KR20220003259A - Overhead hoist transport - Google Patents

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KR20220003259A
KR20220003259A KR1020200080854A KR20200080854A KR20220003259A KR 20220003259 A KR20220003259 A KR 20220003259A KR 1020200080854 A KR1020200080854 A KR 1020200080854A KR 20200080854 A KR20200080854 A KR 20200080854A KR 20220003259 A KR20220003259 A KR 20220003259A
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KR1020200080854A
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이준범
양동훈
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세메스 주식회사
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Abstract

According to the present invention, it is possible to stably and continuously run an OHT without running at low speed or stopping the OHT by changing an angle of an optical sensor in an inclined running rail and stably communicating driving measurement data with the OHT moving ahead even on the inclined running rail. According to the present invention, it is possible to transport logistics stably by maintaining a horizontal state of a vehicle even when moving along the inclined running rail. An overhead hoist transport comprise: a vehicle assembly; a sensor unit; an angle adjustment unit; and a control unit.

Description

오버헤드 호이스트 트랜스포트{OVERHEAD HOIST TRANSPORT}Overhead hoist transport {OVERHEAD HOIST TRANSPORT}

본 발명은 오버헤드 호이스트 트랜스포트에 관한 것으로, 보다 상세하게는 경사진 주행 레일을 이송하는데 사용되는 오버헤드 호이스트 트랜스포트에 관한 것이다. The present invention relates to an overhead hoist transport, and more particularly, to an overhead hoist transport used to transport inclined running rails.

반도체 제품의 생산 공정은 완제품에 이르기까지 수백 공정이 수행되며, 반도체 제조 공정 수행 과정에서는 수십만건의 물류 이동이 발생된다. 이러한 물류 이송 과정에서 반도체 소재의 오염과 훼손 및 배달사고 등을 방지하기 위해 반도체 제조라인에서는 물류 이송 자동화 시스템으로서 OHT(Overhead Hoist Transfer)를 활용하고 있다. OHT는 수많은 반도체 공정 사이에 물류 이송을 자동화시키는 시스템으로서 천장에 설치된 레일을 따라 FOUP(Front Opening Unified Pod)에 담긴 웨이퍼를 생산 공정별 제조 설비에 운반하는 역할을 담당한다.In the semiconductor manufacturing process, hundreds of processes are performed until the finished product, and hundreds of thousands of logistics movements occur during the semiconductor manufacturing process. In order to prevent contamination, damage, and delivery accidents of semiconductor materials during the logistics transport process, semiconductor manufacturing lines use OHT (Overhead Hoist Transfer) as an automated logistics transport system. OHT is a system that automates logistics transport between numerous semiconductor processes, and is responsible for transporting wafers in FOUP (Front Opening Unified Pod) along the rails installed on the ceiling to manufacturing facilities for each production process.

도 1은 OHT를 적용한 물류 이송 자동화 시스템의 개략적인 구성도를 도시한다.1 shows a schematic configuration diagram of a logistics transport automation system to which OHT is applied.

OHT는 천장에 설치된 주행 레일(rail)(10)을 주행하며 이송작업 명령을 지령하는 OCS(OHT Control System)와 무선 통신 방식으로 인터페이스된다. OCS는 MCS(Material Control System)로부터 작업 공정에 따른 이송에 관한 명령을 전달받으며. MCS의 명령에 따라 OHT에게 최단시간에 이송작업을 완료하기 위해 출발지에서 목적지까지의 최단 경로를 탐색하고 이송 작업을 수행하기에 적합한 최적의 위치에 있는 OHT를 선정하여 이송명령을 지령한다. OCS의 이송명령에 따라 OHT는 OCS가 지령하는 임의의 포트(port)에서 목적지 포트(port)로 물류를 이송한다.The OHT is interfaced with an OCS (OHT Control System) that drives a traveling rail 10 installed on the ceiling and commands a transfer operation command in a wireless communication method. The OCS receives a transfer command according to the work process from the MCS (Material Control System). In order to complete the transfer operation in the shortest time according to the MCS command, the OHT searches for the shortest route from the origin to the destination, selects the OHT in the optimal position to perform the transfer operation, and instructs the transfer operation. According to the transfer command of the OCS, the OHT transfers the logistics from an arbitrary port commanded by the OCS to the destination port.

물류 이송 지령에 따라 OHT가 이송 동작을 진행함에 있어서, OHT 비히클 간의 충돌 방지, 물류 배달 사고 방지 등 OHT 이송 동작의 신뢰성과 안전성을 확보하고자 OHT의 모션 제어부는 OHT 비히클의 구동 동작을 측정하여 측정된 속도 정보, 위치 정보 등을 토대로 OHT 비히클을 세부적으로 정밀 제어하고 있다.In order to secure the reliability and safety of OHT transport operations, such as preventing collisions between OHT vehicles and preventing logistics delivery accidents, when OHT carries out transport operations according to logistics transport instructions, OHT’s motion control unit measures the driving behavior of OHT vehicles The OHT vehicle is precisely controlled in detail based on speed information and location information.

그러나, 경사구간 주행시, 주행 레일의 경사로 인하여 앞서 운행하고 있는 OHT의 측정 시그널 데이터 간에 통신이 되지 아니하여 시그널 튐 현상이 발생되거나 시그널 데이터의 데이터 통신으로 전송시 유입된 잡음으로 인해 OHT의 위치 정보, 속도 정보 등에 왜곡이 발생될 수 있고 이러한 데이터 오류는 OHT 비히클 운송에 심각한 사고를 발생시킬 수 있다.However, when driving on an incline section, due to the inclination of the running rail, communication between the measurement signal data of the OHT that is running is not possible, so a signal splash occurs or the OHT location information, Distortion of speed information, etc. may occur, and such data errors may cause serious accidents in OHT vehicle transportation.

