KR20220002878U - 진공 펌프 - Google Patents

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vacuum pump
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outer ring
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KR2020220001297U
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마티아스 나르볼트
디르크 쉴러
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라이볼트 게엠베하
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Abstract

진공 펌프는 하우징, 하우징 내에 배치된 로터 샤프트, 로터 샤프트를 하우징에 대해 회전 가능하게 지지하며, 로터 샤프트와 접촉하는 내륜 및 하우징과 접촉하는 외륜을 포함하는 적어도 하나의 베어링, 및 외륜에 축력을 가하는 축 스프링을 포함하고, 축 스프링과 외륜 사이에 베어링 링이 배치되고, 베어링 링은 하우징에 클램핑력을 가한다.

Description

진공 펌프{VACUUM PUMP}
본 고안은 진공 펌프에 관한 것으로서, 특히 진공 펌프의 베어링에 관한 것이다.
통상적인 진공 펌프는 입구와 출구가 있는 하우징을 포함한다. 하우징에서 로터 샤프트는 적어도 하나의 베어링에 의해 회전 가능하게 지지된다. 일반적으로, 로터 샤프트를 지지하기 위해 두 개의 베어링이 구현된다. 베어링은 통상적으로 볼 베어링과 같은 롤러 베어링으로 구성된다. 로터 샤프트는 전기 모터에 의해 구동되며, 진공 펌프의 하우징에 의해 구성된 스테이터와 상호 작용하거나, 및/또는 제 2 로터 샤프트의 펌프 요소와 상호 작용하는 적어도 하나의 펌프 요소를 포함한다. 따라서, 로터 샤프트의 회전에 의해 가스 매체는 진공 펌프의 입구로부터 진공 펌프의 출구로 이송된다.
특히, 건식 진공 펌프의 두 로터는 베어링의 규정된 접촉각을 형성하도록 축 스프링 힘에 의해 베어링 외륜을 거쳐서 예압되는(preloaded) 볼 베어링에 의해 지지된다. 로터 샤프트 배열체는 고정 베어링(fixed bearing)과 플로팅 베어링(floating bearing)으로 구성된다. 플로팅 베어링용 하우징의 베어링 시트 보어(bearing seat bore)는 고정 베어링의 경우보다 크므로, 로터가 펌프 하우징에 대해 열적으로 팽창할 때 플로팅 베어링이 베어링 시트 내에서 축방향으로 이동할 수 있다. 베어링 외륜과 베어링 시트 사이의 헐거운 끼워맞춤으로 인해, 플로팅 베어링은 또한 반경방향으로 이동할 수 있다. 예압 스프링의 설계는 반경방향 강성을 거의 제공하지 않기 때문에, 플로팅 베어링은 런아웃 오류, 잔류 불균형 또는 가스 힘으로 인한 회전 샤프트의 반경방향 변위를 쉽게 따를 수 있다. 이는 진동과 소음을 초래한다.
따라서, 본 고안의 목적은 더 적은 소음으로 더 안정적으로 작동되는 진공 펌프를 제공하는 것이다.
종래 기술의 기술적 문제는 청구항 1에 따른 진공 펌프에 의해 해결된다.
본 고안에 따른 진공 펌프는 바람직하게는 건식 진공 펌프로서 구성된다. 진공 펌프는 하우징, 및 하우징 내에 배치된 로터 샤프트를 포함한다. 또한, 진공 펌프는 로터 샤프트를 하우징에 대해 회전 가능하게 지지하며 바람직하게는 베어링 시트 보어 내에 배열되는 적어도 하나의 롤러 베어링을 포함한다. 롤러 베어링은 로터 샤프트와 접촉하는 내륜, 및 하우징, 즉 베어링 시트 보어의 표면과 접촉하는 외륜을 포함한다. 내륜과 외륜 사이에는 볼 베어링용 볼 등과 같은 롤러 요소가 배치된다. 나아가, 외륜 상에 축력을 가하기 위해 축 스프링(axial spring)이 구현되어 있다. 따라서, 축 스프링에 의해 가해지는 축력에 의해 로터 샤프트의 열팽창이 보상될 수 있다. 로터 샤프트의 열팽창 시, 롤러 베어링은 열팽창 방향으로 이동하게 되고 이에 의해 축 스프링을 압축한다. 열팽창이 감소하면, 롤러 베어링은 축 스프링의 축력에 의해 초기 위치로 이동한다.
