KR20200065211A - 스크라이빙 장치 - Google Patents

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KR20200065211A
KR20200065211A KR1020180151405A KR20180151405A KR20200065211A KR 20200065211 A KR20200065211 A KR 20200065211A KR 1020180151405 A KR1020180151405 A KR 1020180151405A KR 20180151405 A KR20180151405 A KR 20180151405A KR 20200065211 A KR20200065211 A KR 20200065211A
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박지웅
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 기판에 대하여 수직으로 이동 가능하게 구성되는 수직 이동 부재; 수직 이동 부재에 연결되며 수직 이동 부재에 대하여 수직으로 상대 이동 가능하게 구성되는 스크라이빙 휠 홀더; 스크라이빙 휠 홀더에 장착되고 기판의 표면에 접촉 가능하게 구성되는 스크라이빙 휠; 수직 이동 부재와 연결되어 수직 이동 부재를 수직으로 이동시키도록 구성되는 수직 이동 모듈; 수직 이동 부재에 장착되고 스크라이빙 휠 홀더에 연결되며 스크라이빙 휠 홀더에 기판을 향하는 방향으로 일정한 가압력을 부여하는 가압 모듈; 기판의 요철에 따른 스크라이빙 휠의 수직 위치 변화에 따라 스크라이빙 휠 홀더가 수직 이동 부재에 대해 수직으로 상대 이동할 때, 수직 이동 부재에 대한 스크라이빙 휠 홀더의 수직 변위를 검출하는 수직 변위 검출 모듈; 및 수직 변위 검출 모듈에 의해 검출된 스크라이빙 휠 홀더의 수직 변위와 동일한 수직 변위로 수직 이동 부재를 이동시키도록 수직 이동 모듈을 제어하는 제어 유닛을 포함할 수 있다.

Description

스크라이빙 장치{SCRIBING APPARATUS}
본 발명은 기판에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(이하, '기판'이라 함)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(이하, '단위 기판'이라 함)을 사용한다.
기판을 절단하는 공정은, 기판이 절단될 가상의 절단 예정 라인을 따라 다이아몬드와 같은 재질의 스크라이빙 휠을 기판에 가압하면서 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정과, 스크라이빙 라인을 따라 기판을 가압하는 것에 의해 기판을 단위 기판으로 분단하는 브레이킹 공정을 포함한다.
스크라이빙 공정에서, 다양한 원인으로 인해 기판이 평탄하게 유지되지 않고 기판의 일부에 수직 방향으로 요철이 있을 수 있으며, 이러한 요철로 인해 기판의 평탄도가 균일하지 않을 수 있다. 기판의 평탄도가 균일하지 않은 경우에는, 절단 예정 라인을 따라 기판에 대한 스크라이빙 휠의 수직 위치가 달라지며, 이에 따라, 스크라이빙 휠이 기판을 가압하는 가압력이 달라지고 기판의 표면으로의 스크라이빙 휠의 절삭 깊이가 달라진다. 따라서, 기판에 스크라이빙 라인이 일정한 깊이로 형성되지 않는 문제가 있다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 기판의 평탄도가 균일하지 않은 경우에도 기판에 일정한 깊이를 갖는 스크라이빙 라인을 형성할 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 기판에 대하여 수직으로 이동 가능하게 구성되는 수직 이동 부재; 수직 이동 부재에 연결되며 수직 이동 부재에 대하여 수직으로 상대 이동 가능하게 구성되는 스크라이빙 휠 홀더; 스크라이빙 휠 홀더에 장착되고 기판의 표면에 접촉 가능하게 구성되는 스크라이빙 휠; 수직 이동 부재와 연결되어 수직 이동 부재를 수직으로 이동시키도록 구성되는 수직 이동 모듈; 수직 이동 부재에 장착되고 스크라이빙 휠 홀더에 연결되며 스크라이빙 휠 홀더에 기판을 향하는 방향으로 일정한 가압력을 부여하는 가압 모듈; 기판의 요철에 따른 스크라이빙 휠의 수직 위치 변화에 따라 스크라이빙 휠 홀더가 수직 이동 부재에 대해 수직으로 상대 이동할 때, 수직 이동 부재에 대한 스크라이빙 휠 홀더의 수직 변위를 검출하는 수직 변위 검출 모듈; 및 수직 변위 검출 모듈에 의해 검출된 스크라이빙 휠 홀더의 수직 변위와 동일한 수직 변위로 수직 이동 부재를 이동시키도록 수직 이동 모듈을 제어하는 제어 유닛을 포함할 수 있다.
