KR20200081544A - Method of patterned structure using plasma process - Google Patents

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Abstract

An objective of the present invention is to use a plasma process to form a structure pattern. A forming method of a structure pattern using plasma comprises: a first step of forming a mask pattern layer exposing an area of a substrate on an upper portion of the substrate; a second step of supplying the substrate having the mask pattern formed thereon into a reaction chamber, and generating plasma in the reaction chamber to plasma-treat the exposed area of the substrate; a third step of generating a reactant resulting from the plasma treatment on the exposed area of the substrate; and a fourth step of removing the mask pattern layer to form a structure pattern resulting from the reactant on the exposed area of the substrate. Accordingly, the reactant generated by a reaction with plasma reaction gas and the substrate during a plasma treatment process is re-deposited on the substrate to provide a new structure pattern.

Description

플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법{Method of patterned structure using plasma process}Method of patterned structure using plasma process

본 발명은 플라즈마 공정을 이용하여 구조체 패턴을 형성하고자 하는 것으로, 플라즈마 처리(반응) 공정 중 기재(기판 또는 박막)와 플라즈마 반응 가스와의 반응에 의해 생성되는 반응물이 기재 상에 재증착되어 새로운 구조체 패턴을 제공하는 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법에 관한 것이다.The present invention is intended to form a structure pattern by using a plasma process. During the plasma treatment (reaction) process, a reactant generated by reaction of a substrate (substrate or thin film) with a plasma reaction gas is redeposited onto the substrate to form a new structure. It relates to a method of forming a structure pattern using a plasma to provide a pattern.

최근 전자소자의 고집적화, 소형화 추세에 따라 나노구조체 및 그 제조방법에 대한 연구가 매우 활발히 진행되고 있다. 일반적으로 나노구조체는 수nm 크기의 입자로 이루어져 광학적, 자기적, 전기적 성질을 가지며, 입자의 크기나 모양에 따라 상이한 성질을 나타낸다.Recently, with the trend toward high integration and miniaturization of electronic devices, research into nanostructures and methods of manufacturing the same has been actively conducted. In general, nanostructures are composed of particles of several nm in size, and have optical, magnetic, and electrical properties, and exhibit different properties depending on the size or shape of the particles.

특히 산화물 나노구조체는 절연체 또는 유전체로서 다양한 전자 소자에 이용되고 있으며, 전자 소자를 제작하기 위해서는 패턴을 반복적으로 구현할 필요성이 있다.In particular, oxide nanostructures are used in various electronic devices as insulators or dielectrics, and it is necessary to repeatedly implement a pattern to manufacture electronic devices.

일반적으로 이러한 산화물 나노구조체 패턴은 도 1과 같이 박막의 증착, 패터닝 및 식각 공정에 의해 제조된다.In general, the oxide nanostructure pattern is manufactured by a deposition, patterning and etching process of a thin film as shown in FIG. 1.

기재(10) 상에 유전체층(20)을 증착하고, 상기 유전체층(20) 상부에 고분자층(30)을 형성한 후, 레지스트층(40)을 순차적으로 형성한 후, 상기 레지스트층(40)의 패터닝 공정을 수행하고, 고분자(30)층과 유전체층(20)을 식각한 후, 레지스트층(40)과 고분자층(40)을 제거함으로써 기재(10) 상에 패턴된 유전체층(20)을 형성하게 된다.After depositing the dielectric layer 20 on the substrate 10, forming the polymer layer 30 on the dielectric layer 20, and sequentially forming the resist layer 40, and then the resist layer 40 After performing the patterning process, etching the polymer layer 30 and the dielectric layer 20, and removing the resist layer 40 and the polymer layer 40 to form a patterned dielectric layer 20 on the substrate 10 do.

이러한 유전체 패턴 형성 공정은 기재 상에 유전체층을 형성하는 증착 공정에서부터 고분자층 증착, 레지스트층 형성, 레지스트층의 패터닝 공정, 고분자층과 유전체층 식각 등 여러 단계의 공정이 필요하게 된다.The dielectric pattern forming process requires several steps, from a deposition process of forming a dielectric layer on a substrate to a deposition of a polymer layer, formation of a resist layer, patterning of a resist layer, and etching of the polymer layer and the dielectric layer.

또한, 기재 상에 형성된 유전체층의 종류에 의해서 결정되는 단일 종류의 유전체층만을 얻을 수 있으며, 유전체층을 패턴화하기 위해서는 유전체층의 일부 영역을 건식 식각에 의해 제거하는 공정을 거쳐야 하는데 공정 시간이 많이 소요될 뿐만 아니라, 이 과정에서 유전체층의 잔류막이 잔존할 수 있어 목적하는 바의 유전체 패턴을 획득하기 위해서는 이를 제거하기 위한 공정이 더 필요하여 공정의 복잡화를 야기하고 있다.In addition, only a single type of dielectric layer determined by the type of the dielectric layer formed on the substrate can be obtained, and in order to pattern the dielectric layer, a process of removing some regions of the dielectric layer by dry etching is required, but also requires a lot of processing time. , In this process, the residual film of the dielectric layer may remain, and in order to obtain a desired dielectric pattern, a process for removing it is required, which leads to complexity of the process.

본 발명은 상기 필요성에 의해 고안된 것으로서, 플라즈마 처리(반응) 공정 중 기재와 플라즈마 반응 가스와의 반응에 의해 생성되는 반응물이 기재 상에 재증착되어 새로운 구조체 패턴을 제공하는 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법의 제공을 그 목적으로 한다.The present invention was devised by the necessity of the above, and a reactant generated by the reaction between the substrate and the plasma reaction gas during the plasma treatment (reaction) process is redeposited onto the substrate to form a structure pattern using plasma to provide a new structure pattern. The purpose is to provide a method.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 기재 상부에 상기 기재의 일부 영역을 노출시키는 마스크 패턴층을 형성하는 제1단계와, 상기 마스크 패턴층이 형성된 기재를 반응챔버 내에 제공하고, 상기 반응챔버 내에 플라즈마를 생성하여 상기 기재의 노출된 영역을 플라즈마 처리하는 제2단계와, 상기 플라즈마 처리에 따른 반응물을 상기 기재의 노출된 영역에 생성시키는 제3단계와, 상기 마스크 패턴층을 제거하여 상기 기재의 노출된 영역에 상기 반응물에 따른 구조체 패턴을 형성시키는 제4단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법을 기술적 요지로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a first step of forming a mask pattern layer exposing a portion of the substrate on the substrate and a substrate on which the mask pattern layer is formed, in the reaction chamber, A second step of generating plasma and plasma-processing the exposed area of the substrate; a third step of generating reactants according to the plasma treatment to the exposed area of the substrate; and removing the mask pattern layer to remove the mask pattern layer. A method of forming a structure pattern using plasma characterized in that it comprises a fourth step of forming a structure pattern according to the reactant in the exposed area is a technical subject.

여기에서 상기 기재는, 기판 또는 박막으로 구현되며, Silicon(Si), Boron nitride(BN), Diamond, Silicon carbide(SiC), Zinc oxide(ZnO), Magnesium oxide(MgO), Sapphire(Al2O3), Quartz, Glass, Metal 중 어느 하나, 또는 Indium(In), Aluminium(Al), Gallium(Ga), Nitrogen(N), Arsenic(As), Phosphorus(P), Antimony(Sb) 중 어느 하나 이상을 포함하는 화합물 중에서 어느 하나를 사용할 수 있다.Here, the substrate is implemented as a substrate or a thin film, Silicon (Si), Boron nitride (BN), Diamond, Silicon carbide (SiC), Zinc oxide (ZnO), Magnesium oxide (MgO), Sapphire (Al 2 O 3 ), Quartz, Glass, Metal, or any one of Indium (In), Aluminium (Al), Gallium (Ga), Nitrogen (N), Arsenic (As), Phosphorus (P), Antimony (Sb) Either compound may be used.

또한, 상기 기재 상부에 고분자층을 형성하고, 상기 고분자층 상부에 마스크 패턴층이 구현되는 것이 바람직하며, 상기 고분자층과 마스크 패턴층이 구현된 기재는, 상기 마스크 패턴층을 마스크로 하여 플라즈마 처리되어 상기 고분자층을 식각시키고, 상기 고분자층이 식각되어 형성된 상기 기재의 노출된 영역에 상기 플라즈마 처리에 따른 상기 반응물을 생성시키는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that a polymer layer is formed on the substrate, and a mask pattern layer is implemented on the polymer layer, and the substrate on which the polymer layer and the mask pattern layer are implemented is plasma treated using the mask pattern layer as a mask. It is preferable that the polymer layer is etched and the reactant according to the plasma treatment is generated in the exposed region of the substrate formed by etching the polymer layer.

또한, 상기 고분자층의 식각은 건식 또는 습식 식각 공정을 통한 이방성 및 등방성 식각을 유도하여 패턴된 고분자층의 치수(선폭, 직경 및 패턴 간의 간격)를 조절하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable to control the dimension (line width, diameter and spacing between patterns) of the patterned polymer layer by inducing anisotropic and isotropic etching through a dry or wet etching process.

또한, 상기 고분자층의 식각은 건식 또는 습식 식각 공정을 통한 이방성 및 등방성 식각을 유도하여 패턴된 고분자층의 치수(선폭, 직경 및 패턴 간의 간격)를 조절하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable to control the dimension (line width, diameter and spacing between patterns) of the patterned polymer layer by inducing anisotropic and isotropic etching through a dry or wet etching process.