따라서 OHT 비히클의 구동 측정 데이터가 시그널 튐 현상이나 노이즈 삽입 등으로 신뢰성이 떨어지는 경우에 OHT의 모션 제어부는 이를 OHT 비히클의 모션으로 간주하여 OHT 비히클 자체를 정지시키고 있다.Therefore, when the driving measurement data of the OHT vehicle is unreliable due to signal splashing or noise insertion, the motion control unit of the OHT considers this as a motion of the OHT vehicle and stops the OHT vehicle itself.

OHT 레일 상에 수십에서 수백대의 OHT 비히클이 동시에 동작되고 있는 상황에서 특정 OHT 비히클의 모션 에러에 따른 정지는 인접하여 운행 중인 다른 OHT 비히클까지 저속 운행 내지는 정지 등의 연속적인 동작 저해로 이루어지게 되며, 이로 인해, OHT 전체 시스템의 효율성과 성능을 저하시키는 문제가 유발되고 있다. In a situation where tens to hundreds of OHT vehicles are simultaneously operating on the OHT rail, a stop due to a motion error of a specific OHT vehicle will result in continuous motion inhibition, such as low-speed operation or stop, to other OHT vehicles operating adjacent to each other. Due to this, there is a problem of reducing the efficiency and performance of the entire OHT system.

한국공개특허 제10-2049541호Korean Patent Publication No. 10-2049541

본 발명의 목적은 경사진 주행레일에서도 고속 주행이 가능한 OHT를 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide an OHT capable of high-speed running even on an inclined running rail.

또한, 본 발명은 경사진 주행레일을 따라 이송되어도 안정적으로 물류를 이송할 수 있는 OHT를 제공하고자 한다. In addition, the present invention is to provide an OHT capable of stably transporting logistics even when transported along an inclined running rail.

본 발명의 일 측면에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스포트는 주행 레일을 따라 주행하는 롤러를 구비한 비히클 어셈블리; 상기 비히클 어셈블리의 일면에 위치하고, 상기 비히클 어셈블리의 주행구동을 인식하는 센서부; 상기 비히클 어셈블리 상에 위치하고, 상기 주행 레일의 경사도에 대응하여 각도를 변경하는 각도 조절부; 상기 센서부에서 센싱된 정보에 의하여 상기 비히클 어셈블리의 주행구동을 제어하는 제어부;를 포함한다. An overhead hoist transport according to an aspect of the present invention includes a vehicle assembly having rollers traveling along a traveling rail; a sensor unit positioned on one surface of the vehicle assembly and configured to recognize a driving operation of the vehicle assembly; an angle adjusting unit positioned on the vehicle assembly and configured to change an angle in response to the inclination of the traveling rail; and a control unit for controlling the driving operation of the vehicle assembly according to the information sensed by the sensor unit.

또한, 상기 각도 조절부는 미리 저장된 주행환경맵에 따라 상기 센서부의 센서부의 각도를 조절하는 것을 특징으로 한다.In addition, the angle adjusting unit is characterized in that it adjusts the angle of the sensor unit of the sensor unit according to a previously stored driving environment map.

또한, 상기 센서부는 유효감지거리가 상기 비히클 어셈블리의 전면으로부터 2.5 내지 3.5km 범위인 것을 특징으로 한다. In addition, the sensor unit is characterized in that the effective sensing distance is in the range of 2.5 to 3.5 km from the front surface of the vehicle assembly.

또한, 상기 제어부는 상기 주행환경맵이 저장된 맵저장부; 상기 주행환경맵에 기반하여 상기 비히클 어셈블리를 주행구동하도록 제어하는 주행제어부; 및 상기 비히클 어셈블리 간의 통신을 위한 통신부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the control unit may include: a map storage unit in which the driving environment map is stored; a driving control unit configured to control the vehicle assembly to be driven based on the driving environment map; and a communication unit for communication between the vehicle assemblies.

또한, 상기 비히클 어셈블리는 상기 주행구동을 위한 롤러를 포함하는 비히클; 및 상기 호이스트 모듈;을 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the vehicle assembly may include a vehicle including a roller for driving the vehicle; and the hoist module.

또한, 상기 비히클과 상기 호이스트 모듈은 상기 비히클의 차체와 상기 호이스트 모듈의 하우징이 스윙축과 스윙핀으로 연결하여 상기 호이스트 모듈의 수평을 일정하게 유지하는 것을 특징으로 한다.In addition, the vehicle and the hoist module are characterized in that the vehicle body and the housing of the hoist module are connected to a swing shaft and a swing pin to constantly maintain the horizontal level of the hoist module.

또한, 상기 센서부에서 사용하는 센서는 광센서 인 것을 특징으로 하며, 상기 광센서는 상기 센서부를 조정하여 상기 주행 레일의 경사와 일치시키거나, 상기 센서부의 반사판을 조정하여 상기 주행 레일의 경사와 일치시키는 것을 특징으로 한다.In addition, the sensor used in the sensor unit is characterized in that the optical sensor, the optical sensor adjusts the sensor unit to match the inclination of the traveling rail, or adjusts the reflector of the sensor unit to match the inclination of the traveling rail characterized by matching.

