KR20210097260A - 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 - Google Patents

표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 Download PDF

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강승익
강승배
김풍석
양희성
이근우
조우진
추병권
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Abstract

본 발명의 일 실시예는, 순환하는 벨트, 상기 벨트를 순환시키는 롤러, 및 상기 롤러의 회전축 방향과 평행한 제1방향으로 이동가능하며, 상기 벨트의 사행을 방지하는 사행방지부를 포함하는 이동부; 및 상기 이동부에 대응되도록 배치되어 상기 벨트의 제1면에 안착된 모재의 표면을 연마하는 연마헤드;를 포함하고, 상기 사행방지부는 상기 벨트의 측면인 제2면과 적어도 일부 마주보며 배치된, 표시 장치의 제조장치를 개시한다.

Description

표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법{Apparatus and method for manufacturing a display apparatus}
본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 표시 장치가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 표시 장치로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 표시 장치는 다양한 기능을 지원한다. 한편, 표시 장치는 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시영역을 포함한다. 최근, 표시 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시영역이 표시 장치에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
한편, 이러한 표시 장치를 제조하는 과정 중에 모재의 표면을 연마하는 공정이 수행될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 연마 공정에서 사용되는 신뢰도가 높은 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예는, 순환하는 벨트, 상기 벨트를 순환시키는 롤러, 및 상기 롤러의 회전축 방향과 평행한 제1방향으로 이동가능하며, 상기 벨트의 사행을 방지하는 사행방지부를 포함하는 이동부; 및 상기 이동부에 대응되도록 배치되어 상기 벨트의 제1면에 안착된 모재의 표면을 연마하는 연마헤드;를 포함하고, 상기 사행방지부는 상기 벨트의 측면인 제2면과 적어도 일부 마주보며 배치된, 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
일 실시예에 있어서, 상기 사행방지부는 상기 벨트를 사이에 두고 배치된 제1사행방지부 및 제2사행방지부를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 사행방지부는, 상기 제2면과 상기 제1방향으로 적어도 일부 중첩하는 제1롤러, 상기 제1롤러를 이동시키는 제1간격조절부를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 사행방지부는, 상기 제1롤러를 회전시키는 제1구동부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 사행방지부는 상기 벨트의 이동 방향이 전환되는 영역에 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 이동부는 상기 벨트의 표면을 세정하는 세정부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 이동부는, 상기 제1면과 반대되는 제3면에 마주보도록 배치되며 상기 벨트를 가압하는 조절부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1면 상에 배치된 얼라인 마크를 관찰하는 측정부;를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 얼라인 마크 상에 배치된 분사부재를 제거하는 분사부;를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 벨트는 상기 모재가 안착되는 개구부를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 순환하는 벨트의 제1면에 배치된 얼라인 마크를 관찰하는 단계; 상기 얼라인 마크의 위치와 기 설정된 위치를 비교하는 단계; 상기 얼라인 마크의 위치가 기 설정된 위치와 상이하면 사행방지부로 상기 벨트의 위치를 조절하는 단계;를 포함하고, 상기 사행방지부는 상기 벨트의 측면인 제2면과 적어도 일부 마주보며 배치되는 것을 특징으로 하는, 표시 장치의 제조방법을 개시한다.
일 실시예에 있어서, 상기 벨트의 위치를 조절하는 단계는, 상기 사행방지부를 상기 벨트와 컨택되도록 제1방향으로 이동하는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 사행방지부는 상기 벨트를 상기 제1방향으로 선형 이동시킬 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 사행방지부는 상기 벨트의 이동 방향이 전환되는 영역에 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 사행방지부는, 상기 제2면과 적어도 일부 마주 보는 제1롤러, 상기 제1롤러를 이동시키는 제1간격조절부를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 얼라인 마크를 관찰하는 단계는, 상기 얼라인 마크 상에 배치된 연마부재를 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 벨트의 표면을 세정하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1면과 반대되는 제3면을 가압하여 상기 벨트의 장력을 유지시키는 단계;를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1면에 모재를 안착하는 단계; 및 연마헤드로 상기 모재의 일면을 연마하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 벨트는 모재가 안착되는 개구부를 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이, 본 발명의 실시예들은 상기 사행방지부로 모재가 안착되는 벨트를 정밀하게 조절할 수 있다. 따라서, 신뢰도가 높은 표시 장치의 제조장치를 제공할 수 있다.
또한 이를 이용하여, 표시 장치의 제조 시 신뢰도 높은 연마 공정이 수행되는 표시 장치의 제조방법을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 정면도이다.
도 2는 표시 장치의 제조장치 중 일부를 개략적으로 도시한 정면도이다.
도 3은 표시 장치의 제조장치 중 이동부를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 4는 도 2의 Ⅳ 부분을 확대한 확대도이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이동부의 일부를 도시한 평면도이다.
도 6a은 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치의 작동 방법을 보여주는 정면도이다.
도 6b는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치의 작동 방법을 보여주는 평면도이다.
도 7 및 도 8은 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치의 작동 방법을 보여주는 정면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치로 제조된 표시 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치로 제조된 표시 장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우도 포함한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치(100)를 보여주는 정면도이다. 도 2는 표시 장치의 제조장치(100) 중 일부를 개략적으로 도시한 정면도이다. 도 3은 표시 장치의 제조장치(100) 중 이동부(120)를 개략적으로 도시한 평면도이다. 도 4는 도 2의 Ⅳ 부분을 확대한 확대도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 표시 장치의 제조장치(100)는 투입부(110), 이동부(120), 연마헤드(140), 반송부(150)를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 투입부(110)는 모재(M)가 외부로부터 공급되어 안착될 수 있다. 다른 실시예에서, 투입부(110)가 생략되고 모재(M)가 이동부(120)에 직접적으로 안착될 수 있다. 다만, 이하에서는 모재(M)가 외부로부터 투입부(110)로 공급되어 안착되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
투입부(110)는 투입지지부(111), 투입롤러(112), 및 투입구동부(113)를 포함할 수 있다.
투입지지부(111)는 서로 연결되는 복수의 프레임을 포함할 수 있다. 상기 복수의 프레임 중 적어도 하나가 지면, 건물 내면 등에 고정되어 투입지지부(111)를 고정시킬 수 있다.
투입롤러(112)는 투입지지부(111)에 회전 가능하게 배치될 수 있다. 투입롤러(112)는 복수로 구비될 수 있으며, 복수의 투입롤러(112)는 투입지지부(111)에 서로 이격되어 배치될 수 있다.
투입구동부(113)는 투입롤러(112)에 연결되어 투입롤러(112)를 회전시킬 수 있다. 투입구동부(113)는 복수의 투입롤러(112) 중 적어도 하나와 연결될 수 있다. 일 실시예에서, 투입구동부(113)는 모터를 포함할 수 있으며, 투입구동부(113)는 복수로 구비되어 각 투입롤러(112)에 각각 배치될 수 있다. 다른 실시예에서, 투입구동부(113)는 복수의 투입롤러(112)와 연결되는 체인, 체인과 연결되어 체인을 회전시키는 스프로켓, 스프로켓과 연결되는 모터를 포함할 수 있다. 또 다른 실시예에서, 투입구동부(113)는 복수의 투입롤러(112)에 개별적으로 연결되어 각 투입롤러(112)를 회전시키거나 복수의 투입롤러(112) 중 일부 또는 전체와 연결되어 복수의 투입롤러(112)를 동시에 회전시키는 모든 장치 및 구조를 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 투입구동부(113)는 각 투입롤러(112)에 배치되어 각 투입롤러(112)를 회전시키는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이동부(120)는 투입부(110)에서 공급된 모재(M)를 연마하는 영역을 제공할 수 있다. 이동부(120)는 순환하는 벨트(121), 벨트(121)를 순환시키는 롤러(122), 롤러(122)를 구동시키는 구동부(123), 벨트(121)의 사행을 방지하는 사행방지부(124), 벨트(121)를 가압하는 조절부(125), 및 벨트(121)의 표면을 세정하는 세정부(126)를 포함할 수 있다.
