KR20210082783A - Crucible device for thin film deposition and Insulation guide ring of the crucible device - Google Patents

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KR20210082783A
KR20210082783A KR1020190175072A KR20190175072A KR20210082783A KR 20210082783 A KR20210082783 A KR 20210082783A KR 1020190175072 A KR1020190175072 A KR 1020190175072A KR 20190175072 A KR20190175072 A KR 20190175072A KR 20210082783 A KR20210082783 A KR 20210082783A
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Abstract

An objective of the present invention is to provide a crucible device for depositing a thin film in which a central shaft is exactly fit with a central shaft of a cell when a crucible is again mounted with the cell, and an insulation guide ring thereof. The crucible device comprises: a crucible installed inside a vacuum chamber and including a receiving space being open upward through a snout part, and a top outer wall formed therein with a wing having a predetermined diameter; a cell surrounding the crucible to provide a heater between the crucible and the cell; a nozzle shield including a central path having a diameter larger than a diameter of the wing to suppress upward flow of heat from the crucible; and an insulation guide ring interposed between the wing and the nozzle shield to fit a vertical central axis of the crucible with a central axis of the cell by being supported at the nozzle shield. Since the crucible device for depositing a thin film according to the present invention may exactly fit a central shaft of the crucible with a central shaft of the cell when the crucible is mounted with the cell, an interval between the heater and the crucible is constantly set so that heat distribution introduced into the crucible is uniform. Further, when the crucible is placed in an inner side of the cell, the insulation guide ring according to the present invention guides an exact horizontal position of the crucible to guide easy installation of the crucible, and blocks a gap between the crucible and the nozzle shield to improve a function of the nozzle shield.

Description

박막 증착용 도가니장치 및 상기 도가니장치의 절연 가이드링{Crucible device for thin film deposition and Insulation guide ring of the crucible device}Crucible device for thin film deposition and insulation guide ring of the crucible device

본 발명은 박막 증착장비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 도가니에 담긴 증착물질을 증발시켜 기판 표면에 증착시키는 박막 증착용 도가니장치 및 상기 도가니장치의 절연 가이드링에 관한 것이다.The present invention relates to thin film deposition equipment, and more particularly, to a crucible device for thin film deposition for evaporating a deposition material contained in a crucible and depositing it on a substrate surface, and an insulating guide ring of the crucible device.

액정표시소자(LCD), 플라즈마 디스플레이 소자(PDP), 유기전계발광소자(OLED) 등과 같은 여러 가지 디스플레이 패널 중, OLED는 응답속도가 매우 빠르고, LCD보다 소비전력이 낮으며 가볍고, 특히 별도의 백라이트가 필요 없어 초박형으로 만들 수 있다는 장점을 갖는다.Among various display panels such as liquid crystal display (LCD), plasma display (PDP), and organic light emitting diode (OLED), OLED has a very fast response speed, consumes less power and is lighter than LCD, and especially has a separate backlight. It has the advantage that it can be made ultra-thin because it does not require

유기전계발광소자는, 기판 위에 양극막, 유기박막, 음극막을 차례로 적층하고, 양극과 음극 사이에 전압을 걸어줌으로써, 유기박막이 에너지의 차이에 의해 스스로 발광하게 하는 원리를 갖는다. 즉, 주입되는 전자와 정공이 재결합하며, 남는 여기 에너지가 빛으로 발생되는 것이다. 이때 유기 물질의 도펀트(dopant)의 양에 따라 발생하는 빛의 파장을 조절할 수 있으므로 풀 칼라의 구현이 가능하다.The organic electroluminescent device has a principle that an anode film, an organic thin film, and a cathode film are sequentially stacked on a substrate, and a voltage is applied between the anode and the cathode, so that the organic thin film emits light by itself due to a difference in energy. That is, the injected electrons and holes recombine, and the remaining excitation energy is generated as light. In this case, since the wavelength of the generated light can be adjusted according to the amount of the dopant of the organic material, full color can be realized.

이러한 유기전계발광소자를 제작하기 위한 공정 중, 가장 중요한 공정은, 유기박막층을 형성하는 공정이다. 유기박막층의 형성은, 증착물질을 도가니 내에서 가열하여 증발시키고, 증발된 기체상태의 증착물질이 기판에 증착되게 하는 과정을 포함한다. 이러한 공정은 진공 증착장치를 통해 수행된다.Among the processes for manufacturing such an organic light emitting device, the most important process is a process of forming an organic thin film layer. The formation of the organic thin film layer includes a process of evaporating a deposition material by heating in a crucible, and allowing the vapor deposition material to be deposited on a substrate. This process is performed through a vacuum deposition apparatus.

도 1은 일반적인 진공 증착장치(10)의 구조를 대략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 진공 증착장치에 적용되는 종래 도가니장치(20)의 문제점을 설명하기 위한 일부 단면도이다. 도 2에서 도가니장치(20)의 하단부는 설명이 필요 없는 부분이므로 생략하였다.1 is a diagram schematically showing the structure of a general vacuum deposition apparatus 10, and FIG. 2 is a partial cross-sectional view for explaining the problems of the conventional crucible apparatus 20 applied to the vacuum deposition apparatus of FIG. In FIG. 2 , the lower end of the crucible device 20 is omitted because it does not require explanation.

도시한 바와 같이, 진공 증착장치(10)는, 진공이 유지되는 챔버(11), 챔버(11)의 내부 상측에 수평으로 설치되는 기판지지부(13), 기판지지부(13)에 고정되는 기판(15), 기판지지부(13)의 하부에 설치되는 도가니장치(20)를 포함한다. 도면부호 31은 도가니장치를 지지하는 지지받침이다.As shown, the vacuum deposition apparatus 10 includes a chamber 11 in which a vacuum is maintained, a substrate support part 13 installed horizontally on the upper side of the inside of the chamber 11 , and a substrate fixed to the substrate support part 13 . 15), and a crucible device 20 installed under the substrate support unit 13 . Reference numeral 31 denotes a support for supporting the crucible device.

도가니장치(20)는, 지지받침(31)에 마련되어 있는 설치공간(31a)내에 안착되며, 증착물질을 수용하는 도가니(21), 도가니(21)를 감싸며 가열하는 히터(24), 히터(24)를 지지하는 셀(23), 셀(23)을 둘러싸는 쿨링자켓(25)을 포함한다. The crucible device 20 is seated in the installation space 31a provided in the support support 31 , and a crucible 21 accommodating the deposition material, a heater 24 that surrounds the crucible 21 and heats it, a heater 24 ) includes a cell 23 supporting the cell 23, and a cooling jacket 25 surrounding the cell 23.

