KR20210081485A - 표시 장치 및 이의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
표시 장치가 제공된다. 일 실시예에 따른 표시 장치는 폴딩 영역, 및 상기 폴딩 영역의 제1 방향 일측에 위치한 비폴딩 영역이 정의된 가요성 기판; 상기 가요성 기판의 일면 상에 배치된 발광 소자층; 및 상기 가요성 기판의 상기 일면의 반대면인 타면 상에 배치된 지지부를 포함하되, 상기 지지부는 상기 가요성 기판의 타면에 직접 배치되고, 상기 지지부는 상기 폴딩 영역에 중첩 배치된 제1 지지부, 및 상기 비폴딩 영역에 중첩 배치된 제2 지지부를 포함하며, 상기 제1 지지부는 표면으로부터 상기 제1 지지부를 완전히 관통하는 관통홀을 포함하고, 상기 제1 지지부의 상기 관통홀을 통해 상기 가요성 기판의 타면이 노출된다.
Description
본 발명은 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
표시 장치는 동영상이나 정지영상을 표시하는 장치로서, 표시 장치는 모바일 폰, 스마트 폰, 태블릿 PC(Personal Computer), 및 스마트 워치, 워치 폰, 이동 통신 단말기, 전자 수첩, 전자 책, PMP(Portable Multimedia Player), 네비게이션, UMPC(Ultra Mobile PC) 등과 같은 휴대용 전자 기기 뿐만 아니라 텔레비전, 노트북, 모니터, 광고판, 사물 인터넷 등의 다양한 제품의 표시 화면으로 사용될 수 있다.
한편, 종래보다 동일하거나 작은 부피 또는 두께를 가지면서도 더 큰 표시 화면을 가진 표시 장치가 차지하는 비중이 증가하고 있으며, 사용시에만 보다 대화면을 제공하기 위해 접히고 펼칠 수 있는 폴더블 표시 장치, 및 말리고 펼칠 수 있는 롤러블 표시 장치 등이 개발되고 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 패턴 시인이 줄어든 플렉시블 표시 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 패턴 시인이 줄어든 플렉시블 표시 장치를 제조하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 명세서부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 따른 표시 장치는 폴딩 영역, 및 상기 폴딩 영역의 제1 방향 일측에 위치한 비폴딩 영역이 정의된 가요성 기판; 상기 가요성 기판의 일면 상에 배치된 발광 소자층; 및 상기 가요성 기판의 상기 일면의 반대면인 타면 상에 배치된 지지부를 포함하되, 상기 지지부는 상기 가요성 기판의 타면에 직접 배치되고, 상기 지지부는 상기 폴딩 영역에 중첩 배치된 제1 지지부, 및 상기 비폴딩 영역에 중첩 배치된 제2 지지부를 포함하며, 상기 제1 지지부는 표면으로부터 상기 제1 지지부를 완전히 관통하는 관통홀을 포함하고, 상기 제1 지지부의 상기 관통홀을 통해 상기 가요성 기판의 타면이 노출된다.
상기 폴딩 영역, 및 상기 비폴딩 영역은 상기 제1 방향 일측을 따라 반복 배치될 수 있다.
상기 제2 지지부는 상기 관통홀을 포함하지 않을 수 있다.
상기 관통홀의 평면 형상은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 연장된 라인 형상을 가질 수 있다.
상기 관통홀은 복수개이고, 복수개의 상기 관통홀은 상기 제2 방향을 따라 배열되어 관통홀 그룹을 구성할 수 있다.
상기 관통홀 그룹은 복수개이고, 복수개의 상기 관통홀 그룹은 제1 관통홀 그룹, 및 상기 제1 관통홀 그룹의 상기 제1 방향에서 인접한 제2 관통홀 그룹을 포함하고, 상기 제1 관통홀 그룹과 상기 제2 관통홀 그룹은 상호 엇결려 배열될 수 있다.
상기 제1 관통홀 그룹의 상기 관통홀과 상기 제2 관통홀 그룹의 상기 관통홀은 상기 제1 방향을 따라 중첩 배치되지 않을 수 있다.
상기 제1 관통홀 그룹과 상기 제2 관통홀 그룹은 상기 제1 방향을 따라 반복 배치될 수 있다.
평면상, 상기 관통홀의 내에는 중심점이 정의되고, 상기 중심점으로부터 상기 관통홀의 상기 제1 방향 단부까지의 길이, 및 상기 제2 방향 단부까지의 길이는 상호 동일할 수 있다.
상기 관통홀의 평면 형상은 상기 제1 방향을 따라 연장된 제1 라인부, 및 상기 제2 방향을 따라 연장된 제2 라인부를 포함하고, 상기 제1 라인부 및 상기 제2 라인부는 상호 교차할 수 있다.
상기 제1 지지부는 상기 가요성 기판의 타면에 접하는 상면, 상기 제1 지지부의 상면의 반대면은 하면을 포함하고, 상기 관통홀은 상기 제1 지지부의 하면의 연장선, 상기 제1 지지부의 상면의 연장선, 및 상기 제1 지지부의 측면들에 의해 둘러싸일 수 있다.
상기 관통홀의 폭은 상기 제1 지지부의 하면의 연장선으로부터 상기 제1 지지부의 상면의 연장선에 가까워질수록 작아질 수 있다.
상기 제1 지지부의 측면은 상기 제1 지지부의 하면의 연장선으로부터 상기 제1 지지부의 상면의 연장선에 가까워질수록 경사가 급격해질 수 있다.
상기 관통홀의 폭은 상기 제1 지지부의 하면의 연장선으로부터 상기 제1 지지부의 상면의 연장선에까지 일정할 수 있다.
상기 관통홀의 폭은 상기 제1 지지부의 하면의 연장선으로부터 상기 제1 지지부의 상면의 연장선에 가까워질수록 커질 수 있다.
상기 관통홀에 의해 노출된 상기 가요성 기판의 타면은 상기 관통홀에 의해 덮인 상기 가요성 기판의 타면보다 거칠기가 클 수 있다.
상기 관통홀에 의해 노출된 상기 가요성 기판의 타면에 직접 배치된 에칭 용액 잔여물을 더 포함할 수 있다.
상기 다른 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 캐리어 기판의 일면 상에 직접 가요성 물질을 적층하여 폴딩 영역, 및 상기 폴딩 영역의 일측의 비폴딩 영역이 정의된 가요성 기판을 형성하는 단계; 형성된 상기 가요성 기판의 일면 상에 발광 소자층을 형성하는 단계; 및 상기 폴딩 영역가 중첩하는 상기 캐리어 기판에 관통홀을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 관통홀 형성 단계는 상기 폴딩 영역과 중첩하는 상기 캐리어 기판에 레이저 조사하는 단계, 및 상기 캐리어 기판을 에칭하는 단계를 포함한다.
상기 폴딩 영역과 중첩하는 상기 캐리어 기판에 레이저 조사하는 단계에서, 상기 레이저는 팸토초 레이저를 포함할 수 있다.
상기 캐리어 기판을 에칭하는 단계는 ? 에칭(Wet eching)을 이용하여 수행될 수 있다.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면, 패턴 시인이 줄어든 플렉시블 표시 장치, 및 이의 제조 방법을 제공할 수 있다.
실시예들에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 제1 동작 상태에서의 일 실시예에 따른 표시 장치의 사시도이다.
도 2는 제2 동작 상태에서의 일 실시예에 따른 표시 장치의 사시도이다.
도 3은 도 1의 A 영역을 확대한 도면이다.
도 4는 도 2의 B 영역을 확대한 도면이다.
도 5는 제1 동작 상태에서 일 실시예에 따른 표시 모듈의 평면도이다.
도 6은 일 실시예에 따른 가요성 기판, 및 지지부의 평면도이다.
도 7은 도 6의 C 영역을 확대한 평면도이다.
도 8은 도 7의 Ⅰ-Ⅰ' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 9는 도 8의 가요성 기판, 및 가요성 기판의 상부 구조물을 보여주는 단면도이다.
도 10은 도 8의 D 영역을 확대한 단면도이다.
도 11은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법의 순서도이다.
도 12 내지 도 14, 및 도 16은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법의 공정 단계별 단면도들이다.
도 15는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법의 일 공정 단계의 평면도이다.
도 17은 다른 실시예에 따른 표시 모듈의 단면도이다.
도 18은 다른 실시예에 따른 표시 모듈의 평면도이다.
도 19는 다른 실시예에 따른 가요성 기판, 및 제1 지지부의 단면도이다.
도 20은 또 다른 실시예에 따른 가요성 기판, 및 제1 지지부의 단면도이다.
도 21은 또 다른 실시예에 따른 가요성 기판, 및 제1 지지부의 단면도이다.
도 22는 또 다른 실시예에 따른 가요성 기판, 및 제1 지지부의 단면도이다.
도 23은 또 다른 실시예에 따른 가요성 기판, 및 제1 지지부의 단면도이다.
도 24는 또 다른 실시예에 따른 가요성 기판, 및 제1 지지부의 단면도이다.
도 25는 다른 실시예에 따른 제1 지지부의 평면도이다.
도 26은 또 다른 실시예에 따른 제1 지지부의 평면도이다.
도 27은 또 다른 실시예에 따른 제1 지지부의 평면도이다.
도 28은 또 다른 실시예에 따른 제1 지지부의 평면도이다.
도 29는 또 다른 실시예에 따른 제1 지지부의 평면도이다.
도 30은 또 다른 실시예에 따른 제1 지지부의 평면도이다.
도 2는 제2 동작 상태에서의 일 실시예에 따른 표시 장치의 사시도이다.
도 3은 도 1의 A 영역을 확대한 도면이다.
도 4는 도 2의 B 영역을 확대한 도면이다.
도 5는 제1 동작 상태에서 일 실시예에 따른 표시 모듈의 평면도이다.
도 6은 일 실시예에 따른 가요성 기판, 및 지지부의 평면도이다.
도 7은 도 6의 C 영역을 확대한 평면도이다.
