KR20210156122A - 플라즈마 발생 장치 - Google Patents

플라즈마 발생 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20210156122A
KR20210156122A KR1020200073862A KR20200073862A KR20210156122A KR 20210156122 A KR20210156122 A KR 20210156122A KR 1020200073862 A KR1020200073862 A KR 1020200073862A KR 20200073862 A KR20200073862 A KR 20200073862A KR 20210156122 A KR20210156122 A KR 20210156122A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
plasma generating
body case
plasma
generating unit
unit
Prior art date
Application number
KR1020200073862A
Other languages
English (en)
Inventor
정성욱
Original Assignee
정성욱
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 정성욱 filed Critical 정성욱
Priority to KR1020200073862A priority Critical patent/KR20210156122A/ko
Priority to PCT/KR2020/009544 priority patent/WO2021256601A1/ko
Publication of KR20210156122A publication Critical patent/KR20210156122A/ko

Links

Images

Classifications

    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N1/00—Electrotherapy; Circuits therefor
    • A61N1/44—Applying ionised fluids
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N1/00—Electrotherapy; Circuits therefor
    • A61N1/02—Details
    • A61N1/04—Electrodes
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N1/00—Electrotherapy; Circuits therefor
    • A61N1/02—Details
    • A61N1/04—Electrodes
    • A61N1/0404—Electrodes for external use
    • A61N1/0472—Structure-related aspects
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N1/00—Electrotherapy; Circuits therefor
    • A61N1/02—Details
    • A61N1/08—Arrangements or circuits for monitoring, protecting, controlling or indicating
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/2406—Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H2245/00—Applications of plasma devices
    • H05H2245/30—Medical applications
    • H05H2245/34—Skin treatments, e.g. disinfection or wound treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H2277/00—Applications of particle accelerators
    • H05H2277/10—Medical devices

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Neurology (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

본 발명은 플라즈마 발생 장치에 관한 것으로서, 특히, 내부에 소정 공간이 형성된 바디 케이스, 상기 바디 케이스의 일측에 착탈 가능하게 결합되고, 균일하고 안정적인 플라즈마의 생성을 위해 마련된 플라즈마 생성 유닛, 상기 바디 케이스의 내부에 구비되고, 상기 플라즈마 생성 유닛에 전원을 공급시키도록 구비된 전원공급부 및 상기 바디 케이스의 내부에 구비되되, 상기 전원공급부와 연결되고, 상기 플라즈마 생성 유닛에서 발생시키는 플라즈마의 강도를 제어하도록 구비된 제어부를 포함함으로써, 사용 편의성을 향상시키는 이점을 제공한다.