여기에서, 상기 고분자층의 건식 식각 공정의 경우, 10nm~1㎛ 범위로 고분자층의 두께 조절을 통하여 패턴된 고분자층의 치수(선폭, 직경 및 패턴 간의 간격)를 조절하는 것이 바람직하다.Here, in the case of the dry etching process of the polymer layer, it is preferable to adjust the dimension (line width, diameter and spacing between patterns) of the patterned polymer layer through the thickness control of the polymer layer in the range of 10 nm to 1 μm.

또한, 상기 고분자층의 습식 식각 공정의 경우, 10nm~1㎛ 범위로 고분자층의 두께 조절을 통하여 패턴된 고분자층의 치수(선폭, 직경 및 패턴 간의 간격)를 조절하며, Acetone, Isopropyl alcohol, Hydrofluoric acid(HF), Phosphoric acid(H3PO4), Hydrochloric acid(HCl), Nitric acid(HNO3), Acetic acid(CH3COOH), Dihydrogen dioxide(H2O2), Potassium hydroxide(KOH), 4-Methyl-2-pentanone, Ketone, MIBK (Methyl Iso Butyl Ketone), Methyl Ethyl Ketone, Water(H2O), Methanol(CH3OH), Ethanol(C2H5OH), Propanol, Isopropanol, Butanol, Pentanol, Hexanol, DMSO(Dimethyl sulfoxide), DMF(Dimethylformamide), NMP(N-Methyl Pyrrolidone), Acetonitrile, THF(Tetrahydrofuran), Nonane(C9H20), Octane, Heptane, Pentane, 2-Methoxyethanol 으로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 어느 하나의 용매를 사용하는 것이 바람직하다.In addition, in the case of the wet etching process of the polymer layer, the dimension (line width, diameter and spacing between patterns) of the patterned polymer layer is controlled by adjusting the thickness of the polymer layer in the range of 10 nm to 1 μm, Acetone, Isopropyl alcohol, Hydrofluoric acid(HF), Phosphoric acid(H 3 PO 4 ), Hydrochloric acid(HCl), Nitric acid(HNO 3 ), Acetic acid(CH 3 COOH), Dihydrogen dioxide(H 2 O 2 ), Potassium hydroxide(KOH), 4-Methyl-2-pentanone, Ketone, MIBK (Methyl Iso Butyl Ketone), Methyl Ethyl Ketone, Water(H 2 O), Methanol(CH 3 OH), Ethanol(C 2 H 5 OH), Propanol, Isopropanol, Butanol , Pentanol, Hexanol, DMSO (Dimethyl sulfoxide), DMF (Dimethylformamide), NMP (N-Methyl Pyrrolidone), Acetonitrile, THF (Tetrahydrofuran), Nonane (C 9 H 20 ), Octane, Heptane, Pentane, 2-Methoxyethanol It is preferred to use at least one solvent selected from the group.

또한, 상기 고분자층은, PVC(Polyvinyl Chloride), Neoprene, PVA(Polyvinyl Alcohol), PMMA(Poly Methyl Meta Acrylate), PBMA(Poly Benzyl Meta Acrylate), PolyStylene, SOG(Spin On Glass), PDMS(Polydimethylsiloxane), PVFM(Poly Vinyl formal), Parylene, Polyester, Epoxy, Polyether, Polyimide 및 LOR(Lift-Off Resist) 중 어느 하나로 이루어진 것이 바람직하다.In addition, the polymer layer is PVC (Polyvinyl Chloride), Neoprene, PVA (Polyvinyl Alcohol), PMMA (Poly Methyl Meta Acrylate), PBMA (Poly Benzyl Meta Acrylate), PolyStylene, SOG (Spin On Glass), PDMS (Polydimethylsiloxane) , PVFM (Poly Vinyl formal), Parylene, Polyester, Epoxy, Polyether, Polyimide and LOR (Lift-Off Resist).

또한 상기 반응물은, 플라즈마 가스의 종류 또는 기재의 종류에 따라 조성이 달라질 수 있으며, 상기 플라즈마는 Boron trichloride(BCl3), Silicon tetrachloride(SiCl4), Chlorine(Cl2), Hydrogen bromide(HBr), Hydrochloric acid(HCl), Sulfur hexafluoride(SF6), Tetrafluoromethane(CF4), Fluoroform(CHF3), Nitrogen trifluoride(NF3), Silicon tetrafluoride(SiF4), Hexafluoroethane(C2F6), Chloromethane(ClCH3), Chloroform(CHCl3), Carbon tetrachloride(CCl4), Dichlorodifluoromethane(CCl2F2), Methane(CH4), Ethane(C2H6), Iodine(I2), Iodine monochloride(ICl), Iodine monobromide(IBr), Xenon(Xe), Chlorofluorocarbons(CFCs) 및 Oxygen(O2)로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 어느 하나 이상의 가스를 사용하거나, 상기 가스에 Nitrogen(N2), Argon(Ar) 및 Helium(He) 중에서 선택되는 적어도 하나의 불활성 가스를 더 포함시켜 사용할 수도 있다.In addition, the composition of the reactant may vary depending on the type of plasma gas or the type of substrate, and the plasma may include Boron trichloride (BCl 3 ), Silicon tetrachloride (SiCl 4 ), Chlorine (Cl 2 ), Hydrogen bromide (HBr), Hydrochloric acid (HCl), Sulfur hexafluoride (SF 6 ), Tetrafluoromethane (CF 4 ), Fluoroform (CHF 3 ), Nitrogen trifluoride (NF 3 ), Silicon tetrafluoride (SiF 4 ), Hexafluoroethane (C 2 F 6 ), Chloromethane (ClCH) 3 ), Chloroform(CHCl 3 ), Carbon tetrachloride(CCl 4 ), Dichlorodifluoromethane(CCl 2 F 2 ), Methane(CH 4 ), Ethane(C 2 H 6 ), Iodine(I 2 ), Iodine monochloride(ICl), Use at least one or more gases selected from the group consisting of Iodine monobromide (IBr), Xenon (Xe), Chlorofluorocarbons (CFCs) and Oxygen (O 2 ), or Nitrogen (N 2 ), Argon (Ar) and Helium for the gas. It may also be used by further containing at least one inert gas selected from (He).

한편, 상기 제3단계의 제1반응물을 형성한 후, 상기 제1반응물 상에 금속 또는 상기 기재 조성물을 이용한 박막을 형성하고, 상기 박막을 플라즈마 처리하여 제2반응물을 형성하거나, 이러한 공정을 반복적으로 수행하여, 복합 반응물로 이루어진 구조체 패턴을 형성하는 것이 바람직하다.On the other hand, after forming the first reactant in the third step, a thin film using a metal or the substrate composition is formed on the first reactant, and the thin film is plasma treated to form a second reactant, or the process is repeated. By performing as, it is preferable to form a structure pattern consisting of a complex reactant.

또한 상기 플라즈마 조사 시간을 조절하여 상기 구조체 패턴의 두께를 조절할 수 있다.In addition, the thickness of the structure pattern may be controlled by adjusting the plasma irradiation time.

또한, 상기 구조체 패턴은, 테두리 영역이 중심부 영역보다 5~200% 정도 높이가 높게 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the structure pattern is characterized in that the border region is formed to be about 5 to 200% higher than the central region.

또한, 상기 플라즈마 조사시간 조절을 통하여 중심부 영역의 높이보다 테두리 영역의 높이가 더 높게 높이 조절이 가능한 것을 특징으로 한다.In addition, the height of the border region is higher than the height of the central region through the plasma irradiation time adjustment, it is characterized in that the height can be adjusted.

본 발명에서의 상기 구조체 패턴은, 유전체로 이루어진 것을 특징으로 한다.The structure pattern in the present invention is characterized by comprising a dielectric.

본 발명은 플라즈마 처리 공정 중 기재와 플라즈마 반응 가스와의 반응에 의해 생성되는 반응물이 기재 상에 재증착되어 새로운 구조체 패턴을 제공하는 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of forming a structure pattern using plasma in which a reactant generated by a reaction between a substrate and a plasma reaction gas during a plasma treatment process is redeposited onto a substrate to provide a new structure pattern.

또한 본 발명은 구조체 패턴을 형성하기 위한 여러 단계의 증착 공정 및 식각 공정 등이 필요하지 않게 되어 공정을 획기적으로 단순화시켜 생산성을 극대화시킬 수 있으며, 고품질의 구조체 패턴을 얻을 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention does not require a multi-step deposition process and an etch process to form a structure pattern, which greatly simplifies the process to maximize productivity, and has an effect of obtaining a high quality structure pattern.

또한, 플라즈마 반응 가스와 기재의 종류에 따라 다양한 조성물의 구조체 패턴을 얻을 수 있는 것으로 단일 공정에서는 다른 종류의 구조체 패턴을 다양하게 얻을 수 있는 효과가 있다.In addition, it is possible to obtain a structure pattern of various compositions according to the type of the plasma reaction gas and the substrate, there is an effect that can obtain a variety of different types of structure patterns in a single process.

특히 본 발명은 유전체 구조체 패턴을 구현하는데 유리하며, 이는 정렬된 나노구조체 성장을 위한 템플릿(Template), 패턴된 Gate oxide, 층간 절연막 등에 활용할 수 있다.In particular, the present invention is advantageous for implementing a dielectric structure pattern, which can be utilized for a template for growth of aligned nanostructures, patterned gate oxide, interlayer insulating films, and the like.

