KR20210021194A

KR20210021194A - 스크라이빙 장치의 제어 방법

Info

Publication number: KR20210021194A
Application number: KR1020190099695A
Authority: KR
Inventors: 장희동; 김광수
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2019-08-14
Filing date: 2019-08-14
Publication date: 2021-02-25
Also published as: TWI734272B; CN112390518A; TW202106641A; CN112390518B

Abstract

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 제어 방법은, 제1 면 및 제2 면을 갖는 기판의 단부가 스테이지로부터 돌출되도록 기판을 스테이지에 탑재하는 단계; 스테이지에 지지된 기판의 지지부에서 지지 롤러가 기판의 제1 면에 접촉될 때의 지지 롤러의 위치를 지지 롤러의 초기 위치로 설정하는 단계; 기판의 단부에서 지지 롤러를 초기 위치에 위치시키는 단계; 및 기판의 단부에서 커터 휠을 기판의 제2 면에 접촉 및 이동시켜 지지 롤러에 기판의 제1 면이 접촉될 때의 커터 휠의 위치를 커터 휠의 초기 위치로서 설정하는 단계를 포함할 수 있다.

Description

스크라이빙 장치의 제어 방법{METHOD OF CONTROLLING SCRIBING APPARATUS}

본 발명은 기판에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 장치의 제어 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등을 제조하는 데에는 유리와 같은 취성의 글라스 패널(이하, '기판'이라 함)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(이하, '단위 기판'이라 함)이 사용된다.

기판을 단위 기판으로 절단하는 공정은, 다이아몬드와 같은 재료로 이루어진 커터 휠을 기판에 가압한 상태에서 커터 휠 및/또는 기판을 절단 예정 라인을 따라 이동시켜 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정을 포함한다.

또한, 기판 절단 공정은 기판의 단부에 스크라이빙 라인을 형성한 다음 기판의 단부로부터 단재를 분리하는 공정을 포함한다.

기판의 단부에 스크라이빙 라인을 형성하는 공정은, 기판의 단부가 스테이지로부터 돌출되도록 기판을 스테이지에 재치하는 단계, 스테이지로부터 돌출된 기판의 단부의 제1 면 및 제2 면에 각각 지지 롤러 및 커터 휠을 가압하는 단계, 지지 롤러 및 커터 휠을 이동시키거나 기판을 이동시켜 기판의 단부에 절단 예정 라인을 따라 스크라이빙 라인을 형성하는 단계를 포함한다.

기판의 단부에 스크라이빙 라인을 형성하는 단계 이전에, 기판의 단부의 제1 면에 대한 지지 롤러의 초기 위치(초기 높이)를 설정하는 과정이 수행되며, 기판의 단부의 제2 면에 대한 커터 휠의 초기 위치(초기 높이)를 설정하는 과정이 수행된다.

그러나, 기판의 단부는 스테이지에 지지되지 않고 스테이지로부터 돌출되기 때문에, 기판의 단부가 중력에 의해 변형되는 등의 다양한 원인으로 인해, 기판의 단부의 제1 면 및 제2 면의 위치가 변동된다. 또한, 지지 롤러가 기판의 단부의 제1 면에 접촉할 때 지지 롤러에 의해 가해지는 힘에 의해 기판의 단부가 휘어지면서 기판의 단부의 제1 면의 위치가 변동된다. 또한, 커터 휠이 기판의 단부의 제2 면에 접촉할 때 커터 휠에 의해 가해지는 힘에 의해 기판의 단부가 휘어지면서 기판의 단부의 제2 면의 위치가 변동된다.

이와 같이, 기판의 단부의 제1 면 및 제2 면의 위치의 변동으로 인해 지지 롤러 및 커터 휠이 기판의 단부에 접촉하는 위치가 변동되기 때문에, 지지 롤러의 초기 위치 및 커터 휠의 초기 위치를 정확하게 설정할 수 없는 문제가 있다.

본 발명의 목적은 기판의 단부에 대한 지지 롤러 및 커터 휠의 초기 위치를 정확하게 설정할 수 있는 스크라이빙 장치의 제어 방법을 제공하는 것이다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 제어 방법은, 제1 면 및 제2 면을 갖는 기판의 단부가 스테이지로부터 돌출되도록 기판을 스테이지에 탑재하는 단계; 스테이지에 지지된 기판의 지지부에서 지지 롤러가 기판의 제1 면에 접촉될 때의 지지 롤러의 위치를 지지 롤러의 초기 위치로 설정하는 단계; 기판의 단부에서 지지 롤러를 초기 위치에 위치시키는 단계; 및 기판의 단부에서 커터 휠을 기판의 제2 면에 접촉 및 이동시켜 지지 롤러에 기판의 제1 면이 접촉될 때의 커터 휠의 위치를 커터 휠의 초기 위치로서 설정하는 단계를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 제어 방법은, 제1 면 및 제2 면을 갖는 기판의 제2 면이 안착되는 스테이지, 기판의 제1 면에 대향하게 위치되는 지지 롤러, 기판의 제2 면에 대향하게 위치되는 커터 휠을 포함하며, 스테이지로부터 돌출된 기판의 단부에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 장치의 제어 방법에 있어서, 제1 면에 대한 지지 롤러의 초기 위치를 설정하는 단계; 및 제2 면에 대한 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계를 포함하고, 지지 롤러의 초기 위치를 설정하는 단계는, 스테이지에 지지된 기판의 지지부에서 제1 면에 지지 롤러를 인접하게 위치시키는 단계; 지지 롤러를 제1 면을 향하여 이동시키는 단계; 및 지지 롤러가 제1 면에 접촉할 때의 지지 롤러의 위치를 지지 롤러의 초기 위치로서 설정하는 단계를 포함할 수 있다.