가압 모듈은 유체 공급원과 연결되어 가압력으로서 유체 압력을 가하도록 구성될 수 있다.
가압 모듈은 가압력으로서 탄성력을 가하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 기판의 표면의 수직 높이의 변화에 따른 스크라이빙 휠의 수직 변위를 감지하고, 스크라이빙 휠의 수직 변위에 응답하여 스크라이빙 휠의 수직 위치를 조절함으로써, 기판의 표면으로의 스크라이빙 휠의 절삭 깊이를 일정하게 유지할 수 있다. 따라서, 기판에 일정한 깊이를 갖는 스크라이빙 라인을 형성할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 구비되는 스크라이빙 헤드가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 제어 블록도이다.
도 4 내지 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 작동 과정이 개략적으로 도시된 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 스크라이빙 공정이 수행될 기판(S)이 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의하고, 기판(S)이 이송되는 방향(Y축 방향)에 교차하는 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판(S)이 놓이는 X-Y평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다. 또한, 스크라이빙 라인이라는 용어는 기판의 표면에서 소정 방향으로 연장되게 형성되는 홈 및/또는 크랙을 의미한다. 그리고, 절단 예정 라인이라는 용어는 스크라이빙 라인이 형성될 가상의 라인을 의미한다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 기판(S)이 탑재되는 스테이지(10)와, 기판(S)의 이송 방향으로의 후방측 단부인 기판(S)의 후행단을 파지하여 기판(S)을 이송하도록 구성되는 기판 이송 유닛(20)과, 기판 이송 유닛(20)에 의해 이송된 기판(S)에 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 유닛(30)과, 스크라이빙 공정을 제어하는 제어 유닛(90)을 포함할 수 있다.
스테이지(10)는 기판(S)이 스크라이빙 유닛(30)을 향하여 이동되는 동안 기판(S)을 지지하는 역할을 한다. 또한, 스테이지(10)는 기판(S)에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서 기판(S)을 지지하는 역할을 할 수 있다.
예를 들면, 스테이지(10)는 복수의 벨트(13)를 포함할 수 있다. 복수의 벨트(13)는 X축 방향으로 서로 이격되게 배치될 수 있다. 각 벨트(13)는 복수의 풀리(미도시)에 의해 지지되며, 복수의 풀리 중 적어도 하나는 벨트(13)를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 풀리일 수 있다.
본 발명은 스테이지(10)가 복수의 벨트(13)를 포함하는 구성에 한정되지 않으며, 스테이지(10)가 기체를 분사하여 기판(S)을 부양하도록 구성되는 에어 테이블로서 구성되는 구성에도 본 발명이 적용될 수 있다.
기판 이송 유닛(20)은 기판(S)의 후행단을 파지하는 파지 모듈(21)과, Y축 방향으로 연장되어 파지 모듈(21)의 이동을 안내하는 가이드 레일(22)을 포함할 수 있다.
파지 모듈(21)과 가이드 레일(22) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 파지 모듈(21)이 기판(S)의 후행단을 파지한 상태에서, 직선 이동 기구에 의해 파지 모듈(21)이 가이드 레일(22)을 따라 Y축 방향으로 이동됨에 따라, 기판(S)이 Y축 방향으로 이송될 수 있다. 이때, 벨트(13)는 파지 모듈(21)의 이동과 동기화된다. 따라서, 벨트(13)는 파지 모듈(21)과 동일한 속도로 구동되면서 기판(S)의 하면을 안정적으로 지지할 수 있다.
