KR20200081219A - 시트형 점착재의 첩부 방법 및 시트형 점착재의 첩부 장치 - Google Patents

시트형 점착재의 첩부 방법 및 시트형 점착재의 첩부 장치 Download PDF

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나오키 이시이
다카오 마츠시타
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닛토덴코 가부시키가이샤
닛토 세이키 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 소정의 형상으로 절단된 시트형 점착재를, 워크에 대하여 높은 정밀도로 첩부할 수 있는 시트형 점착재의 첩부 방법 및 시트형 점착재의 첩부 장치를 제공한다.
[해결 수단] 소정의 형상으로 절단된 시트형 점착재 T인 점착재 편 Tp에 보유 지지 테이프 F를 첩부한다. 점착재 편 Tp는 보유 지지 테이프 F에 의해 안정적으로 보유 지지됨과 함께, 대략 평탄한 형상을 유지한다. 점착재 첩부 기구(10)는, 보유 지지 테이프 F가 점착재 편 Tp를 보유 지지하고 있는 상태에서, 워크 W에 대하여 점착재 편 Tp를 첩부한다. 보유 지지 테이프 F가 점착 테이프 Tp를 안정적으로 보유 지지함으로써, 워크 W에 첩부할 때에, 자중에 의한 점착재 편 Tp의 변형 또는 점착재 편 Tp의 위치 어긋남과 같은 사태의 발생이 방지된다. 따라서, 워크 W에 대하여 점착재 편 Tp가 첩부되는 위치의 정밀도를 크게 향상시킬 수 있다.

Description

시트형 점착재의 첩부 방법 및 시트형 점착재의 첩부 장치{METHOD AND APPARATUS FOR JOINING SHEET-SHAPE ADHESIVE MATERIAL}
본 발명은, 반도체 웨이퍼(이하, 적절히 「웨이퍼」라고 함)를 예로 하는 워크에 대하여, 점착 테이프를 예로 하는 시트형 점착재를 첩부하기 위하여 사용하는 시트형 점착재의 첩부 방법 및 시트형 점착재의 첩부 장치에 관한 것이다.
웨이퍼의 표면에 회로 패턴이 형성된 후, 백그라인드 공정에 의해 웨이퍼의 이면을 연삭하고, 또한 다이싱 공정에 의해 당해 웨이퍼를 다수의 칩 부품으로 분단한다. 이 경우, 웨이퍼의 회로 보호를 목적으로 하는 점착 테이프(보호 테이프), 또는, 분단된 칩 부품의 비산 방지를 목적으로 하는 점착 테이프(다이싱 테이프)를 예로 하는 시트형 점착재가 각 공정에 있어서 웨이퍼에 첩부된다.
시트형 점착재를 웨이퍼에 첩부하는 방법의 일례로서는, 띠 형상의 시트형 점착재를 웨이퍼에 첩부한 후에 절단 기구를 사용하여 웨이퍼 형상을 따라서 시트형 점착재를 절단하는 방법 외에, 미리 웨이퍼 형상으로 시트형 점착재를 절단하여 점착재 편을 제작하고, 당해 점착재 편을 웨이퍼에 첩부하는 방법이 고안되어 있다.
점착재 편을 웨이퍼에 첩부하기 위한 구체적인 구성으로서, 이하와 같은 것을 들 수 있다. 먼저, 캐리어 테이프가 추가 설치된 띠형의 시트형 점착재에 대하여 환형의 절단 날을 갖는 절단 롤러를 압박 전동시킴으로써, 캐리어 테이프 상에서 시트형 점착재를 웨이퍼 형상으로 절단하여 점착재 편을 형성한다. 그 후, 점착재 편의 주위의 시트형 점착재를 제거함으로써, 캐리어 테이프 상에 정렬 배치된 점착재 편이 제작된다. 그리고, 에지 부재로 캐리어 테이프를 접어 주행시킴으로써, 점착재 편을 캐리어 테이프로부터 박리해 간다. 에지 부재의 선단에 있어서 캐리어 테이프로부터 박리되어서 전방으로 밀려 이동되는 점착재 편은, 첩부 롤러에 압박되어서 웨이퍼에 첩부된다(특허문헌 1을 참조).
일본 특허 공개 제2014-017357호 공보
그러나, 상기 종래 장치에서는 다음과 같은 문제가 있다.
즉 종래의 구성에서는, 웨이퍼에 대하여 점착재 편이 실제로 첩부되는 위치와, 상정되는 첩부 위치의 어긋남이 크다는 문제가 염려된다. 첩부 위치의 어긋남이 발생함으로써, 점착재 편을 웨이퍼에 고정밀도로 첩부하는 것이 곤란해진다.
이러한 문제가 발생하는 요인으로서는 이하와 같은 것이 생각된다. 먼저, 캐리어 테이프로부터 점착재 편을 박리할 때에, 캐리어 테이프로부터 박리된 부분의 점착재 편이, 자중에 의해 흘러내리는 등의 원인에 의해 상정되는 위치에서 연직 방향 등으로 어긋나는 것이 생각된다. 상정되는 위치로부터 어긋나 있는 점착재 편을 첩부 롤러로 가압하는 결과, 웨이퍼에 첩부되는 점착재 편의 위치가 상정되는 위치로부터 어긋나게 된다.
또한, 종래의 구성에서는 점착재 편이 캐리어 테이프로부터 박리되어서 전방으로 밀려 이동될 때에, 유리 상태로 되어 있는 점착재 편이 이상적인 이동 궤적으로부터 수평 방향 등으로 어긋나는 것도 생각된다. 상정되는 궤적으로부터 어긋나 있는 점착재 편을 웨이퍼에 첩부하는 결과, 웨이퍼에 첩부되는 점착재 편의 위치가 상정되는 위치로부터 어긋나게 된다.
또한 근년에는 시트형 점착재를 첩부하는 대상인 워크로서, 주로 원형의 웨이퍼 이외에, 직사각형 반도체 기판을 사용하는 방법이 제안되고 있다. 또한 근년에는 워크가 대형화되는 경향이 있다. 워크가 직사각형인 경우, 워크에 시트형 점착재를 첩부하고 나서 절단하는 방법에서는 절단 기구가 워크와 간섭하여 워크에 결손 또는 왜곡 등이 발생할 우려가 높아지므로, 점착재 편을 형성시키고 나서 당해 점착재 편을 워크에 첩부하는 방법이 일반적으로 사용된다.
그러나, 보다 대형이고 직사각형 반도체 기판을 워크로 하는 근년의 방법에서는, 웨이퍼를 워크로 하는 종래의 방법과 비교하여 매우 높은 첩부 정밀도가 요구된다. 종래에 있어서의 점착재 편을 워크에 첩부하는 방법에서는, 점착재 편의 절단 정밀도 및 점착재 편의 첩부 정밀도에 대해서, 요구되는 높은 정밀도를 확실하게 충족하는 것은 곤란하다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 소정의 형상으로 절단된 시트형 점착재를, 워크에 대하여 높은 정밀도로 첩부할 수 있는 시트형 점착재의 첩부 방법 및 시트형 점착재의 첩부 장치를 제공하는 것을 주된 목적으로 한다.
본 발명은, 이와 같은 목적을 달성하기 위해서, 다음과 같은 구성을 취한다.
즉, 워크에 대하여, 소정 형상의 시트형 점착재를 첩부하는 시트형 점착재의 첩부 방법이며,
점착재 보유 지지 부재에 의해 상기 시트형 점착재를 보유 지지한 상태에서 상기 시트형 점착재를 상기 워크에 첩부하는 첩부 과정과,
상기 워크에 첩부된 상기 시트형 점착재로부터 상기 점착재 보유 지지 부재를 분리시키는 분리 과정
을 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 소정 형상의 시트형 점착재를 점착재 보유 지지 부재에 의해 보유 지지한 상태에서 워크에 첩부한다. 점착재 보유 지지 부재에 의해 보유 지지함으로써, 시트형 점착재는 자중에 의해 흘러내리는 등의 이유에 의해 변형 또는 변위되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 워크에 첩부할 때에 시트형 점착재의 공간적 위치가 상정되는 위치로부터 어긋나는 것을 피할 수 있으므로, 워크에 첩부되는 시트형 점착재의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 점착재 보유 지지 부재는 긴 형상의 점착 테이프이고, 상기 점착 테이프를 상기 소정 형상의 시트형 점착재에 첩부함으로써 상기 소정 형상의 시트형 점착재를 보유 지지하는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 점착재 보유 지지 부재는 긴 형상의 점착 테이프이므로, 그 점착력에 의해 시트형 점착재를 안정적으로 보유 지지할 수 있다. 또한 긴 형상의 점착 테이프는 소정의 경로를 따라서 조출하여 이동시킬 수 있으므로, 소정 형상의 시트형 점착재를 당해 경로를 따라 정확하게 반송하는 것이 용이해진다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 점착 테이프는, 적어도 상기 소정 형상의 시트형 점착재의 단부에 접하는 부분이 광투과성을 갖는 재료로 구성되는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 소정 형상의 시트형 점착재를 보유 지지하는 점착 테이프는, 당해 시트형 점착재의 단부에 접하는 부분이 광투과성을 갖는 재료로 구성된다. 즉, 점착재 보유 지지 부재인 점착 테이프가 소정 형상의 시트형 점착재를 보유 지지하고 있는 상태에 있어서, 점착 테이프를 통하여 시트형 점착재의 위치 및 형상 등을 확인할 수 있다. 그 때문에, 시트형 점착재의 위치 어긋남을 회피하면서, 시트형 점착재의 형상의 검사 또는 시트형 점착재와 워크의 위치를 조정하는 조작을 고정밀도로 행할 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 점착재 보유 지지 부재는 흡착 구멍을 갖는 판형 부재이고, 상기 판형 부재가 상기 소정 형상의 시트형 점착재를 흡착함으로써 상기 소정 형상의 시트형 점착재를 보유 지지하는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 점착재 보유 지지 부재는 흡착 구멍을 갖는 판형 부재이므로, 그 흡착력에 의해 시트형 점착재를 안정적으로 보유 지지할 수 있다. 또한, 판형 부재를 반송함으로써, 소정 형상의 시트형 점착재를 소정의 위치로 정확하게 반송할 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 판형 부재는, 적어도 상기 소정 형상의 시트형 점착재의 단부에 접하는 부분이 광투과성을 갖는 재료로 구성되는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 소정 형상의 시트형 점착재의 단부에 접하는 부분의 판형 부재는 광투과성을 갖는 재료로 구성된다. 즉, 판형 부재가 소정 형상의 시트형 점착재를 보유 지지하고 있는 상태에 있어서, 판형 부재를 통하여 시트형 점착재의 위치 및 형상 등을 확인할 수 있다. 그 때문에, 시트형 점착재의 위치 어긋남을 회피하면서, 시트형 점착재의 형상의 검사 또는 시트형 점착재와 워크의 위치를 조정하는 조작을 고정밀도로 행할 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 점착재 보유 지지 부재에 의해 보유 지지되어 있는 상기 시트형 점착재의 점착면과, 상기 워크의 첩부면의 거리를 소정의 거리로 되도록 근접시키는 근접 과정을 구비하고,
상기 첩부 과정은, 상기 근접 과정에 의해 상기 시트형 점착재의 점착면과, 상기 워크의 첩부면을 상기 소정의 거리로 근접시킨 후에 행하여지는
것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 근접 과정에 의해 상기 시트형 점착재의 점착면과, 상기 워크의 첩부면을 상기 소정의 거리로 근접시킨 후에 첩부 과정이 행하여진다. 즉, 시트형 점착재를 워크에 충분히 접근시키고 나서, 시트형 점착재 또는 워크에 압박력 등의 힘을 작용시켜서 워크에 시트형 점착재를 첩부한다. 그 때문에, 워크에 소정 형상의 시트형 점착재를 첩부할 때에, 당해 시트형 점착재에 작용시킬 필요가 있는 힘의 크기를 낮게 억제할 수 있다. 따라서, 시트형 점착재에 과잉의 크기의 힘을 작용시킴으로써 발생하는, 시트형 점착재의 변형 및 위치 어긋남을 피할 수 있으므로 워크에 대한 시트형 점착재의 첩부 위치의 정밀도를 더욱 향상시킬 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 근접 과정에 있어서, 기체 공급 기구가 상기 워크와 상기 시트형 점착재 사이에 기체를 공급하여, 상기 워크와 상기 시트형 점착재의 접촉을 방지시키는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 근접 과정에 있어서, 기체 공급 기구에 의해 워크와 시트형 점착재의 접촉을 방지할 수 있다. 즉, 첩부 과정을 개시하기 전에 워크와 시트형 점착재가 접촉하고, 상정되는 위치와 다른 위치에 시트형 점착재가 점착하여 첩부되는 사태를 방지할 수 있다.
본 발명은, 이와 같은 목적을 달성하기 위해서, 다음과 같은 구성을 취해도 된다.
즉, 워크에 대하여, 소정 형상의 시트형 점착재를 첩부하는 시트형 점착재의 첩부 장치이며,
점착재 보유 지지 부재에 의해 상기 시트형 점착재를 보유 지지시키는 점착재 보유 지지 기구와,
점착재 보유 지지 부재에 의해 상기 시트형 점착재를 보유 지지한 상태에서 상기 시트형 점착재를 상기 워크에 첩부하는 첩부 기구와,
상기 워크에 첩부된 상기 시트형 점착재로부터 상기 점착재 보유 지지 부재를 분리시키는 분리 기구
를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 워크에 대하여, 소정 형상의 시트형 점착재를 첩부하는 시트형 점착재의 첩부 장치이며, 점착재 보유 지지 부재에 의해 상기 시트형 점착재를 보유 지지시키는 점착재 보유 지지 기구와, 점착재 보유 지지 부재에 의해 상기 시트형 점착재를 보유 지지한 상태에서 상기 시트형 점착재를 상기 워크에 첩부하는 첩부 기구와, 상기 워크에 첩부된 상기 시트형 점착재로부터 상기 점착재 보유 지지 부재를 분리시키는 분리 기구를 구비한다. 이 경우, 점착재 보유 지지 부재에 의해 상기 시트형 점착재를 보유 지지한 상태에서 상기 시트형 점착재를 상기 워크에 첩부하므로, 상기 방법을 적합하게 실시할 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 점착재 보유 지지 부재는 긴 형상의 점착 테이프이고, 상기 점착 테이프를 상기 소정 형상의 시트형 점착재에 첩부함으로써 상기 소정 형상의 시트형 점착재를 보유 지지하는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 점착재 보유 지지 부재는 긴 형상의 점착 테이프이므로, 그 점착력에 의해 시트형 점착재를 안정적으로 보유 지지할 수 있다. 또한 긴 형상의 점착 테이프는 소정의 경로를 따라서 조출하여 이동시킬 수 있으므로, 소정 형상의 시트형 점착재를 당해 경로를 따라 정확하게 반송하는 것이 용이해진다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 점착 테이프는, 적어도 상기 소정 형상의 시트형 점착재의 단부에 접하는 부분이 광투과성을 갖는 재료로 구성되는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 소정 형상의 시트형 점착재를 보유 지지하는 점착 테이프는, 당해 시트형 점착재의 단부에 접하는 부분이 광투과성을 갖는 재료로 구성된다. 즉, 점착재 보유 지지 부재인 점착 테이프가 소정 형상의 시트형 점착재를 보유 지지하고 있는 상태에 있어서, 점착 테이프를 통하여 시트형 점착재의 위치 및 형상 등을 확인할 수 있다. 그 때문에, 시트형 점착재의 위치 어긋남을 회피하면서, 시트형 점착재의 형상 검사 또는 시트형 점착재와 워크의 위치를 조정하는 조작을 고정밀도로 행할 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 점착재 보유 지지 부재는 흡착 구멍을 갖는 판형 부재이고, 상기 판형 부재가 상기 소정 형상의 시트형 점착재를 흡착함으로써 상기 소정 형상의 시트형 점착재를 보유 지지하는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 점착재 보유 지지 부재는 흡착 구멍을 갖는 판형 부재이므로, 그 흡착력에 의해 시트형 점착재를 안정적으로 보유 지지할 수 있다. 또한, 판형 부재를 반송함으로써, 소정 형상의 시트형 점착재를 소정의 위치로 정확하게 반송할 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 판형 부재는, 적어도 상기 소정 형상의 시트형 점착재의 단부에 접하는 부분이 광투과성을 갖는 재료로 구성되는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 소정 형상의 시트형 점착재의 단부에 접하는 부분의 판형 부재는 광투과성을 갖는 재료로 구성된다. 즉, 판형 부재가 소정 형상의 시트형 점착재를 보유 지지하고 있는 상태에 있어서, 판형 부재를 통하여 시트형 점착재의 위치 및 형상 등을 확인할 수 있다. 그 때문에, 시트형 점착재의 위치 어긋남을 회피하면서, 시트형 점착재의 형상 검사 또는 시트형 점착재와 워크의 위치를 조정하는 조작을 고정밀도로 행할 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 점착재 보유 지지 부재에 의해 보유 지지되어 있는 상기 시트형 점착재의 점착면과, 상기 워크의 첩부면의 거리를 소정의 거리로 되도록 근접시키는 근접 기구를 구비하고,
상기 첩부 기구는, 상기 근접 기구에 의해 상기 시트형 점착재의 점착면과 상기 워크의 첩부면을 상기 소정의 거리로 근접시킨 후에, 상기 시트형 점착재를 상기 워크에 첩부하는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 상기 시트형 점착재의 점착면과, 상기 워크의 첩부면을 상기 소정의 거리로 근접시킨 후에, 시트형 점착재를 워크에 첩부한다. 즉, 시트형 점착재를 워크에 충분히 접근시키고 나서, 시트형 점착재 또는 워크에 압박력 등의 힘을 작용시켜서 워크에 시트형 점착재를 첩부한다. 그 때문에, 워크에 소정 형상의 시트형 점착재를 첩부할 때에, 당해 시트형 점착재에 작용시킬 필요가 있는 힘의 크기를 낮게 억제할 수 있다. 따라서, 시트형 점착재에 과잉의 크기의 힘을 작용시킴으로써 발생하는, 시트형 점착재의 변형 및 위치 어긋남을 피할 수 있으므로 워크에 대한 시트형 점착재의 첩부 위치의 정밀도를 더욱 향상시킬 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 근접 기구가 상기 시트형 점착재와 상기 워크를 근접시킬 때, 상기 워크와 상기 시트형 점착재 사이에 기체를 공급하여, 상기 워크와 상기 시트형 점착재의 접촉을 방지시키는 기체 공급 기구를 구비하는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 이 구성에 의하면, 근접 기구가 시트형 점착재의 점착면과, 워크의 첩부면을 근접시킬 때, 기체 공급 기구는 워크와 시트형 점착재의 접촉을 방지시킨다. 즉, 첩부 기구에 의한 워크와 시트형 점착재의 첩부 동작을 개시하기 전에 워크와 시트형 점착재가 접촉하고, 상정되는 위치와 다른 위치에 시트형 점착재가 점착하여 첩부되는 사태를 방지할 수 있다.