또한, 상기 광센서는 모터에 의하여 움직이는 것을 특징으로 한다.In addition, the optical sensor is characterized in that it moves by a motor.

본 발명에 따르면, 경사진 주행레일에서 광센서의 각도를 변경시킴으로써, 경사진 주행레일에서도 앞서 이동하고 있는 OHT와의 구동 측정 데이터를 안정적으로 통신함으로써, OHT를 저속 운행 내지는 정지시키지 아니하고, OHT를 안정적으로 연속주행 시킬 수 있다. According to the present invention, by changing the angle of the optical sensor on the inclined running rail, by stably communicating the driving measurement data with the OHT moving ahead even on the inclined running rail, the OHT is not operated at low speed or stopped, and the OHT is stably operated. can be run continuously.

본 발명에 따르면, 경사진 주행레일을 따라 이동함에도 비히클의 수평상태를 유지시켜, 안정적으로 물류를 이송할 수 있다. According to the present invention, by maintaining the horizontal state of the vehicle even when moving along the inclined running rail, it is possible to transport the logistics stably.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다. Effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

도 1은 반도체 또는 디스플레이 제조 공장에서 물품을 반송하기 위한 경로를 나타낸 도면이다.
도 2는 오버헤드 호이스트 트랜스포트(OHT)를 나타내는 정면도이다.
도 3은 비히클 어셈블리를 나타내는 측면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 OHT가 경사진 주행레일을 따라 이동하는 모습을 나타낸 도면이다.
도 5 및 도 6은 제1 실시예에 따른 센서부를 나타낸 측면도 및 평면도이다.
도 7은 제2 실시예에 따른 센서부를 나타낸 측면도이다.
도 8은 제1 실시예에 따른 센서부의 각도 조정하는 모습을 나타낸 측면도이다.
도 9는 제2 실시예에 따른 센서부의 각도 조정하는 모습을 나타낸 측면도이다.1 is a diagram illustrating a route for transporting articles in a semiconductor or display manufacturing plant.
2 is a front view showing an overhead hoist transport (OHT).
3 is a side view showing the vehicle assembly;
4 is a view showing a state that the OHT according to the present invention moves along the inclined running rail.
5 and 6 are a side view and a plan view of the sensor unit according to the first embodiment.
7 is a side view illustrating a sensor unit according to a second embodiment.
8 is a side view illustrating an angle adjustment of the sensor unit according to the first embodiment.
9 is a side view illustrating an angle adjustment of the sensor unit according to the second embodiment.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the embodiments of the present invention will be described in detail so that those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement them. The present invention may be embodied in several different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.In order to clearly explain the present invention, parts irrelevant to the description are omitted, and the same reference numerals are assigned to the same or similar components throughout the specification.

또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.In addition, in various embodiments, components having the same configuration will be described using the same reference numerals only in the representative embodiment, and only configurations different from the representative embodiment will be described in other embodiments.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우 뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is said to be “connected” to another part, it includes not only a case in which it is “directly connected” but also a case in which it is “indirectly connected” with another member interposed therebetween. In addition, when a part "includes" a certain component, this means that other components may be further included rather than excluding other components unless otherwise stated.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

본 발명의 실시예는 주로 반도체, 디스플레이 등을 제조하기 위하여 물품을 반송하는데 사용될 수 있다. 이때, 물품은 웨이퍼(wafer), 글라스(glass) 등의 기판을 포함할 수 있다. 예를 들어, 물품은 기판이 수납되는 컨테이너(container)일 수 있다. 나아가, 컨테이너는 수납된 기판을 외부로부터 보호하기 위한 밀폐형 컨테이너일 수 있다. 일례로, 밀폐형 컨테이너는 전면 개방 통합 포드(front opening unified pod, FOUP)일 수 있다.Embodiments of the present invention can be mainly used to transport articles for manufacturing semiconductors, displays, and the like. In this case, the article may include a substrate such as a wafer or glass. For example, the article may be a container in which a substrate is received. Furthermore, the container may be a sealed container for protecting the accommodated substrate from the outside. As an example, the sealed container may be a front opening unified pod (FOUP).

도 1은 반도체 또는 디스플레이 제조 공장에서 물품을 반송하기 위한 경로의 예를 도시한다. 반도체 또는 디스플레이 제조 공장은 하나 또는 그 이상의 클린룸들로 구성되며, 각 클린룸에 반도체 제조 공정을 수행하기 위한 제조 설비들이 설치될 수 있다. 일반적으로, 기판(예: 웨이퍼)에 복수의 제조 공정들이 반복 수행됨으로써 최종적으로 처리된 기판이 완성될 수 있는데, 특정 반도체 제조 설비에서 제조 공정이 완료되면, 다음 제조 공정을 위한 설비로 기판이 반송된다.1 shows an example of a route for transporting articles in a semiconductor or display manufacturing plant. A semiconductor or display manufacturing plant consists of one or more clean rooms, and manufacturing facilities for performing a semiconductor manufacturing process may be installed in each clean room. In general, a finally processed substrate may be completed by repeatedly performing a plurality of manufacturing processes on a substrate (eg, a wafer). When the manufacturing process is completed in a specific semiconductor manufacturing facility, the substrate is transferred to a facility for the next manufacturing process. do.

