KR20210011026A - 슬라이딩 부품 - Google Patents

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KR20210011026A
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테츠조 오카다
마사토시 이타다니
타케시 호소에
유키 사사키
케이타 카지하라
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이구루코교 가부시기가이샤
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Abstract

[과제] 회전 방향에 관계없이 밀봉성 및 윤활성을 발휘할 수 있는 슬라이딩 부품을 제공하는 것을 목적으로 한다.
[해결 수단] 서로 상대 슬라이딩하는 한 쌍의 슬라이딩 부품(4, 7)으로서, 한 쌍의 슬라이딩 부품(4, 7)은, 서로 상대 슬라이딩하는 슬라이딩면(S), 그리고, 피밀봉 유체측 주연(16) 및 누설측 주연(15)을 갖고, 한 쌍의 슬라이딩 부품(4, 7) 중 적어도 한쪽의 슬라이딩 부품(4)의 슬라이딩면(S)은, 피밀봉 유체측 주연(16)에 연통하는 유체 도입홈(13)과, 일단이 유체 도입홈(13)에 연통함과 동시에 타단이 랜드부(R1)에 의해 둘러싸이는 제1 압력 발생 기구(12)와, 일단이 누설측 주연(15)에 연통함과 동시에 타단이 환상(環狀) 랜드부(R2)에 의해 둘러싸이는 제2 압력 발생 기구(11)를 구비하고, 유체 도입홈(13)과 제1 압력 발생 기구(12)의 타단(12e)은, 둘레 방향으로 겹치는 겹침부(Lp)를 구비한다.

Description

슬라이딩 부품
본 발명은, 예를 들면, 메커니컬 시일, 베어링, 그 외, 슬라이딩부에 적합한 슬라이딩 부품에 관한 것이다. 특히, 슬라이딩면에 유체를 개재시켜 마찰을 저감시킴과 동시에, 슬라이딩면으로부터 유체가 누설되는 것을 방지할 필요가 있는 밀봉환, 예를 들면, 터보 차저용 혹은 항공 엔진용의 기어 박스에 사용되는 오일 시일, 또는 베어링 등의 슬라이딩 부품에 관한 것이다.
예를 들면, 도 9에 나타내는 바와 같이, 서로 상대 슬라이딩하는 한 쌍의 슬라이딩 부품 중, 피밀봉 유체측의 회전측 밀봉환(4)의 슬라이딩면(S)에는, 슬라이딩면(S)의 피밀봉 유체측의 주연에 연통하고, 누설측의 주연에는 연통하지 않도록 구성된 유체 도입홈(43)과, 유체 도입홈(43)에 연통하는 정압 발생홈(42)과, 슬라이딩면(S)의 누설측의 주연에 연통하고, 피밀봉 유체측의 주연에는 연통하지 않도록 구성된 동압 발생홈(41)을 마련하는 것이 알려져 있다. 이에 따라, 저속 회전 상태에 있어서, 유체 도입홈(43)에 의해 유체가 적극적으로 슬라이딩면에 도입되어, 슬라이딩면(S)의 윤활을 행할 수 있다. 또한, 정상(定常) 운전 등의 회전측 밀봉환의 고속 회전 상태에 있어서, 동압 발생홈(41)에 의해 발생하는 동압에 의해, 회전측 밀봉환과 고정측 밀봉환의 슬라이딩면에 근소한 간극이 형성되고, 슬라이딩면은 유체 윤활의 상태가 되어 매우 저마찰로 할 수 있다. 동시에, 누설측에 존재하는 유체가 피밀봉 유체측을 향하여 펌핑되기 때문에, 피밀봉 유체측의 유체가 누설측으로 누설되는 것을 방지할 수 있다.(예를 들면, 특허문헌 1 참조)
국제공개 제2016/167262호 팸플릿(도 7)
그러나, 상기의 특허문헌 1의 종래 기술에 있어서는, 회전측 밀봉환(4)이, 도 9의 화살표와 반대인 반시계 방향으로 회전한 경우에 대해서 충분히 고려되어 있지 않았다. 즉, 회전측 밀봉환(4)이 역회전하면, 스파이럴홈(41)은 충분한 동압을 발생시킬 수 없기 때문에, 스파이럴홈(41)은 누설측의 유체를 피밀봉 유체측을 향하여 충분한 펌핑을 할 수 없게 된다. 그러나, 역회전한 경우에는, 정압 발생홈(42)이 반대로 부압을 발생시키기 때문에, 스파이럴홈(41)으로부터의 유체는 부압이 된 정압 발생홈(42) 내로 흡입되기 때문에, 스파이럴홈(41)의 펌핑 작용의 저하를 보충할 수 있다. 그런데, 인접한 정압 발생홈(42) 사이의 누설 영역의 둘레 방향 극간(CH)은, 정압 발생홈(42)의 부압의 영향이 미치지 않기 때문에, 피밀봉 유체측으로부터 누설측으로 유체가 흐르는 누설 영역이 되어 버린다. 이 때문에, 역회전시와 같이 스파이럴홈(41)이 충분한 동압을 발생시킬 수 없는 경우에는, 누설 영역(CH)을 흐르는 유체를 되돌릴 수 없어, 밀봉성을 충분히 유지할 수 없었다.
본 발명은 이러한 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 회전 방향에 관계없이 밀봉성을 발휘할 수 있는 슬라이딩 부품을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 슬라이딩 부품은,
서로 상대 슬라이딩하는 한 쌍의 슬라이딩 부품으로서,
한 쌍의 상기 슬라이딩 부품은, 서로 상대 슬라이딩하는 슬라이딩면, 피밀봉 유체측 주연 및 누설측 주연을 갖고,
한 쌍의 상기 슬라이딩 부품 중 적어도 한쪽의 상기 슬라이딩 부품의 상기 슬라이딩면은, 상기 피밀봉 유체측 주연에 연통하는 유체 도입홈과,
일단이 상기 유체 도입홈에 연통함과 동시에 타단이 랜드부에 의해 둘러싸이는 제1 압력 발생 기구와,
일단이 상기 누설측 주연에 연통함과 동시에 타단이 환상(環狀) 랜드부에 의해 둘러싸이는 제2 압력 발생 기구를 구비하고,
상기 유체 도입홈과, 상기 제1 압력 발생 기구의 상기 타단은, 둘레 방향으로 겹치는 겹침부를 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 유체 도입홈에 의해 유체가 적극적으로 슬라이딩면에 도입되어, 슬라이딩면의 윤활을 행할 수 있음과 동시에, 유체 도입홈과, 제1 압력 발생 기구의 단부는 둘레 방향으로 겹치는 겹침부를 구비함으로써 누설 영역을 좁힐 수 있기 때문에, 누설을 저감할 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
상기 유체 도입홈은, 상기 제1 압력 발생 기구의 상기 타단과 대향하는 경사 벽부를 갖고,
상기 경사 벽부는, 당해 경사 벽부와 상기 피밀봉 유체측 주연의 교점과, 한쪽의 상기 슬라이딩 부품의 중심을 연결한 지름 방향축에 대하여, 상기 제1 압력 발생 기구의 상기 일단에 접근하는 방향으로 경사지는 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 유체 도입홈의 경사 벽부는, 당해 경사 벽부와 피밀봉 유체측 주연의 교점과, 한쪽의 슬라이딩 부품의 중심을 연결한 지름 방향축에 대하여 제1 압력 발생 기구에 접근하는 방향으로 경사지기 때문에, 용이하게 겹침부를 형성하여 누설 영역을 좁힐 수 있기 때문에, 누설을 저감할 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
상기 유체 도입홈 및 상기 제1 압력 발생 기구는, 상기 환상 랜드부보다도 상기 피밀봉 유체측 주연 가까이에 배설(配設)되는 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 유체 도입홈 및 제1 압력 발생 기구는, 환상 랜드부보다도 피밀봉 유체측 주연측에 배설됨으로써, 제1 압력 발생 기구와 제2 압력 발생 기구는 환상 랜드부에 의해 분리되기 때문에, 제1 압력 발생 기구와 제2 압력 발생 기구의 간섭을 방지할 수 있고, 정지(靜止)시에 있어서도 누설이 발생하는 일이 없다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
상기 유체 도입홈은 사다리꼴 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 사다리꼴 형상의 비스듬한 변을 이용하여 용이하게 겹침부를 형성할 수 있어, 누설 영역을 좁힐 수 있기 때문에, 누설을 저감할 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
상기 유체 도입홈은 삼각형으로 형성되는 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 삼각 형상의 유체 도입홈은 지름 방향폭을 작게 할 수 있기 때문에, 좁은 곳이라도 유체 도입홈과 제1 압력 발생 기구의 겹침부를 크게 하여, 누설 영역을 좁힐 수 있기 때문에, 누설을 저감할 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
제1 압력 발생 기구, 제2 압력 발생 기구는 홈부로 구성되는 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 제1 압력 발생 기구, 제2 압력 발생 기구를 용이하게 형성할 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
제1 압력 발생 기구, 제2 압력 발생 기구는 딤플군으로 구성되는 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 딤플군에 의해 소망하는 형상을 갖는 제1 압력 발생 기구, 제2 압력 발생 기구를 용이하게 구성할 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
상기 유체 도입홈의 깊이는, 상기 제1 압력 발생 기구의 깊이보다 깊은 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 유체 도입홈은, 피밀봉 유체측으로부터 유체를 취입하여, 기동시 등의 저속 회전 상태에 있어서 유체 윤활 상태가 충분하지 않을 때라도, 슬라이딩면에 유체를 공급하여, 슬라이딩면의 윤활에 기여할 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
상기 유체 도입홈의 깊이는, 상기 제1 압력 발생 기구의 깊이와 동일한 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 유체 도입홈의 단면적을 작게 함으로써, 누설 영역의 단면적을 작게 할 수 있기 때문에, 누설을 저감할 수 있다.
도 1은 실시예 1에 따른 메커니컬 시일의 일례를 나타내는 종단면도이다.
도 2는 도 1의 W-W 화살표 방향에서 보았을 때 실시예 1의 회전측 밀봉환의 슬라이딩면을 나타내는 도면이다.
도 3은 도 1의 W-W 화살표 방향에서 보았을 때 실시예 2의 회전측 밀봉환의 슬라이딩면을 나타내는 도면이다.
도 4는 도 1의 W-W 화살표 방향에서 보았을 때 실시예 3의 회전측 밀봉환의 슬라이딩면을 나타내는 도면이다.