벨트(121)는 롤러(122)에 의해 회전할 수 있으며, 롤러(122)의 회전에 따라 위치를 가변할 수 있다. 일 실시예에서, 벨트(121)는 모재(M)가 안착되는 개구부(121OP)를 포함할 수 있다. 이 때, 개구부(121OP)는 벨트(121)의 제1면(S1)에 대응하여 배치될 수 있으며, 개구부(121OP)의 형상은 모재(M)의 형상에 대응할 수 있다. 다른 실시예에서, 벨트(121)의 표면에 가드부를 포함할 수 있다. 이 때, 상기 가드부는 벨트(121)의 제1면(S1) 상에 배치될 수 있으며, 모재(M)는 상기 가드부에 삽입될 수 있다. 그러나 설명의 편의를 위하여, 벨트(121)는 개구부(121OP)를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
개구부(121OP)의 깊이(d1)는 모재(M)의 두께(d2) 보다 얇거나 비슷할 수 있다. 바람직하게, 개구부(121OP)의 깊이(d1)는 모재(M)의 두께(d2)와 동일할 수 있다. 따라서, 연마헤드(140)가 모재(M)의 가장자리 부분을 연마할 때, 벨트(121)와 모재(M) 사이의 단차로 인해 모재(M)의 가장자리 부분에 연마헤드(140)의 압력이 집중되는 현상을 방지할 수 있다.
개구부(121OP)는 벨트(121) 상에 모재(M)가 안착될 때, 모재(M)의 위치를 지정할 수 있다. 여기서 위치를 지정한다는 의미는, 개구부(121OP)에 모재(M)가 삽입되므로, 연마가 진행되는 동안에도 연마 공정으로 인해 모재(M)의 위치가 벨트(121)에 대해 상대적으로 변경되지 않음을 의미한다. 따라서, 모재(M)의 표면은 균일한 연마가 가능하다.
벨트(121)는 모재(M)가 안착되는 제1면(S1)에 얼라인 마크(AM)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 얼라인 마크(AM)는 레이저를 벨트(121)의 제1면(S1)에 조사하여 형성할 수 있다. 다른 실시예에서, 얼라인 마크(AM)는 벨트(121)의 제1면(S1) 상에 부착하여 형성할 수 있다.
얼라인 마크(AM)는 제1면(S1)에 복수개로 배치될 수 있다. 이 경우, 일 실시예에서, 얼라인 마크(AM)는 일정한 간격으로 배치될 수 있다. 벨트(121)에 구비된 얼라인 마크(AM)를 후술할 측정부(160)가 관찰하여 벨트(121)의 사행여부를 판단할 수 있으며, 얼라인 마크(AM)의 위치를 파악하여 모재(M)를 이동부(120)로 투입할 수 있다. 또한, 측정부(160)는 얼라인 마크(AM)들 사이의 간격을 관찰하여 벨트(121)의 늘어난 정도를 판단할 수 있다.
얼라인 마크(AM)는 다양한 형상을 구비할 수 있다. 예를 들어, 얼라인 마크(AM)는 십자가 형상일 수 있다. 다른 예로, 얼라인 마크(AM)는 사각형, 다각형, 원형 형상일 수 있다. 이 때, 얼라인 마크(AM)의 폭은 50㎛일 수 있다. 다른 실시예에서, 얼라인 마크(AM)의 폭은 50㎛ 이하일 수도 있으며, 또는 50㎛ 이상일 수도 있다.
일 실시예에서, 벨트(121)는 복수의 층을 포함할 수 있다. 예를 들어, 벨트(121)는 제1층(121a) 및 제2층(121b)을 포함할 수 있다. 제1층(121a)은 롤러(122)와 접촉하는 층이며, 제2층(121b)은 모재(M)와 배치되는 층일 수 있다. 이 때, 개구부(121OP)의 깊이(d1)는 제2층(121b)의 두께(t1) 보다 작을 수 있다.
제1층(121a)은 섬유(fiber) 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 우레탄섬유 등이 포함될 수 있다. 제2층(121b)은 내화학성이 우수한 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2층(121b)은 불포화폴리에스테르(UPE) 및 테프론(Teflon) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 제2층(121b)의 상부표면은 연마헤드(140)에 의해 연마 공정이 진행될 수 있는 바, 내화학성, 내마모성이 우수한 재질로 구비하는 것이 바람직하다.
다른 실시예에서, 벨트(121)는 단층일 수 있다. 이러한 경우, 벨트(121)는 내화학성이 우수한 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 벨트(121)는 불포화폴리에스테르(UPE) 및 테프론(Teflon) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
롤러(122)는 회전하여 벨트(121)를 순환시킬 수 있다. 예를 들어, 롤러(122)는 회전축(122X)을 중심으로 회전할 수 있다. 롤러(122)는 복수로 구비될 수 있으며, 복수의 롤러(122)는 서로 이격되도록 배치되어 벨트(121)의 장력을 일정하게 유지할 수 있다.
구동부(123)는 모터 등을 포함할 수 있으며, 롤러(122)에 배치되어 회전축(122X)을 중심으로 롤러(122)를 회전시킬 수 있다. 이 때, 구동부(123)는 복수의 롤러(122) 중 적어도 하나에 배치될 수 있다.
사행방지부(124)는 벨트(121)의 사행을 방지할 수 있다. 사행방지부(124)는 벨트(121)를 사이에 두고 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1사행방지부(124A)와 제2사행방지부(124B)는 벨트(121)를 사이에 두고 배치될 수 있다. 구체적으로, 제1사행방지부(124A) 및 제2사행방지부(124B)는 제1방향(예를 들어, y 방향 또는 -y 방향)을 따라 배치될 수 있다.
사행방지부(124)는 벨트(121)의 이동 방향이 전환되는 영역(R)에 배치될 수 있다. 이 때, 벨트(121)의 이동 방향이 전환되는 영역(R)은 벨트(121)가 제2방향(예를 들어, x 방향 또는 -x 방향)으로 순환하다가 제2방향과 반대되는 방향(예를 들어, -x 방향 또는 x 방향)으로 변경되는 영역으로 정의할 수 있다. 또는 벨트(121)의 이동 방향이 전환되는 영역(R)은 벨트(121)가 제2방향과 반대되는 방향으로 순환하다가 제2방향으로 변경되는 영역으로 정의할 수 있다. 이 때, 사행방지부(124)는 롤러(122)와 인접하게 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1사행방지부(124A)와 제3사행방지부(124C)는 제1방향과 교차하는 제2방향(예를 들어, x 방향 또는 -x 방향)을 따라 배치될 수 있다. 사행방지부(124)가 벨트(121)의 양 단에 배치되므로, 벨트(121)의 사행을 방지할 수 있다.
사행방지부(124)는 벨트(121)의 측면인 제2면(S2)과 적어도 일부 마주보며 배치될 수 있다. 이 때, 제2면(S2)은 제1면(S1) 및 제1면(S1)과 반대되는 제3면(S3)이 아닌 벨트(121)의 면으로 정의될 수 있다. 따라서, 사행방지부(124)는 벨트(121)가 일정한 경로로 순환할 수 있도록 가이드할 수 있다. 또한, 사행방지부(124)가 제1면(S1)이 아닌 제2면(S2)과 접촉할 수 있으므로, 제1면(S1)의 손상을 방지할 수 있다.
사행방지부(124)는 롤러(122)의 회전축(122X)과 평행한 제1방향(예를 들어, y 방향 또는 -y 방향)으로 이동가능할 수 있다. 특히, 사행방지부(124)는 제1방향으로 선형 이동할 수 있다. 한편, 제1사행방지부(124A) 및 제2사행방지부(124B)는 독립적으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 제1사행방지부(124A) 및 제2사행방지부(124B)는 동일한 방향으로 이동할 수 있다. 다른 예로, 제1사행방지부(124A) 및 제2사행방지부(124B)는 서로 반대되는 방향으로 이동할 수 있다.
사행방지부(124)는 제1롤러(124a), 제1구동부(124b), 및 제1간격조절부(124c)를 포함할 수 있다.