본 발명의 시트형 점착재의 첩부 방법 및 시트형 점착재의 첩부 장치에 의하면, 소정 형상의 시트형 점착재를 점착재 보유 지지 부재에 의해 보유 지지한 상태에서 당해 시트형 점착재를 워크에 첩부한다. 그 때문에, 시트형 점착재를 워크에 첩부할 때에 시트형 점착재의 위치가 어긋나는 사태를 점착재 보유 지지 부재에 의해 방지할 수 있다. 따라서, 워크 상의 상정되는 위치에 소정 형상의 시트형 점착재를 고정밀도로 첩부할 수 있다.
도 1은, 실시예에 관한 시트형 점착재의 첩부 장치의 기본 구성을 도시하는 사시도이다.
도 2는, 실시예에 관한 시트형 점착재의 첩부 장치의 기본 구성을 도시하는 정면도이다.
도 3은, 실시예에 관한 시트형 점착재의 첩부 장치의 기본 구성을 도시하는 평면도이다.
도 4는, 실시예에 관한 시트형 점착재의 첩부 장치를 설명하는 도면이다.
(a)는 실시예에 관한 시트형 점착재의 첩부 장치의 동작을 나타내는 흐름도이고, (b)는 실시예에 사용되는 시트형 점착재의 구성을 설명하는 종단면도이다.
도 5는, 실시예에 관한 점착재 절단 기구의 구성을 도시하는 도면이다.
(a)는 점착재 절단 기구의 사시도이고, (b)는 점착재 절단 기구의 종단면도이고, (c)는 점착재 절단 기구의 주요부를 도시하는 저면 사시도이다.
도 6은, 실시예에 관한 워크 보유 지지 테이블의 구성을 도시하는 도면이다.
도 7은, 실시예에 관한 스텝 S1을 설명하는 도면이다.
(a)는 흡착 패드가 워크를 수취하는 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 워크 적재부의 적재면에 워크를 적재시킨 상태를 도시하는 도면이다.
도 8은, 실시예에 관한 스텝 S2를 설명하는 도면이다.
(a)는 점착재 절단 기구가 시트형 점착재의 텐션을 조정하기 전의 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 점착재 절단 기구가 시트형 점착재의 텐션을 조정하고 있는 상태를 도시하는 도면이고, (c)는 절단 유닛이 하강하여 시트형 점착재의 절단을 개시하는 상태를 도시하는 도면이다.
도 9는, 실시예에 관한 스텝 S3을 설명하는 도면이다.
(a)는 점착재 편이 분리되기 전의 상태를 도시하는 평면도(상) 및 정면도(하)이고, (b)는 점착재 편 이외의 부분의 시트형 점착재와, 점착재 편이 분리되고 있는 상태를 도시하는 평면도(상) 및 정면도(하)이고, (c)는 점착재 편 이외의 부분의 시트형 점착재와, 점착재 편이 분리된 상태를 도시하는 평면도(상) 및 정면도(하)이고, (d)는 점착재 편의 상류에 있어서, 새롭게 점착재 편이 형성된 상태를 도시하는 평면도(상) 및 정면도(하)이다.
도 10은, 실시예에 관한 스텝 S4를 설명하는 도면이다.
(a)는 절단 검사 기구가 점착재 편을 촬영하는 동작을 도시하는 정면도이고, (b)는 스텝 S4에 관한 구성을 도시하는 기능 블록도이고, (c)는 절단 검사 기구에 의해 얻어지는 정보를 설명하는 개략도이고, (d)는 절단 판정부가 점착재 편의 전체 상을 산출하는 구성을 설명하는 도면이다.
도 11은, 실시예에 관한 스텝 S5를 설명하는 정면도이다.
(a)는 보유 지지 테이프의 첩부를 개시하기 전의 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 보유 지지 테이프가 점착재 편의 일단부에 첩부된 상태를 도시하는 도면이고, (c)는 보유 지지 테이프가 점착재 편의 일단으로부터 타단에 걸쳐 첩부된 상태를 도시하는 도면이다.
도 12는, 실시예에 관한 스텝 S7을 설명하는 정면도이다.
(a)는 점착재 편 및 워크를 촬영하는 동작을 도시하는 도면이고, (b)는 스텝 S7에 관한 구성을 도시하는 기능 블록도이고, (c)는 워크 보유 지지 테이블이 첩부 영역으로 이동하는 상태를 도시하는 도면이다.
도 13은, 실시예에 관한 스텝 S7을 설명하는 정면도이다.
(a)는 첩부 영역에 있어서 워크와 점착재 편의 위치 관계를 조정하고 있는 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 첩부 영역으로 이동한 직후에 있어서의 워크와 점착재 편의 위치 관계를 예시하는 평면도이고, (c) 워크와 점착재 편의 위치 관계를 조정한 후에 있어서의, 워크와 점착재 편의 위치 관계를 예시하는 평면도이다.
도 14는, 실시예에 관한 스텝 S8의 동작을 설명하는 정면도이다.
도 15는, 실시예에 관한 스텝 S9를 설명하는 정면도이다.
(a)는 점착재 편이 워크의 일단에 첩부된 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 점착재 편이 워크의 일단으로부터 타단에 걸쳐 첩부된 상태를 도시하는 도면이다.
도 16은, 실시예에 관한 스텝 S10을 설명하는 정면도이다.
(a)는 보유 지지 테이프가 점착재 편으로부터 분리되기 전의 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 보유 지지 테이프가 점착재 편으로부터 분리된 후의 상태를 도시하는 도면이다.
도 17은, 실시예에 관한 스텝 S11을 설명하는 정면도이다.
(a)는 점착재 편 및 워크를 촬영하는 동작을 도시하는 도면이고, (b)는 스텝 S7에 관한 구성을 도시하는 기능 블록도이고, (c)는 첩부 검사 기구에 의해 얻어지는 정보를 설명하는 도면이다.
도 18은, 변형예에 관한 시트형 점착재의 첩부 장치의 기본 구성을 도시하는 사시도이다.
도 19는, 변형예에 관한 시트형 점착재의 첩부 장치의 기본 구성을 도시하는 정면도이다.
도 20은, 변형예에 관한 스텝 S5의 동작을 설명하는 도면이다.
(a)는 보유 지지 플레이트가 점착재 편의 상방으로 반송되는 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 보유 지지 플레이트가 점착재 편을 보유 지지하는 상태를 도시하는 도면이고, (c)는 보유 지지 플레이트가 점착재 편을 보유 지지하면서 반송하는 상태를 도시하는 도면이다.
도 21은, 변형예에 관한 스텝 S7의 동작을 설명하는 도면이다.
도 22는, 변형예에 관한 스텝 S8의 동작을 설명하는 도면이다.
도 23은, 변형예에 관한 스텝 S9의 동작을 설명하는 도면이다.
도 24는, 변형예에 관한 스텝 S10의 동작을 설명하는 도면이다.
도 25는, 시트형 점착재의 텐션을 조정하는 구성의 변형예를 설명하는 도면이다.
(a)는 파지 부재에 의해 폭 방향에 있어서의 시트형 점착재의 텐션을 조정하는 구성을 도시하는 도면이고, (b)는 롤러의 전동에 의해 시트형 점착재의 텐션을 조정하는 구성을 도시하는 도면이다.
도 26은, 변형예에 관한 점착재 절단 기구의 구성을 설명하는 도면이다.
(a)는 점착재 절단 기구의 주요부를 도시하는 저면 사시도이고, (b)는 점착재 절단 기구의 종단면도이고, (c)는 절단 날에 의한 절단 궤적을 도시하는 평면도이다.
도 27은, 변형예에 관한 점착재 절단 기구의 구성을 설명하는 도면이다.
(a)는 변형예에 관한 절단 날의 효과를 도시하는 종단면도이고, (b)는 점착재 절단 기구의 주요부를 도시하는 저면 사시도이고, (c)는 조출 방향에 평행한 방향으로 잉여 점착재를 박리하는 경우에 있어서의, 절단 날에 의한 절단 궤적과 박리 개시 개소의 위치를 도시하는 평면도이고, (d)는 조출 방향으로 경사지는 방향으로 잉여 점착재를 박리하는 경우에 있어서의, 절단 날에 의한 절단 궤적과 박리 개시 개소의 위치를 도시하는 평면도이다.
도 28은, 변형예에 관한 점착재 절단 기구의 구성을 설명하는 도면이다.
(a)는 점착재 절단 기구의 주요부를 도시하는 저면 사시도이고, (b)는 점착재 편이 형성된 상태를 도시하는 평면도이고, (c)는 선택된 하나의 점착재 편과, 선택된 당해 점착재 편 이외의 부분의 시트형 점착재가 분리된 상태를 도시하는 평면도(상) 및 정면도(하)이다.
도 29는, 변형예에 관한 워크 위치 인식 기구 및 점착재 위치 인식 기구의 구성을 설명하는 도면이다.
(a)는 점착재 위치 인식 기구가 배치되는 위치의 변형예를 도시하는 측면도이고, (b)는 공통의 위치 인식 기구에 의해 워크 및 점착재 편을 검지하는 변형예를 도시하는 측면도이고, (c)는 워크 또는 점착재 편을 검지하는 대상의 변형예를 도시하는 평면도이다.
도 30은, 점착재 박리 기구를 구비하는 변형예를 설명하는 도면이다.
(a)는 점착재 박리 기구의 구성을 설명하는 측면도이고, (b)는 부적절하게 첩부된 점착재 편을 워크로부터 박리하는 상태를 설명하는 사시도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다. 도 1 내지 도 3은, 실시예에 관한 시트형 점착재의 첩부 장치(1)의 기본 구성을 도시하는 도면이다. 또한 시트형 점착재의 첩부 장치(1)를 도시하는 각 도면에 있어서, 각종 구성을 지지하는 지지 수단 및 각종 구성을 구동시키는 구동 수단 등에 대해서는 적절히 도시를 생략하고 있다.
본 실시예에 관한 시트형 점착재의 첩부 장치에서는, 시트형 점착재 T로서 회로 보호용 점착 테이프를 사용하는 것으로 한다. 시트형 점착재 T를 첩부할 대상인 워크 W로서, 직사각형 반도체 기판을 사용하는 것으로 한다.
본 실시예에 사용되는 시트형 점착재 T는 도 4의 (b)에 도시하는 바와 같이, 비점착성의 기재 Ta와, 점착성을 갖는 점착재 Tb가 적층된 구조를 구비하고 있다. 점착재 Tb에는 세퍼레이터 S가 추가 설치되어 있다. 즉 시트형 점착재 T의 점착면에 세퍼레이터 S가 추가 설치되어 있고, 세퍼레이터 S를 시트형 점착재 T로부터 박리함으로써 시트형 점착재 T의 점착면이 노출된다. 세퍼레이터 S의 예로서, 긴 형상의 종이재나 플라스틱 등을 들 수 있다.
본 실시예에 있어서 「상류」 및 「하류」란 시트형 점착재 T의 조출 방향을 따르는 것으로서 정의된다. 즉 「상류」란 시트형 점착재 T의 조출 방향에 있어서, 후술하는 점착재 공급 기구(2)에 가까운 측을 의미하는 것으로 한다. 본 실시예에 있어서, 시트형 점착재 T는 도 1 등에 도시하는 바와 같이, 부호 Ln으로 나타내는 방향으로 풀어내지고 있는 것으로 한다. 또한, 조출 방향 Ln은 x 방향과 평행한 것으로 한다.
<전체 구성의 설명>
시트형 점착재의 첩부 장치(1)는, 점착재 공급 기구(2)와, 점착재 절단 기구(3)와, 점착재 회수 기구(4)와, 점착재 보유 지지 기구(5)와, 세퍼레이터 회수 기구(6)와, 워크 수납부(7)와, 워크 보유 지지 테이블(8)과, 워크 반송 기구(9)와, 점착재 첩부 기구(10)와, 보유 지지 부재 분리 기구(11)와, 보유 지지 부재 회수 기구(12)를 구비하고 있다.
점착재 공급 기구(2)는, 원단 롤(2a)을 장착하는 보빈을 구비하고 있다. 원단 롤(2a)은, 세퍼레이터 S가 추가 설치된 긴 형상의 시트 점착재 T를 롤 감기한 구성으로 되어 있다. 시트형 점착재 T는 세퍼레이터 S가 추가 설치된 상태에서 점착재 공급 기구(2)로부터 조출되어 공급되고, 점착재 절단 기구(3) 등을 경유하여 점착재 첩부 기구(10)로 안내된다. 원단 롤(2a)로부터 조출된 시트형 점착재 T는, 도시하지 않은 가이드 롤러 등에 의해 조출 방향으로 텐션이 부여되어 있어, 주름이 발생하지 않도록 조정되고 있다.
점착재 절단 기구(3)는, 도 5의 (a)에 도시하는 바와 같이, 하판(13)과, 지주(14)와, 절단 유닛(15)과, 상부 고정판(16)을 구비하고 있다. 하판(13)은, 점착재 공급 기구(2)로부터 조출 공급된 시트형 점착재 T를 수평으로 받치도록 배치되어 있다. 지주(14)는, 하판(13)에 세워 설치되어 있고, 절단 유닛(15)을 관통하고 있다. 상부 고정판(16)은 지주(14)에 가로로 걸쳐져 있고, 상부 고정판(16)의 상면에는 모터(16a)가 배치되어 있다.
절단 유닛(15)은 도 5의 (b)에 도시하는 바와 같이, 가동대(17)와, 절단 날(19)을 구비하고 있다. 가동대(17)는 평탄한 판형 부재이고, 지주(15)에 가로로 걸쳐져 있다. 가동대(17)는 상부 고정판(16)과 하판(13) 사이에 있어서, 지주(14)를 따라 상하 방향(z 방향)으로 왕복 이동이 가능하게 되도록 구성되어 있다. 즉, 가동대(17)는, 모터(16a)를 정역 회전 구동함으로써, 지주(14)를 따라 나사 이송 승강되도록 되어 있다. 점착재 절단 기구(3)는 가동대(17)를 상하 이동시키는 구성을 구비하고 있으면 되고, 모터(16a) 대신 실린더를 예로 하는 다른 구동 기구를 채용해도 된다.
절단 날(19)은 도 5의 (b)에 도시하는 바와 같이 가동대(17)의 하면에 배치되어 있고, 가동대(17)와 함께 승강 이동한다. 가동대(17)가 하강함으로써, 절단 유닛(15)은 시트형 점착재 T를 절단하는 절단 위치로 이동한다. 절단 유닛(15)은 본 발명에 있어서의 절단 기구에 상당한다.
하판(13)의 소정의 위치에는, 받침 핀(18)이 세워 설치되어 있다. 받침 핀(18)은 가동대(17)의 하면을 받아들임으로써, 절단 유닛(15)이 필요 이상으로 하강하는 것을 방지한다. 받침 핀(18)의 높이는, 절단 날(19)의 길이에 따라서 설정된다. 즉 도 8의 (d)에 도시하는 바와 같이, 받침 핀(18)이 가동대(17)를 받치는 상태에 있어서, 절단 날(19)이 확실하게 시트형 점착재 T를 완전히 절단하고, 또한, 세퍼레이터 S를 완전히 절단하는 일이 없도록 설정된다. 절단 날(19)이 시트형 점착재 T 및 세퍼레이터 S의 양쪽을 두께 방향으로 완전히 절단하는 사태는, 받침 핀(18)에 의해 방지된다.
절단 날(19)은 도 5의 (c)에 도시하는 바와 같이 환형 날로 구성되어 있다. 절단 날(19)은 도 1 등에 도시하는 바와 같이, 환형 절단 궤적 K를 따라 시트형 점착재 T를 절단하여, 절단 궤적 K에 따른 형상의 점착재 편 Tp를 형성시킨다. 절단 날(19)의 형상은 워크 W의 형상에 따라서 적절히 변경 가능하지만, 본 실시예에서는 직사각형 환형 날, 구체적으로는 긴 직사각형 환형 날로 되어 있다. 가동기대(17)의 양단에는 지주(14)가 관통하는 관통 구멍 H가 마련되어 있다. 점착재 편 Tp는, 본 발명에 있어서의 소정 형상의 시트형 점착재에 상당한다.
또한, 본 발명에 있어서 「환형」이란, 일단과 타단이 연결되어 있고, 전체로서 닫혀 있는 선의 형상을 모두 포함하는 것으로서 정의할 수 있다. 일례로서, 직사각형, 원형(원환형), 다각형 외에, 파형을 적어도 일부에 갖는 파형, 대략 원형 등도 포함된다. 대략 원형의 일례로서, 노치나 오리엔테이션 플랫이 마련되어 있는 기판의 외형을 따른 형상, 즉 원의 일부에 오목부나 직선을 포함하는 형상을 들 수 있다. 또한, 절단 궤적 K가 직사각형 또는 다각형인 경우, 모퉁이부의 각도는 적절히 변경해도 되고, 모퉁이부가 둥그스름해져 있어도 된다.
실시예에 있어서, 도 5의 (b)에 도시하는 바와 같이, 가동대(17)와 절단 날(19)은 일체 형성되어 있다. 일체 형성됨으로써, 가동대(17)와 절단 날(19)의 상대적 위치 관계를 보다 확실하게 유지할 수 있다. 즉, 가동대(17)와 절단 날(19)이 다른 부재인 경우에 비하여, 절단 유닛(16)이 시트형 점착재 T를 압박하여 절단할 때, 절단 날(19)의 위치가 가동대(17)에 대하여 어긋나는 것을 확실하게 방지할 수 있다. 그 결과, 가동대(17)에 대한 절단 날(19)의 어긋남에 기인하여 점착재 편 Tp의 형상이 상정되는 형상과 다르다고 하는 사태를 피할 수 있다. 절단 날(19)을 가동대(17)와 일체 형성할 수 있음과 함께, 절단 궤적 K의 정밀도를 향상시킬 수 있다는 점에서, 절단 날(19)의 바람직한 구성으로서 피나클 날(등록 상표)을 들 수 있다.