도 5는 도 1의 W-W 화살표 방향에서 보았을 때 실시예 4의 회전측 밀봉환의 슬라이딩면을 나타내는 도면이다.
도 6은 도 1의 W-W 화살표 방향에서 보았을 때 실시예 5의 회전측 밀봉환의 슬라이딩면을 나타내는 도면이다.
도 7은 도 1의 W-W 화살표 방향에서 보았을 때 실시예 6의 회전측 밀봉환의 슬라이딩면을 나타내는 도면이다.
도 8은 도 1의 W-W 화살표 방향에서 보았을 때 실시예 7의 회전측 밀봉환의 슬라이딩면을 나타내는 도면이다.
도 9는 종래예의 회전측 밀봉환의 슬라이딩면을 나타내는 도면이다.
이하에 도면을 참조하여, 본 발명을 실시하기 위한 형태를, 실시예에 기초하여 예시적으로 설명한다. 단, 이 실시예에 기재되어 있는 구성 부품의 치수, 재질, 형상, 그 상대적 배치 등은, 특별히 명시적인 기재가 없는 한, 본 발명의 범위를 그들에만 한정하는 취지의 것은 아니다.
실시예 1
도 1 및 도 2를 참조하여, 본 발명의 실시예 1에 따른 슬라이딩 부품에 대해서 설명한다.
또한, 실시예 1에 있어서는, 슬라이딩 부품의 일례인 메커니컬 시일에 대해서 설명한다. 실시예 1에 있어서는, 메커니컬 시일을 구성하는 슬라이딩 부품의 내주측을 피밀봉 유체측(액체측 혹은 미스트 상태의 유체측), 외주측을 누설측(기체측)으로 하여 설명하지만, 본 발명은 이에 한정되는 일 없이, 내주측이 누설측(기체측), 외주측이 피밀봉 유체측(액체측 혹은 미스트 상태의 유체측)인 경우도 적용 가능하다. 또한, 피밀봉 유체측(액체측 혹은 미스트 상태의 유체측)과 누설측(기체측)의 압력의 대소 관계에 대해서는, 예를 들면, 피밀봉 유체측(액체측 혹은 미스트 상태의 유체측)이 고압, 누설측(기체측)이 저압, 혹은, 그 반대의 어느 것이라도 좋고, 또한, 양쪽의 압력이 동일해도 좋다.
도 1의 메커니컬 시일(1)은, 회전축(2)측에 장착된 슬리브(3)와 일체로 회전 가능한 회전측 밀봉환(4), 또한, 축방향 이동 가능한 상태에서 마련된 다른 한쪽의 슬라이딩 부품인 원환상의 고정측 밀봉환(7)과, 고정측 밀봉환(7)을 축방향으로 부세(付勢)하는 코일드 웨이브 스프링(8)을 구비하고, 경면 마무리된 슬라이딩면(S)끼리 밀접 슬라이딩하게 되어 있다.
즉, 이 메커니컬 시일(1)은, 회전측 밀봉환(4) 및 고정측 밀봉환(7)은 반경 방향으로 형성된 슬라이딩면(S)을 갖고, 서로의 슬라이딩면(S)에 있어서, 피밀봉 유체, 예를 들면, 액체 혹은 미스트 상태의 유체(이하, 단순히 「액체」라고 하는 경우가 있음.)가 슬라이딩면(S)의 내주로부터 외주측의 누설측으로 유출되는 것을 방지하는 것이다. 또한, 부호 9는 O링을 나타내고 있고, 카트리지(6)와 고정측 밀봉환(7) 사이를 시일하는 것이다. 또한, 본 예에서는, 슬리브(3)와 회전측 밀봉환(4)이 별체인 경우에 대해서 설명하고 있지만, 이에 한정하지 않고, 슬리브(3)와 회전측 밀봉환(4)을 일체로 형성해도 좋다.
회전측 밀봉환(4) 및 고정측 밀봉환(7)의 재질은, 내마모성이 우수한 탄화 규소(SiC) 및 자기 윤활성이 우수한 카본 등으로부터 선정되지만, 예를 들면, 양자가 SiC, 혹은, 어느 한쪽이 SiC이며 다른 한쪽이 카본인 조합도 가능하다.
도 2는, 본 발명의 실시예 1에 따른 슬라이딩 부품의 회전측 밀봉환(4)의 슬라이딩면(S)을 나타낸 것이다. 회전측 밀봉환(4)의 슬라이딩면(S)의 외주측이 누설측, 예를 들면 기체측이며, 또한, 내주측이 피밀봉 유체측, 예를 들면 액체측이며, 회전측 밀봉환(4)은 화살표로 나타내는 바와 같이 시계 방향으로 회전하는 것으로 한다.
도 2에 있어서, 회전측 밀봉환(4)의 슬라이딩면(S)은, 유체 도입홈(13), 정압 발생홈(12)(본 발명에 따른 제1 압력 발생 기구) 및 스파이럴홈(11)(본 발명에 따른 제2 압력 발생 기구)을 구비한다. 정압 발생홈(12) 및 유체 도입홈(13)은 환상 랜드부(R2)보다도 피밀봉 유체측 주연(16) 가까이에 배설되고, 또한, 스파이럴홈(11)은 환상 랜드부(R2)보다도 누설측 주연(15) 가까이에 배설되어 있다. 또한, 유체 도입홈(13) 및 정압 발생홈(12)은, 피밀봉 유체측 주연(16)을 둘러싸도록 둘레 방향으로 소정수(도 2의 실시예에서는 12개) 등배(等配)로 마련되어 있다. 또한, 본 명세서에 있어서, 소정수란, 실시예에 한정하지 않고, 피밀봉 유체측 주연(16)을 둘러쌀 수 있으면 1개 이상이면 좋다. 또한, 등배에 한정하지 않는다. 스파이럴홈(11)의 개수, 형상도 조건에 따라 바꿀 수 있다.
도 2에 있어서, 유체 도입홈(13)은, 축방향에서 보았을 때 사다리꼴 형상으로 형성되고, 개구부(13a)만이 피밀봉 유체측으로 개구하고, 다른 부분은 랜드부에 의해 둘러싸여 폐색되는 홈이다. 구체적으로는, 유체 도입홈(13)은, 피밀봉 유체측 주연(16)으로 개구하는 개구부(13a), 개구부(13a)에 대향하는 위치에는 환상 랜드부(R2)에 둘러싸이는 벽부(13c), 개구부(13a)에 인접하고, 후술하는 정압 발생홈(12)의 개구부(12a)에 연통하는 개구부 측벽부(13b), 후술하는 정압 발생홈(12)의 지단부(止端部; 12e)(레일리 스텝(12e))와 랜드부(R1)를 사이에 끼워 대향하는 경사 벽부(13d)를 갖는다. 경사 벽부(13d)와 피밀봉 유체측 주연(16)의 교점(P)과, 회전측 밀봉환(4)의 중심(O)을 연결한 지름 방향축(r)에 대하여, 경사 벽부(13d)는 개구부 측벽부(13b)(정압 발생홈(12)의 개구부(12a))에 접근하는 방향으로 경사진다. 즉, 경사 벽부(13d)는 유체 도입홈(13)의 축방향에서 보았을 때의 면적이 작아지는 방향으로 경사진다. 또한, 유체 도입홈(13)의 깊이는, 정압 발생홈(12) 및 스파이럴홈(11)보다 충분히 깊게 설정되고, 예를 들면, 10μm~500μm 정도로 설정된다.
정압 발생홈(12)(본 발명에 따른 제1 압력 발생 기구)은 소정의 길이를 갖는 호상(弧狀)의 홈이다. 정압 발생홈(12)은 긴 쪽 방향의 일단에 개구부(12a)(본 발명에 있어서의 제1 압력 발생 기구의 일단), 긴 쪽 방향의 타단에 지단부(12e)(본 발명에 있어서의 제1 압력 발생 기구의 타단), 짧은 쪽 방향으로 한 쌍의 벽부(12b, 12c)를 갖는다. 개구부(12a)는 유체 도입홈(13)에 연통하고, 지단부(12e) 및 벽부(12b)는 랜드부(R1)에 의해 둘러싸이고, 벽부(12c)는 환상 랜드부(R2)에 의해 둘러싸여 있다. 또한, 정압 발생홈(12)의 깊이는, 0.1μm~10μm 정도로 설정된다.
스파이럴홈(11)(본 발명에 따른 제2 압력 발생 기구)은, 누설측 주연(15)으로 개구하는 개구부(11a)(본 발명에 따른 제2 압력 발생 기구의 일단), 긴 쪽 방향의 다른 한쪽의 단부에 환상 랜드부(R2)에 둘러싸인 폐색 단부(11e)(본 발명에 따른 제2 압력 발생 기구의 타단)를 갖고, 짧은 쪽 방향으로는 랜드부(R3)에 둘러싸이는 한 쌍의 벽부(11b, 11c)를 갖는다. 스파이럴홈(11)과 랜드부(R3)는, 번갈아 둘레 방향으로 소정 개수(도 2의 예에서는 60개), 등간격으로 배설된다. 이에 따라, 각 스파이럴홈(11)은 랜드부(R3)에 의해 분리된다. 또한, 스파이럴홈(11)의 폐색 단부(11e)측은, 둘레 방향으로 연속한 원환상 랜드부(R2)에 의해 둘러싸인다. 이에 따라, 스파이럴홈(11)은, 환상 랜드부(R2)에 의해 유체 도입홈(13) 및 정압 발생홈(12)과 분리된다. 여기에서, 환상 랜드부(R2)는, 스파이럴홈(11)의 폐색 단부(11e)를 둘레 방향으로 늘어놓아 형성되는 원과, 스파이럴홈(11)의 폐색 단부(11e)에 대향하는 정압 발생홈(12)의 벽부(12c)를 둘레 방향으로 늘어놓아 형성되는 원에 의해 구획되는 둘레 방향으로 연속한 원환상의 랜드부이다. 또한, 스파이럴홈(11)과 랜드부(R3)의 개수는, 60개에 한정하지 않고, 60개보다 많아도, 적어도 좋다.
이와 같이 구성된 실시예 1에 따른 슬라이딩 부품의 작용 효과에 대해서 설명한다.
