JP5091801B2 - Composite torch type plasma generator - Google Patents

Composite torch type plasma generator Download PDF

Info

Publication number
JP5091801B2
JP5091801B2 JP2008209552A JP2008209552A JP5091801B2 JP 5091801 B2 JP5091801 B2 JP 5091801B2 JP 2008209552 A JP2008209552 A JP 2008209552A JP 2008209552 A JP2008209552 A JP 2008209552A JP 5091801 B2 JP5091801 B2 JP 5091801B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
torch
main
plasma
sub
mantle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2008209552A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2010043341A (en
Inventor
明 文屋
昌生 吉永
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NTK Ceratec Co Ltd
Original Assignee
Nihon Ceratec Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nihon Ceratec Co Ltd filed Critical Nihon Ceratec Co Ltd
Priority to JP2008209552A priority Critical patent/JP5091801B2/en
Publication of JP2010043341A publication Critical patent/JP2010043341A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5091801B2 publication Critical patent/JP5091801B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

この発明は、複合トーチ型プラズマ発生装置に関するものであり、更に述べると、気体中を流れる大電流、いわゆるアークやそれによって、発生する１万℃前後の高温度のプラズマによって、金属やセラミックス等の物質を溶融して処理対象物に吹き付け、その表面に強固な皮膜を形成するための、いわゆるプラズマ溶射の技術の改良に関するものである。近年では、この安定した高温のプラズマを熱源として、セラミックスの熱衝撃試験やガス分解などに利用されている。   The present invention relates to a composite torch-type plasma generator, and more specifically, a large current flowing in a gas, a so-called arc, and a high-temperature plasma around 10,000 ° C. generated thereby, such as metal or ceramics. The present invention relates to an improvement in so-called plasma spraying technology for melting a substance and spraying it on an object to be processed to form a strong film on the surface. In recent years, this stable high-temperature plasma has been used as a heat source for thermal shock tests and gas decomposition of ceramics.

図４に示したのは、従来の汎用的な複合トーチ型プラズマ溶射装置の主要な部分を図示したものである。
図４において主陰極３の軸上に放出口を有する主外套４及び主第二外套３１と、旋回流ガス形成手段５２を有する絶縁物２７及び絶縁物２９によって同心に保持されている。 FIG. 4 shows a main part of a conventional general-purpose composite torch type plasma spraying apparatus.
In FIG. 4, the main jacket 4 and the main second jacket 31 each having an emission port on the axis of the main cathode 3, and the insulator 27 and the insulator 29 having the swirling gas forming means 52 are concentrically held.

図２に示された如く、主プラズマガス送入口５より主プラズマガス６がまずガス環状室５３へ送入され、一個の旋回流形成孔５４或いは等分に配置された複数個の旋回流形成孔５４を通って、絶縁物２７の内壁５５を旋回するように矢印５６の如く送入される。同様に主第二ガス３３も主第二ガス送入口３２を通って、絶縁物２９の内壁を旋回すべく送入される。   As shown in FIG. 2, the main plasma gas 6 is first fed into the gas annular chamber 53 from the main plasma gas inlet 5 to form one swirl flow forming hole 54 or a plurality of swirl flow arranged equally. It passes through the hole 54 and is fed as shown by an arrow 56 so as to turn the inner wall 55 of the insulator 27. Similarly, the main second gas 33 is also fed through the main second gas inlet 32 to swivel the inner wall of the insulator 29.

主電源７の負端子は、主陰極３に接続され、主電源７の正端子は、スイッチ手段８を介して主外套４、スイッチ手段３４を介して主第二外套３１に接続されており、これらが全体として主トーチ１を構成している。   The negative terminal of the main power supply 7 is connected to the main cathode 3, and the positive terminal of the main power supply 7 is connected to the main outer jacket 4 via the switch means 8 and to the main second outer jacket 31 via the switch means 34, These constitute the main torch 1 as a whole.

次に、主トーチ１の中心軸、すなわち、主陰極３の中心軸と交叉するように配置された副トーチ起動電極１０があり、この副トーチ起動電極１０を囲んで、かつ先端に放出口を有する副外套１１及び副第二外套３６と、主トーチ１の絶縁物２７と同様の旋回流ガス形成手段を有する絶縁物２８及び絶縁物３０によって同心に保持されている。   Next, there is a sub-torch activation electrode 10 arranged so as to intersect with the central axis of the main torch 1, that is, the central axis of the main cathode 3. The auxiliary mantle 11 and the auxiliary second mantle 36 are concentrically held by the insulator 28 and the insulator 30 having the swirl gas forming means similar to the insulator 27 of the main torch 1.

副電源１４は、その正端子がスイッチ手段１５を介して副外套１１と主電源７の正端子に接続されており、副電源１４の負端子は副トーチ起動電極１０に接続されており、これらが全体として副トーチ２を構成している。そして、主トーチ１と副トーチ２は、連結管２６で固定され、各々は容易に脱着でき、絶縁性が保たれた構造となっている。   The secondary power source 14 has its positive terminal connected to the secondary mantle 11 and the positive terminal of the main power source 7 via the switch means 15, and the negative terminal of the secondary power source 14 is connected to the secondary torch starting electrode 10. Constitutes the auxiliary torch 2 as a whole. The main torch 1 and the sub torch 2 are fixed by a connecting pipe 26, and each has a structure that can be easily detached and kept insulative.

図４において主プラズマガス送入口５より、主プラズマガス６としてアルゴン等の不活性ガスを流し、スイッチ手段９及びスイッチ手段３４を開いた状態で、スイッチ手段８を閉じて、主電源７の高周波により主陰極３と主外套４との間で印加すると、主陰極３の先端から主外套４の放出口に向かって主起動アーク１６が形成され、これによって主プラズマガス６が加熱され、プラズマ１８となって主外套４の先端より放出される。   In FIG. 4, an inert gas such as argon is flowed from the main plasma gas inlet 5 as the main plasma gas 6, the switch means 8 and the switch means 34 are opened, the switch means 8 is closed, and the high frequency of the main power supply 7. Is applied between the main cathode 3 and the main mantle 4 to form a main starting arc 16 from the tip of the main cathode 3 toward the outlet of the main mantle 4, thereby heating the main plasma gas 6 and plasma 18. And is discharged from the tip of the main mantle 4.

