KR20170115635A - 스크라이빙 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 기판의 이송 및 위치 결정에 요구되는 시간 및 공간을 줄이기 위한 것으로, 기판 공급 유닛에 의해 공급되는 기판이 지지되는 기판 지지 유닛; 기판 지지 유닛의 하부에 배치되는 로딩 스테이지; 로딩 스테이지의 일측에 배치되어 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛; 로딩 스테이지에 안착된 기판을 스크라이빙 유닛으로 이송하는 기판 이송 유닛; 기판 지지 유닛에 탑재된 기판을 로딩 스테이지로 전달하는 기판 전달 유닛을 포함하고, 기판 전달 유닛이 기판을 로딩 스테이지로 전달할 수 있도록 기판 지지 유닛은 기판이 통과하는 개구를 형성하며, 기판 전달 유닛은 기판을 로딩 스테이지로 전달하는 과정에서 로딩 스테이지에 위치될 기판의 정 위치에 대해 기판의 위치를 조절하는 위치 조절 유닛을 포함할 수 있다.

Description

스크라이빙 장치{SCRIBING APPARATUS}
본 발명은 기판을 절단하기 위해 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(이하, '기판'이라 함)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(이하, '단위 기판'이라 함)을 사용한다.
기판을 절단하는 공정은, 기판이 절단될 절단 예정선을 따라 다이아몬드와 같은 재질의 스크라이빙 휠을 소정의 가압력으로 기판에 가압하면서 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정과, 스크라이빙 라인을 따라 기판을 가압하는 것에 의해 기판을 절단하여 단위 기판을 얻는 브레이킹 공정을 포함한다.
종래 기술에 따른 스크라이빙 장치는, 기판을 공급하는 공정, 공급된 기판의 위치를 결정하는 공정, 위치가 결정된 기판을 스크라이빙 공정으로 이송하는 공정, 및 스크라이빙 공정을 수행하기 위한 장치들이 수평으로 일렬로 배치되기 때문에, 장치의 설치 공간이 증가하며, 이에 따라, 스크라이빙 공정을 수행하기 위한 비용이 증가하는 문제가 있다.
또한, 종래 기술에 따른 스크라이빙 장치는, 기판의 일부(기판의 테두리 또는 에지)를 물리적으로 가압하여 기판의 위치를 결정하였기 때문에, 기판이 가압되는 부분이 손상될 뿐만 아니라 기판이 가압되어 밀리는 과정에서 기판의 상면 또는 하면에 스크래치와 같은 손상이 발생하는 문제가 있다.
대한민국공개특허 제10-2007-0070824호(2007.07.04)
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 기판의 위치를 결정하는 과정에서 기판의 손상을 방지할 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는 데에 있다.
또한, 본 발명의 목적은, 기판의 이송 및 위치 결정에 요구되는 시간 및 공간을 줄일 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 기판 공급 유닛에 의해 공급되는 기판이 지지되는 기판 지지 유닛; 기판 지지 유닛의 하부에 배치되는 로딩 스테이지; 로딩 스테이지의 일측에 배치되어 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛; 로딩 스테이지에 안착된 기판을 스크라이빙 유닛으로 이송하는 기판 이송 유닛; 기판 지지 유닛에 탑재된 기판을 로딩 스테이지로 전달하는 기판 전달 유닛을 포함하고, 기판 전달 유닛이 기판을 로딩 스테이지로 전달할 수 있도록 기판 지지 유닛은 기판이 통과하는 개구를 형성하며, 기판 전달 유닛은 기판을 로딩 스테이지로 전달하는 과정에서 로딩 스테이지에 위치될 기판의 정 위치에 대해 기판의 위치를 조절하는 위치 조절 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 기판 전달 유닛의 기판 유지 부재에 기판이 유지된 상태에서, 위치 조절 유닛에 의해 기판 유지 부재가 회전되거나, X축 방향 또는 Y축 방향으로 이동되면서, 기판의 위치가 조절되어 결정될 수 있다. 따라서, 기판의 위치 결정을 위해 기판의 일부를 물리적으로 가압하지 않고 기판의 위치 결정을 수행할 수 있으므로, 기판의 위치 결정 과정에서 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 기판 지지 유닛과 로딩 스테이지가 동일한 수직선 상에 배치되고, 기판 전달 유닛이 기판의 위치를 조절하면서 기판을 로딩 스테이지로 곧바로 전달할 수 있으므로, 기판의 이송 및 위치 결정에 요구되는 시간을 줄일 수 있고 스크라이빙 장치의 공간 활용도를 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 2는 도 1의 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 3 및 도 4는 도 1의 스크라이빙 장치의 기판 지지 유닛이 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 5 및 도 6은 도 1의 스크라이빙 장치의 기판 전달 유닛에 구비되는 위치 조절 유닛이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 7 내지 도 9는 도 5 및 도 6의 위치 조절 유닛의 동작을 설명하기 위한 개략도이다.