유체 도입홈(13)은, 피밀봉 유체측 주연(16)에 연통하는 개구부(13a)로부터 피밀봉 유체측으로부터 유체 도입홈(13) 내로 유체를 취입하여, 기동시 등의 저속 회전 상태에 있어서 유체 윤활 상태가 충분하지 않을 때라도, 슬라이딩면(S)에 유체를 공급하여, 슬라이딩면(S)의 윤활에 기여할 수 있다. 또한, 유체 도입홈(13)을 사다리꼴로 형성함으로써, 유체 도입홈(13)의 개구부(13a)를 크게 할 수 있기 때문에, 유체 도입홈(13) 내로 유체를 충분히 취입할 수 있다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 회전측 밀봉환(4)이 시계 방향으로 회전하면, 유체 도입홈(13)에 도입된 유체는, 유체 도입홈(13)에 연통하는 정압 발생홈(12) 내로 유체의 점성에 의해 인입된다. 정압 발생홈(12) 내로 인입된 유체는 지단부(12e) 부근에서 막혀 동압(정압)이 발생한다. 이 정압에 의해, 슬라이딩면 간의 유체막을 증가시켜, 윤활 성능을 향상시킨다. 이 정압 발생홈(12)은, 특히, 기동시 등의 회전측 밀봉환(4)의 저속 회전 상태에 있어서도 정압(동압)을 발생시키기 때문에, 슬라이딩면에 있어서의 저속시의 액막이 증대되어, 저속시에 있어서의 윤활 성능을 향상시킬 수 있다. 또한, 정압 발생홈(12)의 지단부(12e)는, 정압 발생홈(12)의 긴 쪽 방향으로 끝이 가늘게 형성되어 있기 때문에, 정압 발생홈(12) 내로 인입된 유체가 줄어들어, 지단부(12e) 부근에서의 승압 작용을 더욱 높일 수 있다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 회전측 밀봉환(4)이 시계 방향으로 회전하면, 스파이럴홈(11)은, 누설측 주연(15)에 연통하는 개구부(11a)로부터 유체를 흡입하여, 폐색 단부(11e) 부근에서 동압(정압)이 발생한다. 이 동압에 의해 회전측 밀봉환(4)과 고정측 밀봉환(7)의 슬라이딩면(S)의 간극이 커지고, 슬라이딩면(S)은 유체 윤활 상태가 되어 매우 저마찰이 된다. 동시에, 스파이럴홈(11)에 의해 유체가 누설측으로부터 피밀봉 유체측을 향하여 펌핑되기 때문에, 피밀봉 유체측의 유체의 누설측으로의 누설이 방지되어, 밀봉성이 향상된다. 또한, 스파이럴홈(11)과 정압 발생홈(12)은 환상 랜드부(R2)에 의해 분리되기 때문에, 스파이럴홈(11)과 정압 발생홈(12)의 간섭을 방지할 수 있고, 정지시에 있어서도 누설이 발생하는 일이 없다.
사다리꼴 형상의 유체 도입홈(13)의 경사 벽부(13d)를 이용하여, 경사 벽부(13d)와, 정압 발생홈(12)의 단부의 지단부(12e)는, 용이하게 겹침부(Lp)를 형성할 수 있다. 또한, 겹침부(Lp)를 마련함으로써, 정압 발생홈(12)의 개구부(12a)와 랜드부(R1)를 사이에 끼워 대향하는 지단부(12e)의 극간(이하 「누설 영역」이라고 기재함.)의 둘레 방향폭(CH)을 좁힐 수 있다. 즉, 인접한 유체 도입홈(13)과 정압 발생홈(12)의 지단부(12e)가 오버랩되지 않는 누설 영역의 둘레 방향폭(CH)을 좁힐 수 있다.
회전측 밀봉환(4)이, 도 2의 화살표와 반대인 반시계 방향으로 회전한 경우에는, 스파이럴홈(11)은, 누설측의 유체를 피밀봉 유체측으로 펌프업하는 펌핑 작용이 저하되어 버린다. 한편, 역회전한 경우에는, 정압 발생홈(12) 내에는 반대로 부압이 발생한다. 이에 따라, 스파이럴홈(11)으로부터 토출되는 유체는 부압이 된 정압 발생홈(12) 내로 흡입되기 때문에, 역회전시의 스파이럴홈(11)의 펌핑 작용의 저하를 보충할 수 있다. 그러나, 누설 영역에 있어서는, 정압 발생홈(12)의 부압에 의한 흡입의 효과가 미치지 않기 때문에, 피밀봉 유체측으로부터 누설 영역을 통하여 누설측으로 유체가 누설되어 버린다. 그래서, 겹침부(Lp)를 마련함으로써 누설 영역의 둘레 방향폭(CH)을 좁힐 수 있기 때문에, 역회전시와 같이 스파이럴홈(11)이 충분한 동압을 발생시킬 수 없는 경우라도, 누설 영역을 흐르는 유체를 저감할 수 있어, 밀봉성을 유지할 수 있다.
실시예 2
본 발명의 실시예 2에 따른 슬라이딩 부품에 대해서 설명한다. 도 3은 실시예 2에 따른 슬라이딩 부품의 회전측 밀봉환(4)의 슬라이딩면(S)을 나타낸 것으로, 유체 도입홈(23)의 형상이 실시예 1과 상위할 뿐이며, 다른 구성은 실시예 1과 동일하다. 이하, 실시예 1과 동일한 부재에는 동일한 부호를 붙이고, 중복하는 설명은 생략한다.
도 3에 있어서, 회전측 밀봉환(4)의 슬라이딩면(S)은, 유체 도입홈(23), 정압 발생홈(22)(본 발명에 따른 제1 압력 발생 기구) 및 스파이럴홈(21)(본 발명에 따른 제2 압력 발생 기구)을 구비한다. 정압 발생홈(22) 및 유체 도입홈(23)은, 환상 랜드부(R2)보다도 피밀봉 유체측 주연(16) 가까이에 배설되고, 또한, 스파이럴홈(21)은 환상 랜드부(R2)보다도 누설측 주연(15) 가까이에 배설되어 있다. 또한, 유체 도입홈(23) 및 정압 발생홈(22)은, 피밀봉 유체측 주연(16)을 둘러싸도록 둘레 방향으로 소정수(도 3의 실시예에서는 12개) 등배로 마련되어 있다.
도 3에 있어서, 유체 도입홈(23)은 정압 발생홈(22)과 대략 동등한 폭을 갖고, 축방향에서 보았을 때 사다리꼴 형상으로 형성되고, 개구부(23a)만이 피밀봉 유체측 주연(16)으로 개구한다. 구체적으로는, 유체 도입홈(23)은, 피밀봉 유체측 주연(16)으로 개구하는 개구부(23a), 개구부(23a)에 대향하는 위치에는 후술하는 정압 발생홈(22)의 개구부(22a)에 연통하는 개구부 측벽부(23c), 피밀봉 유체측 주연(16)과 랜드부(R1)를 사이에 끼워 대향하는 경사 벽부(23b), 정압 발생홈(22)의 지단부(22e)와 대향하는 경사 벽부(23d)를 갖는다. 경사 벽부(23d)와 피밀봉 유체측 주연(16)의 교점(P)과, 회전측 밀봉환(4)의 중심(O)을 연결한 지름 방향축(r)에 대하여, 경사 벽부(23d)는 개구부 측벽부(23c)(정압 발생홈(22)의 개구부(22a))에 접근하는 방향으로 경사진다. 즉, 경사 벽부(23d)는 유체 도입홈(23)의 축방향에서 보았을 때의 면적이 작아지는 방향으로 경사진다.
정압 발생홈(22)(본 발명에 따른 제1 압력 발생 기구)은 소정의 길이를 갖는 호상의 홈이다. 정압 발생홈(22)은 긴 쪽 방향의 일단에 개구부(22a)(본 발명에 있어서의 제1 압력 발생 기구의 일단), 긴 쪽 방향의 타단에 지단부(22e)(본 발명에 있어서의 제1 압력 발생 기구의 타단), 짧은 쪽 방향으로 한 쌍의 벽부(22b, 22c)를 갖는다. 개구부(22a)는 유체 도입홈(23)에 연통하고, 지단부(22e) 및 벽부(22b)는 랜드부(R1)에 의해 둘러싸이고, 벽부(22c)는 환상 랜드부(R2)에 의해 둘러싸여 있다. 또한, 정압 발생홈(22)의 깊이는, 0.1μm~10μm 정도로 설정된다.
스파이럴홈(21)(본 발명에 따른 제2 압력 발생 기구)은, 누설측 주연(15)으로 개구하는 개구부(21a)(본 발명에 따른 제2 압력 발생 기구의 일단), 긴 쪽 방향의 다른 한쪽의 단부에 환상 랜드부(R2)에 둘러싸인 폐색 단부(21e)(본 발명에 따른 제2 압력 발생 기구의 타단)를 갖고, 짧은 쪽 방향으로는 랜드부(R3)에 둘러싸이는 한 쌍의 벽부(21b, 21c)를 갖는다. 스파이럴홈(21)과 랜드부(R3)는, 번갈아 둘레 방향으로 소정 개수(도 2의 예에서는 60개), 등간격으로 배설된다. 이에 따라, 각 스파이럴홈(21)은 랜드부(R3)에 의해 분리된다. 또한, 스파이럴홈(21)의 폐색 단부(21e)측은, 둘레 방향으로 연속한 원환상 랜드부(R2)에 의해 둘러싸인다. 이에 따라, 스파이럴홈(21)은, 환상 랜드부(R2)에 의해 유체 도입홈(23) 및 정압 발생홈(22)과 분리된다. 여기에서, 환상 랜드부(R2)는, 스파이럴홈(21)의 폐색 단부(21e)를 둘레 방향으로 늘어놓아 형성되는 원과, 스파이럴홈(21)의 폐색 단부(21e)에 대향하는 정압 발생홈(22)의 벽부(22c)를 둘레 방향으로 늘어놓아 형성되는 원에 의해 구획되는 둘레 방향으로 연속한 원환상의 랜드부이다.
이와 같이 구성된 실시예 2에 따른 슬라이딩 부품의 작용 효과에 대해서 설명한다. 또한, 스파이럴홈(21)의 구성은 실시예 1의 스파이럴홈(11)의 구성과 동일하기 때문에, 중복하는 설명은 생략한다.