여기에서, 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계는, 기판의 단부에서 지지 롤러를 초기 위치에 위치시키는 단계; 커터 휠을 지지 롤러에 대향하게 위치시키는 단계; 커터 휠을 제2 면을 향하여 이동시키는 단계; 및 커터 휠이 제2 면에 접촉하여 이동하는 것에 의해 지지 롤러가 제1 면에 접촉할 때의 커터 휠의 위치를 커터 휠의 초기 위치로 설정하는 단계를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 제어 방법은, 제1 면 및 제2 면을 갖는 기판의 제2 면이 안착되는 스테이지, 기판의 제1 면에 대향하게 위치되는 커터 휠, 기판의 제2 면에 대향하게 위치되는 지지 롤러를 포함하며, 스테이지로부터 돌출된 기판의 단부에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 장치의 제어 방법에 있어서, 제1 면에 대한 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계; 및 제2 면에 대한 지지 롤러의 초기 위치를 설정하는 단계를 포함하고, 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계는, 스테이지에 지지된 기판의 지지부에서 제1 면에 커터 휠을 인접하게 위치시키는 단계; 커터 휠을 제1 면을 향하여 이동시키는 단계; 및 커터 휠이 제1 면에 접촉할 때의 커터 휠의 위치를 커터 휠의 초기 위치로서 설정하는 단계를 포함할 수 있다.

여기에서, 지지 롤러의 초기 위치를 설정하는 단계는, 기판의 단부에서 커터 휠을 초기 위치에 위치시키는 단계; 지지 롤러를 커터 휠에 대향하게 위치시키는 단계; 지지 롤러를 제2 면을 향하여 이동시키는 단계; 및 지지 롤러가 제2 면에 접촉하여 이동하는 것에 의해 커터 휠이 제1 면에 접촉할 때의 지지 롤러의 위치를 지지 롤러의 초기 위치로 설정하는 단계를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 제어 방법은, 제1 면 및 제2 면을 갖는 기판의 제2 면이 안착되는 스테이지, 기판의 제1 면에 대향하게 위치되는 제1 커터 휠, 기판의 제2 면에 대향하게 위치되는 제2 커터 휠을 포함하며, 스테이지로부터 돌출된 기판의 단부에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 장치의 제어 방법에 있어서, 제1 면에 대한 제1 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계; 및 제2 면에 대한 제2 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계를 포함하고, 제1 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계는, 스테이지에 지지된 기판의 지지부에서 제1 면에 제1 커터 휠을 인접하게 위치시키는 단계; 제1 커터 휠을 제1 면을 향하여 이동시키는 단계; 및 제1 커터 휠이 제1 면에 접촉할 때의 제1 커터 휠의 위치를 제1 커터 휠의 초기 위치로서 설정하는 단계를 포함할 수 있다.

여기에서, 제2 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계는, 기판의 단부에서 제1 커터 휠을 초기 위치에 위치시키는 단계; 제2 커터 휠을 제1 커터 휠에 대향하게 위치시키는 단계; 제2 커터 휠을 제2 면을 향하여 이동시키는 단계; 및 제2 커터 휠이 제2 면에 접촉하여 이동하는 것에 의해 제1 커터 휠이 제1 면에 접촉할 때의 제2 커터 휠의 위치를 제2 커터 휠의 초기 위치로 설정하는 단계를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 제어 방법은, 제1 면 및 제2 면을 갖는 기판의 제2 면이 안착되는 스테이지, 기판의 제1 면에 대향하게 위치되는 제1 커터 휠 및 제1 지지 롤러, 기판의 제2 면에 대향하게 위치되는 제2 커터 휠 및 제2 지지 롤러를 포함하며, 스테이지로부터 돌출된 기판의 단부에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 장치의 제어 방법에 있어서, 제1 면에 대한 제1 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계; 제1 면에 대한 제1 지지 롤러의 초기 위치를 설정하는 단계; 제2 면에 대한 제2 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계; 및 제2 면에 대한 제2 지지 롤러의 초기 위치를 설정하는 단계를 포함하고, 제1 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계는, 스테이지에 지지된 기판의 지지부에서 제1 면에 제1 커터 휠을 인접하게 위치시키는 단계; 제1 커터 휠을 제1 면을 향하여 이동시키는 단계; 및 제1 커터 휠이 제1 면에 접촉할 때의 제1 커터 휠의 위치를 제1 커터 휠의 초기 위치로서 설정하는 단계를 포함할 수 있다.

또한, 제2 지지 롤러의 초기 위치를 설정하는 단계는, 기판의 단부에서 제1 커터 휠을 초기 위치에 위치시키는 단계; 제2 지지 롤러를 제1 커터 휠에 대향하게 위치시키는 단계; 제2 지지 롤러를 제2 면을 향하여 이동시키는 단계; 및 제2 지지 롤러가 제2 면에 접촉하여 이동하는 것에 의해 제1 커터 휠이 제1 면에 접촉할 때의 제2 지지 롤러의 위치를 제2 지지 롤러의 초기 위치로 설정하는 단계를 포함할 수 있다.

또한, 제1 지지 롤러의 초기 위치를 설정하는 단계는, 스테이지에 지지된 기판의 지지부에서 제1 면에 제1 지지 롤러를 인접하게 위치시키는 단계; 제1 지지 롤러를 제1 면을 향하여 이동시키는 단계; 및 제1 지지 롤러가 제1 면에 접촉할 때의 제1 지지 롤러의 위치를 제1 지지 롤러의 초기 위치로서 설정하는 단계를 포함할 수 있다.

또한, 제2 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계는, 기판의 단부에서 제1 지지 롤러를 초기 위치에 위치시키는 단계; 제2 커터 휠을 제1 지지 롤러에 대향하게 위치시키는 단계; 제2 커터 휠을 제2 면을 향하여 이동시키는 단계; 및 제2 커터 휠이 제2 면에 접촉하여 이동하는 것에 의해 제1 지지 롤러가 제1 면에 접촉할 때의 제2 커터 휠의 위치를 제2 커터 휠의 초기 위치로 설정하는 단계를 포함할 수 있다.