그 점에서, 본 고안에 따르면, 베어링 링이 축 스프링과 외륜 사이에 배치된다. 베어링 링은 하우징, 즉 베어링 시트 보어의 표면에 클램핑력(clamping force)을 가한다. 따라서, 베어링 링에 의해, 롤러 베어링의 외륜에 전달될 수 있는 반경방향 힘이 제공된다. 베어링 링에 의해 외륜에 인가되는 반경방향의 힘에 의해, 반경방향으로의 롤러 베어링의 반경방향 움직임이 저지되어, 진동이 감소하며 그에 따라 진공 펌프의 소음이 감소한다.
바람직하게는, 롤러 베어링 및 베어링 링은 축방향으로 이동 가능하다. 따라서, 롤러 베어링과 베어링 링은 로터 샤프트의 열팽창 하에서 함께 움직인다. 특히, 베어링 링에 의해 가해지는 클램핑력은 한편으로는 축 스프링의 축력으로 인한 외륜의 축방향 가속/이동을 감쇠하지만, 다른 한편으로는 반경방향 힘을 외륜에 가하여 반경방향을 따라 진동과 소음을 감쇠한다. 열팽창이 빠른 효과가 아니기 때문에, 축방향으로 롤러 베어링의 외륜의 가속도를 줄이는 것은 진공 펌프의 작동에 불리한 점이 없고, 작동 중 진공 펌프의 소음을 줄이는 유일한 이점을 제공한다.
바람직하게는, 베어링 링은 외륜과 직접 접촉하여 외륜에 마찰력을 가한다. 특히, 베어링 링과 롤러 베어링의 외륜 사이의 마찰로 인해, 일반적으로 외륜 또는 롤러 베어링의 반경방향 움직임이 감소되어, 진공 펌프에 의해 발생되는 소음을 감소시킨다.
바람직하게는, 베어링 링은 구조화 표면(textured surface)을 포함한다. 특히, 구조화 표면은 롤러 베어링의 외륜과 직접 접촉한다. 따라서, 구조화 표면의 조직에 의해, 롤러 베어링의 외륜에 가해지는 마찰력은 베어링 링의 의도된 감쇠에 맞게 설정될 수 있다.
바람직하게는, 베어링 링은 간극을 포함하는 잠금 링(lock ring)으로서 구성된다. 간극으로 인해, 베어링 링은 하우징, 즉 하우징의 베어링 시트 보어에 삽입될 베어링 링의 둘레를 줄이기 위해 압축될 수 있다. 해제 시, 베어링 링은 원래 둘레로 복귀하여 진공 펌프의 하우징에 클램핑력을 가한다.
바람직하게는, 베어링 링은 베어링 링을 따라 균일한 클램핑력을 제공하기 위해 그 둘레를 따라 일정하지 않은 단면을 포함한다. 특히, 간극 영역에서는 클램핑력을 감소시키기 위해 단면이 감소된다.
바람직하게는, 베어링 링은 롤러 베어링 쪽으로 배향되며 외륜과 직접 접촉하는 경사면을 포함한다. 경사면에 의해, 축 스프링의 축력의 반경방향 힘 성분이 생성되어 외륜에 가해진다. 그 점에서, 반경방향 힘이 반경방향으로 로터 샤프트의 중심축을 향하여 롤러 베어링의 반경방향 이동을 저지함으로써 소음을 줄인다. 특히, 경사면은 외륜 또는 롤러 베어링의 반경방향 이동을 더욱 저지하는 마찰력을 생성하기 위해 추가로 구조화될 수 있다.
바람직하게는, 베어링 링과 접촉하는 외륜의 접촉면은 둥글게 되어 있거나 모따기되어 있다. 통상적으로, 일반적인 롤러 베어링의 모서리는 둥글거나 모따기된다. 따라서, 반경방향 이동을 저지하여 진공 펌프의 소음을 감소시키기 위해, 특히 베어링 링의 경사면과 관련하여, 롤러 베어링의 둥글거나 모따기된 모서리에 의해, 반경방향 힘 성분이 생성되어 외륜과 롤러 베어링에 가해진다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 고안을 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 고안의 제 1 실시예를 도시한다.
도 2a 및 도 2b는 본 고안의 다른 실시예의 상세도를 도시한다.
도 3은 본 고안의 또 다른 실시예를 도시한다.
