KR20210146219A - Transfer position learning method for ceiling transport vehicles, teaching units and ceiling transport vehicles - Google Patents

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KR20210146219A
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토모타카 키누가와
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가부시키가이샤 다이후쿠
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Abstract

A purpose of the present invention is to provide a method for learning a transfer position in a ceiling transport vehicle. A ceiling transport vehicle (10) transports a hoop or the like along a traveling rail (92) and transfers the hoop or the like to a load port (94). A lifting unit (15) may raise and lower a teaching unit (20). The teaching unit (20) comprises a unit body (21), a teaching plate (31), a first rangefinder (40) and the like. The teaching unit (20) may learn a transfer position of the hoop or the like about the load port (94) based on a position of the teaching plate (31). The unit body (21) can support the teaching plate (31), and the teaching plate (31) is transferred to the load port (94) to release support for the teaching plate (31).

Description

천장 반송차, 티칭 유닛, 및 천장 반송차에 있어서의 이재 위치 학습 방법{TRANSFER POSITION LEARNING METHOD FOR CEILING TRANSPORT VEHICLES, TEACHING UNITS AND CEILING TRANSPORT VEHICLES}The transfer position learning method in a ceiling carrier, a teaching unit, and a ceiling carrier

본 발명은 천장 반송차에 관한 것이며, 특히 설비 내의 이재부에 대한 피반송물의 이재 위치를 천장 반송차에 학습시키기 위해서 사용되는 티칭 유닛, 상기 티칭 유닛을 탑재하는 천장 반송차, 상기 티칭 유닛을 사용한 천장 반송차에 있어서의 이재 위치 학습 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a ceiling transport vehicle, and in particular, a teaching unit used to teach the ceiling transport vehicle the transfer position of an object to a transfer unit in a facility, a ceiling transport vehicle mounted with the teaching unit, and using the teaching unit It relates to a method for learning a transfer position in a ceiling transport vehicle.

종래, 이 종류의 천장 반송차로서는 WO2018/186021에 나타내는 바와 같은 것이 있다. WO2018/186021의 천장 반송차에서는 로드 포트 등(이재부)에 대한 피반송물의 이재 위치를 천장 반송차에 학습시키기 위해서 티칭 유닛과, 위치 결정 부재(티칭 플레이트)가 사용된다.Conventionally, as this type of overhead transport vehicle, there is one as shown in WO2018/186021. In the ceiling transport vehicle of WO2018/186021, a teaching unit and a positioning member (teaching plate) are used in order to teach the ceiling transport vehicle the transfer position of an object with respect to a load port or the like (transfer portion).

WO2018/186021의 천장 반송차에서는 천장 반송차로의 티칭(로드 포트 등(이재부)에 대한 피반송물의 이재 위치의 학습)을 행할 때에 티칭 유닛이 천장 반송차에 탑재됨과 아울러, 위치 결정 부재가 설비 내의 로드 포트 등에 설치된다. 그리고 티칭 유닛의 유닛 본체가 위치 결정 부재에 접촉해서 위치 결정 부재의 위치 검출을 행함으로써 로드 포트 등에 대한 피반송물의 이재 위치를 천장 반송차에 학습시킨다.In the overhead transport vehicle of WO2018/186021, a teaching unit is mounted on the ceiling transport vehicle when teaching (learning the transfer position of an object to be transported with respect to a load port or the like (transfer portion)) on the ceiling transport vehicle, and a positioning member is provided It is installed in the load port, etc. Then, the unit body of the teaching unit comes into contact with the positioning member to detect the position of the positioning member, so that the overhead transport vehicle learns the transfer position of the transported object relative to the load port or the like.

그러나 WO2018/186021의 천장 반송차에서는 천장 반송차로의 티칭을 행할 때에 작업자가 티칭 플레이트를 미리 로드 포트 등에 설치할 필요가 있기 때문에 티칭 플레이트를 로드 포트 등에 설치하는 작업이 발생하여 천장 반송차로의 티칭을 개시할 때까지 시간을 요한다. 특히, 높은 곳에 설치되는 천장 버퍼(천장 보관 선반)에 대한 피반송물의 이재 위치를 천장 반송차에 학습시킬 경우에는 티칭 플레이트를 미리 천장 버퍼에 설치할 필요가 있기 때문에 작업자가 높은 곳에서 티칭 플레이트의 설치 작업을 행하게 되며, 티칭 플레이트의 설치 작업이 번잡하게 된다. 또한, 천장 반송차로의 티칭의 종료 후에는 티칭 플레이트를 로드 포트 등으로부터 철거할 필요가 있다. 이러한 점에서 WO2018/186021의 천장 반송차에서는 천장 반송차로의 티칭의 실시에 시간을 요하여 번잡하다는 문제가 있었다.However, in the overhead transport vehicle of WO2018/186021, when teaching on the overhead transport vehicle, the operator needs to install the teaching plate in advance on the load port or the like. It takes time to do In particular, when the ceiling transport vehicle learns the transfer position of an object to the ceiling buffer (ceiling storage shelf) installed in a high place, it is necessary to install the teaching plate in the ceiling buffer in advance. work, and the installation work of the teaching plate becomes complicated. In addition, it is necessary to remove the teaching plate from the load port or the like after the completion of the teaching on the overhead transport vehicle. In this regard, the overhead transport vehicle of WO2018/186021 has a problem in that it takes time and complexity to teach the overhead transport vehicle.

본 발명은 상기 과제를 해결하는 것으로 천장 반송차로의 티칭(이재부에 대한 피반송물의 이재 위치의 학습)의 실시 시간을 단축할 수 있음과 아울러, 천장 반송차로의 티칭을 용이하게 실시 가능한 천장 반송차, 티칭 유닛, 및 천장 반송차에 있어서의 이재 위치 학습 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention solves the above problem, and while it is possible to shorten the implementation time of teaching (learning the transfer position of an object to be transferred with respect to the transfer part) with the ceiling conveyance vehicle, it is possible to perform the teaching on the ceiling conveyance vehicle easily. An object of the present invention is to provide a transfer position learning method in a car, a teaching unit, and a ceiling transport vehicle.

상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명의 천장 반송차는 설비 내의 천장에 부설되는 주행 레일을 따라 주행 가능한 주행부와, 상기 주행부에 지지되어 상기 주행부와 일체 주행하는 본체부와, 피반송물을 지지 가능하며, 또한 상기 본체부에 대해서 승강 가능한 승강부를 구비하고, 상기 승강부에 의해 상기 피반송물을 지지한 상태로 상기 주행부의 주행에 의해 상기 피반송물을 상기 주행 레일을 따라 반송하고, 상기 승강부의 승강에 의해 상기 피반송물을 상기 설비 내의 이재부에 이재 가능한 천장 반송차이며, 상기 승강부는 상기 이재부에 대한 상기 피반송물의 이재 위치를 학습시키기 위해서 사용되는 티칭 유닛을 지지해서 상기 본체부에 대해서 승강 가능하게 구성되고, 상기 티칭 유닛은 상기 승강부에 의해 지지되는 유닛 본체와, 상기 이재부에 설치되는 티칭 플레이트와, 상기 유닛 본체에 의해 지지됨과 아울러, 상기 티칭 플레이트의 위치를 검출하는 검출부를 구비하고, 상기 검출부에 의해 검출되는 상기 티칭 플레이트의 위치에 의거하여 상기 이재부에 대한 상기 피반송물의 이재 위치를 학습시키는 것이 가능하며, 상기 유닛 본체는 상기 티칭 플레이트를 지지 가능하게 구성되고, 상기 티칭 플레이트가 상기 이재부에 이재됨으로써 상기 티칭 플레이트에 대한 지지를 해제하는 것이다.In order to solve the above problems, the overhead transport vehicle of the present invention can support a traveling part capable of running along a traveling rail installed on a ceiling in a facility, a main body supported by the traveling unit and running integrally with the traveling unit, and an object to be transported and a lifting unit capable of ascending and descending with respect to the main body, and conveying the conveyed object along the traveling rail by the traveling of the traveling unit in a state where the conveyed object is supported by the lifting unit, and the lifting and lowering of the lifting unit is a ceiling transport vehicle capable of transferring the transported object to a transfer unit in the facility by the The teaching unit includes a unit body supported by the lifting unit, a teaching plate installed on the transfer unit, and a detection unit supported by the unit body and detecting a position of the teaching plate. and it is possible to learn the transfer position of the transfer target relative to the transfer unit based on the position of the teaching plate detected by the detection unit, wherein the unit body is configured to support the teaching plate, and the teaching The plate is transferred to the transfer part to release the support for the teaching plate.

상기 구성에서는 주행부의 주행 시 및 승강부의 승강 시에는 유닛 본체와 티칭 플레이트가 일체이며, 이재부에 대한 피반송물의 이재 위치를 천장 반송차에 학습시킬 때에는 티칭 플레이트가 이재부에 이재됨으로써 티칭 플레이트가 유닛 본체로부터 분리된다.In the above configuration, the unit body and the teaching plate are integrated when the traveling part is running and when the lifting part is raised and lowered, and when the ceiling transport vehicle learns the transfer position of the target to the transfer part, the teaching plate is transferred to the transfer part so that the teaching plate is transferred to the transfer part. separated from the unit body.

본 발명의 천장 반송차는 상기 유닛 본체가 상기 티칭 플레이트와 감합하는 감합부를 구비하고, 상기 티칭 플레이트가 상기 이재부에 재치됨으로써 상기 감합부와 상기 티칭 플레이트의 감합이 해제되는 것이다.The overhead transport vehicle of the present invention has a fitting portion for fitting the unit body to the teaching plate, and by placing the teaching plate on the transfer portion, the fitting between the fitting portion and the teaching plate is released.

상기 구성에서는 주행부의 주행 시 및 승강부의 승강 시에는 유닛 본체의 감합부와 티칭 플레이트가 감합하고, 이재부에 대한 피반송물의 이재 위치를 천장 반송차에 학습시킬 때에는 티칭 플레이트가 유닛 본체로부터 분리된다.In the above configuration, the fitting part of the unit body and the teaching plate fit when the traveling part is running and when the lifting part is raised and lowered, and the teaching plate is separated from the unit body when the overhead transport vehicle learns the transfer position of the object to be transferred with respect to the transfer part. .