또한, 제2 지지 롤러의 초기 위치를 설정하는 단계는, 기판의 단부에서 제1 지지 롤러를 초기 위치에 위치시키는 단계; 제2 지지 롤러를 제1 지지 롤러에 대향하게 위치시키는 단계; 제2 지지 롤러를 제2 면을 향하여 이동시키는 단계; 및 제2 지지 롤러가 제2 면에 접촉하여 이동하는 것에 의해 제1 지지 롤러가 제1 면에 접촉할 때의 제2 지지 롤러의 위치를 제2 지지 롤러의 초기 위치로 설정하는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 기판의 단부에 대한 지지 롤러 및 커터 휠의 초기 위치를 정확하게 설정할 수 있는 스크라이빙 방법을 제공함으로써, 기판의 단부에 스크라이빙 라인을 정밀하게 형성할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 정면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 제어 블록도이다.
도 4 내지 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 제어 방법이 순차적으로 도시된 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 다른 예가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 또 다른 예가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 또 다른 예가 개략적으로 도시된 도면이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 제어 방법에 대하여 설명한다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(S)이 놓이는 X-Y 평면에 수직인 방향을 Z축 방향으로 정의한다. 그리고, Z축 방향에 직교하는 방향을 X축 방향 및 Y축 방향으로 정의한다.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 기판(S)을 지지하는 스테이지(10)와, 기판(S)의 단부(S1)에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 유닛(30)과, 스크라이빙 장치의 구성 요소의 동작을 제어하는 제어 유닛(50)을 포함할 수 있다.

스테이지(10)는 가스 공급원과 연결되어 가스를 분사하는 가스 분사홀을 구비할 수 있다. 따라서, 기판(S)이 스테이지(10) 상에 재치될 때, 가스 분사홀로부터 기판(S)의 하면을 향하여 가스가 분사됨에 따라, 기판(S)이 부양될 수 있다. 또한, 스테이지(10)는 진공원과 연결되어 가스를 흡입하는 가스 흡입홀을 구비할 수 있다. 따라서, 기판(S)이 스테이지(10) 상에 재치되면, 가스 흡입홀로 가스가 흡입되며, 이에 따라, 기판(S)이 스테이지(10)에 견고하게 흡착될 수 있다.

기판(S)은 제1 면 및 제2 면을 가지며, 기판(S)의 제2 면이 스테이지(10)에 안착된다. 기판(S)의 단부(S1)가 스테이지(10)로부터 돌출되도록 기판(S)이 스테이지(10)에 재치된다. 따라서, 기판(S)이 스테이지(10)에 재치되면, 기판(S)은 스테이지(10)로부터 돌출되는 단부(S1)와, 스테이지(10)에 지지되는 지지부(S2)를 갖는다.

기판(S)의 단부(S1)가 스테이지(10)로부터 돌출되도록 기판(S)이 스테이지(10)에 재치된 상태에서, 스크라이빙 유닛(30)은 기판(S)의 단부(S1)에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성된다.

스크라이빙 유닛(30)은, X축 방향으로 연장되는 제1 가동 가이드(31)와, 제1 가동 가이드(31)와 지지대(33)를 통하여 연결되며 Y축 방향으로 연장되는 제2 가동 가이드(32)와, 제1 가동 가이드(31)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 제1 헤드(70) 및 제2 헤드(80)와, 제1 헤드(70)를 제1 가동 가이드(31)를 따라 X축 방향으로 이동시키는 제1 슬라이딩 모듈(75)과, 제2 헤드(80)를 제1 가동 가이드(31)를 따라 X축 방향으로 이동시키는 제2 슬라이딩 모듈(85)을 포함할 수 있다.

지지대(33)와 제2 가동 가이드(32) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비되며, 이러한 직선 이동 기구에 의해 제1 가동 가이드(31)가 Y축 방향으로 이동된다.

제1 슬라이딩 모듈(75) 및 제2 슬라이딩 모듈(85)은 제1 가동 가이드(31)에 연결될 수 있다. 제1 슬라이딩 모듈(75) 및 제2 슬라이딩 모듈(85)은 제1 가동 가이드(31)를 따라 개별적으로 이동될 수 있다.

제1 슬라이딩 모듈(75) 및 제1 가동 가이드(31) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비되며, 이러한 직선 이동 기구에 의해 제1 슬라이딩 모듈(75)이 X축 방향으로 이동된다.

마찬가지로, 제2 슬라이딩 모듈(85) 및 제1 가동 가이드(31) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비되며, 이러한 직선 이동 기구에 의해 제2 슬라이딩 모듈(85)이 X축 방향으로 이동된다.

제1 헤드(70) 및 제2 헤드(80)는 스테이지(10)를 사이에 두고 Z축 방향으로 서로 대향하게 배치될 수 있다. 제1 헤드(70)는 제1 슬라이딩 모듈(75)에 직접 연결될 수 있다. 제2 헤드(80)는 연결 부재(89)를 통하여 제2 슬라이딩 모듈(85)에 연결될 수 있다. 이에 따라, 제2 헤드(80)는 스테이지(10)를 사이에 두고 제1 헤드(70)에 대향하게 배치될 수 있다.

제1 헤드(70)는 지지 롤러(721)를 구비하는 지지 롤러 승강부(72)와, 지지 롤러 승강부(72)를 기판(S)에 대하여 Z축 방향으로 이동시키도록 구성되는 지지 롤러 구동부(74)를 포함할 수 있다.

제2 헤드(80)는 커터 휠(811)을 구비하는 커터 휠 승강부(81)와, 커터 휠 승강부(81)를 기판(S)에 대하여 Z축 방향으로 이동시키도록 구성되는 커터 휠 구동부(83)를 포함할 수 있다.