更に、スイッチ手段３４を閉じて、スイッチ手段８を開くことによって、プラズマ１８の陽極点は主外套４から主第二外套３１へと移行し、主第二起動アークが形成され、主第二外套３１の先端より主トーチ１の外部に向かって放出される。   Further, by closing the switch means 34 and opening the switch means 8, the anode point of the plasma 18 is transferred from the main mantle 4 to the main second mantle 31, a main second starting arc is formed, and the main second mantle is formed. It is discharged from the tip of 31 toward the outside of the main torch 1.

次にスイッチ手段１５を閉じて、副電源１４の高周波により副トーチ起動電極１０と副外套１１との間に印加し、かつ、副ガス送入口１２より、副ガス１３として、アルゴン等の不活性ガスを送入すると、副起動アーク１７が発生し、副外套１１の先端の放出口を通って副第二外套３６の放出口よりプラズマ１８が噴出される。   Next, the switch means 15 is closed and applied between the auxiliary torch starting electrode 10 and the auxiliary mantle 11 by the high frequency of the auxiliary power source 14, and inert gas such as argon is used as the auxiliary gas 13 from the auxiliary gas inlet 12. When the gas is sent in, the secondary starting arc 17 is generated, and the plasma 18 is ejected from the outlet of the auxiliary second mantle 36 through the outlet of the tip of the auxiliary mantle 11.

このようにして主トーチ１と副トーチ２の先端から噴出される各々のプラズマ１８は、主トーチ１の中心軸と副トーチ２の中心軸が交叉するように設けられているので、その先端で交叉するが、このプラズマ１８は導電性であるので、この状態において、スイッチ手段９を閉じると同時にスイッチ手段１５及びスイッチ手段３４を開くと、主陰極３の先端から副外套１１の陽極点に至るヘアピン状のプラズマ１８による導電路が形成される。   Thus, each plasma 18 ejected from the tips of the main torch 1 and the sub-torch 2 is provided so that the central axis of the main torch 1 and the central axis of the sub-torch 2 cross each other. However, since the plasma 18 is conductive, in this state, when the switch unit 9 is closed and the switch unit 15 and the switch unit 34 are opened at the same time, the tip of the main cathode 3 reaches the anode point of the auxiliary mantle 11. A conductive path is formed by the hairpin-shaped plasma 18.

この時、連結管２６上の材料送入管１９により搬送された溶射材料２０は、プラズマ１８軸に交叉する方向で高温のプラズマ１８中に送入される。そこで溶射材料２０は、プラズマ１８熱により、溶融粒子２１となって、プラズマ炎２３に同伴されながら、あまり広がらないで母材２５に向かって進行する。   At this time, the thermal spray material 20 conveyed by the material feeding pipe 19 on the connecting pipe 26 is fed into the high-temperature plasma 18 in a direction crossing the plasma 18 axis. Therefore, the thermal spray material 20 becomes molten particles 21 due to the heat of the plasma 18 and proceeds toward the base material 25 without spreading so much while being accompanied by the plasma flame 23.

この溶融粒子２１を含むプラズマ炎２３は、母材２５に及ぼす熱負荷を軽減すべく母材２５の直前で、連結管２６上に設けられたプラズマ分離手段２２によって、プラズマ１８のみが分離され、その直後に溶融粒子２１は母材２５に衝突し、溶射皮膜２４を形成する。   In the plasma flame 23 containing the molten particles 21, only the plasma 18 is separated by the plasma separation means 22 provided on the connecting pipe 26 immediately before the base material 25 in order to reduce the thermal load on the base material 25. Immediately thereafter, the molten particles 21 collide with the base material 25 to form a sprayed coating 24.

以上の説明では、主外套４，主第二外套３１及び副外套１１、副第二外套３６の内面は、通常何れも二重構造となっており、その内部を水等の循環によって冷却されているが、これは省略し図示していない。尚、以下の説明においては、各該当の冷却システムは何れもこれを省略する。   In the above description, the inner surfaces of the main mantle jacket 4, the main second mantle 31 and the sub mantle 11 and the sub second mantle 36 are usually of a double structure, and the inside is cooled by circulation of water or the like. This is omitted and not shown. In the following description, each corresponding cooling system is omitted.

従来例には、次のような問題がある。
（１）副トーチは、少なくとも陰極を保護するチャンバー(副外套)と陽極を保護するチャンバー(副第二外套)の２つを有し、部品点数も多く、コストがかさみ、保守・点検も容易でない。 The conventional example has the following problems.
(1) The auxiliary torch has at least two chambers, a chamber that protects the cathode (sub-cladding) and a chamber that protects the anode (sub-cladding), which has many parts, is expensive, and is easy to maintain and inspect. Not.

（２）前記副トーチの陰極部は、プラズマ起動する時に使用するが、運転中は、不要な部位となる。
（３）副トーチからのプラズマやヘアピン状のプラズマによる磁場の影響で、主トーチのプラズマ及びプラズマ炎が経時的に曲ってしまう。そのため、プラズマ及びプラズマ炎の直進性、安定性が損なわれ、結果としてプラズマ出力の低下を招く。 (2) The cathode part of the auxiliary torch is used when plasma is activated, but becomes an unnecessary part during operation.
(3) The plasma and plasma flame of the main torch bend with time due to the influence of the magnetic field due to the plasma from the sub-torch and the hairpin-shaped plasma. For this reason, the straightness and stability of the plasma and the plasma flame are impaired, resulting in a decrease in plasma output.

本発明は、上記事情に鑑み、副トーチの部品点数を少なくして、コストを低減させるとともに、副トーチ全体の簡素化、小型化を図ることを目的とする。他の目的は、プラズマ及びプラズマ炎の直進性、安定性を向上させ、プラズマ出力の増加を図ることである。   In view of the above circumstances, an object of the present invention is to reduce the number of parts of the sub-torch to reduce the cost, and to simplify and reduce the size of the sub-torch as a whole. Another object is to improve the straightness and stability of plasma and plasma flame and increase the plasma output.

