KR20200104976A - 증착원 증발 장치 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 증착원을 수용하며 일측에 분사부가 구비된 도가니 유닛과, 도가니 유닛을 가열하여 증착원을 분사부를 통해 증발시키는 히터 및, 분사부 측을 통한 방열을 억제하는 복사열방지판을 포함하며, 도가니 유닛과 복사열방지판 중 어느 하나가 탄소섬유복합재로 제작된 증착원 증발 장치를 개시한다.

Description

증착원 증발 장치 및 그 제조방법 {Evaporating apparatus for deposition source and manufacturing method thereof}
본 발명은 증착 작업에서 증착원을 증발시키는 장치와 그 제조방법에 관한 것이다.
예컨대 유기 발광 디스플레이 장치의 박막 형성과 같은 박막 제조 공정에는 증착원을 증발시켜서 기판 표면에 달라붙게 하는 증착 공정이 많이 이용된다. 즉, 기판 위에 마스크를 대고, 증착원의 증기를 그 마스크의 개구로 통과시켜서 원하는 패턴의 박막이 기판 상에 형성되게 하는 것이다.
그런데, 이러한 증착원의 증발이 진행되는 동안에는 온도가 통상 1100~1300℃까지 올라가기 때문에, 증발 장치가 고온의 열에 의해 변형되거나 파손될 가능성이 많다. 이렇게 되면 증착 품질이 저하될 수 있으며, 장치의 수명이 짧아져서 수시로 부품을 교체해야 하므로 작업 효율도 떨어지게 된다.
따라서, 본 발명의 실시예들은 고온의 증착 작업을 장시간 무난하게 감당할 수 있도록 개선된 증착원 증발 장치 및 그 제조방법을 제공한다.
본 발명의 실시예는 증착원을 수용하며 일측에 분사부가 구비된 도가니 유닛과, 상기 도가니 유닛을 가열하여 상기 증착원을 상기 분사부를 통해 증발시키는 히터 및, 상기 분사부 측을 통한 방열을 억제하는 복사열방지판을 포함하며, 상기 도가니 유닛과 상기 복사열방지판 중 어느 하나의 재질은 탄소섬유복합재를 포함하는 증착원 증발 장치를 제공한다.
상기 탄소섬유복합재는 탄소섬유 알갱이를 제1카본계열수지와 혼합한 후 압착 경화시킨 소재를 포함할 수 있다.
상기 탄소섬유 알갱이는 탄소섬유를 쪼갠 파편과 분쇄한 분말 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 탄소섬유복합재는 내부의 공극이 제2카본계열수지의 함침 및 경화로 메워질 수 있다.
상기 복사열방지판은 단일체일 수 있다.
상기 도가니 유닛은 상기 증착원을 수용하는 내부 도가니, 상기 내부 도가니를 수용하며 상기 히터에 의해 가열되는 외부 도가니, 상기 외부 도가니와 상기 히터를 수용하는 하우징 및, 상기 하우징을 수용하며 냉매 순환부를 가진 쿨링자켓을 포함하며, 상기 내부 도가니와 상기 외부 도가니 및 상기 하우징의 재질은 상기 탄소섬유복합재를 포함할 수 있다.
상기 내부 도가니는 단일 수용 공간을 가진 단일체일 수 있다.
상기 하우징의 내벽에는 상기 탄소섬유복합재 재질의 방열판이 설치될 수 있다.
상기 하우징과 상기 방열판 및 상기 외부 도가니는 일체형일 수 있다.
상기 분사부가 서로 대칭되게 배치된 상기 도가니 유닛 한 쌍과, 상기 각 도가니 유닛에 설치된 상기 히터 한 쌍 및 상기 복사열방지판 한 쌍을 구비할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예는 증착원을 수용하며 일측에 분사부가 구비된 도가니 유닛을 준비하는 단계; 상기 도가니 유닛에 히터를 설치하는 단계; 및, 상기 도가니 유닛의 분사부 측에 방열을 억제하는 복사열방지판을 설치하는 단계;를 포함하며, 상기 도가니 유닛과 상기 복사열방지판 중 어느 하나를 탄소섬유복합재로 만드는 증착원 증발 장치의 제조방법을 제공한다.
