KR20200063672A - Ingot grower - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 생산되는 잉곳의 길이가 길어짐에도 불구하고 케이블의 궤도 값을 작게 유지할 수 있는 잉곳 성장장치에 관한 것이다.The present invention relates to an ingot growth device capable of maintaining a small orbital value of a cable despite the length of the ingot being produced.
일반적으로, 실리콘 웨이퍼는, 단결정 잉곳(Ingot)을 만들기 위한 단결정 성장 공정과, 단결정 잉곳을 슬라이싱(Slicing)하여 얇은 원판 모양의 웨이퍼를 얻는 슬라이싱 공정과, 상기 슬라이싱 공정에 의해 얻어진 웨이퍼의 깨짐, 일그러짐을 방지하기 위해 그 외주부를 가공하는 그라인딩(Grinding) 공정과, 상기 웨이퍼에 잔존하는 기계적 가공에 의한 손상(Damage)을 제거하는 랩핑(Lapping) 공정과, 상기 웨이퍼를 경면화하는 연마(Polishing) 공정과, 연마된 웨이퍼를 연마하고 웨이퍼에 부착된 연마제나 이물질을 제거하는 세정 공정을 포함하여 이루어진다.In general, a silicon wafer includes a single crystal growth process for making a single crystal ingot, a slicing process for slicing the single crystal ingot to obtain a thin disc-shaped wafer, and the wafer's cracks and distortions obtained by the slicing process. Grinding process to process the outer circumference to prevent the damage, lapping process to remove damage caused by mechanical processing remaining on the wafer, and polishing process to mirror the wafer And a cleaning process for polishing the polished wafer and removing abrasives or foreign substances attached to the wafer.
실리콘 단결정 잉곳을 성장시킬 때에는 도가니를 지지하는 축을 전진시키면서 도가니를 상승시켜 고, 액 계면이 동일한 높이를 유지하도록 하고, 실리콘 단결정 잉곳은 도가니의 회전축과 동일한 축을 중심으로 하여 도가니의 회전방향과 반대방향으로 회전시키면서 끌어올린다.When the silicon single crystal ingot is grown, the crucible is raised while advancing the axis supporting the crucible, and the liquid interface is maintained at the same height. Pull up while rotating.
이렇게 성장된 실리콘 단결정 잉곳은 상술한 공정을 거쳐서, 반도체 디바이스의 기판, 태양광 발전 등에 사용하게 된다.The silicon single crystal ingot grown in this way is used for a substrate of a semiconductor device, solar power generation, etc. through the above-described process.
이러한 실리콘 단결정 잉곳의 성장 공정 중에서 넥킹, 숄더링, 바디 그로잉, 테일링 공정은 종자를 폴리 실리콘 용융액과 접촉시킨 상태에서 목적하는 단결정 잉곳의 직경 및 길이까지 성장을 시키는 공정이므로 공정 진행 중 여러 가지 공정변수를 고려해야 한다.Among the growth processes of the silicon single crystal ingot, the necking, shouldering, body drawing, and tailing processes are processes in which seeds are brought into contact with a polysilicon melt to grow to the desired diameter and length of the single crystal ingot, so there are several processes in progress. Variables should be considered.