この発明は、陰極及び陽極並びにプラズマガス供給手段を有する、主トーチと副トーチからなる複合トーチ型プラズマ発生装置において、前記副トーチが、前記主トーチ軸芯を中心として放射線上に複数個設けられ、前記各副トーチの陽極は、外套により囲まれており、該外套の先端には、狭窄口が設けられ、該狭窄口の内壁に陰極が設けられ、前記外套の材質は、銅、又は、銀であることを特徴とする。 The present invention provides a composite torch-type plasma generator comprising a main torch and a sub-torch having a cathode and an anode and a plasma gas supply means, wherein a plurality of sub-torches are provided on the radiation centering on the main torch axis. The anode of each of the sub-torches is surrounded by a mantle, and at the tip of the mantle , a constriction opening is provided, and a cathode is provided on the inner wall of the constriction opening, and the material of the mantle is copper, or and wherein the Gindea Rukoto.

この発明の前記主トーチおよび前記副トーチは、使用する全てのプラズマガスを旋回せしめる旋回流送入手段を備えていることを特徴とする。   The main torch and the sub torch according to the present invention include a swirl flow feeding means for swirling all plasma gases to be used.

この発明の前記主トーチ又は前記副トーチに、電極をもたない独立したチャンバーを設けることによって、前記プラズマガスとして活性ガスを使用できることを特徴とする。この発明の前記副トーチの陰極は、タングステンの張り付け、又は、タングステン溶射により形成されることを特徴とする。   An active gas can be used as the plasma gas by providing an independent chamber having no electrode in the main torch or the sub torch of the present invention. The cathode of the auxiliary torch according to the present invention is formed by attaching tungsten or spraying tungsten.

この発明は、副トーチの陽極を外套により囲み、該外套の内壁に陰極を設けたので、従来の複合トーチ型プラズマ発生装置の副トーチで、陽極手前に設けられていたタングステン陰極部が不要となり、更には、それに付随する陽極間に位置する保護ガス送入手段を有する絶縁部及び配線・配管も不要となり、部品点数が削減できてコスト低減がはかれるのみならず、副トーチ全体が簡素化され、小型になり保守・点検も容易になった。   In the present invention, the anode of the secondary torch is surrounded by a jacket and the cathode is provided on the inner wall of the jacket. Therefore, the tungsten cathode portion provided in front of the anode is unnecessary in the secondary torch of the conventional composite torch type plasma generator. In addition, an insulating portion and wiring / piping having a protective gas feeding means located between the anodes associated therewith are not required, so that not only can the number of parts be reduced and the cost can be reduced, but also the entire sub-torch is simplified. It has become smaller and easier to maintain and inspect.

この発明は、前記副トーチが、前記主トーチ軸芯を中心として放射線上に複数個設けられているので、プラズマ及びプラズマ炎の直進性、安定性が向上し、結果としてプラズマの出力の増加が可能となった。   In the present invention, since a plurality of the sub torches are provided on the radiation centering on the main torch axis, the straightness and stability of the plasma and the plasma flame are improved, resulting in an increase in plasma output. It has become possible.

この発明の第１の実施形態を図１、図２により説明する。
図１は、複数個の副トーチ、例えば、副トーチを２個用いた汎用的な複合トーチ型プラズマ溶射装置の主要な部分を図示したものである。 A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 shows a main part of a general-purpose composite torch type plasma spraying apparatus using a plurality of sub-torches, for example, two sub-torches.

図１において、３は主陰極であり、該主陰極３の中心軸上に放出口を有する主外套４と、旋回流ガス形成手段５２を有する絶縁物２７によって同心に保持されている。前記旋回流ガス形成手段５２では、図２示された如く、プラズマガス送入口５より主プラズマガス６がまずガス環状室５３へ送入され、一個の旋回流形成孔５４或いは等分に配置された複数個の旋回流形成孔５４を通って、絶縁物２７の内壁５５を旋回するように矢印５４の如く送入される。   In FIG. 1, reference numeral 3 denotes a main cathode, which is held concentrically by a main mantle 4 having an emission port on the central axis of the main cathode 3 and an insulator 27 having a swirling gas forming means 52. In the swirling gas forming means 52, as shown in FIG. 2, the main plasma gas 6 is first fed into the gas annular chamber 53 from the plasma gas inlet 5, and is arranged in one swirling flow forming hole 54 or equally. Through the plurality of swirling flow forming holes 54, the inner wall 55 of the insulator 27 is swirled as indicated by an arrow 54.

主電源７の負端子は、主陰極３に接続されており、主電源７の正端子は主外套４にスイッチ手段８を介して接続されており、これらが全体として主トーチ１を構成している。   The negative terminal of the main power supply 7 is connected to the main cathode 3, and the positive terminal of the main power supply 7 is connected to the main jacket 4 via the switch means 8, and these constitute the main torch 1 as a whole. Yes.

次に、主トーチ１の中心軸、すなわち、主陰極３の中心軸と交叉するように配置された副トーチ陽極１０Ａがあり、この副トーチ陽極１０Ａを囲んで、かつ先端に放出口を有する副外套１１と、主トーチ１の絶縁物２７と同様の旋回流ガス形成手段５２を有する絶縁物２８によって同心に保持されている。前記副外套の放出口は、ノズル状の狭窄口に形成されている。   Next, there is a sub-torch anode 10A disposed so as to intersect with the central axis of the main torch 1, that is, the central axis of the main cathode 3, and the sub-torch anode 10A surrounds the sub-torch anode 10A and has a discharge port at the tip. The outer casing 11 and the insulator 28 having the swirl gas forming means 52 similar to the insulator 27 of the main torch 1 are held concentrically. The discharge port of the auxiliary mantle is formed in a nozzle-like constriction port.

第二電源４２の正端子は、スイッチ手段４７を介して、副トーチ陽極１０Ａの正端子へ接続されており、第二電源４２の負端子は、スイッチ手段４８を介して、副外套１１に接続されており、これらが全体として副トーチ２を構成している。   The positive terminal of the second power source 42 is connected to the positive terminal of the auxiliary torch anode 10A via the switch means 47, and the negative terminal of the second power source 42 is connected to the auxiliary mantle 11 via the switch means 48. These constitute the auxiliary torch 2 as a whole.

そして、副トーチ２に対向する位置に同型の第二副トーチ３９が設けられている。この第二副トーチ３９は、副トーチ２と同様に第二副トーチ陽極４０を囲んで、かつ先端に放出口を有する第二副外套４１と、主トーチ１の絶縁物２７と同様の旋回流ガス形成手段５２を有する絶縁物４９によって同心に保持されている。   A second auxiliary torch 39 of the same type is provided at a position facing the auxiliary torch 2. Similar to the sub torch 2, the second sub torch 39 surrounds the second sub torch anode 40 and has a second sub jacket 41 having a discharge port at the tip, and a swirl flow similar to the insulator 27 of the main torch 1. It is held concentrically by an insulator 49 having gas forming means 52.