여기서 기판은 복수의 기판을 수용할 수 있는 용기(예: front opening unified pod, FOUP)에 보관된 상태로 반송될 수 있다. 기판들을 수용한 용기는 반송 차량(예: overhead hoist transport, OHT)에 의해 반송될 수 있다.Here, the substrate may be transported while stored in a container that can accommodate a plurality of substrates (eg, front opening unified pod, FOUP). The container containing the substrates may be transported by a transport vehicle (eg, overhead hoist transport, OHT).

도 1을 참고하면, 반도체 또는 디스플레이 제조 공장 내 공정을 수행하기 위한 제조 설비들(1)이 설치되고, 제조 설비들(1) 간에 물품을 반송하기 위한 반송 경로(예: 천정 레일)를 형성하는 주행 레일(10)과, 주행 레일(10)을 따라 주행하면서 제조 설비들(1)로 물품을 반송하는 비히클 어셈블리(20)가 제공될 수 있다. 여기서, 비히클 어셈블리(20)가 제조 설비들(1) 사이에서 물품을 반송할 때, 물품이 곧바로 특정 제조 설비에서 다른 제조 설비로 반송될 수도 있고, 물품이 저장 장치에 저장된 이후 다른 제조 설비로 반송될 수도 있다. 저장 장치(예: 물품 보관부(30))는 주행 레일(10)에 인접한 위치에 설치될 수 있다. 저장 장치는 용기 내 청정 환경을 유지하기 위하여 비활성 가스를 주입할 수 있는 랙 형태의 창고(스토커) 및 레일(10)의 측면에 인접하게 설치되어 물품을 보관하는 STB(side track buffer) 또는 주행 레일(10)의 하부 영역에 설치되어 물품을 보관하는 UTB(under track buffer)를 포함할 수 있다. 도 1에 도시된 것과 같이, 저장 장치는 베이(bay) 영역에 설치될 수도 있고, 베이 외부의 영역에 설치될 수도 있다. 이하에서, 저장 장치는 STB와 같이 주행 레일(10)에 인접하게 천정에 설치되는 저장 창고에 해당한다.Referring to FIG. 1 , manufacturing facilities 1 for performing a process in a semiconductor or display manufacturing plant are installed, and a conveyance path (eg, a ceiling rail) for conveying goods between the manufacturing facilities 1 is formed. A traveling rail 10 and a vehicle assembly 20 for transporting articles to the manufacturing facilities 1 while traveling along the traveling rail 10 may be provided. Here, when the vehicle assembly 20 transports goods between the manufacturing facilities 1 , the goods may be directly transferred from a specific manufacturing facility to another manufacturing facility, and the goods are stored in a storage device and then transferred to another manufacturing facility. it might be The storage device (eg, the article storage unit 30 ) may be installed at a position adjacent to the traveling rail 10 . The storage device is installed adjacent to the side of the rack-type warehouse (stocker) and the rail 10 into which inert gas can be injected to maintain a clean environment in the container to store the goods (side track buffer) or running rail Installed in the lower area of (10) may include a UTB (under track buffer) for storing the article. As shown in FIG. 1 , the storage device may be installed in a bay area or may be installed in an area outside the bay. Hereinafter, the storage device corresponds to a storage warehouse installed on the ceiling adjacent to the traveling rail 10, such as an STB.

본 발명의 실시예에 따른 OHT를 도 2 및 도 3에 개략적으로 도시되어 있다.An OHT according to an embodiment of the present invention is schematically illustrated in FIGS. 2 and 3 .

참고로, 도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 OHT의 오버헤드 호이스트 트랜스포트(OHT)를 나타내는 정면도 및 비히클 어셈블리를 나타내는 측면도이다.For reference, FIGS. 2 and 3 are a front view showing an overhead hoist transport (OHT) of an OHT and a side view showing a vehicle assembly according to an embodiment of the present invention.

OHT(1)는 주행 레일(10) 및 적어도 하나 이상의 비히클 어셈블리(20)를 포함한다. 주행 레일(10)의 레이아웃(layout)은 반도체 제조 현장의 여건 등에 따라 결정될 수 있다. 비히클 어셈블리(20)는, 주행 레일(10)을 따라 주행 가능하고 물품인 FOUP(5)에 대한 그립(grip) 및 언그립(ungrip) 수행이 가능하게 구성됨으로써, FOUP(5)을 임의의 로드 포트로부터 목적하는 로드 포트로 이송할 수 있다.The OHT 1 includes a running rail 10 and at least one vehicle assembly 20 . A layout of the traveling rail 10 may be determined according to conditions of a semiconductor manufacturing site, and the like. The vehicle assembly 20 is configured to be drivable along the travel rail 10 and to be capable of gripping and undipping the FOUP 5, which is an article, thereby allowing the FOUP 5 to be loaded onto any load. It can be transferred from the port to the desired load port.

주행 레일(10)은 적어도 하나 이상의 직선 구간 및 적어도 하나 이상의 곡선 구간을 제공할 수 있다. 직선 구간과 곡선 구간은, 일렬로 서로 연결될 수도 있고, 어느 한 지점에서 분기되거나 합류될 수도 있다. 주행 레일(10)은 천장에 설치된다. The traveling rail 10 may provide at least one or more straight sections and at least one or more curved sections. The straight section and the curved section may be connected to each other in a line, and may branch or merge at any one point. The traveling rail 10 is installed on the ceiling.

즉, 주행 레일(10)은, 좌우 방향으로 이격되고 서로 짝을 이루는 한 쌍의 레일(11), 그리고 한 쌍의 레일(11)을 천장에 정착시키는 레일 지지 부재(15)들을 포함함으로써, 반도체 제조 현장의 상부 영역에 배치될 수 있다.That is, the traveling rail 10 includes a pair of rails 11 spaced apart in the left and right direction and paired with each other, and rail support members 15 for fixing the pair of rails 11 to the ceiling. It may be disposed in the upper area of the manufacturing site.