점착재 회수 기구(4)는, 절단 궤적 K의 형상으로 절단된 점착재 편 Tp의 주위에 남는 시트형 점착재 T, 즉 잉여 점착재 Tn을 회수한다. 잉여 점착재 Tn은 도 1 등에 도시하는 바와 같이, 점착재 절단 기구(3)로부터 하류로 보내진 후, 세퍼레이터 S로부터 박리된다. 박리된 잉여 점착재 Tn은 도시하지 않은 안내 롤러에 의해 회수 보빈(21)으로 안내된다.
회수 보빈(21)은, 세퍼레이터 S로부터 박리된 잉여 점착재 Tn을 권취하여 회수한다. 권취 회수의 결과, 세퍼레이터 S 및 점착재 편 Tp가 점착재 보유 지지 기구(5)로 안내된다.
점착재 절단 기구(3)와 점착재 회수 기구(4) 사이에는 도시하지 않은 댄서 롤러가 마련되어 있다. 점착재 절단 기구(3)에 있어서의 시트재 점착재 T의 텐션의 크기와, 점착재 회수 기구(4)보다 하류에 있어서의 시트재 점착재 T의 텐션의 크기의 차는, 당해 댄서 롤러에 의해 흡수된다.
그 때문에, 점착재 회수 기구(4)보다 하류에서는, 시트형 점착재 T에 대하여 확실하게 주름이 발생하지 않는 텐션을 부여하고, 시트형 점착재 T의 텐션을 비교적 크게 조정할 수 있다. 한편, 점착재 절단 기구(3)에 있어서는, 시트형 점착재 T에 이완이 발생하지 않고, 또한 과도한 텐션의 부여에 기인하는 시트형 점착재 T의 신장도 발생하지 않을 정도로, 시트형 점착재 T의 텐션을 비교적 작게 조정할 수 있다.
점착재 보유 지지 기구(5)는, 점착재 편 Tp를 보유 지지 부재에 의해 보유 지지시키는 것이다. 본 실시예에 있어서, 보유 지지 부재로서 점착성을 갖는 보유 지지 테이프 F를 사용하는 것으로 한다. 즉, 점착재 편 Tp에 보유 지지 테이프 F를 첩부함으로써 점착재 편 Tp를 안정적으로 보유 지지시킨다. 보유 지지 테이프 F는 투명한 재료를 예로 하는, 광투과성을 갖는 재료로 구성되는 것이 바람직하다. 본 실시예에 있어서, 보유 지지 테이프 F는 본 발명에 있어서의 점착재 보유 지지 부재에 상당한다.
본 실시예에 있어서, 점착재 보유 지지 기구(5)는 공급 보빈(23)과, 지지 테이블(24)과, 첩부 유닛(25)을 구비하고 있다. 공급 보빈(23)은 긴 형상의 보유 지지 테이프 F를 롤 감기한 구성으로 되어 있다. 보유 지지 테이프 F는 공급 보빈(23)으로부터 조출하여 공급되고, 점착재 회수 기구(4)로부터 하류로 공급되고 있는 점착재 편 Tp로 안내된다. 지지 테이블(24)은, 점착재 회수 기구(4)로부터 하류로 공급되고 있는 점착재 편 Tp 및 세퍼레이터 S를 수평으로 받치도록 배치되어 있다.
첩부 유닛(25)은, 첩부 롤러(27)와 구동 실린더(29)를 구비하고 있다. 첩부 유닛(25)은, 도 3에 도시하는 안내 레일(30)을 따라, 지지 테이블(24)의 상방을 왕복 이동하도록 구성되어 있다. 첩부 롤러(27)는 구동 실린더(29)에 의해 승강 가능하게 구성되어 있다. 즉, 공급 보빈(23)으로부터 안내되어 온 보유 지지 테이프 F는, 첩부 롤러(27)에 의해 상방으로부터 압박되어, 지지 테이블(24)에 의해 받쳐져 있는 점착재 편 Tp에 첩부된다.
세퍼레이터 회수 기구(6)는, 가이드 롤러(31)와, 이송 롤러(32)와, 회수 보빈(33)을 구비하고 있다. 보유 지지 테이프 F가 첩부된 점착재 편 Tp 및 세퍼레이터 S는, 가이드 롤러(34)에 의해 보유 지지 테이프 F가 부착된 점착재 편 Tp와, 세퍼레이터 S로 박리된다. 박리된 세퍼레이터 S는, 이송 롤러(32)를 경유하여 회수 보빈(33)에 권취하여 회수된다.
워크 수납부(7)는, 일례로서 워크 W를 수납하는 매거진 C1 및 매거진 C2를 구비하고 있다. 매거진 C1에는 다수매의 워크 W가, 수평 자세로 다단으로 삽입 수납되어 있다. 매거진 C2에는 소정 형상의 시트형 점착재 T가 첩부된 워크 W가, 수평 자세로 다단으로 삽입 수납 가능하게 되어 있다.
워크 보유 지지 테이블(8)은 도 6에 도시하는 바와 같이, 가동대(35)와, 승강대(36)와, 워크 적재부(37)와, 기체 공급 노즐 Nz를 구비하고 있다. 가동대(35)는, 전후 가동대(35a)와 좌우 가동대(35b)와 회전 가동대(35c)를 구비하고 있다. 전후 가동대(35a)는 가이드 레일 R1을 따라 전후 방향(도면에서는 y 방향)으로 수평 이동하도록 구성된다. 전후 가동대(35a)의 수평 이동에 의해, 워크 보유 지지 테이블(8)은, 도 3에 있어서 실선으로 나타내고 있는 대기 영역 P와, 도 3에 있어서 점선으로 나타내고 있는 첩부 영역 Q 사이를 왕복 이동하는 것이 가능해진다.
좌우 가동대(35b)는, 전후 가동대(35a) 상에 고정되어 있는 가이드 레일 R2를 따라 좌우 방향(도면에서는 x 방향)으로 수평 이동하도록 구성된다. 회전 가동대(35c)는 좌우 가동대(35b) 상에 마련되어 있고, z축 둘레의 회전 방향 θ로 회전 가능하게 되도록 구성되어 있다. 승강대(36)는 가동대(35)에 세워 설치되어 있고, 승강대(36)의 상단에 워크 적재부(37)가 배치되어 있다. 승강대(36)는 도시하지 않은 모터 등에 의해, z 방향으로 승강 이동 가능하게 구성되어 있다.
워크 적재부(37)는 평탄한 적재면을 갖고 있고, 워크 W를 수평 상태에서 보유 지지한다. 워크 적재부(37)는, 흡착 패드(38)와 위치 결정 부재(39)를 구비하고 있다. 흡착 패드(38)는 구동 실린더(40)에 의해, 워크 적재부(37)에 내장되는 대기 위치와 워크 적재부(37)의 적재면으로부터 돌출되는 수취 위치 사이에서 승강 이동한다. 도 6에 있어서, 흡착 패드(38)가 이동하는 수취 위치를 이점 쇄선으로 예시하고 있다.
위치 결정 부재(39)는, 워크 적재부(37)의 전후 좌우의 4군데에 마련되어 있다. 위치 결정 부재(39)는, 도시하지 않은 실린더에 의해 워크 적재부(37)의 중심을 향하여 진퇴 이동하도록 구성되어 있다. 워크 적재부(37)에 적재된 워크 W의 외주를, 위치 결정 부재(39)에 의해 워크 적재부(37)의 중심을 향하여 사방에서 가압함으로써, 워크 W는 워크 적재부(37)의 중심 상에 위치 결정되게 구성되어 있다. 워크 적재부(37)에 배치되는 위치 결정 부재(39)의 수 및 위치는, 워크 W를 위치 결정할 수 있는 구성이라면 적절히 변경해도 된다. 또한, 워크 적재부(37)는 내부에 마련된 도시하지 않은 흡인 기구 등에 의해, 워크 W를 흡착 유지하는 것이 바람직하다.
또한, 적어도 워크 보유 지지 테이블(8)이 첩부 영역 Q로 이동하고 있는 상태에 있어서, 워크 보유 지지 테이블(8)은 워크 W를 x, y, z 및 θ의 각 방향으로 변위할 수 있도록 구성되어 있다. 본 실시예에서는, 전후 가동대(35a) 및 좌우 가동대(35b)의 수평 이동, 회전 가동대(35c)의 회전 이동 및 승강대(36)의 승강 이동에 의해, 첩부 영역 Q로 반송된 워크 W의 위치를 각 방향으로 적절히 조정할 수 있도록 구성되어 있다.
기체 공급 노즐 Nz는 도시하지 않은 기체 공급원과 접속되어 있고, 워크 W의 첩부면과 점착재 편 Tp의 점착면을 소정의 미소 거리 Da로 근접시킨 상태, 즉 근접 상태에 있어서 워크 W와 점착재 편 Tp의 간극에 기체를 공급한다. 당해 기체를 공급함으로써, 근접 상태에 있어서 워크 W와 점착재 편 Tp가 접촉하는 것을 방지한다.
워크 반송 기구(9)는 반송 암(9a)을 구비하고 있고, 도시하지 않은 구동 기구에 의해 수평 진퇴, 선회 및 승강 가능하게 되도록 구성되어 있다. 반송 암(9a)의 선단에는 일례로서 말굽형의 워크 보유 지지부(9b)가 마련되어 있다. 반송 암(9a)은, 워크 수납부(7)에 다단 수납된 워크 W끼리의 간극을, 워크 보유 지지부(9b)가 진퇴 가능하게 구성되어 있다. 워크 보유 지지부(9b)에는 흡착 구멍이 마련되어 있고, 워크 W를 진공 흡착하여 보유 지지하도록 구성되어 있다.
점착재 첩부 기구(10)는 점착재 편 Tp를 워크 W에 첩부하는 것이고, 첩부 롤러(41)와 구동 실린더(43)를 구비하고 있다. 점착재 첩부 기구(10)는, 도 3에 도시하는 안내 레일(30)을 따라, 첩부 영역 Q의 상방을 왕복 이동하도록 구성되어 있다. 첩부 롤러(41)는 구동 실린더(43)에 의해 승강 가능하게 구성되어 있다. 즉, 보유 지지 테이프 F가 첩부된 점착재 편 Tp는 첩부 롤러(41)에 의해 상방으로부터 압박되어, 워크 보유 지지 테이블(8)에 의해 보유 지지되어 있는 워크 W에 점착재 편 Tp가 첩부된다.
보유 지지 부재 분리 기구(11)는, 워크 W에 첩부된 점착재 편 Tp로부터 보유 지지 테이프 F를 분리시킨다. 보유 지지 부재 분리 기구(11)는, 보유 지지 테이프 F의 텐션을 유지하는 가이드 롤러(56)와, 닙 롤러(57)를 구비하고 있다. 닙 롤러(57)는 승강 이동을 가능하게 하는 핀치 롤러(57a)와, 모터에 의해 구동되는 이송 롤러(57b)에 의해 구성된다. 보유 지지 부재 분리 기구(11)는, 도시하지 않은 레일을 따라 좌우 수평으로 왕복 이동이 가능하게 되도록 구성되어 있다.
보유 지지 부재 회수 기구(12)는, 테이프 박리 유닛(11)의 하류에 배치되어 있고, 점착재 편 Tp로부터 분리된 보유 지지 테이프 F를 권취하는 회수 보빈이 권취 방향으로 회전 구동되도록 되어 있다.
시트형 점착재의 첩부 장치(1)는, 추가로 제어부(44)와, 입력부(45)와, 점착재 위치 인식 기구(47)와, 워크 위치 인식 기구(48)와, 절단 검사 기구(49)와, 첩부 검사 기구(50)와, 위치 판정부(51)와, 절단 판정부(52)와, 첩부 판정부(53)와, 기억부(54)와, 통지부(55)를 구비하고 있다.
제어부(44)는 CPU(중앙 연산 처리 장치) 등을 구비하고 있고, 시트형 점착재의 첩부 장치(1)에 마련되어 있는 구성의 각각에 대해서, 각종 동작 등을 통괄 제어한다. 입력부(45)의 예로서는 콘솔 패널이나 키보드 등을 들 수 있고, 오퍼레이터는 입력부(45)를 사용하여 각종 지시를 입력한다. 도 2에 도시한 바와 같이, 입력부(45)에 입력된 지시 내용은 제어부(44)에 송신되고, 제어부(44)는 당해 지시를 따라 각종 제어를 행할 수 있다.
또한, 오퍼레이터 등이 입력부(45)를 조작함으로써, 점착재 편 Tp의 사이즈의 기준, 점착재 편 Tp의 형상의 기준, 워크 W 상에 점착재 편 Tp를 첩부하는 위치의 기준, 및 당해 기준과의 차의 허용값 등에 관한 각종 정보를 미리 입력할 수 있다. 기억부(54)는 입력된 각종 정보를 기억한다.
점착재 위치 인식 기구(47)는, 워크 W에 점착재 편 Tp를 첩부하기 전의 소정의 시점에 있어서, 점착재 편 Tp를 촬영함으로써 점착재 편 Tp의 상세한 위치에 관한 정보를 취득한다. 본 실시예에 있어서, 점착재 위치 인식 기구(47)는 첩부 영역 Q의 상방에 배치되어 있는 한 쌍의 점착재 위치 인식 카메라(47a 및 47b)를 구비하고 있다. 점착재 위치 인식 기구(47)가 취득한 점착재 편 Tp의 위치 정보는, 위치 판정부(51)로 송신된다.
워크 위치 인식 기구(48)는, 워크 W에 점착재 편 Tp를 첩부하기 전의 소정의 시점에 있어서, 워크 W를 촬영함으로써 워크 W의 상세한 위치에 관한 정보를 취득한다. 본 실시예에 있어서, 워크 위치 인식 기구(48)는 대기 영역 P의 상방에 배치되어 있는 한 쌍의 워크 위치 인식 카메라(48a 및 48b)를 구비하고 있다. 워크 위치 인식 기구(48)가 취득한 워크 W의 위치 정보는, 위치 판정부(51)로 송신된다.
절단 검사 기구(49)는 점착재 절단 기구(3)의 하류에 있어서의 소정의 위치에 배치되어 있고, 점착재 편 Tp의 절단이 정상적으로 행해졌는지 여부를 검사한다. 본 실시예에 있어서, 절단 검사 기구(49)는 지지 테이블(24)의 상방에 배치되어 있는 한 쌍의 절단 검사 카메라(49a 및 49b)를 구비하고 있다. 절단 검사 기구(49)는 절단 궤적 K를 따라 절단된 점착재 편 Tp를 촬영하고, 점착재 편 Tp를 광학적으로 인식함으로써 점착재 편 Tp에 관한 정보를 취득한다. 절단 검사 기구(49)에 의해 취득되는 정보의 예로서, 점착재 편 Tp의 사이즈 및 형상을 들 수 있다. 절단 검사 기구(49)가 취득한 정보는, 절단 판정부(52)로 송신된다. 본 발명에 있어서 「광학적으로 인식한다」란, 카메라 또는 광학 센서를 예로 하는, 광학계를 갖는 광학적인 수단을 사용하여, 대상을 식별하는 것을 의미한다.
첩부 검사 기구(50)는, 워크 W에 점착재 편 Tp를 첩부한 후의 소정의 시점에 있어서, 워크 W에 대하여 점착재 편 Tp가 정상적으로 첩부되었는지의 여부를 검사한다. 본 실시예에 있어서, 첩부 검사 기구(50)는 대기 영역 P의 상방에 배치되어 있는 한 쌍의 첩부 검사 카메라(50a 및 50b)를 구비하고 있다. 첩부 검사 기구(50)는, 워크 W에 첩부된 점착재 편 Tp와 워크 W를 촬영하고, 워크 W를 광학적으로 인식함으로써 워크 W에 관한 정보를 취득한다. 첩부 검사 기구(50)에 의해 취득되는 정보의 예로서, 워크 W에 대하여 점착재 편 Tp가 첩부된 위치에 관한 정보를 들 수 있다. 첩부 검사 기구(50)가 취득한 정보는, 첩부 판정부(53)로 송신된다.
위치 판정부(51)는 도 12의 (b)에 도시하는 바와 같이 제어부(44)의 상류에 마련되어 있고, 점착재 위치 인식 기구(47)가 취득한 정보와 워크 위치 인식 기구(48)가 취득한 정보를 사용하여, 워크 W에 대한 점착 부재 Tp의 상대적인 위치를 산출한다. 워크 위치 판정부(52)는 산출된 상대적 위치의 정보를 제어부(44)로 송신한다. 제어부(44)는, 첩부 영역 Q로 이동한 워크 보유 지지 테이블(8)의 위치를 적절히 이동시킴으로써, 점착재 첩부 기구(10)에 있어서, 점착 부재 Tp에 대한 워크 W의 위치를 조정한다.
절단 판정부(52)는 도 10의 (b)에 도시하는 바와 같이 제어부(44)의 상류에 마련되어 있고, 절단 검사 기구(49)가 검지한 정보를 사용하여 각종 연산을 행하고, 점착재 절단 기구(3)에 의해 형성된 점착재 편 Tp의 각각에 대해서, 사이즈 및 형상을 산출한다. 그리고 산출된 점착재 편 Tp의 사이즈 및 형상의 정보와, 미리 기억부(54)에 기억되어 있는 점착재 편 Tp의 사이즈 및 형상의 기준에 관한 정보를 비교하여, 실제로 형성된 점착재 편 Tp의 사이즈 및 형상과, 각각의 기준값의 차가 허용값의 범위 내인지 여부를 판정한다. 점착재 편 Tp의 사이즈 및 형상에 대해서, 기준값과의 차가 허용값의 범위 내인 경우, 점착재 편 Tp는 사용 가능으로 판정된다.