도가니(21)는 세라믹으로 제작되며 상단부에 주둥이부(21b)와 날개부(21c)를 갖는다. 주둥이부(21b)는 수용공간(21a)을 상부로 개방하는 통로를 제공한다. 날개부(21c)는 일정두께 및 직경을 갖는 디스크형 부분으로서 셀(23)의 상단부에 안착된다. 도가니(21)는 셀(23)에 지지된 상태로 히터(24)로부터 열을 전달받는다.The crucible 21 is made of ceramic and has a spout 21b and a wing 21c at the upper end. The spout 21b provides a passage for opening the receiving space 21a upward. The wing portion 21c is a disk-shaped portion having a certain thickness and diameter and is seated at the upper end of the cell 23 . The crucible 21 receives heat from the heater 24 while being supported by the cell 23 .

쿨링자켓(25)의 상측에는 노즐쉴드(29)가 설치된다. 노즐쉴드(29)는, 도가니(21)에서 방출되는 열이 챔버의 내부 공간으로 급히 올라가는 것을 차단하는 것으로서, 지지받침(31)의 개방구 부분에 끼워져 지지된다. 노즐쉴드(29)에는 밀착링부(29a)와 본체부(29b)와 걸림턱(29f)이 구비된다. A nozzle shield 29 is installed above the cooling jacket 25 . The nozzle shield 29 is to block the heat emitted from the crucible 21 from rapidly rising into the inner space of the chamber, and is fitted and supported in the opening portion of the support support 31 . The nozzle shield 29 is provided with a contact ring portion 29a, a body portion 29b, and a locking protrusion 29f.

걸림턱(29f)은 지지받침(31)에 걸려 지지력을 제공받는 부분이고, 밀착링부(29a)는 설치공간(31a)의 내벽면에 밀착하는 부분이다. 또한 본체부(29b)는 관통된 중앙통로(29c)를 제공하며 설치공간(31a)을 커버한다.The locking jaw 29f is a part that is hooked on the support support 31 to receive support, and the contact ring 29a is a part in close contact with the inner wall surface of the installation space 31a. In addition, the body portion 29b provides a through-hole central passage 29c and covers the installation space 31a.

그런데 상기한 종래의 도가니장치(20)는, 증발물질이 리필 된 도가니를 셀(23) 내부에 재장착 하는데 있어서, 안착 정밀도가 떨어진다는 단점을 갖는다. 말하자면, 도가니(21)의 수직 중심축선을 셀(23)의 중심축선에 맞추는 것이 어려운 것이다.However, the conventional crucible device 20 described above has a disadvantage in that the seating precision is poor when remounting the crucible in which the evaporation material is refilled into the cell 23 . In other words, it is difficult to align the vertical central axis of the crucible 21 with the central axis of the cell 23 .

가령 도가니(21)가 화살표 a방향으로 편심 된 경우, 도가니의 편심된 방향부분(Z부분)은 히터(24)에 가까워지고 반대편은 히터(24)로부터 멀어지게 된다. 히터(24)와 가까워진 부분이 반대편 보다 상대적으로 큰 열에너지를 받으므로, 수용공간(21a)의 내부에는 수평적 온도 구배가 생길 수밖에 없다. 이러한 현상은, 주둥이부(21b)를 통해 배출되는 증기의 유량이 불규칙해지는 원인으로 작용한다. For example, when the crucible 21 is eccentric in the direction of arrow a, the eccentric portion (Z portion) of the crucible approaches the heater 24 and the opposite side moves away from the heater 24 . Since the portion close to the heater 24 receives relatively greater thermal energy than the opposite side, a horizontal temperature gradient is inevitably generated inside the accommodating space 21a. This phenomenon acts as a cause that the flow rate of steam discharged through the spout 21b becomes irregular.

국내 공개특허공보 제10-2016-0055302 (금속 증착용 도가니)Domestic Laid-Open Patent Publication No. 10-2016-0055302 (a crucible for metal deposition) 국내 공개특허공보 제10-2007-0050793호 (마이크로 히터 및 도가니 제조 방법, 그리고 이들을 구비한 유기물 진공 증착 장치)Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2007-0050793 (Micro heater and crucible manufacturing method, and organic material vacuum deposition apparatus having them) 국내 등록특허공보 제10-1582672호 (증발용 도가니와 이를 포함하는 진공 증발원 및 진공 증착 장치)Domestic Registered Patent Publication No. 10-1582672 (Vacuum crucible and vacuum evaporation source and vacuum deposition apparatus including the same)

본 발명은 상기 문제점을 해소하고자 창출한 것으로서, 셀에 대한 도가니의 재장착시, 셀의 중심축부에 도가니의 중심축부가 정확히 맞는 박막 증착용 도가니장치 및 상기 도가니장치의 절연 가이드링를 제공함에 목적이 있다.The present invention was created to solve the above problems, and it is an object to provide a crucible device for thin film deposition and an insulation guide ring of the crucible device in which the central axis of the crucible is exactly fitted to the central axis of the cell when the crucible is remounted to the cell. have.

상기 목적을 달성하기 위한 과제의 해결수단으로서의 본 발명의 박막 증착용 도가니장치는, 진공챔버 내에 설치되며, 주둥이부를 통해 상부로 개방된 수용공간을 가지고, 상단 외곽부에는 일정 직경의 날개부가 형성된 도가니와; 상기 도가니를 감싸고 도가니와의 사이에 히터를 제공하는 셀과; 상기 날개부의 직경보다 큰 내경을 가지는 중앙통로를 구비하고, 도가니로부터 퍼지는 열기의 상향 유동을 억제하는 노즐쉴드와; 상기 날개부와 노즐쉴드의 사이에 개재되며, 노즐쉴드에 지지된 상태로, 도가니의 수직 중심축선을 셀의 중심축선에 맞추는 절연가이드링을 구비한다.The crucible apparatus for thin film deposition of the present invention as a means of solving the problems for achieving the above object is installed in a vacuum chamber, has a receiving space open upward through a spout, and a wing portion of a certain diameter is formed in the upper periphery. Wow; a cell surrounding the crucible and providing a heater therebetween; a nozzle shield having a central passage having an inner diameter greater than the diameter of the wing and suppressing an upward flow of hot air spreading from the crucible; An insulating guide ring interposed between the wing portion and the nozzle shield and aligning the vertical central axis of the crucible with the central axis of the cell in a state supported by the nozzle shield is provided.