도 2 및 도 3을 참조하면, 비히클 어셈블리(20)는, 주행 레일(10)을 따라 주행하는 비히클(100), FOUP(5)에 대한 그립 및 언그립을 수행하는 호이스트 모듈(hoist module, 200)을 포함한다.2 and 3 , the vehicle assembly 20 includes a hoist module 200 that grips and ungrips the vehicle 100 traveling along the traveling rail 10 and the FOUP 5 . ) is included.

비히클(100)은 차체(110) 및 휠(wheel, 120)들을 포함한다. 차체(110)에는 좌우 방향으로 연장된 차축이 장착된다. 차축은 복수로 제공되고 전후 방향으로 서로 이격될 수 있다. 휠(120)들은 차체(110)가 주행 레일(10)의 안내에 따라 주행 가능하도록 차체(110)에 이동성을 부여하는 주행 휠이다. 휠(120)들은, 차축의 양단 부분에 각각 장착되고, 한 쌍의 레일(11) 각각의 상측에 제공된 주행 면에 접촉되어 구름 운동을 한다. 비히클(100)은, 휠(120)들을 회전시키기 위한 동력을 제공하는 휠 구동 유닛을 더 포함한다. 일례로 휠 구동 유닛은 차축을 회전시키도록 구성될 수 있다.The vehicle 100 includes a vehicle body 110 and wheels 120 . An axle extending in a left and right direction is mounted on the vehicle body 110 . A plurality of axles may be provided and may be spaced apart from each other in the front-rear direction. The wheels 120 are driving wheels that impart mobility to the vehicle body 110 so that the vehicle body 110 can travel according to the guidance of the traveling rail 10 . The wheels 120 are mounted on both ends of the axle, respectively, and roll in contact with the running surface provided on the upper side of each of the pair of rails 11 . The vehicle 100 further includes a wheel drive unit that provides power for rotating the wheels 120 . In one example the wheel drive unit may be configured to rotate an axle.

도시된 바는 없으나, 비히클(100)은 한 쌍의 레일(11)의 대향하는 내측에 제공된 안내 면에 각각 접촉되는 안내 휠을 더 포함할 수 있다.Although not shown, the vehicle 100 may further include a guide wheel each contacting the guide surfaces provided on opposite inner sides of the pair of rails 11 .

호이스트 모듈(200)은 하우징(housing, 210), 그립 유닛(220), 승강 유닛(230), 회전 구동 유닛(240) 및 수평 구동 유닛(250)을 포함한다.The hoist module 200 includes a housing 210 , a grip unit 220 , a lifting unit 230 , a rotation driving unit 240 , and a horizontal driving unit 250 .

하우징(210)은 주행 레일(10)의 하방에서 차체(110)와 연결된다. 하우징(210)은 상측이 차체(110)의 하측에 적어도 하나 이상의 연결기에 의하여 연결될 수 있다. 하우징(210)은 FOUP(5)이 수용되는 내부 공간을 제공한다. 하우징(210)은 FOUP(5)을 내부 공간에서 좌우 방향으로 이동시키고 하측 방향으로 이동시킬 수 있게 양측 및 하측이 개방된 구조를 가지도록 형성된다.The housing 210 is connected to the vehicle body 110 under the traveling rail 10 . The upper side of the housing 210 may be connected to the lower side of the vehicle body 110 by at least one connector. The housing 210 provides an interior space in which the FOUP 5 is accommodated. The housing 210 is formed to have a structure in which both sides and the lower side are open so that the FOUP 5 can be moved in the left and right directions in the inner space and can be moved in the downward direction.

그립 유닛(220)은 FOUP(5)을 그립하거나 언그립한다. 승강 유닛(230)은 그립 유닛(220)을 상하 방향으로 이동시키고, 회전 구동 유닛(240)은 그립 유닛(220)을 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키며, 수평 구동 유닛(250)은 그립 유닛(220)을 좌우 방향으로 이동시킨다. 그립 유닛(220)을 승강 유닛(230)에 의하여 상하 방향으로 이동시키고, 승강 유닛(230)을 회전 구동 유닛(240)에 의하여 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키며, 회전 구동 유닛(240)을 수평 구동 유닛(250)에 의하여 좌우 방향으로 이동시킴으로써, 그립 유닛(220)에 의하여 그립된 FOUP(5)을 상하 방향으로 이동시키거나 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키거나 좌우 방향으로 이동시킬 수 있다. 도 2에는 그립 유닛(220)에 의하여 그립된 FOUP(5)을 하우징(210)의 내부 공간으로부터 우측 방향으로 이동시킨 상태가 예시되어 있다.The grip unit 220 grips or ungrips the FOUP 5 . The lifting unit 230 moves the grip unit 220 up and down, the rotation drive unit 240 rotates the grip unit 220 about an axis in the up and down direction, and the horizontal drive unit 250 moves the grip unit ( 220) to the left and right. The grip unit 220 is moved in the vertical direction by the lifting unit 230 , the lifting unit 230 is rotated about an axis in the vertical direction by the rotation driving unit 240 , and the rotation driving unit 240 is horizontally moved. By moving in the left and right direction by the driving unit 250 , the FOUP 5 gripped by the grip unit 220 can be moved in the up-down direction, rotated about an axis in the up-down direction, or moved in the left-right direction. 2 illustrates a state in which the FOUP 5 gripped by the grip unit 220 is moved in the right direction from the inner space of the housing 210 .