도 1 - 종래의 구조체 패턴 형성 방법을 나타낸 모식도.
도 2 - 본 발명의 일실시예에 따른 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법을 나타낸 모식도.
도 3 - 도 2(b)에서의 샘플의 정면 및 단면에 대한 전자현미경(SEM) 사진을 나타낸 도.
도 4 - 도 2(c)에서의 샘플의 기울인(Tilted) 단면에 대한 전자현미경(SEM) 사진을 나타낸 도.
도 5 - 도 2(c)에서의 일반적인 플라즈마 처리에 따른 샘플의 정면(a), 본 발명의 일실시예에 따른 플라즈마 처리에 따른 샘플의 정면(b)에 대한 전자현미경(SEM) 사진을 나타낸 도.
도 6 - 도 2(c)에서 플라즈마 처리에 따라 생성된 반응물을 화학적으로 제거한 이후 샘플의 기울인 단면에 대한 전자현미경(SEM) 사진을 나타낸 도.
도 7 - 도 2(d)에서 생성된 구조체 패턴의 형상(테두리 영역 및 중심부 영역)을 분석하기 위한 원자힘현미경(AFM) 사진을 나타낸 도.1-A schematic view showing a conventional structure pattern forming method.
Figure 2-schematic diagram showing a method of forming a structure pattern using plasma according to an embodiment of the present invention.
Figure 3-Figure 2 (b) is a view showing an electron microscope (SEM) picture of the front and cross-section of the sample.
4-FIG. 2(c) is a view showing an electron microscope (SEM) photograph of a tilted section of the sample.
5-FIG. 2(c) shows an electron microscope (SEM) photograph of the front surface (a) of the sample according to the general plasma treatment and the front surface (b) of the sample according to the plasma treatment according to an embodiment of the present invention. Degree.
6-FIG. 2(c) is a view showing an electron microscope (SEM) photograph of an inclined cross-section of a sample after chemically removing a reactant generated by plasma treatment.
FIG. 7-A diagram showing an atomic force microscope (AFM) photograph for analyzing the shape (border region and central region) of the structure pattern generated in FIG. 2(d).

본 발명은 플라즈마 공정을 이용하여 구조체 패턴을 형성하고자 하는 것으로, 플라즈마 처리 공정 중 기재와 플라즈마 반응 가스와의 반응에 의해 생성되는 반응물이 기재 상에 재증착되어 구조체 패턴을 이루는 것이다.The present invention is intended to form a structure pattern using a plasma process, and a reactant generated by a reaction between a substrate and a plasma reaction gas during a plasma treatment process is redeposited on a substrate to form a structure pattern.

이에 의해 기존의 구조체 패턴을 형성하기 위한 여러 단계의 증착 공정 및 식각 공정 등이 필요하지 않게 되어 공정을 획기적으로 단순화시켜 생산성을 극대화시킬 수 있으며, 고품질의 구조체 패턴을 얻을 수 있도록 하는 것이다.This eliminates the need for multiple steps of deposition and etching to form an existing structure pattern, thereby dramatically simplifying the process to maximize productivity, and to obtain a high quality structure pattern.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명하고자 한다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법을 나타낸 모식도이고, 도 3은 도 2(b)에서의 샘플의 정면 및 단면에 대한 전자현미경(SEM) 사진을 나타낸 도이고, 도 4는 도 2(c)에서의 샘플의 기울인 단면에 대한 전자현미경(SEM) 사진을 나타낸 도이고, 도 5는 일반적인 플라즈마 처리에 따른 샘플의 정면(a), 도 2(c)에서의 샘플의 정면(b)에 대한 전자현미경(SEM) 사진을 나타낸 도이고, 도 6은 도 2(c)에서 플라즈마 처리에 따라 생성된 반응물을 화학적으로 제거한 이후 샘플의 기울인 단면에 대한 전자현미경(SEM) 사진을 나타낸 도이며, 도 7은 도 2(d)에서 생성된 구조체 패턴의 형상(테두리 영역 및 중심부 영역)을 분석하기 위한 원자힘현미경(AFM) 사진을 나타낸 도이다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 2 is a schematic view showing a method of forming a structure pattern using plasma according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a view showing an electron microscope (SEM) photograph of the front and cross-section of the sample in FIG. 2(b). , FIG. 4 is a view showing an electron microscope (SEM) photograph of an inclined cross-section of the sample in FIG. 2(c), and FIG. 5 is a front (a), 2(c) of the sample according to the general plasma treatment. This is a view showing an electron microscope (SEM) photograph of the front side (b) of the sample, and FIG. 6 is an electron microscope (SEM) of the inclined cross-section of the sample after chemically removing the reactants generated according to the plasma treatment in FIG. 2(c). ) It is a diagram showing a photograph, and FIG. 7 is a diagram showing an atomic force microscope (AFM) photograph for analyzing the shape (border region and central region) of the structure pattern generated in FIG. 2(d).

도시된 바와 같이 본 발명에 따른 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법은 기재(100) 상부에 상기 기재(100)의 일부 영역을 노출시키는 마스크 패턴층(300)을 형성하는 제1단계와, 상기 마스크 패턴층(300)이 형성된 기재(100)를 반응챔버 내에 제공하고, 상기 반응챔버 내에 플라즈마를 생성하여 상기 기재(100)의 노출된 영역을 플라즈마 처리하는 제2단계와, 상기 플라즈마 처리에 따른 반응물을 상기 기재(100)의 노출된 영역에 생성시키는 제3단계와, 상기 마스크 패턴층(300)을 제거하여 상기 기재(100)의 노출된 영역에 상기 반응물에 따른 구조체 패턴(400)을 형성시키는 제4단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.As illustrated, a method of forming a structure pattern using plasma according to the present invention includes a first step of forming a mask pattern layer 300 exposing a portion of the substrate 100 on the substrate 100, and the mask A second step of providing a substrate 100 on which the pattern layer 300 is formed in a reaction chamber, and generating plasma in the reaction chamber to plasma-process an exposed area of the substrate 100, and reactants according to the plasma treatment The third step of generating the exposed region of the substrate 100, and removing the mask pattern layer 300 to form a structure pattern 400 according to the reactant in the exposed region of the substrate 100 It characterized in that it comprises a fourth step.

본 발명은 기재(100) 상부에 구조체 패턴(400)을 형성하는 것으로서, 특히 플라즈마 처리에 따른 플라즈마 반응가스와 기재(100) 물질 간의 반응에 의해 생성되는 반응물 예컨대 유전체, 산화물, 금속산화물, 질화물, 불화물, 황화물, 인화물 또는 탄화물과 같은 조성이 기재(100) 상부에 소정의 패턴을 이루며 형성된 것이다. 상기 구조체 패턴(400)은 적용하고자 하는 분야에 적합하도록 다양한 크기 및 형태로 형성될 수 있다.The present invention is to form a structure pattern 400 on top of the substrate 100, in particular, a reactant generated by the reaction between the plasma reaction gas and the substrate 100 material according to the plasma treatment, such as dielectric, oxide, metal oxide, nitride, A composition such as fluoride, sulfide, phosphide, or carbide is formed in a predetermined pattern on the substrate 100. The structure pattern 400 may be formed in various sizes and shapes to suit the field to be applied.

도 2에 도시한 바와 같이 본 발명에 따른 플라즈마를 이용한 구조체 패턴(400)의 형성 방법은 먼저, 기재(100) 상부에 상기 기재(100)의 일부 영역을 노출시키는 마스크 패턴층(300)을 형성하는 것이다(제1단계, 도 2(a) 및 도 2(b)).As shown in FIG. 2, in the method of forming the structure pattern 400 using plasma according to the present invention, first, a mask pattern layer 300 exposing a partial region of the substrate 100 is formed on the substrate 100 (First step, FIG. 2(a) and FIG. 2(b)).

상기 기재(100)는 구조체 패턴(400)의 응용분야에 따라 다양한 종류가 사용될 수 있으며, 플라즈마 처리에 의해 표면처리(반응)가 이루어지는 재료이면 무방하며, 금속 또는 무기물 기판 또는 박막, 트랜지스터 구조 등이 사용될 수 있다.Various types of the substrate 100 may be used depending on the application field of the structure pattern 400, and may be any material that is subjected to surface treatment (reaction) by plasma treatment, and a metal or inorganic substrate or thin film, transistor structure, etc. Can be used.

구체적으로는, Silicon(Si), Boron nitride(BN), Diamond, Silicon carbide(SiC), Zinc oxide(ZnO), Magnesium oxide(MgO), Sapphire(Al2O3), Quartz, Glass, Metal 중 어느 하나, 또는 Indium(In), Aluminium(Al), Gallium(Ga), Nitrogen(N), Arsenic(As), Phosphorus(P), Antimony(Sb) 중 어느 하나 이상을 포함하는 화합물 중에서 어느 하나를 사용할 수 있다.Specifically, any of Silicon (Si), Boron nitride (BN), Diamond, Silicon carbide (SiC), Zinc oxide (ZnO), Magnesium oxide (MgO), Sapphire (Al 2 O 3 ), Quartz, Glass, Metal One, or any of compounds containing any one or more of Indium (In), Aluminum (Al), Gallium (Ga), Nitrogen (N), Arsenic (As), Phosphorus (P), Antimony (Sb) can be used. Can.

상기 기재(100) 상부에는 상기 기재(100)의 일부 영역을 노출시키는 마스크 패턴층(300)을 더 형성한다. 상기 마스크 패턴층(300)은 상기 기재(100) 상부에 레진 또는 레지스트를 이용하여 코팅층을 형성한 후, 임프린트 공정 또는 리소그래피 공정에 의해 패턴을 형성하여 상기 기재(100)의 일부 영역을 노출시킨다.A mask pattern layer 300 exposing some areas of the substrate 100 is further formed on the substrate 100. The mask pattern layer 300 forms a coating layer using a resin or a resist on the substrate 100, and then forms a pattern by an imprint process or a lithography process to expose a portion of the substrate 100.