본 발명의 티칭 유닛은 설비 내의 천장에 부설되는 주행 레일을 따라 주행 가능한 주행부와, 상기 주행부에 지지되어 상기 주행부와 일체 주행하는 본체부와, 피반송물을 지지 가능하며, 또한 상기 본체부에 대해서 승강 가능한 승강부를 구비하고, 상기 승강부에 의해 상기 피반송물을 지지한 상태로 상기 주행부의 주행에 의해 상기 피반송물을 상기 주행 레일을 따라 반송하고, 상기 승강부의 승강에 의해 상기 피반송물을 상기 설비 내의 이재부에 이재 가능한 천장 반송차에 있어서 상기 이재부에 대한 상기 피반송물의 이재 위치를 상기 천장 반송차에 학습시키기 위해서 사용되는 티칭 유닛이며, 상기 승강부에 의해 지지되어 상기 본체부에 대해서 승강 가능하게 구성되고, 상기 승강부에 의해 지지되는 유닛 본체와, 상기 이재부에 설치되는 티칭 플레이트와, 상기 유닛 본체에 의해 지지됨과 아울러, 상기 티칭 플레이트의 위치를 검출하는 검출부를 구비하고, 상기 검출부에 의해 검출되는 상기 티칭 플레이트의 위치에 의거하여 상기 이재부에 대한 상기 피반송물의 이재 위치를 상기 천장 반송차에 학습시키는 것이 가능하며, 상기 유닛 본체는 상기 티칭 플레이트를 지지 가능하게 구성되고, 상기 티칭 플레이트가 상기 이재부에 이재됨으로써 상기 티칭 플레이트에 대한 지지를 해제하는 것이다.The teaching unit of the present invention includes a traveling unit capable of traveling along a traveling rail installed on a ceiling in a facility, a main body supported by the traveling unit and running integrally with the traveling unit, and capable of supporting a transported object, and the main body unit and a lifting unit capable of lifting and lowering with respect to the elevating unit, conveying the conveyed object along the traveling rail by running of the traveling unit in a state where the conveyed object is supported by the lifting unit, and lifting and lowering the conveyed object by raising and lowering the lifting unit A teaching unit used to teach the ceiling transport vehicle the transfer position of the object relative to the transfer part in a ceiling transport vehicle capable of transferring to a transfer unit in the facility, supported by the lifting unit and supported by the body unit A unit body configured to be liftable with respect to the body and supported by the lifting unit, a teaching plate provided on the transfer unit, and a detection unit supported by the unit body and detecting the position of the teaching plate, It is possible to learn the transfer position of the transfer target relative to the transfer unit on the basis of the position of the teaching plate detected by the detection unit, wherein the unit body is configured to support the teaching plate, and , to release the support for the teaching plate by transferring the teaching plate to the transfer part.

상기 구성에서는 주행부의 주행 시 및 승강부의 승강 시에는 유닛 본체와 티칭 플레이트가 일체이며, 이재부에 대한 피반송물의 이재 위치를 천장 반송차에 학습시킬 때에는 티칭 플레이트가 이재부에 이재됨으로써 티칭 플레이트가 유닛 본체로부터 분리된다.In the above configuration, the unit body and the teaching plate are integrated when the traveling part is running and when the lifting part is raised and lowered, and when the ceiling transport vehicle learns the transfer position of the target to the transfer part, the teaching plate is transferred to the transfer part so that the teaching plate is transferred to the transfer part. separated from the unit body.

본 발명의 티칭 유닛은 상기 유닛 본체가 상기 티칭 플레이트와 감합하는 감합부를 구비하고, 상기 티칭 플레이트가 상기 이재부에 재치됨으로써 상기 감합부와 상기 티칭 플레이트의 감합이 해제되는 것이다.In the teaching unit of the present invention, the unit body includes a fitting portion for fitting with the teaching plate, and when the teaching plate is placed on the transfer portion, the fitting between the fitting portion and the teaching plate is released.

상기 구성에서는 주행부의 주행 시 및 승강부의 승강 시에는 유닛 본체의 감합부와 티칭 플레이트가 감합하고, 이재부에 대한 피반송물의 이재 위치를 천장 반송차에 학습시킬 때에는 티칭 플레이트가 유닛 본체로부터 분리된다.In the above configuration, the fitting part of the unit body and the teaching plate fit when the traveling part is running and when the lifting part is raised and lowered, and the teaching plate is separated from the unit body when the overhead transport vehicle learns the transfer position of the object to be transferred with respect to the transfer part. .

본 발명의 천장 반송차에 있어서의 이재 위치 학습 방법은 설비 내의 천장에 부설되는 주행 레일을 따라 주행 가능한 주행부와, 상기 주행부에 지지되어 상기 주행부와 일체 주행하는 본체부와, 피반송물을 지지 가능하며, 또한 상기 본체부에 대해서 승강 가능한 승강부를 구비하고, 상기 승강부에 의해 상기 피반송물을 지지한 상태로 상기 주행부의 주행에 의해 상기 피반송물을 상기 주행 레일을 따라 반송하고, 상기 승강부의 승강에 의해 상기 피반송물을 상기 설비 내의 이재부에 이재 가능한 천장 반송차에 있어서 상기 이재부에 대한 상기 피반송물의 이재 위치를 상기 천장 반송차에 학습시키기 위한 천장 반송차에 있어서의 이재 위치 학습 방법이며, 상기 승강부에 의해 지지되는 유닛 본체와, 상기 이재부에 설치되는 티칭 플레이트와, 상기 유닛 본체에 의해 지지됨과 아울러, 상기 티칭 플레이트의 위치를 검출하는 검출부를 구비하는 티칭 유닛을 상기 승강부에 의해 상기 본체부에 대해서 승강 가능하게 지지시키고, 상기 티칭 플레이트를 상기 이재부에 이재함으로써 상기 유닛 본체에 의한 상기 티칭 플레이트에 대한 지지를 해제시키고, 상기 유닛 본체에 의한 상기 티칭 플레이트에 대한 지지를 해제한 후에 상기 검출부에 의해 검출되는 상기 티칭 플레이트의 위치에 의거하여 상기 이재부에 대한 상기 피반송물의 이재 위치를 상기 천장 대차에 학습시키는 방법이다.The transfer position learning method in the overhead transport vehicle of the present invention comprises: a traveling unit capable of traveling along a traveling rail installed on a ceiling in a facility; a body supported by the traveling unit and running integrally with the traveling unit; a lifting unit capable of being supported and capable of being moved up and down with respect to the body portion; In a ceiling transport vehicle capable of transferring the transported object to a transfer part in the facility by raising and lowering the unit, transfer position learning in a ceiling transport vehicle for making the ceiling transport vehicle learn the transfer position of the transport target relative to the transfer part A teaching unit comprising: a unit body supported by the lifting unit; a teaching plate installed in the transfer unit; and a detection unit supported by the unit body and detecting a position of the teaching plate; The unit is supported so as to be lifted with respect to the main body by means of a part, and by transferring the teaching plate to the transfer part, the support of the teaching plate by the unit body is released, and the support of the teaching plate by the unit body is released. After releasing , based on the position of the teaching plate detected by the detection unit, the method is a method in which the ceiling bogie learns the transfer position of the transfer target with respect to the transfer unit.

상기 방법에서는 주행부의 주행 시 및 승강부의 승강 시에는 티칭 플레이트와 유닛 본체를 일체로 하고, 이재부에 대한 피반송물의 이재 위치를 천장 반송차에 학습시킬 때에는 티칭 플레이트와 유닛 본체를 분리시킨다.In the above method, the teaching plate and the unit body are integrated when the traveling part is traveling and when the lifting part is raised and lowered, and the teaching plate and the unit body are separated when the overhead transport vehicle learns the transfer position of the object to be transferred with respect to the transfer part.

(발명의 효과)(Effects of the Invention)

본 발명의 천장 반송차, 티칭 유닛, 및 천장 반송차의 이재 위치 학습 방법에 의하면 천장 반송차로의 티칭(이재부에 대한 피반송물의 이재 위치의 학습)을 행할 때에 티칭 플레이트가 천장 반송차에 의해 이재부에 설치되고, 또한 이재부로부터 철거되기 때문에 작업자가 이재부에 티칭 플레이트를 설치하는 작업이나 이재부로부터 티칭 플레이트를 철거하는 작업을 행할 필요가 없다. 그 때문에 천장 반송차로의 티칭을 짧은 시간에 용이하게 행할 수 있다.According to the method for learning the transfer position of the ceiling carrier, the teaching unit, and the ceiling carrier of the present invention, when teaching with the ceiling carrier (learning the transfer position of the object to be transferred with respect to the transfer unit) is performed, the teaching plate is operated by the ceiling carrier. Since it is installed in the transfer part and removed from the transfer part, there is no need for the operator to perform the operation of installing the teaching plate on the transfer part or the operation of removing the teaching plate from the transfer part. Therefore, teaching to the overhead transport vehicle can be easily performed in a short time.

도 1은 본 발명의 실시형태에 의한 천장 반송차 및 그것이 구비되는 반도체 기판의 처리 설비의 개략도이다.
도 2는 동 천장 반송차에 탑재되는 티칭 유닛의 사시도이다.
도 3a는 동 티칭 유닛을 구성하는 유닛 본체의 사시도이다.
도 3b는 동 티칭 유닛을 구성하는 티칭 플레이트의 사시도이다.
도 4a는 동 티칭 유닛이 로드 포트에 대하여 승강될 때의 동 티칭 유닛의 정면도이다.
도 4b는 티칭 플레이트가 로드 포트에 재치되었을 때의 동 티칭 유닛의 정면도이다.
도 4c는 천장 반송차로의 티칭을 행할 때의 동 티칭 유닛의 정면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic diagram of the overhead conveyance vehicle by embodiment of this invention, and the semiconductor substrate processing facility with which it is provided.
Fig. 2 is a perspective view of a teaching unit mounted on the overhead transport vehicle.
3A is a perspective view of a unit body constituting the teaching unit.
3B is a perspective view of a teaching plate constituting the teaching unit.
Fig. 4A is a front view of the teaching unit when the teaching unit is raised and lowered with respect to the load port.
Fig. 4B is a front view of the teaching unit when the teaching plate is placed on the load port.
Fig. 4C is a front view of the teaching unit when teaching is performed on the overhead transport vehicle.