도 10 내지 도 13은 도 1의 스크라이빙 장치의 동작을 설명하기 위한 개략도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 외부로부터 기판(S)을 공급하는 기판 공급 유닛(10)과, 기판 공급 유닛(10)에 의해 공급되는 기판(S)이 지지되는 기판 지지 유닛(20)과, 기판 지지 유닛(20)의 하부에 배치되는 로딩 스테이지(30)와, 로딩 스테이지(30)의 일측에 배치되어 기판(S)에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛(50)과, 로딩 스테이지(30)에 안착된 기판을 스크라이빙 유닛(50)으로 이송하는 기판 이송 유닛(60)과; 기판 지지 유닛(20)에 탑재된 기판(S)을 로딩 스테이지(30)로 전달하는 기판 전달 유닛(70)을 포함한다.
일 예로서, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판 공급 유닛(10)은 복수의 컨베이어 벨트 또는 롤러로 구성되어 벨트 또는 롤러의 회전을 이용하여 기판(S)을 기판 지지 유닛(20)으로 공급하도록 구성될 수 있다. 다른 예로서, 기판 공급 유닛(10)은 클램핑 또는 진공 흡착을 통하여 기판(S)을 파지한 후 기판 지지 유닛(20)으로 공급하도록 구성될 수 있다.
일 예로서, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 기판 지지 유닛(20)은 복수의 컨베이어 벨트(22)로 구성될 수 있다. 다른 예로서, 기판 지지 유닛(20)은 복수의 롤러로 구성될 수 있거나, 공기를 분사하여 기판(S)을 부양시키는 에어 테이블로 구성될 수 있다.
기판 지지 유닛(20)은 기판 전달 유닛(70)이 기판(S)을 로딩 스테이지(30)로 전달할 수 있도록 기판(S)이 통과하는 개구(21)를 형성할 수 있다.
이를 위하여, 도 4에 기판 지지 유닛(20)은 복수의 벨트(22)가 샤프트(23)을 따라 기판(S)이 이송되는 방향(X축 방향)에 직교하는 방향(Y축 방향)으로 이동되도록 구성될 수 있다. 복수의 벨트(22)를 Y축 방향으로 이동시키기 위해, 복수의 벨트(22)에는 샤프트(23)를 통해 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구(24)가 연결될 수 있다.
로딩 스테이지(30)는 기판 지지 유닛(20)과 동일한 수직선 상에 배치될 수 있다. 따라서, 기판 전달 유닛(70)이 기판 지지 유닛(20)으로부터 하강하여 기판(S)을 로딩 스테이지(30)로 곧바로 전달할 수 있다.
로딩 스테이지(30)는 기판(S)이 스크라이빙 유닛(50)으로 로딩되는 영역을 제공한다. 한편, 스크라이빙 유닛(50)을 기준으로 로딩 스테이지(30)의 반대쪽에는 스크라이빙 유닛(50)에 의하여 스크라이빙 라인이 형성된 기판(S)이 스크라이빙 유닛(50)으로부터 언로딩되는 영역을 제공하는 언로딩 스테이지(40)이 구비될 수 있다.