유체 도입홈(23)은, 피밀봉 유체측 주연(16)에 대하여 경사져 배치되기 때문에, 회전하는 피밀봉 유체측의 유체를 저저항으로 개구부(23a)로부터 유체 도입홈(23) 내로 취입할 수 있다. 이에 따라, 기동시 등의 저속 회전 상태에 있어서 유체 윤활 상태가 충분하지 않을 때라도, 슬라이딩면(S)에 유체를 공급하여, 슬라이딩면(S)의 윤활에 기여할 수 있다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 회전측 밀봉환(4)이 시계 방향으로 회전하면, 피밀봉측 유체는, 개구부(23a)로부터 유체 도입홈(23)을 통하여 정압 발생홈(22)으로 유입된다. 정압 발생홈(22)으로 유입된 유체는, 지단부(22e)에서 막혀 높은 정압이 발생하고, 이 정압에 의해 슬라이딩면 간의 유체막을 증가시켜, 윤활 성능을 향상시킬 수 있다. 스파이럴홈(21)은, 누설측 주연(15)에 연통하는 개구부(21a)로부터 유체를 흡입하여, 내주측의 폐색 단부(21e) 부근에서 동압(정압)이 발생한다. 이 동압에 의해 회전측 밀봉환(4)과 고정측 밀봉환(7)의 슬라이딩면(S)의 간극이 커지고, 슬라이딩면(S)은 유체 윤활의 상태가 되어 매우 저마찰이 된다. 동시에, 스파이럴홈(21)에 의해 유체가 누설측으로부터 피밀봉 유체측을 향하여 펌핑되기 때문에, 피밀봉 유체측 유체의 누설측으로의 누설이 방지되어, 밀봉성이 향상된다.
또한, 유체 도입홈(23)과, 당해 유체 도입홈(23)과 랜드부(R1)를 사이에 끼워 대향하는 정압 발생홈(22)의 지단부(22e)는, 둘레 방향으로 겹치는 겹침부(Lp)를 구성한다. 겹침부(Lp)를 마련함으로써, 정압 발생홈(22)의 개구부(22a)와 유체 도입홈(23)을 사이에 끼워 대향하는 지단부(22e)의 극간(이하 「누설 영역」이라고 기재함.)의 둘레 방향폭(CH)을 좁힐 수 있다. 즉, 유체 도입홈(23)과 정압 발생홈(22)의 지단부(22e)가 오버랩되지 않는 누설 영역의 둘레 방향폭(CH)을 좁힐 수 있다. 이에 따라, 역회전시와 같이 스파이럴홈(21)이 충분한 펌핑 작용을 발휘할 수 없는 경우라도, 누설 영역을 흐르는 누설 흐름을 저감할 수 있다. 나아가서는 정압 발생홈(22) 내의 부압에 의한 펌핑 효과가 스파이럴홈(21)의 펌핑 효과의 저감을 보충할 수 있기 때문에, 역회전한 경우라도 밀봉성을 향상시킬 수 있다.
실시예 3
본 발명의 실시예 3에 따른 슬라이딩 부품에 대해서 설명한다. 도 4는 실시예 3에 따른 슬라이딩 부품의 회전측 밀봉환(4)의 슬라이딩면(S)을 나타낸 것으로, 유체 도입홈(33), 정압 발생홈(32)의 형상이 실시예 1, 2와 상위할 뿐이며, 다른 구성은 실시예 1, 2와 동일하다. 이하, 실시예 1, 2과 동일한 부재에는 동일한 부호를 붙이고, 중복하는 설명은 생략한다.
도 4에 있어서, 회전측 밀봉환(4)의 슬라이딩면(S)은, 유체 도입홈(33), 정압 발생홈(32)(본 발명에 따른 제1 압력 발생 기구) 및 스파이럴홈(31)(본 발명에 따른 제2 압력 발생 기구)을 구비한다. 정압 발생홈(32) 및 유체 도입홈(33)은, 환상 랜드부(R2)보다도 피밀봉 유체측 주연(16) 가까이에 배설되고, 또한, 스파이럴홈(31)은 환상 랜드부(R2)보다도 누설측 주연(15) 가까이에 배설되어 있다. 또한, 유체 도입홈(33) 및 정압 발생홈(32)은, 피밀봉 유체측 주연(16)을 둘러싸도록 둘레 방향으로 소정수(도 3의 실시예에서는 12개) 등배로 마련되어 있다.
도 4에 있어서, 유체 도입홈(33)은 축방향에서 보았을 때 삼각형으로 형성되고, 개구부(33a)만이 피밀봉 유체측 주연(16)으로 개구한다. 유체 도입홈(33)은, 피밀봉 유체측 주연(16)으로 개구하는 개구부(33a), 정압 발생홈(32)의 개구부(32a)에 연통하는 개구부 측벽부(33c), 정압 발생홈(32)의 지단부(32e)와 랜드부(R1)를 사이에 끼워 대향하는 경사 벽부(33d)를 갖는다. 경사 벽부(33d)와 피밀봉 유체측 주연(16)의 교점(P)과, 회전측 밀봉환(4)의 중심(O)을 연결한 지름 방향축(r)에 대하여, 경사 벽부(33d)는 개구부 측벽부(33c)(정압 발생홈(32)의 개구부(32a))에 접근하는 방향으로 경사진다. 즉, 경사 벽부(33d)는, 유체 도입홈(33)의 축방향에서 보았을 때의 면적이 교점(P)을 중심으로 작아지는 방향으로 경사진다.
정압 발생홈(32)(본 발명에 따른 제1 압력 발생 기구)은 소정의 길이를 갖는 호상의 홈이다. 정압 발생홈(32)은 긴 쪽 방향의 일단에 개구부(32a)(본 발명에 있어서의 제1 압력 발생 기구의 일단), 긴 쪽 방향의 타단에 지단부(32e)(본 발명에 있어서의 제1 압력 발생 기구의 타단), 짧은 쪽 방향으로 한 쌍의 벽부(32b, 32c)를 갖는다. 개구부(32a)는 유체 도입홈(33)에 연통하고, 지단부(32e) 및 벽부(32b)는 랜드부(R1)에 의해 둘러싸이고, 벽부(32c)는 환상 랜드부(R2)에 의해 둘러싸여 있다. 또한, 정압 발생홈(32)의 깊이는, 0.1μm~10μm 정도로 설정된다.
스파이럴홈(31)(본 발명에 따른 제2 압력 발생 기구)은, 누설측 주연(15)으로 개구하는 개구부(31a)(본 발명에 따른 제2 압력 발생 기구의 일단), 긴 쪽 방향의 다른 한쪽의 단부에 환상 랜드부(R2)에 둘러싸인 폐색 단부(31e)(본 발명에 따른 제2 압력 발생 기구의 타단)를 갖고, 짧은 쪽 방향으로는 랜드부(R3)에 둘러싸이는 한 쌍의 벽부(31b, 31c)를 갖는다. 스파이럴홈(31)과 랜드부(R3)는, 번갈아 둘레 방향으로 소정 개수(도 2의 예에서는 60개), 등간격으로 배설된다. 이에 따라, 각 스파이럴홈(31)은 랜드부(R3)에 의해 분리된다. 또한, 스파이럴홈(31)의 폐색 단부(31e)측은, 둘레 방향으로 연속한 원환상 랜드부(R2)에 의해 둘러싸인다. 이에 따라, 스파이럴홈(31)은, 환상 랜드부(R2)에 의해 유체 도입홈(33) 및 정압 발생홈(32)과 분리된다. 여기에서, 환상 랜드부(R2)는, 스파이럴홈(31)의 폐색 단부(31e)를 둘레 방향으로 늘어놓아 형성되는 원과, 스파이럴홈(31)의 폐색 단부(31e)에 대향하는 정압 발생홈(32)의 벽부(32c)를 둘레 방향으로 늘어놓아 형성되는 환상부에 의해 구획되는 둘레 방향으로 연속한 환상의 랜드부이다. 또한, 스파이럴홈(31)과 랜드부(R3)의 개수는, 60개에 한정하지 않고, 60개보다 많아도, 적어도 좋다.
이와 같이 구성된 실시예 3에 따른 슬라이딩 부품의 작용 효과에 대해서 설명한다. 스파이럴홈(31)은 실시예 1의 스파이럴홈(11)과 구성이 동일하기 때문에 설명을 생략한다.
정압 발생홈(32)은, 유체 도입홈(33)에 연통하는 상류측은 피밀봉 유체측 주연(16)측 가까이에, 하류측의 지단부(32e)는 스파이럴홈(31)측에 가까운 상태로 배설된다. 이에 따라, 정압 발생홈(32)은, 유체 도입홈(33)측으로부터 지단부(32e)를 향하여, 피밀봉 유체측으로부터 누설측으로 기울어 배치되기 때문에, 회전시에 유체 도입홈(33)으로부터 정압 발생홈(32) 내로 저손실로 효율 좋게 유체를 취입할 수 있어, 지단부(32e)에서 높은 정압이 발생하고, 이 정압에 의해 슬라이딩면 간의 유체막을 증가시켜, 윤활 성능을 향상시킬 수 있다.
또한, 삼각 형상의 유체 도입홈(33)은 지름 방향폭을 작게 할 수 있기 때문에, 좁은 곳이라도 유체 도입홈(33)과 정압 발생홈(32)의 겹침부(Lp)를 크게 할 수 있다. 도 4의 실시예에서는, 겹침부(Lp)를 크게 하여 누설 영역의 둘레 방향폭(CH)을 제로로 하고, 유체 도입홈(33)을 정압 발생홈(32)에 의해 환상으로 둘러쌀 수 있다.
또한, 유체 도입홈(33)과, 당해 유체 도입홈(33)과 랜드부(R1)를 사이에 끼워 대향하는 정압 발생홈(32)의 지단부(32e)는, 둘레 방향으로 겹치는 겹침부(Lp)를 구성한다. 겹침부(Lp)를 마련함으로써, 정압 발생홈(32)의 개구부(32a)와 랜드부(R1)를 사이에 끼워 대향하는 지단부(32e)는 완전히 오버랩된다. 이에 따라, 누설 영역의 둘레 방향폭(CH)을 제로로 하고, 스파이럴홈(31)의 피밀봉 유체측을 정압 발생홈(32)에 의해 환상으로 둘러쌀 수 있다. 이에 따라, 역회전시와 같이 스파이럴홈(31)이 충분한 펌핑 작용을 발휘할 수 없는 경우라도, 피밀봉 유체측으로부터 누설측으로의 유체의 누설을 저감할 수 있고, 나아가서는 정압 발생홈(32) 내의 부압에 의한 펌핑 효과가 스파이럴홈(31)의 펌핑 효과의 저감을 보충할 수 있기 때문에, 역회전한 경우라도 밀봉성을 향상시킬 수 있다.