첩부 판정부(53)는 도 17의 (b)에 도시하는 바와 같이 제어부(44)의 상류에 마련되어 있고, 첩부 검사 기구(50)가 검지한 화상 정보를 사용하여 각종 연산을 행하여, 점착재 첩부 기구(10)에 의해 점착재 편 Tp가 실제로 첩부된 위치를 산출한다. 첩부 판정부(53)는, 산출된 위치의 정보를, 미리 기억부(54)에 기억되어 있는 기준으로 되는 부착 위치와 비교한다. 또한 첩부 판정부(53)는, 워크 W에 대하여 점착재 편 Tp가 실제로 첩부된 위치와 기준 위치의 차가 허용 범위 내인지 여부를 판정한다. 점착재 편 Tp가 첩부되어 있는 위치가 허용 범위 내인 경우에는 점착재 편 Tp의 첩부 공정이 정상적으로 행하여졌다고 판정되어, 당해 판정 결과의 정보가 제어부(44)로 송신된다.
통지부(55)는, 절단 판정부(52) 또는 첩부 판정부(53)에 의한 판정의 결과, 점착재 편 Tp의 사이즈, 형상 또는 부착 위치가 허용 범위 외인 경우, 시트형 점착재 T의 절단 공정 또는 점착재 편 Tp의 첩부 공정에 에러가 발생한 것을 통지한다. 통지부(55)의 구성으로서는, 점등 램프 또는 경보음 발생 장치 등을 예로서 들 수 있다.
<테이프 첩부 동작의 개요>
여기서, 실시예에 관한 시트형 점착재의 첩부 장치(1)의 기본 동작을 설명한다. 도 4의 (a)는, 시트형 점착재의 첩부 장치(1)를 사용하여, 워크 W에 대하여 점착재 편 Tp를 첩부하는 공정을 설명하는 흐름도이다.
스텝 S1(워크의 공급)
첩부 지령이 내려지면, 워크 보유 지지 테이블(8)은 대기 영역 P로 이동함과 함께, 흡착 패드(38)의 선단이 워크 적재부(37)의 적재면으로부터 돌출되어서 수취 위치로 상승한다. 그리고, 워크 반송 기구(9)의 반송 암(9a)이 워크 수납부(7)의 매거진 C1에 삽입된다. 반송 암(9a)의 워크 보유 지지부(9b)는, 소정의 워크 W를 이면측에서 흡착 보유 지지하여 취출하고, 워크 보유 지지 테이블(8) 상으로 반송한다.
워크 보유 지지부(9b)에 의해 이면 흡착되어 있는 워크 W는, 도 7의 (a)에 도시하는 바와 같이, 워크 적재부(37)로부터 돌출되어 있는 흡착 패드(38)에 적재된다. 그 후, 도 7의 (b)에 도시하는 바와 같이 흡착 패드(38)가 하강하고, 워크 W는 워크 적재부(37)의 상면에 적재된다.
워크 적재부(37)에 워크 W가 적재되면, 사방의 위치 결정 부재(39)가 각각 워크 적재부(37)의 중심측으로 진출하여, 워크 W가 워크 적재부(37)의 중심 상에 위치 결정된다. 위치 결정이 된 상태에서 도시하지 않은 진공 장치가 작동하여, 워크 W는 워크 적재부(37)에 흡착 보유 지지된다.
스텝 S2(시트형 점착재의 절단)
한편, 점착재 공급 기구(2)로부터 조출 공급되어 있는 시트형 점착재 T는 도 8의 (a)에 도시하는 바와 같이, 점착재 절단 기구(3)의 하판(13) 상에서 일시적으로 주행 정지한다. 그리고 도 8의 (b)에 도시하는 바와 같이, 하판(13)의 위치를 상승시킴으로써 하판(13) 상에 있어서의 시트형 점착재 T의 텐션을 조정한다. 구체적으로는 시트형 점착재 T에 이완이 발생하지 않고, 또한 시트형 점착재 T가 신장하지 않을 정도의 텐션으로 조정된다.
시트형 점착재 T의 텐션을 조정한 후, 도 8의 (c)에 도시하는 바와 같이 절단 유닛(15)을 하강시켜서 시트형 점착재 T를 절단시킨다. 즉, 모터(16a)에 의해 가동대(17)는 점선으로 나타내는 초기 위치에서 하강하여 절단 위치로 이동한다. 절단 위치로 이동함으로써, 하판(13) 상에서 주행 정지하고 있는 시트형 점착재 T에 대하여 절단 날(19)이 상방으로부터 압박되어, 환형 절단 날(19)에 의해 시트형 점착재 T가 절단되어 간다. 그 결과, 도 1 등에 도시하는 바와 같이, 시트형 점착재 T는 환형 절단 궤적 K를 따라 절단되어, 절단 궤적 K를 따른 소정 형상의 점착재 편 Tp가 형성된다.
또한, 하방으로 이동한 가동대(17)는, 받침 핀(18)에 의해 받쳐진다. 받침 핀(18)이 가동대(17)를 소정의 높이에서 받침으로써, 시트형 점착재 T의 층을 완전히 절단한 절단 날(19)이, 추가로 세퍼레이터 S의 층까지 완전히 절단해 버린다고 하는 사태를 피할 수 있다. 절단 유닛(15)에 의한 시트형 점착재 T의 절단이 완료되고, 절단 유닛(15)이 상승하여 초기 위치로 복귀함으로써 스텝 S2의 공정은 완료된다.
스텝 S3(점착재 편의 분리)
점착재 절단 기구(3)에 의해 점착재 편 Tp가 형성되면, 시트형 점착재 T의 주행이 재개되어, 시트형 점착재 T는 또한 하류로 보내진다. 그리고 시트형 점착재 T를 하류로 보내면서, 점착재 분리 기구(4)에 있어서 점착재 편 Tp를 점착재 편 Tp 이외의 부분의 시트형 점착재 T로부터 분리시킨다.
즉, 점착재 분리 기구(4)는 도 9의 (a) 및 도 9의 (b)에 도시하는 바와 같이, 시트형 점착재 T를 조출 방향 Ln을 따라 좌측 방향으로 보내면서, 점착재 편 Tp의 주위에 남는 잉여 점착재 Tn을 감음으로써, 당해 잉여 점착재 Tn을 세퍼레이터 S로부터 박리시킨다. 박리된 잉여 점착재 Tn은, 회수 보빈(21)에 권취 회수된다. 잉여 점착재 Tn을 권취하여 회수함으로써, 점착재 편 Tp는 점착재 편 Tp 이외의 부분의 시트형 점착재 T로부터 분리되어, 도 9의 (c)에 도시하는 바와 같이, 세퍼레이터 S 상에 점착재 편 Tp가 남은 상태로 된다. 그리고 점착재 편 Tp의 상류에 있어서, 시트형 점착재 T가 점착재 절단 기구(3)에 의해 절단되어서 새로운 점착재 편 Tp가 형성된다(도 9의 (d)).
스텝 S4(절단 상태의 검사)
점착재 편 Tp의 분리가 완료되면, 당해 점착재 편 Tp는 세퍼레이터 S와 함께 점착재 보유 지지 기구(5)로 보내져, 지지 테이블(24) 상에서 일시적으로 주행 정지된다. 지지 테이블(24)은, 세퍼레이터 S와 함께 점착재 편 Tp를 흡착 보유 지지한다. 그리고 지지 테이블(24)의 상방에 배치되어 있는 절단 검사 기구(49)에 의해, 점착재 편 Tp의 절단 상태를 검사한다.
절단 검사 기구(49)는 도 10의 (a)에 도시하는 바와 같이, 한 쌍의 절단 검사 카메라(49a 및 49b)를 사용하여 점착재 편 Tp를 촬영하고, 점착재 편 Tp의 사이즈 및 형상에 관한 정보를 취득한다. 본 실시예에 있어서, 절단 검사 카메라(49a 및 49b)는, 직사각형 점착재 편 Tp가 갖는 네 모퉁이부 중, 대향하는 두 모퉁이부를 각각 촬영한다. 절단 검사 카메라(49a 및 49b)에 의해 취득된 점착재 편 Tp의 화상 정보는, 도 10의 (b)에 도시하는 바와 같이 절단 판정부(52)로 송신된다.
절단 판정부(52)는, 절단 검사 기구(49)에 의해 얻어진 정보를 사용하여 연산을 행하고, 점착재 편 Tp의 정확한 사이즈 및 형상을 산출한다. 여기서, 점착재 편 Tp의 사이즈 및 형상을 산출하는 방법의 일례를 설명한다. 도 10의 (c)는 절단 검사 카메라(49a)에 의해 얻어진 화상 정보를 나타내고 있다. 절단 검사 카메라(49a)의 촬영 영역 L1에 있어서, 점착재 편 Tp의 모퉁이부 J1에 있어서의 두 변 M1 및 M2가 찍혀 있다.
절단 검사 카메라(49a)의 위치 및 촬영 방향에 관한 정보는 미리 얻어져 있으므로, x 방향에 대한 변 M1의 각도 D1 및 x 방향에 대한 변 M2의 각도 D2의 정보를 산출할 수 있다. 즉, 절단 검사 카메라(49a)의 화상 정보에 의해, 변 M1이 연장되는 방향 JT1 및 변 M2가 연장되는 방향 JT2의 각각이 정확하게 산출된다.
절단 검사 카메라(49b)는, 모퉁이부 J1에 대향하는 모퉁이부 J2를 촬영한다. 그 때문에, 절단 검사 카메라(49b)의 촬영 영역 L2에 있어서, 점착재 편 Tp의 모퉁이부 J2에 있어서의 두 변 M3 및 M4가 찍혀 있다. 따라서, 촬영 영역 L2의 화상 정보에 의해, 변 M3 및 변 M4의 각각이 연장되는 방향이 정확하게 산출된다.
변 M1 내지 M4의 각각이 연장되는 방향이 산출되면, 도 10의 (d)에 도시하는 바와 같이, 촬영 영역 L1 및 L2에 실제로 비친 변 M1 내지 M4로부터, 점선으로 나타내는 변 M1 내지 M4의 연장선을 작성한다. 그 결과, 변 M1 내지 M4의 연장선이 교차하는 부분이 나머지 두 모퉁이부 J3 및 J4의 정확한 위치로서 산출된다. 그리고, 모퉁이부 J1 내지 J4의 각각을 연결하는 직선으로 둘러싸인 영역 V의 사이즈 및 형상이, 점착재 절단 기구(3)에 의해 실제로 형성된 점착재 편 Tp의 사이즈 및 형상에 상당한다.
점착재 편 Tp의 사이즈를 검사하는 경우에 판정 대상으로 되는 파라미터로서는, 점착재 편 Tp의 변 M1 내지 M4의 길이 등을 들 수 있다. 점착재 편 Tp의 형상을 검사하는 경우, 변 M1 내지 M4에 있어서의 왜곡의 유무, 또는 모퉁이부 J1 내지 J4에 있어서의 각도의 크기 등을 판정 대상으로서 들 수 있다.
이와 같이, 모퉁이부 J1 및 모퉁이부 J2를 촬영함으로써, 변 M1 내지 M4의 길이와 x 방향에 대한 기울기를 산출할 수 있으므로, 실제로 형성된 점착재 편 Tp의 사이즈 및 형상을 정확하게 산출할 수 있다. 즉, 대향하는 모퉁이부 J1 및 모퉁이부 J2의 부분에 상당하는 점착재 편 Tp의 화상 정보를 사용하여 연산함으로써, 점착재 편 Tp의 전체 상을 재현할 수 있다.
기억부(54)로부터 절단 판정부(52)에 대하여 이상적인 점착재 편 Tp의 사이즈 및 형상(점착재 편 Tp의 기준 사이즈 및 기준 형상)으로서 미리 기억되어 있는 정보가 송신된다. 절단 판정부(52)는, 실제로 제작된 점착재 편 Tp의 정확한 사이즈 및 형상을 산출한 후, 점착재 편 Tp의 기준 사이즈 및 기준 형상의 정보와 비교한다. 당해 비교에 의해, 실제로 형성된 점착재 편 Tp의 사이즈와 기준 사이즈의 차 S1 및 실제로 형성된 점착재 편 Tp의 형상과 기준 형상의 차 S2를 산출할 수 있다.
차 S1 및 차 S2가 모두 미리 정해진 허용값 이하인 경우, 실제로 형성된 점착재 편 Tp는 워크 W로의 첩부에 사용할 수 있는 합격품이라고 판정된다. 한편, 차 S1 및 차 S2 중 적어도 한쪽이 허용값 이상인 경우, 실제로 형성된 점착재 편 Tp는 불합격품이라고 판정된다. 형성된 점착재 편 Tp가 합격품인지 여부에 관한 정보는, 절단 판정부(52)로부터 제어부(44)로 송신된다.
제어부(44)는, 형성된 점착재 편 Tp가 합격품이라는 정보를 수신한 경우, 점착재 편 Tp의 첩부 공정을 속행시킨다. 이 경우, 합격품인 점착재 편 Tp를 사용하여 다음 스텝 S5에 관한 공정이 행하여진다.
한편, 형성된 점착재 편 Tp가 불합격품이라는 정보를 수신한 경우, 일례로서 제어부(44)는 통지부(55)를 제어하여 불합격품이 발생하였다는 취지의 정보를 오퍼레이터에 통지시킴과 함께, 첩부 장치(1)의 각 구성을 제어하여 운전을 일시적으로 정지시킨다. 오퍼레이터는, 통지부(55)에 의해 통지된 정보에 의해 불합격품의 발생을 확인하고, 불합격품의 점착재 편 Tp를 세퍼레이터 S로부터 제거할 수 있다. 불합격품의 점착재 편 Tp가 제거된 후, 일시적인 주행 정지가 해제된다. 그리고, 다음으로 형성된 점착재 편 Tp가 지지 테이블(24)에 보내져, 당해 점착재 편 Tp에 대하여 절단 검사의 공정이 행하여진다.
스텝 S5(점착재 편의 보유 지지)
절단 검사의 결과, 점착재 편 Tp가 합격품이라고 판정된 경우, 계속하여 점착재 편을 보유 지지하는 공정을 실행한다. 즉 지지 테이블(24)에 흡착 보유 지지되어 있는 점착재 편 Tp에 대하여 보유 지지 테이프 F를 첩부한다. 보유 지지 테이프 F를 첩부하는 동작의 개시 시점에 있어서, 보유 지지 테이프 F는 도 11의 (a)에 도시하는 바와 같이, 공급 보빈(23)으로부터 조출 공급되어서 지지 테이블(24)의 상방으로 안내되고 있다.
스텝 S5에 관한 점착재 편의 보유 지지 공정이 개시되면, 도 11의 (b)에 도시하는 바와 같이 첩부 유닛(25)의 첩부 롤러(27)는 구동 실린더(29)에 의해 하강되어, 점착재 편 Tp의 상면의 일단측에 보유 지지 테이프 F를 가압한다. 다음으로 도 11의 (c)에 도시하는 바와 같이, 첩부 롤러(27)는 보유 지지 테이프 F를 하방으로 압박하면서 지지 테이블(24)의 일단측으로부터 타단측으로 구름 이동하고, 실선으로 나타내는 종단부 위치로 이동한다. 이에 의해, 보유 지지 테이프 F는 점착재 편 Tp의 상면 전체에 첩부된다.
보유 지지 테이프 F를 첩부함으로써, 상향으로 되어 있는 점착재 편 Tp의 비점착면을 통해, 점착재 편 Tp는 보유 지지 테이프 F에 의해 안정적으로 보유 지지된다. 점착재 편 Tp의 상면 전체에 보유 지지 테이프 F가 첩부되면, 첩부 유닛(25)은 상승하고, 종단부 위치에서 초기 위치로 복귀한다. 그리고 지지 테이블(24)에 의한 흡착 보유 지지가 해제되어, 점착재 편 Tp는 세퍼레이터 S 및 보유 지지 테이프 F와 함께 하류로 보내진다.
스텝 S6(세퍼레이터의 회수)
점착재 편 Tp를 하류로 보내면서, 세퍼레이터 회수 기구(6)에 있어서 점착재 편 Tp로부터 세퍼레이터 S를 분리시킨다. 도 2에 도시한 바와 같이, 보유 지지 테이프 F가 첩부된 점착재 편 Tp 및 세퍼레이터 S는, 가이드 롤러(31)에 의해 보유 지지 테이프 F가 부착된 점착재 편 Tp와, 세퍼레이터 S로 박리된다. 박리된 세퍼레이터 S는, 이송 롤러(32)를 경유하여 회수 보빈(33)에 권취하여 회수된다.
세퍼레이터 S가 박리됨으로써, 점착재 편 Tp의 점착면이 노출된다. 이때, 점착재 편 Tp에는 긴 형상의 보유 지지 테이프 F가 이미 첩부되어 있다. 그 때문에, 세퍼레이터 S가 점착재 편 Tp로부터 박리된 후에도, 점착재 편 Tp는 변형되지 않고 보유 지지 테이프 F에 의해 안정적으로 보유 지지된다. 즉, 점착재 편 Tp 중 점착면과 역의 면에 보유 지지 테이프 F를 첩부함으로써, 세퍼레이터 S의 박리 후에 있어서도 점착재 편 Tp를 평탄한 상태로 유지할 수 있다. 세퍼레이터 S가 박리된 상태의 점착재 편 Tp는, 보유 지지 테이프 F와 함께 하류로 보내진다.
스텝 S7(점착재 편과 워크의 위치 조정)
점착재 편 Tp를 워크 W에 첩부하는 공정을 행하기 전에, 점착재 편 Tp와 워크 W의 위치를 조정시키는 공정을 행한다. 보유 지지 테이프 F에 의해 보유 지지된 점착재 편 Tp는, 첩부 영역 Q에 있어서 일시적으로 주행 정지된다. 그리고 첩부 영역 Q의 상방에 배치되어 있는 점착재 위치 인식 기구(47)에 의해, 점착재 편 Tp의 정확한 위치를 검지한다.
점착재 위치 인식 기구(47)는 도 13의 (a)에 도시하는 바와 같이, 한 쌍의 점착재 위치 인식 카메라(47a 및 47b)를 사용하여 점착재 편 Tp를 촬영하여, 점착재 편 Tp의 화상 정보를 취득한다. 점착재 위치 인식 카메라(47a 및 47b)는 절단 검사 기구(49)와 마찬가지로, 보유 지지 테이프 F에 보유 지지되어 있는 점착재 편 T 중 대향하는 두 모퉁이부 J1 및 J2의 부분을 각각 촬영한다. 첩부 영역 Q의 상방에 배치되어 있는 점착재 위치 인식 기구(47)는, 보유 지지 테이프 F 너머의 점착재 편 Tp의 화상을 촬영한다.