Description

플라즈마 발생 장치{PLASMA GENERATOR}
본 발명은 플라즈마 발생 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 메탈 전극과 접하여 실질적으로 플라즈마를 발생시키는 유전체층의 내면에는 은도금을 수행하고 유전체층의 외면에는 유리 코팅을 수행하여 제조된 플라즈마 발생 장치에 관한 것이다.
물질 중 에너지 상태가 가장 낮은 고체가 에너지를 받아 액체, 또는 기체로 전이된다. 이때 중성 기체에 이온화 에너지 이상의 에너지가 인가되면 이온화 및 전자와 이온의 재결합에 의해 전자, 이온, 중성 원자 및 분자로 이루어진 플라즈마를 생성할 수 있다. 플라즈마에는 양전하와 음전하가 혼재하여 자유 입자에 가까운 브라운 운동을 하면서도 전기적으로 중성을 유지하고 있기 때문에 이온화된 전도성 가스종이라고 한다. 플라즈마의 분류 기준에는 플라즈마 밀도, 전자 온도, 종들 간의 열평형 정도(LTE 또는 non-LTE), 발생 방식, 응용 분야 등이 있다. 연구나 제조 공정을 위한 플라즈마는 대개 LTE 또는 non-LTE 중 하나이며, 일반적으로 전자를 열 플라즈마, 후자를 저온 플라즈마라고도 한다. 저온 플라즈마 중 대기압 플라즈마는 주로 물질의 표면 개질 및 코팅, 환경 정화 등의 분야에 활용되고 있다.
최근에는 생체 적용과 바이오 메디칼 분야의 응용 가능성으로 연구가 확대되고 있다. 바이오 메디칼 분야에서 대기압 플라즈마 장치가 많이 연구되고 있다(한국 등록특허 제 1407672호 및 한국 등록특허 제 1292268호).
한편, 최근에는 안정적인 플라즈마 발생을 위하여 메탈전극의 표면에 유전체층을 도입시킨 플라즈마 발생 장치가 등장하고 있다. 그러나, 종래의 플라즈마 발생 장치는 평평한 형태의 유전체층을 도입하여 넓은 면적에 평행한 전위차를 형성시키고, 대상물체와의 사이에 간격을 두어 전극과 대상물체 사이의 공간에 플라즈마를 발생시키는 한계가 있었고, 유전체층을 통해 발생한 플라즈마가 대상물체의 국소 부위와 접촉될 경우 순간적으로 전기가 튀는 아크 현상이 발생하여 인체 부위를 상해하는 문제점이 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-1407672호(2006.07.04. 공고)
본 발명은 상기한 기술적 과제를 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 실질적으로 대상물체(특히 인체의 피부)와 접촉되는 플라즈마 발생 부위인 유전체층의 내면에는 은도금을 수행하여 전하의 흐름을 향상시킴은 물론, 유전체층의 외면에는 유리 코팅을 수행하여 아크의 발생을 방지할 수 있는 플라즈마 발생 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
아울러, 본 발명은, 바디 케이스의 일측에 플라즈마 생성 유닛이 착탈 가능하게 구비됨으로써, 두피용 또는 피부용과 같이 별도의 용도로 마련된 플라즈마 생성 유닛의 교체가 용이하므로, 기능성을 크게 향상된 플라즈마 발생 장치를 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.
본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재들로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치는, 내부에 소정 공간이 형성된 바디 케이스, 상기 바디 케이스의 일측에 착탈 가능하게 결합되고, 균일하고 안정적인 플라즈마의 생성을 위해 마련된 플라즈마 생성 유닛, 상기 바디 케이스의 내부에 구비되고, 상기 플라즈마 생성 유닛에 전원을 공급시키도록 구비된 전원공급부 및 상기 바디 케이스의 내부에 구비되되, 상기 전원공급부와 연결되고, 상기 플라즈마 생성 유닛에서 발생시키는 플라즈마의 강도를 제어하도록 구비된 제어부를 포함한다.
여기서, 상기 플라즈마 생성 유닛은, 상기 바디 케이스의 일측에 자석 결합 방식으로 착탈 결합될 수 있다.
또한, 상기 플라즈마 생성 유닛은, 상기 바디 케이스의 일측에 슬라이딩 방식으로 착탈 결합될 수 있다.
또한, 상기 플라즈마 생성 유닛은, 상기 바디 케이스의 일측에 삽입 후 회전되어 걸림되거나, 회전되어 걸림이 해제된 후 탈거되도록 착탈 결합될 수 있다.
또한, 상기 플라즈마 생성 유닛은, 상기 바디 케이스의 일측에 삽입 시 후크 걸림되어 결합되거나, 탈거 시 후크 걸림이 해제되어 탈거되도록 착탈 결합될 수 있다.
또한, 상기 플라즈마 생성 유닛은, 상기 전원공급부로부터 인가된 전압을 이용하여 전위차를 발생시키는 금속 전극 및 상기 금속 전극과 접합되고, 플라즈마를 안정시키도록 세라믹 소재로 형성되되, 상기 금속 전극과 접합되는 내면에는 실버 플레이팅된 은도금층이 형성되고, 대상물과 접촉되는 외면에는 유리 코팅층이 형성된 유전체 팁 컨택터를 포함할 수 있다.
또한, 상기 유전체 팁 컨택터, 96％ 이상 순도의 알루미나(Al2O3)에 실버를 메탈라이징하는 공법으로 상기 은도금층을 형성할 수 있다.
또한, 상기 제어부는, 상기 전원공급부로부터 인가된 전압을 사인웨이브(sine wave) 방식으로 제어하여 오프(off) 구간 없이 강약을 조절함으로써 플라즈마를 생성할 수 있다.
또한, 내부 공간이 마련되고, 일측에 물리적 진동 미용부가 구비되며, 타측에 상기 플라즈마 생성 유닛이 구비되는 바디 케이스 및 상기 바디 케이스의 타측에 착탈되고, 상기 플라즈마 생성 유닛을 덮는 보호 케이스를 더 포함하고, 상기 전원공급부는, 상기 바디 케이스의 내부 공간에 충전 가능하게 마련된 리튬 이온화 충전 배터리로 구비될 수 있다.
또한, 상기 바디 케이스에는, 상기 전원공급부로의 USB 단자에 의한 전원 충전을 위한 USB 포트 홀이 마련될 수 있다.
또한, 상기 플라즈마 생성 유닛은, 상기 금속 전극 및 상기 유전체 팁 컨택터의 상기 바디 케이스에 대한 결합을 매개하는 팁 하우징 및 상기 팁 하우징의 내부에 마련되고, 상기 금속 전극 및 상기 유전체 팁 컨택터를 지지하는 지지 플레이트를 더 포함하고, 상기 금속 전극 및 상기 유전체 팁 컨택터는, 상기 지지 플레이트에 의하여 상기 팁 하우징에 형성된 설치 홀을 통해 상기 유전체 팁 컨택터의 외면이 노출되도록 설치될 수 있다.