실시예 4
본 발명의 실시예 4에 따른 슬라이딩 부품에 대해서 설명한다. 도 5는 실시예 4에 따른 슬라이딩 부품의 회전측 밀봉환(4)의 슬라이딩면(S)을 나타낸 것으로, 유체 도입홈(63)의 깊이가 실시예 1과 상위할 뿐이며, 다른 구성은 실시예 1과 동일하다. 이하, 실시예 1과 동일한 부재에는 동일한 부호를 붙이고, 중복하는 설명은 생략한다.
슬라이딩 부품의 회전측 밀봉환(4)의 슬라이딩면(S)는, 유체 도입홈(63), 정압 발생홈(12)(본 발명에 따른 제1 압력 발생 기구) 및 스파이럴홈(11)(본 발명에 따른 제2 압력 발생 기구)을 구비한다. 정압 발생홈(12) 및 유체 도입홈(63)은 환상 랜드부(R2)보다도 피밀봉 유체측 주연(16) 가까이에 배설되고, 또한, 스파이럴홈(11)은 환상 랜드부(R2)보다도 누설측 주연(15) 가까이에 배설되어 있다. 또한, 정압 발생홈(12) 및 스파이럴홈(11)은, 실시예 1의 정압 발생홈(12) 및 스파이럴홈(11)과 구성이 동일하기 때문에 설명을 생략한다.
도 5에 있어서, 유체 도입홈(63)은, 축방향에서 보았을 때 사다리꼴 형상으로 형성되고, 개구부(63a)만이 피밀봉 유체측으로 개구한다. 구체적으로는, 유체 도입홈(63)은, 피밀봉 유체측 주연(16)으로 개구하는 개구부(63a), 개구부(63a)에 대향하는 위치에는 환상 랜드부(R2)에 둘러싸이는 벽부(63c), 피밀봉 유체측 주연(16)과 랜드부(R1)를 사이에 끼워 대향함과 동시에, 정압 발생홈(12)의 개구부(12a)에 연통하는 개구부 측벽부(63b), 정압 발생홈(12)의 지단부(12e)(레일리 스텝(12e))와 랜드부(R1)를 사이에 끼워 대향하는 경사 벽부(63d)를 갖는다. 경사 벽부(63d)와 피밀봉 유체측 주연(16)의 교점(P)과, 회전측 밀봉환(4)의 중심(O)을 연결한 지름 방향축(r)에 대하여, 경사 벽부(63d)는 개구부 측벽부(63b)(정압 발생홈(12)의 개구부(12a))에 접근하는 방향으로 경사진다. 즉, 경사 벽부(63d)는, 유체 도입홈(63)의 축방향에서 보았을 때의 면적이 작아지는 방향으로 경사진다. 또한, 유체 도입홈(63)의 깊이는, 정압 발생홈(12) 및 스파이럴홈(11)과 거의 동일한 깊이로 설정되고, 예를 들면, 0.1~10μm 정도로 설정된다.
이와 같이 구성된 실시예 4에 따른 슬라이딩 부품의 작용 효과에 대해서 설명한다. 또한, 정압 발생홈(12) 및 스파이럴홈(11)의 작용 효과는, 실시예 1과 동일하기 때문에 중복하는 설명은 생략한다.
유체 도입홈(63)을 사다리꼴로 형성함으로써, 개구부(63a)를 크게 할 수 있기 때문에, 유체 도입홈(63) 내로 유체를 용이하게 취입할 수 있다. 이에 따라, 기동시 등의 저속 회전 상태에 있어서 유체 윤활 상태가 충분하지 않을 때라도, 슬라이딩면(S)에 유체를 공급하여, 슬라이딩면(S)의 윤활에 기여할 수 있다. 또한, 사다리꼴의 유체 도입홈(63)의 경사 벽부(63d)를 이용하여, 정압 발생홈(12)의 지단부(12e)측의 단부와 유체 도입홈(63)의 경사 벽부(63d)는, 둘레 방향으로 겹치는 겹침부(Lp)를 형성할 수 있다.
겹침부(Lp)를 마련함으로써, 유체 도입홈(63)과 정압 발생홈(12)의 지단부(12e)가 오버랩되지 않는 누설 영역의 둘레 방향폭(CH)을 좁힐 수 있다. 또한 유체 도입홈(63)의 깊이는, 실시예 1의 유체 도입홈(13)보다 얕기 때문에, 누설 영역의 단면적을 더욱 작게 할 수 있기 때문에, 누설 영역을 더욱 좁힐 수 있다.
회전측 밀봉환(4)이, 도 5의 화살표와 반대인 반시계 방향으로 회전한 경우에는, 스파이럴홈(11)은, 누설측의 유체를 피밀봉 유체측으로 펌프업하는 펌핑 작용이 저하되어 버린다. 그러나, 스파이럴홈(11)의 펌핑 작용이 저하되어도, 겹침부(Lp)를 마련함으로써 누설 영역의 둘레 방향폭(CH)의 크기를 좁힐 수 있다. 게다가 유체 도입홈(63)의 깊이를 얕게 하고 누설 영역의 단면적을 더욱 작게 하여, 누설 영역의 단면적을 더욱 좁힐 수 있기 때문에, 피밀봉 유체측으로부터 누설 영역을 통한 누설측으로의 흐름을 제한할 수 있어, 밀봉성을 한층 더 향상시킬 수 있다.
실시예 5
본 발명의 실시예 5에 따른 슬라이딩 부품에 대해서 설명한다. 도 6은 실시예 5에 따른 슬라이딩 부품의 회전측 밀봉환(4)의 슬라이딩면(S)을 나타낸 것으로, 유체 도입홈(73)의 깊이가 실시예 2와 상위할 뿐이며, 다른 구성은 실시예 2와 동일하다. 이하, 실시예 2와 동일한 부재에는 동일한 부호를 붙이고, 중복하는 설명은 생략한다.
도 6에 있어서, 회전측 밀봉환(4)의 슬라이딩면(S)은, 유체 도입홈(73), 정압 발생홈(22)(본 발명에 따른 제1 압력 발생 기구) 및 스파이럴홈(21)(본 발명에 따른 제2 압력 발생 기구)을 구비한다. 정압 발생홈(22) 및 유체 도입홈(73)은, 환상 랜드부(R2)보다도 피밀봉 유체측 주연(16) 가까이에 배설되고, 또한, 스파이럴홈(21)은 환상 랜드부(R2)보다도 누설측 주연(15) 가까이에 배설되어 있다. 또한, 정압 발생홈(22) 및 스파이럴홈(21)은, 실시예 2의 정압 발생홈(22) 및 스파이럴홈(21)과 구성이 동일하기 때문에 설명을 생략한다.
도 6에 있어서, 유체 도입홈(73)은 정압 발생홈(22)과 대략 동등한 폭을 갖고, 축방향에서 보았을 때 사다리꼴 형상으로 형성되고, 개구부(73a)만이 피밀봉 유체측 주연(16)으로 개구한다. 구체적으로는, 유체 도입홈(73)은, 피밀봉 유체측 주연(16)으로 개구하는 개구부(73a), 개구부(73a)에 대향하는 위치에는 정압 발생홈(22)의 개구부(22a)가 배치되고, 피밀봉 유체측 주연(16)과 랜드부(R1)를 사이에 끼워 대향하는 경사 벽부(73b), 정압 발생홈(22)의 지단부(22e)와 랜드부(R1)를 사이에 끼워 대향하는 경사 벽부(73d)를 갖는다. 경사 벽부(73d)와 피밀봉 유체측 주연(16)의 교점(P)과, 회전측 밀봉환(4)의 중심(O)을 연결한 지름 방향축(r)에 대하여, 경사 벽부(73d)는 정압 발생홈(22)의 개구부(22a)에 접근하는 방향으로 경사진다. 즉, 경사 벽부(73d)는, 유체 도입홈(73)의 축방향에서 보았을 때의 면적이 작아지는 방향으로 경사진다. 또한, 유체 도입홈(73)의 깊이는, 정압 발생홈(22) 및 스파이럴홈(21)과 거의 동일한 깊이로 설정되고, 예를 들면, 0.1~10μm 정도로 설정된다.
이와 같이 구성된 실시예 5에 따른 슬라이딩 부품의 작용 효과에 대해서 설명한다. 또한, 정압 발생홈(22) 및 스파이럴홈(21)의 작용 효과는, 실시예 2와 동일하기 때문에 중복하는 설명은 생략한다.
유체 도입홈(73)은 유체를 용이하게 취입할 수 있기 때문에, 기동시 등의 저속 회전 상태에 있어서 유체 윤활 상태가 충분하지 않을 때라도, 슬라이딩면(S)에 유체를 공급하여, 슬라이딩면(S)의 윤활에 기여할 수 있다.
또한, 사다리꼴의 유체 도입홈(73)의 경사 벽부(73d)를 이용하여, 정압 발생홈(22)의 지단부(22e)측의 단부와 경사 벽부(73d)는, 둘레 방향으로 겹치는 겹침부(Lp)를 형성할 수 있다. 이에 따라, 유체 도입홈(73)과 정압 발생홈(22)의 지단부(22e)가 오버랩되지 않는 누설 영역의 둘레 방향폭(CH)을 좁힐 수 있다. 또한 유체 도입홈(73)의 깊이는 실시예 2의 유체 도입홈(23)보다 얕기 때문에, 누설 영역의 단면적을 더욱 작게 할 수 있다. 이에 따라, 역회전시와 같이 스파이럴홈(21)의 펌핑 작용이 저하되었을 때라도, 유체가 피밀봉 유체측으로부터 누설 영역을 통하여 누설측으로 유출되는 것을 제한할 수 있고, 나아가서는 밀봉성을 향상시킬 수 있다.
실시예 6
본 발명의 실시예 6에 따른 슬라이딩 부품에 대해서 설명한다. 도 7은 실시예 6에 따른 슬라이딩 부품의 회전측 밀봉환(4)의 슬라이딩면(S)을 나타낸 것으로, 유체 도입홈(83)의 깊이가 실시예 3과 상위할 뿐이며, 다른 구성은 실시예 3과 동일하다. 이하, 실시예 3과 동일한 부재에는 동일한 부호를 붙이고, 중복하는 설명은 생략한다.