종래 잉곳 성장장치(10)는 도가니(12)에서 잉곳을 성장시키면서 끌어 올리게 되는데, 인상 구동부(20)인 풀 헤드(PULL HEAD)가 케이블(11)을 이용하여 잉곳을 끌어 올리게 된다.The conventional
이때, 도 1을 참고하면, 잉곳과 인상 구동부(20)는 서로 케이블(11)에 의해 연결되어 있으므로 잉곳의 회전 시 발생되는 진동과 잉곳의 무게에 의해 단결정 잉곳의 중심축이 좌우로 흔들리는 임의의 회전궤도(orbit)(11a)를 형성하게 된다.In this case, referring to FIG. 1, since the ingot and the
도 2를 참고하면, 종래기술에 의한 잉곳 성장장치(10)에서 케이블(11)은 인상 구동부(20)에 끝단이 고정되고, 가이드(22)에 의해 케이블(11) 움직임이 전후좌우 방향으로의 이동이 제한된다. 케이블 가이드(22)는 가이드 하우징(21) 내부에 고정 설치된다. 또한 케이블 가이드(22)의 상측방향으로의 움직임을 제한하도록 그 방향으로 고정하는 가이드 고정 커버(21)가 가이드 하우징(21) 상부에 설치된 구조이다. 따라서 케이블(11)은 케이블 가이드(22)에 의해 전후좌우 방향으로의 움직임이 제한되도록 되어 있고, 케이블(11)의 고정구조는 1포인트에서 가이드하는 구조라 할 수 있다. 즉 케이블 가이드(22)로부터 하부 쪽으로 케이블(11)을 고정할 수 있는 구성품이 없기 때문에 그 아랫부분은 피봇회전이 가능하여 좌우로 진동하여 그로부터 시작하여 회전궤도(11a)를 형성하게 된다.Referring to Figure 2, the
이에 따라, 종래기술에 의한 잉곳 성장장치는 생산되는 잉곳의 길이가 길어짐에 따라 잉곳 성장장치의 케이블도 길어져 케이블의 회전궤도가 증가하게 되어 장비 전체 크기가 증가하게 되는데 이를 줄이기 어려운 문제점이 있었다.Accordingly, in the ingot growth apparatus according to the prior art, as the length of the ingot produced is longer, the cable of the ingot growth apparatus is also lengthened, so that the rotational trajectory of the cable increases, thereby increasing the overall size of the equipment.
본 발명의 목적은, 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 케이블의 움직임을 제한하는 케이블 가이드를 상하 2 포인트에 둠으로써 목표 잉곳의 길이가 증가하더라도 케이블의 회전궤도를 작게 하여 안정적인 생산이 가능한 잉곳 성장장치를 제공하는 것이다.The object of the present invention is to solve this problem, and by placing the cable guide limiting the movement of the cable at 2 points up and down, the ingot growth device capable of stable production by reducing the rotational trajectory of the cable even if the length of the target ingot increases. Is to provide
상기한 목적을 달성하기 위한 구체적인 수단으로서 본 발명은, 내부에 도가니를 구비한 챔버에서 잉곳을 성장시키기 위하여 상부로부터 케이블을 회전시키면서 승강시키는 인상 구동부를 포함하는 잉곳 성장장치에 있어서, 상기 인상 구동부에서 상기 케이블의 전후좌우 방향의 움직임을 제한하도록 상기 케이블에 밀착되는 제1가이드; 상기 인상 구동부에서 상기 제1가이드로부터 하측 방향으로 이격된 위치에서 상기 케이블의 전후좌우 방향의 움직임을 제한하도록 상기 케이블에 밀착되는 제2가이드; 및 상기 제1가이드는 상단에 장착 고정되고 상기 제2가이드는 하단에 장착 고정되며, 상기 제1가이드와 제2가이드를 지지하도록 상기 인상 구동부에 설치된 가이드 하우징;을 포함할 수 있다.As a specific means for achieving the above object, the present invention, in the ingot growth apparatus including an impression driving unit for raising and lowering while rotating the cable from the top in order to grow the ingot in the chamber with a crucible therein, in the impression driving unit A first guide in close contact with the cable to limit movement of the cables in the front, rear, left, and right directions; A second guide in close contact with the cable so as to limit movement of the cable in the front-rear-left-right direction at a position spaced apart from the first guide in a downward direction in the impression driving unit; And the first guide is mounted and fixed on the top, the second guide is mounted and fixed on the bottom, a guide housing installed on the impression driving unit to support the first guide and the second guide; may include.
바람직하게는, 상기 가이드 하우징은 원통형으로 이루어지고, 상기 제1가이드와 제2가이드의 위치 사이에는 통기홀이 구비될 수 있다.Preferably, the guide housing is formed in a cylindrical shape, and a ventilation hole may be provided between the positions of the first guide and the second guide.