또한, 상기 유전체 팁 컨택터는, 외주면에 리브 돌출되고 일측은 상기 지지 플레이트에 지지되고 타측은 상기 팁 하우징의 내측에 형성된 단턱에 지지될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치는 다음과 같은 다양한 효과를 달성할 수 있다.
첫째, 대상물(즉, 사용자의 피부)에 직접 접촉되는 플라즈마 생성 유닛의 구성 중 유전체 팁 컨택터의 외면은 유리 코팅층을 형성함으로써 사용자의 피부를 손상시키는 것을 방지할 수 있는 효과를 가진다.
둘째, 금속 전극과 접합되는 유전체 팁 컨택터의 내면은 은도금층을 형성함으로써, 전기적인 단락을 방지하여 균일하고 안정적인 플라즈마 생성을 할 수 있는 효과를 가진다.
셋째, 바디 케이스의 일측에 플라즈마 생성 유닛이 착탈 가능하게 구비됨으로써, 두피용 또는 피부용과 같이 별도의 용도로 마련된 플라즈마 생성 유닛의 교체가 용이하므로, 기능성을 크게 향상시키는 효과를 가진다.
도 1은 본 발명에 따른 플라즈마 발생 장치를 나타낸 사시도이고,
도 2는 도 1의 구성 중 보호 캡을 분리한 상태를 나타낸 분해 사시도이며,
도 3은 도 1의 A-A선을 따라 취한 단면도이고,
도 4는 도 1의 내부 구성을 나타낸 분해 사시도이며,
도 5는 도 1의 구성 중 플라즈마 생성 유닛을 나타낸 사시도이고,
도 6a 및 도 6b는 도 5의 B-B선 및 C-C선을 따라 취한 단면도이며,
도 7은 도 5의 분해 사시도이고,
도 8은 도 5의 분해 사시도로써, B-B선을 따라 취한 절개 분해 사시도이며,
도 9는 도 5의 구성 중 유전체층을 나타낸 다양한 사시도이고,
도 10a 및 도 10b는 도 9의 D-D선을 따라 취한 상세 단면도이며,
도 11은 본 발명에 따른 플라즈마 발생 장치의 구성 중 플라즈마 생성 유닛의 다양한 외관을 나타낸 사시도이고,
도 12a 및 도 12b는 도 11의 구성 중 플라즈마 생성 유닛의 착탈 모습을 나타낸 일측 및 타측 방향의 분해 사시도이며,
도 13은 도 11의 E-E선을 따라 취한 절개 사시도이고,
도 14는 본 발명에 따른 플라즈마 발생 장치의 일 실시예의 제어 과정을 나타낸 제어 그래프이다.
이하, 본 발명에 따른 플라즈마 발생 장치의 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.
각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 실시예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 실시예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
본 발명의 실시예의 구성 요소를 설명함에 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 또한, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가진 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명에 따른 플라즈마 발생 장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 구성 중 보호 캡을 분리한 상태를 나타낸 분해 사시도이며, 도 3은 도 1의 A-A선을 따라 취한 단면도이고, 도 4는 도 1의 내부 구성을 나타낸 분해 사시도이다.
본 발명에 따른 플라즈마 발생 장치의 일 실시예(1)는, 도 1 내지 도 4에 참조된 바와 같이, 내부 공간이 마련되고, 일측에 물리적 진동 미용부(40)가 외측으로 노출되게 구비되며, 타측에 플라즈마 생성 유닛(100)이 외측으로 노출되게 구비되는 바디 케이스(10)를 포함한다.
바디 케이스(10)는, 도 1 및 도 1에 참조된 바와 같이, 대략 타원형의 수직 단면을 가지도록 형성되되, 내부 공간에 후술하는 전원공급부(31)를 포함하는 제어부(30)가 설치될 수 있다.
바디 케이스(10)의 일측으로는 물리적 진동 미용부(40)가 외부로 노출되게 구비될 수 있다. 물리적 진동 미용부(40)는, 외부로 노출된 부위가 대상물(이하, '사용자의 피부'를 지칭함)에 접촉될 때 진동과 같은 물리적 힘을 전달하여 모세혈관을 통한 혈액순환을 도모하는 역할을 할 수 있다. 따라서, 물리적 진동 미용부(40)는, 회전 모터(41)와, 회전 모터(41)의 회전 구동에 의하여 진동을 일으키는 진동체(42)를 포함하도록 구성될 수 있다.
한편, 바디 케이스(10)의 타측에는 균일하고 안정적인 플라즈마의 생성을 위해 마련된 상술한 플라즈마 생성 유닛(100)이 구비될 수 있다. 플라즈마 생성 유닛(100)에 의한 플라즈마 생성 원리 및 그 방법의 구체적인 내용은 뒤에 상세하게 설명하기로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(1)는, 도 2 내지 도 4에 참조된 바와 같이, 플라즈마 생성 유닛(100)에 의한 플라즈마 생성을 위해, 바디 케이스(10)의 내부 공간에 구비된 전원공급부(31)를 더 포함할 수 있다.
전원공급부(31)는, 외부 전원의 선택적 충전이 가능하도록 내부 공간에 충전 가능하게 마련된 리튬 이온화 충전 배터리로 구비될 수 있다.
아울러, 바디 케이스(10)의 내부 공간 중 전원공급부(31)의 일측에는 전원공급부(31)를 통한 플라즈마 생성 유닛(100)의 작동을 제어하기 위한 제어부(30)가 마련된 적어도 하나의 인쇄회로기판(32,33)이 더 구비될 수 있다. 적어도 하나의 인쇄회로기판(32,33)은 전원공급부(31)의 일측으로 적층되게 배치되고, 다수의 전장 제어 소자가 일면 또는 타면에 실장될 수 있다. 여기서, 인쇄회로기판 중 하나(32)는 메인 PCB일 수 있고, 인쇄회로기판 중 다른 하나(33)는 서브 PCB일 수 있다.
리튬 이온화 충전 배터리로 구비된 전원공급부(31)는, 상술한 적어도 하나의 인쇄회로기판 중 하나(32)의 단부에 실장된 USB 커넥터(35)를 통해 외부 전원으로부터 충전 가능하게 구비될 수 있다.