제1롤러(124a)는 벨트(121)의 제2면(S2)과 제1방향(예를 들어, y 방향 또는 -y 방향)으로 적어도 일부 중첩할 수 있다. 또한, 제1롤러(124a)는 회전 가능하게 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 제1롤러(124a)는 롤러(122)와 컨택될 수 있다. 다른 실시예에서, 제1롤러(124a)는 롤러(122)와 이격되어 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 제1롤러(124a)는 롤러(122)와 반대 방향으로 회전할 수 있다. 예를 들어, 롤러(122)가 도 2에서 시계 방향으로 회전하는 경우, 제1롤러(124a)는 도 2에서 반시계 방향으로 회전할 수 있다.
제1구동부(124b)는 제1롤러(124a)를 회전시킬 수 있다. 제1구동부(124b)는 구동부(123)와 유사하게 모터 등을 포함할 수 있으며, 제1롤러(124a)에 배치될 수 있다.
제1간격조절부(124c)는 제1롤러(124a)를 이동시킬 수 있다. 제1간격조절부(124c)는 제1롤러(124a)와 연결되어 제1롤러(124a)를 선형 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 제1간격조절부(124c)는 제1롤러(124a)를 제1방향(예를 들어, y 방향 또는 -y 방향)으로 이동시킬 수 있다. 제1간격조절부(124c)는 다양한 형태로 구비될 수 있다. 예를 들어, 제1간격조절부(124c)는 실린더를 포함할 수 있다. 다른 예로, 제1간격조절부(124c)는 볼스크류와 볼스크류에 연결되는 모터를 포함하는 것도 가능하다. 또 다른 예로, 제1간격조절부(124c)는 리니어 모터를 포함하는 것도 가능하다. 상기와 같이, 제1간격조절부(124c)는 제1롤러(124a)를 선형 이동시킬 수 있는 모든 장치 및 모든 구조를 포함할 수 있다.
조절부(125)는 벨트(121)의 제3면(S3)을 가압할 수 있다. 이 때, 조절부(125)는 제3면(S3)과 마주보도록 배치될 수 있다. 즉, 조절부(125)는 복수의 롤러(122) 사이에 배치될 수 있다. 조절부(125)는 제3면(S3)과 컨택될 수 있으며, 벨트(121)를 가압하여 벨트(121)의 장력을 유지시킬 수 있다. 이 때, 조절부(125)는 벨트(121)의 제1면(S1)을 가압하지 않으므로, 제1면(S1)의 손상을 방지할 수 있다. 일 실시예에서, 조절부(125)는 적어도 하나 이상 구비될 수 있다. 조절부(125)는 제2롤러(125a), 제2구동부(125b), 및 제2간격조절부(125c1, 125c2)를 포함할 수 있다.
제2롤러(125a)는 회전가능하게 배치될 수 있으며, 제2구동부(125b)는 제2롤러(125a)와 연결되어 제2롤러(125a)를 회전시킬 수 있다. 제2구동부(125b)는 제1구동부(124b)와 유사하게 모터 등을 포함할 수 있다.
제2간격조절부(125c1, 125c2)는 제2롤러(125a)를 이동시킬 수 있다. 제2간격조절부(125c1, 125c2)는 제2롤러(125a)와 연결되어 제2롤러(125a)를 선형 이동시킬 수 있다. 제2간격조절부(125c1, 125c2)는 제1간격조절부(124c)와 유사하게 선형 이동시킬 수 있는 모든 장치 및 모든 구조를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 제2간격조절부(125c1, 125c2)는 제1부분(125c1) 및 제2부분(125c2)을 포함할 수 있다. 이 때, 제1부분(125c1)이 제2롤러(125a)를 선형 이동시키는 방향과 제2부분(125c2)이 제2롤러(125a)를 선형이동 시키는 방향은 상이할 수 있다. 예를 들어, 제1부분(125c1)은 제2롤러(125a)를 제1방향 또는 제2방향과 교차하는 제3방향(예를 들어, z 방향 또는 -z 방향)으로 이동시킬 수 있다. 제2부분(125c2)은 제2롤러(125a)를 제2방향(예를 들어, x 방향 또는 -x 방향)으로 이동시킬 수 있다.
세정부(126)는 벨트(121)의 표면을 세정할 수 있다. 일 실시예에서, 세정부(126)는 제3롤러(126a), 제3구동부(126b), 제3간격조절부(126c), 제1세정롤러(126d), 제2세정롤러(126e)를 포함할 수 있다.
제3롤러(126a), 제3구동부(126b), 제3간격조절부(126c)는 제2롤러(125a), 제2구동부(125b), 제2간격조절부(125c1, 125c2)와 유사한 바 상세한 설명은 생략하기로 한다. 한편, 제3롤러(126a)는 제1세정롤러(126d)가 벨트(121)의 표면을 세정하는 동안 벨트(121) 및 제1세정롤러(126d)를 지지할 수 있다.
본 실시예에서, 제1세정롤러(126d) 및 제2세정롤러(126e)는 각각 회전할 수 있다. 제1세정롤러(126d) 및 제2세정롤러(126e)는 각각 구동부와 연결되어 회전할 수 있다.
제1세정롤러(126d)의 표면 및 제2세정롤러(126e)의 표면은 서로 컨택될 수 있다. 이 때, 제1세정롤러(126d) 및 제2세정롤러(126e)는 서로 상이한 방향으로 회전할 수 있다. 예를 들어, 제1세정롤러(126d)가 도 2에서 반시계 방향으로 회전하는 경우, 제2세정롤러(126e)는 도 2에서 시계 방향으로 회전할 수 있다.
제1세정롤러(126d)는 벨트(121)의 표면은 세정할 수 있다. 구체적으로, 제1세정롤러(126d)는 벨트(121)와 컨택하여 벨트(121) 표면에 잔류하는 연마 부재를 흡착할 수 있다. 또한, 제2세정롤러(126e)는 제1세정롤러(126d)에 흡착된 연마부재를 흡착할 수 있다. 이 때, 제1세정롤러(126d)의 흡착력 보다 제2세정롤러(126e)의 흡착력이 더 클 수 있다. 따라서, 제1세정롤러(126d)의 표면에 연마부재가 흡착되더라도 제2세정롤러(126e)가 동시에 제1세정롤러(126d)의 표면에 흡착된 연마부재를 흡착하므로, 제1세정롤러(126d)의 흡착력을 유지할 수 있다.
일 실시예에서, 세정부(126)는 제3세정롤러(126f) 및 제4세정롤러(126g)를 포함할 수 있다. 이 때, 제3세정롤러(126f) 및 제4세정롤러(126g)는 제1세정롤러(126d) 및 제2세정롤러(126e)와 각각 유사하게 배치될 수 있다.
제3세정롤러(126f) 및 제4세정롤러(126g)는 벨트(121)의 이동 방향이 전환되는 영역(R)에 배치될 수 있다. 이 경우, 롤러(122)는 제3세정롤러(126f)가 벨트(121)의 표면을 세정하는 동안 제3세정롤러(126f)를 지지할 수 있다. 따라서, 제3세정롤러(126f)를 지지하기 위한 별도의 제3롤러(126a), 제3구동부(126b), 및 제3간격조절부(126c)를 구비할 필요가 없을 수 있다.
일 실시예에서, 세정부(126)는 제3롤러(126a), 제3구동부(126b), 제3간격조절부(126c), 제1세정롤러(126d) 내지 제4세정롤러(126g)를 모두 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 제3롤러(126a), 제3구동부(126b), 제3간격조절부(126c), 제1세정롤러(126d) 및 제2세정롤러(126e)를 포함하고, 제3세정롤러(126f) 및 제4세정롤러(126g)를 포함하지 않을 수 있다. 일부 실시예에서, 제3세정롤러(126f) 및 제4세정롤러(126g)를 포함하고, 제3롤러(126a), 제3구동부(126b), 제3간격조절부(126c), 제1세정롤러(126d), 및 제2세정롤러(126e)를 포함하지 않을 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여, 제3롤러(126a), 제3구동부(126b), 제3간격조절부(126c), 제1세정롤러(126d) 및 제2세정롤러(126e)를 포함하고, 제3세정롤러(126f) 및 제4세정롤러(126g)를 포함하지 않는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이동부(120)는 벨트(121)에 배치되는 모재지지부(127)를 더 포함할 수 있다. 모재지지부(127)는 모재(M)의 표면 연마 시 모재(M)를 지지할 수 있다. 이 때, 모재지지부(127)는 연마헤드(140)에 대응되도록 복수의 롤러(122) 사이에 배치될 수 있다. 이러한 모재지지부(127)는 플레이트 형태로 구비될 수 있다.