도 1을 참조하면, 전기 모터에 의해 회전되며, 도 1에 볼 베어링으로 예시된 롤러 베어링(16)에 의해 진공 펌프의 하우징(14)에 대해 지지되는 로터 샤프트(12)가 도시되어 있다. 베어링은 하우징(14)의 베어링 시트 보어 내에 배열된다. 롤러 베어링(16)은 로터 샤프트(12)에 직접 연결되며 샤프트(12)와 함께 회전되는 내륜(18) 및 하우징(14)과 직접 연결되는 외륜(20)을 포함한다. 내륜(18)과 외륜(20) 사이에는 하우징(14) 내에서의 로터 샤프트(12)의 회전을 허용하기 위해 볼 요소로 예시된 롤러 요소(22)가 배치된다. 그 점에서, 롤러 베어링(16)은 플로팅 베어링으로서 구성되는데, 즉, 적어도 외륜(20)은 하우징(14), 즉 베어링 시트 보어의 내면에 대해 축방향으로 클램핑 방식으로(clampingly) 고정되지 않는다.
외륜(20)에 축력을 가하는 축 스프링(26)이 제공된다. 따라서, 로터 샤프트(12)의 열팽창 시에, 롤러 베어링(16)은 축 스프링(26)의 축력에 대항하여 축방향으로 이동한다. 로터 샤프트(12)의 열팽창이 다시 감소되면, 롤러 베어링(16)은 축 스프링(26)의 축력에 의해 초기 위치로 복귀된다. 그에 의해, 축 스프링(26)은 종래의 진공 펌프에서는 가능한 외륜 또는 롤러 베어링(16)의 반경방향 강성 및 반경방향 운동을 제공할 수 없다. 따라서, 본 고안에 따르면, 베어링 링(24)이 축 스프링(26)과 외륜(20) 사이에 배치된다. 베어링 링(24)은 그 외주에 의해 하우징(14)에 클램핑 방식으로 고정된다. 그러나, 베어링 링(24)은 여전히 로터 샤프트(12)의 열팽창에 의해 또는 축 스프링(26)의 축력에 의해 롤러 베어링(16)과 관련하여 축방향으로 이동할 수 있다. 그 점에서, 베어링 링(24)은 외륜(20)의 표면에 직접 접하여, 롤러 베어링(16)의 반경방향 이동 시에 반경방향으로 마찰력을 생성한다. 베어링 링(24)과 롤러 베어링(16)의 외륜(20) 사이의 마찰로 인해, 롤러 베어링(16)의 반경방향 이동이 저지됨으로써, 진공 펌프의 소음을 효과적으로 감소시킨다. 그 점에서, 롤러 베어링(16)의 외륜(20)과 접촉하는 베어링 링(24)의 접촉면은 마찰력을 증가시키거나 또는 적어도 인가되는 마찰력을 필요한 값으로 맞추기 위해 구조화될 수도 있다.
따라서, 베어링 링(24)에 의해, 축 스프링(26)의 축력에 의한 롤러 베어링(16)의 축방향 가속도는 베어링 링(24)에 의해 제공되는 반경방향 힘으로 인해 감소된다. 그러나, 롤러 베어링(16)의 움직임은 여전히 가능하고 동시에 롤러 베어링(16)의 반경방향 이동은 로터 샤프트(12)의 중심축 쪽으로 가해진 반경방향 마찰력으로 인해 저지된다.
도 2a를 참조하면, 간극을 갖는 클램핑 링으로서 구성된 제 1 실시예의 베어링 링(24A)이 도시되어 있다. 클램핑 링(24A)의 단부들을 함께 압축함으로써, 베어링 링(24A)의 둘레가 감소된다. 이 상태에서, 베어링 링(24A)은 진공 펌프의 베어링을 수용하는 하우징(14)의 베어링 시트 보어 내로 도입될 수 있다.
도 2b에 도시된 다른 실시예에서, 베어링 링(24B)은 일정하지 않은 단면을 나타내며, 이에 의해 베어링 링(24B)의 둘레를 따라 베어링 링(24B)에 의해 하우징(14)에 가해지는 클램핑력을 균일하게 분배한다.
도 3을 참조하면, 본 고안의 다른 실시예가 도시되어 있다. 여기에서 동일하거나 유사한 요소에는 동일한 도면부호가 제공된다.
도 3의 실시예에서, 베어링 링(24)은 롤러 베어링(16) 쪽으로 기울어진 경사면(30)을 갖는다. 경사면(30)은 롤러 베어링(16)의 외륜(20)의 둥글거나 모따기된 모서리와 접촉한다. 경사면(30)과 롤러 베어링(16)의 모따기된 또는 둥글게 된 면(32)의 상호 작용에 의해, 로터 샤프트의 중심축을 향한 반경방향 힘 성분이 축 스프링(26)의 축력으로부터 생성된다. 이 반경방향 힘 성분에 의해, 롤러 베어링(16)의 반경방향 이동이 저지됨으로써, 진공 펌프의 소음을 감소시키지만, 여전히 베어링(16)이 열팽창 하에서 움직일 수 있게 한다.
특히, 진공 펌프는 건식 진공 펌프이며, 이들 진공 펌프에서는 마찰이 없고 가스 부하가 적기 때문에 소음이 가장 중요하다. 따라서, 본 고안에 의하면, 진공 펌프, 특히 건식 진공 펌프에 의해 생성되는 소음이 더욱 감소될 수 있어서 이들 진공 펌프의 유용성 및 다용도성이 향상된다.