우선, 본 발명에 의한 천장 반송차(10)에 대해서 설명한다.First, the overhead transport vehicle 10 according to the present invention will be described.

도 1에 나타내는 바와 같이 천장 반송차(10)는, 예를 들면 반도체 기판의 제조 공장의 클린룸(90)(「설비」의 일례) 내의 천장(91)에 부설되는 주행 레일(92)을 따라 반도체 기판이 수용된 후프(「피반송물」의 일례, 도시 생략) 등이나 후술하는 티칭 유닛(20)을 반송한다. 또한, 천장 반송차(10)는 반도체 기판에 대하여 소정 처리를 행하는 처리 장치(93)의 로드 포트(94)(「이재부」의 일례)나 상기 후프 등을 일시적으로 보관하는 천장 버퍼(천장 보관 선반, 「이재부」의 일례, 도시 생략)에 상기 후프 등이나 티칭 유닛(20)을 이재한다. 또한, 이하에서는 천장 반송차(10)가 상기 후프 등을 이재하는 이재부 및 천장 반송차(10)로의 티칭(이재부에 대한 피반송물의 이재 위치의 학습)을 행할 때에 티칭 유닛(20)을 이재하는 이재부를 처리 장치(93)의 로드 포트(94)로서 설명한다.As shown in FIG. 1 , the overhead transport vehicle 10 is, for example, along a running rail 92 attached to a ceiling 91 in a clean room 90 (an example of "facility") of a semiconductor substrate manufacturing plant. A hoop (an example of a "transfer target", not shown) in which the semiconductor substrate is accommodated and the like or a teaching unit 20 described later are conveyed. In addition, the overhead transport vehicle 10 has a load port 94 (an example of a “transfer portion”) of a processing device 93 that performs predetermined processing on a semiconductor substrate, and a ceiling buffer (ceiling storage) for temporarily storing the hoops and the like. The above-mentioned hoop or the like or the teaching unit 20 is transferred to a lathe, an example of a “transfer portion” (not shown). In the following, the teaching unit 20 is used when teaching (learning the transfer position of an object to be transferred with respect to the transfer part) to the transfer part and the ceiling transport vehicle 10 on which the ceiling transport vehicle 10 transfers the hoop or the like. The transfer unit to be transferred will be described as the load port 94 of the processing device 93 .

도 1에 나타내는 바와 같이 천장 반송차(10)는 주행 레일(92)을 따라 주행 가능한 주행부(11)와, 주행부(11)에 지지되어 주행부(11)와 일체 주행하는 본체부(14)와, 상기 후프 등을 지지 가능하며, 또한 본체부(14)에 대하여 승강 가능한 승강부(15)를 구비한다. 천장 반송차(10)는 승강부(15)에 의해 지지된 상태의 상기 후프 등을 주행부(11)의 주행에 의해 로드 포트(94)의 상방의 소정 위치까지 주행 레일(92)을 따라 반송한다. 천장 반송차(10)는 주행부(11)의 주행에 의해 소정 위치까지 반송된 상기 후프 등을 승강부(15)의 승강에 의해 로드 포트(94)에 이재한다.As shown in FIG. 1 , the overhead transport vehicle 10 includes a traveling unit 11 capable of traveling along a traveling rail 92 , and a main body 14 supported by the traveling unit 11 and traveling integrally with the traveling unit 11 . ) and a lifting unit 15 capable of supporting the hoop and the like, and capable of moving up and down with respect to the body unit 14 . The overhead transport vehicle 10 transports the hoop and the like in a state supported by the elevating unit 15 along the traveling rail 92 to a predetermined position above the load port 94 by the traveling of the traveling unit 11 . do. The overhead conveyance vehicle 10 transfers the hoop or the like conveyed to a predetermined position by the traveling of the traveling unit 11 to the load port 94 by the lifting and lowering of the elevating unit 15 .

주행부(11)는 주행 레일(92) 상을 전동하는 1쌍의 주행 차륜(12)과, 1쌍의 주행 차륜(12)을 구동하는 주행 구동부(13)를 구비한다.The traveling unit 11 includes a pair of traveling wheels 12 for rolling on the traveling rail 92 , and a traveling driving unit 13 for driving the pair of traveling wheels 12 .

본체부(14)는 주행부(11)에 매단 상태로 지지됨과 아울러, 그 내부에 있어서 승강부(15)를 승강 가능하게 지지한다.The main body 14 is supported in a suspended state by the traveling unit 11 and supports the lifting unit 15 so as to be able to move up and down therein.

승강부(15)는 상기 후프 등을 매단 상태로 파지하는 파지부(16)와, 본체부(14)의 내부에 고정되어서 파지부(16)를 승강 구동하는 승강 구동부(도시하지 않음)를 구비한다. 상기 승강 구동부는 파지부(16)의 일단에 접속되는 와이어(17)를 권취하거나 또는 조출함으로써 파지부(16)를 승강시킨다.The lifting unit 15 includes a holding unit 16 for holding the hoop and the like in a suspended state, and a lifting driving unit (not shown) fixed inside the main body 14 to lift and lower the holding unit 16 . do. The lifting driving unit raises and lowers the holding unit 16 by winding or feeding the wire 17 connected to one end of the holding unit 16 .

천장 반송차(10)에서는 로드 포트(94)에 대한 상기 후프 등(피반송물)의 이재 위치를 천장 반송차(10)에 학습시키기 위해서 천장 반송차(10)로의 티칭을 행한다. 여기에서 천장 반송차(10)로의 티칭이란 파지부(16)가 목표 위치로부터 어긋남이 없는 위치에서 로드 포트(94)로의 상기 후프 등(피반송물)의 이재 동작을 행할 수 있도록 천장 반송차(10)에 행해야 할 동작을 기억시키는 것이며, 주행부(11)를 주행 레일(92)의 소정 위치에 정지시켜서 승강부(15)의 파지부(16)를 소정 거리 하강시킨 상태로 파지부(16)의 위치가 목표 위치로부터 어느 만큼 어긋나 있는지를 검출하고, 상기 검출 결과에 의거하여 파지부(16)의 위치를 목표 위치에 보정해서 천장 반송차(10)에 기억시킨다.In the overhead transport vehicle 10 , teaching is performed to the overhead transport vehicle 10 in order to make the ceiling transport vehicle 10 learn the transfer position of the hoop or the like (object to be transported) with respect to the load port 94 . Here, the teaching to the overhead transport vehicle 10 means the overhead transport vehicle 10 so that the holding unit 16 can transfer the hoop or the like (object to be transported) to the load port 94 at a position where there is no deviation from the target position. ) to store the operation to be performed, the holding unit 16 is stopped at a predetermined position of the traveling rail 92 and the holding unit 16 of the elevating unit 15 is lowered by a predetermined distance. It is detected how far the position of is deviated from the target position, and based on the detection result, the position of the holding unit 16 is corrected to the target position and stored in the overhead transport vehicle 10 .

천장 반송차(10)로의 티칭은 티칭 유닛(20)을 사용해서 행해지고, 천장 반송차(10)의 주행부(11)를 목표의 로드 포트(94)의 상방에서 정지시키고, 승강부(15)의 파지부(16)에 의해 파지된 상태의 티칭 유닛(20)을 목표의 로드 포트(94)까지 하강시킴으로써 행한다.Teaching to the overhead transport vehicle 10 is performed using the teaching unit 20 , the traveling unit 11 of the overhead transport vehicle 10 is stopped above the target load port 94 , and the elevating unit 15 . This is performed by lowering the teaching unit 20 in a state held by the holding unit 16 of

티칭 유닛(20)은 천장 반송차(10)의 승강부(15)에 의해 지지되고, 승강부(15)의 승강에 의해 본체부(14)에 대해서 승강한다. 보다 구체적으로는 티칭 유닛(20)은 승강부(15)의 파지부(16)에 의해 파지된 상태로 본체부(14)에 대하여 승강한다.The teaching unit 20 is supported by the elevating unit 15 of the overhead transport vehicle 10 , and the teaching unit 20 is raised and lowered with respect to the main body 14 by the elevating unit 15 . More specifically, the teaching unit 20 moves up and down with respect to the main body 14 in a state held by the gripper 16 of the elevating unit 15 .

티칭 유닛(20)은 그 중량 및 중심 위치가 상기 후프 등(피반송물)과 일치하도록 형성되어 있다. 도 2, 도 3a, 도 3b에 나타내는 바와 같이 티칭 유닛(20)은 유닛 본체(21)와, 티칭 플레이트(31)와, 거리계(40, 41, 42)(「검출부」의 일례)와, 각도계(43)(「검출부」의 일례)로 주로 구성되어 있다.The teaching unit 20 is formed so that its weight and center position coincide with the hoop or the like (object to be transported). 2, 3A, 3B, the teaching unit 20 includes a unit body 21, a teaching plate 31, rangefinders 40, 41, 42 (an example of a "detection unit"), and a goniometer. It is mainly comprised by (43) (an example of "detection part").

도 3a에 나타내는 바와 같이 유닛 본체(21)는 상자형상의 프레임체이다. 유닛 본체(21)는 그 좌우 방향(A)이 티칭 유닛(20)의 반송 시의 천장 반송차(10)의 주행 방향과 동일 방향이 되도록 승강부(15)에 의해 지지된다. 유닛 본체(21)는 바닥판(22)과, 바닥판(22)의 4개의 모서리부 각각에 세워서 설치되는 지주(23)와, 4개의 지주(23)의 정상부에 설치되는 상면판(24)으로 주로 구성되어 있다.As shown to FIG. 3A, the unit main body 21 is a box-shaped frame body. The unit body 21 is supported by the elevating section 15 so that its left-right direction A is the same as the traveling direction of the overhead transport vehicle 10 when the teaching unit 20 is transported. The unit body 21 has a bottom plate 22 , a post 23 installed standing up on each of the four corners of the bottom plate 22 , and a top plate 24 installed on the top of the four posts 23 . is mainly composed of

4개의 지주(23) 중 유닛 본체(21)의 좌우 방향(A)의 양측에 있어서 인접하는 2개의 지주(23) 간에는 횡프레임(25)이 설치되어 있다. 유닛 본체(21)의 좌우 방향(A)의 양측에 설치되는 횡프레임(25) 간에는 지지 프레임(26)이 설치되어 있다. 상면판(24)의 중앙에는 승강부(15)의 파지부(16)가 유닛 본체(21)를 파지하기 위한 플랜지(27)가 설치되어 있다.The horizontal frame 25 is provided between the two support|pillars 23 adjacent in the both sides of the left-right direction A of the unit main body 21 among the four support|pillars 23. As shown in FIG. A support frame 26 is provided between the transverse frames 25 provided on both sides of the unit body 21 in the left-right direction A. A flange 27 for holding the unit body 21 by the holding unit 16 of the lifting unit 15 is provided in the center of the upper plate 24 .