파지 모듈(21)은 기판(S)의 후행단을 물리적으로 가압하여 유지하는 클램프일 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 파지 모듈(21)이 진공원과 연결된 진공홀을 구비하여 기판(S)의 후행단을 흡착하도록 구성되는 구성에도 본 발명이 적용될 수 있다.
가이드 레일(22)은 X축 방향으로 복수로 구비될 수 있다. 복수의 가이드 레일(22)은 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 복수의 가이드 레일(22)은 복수의 벨트(13) 사이에 배치될 수 있다. 가이드 레일(22)은 파지 모듈(21)의 Y축 방향으로의 이동을 안내하는 역할을 한다.
스크라이빙 유닛(30)은 X축 방향으로 연장되는 프레임(40)과, 프레임(40)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 스크라이빙 헤드(50)를 포함할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 헤드(50)는, 기판(S)의 표면 상의 가상의 절단 예정 라인을 따라 수평으로 이동 가능하게 구성되는 수평 이동 부재(51)와, 수평 이동 부재(51)에 연결되며 수평 이동 부재(51)에 대하여 수직으로 상대 이동 가능하게 구성되는 수직 이동 부재(52)와, 수직 이동 부재(52)에 연결되며 수직 이동 부재(52)에 대하여 수직으로 상대 이동 가능하게 구성되는 스크라이빙 휠 홀더(53)와, 스크라이빙 휠 홀더(53)에 장착되고 기판(S)의 표면에 접촉 가능하게 구성되는 스크라이빙 휠(54)과, 수직 이동 부재(52)와 연결되어 수직 이동 부재(52)를 수직으로 이동시키도록 구성되는 수직 이동 모듈(55)과, 기판(S)의 요철에 따른 스크라이빙 휠(54)의 수직 위치 변화에 따라 스크라이빙 휠 홀더(53)가 수직 이동 부재(52)에 대해 수직으로 상대 이동할 때, 수직 이동 부재(52)에 대한 스크라이빙 휠 홀더(53)의 수직 변위를 검출하는 수직 변위 검출 모듈(56)과, 수직 이동 부재(52)에 장착되고 스크라이빙 휠 홀더(53)에 연결되며 스크라이빙 휠 홀더(53)에 기판(S)을 향하는 방향으로 일정한 가압력을 부여하는 가압 모듈(57)을 포함할 수 있다.
먼저, 가압 모듈(57)은 스크라이빙 홀더(53)에 일정한 가압력을 부여하여 스크라이빙 휠(54)이 기판(S)의 표면에 가압될 수 있도록 한다.
기판(S)의 표면이 일정하게 평탄한 경우, 가압 모듈(57)에 의해 가해지는 가압력에 의해 스크라이빙 휠(54)이 기판(S)의 표면에 일정하게 가압될 수 있다.
가압 모듈(57)에 의해 가해지는 가압력은 기판(S)의 표면의 요철로 인한 스크라이빙 휠(54) 및 스크라이빙 휠 홀더(53)의 수직 변위를 허용할 수 있는 크기를 갖는다.
일 예로서, 가압 모듈(57)은, 스크라이빙 휠 홀더(53)와 연결되는 플런저와, 플런저가 수용되는 실린더와, 실린더의 내부로 유체(가스 또는 액체)를 공급하는 유체 공급원을 포함하며, 플런저를 통해 스크라이빙 휠 홀더(53)에 가압력으로서 유체 압력을 제공하도록 구성될 수 있다.
다른 예로서, 가압 모듈(57)은 스크라이빙 휠 홀더(53)와 연결되는 스프링으로 구성되어 스크라이빙 휠 홀더(53)에 가압력으로서 탄성력을 제공하도록 구성될 수 있다.
수평 이동 부재(51)는 프레임(40)을 따라 X축 방향으로 이동 가능하게 구성된다. 이를 위해, 프레임(40)과 수평 이동 부재(51) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다.