연마헤드(140)는 이동부(120)에 대응되도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 연마헤드(140)는 벨트(121)의 제1면(S1) 상에 배치될 수 있다. 이 때, 연마헤드(140)는 다양한 방향으로 움직이는 것이 가능하다. 예를 들면, 연마헤드(140)는 도 1의 x 방향, y 방향 및 z 방향 중 적어도 하나의 방향으로 이동할 수 있다.
연마헤드(140)는 연마헤드바디부(141), 연마헤드회전부(142), 연마패드(143), 및 연마구동부(144)를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 연마헤드바디부(141)는 연마구동부(144)와 연결되어 선형운동할 수 있다. 다른 실시예에서, 연마헤드바디부(141)는 연마구동부(144)에 연결되어 왕복진동운동을 할 수 있다. 이하에서는 연마헤드바디부(141)가 연마구동부(144)와 연결되어 선형운동하는 경우를 중심으로 상세하게 설명하기로 한다.
연마헤드회전부(142)는 연마헤드바디부(141)에 회전 가능하게 연결될 수 있다. 이 때, 연마헤드회전부(142)에는 연마패드(143)가 연결될 수 있다.
연마패드(143)는 연마헤드회전부(142)에 배치되며, 플레이트 형태로 구비되어 모재(M)의 표면을 연마할 수 있다.
연마구동부(144)는 연마헤드바디부(141) 내부에 배치되어 연마헤드회전부(142)를 회전시키는 제1연마구동부(144A) 및 연마헤드바디부(141)와 연결되어 연마헤드바디부(141)를 선형운동시키는 제2연마구동부(144B)를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 제1연마구동부(144A)는 연마헤드회전부(142)와 연결되어 연마헤드회전부(142)를 회전시키는 모터를 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 제1연마구동부(144A)는 연마헤드회전부(142)와 연결되어 연마헤드회전부(142)를 회전시키는 모터와 연마헤드회전부(142) 사이에 배치되는 감속기를 포함할 수 있다.
제2연마구동부(144B)는 연마헤드바디부(141)를 선형운동시킬 수 있다. 이 때, 제2연마구동부(144B)는 적어도 한 개 이상 구비될 수 있다. 예를 들면, 제2연마구동부(144B)는 복수개로 구비될 수 있으며, 각 제2연마구동부(144B)가 도 1의 x 방향, y 방향, z 방향 중 하나의 연마헤드바디부(141)를 선형 운동시킬 수 있다. 이러한 경우, 제2연마구동부(144B)는 다양한 형태로 구비될 수 있다. 예를 들어, 제2연마구동부(144B)는 실린더를 포함할 수 있다. 다른 예로, 제2연마구동부(144B)는 볼스크류와 볼스크류에 연결되는 모터를 포함하는 것도 가능하다. 또 다른 예로, 제2연마구동부(144B)는 리니어 모터를 포함하는 것도 가능하다. 상기와 같이 제2연마구동부(144B)는 연마헤드바디부(141)와 연결되어 연마헤드바디부(141)를 다양한 방향으로 선형 운동시킬 수 있는 모든 장치 및 모든 구조를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 반송부(150)는 모재(M)를 이송하여 외부로 반출할 수 있다. 다른 실시예에서, 반송부(150)는 생략되고 모재(M)가 이동부(120)에서 직접적으로 외부로 반출될 수 있다. 다만, 이하에서는 모재(M)가 반송부(150)로부터 외부로 반출되는 경우를 중심으로 상세하게 설명하기로 한다.
반송부(150)는 이동부(120)로부터 이격되도록 배치되어 연마된 모재(M)를 이송할 수 있다. 반송부(150)는 반송지지부(151), 반송롤러(152), 및 반송구동부(153)를 포함할 수 있다. 이 때, 반송지지부(151), 반송롤러(152), 및 반송구동부(153)는 투입지지부(111), 투입롤러(112), 및 투입구동부(113)와 동일 또는 유사하게 구비될 수 있다.
표시 장치의 제조장치(100)는 측정부(160) 및 분사부(170)를 더 포함할 수 있다.
측정부(160)는 제1면(S1) 상에 배치된 얼라인 마크(AM)를 관찰할 수 있다. 또한, 측정부(160)는 제1면(S1) 상에 배치된 모재(M)를 관찰할 수 있다. 일 실시예에서, 측정부(160)는 복수개로 구비될 수 있다. 이 때, 측정부(160)는 복수의 얼라인 마크(AM)들 및 모재(M)를 각각 관찰할 수 있다. 이에 따라, 벨트(121)의 사행 정도, 벨트(121)의 표면 상태, 및 모재(M)가 개구부(121OP)에 대응하여 배치되었는지 여부를 관찰할 수 있다. 측정부(160)는 카메라와 같은 촬상 장치일 수 있다.
분사부(170)는 얼라인 마크(AM) 상에 배치된 분사부재를 제거할 수 있다. 예를 들어, 측정부(160)가 얼라인 마크(AM)를 관찰하기 전에 얼라인 마크(AM) 상에 분사부재가 배치될 수 있다. 분사부재는 측정부(160)가 얼라인 마크(AM)를 관찰하는 것을 방해할 수 있다. 이 때, 분사부(170)는 기체를 분사하여 얼라인 마크(AM) 상에 배치된 분사부재를 제거할 수 있다. 분사부(170)는 에어 블로워(Air blower)일 수 있다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이동부의 일부를 도시한 평면도이다. 도 5a 및 도 5b에서 도 2와 동일한 참조부호는 동일부재를 의미하는 바 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 5a를 참조하면, 이동부(120-1)는 벨트(121), 롤러(122), 구동부(123) 세정부(126-1), 모재지지부(127)를 포함할 수 있다.
세정부(126-1)는 벨트(121)를 세정할 수 있다. 세정부(126-1)는 고정롤러(126a-1), 세정용기(126b-1), 세정조절부(126c-1), 및 세척액제거부(126d-1)를 포함할 수 있다.
고정롤러(126a-1)는 벨트(121)를 세정용기(126b-1)로 가이드할 수 있다. 이에 따라, 벨트(121)는 세정용기(126b-1)에 세척액과 접촉할 수 있다. 고정롤러(126a-1)는 회전가능할 수 있다. 또한, 고정롤러(126a-1)에 구동부가 연결될 수 있다.
세정용기(126b-1)는 세정액을 저장할 수 있다. 세정용기(126b-1)는 세정조절부(126c-1)와 연결되어 세정액을 조절할 수 있다. 예를 들어, 세정조절부(126c-1)는 세정용기(126b-1) 내부의 세정액의 양을 조절할 수 있다. 또한, 세정조절부(126c-1)는 세정액을 교환할 수 있다.
세척액제거부(126d-1)는 벨트(121)에 잔류하는 세척액을 제거할 수 있다. 예를 들어, 세척액제거부(126d-1)는 벨트(121)와 접촉하고 있는 나이프일 수 있다. 다른 예로, 세척액제거부(126d-1)는 세척액을 증발시키는 증발기 또는 세척액을 흡수시키는 흡수기일 수 있다.
도 5b를 참조하면, 이동부(120-2)는 벨트(121), 롤러(122), 구동부(123), 세정부(126-2), 모재지지부(127)를 포함할 수 있다.