또한, 상기 절연가이드링은 일정직경을 갖는 링의 형태를 취하고, 상기 노즐쉴드의 상면에 걸쳐지는 상단걸림부와; 상기 날개부의 저면에 걸쳐지는 하단걸림부와; 상기 상단걸림부와 하단걸림부를 연결하는 차단부를 포함한다.In addition, the insulating guide ring takes the form of a ring having a certain diameter, and includes an upper stopper that spans the upper surface of the nozzle shield; a lower engaging portion spanning the lower surface of the wing portion; and a blocking unit connecting the upper engaging portion and the lower engaging portion.

또한, 상기 상단걸림부에, 노즐쉴드와의 접촉면적을 최소화하기 위한 제1톱니부가 형성되고, 상기 하단걸림부에, 날개부와의 접촉면적을 최소화하기 위한 제2톱니부가 형성된다.In addition, a first toothed portion for minimizing the contact area with the nozzle shield is formed in the upper engaging portion, and a second toothed portion is formed in the lower engaging portion to minimize the contact area with the wing portion.

아울러, 상기 상단걸림부의 상부에, 사용자가 절연가이드링을 잡아 상부로 들어 올릴 수 있게 하는 손잡이부가 구비된다.In addition, a handle portion is provided on the upper portion of the upper stopper to allow the user to grab the insulating guide ring and lift it upward.

또한, 상기 노즐쉴드의 상면에, 상기 중앙통로의 중심을 기준으로 비대칭을 이루는 다수의 비대칭홈부가 마련되어 있고, 상기 절연가이드링의 상단걸림부에, 상기 비대칭홈부에 일대일 대응하며 비대칭홈부에 끼워지는 다수의 비대칭돌기부가 형성된다.In addition, a plurality of asymmetric grooves are provided on the upper surface of the nozzle shield, which are asymmetrical with respect to the center of the central passage, and correspond one-to-one to the upper end hooking part of the insulating guide ring and the asymmetric groove part. A plurality of asymmetric protrusions are formed.

또한, 상기 절연가이드링은, 상기 노즐쉴드의 상면에 걸쳐지는 상단걸림부, 상기 날개부의 저면에 걸쳐지는 하단걸림부, 상기 상단걸림부와 하단걸림부를 연결하며 상기 중앙통로의 내주면에 면접하는 차단부를 가지고, 일정간격을 이루는 다수의 분할링부재와; 상기 분할링부재를 연결하는 금속밴드를 구비한다.In addition, the insulating guide ring, the upper engaging portion spanning the upper surface of the nozzle shield, the lower engaging portion spanning the lower surface of the wing portion, connecting the upper engaging portion and the lower engaging portion, and interfacing to the inner peripheral surface of the central passage Block A plurality of split ring members having a portion and forming a predetermined interval; and a metal band connecting the split ring member.

또한, 본 발명의 절연 가이드링은, 주둥이부를 통해 상부로 개방되고 상단 외곽부에 일정 직경의 날개부가 형성되어 있는 도가니, 상기 도가니를 감싸고 도가니와의 사이에 히터를 갖는 셀, 상기 날개부의 직경보다 큰 내경의 중앙통로가 형성되어 있는 노즐쉴드를 포함하는 도가니장치의 날개부와 노즐쉴드 사이에 개재되며, 노즐쉴드에 지지된 상태로 도가니의 수직 중심축선을 셀의 중심축선에 맞추는 것으로서, 상기 노즐쉴드의 상면에 걸쳐지는 상단걸림부와; 상기 날개부의 저면에 걸쳐지는 하단걸림부와; 상기 상단걸림부와 하단걸림부를 연결하는 차단부를 구비한다.In addition, the insulating guide ring of the present invention is a crucible that is opened upward through the spout and has a wing portion of a certain diameter formed in the upper outer portion, a cell surrounding the crucible and having a heater between the crucible, and the diameter of the wing portion. Interposed between the wing portion and the nozzle shield of a crucible device including a nozzle shield having a large inner diameter central passage formed therein, the vertical central axis of the crucible aligned with the central axis of the cell in a state supported by the nozzle shield, the nozzle an upper stopper spanning the upper surface of the shield; a lower engaging portion spanning the lower surface of the wing portion; and a blocking unit connecting the upper engaging portion and the lower engaging portion.

또한, 상기 상단걸림부에, 노즐쉴드와의 접촉면적을 최소화하기 위한 제1톱니부가 형성되고, 상기 하단걸림부에, 날개부와의 접촉면적을 최소화하기 위한 제2톱니부가 형성된다.In addition, a first toothed portion for minimizing the contact area with the nozzle shield is formed in the upper engaging portion, and a second toothed portion is formed in the lower engaging portion to minimize the contact area with the wing portion.

아울러, 상기 상단걸림부의 상부에, 사용자가 절연가이드링을 잡아 상부로 들어 올릴 수 있게 하는 손잡이부가 구비된다.In addition, a handle portion is provided on the upper portion of the upper stopper to allow the user to grab the insulating guide ring and lift it upward.

또한, 상기 노즐쉴드의 상면에, 상기 중앙통로의 중심을 기준으로 비대칭을 이루는 다수의 비대칭홈부가 마련되어 있고, 상기 절연가이드링의 상단걸림부에, 상기 비대칭홈부에 일대일 대응하며 비대칭홈부에 끼워지는 다수의 비대칭돌기부가 형성된다.In addition, a plurality of asymmetric grooves are provided on the upper surface of the nozzle shield, which are asymmetrical with respect to the center of the central passage, and correspond one-to-one to the upper end hooking part of the insulating guide ring and the asymmetric groove part. A plurality of asymmetric protrusions are formed.