로딩 스테이지(30) 및 언로딩 스테이지(40)는 각각 복수의 벨트(32, 42)를 포함할 수 있다. 복수의 벨트(32, 42)는 각각 Y축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 각 벨트(32, 42)는 복수의 롤러(33, 43)에 의해 지지되며, 복수의 롤러(33, 43) 중 적어도 어느 하나는 벨트(32, 42)를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 롤러일 수 있다.
스크라이빙 유닛(50)은 Y축 방향으로 연장되는 프레임(51)과, 프레임(51)에 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 스크라이빙 헤드(52)를 포함할 수 있다. 프레임(51)에는 Y축 방향으로 복수의 스크라이빙 헤드(52)가 구비될 수 있다.
스크라이빙 헤드(52)에는 기판(S)의 상측 및 하측에 서로 대향하도록 구비될 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 스크라이빙 헤드(52)가 기판(S)의 상측 및 하측 중 어느 한 쪽에만 구비될 수 있다.
각 스크라이빙 헤드(52)는 기판(S)의 표면에 스크라이빙 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 휠(53)을 구비한다. 예를 들면, 한 쌍의 스크라이빙 헤드(52)가 기판(S)의 상측 및 하측에 서로 대향하도록 배치됨에 따라, 한 쌍의 스크라이빙 휠(53)이 기판(S)의 상측 및 하측에 서로 대향하도록 배치될 수 있다. 따라서, 한 쌍의 스크라이빙 휠(53)이 기판(S)의 상면 및 하면을 가압하는 상태에서, 기판(S)의 이동 및/또는 스크라이빙 헤드(52)의 이동, 즉, 스크라이빙 헤드(52)에 대한 기판(S)의 상대 이동 또는 기판(S)에 대한 스크라이빙 헤드(52)의 상대 이동에 의해, 기판(S)의 상면 및 하면에는 스크라이빙 라인이 각각 형성될 수 있다.
기판 이송 유닛(60)은 기판(S)을 파지하는 파지 부재(61)와, X축 방향으로 연장되는 가이드 레일(62)을 포함할 수 있다. 파지 부재(61)와 가이드 레일(62) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다.
따라서, 파지 부재(61)가 기판(S)을 파지한 상태에서 직선 이동 기구에 의해 파지 부재(61)가 X축 방향으로 이동됨에 따라, 기판(S)이 X축 방향으로 이송될 수 있다. 이때, 파지 유닛(61)의 이동과 함께 벨트(32)가 회전하면서, 기판(S)의 하면을 안정적으로 지지할 수 있다.
파지 부재(61)는 기판(S)의 후행단을 물리적으로 가압하여 유지하는 클램프일 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 파지 부재(61)는 진공원과 연결된 진공홀을 구비하여 기판(S)의 후행단을 흡착하도록 구성될 수 있다.
가이드 레일(62)은 복수의 벨트(32) 사이에 배치될 수 있다. 가이드 레일(62)은 파지 부재(61)의 X축 방향으로의 이동을 안내하는 역할을 한다.
기판 전달 유닛(70)은 기판 지지 유닛(20)에 탑재된 기판(S)을 유지하는 기판 유지 부재(71)와, 기판 유지 부재(71)를 지지하는 지지 부재(72)와, 지지 부재(72)를 통하여 기판 유지 부재(71)와 연결되어 기판 유지 부재(71)를 수직 방향으로 이동시키는 승강 장치(73)를 포함할 수 있다.
기판 유지 부재(71)는 진공원과 연결된 진공홀을 구비하여 기판(S)의 상면을 흡착하도록 구성될 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 기판 유지 부재(71)는 기판(S)을 물리적으로 가압하여 유지하는 클램프일 수 있다.
승강 장치(73)는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구일 수 있다. 승강 장치(73)의 작동에 의해 기판 유지 부재(71)가 수직 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 기판(S)이 수직 방향으로 이동될 수 있다.
