 워크를 상형으로부터 받아 상기 밀봉 금형으로부터 반출하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 워크 반송 방법.
8. 제7항에 있어서,
   형 개방한 상기 밀봉 금형에 상기 반송 장치가 진입하면서 하형 클램프면을 하형용 클리너에 의해 클리닝하는 공정과,
   상기 밀봉 금형으로부터 상기 반송 장치가 퇴피하면서 상형 클램프면을 상형용 클리너에 의해 클리닝하는 공정을 더 가지고 있는 것을 특징으로 하는 워크 반송 방법.
   
   

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