바람직하게는, 상기 제2가이드는 원통형 형태로 이루어지고, 상기 가이드 하우징에는 상기 제2가이드가 안착될 수 있도록 내측홈이 형성될 수 있다.Preferably, the second guide is formed in a cylindrical shape, and an inner groove may be formed in the guide housing so that the second guide can be seated.
바람직하게는, 상기 제2가이드가 빠지지 않도록 상기 제2가이드 하부에는 스냅링이 삽입되어 고정될 수 있다.Preferably, a snap ring may be inserted and fixed under the second guide so that the second guide does not come off.
바람직하게는, 상기 제2가이드는 상기 제1가이드보다 길게 형성될 수 있다.Preferably, the second guide may be formed longer than the first guide.
바람직하게는, 상기 제1가이드의 상측방향으로의 움직임을 제한하도록 상기 가이드 하우징 상부에 조립된 고정용 커버를 더 포함할 수 있다.Preferably, it may further include a fixing cover assembled to the upper portion of the guide housing to limit the movement of the first guide in the upward direction.
바람직하게는, 상기 제1가이드 및 제2가이드는 테프론 재질로 이루어질 수 있다.Preferably, the first guide and the second guide may be made of Teflon material.
상기한 바와 같은 본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.According to the present invention as described above has the following effects.
(1) 본 발명은 케이블의 움직임을 제한하는 최하부의 제2가이드가 제1가이드보다 낮은 위치에 설치되기 때문에 케이블의 회전궤도를 작게 유지할 수 있어 안정적인 잉곳 인상 구동이 가능해진다.(1) According to the present invention, since the second guide at the bottom limiting the movement of the cable is installed at a lower position than the first guide, the rotational trajectory of the cable can be kept small, thereby enabling stable ingot impression driving.
(2) 본 발명은 케이블의 움직임을 제한하는 가이드를 2 포인트에서 실행하기 때문에 케이블의 안정적인 운전이 가능하다.(2) In the present invention, since the guide limiting the movement of the cable is executed at two points, stable operation of the cable is possible.
도 1은 종래기술에 의한 잉곳 성장장치의 정면도이다.
도 2는 종래기술에 의한 잉곳 성장장치의 인상 구동부의 케이블 가이드 부분의 단면도이다.
도 3은 본 발명에 의한 잉곳 성장장치의 정면도이다.
도 4는 본 발명에 의한 잉곳 성장장치의 인상 구동부의 투시도이다.
도 5는 본 발명에 의한 잉곳 성장장치의 일부 구성요소인 케이블 가이드 하우징의 단면도이다.
도 6은 본 발명에 의한 잉곳 성장장치의 일부 구성요소인 케이블 가이드 하우징의 사시도이다.
도 7은 본 발명에 의한 잉곳 성장장치의 일부 구성요소인 케이블 가이드 하우징의 반단면도이다.
도 8은 본 발명에 의한 잉곳 성장장치의 일부 구성요소인 케이블 가이드 하우징의 분해 사시도이다.1 is a front view of an ingot growth apparatus according to the prior art.
Figure 2 is a cross-sectional view of the cable guide portion of the pulling drive of the ingot growth apparatus according to the prior art.
3 is a front view of the ingot growth apparatus according to the present invention.
4 is a perspective view of the impression driving unit of the ingot growth apparatus according to the present invention.
5 is a cross-sectional view of a cable guide housing that is a part of the ingot growth apparatus according to the present invention.
6 is a perspective view of a cable guide housing which is a part of the ingot growth apparatus according to the present invention.
7 is a half sectional view of a cable guide housing which is a part of the ingot growth apparatus according to the present invention.
8 is an exploded perspective view of a cable guide housing which is a component of the ingot growth apparatus according to the present invention.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art to which the present invention pertains can easily practice. The present invention can be implemented in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. In the drawings, parts not related to the description are omitted in order to clearly describe the present invention, and the same reference numerals are attached to the same or similar elements throughout the specification.