第二電源４２の正端子は、スイッチ手段４３を介して、第二副トーチ陽極４０の正端子へ接続されており、第二電源４２の負端子は、スイッチ手段４４を介して、第二副外套４１に接続されており、これらが全体として第二副トーチ３９を構成している。   The positive terminal of the second power source 42 is connected to the positive terminal of the second secondary torch anode 40 via the switch means 43, and the negative terminal of the second power source 42 is connected to the second secondary torch anode 40 via the switch means 44. These are connected to the outer sleeve 41, and these constitute a second auxiliary torch 39 as a whole.

前記副トーチ２、３９の陽極１０Ａ、４０を保護するチャンバー(副外套１１、４１)は、陽極１０Ａ、４０との絶縁を保ち、プラズマ放熱に耐えうる冷却構造を有する熱伝達の良い部材で形成されている。この部材として、熱伝導率３３０kcal／mh°C以上の材料が好的であり、例えば、Ｗ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔなどが用いられる。   The chambers (sub jackets 11 and 41) for protecting the anodes 10A and 40 of the auxiliary torches 2 and 39 are formed of a heat transfer member having a cooling structure capable of withstanding plasma radiation while maintaining insulation from the anodes 10A and 40. Has been. As this member, a material having a thermal conductivity of 330 kcal / mh ° C. or more is preferable, and for example, W, Cu, Ag, Au, Pt or the like is used.

前記副外套１１，４１の表面は、プラズマアークが接触しにくく、かつ、溶射材料が付着しないように表面処理されており、例えば、表面の粗さは、Ra0.8以下であるが、Ra0.25以下が好的である。   The surface of the auxiliary mantle 11 and 41 is surface-treated so that the plasma arc is difficult to contact and the thermal spray material does not adhere. For example, the surface roughness is Ra 0.8 or less, but Ra0. 25 or less is preferable.

前記陰極は、前記外套１１、４１に設けられるが、その配設位置として、例えば、該外套の内壁や該外套先端の放出口（狭窄口）内壁、に設けられる。   The cathode is provided on the mantles 11 and 41, and the arrangement position thereof is provided, for example, on the inner wall of the mantle or the inner wall of the discharge port (constriction port) at the tip of the mantle.

前記陰極からは熱電子を放出するため、陰極点は３０００℃以上にも達し、当然のことながら銅などで作製された外套１１，４１は、溶融し気化するが、このときの損傷を極力抑えるため、本発明では、電流負荷を２０〜３０Ａでプラズマをヘアピンアークプラズマ形成に至る短時間だけ形成させることができる様にしている。   Since the cathode emits thermoelectrons, the cathode spot reaches 3000 ° C. or more, and the outer jackets 11 and 41 made of copper or the like naturally melt and vaporize, but the damage at this time is suppressed as much as possible. Therefore, in the present invention, the plasma can be formed only for a short time until the hairpin arc plasma is formed with a current load of 20 to 30 A.

なお、副外套の多くは、コストや加工性で最適な銅で制作されているが、大気中では、緑青が発生し、溶射皮膜中のコンタミの原因となるので、メッキなどの表面処理をすることが望ましい。   Most of the sub-coats are made of copper, which is optimal for cost and workability. However, in the atmosphere, patina is generated, which causes contamination in the sprayed coating. It is desirable.

前記外套に設ける陰極の材料として、例えば、タングステンが用いられるが、陰極を全てタングステンで作製することは、その材質が硬くて脆いので、技術的に難しく、コストも嵩むことになるので、陰極となる部分のみに、該タングステンを貼り付けたり、又は、タングステン溶射(コーテング)して陰極を形成するが好ましい。   For example, tungsten is used as the material of the cathode provided in the jacket, but it is technically difficult and costly to manufacture the cathode entirely from tungsten because the material is hard and brittle. It is preferable to form the cathode by attaching the tungsten only to the portion to be formed or by spraying tungsten (coating).

主トーチ１、副トーチ２及び第二副トーチ３９は、連結管２６で固定され、各々は容易に脱着でき、絶縁性が保たれた構造となっている。   The main torch 1, the sub torch 2 and the second sub torch 39 are fixed by the connecting pipe 26, and each has a structure that can be easily detached and kept insulative.

図１において、主プラズマガス送入口５より、主プラズマガス６としてアルゴン等の不活性ガスを流し、スイッチ手段４５及びスイッチ手段４６を開いた状態で、スイッチ手段８を閉じて、主電源７の高周波により主陰極３と主外套４との間で印加すると、主陰極３の先端から主外套４の放出口に向かって主起動アーク１６が形成され、これによって主プラズマガス６が加熱され、プラズマ１８となって主外套４の先端より主トーチ１の外部に向かって放出される。   In FIG. 1, an inert gas such as argon is flowed from the main plasma gas inlet 5 as the main plasma gas 6, the switch means 8 and the switch means 46 are opened, the switch means 8 is closed, and the main power supply 7 is turned on. When a high frequency is applied between the main cathode 3 and the main mantle 4, a main starting arc 16 is formed from the tip of the main cathode 3 toward the outlet of the main mantle 4, thereby heating the main plasma gas 6, and plasma 18 is discharged from the front end of the main mantle 4 toward the outside of the main torch 1.

次に、スイッチ手段４３及びスイッチ手段４４を開いた状態で、スイッチ手段４７及びスイッチ手段４８を閉じて、第二電源４２の高周波により副トーチ陽極１０Ａと副外套１１との間に印加し、かつ、副ガス送入口１２より、副ガス１３として、アルゴン等の不活性ガスを送入すると、副起動アーク１７が発生し、副外套１１の先端の放出口よりプラズマ１８が噴出される。   Next, with the switch means 43 and the switch means 44 open, the switch means 47 and the switch means 48 are closed and applied between the auxiliary torch anode 10A and the auxiliary mantle 11 by the high frequency of the second power source 42, and When an inert gas such as argon is sent as the secondary gas 13 from the secondary gas inlet 12, the secondary starting arc 17 is generated, and the plasma 18 is ejected from the discharge port at the tip of the secondary mantle 11.