횡프레임(25)의 중앙부에는 유닛 본체(21)의 좌우 방향(A)의 외측으로 돌출되는 기대(28)가 설치되어 있다. 기대(28)는 횡프레임(25)의 외측면으로부터 수평으로 돌출되는 판재이다. 기대(28)에는 티칭 플레이트(31)를 지지하기 위한 제 1 돌기부(29) 및 1쌍의 제 2 돌기부(30)가 고정되어 있다.A base 28 protruding outward in the left-right direction A of the unit body 21 is provided in the central portion of the transverse frame 25 . The base 28 is a plate material protruding horizontally from the outer surface of the transverse frame 25 . A first protrusion 29 for supporting the teaching plate 31 and a pair of second protrusions 30 are fixed to the base 28 .

제 1 돌기부(29)는 기대(28)의 돌출측(횡프레임(25)에 고정되어 있는 측과 반대측)의 중앙부에 형성되고, 티칭 플레이트(31)와 결합함으로써 티칭 플레이트(31)의 전후 방향(B)의 위치 결정을 행한다. 제 1 돌기부(29)는 기대(28)의 상면으로부터 상방으로 돌출되는 제 1 롤러 지지체(29A)와, 제 1 롤러 지지체(29A)의 선단측에 회동 가능하게 축지지되는 제 1 롤러(29B)(「감합부」의 일례)로 구성되어 있다. 제 1 롤러(29B)는 그 롤러면이 전후 방향(B)을 향하도록 제 1 롤러 지지체(29A)에 지지된다. 제 1 롤러(29B)는 그 롤러면이 티칭 플레이트(31)와 접촉해서 티칭 플레이트(31)에 감합됨으로써 티칭 플레이트(31)의 전후 방향(B)의 위치 결정을 행한다.The first protrusion 29 is formed in the central portion of the protruding side of the base 28 (the side opposite to the side fixed to the transverse frame 25 ), and is engaged with the teaching plate 31 in the front-rear direction of the teaching plate 31 . (B) The positioning is performed. The first protrusion 29 includes a first roller support 29A that protrudes upward from the upper surface of the base 28, and a first roller 29B that is pivotally supported on the tip side of the first roller support 29A. (an example of "fitting part"). The 1st roller 29B is supported by the 1st roller support body 29A so that the roller surface may face the front-back direction B. The first roller 29B is positioned in the front-rear direction B of the teaching plate 31 by having the roller surface contact the teaching plate 31 and fit the teaching plate 31 .

제 2 돌기부(30)는 기대(28)의 전후 양측에 제 1 돌기부(29)를 끼우도록 형성되고, 티칭 플레이트(31)와 접촉함으로써 티칭 플레이트(31)의 좌우 방향(A)의 위치 결정을 행한다. 제 2 돌기부(30)는 기대(28)의 상면으로부터 상방으로 돌출되는 제 2 롤러 지지체(30A)와, 제 2 롤러 지지체(30A)의 선단측에 회동 가능하게 축지지되는 제 2 롤러(30B)로 구성되어 있다. 제 2 롤러(30B)는 그 롤러면이 좌우 방향(A)을 향하도록 제 2 롤러 지지체(30A)에 지지된다. 제 2 롤러(30B)는 그 롤러면이 티칭 플레이트(31)와 접촉함으로써 티칭 플레이트(31)의 좌우 방향(A)의 위치 결정을 행한다.The second protrusion 30 is formed to sandwich the first protrusion 29 on both front and rear sides of the base 28, and by making contact with the teaching plate 31, positioning of the teaching plate 31 in the left-right direction (A) is performed. do The second protrusion 30 includes a second roller support 30A that protrudes upward from the upper surface of the base 28, and a second roller 30B that is pivotally supported on the tip side of the second roller support 30A. is composed of The second roller 30B is supported by the second roller support body 30A so that its roller face faces the left-right direction A. As shown in FIG. The second roller 30B positions the teaching plate 31 in the left-right direction A by bringing the roller face into contact with the teaching plate 31 .

도 3b에 나타내는 바와 같이 티칭 플레이트(31)는 유닛 본체(21)의 하부에 감합 가능한 오목형상의 부재이다. 티칭 플레이트(31)는 그 좌우 방향(A)이 티칭 유닛(20)의 반송 시의 천장 반송차(10)의 주행 방향과 동일 방향이 되도록 유닛 본체(21)에 의해 지지된다. 티칭 플레이트(31)는 플레이트 본체(32)와, 플레이트 본체(32)의 좌우 양측에 각각 설치되는 측벽(36)으로 주로 구성되어 있다.As shown in FIG. 3B , the teaching plate 31 is a concave member that can be fitted to the lower portion of the unit body 21 . The teaching plate 31 is supported by the unit body 21 so that its left-right direction A becomes the same as the traveling direction of the overhead conveyance vehicle 10 when the teaching unit 20 is conveyed. The teaching plate 31 is mainly composed of a plate body 32 and sidewalls 36 respectively provided on the left and right sides of the plate body 32 .

플레이트 본체(32)는 판재에 의해 형성되고, 티칭 플레이트(31)를 로드 포트(94)에 이재할 때에 로드 포트(94)에 접촉하는 부분이다.The plate body 32 is formed of a plate material, and is a portion that comes into contact with the load port 94 when the teaching plate 31 is transferred to the load port 94 .

플레이트 본체(32)에는 티칭 플레이트(31)를 로드 포트(94)에 이재할 때에 로드 포트(94)에 설치되는 핀(95)(도 1 참조)이 삽입되는 구멍부(33)가 형성되어 있다. 구멍부(33)는 로드 포트(94)의 핀(95)의 위치에 대응하는 플레이트 본체(32)의 소정 위치(도 3b에서는 3개소)에 형성되어 있다. 구멍부(33)의 상부(플레이트 본체(32)의 상면)에는 구멍부(33)의 개구 부분을 상방으로부터 덮도록 접촉 센서(34)가 설치되어 있다. 접촉 센서(34)는 구멍부(33)에 삽입된 핀(95)의 정상부와 접촉 가능하게 구성되어 있다. 접촉 센서(34)는 핀(95)과 접촉함으로써 검출 신호를 천장 반송차(10)의 제어부(도시하지 않음)에 송신한다. 천장 반송차(10)의 제어부는 접촉 센서(34)로부터의 검출 신호에 의거하여 티칭 플레이트(31)가 로드 포트(94)의 소정 위치에 재치되어 있다고 판단한다.The plate body 32 is formed with a hole 33 into which a pin 95 (refer to FIG. 1 ) installed in the load port 94 is inserted when the teaching plate 31 is transferred to the load port 94 . . The holes 33 are formed at predetermined positions (three places in Fig. 3B) of the plate body 32 corresponding to the positions of the pins 95 of the load port 94 . The contact sensor 34 is provided in the upper part of the hole part 33 (upper surface of the plate main body 32) so that the opening part of the hole part 33 may be covered from above. The contact sensor 34 is comprised so that contact with the top of the pin 95 inserted in the hole part 33 is possible. The contact sensor 34 transmits a detection signal to a control unit (not shown) of the overhead transport vehicle 10 by making contact with the pin 95 . The control unit of the overhead transport vehicle 10 determines that the teaching plate 31 is placed at a predetermined position of the load port 94 based on the detection signal from the contact sensor 34 .

플레이트 본체(32)의 좌우 방향(A)의 양측부에는 제 2 거리계(41)가 조사하는 레이저광을 반사시키기 위한 반사판(35)이 세워서 설치되어 있다. 반사판(35)은 그 벽면이 티칭 플레이트(31)의 전후 방향(B)을 향하도록 설치되어 있다.On both sides of the plate body 32 in the left-right direction A, a reflecting plate 35 for reflecting the laser beam irradiated by the second rangefinder 41 is erected. The reflecting plate 35 is provided so that the wall surface may face the front-back direction B of the teaching plate 31. As shown in FIG.

측벽(36)은 판재에 의해 형성되고, 플레이트 본체(32)의 좌우 방향(A)의 양측 단부에 전후 방향(B)을 따라 세워서 설치되어 있다. 측벽(36)은 티칭 플레이트(31)가 유닛 본체(21)에 지지될 때에 유닛 본체(21)의 기대(28), 제 1 돌기부(29), 및 제 2 돌기부(30)와 결합하는 부분이다. 측벽(36)은 그 상부 반분의 영역에 개구부(37)가 형성되어 있다. 개구부(37)는 유닛 본체(21)의 기대(28), 제 1 돌기부(29), 및 제 2 돌기부(30)가 삽입 통과 가능한 정도의 개구 높이 및 개구 폭으로 개구하고 있다.The side walls 36 are formed of a plate material, and are installed at both ends of the plate body 32 in the left-right direction A along the front-rear direction B. The side wall 36 is a portion that engages with the base 28, the first protrusion 29, and the second protrusion 30 of the unit body 21 when the teaching plate 31 is supported on the unit body 21 . The side wall 36 has an opening 37 formed in its upper half. The opening 37 is opened with an opening height and an opening width of such an extent that the base 28 of the unit body 21, the first protrusion 29, and the second protrusion 30 can be inserted.

개구부(37)의 상부 중앙에는 홈부(38)가 형성되어 있다. 홈부(38)는 유닛 본체(21)의 제 1 돌기부(29)의 제 1 롤러(29B)에 감합 가능한 만곡형상(반원형상)의 절입에 의해 형성되어 있다. 홈부(38)에 제 1 롤러(29B)를 감합함으로써 티칭 플레이트(31)의 전후 방향(B)의 위치 결정이 이루어진다.A groove portion 38 is formed in the upper center of the opening 37 . The groove portion 38 is formed by cutting into a curved shape (semicircular shape) that can be fitted to the first roller 29B of the first protrusion 29 of the unit body 21 . Positioning of the teaching plate 31 in the front-rear direction B is made by fitting the first roller 29B to the groove portion 38 .