스크라이빙 휠(54)이 기판(S)의 표면을 가압한 상태에서 수평 이동 부재(51)가 X축 방향으로 이동되는 것에 의해 기판(S)의 표면에는 X축 방향으로 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다. 또한, 스크라이빙 휠(54)이 기판(S)의 표면을 가압한 상태에서 기판(S)이 기판 이송 유닛(20)에 의해 Y축 방향으로 이동되는 것에 의해 기판(S)의 표면에는 Y축 방향으로 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다. 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에서는, 수평 이동 부재(51)의 수평 이동은 수평 이동 부재(51)의 X축 방향으로의 이동뿐만 아니라 기판(S)의 Y축 방향으로의 이동에 따른 수평 이동 부재(51)의 기판(S)에 대한 Y축 방향으로의 상대 이동을 포함한다.
수직 이동 부재(52)는 수평 이동 부재(51)에 연결되어 수평 이동 부재(51)의 수평 이동에 따라 수평으로 이동할 수 있다. 예를 들면, 수직 이동 부재(52)는 수평 이동 부재(51)에 구비된 가이드 레일(511)을 따라 Z축 방향으로 이동될 수 있다. 수직 이동 부재(52)의 Z축 방향으로의 이동에 의해 스크라이빙 휠 홀더(53) 및 스크라이빙 휠(54)이 Z축 방향으로 이동될 수 있다. 스크라이빙 휠(54)이 기판(S)을 향하여 Z축 방향으로 이동되어 기판(S)의 표면에 접촉할 수 있다.
수직 이동 모듈(55)은 수평 이동 부재(51)에 연결되어 수평 이동 부재(51)의 수평 이동에 따라 수평으로 이동할 수 있다. 수직 이동 모듈(55)은 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로서 구성될 수 있다. 수직 이동 모듈(55)에 의해 수직 이동 부재(52)가 Z축 방향으로 이동됨에 따라, 스크라이빙 휠 홀더(53) 및 스크라이빙 휠(54)의 Z축 방향으로의 위치가 조절될 수 있다.
스크라이빙 휠 홀더(53)는 수직 이동 부재(52)를 통해 수평 이동 부재(51)와 연결되어 수평 이동 부재(51)의 수평 이동에 따라 수평으로 이동할 수 있다.
스크라이빙 휠 홀더(53)는 수직 이동 부재(52)에 대하여 상대적으로 Z축 방향으로 이동 가능하게 구성된다. 예를 들면, 스크라이빙 휠 홀더(53)는 수직 이동 부재(52)에 구비된 가이드 레일(521)을 따라 Z축 방향으로 이동될 수 있다.
스크라이빙 휠(54)은 Z축을 중심으로 회전 가능하게 스크라이빙 휠 홀더(53)에 장착될 수 있다. 따라서, 수평 이동 부재(51)가 X축 방향으로 수평으로 이동될 때, 스크라이빙 휠(54)의 절단날이 X축 방향과 평행할 수 있다. 또한, 수평 이동 부재(51)가 기판(S)에 대하여 Y축 방향으로 상대적으로 수평 이동될 때, 스크라이빙 휠(54)의 절단날이 Y축 방향과 평행할 수 있다.
가압 모듈(57)에 의해 스크라이빙 휠 홀더(53)에 가해지는 일정한 가압력에 의해 스크라이빙 휠(54)이 기판(S)의 표면에 가압될 수 있다. 따라서, 가압 모듈(57)에 의해 가해지는 가압력에 의해 스크라이빙 휠(54)이 기판(S)에 가압된 상태에서 수평 이동 부재(51)가 수평 이동함에 따라, 스크라이빙 휠(54)이 기판(S)의 표면에 가압된 상태로 수평으로 이동된다.