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 이동 유닛(300)은 적어도 하나 이상의 롤러 모듈로 구성될 수 있다. 롤러 모듈은 복수로 구비되는 경우 전후 방향으로 서로 이격되도록 간격을 두고 배치될 수 있다. 롤러 모듈은, 레일 부재(31) 각각의 안내 요소(32)의 안내에 따라 좌우 방향의 축을 중심으로 구름 운동을 하는 좌측과 우측의 롤러(310)들, 그리고 좌측과 우측의 롤러(310)들을 회전(구름 운동) 가능하게 지지하는 롤러 마운트(320)를 포함한다.2 and 3 , the moving unit 300 may be configured of at least one or more roller modules. When a plurality of roller modules are provided, they may be spaced apart from each other in the front-rear direction. The roller module includes the left and right rollers 310, and the left and right rollers 310, which roll about an axis in the left and right direction according to the guidance of the guide element 32 of each rail member 31. It includes a roller mount 320 for rotatably (rolling motion) support.

안내 요소(32)들은 볼록한 형상의 횡단면을 가지는 돌기 또는 오목한 형상의 횡단면을 가지는 홈으로 제공될 수 있다. 롤러(310)들의 외주에는 이러한 안내 요소(32)들의 형상에 대응하는 형상을 가진 접촉 면이 마련될 수 있다. 예를 들어, 롤러(310)들의 접촉 면은 안내 요소(32)들이 볼록한 돌기로 제공되면 돌기가 삽입되어 롤러(310)들의 좌우 이탈을 방지하는 형상을 가질 수 있다.The guide elements 32 may be provided as protrusions with a convex cross-section or as grooves with a concave-shaped cross-section. A contact surface having a shape corresponding to the shape of the guide elements 32 may be provided on the outer periphery of the rollers 310 . For example, when the guide elements 32 are provided as convex protrusions, the contact surfaces of the rollers 310 may have a shape to prevent the left and right separation of the rollers 310 by inserting the protrusions.

도 4에 나타난 바와 같이, 비히클과 호이스트 모듈은 경사진 레일을 따라 이동하더라도 호이스트 모듈이 수평을 유지하여 안정적인 운행이 가능해지는 효과가 있다. As shown in FIG. 4 , even if the vehicle and the hoist module move along the inclined rail, the hoist module maintains the horizontal level, thereby enabling stable operation.

즉, 비히클의 차체(110)와 호이스트 모듈의 하우징(210)은 스윙축(160)과 스윙핀(260)으로 연결하여, 경사진 주행레일을 따라 주행구동 되더라도 호이스트 모듈의 수평을 일정하게 유지할 수 있다. That is, the vehicle body 110 and the housing 210 of the hoist module are connected to the swing shaft 160 and the swing pin 260, so that even if the vehicle is driven along the inclined traveling rail, the horizontal level of the hoist module can be constantly maintained. have.

도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 센서부(400)를 도시한 도면이다.5 to 7 are diagrams illustrating the sensor unit 400 according to an embodiment of the present invention.

도 5 내지 도 7에 나타난 바와 같이, 센서부(400)는 센서 몸체(410), 센서를 포함한다. 더불어, 센서부(400)를 동작시키기 위하여, 모터(450)와 같은 구동장치를 추가적으로 포함할 수 있다. 5 to 7 , the sensor unit 400 includes a sensor body 410 and a sensor. In addition, in order to operate the sensor unit 400, a driving device such as a motor 450 may be additionally included.

센서 몸체(410)는 센서를 포함하며, OHT의 일면에 착탈 가능하게 구성되어 있다. 센서 몸체(410)가 OHT의 주행 방향과 같은 면에 위치하는 경우에는 센서를 발광/수광을 하는 발/수광부의 역할을 한다. 센서 몸체(410)가 OHT의 주행 방향과 반대되는 면에 위치하는 경우에는 후속하여 진행하고 있는 OHT에서 발광된 신호를 반사하는 역할을 하여 OHT 간의 데이터를 교류할 수 있다.The sensor body 410 includes a sensor and is detachably configured on one surface of the OHT. When the sensor body 410 is positioned on the same plane as the traveling direction of the OHT, it serves as a light-emitting/light-receiving unit that emits/receives the sensor. When the sensor body 410 is positioned on a surface opposite to the traveling direction of the OHT, it serves to reflect the signal emitted from the OHT that is being processed and exchange data between the OHTs.

센서부(400)에서 센싱하는 센서의 종류를 특별히 한정하지 않으나, 본 발명에서는 광센서를 일례로 설명한다.The type of sensor sensed by the sensor unit 400 is not particularly limited, but in the present invention, an optical sensor will be described as an example.

센서의 유효감지거리가 너무 먼 경우에는 센싱의 정확도가 저하될 우려가 있고, 너무 가까운 경우에는 앞서 주행하고 있는 OHT와의 거리가 가까워 충돌 우려가 있으므로, 센서부(400)에서 센싱하는 센서의 유효감지거리는 센서부(400)가 부착된 비히클 어셈블리의 전면으로부터 2.5 내지 3.5 km범위인 것이 바람직하다. If the effective sensing distance of the sensor is too far, there is a fear that the sensing accuracy is reduced. The distance is preferably in the range of 2.5 to 3.5 km from the front surface of the vehicle assembly to which the sensor unit 400 is attached.