여기에서, 리소그래피 공정은 자외선, KrF, ArF, EUV 또는 전자빔 리소그래피 공정 중에 하나 일 수 있다.Here, the lithography process may be one of ultraviolet, KrF, ArF, EUV, or electron beam lithography processes.

여기에서, 상기 기재(100) 상에 고분자층(200)을 먼저 형성하고, 상기 고분자층(200) 상부에 마스크 패턴층(300)을 형성할 수도 있다.Here, the polymer layer 200 is first formed on the substrate 100, and a mask pattern layer 300 may be formed on the polymer layer 200.

상기 고분자층(200)은 상기 기재(100)의 종류, 사용목적, 상기 기재(100) 상부에 형성되는 마스크 패턴층(300)의 종류에 따라 또는 필요에 의해 선택적으로 형성될 수 있으며, 상기 고분자층(200) 상층에 형성되는 마스크 패턴층(300)의 코팅성 및 도막성을 향상시키게 된다.The polymer layer 200 may be selectively formed according to the type of the substrate 100, the purpose of use, the type of the mask pattern layer 300 formed on the substrate 100, or as required, the polymer The coating and coating properties of the mask pattern layer 300 formed on the upper layer of the layer 200 are improved.

상기 고분자층(200)은 상기 마스크 패턴층(300)을 식각 마스크로 하여 고분자층(200)의 일부 영역을 건식 식각하여 고분자층(200)의 일부 영역에서 하부의 기재(100)의 일부 영역이 노출되게 되며, 상기 노출된 기재(100)의 일부 영역 상에 본 발명에 따른 구조체 패턴(400)을 형성하는 것이다.The polymer layer 200 is a part of the lower substrate 100 in some regions of the polymer layer 200 by dry etching some regions of the polymer layer 200 using the mask pattern layer 300 as an etch mask. The structure pattern 400 according to the present invention is formed on a part of the exposed substrate 100.

즉, 상기 고분자층(200)과 마스크 패턴층(300)이 구현된 기재(100)는 상기 마스크 패턴층(300)을 마스크로 하여 플라즈마 처리되어 상기 고분자층(200)을 식각시키고, 상기 고분자층(200)이 식각되어 형성된 상기 기재(100)의 노출된 영역에 상기 플라즈마 처리에 따른 반응물이 생성되어 구조체 패턴(400)을 형성하게 되는 것이다.That is, the substrate 100 on which the polymer layer 200 and the mask pattern layer 300 are implemented is plasma treated using the mask pattern layer 300 as a mask to etch the polymer layer 200, and the polymer layer The reactant according to the plasma treatment is generated in the exposed region of the substrate 100 formed by etching 200 to form the structure pattern 400.

이 경우 상기 고분자층(200)은 플라즈마 처리 공정에서 상기 마스크 패턴층(300)을 따라 상기 기재(100)의 표면이 플라즈마 처리될 수 있도록 하여 정밀한 패턴 형성에 기여하게 된다.In this case, the polymer layer 200 contributes to precise pattern formation by allowing the surface of the substrate 100 to be plasma-treated along the mask pattern layer 300 in a plasma treatment process.

이러한, 상기 고분자층(200)은, PVC(Polyvinyl Chloride), Neoprene, PVA(Polyvinyl Alcohol), PMMA(Poly Methyl Meta Acrylate), PBMA(Poly Benzyl Meta Acrylate), PolyStylene, SOG(Spin On Glass), PDMS(Polydimethylsiloxane), PVFM(Poly Vinyl formal), Parylene, Polyester, Epoxy, Polyether, Polyimide 및 LOR(Lift-Off Resist) 중 어느 하나를 사용할 수 있다.The polymer layer 200 includes PVC (Polyvinyl Chloride), Neoprene, PVA (Polyvinyl Alcohol), PMMA (Poly Methyl Meta Acrylate), PBMA (Poly Benzyl Meta Acrylate), PolyStylene, Spin On Glass (SOG), PDMS (Polydimethylsiloxane), PVFM (Poly Vinyl formal), Parylene, Polyester, Epoxy, Polyether, Polyimide and LOR (Lift-Off Resist) can be used.

여기에서 식각되는 고분자층(200)의 치수(선폭, 직경 및 패턴 간의 간격) 조절을 위하여 건식 또는 습식 식각 공정을 이용한 이방성 및 등방성 식각을 수행할 수 있다.Here, anisotropic and isotropic etching using a dry or wet etching process may be performed to control dimensions (line width, diameter, and spacing between patterns) of the polymer layer 200 to be etched.

상기 고분자층(200)의 습식 식각 공정의 경우 10nm~1㎛ 범위로 고분자층(200)의 두께 조절을 통하여 패턴된 고분자층(200)의 치수(선폭, 직경 및 패턴 간의 간격)를 조절하며, Acetone, Isopropyl alcohol, Hydrofluoric acid(HF), Phosphoric acid(H3PO4), Hydrochloric acid(HCl), Nitric acid(HNO3), Acetic acid(CH3COOH), Dihydrogen dioxide(H2O2), Potassium hydroxide(KOH), 4-Methyl-2-pentanone, Ketone, MIBK (Methyl Iso Butyl Ketone), Methyl Ethyl Ketone, Water(H2O), Methanol(CH3OH), Ethanol(C2H5OH), Propanol, Isopropanol, Butanol, Pentanol, Hexanol, DMSO(Dimethyl sulfoxide), DMF(Dimethylformamide), NMP(N-Methyl Pyrrolidone), Acetonitrile, THF(Tetrahydrofuran), Nonane(C9H20), Octane, Heptane, Pentane, 2-Methoxyethanol 으로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 어느 하나의 용매를 습식 식각 용매로 사용하여 습식 식각 공정을 진행할 수 있다.In the case of the wet etching process of the polymer layer 200, the dimension (line width, diameter and spacing between patterns) of the patterned polymer layer 200 is controlled by adjusting the thickness of the polymer layer 200 in a range of 10 nm to 1 μm, Acetone, Isopropyl alcohol, Hydrofluoric acid(HF), Phosphoric acid(H 3 PO 4 ), Hydrochloric acid(HCl), Nitric acid(HNO 3 ), Acetic acid(CH 3 COOH), Dihydrogen dioxide(H 2 O 2 ), Potassium hydroxide (KOH), 4-Methyl-2-pentanone, Ketone, MIBK (Methyl Iso Butyl Ketone), Methyl Ethyl Ketone, Water (H 2 O), Methanol (CH 3 OH), Ethanol (C 2 H 5 OH) , Propanol, Isopropanol, Butanol, Pentanol, Hexanol, DMSO (Dimethyl sulfoxide), DMF (Dimethylformamide), NMP (N-Methyl Pyrrolidone), Acetonitrile, THF (Tetrahydrofuran), Nonane (C 9 H 20 ), Octane, Heptane, Pentane , 2-Methoxyethanol may be used to perform a wet etching process using at least one solvent selected from the group consisting of a wet etching solvent.

또한, 상기 고분자층(200)의 건식 식각 공정의 경우 고분자층(200)의 두께 조절을 통하여 패턴된 레진 또는 레지스트와 고분자층(200)과의 건식 식각 속도의 차이를 이용하여 식각되는 고분자층(200)의 치수(선폭, 직경 및 패턴 간의 간격) 조절이 가능하며, 고분자층(200)의 두께는 10nm ∼1㎛의 범위가 바람직하다.In addition, in the case of the dry etching process of the polymer layer 200, the polymer layer etched using a difference in the dry etching rate between the patterned resin or resist and the polymer layer 200 through the thickness control of the polymer layer 200 ( The dimensions of the 200) (line width, diameter and spacing between patterns) can be adjusted, and the thickness of the polymer layer 200 is preferably in the range of 10 nm to 1 μm.

그리고 상기 마스크 패턴층(300)이 형성된 기재(100)를 반응챔버 내에 제공하고, 상기 반응챔버 내에 플라즈마를 생성하여 상기 기재(100)의 노출된 영역을 플라즈마 처리하게 된다(제2단계. 도 2(c)).Then, the substrate 100 on which the mask pattern layer 300 is formed is provided in the reaction chamber, and plasma is generated in the reaction chamber to plasma-process the exposed area of the substrate 100 (second step. FIG. 2). (c)).

상기 마스크 패턴층(300)이 형성된 기재(100) 또는 마스크 패턴층(300)과 고분자층(200)이 형성된 기재(100)를 플라즈마를 생성하는 반응챔버 내에 제공하여, 상기 플라즈마 처리에 따른 반응물을 상기 기재(100)의 노출된 영역에 생성시킨다(제3단계, 도 2(c)).The substrate 100 on which the mask pattern layer 300 is formed or the substrate 100 on which the mask pattern layer 300 and the polymer layer 200 are formed are provided in a reaction chamber for generating plasma, thereby reacting the reactants according to the plasma treatment. It is created in the exposed region of the substrate 100 (third step, FIG. 2(c)).

먼저, 마스크 패턴층(300)이 형성된 기재(100)를 반응챔버 내에 제공하고, 플라즈마를 생성한 후, 상기 마스크 패턴층(300)을 마스크로 하여 노출된 기재(100)의 일부 영역이 플라즈마 처리가 되게 된다. 즉, 플라즈마에 의해 기재(100)의 노출된 영역에서 표면 처리가 이루어지게 되는 것이다.First, the substrate 100 on which the mask pattern layer 300 is formed is provided in the reaction chamber, and after plasma is generated, a part of the exposed substrate 100 using the mask pattern layer 300 as a mask is subjected to plasma treatment. Becomes. That is, surface treatment is performed in the exposed region of the substrate 100 by plasma.