상기 탄소섬유복합재는 탄소섬유 알갱이를 제1카본계열수지와 혼합한 후 압착 경화시켜 만들 수 있다.
상기 탄소섬유 알갱이는 탄소섬유를 파편으로 쪼개는 공정과 분말로 분쇄하는 공정 중 어느 하나의 공정으로 만들 수 있다.
상기 탄소섬유복합재를 진공 처리하여 내부의 공극의 이물질을 제거하는 공정과, 상기 이물질이 제거된 공극에 제2카본계열수지를 함침시켜서 메우고 경화시키는 공정을 더 포함할 수 있다.
상기 복사열방지판을 단일체로 만들 수 있다.
상기 도가니 유닛은 상기 증착원을 수용하는 내부 도가니, 상기 내부 도가니를 수용하며 상기 히터에 의해 가열되는 외부 도가니, 상기 외부 도가니와 상기 히터를 수용하는 하우징 및 상기 하우징을 수용하며 냉매 순환부를 가진 쿨링자켓을 포함하며, 상기 내부 도가니와 상기 외부 도가니 및 상기 하우징을 상기 탄소섬유복합재로 만들 수 있다.
상기 내부 도가니를 단일 수용 공간을 가진 단일체로 만들 수 있다.
상기 하우징의 내벽에 상기 탄소섬유복합재 재질의 방열판을 더 설치할 수 있다.
상기 하우징과 상기 방열판 및 상기 외부 도가니를 일체형으로 만들 수 있다.
서로 대칭되는 분사부를 가진 상기 도가니 유닛 한 쌍을 준비하여 상기 분사부가 대칭되도록 배치하는 단계와, 상기 각 도가니 유닛에 상기 히터 및 상기 복사열방지판을 각각 설치하는 단계를 더 포함할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 증착원 증발 장치 및 그 제조방법에 의하면, 증발 장치가 고온에서 충분한 내열성을 갖는 탄소섬유복합재로 이루어져 있기 때문에 장시간의 증착 작업을 무난하게 감당할 수 있게 되며, 이에 따라 부품의 수명이 길어져서 작업성과 증착 품질이 모두 개선될 수 있다. 또한, 증착 장치를 작은 여러 개의 요소로 나누지 않고 일체형으로 대형화해도 열변형에 대한 우려가 적어서 장치의 제작과 관리도 편리해진다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 증착원 증발 장치를 사용하는 증착 과정을 보인 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 증착원 증발 장치의 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 증착원 증발 장치의 분리사시도이다.
도 4는 도 3의 도시된 증착원 증발 장치의 제조 과정을 보인 순서도이다.
도 5a 및 도 5b는 도 4에 도시된 제조 과정 중 진공 배기와 함침 과정을 묘사한 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착원 증발 장치를 도시한 분리사시도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 증착원 증발 장치를 도시한 사시도이다.
도 8은 도 1에 도시된 대상 기판의 세부 구조를 보인 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 증착원 증발 장치(100)가 채용된 박막 증착 장치의 구조를 개략적으로 도시한 것이다.
도시된 바와 같이 상기 박막 증착 장치는 대상 기판(300) 상의 증착 영역을 제한해주는 마스크(200)와, 챔버(400) 내에서 상기 대상 기판(300)을 향해 증착가스를 분출하는 증착원 증발 장치(100) 등을 구비하고 있다.
따라서, 챔버(400) 내에서 증착원 증발 장치(100)가 분사부(121a)를 통해 증착가스를 분출하면 해당 증착가스가 마스크(120)의 개구를 통과하여 기판(300)에 달라붙으면서 소정 패턴의 박막을 형성하게 된다.