각도 조절부는 미리 저장된 주행환경맵에 따라 센서부(400)의 각도를 조절한다.The angle adjusting unit adjusts the angle of the sensor unit 400 according to a previously stored driving environment map.

주행환경맵 정보는 주행 경로의 형상 및 접속 관계의 정보인 기본 맵 정보에 주행 경로의 복수 지점의 각각의 위치 정보 등의 OHT의 주행에 필요한 각종 정보를 저장해 놓은 것이다. The driving environment map information stores various information necessary for OHT driving, such as location information of a plurality of points on the driving path, in basic map information that is information on the shape and connection relationship of the driving path.

각도 조절부는 주행환경맵에 따라 경사진 주행 경로에 OHT가 진입하는 경우, 미리 저장된 주행 경로의 경사로 센서부(400)의 각도를 조절한다. When the OHT enters the inclined driving path according to the driving environment map, the angle adjusting unit adjusts the angle of the slope sensor unit 400 of the previously stored driving path.

각도 조절부의 각도 조절 방식은 여러가지 방식이 있을 수 있으나, 본 발명에서는 도 8 및 도 9를 일례로 하여, 센서부(400)의 각도 조절 과정을 설명한다.Although there may be various methods for adjusting the angle of the angle adjusting unit, in the present invention, the angle adjusting process of the sensor unit 400 will be described with reference to FIGS. 8 and 9 as an example.

도 8에 나타난 바와 같이, 센서를 포함하는 센서 몸체(410)를 연결부재(440)를 통하여 브라켓(430)에 연결한다. 이와 같이 연결된 센서 몸체(410)는 연결부재(440)의 조절을 통하여 각도를 조정하여 앞서 진행하고 있는 OHT의 후면에 위치한 반사용 반사판(500)에 의하여 반사가 일어날 수 있도록 센서 몸체(410)의 각도를 조절한다. As shown in FIG. 8 , the sensor body 410 including the sensor is connected to the bracket 430 through the connection member 440 . The sensor body 410 connected in this way adjusts the angle through the adjustment of the connection member 440 so that reflection can occur by the reflection plate 500 located on the rear side of the OHT in progress. Adjust the angle.

또는 도 9에 나타난 바와 같이, 발광 및 수광용 반사판(460)은 OHT의 후면에 위치한 반사용 반사판(500)에 의하여 반사가 일어날 수 있도록 발광 및 수광용 반사판의 각도를 조절한다. Alternatively, as shown in FIG. 9 , the light-emitting and light-receiving reflector 460 adjusts the angle of the light-emitting and light-receiving reflector so that reflection can occur by the reflecting reflector 500 located on the rear side of the OHT.

도 8 및 도 9에 나타난 바와 같이, 센서 몸체(410) 또는 반사판(460)이 반사용 반사판(500)을 통하여 광이 반사될 수 있도록 각도를 조정함으로써, 경사진 주행레일에서도 OHT 간의 데이터 교류를 할 수 있다. 8 and 9, by adjusting the angle of the sensor body 410 or the reflecting plate 460 so that light can be reflected through the reflecting reflecting plate 500, data exchange between OHTs even on an inclined running rail can do.

제어부(미도시)는 주행환경맵이 저장된 맵저장부(미도시), 주행환경맵에 기반하여 상기 비히클 어셈블리를 주행구동하도록 제어하는 주행제어부(미도시), 비히클 어셈블리 간의 통신을 위한 통신부(미도시)를 포함한다.The control unit (not shown) includes a map storage unit (not shown) in which a driving environment map is stored, a driving control unit (not shown) for controlling the vehicle assembly to be driven based on the driving environment map (not shown), and a communication unit for communication between the vehicle assemblies (not shown). city) is included.

맵저장부(미도시)는 비히클 어셈블리의 주행동작이 이루어질 수 있는 주행레일에 대한 정보를 저장하여 주행환경맵을 완성한다. The map storage unit (not shown) completes the driving environment map by storing information on the driving rail on which the driving operation of the vehicle assembly can be performed.

주행제어부(미도시)는 주행환경맵에 저장된 내용을 기반으로 비히클 어셈블리를 주행구동하도록 할 수 있다. 또한, 센서부(400)에서 인식되는 센서에 의하여, 주행하는 레일의 형상을 인식하여 주행부를 제어할 수 있으므로, 주행환경맵 정보를 완비하고 있지 않은 상태여도 비히클 어셈블리를 레일을 따라 주행시킬 수도 있다. The driving controller (not shown) may drive the vehicle assembly based on the contents stored in the driving environment map. In addition, since the driving unit can be controlled by recognizing the shape of the traveling rail by the sensor recognized by the sensor unit 400, the vehicle assembly can be driven along the rail even if the driving environment map information is not complete. .

그리고, 그와 같은 주행 중에, 맵저장부에 의해 레일을 따른 복수 지점의 각각의 위치 정보와 그 취득 순서를 취득하고, 그 취득한 정보를 맵저장부에 기억시킬 수 있다. 이와 같이 맵저장부에 기억된 위치 정보의 취득 순서의 정보를 이용함으로써, 주행환경맵 정보에 위치 정보를 저장하는 작업을 간소화할 수 있다.Then, during such driving, the location information of each of the plurality of points along the rail and the acquisition order may be acquired by the map storage unit, and the acquired information may be stored in the map storage unit. By using the information on the acquisition order of the location information stored in the map storage unit as described above, it is possible to simplify the operation of storing the location information in the driving environment map information.