기존에는 유전체층과 같은 박막을 기재(100) 상에 증착한 후 마스크 패턴층(300)을 식각 마스크로 이용하여 플라즈마 식각을 통해 유전체층을 제거하게 되면, 남은 유전체층의 형상이 구조체 패턴(400)을 이루는 것이다.Conventionally, after depositing a thin film such as a dielectric layer on the substrate 100 and removing the dielectric layer through plasma etching using the mask pattern layer 300 as an etch mask, the shape of the remaining dielectric layer forms the structure pattern 400. will be.

그러나 본 발명에서는 유전체층을 형성하지 않고 유전체층 형성을 위한 기반이 되는 기재(100) 상에 플라즈마를 제공하여, 플라즈마 처리가 되는 기재(100) 조성물과 플라즈마 반응가스와의 반응물이 기재(100)의 표면 처리된 영역에 재증착되도록 하여, 기재(100) 상에 구조체 패턴(400)을 구현하는 것이다.However, in the present invention, a plasma is provided on a substrate 100, which is a base for forming a dielectric layer, without forming a dielectric layer, so that the reactant between the substrate 100 composition to be plasma treated and the plasma reaction gas is the surface of the substrate 100. The structure pattern 400 is implemented on the substrate 100 by being redeposited on the treated area.

즉, 기존의 플라즈마 공정은 패턴을 구현하기 위한 박막의 표면을 플라즈마 처리하거나 식각하기 위해 활용되어 왔으나, 본 발명에서는 이에서 탈피하여 기재(100) 자체를 반응시킴으로써 그 반응 공정 중 기재(100)와 플라즈마 반응 가스와의 반응에 의해 생성되는 반응물이 기재(100) 상에 재증착되는 현상을 이용한 것이다. 이러한 반응물의 형상 및 성분을 분석해본 결과 물리적으로 의미있는 결과물이 도출되었다.That is, the existing plasma process has been utilized to plasma treatment or etch the surface of the thin film for realizing a pattern, but in the present invention, the substrate 100 is reacted by reacting with the substrate 100 by removing it from the substrate. This is a phenomenon in which a reactant generated by reaction with a plasma reaction gas is redeposited on the substrate 100. As a result of analyzing the shape and composition of these reactants, physically meaningful results were obtained.

또한 마스크 패턴층(300)과 고분자층(200)이 형성된 기재(100)의 경우에는 플라즈마 처리 공정에 의해 마스크 패턴층(300)을 마스크로 하여 고분자층(200)이 먼저 식각되고, 기재(100)까지 과도하게 표면 처리시킴으로써, 상기와 같이 기재(100)와 플라즈마 반응 가스와의 반응에 의해 생성되는 반응물이 기재(100) 상에 재증착되는 것이다.In addition, in the case of the substrate 100 on which the mask pattern layer 300 and the polymer layer 200 are formed, the polymer layer 200 is first etched using the mask pattern layer 300 as a mask by a plasma treatment process, and the substrate 100 By excessive surface treatment up to ), the reactants produced by the reaction between the substrate 100 and the plasma reaction gas are redeposited on the substrate 100 as described above.

여기에서, 상기 반응물은 기재(100)와 플라즈마 반응가스와의 반응에 의해 생성되는 물질이므로, 플라즈마 가스의 종류 또는 기재(100)의 종류에 따라 조성이 달라질 수 있다.Here, since the reactant is a material generated by the reaction between the substrate 100 and the plasma reaction gas, the composition may vary depending on the type of the plasma gas or the type of the substrate 100.

상기 플라즈마는 Boron trichloride(BCl3), Silicon tetrachloride(SiCl4), Chlorine(Cl2), Hydrogen bromide(HBr), Hydrochloric acid(HCl), Sulfur hexafluoride(SF6), Tetrafluoromethane(CF4), Fluoroform(CHF3), Nitrogen trifluoride(NF3), Silicon tetrafluoride(SiF4), Hexafluoroethane(C2F6), Chloromethane(ClCH3), Chloroform(CHCl3), Carbon tetrachloride(CCl4), Dichlorodifluoromethane(CCl2F2), Methane(CH4), Ethane(C2H6), Iodine(I2), Iodine monochloride(ICl), Iodine monobromide(IBr), Xenon(Xe), Chlorofluorocarbons(CFCs) 및 Oxygen(O2)로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 어느 하나 이상의 가스를 사용할 수 있으며, 상기 가스에 Nitrogen(N2), Argon(Ar) 및 Helium(He) 중에서 선택되는 적어도 하나의 불활성 가스를 더 포함시켜 사용할 수 있다.The plasma is Boron trichloride (BCl 3 ), Silicon tetrachloride (SiCl 4 ), Chlorine (Cl 2 ), Hydrogen bromide (HBr), Hydrochloric acid (HCl), Sulfur hexafluoride (SF 6 ), Tetrafluoromethane (CF 4 ), Fluoroform (CF 4 ) CHF 3 ), Nitrogen trifluoride(NF 3 ), Silicon tetrafluoride(SiF 4 ), Hexafluoroethane(C 2 F 6 ), Chloromethane(ClCH 3 ), Chloroform(CHCl 3 ), Carbon tetrachloride(CCl 4 ), Dichlorodifluoromethane(CCl 2 F 2 ), Methane(CH 4 ), Ethane(C 2 H 6 ), Iodine(I 2 ), Iodine monochloride(ICl), Iodine monobromide(IBr), Xenon(Xe), Chlorofluorocarbons(CFCs) and Oxygen(O 2 ) At least one or more gases selected from the group consisting of may be used, and the gas may further include at least one inert gas selected from Nitrogen (N 2 ), Argon (Ar), and Helium (He).

예컨대, 플라즈마 종류와 식각 시 사용되는 가스 종류의 조절을 통하여 다양한 물질 예컨대 Nitride 기반 구조체, Oxide 기반 구조체, Fluorine 기반 구조체, Chlorine 기반 구조체 또는 SiC 기반 구조체 등의 형성이 용이하게 된다.For example, it is easy to form various materials such as a Nitride-based structure, an Oxide-based structure, a Fluorine-based structure, a Chlorine-based structure, or a SiC-based structure by controlling the plasma type and the gas type used for etching.

즉, 기존에는 원하는 성질을 갖는 구조체를 얻기 위해서는 기재(100) 상에 그 조성을 갖는 박막(유전체층)을 증착하여야 하고, 이의 플라즈마 처리 공정에 의해 원하는 구조체 패턴(400)을 얻을 수 있는 것으로 단일 공정에서는 단일 종류의 구조체 패턴을 얻을 수 있었으나, 본 발명에서는 단순히 기재(100)의 종류만 교체한다든지 플라즈마 반응가스를 다른 것으로 공급하는 것에 의해 다른 종류의 구조체 패턴을 다양하게 얻을 수 있도록 하는 것이다.That is, in order to obtain a structure having desired properties, a thin film (dielectric layer) having the composition must be deposited on the substrate 100, and a desired structure pattern 400 can be obtained by its plasma treatment process. Although a single type of structure pattern could be obtained, in the present invention, it is possible to obtain various types of structure patterns by simply replacing the type of the substrate 100 or supplying a plasma reaction gas to another.

또한, 플라즈마의 조사 시간이나 세기, 반응가스의 종류 또는 양 등을 조절함으로써 구조체 패턴(400)의 형태, 물성, 두께 등의 제어가 가능할 수 있어, 기존의 구조체 패턴(400)의 형성방법에 비하면 획기적으로 공정을 단순화시킨 것이다.In addition, it is possible to control the shape, physical properties, thickness, etc. of the structure pattern 400 by adjusting the irradiation time or intensity of plasma, the type or amount of reaction gas, and the like, compared to the conventional method of forming the structure pattern 400 The process has been dramatically simplified.

한편 본 발명에서는 상기 제3단계에서 제1반응물을 기재(100) 상에 형성한 후, 제1반응물 상에 금속 또는 상기 기재(100) 조성물을 이용한 박막을 형성하고, 상기 박막을 플라즈마 처리하여 상기 제1반응물 상에 제2반응물이 형성된 복합 반응물을 형성할 수도 있다.Meanwhile, in the present invention, after the first reactant is formed on the substrate 100 in the third step, a thin film using a metal or the composition of the substrate 100 is formed on the first reactant, and the thin film is plasma treated to A complex reactant in which a second reactant is formed may be formed on the first reactant.

즉, 기재(100)를 플라즈마 처리하여 기재(100)의 노출된 영역에 제1반응물을 생성시키고, 상기 제1반응물 상에 플라즈마 처리의 원료가 되는 제2의 재료 즉, 금속이나 기재(100) 조성물과 유사한 박막을 증착하고, 이를 다시 플라즈마 처리함으로써, 제1반응물 및 제2반응물로 이루어진 2층 구조의 구조체 패턴을 얻을 수도 있다.That is, the substrate 100 is plasma-treated to generate a first reactant in an exposed region of the substrate 100, and a second material, that is, a metal or a substrate 100, which is a raw material for plasma treatment on the first reactant. A structure pattern having a two-layer structure composed of a first reactant and a second reactant may be obtained by depositing a thin film similar to the composition and plasma-processing it again.

또한, 이러한 공정을 반복적으로 수행함으로써, 서로 다른 조성을 갖는 다층 구조의 구조체 패턴을 얻을 수도 있다.In addition, by repeatedly performing such a process, it is also possible to obtain a structure pattern of a multi-layer structure having different compositions.