보다 상세하게는, 바디 케이스(10)의 내부에는 전원공급부(31)가 적어도 하나의 인쇄회로기판(32)의 일측에 안정적으로 고정 설치되고, 바디 케이스(10)에는 외부 전원과의 전기적 연결을 위해 구비된 USB 케이블 단자(미도시)를 통해 전원공급부(31)로의 전원 충전을 위한 USB 포트 홀(15)이 마련될 수 있다. 여기서, USB 포트홀(10)에는, USB 커넥터(35)가 위치되어 상술한 USB 케이블 단자가 접속될 수 있다.
전원공급부(31)에 충전된 전원은 상술한 물리적 진동 미용부(40)의 회전 모터(41) 및 플라즈마 생성 유닛(100)의 플라즈마 생성을 위한 작동원으로써 공급될 수 있다.
전원공급부(31)가 방전되면, 사용자는 선택적으로 USB 케이블 단자를 이용하여 외부 전원으로부터 전원공급부(31)를 충전하고, 충전이 완료된 본 발명에 따른 플라즈마 발생 장치(1)를 분리하여 간편하게 휴대함으로써 장소를 불문하고 자동차의 내부나 직장 등에서 사용할 수 있는 이점을 가진다.
한편, 플라즈마 생성 유닛(100)은, 바디 케이스(10)의 타측에 착탈되는 보호 케이스(20)에 의하여 덮여진 상태로 외부로부터 플라즈마 생성 유닛(100)의 구성 중 이물질에 따른 변형에 취약한 유전체 팁 컨택터(140)를 보호할 수 있다. 보호 케이스(20)는, 후술하는 플라즈마 생성 유닛(100)의 구성 중 팁 하우징(110)의 외측에 착탈 가능하게 결합될 수 있다.
도 5는 도 1의 구성 중 플라즈마 생성 유닛을 나타낸 사시도이고, 도 6a 및 도 6b는 도 5의 B-B선 및 C-C선을 따라 취한 단면도이며, 도 7은 도 5의 분해 사시도이고, 도 8은 도 5의 분해 사시도로써, B-B선을 따라 취한 절개 분해 사시도이다.
본 발명에 따른 플라즈마 발생 장치의 일 실시예(1)에서, 플라즈마 생성 유닛(100)은, 도 5 내지 도 8에 참조된 바와 같이, 전원공급부(31)로부터 인가된 전압을 이용하여 전위차를 발생시키는 금속 전극(130)과, 금속 전극(130)과 접합되고, 플라즈마를 안정시키도록 세라믹 소재로 형성되되, 금속 전극(130)과 접합되는 내면(142)에는 실버 플레이팅된 은도금층(145)이 형성되고, 대상물과 접촉되는 외면(141)에는 유리 코팅층(144)이 형성된 유전체 팁 컨택터(140)를 포함할 수 있다(구체적으로는 후술하는 도 9 참조).
여기서, 플라즈마 생성 유닛(100)은, 금속 전극(130) 및 유전체 팁 컨택터(140)의 바디 케이스(10)에 대한 결합을 매개하는 팁 하우징(110)과, 팁 하우징(110)의 내부에 마련되고, 금속 전극(130) 및 유전체 팁 컨택터(140)를 지지하는 지지 플레이트(120)를 더 포함할 수 있다.
금속 전극(130) 및 유전체 팁 컨택터(140)는, 지지 플레이트(120)에 의하여 팁 하우징(110)에 형성된 적어도 하나의 설치 홀(111,112)을 통해 적어도 하나 이상(130a,130b)으로 구비된 유전체 팁 컨택터(140)의 외면(141)이 각각 노출되도록 설치될 수 있다.
보다 상세하게는, 팁 하우징(110)은, 도 7에 및 도 8에 참조된 바와 같이, 일측으로는 개구되어 소정의 내부 공간을 형성함과 아울러 타측으로는 상술한 하나 이상의 설치 홀(111,112)이 상호 일방향으로 이격되게 천공되도록 형성되며, 내부 공간에는 지지 플레이트(120)의 테두리 부분이 설치 홀(111,112)이 형성된 방향으로 유전체 팁 컨택터(140)의 테두리 부분을 사이에 두고 걸림되는 단턱(113)이 형성될 수 있다.
즉, 지지 플레이트(120)는, 팁 하우징(110)이 바디 케이스(10)의 타측에 결합되기 전 내부 공간에 삽입된 채로 구비되고, 팁 하우징(110)이 바디 케이스(10)에 설치될 때 지지 플레이트(120)의 테두리 부분이 팁 하우징(110)의 내부 공간에 형성된 단턱(113)에 지지되도록 설치될 수 있다.
아울러, 팁 하우징(110)의 단턱(113)에는 상술한 바와 같이, 유전체 팁 컨택터(140)의 테두리 단부가 지지 플레이트(120)에 지지되어 걸림될 수 있다. 여기서, 단턱(113)은 설치 홀(111,112)의 내경보다 더 큰 내경을 가지도록 형성되는 바, 유전체 팁 컨택터(140)는, 설치 홀(111,112)의 외부로부터 내측으로 삽입될 수 없고, 지지 플레이트(120)와 마찬가지로 팁 하우징(110)을 바디 케이스(10)에 설치하기 전에 팁 하우징(110)의 내부에 위치되도록 배치되어 가고정될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(1)에 있어서는, 도 7 내지 도 8에 참조된 바와 같이, 설치 홀(111,112)이 한 쌍으로 구비되고, 각각의 설치 홀(111,112)을 관통하여 노출되는 유전체 팁 컨택터(140)가 각각 설치 홀(111,112)의 개수에 대응되게 한 쌍(140a,140b)으로 구비되는 것으로 한정하여 설명하고 있다. 그러나, 반드시 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니고, 설치 홀(111,112) 및 유전체 팁 컨택터(140)는 각각 대응되는 개수로 형성되는 한도에서 3개 이상으로 구비될 수 있다.
지지 플레이트(120)는, 도 7 및 도 8에 참조된 바와 같이, 바디 케이스(10)의 폭 방향으로 길게 형성된 판상으로 형성된 것으로써, 한 쌍의 금속 전극(130)의 일면을 지지하도록 금속 전극(130)이 구비된 방향으로 돌출 형성된 지지 보스부(122)를 포함할 수 있다. 지지 보스부(122)의 금속 전극(130)의 일면에 대향하는 면은 평평하게 형성되고, 지지 보스부(122)의 가운데는 천공되게 형성될 수 있다.
한편, 금속 전극(130)은, 지지 플레이트(120)에 형성된 지지 보스부(122)에 각각 안착되도록 지지 보스부(122)의 개수에 대응되게 구비될 수 있다. 여기서, 금속 전극(130)은, 지지 보스부(122)에 안착되는 일면은 평평하게 형성되고, 유전체 팁 컨택터(140)에 접촉되는 타면은 유전체 팁 컨택터(140)의 내측면에 대응되도록 곡면 형상으로 형성될 수 있다.
상기와 같이 구성되는 금속 전극(130)은, 전원공급부(31)로부터 전류가 인가되면, 미도시의 대응 전극과의 사이에 전위차를 발생시킴에 따라 접합된 유전체 팁 컨택터(140)의 외면(141)에 플라즈마를 생성하는 역할을 수행한다.