또한, 상기 절연가이드링은, 상기 노즐쉴드의 상면에 걸쳐지는 상단걸림부, 상기 날개부의 저면에 걸쳐지는 하단걸림부, 상기 상단걸림부와 하단걸림부를 연결하며 상기 중앙통로의 내주면에 면접하는 차단부를 가지고, 일정간격을 이루는 다수의 분할링부재와; 상기 분할링부재를 연결하는 금속밴드를 구비한다.In addition, the insulating guide ring, the upper engaging portion spanning the upper surface of the nozzle shield, the lower engaging portion spanning the lower surface of the wing portion, connecting the upper engaging portion and the lower engaging portion, and interfacing to the inner peripheral surface of the central passage Block A plurality of split ring members having a portion and forming a predetermined interval; and a metal band connecting the split ring member.

상기와 같이 이루어지는 본 발명의 박막 증착용 도가니장치는, 셀에 대한 도가니의 재장착시, 셀의 중심축부에 도가니의 중심축부를 거의 정확히 맞출 수 있으므로, 히터와 도가니의 간격이 일정하게 세팅되므로, 도가니에 유입되는 열량 분포가 균일하다.In the crucible apparatus for thin film deposition of the present invention as described above, when the crucible is remounted to the cell, the central axis of the crucible can be almost exactly aligned with the central axis of the cell, so the interval between the heater and the crucible is set to be constant, The distribution of heat quantity flowing into the crucible is uniform.

또한, 본 발명의 절연 가이드링은, 셀의 내측에 도가니를 안착시킬 때, 도가니의 정확한 수평적 위치를 안내하여 도가니의 용이한 설치를 유도하며, 도가니와 노즐쉴드의 틈을 차단하여 노즐쉴드의 기능을 향상시킨다.In addition, the insulating guide ring of the present invention induces easy installation of the crucible by guiding the correct horizontal position of the crucible when seating the crucible inside the cell, and blocks the gap between the crucible and the nozzle shield to prevent the nozzle shield from being installed. improve function.

도 1은 일반적인 증착장치의 구조를 대략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 도 1의 증착장치에 적용되는 종래 도가니장치의 문제점을 설명하기 위한 일부 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 도가니장치를 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도가니장치용 절연 가이드링의 일 예를 나타내 보인 일부 절제 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 절연 가이드링의 다른 예를 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 절연 가이드링의 또 다른 예를 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 절연 가이드링의 또 다른 예를 나타내 보인 사시도이다.1 is a diagram schematically showing the structure of a general deposition apparatus.
FIG. 2 is a partial cross-sectional view for explaining a problem of a conventional crucible apparatus applied to the deposition apparatus of FIG. 1 .
3 is a cross-sectional view showing a crucible apparatus for thin film deposition according to an embodiment of the present invention.
4 is a partially cut-away perspective view showing an example of an insulating guide ring for a crucible device according to an embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view illustrating another example of an insulating guide ring according to an embodiment of the present invention.
6 is a view showing another example of the insulating guide ring according to an embodiment of the present invention.
7 is a perspective view showing another example of an insulating guide ring according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명에 따른 하나의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, one embodiment according to the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 박막 증착용 도가니장치는, 도가니와 도가니를 감싸는 히터와의 간격을 일정하게 유지할 수 있어, 도가니 내에 수용되어 있는 증착물질의 온도 편차가 없다. 이러한 본 발명의 도가니장치는, 진공챔버 내에 설치되며, 주둥이부를 통해 상부로 개방된 수용공간을 가지고, 상단 외곽부에는 일정 직경의 날개부가 형성된 도가니와; 상기 도가니를 감싸고 도가니와의 사이에 히터를 제공하는 셀과; 상기 날개부의 직경보다 큰 내경을 가지는 중앙통로를 구비하고, 도가니로부터 퍼지는 열기의 상향 유동을 억제하는 노즐쉴드와; 상기 날개부와 노즐쉴드의 사이에 개재되며, 노즐쉴드에 지지된 상태로, 도가니의 수직 중심축선을 셀의 중심축선에 맞추는 절연가이드링의 기본 구성을 갖는다. The crucible apparatus for thin film deposition of the present invention can maintain a constant distance between the crucible and the heater surrounding the crucible, so that there is no temperature deviation of the deposition material accommodated in the crucible. The crucible device of the present invention includes: a crucible installed in a vacuum chamber, having an accommodating space open upward through a spout, and having a wing portion having a predetermined diameter formed in an upper outer portion; a cell surrounding the crucible and providing a heater therebetween; a nozzle shield having a central passage having an inner diameter greater than the diameter of the wing and suppressing an upward flow of hot air spreading from the crucible; It is interposed between the wing portion and the nozzle shield and has a basic configuration of an insulating guide ring that aligns the vertical central axis of the crucible with the central axis of the cell while being supported by the nozzle shield.

또한, 본 발명의 도가니장치용 절연 가이드링은, 주둥이부를 통해 상부로 개방되고 상단 외곽부에 일정 직경의 날개부가 형성되어 있는 도가니, 상기 도가니를 감싸고 도가니와의 사이에 히터를 갖는 셀, 상기 날개부의 직경보다 큰 내경의 중앙통로가 형성되어 있는 노즐쉴드를 포함하는 도가니장치의 날개부와 노즐쉴드 사이에 개재되며, 노즐쉴드에 지지된 상태로 도가니의 수직 중심축선을 셀의 중심축선에 맞추는 것으로서, 상기 노즐쉴드의 상면에 걸쳐지는 상단걸림부와; 상기 날개부의 저면에 걸쳐지는 하단걸림부와; 상기 상단걸림부와 하단걸림부를 연결하는 차단부를 구비한다.In addition, the insulating guide ring for a crucible device of the present invention is a crucible that is opened upward through a spout and a wing portion of a certain diameter is formed in the upper periphery, a cell surrounding the crucible and having a heater between the crucible and the wing, the wing Interposed between the wing portion and the nozzle shield of a crucible device including a nozzle shield having a central passage with an inner diameter greater than the diameter of the part, and supported by the nozzle shield, the vertical central axis of the crucible is aligned with the central axis of the cell. , an upper stopper that spans the upper surface of the nozzle shield; a lower engaging portion spanning the lower surface of the wing portion; and a blocking unit connecting the upper engaging portion and the lower engaging portion.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 도가니장치(40)를 도시한 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating a crucible device 40 for thin film deposition according to an embodiment of the present invention.

상기한 도면부호와 동일한 도면부호는 동일한 기능의 동일한 부재로서 그에 관한 설명은 가급적 생략한다.The same reference numerals as the above reference numerals refer to the same members having the same function, and a description thereof will be omitted if possible.