상기 증착원 증발 장치(100)는 도 1 및 도 2에 도시된 같이 레일(410)을 따라 챔버(400) 내를 왕복 이동하면서 대상 기판(300)의 전체 증착 영역에 대해 증착 가스를 분사한다. 그런데 이것은 증착 방식의 일 예이고, 반대로 증착원 증발 장치(100)가 고정된 상태에서 대상 기판(300)이 왕복이동하거나 회전하면서 증착을 진행하게 구성할 수도 있다. 즉, 상대 이동을 위해 어느 것을 고정시키고 어느 것을 이동시킬 것인지는 다양한 변형이 가능하다.
이제 상기 증착원 증발 장치(100)의 세부 구조를 도 2 및 도 3을 참조하여 살펴보기로 한다.
먼저, 도 2에 도시된 바와 같이 증착원 증발 장치(100)는, 증착원을 수용하여 분사부(121a)를 통해 대상 기판(300) 쪽으로 증착 가스를 분사하는 도가니유닛(120)과, 증착원이 증발되도록 도가니유닛(120)을 가열하는 히터(130), 그리고 도가니유닛(120)에서 발생하는 열이 기판(300) 쪽으로 방출되지 않도록 막아주는 복사열방지판(110) 등을 구비하고 있다. 따라서, 히터(130)가 도가니유닛(120)을 가열하면 그 안에 수용된 증착원이 증발하여 상기 분사부(121a)를 통해 분사되는 것이다. 상기 히터(130)는 3구간(130a)(130b)(130c)으로 분할된 구조로 이루어져 있어서, 각 구간 별 차등 가열 제어도 가능하다.
참조부호 111은 상기 분사부(121a)에 대응하여 복사열방지판(110)에 형성된 관통홀을 나타낸다. 그리고, 참조부호 125는 도가니 유닛(120) 중에서 냉매 순환부(125a)를 가진 쿨링자켓(125)을 나타내며 히터(130)에 의해 주변이 너무 과열되지 않도록 적절히 식혀주는 역할을 한다.
상기 도가니유닛(120)을 좀 더 구체적으로 살펴보면, 도 3에 도시된 바와 같이, 내부 도가니(121)와 외부 도가니(122), 방열판(123)과 하우징(124), 그리고 상기 쿨링자켓(125) 등을 구비하고 있다.
상기 내부 도가니(121)는 증착원을 직접 내부 공간에 수용하는 것으로, 수용된 증착원이 다 소진되면 내부 도가니(121)를 도가니유닛(120)에서 빼내서 내부 수용 공간에 증착원을 다시 충진한 후 재장착하여 사용한다.
상기 외부 도가니(122)는 상기 내부 도가니(121)를 수납하며, 상기 히터(130)는 이 외부 도가니(122)의 외벽에 설치되어 발열한다.
상기 하우징(124)은 상기 외부 도가니(122)와 상기 히터(130)를 수납하며, 바닥면에는 방열판(123)이 배치된다. 방열판(123)은 히터(130)의 열에 의해 하우징(124)이 변형되지 않게 보호해주는 역할을 하는 것으로, 본 실시예에서는 하우징(124)의 바닥면에만 있는 것으로 도시하였으나, 측면에도 설치할 수 있다. 그리고 하우징(124) 바닥면에 상기 방열판(123)을 떠받치는 프레임(미도시)을 별도로 더 설치할 수도 있다. 참조부호 131은 히터(130)가 하우징(124) 내벽에 직접 닿지 않도록 간격을 유지해주는 절연체를 나타낸다.
상기 쿨링자켓(125)은 하우징(124)을 수납하며, 전술한 바대로 본체 외벽에 설치된 냉매 순환부(125a)로 냉매를 순환시키면서 히터(130)에 의해 발생한 열을 적절히 식혀준다.
한편, 본 실시예에서는 상기 복사열방지판(110)과 상기 내외부 도가니(121)(122) 및 하우징(124) 등이 모두 분할체가 아닌 단일체로 이루어져 있다. 즉, 복사열방지판(110)을 보면 몸체가 여러 부분으로 나뉘어진 것이 아니라 전체가 한 몸체로 이루어져 있고, 내부 도가니(121)도 단일 수용 공간을 가진 단일체로 이루어져 있으며, 외부 도나기(122)와 방열판(123) 및 하우징(124)도 마찬가지로 단일체로 이루어져 있다.