점착재 위치 인식 카메라(47a 및 47b)는 모퉁이부 J1 및 J2, 즉 점착재 편 Tp의 일부를 촬영한다. 일반적으로 넓은 범위를 촬영한 경우, 촬영 범위의 주변부에 비치는 상은 중앙부에 비치는 상과 비교하여 왜곡이 커지므로, 주변부에 비치는 상에 관한 위치 정보의 정밀도는 낮아진다. 그리고 촬영 범위를 넓힐수록, 주변부에 있어서의 당해 왜곡은 커진다. 한편 본 실시예에 관한 점착재 위치 인식 카메라(47a 및 47b)는 좁은 범위에 한정하여 촬영을 행하므로, 촬영에 의해 얻어지는 화상은 전체에 걸쳐 왜곡이 적은, 정확한 정보를 취득하기 쉬운 화상으로 된다.
첩부 영역 Q의 상방에 배치되어 있는 점착재 위치 인식 기구(47)는, 보유 지지 테이프 F 너머의 점착재 편 Tp의 화상을 촬영한다. 보유 지지 테이프 F는 광투과성을 갖는 재료로 구성되어 있으므로, 점착재 편 Tp의 상방으로부터 보유 지지 테이프 F 너머에 점착재 편 Tp를 촬영한 경우라도 명료한 점착재 편 Tp의 화상 정보를 취득할 수 있다. 또한, 첩부 장치(1)에 있어서, 점착재 편 Tp의 하방과 비교하여 점착재 편 Tp의 상방은 공간적 여유가 넓으므로, 점착재 위치 인식 기구(47)를 용이하게 배치할 수 있다. 또한, 배치된 점착재 위치 인식 기구(47)가 첩부 장치(1)의 다른 구성에 간섭하는 사태도 보다 확실하게 피할 수 있다. 점착재 위치 인식 기구(47)에 의해 얻어진 점착재 편 Tp의 화상 정보는 도 13의 (b)에 도시하는 바와 같이, 위치 판정부(51)로 송신된다.
한편, 워크 보유 지지 테이블(8)에 보유 지지되어 있는 워크 W에 대해서도 정확한 위치의 검지를 행한다. 즉, 대기 위치 P에 배치되어 있는 워크 W에 대하여, 대기 위치 P의 상방에 배치되어 있는 워크 위치 인식 기구(48)에 의해, 워크 W의 화상 정보를 취득한다.
워크 위치 인식 기구(48)는 도 12의 (a)에 도시하는 바와 같이, 한 쌍의 워크 위치 인식 카메라(48a 및 48b)를 사용하여 워크 W를 촬영하고, 워크 W의 화상 정보를 취득한다. 워크 위치 인식 카메라(48a 및 48b)는, 워크 W 중 대향하는 두 모퉁이부 E1 및 E2를 각각 상방으로부터 촬영한다. 워크 위치 인식 기구(48)에 의해 얻어진 워크 W의 화상 정보는 도 12의 (b)에 도시하는 바와 같이, 위치 판정부(51)로 송신된다.
위치 판정부(51)는, 점착재 위치 인식 기구(47) 및 워크 위치 인식 기구(48)에 의해 얻어진 화상 정보를 사용하여 연산을 행하고, 워크 W에 대한 점착재 편 Tp의 상대적인 위치를 산출한다. 워크 W에 대한 점착재 편 Tp의 상대적인 위치를 산출하는 방법은, 절단 판정부(52)가 행하는 산출 방법과 마찬가지이다.
우선은, 점착재 위치 인식 기구(47)에 의해 얻어진, 대향하는 모퉁이부 J1 및 모퉁이부 J2의 부분에 상당하는 점착재 편 Tp의 화상 정보를 사용하여 연산함으로써, 점착재 편 Tp의 전체 상을 재현한다. 점착재 위치 인식 카메라(47a)가 촬영한 화상을 사용하여, 변 M1 및 M2가 연장되는 방향의 정보를 얻을 수 있다. 점착재 위치 인식 카메라(47b)가 촬영한 화상을 사용하여, 변 M3 및 M4가 연장되는 방향의 정보를 얻을 수 있다. 따라서, M1 내지 M4에 의해 둘러싸인 영역으로서, 점착재 편 Tp의 전체 상을 재현할 수 있다.
점착재 위치 인식 기구(47)의 위치 정보를 미리 취득해 둠으로써, 재현된 점착재 변 Tp의 전체 상의 위치도 산출할 수 있다. 따라서, 위치 판정부(51)는 점착재 위치 인식 기구(47)의 화상 정보를 사용하여 점착재 편 Tp 전체의 정확한 위치를 산출할 수 있다. 마찬가지로, 위치 판정부(51)는 모퉁이부 E1을 찍은 화상 정보와 모퉁이부 E2를 찍은 화상 정보를 사용하여, 워크 W의 전체 상을 재현한다. 그리고 미리 얻어져 있는 워크 위치 인식 기구(48)의 위치 정보를 사용함으로써, 워크 W 전체의 정확한 위치를 산출한다.
점착재 위치 인식 기구(47)는 점착재 편 Tp의 일부만을 촬영함으로써, 왜곡이 적은 정확한 화상 정보를 취득한다. 워크 위치 인식 기구(48)는 워크 W의 일부만을 촬영함으로써, 왜곡이 적은 정확한 화상 정보를 취득한다. 한편, 위치 판정부(51)는 점착재 편 Tp의 일부를 비추는 화상 정보와 워크 W의 일부를 비추는 화상 정보를 사용하여, 점착재 편 Tp의 전체 상의 정보와 워크 W의 전체 상의 정보를 산출한다. 위치 판정부(51)는 추가로 워크 W와 점착재 편 Tp의 상대적 위치 관계에 관한 정보를 산출한다.
당해 상대적 위치 관계에 관한 정보를 산출하는 경우, 워크 W 및 점착재 편 Tp에 대해서, 더 넓은 범위의 정보를 얻는 쪽이 정확하게 산출할 수 있다. 즉 워크 W 등의 일부에 한정한 좁은 범위를 촬영하면서, 당해 촬영에 의해 얻어진 화상을 사용하여 워크 W 등의 전체 상을 산출하는 방법을 채용함으로써, 화상의 정보의 정밀도를 향상시키는 효과와 워크 W와 점착재 편 Tp의 상대적 위치 관계에 관한 정보의 정밀도를 향상시키는 효과의 양쪽을 실현할 수 있다.
위치 판정부(51)는, 산출된 점착재 편 Tp의 위치 정보와 워크 W의 위치 정보를 비교함으로써, 워크 W에 대한 점착재 편 Tp의 상대적인 위치를 산출한다. 상대적인 위치에 관한 정보로서, x 방향 및 y 방향에 있어서의 워크 W와 점착재 편 Tp의 거리, 그리고 θ 방향에 있어서의 워크 W와 점착재 편 Tp의 각도의 차에 관한 정보를 예로서 들 수 있다.
위치 판정부(51)에 의해 산출된, 점착재 편 Tp와 워크 W의 상대적인 위치에 관한 정보는 제어부(44)로 송신된다. 제어부(44)는 당해 상대적인 위치 정보에 기초하여 가동대(35)를 제어함으로써, 점착재 편 Tp에 대한 워크 W의 위치를 조정한다. 우선은 도 12의 (c)에 도시하는 바와 같이, 제어부(44)의 제어 신호에 기초하여, 전후 가동대(35a)는 가이드 레일 R1을 따라 대기 위치 P로부터 첩부 영역 Q로 y 방향으로 수평 이동한다.
첩부 영역 Q로 이동한 시점에서는, 도 13의 (b)에 도시하는 바와 같이, 평면으로 보면 워크 W의 위치와 점착재 편 Tp의 위치 사이에는 x, y, θ의 각 방향에 대하여 어긋남이 발생하고 있다. 이러한 어긋남이 발생하는 원인으로서는, 워크 W를 워크 보유 지지 테이블(8)에 반송 및 적재할 때 발생하는 기계적인 떨림 등이 생각된다.
다음으로 도 13의 (a)에 도시하는 바와 같이, 제어부(44)는 전후 가동대(35a), 좌우 가동대(35b) 및 회전 가동대(35c)의 각각을 제어함으로써, 첩부 영역 Q로 이동한 워크 W의 위치를, x 방향, y 방향 및 θ 방향 등의 각 방향에 대하여 조정한다. 위치 판정부(51)에 의해 워크 W와 점착재 편 Tp의 상대적 위치에 관한 정확한 정보가 산출되고 있다. 그 때문에 위치 판정부(51)가 산출한 정보를 사용하여 가동대(35)를 조정함으로써, 도 13의 (c)에 도시하는 바와 같이, 워크 W의 중심의 위치와 점착재 편 Tp의 중심의 위치를 정확하게 일치시킬 수 있다.
스텝 S8(점착재 편과 워크를 근접)
점착재 편 Tp와 워크 W의 위치를 조정한 후, 워크 W와 점착재 편 Tp를 근접시킨다. 즉 제어부(44)는 승강대(36)의 승강 이동을 제어하여 워크 적재부(37)를 상승시킨다. 워크 적재부(37)가 상승함으로써, 워크 W는 도 14에 있어서 실선으로 나타내는 근접 위치에 이동하고, 워크 W와 점착재 편 Tp는 근접 상태로 된다.
당해 근접 이동에 의해, 워크 W의 첩부면과 점착재 편 Tp의 점착면과의 거리는, 비교적 큰 거리 Db로부터 미소 거리인 Da로 된다. 워크 W가 근접 위치로 이동한 상태에 있어서의 워크 W와 점착재 편 Tp의 거리 Da의 크기는, 0.3mm 이상 3mm 이하인 것이 바람직하고, 0.5mm 이상 1.5mm 이하인 것이 보다 바람직하다.
워크 W와 점착재 편 Tp를 근접 상태로 한 후, 기체 공급 노즐 Nz는 워크 W와 점착재 편 Tp의 간극에 기체 Ga를 공급한다. 당해 기체 Ga를 공급함으로써, 스텝 S9에 관한 첩부 공정이 개시되기 전에 워크 W와 점착재 편 Tp가 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 즉, 워크 W와 점착재 편 Tp의 접촉에 기인하여 워크 W에 있어서의 상정 외의 위치에 점착재 편 Tp가 점착하는 사태의 발생을 피할 수 있다.
또한 기체 Ga의 공급에 의해, 워크 W 및 점착재 편 Tp 중 어느 것에 대해서도 기계적인 접촉을 행하지 않고, 워크 W와 점착재 편 Tp의 접촉을 방지할 수 있다. 그 때문에, 워크 W와 점착재 편 Tp의 접촉을 방지하는 공정 시에, 워크 W 및 점착재 편 Tp가 변형되는 사태 및 점착재 편 Tp의 첩부 위치가 어긋나는 사태가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
스텝 S9(점착재 편의 첩부)
워크 W와 점착재 편 Tp를 근접시킨 후, 점착재 첩부 기구(10)의 첩부 롤러(41)는 구동 실린더(43)에 의해 하강하고, 워크 W의 상면의 일단측에 점착재 편 Tp를 가압한다. 다음으로 도 15의 (b)에 도시하는 바와 같이, 첩부 롤러(41)는 점착재 편 Tp를 하방으로 압박하면서, 보유 지지 테이프 F 상을 워크 보유 지지 테이블(8)의 일단측으로부터 타단측으로 구름 이동하고, 실선으로 나타내는 종단부 위치로 이동한다. 첩부 롤러(41)의 구름 이동에 의해, 점착재 편 Tp는 워크 W의 표면에 첩부된다.
본 실시예에서는 점착재 첩부 기구(10)가 작동하기 전에, 미리 워크 W와 점착재 편 Tp의 위치 조정을 행하고 있다. 그 때문에, 워크 W에 대한 점착재 편 Tp의 위치 어긋남이 확실하게 해소된 상태에서 점착재 편 Tp를 워크 W에 첩부하는 공정이 개시된다. 따라서, 워크 W에 대하여 점착재 편 Tp가 첩부되는 위치의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한 본 실시예에서는, 미리 워크 W와 점착재 편 Tp를 근접 상태로 한 후, 점착재 첩부 기구(10)를 작동시킨다. 즉, z 방향에 있어서의 워크 W의 첩부면과 점착재 편 Tp의 점착면과의 거리를 비교적 큰 거리 Db로부터 소정의 미소 거리 Da로 접근한 상태에서 첩부 롤러(41)는 점착재 편 Tp를 압박하여 워크 W에 첩부한다. 그 때문에, 워크 W와 점착재 편 Tp의 거리가 Db인 상태에서 점착재 편 Tp를 워크 W에 첩부하는 조작을 개시하는 종래 구성과 비교하여, 점착재 편 Tp가 아랫쪽으로 압박될 때 발생하는 x 방향 또는 y 방향으로의 점착재 편 Tp의 위치 어긋남의 크기를 저감할 수 있다.
또한, 미소 거리 Da로 접근시키고 나서 첩부 공정을 개시하는 본 발명에서는, 첩부 롤러(41)의 압박력이 작더라도 점착재 편 Tp를 워크 W에 첩부할 수 있다. 롤러(41)의 압박력이 작아지면, 당해 압박력에 기인하는 점착재 편 Tp 또는 워크 W의 변형을 방지할 수 있다. 따라서, 미리 워크 W를 점착재 편 Tp에 근접시킨 상태에서 점착재 편 Tp를 워크 W에 첩부하는 동작을 개시함으로써, 워크 W에 대한 점착재 편 Tp의 첩부 위치의 정밀도를 더욱 향상시킬 수 있다.
스텝 S10(보유 지지 부재의 분리)
워크 W에 점착재 편 Tp가 첩부되면, 점착재 첩부 기구(10)는 종단부 위치로부터 초기 위치로 복귀한다. 점착재 첩부 기구(10)가 초기 위치로 복귀함과 함께, 보유 지지 부재 분리 기구(11)가 도 16의 (a)에서 나타내는 초기 위치로부터 도 16의 (b)에서 나타내는 종단부 위치로 우측 방향으로 이동한다. 보유 지지 부재 분리 기구(11)는 종단부 위치로 이동하면서, 보유 지지 테이프 F를 감는다.
보유 지지 테이프 F를 감음으로써, 보유 지지 테이프 F는 점착재 편 Tp로부터 분리된다. 보유 지지 테이프 F의 점착력은, 점착재 편 Tp와 워크 W의 점착력보다 작아지도록 구성되어 있으므로, 보유 지지 테이프 F를 감을 때 점착재 편 Tp가 보유 지지 테이프 F와 함께 감기는 사태를 방지할 수 있다. 감아진 보유 지지 테이프 F는, 보유 지지 부재 회수 기구(12)의 회수 보빈에 의해 권취 회수된다. 보유 지지 테이프 F를 분리함으로써, 워크 보유 지지 테이블(8) 상에는 점착재 편 Tp가 첩부된 워크 W가 남겨진다.
스텝 S11(첩부 상태의 검사)
보유 지지 테이프 F를 점착재 편 Tp로부터 박리한 후, 워크 보유 지지 테이블(8)은 점착재 편 Tp가 첩부된 워크 W를 보유 지지하면서, 가이드 레일 R1을 따라 첩부 영역 Q로부터 대기 위치 P로 이동한다. 그리고 대기 위치 P의 상방에 배치되어 있는 첩부 검사 기구(50)에 의해, 점착재 편 Tp의 첩부 상태를 검사한다.
첩부 검사 기구(50)는 도 17의 (a)에 도시하는 바와 같이, 한 쌍의 첩부 검사 카메라(50a 및 50b)를 사용하여 점착재 편 Tp가 첩부되어 있는 워크 W를 촬영하여, 점착재 편 Tp가 첩부되어 있는 워크 W의 화상 정보를 취득한다. 본 실시예에 있어서, 첩부 검사 카메라(50a 및 50b)는, 워크 W의 모퉁이부 중, 대향하는 두 모퉁이부 E1 및 E2를 각각 촬영한다. 첩부 검사 카메라(50a 및 50b)에 의해 취득된 워크 W 및 점착재 편 Tp의 화상 정보는, 도 17의 (b)에 도시하는 바와 같이 첩부 판정부(53)로 송신된다.
첩부 판정부(53)는, 첩부 검사 기구(50)에 의해 얻어진 정보를 사용하여 연산을 행하고, 워크 W 상에 있어서 점착재 편 Tp가 첩부되어 있는 위치의 정보를 산출한다. 도 17의 (c)에 도시하는 바와 같이, 첩부 검사 카메라(50a)의 촬영 영역 N1에 있어서 점착재 편 Tp의 모퉁이부 J1과 워크 W의 모퉁이부 E1이 찍혀 있다. 첩부 판정부(53)는 워크 W 및 점착재 편 Tp의 색 또는 광 반사율의 차이 등에 의해, 워크 보유 지지 테이블(8)과 워크 W와 점착재 편 Tp를 식별한다.
첩부 판정부(53)는, 위치 판정부(51) 및 절단 판정부(52)와 마찬가지의 연산에 의해, 워크 W에 첩부되어 있는 점착재 편 Tp의 위치를 산출한다. 즉, 첩부 검사 카메라(50a)의 촬영 영역 N1에 비치는 워크 W의 모퉁이부 E1의 영상으로부터, 워크 W의 두 변이 연장되는 방향 ET1 및 ET2를 산출한다. 그리고, 첩부 검사 카메라(50b)가 촬영한 화상 정보로부터, 워크 W의 나머지 두 변이 연장되는 방향도 산출할 수 있다. 따라서, 네 변에 의해 둘러싸인 영역으로서, 워크 W의 전체 상을 재현할 수 있다.
첩부 판정부(53)는, 추가로 첩부 검사 카메라(50a)가 비추는 점착재 편 Tp의 모퉁이부 J1의 화상 정보를 사용하여, 점착재 편 Tp의 두 변이 연장되는 방향 JT1 및 JT2를 산출한다. 그리고 첩부 판정부(53)는, 첩부 검사 카메라(50b)가 촬영한 화상 정보로부터 점착재 편 Tp의 나머지 두 변이 연장되는 방향도 산출하고, 네 변에 의해 둘러싸인 영역으로서 점착재 편 Tp의 전체 상을 재현한다. 워크 W와 점착재 편 Tp의 전체 상을 재현함으로써, 워크 W에 첩부되어 있는 점착재 편 Tp의 단부와 워크 W의 단부의 거리 RS가, 워크의 외주 전체에 걸쳐 산출된다.