도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 박막 증착용 도가니장치는, 도가니(21), 히터(24)를 내장한 셀(23), 쿨링자켓(25), 노즐쉴드(29), 절연가이드링(45)을 구비한다.As shown, the crucible apparatus for thin film deposition according to the present embodiment includes a crucible 21, a cell 23 having a heater 24 built-in, a cooling jacket 25, a nozzle shield 29, an insulating guide ring ( 45) is provided.

도가니(21)는 세라믹으로 제작되며 증착물질을 수용하는 수용공간(21a)을 갖는다. 수용공간(21a)은 주둥이부(21b)를 통해 상부로 개방된다. 수용공간(21a) 내에서 증발된 기체상태의 증발물질은 주둥이부(21b)을 통과하여 대기하고 있는 기판(도 1의 15)에 증착된다.The crucible 21 is made of ceramic and has an accommodating space 21a for accommodating the deposition material. The receiving space 21a is opened upward through the spout 21b. The vaporized material evaporated in the receiving space 21a passes through the spout 21b and is deposited on the waiting substrate (15 in FIG. 1).

아울러 도가니(21)의 상단부에는 일정직경 및 두께를 갖는 날개부(21c)가 형성되어 있다. 날개부(21c)는 셀(23)의 상단부에 얹힌 상태로 히터(24)를 밀폐하여, 히터(24)로부터 발생한 열이 상부로 날아가지 않게 한다. 즉 히터(24)에서 발생한 열의 거의 대부분이 도가니(21)에 전달되도록 하는 것이다. 쿨링자켓(25)은 셀(23)을 감싸며 셀(23) 벽을 통과하여 외측방향으로 배출되는 열을 냉각한다. In addition, a wing portion 21c having a predetermined diameter and thickness is formed at the upper end of the crucible 21 . The wing portion 21c seals the heater 24 while resting on the upper end of the cell 23 so that heat generated from the heater 24 is not blown upward. That is, most of the heat generated by the heater 24 is transferred to the crucible 21 . The cooling jacket 25 surrounds the cell 23 and cools the heat discharged outward through the cell 23 wall.

또한 노즐쉴드(29)는 날개부(21c)의 직경보다 큰 내경의 중앙통로(29c)를 구비하고 도가니로부터 퍼지는 열기의 상향 유동을 억제한다. 노즐쉴드(29)는, 위에 언급한 바와 같이, 지지받침(31)에 지지되는데, 이 때 중앙통로(29c)의 중심은 셀(23)의 중심축선과 만난다.In addition, the nozzle shield 29 is provided with a central passage 29c having an inner diameter greater than the diameter of the wing portion 21c, and suppresses the upward flow of hot air spreading from the crucible. As mentioned above, the nozzle shield 29 is supported on the support support 31 , wherein the center of the central passage 29c meets the central axis of the cell 23 .

도가니(21)의 중심축선은, 절연가이드링(45)의 작용에 의해, 중앙통로(29c)의 중심과 일치하도록 구속된다. 이는, 도가니(21)의 중심축선이 셀(23)의 중심축선과 일치한다는 의미이다. 다시 말하면, 도가니(21)가 셀(23)의 정중앙에 위치하는 것이다. The central axis of the crucible 21 is constrained to coincide with the center of the central passage 29c by the action of the insulating guide ring 45 . This means that the central axis of the crucible 21 coincides with the central axis of the cell 23 . In other words, the crucible 21 is positioned at the exact center of the cell 23 .

상기한 바와 같이, 셀(23)의 내부에는 히터(24)가 구비된다. 따라서, 히터(24)와 도가니(21)의 간격은, 도가니(21)의 원주방향을 따라 일정하다. 히터(24)로부터 도가니(21) 까지의 거리가 일정하므로, 도가니(21)의 원주면에는 동일한 열량의 열이 전달된다. 이를테면, 도가니(21)의 일측면의 온도와 반대면의 온도가 동일한 것이다. 이에 따라 도가니(21) 내부에 수용되어 있는 증착물질의 온도 분포가 균일하게 유지됨은 물론이다.As described above, the heater 24 is provided inside the cell 23 . Accordingly, the interval between the heater 24 and the crucible 21 is constant along the circumferential direction of the crucible 21 . Since the distance from the heater 24 to the crucible 21 is constant, the same amount of heat is transferred to the circumferential surface of the crucible 21 . For example, the temperature of one side of the crucible 21 and the temperature of the opposite side are the same. Accordingly, it goes without saying that the temperature distribution of the deposition material accommodated in the crucible 21 is uniformly maintained.

한편, 상기 절연가이드링(45)은 세라믹으로 제작된 링형 부재로서, 날개부(21c)와 노즐쉴드(29)의 사이에 개재되며 노즐쉴드에 지지된 상태로, 도가니의 수직 중심축선을 셀의 중심축선에 맞추는 역할을 한다. 절연가이드링(45)은 도 3에 확대하여 도시한 바와 같이 절곡된 단면형상을 취한다. On the other hand, the insulating guide ring 45 is a ring-shaped member made of ceramic, interposed between the wing portion 21c and the nozzle shield 29 and supported by the nozzle shield, the vertical central axis of the crucible is the cell. It serves to align with the central axis. The insulating guide ring 45 takes a bent cross-sectional shape as shown in FIG. 3 on an enlarged scale.

절연가이드링(45)은, 상단걸림부(45c), 하단걸림부(45b), 차단부(45a)를 갖는다. 상단걸림부(45c)는 노즐쉴드(29)의 본체부(29b)의 상면에 걸쳐지는 부분이다. 상단걸림부(45c)의 폭(w)은 필요에 따라 얼마든지 달라질 수 있다. The insulating guide ring 45 has an upper end engaging portion 45c, a lower engaging portion 45b, and a blocking portion 45a. The upper end locking portion 45c is a portion that spans the upper surface of the main body portion 29b of the nozzle shield 29 . The width w of the upper stopper 45c may be varied as needed.

