KR20200040366A - The tungsten electrode - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a tungsten electrode for generating plasma arc and, more specifically, to a tungsten electrode which is formed by integratedly combining tungsten generating arc and an electrode body conducting electricity in a vacuum furnace with a silver solder material. In the present invention, in constructing the tungsten electrode, the tungsten (1) generating arc is formed by forming an electrode inner hole (4) inside the electrode body so that the silver solder material (3) is melted to be coupled.

Description

텅스텐 전극{THE TUNGSTEN ELECTRODE}Tungsten Electrode {THE TUNGSTEN ELECTRODE}

본 발명은 플라즈마 아크를 발생시키는 텅스텐 전극에 관한 것으로, 보다 상세하게는 아크를 발생시키는 텅스텐과, 전기를 통하게 하는 전극몸체를 은납재로 진공로 속에서 일체형으로 결합시켜 텅스텐 전극에 관한 것이다.The present invention relates to a tungsten electrode for generating a plasma arc, and more particularly, to a tungsten electrode by integrally combining tungsten for generating an arc and an electrode body for conducting electricity in a vacuum furnace with a silver solder material.

일반적으로 조선, 자동차, 섬유, 철도, 우주항공, 에너지산업, 철강, 비철산업 등에 널리 사용되는 플라즈마 용사장치는 전극과 그 전극을 둘러싸는 외투와, 전극과 외투를 절연하고, 플라즈마 가스 도입구를 갖는 절연체를 갖는 주토치 및 부토치 등으로 구성된다. Generally used in shipbuilding, automobile, textile, railway, aerospace, energy industry, steel, and non-ferrous industries, plasma spraying insulates the electrode and the envelope surrounding the electrode, insulates the electrode from the electrode, and provides a plasma gas inlet. It consists of a main torch and a torch having an insulator.

이러한 용사, 반도체, 폐가스 분해용 전극 분야 등에 사용되는 텅스텐 전극은 플라즈마 아크를 발생시키는 전극으로, 텅스텐 전극과 노즐 사이에 양이온과 음이온, 전자, 여기된(excited) 중성자 및 분자들로 구성되어 고온으로 가열된 플라즈마 아크를 발생시킨다.The tungsten electrode used in the spray, semiconductor, and waste gas decomposition electrode fields is an electrode that generates a plasma arc, and is composed of positive and negative ions, electrons, excited neutrons and molecules between the tungsten electrode and the nozzle at a high temperature. A heated plasma arc is generated.

이러한 플라즈마 용사장치 등에 관해서는 후술하는 참고문헌들을 통해 확인할 수 있다.The plasma spraying apparatus and the like can be confirmed through reference materials to be described later.

참고문헌1에; 용사 재료 토출구멍을 갖는 제1전극과, 제1외투와, 제1플라즈마 가스도입구를 갖는 제1절연체를 구비하는 주토치와, 제2전극과, 제2외투와, 제2 플라즈마 가스도입구를 갖는 제2절연체를 구비하는 부토치를 구비하고, 제1전극과 제2전극은 제1전극의 중심축 상에 형성되는 플라즈마의 축 중심에 용사재료 토출구멍으로부터 공급된 용사재료를 용융하는 플라즈마 용사장치가 개시되어 있다.Reference 1; A primary torch having a first electrode having a spray material discharge hole, a first coat, and a first insulator having a first plasma gas inlet, a second electrode, a second coat, and a second plasma gas inlet Plasma spray to melt the spray material supplied from the spray material discharge hole in the center of the axis of the plasma formed on the central axis of the first electrode and the second electrode having a second torch having a second insulator having a The device is disclosed.

참고문헌2와 참고문헌3에; 전극 수명을 보존하고 오정렬의 영향을 최소화기 위해 전극의 마모를 줄이는데 도움을 주는 유체 냉각 플라즈마 아크 토치의 전극 및 냉각제 튜브에 관해 개시되어 있다.In References 2 and 3; Disclosed are electrodes and coolant tubes of a fluid cooled plasma arc torch that help reduce electrode wear to preserve electrode life and minimize the effects of misalignment.