세정부(126-2)는 벨트(121)를 세정할 수 있다. 이 때, 벨트(121)는 세정부(126-2)를 관통하도록 구비될 수 있다. 일 실시예에서, 세정부(126-2)는 브러쉬를 포함할 수 있다. 이 때, 상기 브러쉬를 이용하여 연마부재를 제거할 수 있다. 다른 실시예에서, 세정부(126-2)는 벨트(121)를 향해 세척액을 분사할 수 있다. 이 때, 세척액은 물(water)일 수 있다. 일부 실시예에서, 세정부(126-2)는 세척액을 제거하는 세척액제거부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
한편, 이하에서는 표시 장치의 제조장치(100)의 작동에 대해 상세히 설명하기로 한다.
도 6a은 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치(100)의 작동 방법을 보여주는 정면도이다. 도 6b는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치(100)의 작동 방법을 보여주는 평면도이다. 도 7 및 도 8은 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치(100)의 작동 방법을 보여주는 정면도이다.
도 6a 및 도 6b를 참조하면, 순환하는 벨트(121)의 제1면(S1)에 배치된 얼라인 마크(AM)를 관찰할 수 있다. 이 때, 측정부(160)가 얼라인 마크(AM)를 관찰할 수 있다. 측정부(160)는 복수개로 구비될 수 있으며, 복수의 측정부(160)들은 복수의 얼라인 마크(AM)들을 관찰할 수 있다. 예를 들어, 복수의 측정부(160)들은 제1얼라인 마크(AM1), 제2얼라인 마크(AM2), 제3얼라인 마크(AM3), 및 제4얼라인 마크(AM4)를 관찰할 수 있다. 따라서, 순환하는 벨트(121)의 사행 여부, 벨트(121)의 표면 상태, 또는 벨트(121)가 늘어났는지 여부 등을 파악할 수 있다.
측정부(160)가 얼라인 마크(AM)를 관찰할 때, 얼라인 마크(AM) 상에 배치된 연마부재를 제거할 수 있다. 구체적으로, 분사부(170)는 분사부재(A)를 벨트(121)의 표면에 분사하여 상기 연마부재를 제거할 수 있다. 이 때, 분사부재(A)는 공기일 수 있다. 예를 들어, 상기 연마부재가 얼라인 마크(AM) 상에 배치된 경우, 분사부(170)는 분사부재(A)를 벨트(121)의 제1면(S1) 상에 분사하여 상기 연마부재를 제거할 수 있다. 따라서, 측정부(160)는 얼라인 마크(AM)를 용이하게 관찰할 수 있다.
그 다음, 얼라인 마크(AM)의 위치와 기 설정된 위치를 비교할 수 있다. 예를 들어, 제1얼라인 마크(AM1)의 위치 및 제2얼라인 마크(AM2)의 위치를 기 설정된 제1얼라인 마크(AM1)의 위치 및 기 설정된 제2얼라인 마크(AM2)의 위치와 각각 비교하여 벨트(121)의 사행 여부를 판단할 수 있다. 또한, 제3얼라인 마크(AM3)의 위치 및 제4얼라인 마크(AM4)의 위치를 기 설정된 제3얼라인 마크(AM3)의 위치 및 기 설정된 제4얼라인 마크(AM4)의 위치와 각각 비교하여 벨트(121)의 사행여부를 판단할 수 있다. 다른 예로, 제1얼라인 마크(AM1)의 위치 및 제3얼라인 마크(AM3)의 위치를 기 설정된 제1얼라인 마크(AM1)의 위치 및 기 설정된 제3얼라인 마크(AM3)의 위치와 각각 비교하여 벨트(121)가 늘어났는지 여부를 판단할 수 있다.
그 다음, 얼라인 마크(AM)의 위치가 상기 기 설정된 위치와 상이하면 사행방지부(124)로 벨트(121)의 위치를 조절할 수 있다. 구체적으로, 사행방지부(124)는 벨트(121)와 컨택되도록 제1방향(예를 들어, y 방향 또는 -y 방향)으로 이동할 수 있다. 이 때, 제1사행방지부(124A) 및 제2사행방지부(124B)는 독립적으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 도 6b에서, 제1사행방지부(124A)는 정지한 상태에서, 제2사행방지부(124B)가 y 방향 또는 -y 방향으로 이동할 수 있다. 다른 예로, 제2사행방지부(124B)가 정지한 상태에서, 제1사행방지부(124A)가 y 방향 또는 -y 방향으로 이동할 수 있다. 또 다른 예로, 제1사행방지부(124A) 및 제2사행방지부(124B)는 동일한 방향 또는 반대 방향으로 이동할 수 있다.
사행방지부(124)는 벨트(121)를 제1방향(예를 들어, y 방향 또는 -y 방향)으로 이동시킬 수 있다. 이 때, 벨트(121)를 제1방향으로 이동시킨다는 것의 의미는 벨트(121)의 이동 방향이 전환되는 영역에 배치된 벨트(121)의 일부를 제1방향으로 이동시킨다는 의미이다. 또는 벨트(121)를 전체적으로 제1방향으로 이동시킨다는 의미일 수 있다. 이에 따라, 사행방지부(124)는 벨트(121)의 순환하는 경로가 외적인 요인으로 변경되었을 때, 벨트(121)의 순환하는 경로를 회복시킬 수 있다.
또한, 벨트(121)의 제3면(S3)을 가압하여 벨트(121)의 장력을 유지시킬 수 있다. 구체적으로, 조절부(125)가 벨트(121)의 제3면(S3)을 가압할 수 있다. 따라서, 벨트(121)의 장력이 유지될 수 있다. 본 실시예에서, 벨트(121)는 롤러(122)에 의해 순환되며, 연마헤드(140)와 컨택될 수 있다. 따라서, 벨트(121)의 길이는 연마 공정을 수행하는 동안 늘어날 수 있다. 이 때, 조절부(125)가 벨트(121)의 제3면(S3)을 가압하여 벨트(121)의 장력을 유지시킬 수 있다. 조절부(125)는 벨트(121)의 제1면(S1)과 컨택되지 않으므로, 제1면(S1)의 손상을 방지할 수 있다.
모재(M)는 외부로부터 다양한 방식으로 투입부(110)에 배치될 수 있다. 예를 들어, 모재(M)는 로봇암을 통하여 투입부(110)로 이송될 수 있다. 다른 예로, 모재(M)는 사용자가 별도의 기구를 통하여 수동으로 투입부(110)에 공급하는 것도 가능하다.
모재(M)는 투입부(110)에 직접 배치되거나 별도의 캐리어부재(미도시)에 안착된 상태에서 투입부(110)에 배치되는 것도 가능하다. 이러한 경우 상기 캐리어부재는 유리 등을 포함하는 플레이트 형태일 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 모재(M)가 직접 투입부(110)에 배치되는 경우를 중심으로 상세하게 설명하기로 한다.
모재(M)는 다양한 형태일 수 있다. 예를 들면, 모재(M)는 단일의 표시 장치(미도시)의 제조시 사용될 수 있다. 다른 예로, 모재(M)는 복수개의 표시 장치의 제조 시 사용될 수 있다. 이러한 경우, 모재(M)에는 복수개의 표시영역(미도시)이 형성된 후 각 표시영역에 대응되도록 복수개로 분리될 수 있다.
모재(M)는 다양한 재질을 포함할 수 있다. 모재(M)는 글라스이거나 폴리에테르술폰(polyethersulfone), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리에테르 이미드(polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene naphthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(PC), 셀룰로오스 트리 아세테이트(TAC), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate) 등과 같은 고분자 수지를 포함할 수 있다.
측정부(160)가 모재(M)를 관찰하여 투입구동부(113)와 구동부(123)는 서로 연동하도록 유도될 수 있다. 구동부(123)가 작동하면, 롤러(122)가 회전하면서 벨트(121)를 회전시킬 수 있다.
모재(M)는 투입부(110)에서 이동부(120)로 이송될 수 있다. 모재(M)는 벨트(121) 상에 안착될 수 있으며, 특히 모재(M)는 개구부(121OP)에 대응되도록 배치될 수 있다. 이 때, 측정부(160)가 모재(M)를 관찰하여 모재(M)가 개구부(121OP)에 안착되도록 유도될 수 있다. 따라서, 모재(M)의 위치가 벨트(121)에 대해 상대적으로 변경되지 않을 수 있다.