차단부(45a)는 상단걸림부(45c)에 일체를 이루며 직각으로 절곡된 부분으로서 중앙통로(29c)의 내주면에 면접한 상태로 날개부(21c)를 지지한다. 가령 날개부(21c)가 화살표 e방향으로 움직이는 것을 차단하는 것이다. 차단부(45a)에 의해 도가니(21)의 중심축선이 중앙통로(29c)의 중심부와 일치하게 된다.The blocking portion 45a is integrally formed with the upper end locking portion 45c and is bent at a right angle, and supports the wing portion 21c in a state in which it faces the inner circumferential surface of the central passage 29c. For example, the wing portion 21c is to block the movement in the direction of the arrow e. The central axis of the crucible 21 coincides with the center of the central passage 29c by the blocking portion 45a.

하단걸림부(45b)는 차단부(45a)의 하단부에 일체를 이루며 직각으로 절곡되고, 날개부(21c)의 저면에 걸쳐지거나 셀(23)의 외주면에 접한다. 하단걸림부(45b)는 차단부(45a)의 강도를 보강한다. 필요에 따라 하단걸림부(45b)는 생략할 수도 있다.The lower engaging portion 45b is integrally formed with the lower end of the blocking portion 45a and is bent at a right angle, spanning the bottom of the wing portion 21c or in contact with the outer peripheral surface of the cell 23 . The lower engaging portion 45b reinforces the strength of the blocking portion 45a. If necessary, the lower engaging portion 45b may be omitted.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도가니장치용 절연 가이드링(45)의 변형 예를 나타내 보인 일부 절제 사시도이다.4 is a partially cutaway perspective view showing a modified example of the insulating guide ring 45 for a crucible device according to an embodiment of the present invention.

도시한 바와 같이, 상단걸림부(45c)의 저면에 제1톱니부(45d), 하단걸림부(45b)의 상면에 제2톱니부(45e)가 각각 형성되어 있다. 제1톱니부(45d)는, 상단걸림부(45c)와 노즐쉴드(29)와의 접촉면적을 최소화하기 위한 것이고, 제2톱니부(45e)는 하단걸림부(45b)와 날개부와의 접촉면적을 최소화하기 위한 것이다. 제1,2톱니부(45d,45e)를 적용한 이유는 열전달 단면적을 최소화하기 위함이다.As shown, the first toothed portion 45d on the bottom of the upper engaging portion 45c, the second toothed portion 45e is formed on the upper surface of the lower engaging portion 45b, respectively. The first toothed portion 45d is for minimizing the contact area between the upper end engaging portion 45c and the nozzle shield 29, and the second toothed portion 45e is in contact with the lower engaging portion 45b and the wing portion. This is to minimize the area. The reason for applying the first and second toothed portions 45d and 45e is to minimize the heat transfer cross-sectional area.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 절연 가이드링의 또 다른 예를 도시한 단면도이다.5 is a cross-sectional view showing another example of the insulating guide ring according to an embodiment of the present invention.

도면을 참조하면, 상단걸림부(45c)의 상부에 손잡이부(45f)가 더 설치되어 있음을 알 수 있다. 손잡이부(45f)는 상단걸림부(45c)에 대해 일체를 이루며 상부로 연장되면서 반지름 방향 외측으로 경사진 형태를 취한다. 손잡이부(45f)는 사용자가 절연가이드링(45)을 잡아 상부로 들어 올릴 수 있게 하는 손잡이의 역할을 한다. Referring to the drawings, it can be seen that the handle portion 45f is further installed on the upper portion of the upper stopper portion 45c. The handle portion 45f is integrally formed with the upper locking portion 45c and extends upwardly and has a radially outwardly inclined shape. The handle portion 45f serves as a handle that allows the user to hold the insulating guide ring 45 and lift it upward.

하단걸림부(45b)가 날개부(21c)에 걸려 있는 이상, 손잡이부(45f)를 잡고 절연가이드링(45)을 수직으로 들어 올리면 도가니(21)를 상부로 꺼낼 수 있다.As long as the lower engaging portion 45b is caught on the wing portion 21c, the crucible 21 can be taken out by holding the handle portion 45f and lifting the insulating guide ring 45 vertically.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 절연 가이드링(45)의 또 다른 예를 도시한 도면이다.6 is a view showing another example of the insulating guide ring 45 according to an embodiment of the present invention.

도시한 바와 같이, 노즐쉴드(29)의 본체부(29b) 상면에 다수의 비대칭홈부(29d)가 형성되어 있다. 비대칭홈부(29d)은 중앙통로(29c)의 중심을 기준으로 비대칭을 이루는 오목한 홈이다. 즉, 중앙통로(29c)의 내주면을 따라 상호 다른 간격으로 이격되어 있는 홈이다.As shown, a plurality of asymmetric grooves 29d are formed on the upper surface of the body portion 29b of the nozzle shield 29 . The asymmetric groove portion 29d is a concave groove that is asymmetrical with respect to the center of the central passage 29c. That is, the grooves are spaced apart from each other at different intervals along the inner circumferential surface of the central passage 29c.

또한, 절연가이드링(45)의 상단걸림부(45c) 저면에는 다수의 비대칭돌기부(45g)가 위치한다. 비대칭돌기부(45g)는 하부로 돌출된 돌기로서, 비대칭홈부(29d)에 일대일 대응하며 비대칭홈부에 끼워진다.In addition, a plurality of asymmetric protrusions (45g) are located on the bottom surface of the upper end engaging portion (45c) of the insulating guide ring (45). The asymmetric protrusion 45g is a protrusion protruding downward, and corresponds to the asymmetric groove portion 29d one-to-one and is fitted into the asymmetric groove portion.

이와 같이 비대칭돌기부(45g)와 비대칭홈부(29d)를 적용함으로써, 절연가이드링(45)이 항상 동일한 방향으로 장착될 수 있으며, 또한 작동 중 절연가이드링(45)의 회전이 방지된다.By applying the asymmetric protrusion portion 45g and the asymmetric groove portion 29d as described above, the insulation guide ring 45 can always be mounted in the same direction, and rotation of the insulation guide ring 45 is prevented during operation.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 절연 가이드링(45)의 또 다른 예를 나타내 보인 사시도이다.7 is a perspective view showing another example of the insulating guide ring 45 according to an embodiment of the present invention.

도 7에 도시한 절연 가이드링(45)은, 네 개의 분할링부재(48)와, 각 분할링부재(48)를 연결하는 금속밴드(49)를 구비한다.The insulating guide ring 45 shown in FIG. 7 includes four split ring members 48 and a metal band 49 connecting each split ring member 48 .