홈부(38)의 양측에는 돌출부(39)가 형성되어 있다. 돌출부(39)는 개구부(37)의 상부로부터 하방으로 돌출되는 삼각형의 돌출 부분이다. 돌출부(39)는 티칭 플레이트(31)가 유닛 본체(21)에 지지될 때에 유닛 본체(21)의 기대(28)에 재치된다. 돌출부(39)가 기대(28)에 재치됨으로써 티칭 플레이트(31)가 유닛 본체(21)에 매달린 상태로 지지된다.Protrusions 39 are formed on both sides of the groove portion 38 . The protrusion 39 is a triangular protrusion that protrudes downward from the top of the opening 37 . The protrusion 39 is mounted on the base 28 of the unit body 21 when the teaching plate 31 is supported on the unit body 21 . The protrusion 39 is mounted on the base 28 so that the teaching plate 31 is supported in a suspended state from the unit body 21 .

도 2 및 도 3a에 나타내는 바와 같이 제 1 거리계(40)는 레이저 거리계이며, 천장 반송차(10)로의 티칭할 때에 유닛 본체(21)의 소정 위치로부터 티칭 플레이트(31)의 소정 위치까지의 좌우 방향(A)의 거리를 검출하는 것이다. 제 1 거리계(40)는 유닛 본체(21)의 바닥판(22)에 세워서 설치되는 프레임체(22A)에 부착된다. 제 1 거리계(40)는 티칭 플레이트(31)의 일방의 측벽(36)의 내측면에 레이저광을 조사함으로써 유닛 본체(21)의 소정 위치로부터 티칭 플레이트(31)의 소정 위치까지의 좌우 방향(A)의 거리를 검출한다. 제 1 거리계(40)는 유닛 본체(21)에 1대 설치되어 있다. 티칭 유닛(20)에서는 유닛 본체(21)의 소정 위치로부터 티칭 플레이트(31)의 소정 위치까지의 좌우 방향(A)의 거리의 검출을 1대의 제 1 거리계(40)에 의해 티칭 플레이트(31)의 1점에 있어서 행한다.As shown in FIGS. 2 and 3A , the first rangefinder 40 is a laser rangefinder, and when teaching to the overhead transport vehicle 10 , the left and right sides from the predetermined position of the unit body 21 to the predetermined position of the teaching plate 31 . To detect the distance in direction (A). The first rangefinder 40 is attached to the frame body 22A which is installed standing up on the bottom plate 22 of the unit body 21 . The first rangefinder 40 irradiates a laser beam on the inner surface of one side wall 36 of the teaching plate 31 in the left-right direction from a predetermined position of the unit body 21 to a predetermined position of the teaching plate 31 ( A) to detect the distance. One first rangefinder 40 is provided in the unit body 21 . In the teaching unit 20 , the detection of the distance in the left-right direction A from the predetermined position of the unit main body 21 to the predetermined position of the teaching plate 31 is detected by a first rangefinder 40 to the teaching plate 31 . is performed at one point of

제 2 거리계(41)는 레이저 거리계이며, 천장 반송차(10)로의 티칭할 때에 유닛 본체(21)의 소정 위치로부터 티칭 플레이트(31)의 소정 위치까지의 전후 방향(B)의 거리를 검출하는 것이다. 제 2 거리계(41)는 유닛 본체(21)의 바닥판(22)에 부착된다. 제 2 거리계(41)는 티칭 플레이트(31)의 반사판(35)에 레이저광을 조사함으로써 유닛 본체(21)의 소정 위치로부터 티칭 플레이트(31)의 소정 위치까지의 전후 방향(B)의 거리를 검출한다. 제 2 거리계(41)는 유닛 본체(21)에 2대 설치되어 있다. 티칭 유닛(20)에서는 유닛 본체(21)의 소정 위치로부터 티칭 플레이트(31)의 소정 위치까지의 전후 방향(B)의 거리의 검출을 2대의 제 2 거리계(41)에 의해 티칭 플레이트(31)의 2점에 있어서 행한다.The second rangefinder 41 is a laser rangefinder, which detects the distance in the front-rear direction B from the predetermined position of the unit body 21 to the predetermined position of the teaching plate 31 when teaching to the overhead transport vehicle 10 . will be. The second rangefinder 41 is attached to the bottom plate 22 of the unit body 21 . The second rangefinder 41 measures the distance in the front-rear direction B from the predetermined position of the unit body 21 to the predetermined position of the teaching plate 31 by irradiating the laser beam to the reflecting plate 35 of the teaching plate 31 . detect Two second rangefinders 41 are provided in the unit body 21 . In the teaching unit 20 , the distance in the front-rear direction B from the predetermined position of the unit main body 21 to the predetermined position of the teaching plate 31 is detected by two second rangefinders 41 . is performed at two points of

제 3 거리계(42)는 레이저 거리계이며, 천장 반송차(10)로의 티칭할 때에 유닛 본체(21)의 소정 위치로부터 티칭 플레이트(31)의 소정 위치까지의 상하 방향(C)(높이 방향)의 거리를 검출하는 것이다. 제 3 거리계(42)는 유닛 본체(21)의 지주(23) 또는 지지 프레임(26)에 부착된다. 제 3 거리계(42)는 티칭 플레이트(31)의 플레이트 본체(32)의 상면에 레이저광을 조사함으로써 유닛 본체(21)의 소정 위치로부터 티칭 플레이트(31)의 소정 위치까지의 상하 방향(C)(높이 방향)의 거리를 검출한다. 티칭 유닛(20)에서는 유닛 본체(21)의 소정 위치로부터 티칭 플레이트(31)의 소정 위치까지의 상하 방향(C)(높이 방향)의 거리의 검출을 3대의 제 3 거리계(42)에 의해 티칭 플레이트(31)의 3점에 있어서 행한다.The third rangefinder 42 is a laser rangefinder, and when teaching to the overhead transport vehicle 10 is performed, in the vertical direction C (height direction) from a predetermined position of the unit body 21 to a predetermined position of the teaching plate 31 . to detect the distance. The third rangefinder 42 is attached to the post 23 or the support frame 26 of the unit body 21 . The third rangefinder 42 irradiates a laser beam onto the upper surface of the plate body 32 of the teaching plate 31 in the vertical direction (C) from a predetermined position of the unit body 21 to a predetermined position of the teaching plate 31 . (height direction) to detect the distance. In the teaching unit 20, the detection of the distance in the vertical direction C (height direction) from the predetermined position of the unit main body 21 to the predetermined position of the teaching plate 31 is taught using three third rangefinders 42 . It is performed in three points|pieces of the plate 31.

각도계(43)는 티칭 플레이트(31)에 대한 유닛 본체(21)의 기울기를 검출하는 것이다. 각도계(43)는 유닛 본체(21)의 플랜지(27)의 하부에 부착된다.The goniometer 43 detects the inclination of the unit body 21 with respect to the teaching plate 31 . The goniometer 43 is attached to the lower part of the flange 27 of the unit body 21 .

이어서, 천장 반송차(10)로의 티칭(천장 반송차(10)에 있어서의 이재 위치 학습 방법) 및 천장 반송차(10)로의 티칭 시에 있어서의 티칭 유닛(20)의 작용에 대해서 설명한다.Next, the operation of the teaching unit 20 in teaching to the ceiling carrier 10 (a transfer position learning method in the ceiling carrier 10) and teaching to the ceiling carrier 10 will be described.

천장 반송차(10)로의 티칭에서는 천장 반송차(10)에 탑재된 티칭 유닛(20)의 유닛 본체(21)에 설치된 거리계(40, 41, 42)와, 각도계(43)를 사용해서 티칭 플레이트(31)에 대한 유닛 본체(21)의 좌우 방향(A), 전후 방향(B), 상하 방향(C), 및 선회 방향의 위치 및 티칭 플레이트(31)에 대한 유닛 본체(21)의 기울기량을 측정하고, 측정한 각각의 결과로부터 티칭 플레이트(31)에 대한 승강부(15)의 파지부(16)의 어긋남을 산출하고, 산출한 상기 어긋남을 천장 반송차(10)의 학습값에 반영시킨 후에 로드 포트(94)에 대한 상기 후프 등(피반송물)의 이재 위치를 천장 반송차(10)에 학습시킨다.In teaching to the overhead transport vehicle 10 , the teaching plate using the rangefinders 40 , 41 , 42 and the goniometer 43 provided on the unit body 21 of the teaching unit 20 mounted on the overhead transport vehicle 10 . Positions in the left-right direction (A), front-rear direction (B), up-down direction (C), and turning direction of the unit body 21 with respect to 31 and the amount of inclination of the unit body 21 with respect to the teaching plate 31 is measured, and the displacement of the gripper 16 of the lifting unit 15 with respect to the teaching plate 31 is calculated from the respective measured results, and the calculated displacement is reflected in the learning value of the ceiling transport vehicle 10 . After this, the transfer position of the hoop or the like (object to be transported) with respect to the load port 94 is taught to the ceiling transport vehicle 10 .

도 1 및 도 4a~도 4c에 나타내는 바와 같이 천장 반송차(10)로의 티칭을 행하는 것에 있어서는, 우선 천장 반송차(10)에 티칭 유닛(20)을 탑재시킨다. 이때 천장 반송차(10)는 티칭 유닛(20)(유닛 본체(21)의 플랜지(27))을 승강부(15)의 파지부(16)에 의해 파지한 상태로 본체부(14)에 대한 소정 위치까지 상승시켜서 유지한다.As shown in FIGS. 1 and 4A to 4C , in teaching the overhead transport vehicle 10 , first, the teaching unit 20 is mounted on the overhead transport vehicle 10 . At this time, the overhead transport vehicle 10 holds the teaching unit 20 (flange 27 of the unit main body 21) by the gripping unit 16 of the elevating unit 15 while holding the teaching unit 20 against the main body 14. It is raised to a predetermined position and held.