도 7에 있어서, 회전측 밀봉환(4)의 슬라이딩면(S)은, 유체 도입홈(83), 정압 발생홈(32)(본 발명에 따른 제1 압력 발생 기구) 및 스파이럴홈(31)(본 발명에 따른 제2 압력 발생 기구)을 구비한다. 정압 발생홈(32) 및 유체 도입홈(83)은, 환상 랜드부(R2)보다도 피밀봉 유체측 주연(16) 가까이에 배설되고, 또한, 스파이럴홈(31)은 환상 랜드부(R2)보다도 누설측 주연(15) 가까이에 배설되어 있다. 또한, 정압 발생홈(32) 및 스파이럴홈(31)은, 실시예 2의 정압 발생홈(32) 및 스파이럴홈(31)과 구성이 동일하기 때문에 설명을 생략한다.
도 7에 있어서, 유체 도입홈(83)은 축방향에서 보았을 때 삼각형으로 형성되고, 개구부(83a)만이 피밀봉 유체측 주연(16)으로 개구한다. 유체 도입홈(83)은, 정압 발생홈(32)의 개구부(32a)에 연통함과 동시에, 피밀봉 유체측 주연(16)으로 개구하는 개구부(83a), 정압 발생홈(32)의 지단부(32e)와 랜드부(R1)를 사이에 끼워 대향하는 경사 벽부(83d)를 갖는다. 경사 벽부(83d)와 피밀봉 유체측 주연(16)의 교점(P)과, 회전측 밀봉환(4)의 중심(O)을 연결한 지름 방향축(r)에 대하여, 경사 벽부(83d)는 정압 발생홈(32)의 개구부(32a)에 접근하는 방향으로 경사진다. 즉, 경사 벽부(83d)는 유체 도입홈(83)의 축방향에서 보았을 때의 면적이 작아지는 방향으로 경사진다. 또한, 유체 도입홈(83)의 깊이는, 정압 발생홈(32) 및 스파이럴홈(31)과 거의 동일한 깊이로 설정되고, 예를 들면, 0.1~10μm 정도로 설정된다.
이와 같이 구성된 실시예 6에 따른 슬라이딩 부품의 작용 효과에 대해서 설명한다. 또한, 정압 발생홈(32) 및 스파이럴홈(31)의 작용 효과는, 실시예 3과 동일하기 때문에 중복하는 설명은 생략한다.
유체 도입홈(83)은 유체를 용이하게 취입할 수 있기 때문에, 기동시 등의 저속 회전 상태에 있어서 유체 윤활 상태가 충분하지 않을 때라도, 슬라이딩면(S)에 유체를 공급하여, 슬라이딩면(S)의 윤활에 기여할 수 있다.
또한, 삼각 형상의 유체 도입홈(83)은 지름 방향폭을 작게 할 수 있기 때문에, 좁은 곳이라도 유체 도입홈(83)과 정압 발생홈(32)의 겹침부(Lp)를 크게 할 수 있다. 도 7의 실시예에서는, 겹침부(Lp)를 크게 하여 유체 도입홈(83)을 정압 발생홈(32)에 의해 둘레 방향으로 덮어, 누설 영역의 둘레 방향폭(CH)을 제로로 할 수 있고, 피밀봉 유체측 주연(16)을 환상으로 둘러쌀 수 있다. 또한 유체 도입홈(83)의 깊이가 실시예 3의 유체 도입홈(33)보다 얕기 때문에, 누설 영역의 단면적을 더욱 작게 할 수 있다. 이에 따라, 역회전시와 같이 스파이럴홈(31)의 펌핑 작용이 저하되었을 때라도, 유체가 피밀봉 유체측으로부터 누설 영역을 통하여 누설측으로 유출되는 것을 제한할 수 있고, 나아가서는 밀봉성을 향상할 수 있다.
실시예 7
본 발명의 실시예 7에 따른 슬라이딩 부품에 대해서 설명한다. 도 8은 실시예 7의 슬라이딩면(S)을 나타낸 것이다. 실시예 1~6에 있어서는, 제1 압력 발생 기구 및 제2 압력 발생 기구는 홈에 의해 구성했지만, 실시예 7에 있어서는, 딤플의 집합체로 이루어지는 딤플군에 의해 제1 압력 발생 기구 및 제2 압력 발생 기구를 구성하고 있다. 이하, 실시예 1과 동일한 부재에는 동일한 부호를 붙이고, 중복하는 설명은 생략한다.
도 8에 있어서, 회전측 밀봉환(4)의 슬라이딩면(S)은, 유체 도입홈(13), 제1 압력 발생 기구(52) 및 제2 압력 발생 기구(51)를 구비하고, 유체 도입홈(13) 및 제1 압력 발생 기구(52)는 환상 랜드부(R2)보다도 피밀봉 유체측 주연(16) 가까이에 배설되고, 또한, 제2 압력 발생 기구(51)는 환상 랜드부(R2)보다도 누설측 주연(15) 가까이에 배설되어 있다. 또한, 유체 도입홈(13)은, 실시예 1의 유체 도입홈(13)과 동일한 구성이다.
제1 압력 발생 기구(52)는, 딤플(50)을 복수, 근접하게 배열하고, 소정의 길이를 갖는 호상으로 형성된 딤플군으로 구성된다. 딤플(50)은 랜드부(R1)로 둘러싸인 개구부를 갖는 패임이다. 딤플군은, 딤플(50)이 서로 연통하지 않도록, 딤플(50)의 주위에 랜드부(R1)를 마련하고, 소망하는 홈 형상이 되도록 복수의 딤플(50)을 근접하게 배치한 유사 유로이다. 딤플군으로 구성되는 제1 압력 발생 기구(52)의 일단은 유체 도입홈(13)에 연통하고, 타단은 랜드부(R1)에 의해 둘러싸인 폐색 단부(52e)로 되어 있다. 또한, 딤플의 개구부의 지름은 10μm~100μm, 딤플(50)의 바닥부의 깊이는 10μm~100μm 정도로 설정된다. 슬라이딩면(S)에 배설되는 딤플은, 대략 동일한 개구경, 깊이로 설정해도 좋지만, 소정의 범위가 분포하는 상이한 개구경 및 깊이로 설정해도 좋다.
회전측 밀봉환(4)과 고정측 밀봉환(7)의 상대 슬라이딩에 의해, 유체는 딤플(50)에 흡입되고, 딤플(50) 내에서 승압하여 딤플(50)로부터 토출된다. 그리고, 딤플(50)을 근접하게 배치하면, 딤플(50)은 서로 연통하고 있지 않아도, 딤플(50)에 의한 유체의 흡입, 토출 동작이, 인접한 딤플(50) 사이에서 연속하여 행해진다. 이에 따라, 딤플(50)을 홈 형상으로 배열하여 딤플군을 구성하면, 유체는 홈 형상으로 배열된 딤플군을 따라 흐르고, 딤플군은 유사 유로로서 기능한다.
제2 압력 발생 기구(51)는, 딤플(50)을 근접하게 배열하여 스파이럴 형상으로 구성한 딤플군이다. 제2 압력 발생 기구(51)는, 딤플군과 랜드부(R3)를 번갈아 둘레 방향으로 소정 개수(도 5의 예에서는 60개) 배설하여 구성된다. 또한, 제2 압력 발생 기구(51)의 일단에 개구부(51a), 타단에 폐색 단부(51e)를 갖고, 개구부(51a)는 누설측 주연(15)에 연통하고, 폐색 단부(51e)는 환상 랜드부(R2)에 의해 둘러싸여 폐색되어 있다.
도 8에 나타내는 바와 같이, 회전측 밀봉환(4)이 시계 방향으로 회전하면, 유체 도입홈(13)에 연통하는 제1 압력 발생 기구(52) 내로 유체가 인입되고, 유체는 제1 압력 발생 기구(52)를 따라 흘러 폐색 단부(52e) 부근에서 막혀 동압(정압)이 발생한다. 또한, 스파이럴 형상의 제2 압력 발생 기구(51)는, 누설측 주연(15)에 연통하는 개구부(51a)로부터 딤플군 내로 유체를 펌핑하고, 펌핑된 유체는 스파이럴 형상의 딤플군을 따라 흘러, 폐색 단부(51e) 부근에서 동압(정압)이 발생한다. 이 동압(정압)에 의해 회전측 밀봉환(4)과 고정측 밀봉환(7)의 슬라이딩면(S) 사이의 간극이 커지고, 슬라이딩면(S)은 유체 윤활의 상태가 되어 매우 저마찰이 된다.
유체 도입홈(13)과 제1 압력 발생 기구(52)의 폐색 단부(52e)는 둘레 방향으로 겹치는 겹침부(Lp)를 형성하고 있다. 겹침부(Lp)를 마련함으로써, 인접한 제1 압력 발생 기구(52) 사이의 극간, 즉 누설 영역의 둘레 방향폭(CH)을 작게 하여, 누설 영역을 좁힐 수 있다. 이에 따라, 역회전(반시계 방향으로 회전)시와 같이, 제2 압력 발생 기구(51)에 의한 펌핑 작용이 저하된 경우라도, 유체가 피밀봉 유체측으로부터 누설 영역을 통하여 누설측으로 유출되는 것을 제한할 수 있고, 나아가서는 밀봉성을 향상시킬 수 있다.
이상, 본 발명의 실시예를 도면에 의해 설명했지만, 구체적인 구성은 이들 실시예에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서의 변경이나 추가가 있어도 본 발명에 포함된다.
상기 실시예에서는, 제1 압력 발생 기구 및 제2 압력 발생 기구를 복수 마련하는 경우에 대해서 설명했지만, 이에 한정하지 않는다. 예를 들면, 회전측 밀봉환, 고정측 밀봉환의 크기가 작은 경우에는, 제1 압력 발생 기구 및 제2 압력 발생 기구를 각각 1개로 구성해도 좋다. 제1 압력 발생 기구 및 제2 압력 발생 기구의 개수, 형상은, 사용 조건에 따라 바꿀 수 있다.
상기 실시예에 있어서, 유체 도입홈, 제1 압력 발생 기구 및 제2 압력 발생 기구는 회전측 밀봉환에 마련되어 있었지만, 유체 도입홈, 제1 압력 발생 기구 및 제2 압력 발생 기구는, 고정측 밀봉환에 마련해도 좋고, 회전측 밀봉환 및 고정측 밀봉환에 마련해도 좋다.