Claims (7)

  1. 진공 펌프에 있어서,
    하우징;
    상기 하우징 내에 배치된 로터 샤프트;
    상기 로터 샤프트를 상기 하우징에 대해 회전 가능하게 지지하며, 상기 로터 샤프트와 접촉하는 내륜 및 상기 하우징과 접촉하는 외륜을 포함하는 적어도 하나의 베어링; 및
    상기 외륜에 축력을 가하는 축 스프링을 포함하고,
    상기 축 스프링과 상기 외륜 사이에 베어링 링이 배치되고, 상기 베어링 링은 상기 하우징에 클램핑력(clamping force)을 가하는
    진공 펌프.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 베어링 및 베어링 링은 축방향으로 이동 가능한
    진공 펌프.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 베어링 링은 상기 외륜과 직접 접촉하여 상기 외륜에 마찰력을 가하는
    진공 펌프.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 베어링 링은 구조화 표면(textured surface)을 포함하는
    진공 펌프.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 베어링 링은 상기 베어링 링을 따라 균일한 클램핑력을 제공하기 위해 그 둘레를 따라 일정하지 않은 단면을 포함하는
    진공 펌프.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 베어링 링은, 상기 베어링 쪽으로 배향되며 상기 외륜과 직접 접촉하여 상기 외륜에 가해지는 상기 축 스프링의 축력의 반경방향 힘 성분을 생성하는 경사면을 포함하는
    진공 펌프.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 베어링 링과 접촉하는 상기 외륜의 접촉면은 둥글게 되어 있는
    진공 펌프.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2926541C3 (de) * 1979-06-30 1984-10-25 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Vorrichtung zur Kompensation des jeweiligen radialen Spiels eines Wälzlagers in einer Lagerbohrung
DD151209A5 (de) * 1979-06-30 1981-10-08 Siemens Ag Vorrichtung zur kompensation des radialen spiels eines waelzlagers in einer lagerbohrung
US4699528A (en) * 1986-04-21 1987-10-13 Zephyr Manufacturing Company Rotary assembly having self-positioning bearing, and method
DE19709205A1 (de) * 1997-03-06 1998-09-10 Leybold Vakuum Gmbh Vakuumpumpe mit Wellenlagerung
US5829891A (en) * 1997-07-22 1998-11-03 The Torrington Company Mounting for steering column
US8568827B2 (en) * 2006-11-30 2013-10-29 Caterpillar Inc. Textured coating on a component surface
JP6385286B2 (ja) * 2015-01-13 2018-09-05 Ntn株式会社 軸受予圧機構及び軸支持装置
JP6409754B2 (ja) * 2015-12-02 2018-10-24 ミネベアミツミ株式会社 ファン
GB201610896D0 (en) * 2016-06-22 2016-08-03 Edwards Ltd Vacuum scroll pump
GB2556059A (en) * 2016-11-16 2018-05-23 Valeo Air Man Uk Limited Electric supercharger with bearing retention
ES2904473T3 (es) * 2017-08-23 2022-04-05 Sulzer Management Ag Dispositivo de rodamiento de eje con dispositivo de elevación
DE102020200783A1 (de) * 2020-01-23 2021-07-29 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Vorrichtung zur Zentrierung eines Loslagers
CN213235487U (zh) * 2020-09-29 2021-05-18 北京中科九微科技有限公司 一种抗振分子泵

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