천장 반송차(10)는 파지부(16)에 의해 유닛 본체(21)의 플랜지(27)를 파지한 상태로 티칭 유닛(20)을 목표의 로드 포트(94)(천장 반송차(10)로의 티칭을 행하기 위한 로드 포트(학습 스테이션))의 상방 위치까지 반송한다. 이때 티칭 플레이트(31)는 파지부(16)에 의해 파지된 유닛 본체(21)에 의해 지지되고, 유닛 본체(21)와 일체로 천장 반송차(10)에 의해 반송된다. 여기에서 도 3a 및 도 3b에 나타내는 바와 같이 유닛 본체(21)와 티칭 플레이트(31)에서는 유닛 본체(21)의 제 1 돌기부(29)의 제 1 롤러(29B)가 티칭 플레이트(31)의 홈부(38)에 감합됨과 아울러, 티칭 플레이트(31)의 돌출부(39)가 유닛 본체(21)의 기대(28)에 재치된다.The overhead transport vehicle 10 holds the flange 27 of the unit body 21 by the gripping portion 16 and transfers the teaching unit 20 to the target load port 94 (to the ceiling transport vehicle 10). It is conveyed to the upper position of the load port (learning station) for teaching. At this time, the teaching plate 31 is supported by the unit body 21 held by the gripper 16 , and is conveyed by the overhead transport vehicle 10 integrally with the unit body 21 . Here, as shown in FIGS. 3A and 3B , in the unit body 21 and the teaching plate 31 , the first roller 29B of the first protrusion 29 of the unit body 21 is the groove part of the teaching plate 31 . While being fitted to (38), the protrusion (39) of the teaching plate (31) is mounted on the base (28) of the unit body (21).

천장 반송차(10)는 티칭 유닛(20)을 목표의 로드 포트(94)의 상방 위치까지 반송하면 주행부(11)를 주행 레일(92)의 소정 위치에서 정지시킨다. 또한, 천장 반송차(10)는 파지부(16)를 횡행 및 선회시켜서 파지부(16)를 천장 반송차(10)로의 티칭을 행하기 위한 기준 위치(학습의 기준 위치)까지 이동시킨다. 도 4a에 나타내는 바와 같이 천장 반송차(10)는 파지부(16)를 상기 기준 위치까지 이동시키면 파지부(16)를 하강시킴으로써 티칭 유닛(20)을 로드 포트(94)까지 하강시킨다. 이에 따라 도 4b에 나타내는 바와 같이 티칭 플레이트(31)가 로드 포트(94)의 핀(95)에 근접되고, 플레이트 본체(32)의 구멍부(33)가 로드 포트(94)의 핀(95)에 끼워지도록 로드 포트(94)에 재치된다. 이때 티칭 플레이트(31)는 파지부(16)에 의해 파지된 유닛 본체(21)에 의해 지지된 상태로 로드 포트(94)에 재치된다.When the overhead conveyance vehicle 10 conveys the teaching unit 20 to a position above the target load port 94 , the traveling unit 11 stops at a predetermined position on the traveling rail 92 . In addition, the overhead transport vehicle 10 traverses and turns the holding unit 16 to move the holding unit 16 to a reference position for teaching to the ceiling transport vehicle 10 (a learning reference position). As shown in FIG. 4A , the overhead transport vehicle 10 lowers the teaching unit 20 to the load port 94 by lowering the holding unit 16 when the holding unit 16 is moved to the reference position. Accordingly, as shown in FIG. 4B , the teaching plate 31 is brought close to the pins 95 of the load port 94 , and the hole 33 of the plate body 32 is connected to the pins 95 of the load port 94 . It is mounted on the load port 94 so as to be inserted into the . At this time, the teaching plate 31 is mounted on the load port 94 in a state supported by the unit body 21 gripped by the gripper 16 .

도 3a, 도 3b, 및 도 4c에 나타내는 바와 같이 천장 반송차(10)는 티칭 플레이트(31)가 로드 포트(94)에 재치된 후에도 계속해서 파지부(16)의 하강 동작을 계속한다. 이때 유닛 본체(21)의 제 1 돌기부(29)의 제 1 롤러(29B)가 티칭 플레이트(31)의 홈부(38)로부터 멀어짐과 아울러, 유닛 본체(21)의 기대(28)가 티칭 플레이트(31)의 돌출부(39)로부터 멀어져서 유닛 본체(21)와 티칭 플레이트(31)가 분리된다. 즉, 유닛 본체(21)의 제 1 돌기부(29)의 제 1 롤러(29B)와 티칭 플레이트(31)의 홈부(38)의 감합이 해제되어 티칭 플레이트(31)에 대한 유닛 본체(21)의 지지가 해제된다.3A , 3B , and 4C , the overhead transport vehicle 10 continues the lowering operation of the holding unit 16 even after the teaching plate 31 is placed on the load port 94 . At this time, the first roller 29B of the first protrusion 29 of the unit body 21 moves away from the groove 38 of the teaching plate 31, and the base 28 of the unit body 21 moves toward the teaching plate ( 31) away from the protrusion 39, the unit body 21 and the teaching plate 31 are separated. That is, the engagement between the first roller 29B of the first protrusion 29 of the unit body 21 and the groove 38 of the teaching plate 31 is released so that the unit body 21 with respect to the teaching plate 31 is moved. support is lifted.

천장 반송차(10)는 제 3 거리계(42)가 학습 위치까지 하강하면 파지부(16)의 하강 동작을 정지한다. 여기에서 천장 반송차(10)는 플레이트 본체(32)에 설치되는 모든 접촉 센서(34)가 로드 포트(94)의 핀(95)을 검출하고 있는지에 의해 티칭 플레이트(31)가 로드 포트(94)의 적정 위치(플레이트 본체(32)의 모든 구멍부(33)가 로드 포트(94)의 모든 핀(95)에 끼워지는 위치)에 재치되어 있는지를 판단한다. 티칭 플레이트(31)가 로드 포트(94)의 적정 위치에 재치되어 있지 않다고 판단했을 경우에는 천장 반송차(10)는 파지부(16)의 상승 및 하강 동작을 반복함으로써 티칭 플레이트(31)를 로드 포트(94)의 적정 위치에 재치한다.When the third rangefinder 42 descends to the learning position, the overhead carrier 10 stops the lowering operation of the holding unit 16 . Here, in the overhead transport vehicle 10 , the teaching plate 31 is connected to the load port 94 by whether all the contact sensors 34 installed on the plate body 32 detect the pins 95 of the load port 94 . ) (a position in which all the holes 33 of the plate body 32 are fitted to all the pins 95 of the load port 94) is determined. When it is determined that the teaching plate 31 is not placed in the proper position of the load port 94 , the overhead transport vehicle 10 loads the teaching plate 31 by repeating the lifting and lowering operations of the holding unit 16 . The port 94 is placed in an appropriate position.

제 3 거리계(42)가 학습 위치까지 하강하고, 티칭 플레이트(31)가 로드 포트(94)의 적정 위치에 재치되면 천장 반송차(10)에서는 거리계(40, 41)에 의해 유닛 본체(21)의 소정 위치로부터 티칭 플레이트(31)의 소정 위치까지의 좌우 방향(A) 및 전후 방향(B)의 거리가 검출된다. 그리고 천장 반송차(10)에서는 거리계(40, 41)의 검출 결과에 의거하여 티칭 플레이트(31)를 기준으로 하는 유닛 본체(21)의 좌우 방향(A), 전후 방향(B), 및 선회 방향의 위치가 측정되고, 측정된 유닛 본체(21)의 좌우 방향(A), 전후 방향(B), 및 선회 방향의 위치에 의거하여 티칭 플레이트(31)를 기준으로 하는 파지부(16)의 주행 방향, 횡행 방향, 및 선회 방향의 위치가 산출된다.When the third rangefinder 42 descends to the learning position and the teaching plate 31 is placed at the proper position of the load port 94 , in the overhead transport vehicle 10 , the rangefinder 40 , 41 moves the unit body 21 to the unit body 21 . Distances in the left-right direction (A) and front-rear direction (B) from the predetermined position of the teaching plate 31 to the predetermined position are detected. And in the overhead carrier 10, the left-right direction (A), the front-back direction (B), and the turning direction of the unit body 21 with respect to the teaching plate 31 based on the detection result of the rangefinders 40 and 41 The position of is measured, and based on the measured positions of the left-right direction (A), the front-back direction (B), and the turning direction of the unit body 21, the holding part 16 travels with respect to the teaching plate 31 as a reference. The positions of the direction, the traverse direction, and the turning direction are calculated.

구체적으로는 천장 반송차(10)에서는 제 1 거리계(40)의 검출 결과에 의거하여 티칭 플레이트(31)의 위치를 기준으로 하는 파지부(16)의 주행 방향의 위치가 산출된다. 또한, 천장 반송차(10)에서는 제 2 거리계(41)의 검출 결과에 의거하여 티칭 플레이트(31)의 위치를 기준으로 하는 파지부(16)의 횡행 방향의 위치 및 선회 방향의 위치가 산출된다. 여기에서 티칭 플레이트(31)는 로드 포트(94)에 있어서 천장 반송차(10)로의 티칭을 행하기 위한 기준 위치(학습의 기준 위치)에 재치되어 있기 때문에 티칭 플레이트(31)를 기준으로 하여 파지부(16)의 위치를 산출함으로써 학습의 기준 위치에 대한 파지부(16)의 위치의 어긋남을 산출할 수 있다. 이 때문에 파지부(16)의 위치가 학습의 기준 위치인 티칭 플레이트(31)로부터 어긋나 있을 경우에는 거리계(40, 41)는 미리 설정된 값(거리)과는 어긋난 값(거리)을 검출한다.Specifically, in the overhead transport vehicle 10 , the position in the traveling direction of the holding unit 16 based on the position of the teaching plate 31 is calculated based on the detection result of the first rangefinder 40 . In addition, in the overhead transport vehicle 10 , the position in the transverse direction and the position in the turning direction of the holding unit 16 based on the position of the teaching plate 31 are calculated based on the detection result of the second rangefinder 41 . . Here, since the teaching plate 31 is placed at a reference position (a reference position for learning) for teaching to the overhead transport vehicle 10 in the load port 94, the teaching plate 31 is used as a reference. By calculating the position of the holding unit 16, a shift in the position of the holding unit 16 with respect to the reference position for learning can be calculated. For this reason, when the position of the holding part 16 is deviated from the teaching plate 31 which is the reference position of learning, the rangefinders 40 and 41 detect the value (distance) deviated from the preset value (distance).