이때, 기판(S)의 요철에 따라 스크라이빙 휠(54)의 수직 위치가 변화할 수 있다. 예를 들면, 도 4에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠(54)이 기판(S)의 볼록부(S1)를 지나는 경우 스크라이빙 휠(54)은 볼록부(S1)의 높이에 대응하는 높이로 Z축 방향으로 상승된다. 또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠(54)이 기판(S)의 오목부(S2)를 지나는 경우 스크라이빙 휠(54)이 가압 모듈(57)에 의해 가해지는 가압력에 의해 오목부(S2)의 깊이에 대응하는 높이로 Z축 방향으로 하강한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠(54)이 볼록부(S1)를 따라 상승하는 경우, 가압 모듈(57)과 스크라이빙 휠 홀더(53) 사이의 간격이 감소하며, 이에 따라, 가압 모듈(57)에 의해 스크라이빙 휠 홀더(53)를 통해 스크라이빙 휠(54)에 가해지는 가압력이 증가하게 된다. 따라서, 볼록부(S1)에서의 스크라이빙 휠(54)의 절삭 깊이가 커지게 된다. 또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠(54)이 오목부(S2)를 따라 하강하는 경우, 가압 모듈(57)과 스크라이빙 휠 홀더(53) 사이의 간격이 증가하며, 이에 따라, 가압 모듈(57)에 의해 스크라이빙 휠 홀더(53)를 통해 스크라이빙 휠(54)에 가해지는 가압력이 감소하게 된다. 따라서, 오목부(S2)에서의 스크라이빙 휠(54)의 절삭 깊이가 작아지게 된다. 이와 같이, 기판(S)에 요철이 있는 경우, 스크라이빙 휠(54)의 절삭 깊이가 스크라이빙 라인을 따라 달라진다. 스크라이빙 휠(54)의 절삭 깊이가 큰 부분에서는 기판(S)의 내부로 크랙이 의도하지 않은 방향으로 진행되기 때문에, 기판(S)이 파손되고 파편 등이 발생되는 문제가 발생할 수 있다. 또한, 스크라이빙 휠(54)의 절삭 깊이가 작은 부분에서는 기판(S)의 내부로 크랙이 적절하게 진행되지 않기 때문에, 기판(S)의 분단이 적절하게 이루어지지 않는 문제가 발생할 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 기판(S)의 요철에 따라 스크라이빙 휠(54)의 수직 위치가 변화하여 스크라이빙 휠 홀더(53)가 수직 이동 부재(52)에 대해 수직으로 상대 이동할 때, 수직 변위 검출 모듈(56)이 수직 이동 부재(52)에 대한 스크라이빙 휠 홀더(53)의 수직 변위를 검출하며, 제어 유닛(90)은 수직 변위 검출 모듈(56)에 의해 검출된 스크라이빙 휠 홀더(53)의 수직 변위와 동일한 수직 변위로 수직 이동 부재(52)를 이동시키도록 수직 이동 모듈(55)을 제어한다.
수직 변위 검출 모듈(56)은 스크라이빙 휠 홀더(53)가 Z축 방향으로 이동한 경우 수직 이동 부재(52)에 대한 스크라이빙 휠 홀더(53)의 Z축 방향으로의 수직 변위를 검출하도록 구성된다.
예를 들면, 수직 변위 검출 모듈(56)은 수직 이동 부재(52)에 구비되는 기준 부재(561)와, 기준 부재(561)에 대향하도록 스크라이빙 휠 홀더(53)에 구비되는 감지 부재(562)를 포함할 수 있다. 다른 예로서, 기준 부재(561)가 스크라이빙 휠 홀더(53)에 구비될 수 있고, 감지 부재(562)가 수직 이동 부재(52)에 구비될 수 있다.
수직 변위 검출 모듈(56)은 기준 부재(561)와 감지 부재(562)의 상호 작용을 이용하여 수직 이동 부재(52)에 대한 스크라이빙 휠 홀더(53)의 수직 변위를 검출한다.
일 예로서, 기준 부재(561)는 소정의 눈금을 가지는 스케일로 구성될 수 있고, 감지 부재(562)는 스케일을 촬상하는 카메라로 구성될 수 있다. 이러한 경우, 감지 부재(562)에 의하여 촬상된 스케일의 이미지를 기준으로 기준 부재(561)와 감지 부재(562) 사이의 상대 위치를 측정하고, 측정된 상대 위치를 기초로 수직 이동 부재(52)에 대한 스크라이빙 휠 홀더(53)의 수직 변위를 검출할 수 있다.