참고문헌4에; 냉매가 주입되는 제1부분과 제2부분의 내부공간을 가지는 원통형의 튜브와, 상기 제1부분과 제2부분에 냉매 이동경로를 제공하는 제1,2경로 등으로 이루어져 냉각효율을 개선시킴으로써 전극을 오래 사용할 수 있고 고전압을 인가할 수 있도록 한 냉각효율이 개선된 플라즈마 토치가 개시되어 있다.In Reference 4; It consists of a cylindrical tube having internal spaces of the first part and the second part where the refrigerant is injected, and first and second paths that provide a refrigerant movement path to the first and second parts, thereby improving cooling efficiency. Disclosed is a plasma torch with improved cooling efficiency that enables long use and high voltage application.

참고문헌5에; 전극 홀더 내부에 냉각수통로가 형성된 냉각수관을 배치한 플라즈마 아크 토치가 개시되어 있다.In Reference 5; Disclosed is a plasma arc torch in which a cooling water passage having a cooling water passage is disposed inside an electrode holder.

종래 텅스텐 전극의 제조기술은 텅스텐 측면에서 은납재를 녹여 텅스텐과 전극 몸체를 결합하는 방식의 제조방법으로 전극몸체를 형성시키지 않고 평면으로 가공하여 텅스텐 금속면과 전극 몸체면을 결합시키는 방법으로 제조함으로써 텅스텐 금속이 간접 냉각되어 냉각효율이 떨어지고 이로인해 텅스텐과 전극몸체 평면 계면에 결함이 발생하여 계면 분리가 용이하게 되고, 전극 수명이 현저히 저하되는 등의 여러 문제가 발생한다.Conventional tungsten electrode manufacturing technology is a method of manufacturing a method of combining tungsten and an electrode body by melting silver solder on the side of tungsten. Due to the indirect cooling of tungsten metal, the cooling efficiency decreases, which causes defects in the tungsten-electrode body plane interface, facilitating interface separation, and a number of problems such as a significant decrease in electrode life.

따라서 종래의 기술은 냉각수에 간접적으로 접촉되는 간접 냉각으로 냉각효율이 저조하고, 계면에 접합결함이 발생하여 계면 분리가 용이하게 이루어져 전극 수명 한계가 따르게 되는 등의 문제가 있다. Therefore, the conventional technology has problems such as indirect cooling that is indirectly contacted with cooling water, resulting in low cooling efficiency, easy bonding to the interface due to bonding defects at the interface, and limitation of electrode life.

(참고문헌1) 대한민국 공개특허공보 제10-2015-0133849호, 2015.11.30.(Reference 1) Republic of Korea Patent Publication No. 10-2015-0133849, 2015.11.30. (참고문헌2) 대한민국 공개특허공보 제10-2009-0032125호, 2009.03.31.(Reference 2) Republic of Korea Patent Publication No. 10-2009-0032125, 2009.03.31. (참고문헌3) 대한민국 등록특허공보 제10-0940385호, 2010.02.02.(Reference 3) Korean Patent Registration No. 10-0940385, 2010.02.02. (참고문헌4) 대한민국 공개특허공보 제10-2011-0118314호, 2011.10.31.(Reference 4) Republic of Korea Patent Publication No. 10-2011-0118314, 2011.10.31. (참고문헌5) 일본 공개실용신안공보 실개평6-66876호, 1994.09.20.(Reference 5) Japanese Utility Model Publication No. Hei 6-66876, 1994.09.20.

본 발명은 아크를 발생시키는 텅스텐과, 전기를 통하게 하는 전극몸체를 은납재로 진공로 속에서 일체형으로 결합시켜서 계면 분리가 불가하고 냉각효율이 우수한 현저히 향상된 텅스텐 전극을 제공하고자 한다.The present invention is to provide a remarkably improved tungsten electrode that is impossible to separate the interface and has excellent cooling efficiency by combining the tungsten generating arc and the electrode body that conducts electricity in a vacuum with a silver solder material.