지지 롤러(721) 및 커터 휠(811)은 기판(S)을 사이에 두고 Z축 방향으로 서로 대향하게 배치된다. 지지 롤러(721)는 기판(S)의 제1 면에 접촉하도록 구성되며, 커터 휠(811)은 기판(S)의 제2 면에 접촉하도록 구성된다.

지지 롤러 구동부(74)에 의해 지지 롤러 승강부(72)가 기판(S)을 향하여 이동됨에 따라 지지 롤러(721)가 기판(S)에 가압될 수 있다.

커터 휠 구동부(83)에 의해 커터 휠 승강부(81)가 기판(S)을 향하여 이동됨에 따라, 커터 휠(811)이 기판(S)에 가압될 수 있다. 커터 휠(811)이 기판(S)을 가압하는 정도에 따라 기판(S)에 대한 커터 휠(811)의 절삭 깊이가 조절될 수 있다.

예를 들면, 지지 롤러 구동부(74) 및 커터 휠 구동부(83)는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로 구성될 수 있다.

구체적으로, 지지 롤러 구동부(74) 및/또는 커터 휠 구동부(83)는 볼 스크류 기구로서 구성될 수 있다. 이 경우, 지지 롤러 구동부(74) 및/또는 커터 휠 구동부(83)는 각각 볼 스크류와, 볼 스크류에 연결되는 모터(741, 831)를 포함할 수 있다. 또한, 모터(741, 831)에는 모터(741, 831)의 토크를 측정하는 토크 측정기(742, 832)가 연결될 수 있다. 토크 측정기(742, 832)로는 모터(741, 831)의 샤프트와 연결되어 모터(741, 831)의 토크를 측정하는 공지의 토크 측정기가 사용될 수 있다.

도 3에 도시된 바와 같이, 제어 유닛(50)은 토크 측정기(742, 832) 및 모터(741, 831)와 연결되어 토크 측정기(742, 832)에 의해 측정된 토크(변화)를 기초로 모터(741, 831)를 제어할 수 있다.

또한, 제어 유닛(50)은 토크 측정기(742, 832)를 사용하여 모터(741, 831)의 토크 변화를 계측할 수 있으며, 계측된 토크 변화를 기초로, 지지 롤러(721) 및 커터 휠(811)이 기판(S)에 접촉되었는지 여부를 검출할 수 있다. 또한, 토크 측정기(742, 832)에 의해 계측된 모터(741, 831)의 토크 변화를 기초로, 제어 유닛(50)은 지지 롤러(721) 및 커터 휠(811)이 기판(S)을 가압하는 정도(가압력)를 검출할 수 있다.

다른 예로서, 도시되지 않았지만, 지지 롤러 구동부(74) 및/또는 커터 휠 구동부(83)가 액추에이터 또는 리니어 모터로서 구성되는 경우에는, 지지 롤러 구동부(74) 및/또는 커터 휠 구동부(83)는 리니어 스케일을 더 구비할 수 있다. 리니어 스케일을 사용하여 지지 롤러 승강부(72) 및/또는 커터 휠 승강부(81)의 변위 및 이동량을 계측할 수 있으며, 계측된 변위 및 이동량을 기초로, 지지 롤러(721) 및/또는 커터 휠(811)의 현재의 위치를 검출할 수 있다.

다른 예로서, 도시되지 않았지만, 스테이지(10)의 일측에 카메라가 구비될 수 있다. 스테이지(10), 지지 롤러(721) 및/또는 커터 휠(811)이 카메라에 의해 촬상될 수 있으며, 촬상된 이미지로부터 스테이지(10), 지지 롤러(721) 및/또는 커터 휠(811)의 현재의 위치를 검출할 수 있다.

이러한 구성에 따르면, 커터 휠(811)이 기판(S)의 단부(S1)에 가압되고, 지지 롤러(721)가 기판(S)의 단부(S1)를 지지한 상태에서, 제1 헤드(70) 및 제2 헤드(80)가 기판(S)에 대하여 상대적으로 X축 방향으로 이동되는 것에 의해 기판(S)의 단부(S1)에 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다. 이때, 지지 롤러(721)는 커터 휠(811)이 기판(S)의 단부(S1)를 가압하는 힘을 지지한다.

한편, 기판(S)의 단부(S1)에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정 이전에, 기판(S)의 단부(S1)에 대한 지지 롤러(721)의 초기 위치(Z축 방향으로의 위치, 높이) 및 커터 휠(811)의 초기 위치(Z축 방향으로의 위치, 높이)를 설정하는 과정이 수행된다.

기판(S)의 단부(S1)에 대한 지지 롤러(721)의 초기 위치는 지지 롤러(721)가 기판(S)의 단부(S1)의 제1 면에 접촉하는 과정을 통하여 수행된다. 또한, 기판(S)의 단부(S1)에 대한 커터 휠(811)의 초기 위치는 커터 휠(811)이 기판(S)의 단부(S1)의 제2 면에 접촉하는 과정을 통하여 수행된다. 그러나, 이러한 과정에서, 기판(S)의 단부(S1)가 중력에 의해 변형되는 등의 다양한 원인으로 인해, 기판(S)의 단부(S1)의 제1 면 및 제2 면의 위치가 변동된다. 또한, 지지 롤러(721)가 기판(S)의 단부(S1)의 제1 면에 접촉할 때 지지 롤러(721)에 의해 가해지는 힘에 의해 기판(S)의 단부(S1)가 휘어지면서 기판(S)의 단부(S1)의 제1 면의 위치가 변동된다. 또한, 커터 휠(811)이 기판(S)의 단부(S1)의 제2 면에 접촉할 때 커터 휠(811)에 의해 가해지는 힘에 의해 기판(S)의 단부(S1)가 휘어지면서 기판(S)의 단부(S1)의 제2 면의 위치가 변동된다.