このようにして主トーチ１と副トーチ２の先端から噴出される各々のプラズマ１８は、主トーチ１の中心軸と副トーチ２の中心軸が交叉するように設けられているので、その先端で交叉するが、この交差する点は、例えば、主トーチ１の主外套４の先端から１２mm〜１５ｍｍで、副トーチ２の副外套１１の先端から５mm〜８mmに位置する。このプラズマ18は、導電性であるので、この状態において、スイッチ手段４５を閉じると同時にスイッチ手段８を開き、かつ、スイッチ手段４７及びスイッチ手段４８を開くと、副トーチ陽極１０Aの先端から主陰極３の陰極点に至るヘアピン状のプラズマ１８による導電路が形成される。   Thus, each plasma 18 ejected from the tips of the main torch 1 and the sub-torch 2 is provided so that the central axis of the main torch 1 and the central axis of the sub-torch 2 cross each other. The crossing points are, for example, 12 mm to 15 mm from the tip of the main mantle 4 of the main torch 1 and 5 mm to 8 mm from the tip of the sub mantle 11 of the sub torch 2. Since the plasma 18 is conductive, in this state, when the switch means 45 is closed and the switch means 8 is opened at the same time, and the switch means 47 and the switch means 48 are opened, the main cathode starts from the tip of the auxiliary torch anode 10A. A conductive path is formed by the hairpin-shaped plasma 18 that reaches the cathode point 3.

その直後、第二副トーチ３９のプラズマ１８を印加すべく第二副ガス送入口５０より、第二副ガス５１としてアルゴン等の不活性ガスを流し、スイッチ手段４５及びスイッチ手段４８を開いた状態で、スイッチ手段４３及びスイッチ手段４４を閉じて、第二電源４２の高周波により第二副トーチ陽極４０と第二副外套４１との間で印加する。   Immediately after that, an inert gas such as argon is flowed as the second auxiliary gas 51 from the second auxiliary gas inlet 50 to apply the plasma 18 of the second auxiliary torch 39, and the switch means 45 and the switch means 48 are opened. Thus, the switch means 43 and the switch means 44 are closed and applied between the second sub torch anode 40 and the second sub jacket 41 by the high frequency of the second power source 42.

そうすると、第二副トーチ陽極４０の先端から第二副外套４１の放出口に向かって第二副起動アーク５８が形成され、これによって、副第二ガス５１が加熱され、第二副外套４１の先端の放出口よりプラズマ１８が噴出される。   Then, a second secondary starting arc 58 is formed from the tip of the second secondary torch anode 40 toward the discharge port of the second secondary jacket 41, whereby the secondary second gas 51 is heated and the second secondary jacket 41 is heated. Plasma 18 is ejected from the discharge port at the tip.

このプラズマ１８の先端は、第二副トーチ陽極４０の先端から主陰極３の陰極点に至るヘアピン状のプラズマ１８と交叉するが、このプラズマ１８は導電性であるので、この状態において、スイッチ手段４５を閉じて、スイッチ手段４４を開くと、第二副トーチ陽極４０の先端から主陰極３に至る全体としてＴ字状のプラズマ１８が形成される。   The tip of the plasma 18 intersects with the hairpin-shaped plasma 18 extending from the tip of the second auxiliary torch anode 40 to the cathode point of the main cathode 3. Since this plasma 18 is conductive, in this state, the switching means When 45 is closed and the switch means 44 is opened, a T-shaped plasma 18 is formed as a whole from the tip of the second auxiliary torch anode 40 to the main cathode 3.

この溶射材料供給手段により、いかなる高融点の溶射材料２０でも１万℃前後のプラズマ１８で直ちに高温に加熱されて溶融し、溶融粒子２１に示した如くプラズマ炎２３に同伴されながら、あまり広がらないで母材２５に向かって進行する。   By this thermal spray material supply means, any high melting point thermal spray material 20 is immediately heated to a high temperature by a plasma 18 at around 10,000 ° C. and melted. The process proceeds toward the base material 25.

この溶融粒子２１を含むプラズマ炎２３は、母材２５に及ぼす熱負荷を軽減すべく母材２５の直前で、連結管２６上に設けられたプラズマ分離手段２２によって、プラズマ１８のみが分離され、その直後に溶融粒子２１は母材２５に衝突し、溶射皮膜２４を形成する。   In the plasma flame 23 containing the molten particles 21, only the plasma 18 is separated by the plasma separation means 22 provided on the connecting pipe 26 immediately before the base material 25 in order to reduce the thermal load on the base material 25. Immediately thereafter, the molten particles 21 collide with the base material 25 to form a sprayed coating 24.

本発明の少なくとも互換性のある副トーチ２個を主トーチ軸心に対して、交叉するように対称に設けることによって、プラズマの直進性と安定化が著しく改善され、結果的に１００ｋＷ以上の高出力での溶射が可能となり、溶射量の増加はむろんのこと従来にない緻密で高品質な溶射皮膜が形成できるようになった。   By providing at least two compatible sub-torches of the present invention symmetrically so as to intersect with the main torch axis, the straightness and stability of the plasma are remarkably improved, and as a result, the high to 100 kW or higher Thermal spraying is possible at the output, and of course the increase in the amount of thermal spraying has enabled the formation of a dense and high quality thermal spray coating that has never been seen before.

本発明の第２の実施形態を図３により説明する。
図３に示したのは、プラズマガスに不活性ガスのみならず空気等の活性なガスを用いることができる一つの手段として、主トーチ１内に電極を有しないチャンバーを設けた複合トーチ型プラズマ溶射装置の主要な部分を図示したものである A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
FIG. 3 shows a composite torch type plasma in which a chamber having no electrode is provided in the main torch 1 as one means that can use not only an inert gas but also an active gas such as air as a plasma gas. The main part of the thermal spraying device is illustrated.