도 9는 도 5의 구성 중 유전체층을 나타낸 다양한 사시도이고, 도 10은 도 9의 D-D선을 따라 취한 상세 단면도이다.
유전체 팁 컨택터(140)는, 실질적으로 대상물인 사용자의 피부에 접촉되는 부위로써, 금속 전극(130)을 통하여 형성된 전위차를 통해 생성된 플라즈마를 대상물에 인가하는 역할을 하면서 피부 미용 효과를 증진시키는 역할을 한다.
이와 같은 유전체 팁 컨택터(140)는, 도 9 및 도 10에 참조된 바와 같이, 외측단은 그 내면(142)이 상술한 금속 전극(130)의 타면에 대응되도록 함몰된 곡면을 가짐과 동시에 그 외면(141) 또한 함몰된 내면(142)만큼 외측으로 돌출된 곡면을 가지도록 형성될 수 있다.
유전체 팁 컨택터(140)는, 지지 플레이트(120)에 형성된 지지 보스부(122) 및 금속 전극(130) 전체를 감싸면서 내측 단부가 지지 플레이트(120)의 타면에 지지될 수 있다. 지지 플레이트(120)의 타면에 지지된 유전체 팁 컨택터(140)의 테두리 단부에는 팁 하우징(110)의 설치 홀(111,112)에 인접되게 형성된 제2단턱(114)에 걸림되도록 걸림 리브(143)가 형성될 수 있다.
한편, 유전체 팁 컨택터(140)는, 96% 이상의 순도를 가진 알루미나(Al2O3)에 실버(silver)를 메탈라이징(metalizing)하는 공법으로 은도금층(145)을 형성할 수 있다. 즉, 유전체 팁 컨택터(140)는, 전체적으로 알루미나 재질로 이루어지되, 금속 전극(130)과 접합되는 내면(142)은 실버 플레이팅되어 형성됨으로써 전기 전도성의 저하를 방지할 수 있는 효과를 가진다.
은도금층(145)이 내면(142)에 형성되지 않는 경우, 별도의 탄성부재를 이용하여 유전체 팁 컨택터(140)의 내면(142)과 금속 전극(130) 사이의 접합력을 유지하도록 구성하지 않으면, 필연적으로 물리적인 접합 간극이 형성되어 균일한 플라즈마 생성에 불리하나, 본 발명에 따른 플라즈마 발생 장치의 일 실시예(1)는, 별도의 탄성부재가 없이도, 전도성이 뛰어난 은도금층(145)을 유전체 팁 컨택터(140)의 내면(142)에 형성함으로써 플라즈마 생성의 안정성을 도모할 수 있다.
특히, 은도금층(145)은, 금속 전극(130)으로부터 인가된 전류가 이에 접합된 유전체 팁 컨택터(140)의 내면(142)으로 흐를 때 균일한 전류 흐름을 유도함으로써, 안정적인 플라즈마 생성에 도움을 준다.
아울러, 유전체 팁 컨택터(140)의 외면(141)에는 유리 코팅층(144)이 형성될 수 있다. 유리 코팅층(144)은, 다양한 방식으로 유전체 팁 컨택터(140)의 외면(141)에 코팅될 수 있다.
이와 같은 유리 코팅층(144)은, 유전체 팁 컨택터(140)의 외면(141)에 코팅 형성됨으로써, 대상물인 사용자의 피부가 유전체 팁 컨택터(140)에 접촉될 때 발생할 수 있는 전기적인 아크 현상을 방지할 수 있는 이점을 제공한다. 예컨대, 유전체 팁 컨택터(140)의 외면(141)에 유리 코팅층(144)이 구비되지 않는 경우에는, 사용자의 피부와 국소부위(즉, 좁은 부위)에서 접촉하게 될 경우 순간적으로 전하가 몰리는 상기 전기적인 아크 발생 현상에 의하여 대상물(즉, 사용자의 피부)를 손상시키는 문제가 있었다. 유리 코팅층(144)은 상기와 같은 전기적인 아크 발생 현상을 미연에 방지함으로써 제품 품질을 향상시킬 수 있다.
도 11은 본 발명에 따른 플라즈마 발생 장치의 구성 중 플라즈마 생성 유닛의 다양한 외관을 나타낸 사시도이고, 도 12a 및 도 12b는 도 11의 구성 중 플라즈마 생성 유닛의 착탈 모습을 나타낸 일측 및 타측 방향의 분해 사시도이며, 도 13은 도 11의 E-E선을 따라 취한 절개 사시도이다.
본 발명에 따른 플라즈마 발생 장치의 일 실시예는, 도 11 내지 도 13에 참조된 바와 같이, 바디 케이스(10)의 일측에 대하여 착탈 가능하게 결합될 수 있다.
여기서, 바디 케이스(10)의 일측에 해당되는 부위에는 캡 바디(60)가 더 구비될 수 있다. 캡 바디(60)는 개구된 바디 케이스(10)의 일측을 폐쇄시키는 역할을 함과 동시에, 플라즈마 생성 유닛(100)이 착탈되는 결합 요소를 구비하는 역할을 수행할 수 있다.
결합 요소라 함은, 플라즈마 생성 유닛이 자석 결합 방식으로 착탈하는 경우, N극 또는 S극 중 어느 하나의 자성을 갖는 자성체를 의미할 수 있다.
또한, 결합 요소는, 플라즈마 생성 유닛이 슬라이딩 결합 방식으로 착탈하는 경우, 슬라이딩 결합을 위한 슬라이딩 가이드 레일 형상을 포함하고, 슬라이딩 결합 후의 락킹 및 언락킹을 위한 구조 또한 이에 포함될 수 있다.
아울러, 결합 요소는, 플라즈마 생성 유닛이 삽입 및 회전 방식의 결합 또는 회전 및 탈거 방식의 결합 방식으로 착탈하는 경우, 회전에 따른 락킹 및 언락킹 구조가 이에 포함될 수 있다.
그리고, 결합 요소는, 플라즈마 생성 유닛이 삽입 시 후크 걸림되는 후크 걸림 구조 및 탈거 시 후크 걸림이 해제되는 후크 해제 구성 또한 이에 포함됨은 당연하다.
이하, 바디 케이스(10)의 일측에 대한 사양별 플라즈마 생성 유닛(100A,100B)의 착탈 결합 방식을 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
제1 실시예로써, 도면에 도시되지 않았으나, 플라즈마 생성 유닛(100A,100B)은, 바디 케이스(10)의 일측에 자석 결합 방식으로 착탈 결합될 수 있다.
이를 위하여, 바디 케이스(10)의 일측의 캡 바디(60)에는, N극 또는 S극 중 어느 하나의 자성체가 고정되고, 플라즈마 생성 유닛(100A,100B)에는 상기 어느 하나의 자성체와 반대 극성을 가진 자성체가 고정될 수 있다.
다양한 기능성 제품으로 제조된 플라즈마 생성 유닛(100A,100B) 중 다른 기능성의 플라즈마 생성 유닛(100B)으로 교체하고자 할 경우, 바디 케이스(10)의 캡 바디(60)에 결합된 플라즈마 생성 유닛(100A)을 소정의 외력으로 탈거시키면, 위 두 자성체 간의 인력이 해제되면서 용이하게 탈거되고, 다른 플라즈마 생성 유닛(100B)을 근접시키면 두 자성체의 상호 인력에 의하여 매우 간명한 동작으로 플라즈마 생성 유닛(100A,100B)의 교체가 가능하다.