도 8은 도 7의 Ⅰ-Ⅰ' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 9는 도 8의 가요성 기판, 및 가요성 기판의 상부 구조물을 보여주는 단면도이다.
도 10은 도 8의 D 영역을 확대한 단면도이다.
도 11은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법의 순서도이다.
도 12 내지 도 14, 및 도 16은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법의 공정 단계별 단면도들이다.
도 15는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법의 일 공정 단계의 평면도이다.
도 17은 다른 실시예에 따른 표시 모듈의 단면도이다.
도 18은 다른 실시예에 따른 표시 모듈의 평면도이다.
도 19는 다른 실시예에 따른 가요성 기판, 및 제1 지지부의 단면도이다.
도 20은 또 다른 실시예에 따른 가요성 기판, 및 제1 지지부의 단면도이다.
도 21은 또 다른 실시예에 따른 가요성 기판, 및 제1 지지부의 단면도이다.
도 22는 또 다른 실시예에 따른 가요성 기판, 및 제1 지지부의 단면도이다.
도 23은 또 다른 실시예에 따른 가요성 기판, 및 제1 지지부의 단면도이다.
도 24는 또 다른 실시예에 따른 가요성 기판, 및 제1 지지부의 단면도이다.
도 25는 다른 실시예에 따른 제1 지지부의 평면도이다.
도 26은 또 다른 실시예에 따른 제1 지지부의 평면도이다.
도 27은 또 다른 실시예에 따른 제1 지지부의 평면도이다.
도 28은 또 다른 실시예에 따른 제1 지지부의 평면도이다.
도 29는 또 다른 실시예에 따른 제1 지지부의 평면도이다.
도 30은 또 다른 실시예에 따른 제1 지지부의 평면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 실시예들에 대해 설명한다.
도 1은 제1 동작 상태에서의 일 실시예에 따른 표시 장치의 사시도이다. 도 2는 제2 동작 상태에서의 일 실시예에 따른 표시 장치의 사시도이다. 도 3은 도 1의 A 영역을 확대한 도면이다. 도 4는 도 2의 B 영역을 확대한 도면이다. 도 5는 제1 동작 상태에서 일 실시예에 따른 표시 모듈의 평면도이다.
도 1, 및 도 2를 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치(1)는 플렉시블 표시 장치일 수 있다. 본 명세서에서 플렉시블이란, 휠 수 있는 벤더블(Bendable), 접혔다 펼칠 수 있는 폴더블(Foldable), 및 말렸다 펼칠 수 있는 롤러블(Rollable) 등을 모두 지칭할 수 있다. 예를 들어, 플렉시블 표시 장치는 벤더블 표시 장치, 폴더블 표시 장치, 및 롤러블 표시 장치 등을 포함할 수 있다. 표시 장치(1)는 화면을 표시하는 표시 모듈(DMP)을 포함한다. 벤더블 표시 장치는 동작 상태의 구분없이 표시 장치가 제조된 후, 표시 모듈(DMP)이 휘어진 상태로 유지된 표시 장치를 의미할 수 있고, 폴더블 표시 장치는 이와 다르게 표시 장치가 제조된 후, 표시 모듈(DMP)이 접혀질 수도 있고, 펼쳐질 수도 있는 표시 장치를 의미할 수 있다. 롤러블 표시 장치는 폴더블 표시 장치와 마찬가지로, 표시 장치가 제조된 후, 표시 모듈(DMP)이 말려질 수도 있고, 펼쳐질 수도 있는 표시 장치를 의미할 수 있다.
이하에서, 표시 장치가 제조된 후, 표시 모듈(DMP)이 접혀지거나 말려진 상태는 제1 동작 상태라 지칭되고, 표시 모듈(DMP)이 다시 펼쳐진 상태는 제2 동작 상태라 지칭된다.
일 실시예에서는 상술된 롤러블 표시 장치가 적용된 표시 장치(1)에 대해 설명될 것이며, 롤러블 표시 장치는 설명의 편의를 위해 표시 장치(1)라 지칭된다.
일 실시예에 따른 표시 장치(1)는 화면을 표시하는 표시 모듈(DPM), 및 표시 모듈(DMP)에 의해 둘러싸인 롤러(ROL)를 포함할 수 있다. 롤러(ROL)는 표시 모듈(DMP)에 의해 말릴 수 있다.
표시 모듈(DMP)은 평면상 직사각형 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 표시 모듈(DMP)의 평면 형상은 제1 방향(DR1)을 따라 연장된 장변들, 및 제2 방향(DR2)을 따라 연장된 단변들이 이루는 직사각형 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 표시 모듈(DMP)의 평면 형상은 장변들과 단변들이 만나는 모서리가 둥근 직사각형 형상을 가질 수 있다.
본 명세서에서, 제1 방향(DR1)은 표시 모듈(DMP)의 장변들의 연장 방향을 지칭하고, 제2 방향(DR2)은 표시 모듈(DMP)의 단변들의 연장 방향을 지칭할 수 있다. 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)은 상호 교차할 수 있다. 예를 들어, 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)은 서로 직교할 수 있다. 제1 방향(DR1) 일측은 도 1, 및 도 2의 사시도에서 좌측 방향을 의미할 수 있고, 제1 방향(DR1) 타측은 도 1, 및 도 2의 사시도에서 우측 방향을 의미할 수 있고, 제2 방향(DR2) 일측은 도 1, 및 도 2의 사시도에서 전면 측 방향을 의미할 수 있고, 제2 방향(DR2) 타측은 도 1, 및 도 2의 사시도에서 후면 측 방향을 의미할 수 있다. 제3 방향(DR3)은 두께 방향을 의미할 수 있다. 제3 방향(DR3)은 제1 방향(DR1), 및 제2 방향(DR2)과 각각 교차할 수 있다. 예를 들어, 제3 방향(DR3) 일측은 도 1, 및 도 2의 사시도에서 상측 방향을 의미할 수 있고, 제3 방향(DR3) 타측은 도 1, 및 도 2의 사시도에서 하측 방향을 의미할 수 있다. 다만, 언급된 방향은 상대적인 방향을 의미하는 것으로 이해되어야하며, 실시예들에서 언급된 방향에 제한되는 것은 아니다.
몇몇 실시예에서 표시 모듈(DMP)의 평면 형상은 단변들이 제1 방향(DR1)을 따라 연장되고 장변들이 제2 방향(DR2)을 따라 연장될 수 있다.
몇몇 실시예에서, 표시 모듈(DMP)의 평면 형상은 장변들과 단변들이 만나는 모서리가 각질 수도 있다.
몇몇 실시예에서 표시 모듈(DMP)의 평면 형상은 원형, 타원형, 정사각형, 또는 기타 다각형 등이 적용될 수 있다.
도 1, 및 도 2에 도시된 바와 같이, 표시 모듈(DPM)의 타측 단변은 롤러(ROL)에 의해 고정되며, 제1 동작 상태에서, 표시 모듈(DPM)은 타측 단변으로부터 순차적으로 롤러(ROL)를 감싸 둘러쌀 수 있다.
롤러(ROL)는 원형 기둥 형상을 가질 수 있다. 롤러(ROL)의 제1 방향(DR1)과 제3 방향(DR3)을 포함하는 평면을 통해 잘려진 단면 형상은 원형일 수 있다. 롤러(ROL)는 제2 방향(DR2)을 따라 연장된 형상을 가질 수 있다. 롤러(ROL)는 제2 방향(DR2) 일측으로부터 제2 방향(DR2) 타측까지 연장된 형상을 가질 수 있다. 롤러(ROL)의 연장 길이, 예를 들어, 제2 방향(DR2) 일측 단부로부터 제2 방향(DR2) 타측 단부까지의 연장 길이는 표시 모듈(DPM)의 제2 방향(DR2) 일측 장변으로부터 제2 방향(DR2) 타측 장변까지의 연장 길이와 동일할 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다.
도 1, 및 도 2에서는 표시 모듈(DPM)이 제1 방향(DR1), 및 제3 방향(DR3)을 포함하는 평면에 의해 잘려진 단면 형상이 원형인 롤러(ROL)의 외주를 따라 장변들이 모두 휘어진 것(예를 들어, 장변들을 이루는 모든 부분이 곡률을 가지는 것)으로 도시되었지만, 실제로 도 3에 도시된 바와 같이 표시 모듈(DPM)의 장변들은 소정의 곡률을 가진 휘어진 부분과 곡률을 갖지 않는 평탄한 부분이 순차 배치되며, 휘어진 부분과 평탄한 부분이 순차 배치된 구조를 포함하는 표시 모듈(DPM)의 장변들이 롤러(ROL)를 둘러쌀 수 있다. 이하에서, 표시 모듈(DPM)의 소정의 곡률을 가져 휘어진 부분을 폴딩 영역(FA)으로 지칭하고, 표시 모듈(DPM)의 곡률을 갖지 않고 평탄한 부분을 비폴딩 영역(NFA)으로 지칭하기로 한다.
제2 동작 상태에서, 표시 모듈(DPM)의 타측 단변은 롤러(ROL)에 의해 고정된 채로, 표시 모듈(DMP)의 일측 단변이 제1 방향(DR1) 일측으로 이동됨으로써 표시 모듈(DPM)은 펼쳐진 상태가 될 수 있다.
제1 동작 상태와 제2 동작 상태 간, 동작 상태가 변환될 때, 표시 모듈(DPM)의 단변들은 말리지 않고 펴진 상태를 유지하되, 표시 모듈(DPM)의 장변들은 롤러(ROL)의 단면 형상을 따라 말리거나 펼쳐질 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이 표시 장치(1)의 제2 동작 상태에서 표시 모듈(DPM)의 폴딩 영역(FA)은 소정의 곡률을 갖지 않을 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 표시 모듈(DPM)에는 폴딩 영역(FA), 및 비폴딩 영역(NFA)이 정의될 수 있다. 비폴딩 영역(NFA)은 폴딩 영역(FA)의 주변에 위치할 수 있다. 폴딩 영역(FA), 및 비폴딩 영역(NFA)은 각각 표시 모듈(DPM)의 제2 방향(DR2) 일측 장변으로부터 제2 방향(DR2) 타측 장변까지 가로지를 수 있다. 폴딩 영역(FA), 및 비폴딩 영역(NFA)의 평면 형상은 각각 직사각형을 가질 수 있다. 폴딩 영역(FA), 및 폴딩 영역(FA)과 인접한 비폴딩 영역(NFA)은 서로 경계를 공유하며, 맞닿아 있을 수 있다.