図３において、主陰極３は、該主陰極３の軸上に放出口を有する主外套４及び主第二外套３１と、旋回流ガス形成手段５２を有する絶縁物２７及び絶縁物２９によって同心に保持されており、前記旋回流ガス形成手段では、図２に示された如く主プラズマガス送入口５より主プラズマガス６がまずガス環状室５３へ送入され、一個の旋回流形成孔５４或いは等分に配置された複数個の旋回流形成孔５４を通って、絶縁物２７の内壁５５を旋回するように矢印５４の如く送入される。   In FIG. 3, the main cathode 3 is concentrically formed by a main mantle 4 and a main second mantle 31 having an emission port on the axis of the main cathode 3, and an insulator 27 and an insulator 29 having swirl gas forming means 52. In the swirling flow gas forming means, as shown in FIG. 2, the main plasma gas 6 is first fed into the gas annular chamber 53 from the main plasma gas inlet 5, and the swirling flow forming hole 54 or Through a plurality of swirl flow forming holes 54 that are equally arranged, the material is fed as shown by an arrow 54 so as to swivel the inner wall 55 of the insulator 27.

同様に主第二ガス３３も主第二ガス送入口３２を通って、絶縁物２９の内壁を旋回すべく送入される。主電源７の負端子は、主陰極３に接続されており、主電源７の正端子は、スイッチ手段８を介し主外套４に、スイッチ手段３４を介して主第二外套３１に接続されており、これらが全体として主トーチ１を構成している。   Similarly, the main second gas 33 is also fed through the main second gas inlet 32 to swivel the inner wall of the insulator 29. The negative terminal of the main power source 7 is connected to the main cathode 3, and the positive terminal of the main power source 7 is connected to the main mantle 4 via the switch means 8 and to the main second mantle 31 via the switch means 34. These constitute the main torch 1 as a whole.

次に、主トーチ１の中心軸、すなわち、主陰極３の中心軸と交叉するように配置された副トーチ陽極１０Ａがあり、この副トーチ陽極１０Ａを囲んで、かつ先端に放出口を有する副外套１１と、主トーチ１の絶縁物２７と同様の旋回流ガス形成手段５２を有する絶縁物２８によって同心に保持されている。   Next, there is a sub-torch anode 10A disposed so as to intersect with the central axis of the main torch 1, that is, the central axis of the main cathode 3, and the sub-torch anode 10A surrounds the sub-torch anode 10A and has a discharge port at the tip. The outer casing 11 and the insulator 28 having the swirl gas forming means 52 similar to the insulator 27 of the main torch 1 are held concentrically.

第二電源４２の正端子は、スイッチ手段４７を介して、副トーチ陽極１０Ａの正端子へ接続されており、第二電源４２の負端子は、スイッチ手段４８を介して、副外套１１に接続されており、これらが全体として副トーチ２を構成している。   The positive terminal of the second power source 42 is connected to the positive terminal of the auxiliary torch anode 10A via the switch means 47, and the negative terminal of the second power source 42 is connected to the auxiliary mantle 11 via the switch means 48. These constitute the auxiliary torch 2 as a whole.

そして、副トーチ２に対向する位置に同型の第二副トーチ３９が設けられている。この第二副トーチ３９は、副トーチ２と同様に第二副トーチ陽極４０を囲んで、かつ先端に放出口を有する第二副外套４１と、主トーチ１の絶縁物２７と同様の旋回流ガス形成手段５２を有する絶縁物４９によって同心に保持されている。   A second auxiliary torch 39 of the same type is provided at a position facing the auxiliary torch 2. Similar to the sub torch 2, the second sub torch 39 surrounds the second sub torch anode 40 and has a second sub jacket 41 having a discharge port at the tip, and a swirl flow similar to the insulator 27 of the main torch 1. It is held concentrically by an insulator 49 having gas forming means 52.

第二電源４２の正端子は、スイッチ手段４３を介して、副トーチ陽極４０の正端子へ接続されており、第二電源４２の負端子は、スイッチ手段４４を介して、第二副外套４１に接続されており、これらが全体として副トーチ３９を構成している。   The positive terminal of the second power source 42 is connected to the positive terminal of the sub torch anode 40 via the switch means 43, and the negative terminal of the second power source 42 is connected to the second sub jacket 41 via the switch means 44. These are connected to each other and constitute a sub torch 39 as a whole.

主トーチ１、副トーチ２及び第二副トーチ３９は、連結管２６で固定され、各々は容易に脱着でき、絶縁性が保たれた構造となっている。   The main torch 1, the sub torch 2 and the second sub torch 39 are fixed by the connecting pipe 26, and each has a structure that can be easily detached and kept insulative.

図３において、主プラズマガス送入口５より、主プラズマガス６としてアルゴン等の不活性ガスを流し、スイッチ手段４６及びスイッチ手段３４を開いた状態で、スイッチ手段８を閉じて、主電源７の高周波により主陰極３と主外套４との間で印加すると、主陰極３の先端から主外套４の放出口に向かって主起動アーク１６が形成され、これによって主プラズマガス６が加熱され、プラズマ１８となって主外套４の先端より放出される。   In FIG. 3, an inert gas such as argon is flowed from the main plasma gas inlet 5 as the main plasma gas 6, the switch unit 8 and the switch unit 34 are opened, the switch unit 8 is closed, and the main power source 7 is connected. When a high frequency is applied between the main cathode 3 and the main mantle 4, a main starting arc 16 is formed from the tip of the main cathode 3 toward the outlet of the main mantle 4, thereby heating the main plasma gas 6, and plasma 18 is discharged from the tip of the main mantle 4.

次にスイッチ手段３４を閉じて、スイッチ手段８を開くことによって、プラズマ１８の陽極点は主外套４から主第二外套３１へと移行し、主第二外套３１の先端より主トーチ１の外部に向かって放出される。   Next, by closing the switch means 34 and opening the switch means 8, the anode point of the plasma 18 is transferred from the main mantle 4 to the main second mantle 31, and from the tip of the main second mantle 31 to the outside of the main torch 1. Is released towards.

次にスイッチ手段４３及びスイッチ手段４４を開いた状態で、スイッチ手段４７及びスイッチ手段４８を閉じて、第二電源４２の高周波により副トーチ陽極１０Ａと副外套１１との間に印加し、かつ、副ガス送入口１２より、副ガス１３として、アルゴン等の不活性ガスを送入すると、副起動アーク１７が発生し、副外套１１の先端の放出口よりプラズマ１８が噴出される。   Next, with the switch means 43 and the switch means 44 open, the switch means 47 and the switch means 48 are closed and applied between the auxiliary torch anode 10A and the auxiliary mantle 11 by the high frequency of the second power source 42, and When an inert gas such as argon is sent as the secondary gas 13 from the secondary gas inlet 12, a secondary starting arc 17 is generated, and a plasma 18 is ejected from the discharge port at the tip of the secondary mantle 11.

