KR20210144393A - 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치 - Google Patents

반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20210144393A
KR20210144393A KR1020200061690A KR20200061690A KR20210144393A KR 20210144393 A KR20210144393 A KR 20210144393A KR 1020200061690 A KR1020200061690 A KR 1020200061690A KR 20200061690 A KR20200061690 A KR 20200061690A KR 20210144393 A KR20210144393 A KR 20210144393A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
nitrous oxide
body member
tank body
tank
purity nitrous
Prior art date
Application number
KR1020200061690A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102394306B1 (ko
Inventor
박규홍
서봉수
최호윤
최승현
김민선
Original Assignee
주식회사 에프알디
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에프알디 filed Critical 주식회사 에프알디
Priority to KR1020200061690A priority Critical patent/KR102394306B1/ko
Publication of KR20210144393A publication Critical patent/KR20210144393A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102394306B1 publication Critical patent/KR102394306B1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
    • C01B21/20—Nitrogen oxides; Oxyacids of nitrogen; Salts thereof
    • C01B21/22—Nitrous oxide (N2O)
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/08—Separating gaseous impurities from gases or gaseous mixtures or from liquefied gases or liquefied gaseous mixtures
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/80—Compositional purity
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2220/00—Processes or apparatus involving steps for the removal of impurities
    • F25J2220/52—Separating high boiling, i.e. less volatile components from oxygen, e.g. Kr, Xe, Hydrocarbons, Nitrous oxides, O3

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Emergency Medicine (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)

Abstract

개시되는 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치가 탱크 본체 부재와, 탱크 냉각 부재를 포함함에 따라, 상기 탱크 본체 부재에 저장된 저순도 아산화질소가 상기 탱크 본체 부재에 저장된 상태를 유지하면서 상기 탱크 냉각 부재에 의해 냉각되어 액화됨으로써, 상기 저순도 아산화질소의 내부에 함유되어 있던 질소, 산소 등의 불순물이 기체 상태로 분리 제거될 수 있어서, 상기 탱크 본체 부재에 저장된 상기 저순도 아산화질소가 이동없이 상기 탱크 본체 부재 내부에서 고순도 아산화질소로 정제될 수 있게 되고, 그에 따라 별도의 증류탑이 없이도 상기 저순도 아산화질소를 상기 고순도 아산화질소로 정제시킬 수 있게 되는 장점이 있다.