첩부 판정부(53)는, 점착재 편 Tp의 단부와 워크 W의 단부의 거리 RS를 산출한 후, 미리 기억부(54)에 기억되어 있는 기준값 SV와 비교한다. 기준값 SV는, 워크 W에 대하여 점착재 편 Tp가 이상적인 위치에 첩부되어 있는 경우에 있어서의 거리 RS의 값, 즉 거리 RS의 기준값이다. 일례로서 워크 W의 사이즈 및 형상과, 점착재 편 Tp의 사이즈 및 형상이 일치하도록 구성되어 있는 경우, 기준값 SV는 제로이다.
거리 RS와 기준값 SV의 차가, 워크 W의 외주 전체에 걸쳐 허용값의 범위 내인 경우, 워크 W에 대한 점착재 편 Tp의 첩부 공정은 정상적으로 실행되었다고 판정된다. 즉, 점착재 편 Tp가 첩부된 워크 W는 합격품이라고 판정된다.
한편, 거리 RS와 기준값 SV의 차가 허용값의 범위 외인 부분이 있는 경우, 점착재 편 Tp가 부착된 워크 W는 불합격품이라고 판정된다. 점착재 편 Tp가 첩부된 워크 W가 합격품인지 여부에 관한 정보는, 첩부 판정부(53)로부터 제어부(44)로 송신된다.
제어부(44)는, 워크 W가 합격품이라는 정보를 수신한 경우, 다음 스텝 S12에 관한 공정을 실행시켜서 합격품의 워크 W를 회수시킨다. 한편, 워크 W가 불합격품이라는 정보를 수신한 경우, 일례로서 제어부(44)는 통지부(55)를 제어하여 불합격품이 발생하였다는 취지의 정보를 오퍼레이터에 통지시킴과 함께, 첩부 장치(1)의 각 구성을 제어하여 운전을 일시적으로 정지시킨다. 오퍼레이터는, 통지부(55)에 의해 통지된 정보에 의해 불합격품의 발생을 확인하고, 불합격품의 워크 W를 제거한다. 제거된 후, 제어부(44)의 자동 제어 또는 입력부(45)에 의한 조작 등에 의해, 시트형 점착재의 첩부 장치(1)의 운전을 재개시킨다.
스텝 S12(워크의 회수)
점착재 편 Tp가 첩부된 워크 W에 대해서, 당해 워크 W가 합격품이라고 판정된 경우, 점착재 편 Tp가 첩부된 워크 W를 회수한다. 즉 흡착 패드(38)가 워크 적재부(37)의 내부로부터 수취 위치로 상승하면서, 워크 W를 흡착 보유 지지한다. 흡착 보유 지지된 워크 W는, 수취 위치로 들어 올려진다. 그리고, 워크 반송 기구(9)의 반송 암(9a)이 워크 W를 이면측에서 흡착 보유 지지하여, 워크 W를 워크 보유 지지 테이블(8)로부터 워크 수납부(7)로 반출한다. 반송 암(9a)은, 워크 수납부(7)의 매거진 C2에, 점착재 편 Tp가 첩부된 워크 W를 삽입하여 수납한다.
이상으로 일순의 동작이 종료되고, 이후, 스텝 S1로부터 스텝 S12까지의 동작을 순차 반복해 간다.
상기 실시예에 관한 장치에 의하면, 워크 W에 대하여 소정 형상의 점착재 편 Tp를 첩부하는 공정에 있어서, 점착재 편 Tp가 첩부되는 위치의 정밀도를 향상시킬 수 있다. 즉, 보유 지지 테이프 F에 의해 점착재 편 Tp를 보유 지지하고 있는 상태에서 당해 점착재 편 Tp를 워크 W에 첩부한다.
본 발명의 구성에서는, 점착재 편 Tp를 워크 W에 첩부할 때에, 점착재 편 Tp는 보유 지지 테이프 F에 의해 대략 평탄한 상태에서 보유 지지된다. 따라서, 점착면을 노출시킬 때, 점착재 편 Tp가 자중으로 흘러내리는 등의 요인에 의해 점착재 편 Tp가 상정되는 위치로부터 변위되는 사태를 피할 수 있다. 따라서, 당해 변위한 상태에서 점착재 편 Tp가 워크 W에 첩부됨으로써 점착재 편 Tp의 첩부 위치가 어긋나는 사태가, 보유 지지 테이프 F에 의해 확실하게 방지된다. 또한, 점착재 편 Tp를 압박하여 워크에 첩부할 때에, 당해 압박력에 의해 점착재 편 Tp가 변형 또는 변위하는 사태도 확실하게 피할 수 있다. 따라서, 점착재 편 Tp를 워크 W에 고정밀도로 첩부할 수 있다.
본 발명은, 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 하기와 같이 변형 실시할 수 있다.
(1) 본 실시예에 있어서, 시트형 점착재 T의 예로서, 워크 W를 보호하는 보호용 점착 테이프(보호 테이프)를 예로 들어 설명했지만, 시트형 점착재 T는 이것에 한정되는 것은 아니다. 보호 테이프 이외에, 웨이퍼 W를 링 프레임 f에 걸쳐 지지하는 지지용 점착 테이프(다이싱 테이프) 등 다른 용도에 사용되는 재료를 사용해도 된다.
또한 본 발명에서는 시트형 점착재 T로서, 점착재 또는 접착재를 갖는, 시트, 테이프 또는 필름 등을 적용할 수 있다. 시트형 점착재 T의 형태로서는 롤형 이외에 매엽형 등 다른 형태여도 되고, 미리 워크 W의 형상에 따른 소정의 형상을 갖고 있어도 된다. 시트형 점착재 T의 구조로서는, 점착재 또는 접착재와 기재의 적층 구조 이외에, 기재를 갖지 않는, 점착재 또는 접착재의 단층 구조를 들 수 있다. 또한 본 실시예에서는 시트형 점착재 T에 세퍼레이터 S를 추가 설치시킨 구성을 예시했지만, 첩부 장치(1) 또는 시트형 점착재 T 등의 구조에 따라, 세퍼레이터 S를 생략해도 된다. 이 경우, 하판(13) 및 지지 테이블(24) 등의 각종 기구에 이형 처리를 실시함으로써, 시트형 점착재 T에 대한 각 공정을 보다 적합하게 실행할 수 있다.
(2) 본 실시예에 있어서, 워크 W로서 직사각형 반도체 기판을 예시했지만, 워크 W의 형상 및 재료는 이것에 한정되지 않는다. 본 실시예에 관한 구성은, 기판, 패널, 웨이퍼 등 각종 반도체용 부재를 워크 W로서 적용할 수 있다. 또한 워크 W의 형상으로서는 직사각형 외에, 원형, 다각형, 대략 원형 등이어도 된다.
(3) 본 실시예에 있어서, 발명의 목적을 달성하는 한에 있어서, 각 기구 및 각 공정은 적절히 변경 또는 생략할 수 있다. 일례로서, 스텝 S1의 공정은, 스텝 S2 전에 행하는 구성에 한정되는 것은 아니며, 스텝 S2 등의 공정을 실행하고 있는 동안에 행해도 된다.
또한 본 발명에 있어서, 점착재 보유 지지 기구(5)의 구성은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 다른 예로서 하기의 (A1) 내지 (A3)에 나타내는 바와 같이 변형 실시할 수 있다.
(A1) 본 실시예에 있어서, 점착재 보유 지지 기구(5)는 점착성을 갖는 긴 형상의 보유 지지 테이프 F를 사용하여 점착재 편 Tp를 보유 지지하는 구성을 예로서 나타냈지만, 점착재 편 Tp를 보유 지지하는 구성은 이것에 한정되지 않는다. 점착재 편 Tp를 보유 지지한 상태에서 당해 점착재 편 Tp를 워크 W에 첩부하기 위한 다른 변형예로서, 도 18에 도시한 바와 같은 판형의 부재를 사용하여 점착재 편 Tp를 보유 지지하는 구성을 들 수 있다. 이하, 변형예에 대하여 설명한다. 또한, 실시예와 공통되는 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙여서 상세한 설명을 생략한다.
(A1)의 변형예에 관한 시트형 점착재의 첩부 장치(1A)에 있어서, 점착재 보유 지지 기구(5A)는 도 18에 도시하는 바와 같이 지지 테이블(24)과, 반송 기구(60)를 구비하고 있다. 반송 기구(60)는 반송 암(61)을 구비하고 있다. 반송 암(61)은 도시하지 않은 구동 기구에 의해 수평 진퇴, 선회 및 승강 가능이 되도록 구성되어 있다. 반송 암(61)의 선단에는 보유 지지 플레이트(63)가 마련되어 있다.
보유 지지 플레이트(63)는 판형의 부재이고, 강성을 갖는 재료로 구성되어 있다. 보유 지지 플레이트(63)의 하면에는 흡착 구멍이 마련되어 있고, 점착재 편 Tp를 진공 흡착하여 보유 지지하도록 구성되어 있다. 세퍼레이터 S가 추가 설치된 시트형 점착재 T를 사용하는 경우, 보유 지지 플레이트(63)의 흡착력은, 점착재 편 Tp와 세퍼레이터 S의 점착력보다 커지도록 조정된다.
보유 지지 플레이트(63)는 중앙부(63a) 및 외주부(63b)에 의해 구성되어 있다. 중앙부(63a)는 점착재 편 Tp의 중앙 부분을 흡착 보유 지지하고, 외주부(63b)는 점착재 편 Tp의 외주 부분을 흡착 보유 지지한다. 외주부(63b)는, 유리 또는 아크릴 수지 등을 예로 하는 광투과성을 갖는 재료로 구성되어 있다. 즉, 외주부(63b)의 상방으로부터 점착재 편 Tp를 촬영하고, 점착재 편 Tp의 외주 부분에 대하여 명료한 화상 정보를 취득하는 것이 가능하게 되어 있다.
점착재 보유 지지 기구(5A)는, 점착재 편 Tp를 판형의 보유 지지 플레이트(63)로 흡착 보유 지지함과 함께, 흡착 보유 지지한 점착재 편 Tp를 첩부 영역 Q로 반송하도록 구성되어 있다. 즉 변형예에 관한 시트형 점착재의 첩부 장치(1A)에서는 긴 형상의 보유 지지 테이프 F를 필요로 하지 않으므로, 적어도 공급 보빈(23), 보유 지지 부재 회수 기구(11) 및 보유 지지 부재 회수 기구(12)를 생략할 수 있다. 그 때문에, 긴 형상의 보유 지지 테이프 F를 권회 안내시키기 위한 스페이스도 생략할 수 있으므로, 첩부 장치(1A)의 비용 절감 및 소형화가 용이해진다.
여기서, 변형예에 관한 시트형 점착재의 첩부 장치(1A)의 기본 동작을 설명한다. 첩부 장치(1A)의 흐름도의 개요는, 도 4에 도시하는 실시예에 관한 첩부 장치(1)의 흐름도와 동일하지만, 스텝 S5 이후의 동작에 대하여 상이하다. 따라서, 공통되는 스텝 S1 내지 S4의 공정에 대해서는 설명을 생략하고, 스텝 S5 이후에 관한 첩부 장치(1A)의 동작에 대하여 설명한다.
스텝 S5(점착재 편의 보유 지지)
절단 검사의 결과, 점착재 편 Tp가 합격품이라고 판정된 경우, 보유 지지 플레이트(63)에 의해 점착재 편 Tp를 보유 지지하는 동작을 개시한다. 즉 점착재 보유 지지 기구(5A)의 반송 기구(60)가 작동하고, 도 20의 (a)에 도시하는 바와 같이, 반송 암(61)의 선단에 마련되어 있는 보유 지지 플레이트(63)가 지지 테이블(24)의 상방으로 이동한다. 그리고, 보유 지지 플레이트(63)의 외주부(63b)의 전체가 확실하게 점착재 편 Tp의 외주 부분의 전체에 맞닿도록, 보유 지지 플레이트(63)의 위치를 x 방향 및 y 방향으로 적절히 조절한다.
또한, 하강을 개시하기 전에 스텝 S4에 있어서 사용한 절단 검사 기구(49) 등을 사용하여 보유 지지 플레이트(63)의 상방으로부터 보유 지지 플레이트(63) 및 점착재 편 Tp의 화상 정보를 취득함으로써, 보유 지지 플레이트(63)와 점착재 편 Tp의 위치 정렬을 적절하고도 신속하게 실행할 수 있다.
점착재 편 Tp의 위치에 맞춰서 보유 지지 플레이트(63)의 위치를 조절한 후, 도 20의 (b)에 도시하는 바와 같이 보유 지지 플레이트(63)는 지지 테이블(24)의 상방으로부터 하강하고, 지지 테이블(24)에 흡착 보유 지지되어 있는 점착재 편 Tp에 맞닿는다. 맞닿게 한 후, 점착재 보유 지지 기구(5A)는 도시하지 않은 진공 장치를 작동시켜, 보유 지지 플레이트(63)에 마련되어 있는 흡착 구멍을 통해 점착재 편 Tp를 흡착 보유 지지한다.
보유 지지 플레이트(63)에 의해 점착재 편 Tp가 흡착 보유 지지되면, 도 20의 (c)에 도시하는 바와 같이 보유 지지 플레이트(63)는 점착재 편 Tp를 대략 평탄하게 보유 지지하면서 상승하고, 지지 테이블(24)의 상방으로 이동한다. 보유 지지 플레이트(63)의 흡착력에 의해 점착재 편 Tp는 세퍼레이터 S로부터 분리된다. 세퍼레이터 S로부터 분리된 점착재 편 Tp는, 하향으로 되어 있는 점착면을 노출시킨 상태에서 보유 지지 플레이트(63)와 함께 상승한다. 반송 기구(60)는, 보유 지지 플레이트(63)로 점착재 편 Tp를 보유 지지한 상태에서 점착재 편 Tp를 첩부 영역 Q로 반송한다. 점착재 편 Tp는 첩부 영역 Q에 있어서 스텝 S7에 관한 공정에 제공된다.
스텝 S6(세퍼레이터의 분리)
한편, 점착재 편 Tp로부터 분리된 세퍼레이터 S는, 이송 롤러(32)를 경유하여 회수 보빈(33)에 권취하여 회수된다.
스텝 S7(점착재 편과 워크의 위치 조정)
점착재 편 Tp를 워크 W에 첩부하는 공정을 행하기 전에, 점착재 편 Tp와 워크 W의 위치를 조정시키는 공정을 행한다. 즉 도 21에 도시하는 바와 같이, 대기 영역 P의 상방에 배치되어 있는 워크 위치 인식 기구(48)에 의해, 워크 보유 지지 테이블(8)에 보유 지지되어 있는 워크 W의 화상 정보를 취득한다. 그리고 첩부 영역 Q의 상방에 배치되어 있는 점착재 위치 인식 기구(47)에 의해, 첩부 영역 Q에 반송된 점착재 편 Tp의 화상 정보를 취득한다.
이때, 점착재 편 Tp의 외주 부분의 상면은, 모두 광투과성을 갖는 외주부(63b)가 맞닿아 있다. 따라서 점착재 위치 인식 카메라(47a 및 47b)는 광투과성을 갖는 외주부(63b)를 통해서, 점착재 편 Tp의 외주 부분에 관한 명료한 화상 정보를 취득할 수 있다.
각각의 화상 정보는 위치 판정부(51)에 송신되고, 위치 판정부(51)는 당해 화상 정보를 사용하여, 점착재 편 Tp와 워크 W의 상대적인 위치에 관한 정보를 산출한다. 점착재 편 Tp 및 워크 W의 상대적인 위치를 산출하는 방법은 실시예와 마찬가지이므로 설명을 생략한다. 제어부(44)는 당해 상대적인 위치 정보에 기초하여 가동대(35)를 제어함으로써 워크 지지 테이블(8)의 위치를 x, y, θ 등의 각 방향으로 적절히 이동시켜, 점착재 편 Tp에 대한 워크 W의 위치를 조정한다. 위치의 조정을 행하는 결과, 도 13의 (c)에 도시하는 바와 같이, 평면으로 보아, 워크 W의 중심의 위치와 점착재 편 Tp의 중심의 위치는 정확하게 일치한다.
스텝 S8(점착재 편과 워크를 근접)
점착재 편 Tp와 워크 W의 위치를 조정한 후, 워크 W와 점착재 편 Tp를 근접시킨다. 즉 도 22에 도시하는 바와 같이, 제어부(44)는 승강대(36)의 승강 이동을 제어하여 워크 적재부(37)를 상승시켜, 워크 W와 점착재 편 Tp를 근접시킨다. 이때, 점착재 편 Tp를 보유 지지하고 있는 보유 지지 플레이트(63)를 하강시킴으로써 워크 W와 점착재 편 Tp를 근접시켜도 된다. 보유 지지 플레이트(63) 및 워크 적재부(37)의 양쪽을 이동시킴으로써 워크 W와 점착재 편 Tp를 근접시켜도 된다.
점착재 편 Tp와 워크 W를 근접시켜서 양자를 근접 상태로 함으로써, 실시예와 마찬가지로, 워크 W와 점착재 편 Tp의 거리는 소정의 작은 값 Da로 된다. 점착재 편 Tp와 워크 W를 근접 상태로 한 후에 점착재 편 Tp를 워크 W에 첩부함으로써, 첩부 동작에 있어서 발생하는 점착재 편 Tp의 위치 어긋남의 크기를 저감할 수 있다.
스텝 S9(점착재 편의 첩부)
워크 W와 점착재 편 Tp를 근접시킨 후, 반송 기구(60)는 반송 암(61)을 하강시킨다. 반송 암(61)을 하강시킴으로써, 도 23에 도시하는 바와 같이 보유 지지 플레이트(63)는 점착재 편 Tp를 보유 지지하고 있는 상태에서 하강한다. 보유 지지 플레이트(63)를 워크 W와 평행하게 유지한 상태에서 하강함으로써, 상향으로 되어 있는 워크 W의 첩부면 전체에 걸쳐 점착재 편 Tp가 접촉한다. 이와 같이, 반송 암(61)을 하강시킴으로써 점착재 편 Tp는 워크 W의 표면에 첩부된다. 즉, 본 변형예에 있어서 첩부 롤러(41)는 생략되어 있고, 반송 기구(60)는 점착재 첩부 기구(10)의 기능을 겸비하고 있다.