도 7를 참조하면, 구동부(123)는 모재(M)를 기 설정된 위치에 배열되도록 작동할 수 있다. 이러한 경우, 모재(M)는 연마헤드(140)의 하면에 배치될 수 있다.
일 실시예에서, 구동부(123)의 작동을 중지하여 모재(M)의 위치를 고정시킬 수 있다. 이후, 제1연마구동부(144A) 및 제2연마구동부(144B)가 작동하여 연마헤드(140)를 선형운동하면서 모재(M)의 일면을 연마할 수 있다. 다른 실시예에서, 구동부(123)의 작동이 유지된 상태에서 모재(M)의 일면을 연마할 수 있다. 이 경우, 모재(M)가 정해진 경로를 따라 이동하면서(예를 들어, x 방향) 모재(M)의 일면을 연마할 수 있다.
연마가 수행되는 동안 또는 연마가 수행되기 전에 모재(M)의 일면에 연마부재(P)를 공급할 수 있다. 이 때, 연마부재(P)는 다양한 방식으로 공급될 수 있다. 예를 들면, 연마부재(P)는 연마헤드(140)를 통하여 모재(M)에 공급될 수 있다. 구체적으로, 연마부재(P)는 연마헤드(140) 내부에 형성된 유로를 통하여 외부로부터 공급될 수 있다. 이 때, 연마패드(143)에는 연마부재(P)가 공급되는 홀을 구비할 수 있다. 다른 예로, 연마부재(P)는 연마헤드(140) 별로 별도로 구비된 연마부재공급부(180)를 통하여 모재(M)의 일면에 공급되는 것도 가능하다. 이 때, 연마부재공급부(180)는 노즐 형태로 구비될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위해 연마부재공급부(180)가 연마헤드(140)와 별도로 구비되어 연마헤드(140)의 작동 전에 모재(M)에 연마부재(P)를 공급하는 경우를 중심으로 상세하게 설명하기로 한다.
연마부재(P)는 초순수(DIW, De-lonized Water), 계면활성제(surfactant) 및 슬러리(Slurry)를 포함할 수 있다.
도 8을 참조하면, 모재(M)의 일면이 연마가 완료되어, 모재(M)를 반송부(150)로 이송할 수 있다. 이 때, 측정부(160)가 모재(M)의 위치를 파악하여 구동부(123) 및 반송구동부(153)가 서로 연동하도록 유도할 수 있다.
또한, 벨트(121)의 표면을 세정할 수 있다. 구체적으로, 벨트(121)의 표면에 잔류하는 연마부재(P)를 제거할 수 있다. 일 실시예에서, 세정부(126)는 제3롤러(126a), 제3구동부(126b), 제3간격조절부(126c), 제1세정롤러(126d) 및 제2세정롤러(126e)를 포함할 수 있다. 이 때, 제1세정롤러(126d)는 벨트(121)의 표면을 세정할 수 있다. 제2세정롤러(126e)는 제1세정롤러(126d)와 연결되어 제1세정롤러(126d)에 흡착된 연마부재를 흡착할 수 있다. 이러한 경우, 제1세정롤러(126d) 및 제2세정롤러(126e)는 서로 상이한 방향으로 회전할 수 있다. 다른 실시예에서, 세정부(126)는 도 5a에 도시한 고정롤러(126a-1), 세정용기(126b-1), 세정조절부(126c-1), 및 세척액제거부(126d-1)를 포함하여 벨트(121)를 세정할 수 있다. 또 다른 실시예에서, 도 5b에 도시한 바와 같이, 벨트(121)가 세정부(126-2)를 관통하도록 구비되고, 세정부(126-2)는 벨트(121)를 세정할 수 있다.
본 실시예에서는, 표시 장치의 제조장치(100)가 사행방지부(124)를 구비하여 모재(M)가 안착되는 벨트(121)를 정밀하게 조절할 수 있다. 따라서, 모재(M)의 일면을 균일하게 평탄할 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치로 제조된 표시 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 9를 참조하면, 표시 장치(1)는 이미지를 구현하는 표시영역(DA)과 이미지를 구현하지 않는 비표시영역(NDA)을 포함한다. 표시 장치(1)는 표시영역(DA)에 배치된 복수의 화소(PX)들에서 방출되는 빛을 이용하여 이미지를 제공할 수 있다. 각 화소(PX)는 각각 적색, 녹색, 청색 또는 백색의 빛을 방출할 수 있다.
표시 장치(1)는 화상을 표시하는 장치로서, 게임기, 멀티미디어기기, 초소형 PC와 같이 휴대가 가능한 모바일 기기일 수 있다. 후술할 표시 장치(1)는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 전기영동 표시 장치(Electrophoretic Display), 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display), 무기 EL 표시 장치(Inorganic Light Emitting Display), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display), 표면 전도 전자 방출 표시 장치(Surface-conduction Electron-emitter Display), 양자점 표시 장치(Quantum dot display), 플라즈마 표시 장치(Plasma Display), 음극선관 표시 장치(Cathode Ray Display) 등을 포함할 수 있다. 이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치로 제조된 표시 장치(1)로서, 유기 발광 표시 장치를 예로 하여 설명하지만, 본 발명의 실시예들은 전술한 바와 같은 다양한 방식의 표시 장치의 제조에 사용 수 있다.
화소(PX)는 스캔선(SL) 및 데이터선(DLn)에 각각 전기적으로 연결될 수 있다. 스캔선(SL)은 x 방향으로 연장되고, 데이터선(DLn)은 y 방향으로 연장될 수 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치로 제조된 표시 장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 10를 참조하면, 기판(10) 상에 표시층(DL), 박막봉지층(TFE)이 배치될 수 있다. 표시층(DL)은 화소회로층(PCL) 및 표시요소층(DEL)을 포함할 수 있다.
기판(10)은 글라스이거나 폴리에테르술폰(polyethersulfone), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리에테르 이미드(polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene naphthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(PC), 셀룰로오스 트리 아세테이트(TAC), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate) 등과 같은 고분자 수지를 포함할 수 있다.
표시층(DL) 및 기판(10) 사이에는 배리어층(미도시)을 더 포함할 수 있다. 배리어층은 외부 이물질의 침투를 방지하는 배리어층으로, 실리콘질화물(SiNx, x>0), 실리콘산화물(SiOx, x>0)와 같은 무기물을 포함하는 단일 층 또는 다층일 수 있다.
기판(10) 상에는 화소회로층(PCL)이 배치된다. 도 10은 화소회로층(PCL)이 박막트랜지스터(TFT) 및 박막트랜지스터(TFT)의 구성요소들 아래 또는/및 위에 배치되는 버퍼층(11), 제1 게이트절연층(13a), 제2 게이트절연층(13b), 층간 절연층(15) 및 평탄화 절연층(17)을 포함하는 것을 도시한다.
버퍼층(11)은 실리콘질화물, 실리콘산질화물 및 실리콘산화물과 같은 무기 절연물을 포함할 수 있으며, 전술한 무기 절연물을 포함하는 단층 또는 다층일 수 있다.
박막트랜지스터(TFT)는 반도체층(12)을 포함하며, 반도체층(12)은 폴리 실리콘을 포함할 수 있다. 또는, 반도체층(12)은 비정질(amorphous) 실리콘을 포함하거나, 산화물 반도체를 포함하거나, 유기 반도체 등을 포함할 수 있다. 반도체층(12)은 채널영역(12c) 및 채널영역(12c)의 양측에 각각 배치된 드레인영역(12a) 및 소스영역(12b)을 포함할 수 있다. 게이트전극(14)은 채널영역(12c)과 중첩할 수 있다.
게이트전극(14)은 저저항 금속 물질을 포함할 수 있다. 게이트전극(14)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등을 포함하는 도전 물질을 포함할 수 있고, 상기의 재료를 포함하는 다층 또는 단층으로 형성될 수 있다.