Description

반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치{Tank for both refining and storaging high purity nitrous oxide for manufacturing semiconductor and OLED and for medical}
본 발명은 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치에 관한 것이다.
아산화질소(N2O)는 독성이 없어서, 반도체, 플렉서블 오엘이디(flexible OLED)의 제조 시 식각 공정 등에 사용되고, 인체에 대해 마취·환각 효과가 있어서, 의료용 마취제로도 사용되는 것이다.
이러한 아산화질소가 산업용 또는 의료용으로 이용되기 위해서는 고순도화시키는 공정이 요구되는데, 그 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것이다.
그러나, 위 특허문헌을 포함한 종래의 방식에서는, 아산화질소의 고순도화를 위해서, 아산화질소의 정제를 위한 별도의 증류탑(distillation column)이 필수적으로 요구되었기에, 아산화질소의 고순도화를 위한 설비가 복잡해지고, 저순도 아산화질소를 고순도 아산화질소로 정제하는 비용이 상승하는 원인이 되었다.
등록특허 제 10-1955015호, 등록일자: 2019.02.27., 발명의 명칭: 아산화질소 회수 방법 및 장치
본 발명은 별도의 증류탑이 없이도 저순도 아산화질소를 고순도 아산화질소로 정제시킬 수 있는 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치는 저순도 아산화질소가 저장된 탱크 본체 부재; 및 상기 저순도 아산화질소가 냉각되면서 상기 저순도 아산화질소 내의 불순물이 제거됨으로써 고순도 아산화질소가 형성될 수 있도록, 상기 탱크 본체 부재를 냉각시켜주는 탱크 냉각 부재;를 포함하고,
상기 탱크 본체 부재에 저장된 상기 저순도 아산화질소가 상기 탱크 본체 부재에 저장된 상태를 유지하면서 상기 탱크 냉각 부재에 의해 냉각됨으로써, 상기 탱크 본체 부재에 저장된 상기 저순도 아산화질소가 상기 고순도 아산화질소로 정제될 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치에 의하면, 상기 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치가 탱크 본체 부재와, 탱크 냉각 부재를 포함함에 따라, 상기 탱크 본체 부재에 저장된 저순도 아산화질소가 상기 탱크 본체 부재에 저장된 상태를 유지하면서 상기 탱크 냉각 부재에 의해 냉각되어 액화됨으로써, 상기 저순도 아산화질소의 내부에 함유되어 있던 질소, 산소 등의 불순물이 기체 상태로 분리 제거될 수 있어서, 상기 탱크 본체 부재에 저장된 상기 저순도 아산화질소가 이동없이 상기 탱크 본체 부재 내부에서 고순도 아산화질소로 정제될 수 있게 되고, 그에 따라 별도의 증류탑이 없이도 상기 저순도 아산화질소를 상기 고순도 아산화질소로 정제시킬 수 있게 되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치의 구성을 개략적으로 보이는 단면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치가 작동하는 모습을 개략적으로 보이는 단면도.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치의 구성을 개략적으로 보이는 단면도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치의 구성을 개략적으로 보이는 단면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치가 작동하는 모습을 개략적으로 보이는 단면도이다.
도 1 및 도 2를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치(100)는 탱크 본체 부재(110)와, 탱크 냉각 부재(120)를 포함한다.
상기 탱크 본체 부재(110)는 저순도 아산화질소가 저장된 것이다.
상기 탱크 냉각 부재(120)는 상기 저순도 아산화질소가 냉각되면서 상기 저순도 아산화질소 내의 불순물이 제거됨으로써 고순도 아산화질소가 형성될 수 있도록, 상기 탱크 본체 부재(110)를 냉각시켜주는 것이다.