천장 반송차(10)에서는 파지부(16)의 위치가 산출되면 산출된 파지부(16)의 위치가 미리 설정된 범위 내의 위치인지가 판단된다. 산출된 파지부(16)의 위치가 미리 설정된 범위 내의 위치가 아닐 경우에는 천장 반송차(10)는 파지부(16)를 횡행 및 선회시켜서 파지부(16)의 위치를 미리 설정된 범위 내의 위치로 보정하고, 다시 파지부(16)의 주행 방향, 횡행 방향, 및 선회 방향의 위치가 측정된다. 천장 반송차(10)에서는 파지부(16)의 위치가 미리 설정된 범위 내의 위치가 될 때까지 반복하여 파지부(16)의 위치의 보정 및 측정이 행해진다.In the overhead transport vehicle 10 , when the position of the holding unit 16 is calculated, it is determined whether the calculated position of the holding unit 16 is within a preset range. When the calculated position of the holding unit 16 is not within the preset range, the overhead transport vehicle 10 traverses and turns the holding unit 16 to change the position of the holding unit 16 to a position within the preset range. After correction, the positions of the holding unit 16 in the traveling direction, the transverse direction, and the turning direction are measured again. In the overhead transport vehicle 10 , correction and measurement of the position of the holding unit 16 are repeatedly performed until the position of the holding unit 16 becomes a position within a preset range.

파지부(16)의 위치가 미리 설정된 범위 내의 위치일 경우에는 천장 반송차(10)에서는 3대의 제 3 거리계(42) 또는 1대의 제 3 거리계(42)와 각도계(43)에 의해 티칭 플레이트(31)에 대한 유닛 본체(21)의 기울기가 검출된다. 그리고 천장 반송차(10)에서는 3대의 제 3 거리계(42) 또는 1대의 제 3 거리계(42)와 각도계(43)의 검출 결과에 의거하여 티칭 플레이트(31)에 대한 유닛 본체(21)의 좌우 방향(A) 및 전후 방향(B)의 기울기량이 측정되고, 측정된 유닛 본체(21)의 좌우 방향(A) 및 전후 방향(B)의 기울기량에 의거하여 티칭 플레이트(31)에 대한 파지부(16)의 주행 방향 및 횡행 방향의 기울기량이 산출된다.When the position of the gripper 16 is within a preset range, in the overhead carrier 10, the teaching plate ( The inclination of the unit body 21 with respect to 31 is detected. And in the overhead transport vehicle 10 , the left and right sides of the unit body 21 with respect to the teaching plate 31 based on the detection results of the three third rangefinders 42 or one third rangefinder 42 and the goniometer 43 . The amount of inclination in the direction (A) and the front-rear direction (B) is measured, and based on the measured amount of inclination in the left-right direction (A) and the front-rear direction (B) of the unit body 21 , the gripping part for the teaching plate 31 In (16), the amount of inclination in the traveling direction and the transverse direction is calculated.

티칭 플레이트(31)에 대한 파지부(16)의 주행 방향 및 횡행 방향의 기울기량이 산출되면 천장 반송차(10)는 지금까지 측정 및 산출한 데이터를 학습 데이터로서 기억한다. 또한, 도 4c에 나타내는 바와 같이 천장 반송차(10)는 파지부(16)를 상승시킴으로써 티칭 유닛(20)을 로드 포트(94)로부터 상승시킨다. 이에 따라 우선 파지부(16)에 의해 파지된 상태의 유닛 본체(21)만이 상승한다. 도 4b에 나타내는 바와 같이 유닛 본체(21)가 상승함으로써 유닛 본체(21)의 기대(28)가 플레이트 본체(32)의 돌출부(39)에 접촉함과 아울러, 유닛 본체(21)의 제 1 돌기부(29)의 제 1 롤러(29B)가 티칭 플레이트(31)의 홈부(38)에 감합되고, 티칭 플레이트(31)가 유닛 본체(21)에 의해 지지된다. 그리고 도 4b에 나타내는 바와 같이 유닛 본체(21)가 더 상승함으로써 티칭 플레이트(31)가 유닛 본체(21)에 의해 들어 올려져 티칭 플레이트(31)가 유닛 본체(21)와 일체로 상승한다. 이에 따라 유닛 본체(21)와 티칭 플레이트(31)가 일체가 된 티칭 유닛(20)이 파지부(16)에 의해 파지된 상태로 본체부(14)에 대한 소정 위치까지 상승한다. 그리고 천장 반송차(10)로의 티칭이 종료된다.When the amount of inclination in the traveling direction and the transverse direction of the gripper 16 with respect to the teaching plate 31 is calculated, the overhead transport vehicle 10 stores the data measured and calculated so far as learning data. In addition, as shown in FIG. 4C , the overhead transport vehicle 10 raises the teaching unit 20 from the load port 94 by raising the holding part 16 . Thereby, only the unit body 21 in the state gripped by the holding|gripping tool 16 first rises. As shown to FIG. 4B, while the base 28 of the unit main body 21 comes into contact with the protrusion part 39 of the plate main body 32 by the unit main body 21 raising, the 1st protrusion part of the unit main body 21 The first roller 29B of (29) is fitted to the groove portion 38 of the teaching plate 31 , and the teaching plate 31 is supported by the unit body 21 . And as shown in FIG. 4B, when the unit main body 21 rises further, the teaching plate 31 is lifted by the unit main body 21, and the teaching plate 31 rises integrally with the unit main body 21. As shown in FIG. Accordingly, the teaching unit 20 in which the unit body 21 and the teaching plate 31 are integrated is raised to a predetermined position with respect to the main body 14 in a state held by the holding unit 16 . And the teaching to the ceiling conveyance vehicle 10 is complete|finished.

이렇게 천장 반송차(10)로의 티칭에 있어서는 유닛 본체(21)와 티칭 플레이트(31)가 일체가 된 티칭 유닛(20)이 목표 로드 포트(94)(학습 스테이션)까지 반송되고, 티칭 플레이트(31)가 목표의 로드 포트(94)에 재치됨으로써 유닛 본체(21)와 티칭 플레이트(31)가 분리되어 천장 반송차(10)로의 티칭을 행할 수 있는 상태가 된다.In teaching to the overhead transport vehicle 10 in this way, the teaching unit 20 in which the unit body 21 and the teaching plate 31 are integrated is transported to the target load port 94 (learning station), and the teaching plate 31 ) is placed on the target load port 94 , the unit main body 21 and the teaching plate 31 are separated, and it is in a state in which teaching to the overhead transport vehicle 10 can be performed.

또한, 천장 반송차(10)로의 티칭을 종료시킬 때에는 천장 반송차(10)가 유닛 본체(21)를 상승시키는 것만으로 유닛 본체(21)와 분리되어 있었던 티칭 플레이트(31)가 유닛 본체(21)에 들어 올려진 상태로 유닛 본체(21)와 일체가 되고, 천장 반송차(10)에 의해 반송 가능한 상태가 된다.In addition, when the teaching to the overhead transport vehicle 10 is finished, the teaching plate 31 separated from the unit body 21 is separated from the unit body 21 only by the overhead transport vehicle 10 raising the unit body 21 . ), it is integrated with the unit main body 21 in a state of being lifted, and is in a state capable of being transported by the overhead transport vehicle 10 .

이상과 같이 천장 반송차(10), 티칭 유닛(20), 및 천장 반송차(10)에 있어서의 이재 위치 학습 방법에 있어서는 천장 반송차(10)로의 티칭(로드 포트(94)에 대한 피반송물의 이재 위치의 학습)을 행할 때에 티칭 플레이트(31)가 천장 반송차(10)에 의해 로드 포트(94)에 설치되고, 또한 로드 포트(94)로부터 철거되기 때문에 작업자가 로드 포트(94)에 티칭 플레이트(31)를 설치하는 작업이나 로드 포트(94)로부터 티칭 플레이트(31)를 철거하는 작업을 행할 필요가 없다. 그 때문에 천장 반송차(10)로의 티칭을 짧은 시간에 용이하게 행할 수 있다.As described above, in the transfer position learning method in the overhead transport vehicle 10 , the teaching unit 20 , and the overhead transport vehicle 10 , teaching to the overhead transport vehicle 10 (object to be transported with respect to the load port 94 ) learning of the transfer position), the teaching plate 31 is installed in the load port 94 by the overhead transport vehicle 10 and is removed from the load port 94, so that the operator is to the load port 94 It is not necessary to perform the operation of installing the teaching plate 31 or the operation of removing the teaching plate 31 from the load port 94 . Therefore, teaching to the overhead transport vehicle 10 can be easily performed in a short time.

또한, 본 실시형태에서는 거리계(40, 41, 42) 및 각도계(43)에 의해 유닛 본체(21)에 대한 티칭 플레이트(31)의 거리 및 기울기를 검출하고 있지만 이것에 한정되는 것은 아니고, 카메라의 화상에 의해 검출을 행해도 상관 없다.In addition, in this embodiment, although the distance and inclination of the teaching plate 31 with respect to the unit main body 21 are detected by the rangefinders 40, 41, 42 and the goniometer 43, it is not limited to this, The camera's You may perform detection with an image.

본 실시형태에서는 티칭 플레이트(31)의 홈부(38)에 감합하는 유닛 본체(21)의 감합부를 제 1 롤러(29B)에 의해 구성하고 있지만 이것에 한정되는 것은 아니고, 롤러 이외의 부재에 의해 구성해도 상관 없다.In the present embodiment, the fitting portion of the unit body 21 that fits into the groove portion 38 of the teaching plate 31 is constituted by the first roller 29B, but is not limited thereto, and is constituted by a member other than the roller. it doesn't matter

본 실시형태에서는 티칭 플레이트(31)의 홈부(38)의 양측에 돌출부(39)가 형성되어 있지만 이것에 한정되는 것은 아니고, 개구부(37)의 상부로부터 하방으로 돌출되는 부분을 형성하는 일 없이 평탄하게 구성해도 상관 없다.In the present embodiment, the protrusions 39 are formed on both sides of the grooves 38 of the teaching plate 31, but the present invention is not limited thereto. It doesn't matter how well you configure it.