스텝 S10(보유 지지 부재의 분리)
워크 W에 점착재 편 Tp가 첩부되면, 점착재 첩부 기구(10)는 종단 위치에서 초기 위치로 복귀한다. 점착재 첩부 기구(10)가 초기 위치로 복귀함과 함께, 점착재 보유 지지 기구(5A)는 진공 장치의 작동을 정지시켜, 보유 지지 플레이트(63)에 의한 점착재 편 Tp의 흡착 보유 지지를 해제시킨다. 그 후, 도 24에 도시하는 바와 같이, 보유 지지 플레이트(63)를 상승시킴으로써 보유 지지 플레이트(63)는 점착재 편 Tp로부터 분리된다. 반송 기구(60)는, 반송 암(61)을 적절히 구동시켜, 보유 지지 플레이트(63)를 초기 위치로 복귀시킨다. 보유 지지 플레이트(63)를 분리함으로써, 워크 보유 지지 테이블(8) 상에는 점착재 편 Tp가 첩부된 워크 W가 남겨진다.
스텝 S11(첩부 상태의 검사)
보유 지지 플레이트(63)를 점착재 편 Tp로부터 분리시킨 후, 워크 보유 지지 테이블(8)은 점착재 편 Tp가 첩부된 워크 W를 보유 지지하면서, 가이드 레일 R1을 따라 첩부 영역 Q로부터 대기 위치 P로 이동한다. 그리고 대기 위치 P의 상방에 배치되어 있는 첩부 검사 기구(50)에 의해, 점착재 편 Tp의 첩부 상태를 검사한다. 점착재 편 Tp의 첩부 상태를 검사하는 공정은, 실시예와 마찬가지이다.
스텝 S12(워크의 회수)
점착재 편 Tp가 첩부된 워크 W가 합격품이라고 판정된 경우, 점착재 편 Tp가 첩부된 워크 W를 회수한다. 흡착 패드(38)를 워크 적재부의 적재면으로부터 돌출시켜서 워크 W를 수취 위치로 들어 올려, 워크 반송 기구(9)에 의해 워크 W를 워크 보유 지지 테이블(8)로부터 워크 수납부(7)로 반출한다. 반송 암(9a)은, 워크 수납부(7)의 매거진 C2에, 점착재 편 Tp가 첩부된 워크 W를 삽입하여 수납한다.
이와 같이, 보유 지지 테이프 F에 한정되는 일은 없이 보유 지지 플레이트(63)와 같은 부재여도 점착재 편 Tp를 대략 평탄하게 보유 지지할 수 있다. 그리고 점착재 편 Tp를 보유 지지한 상태에서 점착재 편 Tp를 워크 W에 첩부함으로써, 점착면이 노출되어 있는 점착재 편 Tp가 첩부 공정에 있어서 변형 또는 변위되는 것을 방지할 수 있으므로, 점착재 편 Tp가 첩부되는 위치의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
(A2) 상술한 실시예에 있어서, 점착재 편 Tp를 보유 지지할 수 있는 구성이면 보유 지지 테이프 F는 긴 형상의 테이프에 한정되는 것은 아니며, 매엽형 등 다른 형상이어도 된다. 또한, 보유 지지 테이프 F의 상방으로부터 보유 지지 테이프 F를 통하여 점착재 편 Tp를 촬영하는 구성에 제한되지 않는 경우, 보유 지지 테이프 F로서 광투과성을 갖지 않는 재료를 사용해도 된다.
(A3) 상술한 변형예(A1)에 있어서, 보유 지지 플레이트(63)의 형상은 직사각형에 한정되는 것은 아니며, 원형 또는 다각형 등 다른 형상이어도 된다. 또한, 보유 지지 플레이트(63)는 중앙부(63a)와 외주부(63b)를 구비하는 구성에 한정되는 것은 아니며, 광투과성을 갖는 재료로 일체 형성된 판형 부재여도 된다. 또한 보유 지지 플레이트(63)의 상방으로부터 점착재 편 Tp를 촬영하는 구성에 제한되지 않는 경우, 보유 지지 플레이트(63)로서 광투과성을 갖지 않는 재료로 일체 형성된 판형 부재를 사용해도 된다.
또한 본 발명에 있어서, 점착재 절단 기구(5)의 구성은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 다른 예로서 하기의 (B1) 내지 (B5)에 도시하는 바와 같이 변형 실시할 수 있다.
(B1) 실시예 및 각 변형예에 있어서, 하판(13)에 받쳐져 있는 시트형 점착재 T의 텐션을 조절하는 구성은, 하판(13)을 승강시키는 구성에 한정되지 않는다. 시트형 점착재 T의 텐션을 조절하는 다른 구성의 예로서, 댄서 롤러나 가이드 롤러 등을 조절함으로써, 시트형 점착재 T의 조출 방향으로 텐션을 조절하는 구성을 들 수 있다.
또한, 도 25의 (a)에 도시하는 바와 같이, 시트형 점착재 T의 긴 변 방향의 양단을 각각 한 쌍의 파지 부재(65)로 파지하고, 각각의 파지 부재(65)를 서로 이격하는 방향 V1로 이동시켜도 된다. 도 25의 (b)에 도시하는 바와 같이, 하판(13)에 받쳐져 있는 시트형 점착재 T 상에서 적응시켜 롤러(67)를 구름 이동시켜도 되고, 이상에 예를 든 구성을 적절히 조합해도 된다.
(B2) 실시예 및 각 변형예에 있어서, 하강하는 절단 유닛(15)를 받침 핀(18)으로 받침으로써, 절단 유닛(15)이 시트형 점착재 T의 절단을 완료하는 절단 완료 위치의 높이를 조정하는 구성을 예시하고 있다. 그러나, 절단 완료 위치의 높이를 조정하는 높이 조정 기구의 구성은, 받침 핀(18)을 예로 하는 물리적인 부재로 받치는 구성 외에, 모터 등의 구동 기구에 의해 절단 유닛(15)이 하강하는 위치의 하한을 조정하는 구성 등을 사용해도 된다. 또한, 받침 핀(18)을 예로 하는 높이 조정 기구는 필수적인 구성은 아니고, 절단 유닛(15)에 의한 과잉 절단을 회피하는 것을 목적으로 하는, 임의로 배치되는 구성이다.
(B3) 실시예 및 각 변형예에 있어서, 절단 날(19)의 길이 및 각도는 절단 궤적 K에 걸쳐 균일하지 않아도 된다. 일례로서 도 26의 (a)에 도시하는 바와 같이, 절단 날(19)은 날의 길이가 비교적 긴 돌출 날부(19a)와, 날의 길이가 비교적 짧은 통상 날부(19b)를 구비해도 된다. 돌출 날부(19a)는 환형 절단 날(19)의 일부를 구성하고 있고, 통상 날부(19b)는 절단 날(19) 중 돌출 날부(19a) 이외의 부분에 상당한다.
도 26의 (b)에 도시하는 바와 같이, 시트형 점착재 T의 두께 방향에 있어서, 통상 날부(19b)의 길이 G1과 비교하여, 돌출 날부(19a)의 길이 G2쪽이 길어지도록 구성된다. 즉, 절단 날(19)이 시트형 점착재 T를 절단할 경우, 돌출 날부(19a)는 통상 날부(19b)와 비교하여 시트형 점착재 T를 보다 깊이 절단한다.
그 결과, 도 26의 (c)에 도시하는 바와 같이, 절단 날(19)이 점착 테이프 T를 절단하는 환형 절단 궤적 K 중, 돌출 날부(19a)는 굵은 실선으로 나타나는 제1 영역 K1을 절단하고, 통상 날부(19b)는 미세한 실선으로 나타나는 제2 영역 K2를 절단한다. 여기서, 제1 영역 K1은 분리 개시 개소 Sd를 포함하는 영역으로 되도록, 절단 날(13)에 있어서의 돌출 날부(13a)의 배치 위치는 조정되어 있다.
본 발명에 있어서, 분리 개시 개소 Sd란 절단 궤적 K 중, 점착재 편 Tp 이외의 부분의 시트형 점착재 T와 점착재 편 Tp의 분리가 개시되는 개소를 의미한다. 실시예 등과 같이 점착재 회수 기구(4)의 회수 보빈(21)이 조출 방향 x에 직교하도록 배치되어 있는 경우, 분리 개시 개소 Sd는 점착재 편 Tp에 있어서 가장 하류에 위치하는 직선의 부분에 상당한다. 분리 개시 개소 Sd는 도 26의 (c)에 있어서 점선으로 둘러싸인 부분으로서 나타나 있다.
절단 유닛(15)의 절단 완료 위치, 돌출 날부(19a)의 길이 G2 및 통상 날부(19b)의 길이 G1은, 시트형 점착재 T의 두께, 세퍼레이터 S의 두께 및 시트형 점착재 T의 층과 세퍼레이터 S의 층의 계면 Ps가 변형 용이성 등의 파라미터에 의해 정해진다.
구체적으로는, 절단 위치에 절단 유닛(15)이 이동한 경우, 통상 날부(19b)가 세퍼레이터 S의 층을 완전히 절단하는 일이 없고, 또한, 돌출 날부(19a)가 확실하게 시트형 점착재 T의 층을 완전히 절단하도록, 절단 완료 위치의 높이와 길이 G1과 길이 Q2가 미리 조정된다. 그 결과, 도 27의 (a)에 도시하는 바와 같이, 절단 날(19)이 시트형 점착재 T를 상방으로부터 압박함으로써 계면 Ps가 아랫쪽으로 가라앉게 변형되는 경우에도, 절단 날(19) 중 적어도 돌출 날부(19a)는 확실하게 시트형 점착재 T의 층을 완전히 절단할 수 있다.
돌출 날부(19a)가 시트형 점착재 T를 완전히 절단함으로써, 적어도 분리 개시 개소 Sd에서는 시트형 점착재 T의 층에 미절단부가 발생하는 경우가 없다. 따라서, 스텝 S4에 있어서, 먼저 분리 개시 개소 Sd에 있어서 점착재 편 Tp가 잉여 점착재 Tn으로부터 확실하게 분리되고, 계속하여 절단 영역 K1에 있어서도 점착재 편 Tp가 잉여 점착재 Tn으로부터 확실하게 분리된다. 절단 영역 K2에 미절단부가 발생한 경우에도, 이미 점착재 편 Tp로부터 분리되어 있는 잉여 점착재 Tn의 부분이 감김으로써 발생하는 강한 전단력이 당해 미절단부의 부분에 작용한다. 따라서, 미절단부에 있어서의 시트형 점착재 T의 층은 당해 전단력에 의해 완전히 절단된다.
따라서, 시트형 점착재 T 또는 세퍼레이터 S가 연질의 재료로 구성되는 등의 이유에 의해 계면 N이 변형되기 쉬운 경우에도, 절단 궤적 K의 전체에 걸쳐 점착재 편 Tp가 잉여 점착재 Tn으로부터 확실하게 분리된다. 그 때문에, 점착재 편 Tp의 주위에 있는 잉여 점착재 Tn으로부터 점착재 편 Tp를 분리할 수 없고, 잉여 점착재 Tn을 감을 때 점착재 편 Tp가 잉여 점착재 Tn과 함께 감기는 사태가 발생하는 것을 확실하게 방지할 수 있다.
또한, 절단 날(19)의 일부를 길게 하는 구성으로서는 도 26의 (a)에 나타내는 구성에 한정되는 것은 아니며, 도 27의 (b)에 나타내는 바와 같이 절단 날(19) 중 모퉁이부를 돌출 날부(19a)로 하는 구성을 바람직한 예로서 들 수 있다. 시트형 점착재 T의 조출 방향 Ln에 대하여 평행인 방향으로 잉여 점착재 Tn을 감는 경우, 도 27의 (c)에 도시하는 바와 같이 적어도 분리 개시 개소 Sd의 일부에 제1 영역 K1로 되는 모퉁이부가 포함되어 있다.
따라서, 모퉁이부를 돌출 날부(19a)로 함으로써, 분리 개시 개소 Sd 중 돌출 날부(19a)가 절단하는 제1 영역 K1의 부분에 있어서는 확실하게 시트형 점착재 T가 완전히 절단되므로, 잉여 점착재 Tn을 감아 회수할 때 돌출 날부(19a)가 절단하는 부분에서는 점착재 편 T와 잉여 점착재 Tn이 분리되어 전단력이 발생한다. 그리고 당해 전단력은 분리 개시 개소 Sd 중 제2 영역 K2로 되는 부분 및 분리 개시 개소 Sd 이외의 절단 궤적 K에도 작용하여, 절단 궤적 K의 전체에 걸쳐 점착재 편 T와 잉여 점착재 Tn이 확실하게 분리된다.
이와 같이, 도 26의 (a)에 도시한 바와 같은, 분리 개시 개소 Sd의 전체가 제1 영역 K1에 포함되는 구성에 한정되지 않고, 도 27의 (b)에 도시한 바와 같은, 적어도 분리 개시 개소 Sd의 일부가 제1 영역 K1에 포함되도록 절단 날(19)의 일부의 길이 또는 각도를 조정함으로써, 점착재 편 T가 잉여 점착재 Tn과 함께 점착재 회수 기구(4)에 회수된다고 하는 사태를 확실하게 피할 수 있다.
또한, 도 27의 (b)에 도시한 바와 같은, 절단 날(19) 중 모퉁이부를 돌출 날부(19a)로 하는 구성은, 점착재 회수 기구(4)의 회수 보빈(21)을 시트형 점착재 T의 조출 방향 Ln에 대하여 경사지도록 배치시킨 경우에 있어서, 보다 바람직하다. 즉, 회수 보빈(21)이 조출 방향 Ln에 대하여 경사지는 경우, 잉여 점착재 Tn은 x 방향에 대하여 경사지는 방향을 따라서 감기므로, 분리 개시 개소 Sd는 점착재 편 Tp의 모퉁이부에 상당한다. 또한, 평면으로 보아, 잉여 점착재 Tn 중 감기는 부분이 진행되는 방향의 일례를, 도 27의 (c) 또는 (d)에 있어서 부호 Lf로 나타내고 있다.
즉 도 27의 (d)에 도시하는 바와 같이, 직사각형 절단 궤적 K 중 모퉁이부가 제1 영역 K1로 되므로, 분리 개시 개소 Sd인 모퉁이부에 있어서 확실하게 시트형 점착재 T의 층을 완전히 절단할 수 있다. 즉, 분리 개시 개소 Sd에 있어서 시트형 점착재 T의 미절단부가 발생하지 않으므로, 분리 개시 개소 Sd를 기점으로 하여 전단력이 절단 궤적 K의 전체에 작용한다. 그 때문에, 확실하게 점착재 편 Tp는 잉여 점착재 Tn으로부터 분리되어, 잉여 점착재 Tn만이 점착재 회수 기구(4)에 회수된다.
(B4) 점착재 절단 기구(3)는 환형 절단 날(19)을 복수 구비해도 된다. 복수의 절단 날(19)을 구비하는 점착재 절단 기구(3)의 일례를 도 28의 (a)에 나타내고 있다. 본 변형예에서는, 세 절단 날(19)이 시트형 점착재 T의 조출 방향으로 배열된 구성을 예로서 설명한다.
본 변형예에서는, 스텝 S2에 있어서 각각의 절단 날(19)이 하판(13)에 받쳐져 있는 시트형 점착재 T를 절단함으로써, 도 28의 (b)에 도시하는 바와 같이 세 점착재 편 Tp, 즉 점착재 편 TpA 내지 TpC가 형성된다. 스텝 S3에서는 이들 세 점착재 편 TpA 내지 TpC를 순차 분리시킨다. 하류로부터 상류를 향하여 잉여 점착재 Tn을 감아 감으로써, 우선은 도 28의 (c)에 도시하는 바와 같이, 가장 하류에 위치하는 점착재 편 TpA가 점착재 편 TpA 이외의 부분의 시트형 점착재 T로부터 분리된다. 즉, 점착재 편 TpB, 점착재 편 TpC 및 잉여 점착재 Tn으로 이루어지는 부분의 시트형 점착재 T로부터 점착재 편 TpA가 분리된다.
계속하여 시트형 점착재 T를 하류에 보내면서 잉여 점착재 Tn을 감아 감으로써, 다음으로 점착재 편 TpB가 점착재 편 TpB 이외의 부분의 시트형 점착재 T로부터 분리된다. 즉, 점착재 편 TpC 및 잉여 점착재 Tn으로 이루어지는 부분의 시트형 점착재 T로부터 점착재 편 TpB가 분리된다. 그리고, 점착재 편 TpC가 점착재 편 TpC 이외의 부분의 시트형 점착재 T로부터 분리됨으로써, 점착재 편 TpA 내지 TpC의 각각이 세퍼레이터 S 상에 남고, 잉여 점착재 Tn이 감겨서 분리된 상태로 된다. 그 후, 스텝 S4 이후의 각 공정에 의해, 점착재 편 TpA 내지 TpC는, 각각 별도의 워크 W에 첩부된다.
(B5) 점착재 절단 기구(3)에 의한 시트형 점착재 T의 절단은, 시트형 점착재 T의 조출 주행을 일시 정지시키고 나서 행하는 구성에 한정되지 않는다. 즉, 조출 방향에 있어서의 점착재 절단 기구(3) 및 시트형 점착재 T의 상대적인 위치가 동일 위치에 유지되면서 시트형 점착재 T를 절단할 수 있는 구성이라면, 시트형 점착재 T를 x 방향으로 조출 주행시키면서, 점착재 절단 기구(3)에 의한 절단을 행해도 된다.
당해 변형예의 구체예로서, 시트형 점착재 T 및 점착재 절단 기구(3)를 동일한 속도로 x 방향으로 이동시키면서, 점착재 절단 기구(3)에 의한 시트형 점착재 T의 절단을 실행시키는 구성을 들 수 있다. 점착재 절단 기구(3) 및 시트형 점착재 T의 상대적인 위치가 동일 위치이기 때문에, 점착재 편 Tp의 절단 궤적 K의 위치가 상정되는 위치로부터 어긋나는 것을 피할 수 있다. 또한, 시트형 점착재 T의 조출 주행을 정지시킬 필요가 없으므로, 시트형 점착재의 첩부 장치(1)의 작업 효율을 향상시킬 수 있다.