최종적으로 상기 마스크 패턴층(300)을 제거하여 상기 기재(100)의 노출된 영역에 상기 반응물로 이루어진 구조체 패턴(400)을 완성하게 되는 것이다(제4단계, 도 2(d)).Finally, the mask pattern layer 300 is removed to complete the structure pattern 400 made of the reactant in the exposed region of the substrate 100 (fourth step, FIG. 2(d)).

즉, 상기 기재(100) 상에서 마스크 패턴층(300)을 제거하게 되면, 상기 기재(100) 상부의 상기 마스크 패턴층(300)에 대응되는 패턴을 가지는 구조체 패턴(400)이 형성되게 된다.That is, when the mask pattern layer 300 is removed on the substrate 100, a structure pattern 400 having a pattern corresponding to the mask pattern layer 300 on the substrate 100 is formed.

상기 마스크 패턴층(300)은 화학적 방법을 이용하여 제거하는 것이 바람직하며, 이에 사용되는 화학 용액은 Acetone, Isopropyl alcohol, Water(H2O), Potassium hydroxide(KOH), Sodium hydroxide(NaOH), Ammonium hydroxide(NH4OH), Sulfuric acid(H2SO4), Hydrofluoric acid(HF), Hydrochloric acid(HCl), Phosphoric acid(H3PO4), Nitric acid(HNO3), Acetic acid(CH3COOH), Dihydrogen dioxide(H2O2) 및 BOE(Buffered Oxide Etchant)중 어느 하나 이상을 포함하며, 디핑(Dipping) 또는 초음파(Sonication) 방식을 이용한다.The mask pattern layer 300 is preferably removed using a chemical method, and the chemical solution used therein is Acetone, Isopropyl alcohol, Water(H 2 O), Potassium hydroxide (KOH), Sodium hydroxide (NaOH), Ammonium hydroxide(NH 4 OH), Sulfuric acid(H 2 SO 4 ), Hydrofluoric acid(HF), Hydrochloric acid(HCl), Phosphoric acid(H 3 PO 4 ), Nitric acid(HNO 3 ), Acetic acid(CH 3 COOH ), Dihydrogen dioxide (H 2 O 2 ) And BOE (Buffered Oxide Etchant) It contains any one or more, dipping (Dipping) or ultrasonic (Sonication) method.

이와 같이 본 발명의 일실시예에 따라 제작된 플라즈마를 이용한 구조체 패턴(400)은, 테두리 영역이 중심부 영역보다 5~200% 정도 높이가 높게 형성된 것을 특징으로 한다.In this way, the structure pattern 400 using plasma produced according to an embodiment of the present invention is characterized in that the edge region is formed to have a height about 5 to 200% higher than that of the central region.

즉, 수평 단면적이 원형인 구조체 패턴인 경우, 반지름의 1/2 이상 되는 테두리 영역이 중심부 영역보다 높이가 5~200% 정도 높게 형성되며, 이는 마스크 패턴층(300)에 의해 상기 반응물의 테두리 영역에서 재증착률이 더 높거나, 테두리 영역에서 기재(100) 부분의 표면 처리를 위한 기재(100)의 공급이 더 용이하여(반응물이 더 많이 생성되어) 나타나는 현상으로 고려된다.That is, when the horizontal cross-sectional area is a circular structure pattern, a border area that is 1/2 or more of the radius is formed to be 5 to 200% higher than the center area, which is the border area of the reactant by the mask pattern layer 300. It is considered as a phenomenon in which the redeposition rate is higher or the supply of the substrate 100 for the surface treatment of the portion of the substrate 100 in the edge region is easier (more reactants are generated).

또한, 기재(100)를 플라즈마 처리하여 기재(100)의 노출된 영역에 제1반응물을 생성시키는 공정 전에, 필요에 의해 선택적으로 노출된 기재(100)의 일부영역을 건식 또는 습식식각 공정을 수행하여 요철을 형성하며, 습식식각 공정의 경우 Potassium hydroxide(KOH), Sodium hydroxide(NaOH), Ammonium hydroxide(NH4OH), Sulfuric acid(H2SO4), Hydrofluoric acid(HF), Hydrochloric acid(HCl), Phosphoric acid(H3PO4), Nitric acid(HNO3), Acetic acid(CH3COOH), Dihydrogen dioxide(H2O2), Water(H2O) 및 BOE(Buffered Oxide Etchant) 중 어느 하나 이상의 용액이 포함하며, 디핑(Dipping) 또는 초음파(Sonication) 방식을 이용한다.In addition, before the process of generating the first reactant in the exposed region of the substrate 100 by plasma treatment of the substrate 100, a part of the substrate 100 selectively exposed as necessary is subjected to a dry or wet etching process. To form irregularities, and in the case of wet etching, Potassium hydroxide (KOH), Sodium hydroxide (NaOH), Ammonium hydroxide (NH 4 OH), Sulfuric acid (H 2 SO 4 ), Hydrofluoric acid (HF), Hydrochloric acid (HCl) ), Phosphoric acid (H 3 PO 4 ), Nitric acid (HNO 3 ), Acetic acid (CH 3 COOH), Dihydrogen dioxide (H 2 O 2 ), Water (H 2 O), and Buffered Oxide Etchant (BOE) One or more solutions are included, and dipping or sonication is used.

이하에서는 본 발명의 일실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명하고자 한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

Si 기판 상부에 950 PMMA[Poly(methyl methacrylate)] A3(Micro Chem Co., 미국)를 1000rpm으로 스핀코팅한 후 170℃에서 300초 동안 baking을 하여 대략 200nm 두께의 PMMA 층을 형성하였다.After spin coating 950 PMMA [Poly(methyl methacrylate)] A3 (Micro Chem Co., USA) at 1000 rpm on the top of the Si substrate, baking was performed at 170°C for 300 seconds to form a PMMA layer having a thickness of approximately 200 nm.

임프린트용 스탬프는 실리콘 마스터 스탬프 (300nm의 Hole 직경을 가진 Si Stamp) 상단에 perfluoropolyether(PFPE) 레진을 적하 시키고 PET (polyethylene-terephthalate) 기판을 압착시킨 후, 자외선을 3분 조사하여 Pillar-patterned PFPE 몰드를 제작하였다.The imprint stamp is made by dropping a perfluoropolyether (PFPE) resin on top of a silicon master stamp (Si Stamp with a hole diameter of 300 nm), pressing a PET (polyethylene-terephthalate) substrate, and irradiating UV for 3 minutes to form a Pillar-patterned PFPE mold. Was produced.

상기 PMMA층 상단에 임프린트 레진을 NIP-SC28LV400(Chem. Optics, 대한민국)을 스핀코팅한 후, 상기 제조된 Pillar-patterned PFPE 스탬프를 압착하며 자외선을 2분간 조사한 후 PFPE 스탬프를 분리(Relief)하여 300nm의 Hole 직경을 갖는 임프린트 패턴을 형성하였다, 즉, 고분자층(PMMA 층) 상부에 임프린트용 Pillar-patterned PFPE 몰드를 이용하여 마스크 패턴층(300)을 형성하였다(도 2(b)).After spin coating NIP-SC28LV400 (Chem. Optics, Korea) on the top of the PMMA layer, squeezing the manufactured Pillar-patterned PFPE stamp, irradiating ultraviolet rays for 2 minutes, and then detaching the PFPE stamp (Relief) to 300nm An imprint pattern having a hole diameter of was formed, that is, a mask pattern layer 300 was formed using a Pillar-patterned PFPE mold for imprint on a polymer layer (PMMA layer) (FIG. 2(b)).

이 결과를 도 3에 도시하였다. 도 3은 도 2(b) 단계에서의 샘플의 정면 및 단면에 대한 전자현미경(SEM) 사진을 나타낸 것이다.The results are shown in FIG. 3. 3 shows an electron microscope (SEM) photograph of the front and cross-section of the sample in step 2 (b).

도 4는 임프린트 패턴을 형성하고 임프린트 패턴의 잔류막을 Descum한 후, 식각가스는 O2 40sccm, chamber pressure 10mTorr 및 forward power 100W 조건으로 90초(도 4(a)), 120초(도 4(b)), 150초(도 4(c)) 동안 플라즈마 처리(도 2(c))하여 표면 처리한 결과를 도시한 것이다. Figure 4 after forming the imprint pattern and descum the residual film of the imprint pattern, the etching gas is O 2 40sccm, chamber pressure 10mTorr and forward power 100W conditions 90 seconds (Fig. 4 (a)), 120 seconds (Fig. 4 (b )), 150 seconds (Fig. 4 (c)) plasma treatment (Fig. 2 (c)) shows the results of the surface treatment.

Hole 패턴 내부에 새로운 물질의 구조체 패턴이 형성되었음을 확인할 수 있었고, 이는 플라즈마 처리 시, PMMA 층이 모두 식각된 이후에 식각 시 사용된 O2 gas에 의해 Si 기판 표면에 Plasma Oxidation에 의해 SiO2 또는 SiO2 -x 구조체 패턴이 형성된 것을 확인할 수 있었다.It was confirmed that a structure pattern of a new material was formed inside the hole pattern, which is SiO 2 or SiO by Plasma Oxidation on the surface of the Si substrate by the O 2 gas used for etching after all of the PMMA layers were etched during plasma treatment. It was confirmed that a 2 -x structure pattern was formed.

도 5는 임프린트 패턴을 형성하고 임프린트 패턴의 잔류막을 Descum한 후, 식각가스는 O2 40sccm, chamber pressure 10mTorr 및 forward power 100W 조건으로 60초(도 5(a)) 동안 플라즈마 처리하여 200nm 두께의 PMMA 층(고분자층)만 식각한 것이고, 동일한 식각 공정에서 식각 시간을 더 늘린 90초(도 5(b)) 동안 표면 처리한 경우 샘플의 정면도를 관찰한 것이다.Figure 5 after forming the imprint pattern and descum the residual film of the imprint pattern, the etching gas is O 2 40sccm, chamber pressure 10mTorr and forward power 100W conditions for 60 seconds (Fig. 5(a)) plasma treatment 200nm thickness PMMA Only the layer (polymer layer) was etched, and when the surface treatment was performed for 90 seconds (FIG. 5(b)) in which the etching time was further increased in the same etching process, the front view of the sample was observed.