1 메커니컬 시일
2 회전축
3 슬리브
4 회전측 밀봉환
5 하우징
7 고정측 밀봉환
8 코일드 웨이브 스프링
11 스파이럴홈(제2 압력 발생 기구)
11a 개구부(제2 압력 발생 기구의 일단)
11e 폐색 단부(제2 압력 발생 기구의 타단)
12 정압 발생홈(제1 압력 발생 기구)
12a 개구부(제1 압력 발생 기구의 일단)
12e 지단부(제1 압력 발생 기구의 타단)
13 유체 도입홈
13a 개구부
15 누설측 주연
16 피밀봉 유체측 주연
21 스파이럴홈(제2 압력 발생 기구)
21a 개구부(제2 압력 발생 기구의 일단)
21e 폐색 단부(제2 압력 발생 기구의 타단)
22 정압 발생홈(제1 압력 발생 기구)
22a 개구부(제1 압력 발생 기구의 일단)
22e 지단부(제1 압력 발생 기구의 타단)
23 유체 도입홈
23a 개구부
31 스파이럴홈(제2 압력 발생 기구)
31a 개구부(제2 압력 발생 기구의 일단)
31e 폐색 단부(제2 압력 발생 기구의 타단)
32 정압 발생홈(제1 압력 발생 기구)
32a 개구부(제1 압력 발생 기구의 일단)
32e 지단부(제1 압력 발생 기구의 타단)
33 유체 도입홈
33a 개구부
50 딤플
51 제2 압력 발생 기구(딤플군)
51a 개구부(제2 압력 발생 기구의 일단)
51e 폐색 단부(제2 압력 발생 기구의 타단)
52 제1 압력 발생 기구(딤플군)
52e 지단부(제1 압력 발생 기구의 타단)
CH 누설 영역의 폭
Lp 겹침부
R1 랜드부
R2 환상 랜드부
R3 랜드부
S 슬라이딩면

Claims (12)

  1. 서로 상대 슬라이딩하는 한 쌍의 슬라이딩 부품으로서,
    한 쌍의 상기 슬라이딩 부품은, 서로 상대 슬라이딩하는 슬라이딩면, 피밀봉 유체측 주연 및 누설측 주연을 갖고,
    한 쌍의 상기 슬라이딩 부품 중 적어도 한쪽의 상기 슬라이딩 부품의 상기 슬라이딩면은, 상기 피밀봉 유체측 주연에 연통하는 유체 도입홈과,
    일단이 상기 유체 도입홈에 연통함과 동시에 타단이 랜드부에 의해 둘러싸이는 제1 압력 발생 기구와,
    일단이 상기 누설측 주연에 연통함과 동시에 타단이 환상(環狀) 랜드부에 의해 둘러싸이는 제2 압력 발생 기구를 구비하고,
    상기 유체 도입홈과, 상기 제1 압력 발생 기구의 상기 타단은, 둘레 방향으로 겹치는 겹침부를 구비하는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 유체 도입홈은, 상기 제1 압력 발생 기구의 상기 타단과 대향하는 경사 벽부를 갖고,
    상기 경사 벽부는, 당해 경사 벽부와 상기 피밀봉 유체측 주연의 교점과, 한쪽의 상기 슬라이딩 부품의 중심을 연결한 지름 방향축에 대하여, 상기 제1 압력 발생 기구의 상기 일단에 접근하는 방향으로 경사지는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 유체 도입홈 및 상기 제1 압력 발생 기구는, 상기 환상 랜드부보다도 상기 피밀봉 유체측 주연 가까이에 배설(配設)되는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유체 도입홈은 사다리꼴 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유체 도입홈은 삼각형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 압력 발생 기구는 홈부로 구성되는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  7. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 압력 발생 기구는, 복수의 딤플로 이루어지는 딤플군으로 구성되는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 압력 발생 기구는 홈부로 구성되는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  9. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 압력 발생 기구는, 복수의 딤플로 이루어지는 딤플군으로 구성되는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 압력 발생 기구는, 스파이럴 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유체 도입홈의 깊이는, 상기 제1 압력 발생 기구의 깊이보다 깊은 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  12. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유체 도입홈의 깊이는, 상기 제1 압력 발생 기구의 깊이와 동일한 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11708911B2 (en) * 2017-10-03 2023-07-25 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding component
WO2019139107A1 (ja) * 2018-01-12 2019-07-18 イーグル工業株式会社 摺動部品
US11320052B2 (en) 2018-02-01 2022-05-03 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding components
EP3922877B1 (en) 2019-02-04 2023-12-06 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding component and method for manufacturing sliding component
US11852241B2 (en) 2019-02-04 2023-12-26 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding component
JPWO2022009767A1 (ko) 2020-07-06 2022-01-13
US11933303B2 (en) 2020-07-06 2024-03-19 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding component
CN112879420B (zh) * 2021-01-14 2022-11-04 南京超晶光电新材料科技研究院有限公司 一种陶瓷轴承
WO2023095905A1 (ja) * 2021-11-29 2023-06-01 イーグル工業株式会社 摺動要素

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2534429Y (zh) * 2001-12-27 2003-02-05 中国石油天然气股份有限公司 双列同向流体动压槽上游泵送机械密封
WO2014024742A1 (ja) * 2012-08-04 2014-02-13 イーグル工業株式会社 摺動部品
WO2014103630A1 (ja) * 2012-12-25 2014-07-03 イーグル工業株式会社 摺動部品
WO2016167262A1 (ja) 2015-04-15 2016-10-20 イーグル工業株式会社 摺動部品

Family Cites Families (124)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS366305B1 (ko) 1960-03-31 1961-05-30
US3085808A (en) 1960-05-17 1963-04-16 Worthington Corp Mechanical seal with controlled leakage
US3232680A (en) 1963-08-19 1966-02-01 Whittaker Corp Fluid bearing
US3410565A (en) 1966-07-27 1968-11-12 Worthington Corp Centrifugal and face contact seal
FR1505487A (fr) 1966-10-28 1967-12-15 Guinard Pompes Perfectionnement aux joints tournants à régulation de fuite
US3466052A (en) 1968-01-25 1969-09-09 Nasa Foil seal
US3499653A (en) 1968-06-05 1970-03-10 Crane Packing Co Rotary mechanical seal of the gap type
US3656227A (en) 1970-03-26 1972-04-18 Gen Motors Corp Method of making a mold for bidirectional hydrodynamic shaft seals
US3804424A (en) 1972-04-24 1974-04-16 Crane Packing Co Gap seal with thermal and pressure distortion compensation
JPS4933614A (ko) 1972-07-24 1974-03-28
JPS5477305A (en) 1977-12-02 1979-06-20 Hitachi Constr Mach Co Ltd Compound pump motor
JPS57146955A (en) 1981-03-06 1982-09-10 Shinsaku Kaguchi Sealing device for rotary member
JPS58109771A (ja) 1981-12-23 1983-06-30 Eagle Ind Co Ltd 非接触型メカニカルシ−ル
JPS58137667A (ja) 1982-02-10 1983-08-16 Nippon Seiko Kk 磁性流体シ−ル
US4486026A (en) 1982-02-10 1984-12-04 Nippon Seiko K.K. Sealing and bearing means by use of ferrofluid
JPS5958252A (ja) 1982-09-29 1984-04-03 Honda Motor Co Ltd Ｖベルト伝動装置
US4406466A (en) 1982-11-29 1983-09-27 Elliott Turbomachinery Co., Inc. Gas lift bearing and oil seal
JPS60107461A (ja) 1983-11-15 1985-06-12 Jidosha Kiki Co Ltd 動力舵取装置の制御方法
JPH06100642B2 (ja) 1984-09-29 1994-12-12 株式会社東芝 光応用磁界センサ
JPS6237572A (ja) 1985-08-12 1987-02-18 Ebara Res Co Ltd 軸封装置
DE3619489A1 (de) 1986-06-10 1987-12-17 Gutehoffnungshuette Man Wellendichtung
JPS6333027A (ja) 1986-07-28 1988-02-12 Nippon Hoso Kyokai <Nhk> 音声デジタル信号伝送方式
CH677266A5 (ko) 1986-10-28 1991-04-30 Pacific Wietz Gmbh & Co Kg
JPH01133572A (ja) 1987-11-16 1989-05-25 Sanyo Electric Co Ltd 単相周波数変換回路
JPH06105105B2 (ja) * 1989-03-03 1994-12-21 日本ピラー工業株式会社 端面非接触形メカニカルシール
JPH0314371A (ja) 1989-06-13 1991-01-23 Fuji Photo Film Co Ltd ビデオカメラの映像動揺補正装置
JPH0335372A (ja) 1989-06-30 1991-02-15 Mita Ind Co Ltd 画像判別装置
JP2554542B2 (ja) 1989-07-06 1996-11-13 株式会社 藤井合金製作所 ガスコックの製造方法
JPH0341267A (ja) 1989-07-07 1991-02-21 Mitsuwa Gas Kiki Kk 鋳鉄製ガスコックの製造方法
JPH0660691B2 (ja) 1990-04-17 1994-08-10 イーグル工業株式会社 両回転式準接触メカニカルシール及びリング摺動面の溝加工方法
US5492341A (en) 1990-07-17 1996-02-20 John Crane Inc. Non-contacting, gap-type seal having a ring with a patterned seal face
JPH0496671A (ja) 1990-08-11 1992-03-30 Omron Corp ハーモニックドライブ型静電モータ
JPH04145267A (ja) 1990-10-08 1992-05-19 Ebara Corp 非接触端面シール
GB9103217D0 (en) 1991-02-15 1991-04-03 Crane John Uk Ltd Mechanical face seals
JPH0590048U (ja) * 1992-02-06 1993-12-07 イーグル工業株式会社 両方向回転型ガスシール
DE4303237A1 (de) 1992-02-06 1993-10-21 Eagle Ind Co Ltd Gasdichtung
US5201531A (en) 1992-04-02 1993-04-13 John Crane Inc. Face seal with double spiral grooves
JPH0769019B2 (ja) 1992-05-18 1995-07-26 日本ピラー工業株式会社 非接触形メカニカルシール
US5501470A (en) 1992-12-11 1996-03-26 Nippon Pillar Packing Co., Ltd. Non-contacting shaft sealing device with grooved face pattern
US5441283A (en) 1993-08-03 1995-08-15 John Crane Inc. Non-contacting mechanical face seal
AU685502B2 (en) 1993-09-01 1998-01-22 Durametallic Corporation Face seal with angled and annular grooves
US5498007A (en) 1994-02-01 1996-03-12 Durametallic Corporation Double gas barrier seal
DE4407453A1 (de) 1994-03-05 1995-09-07 Albrecht Dipl Ing Kayser Gas- und öldichtes Spiralnuten-Axiallager