다른 예로서, 기준 부재(561)는 위치에 따라 반사 각도가 달라지는 반사면으로 구성될 수 있고, 감지 부재(562)는 반사면을 향하여 광을 발광하는 발광 센서와 반사면에서 반사되는 광을 수광하는 수광 센서로 구성될 수 있다. 이러한 경우, 반사면에서 반사되는 광의 반사 각도를 측정하는 것에 의해, 기준 부재(561)와 감지 부재(562) 사이의 상대 위치를 측정하고, 측정된 상대 위치를 기초로 수직 이동 부재(52)에 대한 스크라이빙 휠 홀더(53)의 수직 변위를 검출할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 제어 유닛(90)은 수직 변위 검출 모듈(56) 및 수직 이동 모듈(55)과 연결된다. 제어 유닛(90)은 수직 변위 검출 모듈(56)에 의해 검출된 스크라이빙 휠 홀더(53)의 수직 변위를 기초로 수직 이동 모듈(55)을 제어하며, 이에 따라, 수직 이동 부재(52)가 수직 이동 모듈(55)에 의해 Z축 방향으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 가압 모듈(57)이 수직 이동 부재(52)와 함께 Z축 방향으로 이동될 수 있고, 이에 따라, 가압 모듈(57)과 연결된 스크라이빙 휠 홀더(53)와 스크라이빙 휠(54)이 Z축 방향으로 이동될 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 기판(S)의 볼록부(S1)를 따라 스크라이빙 휠(54)이 상승하는 경우에는 스크라이빙 휠 홀더(53)가 수직 이동 부재(52)에 대하여 상승한다. 이때, 기준 부재(561) 및 감지 부재(562) 사이의 서로에 대한 상대 위치가 변화하며, 이에 따라, 스크라이빙 휠 홀더(53)의 수직 변위가 수직 변위 검출 모듈(56)에 의해 검출될 수 있다. 이때, 도 5에 도시된 바와 같이, 제어 유닛(90)은 수직 이동 모듈(55)을 제어하여 수직 이동 부재(52)를 상승시킨다. 이때, 수직 이동 부재(52)의 수직 변위는 스크라이빙 휠 홀더(53)의 수직 변위와 동일하다. 이와 같이, 스크라이빙 휠 홀더(53)의 수직 변위와 동일한 수직 변위로 수직 이동 부재(52)가 상승되므로, 가압 모듈(57)이 수직 이동 부재(52)와 함께 상승되면서, 가압 모듈(57)과 스크라이빙 휠 홀더(53) 사이의 간격이 미리 설정된 간격(즉, 일정하게 평탄한 기판(S)의 표면을 따라 스크라이빙 휠(54)이 주행할 때 가압 모듈(57)과 스크라이빙 휠 홀더(53) 사이의 간격)으로 일정하게 유지된다. 이에 따라, 가압 모듈(57)에 의해 스크라이빙 휠 홀더(53)를 통해 스크라이빙 휠(54)에 가해지는 가압력이 미리 설정된 가압력(즉, 일정하게 평탄한 기판(S)의 표면을 따라 스크라이빙 휠(54)이 주행할 때 스크라이빙 휠(54)에 가해지는 가압력)으로 일정하게 유지된다. 따라서, 기판(S)의 표면에 대한 스크라이빙 휠(54)의 수직 위치가 일정하게 유지될 수 있다. 따라서, 기판(S)의 표면으로의 스크라이빙 휠(54)의 절삭 깊이가 스크라이빙 라인을 따라 일정하게 유지될 수 있다. 따라서, 기판(S)의 평탄도가 균일하지 않은 경우에도, 즉, 기판(S)의 표면의 높이가 변화하는 경우에도, 기판(S)에 일정한 깊이를 갖는 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다.