한편, 기판 전달 유닛(70)은 기판(S)을 로딩 스테이지(30)로 전달하는 과정에서 기판(S)의 위치를 조절하는 위치 조절 유닛(74)을 포함할 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 위치 조절 유닛(74)은, 기판 유지 부재(71)와 지지 부재(72) 사이에 설치되어, 기판 유지 부재(71)와 지지 부재(72)의 상대적인 수평 위치를 조절할 수 있다. 위치 조절 유닛(74)은 기판(S)을 회전시키는 기판 회전 장치를 포함하거나, 기판(S)을 수평으로 직선 이동시키는 기판 이동 장치를 포함하거나, 기판 회전 장치 및 기판 이동 장치 모두를 포함할 수 있다.
여기에서, 기판 회전 장치는 기판 유지 부재(71)와 지지 부재(72)를 연결하는 회전 모터를 포함할 수 있다. 그리고, 기판 이동 장치는 기판 유지 부재(71)와 지지 부재(72) 사이에 구비되는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구일 수 있다.
다른 예로서, 도 5 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 위치 조절 유닛(74)은, 기판 유지 부재(71)와 연결되는 연결 부재(75)와, 연결 부재(75)를 X축 방향으로 이동시키는 X축 구동부(76)와, 연결 부재(75)를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 구동부(77)를 포함할 수 있다. X축 구동부(76) 및 Y축 구동부(77)는 각각 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로 구성될 수 있다. 연결 부재(75)는 X축 구동부(76) 또는 Y축 구동부(77)에 회전축(78)을 통하여 회전 가능하게 연결될 수 있다. 따라서, 한 쌍의 위치 조절 유닛(74) 중 하나의 위치 조절 유닛(74)의 연결 부재(75)가 직선 이동하면, 다른 하나의 위치 조절 유닛(74)의 연결 부재(75)가 회전축(78)을 중심으로 회전될 수 있다.
기판 유지 부재(71)와 지지 부재(72) 사이에는 한 쌍의 위치 조절 유닛(74)이 구비될 수 있으며, 이에 따라, 기판(S)을 복수의 지지점에서 지지할 수 있으므로, 기판(S)의 위치를 조절하는 동작을 더욱 안정적으로 수행할 수 있다.
한 쌍의 위치 조절 유닛(74) 중 하나의 위치 조절 유닛(74)의 연결 부재(75)가 X축 방향 또는 Y축 방향으로 이동되면, 다른 하나의 위치 조절 유닛(74)의 연결 부재(75)는 회전하게 되며, 이에 따라, 기판 유지 부재(71)가 회전될 수 있다. 그리고, 한 쌍의 위치 조절 유닛(74)의 연결 부재(75)가 X축 구동부(76) 및/또는 Y축 구동부(77)의 작동에 의해 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 기판 유지 부재(71)가 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로 이동될 수 있다.
따라서, 도 7에 도시된 바와 같이, 기판 유지 부재(71)에 유지된 기판(S)의 위치가 로딩 스테이지(30)에 위치될 기판(S)의 정 위치(T)에 대하여 소정의 각도로 틀어져 있거나, X축 방향 및 Y축 방향으로 소정의 거리만큼 차이가 있는 경우, 도 8에 도시된 바와 같이, 기판 유지 부재(71)가 회전되면서, 기판(S)의 각도와 정 위치(T)의 각도가 일치할 수 있고, 기판 유지 부재(71)가 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로 이동되는 것에 의해, 기판(S)의 위치가 정 위치(T)와 일치할 수 있다.
이러한 한 쌍의 위치 조절 유닛(74)에 의해 기판(S)을 수평방향으로 이동시킬 뿐만 아니라 회전시킬 수 있다. 따라서, 큰 중량 및 부하를 갖는 기판 유지 부재(71) 및 기판(S)을 하나의 회전 모터로 회전시키는 경우에 비하여, 기판(S)을 더욱 안정적으로 회전시킬 수 있으며, 이에 따라, 기판(S)의 위치를 정확하게 조절할 수 있다.