기존에는 이것을 단일체로 하지 못하고 여러 부분으로 나눠서 만든 후 붙여서 사용했는데, 그 이유는 단일체로 크게 만들 경우 열변형이 일어날 가능성이 커지기 때문이다. 즉, 복사열방지판(110) 부터 하우징(124)까지는 증착 작업 시 히터(130)에 의한 열을 직접 받아 약 1,000℃가 넘는 분위기에서 장시간 사용되기 때문에, 열변형의 우려가 항상 있으며 특히 부재들이 크고 길어질수록 뒤틀리는 등의 변형 발생 가능성이 높아진다. 따라서 기존에는 이러한 변형의 위험을 줄이기 위해 부재들을 작고 짧게 만든 후 붙여서 사용했는데, 이렇게 되면 예컨대 복사열방지판(110)의 여러 조각들이 맞닿는 부위에 틈새가 생기기 쉽게 되고 그 틈새로 외부로 고온의 열이 방출되면서 대상 기판(300)이나 주변 기기가 열화될 위험이 커진다. 그리고, 작업성 측면에서 볼 때도 부재들을 분할체로 만든 후 서로 이어 붙이는 조립 과정을 추가로 거쳐야 하므로 제작 과정이 복잡해지는 등 단점이 많았다.
그러나, 본 실시예에서는 상기 복사열방지판(110)과 상기 내외부 도가니(121)(122) 및 하우징(124) 등을 모두 단일체로 만듦으로써 이러한 복사열 누출이나 복잡한 제작 과정의 문제들을 모두 해소할 수 있다.
이렇게 상기 부재들을 단일체로 만들 수 있는 것은 그 소재를 탄소섬유복합재(carbon fiber composite)로 개선했기 때문이다. 즉, 이 탄소섬유복합재는 내열성이 매우 우수하여 1,300℃가 넘는 온도에서도 장시간 변형 없이 견딜 수 있는 특성을 가지고 있다.
따라서, 기본적으로 상기 복사열방지판(110)을 이 탄소섬유복합재 소재의 단일체로 제작하여 열 누출 위험이 있는 몸체 중간의 틈새를 없애고, 여러 조각을 이어 붙일 필요가 없는 간소한 제작 과정을 구현한다.
뿐만 아니라, 상기한 내부 도가니(121), 외부 도가니(122), 방열판(123), 하우징(124) 및, 하우징(124) 내부에서 방열판(123)을 받치는 프레임(미도시)까지 모두 이 탄소섬유복합재를 이용하여 단일체로 만들어서 사용할 수 있다. 그러면, 고온의 증착 작업을 장시간 지속해도 부재들 자체의 열변형이나 외부로의 열 누출과 같은 위험이 거의 없는 매우 안정적인 작업 환경을 구현할 수 있게 되며, 따라서 작업성과 제품의 품질이 모두 향상될 수 있다.
이와 같은 탄소섬유복합재를 이용한 상기 부재들의 제작은 도 4에 도시된 순서도를 따라 진행될 수 있는데, 그 자세한 제작 과정에 대해서는 후술하기로 하고, 그 전에 먼저 이 증착원 증발 장치(100)로 증착할 수 있는 대상 기판(300)의 예를 도 8을 참조하여 간략히 소개하기로 한다.
상기 증착원 증발 장치(100)는 각종 박막 증착용으로 사용될 수 있는데, 예컨대 유기 발광 표시 장치의 금속 전극층이나 유무기막을 형성하는 데 사용될 수 있다.
도 8은 본 발명의 증착원 증발 장치(100)를 이용하여 박막을 증착할 수 있는 대상 기판(300)의 예로서 이 유기 발광 표시 장치의 구조를 도시한 것이다.
도 8을 참조하면, 베이스판(320)상에 버퍼층(330)이 형성되어 있고, 이 버퍼층(330) 상부로 박막트랜지스터(TFT)가 구비된다.
박막트랜지스터(TFT)는 활성층(331)과, 이 활성층(331)을 덮도록 형성된 게이트 절연막(332)과, 게이트 절연막(332) 상부의 게이트 전극(333)을 갖는다.