반도체층(12)과 게이트전극(14) 사이의 제1 게이트절연층(13a)은 실리콘산화물(SiO2), 실리콘질화물(SiNx), 실리콘산질화물(SiON), 알루미늄산화물(Al2O3), 티타늄산화물(TiO2), 탄탈산화물(Ta2O5), 하프늄산화물(HfO2), 또는 아연산화물(ZnO2)등과 같은 무기 절연물을 포함할 수 있다.
제2 게이트절연층(13b)은 상기 게이트전극(14)을 덮도록 구비될 수 있다. 제2 게이트절연층(13b)은 상기 제1 게이트절연층(13a)과 유사하게 실리콘산화물(SiO2), 실리콘질화물(SiNx), 실리콘산질화물(SiON), 알루미늄산화물(Al2O3), 티타늄산화물(TiO2), 탄탈산화물(Ta2O5), 하프늄산화물(HfO2), 또는 아연산화물(ZnO2) 등과 같은 무기 절연물을 포함할 수 있다.
제2 게이트절연층(13b) 상부에는 스토리지 커패시터(Cst)의 상부 전극(Cst2)이 배치될 수 있다. 상부 전극(Cst2)은 그 아래의 게이트전극(14)과 중첩할 수 있다. 이 때, 제2 게이트절연층(13b)을 사이에 두고 중첩하는 게이트전극(14) 및 상부 전극(Cst2)은 스토리지 커패시터(Cst)를 형성할 수 있다. 즉, 게이트전극(14)은 스토리지 커패시터(Cst)의 하부 전극(Cst1)으로 기능할 수 있다.
이와 같이, 스토리지 커패시터(Cst)와 박막트랜지스터(TFT)가 중첩되어 형성될 수 있다. 일부 실시예에서, 스토리지 커패시터(Cst)는 박막트랜지스터(TFT)와 중첩되지 않도록 형성될 수도 있다.
상부 전극(Cst2)은 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 및/또는 구리(Cu)를 포함할 수 있으며, 전술한 물질의 단일층 또는 다층일 수 있다.
층간 절연층(15)은 상기 상부 전극(Cst2)을 덮을 수 있다. 층간 절연층(15)은 실리콘산화물(SiO2), 실리콘질화물(SiNx), 실리콘산질화물(SiON), 알루미늄산화물(Al2O3), 티타늄산화물(TiO2), 탄탈산화물(Ta2O5), 하프늄산화물(HfO2), 또는 아연산화물(ZnO2) 등을 포함할 수 있다. 층간 절연층(15)은 전술한 무기 절연물을 포함하는 단일층 또는 다층일 수 있다.
드레인전극(16a) 및 소스전극(16b)은 각각 층간 절연층(15) 상에 위치할 수 있다. 드레인전극(16a) 및 소스전극(16b)은 전도성이 좋은 재료를 포함할 수 있다. 드레인전극(16a) 및 소스전극(16b)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등을 포함하는 도전 물질을 포함할 수 있고, 상기의 재료를 포함하는 다층 또는 단층으로 형성될 수 있다. 일 실시예로, 드레인전극(16a) 및 소스전극(16b)은 Ti/Al/Ti의 다층 구조를 가질 수 있다.
평탄화 절연층(17) 유기 물질 또는 무기 물질로 이루어진 막이 단층 또는 다층을 포함할 수 있다. 평탄화 절연층(17)이 유기 물질을 포함하는 경우, Polymethylmethacrylate(PMMA)나 Polystyrene(PS)과 같은 일반 범용고분자, 페놀계 그룹을 갖는 고분자 유도체, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자, 아릴에테르계 고분자, 아마이드계 고분자, 불소계고분자, p-자일렌계 고분자, 비닐알콜계 고분자, 및 이들의 블렌드 등을 포함할 수 있다. 한편, 평탄화 절연층(17)이 무기 물질을 포함하는 경우, 평탄화 절연층(17)은 실리콘산화물(SiO2), 실리콘질화물(SiNx), 실리콘산질화물(SiON), 알루미늄산화물(Al2O3), 티타늄산화물(TiO2), 탄탈산화물(Ta2O5), 하프늄산화물(HfO2), 또는 아연산화물(ZnO2)등을 포함할 수 있다. 이러한 경우 평탄화 절연층(17)을 형성한 후, 평탄한 상면을 제공하기 위해 연마 공정이 수행될 수 있다.
전술한 구조의 화소회로층(PCL) 상에는 표시요소층(DEL)이 배치된다. 표시요소층(DEL)은 유기발광다이오드(OLED)를 포함하되, 유기발광다이오드(OLED)의 화소전극(21)은 평탄화 절연층(17)의 콘택홀을 통해 박막트랜지스터(TFT)와 전기적으로 연결될 수 있다.
화소(PX)는 유기발광다이오드(OLED) 및 박막트랜지스터(TFT)를 포함할 수 있다. 각 화소(PX)는 유기발광다이오드(OLED)를 통해 예컨대, 적색, 녹색, 또는 청색 빛을 방출하거나, 적색, 녹색, 청색, 또는 백색의 빛을 방출할 수 있다.
화소전극(21)은 인듐틴산화물(ITO; indium tin oxide), 인듐징크산화물(IZO; indium zinc oxide), 징크산화물(ZnO; zinc oxide), 인듐산화물(In2O3: indium oxide), 인듐갈륨산화물(IGO; indium gallium oxide) 또는 알루미늄징크산화물(AZO; aluminum zinc oxide)와 같은 도전성 산화물을 포함할 수 있다. 다른 실시예로, 화소전극(21)은 은(Ag), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr) 또는 이들의 화합물을 포함하는 반사막을 포함할 수 있다. 다른 실시예로, 화소전극(21)은 전술한 반사막의 위/아래에 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3로 형성된 막을 더 포함할 수 있다.
화소전극(21) 상에는 화소전극(21)의 중앙부를 노출하는 개구(19OP)를 갖는 화소정의막(19)이 배치된다. 화소정의막(19)은 유기절연물 및/또는 무기절연물을 포함할 수 있다. 개구(19OP)는 유기발광다이오드(OLED)에서 방출되는 빛의 발광영역(이하, 발광영역이라 함, EA)을 정의할 수 있다. 예컨대, 개구(19OP)의 폭이 발광영역(EA)의 폭에 해당할 수 있다.
화소정의막(19)의 개구(19OP)에는 발광층(22)이 배치될 수 있다. 발광층(22)은 소정의 색상의 빛을 방출하는 고분자 또는 저분자 유기물을 포함할 수 있다.
도시되지는 않았으나, 발광층(22)의 아래와 위에는 각각 제1 기능층 및 제2 기능층이 배치될 수 있다. 제1 기능층은 예컨대, 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer)을 포함하거나, 홀 수송층 및 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer)을 포함할 수 있다. 제2 기능층은 발광층(22) 위에 배치되는 구성요소로서, 선택적(optional)이다. 제2 기능층은 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer) 및/또는 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer)을 포함할 수 있다. 제1 기능층 및/또는 제2 기능층은 후술할 공통전극(23)과 마찬가지로 기판(10)을 전체적으로 커버하도록 형성되는 공통층일 수 있다.
공통전극(23)은 일함수가 낮은 도전성 물질로 이루어질 수 있다. 예컨대, 공통전극(23)은 은(Ag), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 리튬(Li), 칼슘(Ca) 또는 이들의 합금 등을 포함하는 (반)투명층을 포함할 수 있다. 또는, 공통전극(23)은 전술한 물질을 포함하는 (반)투명층 상에 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3과 같은 층을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 박막봉지층(TFE)은 적어도 하나의 무기봉지층 및 적어도 하나의 유기봉지층을 포함하며, 일 실시예로서 도 10은 박막봉지층(TFE)이 순차적으로 적층된 제1 무기봉지층(31), 유기봉지층(32) 및 제2 무기봉지층(33)을 포함하는 것을 도시한다.