일 실시예에 의하면, 폴딩 영역(FA), 및 비폴딩 영역(NFA)은 각각 복수개일 수 있다. 폴딩 영역(FA), 및 비폴딩 영역(NFA)은 제1 방향(DR1)을 따라 반복적으로 순차 배치될 수 있다.
한편, 표시 모듈(DPM)은 동작 상태 변환되기 위해 가요성 물질을 포함하며 두께가 얇은 베이스 기판이 적용될 수 있다. 표시 모듈(DPM)의 가요성 물질이 적용된 베이스 기판 상에는 후술하는 바와 같이 회로층, 발광 소자층, 편광층, 및 필름층 등이 적층될 수 있다. 베이스 기판이 가요성 물질을 포함하고, 그 두께가 얇으면 표시 모듈(DMP) 자체의 평탄도가 낮아질 수 있다.
표시 모듈(DPM)의 평탄도를 유지하기 위해 베이스 기판의 하부 상에는 지지부가 더 배치될 수 있다. 지지부는 베이스 기판 대비, 두께가 크고, 유리, 또는 석영 등의 리지드한 물질을 포함함으로써 표시 모듈(DPM)의 평탄도를 잘 유지할 수 있도록 한다. 통상적으로, 표시 모듈(DPM)의 평탄도를 강화하기 위해서 지지부는 두께가 크고, 리지드한 물질을 포함하는 것이 바람직하며, 뿐만 아니라 베이스 기판과 중첩하는 면적이 큰 것이 바람직하게 고려될 수 있다.
다만, 상술한 바와 같이, 표시 모듈(DPM)이 말리기 위해서는 베이스 기판의 하부에 배치된 지지부의 유연함이 확보되어야 한다. 특히, 실제로 동작 상태 변환 간, 휘어졌다 펴지는 폴딩 영역(FA)에서, 지지부의 유연성이 요한다.
지지부의 표시 모듈(DPM)의 평탄도 보강 특성 및 유연 특성을 동시에 만족하기 위해, 폴딩 영역(FA)에서, 지지부의 면적, 및 형상을 조절하는 것이 고려될 수 있다.
도 6은 일 실시예에 따른 가요성 기판, 및 지지부의 평면도이다. 도 7은 도 6의 C 영역을 확대한 평면도이다. 도 8은 도 7의 Ⅰ-Ⅰ' 선을 따라 자른 단면도이다. 도 9는 도 8의 가요성 기판, 및 가요성 기판의 상부 구조물을 보여주는 단면도이다. 도 10은 도 8의 D 영역을 확대한 단면도이다.
도 6을 참조하면, 표시 모듈(DPM)은 가요성 기판(110), 및 지지부(FST)를 포함할 수 있다. 지지부(FST)는 가요성 기판(110)과 중첩 배치될 수 있다. 지지부(FST)의 평면 형상은 가요성 기판(110)의 평면 형상과 동일하거나 유사할 수 있다. 예를 들어, 지지부(FST)의 평면 형상은 제1 방향(DR1)을 따라 연장된 장변들, 및 제2 방향(DR2)을 따라 연장된 단변들을 포함하는 직사각형 형상일 수 있다.
지지부(FST)는 폴딩 영역(FA)에 배치된 제1 지지부(FST1), 및 비폴딩 영역(NFA)에 배치된 제2 지지부(FST2)를 포함할 수 있다. 제1 지지부(FST1)는 폴딩 영역(FA)의 평면 형상과 동일하거나 유사하며, 폴딩 영역(FA)의 평면상 면적과 동일하거나 유사할 수 있다. 제2 지지부(FST2)는 비폴딩 영역(NFA)의 평면 형상과 동일하거나 유사하며, 비폴딩 영역(NFA)의 평면상 면적과 동일하거나 유사할 수 있다.
지지부(FST1, FST2)들은 폴딩 영역(FA), 및 비폴딩 영역(NFA)이 제1 방향(DR1)을 따라 반복적으로 순차 배치된 것처럼, 제1 방향(DR1)을 따라 반복적으로 순차 배치될 수 있다.
제1 지지부(FST1)는 관통홀(TH)을 포함할 수 있다. 반면, 제2 지지부(FST2)는 관통홀(TH)을 포함하지 않을 수 있다.
도 7을 참조하면, 관통홀(TH)은 복수개일 수 있다. 복수개의 관통홀(TH)은 제1 관통홀(TH1), 및 제2 관통홀(TH2)을 포함할 수 있다. 각 관통홀(TH1, TH2)은 제2 방향(DR2)을 따라 연장된 라인 형상을 가질 수 있다. 제1 관통홀(TH1), 및 제2 관통홀(TH2)의 평면 형상은 각각 직사각형 형상일 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않고 제1 관통홀(TH1), 및 제2 관통홀(TH2)의 평면 형상은 제2 방향(DR2)을 따라 연장된 타원, 또는 기타 다각형 형상을 가질 수 있다.
예를 들어, 제1 관통홀(TH1), 및 제2 관통홀(TH2)은 서로 동일한 평면 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 관통홀(TH1), 및 제2 관통홀(TH2)은 서로 동일한 평면 면적을 가질 수 있다.
관통홀(TH1, TH2)의 평면 형상이 직사각형으로 적용된 경우, 각 관통홀(TH1, TH2)은 제1 방향(DR1)을 따라 연장된 단변들, 및 제2 방향(DR2)을 따라 연장된 장변들을 포함할 수 있다.
예를 들어, 각 관통홀(TH1, TH2)의 단변 길이는 약 200um이하일 수 있고, 각 관통홀(TH1, TH2)의 장변 길이는 약 500um이하일 수 있다.
각 관통홀(TH1, TH2)은 복수개일 수 있다. 복수의 관통홀(TH1, TH2)은 각각 제2 방향(DR2)을 따라 배열될 수 있다. 제2 방향(DR2)을 따라 배열된 복수의 제1 관통홀(TH1)들은 제1 그룹(G1)을 이루고, 제2 방향(DR2)을 따라 배열된 복수의 제2 관통홀(TH2)들은 제2 그룹(G2)을 이룰 수 있다. 각 그룹(G1, G2)의 관통홀(TH1, TH2)들은 제2 방향(DR2)을 따라 상호 이격되어 배열될 수 있다. 제1 그룹(G1)과 제2 그룹(G2)은 제1 방향(DR1)을 따라 인접 배치될 수 있다.
제1 그룹(G1)의 복수의 제1 관통홀(TH1)들과 제2 그룹(G2)의 복수의 제2 관통홀(TH2)들은 상호 엇갈려 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 그룹(G1)의 제2 방향(DR2)에서 인접한 제1 관통홀(TH1)들의 이격 공간은 제1 방향(DR1)을 따라 인접한 제2 그룹(G2)의 제2 관통홀(TH2)과 제1 방향(DR1)을 따라 중첩할 수 있고, 제2 그룹(G2)의 제2 방향(DR2)에서 인접한 제2 관통홀(TH2)들의 이격 공간은 제1 방향(DR1)을 따라 인접한 제1 그룹(G1)의 제1 관통홀(TH1)과 제1 방향(DR1)을 따라 중첩할 수 있다.
제1 그룹(G1)의 제2 방향(DR2)에서 상기 이격 공간을 사이에 두고 서로 마주보는 제1 관통홀(TH1)들의 단변들은 각각 제1 방향(DR1)에서 인접한 제2 그룹(G2)의 제2 관통홀(TH2)과 중첩할 수 있고, 제2 그룹(G2)의 제2 방향(DR2)에서 상기 이격 공간을 사이에 두고 서로 마주보는 제2 관통홀(TH2)들의 단변들은 각각 제1 방향(DR1)에서 인접한 제1 그룹(G1)의 제1 관통홀(TH1)과 중첩할 수 있다.
제1 그룹(G1), 및 제2 그룹(G2)은 각각 복수개일 수 있다. 도 7에서는 제1 그룹(G1), 및 제2 그룹(G2)이 각각 두 개인 것으로 예시되었지만, 제1 그룹(G1), 및 제2 그룹(G2)은 각각 하나, 또는 세 개이상일 수도 있다.
제1 그룹(G1) 및 제2 그룹(G2)은 제1 방향(DR1)을 따라 반복적으로 순차 배치될 수 있다.
각 관통홀(TH1, TH2)은 평면상 지지부(FST)의 물질에 의해 둘러싸일 수 있다. 예를 들어, 각 관통홀(TH1, TH2)은 평면상 지지부(FST)의 물질에 의해 완전히 둘러싸일 수 있다.
도 8을 참조하면, 표시 모듈(DPM)은 가요성 기판(110), 가요성 기판(110) 상의 회로 구동층(120), 회로 구동층(120) 상의 발광 소자층(130), 발광 소자층(130) 상의 박막 봉지층(140), 박막 봉지층(140) 상의 편광층(150), 편광층(150) 상의 보호층(160), 및 가요성 기판(110)의 하부 상의 지지부(FST)를 포함할 수 있다.
가요성 기판(110)은 가요성의 고분자 수지 등의 절연 물질로 이루어질 수 있다. 상기 고분자 물질의 예로는 폴리에테르술폰(polyethersulphone: PES), 폴리아크릴레이트(polyacrylate: PA), 폴리아릴레이트(polyarylate: PAR), 폴리에테르이미드(polyetherimide: PEI), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene napthalate: PEN), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(polyethylene terepthalate: PET), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide: PPS), 폴리알릴레이트(polyallylate), 폴리이미드(polyimide: PI), 폴리카보네이트(polycarbonate: PC), 셀룰로오스 트리 아세테이트(cellulose triacetate: CAT), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate: CAP) 또는 이들의 조합을 들 수 있다. 일 실시예에서 가요성 기판(110)은 폴리 이미드(PI)를 포함할 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다.