마찬가지로, 도 6에 도시된 바와 같이, 기판(S)의 오목부(S2)로 인해 스크라이빙 휠(54)이 하강하는 경우에는 스크라이빙 휠 홀더(53)가 수직 이동 부재(52)에 대하여 하강한다. 이때, 기준 부재(561) 및 감지 부재(562) 사이의 서로에 대한 상대 위치가 변화하며, 이에 따라, 스크라이빙 휠 홀더(53)의 수직 변위가 수직 변위 검출 모듈(56)에 의해 검출될 수 있다. 이때, 도 7에 도시된 바와 같이, 제어 유닛(90)은 수직 이동 모듈(55)을 제어하여 수직 이동 부재(52)를 하강시킨다. 이때, 수직 이동 부재(52)의 수직 변위는 스크라이빙 휠 홀더(53)의 수직 변위와 동일하다. 이와 같이, 스크라이빙 휠 홀더(53)의 수직 변위와 동일한 수직 변위로 수직 이동 부재(52)가 하강되므로, 가압 모듈(57)이 수직 이동 부재(52)와 함께 하강되면서, 가압 모듈(57)과 스크라이빙 휠 홀더(53) 사이의 간격이 미리 설정된 간격으로 일정하게 유지된다. 이에 따라, 가압 모듈(57)에 의해 스크라이빙 휠 홀더(53)를 통해 스크라이빙 휠(54)에 가해지는 가압력이 미리 설정된 가압력이 일정하게 유지된다. 따라서, 기판(S)의 표면에 대한 스크라이빙 휠(54)의 수직 위치가 일정하게 유지될 수 있다. 따라서, 기판(S)의 표면으로의 스크라이빙 휠(54)의 절삭 깊이가 스크라이빙 라인을 따라 일정하게 유지될 수 있다. 따라서, 기판(S)의 평탄도가 균일하지 않은 경우에도, 즉, 기판(S)의 표면의 높이가 변화하는 경우에도, 기판(S)에 일정한 깊이를 갖는 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 기판(S)의 표면의 수직 높이의 변화에 따른 스크라이빙 휠(54)의 수직 변위를 감지하고, 스크라이빙 휠(54)의 수직 변위에 응답하여 스크라이빙 휠(54)의 수직 위치를 조절함으로써, 기판(S)의 표면으로의 스크라이빙 휠(54)의 절삭 깊이를 일정하게 유지할 수 있다. 따라서, 기판(S)에 일정한 깊이를 갖는 스크라이빙 라인을 형성할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
10: 스테이지
20: 기판 이송 유닛
30: 스크라이빙 유닛
40: 프레임
50: 스크라이빙 헤드
51: 수평 이동 부재
52: 수직 이동 부재
53: 스크라이빙 휠 홀더
54: 스크라이빙 휠
55: 수직 이동 모듈

Claims (3)

  1. 기판에 대하여 수직으로 이동 가능하게 구성되는 수직 이동 부재;
    상기 수직 이동 부재에 연결되며 상기 수직 이동 부재에 대하여 수직으로 상대 이동 가능하게 구성되는 스크라이빙 휠 홀더;
    상기 스크라이빙 휠 홀더에 장착되고 상기 기판의 표면에 접촉 가능하게 구성되는 스크라이빙 휠;
    상기 수직 이동 부재와 연결되어 상기 수직 이동 부재를 수직으로 이동시키도록 구성되는 수직 이동 모듈;
    상기 수직 이동 부재에 장착되고 상기 스크라이빙 휠 홀더에 연결되며 상기 스크라이빙 휠 홀더에 상기 기판을 향하는 방향으로 일정한 가압력을 부여하는 가압 모듈;
    상기 기판의 요철에 따른 상기 스크라이빙 휠의 수직 위치 변화에 따라 상기 스크라이빙 휠 홀더가 상기 수직 이동 부재에 대해 수직으로 상대 이동할 때, 상기 수직 이동 부재에 대한 상기 스크라이빙 휠 홀더의 수직 변위를 검출하는 수직 변위 검출 모듈; 및
    상기 수직 변위 검출 모듈에 의해 검출된 상기 스크라이빙 휠 홀더의 수직 변위와 동일한 수직 변위로 상기 수직 이동 부재를 이동시키도록 상기 수직 이동 모듈을 제어하는 제어 유닛을 포함하는 스크라이빙 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 가압 모듈은 유체 공급원과 연결되어 상기 가압력으로서 유체 압력을 가하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 가압 모듈은 상기 가압력으로서 탄성력을 가하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
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KR20220051714A (ko) * 2020-10-19 2022-04-26 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치

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