본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.In this specification, terms such as “include” or “have” are intended to indicate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification exists, and that one or more other features are present. It should be understood that the presence or addition possibilities of fields or numbers, steps, actions, components, parts or combinations thereof are not excluded in advance. In addition, when a part such as a layer, film, region, plate, etc. is said to be "above" another part, this includes not only the case "directly above" the other part but also another part in the middle. Conversely, when a portion of a layer, film, region, plate, or the like is said to be “under” another portion, this includes not only the case “underneath” another portion, but also another portion in the middle.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장장치(110)를 보다 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, the
본 발명은 내부에 도가니를 구비한 챔버(112)에서 잉곳을 성장시키기 위하여 상부로부터 케이블(111)을 회전시키면서 승강시키는 인상 구동부(120)를 포함하는 잉곳 성장장치(110)에 관련된다.The present invention relates to an
본 발명의 제1실시예에 따른 잉곳 성장장치(110)는 도 3 내지 도 8을 참고하면, 제1가이드(122), 제2가이드(124), 가이드 하우징(121), 그리고 고정용 커버(123)를 포함한다.Referring to Figures 3 to 8, the
상기 제1가이드(122)는, 도 3 내지 도 8을 참고하면, 상기 인상 구동부(120)에서 상기 케이블(111)의 전후좌우 방향의 움직임을 제한하도록 상기 케이블(111)에 밀착될 수 있다.Referring to FIGS. 3 to 8, the
이때, 상기 제1가이드(122)는 4개의 원형 링 형태로 이루어진 부품들이 적층되어 상기 케이블(111)에 밀착하도록 상기 가이드 하우징(121) 상단에 설치되는 바, 적층 후, 상기 고정용 커버(123)가 상기 가이드 하우징(121) 상면에 조립되어 상측으로 빠지지 않게 된다.At this time, the
이때, 상기 제1가이드(122)의 재질로는 열에 강한 테프론(Teflon)을 적용할 수도 있다.At this time, as the material of the
상기 제2가이드(124)는, 도 3 내지 도 8을 참고하면, 상기 인상 구동부(120)에서 상기 제1가이드(122)로부터 하측 방향으로 이격된 위치에서 상기 케이블(111)의 전후좌우 방향의 움직임을 제한하도록 상기 케이블(111)에 밀착된다.Referring to FIGS. 3 to 8, the
이때, 상기 제2가이드(124)는, 도 8을 참고하면, 2개의 원통형 부재로 이루어져 상기 가이드 하우징(121)의 하단부에 조립된다. At this time, referring to FIG. 8, the
이때, 상기 가이드 하우징(121)에는 상기 제2가이드(124)가 안착될 수 있도록 내측홈이 형성되고, 상기 가이드 하우징(121)의 내측홈(121a)에 상기 제2가이드(124)가 삽입되어 안착된다.At this time, an inner groove is formed in the
이때, 상기 제2가이드(124)가 빠지지 않도록 상기 제2가이드(124) 하부에는 스냅링(125)이 삽입되어 고정된다. 상기 가이드 하우징(121)의 내측홈 하부에 이어서 더 내경이 큰 스냅링용 홈(121c)이 형성되고, 상기 스냅링(125)이 조립되어 안착됨으로써 상기 제2가이드(124)가 상기 가이드 하우징(121)으로부터 빠지지 않게 된다.At this time, a
이때, 상기 제2가이드(124)는 전술한 제1가이드(122)와 마찬가지로 열에 강한 테프론(Teflon) 재질로 이루어질 수 있다.At this time, the
상기 가이드 하우징(121)은, 도 3 내지 도 8을 참고하면, 상기 제1가이드(122)는 상단에 장착 고정되고 상기 제2가이드(124)는 하단에 장착 고정되며, 상기 제1가이드(122)와 제2가이드(124)를 지지하도록 상기 인상 구동부(120)에 설치된다.The
이때, 상기 가이드 하우징(121)은 원통형으로 이루어지고, 상기 제1가이드(122)와 제2가이드(124)의 위치 사이에는 통기홀(121a)이 구비된다.In this case, the