한편, 제2실시예로써, 플라즈마 생성 유닛(100A,100B)은, 바디 케이스(10)의 일측에 슬라이딩 방식으로 착탈 결합될 수 있다.
이를 위하여, 바디 케이스(10)의 일측의 캡 바디(60)에는, 미도시의 가이드 레일이 좌우 방향으로 길게 배설되고, 플라즈마 생성 유닛(100A,100B)에는 미도시의 레일 결합구가 상기 가이드 레일의 외주면 일부를 감싸면서 슬라이딩 이동되도록 고정될 수 있다.
다양한 기능성 제품으로 제조된 플라즈마 생성 유닛(100A,100B) 중 다른 기능성의 플라즈마 생성 유닛(100B)으로 교체하고자 할 경우, 바디 케이스(10)의 캡 바디(60)에 결합된 플라즈마 생성 유닛(100A)을 가이드 레일이 구비된 캡 바디(60)의 일측으로부터 타측으로 소정의 외력을 가하면, 미도시의 언락킹부에 의하여 플라즈마 생성 유닛(100A)의 락킹이 해제된 후 타측으로 슬라이딩 이동되면서 용이하게 탈거되고, 다른 플라즈마 생성 유닛(100B)을 레일 결합구가 가이드 레일에 끼워지도록 한 후 타측에서 일측 방향으로 슬라이딩 이동시키면 근접시키면 미도시의 락킹부에 의하여 잠금이 이루어짐으로써, 플라즈마 생성 유닛(100A,100B)의 교체가 용이하게 이루어질 수 있다.
또한, 제3실시예로써, 플라즈마 생성 유닛(100A,100B)은, 바디 케이스(10)의 일측에 삽입 후 회전되어 걸림되거나, 회전되어 걸림이 해제된 후 탈거되도록 착탈 결합될 수 있다.
예를 들면, 캡 바디(60)에는 플라즈마 생성 유닛(100A,100B)이 바디 케이스(10)에 대하여 '+'자 형태를 그리면서 삽입될 때 삽입 및 탈거를 허용하고, 삽입된 상태에서 일측 방향으로 회전되어 위 '+'자 형태를 벗어난 경우에는 외부로의 탈거가 불가능하도록 구성되는 것도 가능하다. 이 경우, 플라즈마 생성 유닛(100A,100B)이 캡 바디(60)와 완전 매칭되는 '-'자 형태를 이룰 경우, 임의로 플라즈마 생성 유닛(100A,100B)이 회전되지 않도록 고정시키는 고정 수단(미도시)이 더 구비될 수 있음은 당연하다고 할 것이다.
한편, 제4실시예로써, 플라즈마 생성 유닛(100A,100B)은, 바디 케이스(10)의 일측에 삽입 시 후크 걸림되어 결합되거나, 탈거 시 후크 걸림이 해제되어 탈거되도록 착탈 결합될 수 있다.
보다 상세하게는, 도 11 내지 도 13에 참조된 바와 같이, 캡 바디(60)에는 후크 걸림단(71)이 형성되고, 플라즈마 생성 유닛(100A,100B)에는 캡 바디(60) 측에 삽입되는 과정에서 후크 걸림단(71)에 걸림되는 후크부(171)가 형성될 수 있다.
여기서, 캡 바디(60)의 바디 케이스(10) 측에 접하는 테두리 부위 또한 캡바디 후크부(72)가 형성되어 바디 케이스(10)에 대하여 착탈 가능하게 결합될 수 있다.
한편, 플라즈마 생성 유닛(100A,100B) 중 어느 하나의 기능성 사양이 바디 케이스(10)에 결합된 상태에서 플라즈마 생성 유닛(100A,100B) 중 다른 하나의 기능성 사양으로 교체하고자 할 경우, 바디 케이스(10)로부터 캡 바디(60)의 후크부(72)에 외력을 가하여 캡 바디(60)를 분리한 후 캡 바디(60)의 내측으로 노출된 플라즈마 생성 유닛(100A)의 후크부(171)를 후크 걸림단(71)으로부터 분리하면 기존의 플라즈마 생성 유닛(100A)을 용이하게 분리할 수 있고, 새로운 기능성 사양의 플라즈마 생성 유닛(100B)을 캡 바디(60)가 바디 케이스(10)로부터 분리된 상태 또는 캡 바디(60)를 바디 케이스(10)에 결합한 상태에서 캡 바디(60) 측으로 삽입하는 동작으로 후크부(171)가 캡 바디(60)의 후크 걸림단(71)에 걸림되도록 하여 용이하게 교체 작업을 완료할 수 있다.
이와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 발생장치는, 플라즈마 생성 유닛(100A,100B)을 다양한 기능성 사양으로 제조한 후, 소비자가 원하는 기능에 맞추어 손쉽게 바디 케이스(10)에 대하여 착탈 교체할 수 있으므로, 사용자의 편의성을 크게 향상시키는 이점을 가진다.
도 14는 본 발명에 따른 플라즈마 발생 장치의 일 실시예의 제어 과정을 나타낸 제어 그래프이다.
종래의 플라즈마 생성 방식은, 도 14의 (a)에 참조된 바와 같이, duty rate로 조절되어 on time에 따른 off 구간을 형성하여 고압을 생성하는 것이 일반적이었다.
그러나, 본 발명에 따른 플라즈마 발생 장치의 일 실시예(1)에서, 제어부(30)는, 도 14의 (b)에 참조된 바와 같이, 화이트웨일 플라즈마 고압 생성 방식으로써, duty와는 별개로 전압(voltage)의 amplitude로 강약을 조절하여 off 구간 없이 플라즈마를 생성하는 사인웨이브(sine wave) 방식으로 제어할 수 있다. 따라서, 사용자에 따라 요구되는 강도의 플라즈마 생성이 용이한 바, 다양한 소비층을 확보할 수 있는 이점을 가지게 된다.
이상, 본 발명에 따른 플라즈마 발생 장치의 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하였다. 그러나, 본 발명의 실시예가 반드시 상술한 실시예에 의하여 한정되는 것은 아니고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의한 다양한 변형 및 균등한 범위에서의 실시가 가능함은 당연하다고 할 것이다. 그러므로, 본 발명의 진정한 권리범위는 후술하는 청구범위에 의하여 정해진다고 할 것이다.
1: 플라즈마 발생 장치 10: 바디 케이스
15: USB 포트 홀 20: 보호 케이스
30: 제어부 31: 전원공급부
32,33: 인쇄회로기판 35: USB 커넥터
40: 물리적 진동 미용부 41: 회전 모터
42: 진동체 60: 캡 바디
71: 후크 걸림단 72: 캡바디 후크부
100: 플라즈마 생성 유닛 110: 팁 하우징
111,112: 설치 홀 113: 단턱
120: 지지 플레이트 121,122: 보스부
130,130a,130b: 금속 전극 140,140a,140b: 유전체 팁 컨택터
141: 외면 142: 내면
143: 걸림 리브 144: 유리 코팅층
145: 은도금층 171: 후크부