일 실시예에 따른 가요성 기판(110)은 표시 모듈(DPM)의 동작 상태 변환을 위해, 두께가 얇을 수 있다. 다만, 상술한 바와 같이 가요성 물질을 포함하고 그 두께가 얇으면 표시 모듈(DMP) 자체의 평탄도가 낮아질 수 있다.
회로 구동층(120)은 화소의 발광 소자층(130)을 구동하는 회로를 포함할 수 있다. 회로 구동층(120)은 복수의 박막 트랜지스터를 포함할 수 있다.
회로 구동층(120) 상부에는 발광 소자층(130)이 배치될 수 있다. 발광 소자층(130)은 복수의 발광 소자(ED)를 포함할 수 있다. 각 발광 소자(ED)는 유기 발광층 또는 무기 발광층을 포함할 수 있다. 발광 소자층(130)은 회로 구동층(120)에서 전달하는 구동 신호에 따라 다양한 휘도로 발광할 수 있다.
예를 들어, 발광 소자(ED)는 자발광 소자를 포함할 수 있다. 상기 자발광 소자는 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diode), 양자점 발광소자(Quantum dot Light Emitting Diode), 무기물 기반의 마이크로 발광 다이오드(예컨대 Micro LED), 무기물 기반의 나노 발광 다이오드(예컨대 nano LED) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
발광 소자층(130) 상부에는 박막 봉지층(140)이 배치될 수 있다. 박막 봉지층(140)은 무기막 또는 무기막과 유기막의 적층막을 포함할 수 있다. 다른 예로 박막 봉지층(140)으로 봉지 필름 등이 적용될 수도 있다.
박막 봉지층(140) 상부에는 편광층(150)이 배치될 수 있다. 편광층(150)은 외광 반사를 줄이는 역할을 할 수 있다. 편광층(150)은 점착층을 통해 하부의 부재에 부착될 수 있다. 편광층(150)은 생략될 수도 있다. 편광층(150)이 생략된 실시예에서, 박막 봉지층(140) 상부에는 컬러 필터층이 배치될 수 있다.
편광층(150) 상부에는 보호층(160)이 배치될 수 있다. 보호층(160)은 예컨대 윈도우 부재를 포함할 수 있다. 보호층(160)은 광학 투명 접착제 등에 의해 편광층(150) 상에 부착될 수 있다.
도시되지 않았지만, 박막 봉지층(140)과 편광층(150) 사이에는 터치층이 배치될 수 있다. 터치층은 터치 입력을 인지하는 층으로서, 터치 부재의 기능을 수행할 수 있다. 터치층은 복수의 감지 영역과 감지 전극들을 포함할 수 있다. 터치층은 박막 봉지층(140)의 바로 위에 직접 배치될 수 있지만, 이에 제한되지 않고 패널의 형태로 박막 봉지층(140) 상에 부착될 수도 있다.
지지부(FST)는 가요성 기판(110)의 하부 상에 배치될 수 있다.
가요성 기판(110)은 지지부(FST)를 바라보는 일면(110a), 및 일면(110a)의 반대면인 타면(110b)을 포함할 수 있다. 가요성 기판(110)의 타면(110b)은 회로 구동층(120)을 바라볼 수 있다.
지지부(FST)는 가요성 기판(110)의 타면(110b) 상에 직접 배치되고 가요성 기판(110)의 타면(110b) 상에 직접 접할 수 있다. 예를 들어, 지지부(FST)와 가요성 기판(110)의 타면(110b) 사이에는 어떠한 물질이 개재되지 않을 수 있다.
도 9는 가요성 기판(110)의 상부 구조를 더욱 상세히 설명한다.
도 9를 참조하면, 가요성 기판(110) 상에는 버퍼층(BF)이 배치될 수 있다. 버퍼층(BF)은 버퍼막은 복수의 적층된 막으로 구성될 수 있다. 버퍼층(BF)은 가요성 기판(110)을 통해 침투하는 수분, 및 불순물(F, C-H)로부터 박막 트랜지스터들과 발광 소자(ED)를 보호하는 역할을 할 수 있다.
버퍼층(BF)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 실리콘 옥시 나이트라이드층, 티타늄 산화막, 및 알루미늄 산화막 중 적어도 하나의 무기막으로 형성될 수 있다.
버퍼층(BF)은 상기 예시된 물질 중 선택된 물질로 이루어진 단일막이거나, 상기 예시된 물질 중 선택된 물질들로 이루어진 다층막일 수 있다.
버퍼층(BF) 상에는 박막 트랜지스터의 반도체층(ACT)이 배치될 수 있다. 반도체층(ACT)은 산화물 반도체 또는 다결정 실리콘을 포함할 수 있다.
반도체층(ACT) 상에는 게이트 절연막(GI)이 배치될 수 있다. 게이트 절연막(GI)은 무기 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 게이트 절연막(GI)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 실리콘 옥시 나이트라이드층, 티타늄 산화막, 및 알루미늄 산화막 중 적어도 하나의 무기막으로 형성될 수 있다. 도 9에서는 게이트 절연막(GI)이 가요성 기판(110)의 전면(Whole surface)에 걸쳐 배치된 것으로 예시되었으나, 이에 제한되지 않고 게이트 절연막(GI)은 반도체층(ACT)과 후술할 게이트 전극(GE)이 중첩하는 영역에만 배치될 수도 있다.
게이트 절연막(GI) 상에는 박막 트랜지스터의 게이트 전극(GE), 및 커패시터의 제1 전극(CE1)이 배치될 수 있다.
게이트 전극(GE)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다.
제1 전극(CE1)은 게이트 전극(GE)의 예시된 물질 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 제1 전극(CE1)은 게이트 전극(GE)과 동일한 물질을 포함하고, 동일 공정을 통해 형성될 수 있다.
게이트 전극(GE) 상에는 제1 절연막(ILD1)이 배치될 수 있다. 제1 절연막(ILD1)은 유리 절연 물질 또는 무기 절연 물질을 포함하여 이루어질 수 있다.
제1 절연막(ILD1) 상에는 커패시터의 제2 전극(CE2)이 배치될 수 있다. 제2 전극(CE2)은 제1 전극(CE1)과 두께 방향에서 중첩 배치될 수 있다. 제2 전극(CE2)은 제1 절연막(ILD1)을 유전체로 하여 제1 전극(CE1)과 커패시터를 형성할 수 있다.
제2 전극(CE2) 상에는 제2 절연막(ILD2)이 배치될 수 있다. 제2 절연막(ILD2)은 유리 절연 물질 또는 무기 절연 물질을 포함하여 이루어질 수 있다.
제2 절연막(ILD2) 상에는 소스 전극(SE)과 드레인 전극(DE)이 배치될 수 있다. 소스 전극(SE)은 게이트 절연막(GI), 절연막(ILD1, ILD2)을 관통하는 콘택홀을 통해 반도체층(ACT)의 소스 영역과 전기적으로 연결될 수 있고, 드레인 전극(DE)은 게이트 절연막(GI), 절연막(ILD1, ILD2)을 관통하는 콘택홀을 통해 반도체층(ACT)의 드레인 영역과 전기적으로 연결될 수 있다. 소스 전극(SE)과 드레인 전극(DE)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다.
소스 전극(SE)과 드레인 전극(DE) 상에는 제3 절연막(ILD3)이 배치될 수 있다. 제3 절연막(ILD3)은 유리 절연 물질 또는 무기 절연 물질을 포함할 수 있다. 제3 절연막(ILD3)은 소스 전극(SE)과 드레인 전극(DE)을 보호하는 보호막일 수 있다.
제3 절연막(ILD3) 상에는 데이터 라인(DL), 및 연결 전극(CNE)이 배치될 수 있다. 데이터 라인(DL)은 제3 절연막(ILD3)을 관통하는 콘택홀을 통해 소스 전극(SE)과 전기적으로 연결되고, 연결 전극(CNE)은 제3 절연막(ILD3)을 관통하는 콘택홀을 통해 드레인 전극(DE)과 전기적으로 연결될 수 있다.
데이터 라인(DL), 및 연결 전극(CNE)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다.
데이터 라인(DL), 및 연결 전극(CNE) 상에는 제4 절연막(ILD4)이 배치될 수 있다. 제4 절연막(ILD4)은 유리 절연 물질 또는 무기 절연 물질을 포함할 수 있다. 제4 절연막(ILD4)은 데이터 라인(DL), 및 연결 전극(CNE)을 보호하는 보호막일 수 있다. 경우에 따라 제4 절연막(ILD4)은 평탄화막일 수 있다.
제4 절연막(ILD4)은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin), 또는 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등을 포함할 수 있다.
제4 절연막(ILD4) 상에는 발광 소자(ED)의 제1 전극(ANO)과 화소 정의막(PDL)이 배치될 수 있다. 제1 전극(ANO)은 화소 전극일 수 있다. 제1 전극(ANO)은 애노드 전극일 수 있다. 제1 전극(ANO)은 제4 절연막(ILD4)을 관통하는 콘택홀을 통해 드레인 전극(DE)에 전기적으로 연결될 수 있다. 발광층(OL)을 기준으로 제2 전극(CAT) 방향으로 발광하는 상부 발광(top emission) 구조에서 제1 전극(ANO)은 반사율이 높은 금속물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 전극(ANO)은 알루미늄과 티타늄의 적층 구조(Ti/Al/Ti), 알루미늄과 ITO의 적층 구조(ITO/Al/ITO), APC 합금, 및 APC 합금과 ITO의 적층 구조(ITO/APC/ITO) 로 형성될 수 있다. APC 합금은 은(Ag), 팔라듐(Pd), 및 구리(Cu)의 합금이다. 또는, 제1 전극(ANO)은 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 구리(Cu), 알루미늄(Al)의 단일층으로 형성될 수도 있다.