JP2563081B2 (ja) 1994-03-22 1996-12-11 日本ピラー工業株式会社 非接触形軸封装置
JP3387236B2 (ja) 1994-09-22 2003-03-17 株式会社島津製作所 生体磁気計測装置
JPH09329247A (ja) 1996-06-11 1997-12-22 Ebara Corp 非接触端面シール
JP2999415B2 (ja) 1996-07-24 2000-01-17 日本ピラー工業株式会社 メカニカルシール
JPH10281299A (ja) 1997-04-11 1998-10-23 Mitsubishi Heavy Ind Ltd メカニカルシール装置
US5895051A (en) 1997-07-16 1999-04-20 Freudenberg-Nok General Partnership Noise abating beads on a rack seal
JPH1151043A (ja) 1997-08-05 1999-02-23 Seiko Instr Inc 流体動圧軸受、この軸受を有するスピンドルモータ、及びこのモータを備えた回転体装置
JP4075170B2 (ja) 1998-12-17 2008-04-16 松下電器産業株式会社 動圧軸受装置及びそれを使用したスピンドルモータ
US6189896B1 (en) 1999-04-08 2001-02-20 Caterpillar Inc. Controlled leakage rotating seal ring with elements for receiving and holding a lubricant on a face thereof
JP2001295833A (ja) 2000-04-18 2001-10-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd スラスト動圧軸受
JP2001317638A (ja) 2000-05-02 2001-11-16 Mitsubishi Heavy Ind Ltd シール構造体および圧縮機
US6446976B1 (en) 2000-09-06 2002-09-10 Flowserve Management Company Hydrodynamic face seal with grooved sealing dam for zero-leakage
CN2460801Y (zh) 2001-01-18 2001-11-21 王玉明 可双向旋转的螺旋槽端面密封装置
JP3984462B2 (ja) 2001-11-26 2007-10-03 日本電産株式会社 動圧軸受装置
JP4495402B2 (ja) 2002-03-19 2010-07-07 イーグル工業株式会社 摺動部品
US6902168B2 (en) 2002-03-19 2005-06-07 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding element
JP4205910B2 (ja) 2002-04-02 2009-01-07 イーグル工業株式会社 摺動部品
JP2004003548A (ja) * 2002-05-31 2004-01-08 Nitto Seiko Co Ltd セルフタッピンねじ
DK2011510T3 (da) 2002-07-18 2011-03-28 Univ Washington Farmaceutiske sammensætninger indeholdende immunologisk aktive Herpes simplex-virus(HSV) proteinfragmenter
JP4316956B2 (ja) 2002-10-23 2009-08-19 イーグル工業株式会社 摺動部品
US7160031B2 (en) 2003-11-20 2007-01-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Thrust dynamic pressure bearing, spindle motor using the same, and information recording and reproducing apparatus using them
JP4719414B2 (ja) 2003-12-22 2011-07-06 イーグル工業株式会社 摺動部品
JP2005188651A (ja) 2003-12-25 2005-07-14 Yamada Seisakusho Co Ltd ウォーターポンプにおけるメカニカルシール
JP3872500B2 (ja) 2004-02-18 2007-01-24 セイコーインスツル株式会社 流体動圧軸受、モータおよび記録媒体駆動装置
GB2413603A (en) 2004-04-30 2005-11-02 Corac Group Plc A dry gas seal assembly
JP4700394B2 (ja) 2004-05-12 2011-06-15 ミネベア株式会社 流体動圧軸受、該流体動圧軸受を備えたスピンドルモータ並びに記録ディスク駆動装置
JP2006009828A (ja) 2004-06-22 2006-01-12 Citizen Fine Tech Co Ltd 動圧流体軸受装置
JP4322747B2 (ja) 2004-07-06 2009-09-02 イーグル工業株式会社 シール装置
JP4262656B2 (ja) 2004-09-10 2009-05-13 日本ピラー工業株式会社 非接触型シール装置
KR101119546B1 (ko) 2004-11-09 2012-02-28 이글 고오교 가부시키가이샤 메카니컬 실링장치
US8162322B2 (en) 2006-10-25 2012-04-24 Rexnord Industries, Llc Hydrodynamic seal with circumferentially varying lift force
JP2008144864A (ja) 2006-12-11 2008-06-26 Nok Corp スラスト軸受
US7770895B2 (en) 2007-05-01 2010-08-10 Eaton Corporation Segmented seal portion and assembly
WO2009087995A1 (ja) 2008-01-11 2009-07-16 Eagle Industry Co., Ltd. メカニカルシール摺動材及びメカニカルシール
JP2009250378A (ja) 2008-04-08 2009-10-29 Eagle Ind Co Ltd 液体用のメカニカルシール装置
US8205891B2 (en) 2008-09-15 2012-06-26 Stein Seal Company Intershaft seal assembly
JP2010133496A (ja) * 2008-12-04 2010-06-17 Eagle Ind Co Ltd 摺動部品
JP5367423B2 (ja) 2009-03-17 2013-12-11 イーグル工業株式会社 シール装置
JP5271858B2 (ja) 2009-09-29 2013-08-21 アイシン精機株式会社 メカニカルシール及び液体ポンプ
CN101749431B (zh) 2010-01-28 2013-07-31 浙江工业大学 珍珠链状的圆环槽环带端面机械密封结构
JPWO2011105513A1 (ja) 2010-02-26 2013-06-20 Nok株式会社 シールリング
JP5518527B2 (ja) 2010-03-04 2014-06-11 イーグル工業株式会社 摺動部品
CN101776152B (zh) 2010-03-05 2013-08-21 北京化工大学 外加压式动静压气体润滑密封装置
JP5122607B2 (ja) 2010-06-17 2013-01-16 キヤノンマシナリー株式会社 平面摺動機構
WO2012046749A1 (ja) 2010-10-06 2012-04-12 イーグル工業株式会社 摺動部品
US9039013B2 (en) 2011-05-04 2015-05-26 United Technologies Corporation Hydrodynamic non-contacting seal
US9062775B2 (en) 2011-07-01 2015-06-23 Eaton Corporation Scooping hydrodynamic seal
KR101513278B1 (ko) 2011-08-05 2015-04-17 이구루코교 가부시기가이샤 메커니컬 실
JP5881716B2 (ja) 2011-09-10 2016-03-09 イーグル工業株式会社 摺動部品
US9777840B2 (en) 2012-09-29 2017-10-03 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding component
CN104685272A (zh) * 2012-10-19 2015-06-03 日本伊格尔博格曼有限公司 波纹管密封件
JP6161632B2 (ja) * 2012-12-25 2017-07-12 イーグル工業株式会社 摺動部品
JP6211009B2 (ja) 2013-01-16 2017-10-11 イーグル工業株式会社 摺動部品
US9322436B2 (en) 2013-03-17 2016-04-26 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding parts
CN104769341B (zh) 2013-03-17 2017-04-05 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
US9587745B2 (en) 2013-04-24 2017-03-07 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding component
CN103267132B (zh) 2013-05-28 2015-08-05 南京林业大学 自泵送流体动压型机械密封
JP6345695B2 (ja) 2013-12-09 2018-06-20 イーグル工業株式会社 摺動部品
CN105814346B (zh) 2013-12-09 2017-08-04 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
CN103791097A (zh) 2014-02-28 2014-05-14 江苏大学 一种自动***颗粒的组合流体动压槽机械密封
CN104019237B (zh) 2014-05-29 2016-12-07 浙江工业大学 深槽环带动压型端面机械密封结构
EP2975306B1 (en) 2014-07-18 2017-06-14 LEONARDO S.p.A. Sealing ring
EP3190317B1 (en) 2014-09-04 2022-02-09 Eagle Industry Co., Ltd. Mechanical seal
JP6224568B2 (ja) 2014-10-17 2017-11-01 イーグル工業株式会社 メカニカルシール
EP3299685B1 (en) * 2015-05-19 2020-02-19 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding component
EP3299686B1 (en) 2015-05-21 2022-03-23 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding component
KR102049287B1 (ko) 2015-06-15 2019-11-27 이구루코교 가부시기가이샤 슬라이딩 부품
CN107709854A (zh) 2015-06-30 2018-02-16 伊格尔工业股份有限公司 密封装置
US11391376B2 (en) 2016-08-15 2022-07-19 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding component
CN206017723U (zh) 2016-09-14 2017-03-15 中国石油大学(华东) 包络线型液体润滑端面机械密封结构
CN106439037B (zh) 2016-11-18 2018-06-29 西华大学 具有组合槽端面的密封环及机械密封装置
EP4191098A1 (en) 2016-12-07 2023-06-07 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding component
CN110168264B (zh) 2017-01-30 2021-06-15 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
KR102276081B1 (ko) 2017-01-30 2021-07-13 이구루코교 가부시기가이샤 슬라이딩 부품
CN107166036B (zh) 2017-06-21 2018-09-21 浙江工业大学 一种低泄漏螺旋槽液膜机械密封端面结构
JP7154692B2 (ja) 2017-07-04 2022-10-18 イーグル工業株式会社 メカニカルシール
CN108506494B (zh) 2018-04-23 2020-03-17 西安交通大学 一种仿鱼骨型干气密封结构
EP3922872A4 (en) 2019-02-04 2022-11-02 Eagle Industry Co., Ltd. SLIDE COMPONENT
US11767916B2 (en) 2019-02-14 2023-09-26 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding components
EP3926188A4 (en) 2019-02-15 2022-11-09 Eagle Industry Co., Ltd. SLIDING COMPONENTS
CN113508238B (zh) 2019-03-22 2023-07-25 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2534429Y (zh) * 2001-12-27 2003-02-05 中国石油天然气股份有限公司 双列同向流体动压槽上游泵送机械密封
WO2014024742A1 (ja) * 2012-08-04 2014-02-13 イーグル工業株式会社 摺動部品
JP6076985B2 (ja) * 2012-08-04 2017-02-08 イーグル工業株式会社 摺動部品
WO2014103630A1 (ja) * 2012-12-25 2014-07-03 イーグル工業株式会社 摺動部品
WO2016167262A1 (ja) 2015-04-15 2016-10-20 イーグル工業株式会社 摺動部品
KR20170137727A (ko) * 2015-04-15 2017-12-13 이구루코교 가부시기가이샤 슬라이딩 부품
US20180073394A1 (en) * 2015-04-15 2018-03-15 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding component

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