상기한 바와 같이, 기판 유지 부재(71) 및 지지 부재(72) 사이에 기판 유지 부재(71)를 회전시킬 수 있고 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로 이동시킬 수 있는 위치 조절 유닛(74)이 구비되므로, 기판 전달 유닛(70)이 기판(S)을 로딩 스테이지(30)로 전달하는 과정에서 기판(S)의 위치를 조절하여 결정할 수 있다. 따라서, 기판(S)의 위치 결정을 위해 별도의 장치를 구비하는 경우에 비하여, 기판(S)의 이송 및 스크라이빙 공정을 위해 요구되는 공간 및 시간을 최소화할 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 기판 전달 유닛(70)에 의해 유지된 기판(S)의 적어도 일부의 위치를 측정하는 위치 측정 유닛(80)을 포함할 수 있다. 위치 측정 유닛(80)은 기판(S)의 하면의 위치를 측정할 수 있도록, 로딩 스테이지(30)에 장착될 수 있다. 다만, 위치 측정 유닛(80)의 설치 위치는 제한되지 않으며, 예를 들면, 위치 측정 유닛(80)은 기판 전달 유닛(70)에 장착되어 기판 지지 유닛(20)에 탑재된 기판(S)의 상면의 위치를 측정하도록 구성될 수 있다.
위치 측정 유닛(80)은, 기판(S)을 촬상하고, 촬상된 기판(S)의 이미지로부터 기판(S)이 정 위치(T)로부터 벗어났는지 여부를 판단하기 위한 촬상 유닛을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 위치 측정 유닛(80)은 기판(S)의 적어도 일부를 향하여 광을 조사한 후, 기판(S)으로부터 반사광이 수광되는지 여부를 판단하여 기판(S)이 정 위치(T)로부터 벗어났는지 여부를 판단하는 되어 광학 센서를 포함할 수 있다.
그리고, 위치 조절 유닛(74)는 위치 측정 유닛(80)에 의해 측정된 기판(S)의 위치를 기준으로, 기판 유지 부재(71)를 회전시키거나 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다.
이하, 도 10 내지 도 13을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 동작에 대하여 설명한다.
먼저, 도 10에 도시된 바와 같이, 기판 공급 유닛(10)에 의해 외부로부터 기판 지지 유닛(20)으로 기판(S)이 공급된다. 이때, 기판 전달 유닛(70)은 기판 지지 유닛(20)으로부터 소정의 간격으로 이격되게 배치된다. 한편, 기판(S)이 기판 지지 유닛(20) 상의 제 위치에 탑재될 수 있도록, 기판 지지 유닛(20)에는 스토퍼가 구비될 수 있다.
그리고, 도 11에 도시된 바와 같이, 기판 지지 유닛(20)으로 기판(S)이 공급되면, 기판 전달 유닛(70)의 기판 유지 부재(71)가 하강하여 기판 지지 유닛(20)에 탑재된 기판(S)을 유지한다. 이때, 위치 측정 유닛(80)은 기판(S)의 적어도 일부의 위치를 측정하여, 기판(S)이 정 위치(T)로부터 벗어났는지 여부를 판단할 수 있다.
그리고, 도 12에 도시된 바와 같이, 기판 유지 부재(71)가 기판(S)을 유지한 상태로 기판 지지 유닛(20)으로부터 상승한다. 이때, 위치 조절 유닛(74)에 의해 기판 유지 부재(71)가 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로 이동되거나, 회전되는 것에 의해, 기판(S)의 위치가 조절되어 결정될 수 있다.
그리고, 기판 지지 유닛(20)은 기판 전달 유닛(70)이 기판(S)을 로딩 스테이지(30)로 전달할 수 있도록 기판(S)이 통과하는 개구(21)를 형성할 수 있다.
그리고, 도 13에 도시된 바와 같이, 기판 유지 부재(71)가 개구(21)를 통과하면서 하강하며, 이에 따라, 기판(S)을 로딩 스테이지(30)로 전달할 수 있다.
기판(S)이 로딩 스테이지(30)에 탑재되면, 기판 이송 유닛(60)이 기판(S)의 후행단을 파지한 후 기판(S)을 스크라이빙 유닛(50)으로 이동시킨다. 그리고, 스크라이빙 유닛(50)은 기판(S)에 스크라이빙 라인을 형성한다. 이후, 스크라이빙 라인이 형성된 기판(S)은 언로딩 스테이지(40)로부터 후속 공정으로 언로딩된다.