화소 정의막(PDL)은 제1 전극(ANO)의 가장자리를 덮고, 중앙부를 노출할 수 있다. 화소 정의막(PDL)은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등의 유기막으로 형성될 수 있다. 몇몇 실시예에서 화소 정의막(PDL)은 무기 물질을 포함할 수 있다.
제1 전극(ANO)과 화소 정의막(PDL) 상에는 발광층(OL)이 형성된다. 발광층(OL)은 유기 물질을 포함하여 소정의 색을 발광할 수 있다. 예를 들어, 발광층(OL)은 정공 수송층(hole transporting layer), 유기 물질층, 및 전자 수송층(electron transporting layer)을 포함할 수 있다.
몇몇 실시예에서 발광층(OL)은 무기 물질, 또는 양자점 물질을 포함할 수 있다.
제2 전극(CAT)은 발광층(OL) 상에 형성된다. 제2 전극(CAT)은 발광층(OL)을 덮도록 형성될 수 있다. 제2 전극(CAT)은 공통 전극일 수 있다. 제2 전극(CAT)은 발광 소자(ED)의 캐소드 전극일 수 있다.
상부 발광 구조에서 제2 전극(CAT)은 광을 투과시킬 수 있는 ITO, IZO와 같은 투명한 도전 물질, 또는 반투과 도전 물질을 포함할 수 있다.
제2 전극(CAT) 상에는 박막 봉지층(140)이 형성될 수 있다. 박막 봉지층(140)은 발광층(OL)에 산소 또는 수분이 침투되는 것을 방지하기 위해 적어도 하나의 무기막을 포함할 수 있다. 또한, 박막 봉지층(140)은 먼지와 같은 이물질로부터 발광층(OL)을 보호하기 위해 적어도 하나의 유기막을 포함할 수 있다. 예를 들어, 박막 봉지층(140)은 제2 전극(CAT) 상의 제1 무기 봉지막(141), 제1 무기 봉지막(141) 상의 유기 봉지막(142), 유기 봉지막(142) 상의 제2 무기 봉지막(143)을 포함할 수 있다.
상술한 바와 같이 지지부(FST)는 가요성 기판(110) 대비, 두께가 크고, 유리, 또는 석영 등의 리지드한 물질을 포함함으로써 표시 모듈(DPM)의 평탄도를 잘 유지할 수 있도록 한다.
다만, 상술한 바와 같이, 표시 모듈(DPM)이 말리기 위해서는 가요성 기판(110)의 하부에 직접 배치된 지지부(FST)의 유연함이 확보되어야 한다. 특히, 실제로 동작 상태 변환 간, 휘어졌다 펴지는 폴딩 영역(FA)에서, 지지부(FST)의 유연성이 요한다.
즉, 지지부(FST)의 표시 모듈(DPM)의 평탄도 보강 특성 및 유연 특성을 동시에 만족하기 위해, 폴딩 영역(FA)에 배치된 제1 지지부(FST1)의 형상과 비폴딩 영역(NFA)에 배치된 제2 지지부(FST2)의 형상이 서로 다르며, 제1 지지부(FST1)와 가요성 기판(110) 간 중첩 면적과 제2 지지부(FST2)와 가요성 기판(110) 간 중첩 면적이 서로 상이할 수 있다.
표시 모듈(DPM)의 폴딩 영역(FA)에서 유연성을 확보하기 위해서는 폴딩 영역(FA)에 배치된 제1 지지부(FST1)의 면적이 작을수록 유리할 수 있다. 폴딩 영역(FA)의 제1 지지부(FST1)의 크게 줄일 경우, 예를 들어, 폴딩 영역(FA)의 연장 방향인 제2 방향(DR2)을 따라 제1 지지부(FST1)를 제거하여 면적을 줄일 경우, 유연성 확보에는 유리할 수 있지만, 외부에서 제거된 제1 지지부(FST1)와 남아있는 제2 지지부(FST2) 간 단차가 패턴으로 시인될 가능성이 있을 수 있다.
다만, 일 실시예에 따른 표시 모듈(DPM)은 폴딩 영역(FA)에서 유연성을 확보하기 위해 제1 지지부(FST1)에 미세한 복수의 관통홀(TH)들이 형성되고, 각 관통홀(TH)들의 연장 방향 및 복수의 관통홀(TH)들의 배열 방향(즉, 제1 그룹(G1), 및 제2 그룹(G2)의 연장 방향)이 표시 모듈(DPM)의 말리는 방향인 제1 방향(DR1)과 교차 또는 직교하도록 형성될 수 있다. 뿐만 아니라, 각 관통홀(TH1, TH2)의 단변 길이가 약 200um이하일 수 있고, 각 관통홀(TH1, TH2)의 장변 길이가 약 500um이하로 설계됨으로써, 외부에서 관통홀(TH1, TH2) 시인이 크게 줄어들 수 있다.
도 10을 참조하면, 제1 지지부(FST1)는 가요성 기판(110)의 일면(110a)과 접하는 상면, 제1 지지부(FST1)의 상면의 반대면인 하면(FST1b), 및 제1 지지부(FST1)의 상면과 하면(FST1b)을 연결하는 내측면(FST1a)을 포함할 수 있다.
제1 관통홀(TH1)은 제1 지지부(FST1)의 상면의 연장선, 제1 지지부(FST1)의 하면(FST1b)의 연장선, 및 내측면(FST1a)들에 의해 둘러싸일 수 있다. 제1 지지부(FST1)의 상면의 연장선은 인접한 제1 지지부(FST1)의 상면과 각각 만날 수 있다. 제1 지지부(FST1)의 하면(FST1b)의 연장선은 인접한 제1 지지부(FST1)의 하면(FST1b)과 각각 만날 수 있다. 제1 지지부(FST1)의 내측면(FST1a)은 각각 제1 지지부(FST1)의 하면(FST1b)의 연장선, 및 하면(FST1b)이 만나는 지점과 제1 지지부(FST1)의 상면의 연장선, 및 제1 지지부(FST1)의 상면이 만나는 지점을 연결할 수 있다.
제1 관통홀(TH1)의 폭은 제1 지지부(FST1)의 하면(FST1b)의 연장선으로부터 제1 지지부(FST1)의 상면의 연장선에 가까워질수록 작아질 수 있다. 제1 관통홀(TH1)의 폭은 제1 지지부(FST1)의 상면의 연장선의 길이와 동일한 제1 폭(W1), 및 제1 지지부(FST1)의 하면(FST1b)의 연장선의 길이와 동일한 제2 폭(W2)을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 제1 폭(W1)은 제2 폭(W2)보다 작을 수 있다.
제1 관통홀(TH1)을 이루는 제1 지지부(FST1)의 내측면(FST1a)들은 곡면(CR)을 형성할 수 있다.
제1 지지부(FST1)의 내측면(FST1a)들이 형성하는 곡면(CR)은 각각 제1 관통홀(TH1)을 향해 볼록한 단면 형상을 가질 수 있다.
나아가, 제1 지지부(FST1)의 내측면(FST1a)은 제1 지지부(FST1)의 하면(FST1b)의 연장선, 및 하면(FST1b)이 만나는 지점으로부터 제1 지지부(FST1)의 상면의 연장선, 및 제1 지지부(FST1)의 상면이 만나는 지점까지 점차적으로 경사가 급해질 수 있다.
제1 지지부(FST1)의 내측면(FST1a)의 단면 형상은 제1 지지부(FST1)의 상면의 단면 형상과 상이할 수 있다. 예를 들어, 제1지지부(FST1)의 내측면(FST1a)은 에칭 용액에 의해 에칭된 면이고, 제1 지지부(FST1)의 상면은 에칭 용액과 실질적으로 접하지 않는 면이기 때문에 에칭 용액에 의해 에칭된 제1 지지부(FST1)의 내측면(FST1a)은 표면 요철을 포함할 수 있다. 상기 표면 요철은 예를 들어, 물결 형상의 표면 요철일 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다.
상술된 바와 같이 일 실시예에 따른 표시 모듈(DPM)에 의하면 제1 지지부(FST1)에 미세한 복수의 관통홀(TH)들이 형성되고, 각 관통홀(TH)들의 연장 방향 및 복수의 관통홀(TH)들의 배열 방향(즉, 제1 그룹(G1), 및 제2 그룹(G2)의 연장 방향)이 표시 모듈(DPM)의 말리는 방향인 제1 방향(DR1)과 교차 또는 직교하도록 형성됨으로써 폴딩 영역(FA)에서 유연성을 확보할 수 있고, 각 관통홀(TH1, TH2)의 단변 길이가 약 200um이하일 수 있고, 각 관통홀(TH1, TH2)의 장변 길이가 약 500um이하로 설계됨으로써, 외부에서 관통홀(TH1, TH2) 시인이 크게 줄어들 수 있다.
나아가, 지지부(FST)와 가요성 기판(110) 사이에 어떠한 물질, 예컨대 점착층이 개재되지 않고 상호 결합되어 있으므로, 지지부(FST)와 가요성 기판(110) 사이에 개재된 물질과 지지부(FST) 사이에서 형성된 광학 계면, 그리고 상기 개재된 물질과 가요성 기판(110) 사이에서 형성된 광학 계면이 발생될 여지가 없어, 지지부(FST)에 형성된 관통홀(TH)이 외부에서 시인될 가능성을 줄일 수 있다.
이하, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 대해 설명한다. 이하의 실시예에서 이미 설명한 실시예와 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조 부호로서 지칭하고, 그 설명을 생략하거나 간략화한다.
도 11은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법의 순서도이다. 도 12 내지 도 14, 및 도 16은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법의 공정 단계별 단면도들이다. 도 15는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법의 일 공정 단계의 평면도이다.
우선, 도 11, 및 도 12를 참조하면, 캐리어 기판(FSTa) 상에 가요성 물질층(110')을 형성한다(S10).