이를 더욱 구체적으로 살펴보면,Looking at this in more detail,

플라즈마 아크를 발생시키는 텅스텐 전극은 고전류를 사용하므로 대부분 수냉식 전극을 사용한다. 텅스텐 전극은 냉각이 중요하므로 전극 몸체 내부에 냉각수가 들어가 아크 발생시 발생되는 열을 냉각시키도록 역할한다. 따라서 전극의 수명을 연장하기 위해서는 텅스텐이 직접 냉각수에 노출되는 구성하여야 한다.Tungsten electrodes that generate plasma arcs use high currents, so most of them use water-cooled electrodes. Since cooling is important for the tungsten electrode, the coolant enters the electrode body to cool the heat generated when an arc occurs. Therefore, in order to extend the life of the electrode, tungsten should be directly exposed to cooling water.

이에 본 발명은 종래 제조방법의 문제점인 텅스텐(1) 금속과 전극몸체(2)의 접합면이 평면으로 결합되고, 결합면에서 접합결함이 발생할 빈도가 많은 문제점과 전극몸체(2) 내부의 냉각수에 텅스텐(1) 금속이 간접 냉각되어 발생되는 문제점을 개선하기 위하여 전극몸체(2) 내부홀(4)을 형성시켜 텅스텐(1)(8) 금속이 직접 냉각될 수 있도록 텅스텐 전극을 제공하고자 한다.Accordingly, the present invention is a problem of the conventional manufacturing method, the bonding surface of the tungsten (1) metal and the electrode body (2) is coupled in a plane, the problem of frequent occurrence of bonding defects in the bonding surface and cooling water in the electrode body (2) In order to improve the problem caused by the indirect cooling of the tungsten (1) metal, the electrode body (2) is formed with an inner hole (4) to provide a tungsten electrode so that the tungsten (1) (8) metal can be directly cooled. .

상기 과제해결을 위한 본 발명은; The present invention for solving the above problems;

고진공로에서 은납재의 브레이징 온도에서 유지하면 은납재가 전극몸체와 텅스텐 사이의 틈으로 스며들어 전극몸체금속과 아크발생금속을 결합시켜 텅스텐 전극을 구성한다. When maintained at a brazing temperature of the silver lead material in a high vacuum furnace, the silver lead material penetrates into the gap between the electrode body and tungsten to form the tungsten electrode by combining the electrode body metal and the arc generating metal.

본 발명은 플라즈마 아크를 발생시키는 텅스텐 전극으로, 아크를 발생시키는 텅스텐과, 전기를 통하게 하는 전극몸체를 은납재로 진공로 속에서 일체형으로 결합시켜 텅스텐 전극을 제조하는 기술을 제공함으로써 기존 제조방식 보다 전극의 수명을 연장하고 접합 결함을 해소함으로서 냉각효율을 높이는 등 현저히 개선된 기술과 우수한 제품을 제공할 수 있다.The present invention provides a technique for manufacturing a tungsten electrode by combining the tungsten electrode that generates a plasma arc, the tungsten that generates the arc, and the electrode body that conducts electricity in a vacuum furnace with a silver solder material, thereby producing a tungsten electrode. Significantly improved technology and superior products can be provided, such as extending the life of the electrode and eliminating bonding defects, thereby increasing cooling efficiency.

도 1 내지 도 2는 본 발명의 일실시예를 보인 단면도
도 3 내지 도 4는 본 발명의 다른 실시예를 보인 단면도
도 5 내지 도 6은 종래의 구조를 보인 단면도
1 to 2 is a cross-sectional view showing an embodiment of the present invention
3 to 4 are cross-sectional views showing another embodiment of the present invention
5 to 6 are cross-sectional views showing a conventional structure

본 발명은 고진공로에서 은납재의 브레이징 온도에서 유지하면 은납재가 전극몸체와 텅스텐 사이의 틈으로 스며들어 전극몸체금속과 아크발생금속을 결합시켜 텅스텐 전극을 구성한 것에 특징이 있다. The present invention is characterized in that the tungsten electrode is constructed by combining the electrode body metal and the arc-generating metal when the silver lead material permeates into the gap between the electrode body and tungsten when maintained at a brazing temperature of the silver lead material in a high vacuum furnace.

이하 본 발명의 구체적인 실시내용을 첨부 도면과 함께 상세히 살펴본다.Hereinafter, a detailed description of the present invention with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 2는 본 발명의 일실시예를 보인 단면도, 도 3 내지 도 4는 본 발명의 다른 실시예를 보인 단면도이다.1 to 2 are cross-sectional views showing one embodiment of the present invention, and FIGS. 3 to 4 are cross-sectional views showing another embodiment of the present invention.