각 분할링부재(48)는, 노즐쉴드(29)의 본체부(29b) 상면에 걸쳐지는 상단걸림부(48c), 상기 날개부(21c)의 저면에 걸쳐지는 하단걸림부(48b), 상단걸림부와 하단걸림부를 연결하는 차단부(48a)를 포함한다. 차단부(48a)는 중앙통로(29c)의 내주면에 면접할 수 있는 곡률을 가지며, 도 3을 통해설명한 차단부(45a)와 같은 역할을 한다.Each split ring member 48 has an upper end engaging portion 48c spanning the upper surface of the body portion 29b of the nozzle shield 29, a lower engaging portion 48b spanning the bottom surface of the wing portion 21c, and an upper end It includes a blocking portion (48a) connecting the engaging portion and the lower engaging portion. The blocking portion 48a has a curvature capable of being interviewed on the inner circumferential surface of the central passage 29c, and functions the same as the blocking portion 45a described with reference to FIG. 3 .

아울러, 각 분할링부재(48)의 차단부(48a)에는 밴드고정통로(48d)가 형성되어 있다. 밴드고정통로(48d)는 분할링부재(48)의 원주방향으로 연장된 납작한 구멍으로서, 금속밴드(49)를 통과시킨다. 금속밴드(49)는 스테인리스스틸로 제작된 링형 부재로서, 밴드고정통로(48d)를 통과한 상태로 분할링부재(48)와 결합한다. 금속밴드(49)는 분할링부재(48)의 간격을 일정하게 유지시키는 역할을 한다. In addition, a band fixing passage 48d is formed in the blocking portion 48a of each split ring member 48 . The band fixing passage 48d is a flat hole extending in the circumferential direction of the dividing ring member 48, and allows the metal band 49 to pass therethrough. The metal band 49 is a ring-shaped member made of stainless steel, and is coupled to the split ring member 48 while passing through the band fixing passage 48d. The metal band 49 serves to keep the distance between the split ring members 48 constant.

이러한 구성을 갖는 절연가이드링(45)은 도 3에 도시한 링형 절연가이드링과 동일한 방식으로 장착된다.The insulating guide ring 45 having this configuration is mounted in the same manner as the ring-type insulating guide ring shown in FIG. 3 .

이상, 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정하지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.As mentioned above, although the present invention has been described in detail through specific embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications are possible by those of ordinary skill within the scope of the technical spirit of the present invention.

10:증착장치 11:챔버 13:기판지지부
15:기판 20:도가니장치 21:도가니
21a:수용공간 21b:주둥이부 21c:날개부
23:셀 24:히터 25:쿨링자켓
29:노즐쉴드 29a:밀착링부 29b:본체부
29c:중앙통로 29d:비대칭홈부 29f:걸림턱
31:지지받침 31a:설치공간 40:도가니장치
45:절연가이드링 45a:차단부 45b:하단걸림부
45c:상단걸림부 45d:제1톱니부 45e:제2톱니부
45f:손잡이부 45g:비대칭돌기부 48:분할링부재
48a:차단부 48b:하단걸림부 48c:상단걸림부
48d:밴드고정통로 49:금속밴드10: deposition apparatus 11: chamber 13: substrate support
15: substrate 20: crucible device 21: crucible
21a: accommodating space 21b: spout 21c: wing
23: cell 24: heater 25: cooling jacket
29: Nozzle shield 29a: Adhesive ring portion 29b: Body portion
29c: central passage 29d: asymmetric groove 29f: jamming jaw
31: support support 31a: installation space 40: crucible device
45: insulation guide ring 45a: blocking portion 45b: lower engaging portion
45c: upper stopper 45d: first toothed portion 45e: second toothed portion
45f: handle portion 45g: asymmetric protrusion 48: split ring member
48a: blocking portion 48b: lower engaging portion 48c: upper engaging portion
48d: band fixed passage 49: metal band

Claims (11)