캐리어 기판(FSTa)은 유리, 또는 석영 등의 리지드한 물질을 포함할 수 있다. 캐리어 기판(FSTa) 상에 라미네이션 방식으로 가요성 물질층(110')을 형성할 수 있다. 캐리어 기판(FSTa)은 가요성 물질층(110')을 형성하기 위한 지지부 역할을 할 수 있다.
가요성 물질층(110')은 가요성의 고분자 수지 등의 절연 물질로 이루어질 수 있다. 상기 고분자 물질의 예로는 폴리에테르술폰(polyethersulphone: PES), 폴리아크릴레이트(polyacrylate: PA), 폴리아릴레이트(polyarylate: PAR), 폴리에테르이미드(polyetherimide: PEI), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene napthalate: PEN), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(polyethylene terepthalate: PET), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide: PPS), 폴리알릴레이트(polyallylate), 폴리이미드(polyimide: PI), 폴리카보네이트(polycarbonate: PC), 셀룰로오스 트리 아세테이트(cellulose triacetate: CAT), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate: CAP) 또는 이들의 조합을 들 수 있다. 일 실시예에서 가요성 물질층(110')은 폴리 이미드(PI)를 포함할 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다.
가요성 물질층(110')에는 제1 영역, 및 상기 제1 영역의 주변의 제2 영역이 정의될 수 있다. 가요성 물질층(110')에 정의된 상기 제1 영역은 도 5에서 설명된 폴딩 영역(FA)에 대응되고, 상기 제2 영역은 도 5에서 설명된 비폴딩 영역(NFA)에 대응될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 영역은 폴딩 영역(FA)과 완전히 동일 형상, 동일 면적, 및 동일 위치를 가질 수 있고, 상기 제2 영역은 비폴딩 영역(NFA)과 완전히 동일 형상, 동일 면적, 및 동일 위치를 가질 수 있다. 즉, 본 제조 단계에서 상기 제1 영역, 및 상기 제2 영역은 후술될 캐리어 기판(FSTa)의 관통홀 형성이 완료된 후, 각각 폴딩 영역(FA), 및 비폴딩 영역(NFA)과 동일한 기능을 할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위해 상기 제1 영역을 폴딩 영역(FA)으로 지칭하고, 상기 제2 영역을 비폴딩 영역(NFA)으로 지칭하기로 한다.
이어서, 도 11, 및 도 12를 참조하면, 가요성 물질층(110') 상에 회로 구동층(120), 발광 소자층(130), 및 박막 봉지층(140)을 순차 적층한다(S20).
회로 구동층(120), 발광 소자층(130), 및 박막 봉지층(140)에 대해서는 도 8에서 상술된 바 자세한 설명은 생략하기로 한다.
이어서, 도 11, 및 도 13을 참조하면, 박막 봉지층(140) 상에 이형 필름(FL)을 배치한다.
이형 필름(FL)은 기재, 및 상기 기재의 일면에 위치한 점착층을 포함할 수 있다. 예를 들어, 이형 필름(FL)은 단면 테이프일 수 있다. 이형 필름(FL)의 상기 점착층은 박막 봉지층(140)의 상면에 부착될 수 있다.
도 8에서 상술된 바와 같이 박막 봉지층(140) 상에 터치층이 더 배치된 경우, 이형 필름(FL)은 상기 터치층의 상면에 부착될 수 있다.
이형 필름(FL)은 박막 봉지층(140)의 상면에 부착된 후, 후술될 캐리어 기판(FSTa)의 관통홀 형성 후에, 박막 봉지층(140)의 상면으로부터 제거된다. 이형 필름(FL)을 박막 봉지층(140)의 상면으로부터 쉽게 제거하기 위해서는 상기 점착층의 박막 봉지층(140)과의 점착력이 약한 것이 바람직하며 나아가 이형 필름(FL)을 박막 봉지층(140)의 상면으로부터 제거한 후, 박막 봉지층(140)의 상면에 이형 필름(FL)의 점착층 잔여물이 남지 않는 것이 바람직하다.
이어서, 도 8, 도 11, 도 14 내지 도 16을 참조하면, 도 13의 캐리어 기판(FSTa)에 관통홀(TH)을 형성한다(S30).
캐리어 기판(FSTa)에 관통홀(TH)을 형성 단계(S30)는 우선, 도 14에서와 같이 이형 필름(FL)이 두께 방향에서 최상부에 위치한 적층 구조물을 상하 반전시켜 이형 필름(FL)이 두께 방향에서 최하부에 위치하게 한다. 이 때, 도 13에서 두께 방향에서 최하부에 위치한 캐리어 기판(FSTa)은 도 14에 도시된 바와 같이 두께 방향에서 최상부에 위치할 수 있다.
이후, 두께 방향의 상부에서, 캐리어 기판(FSTa)의 폴딩 영역(FA)에 레이저(LS)를 조사한다. 평면상에서, 캐리어 기판(FSTa)의 폴딩 영역(FA) 중, 도 6의 관통홀(TH)이 형성될 영역에 레이저(LS)를 조사할 수 있다.
해당 영역에 조사되는 레이저(LS)는 펨토초 레이저일 수 있다. 본 명세서에서 펨토초 레이저라 함은 펄스(pulse) 폭이 200 펨토초 이상 500 펨토초 이하인 레이저를 의미할 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않고 근적외선(IR) 레이저에서부터 자외선(UV) 레이저에 이르는 단파장대의 광이거나 다양한 파장대의 광을 포함하는 다파장대의 광일 수 있다.
레이저(LS)는 캐리어 기판(FSTa)의 최상면으로부터 가요성 물질층(110')에 접하는 최하면까지 조사될 수 있다. 레이저(LS)의 초점은 다양하게 변형될 수 있다. 일 실시예에서, 레이저(LS)의 초점은 캐리어 기판(FSTa)의 최하면일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
관통홀(TH)이 형성될 영역에 레이저(LS)가 조사되면, 도 14의 캐리어 기판(FST')이 형성된다. 캐리어 기판(FST')을 이루는 물질은 레이저(LS) 조사된 영역에서 구조 변형이 일어날 수 있다. 예를 들어, 해당 영역에서 캐리어 기판(FST')을 이루는 예시된 유리의 Si-O 결합은 끊어질 수 있다. 따라서, 에칭 용액에 대한 해당 영역에서의 에칭 선택비는 에칭 용액에 대한 레이저(LS) 조사되지 않는 영역에서의 에칭 선택비보다 클 수 있다.
평면상 레이저(LS) 조사 영역은 도 6에서 상술된 관통홀(TH)의 크기보다 작을 수 있다.
캐리어 기판(FST') 형성 후에, 레이저(LS) 조사 영역을 에칭(Etching)한다. 상기 에칭은 ? 에칭(Wet etching)이 적용될 수 있다. 에칭 단계에서 에칭 용액으로는 수산화 칼륨(KOH), 또는 수산화 나트륨(NaOH)과 같은 염기성 용액, 또는 불산(HF)과 같은 산성 용액이 이용될 수 있다. 도 16에 도시된 바와 같이, ? 에칭은 캐리어 기판(FST') 전면(Whole surface)에 걸쳐 진행될 수 있다. 에칭 용액에 의해 캐리어 기판(FST')은 최상부로부터 점차적으로 에칭되어 두께가 감소될 수 있다. 상술한 바와 같이 에칭 용액에 대한 레이저(LS) 조사된 영역에서의 에칭 선택비는 에칭 용액에 대한 레이저(LS) 조사되지 않는 영역에서의 에칭 선택비보다 클 수 있다. 따라서, 레이저(LS) 조사된 영역에는 ? 에칭 결과, 도 7, 및 도 8에서 상술된 관통홀(TH)이 형성될 수 있다.
에칭 단계에서 에칭 용액에 대한 캐리어 기판(FST')의 에칭 선택비는 가요성 물질층(110')의 에칭 선택비보다 훨씬 클 수 있다. 따라서, 에칭 단계에서 가요성 물질층(110')에 에칭 용액이 접하더라도 가요성 물질층(110')의 일면은 실질적으로 에칭되지 않을 수 있다.
본 제조 방법에 의하면, 가요성 물질층(110')을 포함하는 상부 구조물을 캐리어 기판(FSTa) 상에 증착한 후, 캐리어 기판(FSTa)을 가요성 물질층(110')으로부터 박리하지 않는다. 상부 구조물 증착 시, 지지부 역할을 하는 캐리어 기판(FSTa)은 증착 공정 후 제거되지 않고 그대로 표시 모듈의 최하단부에 남아, 박막화된 표시 모듈의 평탄도를 향상시킬 수 있다. 뿐만 아니라, 캐리어 기판(도 8의 FST 참조)의 폴딩 영역(FA)에는 관통홀(TH)이 형성되어, 표시 모듈의 폴딩 영역(FA)에 유연성을 부여할 수 있다.
도 17은 다른 실시예에 따른 표시 모듈의 단면도이다. 도 18은 다른 실시예에 따른 표시 모듈의 평면도이다.
도 17, 및 도 18을 참조하면, 본 실시예에 따른 표시 모듈(DPM_1)에는 하나의 폴딩 영역(FA), 및 폴딩 영역(FA)의 일측과 타측에 각각 배치된 비폴딩 영역(NFA)이 정의된다는 점에서 일 실시예에 따른 표시 모듈(DPM)과 상이하다.
더욱 구체적으로 설명하면, 본 실시예에 따른 표시 모듈(DPM_1)에는 하나의 폴딩 영역(FA), 및 폴딩 영역(FA)의 일측과 타측에 각각 배치된 비폴딩 영역(NFA)이 정의될 수 있다. 본 실시예에 따른 표시 모듈(DPM_1)을 포함하는 표시 장치는 폴더블 표시 장치일 수 있다.
지지부의 배치, 및 형상은 도 6 내지 도 8에서 상술된 바 중복 설명은 이하 생략하기로 한다.
도 19는 다른 실시예에 따른 가요성 기판, 및 제1 지지부의 단면도이다.
도 19를 참조하면, 본 실시예에 따른 가요성 기판(110_1)의 일면(110a_1)은 제1 부분(110a1_1), 및 제2 부분(110a2_1)을 포함한다는 점에서 도 10에 따른 가요성 기판(110)과 상이하다.