게이트 전극(333)을 덮도록 층간 절연막(334)이 형성되며, 층간 절연막(334)의 상부에 소스전극(335a) 및 드레인 전극(335b)이 형성된다.
소스전극(335a) 및 드레인 전극(335b)은 게이트 절연막(332) 및 층간 절연막(334)에 형성된 컨택홀에 의해 활성층(331)의 소스 영역 및 드레인 영역에 각각 접촉된다.
그리고, 상기 드레인 전극(335b)에 유기 발광 소자(OLED)의 화소전극(321)이 연결된다. 화소전극(321)은 평탄화막(337) 상부에 형성되어 있으며, 이 화소전극(321) 위에 서브화소 영역을 구획하는 화소정의막(Pixel defining layer: 338)이 형성된다. 그리고, 이 화소정의막(338)의 개구부에 유기 발광 소자(OLED)의 발광층(326)이 형성되고, 이들 상부에 대향전극(327)이 증착된다. 즉, 화소정의막(338)으로 둘러싸인 개구부가 적색화소(R), 녹색화소(G), 및 청색화소(B)와 같은 한 서브화소의 영역이 되며, 그 안에 해당 색상의 발광층(326)이 형성되는 것이다. 상기 대향전극(327) 위에는 유기막(339a)과 무기막(339b)이 교대로 적층된 박막봉지층(339)이 형성될 수 있다.
따라서, 예컨대 금속층인 상기 대향전극(327)이나 또는 박막봉지층(339)의 유,무기막(339a)(339b)을 상기한 탄소섬유복합재 소재의 증착원 증발 장치(100)로 형성할 수 있다.
이와 같은 탄소섬유복합재를 이용한 증착원 증발 장치(100) 부재들의 제작 과정은 도 4에 도시된 순서도와 같이 진행될 수 있다.
우선, 소재가 되는 상기 탄소섬유복합재는 탄소섬유 알갱이와 제1카본계열수지를 혼합하여 만든다(S1). 여기서 탄소섬유 알갱이는 탄소섬유를 쪼갠(chopping) 파편이나 분쇄한 분말이 될 수 있으며, 이를 제1카본계열수지와 혼합하여 반죽 상태의 소재를 만든다. 그리고는 이 반죽 상태의 소재를 프레스로 압착하고(S2), 가열하여 경화시킨다(S3). 그러면 고체 상태의 소재가 만들어지는데, 이 상태에서는 소재 내부에 공극이 많은 상태이고 공극 안에는 이물질이 많이 끼여있는 상태라서 바로 부재들 성형 소재로 사용하면 강도가 약해질 수 있다.
따라서, 진공배기로 이물질을 제거하고(S4) 제2탄소계열수지로 공극을 메우는 단계(S5)를 거치게 된다. 진공배기 공정에서는 도 5a에 도시된 바와 같이 소재(10)를 작업탱크(30) 안에 넣고 진공배기 시킴으로써 내부의 공극에 끼여있던 이물질들이 진공 압력에 의해 빠져나가도록 한다. 이어서, 도 5b와 같아 작업탱크(30)로 제2탄소계열수지(20)를 공급하여 소재(10)를 함침시킨다. 그러면 이물질이 비워진 상기 공극을 제2탄소계열수지(20)가 스며들면서 메우게 된다. 제2탄소계열수지(20)는 상기한 제1탄소계열수지와 동종이 사용될 수도 있고 다른 것이 사용될 수도 있다.
이 상태에서 소재(10)를 다시 가열하여 경화시키면 공극을 메운 제2탄소계열수지(20)가 굳어지면서 소재(10) 본체와 일체가 된다.
이렇게 준비된 소재는 전술한 바대로 매우 높은 내열성과 적정한 강도를 갖게 되며, 따라서, 이것을 성형하여 복사열방지판(110)과, 내부 도가니(121), 외부도가니(122), 방열판(123), 하우징(124) 등으로 만들면(S7), 고온의 증착 작업을 장시간 지속해도 부재들 자체의 열변형이나 외부로의 열 누출과 같은 위험이 거의 없는 매우 안정적인 작업 환경을 구현할 수 있다.