このようにして主トーチ１と副トーチ２の先端から噴出される各々のプラズマ１８は、主トーチ１の中心軸と副トーチ２の中心軸が交叉するように設けられているので、その先端で交叉するが、プラズマ１８は導電性であるので、この状態において、スイッチ手段４５を閉じると同時にスイッチ手段３４を開き、かつスイッチ手段４７及びスイッチ手段４８を開くと、副トーチ陽極１０Aの先端から主陰極３の陰極点に至るヘアピン状のプラズマ１８による導電路が形成される。   Thus, each plasma 18 ejected from the tips of the main torch 1 and the sub-torch 2 is provided so that the central axis of the main torch 1 and the central axis of the sub-torch 2 cross each other. Although the plasma 18 is conductive, in this state, when the switch means 45 is closed and the switch means 34 is opened at the same time, and the switch means 47 and the switch means 48 are opened, the plasma 18 is opened from the tip of the auxiliary torch anode 10A. A conductive path is formed by the hairpin-shaped plasma 18 that reaches the cathode spot of the cathode 3.

その直後、第二副トーチ３９のプラズマ１８を印加すべく第二副ガス送入口５０より、第二副ガス５１としてアルゴン等の不活性ガスを流し、スイッチ手段４５及びスイッチ手段４８を開いた状態で、スイッチ手段４３及びスイッチ手段４４を閉じて、第二電源４２の高周波により第二副トーチ陽極４０と第二副外套４１との間で印加する。   Immediately after that, an inert gas such as argon is flowed as the second auxiliary gas 51 from the second auxiliary gas inlet 50 to apply the plasma 18 of the second auxiliary torch 39, and the switch means 45 and the switch means 48 are opened. Thus, the switch means 43 and the switch means 44 are closed and applied between the second sub torch anode 40 and the second sub jacket 41 by the high frequency of the second power source 42.

そうすると、第二副起動電極４０の先端から第二副外套４１の放出口に向かって第二副起動アークが形成される。これによって、副第二ガス５１が加熱され、第二副外套４１の先端の放出口よりプラズマ１８が噴出される。   Then, a second secondary starting arc is formed from the tip of the second secondary starting electrode 40 toward the discharge port of the second secondary jacket 41. As a result, the secondary second gas 51 is heated, and the plasma 18 is ejected from the discharge port at the tip of the secondary secondary mantle 41.

このプラズマ１８の先端は、第二副トーチ陽極４０の先端から主陰極３の陰極点に至るヘアピン状のプラズマ１８と交叉するが、このプラズマ１８は導電性であるので、この状態において、スイッチ手段４５を閉じて、スイッチ手段４４を開くと、第二副トーチ陽極４０の先端から主陰極３に至る全体としてＴ字状のプラズマ１８が形成される。   The tip of the plasma 18 intersects with the hairpin-shaped plasma 18 extending from the tip of the second auxiliary torch anode 40 to the cathode point of the main cathode 3. Since this plasma 18 is conductive, in this state, the switching means When 45 is closed and the switch means 44 is opened, a T-shaped plasma 18 is formed as a whole from the tip of the second auxiliary torch anode 40 to the main cathode 3.

この溶射材料供給手段により、いかなる高融点の溶射材料２０でも１万℃前後のプラズマ１８で直ちに高温に加熱されて溶融し、溶融粒子２１に示した如くプラズマ炎２３に同伴されながら、あまり広がらないで母材２５に向かって進行する。   By this thermal spray material supply means, any high melting point thermal spray material 20 is immediately heated to a high temperature by a plasma 18 at around 10,000 ° C. and melted. The process proceeds toward the base material 25.

この溶融粒子２１を含むプラズマ炎２３は、母材２５に及ぼす熱負荷を軽減すべく母材２５の直前で、連結管２６上に設けられたプラズマ分離手段２２によって、プラズマ１８のみが分離され、その直後に溶融粒子２１は母材２５に衝突し、溶射皮膜２４を形成する。   In the plasma flame 23 containing the molten particles 21, only the plasma 18 is separated by the plasma separation means 22 provided on the connecting pipe 26 immediately before the base material 25 in order to reduce the thermal load on the base material 25. Immediately thereafter, the molten particles 21 collide with the base material 25 to form a sprayed coating 24.

この実施形態では、プラズマガスに空気等の活性なガスを用いる手段によって、本装置で使用されるプラズマガス全体における活性ガスの比率を高くすることができ、フェライト、アルミナ、チタニア等の還元性雰囲気を極端にきらい、酸化性雰囲気において独特の高性能を発揮させることができる物質皮膜を容易に形成することができ、これはこの発明の大きな特徴である。   In this embodiment, the ratio of the active gas in the whole plasma gas used in this apparatus can be increased by means using an active gas such as air as the plasma gas, and a reducing atmosphere such as ferrite, alumina, titania, etc. Therefore, it is possible to easily form a material film that can exhibit a unique high performance in an oxidizing atmosphere, which is a great feature of the present invention.

本発明の第１の実施形態を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the 1st Embodiment of this invention. 図１のａ−ｂ線断面図である。It is the sectional view on the ab line of FIG. 本発明の第２の実施形態を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the 2nd Embodiment of this invention. 従来例を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows a prior art example.