도 5(a)는 고분자층이 완전히 제거된 Hole 패턴 내부를 관찰할 수 있었으며, 그 영역에서 기판이 노출되어 있음을 확인할 수 있었고, 도 5(b)는 도 5(a)의 식각 공정에서 플라즈마 처리 시간을 더 증가시킨 후, Hole 패턴 내부를 관찰한 것으로서, 도 4에 도시한 바와 같이 Hole 패턴 내부에 새로운 물질인 구조체 패턴이 형성되었음을 확인할 수 있었다.FIG. 5(a) was able to observe the inside of the hole pattern in which the polymer layer was completely removed, and it was confirmed that the substrate was exposed in the region, and FIG. 5(b) was plasma in the etching process of FIG. 5(a). After further increasing the processing time, as observed inside the hole pattern, it was confirmed that a new material structure pattern was formed inside the hole pattern as shown in FIG. 4.

도 6은 도 4의 실시예와 동일한 공정을 수행한 이후, 플라즈마 표면 처리 공정 시 생성된 구조체 패턴의 성분을 분석하 기 위하여 BOE(Buffered Oxide Etchants) bath에 30초간 담그고 Deionized Water에 Rinsing 한 후, 분석한 SEM 측정 결과를 나타낸 것으로, BOE 용액에 의해서 생성된 구조체는 완전히 제거된 점으로 보아 생성된 구조체는 산화물 성분임을 확인할 수 있었다.6 is after performing the same process as the embodiment of FIG. 4, after immersing in a Buffered Oxide Etchants (BOE) bath for 30 seconds to analyze the components of the structure pattern generated during the plasma surface treatment process, and then rinsing in Deionized Water, As a result of the analyzed SEM measurement, it was confirmed that the structure generated by the BOE solution was completely removed, and thus the structure generated was an oxide component.

즉, 플라즈마 표면 처리시 사용된 O2 gas에 의해서 Si 기판 표면을 Plasma oxidation 시켜서 생성된 물질은 SiO2 또는 SiO2-x 재질의 구조체임을 확인할 수 있었다.That is, it was confirmed that the material generated by plasma oxidation of the surface of the Si substrate by the O 2 gas used in the plasma surface treatment is a structure of SiO 2 or SiO 2-x material.

도 7은 도 4의 실시예와 동일한 공정을 수행한 이후, acetone bath에 10분간 담근 후 ultrasonic으로 5분간 세정하여, 질소 가스로 blowing하여 마스크 패턴층과 고분자층을 모두 제거(도 2(d))한 후 AFM 측정장비로 분석한 결과를 나타낸 것으로, 패턴된 구조체의 직경은 약 370nm 이었으며, 이는 플라즈마 표면 처리 공정 시 새롭게 생성된 구조체 패턴임을 확인할 수 있었다.Figure 7 after performing the same process as the embodiment of Figure 4, soaked in an acetone bath for 10 minutes and then washed with ultrasonic for 5 minutes, blowing with nitrogen gas to remove both the mask pattern layer and the polymer layer (Fig. 2(d)) ), and the results of analysis by AFM measurement equipment. The diameter of the patterned structure was about 370 nm, which confirmed that the structure pattern was newly generated in the plasma surface treatment process.

또한, 임프린트 패턴된 Hole 직경은 300nm 및 Hole과 Hole의 간격은 240nm(도 3)이며, 200nm 두께의 PMMA 층(고분자층)만 식각한 후 패턴된 Hole 직경은 370nm 및 Hole과 Hole의 간격은 170nm(도 5(a))이었다.In addition, the imprint patterned hole diameter is 300nm and the gap between the hole and hole is 240nm (Figure 3), after etching only the 200nm thick PMMA layer (polymer layer), the patterned hole diameter is 370nm and the hole-hole spacing is 170nm (Fig. 5(a)).

즉, O2 가스를 이용하여 PMMA 층(고분자층)을 건식 식각 공정을 통하여 패턴된 Hole의 직경 및 Hole 패턴 간의 간격의 조절이 가능함을 확인하였다. 이는 O2 가스에 대하여 패턴된 임프린트 레진과 PMMA 층의 건식 식각 속도가 다르기 때문에 등방성의 건식식각이 가능한 것이다.That is, it was confirmed that the diameter of the patterned hole and the gap between the hole patterns can be adjusted through the dry etching process of the PMMA layer (polymer layer) using O 2 gas. This is because the dry etching rate of the patterned imprint resin and PMMA layer is different for the O 2 gas, so isotropic dry etching is possible.

또한, 패턴된 구조체의 테두리 영역에서의 높이는 대략 2.5nm이었으며, 중심부 영역에서의 높이는 대략 1.4nm이었다. 즉, 테두리 영역이 중심부 영역보다 높이가 약 79% 정도 높게 형성되어 이루어진 것을 확인할 수 있었다.Further, the height in the border region of the patterned structure was approximately 2.5 nm, and the height in the central region was approximately 1.4 nm. That is, it was confirmed that the border region was formed to be about 79% higher than the central region.

100 : 기재 200 : 고분자층
300 : 마스크 패턴층 400 : 구조체 패턴100: substrate 200: polymer layer
300: mask pattern layer 400: structure pattern

Claims (17)