더욱 구체적으로 설명하면, 본 실시예에 따른 가요성 기판(110_1)의 일면(110a_1)은 제1 부분(110a1_1), 및 제2 부분(110a2_1)을 포함할 수 있다. 제1 부분(110a1_1)의 표면 거칠기는 제2 부분(110a2_1)의 표면 거칠기보다 작을 수 있다. 제2 부분(110a2_1)은 에칭 단계에서, 에칭 용액에 대해 제1 지지부(FST1)가 노출하는 가요성 기판(110_1)의 일면(110a_1)(또는 제2 부분(110a2_1)이 일부 에칭되어 형성될 수 있다.
상술된 바와 같이 제1 지지부(FST1)의 내측면(FST1a)의 거칠기는 제1 지지부(FST1)의 상면의 거칠기보다 작을 수 있다. 제1 지지부(FST1)의 내측면(FST1a)은 에칭 용액에 의해 에칭된 면이고, 제1 지지부(FST1)의 상면은 에칭 용액과 실질적으로 접하지 않는 면이기 때문에 에칭 용액에 의해 에칭된 제1 지지부(FST1)의 내측면(FST1a)은 에칭 용액과 실질적으로 접하지 않는 제1 지지부(FST1)의 상면보다 거칠기가 더 작을 수 있다.
그 외 설명은 도 10에서 상술된 바 중복 설명은 생략하기로 한다.
도 20은 또 다른 실시예에 따른 가요성 기판, 및 제1 지지부의 단면도이다.
도 20을 참조하면, 제1 관통홀(TH1) 내에 가요성 기판(110)의 일면(110a) 상에 에칭 용액 잔여물(ER)이 잔여할 수 있다는 점에서 도 10에 따른 실시예와 상이하다.
더욱 구체적으로 설명하면, 제1 관통홀(TH1) 내에 가요성 기판(110)의 일면(110a) 상에 에칭 용액 잔여물(ER)이 잔여할 수 있다. 본 실시예는 제1 관통홀(TH1) 형성 후, 가요성 기판(110)의 일면(110a)에 남아있는 에칭 용액 잔여물을 완전히 제거하지 않은 경우에 형성될 수 있다.
그 외 설명은 도 10에서 상술된 바 중복 설명은 생략하기로 한다.
도 21은 또 다른 실시예에 따른 가요성 기판, 및 제1 지지부의 단면도이다.
도 21을 참조하면, 본 실시예에 따른 제1 지지부(FST1_1)의 내측면(FST1a_1)의 경사의 단면 형상이 직선 형상을 가진다는 점에서 도 10에 따른 제1 지지부(FST1)와 상이하다.
더욱 구체적으로 설명하면, 본 실시예에 따른 제1 지지부(FST1_1)의 내측면(FST1a_1)의 경사의 단면 형상이 직선 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 지지부(FST1_1)의 내측면(FST1a_1)의 경사 각도는 일정할 수 있다.
본 실시예는 제1 관통홀(TH1_1) 형성 시 에칭 용액이나 에칭 시간을 조절하여 형성될 수 있다.
몇몇 경우에, 본 실시예는 제1 관통홀(TH1_1) 형성 시 드라이 에칭(Dry etching)이 이용된 경우에 형성될 수 있다.
그 외 설명은 도 10에서 상술된 바 중복 설명은 생략하기로 한다.
도 22는 또 다른 실시예에 따른 가요성 기판, 및 제1 지지부의 단면도이다.
도 22를 참조하면, 본 실시예에 따른 제1 지지부(FST1_2)의 제1 관통홀(TH1_2)의 제1 지지부(FST1_2)의 상면의 연장선의 길이와 동일한 폭, 및 제1 지지부(FST1_2)의 하면(FST1b)의 연장선의 길이와 동일한 폭이 서로 동일하다는 점에서 도 10에 따른 제1 지지부(FST1)와 상이하다.
더욱 구체적으로 설명하면, 제1 관통홀(TH1_2)은 제3 폭(W3)을 가지며, 제3 폭(W3)은 제1 지지부(FST1_2)의 상면의 연장선으로부터 제1 지지부(FST1_2)의 하면(FST1b)에 이르기까지 모두 동일할 수 있다.
본 실시예는 제1 관통홀(TH1_2) 형성 시 드라이 에칭(Dry etching)이 이용된 경우에 형성될 수 있다.
그 외 설명은 도 10에서 상술된 바 중복 설명은 생략하기로 한다.
도 23은 또 다른 실시예에 따른 가요성 기판, 및 제1 지지부의 단면도이다.
도 23을 참조하면, 제1 관통홀(TH1_3)의 제1 폭(W1)이 제2 폭(W2)보다 크다는 점에서 도 10에 따른 제1 지지부(FST)와 상이하다.
더욱 구체적으로 설명하면, 본 실시예에 따른 제1 지지부(FST1_3)의 내측면(FST1a_3)은 제1 지지부(FST1_3)의 하면(FST1b)의 연장선, 및 하면(FST1b)이 만나는 지점으로부터 제1 지지부(FST1)의 상면의 연장선, 및 제1 지지부(FST1)의 상면이 만나는 지점까지 점차적으로 경사가 완만해질 수 있다는 점에서 도 10에 따른 제1 지지부(FST1)와 상이하다.
그 외 설명은 도 10에서 상술된 바 중복 설명은 생략하기로 한다.
도 24는 또 다른 실시예에 따른 가요성 기판, 및 제1 지지부의 단면도이다.
도 24를 참조하면, 본 실시예에 따른 제1 지지부(FST1_4)의 제1 관통홀(TH1_3)의 내측면(FST1a_4)들이 형성하는 곡면은 각각 제1 관통홀(TH1_4)의 반대 방향으로 볼록한 단면 형상을 가진다는 점에서 도 23에 따른 제1 지지부(FST1_3)와 상이하다.
그 외 설명은 도 10, 및 도 23에서 상술된 바 중복 설명은 생략하기로 한다.
도 25는 다른 실시예에 따른 제1 지지부의 평면도이다.
도 25를 참조하면, 본 실시예에 따른 제1 지지부(FST1_5)는 제1 그룹(G1)의 제2 방향(DR2)에서 인접한 제1 관통홀(TH1)들의 이격 공간은 제1 방향(DR1)을 따라 인접한 제2 그룹(G2)의 제2 관통홀(TH2)과 제1 방향(DR1)을 따라 중첩하지 않고, 제2 그룹(G2)의 제2 방향(DR2)에서 인접한 제2 관통홀(TH2)들의 이격 공간은 제1 방향(DR1)을 따라 인접한 제1 그룹(G1)의 제1 관통홀(TH1)과 제1 방향(DR1)을 따라 중첩하지 않는다는 점에서 도 7에 따른 제1 지지부(FST1)와 상이하다.
더욱 구체적으로 설명하면, 본 실시예에 따른 제1 지지부(FST1_5)는 제1 그룹(G1)의 제2 방향(DR2)에서 인접한 제1 관통홀(TH1)들의 이격 공간은 제1 방향(DR1)을 따라 인접한 제2 그룹(G2)의 제2 관통홀(TH2)과 제1 방향(DR1)을 따라 중첩하지 않고, 제2 그룹(G2)의 제2 방향(DR2)에서 인접한 제2 관통홀(TH2)들의 이격 공간은 제1 방향(DR1)을 따라 인접한 제1 그룹(G1)의 제1 관통홀(TH1)과 제1 방향(DR1)을 따라 중첩하지 않을 수 있다.
그 외 설명은 도 7에서 상술된 바 중복 설명은 생략하기로 한다.
도 26은 또 다른 실시예에 따른 제1 지지부의 평면도이다.
도 26을 참조하면, 본 실시예에 따른 제1 지지부(FST1_6)는 복수의 제2 방향(DR2)을 따라 배열된 제1 관통홀(TH1)들이 이루는 제1 그룹(G1)과 복수의 제2 방향(DR2)을 따라 배열된 제2 관통홀(TH2)들이 이루는 제2 그룹(G2) 사이에 제2 방향(DR2)을 따라 배열된 복수의 제3 관통홀(TH3)들이 이루는 제3 그룹(G3)이 더 배치된다는 점에서 도 7에 따른 제1 지지부(FST1)와 상이하다.
더욱 구체적으로 설명하면, 본 실시예에 따른 제1 지지부(FST1_6)는 복수의 제2 방향(DR2)을 따라 배열된 제1 관통홀(TH1)들이 이루는 제1 그룹(G1)과 복수의 제2 방향(DR2)을 따라 배열된 제2 관통홀(TH2)들이 이루는 제2 그룹(G2) 사이에 제2 방향(DR2)을 따라 배열된 복수의 제3 관통홀(TH3)들이 이루는 제3 그룹(G3)이 더 배치될 수 있다.
제3 그룹(G3)은 제1 그룹(G1), 및 제2 그룹(G2)과 엇갈려 배치될 수 있다.
제3 그룹(G3)을 이루는 제3 관통홀(TH3)의 평면 형상, 및 단면 형상은 제1 관통홀(TH1)과 동일 또는 유사한 바 중복 설명은 생략하기로 한다.
그 외 설명은 도 7에서 상술된 바 중복 설명은 생략하기로 한다.
도 27은 또 다른 실시예에 따른 제1 지지부의 평면도이다.
도 27을 참조하면, 본 실시예에 따른 제1 지지부(FST1_7)의 제1 관통홀(TH1_1), 및 제2 관통홀(TH2_1)의 평면 형상이 도 7에 따른 제1 관통홀(TH1), 및 제2 관통홀(TH2)과 각각 상이하다는 점에서 도 7에 따른 제1 지지부(FST1)와 상이하다.
더욱 구체적으로 설명하면, 본 실시예에 따른 관통홀(TH1_1, TH2_1)의 평면 형상은 중심점(CP)으로부터 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)을 따라 대칭인 평면 형상을 가질 수 있다.