제1 무기봉지층(31) 및 제2 무기봉지층(33)은 알루미늄산화물, 티타늄산화물, 탄탈륨산화물, 하프늄산화물, 징크산화물, 실리콘산화물, 실리콘질화물, 실리콘산질화물 중 하나 이상의 무기물을 포함할 수 있다. 유기봉지층(32)은 폴리머(polymer)계열의 물질을 포함할 수 있다. 폴리머 계열의 소재로는 아크릴계 수지, 에폭시계 수지, 폴리이미드 및 폴리에틸렌 등을 포함할 수 있다. 일 실시예로, 유기봉지층(32)은 아크릴레이트(acrylate)를 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 박막봉지층(TFE)은 기판(10) 및 투명한 부재인 상부기판이 밀봉부재로 결합되어 기판(10)과 상부기판 사이의 내부공간이 밀봉되는 구조일 수 있다. 이 때 내부공간에는 흡습제나 충진재 등이 위치할 수 있다. 밀봉부재는 실런트 일 수 있으며, 다른 실시예에서, 밀봉부재는 레이저에 의해서 경화되는 물질로 구성될 수 있다. 예를 들어, 밀봉부재는 프릿(frit)일 수 있다. 구체적으로 밀봉부재는 유기 실런트인 우레탄계 수지, 에폭시계 수지, 아크릴계 수지, 또는 무기 실런트인 실리콘 등으로 이루어질 수 있다. 우레탄계 수지로서는, 예를 들어, 우레탄 아크릴레이트 등을 사용할 수 있다. 아크릴계 수지로는, 예를 들어, 부틸아크릴레이트, 에틸헬실아크레이트 등을 사용할 수 있다. 한편, 밀봉부재는 열에 의해서 경화되는 물질로 구성될 수 있다.
박막봉지층(TFE) 상에는 터치전극들을 포함하는 터치전극층(미도시)이 배치되고, 터치전극층 상에는 광학적 기능층(미도시)이 배치될 수 있다. 터치전극층은 외부의 입력, 예컨대 터치 이벤트에 따른 좌표정보를 획득할 수 있다. 광학적 기능층은 외부로부터 표시 장치(1)를 향해 입사하는 빛(외부광)의 반사율을 감소시킬 수 있고, 및/또는 표시 장치(1)에서 방출되는 빛의 색 순도를 향상시킬 수 있다. 일 실시예로, 광학적 기능층은 위상지연자(retarder) 및 편광자(polarizer)를 포함할 수 있다. 위상지연자는 필름타입 또는 액정 코팅타입일 수 있고, λ/2 위상지연자 및/또는 λ/4 위상지연자를 포함할 수 있다. 편광자 역시 필름타입 또는 액정 코팅타입일 수 있다. 필름타입은 연신형 합성수지 필름을 포함하고, 액정 코팅타입은 소정의 배열로 배열된 액정들을 포함할 수 있다. 위상지연자 및 편광자는 보호필름을 더 포함할 수 있다.
다른 실시예로, 광학적 기능층은 블랙매트릭스와 컬러필터들을 포함할 수 있다. 컬러필터들은 표시 장치(1)의 화소들 각각에서 방출되는 빛의 색상을 고려하여 배열될 수 있다. 컬러필터들 각각은 적색, 녹색, 또는 청색의 안료나 염료를 포함할 수 있다. 또는, 컬러필터들 각각은 전술한 안료나 염료 외에 양자점을 더 포함할 수 있다. 또는, 컬러필터들 중 일부는 전술한 안료나 염료를 포함하지 않을 수 있으며, 산화티타늄과 같은 산란입자들을 포함할 수 있다.
다른 실시예로, 광학적 기능층은 상쇄간섭 구조물을 포함할 수 있다. 상쇄간섭 구조물은 서로 다른 층 상에 배치된 제1 반사층과 제2 반사층을 포함할 있다. 제1 반사층 및 제2 반사층에서 각각 반사된 제1 반사광과 제2 반사광은 상쇄 간섭될 수 있고, 그에 따라 외부광 반사율이 감소될 수 있다.
상기 터치전극층 및 광학적 기능층 사이에는 접착 부재가 배치될 수 있다. 상기 접착 부재는 당 기술분야에 알려진 일반적인 것을 제한 없이 채용할 수 있다. 상기 접착 부재는 감압성 접착제(pressure sensitive adhesive, PSA)일 수 있다.
이와 같은 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
S1, S2, S3: 제1면, 제2면, 제3면
100: 표시 장치의 제조장치
120, 120-1, 120-2: 이동부
121OP: 개구부
121: 벨트
122: 롤러
122X: 회전축
123: 구동부
124: 사행방지부
124a, 124b, 124c: 제1롤러, 제1구동부, 제1간격조절부
126, 126-1, 126-2: 세정부
125: 조절부
126: 세정부
140: 연마헤드
160: 측정부
170: 분사부

Claims (20)

  1. 순환하는 벨트,
    상기 벨트를 순환시키는 롤러, 및
    상기 롤러의 회전축 방향과 평행한 제1방향으로 이동가능하며, 상기 벨트의 사행을 방지하는 사행방지부를 포함하는 이동부; 및
    상기 이동부에 대응되도록 배치되어 상기 벨트의 제1면에 안착된 모재의 표면을 연마하는 연마헤드;를 포함하고,
    상기 사행방지부는 상기 벨트의 측면인 제2면과 적어도 일부 마주보며 배치된, 표시 장치의 제조장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 사행방지부는 상기 벨트를 사이에 두고 배치된 제1사행방지부 및 제2사행방지부를 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 사행방지부는,
    상기 제2면과 상기 제1방향으로 적어도 일부 중첩하는 제1롤러,
    상기 제1롤러를 이동시키는 제1간격조절부를 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 사행방지부는,
    상기 제1롤러를 회전시키는 제1구동부를 더 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 사행방지부는 상기 벨트의 이동 방향이 전환되는 영역에 배치된, 표시 장치의 제조장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 이동부는 상기 벨트의 표면을 세정하는 세정부를 더 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 이동부는, 상기 제1면과 반대되는 제3면에 마주보도록 배치되며 상기 벨트를 가압하는 조절부를 더 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제1면 상에 배치된 얼라인 마크를 관찰하는 측정부;를 더 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 얼라인 마크 상에 배치된 분사부재를 제거하는 분사부;를 더 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 벨트는 상기 모재가 안착되는 개구부를 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
  11. 순환하는 벨트의 제1면에 배치된 얼라인 마크를 관찰하는 단계;
    상기 얼라인 마크의 위치와 기 설정된 위치를 비교하는 단계;
    상기 얼라인 마크의 위치가 기 설정된 위치와 상이하면 사행방지부로 상기 벨트의 위치를 조절하는 단계;를 포함하고,
    상기 사행방지부는 상기 벨트의 측면인 제2면과 적어도 일부 마주보며 배치되는 것을 특징으로 하는, 표시 장치의 제조방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 벨트의 위치를 조절하는 단계는,
    상기 사행방지부를 상기 벨트와 컨택되도록 제1방향으로 이동하는 단계를 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 사행방지부는 상기 벨트를 상기 제1방향으로 선형 이동시키는, 표시 장치의 제조방법.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 사행방지부는 상기 벨트의 이동 방향이 전환되는 영역에 배치된, 표시 장치의 제조방법.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 사행방지부는,
    상기 제2면과 적어도 일부 마주보는 제1롤러,
    상기 제1롤러를 이동시키는 제1간격조절부를 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 얼라인 마크를 관찰하는 단계는,
    상기 얼라인 마크 상에 배치된 연마부재를 제거하는 단계를 더 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
  17. 제11항에 있어서,
    상기 벨트의 표면을 세정하는 단계;를 더 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
  18. 제11항에 있어서,
    상기 제1면과 반대되는 제3면을 가압하여 상기 벨트의 장력을 유지시키는 단계;를 더 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
  19. 제11항에 있어서,
    상기 제1면에 모재를 안착하는 단계; 및
    연마헤드로 상기 모재의 일면을 연마하는 단계;를 더 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
  20. 제11항에 있어서,
    상기 벨트는 모재가 안착되는 개구부를 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
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