진공챔버 내에 설치되며, 주둥이부를 통해 상부로 개방된 수용공간을 가지고, 상단 외곽부에는 일정 직경의 날개부가 형성된 도가니와;
상기 도가니를 감싸고 도가니와의 사이에 히터를 제공하는 셀과;
상기 날개부의 직경보다 큰 내경을 가지는 중앙통로를 구비하고, 도가니로부터 퍼지는 열기의 상향 유동을 억제하는 노즐쉴드와;
상기 날개부와 노즐쉴드의 사이에 개재되며, 노즐쉴드에 지지된 상태로, 도가니의 수직 중심축선을 셀의 중심축선에 맞추는 절연가이드링을 구비하는 박막 증착용 도가니장치.a crucible installed in the vacuum chamber, having an accommodating space open upward through the spout, and having a wing portion of a predetermined diameter formed on the upper outer portion;
a cell surrounding the crucible and providing a heater therebetween;
a nozzle shield having a central passage having an inner diameter greater than the diameter of the wing and suppressing an upward flow of hot air spreading from the crucible;
A crucible device for thin film deposition, interposed between the wing portion and the nozzle shield, and provided with an insulating guide ring that aligns the vertical central axis of the crucible with the central axis of the cell in a state supported by the nozzle shield. 제1항에 있어서,
상기 절연가이드링은 일정직경을 갖는 링의 형태를 취하고,
상기 노즐쉴드의 상면에 걸쳐지는 상단걸림부와;
상기 날개부의 저면에 걸쳐지는 하단걸림부와;
상기 상단걸림부와 하단걸림부를 연결하는 차단부를 구비하는 박막 증착용 도가니장치.According to claim 1,
The insulating guide ring takes the form of a ring having a certain diameter,
an upper stopper spanning the upper surface of the nozzle shield;
a lower engaging portion spanning the lower surface of the wing portion;
A crucible device for thin film deposition having a blocking part connecting the upper and lower stopping parts. 제2항에 있어서,
상기 상단걸림부에, 노즐쉴드와의 접촉면적을 최소화하기 위한 제1톱니부가 형성되고,
상기 하단걸림부에, 날개부와의 접촉면적을 최소화하기 위한 제2톱니부가 형성된 박막 증착용 도가니장치.3. The method of claim 2,
A first toothed portion for minimizing the contact area with the nozzle shield is formed in the upper stopper,
A crucible device for thin film deposition in which a second toothed portion for minimizing a contact area with the wing portion is formed in the lower engaging portion. 제2항에 있어서,
상기 상단걸림부의 상부에,
사용자가 절연가이드링을 잡아 상부로 들어 올릴 수 있게 하는 손잡이부가 구비된 박막 증착용 도가니장치.3. The method of claim 2,
On the upper part of the upper stopper,
A crucible device for thin film deposition with a handle that allows a user to hold the insulating guide ring and lift it upward. 제2항에 있어서,
상기 노즐쉴드의 상면에, 상기 중앙통로의 중심을 기준으로 비대칭을 이루는 다수의 비대칭홈부가 마련되어 있고,
상기 절연가이드링의 상단걸림부에, 상기 비대칭홈부에 일대일 대응하며 비대칭홈부에 끼워지는 다수의 비대칭돌기부가 형성된 박막 증착용 도가니장치.3. The method of claim 2,
A plurality of asymmetric grooves forming asymmetry with respect to the center of the central passage are provided on the upper surface of the nozzle shield,
A crucible device for thin film deposition in which a plurality of asymmetric protrusions are formed in the upper engaging portion of the insulating guide ring to correspond one-to-one to the asymmetric groove and fit into the asymmetric groove. 제1항에 있어서,
상기 절연가이드링은,
상기 노즐쉴드의 상면에 걸쳐지는 상단걸림부, 상기 날개부의 저면에 걸쳐지는 하단걸림부, 상기 상단걸림부와 하단걸림부를 연결하며 상기 중앙통로의 내주면에 면접하는 차단부를 가지고, 일정간격을 이루는 다수의 분할링부재와;
상기 분할링부재를 연결하는 금속밴드를 구비하는 박막 증착용 도가니장치.According to claim 1,
The insulating guide ring is
A plurality of having an upper engaging part spanning the upper surface of the nozzle shield, a lower engaging part spanning the lower surface of the wing part, and a blocking part connecting the upper engaging part and the lower engaging part and interfacing to the inner circumferential surface of the central passage, and forming a predetermined interval a split ring member of;
A crucible device for thin film deposition having a metal band connecting the split ring member. 주둥이부를 통해 상부로 개방되고 상단 외곽부에 일정 직경의 날개부가 형성되어 있는 도가니, 상기 도가니를 감싸고 도가니와의 사이에 히터를 갖는 셀, 상기 날개부의 직경보다 큰 내경의 중앙통로가 형성되어 있는 노즐쉴드를 포함하는 도가니장치의 날개부와 노즐쉴드 사이에 개재되며, 노즐쉴드에 지지된 상태로 도가니의 수직 중심축선을 셀의 중심축선에 맞추는 것으로서,
상기 노즐쉴드의 상면에 걸쳐지는 상단걸림부와;
상기 날개부의 저면에 걸쳐지는 하단걸림부와;
상기 상단걸림부와 하단걸림부를 연결하는 차단부를 구비하는 도가니장치용 절연 가이드링.A crucible that is opened upward through the spout and a wing of a certain diameter is formed in the upper outer portion, a cell that surrounds the crucible and has a heater between the crucible and the crucible, and a nozzle having a central passage with an inner diameter larger than the diameter of the wing Interposed between the wing portion of the crucible device including the shield and the nozzle shield, and in a state supported by the nozzle shield, the vertical central axis of the crucible is aligned with the central axis of the cell,
an upper stopper spanning the upper surface of the nozzle shield;
a lower engaging portion spanning the lower surface of the wing portion;
Insulation guide ring for a crucible device having a blocking part connecting the upper stopper and the lower stopper. 제7항에 있어서,
상기 상단걸림부에, 노즐쉴드와의 접촉면적을 최소화하기 위한 제1톱니부가 형성되고,
상기 하단걸림부에, 날개부와의 접촉면적을 최소화하기 위한 제2톱니부가 형성된 도가니장치용 절연 가이드링.8. The method of claim 7,
A first toothed portion for minimizing the contact area with the nozzle shield is formed in the upper stopper,
An insulating guide ring for a crucible device in which a second toothed portion for minimizing a contact area with the wing portion is formed in the lower engaging portion. 제7항에 있어서,
상기 상단걸림부의 상부에,
사용자가 절연가이드링을 잡아 상부로 들어 올릴 수 있게 하는 손잡이부가 구비된 도가니장치용 절연 가이드링.8. The method of claim 7,
On the upper part of the upper stopper,
Insulation guide ring for crucible device equipped with a handle that allows the user to hold the insulation guide ring and lift it upward. 제7항에 있어서,
상기 노즐쉴드의 상면에, 상기 중앙통로의 중심을 기준으로 비대칭을 이루는 다수의 비대칭홈부가 마련되어 있고,
상기 절연가이드링의 상단걸림부에, 상기 비대칭홈부에 일대일 대응하며 비대칭홈부에 끼워지는 다수의 비대칭돌기부가 형성된 도가니장치용 절연 가이드링.8. The method of claim 7,
A plurality of asymmetric grooves forming asymmetry with respect to the center of the central passage are provided on the upper surface of the nozzle shield,
An insulating guide ring for a crucible device in which a plurality of asymmetric protrusions are formed in the upper engaging portion of the insulating guide ring to correspond one-to-one to the asymmetric groove portion and fit into the asymmetric groove portion. 제7항에 있어서,
상기 절연가이드링은,
상기 노즐쉴드의 상면에 걸쳐지는 상단걸림부, 상기 날개부의 저면에 걸쳐지는 하단걸림부, 상기 상단걸림부와 하단걸림부를 연결하며 상기 중앙통로의 내주면에 면접하는 차단부를 가지고, 일정간격을 이루는 다수의 분할링부재와;
상기 분할링부재를 연결하는 금속밴드를 구비하는 도가니장치용 절연 가이드링.8. The method of claim 7,
The insulating guide ring is
A plurality of having an upper engaging part spanning the upper surface of the nozzle shield, a lower engaging part spanning the lower surface of the wing part, and a blocking part connecting the upper engaging part and the lower engaging part and interfacing to the inner circumferential surface of the central passage, and forming a predetermined interval a split ring member of;
An insulating guide ring for a crucible device having a metal band connecting the split ring member.
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KR20160055302A (en) 2014-11-07 2016-05-18 엘지디스플레이 주식회사 Crucible For Depositing Metal

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