따라서, 지지 롤러(721)의 초기 위치 및 커터 휠(811)의 초기 위치를 정확하게 설정하기 어렵다.

본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위한 것으로, 도 4 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 제어 방법은, 기판(S)의 단부(S1)에서의 제1 면에 대한 지지 롤러(721)의 초기 위치를 설정하는 단계와, 기판(S)의 단부(S1)에서의 제2 면에 대한 커터 휠(811)의 초기 위치를 설정하는 단계를 포함할 수 있다.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 지지 롤러(721)의 초기 위치를 설정하는 단계는 기판(S)의 단부(S1)가 스테이지(10)로부터 돌출되도록 기판(S)이 스테이지(10)에 재치된 상태에서 수행된다.

지지 롤러(721)의 초기 위치를 설정하는 단계는, 스테이지(10)에 지지된 기판(S)의 지지부(S2)에서의 제1 면에 지지 롤러(721)를 인접하게 위치시키는 단계(도 4 참조); 지지 롤러(721)를 기판(S)의 지지부(S2)에서의 제1 면을 향하여 이동시키는 단계; 및 지지 롤러(721)가 기판(S)의 지지부(S2)에서의 제1 면에 접촉할 때의 지지 롤러(721)의 위치를 지지 롤러(721)의 초기 위치로서 설정하는 단계(도 5 참조)를 포함할 수 있다.

여기에서, 기판(S)의 지지부(S2)는 스테이지(10)에 접촉되는 기판(S)의 일부분이다. 기판(S)의 지지부(S2)에서 지지 롤러(721)와 접촉되는 부분은 실제로 제품에 사용되지 않고 절단되어 버려지는 부분(더미)일 수 있다.

이와 같이, 스테이지(10)에 지지된 기판(S)의 지지부(S2)에서의 제1 면에 지지 롤러(721)가 접촉하므로, 지지 롤러(721)가 기판(S)의 지지부(S2)에서의 제1 면에 접촉하더라도, 기판(S)이 변형되지 않는다. 따라서, 지지 롤러(721)가 기판(S)의 지지부(S2)에서의 제1 면을 향하여 이동하여 기판(S)의 지지부(S2)에서의 제1 면에 접촉할 때의 지지 롤러(721)의 위치를 지지 롤러(721)의 초기 위치로 설정할 수 있다.

여기에서, 제어 유닛(50)은 토크 측정기(742)를 통하여 지지 롤러 구동부(74)의 모터(741)의 토크가 증가하여 미리 정해진 기준 토크를 초과하는지 여부를 검출한다. 그리고, 지지 롤러 구동부(74)의 모터(741)의 토크가 기준 토크를 초과하면, 제어 유닛(50)은 지지 롤러(721)가 기판(S)의 지지부(S2)에서의 제1 면에 접촉하였다고 판단할 수 있다.

다른 예로서, 도시되지 않았지만, 지지 롤러 구동부(74)가 리니어 스케일을 구비하는 구성의 경우, 지지 롤러(721)의 위치가 변화하다가 변화하지 않는 것이 리니어 스케일에 의해 검출될 때, 제어 유닛(50)은 지지 롤러(721)가 기판(S)의 지지부(S2)에서의 제1 면에 접촉하였다고 판단할 수 있다.

또 다른 예로서, 도시되지는 않았지만, 지지 롤러(721) 및 기판(S)이 카메라에 의해 촬상될 수 있으며, 제어 유닛(50)은 촬상된 이미지로부터 지지 롤러(721)가 기판(S)의 지지부(S2)에서의 제1 면에 접촉하는지 여부를 판단할 수 있다.

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 커터 휠(811)의 초기 위치를 설정하는 단계는, 기판(S)의 단부(S1)에서 기판(S)의 제1 면에 지지 롤러(721)를 인접하게 위치시키는 단계; 기판(S)의 단부(S1)에서 지지 롤러(721)를 초기 위치에 위치시키는 단계(도 6 참조); 커터 휠(811)을 지지 롤러(721)에 대향하게 위치시키는 단계; 커터 휠(811)을 기판(S)의 제2 면을 향하여 이동시키는 단계; 및 커터 휠(811)이 제2 면에 접촉하여 이동하는 것에 의해 지지 롤러(721)가 기판(S)의 제1 면에 미리 설정된 가압력으로 접촉할 때의 커터 휠(811)의 위치를 커터 휠(811)의 초기 위치로서 설정하는 단계(도 7 참조)를 포함할 수 있다.

기판(S)의 단부(S1)에서 지지 롤러(721)가 초기 위치에 위치되면, 지지 롤러(721)는 기판(S)의 미리 설정된 가압력 미만의 가압력으로 제1 면에 접촉할 수 있다. 또한, 경우에 따라, 기판(S)의 단부(S1)가 중력에 의해 변형되는 경우에는, 지지 롤러(721)는 기판(S)의 제1 면에 접촉하지 않을 수 있다.

그리고, 도 6에 도시된 바와 같이, 기판(S)의 단부(S1)에서 지지 롤러(721)가 초기 위치에 위치되면, 커터 휠(811)을 지지 롤러(721)에 대향하게 위치된 다음 기판(S)의 제2 면을 향하여 이동된다.

이에 따라, 도 7에 도시된 바와 같이, 커터 휠(811)이 기판(S)의 제2 면에 접촉된 후 이동되어 지지 롤러(721)에 기판(S)의 제1 면이 미리 설정된 가압력으로 접촉한다. 즉, 커터 휠(811)이 미리 설정된 가압력으로 기판(S)의 제2 면에 접촉되고 지지 롤러(721)가 미리 설정된 가압력으로 기판(S)의 제1 면에 접촉한다. 이때, 제어 유닛(50)은 커터 휠(811)이 미리 설정된 가압력으로 기판(S)의 제2 면에 접촉되고 지지 롤러(721)가 미리 설정된 가압력으로 기판(S)의 제1 면에 접촉될 때의 커터 휠(811)의 위치를 커터 휠(811)의 초기 위치로 설정할 수 있다.