상기 탱크 냉각 부재(120)는 냉동 사이클을 포함하여, 상기 탱크 본체 부재(110)를 냉각시켜줄 수 있다.
상세히, 상기 냉동 사이클은 상기 탱크 본체 부재(110)의 내부에 설치되는 증발기(125)와, 상기 탱크 본체 부재(110)의 외부에 설치되는 냉동 유닛(121)으로 구성되고, 상기 냉동 유닛(121)은 상기 냉동 사이클을 구성하기 위한 압축기, 응축기, 팽창 밸브 등으로 구성될 수 있다.
이러한 압축기, 응축기, 팽창 밸브, 증발기(125) 등으로 구성되고 작동되는 상기 냉동 사이클의 작동은 일반적인 것이므로, 여기서는 그 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
본 실시예에서는, 상기 탱크 본체 부재(110)에 저장된 상기 저순도 아산화질소가 상기 탱크 본체 부재(110)에 저장된 상태를 유지하면서 상기 탱크 냉각 부재(120)에 의해 냉각되어 액화됨으로써, 상기 탱크 본체 부재(110)에 저장된 상기 저순도 아산화질소가 이동없이 상기 탱크 본체 부재(110) 내부에서 상기 고순도 아산화질소로 정제될 수 있게 된다.
상기 탱크 냉각 부재(120)에 의해 상기 탱크 본체 부재(110)의 내부가 냉각되면, 상기 탱크 본체 부재(110)의 내부에 수용된 상태의 상기 저순도 아산화질소가 냉각되면서, 상기 저순도 아산화질소가 액화되고, 그에 따라 상기 저순도 아산화질소의 내부에 함유되어 있던 질소, 산소 등의 불순물이 기체 상태로 분리됨으로써, 상기 저순도 아산화질소가 고순도화될 수 있게 된다.
도면 번호 111은 상기 탱크 본체 부재(110)로 상기 저순도 아산화질소를 공급해주기 위한 공급관이고, 도면 번호 112는 상기 탱크 본체 부재(110)의 하부에 가라앉은 액상의 상기 고순도 아산화질소(10)를 외부로 배출하기 위한 고순도 아산화질소 배출관이고, 도면 번호 113은 상기 탱크 본체 부재(110)의 상부 공간으로 분리된 기체 상태의 상기 불순물을 외부로 배출해주기 위한 불순물 제거관이다.
상기와 같이, 상기 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치(100)가 상기 탱크 본체 부재(110)와, 상기 탱크 냉각 부재(120)를 포함함에 따라, 상기 탱크 본체 부재(110)에 저장된 상기 저순도 아산화질소가 상기 탱크 본체 부재(110)에 저장된 상태를 유지하면서 상기 탱크 냉각 부재(120)에 의해 냉각되어 액화됨으로써, 상기 저순도 아산화질소의 내부에 함유되어 있던 질소, 산소 등의 불순물이 기체 상태로 분리 제거될 수 있어서, 상기 탱크 본체 부재(110)에 저장된 상기 저순도 아산화질소가 이동없이 상기 탱크 본체 부재(110) 내부에서 상기 고순도 아산화질소로 정제될 수 있게 되고, 그에 따라 별도의 증류탑이 없이도 상기 저순도 아산화질소를 상기 고순도 아산화질소로 정제시킬 수 있게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 일 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치의 구성을 개략적으로 보이는 단면도이다.
도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치(200)는 탱크 내부 압력 보상 부재(250)를 더 포함한다.
상기 탱크 내부 압력 보상 부재(250)는 탱크 본체 부재(210)의 내부 압력을 미리 설정된 압력으로 맞추어주는 것이다.
상기 탱크 본체 부재(210)의 상단은 개방되고, 그 개방된 상기 탱크 본체 ㅂ부재(210)의 상단을 따라 후술되는 압력 보상 승강체(251)가 승강될 수 있게 된다.
상기 탱크 본체 부재(210)에서 고순도 아산화질소가 형성되면서 생성된 질소, 산소 등의 불순물이 불순물 제거관(213)을 통해 외부로 배출됨에 따라, 상기 탱크 본체 부재(210)의 내부 압력이 상대적으로 낮아질 수 있게 되는데, 상기 탱크 내부 압력 보상 부재(250)가 상기와 같이 낮아진 상기 탱크 본체 부재(210)의 내부 압력을 상기 미리 설정된 압력으로 자동적으로 보상해주는 것이다.