도면에 사용된 부호 중 종래 구성과 동일한 구성요소(도 5)에 대해서는 동일한 부호를 사용하였다.The same reference numerals are used for the same components as those in the conventional configuration (FIG. 5) among the symbols used in the drawings.

본 발명은 플라즈마 아크를 발생시키는 텅스텐 전극으로 아크를 발생시키는 텅스텐(1)과, 전기를 통하게 하는 전극몸체(2)를 은납재(3)로 진공로 속에서 일체형으로 결합시켜 텅스텐 전극을 구성한다.The present invention constitutes a tungsten electrode by integrally combining tungsten (1) for generating arc with a tungsten electrode for generating a plasma arc, and electrode body (2) for conducting electricity in a vacuum furnace with a silver brazing material (3). .

이를 더욱 구체적으로 살펴보면; 고진공로에서 은납재(3)의 브레이징 온도에서 유지하면 은납재(3)가 전극몸체(2)와 텅스텐(1) 사이의 틈으로 스며들어 전극몸체금속(2)과 아크발생금속(1)을 결합시킨다. Looking at this in more detail; When the brazing temperature of the silver brazing material 3 is maintained in a high vacuum furnace, the silver brazing material 3 permeates into the gap between the electrode body 2 and the tungsten 1, thereby forming the electrode body metal 2 and the arc generating metal 1 Combine.

그리고 도 3, 4와 같이 전극 내부홀(4)에 관통하여 결합되는 돌출형상 아크발생금속 텅스텐(6)을 구성하여 결합시킨다.Then, as shown in Figs. 3 and 4, the protruding arc-forming metal tungsten 6, which penetrates through the inner hole 4 of the electrode, is constructed and combined.

이를 더욱 구체적으로 살펴본다.Let's look at this in more detail.

아크를 발생시키는 텅스텐(1)은 전극몸체(2)의 내부에 은납재(3)가 녹아 도 2와 같이 결합되는 방식으로 전극 내부홀(4)을 형성한다.The arc-forming tungsten (1) forms the electrode inner hole (4) in such a way that the silver solder material (3) is melted in the interior of the electrode body (2) to be combined as shown in FIG.

아크를 발생시키는 텅스텐(8)은 전극몸체(2) 내부에 도 1, 2와 같이 홀(4)을 형성시켜 은납재(3)가 녹아 텅스텐(8)이 전극몸체(2) 내부에 돌출되게 한다.The arc-generating tungsten 8 forms holes 4 as shown in FIGS. 1 and 2 inside the electrode body 2 so that the silver brazing material 3 melts so that the tungsten 8 protrudes inside the electrode body 2. do.

도 3, 4와 같이 전극몸체(2)의 홀(4)에 삽입되어 결합되는 방식으로 돌출형상(6)으로 텅스텐(8)을 구성한다. As shown in FIGS. 3 and 4, tungsten 8 is configured in a protruding shape 6 in a manner that is inserted into and coupled to the hole 4 of the electrode body 2.

즉, 텅스텐(8)이 전극몸체(2) 내부에 돌출형상(6)으로 결합되게 구성하여 텅스텐(8) 금속이 전극몸체(2)와 접합하는 계면적이 증가되게 함으로써 전기적, 냉각적으로 텅스텐 전극의 수명을 향상시킬 수 있다. That is, tungsten (8) is configured to be coupled in a protruding shape (6) inside the electrode body (2) to increase the interfacial area where the tungsten (8) metal joins the electrode body (2), thereby electrically and cooling the tungsten electrode. Can improve the lifespan.

또 진공브레이징 시 은납재(3)는 녹아서 전극몸체(2)의 전극내부홀(4)을 통하여 전극몸체(2) 아래의 확장되는 부분(5)에 은납재(3)가 오버랩(9:모이게 되는 부분)되게 하는 기능으로 은납재(3)가 아래로 흘러내리지 않도록 구성한다.In addition, the silver brazing material (3) is melted during vacuum brazing, and the silver brazing material (3) overlaps (9: gathers) in the part (5) extending under the electrode body (2) through the electrode inner hole (4) of the electrode body (2). It is configured to prevent the silver solder material 3 from flowing downward with the function of making the part.