Claims (12)

  1. 내부에 소정 공간이 형성된 바디 케이스;
    상기 바디 케이스의 일측에 착탈 가능하게 결합되고, 균일하고 안정적인 플라즈마의 생성을 위해 마련된 플라즈마 생성 유닛;
    상기 바디 케이스의 내부에 구비되고, 상기 플라즈마 생성 유닛에 전원을 공급시키도록 구비된 전원공급부; 및
    상기 바디 케이스의 내부에 구비되되, 상기 전원공급부와 연결되고, 상기 플라즈마 생성 유닛에서 발생시키는 플라즈마의 강도를 제어하도록 구비된 제어부; 를 포함하는, 플라즈마 발생 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 플라즈마 생성 유닛은,
    상기 바디 케이스의 일측에 자석 결합 방식으로 착탈 결합되는, 플라즈마 발생 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 플라즈마 생성 유닛은,
    상기 바디 케이스의 일측에 슬라이딩 방식으로 착탈 결합되는, 플라즈마 발생 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 플라즈마 생성 유닛은,
    상기 바디 케이스의 일측에 삽입 후 회전되어 걸림되거나, 회전되어 걸림이 해제된 후 탈거되도록 착탈 결합되는, 플라즈마 발생 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 플라즈마 생성 유닛은,
    상기 바디 케이스의 일측에 삽입 시 후크 걸림되어 결합되거나, 탈거 시 후크 걸림이 해제되어 탈거되도록 착탈 결합되는, 플라즈마 발생 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 플라즈마 생성 유닛은,
    상기 전원공급부로부터 인가된 전압을 이용하여 전위차를 발생시키는 금속 전극; 및
    상기 금속 전극과 접합되고, 플라즈마를 안정시키도록 세라믹 소재로 형성되되, 상기 금속 전극과 접합되는 내면에는 실버 플레이팅된 은도금층이 형성되고, 대상물과 접촉되는 외면에는 유리 코팅층이 형성된 유전체 팁 컨택터; 를 포함하는, 플라즈마 발생 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 유전체 팁 컨택터, 96％ 이상 순도의 알루미나(Al2O3)에 실버를 메탈라이징하는 공법으로 상기 은도금층을 형성하는, 플라즈마 발생 장치.
  8. 청구항 6에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 전원공급부로부터 인가된 전압을 사인웨이브(sine wave) 방식으로 제어하여 오프(off) 구간 없이 강약을 조절함으로써 플라즈마를 생성하는, 플라즈마 발생 장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    내부 공간이 마련되고, 일측에 물리적 진동 미용부가 구비되며, 타측에 상기 플라즈마 생성 유닛이 구비되는 바디 케이스; 및
    상기 바디 케이스의 타측에 착탈되고, 상기 플라즈마 생성 유닛을 덮는 보호 케이스; 를 더 포함하고,
    상기 전원공급부는,
    상기 바디 케이스의 내부 공간에 충전 가능하게 마련된 리튬 이온화 충전 배터리로 구비되는, 플라즈마 발생 장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 바디 케이스에는,
    상기 전원공급부로의 USB 단자에 의한 전원 충전을 위한 USB 포트 홀이 마련된, 플라즈마 발생 장치.
  11. 청구항 9에 있어서,
    상기 플라즈마 생성 유닛은,
    상기 금속 전극 및 상기 유전체 팁 컨택터의 상기 바디 케이스에 대한 결합을 매개하는 팁 하우징; 및
    상기 팁 하우징의 내부에 마련되고, 상기 금속 전극 및 상기 유전체 팁 컨택터를 지지하는 지지 플레이트; 를 더 포함하고,
    상기 금속 전극 및 상기 유전체 팁 컨택터는, 상기 지지 플레이트에 의하여 상기 팁 하우징에 형성된 설치 홀을 통해 상기 유전체 팁 컨택터의 외면이 노출되도록 설치된, 플라즈마 발생 장치.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 유전체 팁 컨택터는, 외주면에 리브 돌출되고 일측은 상기 지지 플레이트에 지지되고 타측은 상기 팁 하우징의 내측에 형성된 단턱에 지지되는, 플라즈마 발생 장치.
KR1020200073862A 2020-06-17 2020-06-17 플라즈마 발생 장치 KR20210156122A (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200073862A KR20210156122A (ko) 2020-06-17 2020-06-17 플라즈마 발생 장치
PCT/KR2020/009544 WO2021256601A1 (ko) 2020-06-17 2020-07-21 플라즈마 발생 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200073862A KR20210156122A (ko) 2020-06-17 2020-06-17 플라즈마 발생 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20210156122A true KR20210156122A (ko) 2021-12-24