한편, 상기 쿨링자켓(125)도 탄소섬유복합재로 만들 수 있겠지만, 기본적으로 냉매 순환부(125a)를 가지고 있는데다가, 쿨링자켓(125)은 도가니유닛(120)의 최외곽 보호벽 역할도 하기 때문에 내열성 보다는 내충격성이 더 우선 시 된다. 따라서 쿨링자켓(125)은 스테인레스 스틸 재질로 만든 것이 바람직하다. 히터(130)는 Ta, W등의 소재로 만들어질 수 있으며, 상기 절연체(131)는 AlN과 BN이 혼합된 소재로 만들 수 있다. 이들을 제외한 복사열방지판(110), 내,외부 도가니(121)(122), 방열판(123), 하우징(124) 등은 상기한 탄소섬유복합재로 만들어서 강력한 내열성을 확보한다.
다음으로, 도 6은 본 발명의 변형 가능한 구성을 보인 것으로, 외부 도가니 (122-1)와 하우징(124-1) 및 방열판(123-1)을 일체로 만든 것이다. 즉, 전술한 실시예에서는 이들이 별개의 부재로 제작되었지만, 본 실시예와 같이 하나로 결합된 단일체로 만들어서 부재의 개수를 줄일 수도 있음을 보인 것이다. 물론, 이 단일체 역시 탄소섬유복합재로 만들어서 강력한 내열성을 확보해야 열변형에 견딜 수 있게 된다.
그리고, 상기 방열판(123-1)은 전술한 실시예와 본 실시예 모두 단층인 경우를 예시하였는데, 여러 매를 적층한 복층으로 구성하여 방열 효과를 더 높일 수도 있다.
다음으로 도 7은 대상 기판(300)이 매우 큰 경우에 대응하는 방식을 예시한 것으로, 전술한 실시예들의 증착원 증발 장치(100) 하나로 감당할 수 있는 범위를 넘는 대형 기판(300)에 증착을 해야 하는 경우에는, 도 7과 같이 각각 도가니유닛(120)과 복사열방지판(110) 및 히터(130) 등을 구비한 증착원 증발 장치(100) 한 쌍을 붙여서 사용할 수도 있다. 다만, 이 경우에는 분사부(121a)가 서로 맞닿는 경계면(A)을 중심으로 서로 대칭이 되도록 배치한다. 즉, 분사부(121a)는 가운데 부분 보다 양단부 측이 조밀하게 배열되는데, 한 쌍의 증착원 증발 장치(100)가 붙어서 전체적으로 이러한 배열이 되도록 대칭되게 분사부(121a)를 형성하여 사용한다.
그러므로, 이와 같은 구조의 증착원 증발 장치(100)를 이용하면, 장시간의 증착 작업도 무난하게 진행할 수 있게 되며, 이에 따라 부품의 수명이 길어져서 작업성과 증착 품질이 모두 개선될 수 있다. 또한, 증착 장치의 부재들을 작은 여러 개 부분으로 나누지 않고 하나로 크게 만들 수 있어서 장치의 제작과 관리도 편리해진다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100: 증착원 증발 장치 110: 복사열방지판
111: 관통홀 120: 도가니유닛
121: 내부 도가니 122: 외부 도가니
123: 방열판 124: 하우징
125: 쿨링자켓 125a: 냉매 순환부
130: 히터

Claims (20)

  1. 증착원을 수용하며 일측에 분사부가 구비된 도가니 유닛과,
    상기 도가니 유닛을 가열하여 상기 증착원을 상기 분사부를 통해 증발시키는 히터 및,
    상기 분사부 측을 통한 방열을 억제하는 복사열방지판을 포함하며,
    상기 도가니 유닛과 상기 복사열방지판 중 어느 하나의 재질은 탄소섬유복합재를 포함하는 증착원 증발 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄소섬유복합재는 탄소섬유 알갱이를 제1카본계열수지와 혼합한 후 압착 경화시킨 소재를 포함하는 증착원 증발 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 탄소섬유 알갱이는 탄소섬유를 쪼갠 파편과 분쇄한 분말 중 어느 하나를 포함하는 증착원 증발 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 탄소섬유복합재는 내부의 공극이 제2카본계열수지의 함침 및 경화로 메워진 증착원 증발 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 복사열방지판은 단일체인 증착원 증발 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 도가니 유닛은 상기 증착원을 수용하는 내부 도가니, 상기 내부 도가니를 수용하며 상기 히터에 의해 가열되는 외부 도가니, 상기 외부 도가니와 상기 히터를 수용하는 하우징 및, 상기 하우징을 수용하며 냉매 순환부를 가진 쿨링자켓을 포함하며,