여기에서, 제어 유닛(50)은 토크 측정기(832)를 통하여 커터 휠 구동부(83)의 모터(831)의 토크가 증가하여 미리 정해진 기준 토크를 초과하는지 여부를 검출한다. 그리고, 커터 휠 구동부(83)의 모터(831)의 토크가 기준 토크를 초과하면, 제어 유닛(50)은 커터 휠(811)이 미리 설정된 가압력으로 기판(S)의 제2 면에 접촉되고 지지 롤러(721)가 미리 설정된 가압력으로 기판(S)의 제1 면에 접촉되었다고 판단할 수 있다.

다른 예로서, 도시되지 않았지만, 커터 휠 구동부(83)가 리니어 스케일을 구비하는 구성의 경우, 커터 휠(811)의 위치가 변화하다가 변화하지 않는 것이 리니어 스케일에 의해 검출될 때, 제어 유닛(50)은 커터 휠(811)이 미리 설정된 가압력으로 기판(S)의 제2 면에 접촉되고 지지 롤러(721)가 미리 설정된 가압력으로 기판(S)의 제1 면에 접촉되었다고 판단할 수 있다.

또 다른 예로서, 도시되지는 않았지만, 지지 롤러(721), 커터 휠(811) 및 기판(S)이 카메라에 의해 촬상될 수 있으며, 제어 유닛(50)은 촬상된 이미지로부터 커터 휠(811)이 미리 설정된 가압력으로 기판(S)의 제2 면에 접촉되는지 여부 및 지지 롤러(721)가 미리 설정된 가압력으로 기판(S)의 제1 면에 접촉되는지 여부를 판단할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 제어 방법에 따르면, 스테이지(10)에 지지된 기판(S)의 지지부(S2)에 지지 롤러(721)를 접촉시키는 과정에 의해 지지 롤러(721)의 초기 위치가 설정된다. 따라서, 지지 롤러(721)의 초기 위치를 설정하는 과정에서, 지지 롤러(721)에 의해 가해지는 힘에 의해 기판(S)이 변형되지 않으므로, 지지 롤러(721)의 초기 위치가 보다 정확하게 설정될 수 있다. 또한, 기판(S)의 단부(S1)에서 지지 롤러(721)를 초기 위치에 위치시킨 상태에서, 커터 휠(811)을 지지 롤러(721)에 대향하게 위치시키고 커터 휠(811)을 지지 롤러(721)를 향하여 이동시켜 지지 롤러(721) 및 커터 휠(811)을 미리 설정된 가압력으로 기판(S)의 단부(S1)에 접촉시키는 과정에 의해 커터 휠(811)의 초기 위치가 설정된다. 따라서, 커터 휠(811)의 초기 위치를 설정하는 과정에서, 커터 휠(811)에 의해 가해지는 힘에 의해 기판(S)이 변형되지 않으므로, 커터 휠(811)의 초기 위치가 보다 정확하게 설정될 수 있다.

도 8은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 다른 예가 개략적으로 도시된 도면이다.

도 8에 도시된 바와 같이, 커터 휠(811)이 기판(S)의 제1 면에 대향하게 배치될 수 있고, 지지 롤러(721)가 기판(S)의 제2 면에 대향하게 배치될 수 있다.

도 8에 도시된 실시예에서는, 기판(S)의 지지부(S2)에서 커터 휠(811)의 초기 위치를 설정하는 단계가 먼저 수행된 다음, 기판(S)의 단부(S1)에서 커터 휠(811)의 초기 위치를 기준으로 지지 롤러(721)의 초기 위치를 설정하는 단계가 수행될 수 있다.

도 9는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 다른 예가 개략적으로 도시된 도면이다.

도 9에 도시된 바와 같이, 제1 헤드(70)에는 제1 커터 휠(711) 및 제1 지지 롤러(721)가 구비되고, 제2 헤드(80)에는 제2 커터 휠(811) 및 제2 지지 롤러(821)가 구비된다.

제1 커터 휠(711)은 제1 커터 휠 승강부(71)를 통하여 제1 커터 휠 구동부(73)와 연결된다. 제1 지지 롤러(721)는 제1 지지 롤러 승강부(72)를 통하여 제1 지지 롤러 구동부(74)와 연결된다. 제2 커터 휠(811)은 제2 커터 휠 승강부(81)를 통하여 제2 커터 휠 구동부(83)와 연결된다. 제2 지지 롤러(821)는 제2 지지 롤러 승강부(82)를 통하여 제2 지지 롤러 구동부(84)와 연결된다.

도 9에 도시된 실시예에서는, 제1 커터 휠(711) 및 제2 지지 롤러(821)가 서로 대향하게 위치되고, 제2 커터 휠(811) 및 제1 지지 롤러(721)가 서로 대향하게 위치된 상태에서, 기판(S)의 단부(S1)에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정이 수행된다.

기판(S)의 지지부(S2)에서 제1 지지 롤러(721)의 초기 위치를 설정하는 단계가 먼저 수행된 다음, 기판(S)의 단부(S1)에서 제1 지지 롤러(721)의 초기 위치를 기준으로 제2 커터 휠(811)의 초기 위치 및 제2 지지 롤러(721)의 초기 위치를 설정하는 단계가 수행될 수 있다.

다른 예로서, 기판(S)의 지지부(S2)에서 제1 커터 휠(711)의 초기 위치를 설정하는 단계가 먼저 수행된 다음, 기판(S)의 단부(S1)에서 제1 커터 휠(711)의 초기 위치를 기준으로 제2 커터 휠(811)의 초기 위치 및 제2 지지 롤러(721)의 초기 위치를 설정하는 단계가 수행될 수 있다.