상세히, 상기 탱크 내부 압력 보상 부재(250)는 상기 탱크 본체 부재(210)의 내부 체적이 가변되도록 상기 탱크 본체 부재(210)의 상부에서 승강되는 상기 압력 보상 승강체(251)와, 상기 탱크 본체 부재(210)의 상부에 연결되어 상기 압력 보상 승강체(251)를 승강시킬 수 있는 공압 실린더 등의 압력 보상 승강 수단(252)과, 상기 불순물 제거관(213)을 통해 외부로 배출되는 상기 불순물 중 적어도 일부가 바이패스되어 상기 압력 보상 승강 수단(252)으로 전달되도록 하는 불순물 바이패스 배관(253)과, 상기 불순물 제거관(213)과 상기 불순물 바이패스 배관(253)의 연결 지점에 설치되어 상기 불순물 제거관(213)을 통해 유동되던 상기 불순물 중 상기 불순물 바이패스 배관(253) 쪽으로의 유동량을 조절할 수 있는 삼방 밸브(254)와, 상기 삼방 밸브(254)를 제어할 수 있는 제어부(257)와, 상기 탱크 본체 부재(210)의 내부 압력을 감지하여 상기 제어부(257)로 전달하는 탱크 내부 압력 감지체(255)와, 공급관(211)을 통한 외부에서의 상기 탱크 본체 부재(210)로의 저순도 아산화질소의 공급량을 감지하여 상기 제어부(257)로 전달하는 공급 유량 감지체(256)를 포함하고,
상기 제어부(257)는 상기 탱크 내부 압력 감지체(255)에서 감지된 상기 탱크 본체 부재(210)의 내부 압력값 및 상기 공급 유량 감지체(256)에서 감지된 상기 탱크 본체 부재(210)로의 상기 저순도 아산화질소의 공급량값을 이용하여 상기 탱크 본체 부재(210)의 내부 압력에 대한 보상값을 연산하고, 상기 보상값만큼 상기 압력 보상 승강체(251)가 승강되도록 상기 삼방 밸브(254)에 작동 명령을 내린다. 그러면, 상기 삼방 밸브(254)가 상기 제어부(257)에서 전달된 작동 명령에 따라 상기 불순물 바이패스 배관(253)으로의 상기 불순물의 유동량을 조절하고, 그에 따라 상기 불순물의 유동량이 조절된 상태로 상기 불순물이 상기 압력 보상 승강 수단(252)으로 공급되어, 상기 불순물의 유동에 따른 압력 변화에 따라 상기 압력 보상 승강 수단(252)이 상기 압력 보상 승강체(251)를 승강시키게 됨으로써, 상기 탱크 본체 부재(210)의 내부 체적이 가변되어, 상기 탱크 본체 부재(210)의 내부 압력이 상기 미리 설정된 압력으로 맞추어질 수 있게 된다.
상세히, 상기 불순물 제거관(213)을 통해 상기 불순물이 외부로 토출되면, 상기 탱크 내부 압력 감지체(255)에서 상기 탱크 본체 부재(210)의 내부 압력값이 상대적으로 저하된 것으로 감지하고, 이러한 상기 탱크 본체 부재(210)의 내부 압력값이 상기 제어부(257)로 전달된다.
그러면, 상기 제어부(257)는 상기 탱크 본체 부재(210)의 내부 압력값과 상기 미리 설정된 압력의 차이만큼 상기 보상값을 연산한다.
이 때, 상기 제어부(257)는 상기 공급 유량 감지체(256)에서 감지된 상기 탱크 본체 부재(210)로의 상기 저순도 아산화질소의 공급량값도 상기 보상값 연산에 추가한다. 즉, 상기 탱크 본체 부재(210)로의 상기 저순도 아산화질소의 공급량값이 양수이면, 상기 제어부(257)는 상기 탱크 본체 부재(210)의 내부 압력값을 이용하여 연산된 상기 보상값으로부터 상기 탱크 본체 부재(210)로의 상기 저순도 아산화질소의 공급량값을 소정 비율로 빼주어 최종적인 상기 보상값을 연산한다.
상기 제어부(257)로부터 전달된 상기 보상값만큼 상기 삼방 밸브(254)가 상기 불순물 바이패스 배관(253)을 열어주고, 그에 따라 상기 불순물 제거관(213)을 통해 유동되던 상기 불순물 중의 일부가 상기 불순물 바이패스 배관(253)을 통해 유동된 다음, 상기 압력 보상 승강 수단(252)으로 유입된다. 그러면, 상기 불순물의 유입에 따른 압력 상승으로 인해 상기 압력 보상 승강 수단(252)이 상기 압력 보상 승강체(251)를 하강시키게 되고, 그에 따라 상기 탱크 본체 부재(210)의 내부 체적이 상대적으로 감소되어, 상기 탱크 본체 부재(210)의 내부 압력이 상기 미리 설정된 압력으로 맞추어질 수 있게 된다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치에 의하면, 별도의 증류탑이 없이도 저순도 아산화질소를 고순도 아산화질소로 정제시킬 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
100 : 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치
110 : 탱크 본체 부재
120 : 탱크 냉각 부재