10: 천장 반송차 20: 티칭 유닛
21: 유닛 본체 31: 티칭 플레이트
40: 제 1 거리계(검출부) 41: 제 2 거리계(검출부)
42: 제 3 거리계(검출부) 43: 각도계(검출부)
94: 로드 포트(재치부)10: overhead carrier 20: teaching unit
21: unit body 31: teaching plate
40: first rangefinder (detection unit) 41: second rangefinder (detection unit)
42: third rangefinder (detection unit) 43: goniometer (detection unit)
94: load port (placement part)

Claims (5)

설비 내의 천장에 부설되는 주행 레일을 따라 주행 가능한 주행부와, 상기 주행부에 지지되어 상기 주행부와 일체 주행하는 본체부와, 피반송물을 지지 가능하며, 또한 상기 본체부에 대해서 승강 가능한 승강부를 구비하고, 상기 승강부에 의해 상기 피반송물을 지지한 상태로 상기 주행부의 주행에 의해 상기 피반송물을 상기 주행 레일을 따라 반송하고, 상기 승강부의 승강에 의해 상기 피반송물을 상기 설비 내의 이재부에 이재 가능한 천장 반송차로서,
상기 승강부는 상기 이재부에 대한 상기 피반송물의 이재 위치를 학습시키기 위해서 사용되는 티칭 유닛을 지지해서 상기 본체부에 대해서 승강 가능하게 구성되고,
상기 티칭 유닛은,
상기 승강부에 의해 지지되는 유닛 본체와,
상기 이재부에 설치되는 티칭 플레이트와,
상기 유닛 본체에 의해 지지됨과 아울러, 상기 티칭 플레이트의 위치를 검출하는 검출부를 구비하고,
상기 검출부에 의해 검출되는 상기 티칭 플레이트의 위치에 의거하여 상기 이재부에 대한 상기 피반송물의 이재 위치를 학습시키는 것이 가능하며,
상기 유닛 본체는 상기 티칭 플레이트를 지지 가능하게 구성되고, 상기 티칭 플레이트가 상기 이재부에 이재됨으로써 상기 티칭 플레이트에 대한 지지를 해제하는 것을 특징으로 하는 천장 반송차.A traveling unit capable of traveling along a traveling rail installed on the ceiling in the facility, a main body supported by the traveling unit and running integrally with the traveling unit, and an elevating unit capable of supporting a transported object and capable of elevating with respect to the main body unit In a state in which the transported object is supported by the lifting unit, the transported object is transported along the traveling rail by running of the driving unit, and the transported object is transported to the transfer unit in the facility by raising and lowering the lifting unit. As a transferable ceiling carrier,
The lifting unit supports a teaching unit used to learn a transfer position of the transfer target relative to the transfer unit and is configured to be able to move up and down with respect to the body unit,
The teaching unit is
a unit body supported by the lifting unit;
a teaching plate installed in the dissimilar material;
A detection unit supported by the unit body and detecting the position of the teaching plate is provided;
It is possible to learn the transfer position of the transfer target with respect to the transfer unit based on the position of the teaching plate detected by the detection unit,
The unit body is configured to support the teaching plate, and the teaching plate is transferred to the transfer part to release support for the teaching plate. 제 1 항에 있어서,
상기 유닛 본체는,
상기 티칭 플레이트와 감합하는 감합부를 구비하고,
상기 티칭 플레이트가 상기 이재부에 재치됨으로써 상기 감합부와 상기 티칭 플레이트의 감합이 해제되는 것을 특징으로 하는 천장 반송차.The method of claim 1,
The unit body is
A fitting portion for fitting with the teaching plate is provided;
The overhead transport vehicle, characterized in that the fitting between the fitting portion and the teaching plate is released by placing the teaching plate on the transfer portion. 설비 내의 천장에 부설되는 주행 레일을 따라 주행 가능한 주행부와, 상기 주행부에 지지되어 상기 주행부와 일체 주행하는 본체부와, 피반송물을 지지 가능하며, 또한 상기 본체부에 대해서 승강 가능한 승강부를 구비하고, 상기 승강부에 의해 상기 피반송물을 지지한 상태로 상기 주행부의 주행에 의해 상기 피반송물을 상기 주행 레일을 따라 반송하고, 상기 승강부의 승강에 의해 상기 피반송물을 상기 설비 내의 이재부에 이재 가능한 천장 반송차에 있어서 상기 이재부에 대한 상기 피반송물의 이재 위치를 상기 천장 반송차에 학습시키기 위해서 사용되는 티칭 유닛으로서,
상기 승강부에 의해 지지되어 상기 본체부에 대해서 승강 가능하게 구성되고,
상기 승강부에 의해 지지되는 유닛 본체와,
상기 이재부에 설치되는 티칭 플레이트와,
상기 유닛 본체에 의해 지지됨과 아울러, 상기 티칭 플레이트의 위치를 검출하는 검출부를 구비하고,
상기 검출부에 의해 검출되는 상기 티칭 플레이트의 위치에 의거하여 상기 이재부에 대한 상기 피반송물의 이재 위치를 상기 천장 반송차에 학습시키는 것이 가능하며,
상기 유닛 본체는 상기 티칭 플레이트를 지지 가능하게 구성되고, 상기 티칭 플레이트가 상기 이재부에 이재됨으로써 상기 티칭 플레이트에 대한 지지를 해제하는 것을 특징으로 하는 티칭 유닛.A traveling unit capable of traveling along a traveling rail installed on the ceiling in the facility, a body supported by the traveling unit and running integrally with the traveling unit, and an elevating unit capable of supporting a transported object and capable of elevating with respect to the body unit In a state in which the transported object is supported by the lifting unit, the transported object is transported along the traveling rail by running of the driving unit, and the transported object is transported to the transfer unit in the facility by raising and lowering the lifting unit. A teaching unit used to teach a transfer position of the object to be transferred relative to the transfer unit in a transfer-capable overhead transport vehicle, the ceiling transport vehicle comprising:
It is supported by the lifting unit and configured to be liftable with respect to the main body portion,
a unit body supported by the lifting unit;
a teaching plate installed in the dissimilar material;
A detection unit supported by the unit body and detecting the position of the teaching plate is provided;
It is possible to make the overhead transport vehicle learn the transfer position of the transfer target relative to the transfer unit based on the position of the teaching plate detected by the detection unit,
The unit body is configured to support the teaching plate, and the teaching unit is configured to release support for the teaching plate by transferring the teaching plate to the transfer part. 제 3 항에 있어서,
상기 유닛 본체는,
상기 티칭 플레이트와 감합하는 감합부를 구비하고,
상기 티칭 플레이트가 상기 이재부에 재치됨으로써 상기 감합부와 상기 티칭 플레이트의 감합이 해제되는 것을 특징으로 하는 티칭 유닛.4. The method of claim 3,
The unit body is
A fitting portion for fitting with the teaching plate is provided;
Teaching unit, characterized in that the coupling between the fitting portion and the teaching plate is released by placing the teaching plate on the transfer portion. 설비 내의 천장에 부설되는 주행 레일을 따라 주행 가능한 주행부와, 상기 주행부에 지지되어 상기 주행부와 일체 주행하는 본체부와, 피반송물을 지지 가능하며, 또한 상기 본체부에 대해서 승강 가능한 승강부를 구비하고, 상기 승강부에 의해 상기 피반송물을 지지한 상태로 상기 주행부의 주행에 의해 상기 피반송물을 상기 주행 레일을 따라 반송하고, 상기 승강부의 승강에 의해 상기 피반송물을 상기 설비 내의 이재부에 이재 가능한 천장 반송차에 있어서 상기 이재부에 대한 상기 피반송물의 이재 위치를 상기 천장 반송차에 학습시키기 위한 천장 반송차에 있어서의 이재 위치 학습 방법으로서,
상기 승강부에 의해 지지되는 유닛 본체와, 상기 이재부에 설치되는 티칭 플레이트와, 상기 유닛 본체에 의해 지지됨과 아울러, 상기 티칭 플레이트의 위치를 검출하는 검출부를 구비하는 티칭 유닛을 상기 승강부에 의해 상기 본체부에 대해서 승강 가능하게 지지시키고,
상기 티칭 플레이트를 상기 이재부에 이재함으로써 상기 유닛 본체에 의한 상기 티칭 플레이트에 대한 지지를 해제시키고,
상기 유닛 본체에 의한 상기 티칭 플레이트에 대한 지지를 해제한 후에 상기 검출부에 의해 검출되는 상기 티칭 플레이트의 위치에 의거하여 상기 이재부에 대한 상기 피반송물의 이재 위치를 상기 천장 대차에 학습시키는 것을 특징으로 하는 천장 반송차에 있어서의 이재 위치 학습 방법.A traveling unit capable of traveling along a traveling rail installed on the ceiling in the facility, a body supported by the traveling unit and running integrally with the traveling unit, and an elevating unit capable of supporting a transported object and capable of elevating with respect to the body unit In a state in which the transported object is supported by the lifting unit, the transported object is transported along the traveling rail by running of the driving unit, and the transported object is transported to the transfer unit in the facility by raising and lowering the lifting unit. A method for learning a transfer position in a ceiling carrier for making the ceiling carrier learn the transfer position of the target object relative to the transfer unit in a transferable overhead carrier, the method comprising:
A teaching unit including a unit main body supported by the lifting unit, a teaching plate provided to the transfer unit, and a detection unit supported by the unit main body and detecting a position of the teaching plate by the lifting unit Supported so as to be able to elevate with respect to the body portion,
By transferring the teaching plate to the transfer part, the support for the teaching plate by the unit body is released,
After releasing the support for the teaching plate by the unit body, based on the position of the teaching plate detected by the detection unit, the transfer position of the transfer target relative to the transfer unit is taught to the ceiling bogie. A method for learning the transfer position in a ceiling carrier that does
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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TWI415785B (en) * 2011-01-12 2013-11-21 Inotera Memories Inc Overhead hoist transport system and operating method thereof
JP6119699B2 (en) * 2014-08-27 2017-04-26 村田機械株式会社 Transfer position determination method
CN110235235B (en) * 2017-04-06 2023-01-06 村田机械株式会社 Bridge type conveying vehicle system and teaching unit
JP6825464B2 (en) * 2017-04-07 2021-02-03 村田機械株式会社 Teaching unit and ceiling carrier system
JP6852688B2 (en) * 2018-02-09 2021-03-31 村田機械株式会社 Teaching system, teaching unit, target plate, and teaching method

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