통신부(미도시)는 센서부(400)에서 센싱한 결과인 OHT 비히클의 구동 측정 데이터를 OHT로 연결시키는 역할을 한다. The communication unit (not shown) serves to connect driving measurement data of the OHT vehicle, which is a result sensed by the sensor unit 400 , to the OHT.

이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although various embodiments of the present invention have been described above, the drawings and the detailed description of the described invention referenced so far are merely exemplary of the present invention, which are only used for the purpose of explaining the present invention and are not intended to limit meaning or claim claims. It is not intended to limit the scope of the invention described in the scope. Therefore, it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Accordingly, the true technical protection scope of the present invention should be defined by the technical spirit of the appended claims.

1: 제조 설비
5: 물품(FOUP)
10: 주행 레일
20: 비히클 어셈블리
30: 물품 보관부
100: 비히클
160: 스윙축
260: 스윙핀
200: 호이스트 모듈
300: 이동 유닛
310: 롤러
320: 롤러 마운트
400: 센서부
410: 센서 몸체
420: 센서
430: 브라켓
440: 연결부재
450: 모터
460: 발광/수광용 반사판
500: 반사용 반사판1: Manufacturing Equipment
5: Goods (FOUP)
10: running rail
20: vehicle assembly
30: storage unit
100: vehicle
160: swing axis
260: swing pin
200: hoist module
300: mobile unit
310: roller
320: roller mount
400: sensor unit
410: sensor body
420: sensor
430: bracket
440: connection member
450: motor
460: light-emitting / light-receiving reflector
500: reflector for reflection

Claims (10)

주행 레일을 따라 주행하는 롤러를 구비한 비히클 어셈블리;
상기 비히클 어셈블리의 일면에 위치하고, 상기 비히클 어셈블리의 주행구동을 인식하는 센서부;
상기 비히클 어셈블리 상에 위치하고, 상기 주행 레일의 경사도에 대응하여 각도를 변경하는 각도 조절부; 및
상기 센서부에서 센싱된 정보에 의하여 상기 비히클 어셈블리의 주행구동을 제어하는 제어부;
를 포함하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.
a vehicle assembly having rollers running along the running rails;
a sensor unit positioned on one surface of the vehicle assembly and configured to recognize a driving operation of the vehicle assembly;
an angle adjusting unit positioned on the vehicle assembly and configured to change an angle in response to the inclination of the traveling rail; and
a control unit for controlling the driving operation of the vehicle assembly according to the information sensed by the sensor unit;
Overhead hoist transport with
 제 1항에 있어서,
상기 각도 조절부는 미리 저장된 주행환경맵에 따라 상기 센서부의 센서부의 각도를 조절하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.
The method of claim 1,
The angle adjusting unit overhead hoist transport, characterized in that for adjusting the angle of the sensor unit of the sensor unit according to the driving environment map stored in advance.
 제 1항에 있어서,
상기 센서부는 유효감지거리가 상기 비히클 어셈블리의 전면으로부터 2.5 내지 3.5km 범위인 오버헤드 호이스트 트랜스포트.
The method of claim 1,
The sensor unit has an effective sensing distance in the range of 2.5 to 3.5 km from the front of the vehicle assembly.
 제 1항에 있어서,
상기 제어부는 상기 주행환경맵이 저장된 맵저장부;
상기 주행환경맵에 기반하여 상기 비히클 어셈블리를 주행구동하도록 제어하는 주행제어부; 및
상기 비히클 어셈블리 간의 통신을 위한 통신부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.
The method of claim 1,
The control unit may include: a map storage unit storing the driving environment map;
a driving control unit configured to control the vehicle assembly to be driven based on the driving environment map; and
a communication unit for communication between the vehicle assemblies;
Overhead hoist transport comprising a.
 제 1항에 있어서,
상기 비히클 어셈블리는
상기 주행구동을 위한 롤러를 포함하는 비히클; 및
상기 호이스트 모듈;
을 포함하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.
The method of claim 1,
The vehicle assembly is
a vehicle including a roller for driving the vehicle; and
the hoist module;
Overhead hoist transport with
 제 5항에 있어서,
상기 비히클과 상기 호이스트 모듈은
상기 비히클의 차체와 상기 호이스트 모듈의 하우징이 스윙축과 스윙핀으로 연결하여 상기 호이스트 모듈의 수평을 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.
6. The method of claim 5,
The vehicle and the hoist module are
An overhead hoist transport, characterized in that the vehicle body and the housing of the hoist module are connected to a swing shaft and a swing pin to constantly maintain the horizontal level of the hoist module.
 제 1항에 있어서,
상기 센서부에서 사용하는 센서는 광센서 인 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.
The method of claim 1,
The sensor used in the sensor unit is an overhead hoist transport, characterized in that it is an optical sensor.
 제 7항에 있어서,
상기 광센서는 상기 센서부를 조정하여 상기 주행 레일의 경사와 일치시키는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.
8. The method of claim 7,
The optical sensor adjusts the sensor unit to match the inclination of the traveling rail.
 제 7항에 있어서,
상기 광센서는 상기 센서부의 반사판을 조정하여 상기 주행 레일의 경사와 일치시키는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.
8. The method of claim 7,
The optical sensor adjusts the reflector of the sensor unit to match the inclination of the traveling rail.
 제 8항 또는 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 광센서는 모터에 의하여 움직이는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트. 10. The method according to any one of claims 8 or 9,
The optical sensor is an overhead hoist transport, characterized in that moved by a motor.
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