    상기 내부 도가니와 상기 외부 도가니 및 상기 하우징의 재질은 상기 탄소섬유복합재를 포함하는 증착원 증발 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 내부 도가니는 단일 수용 공간을 가진 단일체인 증착원 증발 장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 하우징의 내벽에는 상기 탄소섬유복합재 재질의 방열판이 설치된 증착원 증발 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 하우징과 상기 방열판 및 상기 외부 도가니는 일체형인 증착원 증발 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 분사부가 서로 대칭되게 배치된 상기 도가니 유닛 한 쌍과,
    상기 각 도가니 유닛에 설치된 상기 히터 한 쌍 및 상기 복사열방지판 한 쌍을 구비한 증착원 증발 장치.
  11. 증착원을 수용하며 일측에 분사부가 구비된 도가니 유닛을 준비하는 단계;
    상기 도가니 유닛에 히터를 설치하는 단계; 및,
    상기 도가니 유닛의 분사부 측에 방열을 억제하는 복사열방지판을 설치하는 단계;를 포함하며,
    상기 도가니 유닛과 상기 복사열방지판 중 어느 하나를 탄소섬유복합재로 만드는 증착원 증발 장치의 제조방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 탄소섬유복합재는 탄소섬유 알갱이를 제1카본계열수지와 혼합한 후 압착 경화시켜 만드는 증착원 증발 장치의 제조방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 탄소섬유 알갱이는 탄소섬유를 파편으로 쪼개는 공정과 분말로 분쇄하는 공정 중 어느 하나의 공정으로 만드는 증착원 증발 장치의 제조방법.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 탄소섬유복합재를 진공 처리하여 내부의 공극의 이물질을 제거하는 공정과, 상기 이물질이 제거된 공극에 제2카본계열수지를 함침시켜서 메우고 경화시키는 공정을 더 포함하는 증착원 증발 장치의 제조방법.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 복사열방지판을 단일체로 만드는 증착원 증발 장치의 제조방법.
  16. 제 11 항에 있어서,
    상기 도가니 유닛은 상기 증착원을 수용하는 내부 도가니, 상기 내부 도가니를 수용하며 상기 히터에 의해 가열되는 외부 도가니, 상기 외부 도가니와 상기 히터를 수용하는 하우징 및 상기 하우징을 수용하며 냉매 순환부를 가진 쿨링자켓을 포함하며,
    상기 내부 도가니와 상기 외부 도가니 및 상기 하우징을 상기 탄소섬유복합재로 만드는 증착원 증발 장치의 제조방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 내부 도가니를 단일 수용 공간을 가진 단일체로 만드는 증착원 증발 장치의 제조방법.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 하우징의 내벽에 상기 탄소섬유복합재 재질의 방열판을 더 설치하는 증착원 증발 장치의 제조방법.
  19. 제 11 항에 있어서,
    상기 하우징과 상기 방열판 및 상기 외부 도가니를 일체형으로 만드는 증착원 증발 장치의 제조방법.
  20. 제 11 항에 있어서,
    서로 대칭되는 분사부를 가진 상기 도가니 유닛 한 쌍을 준비하여 상기 분사부가 대칭되도록 배치하는 단계와,
    상기 각 도가니 유닛에 상기 히터 및 상기 복사열방지판을 각각 설치하는 단계를 더 포함하는 증착원 증발 장치의 제조방법.
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