이때, 상기 가이드 하우징(121)은 상단부에 플랜지가 형성되어 상기 고정용 커버(123)와 조립될 수 있도록 되어 있고, 상단부에는 제1가이드(122)가, 하단부에는 제2가이드(124)가 삽입되어 조립된다.At this time, the
이때, 상기 가이드 하우징(121)의 하단부 외측에는 테이퍼부(121d)가 형성되고, 내측에는 상기 제2가이드(124)가 안착되는 내측홈(121b), 그리고 내측홈(121b)과 연결된 내경이 더 크게 형성된 스냅링용 홈(121c)이 형성된다. 따라서 상기 제2가이드(124)가 내측홈(121b)에 삽입된 상태에서 스냅링(125)을 조립하면 상기 제2가이드(124)가 가이드 하우징(121)으로부터 빠지지 않게 된다.At this time, a tapered
상기 고정용 커버(123)는, 도 3 내지 도 8을 참고하면, 전술한 바와 같이, 제1가이드(122)의 상측방향으로의 움직임을 제한하도록 상기 가이드 하우징(121) 상부 플랜지에 조립된다.3 to 8, the fixing
한편, 상기 제2가이드(124)는 상기 제1가이드(122)보다 길게 형성되도록 구성하고 있으나, 그 반대로 형성할 수도 있다.On the other hand, the
또한, 상기 제1가이드(122)와 제2가이드(124)는 테프론 재질을 적용하였으나, 열에 강한 다른 재질을 적용할 수 있음은 물론이다.In addition, the
도 3을 참고하면, 본 발명에 의한 잉곳 성장장치(110)가 도시되어 있다. 도시된 바와 같이 하부에는 도가니가 내장된 챔버(112)가 있고, 도가니에서는 잉곳이 성장되어 회전하면서 상승하게 된다. 이때 잉곳은 시드, 시드척, 케이블(111), 인상 구동부(120)에 의해 상측으로 회전 인상되며 성장하게 된다.Referring to Figure 3, the
이때, 상기 케이블(111)은 인상 구동부(120)에 의해 상단이 고정된 상태에서 회전 인상되고, 전술한 바와 같이 외부환경과 진동에 의해 회전궤도를 가지게 된다. 기존 잉곳 성장장치에서 2.5mm 회전궤도 발생 시, 4m 잉곳 생산용 성장장치에서 이론 상 3.25mm 회전궤도 발생이 예상되었으나, 본 발명에서는 회전궤도(111a)를 2.5mm 이내로 맞추어 케이블(111)의 회전 시 편차를 감소시킨 것이다.At this time, the
도 4를 참고하면 본 발명에 의한 잉곳 성장장치의 인상 구동부(120)가 도시되어 있다. 상기 인상 구동부(120)의 중앙에 가이드 하우징(121)이 구비되어 있다. 상기 가이드 하우징(121)의 중앙으로 케이블(111)이 안내되면서 통과되도록 되어 있고, 케이블(111)은 전후좌우로의 움직임을 제한받게 되어 회전궤도(111a)가 한정된다.Referring to Figure 4, the
도 5내지 도 8을 참고하면, 본 발명에 의한 잉곳 성장장치(110)의 일부 구성요소인 가이드 하우징(121)이 도시되어 있다. 도면을 참고하면, 가이드 하우징(121)의 상부에 형성된 플랜지에 고정용 커버(123)가 조립되어 제1가이드(122)를 이루는 어셈블리들이 상측으로 빠지지 않게 되어 있고, 가이드 하우징(121) 하부에는 제2가이드(124)가 조립된 다음 스냅링(125)이 마지막으로 조립되어 빠지지 않도록 되어 있다.5 to 8, a
이때, 상기 케이블(111)은 제1가이드(122)의 중앙과 가이드 하우징(121)을 통과한 다음, 제2가이드(124)의 중앙을 다시 통과하여 챔버(112)까지 연장된다.At this time, the
이때, 도 5를 참고하면, 상기 케이블(111)의 전후좌우의 움직임을 마지막으로 제한하는 가이드는 제2가이드(124)이기 때문에 그 점을 기준으로 케이블(111)이 회전궤도를 가지게 되기 때문에 제1가이드(122)를 기준으로 한 경우보다 작은 회전궤도(111a)를 가지게 된다.At this time, referring to FIG. 5, since the guide limiting the movement of the front and rear and right and left of the
더불어, 상기 케이블(111)의 전후좌우 이동을 제한하는 가이드가 하나가 아니라 제1가이드(122)와 제2가이드(124) 두 개로, 즉 2 포인트에서 가이드하도록 이루어져 외력에 의해 발생되는 케이블(111)의 진동이 저감되어 더욱 안정적인 운전이 가능하게 된다.In addition, the
이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.Although one embodiment of the present invention has been described above, the spirit of the present invention is not limited to the embodiments presented herein, and those skilled in the art to understand the spirit of the present invention may add elements within the scope of the same spirit. However, other embodiments may be easily proposed by changing, deleting, adding, or the like, but it will also be considered to be within the scope of the present invention.