符号の説明Explanation of symbols

１ 主トーチ
２ 副トーチ
３ 主陰極
４ 主外套
７ 主電源
１０ 副トーチ起動電極
１０Ａ 副トーチ陽極
１１ 副外套
１４ 副電源
１６ 主起動アーク
１７ 副起動アーク
１８ プラズマ
２３ プラズマ炎
３１ 主第二外套
３５ 主第二起動アーク
３６ 副第二外套
３９ 第二副トーチ
４０ 第二副トーチ陽極
４１ 第二副外套
４２ 第二電源
５２ 旋回流ガス形成手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Main torch 2 Sub torch 3 Main cathode 4 Main mantle 7 Main power supply 10 Sub torch starting electrode 10A Sub torch anode 11 Sub mantle 14 Sub power source 16 Main starting arc 17 Sub starting arc 18 Plasma 23 Plasma flame 31 Main second mantle 35 Main Second starting arc 36 Sub second mantle 39 Second sub torch 40 Second sub torch anode 41 Second sub mantle 42 Second power source 52 Swirl gas forming means

Claims (5)

陰極及び陽極並びにプラズマガス供給手段を有する、主トーチと副トーチからなる複合トーチ型プラズマ発生装置において、
前記副トーチが、前記主トーチ軸芯を中心として放射線上に複数個設けられ、
前記各副トーチの陽極は、外套により囲まれており、
該外套の先端には、狭窄口が設けられ、該狭窄口の内壁に陰極が設けられ、
前記外套の材質は、銅、又は、銀であることを特徴とする複合トーチ型プラズマ発生装置。 In a composite torch type plasma generator comprising a main torch and a sub-torch having a cathode and an anode and a plasma gas supply means,
A plurality of the sub-torches are provided on the radiation around the main torch axis;
The anode of each sub-torch is surrounded by a mantle;
A constriction opening is provided at the tip of the mantle , and a cathode is provided on the inner wall of the constriction opening ,
The material of the mantle is, copper, or a composite torch type plasma generation device according to claim Gindea Rukoto. 前記外套は、銅により形成され、表面処理されていることを特徴とする請求項１記載の複合トーチ型プラズマ発生装置。 2. The composite torch type plasma generating apparatus according to claim 1 , wherein the mantle is made of copper and surface-treated . 前記主トーチおよび前記副トーチは、使用する全てのプラズマガスを旋回せしめる旋回流送入手段を備えていることを特徴とする請求項１、又は、２記載の複合トーチ型プラズマ発生装置。 The main torch and the auxiliary torch claim 1, characterized that you have provided all the swirling flow infeed means allowed to pivot the plasma gas used, or, 2 composite torch type plasma generation device according. 前記主トーチ又は前記副トーチに、電極をもたない独立したチャンバーを設けることによって、前記プラズマガスとして活性ガスを使用できることを特徴とする請求項１、２、又は、３記載の複合トーチ型プラズマ発生装置。 In the main torch or the secondary torches, by providing a separate chamber without electrodes, according to claim 1, characterized in Rukoto available active gas as the plasma gas, or a composite torch 3, wherein Type plasma generator. 前記副トーチの陰極は、タングステンの貼り付け、又は、タングステン溶射により形成されることを特徴とする請求項１、２、３、又は、４記載の複合トーチ型プラズマ発生装置。 The cathode of the auxiliary torch, paste of tungsten or claim, characterized in Rukoto formed by tungsten spraying 1,2,3, or composite torch type plasma generation device according 4.
JP2008209552A 2008-08-18 2008-08-18 Composite torch type plasma generator Active JP5091801B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008209552A JP5091801B2 (en) 2008-08-18 2008-08-18 Composite torch type plasma generator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008209552A JP5091801B2 (en) 2008-08-18 2008-08-18 Composite torch type plasma generator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010043341A JP2010043341A (en) 2010-02-25
JP5091801B2 true JP5091801B2 (en) 2012-12-05

Family

ID=42014938

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008209552A Active JP5091801B2 (en) 2008-08-18 2008-08-18 Composite torch type plasma generator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5091801B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103492084B (en) * 2011-07-12 2016-05-25 伸和工业株式会社 Axial feed type plasma spray plating appts
JP2013101787A (en) * 2011-11-07 2013-05-23 Pset Co Ltd Plasma generator

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0622719B2 (en) * 1985-05-13 1994-03-30 小野田セメント株式会社 Multi-torch type plasma spraying method and apparatus
JPH03150341A (en) * 1989-11-07 1991-06-26 Onoda Cement Co Ltd Conjugate torch type plasma generator and plasma generating method using the same
JPH0819513B2 (en) * 1991-05-08 1996-02-28 秩父小野田株式会社 How to spray chrome
JPH05202460A (en) * 1991-07-01 1993-08-10 Onoda Cement Co Ltd Method for thermally spraying perovskite type oxide, thermal-sprayed film, solid electrolyte type fuel cell and manufacture thereof
JP3166226B2 (en) * 1991-07-10 2001-05-14 住友電気工業株式会社 Diamond production method and production equipment
JPH05339699A (en) * 1992-06-08 1993-12-21 Onoda Cement Co Ltd Plasma thermal spraying method
JP3733461B2 (en) * 2001-01-31 2006-01-11 中国電力株式会社 Composite torch type plasma generation method and apparatus
JP2006002242A (en) * 2004-06-21 2006-01-05 Ofic Co Plasma thermal spraying device

Also Published As

Publication number Publication date
JP2010043341A (en) 2010-02-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5396609B2 (en) Plasma device
JP6059337B2 (en) Plasma spraying equipment
JPS6213272A (en) Hybrid non-transfer arc plasma torch and operating method thereof
JP6403830B2 (en) Plasma torch
JPH03150341A (en) Conjugate torch type plasma generator and plasma generating method using the same
JP3733461B2 (en) Composite torch type plasma generation method and apparatus
JPH0763033B2 (en) High power plasma jet generator
CN105230131B (en) For the single-piece or multi-piece type insulating component of plasma torch and especially plasma torch and the component with the insulating component and plasma torch
JP7271489B2 (en) Energy efficient, high output plasma torch
WO1999012693A1 (en) Electrode with emissive element having conductive portions
JP6643979B2 (en) Multi-part insulating part for plasma cutting torch, and assembly having the same and plasma cutting torch
JP5091801B2 (en) Composite torch type plasma generator
JPS63154272A (en) Plasma torch
JPH04355100A (en) High enthalpy plasma torch
US3472995A (en) Electric arc torches
CN214101883U (en) Plasma torch
CN112996210A (en) Plasma torch with multiple arc channels
JPH0785992A (en) Multi-electrode plasma jet torch
JPS63154273A (en) Plasma torch
JP2012193431A (en) Plasma spraying device
JPH1128554A (en) Plasma torch and molten steel heating tundish utilizing the same
US3446902A (en) Electrode having oxygen jets to enhance performance and arc starting and stabilizing means
JP2013101787A (en) Plasma generator
CN112996211A (en) Direct current arc plasma torch applied to hazardous waste treatment
JP4804854B2 (en) Composite torch type plasma spraying equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110801

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20111215

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120124

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120302

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120904

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120914

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150921

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5091801

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250