또한 본 발명에 있어서, 점착재 위치 인식 기구(47) 및 워크 위치 인식 기구(48) 등의, 스텝 S7에 있어서 점착재 편과 워크의 위치를 조정하는 구성은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 점착재 편과 워크의 위치를 조정하는 구성의 다른 예로서, 하기의 (C1) 내지 (C6)에 도시하는 바와 같이 변형 실시할 수 있다.
(C1) 점착재 위치 인식 기구(47)는 도 12의 (a) 등에 도시한 바와 같은, 점착재 편 Tp의 상방으로부터 보유 지지 테이프 F를 통하여 점착재 편 Tp를 촬영하고, 취득된 점착재 편 Tp의 화상 정보를 사용하여 점착재 편 Tp의 위치를 인식하는 구성에 한정되지 않는다. 즉 도 29의 (a)에 도시하는 바와 같이, 점착재 편 Tp의 하방 즉 점착재 편 Tp에 대향하는 측으로부터 점착재 편 Tp의 위치를 인식해도 되고, 그 밖의 방향으로부터 인식해도 된다.
점착재 위치 인식 기구(47)가 점착재 편 Tp의 하방으로부터 점착재 편 Tp의 화상 정보를 취득하는 경우, 보유 지지 테이프 F 등의 보유 지지 부재에 가려지는 것을 피할 수 있다. 따라서, 보유 지지 테이프 F 등의 보유 지지 부재로서 광투과성을 갖는 재료를 사용하지 않는 경우라도 고정밀도의 점착재 편 Tp의 화상 정보를 취득할 수 있다. 또한 워크 위치 인식 기구(48)에 대해서도, 워크 W의 상방으로부터 워크 W의 위치를 인식하는 구성에 한정되는 것은 아니며, 다른 방향으로부터 워크 W의 위치를 인식해도 된다.
(C2) 점착재 위치 인식 기구(47) 및 워크 위치 인식 기구(48)의 각각이 배치되는 위치는 실시예의 구성에 한정되는 일은 없고 적절히 변경해도 된다. 일례로서 워크 위치 인식 기구(48)를 첩부 영역 Q의 상방에 배치해도 된다. 또한, 점착재 위치 인식 기구(47) 및 워크 위치 인식 기구(48)의 각각은 고정된 상태에서 배치되는 것이 바람직하다. 점착재 위치 인식 기구(47) 및 워크 위치 인식 기구(48)의 위치를 고정하여 당해 기구의 위치 어긋남을 발생시키지 않는 구성으로 함으로써, 워크 W 및 점착재 편 Tp의 위치 인식 정밀도의 저하를 방지할 수 있다.
(C3) 점착재 위치 인식 기구(47) 및 워크 위치 인식 기구(48)는 별개인 구성에 한정되는 것은 아니며, 공통의 구성이어도 된다. 즉 도 29의 (b)에 도시하는 바와 같이, 위치 인식 카메라(71a 및 71b)가, 워크 W의 화상 정보를 취득하여 워크 W의 위치를 인식함과 함께, 점착재 편 Tp의 화상 정보를 취득하여 점착재 편 Tp의 위치를 인식한다. 이 경우, 위치 인식 카메라(71a 및 71b)를 구비하는 위치 인식 기구(71)가 제1 인식 기구 및 제2 인식 기구에 상당한다.
또한 (C3)에 관한 변형예에 있어서, 위치 인식 기구(71)의 각각은 워크 W 및 점착재 편 Tp의 양쪽의 위치를 동시에 인식하는 구성에 한정되는 것은 아니며, 한쪽의 위치를 인식한 후에 다른 쪽의 위치를 인식해도 된다. 일례로서, 첩부 영역 Q의 상방에 있어서 위치 인식 기구(71)가 먼저 점착재 편 Tp의 위치를 인식하고, 워크 W를 보유 지지한 상태의 워크 보유 지지 테이블(8)을 대기 영역 P로부터 첩부 영역 Q로 이동시킨 후에 위치 인식 기구(71)가 워크 W의 위치를 인식하는 구성을 들 수 있다.
(C4) 워크 W 및 점착재 편 Tp의 위치를 인식하는 구성은, 점착재 위치 인식 카메라(47a)와 같은 카메라로 촬영하는 구성에 한정되지 않는다. 다른 예로서 광학 센서, 초음파 센서 등을 예로 하는 각종 센서를 사용하여 워크 W 및 점착재 편 Tp의 위치를 인식하는 구성을 들 수 있다. 또한 광학 센서의 예로서는, 카메라와 같이 화상을 취득하는 구성 이외에, 레이저 등을 사용하여 워크 W 또는 점착재 편 Tp의 단부를 검지하는 구성을 들 수 있다. 단, 워크 W 및 점착재 편 Tp의 상세한 위치를 용이하게 인식할 수 있는 구성으로서, 광학 센서를 사용하여 워크 W 또는 점착재 편 Tp의 광학적 정보를 취득하는 것이 바람직하다.
(C5) 점착재 위치 인식 기구(47) 및 워크 위치 인식 기구(48)는, 실시예와 같은, 점착재 편 Tp 또는 워크 W가 대향하는 두 모퉁이부를 인식하는 구성에 한정되지 않는다. 즉 점착재 위치 인식 기구(47) 및 워크 위치 인식 기구(48)가 대상을 인식하는 위치 및 수는 적절히 변경해도 된다. 일례로서 워크 W 또는 점착재 편 Tp가 특정한 표적 부위를 갖는 경우, 점착재 위치 인식 기구(47) 및 워크 위치 인식 기구(48)는 당해 표적 부위를 인식함으로써, 워크 W 또는 점착재 편 Tp의 위치를 인식할 수 있다. 표적 부위의 예로서는 도 29의 (c)에 도시한 바와 같은 노치 부분 Nc 및 마크 Mc 외에, 오리엔테이션 플랫 등을 들 수 있다.
(C6) 점착재 편 Tp와 워크 W의 위치를 조정하는 공정을 실행하는 타이밍은 실시예에 한정되는 것은 아니며, 점착재 편 Tp를 워크 W에 첩부하기 전이라면 적절히 변경해도 된다.
또한 본 발명에 있어서, 절단 검사 기구(49) 및 첩부 검사 기구(50) 등, 점착재 편 Tp 및 워크 W의 검사를 행하는 구성은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 검사를 행하는 구성의 다른 예로서, 하기의 (D1) 내지 (D6)에 도시하는 바와 같이 변형 실시할 수 있다.
(D1) 시트형 점착재의 첩부 장치(1)는 절단 검사 기구(49) 및 첩부 검사 기구(50)의 양쪽을 구비하는 구성에 한정되는 것은 아니며, 한쪽만을 구비해도 된다. 또한, 절단 검사 기구(49)가 점착재 편 Tp를 검사하는 타이밍은 적절히 변경해도 된다. 워크 W에 첩부된 점착재 편 Tp를 첩부 검사 기구(50)가 검사하는 타이밍에 대해서도 적절히 변경할 수 있다.
(D2) 절단 검사 기구(49)는, 절단 검사 카메라(49a)와 같은 카메라로 촬영함으로써 점착재 편 Tp를 검사하는 구성에 한정되지 않는다. 다른 예로서 광학 센서, 초음파 센서 등을 예로 하는 각종 센서를 사용하여 점착재 편 Tp의 사이즈 및 형상을 인식하는 구성을 들 수 있다. 일례로서, 각종 센서가 점착재 편 Tp의 단부의 위치를 전체에 걸쳐 검지함으로써, 점착재 편 Tp의 사이즈 및 형상을 검지할 수 있다. 또한, 첩부 검사 기구(50)에 대해서도 첩부 검사 카메라(50a)와 같은 카메라를 사용하는 구성에 한정되는 것은 아니며, 워크 W에 첩부된 점착재 편 Tp를 각종 센서에 의해 검지하는 구성을 채용해도 된다.
(D3) 검사의 결과, 점착재 편 Tp의 절단 또는 첩부가 정상적으로 행하여지지 않았다고 판정된 경우, 점착재 편 Tp가 부착된 워크 W의 불합격품, 또는 점착재 편 Tp의 불합격품을 자동으로 제거해도 된다. 이 경우, 시트형 점착재의 첩부 장치(1)는, 추가로 반송 암 등의 반송 수단을 갖는 불합격품 제거 기구를 구비한다.
절단 판정부(52) 또는 첩부 판정부(53)으로부터 불합격품이 발생한 것을 나타내는 신호를 제어부(44)가 수신한 경우, 제어부(44)는 불량품 제거 기구를 제어함으로써 워크 W의 불합격품 또는 점착재 편 Tp의 불합격품을 라인으로부터 제거하고, 불합격품을 수납하는 불합격품 회수부로 반송한다. 불합격품의 제거 및 회수를 자동화함으로써, 첩부 장치(1)의 작업 효율이 향상함과 함께 오퍼레이터의 부담을 경감할 수 있다.
(D4) 절단 검사 기구(49)는, 점착재 편 Tp의 사이즈 및 형상의 양쪽을 검사하여 기준 사이즈의 정보 및 기준 형상의 정보를 비교하는 구성에 한정되는 것은 아니며, 점착재 편 Tp의 사이즈 및 형상 중 한쪽을 검사하는 구성이어도 된다.
(D5) 절단 검사 카메라(49a 및 49b)는, 점착재 편 Tp의 일부를 촬영하는 구성에 한정되는 것은 아니며, 광각 렌즈 등을 사용함으로써 점착재 편 Tp의 전체를 촬영해도 된다. 이 경우, 점착재 편 Tp의 전체 상의 정보가 절단 검사 기구(49)에 의해 얻어지므로, 절단 판정부(52)는 점착재 편 Tp의 전체 상을 재현하는 연산을 행할 필요가 없다. 따라서, 절단 판정부(52)에 의한 연산 처리를 단순화할 수 있다. 마찬가지로, 첩부 검사 카메라(50a 및 50b)에 대해서도 워크 W 및 점착재 편 Tp의 전체를 촬영하는 구성을 채용할 수 있다.
(D6) 첩부 판정부(53)에 의해 워크 W에 대한 점착재 편 Tp의 첩부가 정상적으로 행하여지지 않았다고 판정된 경우, 점착재 편 Tp가 첩부된 워크 W의 불합격품을 재이용하는 구성이어도 된다. 본 변형예에 있어서, 시트형 점착재의 첩부 장치(1)는 점착재 박리 기구(80)를 구비하고 있다.
점착재 박리 기구(80)는, 대기 위치 P에 워크 보유 지지 테이블(8)이 위치하는 경우에 있어서, 워크 보유 지지 테이블(8)의 상방에 배치되어 있고, 워크 W에 있어서 부적절한 위치에 첩부되어 있는 점착재 편 Tp를 워크 W로부터 박리하여 회수한다. 점착재 박리 기구(80)는 도 30의 (a)에 도시하는 바와 같이, 롤 감기된 박리 테이프 Ha를 안내하는 안내 롤러(83)와, 나이프 에지상의 박리 부재(85)와, 박리 테이프 Ha를 회수하는 권취 축(87)을 구비하고 있다.
박리 테이프 Ha는 안내 롤러(83)에 의해 박리 부재(85)로 안내되어, 박리 부재(85)에 있어서 뒤집힌 후, 권취 축(87)에 의해 권취 회수된다. 즉 도 30의 (b)에 도시하는 바와 같이, 워크 W의 표면에 첩부되어 있는 점착재 편 Tp에 박리 테이프 Ha를 첩부한 상태에서, 워크 보유 지지 테이블(8) 또는 점착재 박리 기구(80)를 이동시킴으로써, 점착재 편 Tp는 박리 테이프 Ha와 일체로 되어서 워크 W의 표면으로부터 박리된다.
박리 테이프 Ha와 일체로 되어서 박리된 점착재 편 Tp는, 박리 테이프 Ha와 함께 권취 축(87)에 회수된다. 워크 보유 지지 테이블(8) 상에 남아있는 워크 W는, 워크 반송 기구(9)에 의해 워크 수납부(7)의 매거진 C1에 수납된다. 수납된 당해 워크 W는 재이용이 가능하므로, 워크 W에 대한 점착재 편 Tp의 첩부 공정이 적절하게 행하여지지 않았을 경우라도 워크 W를 유효하게 이용할 수 있다.
1: 시트형 점착재의 첩부 장치
2: 점착재 공급 기구
3: 점착재 절단 기구
4: 점착재 회수 기구
5: 점착재 보유 지지 기구
6: 세퍼레이터 회수 기구
7: 워크 수납부
8: 워크 보유 지지 테이블
9: 워크 반송 기구
10: 점착재 첩부 기구
11: 보유 지지 부재 분리 기구
12: 보유 지지 부재 회수 기구
13: 하판
15: 절단 유닛
16: 상부 고정판
17: 가동대
18: 받침 핀
19: 절단 날
21: 회수 보빈
23: 공급 보빈
24: 지지 테이블
25: 첩부 유닛
27: 첩부 롤러
29: 구동 실린더
30: 안내 레일
35: 가동대
35a: 전후 가동대
35b: 좌우 가동대
35c: 회전 가동대
36: 가동대
37: 워크 적재부
38: 흡착 패드
39: 위치 결정 부재
41: 첩부 롤러
44: 제어부
45: 입력부
47: 점착재 위치 인식 기구
48: 워크 위치 인식 기구
49: 절단 검사 기구
50: 첩부 검사 기구
51: 위치 판정부
52: 절단 판정부
53: 첩부 판정부
54: 기억부
55: 통지부
80: 점착재 박리 기구

Claims (14)

  1. 워크에 대하여, 소정 형상의 시트형 점착재를 첩부하는 시트형 점착재의 첩부 방법이며,
    점착재 보유 지지 부재에 의해 상기 시트형 점착재를 보유 지지한 상태에서 상기 시트형 점착재를 상기 워크에 첩부하는 첩부 과정과,
    상기 워크에 첩부된 상기 시트형 점착재로부터 상기 점착재 보유 지지 부재를 분리시키는 분리 과정
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 시트형 점착재의 첩부 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 점착재 보유 지지 부재는 긴 형상의 점착 테이프이고, 상기 점착 테이프를 상기 소정 형상의 시트형 점착재에 첩부함으로써 상기 소정 형상의 시트형 점착재를 보유 지지하는
    것을 특징으로 하는 시트형 점착재의 첩부 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 점착 테이프는, 적어도 상기 소정 형상의 시트형 점착재의 단부에 접하는 부분이 광투과성을 갖는 재료로 구성되는
    것을 특징으로 하는 시트형 점착재의 첩부 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 점착재 보유 지지 부재는 흡착 구멍을 갖는 판형 부재이고, 상기 판형 부재가 상기 소정 형상의 시트형 점착재를 흡착함으로써 상기 소정 형상의 시트형 점착재를 보유 지지하는
    것을 특징으로 하는 시트형 점착재의 첩부 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 판형 부재는,
    적어도 상기 소정 형상의 시트형 점착재의 단부에 접하는 부분이 광투과성을 갖는 재료로 구성되는
    것을 특징으로 하는 시트형 점착재의 첩부 방법.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 점착재 보유 지지 부재에 의해 보유 지지되어 있는 상기 시트형 점착재의 점착면과, 상기 워크의 첩부면의 거리를 소정의 거리로 되도록 근접시키는 근접 과정을 구비하고,
    상기 첩부 과정은, 상기 근접 과정에 의해 상기 시트형 점착재의 점착면과, 상기 워크의 첩부면을 상기 소정의 거리로 근접시킨 후에 행하여지는
    것을 특징으로 하는 시트형 점착재의 첩부 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 근접 과정에 있어서, 기체 공급 기구가 상기 워크와 상기 시트형 점착재 사이에 기체를 공급하여, 상기 워크와 상기 시트형 점착재의 접촉을 방지시키는
    것을 특징으로 하는 시트형 점착재의 첩부 방법.
  8. 워크에 대하여, 소정 형상의 시트형 점착재를 첩부하는 시트형 점착재의 첩부 장치이며,
    점착재 보유 지지 부재에 의해 상기 시트형 점착재를 보유 지지시키는 점착재 보유 지지 기구와,
    점착재 보유 지지 부재에 의해 상기 시트형 점착재를 보유 지지한 상태에서 상기 시트형 점착재를 상기 워크에 첩부하는 첩부 기구와,
    상기 워크에 첩부된 상기 시트형 점착재로부터 상기 점착재 보유 지지 부재를 분리시키는 분리 기구
    를 구비하는 것을 특징으로 하는 시트형 점착재의 첩부 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 점착재 보유 지지 부재는 긴 형상의 점착 테이프이고, 상기 점착 테이프를 상기 소정 형상의 시트형 점착재에 첩부함으로써 상기 소정 형상의 시트형 점착재를 보유 지지하는
    것을 특징으로 하는 시트형 점착재의 첩부 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 점착 테이프는, 적어도 상기 소정 형상의 시트형 점착재의 단부에 접하는 부분이 광투과성을 갖는 재료로 구성되는
    것을 특징으로 하는 시트형 점착재의 첩부 장치.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 점착재 보유 지지 부재는 흡착 구멍을 갖는 판형 부재이고, 상기 판형 부재가 상기 소정 형상의 시트형 점착재를 흡착함으로써 상기 소정 형상의 시트형 점착재를 보유 지지하는
    것을 특징으로 하는 시트형 점착재의 첩부 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 판형 부재는,
    적어도 상기 소정 형상의 시트형 점착재의 단부에 접하는 부분이 광투과성을 갖는 재료로 구성되는
    것을 특징으로 하는 시트형 점착재의 첩부 장치.
  13. 제8항 내지 제12항에 있어서,
    상기 점착재 보유 지지 부재에 의해 보유 지지되어 있는 상기 시트형 점착재의 점착면과, 상기 워크의 첩부면의 거리를 소정의 거리로 되도록 근접시키는 근접 기구를 구비하고,
    상기 첩부 기구는, 상기 근접 기구에 의해 상기 시트형 점착재의 점착면과 상기 워크의 첩부면을 상기 소정의 거리로 근접시킨 후에, 상기 시트형 점착재를 상기 워크에 첩부하는
    것을 특징으로 하는 시트형 점착재의 첩부 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 근접 기구가 상기 시트형 점착재와 상기 워크를 근접시킬 때, 상기 워크와 상기 시트형 점착재 사이에 기체를 공급하여, 상기 워크와 상기 시트형 점착재의 접촉을 방지시키는 기체 공급 기구를 구비하는
    것을 특징으로 하는 시트형 점착재의 첩부 장치.
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