도 10은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 또 다른 예가 개략적으로 도시된 도면이다.

도 10에 도시된 바와 같이, 제1 헤드(70)에는 제1 커터 휠(711)이 구비되고, 제2 헤드(80)에는 제2 커터 휠(811)이 구비된다.

제1 커터 휠(711)은 제1 커터 휠 승강부(71)를 통하여 제1 커터 휠 구동부(73)와 연결된다. 제2 커터 휠(811)은 제2 커터 휠 승강부(81)를 통하여 제2 커터 휠 구동부(83)와 연결된다.

도 10에 도시된 실시예에서는, 제1 커터 휠(711) 및 제2 커터 휠(811)이 서로 대향하게 위치된 상태에서, 기판(S)의 단부(S1)에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정이 수행된다.

도 10에 도시된 실시예에서는, 기판(S)의 지지부(S2)에서 제1 커터 휠(711)의 초기 위치를 설정하는 단계가 먼저 수행된 다음, 기판(S)의 단부(S1)에서 제1 커터 휠(711)의 초기 위치를 기준으로 제2 커터 휠(811)의 초기 위치를 설정하는 단계가 수행될 수 있다.

본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.

10: 스테이지
30: 스크라이빙 유닛
50: 지지 유닛
70: 제1 헤드
80: 제2 헤드

Claims

제1 면 및 제2 면을 갖는 기판의 단부가 스테이지로부터 돌출되도록 상기 기판을 상기 스테이지에 탑재하는 단계;
상기 스테이지에 지지된 상기 기판의 지지부에서 지지 롤러가 상기 기판의 제1 면에 접촉될 때의 상기 지지 롤러의 위치를 상기 지지 롤러의 초기 위치로 설정하는 단계;
상기 기판의 단부에서 상기 지지 롤러를 초기 위치에 위치시키는 단계; 및
상기 기판의 단부에서 커터 휠을 상기 기판의 제2 면에 접촉 및 이동시켜 상기 지지 롤러에 기판의 제1 면이 접촉될 때의 상기 커터 휠의 위치를 상기 커터 휠의 초기 위치로서 설정하는 단계를 포함하는, 스크라이빙 장치의 제어 방법.
제1 면 및 제2 면을 갖는 기판의 제2 면이 안착되는 스테이지, 상기 기판의 제1 면에 대향하게 위치되는 지지 롤러, 상기 기판의 상기 제2 면에 대향하게 위치되는 커터 휠을 포함하며, 상기 스테이지로부터 돌출된 상기 기판의 단부에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 장치의 제어 방법에 있어서,
상기 제1 면에 대한 상기 지지 롤러의 초기 위치를 설정하는 단계; 및
상기 제2 면에 대한 상기 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계를 포함하고,
상기 지지 롤러의 초기 위치를 설정하는 단계는,
상기 스테이지에 지지된 상기 기판의 지지부에서 상기 제1 면에 상기 지지 롤러를 인접하게 위치시키는 단계;
상기 지지 롤러를 상기 제1 면을 향하여 이동시키는 단계; 및
상기 지지 롤러가 상기 제1 면에 접촉할 때의 상기 지지 롤러의 위치를 상기 지지 롤러의 초기 위치로서 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치의 제어 방법.
청구항 2에 있어서,
상기 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계는,
상기 기판의 단부에서 상기 지지 롤러를 초기 위치에 위치시키는 단계;
상기 커터 휠을 상기 지지 롤러에 대향하게 위치시키는 단계;
상기 커터 휠을 상기 제2 면을 향하여 이동시키는 단계; 및
상기 커터 휠이 상기 제2 면에 접촉하여 이동하는 것에 의해 상기 지지 롤러가 상기 제1 면에 접촉할 때의 상기 커터 휠의 위치를 상기 커터 휠의 초기 위치로 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치의 제어 방법.
제1 면 및 제2 면을 갖는 기판의 제2 면이 안착되는 스테이지, 상기 기판의 제1 면에 대향하게 위치되는 커터 휠, 상기 기판의 상기 제2 면에 대향하게 위치되는 지지 롤러를 포함하며, 상기 스테이지로부터 돌출된 상기 기판의 단부에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 장치의 제어 방법에 있어서,
상기 제1 면에 대한 상기 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계; 및
상기 제2 면에 대한 상기 지지 롤러의 초기 위치를 설정하는 단계를 포함하고,
상기 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계는,
상기 스테이지에 지지된 상기 기판의 지지부에서 상기 제1 면에 상기 커터 휠을 인접하게 위치시키는 단계;
상기 커터 휠을 상기 제1 면을 향하여 이동시키는 단계; 및
상기 커터 휠이 상기 제1 면에 접촉할 때의 상기 커터 휠의 위치를 상기 커터 휠의 초기 위치로서 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치의 제어 방법.
청구항 4에 있어서,
상기 지지 롤러의 초기 위치를 설정하는 단계는,
상기 기판의 단부에서 상기 커터 휠을 초기 위치에 위치시키는 단계;
상기 지지 롤러를 상기 커터 휠에 대향하게 위치시키는 단계;
상기 지지 롤러를 상기 제2 면을 향하여 이동시키는 단계; 및
상기 지지 롤러가 상기 제2 면에 접촉하여 이동하는 것에 의해 상기 커터 휠이 상기 제1 면에 접촉할 때의 상기 지지 롤러의 위치를 상기 지지 롤러의 초기 위치로 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치의 제어 방법.
제1 면 및 제2 면을 갖는 기판의 제2 면이 안착되는 스테이지, 상기 기판의 제1 면에 대향하게 위치되는 제1 커터 휠, 상기 기판의 상기 제2 면에 대향하게 위치되는 제2 커터 휠을 포함하며, 상기 스테이지로부터 돌출된 상기 기판의 단부에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 장치의 제어 방법에 있어서,
상기 제1 면에 대한 상기 제1 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계; 및