예를 들어, 관통홀(TH1_1, TH2_1)의 평면 형상은 원형을 가질 수 있다.
예를 들어, 관통홀(TH1_1, TH2_1)의 중심점(CP)으로부터 관통홀(TH1_1, TH2_1)의 제1 방향(DR1) 단부, 및 제2 방향(DR2) 단부까지의 거리가 각각 동일할 수 있다.
본 실시예에 의하면, 표시 모듈이 제1 방향(DR1)을 따라 말리는 경우뿐만 아니라, 제2 방향(DR2)을 따라 말리는 경우에도 표시 모듈에 유연성을 부여할 수 있다.
그 외 설명은 도 7에서 상술된 바 이하 중복 설명은 생략하기로 한다.
도 28은 또 다른 실시예에 따른 제1 지지부의 평면도이다.
도 28을 참조하면, 본 실시예에 따른 제1 지지부(FST1_8)는 평면 형상은 중심점(CP)으로부터 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)을 따라 대칭인 평면 형상을 갖고, 정사각형을 가진다는 점에서 도 7에 따른 제1 지지부(FST1)와 상이하다.
더욱 구체적으로 설명하면, 본 실시예에 따른 제1 지지부(FST1_8)는 평면 형상은 중심점(CP)으로부터 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)을 따라 대칭인 평면 형상을 갖고, 정사각형을 가질 수 있다.
그 외 설명은 도 7, 및 도 27에서 상술된 바 이하 중복 설명은 생략하기로 한다.
도 29는 또 다른 실시예에 따른 제1 지지부의 평면도이다.
도 29를 참조하면, 본 실시예에 따른 제1 지지부(FST1_9)의 관통홀(TH1_3, TH2_3)의 평면 형상은 제1 방향(DR1)을 따라 연장된 제1 라인부(LP1), 및 제2 방향(DR2)을 따라 연장된 제2 라인부(LP2)를 포함하고, 제1 라인부(LP1) 및 제2 라인부(LP2)는 상호 교차한다는 점에서 도 27에 따른 실시예와 상이하다.
더욱 구체적으로 설명하면, 본 실시예에 따른 제1 지지부(FST1_9)의 관통홀(TH1_3, TH2_3)의 평면 형상은 제1 방향(DR1)을 따라 연장된 제1 라인부(LP1), 및 제2 방향(DR2)을 따라 연장된 제2 라인부(LP2)를 포함하고, 제1 라인부(LP1) 및 제2 라인부(LP2)는 상호 교차할 수 있다.
중심점(CP)으로부터 제1 라인부(LP1)의 단부까지의 거리, 및 중심점(CP)으로부터 제2 라인부(LP2)의 단부까지의 거리는 상호 동일할 수 있다.
본 실시예에 의하면, 표시 모듈이 제1 방향(DR1)을 따라 말리는 경우뿐만 아니라, 제2 방향(DR2)을 따라 말리는 경우에도 표시 모듈에 유연성을 부여할 수 있다.
그 외 설명은 도 7, 및 도 27에서 상술된 바 이하 중복 설명은 생략하기로 한다.
도 30은 또 다른 실시예에 따른 제1 지지부의 평면도이다.
도 30을 참조하면, 본 실시예에 따른 제1 지지부(FST1_10)의 관통홀(TH1_4, TH2_4)의 평면 형상은 제1 라인부(LP1)와 제2 라인부(LP2)의 교차부에서 외측으로 돌출된 곡면부(CRP)를 더 포함한다는 점에서 도 29에 따른 제1 지지부(FST1_9)와 상이하다.
더욱 구체적으로 설명하면, 본 실시예에 따른 제1 지지부(FST1_10)의 관통홀(TH1_4, TH2_4)의 평면 형상은 제1 라인부(LP1)와 제2 라인부(LP2)의 교차부에서 외측으로 돌출된 곡면부(CRP)를 더 포함할 수 있다.
제1 라인부(LP1)와 제2 라인부(LP2)의 교차부에서 외측으로 돌출된 곡면부(CRP)는 제1 지지부(FST1_10)의 관통홀(TH1_4, TH2_4) 형성 시, 해당 교차부에서 에칭이 더 진행되어 형성된 것일 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
1: 표시 장치
DPM: 표시 모듈
ROL: 롤러
FST: 지지부
FST1: 제1 지지부
FST2: 제2 지지부
DPM: 표시 모듈
ROL: 롤러
FST: 지지부
FST1: 제1 지지부
FST2: 제2 지지부
Claims (20)
- 폴딩 영역, 및 상기 폴딩 영역의 제1 방향 일측에 위치한 비폴딩 영역이 정의된 가요성 기판;
상기 가요성 기판의 일면 상에 배치된 발광 소자층; 및
상기 가요성 기판의 상기 일면의 반대면인 타면 상에 배치된 지지부를 포함하되,
상기 지지부는 상기 가요성 기판의 타면에 직접 배치되고,
상기 지지부는 상기 폴딩 영역에 중첩 배치된 제1 지지부, 및 상기 비폴딩 영역에 중첩 배치된 제2 지지부를 포함하며,
상기 제1 지지부는 표면으로부터 상기 제1 지지부를 완전히 관통하는 관통홀을 포함하고,
상기 제1 지지부의 상기 관통홀을 통해 상기 가요성 기판의 타면이 노출된 표시 장치. - 제1 항에 있어서,
상기 폴딩 영역, 및 상기 비폴딩 영역은 상기 제1 방향 일측을 따라 반복 배치된 표시 장치. - 제1 항에 있어서,
상기 제2 지지부는 상기 관통홀을 포함하지 않는 표시 장치. - 제3 항에 있어서,
상기 관통홀의 평면 형상은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 연장된 라인 형상을 갖는 표시 장치. - 제4 항에 있어서,
상기 관통홀은 복수개이고,
복수개의 상기 관통홀은 상기 제2 방향을 따라 배열되어 관통홀 그룹을 구성하는 표시 장치. - 제5 항에 있어서,
상기 관통홀 그룹은 복수개이고,
복수개의 상기 관통홀 그룹은 제1 관통홀 그룹, 및 상기 제1 관통홀 그룹의 상기 제1 방향에서 인접한 제2 관통홀 그룹을 포함하고,
상기 제1 관통홀 그룹과 상기 제2 관통홀 그룹은 상호 엇결려 배열되는 표시 장치. - 제6 항에 있어서,
상기 제1 관통홀 그룹의 상기 관통홀과 상기 제2 관통홀 그룹의 상기 관통홀은 상기 제1 방향을 따라 중첩 배치되지 않는 표시 장치. - 제6 항에 있어서,
상기 제1 관통홀 그룹과 상기 제2 관통홀 그룹은 상기 제1 방향을 따라 반복 배치되는 표시 장치. - 제3 항에 있어서,
평면상, 상기 관통홀의 내에는 중심점이 정의되고,
상기 중심점으로부터 상기 관통홀의 상기 제1 방향 단부까지의 길이, 및 상기 제2 방향 단부까지의 길이는 상호 동일한 표시 장치. - 제9 항에 있어서,
상기 관통홀의 평면 형상은 상기 제1 방향을 따라 연장된 제1 라인부, 및 상기 제2 방향을 따라 연장된 제2 라인부를 포함하고,
상기 제1 라인부 및 상기 제2 라인부는 상호 교차하는 표시 장치. - 제9 항에 있어서,
상기 제1 지지부는 상기 가요성 기판의 타면에 접하는 상면, 상기 제1 지지부의 상면의 반대면은 하면을 포함하고,
상기 관통홀은 상기 제1 지지부의 하면의 연장선, 상기 제1 지지부의 상면의 연장선, 및 상기 제1 지지부의 측면들에 의해 둘러싸이는 표시 장치. - 제11 항에 있어서,
상기 관통홀의 폭은 상기 제1 지지부의 하면의 연장선으로부터 상기 제1 지지부의 상면의 연장선에 가까워질수록 작아지는 표시 장치. - 제12 항에 있어서,
상기 제1 지지부의 측면은 상기 제1 지지부의 하면의 연장선으로부터 상기 제1 지지부의 상면의 연장선에 가까워질수록 경사가 급격해지는 표시 장치. - 제11 항에 있어서,
상기 관통홀의 폭은 상기 제1 지지부의 하면의 연장선으로부터 상기 제1 지지부의 상면의 연장선에까지 일정한 표시 장치. - 제11 항에 있어서,
상기 관통홀의 폭은 상기 제1 지지부의 하면의 연장선으로부터 상기 제1 지지부의 상면의 연장선에 가까워질수록 커지는 표시 장치. - 제3 항에 있어서,
상기 관통홀에 의해 노출된 상기 가요성 기판의 타면은 상기 관통홀에 의해 덮인 상기 가요성 기판의 타면보다 거칠기가 큰 표시 장치. - 제3 항에 있어서,
상기 관통홀에 의해 노출된 상기 가요성 기판의 타면에 직접 배치된 에칭 용액 잔여물을 더 포함하는 표시 장치. - 캐리어 기판의 일면 상에 직접 가요성 물질을 적층하여 폴딩 영역, 및 상기 폴딩 영역의 일측의 비폴딩 영역이 정의된 가요성 기판을 형성하는 단계;
형성된 상기 가요성 기판의 일면 상에 발광 소자층을 형성하는 단계; 및
상기 폴딩 영역가 중첩하는 상기 캐리어 기판에 관통홀을 형성하는 단계를 포함하되,
상기 관통홀 형성 단계는 상기 폴딩 영역과 중첩하는 상기 캐리어 기판에 레이저 조사하는 단계, 및
상기 캐리어 기판을 에칭하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법. - 제18 항에 있어서,
상기 폴딩 영역과 중첩하는 상기 캐리어 기판에 레이저 조사하는 단계에서, 상기 레이저는 팸토초 레이저를 포함하는 표시 장치의 제조 방법. - 제18 항에 있어서,
상기 캐리어 기판을 에칭하는 단계는 ? 에칭(Wet eching)을 이용하여 수행되는 표시 장치의 제조 방법.
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