기재 상부에 상기 기재의 일부 영역을 노출시키는 마스크 패턴층을 형성하는 제1단계;
상기 마스크 패턴층이 형성된 기재를 반응챔버 내에 제공하고, 상기 반응챔버 내에 플라즈마를 생성하여 상기 기재의 노출된 영역을 플라즈마 처리(반응)하는 제2단계;
상기 플라즈마 처리에 따른 반응물을 상기 기재의 노출된 영역에 생성시키는 제3단계;
상기 마스크 패턴층을 제거하여 상기 기재의 노출된 영역에 상기 반응물에 따른 구조체 패턴을 형성시키는 제4단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법.A first step of forming a mask pattern layer exposing a portion of the substrate on the substrate;
A second step of providing a substrate on which the mask pattern layer is formed, and generating plasma in the reaction chamber to perform plasma treatment (reaction) on the exposed areas of the substrate;
A third step of generating a reactant according to the plasma treatment in an exposed region of the substrate;
And removing the mask pattern layer to form a structure pattern according to the reactant in an exposed region of the substrate; a method of forming a structure pattern using plasma, comprising the steps of: 제 1항에 있어서, 상기 기재는,
기판 또는 박막으로 구현되며,
Silicon(Si), Boron nitride(BN), Diamond, Silicon carbide(SiC), Zinc oxide(ZnO), Magnesium oxide(MgO), Sapphire(Al2O3), Quartz, Glass, Metal 중 어느 하나,
또는 Indium(In), Aluminium(Al), Gallium(Ga), Nitrogen(N), Arsenic(As), Phosphorus(P), Antimony(Sb) 중 어느 하나 이상을 포함하는 화합물 중에서 어느 하나인 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법.The method of claim 1, wherein the description,
It is implemented as a substrate or thin film,
Silicon (Si), Boron nitride (BN), Diamond, Silicon carbide (SiC), Zinc oxide (ZnO), Magnesium oxide (MgO), Sapphire (Al 2 O 3 ), Quartz, Glass, Metal,
Or characterized in that it is any one of compounds containing any one or more of Indium (In), Aluminium (Al), Gallium (Ga), Nitrogen (N), Arsenic (As), Phosphorus (P), Antimony (Sb) Method of forming a structure pattern using a plasma. 제 1항에 있어서, 상기 플라즈마 처리에 따른 반응물을 생성시키는 공정 전에,
상기 노출된 기재의 일부영역을 건식 또는 습식식각 공정을 수행하여 요철을 형성하며, 습식식각 공정의 경우 Potassium hydroxide(KOH), Sodium hydroxide(NaOH), Ammonium hydroxide(NH4OH), Sulfuric acid(H2SO4), Hydrofluoric acid(HF), Hydrochloric acid(HCl), Phosphoric acid(H3PO4), Nitric acid(HNO3), Acetic acid(CH3COOH), Dihydrogen dioxide(H2O2), Water(H2O) 및 BOE(Buffered Oxide Etchant) 중 어느 하나 이상의 용액이 포함하며, 디핑(Dipping) 또는 초음파(Sonication) 방식을 이용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법.According to claim 1, Before the process of generating a reactant according to the plasma treatment,
A part of the exposed substrate is subjected to a dry or wet etching process to form irregularities, and in the case of a wet etching process, potassium hydroxide (KOH), sodium hydroxide (NaOH), ammonium hydroxide (NH 4 OH), sulfuric acid (H 2 SO 4 ), Hydrofluoric acid(HF), Hydrochloric acid(HCl), Phosphoric acid(H 3 PO 4 ), Nitric acid(HNO 3 ), Acetic acid(CH 3 COOH), Dihydrogen dioxide(H 2 O 2 ), A method of forming a structure pattern using plasma, which includes one or more solutions of Water (H 2 O) and Buffered Oxide Etchant (BOE) and uses a dipping or ultrasonic method. 제 1항에 있어서, 상기 기재 상부에 고분자층(200)을 형성하고,
상기 고분자층 상부에 마스크 패턴층이 구현되는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법.The method of claim 1, wherein the polymer layer 200 is formed on the substrate,
A method of forming a structure pattern using plasma, wherein a mask pattern layer is implemented on the polymer layer. 제 4항에 있어서, 상기 고분자층과 마스크 패턴층이 구현된 기재는,
상기 마스크 패턴층을 마스크로 하여 상기 고분자층을 식각시키고, 상기 고분자층이 식각되어 형성된 상기 기재의 노출된 영역에 상기 플라즈마 처리에 따른 상기 반응물을 생성시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법.The method of claim 4, wherein the polymer layer and the mask pattern layer is implemented,
Etching the polymer layer using the mask pattern layer as a mask, and forming a structure pattern using plasma, characterized in that the polymer layer is etched to generate the reactant according to the plasma treatment in an exposed region of the substrate. Way. 제 5항에 있어서, 상기 고분자층의 식각은 건식 또는 습식 식각 공정을 통한 이방성 및 등방성 식각을 유도하여 패턴된 고분자층의 치수(선폭, 직경 및 패턴 간의 간격)를 조절하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법. The plasma of claim 5, wherein the etching of the polymer layer controls the dimension (line width, diameter and spacing between patterns) of the patterned polymer layer by inducing anisotropic and isotropic etching through a dry or wet etching process. Method of forming structure pattern used. 제 6항에 있어서, 상기 고분자층의 건식 식각 공정의 경우,
10nm~1㎛ 범위로 고분자층의 두께 조절을 통하여 패턴된 고분자층의 치수(선폭, 직경 및 패턴 간의 간격)를 조절하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법.According to claim 6, In the case of the dry etching process of the polymer layer,
A method of forming a structure pattern using plasma, characterized in that the dimension (line width, diameter and spacing between patterns) of the patterned polymer layer is controlled by adjusting the thickness of the polymer layer in a range of 10 nm to 1 μm. 제 6항에 있어서, 상기 고분자층의 습식 식각 공정의 경우,
10nm~1㎛ 범위로 고분자층의 두께 조절을 통하여 패턴된 고분자층의 치수(선폭, 직경 및 패턴 간의 간격)를 조절하며,
Acetone, Isopropyl alcohol, Hydrofluoric acid(HF), Phosphoric acid(H3PO4), Hydrochloric acid(HCl), Nitric acid(HNO3), Acetic acid(CH3COOH), Dihydrogen dioxide(H2O2), Potassium hydroxide(KOH), 4-Methyl-2-pentanone, Ketone, MIBK (Methyl Iso Butyl Ketone), Methyl Ethyl Ketone, Water(H2O), Methanol(CH3OH), Ethanol(C2H5OH), Propanol, Isopropanol, Butanol, Pentanol, Hexanol, DMSO(Dimethyl sulfoxide), DMF(Dimethylformamide), NMP(N-Methyl Pyrrolidone), Acetonitrile, THF(Tetrahydrofuran), Nonane(C9H20), Octane, Heptane, Pentane, 2-Methoxyethanol 으로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 어느 하나의 용매를 사용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법.According to claim 6, In the case of the wet etching process of the polymer layer,
Adjust the dimension (line width, diameter and spacing between patterns) of the patterned polymer layer by adjusting the thickness of the polymer layer in the range of 10nm to 1㎛,
Acetone, Isopropyl alcohol, Hydrofluoric acid(HF), Phosphoric acid(H 3 PO 4 ), Hydrochloric acid(HCl), Nitric acid(HNO 3 ), Acetic acid(CH 3 COOH), Dihydrogen dioxide(H 2 O 2 ), Potassium hydroxide (KOH), 4-Methyl-2-pentanone, Ketone, MIBK (Methyl Iso Butyl Ketone), Methyl Ethyl Ketone, Water (H 2 O), Methanol (CH 3 OH), Ethanol (C 2 H 5 OH) , Propanol, Isopropanol, Butanol, Pentanol, Hexanol, DMSO (Dimethyl sulfoxide), DMF (Dimethylformamide), NMP (N-Methyl Pyrrolidone), Acetonitrile, THF (Tetrahydrofuran), Nonane (C 9 H 20 ), Octane, Heptane, Pentane , 2-Methoxyethanol method of forming a structure pattern using a plasma, characterized in that using at least one solvent selected from the group consisting of. 제 4항에 있어서, 상기 고분자층은,
PVC(Polyvinyl Chloride), Neoprene, PVA(Polyvinyl Alcohol), PMMA(Poly Methyl Meta Acrylate), PBMA(Poly Benzyl Meta Acrylate), PolyStylene, SOG(Spin On Glass), PDMS(Polydimethylsiloxane), PVFM(Poly Vinyl formal), Parylene, Polyester, Epoxy, Polyether, Polyimide 및 LOR(Lift-Off Resist) 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법.The method of claim 4, wherein the polymer layer,
Polyvinyl Chloride (PVC), Neoprene, Polyvinyl Alcohol (PVA), Poly Methyl Meta Acrylate (PMMA), Poly Benzyl Meta Acrylate (PBMA), PolyStylene, Spin On Glass (SOG), Polydimethylsiloxane (PDMS), Poly Vinyl formal (PVFM) , Parylene, Polyester, Epoxy, Polyether, Polyimide, and LOR (Lift-Off Resist). 제 1항에 있어서, 상기 반응물은,
플라즈마 가스의 종류 또는 기재의 종류에 따라 조성이 달라지는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법.The method of claim 1, wherein the reactant,
Method of forming a structure pattern using plasma, characterized in that the composition varies depending on the type of plasma gas or the type of substrate. 제 10항에 있어서, 상기 플라즈마는,
Boron trichloride(BCl3), Silicon tetrachloride(SiCl4), Chlorine(Cl2), Hydrogen bromide(HBr), Hydrochloric acid(HCl), Sulfur hexafluoride(SF6), Tetrafluoromethane(CF4), Fluoroform(CHF3), Nitrogen trifluoride(NF3), Silicon tetrafluoride(SiF4), Hexafluoroethane(C2F6), Chloromethane(ClCH3), Chloroform(CHCl3), Carbon tetrachloride(CCl4), Dichlorodifluoromethane(CCl2F2), Methane(CH4), Ethane(C2H6), Iodine(I2), Iodine monochloride(ICl), Iodine monobromide(IBr), Xenon(Xe), Chlorofluorocarbons(CFCs) 및 Oxygen(O2)로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 어느 하나 이상의 가스를 사용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법.The method of claim 10, wherein the plasma,
Boron trichloride (BCl 3 ), Silicon tetrachloride (SiCl 4 ), Chlorine (Cl 2 ), Hydrogen bromide (HBr), Hydrochloric acid (HCl), Sulfur hexafluoride (SF 6 ), Tetrafluoromethane (CF 4 ), Fluoroform (CHF 3 ) , Nitrogen trifluoride(NF 3 ), Silicon tetrafluoride(SiF 4 ), Hexafluoroethane(C 2 F 6 ), Chloromethane(ClCH 3 ), Chloroform(CHCl 3 ), Carbon tetrachloride(CCl 4 ), Dichlorodifluoromethane(CCl 2 F 2 ), Group consisting of Methane (CH 4 ), Ethane (C 2 H 6 ), Iodine (I 2 ), Iodine monochloride (ICl), Iodine monobromide (IBr), Xenon (Xe), Chlorofluorocarbons (CFCs) and Oxygen (O 2 ) Method of forming a structure pattern using a plasma, characterized in that using at least one or more gases selected from. 제 11항에 있어서, 상기 가스에 Nitrogen(N2), Argon(Ar) 및 Helium(He) 중에서 선택되는 적어도 하나의 불활성 가스를 더 포함시켜 사용하는 것을 특징으로 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법.12. The method of claim 11, wherein the gas further comprises at least one inert gas selected from Nitrogen (N 2 ), Argon (Ar), and Helium (He). 제 1항에 있어서, 상기 제3단계의 제1반응물을 형성한 후,
상기 제1반응물 상에 금속 또는 상기 기재 조성물을 이용한 박막을 형성하고, 상기 박막을 플라즈마 처리하여 제2반응물을 형성하거나, 이러한 공정을 반복적으로 수행하여, 복합 반응물로 이루어진 구조체 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법.According to claim 1, After forming the first reactant of the third step,
It is characterized in that a thin film using a metal or the substrate composition is formed on the first reactant, and the thin film is plasma treated to form a second reactant or by repeatedly performing such a process to form a structure pattern made of a complex reactant. Method of forming a structure pattern using a plasma. 제 1항에 있어서, 상기 플라즈마 조사 시간을 조절하여 상기 구조체 패턴의 두께를 조절하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법.The method of claim 1, wherein the plasma irradiation time is adjusted to control the thickness of the structure pattern. 제 1항에 있어서, 상기 구조체 패턴은,
테두리 영역이 중심부 영역보다 5~200% 정도 높이가 높게 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법.The method of claim 1, wherein the structure pattern,
Method of forming a structure pattern using plasma, characterized in that the border region is formed to be about 5 to 200% higher than the central region. 제 1항에 있어서, 상기 플라즈마 처리에 따른 반응물 생성 시,
플라즈마 조사시간 조절을 통하여 중심부 영역의 높이보다 테두리 영역의 높이가 더 높게 높이 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법.According to claim 1, When generating a reactant according to the plasma treatment,
A method of forming a structure pattern using plasma, wherein the height of the edge region is higher than the height of the center region by adjusting the plasma irradiation time. 제 1항 내지 제 16항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 구조체 패턴은,
유전체로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성방법.The method according to any one of claims 1 to 16, wherein the structure pattern,
Method of forming a structure pattern using a plasma, characterized in that made of a dielectric.
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