Claims (3)

  1. 저순도 아산화질소가 저장된 탱크 본체 부재; 및
    상기 저순도 아산화질소가 냉각되면서 상기 저순도 아산화질소 내의 불순물이 제거됨으로써 고순도 아산화질소가 형성될 수 있도록, 상기 탱크 본체 부재를 냉각시켜주는 탱크 냉각 부재;를 포함하고,
    상기 탱크 본체 부재에 저장된 상기 저순도 아산화질소가 상기 탱크 본체 부재에 저장된 상태를 유지하면서 상기 탱크 냉각 부재에 의해 냉각됨으로써, 상기 탱크 본체 부재에 저장된 상기 저순도 아산화질소가 상기 고순도 아산화질소로 정제될 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 탱크 냉각 부재는
    상기 탱크 본체 부재의 내부에 설치되는 증발기를 포함하는 냉동 사이클을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치는 상기 탱크 본체 부재의 내부 압력을 미리 설정된 압력으로 맞추어주는 탱크 내부 압력 보상 부재;를 더 포함하고,
    상기 탱크 내부 압력 보상 부재는
    상기 탱크 본체 부재의 내부 체적이 가변되도록 상기 탱크 본체 부재의 상부에서 승강되는 압력 보상 승강체와,
    상기 탱크 본체 부재의 상부에 연결되어 상기 압력 보상 승강체를 승강시킬 수 있는 압력 보상 승강 수단과,
    상기 탱크 본체 부재로부터 외부로 배출되는 상기 불순물 중 적어도 일부가 바이패스되어 상기 압력 보상 승강 수단으로 전달되도록 하는 불순물 바이패스 배관과,
    상기 탱크 본체 부재로부터 외부로 배출되는 상기 불순물 중 상기 불순물 바이패스 배관 쪽으로의 유동량을 조절할 수 있는 삼방 밸브와,
    상기 삼방 밸브를 제어할 수 있는 제어부와,
    상기 탱크 본체 부재의 내부 압력을 감지하여 상기 제어부로 전달하는 탱크 내부 압력 감지체와,
    외부에서의 상기 탱크 본체 부재로의 상기 저순도 아산화질소의 공급량을 감지하여 상기 제어부로 전달하는 공급 유량 감지체를 포함하고,
    상기 제어부는 상기 탱크 내부 압력 감지체에서 감지된 상기 탱크 본체 부재의 내부 압력값 및 상기 공급 유량 감지체에서 감지된 상기 탱크 본체 부재로의 상기 저순도 아산화질소의 공급량값을 이용하여 상기 탱크 본체 부재의 내부 압력에 대한 보상값을 연산하고, 상기 보상값만큼 상기 압력 보상 승강체가 승강되도록 상기 삼방 밸브에 작동 명령을 내림으로써, 상기 삼방 밸브가 상기 제어부에서 전달된 작동 명령에 따라 상기 불순물 바이패스 배관으로의 상기 불순물의 유동량을 조절하고, 그에 따라 상기 불순물의 유동량이 조절된 상태로 상기 불순물이 상기 압력 보상 승강 수단으로 공급되어, 상기 불순물의 유동에 따른 압력 변화에 따라 상기 압력 보상 승강 수단이 상기 압력 보상 승강체를 승강시키게 되어, 상기 탱크 본체 부재의 내부 체적이 가변됨으로써, 상기 탱크 본체 부재의 내부 압력이 상기 미리 설정된 압력으로 맞추어질 수 있게 되는 것을 특징으로 하는 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치.
KR1020200061690A 2020-05-22 2020-05-22 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치 KR102394306B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200061690A KR102394306B1 (ko) 2020-05-22 2020-05-22 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200061690A KR102394306B1 (ko) 2020-05-22 2020-05-22 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210144393A true KR20210144393A (ko) 2021-11-30
KR102394306B1 KR102394306B1 (ko) 2022-05-04