상기 제2 면에 대한 상기 제2 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계를 포함하고,
상기 제1 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계는,
상기 스테이지에 지지된 상기 기판의 지지부에서 상기 제1 면에 상기 제1 커터 휠을 인접하게 위치시키는 단계;
상기 제1 커터 휠을 상기 제1 면을 향하여 이동시키는 단계; 및
상기 제1 커터 휠이 상기 제1 면에 접촉할 때의 상기 제1 커터 휠의 위치를 상기 제1 커터 휠의 초기 위치로서 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치의 제어 방법.
청구항 6에 있어서,
상기 제2 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계는,
상기 기판의 단부에서 상기 제1 커터 휠을 초기 위치에 위치시키는 단계;
상기 제2 커터 휠을 상기 제1 커터 휠에 대향하게 위치시키는 단계;
상기 제2 커터 휠을 상기 제2 면을 향하여 이동시키는 단계; 및
상기 제2 커터 휠이 상기 제2 면에 접촉하여 이동하는 것에 의해 상기 제1 커터 휠이 상기 제1 면에 접촉할 때의 상기 제2 커터 휠의 위치를 상기 제2 커터 휠의 초기 위치로 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치의 제어 방법.
제1 면 및 제2 면을 갖는 기판의 제2 면이 안착되는 스테이지, 상기 기판의 제1 면에 대향하게 위치되는 제1 커터 휠 및 제1 지지 롤러, 상기 기판의 상기 제2 면에 대향하게 위치되는 제2 커터 휠 및 제2 지지 롤러를 포함하며, 상기 스테이지로부터 돌출된 상기 기판의 단부에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 장치의 제어 방법에 있어서,
상기 제1 면에 대한 상기 제1 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계;
상기 제1 면에 대한 상기 제1 지지 롤러의 초기 위치를 설정하는 단계;
상기 제2 면에 대한 상기 제2 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계; 및
상기 제2 면에 대한 상기 제2 지지 롤러의 초기 위치를 설정하는 단계를 포함하고,
상기 제1 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계는,
상기 스테이지에 지지된 상기 기판의 지지부에서 상기 제1 면에 상기 제1 커터 휠을 인접하게 위치시키는 단계;
상기 제1 커터 휠을 상기 제1 면을 향하여 이동시키는 단계; 및
상기 제1 커터 휠이 상기 제1 면에 접촉할 때의 상기 제1 커터 휠의 위치를 상기 제1 커터 휠의 초기 위치로서 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치의 제어 방법.
청구항 8에 있어서,
상기 제2 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계는,
상기 기판의 단부에서 상기 제1 커터 휠을 초기 위치에 위치시키는 단계;
상기 제2 커터 휠을 상기 제1 커터 휠에 대향하게 위치시키는 단계;
상기 제2 커터 휠을 상기 제2 면을 향하여 이동시키는 단계; 및
상기 제2 커터 휠이 상기 제2 면에 접촉하여 이동하는 것에 의해 상기 제1 커터 휠이 상기 제1 면에 접촉할 때의 상기 제2 커터 휠의 위치를 상기 제2 커터 휠의 초기 위치로 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치의 제어 방법.
청구항 8에 있어서,
상기 제2 지지 롤러의 초기 위치를 설정하는 단계는,
상기 기판의 단부에서 상기 제1 커터 휠을 초기 위치에 위치시키는 단계;
상기 제2 지지 롤러를 상기 제1 커터 휠에 대향하게 위치시키는 단계;
상기 제2 지지 롤러를 상기 제2 면을 향하여 이동시키는 단계; 및
상기 제2 지지 롤러가 상기 제2 면에 접촉하여 이동하는 것에 의해 상기 제1 커터 휠이 상기 제1 면에 접촉할 때의 상기 제2 지지 롤러의 위치를 상기 제2 지지 롤러의 초기 위치로 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치의 제어 방법.
청구항 8에 있어서,
상기 제1 지지 롤러의 초기 위치를 설정하는 단계는,
상기 스테이지에 지지된 상기 기판의 지지부에서 상기 제1 면에 상기 제1 지지 롤러를 인접하게 위치시키는 단계;
상기 제1 지지 롤러를 상기 제1 면을 향하여 이동시키는 단계; 및
상기 제1 지지 롤러가 상기 제1 면에 접촉할 때의 상기 제1 지지 롤러의 위치를 상기 제1 지지 롤러의 초기 위치로서 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치의 제어 방법.
청구항 11에 있어서,
상기 제2 커터 휠의 초기 위치를 설정하는 단계는,
상기 기판의 단부에서 상기 제1 지지 롤러를 초기 위치에 위치시키는 단계;
상기 제2 커터 휠을 상기 제1 지지 롤러에 대향하게 위치시키는 단계;
상기 제2 커터 휠을 상기 제2 면을 향하여 이동시키는 단계; 및
상기 제2 커터 휠이 상기 제2 면에 접촉하여 이동하는 것에 의해 상기 제1 지지 롤러가 상기 제1 면에 접촉할 때의 상기 제2 커터 휠의 위치를 상기 제2 커터 휠의 초기 위치로 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치의 제어 방법.
청구항 11에 있어서,
상기 제2 지지 롤러의 초기 위치를 설정하는 단계는,
상기 기판의 단부에서 상기 제1 지지 롤러를 초기 위치에 위치시키는 단계;
상기 제2 지지 롤러를 상기 제1 지지 롤러에 대향하게 위치시키는 단계;
상기 제2 지지 롤러를 상기 제2 면을 향하여 이동시키는 단계; 및
상기 제2 지지 롤러가 상기 제2 면에 접촉하여 이동하는 것에 의해 상기 제1 지지 롤러가 상기 제1 면에 접촉할 때의 상기 제2 지지 롤러의 위치를 상기 제2 지지 롤러의 초기 위치로 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치의 제어 방법.