도 1 내지 도 3과 같이 전극몸체(2) 내부홀(4)을 형성하여 전극몸체(2)와 접촉면적을 증가시켜 간접냉각구조의 종래 구조와 달리 직접 냉각으로 개선함으로써 전기적, 냉각적으로 효율이 우수한 텅스텐 전극을 제공할 수 있다.As shown in FIGS. 1 to 3, the inner hole 4 of the electrode body 2 is formed to increase the contact area with the electrode body 2, thereby improving electrical and cooling efficiency by improving by direct cooling unlike the conventional structure of the indirect cooling structure. This excellent tungsten electrode can be provided.

그리고 두 금속인 텅스텐(1,8)과 전극몸체(2)와의 접합시 은잡재(3)가 녹아서 두 금속틈(10)을 스며들어 통과하기 때문에 기포나 결함 발생율이 적고 전극몸체(2)의 내부홀(4)에 의해 텅스텐(1,8) 금속이 직접 노출되어 냉각효율이 증가하여 전극 수명을 현저히 개선할 수 있다.In addition, when the two metals, tungsten (1,8) and the electrode body (2) are joined, the silver material (3) melts and penetrates the two metal gaps (10), so there is less incidence of bubbles or defects and the electrode body (2) The tungsten (1,8) metal is directly exposed by the inner hole 4 to increase the cooling efficiency, thereby significantly improving electrode life.

본 발명의 실시내용을 구체적으로 설명하기 위해 첨부 도면에 사용한 부호에 대해 설명하면 하기와 같다.
1: 텅스텐 2: 전극몸체
3: 은납재 4: 전극몸체 내부 홀
5: 전극몸체 확장부 6: 돌출형상
7: 은납재가 스며드는 공간 8: 돌출형상 텅스텐
9: 은납재 오버랩(은납재 모이는 곳) 10: 두금속 틈
The symbols used in the accompanying drawings to specifically describe the embodiments of the present invention are as follows.
1: tungsten 2: electrode body
3: Silver solder material 4: Electrode body inner hole
5: electrode body extension part 6: protruding shape
7: Space where silver lead material penetrates 8: Protruding tungsten
9: Silver brazing material overlap (where silver brazing materials gather) 10: Bimetallic gap

Claims (3)

텅스텐 전극을 구성함에 있어서,
아크를 발생시키는 텅스텐(1)은 전극몸체(2)의 내부에 은납재(3)가 녹아 결합되도록 전극 내부홀(4)을 형성하여 구성한 것을 특징으로 하는 텅스텐 전극.
In constructing the tungsten electrode,
The tungsten electrode for generating an arc is a tungsten electrode characterized in that it is formed by forming an electrode inner hole 4 so that the silver solder material 3 is melted and coupled inside the electrode body 2.
아크를 발생시키는 텅스텐(8)은 전극몸체(2) 내부에 홀(4)을 형성시켜 텅스텐(8)이 전극몸체(2) 내부에 돌출되게 하며, 은납재(3)가 녹아 결합됨으로써 텅스텐(8)을 돌출형상(6)으로 구성한 것을 특징으로 하는 텅스텐 전극. The tungsten (8) that generates an arc forms a hole (4) inside the electrode body (2) so that the tungsten (8) protrudes inside the electrode body (2), and the tungsten ( A tungsten electrode, characterized in that 8) is formed in a protruding shape (6). 진공브레이징 시 은납재(3)가 녹아서 전극몸체(2)의 전극내부홀(4)을 통하여 전극몸체(2) 아래의 확장되는 부분(5)에 은납재(3)가 오버랩되게 하는 기능으로 은납재(3)가 아래로 흘러내리지 않도록 구성한 것을 특징으로 하는 텅스텐 전극.The silver brazing material (3) is melted during vacuum brazing, so that the silver brazing material (3) overlaps the extended part (5) under the electrode body (2) through the electrode inner hole (4) of the electrode body (2). A tungsten electrode, characterized in that the ash (3) is configured not to flow down.
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