110 : 잉곳 성장장치
111 : 케이블
111a : 회전궤도
112 : 챔버
120 : 인상 구동부
121 : 가이드 하우징
122 : 제1가이드
123 : 고정 커버
124 : 제2가이드
125 : 스냅링110: ingot growth device
111:
112: chamber 120: impression driving unit
121: guide housing 122: first guide
123: fixed cover 124: second guide
125: snap ring
Claims (7)
상기 인상 구동부에서 상기 케이블의 전후좌우 방향의 움직임을 제한하도록 상기 케이블에 밀착되는 제1가이드;
상기 인상 구동부에서 상기 제1가이드로부터 하측 방향으로 이격된 위치에서 상기 케이블의 전후좌우 방향의 움직임을 제한하도록 상기 케이블에 밀착되는 제2가이드;
상기 제1가이드는 상단에 장착 고정되고 상기 제2가이드는 하단에 장착 고정되며, 상기 제1가이드와 제2가이드를 지지하도록 상기 인상 구동부에 설치된 가이드 하우징;
을 포함하는 잉곳 성장장치.In the ingot growth apparatus including an impression driving unit to rotate while lifting the cable from the top to grow the ingot in the chamber with a crucible therein,
A first guide in close contact with the cable so as to limit movement of the cable in the front, rear, left, and right directions in the pulling driver;
A second guide in close contact with the cable so as to limit movement of the cable in the front-rear-left-right direction at a position spaced apart from the first guide in a downward direction from the impression driving unit;
The first guide is mounted and fixed on the top, the second guide is mounted and fixed on the bottom, a guide housing installed on the impression driving unit to support the first guide and the second guide;
Ingot growth device comprising a.
상기 가이드 하우징은 원통형으로 이루어지고, 상기 제1가이드와 제2가이드의 위치 사이에는 통기홀이 구비된 잉곳 성장장치.According to claim 1,
The guide housing is formed in a cylindrical shape, and an ingot growth device having a ventilation hole between the positions of the first guide and the second guide.
상기 제2가이드는 원통형 형태로 이루어지고, 상기 가이드 하우징에는 상기 제2가이드가 안착될 수 있도록 내측홈이 형성된 잉곳 성장장치.According to claim 1,
The second guide is formed in a cylindrical shape, and the guide housing is an ingot growth device having an inner groove formed to seat the second guide.
상기 제2가이드가 빠지지 않도록 상기 제2가이드 하부에는 스냅링이 삽입되어 고정된 잉곳 성장장치.According to claim 3,
An ingot growth device in which a snap ring is inserted and fixed at the bottom of the second guide so that the second guide does not fall out.
상기 제2가이드는 상기 제1가이드보다 길게 형성된 잉곳 성장장치.According to claim 1,
The second guide is an ingot growth device formed longer than the first guide.
상기 제1가이드의 상측방향으로의 움직임을 제한하도록 상기 가이드 하우징 상부에 조립된 고정용 커버를 더 포함하는 잉곳 성장장치.According to claim 1,
An ingot growth apparatus further comprising a fixing cover assembled on the upper portion of the guide housing to limit movement of the first guide in an upward direction.
상기 제1가이드 및 제2가이드는 테프론 재질로 이루어진 잉곳 성장장치.According to claim 1,
The first guide and the second guide are ingot growth devices made of Teflon.
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