Family

ID=78722545

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200061690A KR102394306B1 (ko) 2020-05-22 2020-05-22 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102394306B1 (ko)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010076170A (ko) * 1999-08-13 2001-08-11 쉬에르 피에르 아산화질소 정제 시스템 및 정제 방법
KR20030031543A (ko) * 2003-03-31 2003-04-21 한명범 냉동사이클용 에너지효율 개선장치
KR100978805B1 (ko) * 2008-07-11 2010-08-30 (주)이노메이트 극저온 냉동 트랩을 이용한 고순도 일산화질소 제조방법 및그의 제조장치
KR20140147048A (ko) * 2013-06-18 2014-12-29 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드 아산화질소의 회수 및 정제
KR101955015B1 (ko) 2017-09-05 2019-03-07 한국화학연구원 아산화질소 회수 방법 및 장치
KR20190040584A (ko) * 2017-10-11 2019-04-19 김영래 질산 제조공정을 이용한 반도체용 고순도 일산화질소의 제조방법 및 제조장치
KR102048024B1 (ko) * 2019-04-10 2019-11-22 주식회사 한화 질산 제조 공정을 이용한 이산화질소 정제 장치 및 질산 제조 공정을 이용한 이산화질소 정제 방법
KR102062339B1 (ko) * 2018-10-17 2020-01-06 한국조선해양 주식회사 가스 재기화 시스템 및 이를 구비하는 선박

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010076170A (ko) * 1999-08-13 2001-08-11 쉬에르 피에르 아산화질소 정제 시스템 및 정제 방법
KR20030031543A (ko) * 2003-03-31 2003-04-21 한명범 냉동사이클용 에너지효율 개선장치
KR100978805B1 (ko) * 2008-07-11 2010-08-30 (주)이노메이트 극저온 냉동 트랩을 이용한 고순도 일산화질소 제조방법 및그의 제조장치
KR20140147048A (ko) * 2013-06-18 2014-12-29 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드 아산화질소의 회수 및 정제
KR101955015B1 (ko) 2017-09-05 2019-03-07 한국화학연구원 아산화질소 회수 방법 및 장치
KR20190040584A (ko) * 2017-10-11 2019-04-19 김영래 질산 제조공정을 이용한 반도체용 고순도 일산화질소의 제조방법 및 제조장치
KR102062339B1 (ko) * 2018-10-17 2020-01-06 한국조선해양 주식회사 가스 재기화 시스템 및 이를 구비하는 선박
KR102048024B1 (ko) * 2019-04-10 2019-11-22 주식회사 한화 질산 제조 공정을 이용한 이산화질소 정제 장치 및 질산 제조 공정을 이용한 이산화질소 정제 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR102394306B1 (ko) 2022-05-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH05240577A (ja) 少くとも１塔を有する極低温蒸留装置における空気分離法と、極低温蒸留装置
KR100212873B1 (ko) 저온 정류 시스템의 용량 조절방법
KR102394306B1 (ko) 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 겸용 저장 탱크 장치
US20160131425A1 (en) System and method for production of crude argon by cryogenic rectification of air
KR101202422B1 (ko) 플루오르화붕소의 정제장치
WO2013013914A2 (en) Low-temperature material transfer apparatus and low-temperature liquefied gas supply system using the low-temperature material transfer apparatus
JP2009127813A (ja) 水素ガス供給方法およびその供給設備
US9581386B2 (en) Apparatus and process for separating air by cryogenic distillation
JP2016080297A (ja) 深冷空気分離装置及び深冷空気分離方法
JP2022029786A (ja) 空気分離装置、酸素および／または窒素の製造方法
JP3644918B2 (ja) 空気分離装置及び空気分離方法
JPH0217795B2 (ko)
US6923007B1 (en) System and method of pumping liquified gas
JP3884240B2 (ja) 空気分離装置およびその制御運転方法
KR100805716B1 (ko) 공기분리장치의 냉각운전시간 단축방법
US20220026145A1 (en) Method for obtaining one or more air products and air separation system
JP5895896B2 (ja) 精製ガス供給装置及び製造ガスの純度補償方法
JP6091847B2 (ja) ガス供給設備およびそれを用いたガス供給方法
US7850761B2 (en) Method and apparatus for highly purifying nitric oxide for semiconductor
KR102151725B1 (ko) 조아르곤액 이송장치 및 이를 갖춘 극저온 공기분리설비
JP4036623B2 (ja) オゾン生成装置
JP3065968B2 (ja) 空気液化分離装置および空気液化分離方法
KR20190075282A (ko) 공기분리장치 및 이의 운전방법
JP2014112022A (ja) 空気分離装置
KR101109994B1 (ko) 산소제조설비의 기화장치 및 기화방법

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right