Family

ID=79176359

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200073862A KR20210156122A (ko) 2020-06-17 2020-06-17 플라즈마 발생 장치

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR20210156122A (ko)
WO (1) WO2021256601A1 (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101407672B1 (ko) 2013-07-30 2014-06-13 주식회사 다온비티아이 플라즈마 피부 처리 장치

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107427693B (zh) * 2015-04-13 2019-11-29 株式会社首琳医疗保险 利用等离子体的皮肤治疗装置
KR101762640B1 (ko) * 2016-05-09 2017-07-31 (주) 프라바이오 피부 마사지 플라즈마 장치
WO2018004300A1 (ko) * 2016-06-30 2018-01-04 ㈜프로스테믹스 플라즈마 발생 장치 및 이를 이용한 탈모 치료 방법
KR20240058972A (ko) * 2016-07-18 2024-05-03 치스칸 홀딩스 피티이. 리미티드 비-열 플라즈마 방출기 및 제어를 위한 장치
CN106362283A (zh) * 2016-09-14 2017-02-01 苏州超等医疗科技有限公司 等离子面膜
KR102026076B1 (ko) * 2017-08-17 2019-09-27 (주)프로스테믹스 생체 피부용 플라즈마 발생기
KR101942362B1 (ko) * 2018-04-05 2019-01-25 주식회사 아단 플라즈마 미용기기

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101407672B1 (ko) 2013-07-30 2014-06-13 주식회사 다온비티아이 플라즈마 피부 처리 장치

Also Published As

Publication number Publication date
WO2021256601A1 (ko) 2021-12-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5097514B2 (ja) ワイヤ電極式イオナイザ
KR101407672B1 (ko) 플라즈마 피부 처리 장치
KR101422823B1 (ko) 플라즈마 피부 처리 장치
KR101667646B1 (ko) 공기 방전을 이용한 플라즈마 미용기기
US4048667A (en) Device for discharging static electricity
JP2008140591A5 (ko)
KR930001351A (ko) 전자기 rf 연결부를 사용하는 플라즈마 처리기 및 방법
CA2646677A1 (en) Modular hybrid plasma reactor and related systems and methods
JP2007005306A (ja) 電場変更用電極内蔵イオントラップ
WO2008102679A1 (ja) プラズマ処理装置
JP2018195555A (ja) 電子発生装置
CN107624268B (zh) 用于表面处理的线性介质阻挡放电等离子体发生装置
CN105939788A (zh) 压缩空气准备腔
KR20210156122A (ko) 플라즈마 발생 장치
KR102357541B1 (ko) 플라즈마 발생 장치
JP7289403B2 (ja) ガス放電を生成する装置
KR101155554B1 (ko) 플라즈마 조사 장치
KR101112745B1 (ko) 가변형 용량 결합 전극을 구비한 플라즈마 반응기
KR200236599Y1 (ko) 상압 플라즈마 발생기
JP2009170198A (ja) バー型イオン発生器及び除電器
KR20130006317A (ko) 플라즈마 처리 장치
JP2005042150A (ja) 成膜装置の隔壁コネクタ
CN206260843U (zh) 电池装置及带有该电池装置的电子烟
CN217748456U (zh) 离子注入设备
KR100495711B1 (ko) 샤워헤드가 구비되는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버