본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 기판 전달 유닛(70)의 기판 유지 부재(71)에 기판(S)이 유지된 상태에서, 위치 조절 유닛(74)에 의해 기판 유지 부재(71)가 회전되거나, X축 방향 또는 Y축 방향으로 이동되면서, 기판(S)의 위치가 조절되어 결정될 수 있다. 따라서, 기판(S)의 위치 결정을 위해 기판(S)의 일부를 물리적으로 가압하지 않고 기판(S)의 위치 결정을 수행할 수 있으므로, 기판(S)의 위치 결정 과정에서 기판(S)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 기판 지지 유닛(20)과 로딩 스테이지(30)가 동일한 수직선 상에 배치되고, 기판 전달 유닛(70)이 기판 지지 유닛(20)이 기판(S)의 위치를 조절하면서 기판(S)을 로딩 스테이지(30)로 곧바로 전달할 수 있으므로, 기판(S)의 이송 및 위치 결정에 요구되는 시간을 줄일 수 있고, 스크라이빙 장치의 공간 활용도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 기판 전달 유닛(70)이 로딩 스테이지(30)로 기판(S)을 전달하는 과정에서, 기판 전달 유닛(70)에 구비된 위치 조절 유닛(74)에 의해 기판(S)의 위치가 조절되어 결정될 수 있다. 따라서, 기판(S)의 위치 결정을 위한 별도의 장치가 기판(S)의 이송 루트를 따라 배치되지 않으므로, 기판(S)의 이송 및 스크라이빙 공정을 위해 요구되는 수평 공간을 최소화할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
10: 기판 공급 유닛 20: 기판 지지 유닛
30: 로딩 스테이지 40: 언로딩 스테이지
50: 스크라이빙 유닛 60: 기판 이송 유닛
70: 기판 전달 유닛 74: 위치 조절 유닛

Claims (5)

  1. 기판 공급 유닛에 의해 공급되는 기판이 지지되는 기판 지지 유닛;
    상기 기판 지지 유닛의 하부에 배치되는 로딩 스테이지;
    상기 로딩 스테이지의 일측에 배치되어 상기 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛;
    상기 로딩 스테이지에 안착된 상기 기판을 상기 스크라이빙 유닛으로 이송하는 기판 이송 유닛;
    상기 기판 지지 유닛에 탑재된 상기 기판을 상기 로딩 스테이지로 전달하는 기판 전달 유닛을 포함하고,
    상기 기판 전달 유닛이 상기 기판을 상기 로딩 스테이지로 전달할 수 있도록 상기 기판 지지 유닛은 상기 기판이 통과하는 개구를 형성하며,
    상기 기판 전달 유닛은 상기 기판을 상기 로딩 스테이지로 전달하는 과정에서 상기 로딩 스테이지에 위치될 상기 기판의 정 위치에 대해 상기 기판의 위치를 조절하는 위치 조절 유닛을 포함하는, 스크라이빙 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판 전달 유닛에 의해 유지된 상기 기판의 적어도 일부의 위치를 측정하는 위치 측정 유닛을 더 포함하는 스크라이빙 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 위치 조절 유닛은 상기 위치 측정 유닛에 의해 측정된 상기 기판의 위치를 기준으로, 상기 기판을 회전시키는 기판 회전 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 위치 조절 유닛은 상기 위치 측정 유닛에 의해 측정된 상기 기판의 위치를 기준으로, 상기 기판을 수평으로 직선 이동시키는 기판 이동 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판 전달 유닛은 상기 기판을 유지하는 기판 유지 부재를 포함하고,
    상기 위치 조절 유닛은 상기 기판 유지 부재와 연결되는 연결 부재와, 상기 연결 부재에 회전축을 통하여 회전 가능하게 연결되며 상기 연결 부재를 X축 방향 또는 Y축 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
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