KR20190112418A - 기판 분단 장치 - Google Patents

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KR20190112418A
KR20190112418A KR1020180034387A KR20180034387A KR20190112418A KR 20190112418 A KR20190112418 A KR 20190112418A KR 1020180034387 A KR1020180034387 A KR 1020180034387A KR 20180034387 A KR20180034387 A KR 20180034387A KR 20190112418 A KR20190112418 A KR 20190112418A
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 기판 분단 장치는, 기판의 제1 부를 지지하는 제1 플레이트; 기판의 제2 부를 지지하는 제2 플레이트; 및 제1 및 제2 플레이트에 지지된 기판을 절곡하여 기판의 제1 부 및 제2 부를 분할하도록 제2 플레이트를 제1 플레이트에 대하여 회전시키는 회전 유닛을 포함할 수 있다.

Description

기판 분단 장치{APPARATUS FOR BREAKING SUBSTRATE}
본 발명은 기판을 분단하는 기판 분단 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(이하, '기판'이라 함)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(이하, '단위 기판'이라 함)을 사용한다.
기판을 절단하는 공정은, 기판이 절단되는 기준이 되는 절단 예정선을 따라 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정과, 스크라이빙 라인을 따라 기판을 분단하는 브레이킹 공정을 포함한다.
스크라이빙 공정에서는, 다이아몬드 등의 재질로 이루어진 스크라이빙 휠을 기판에 가압하면서 이동시켜 기판에 스크라이빙 라인을 형성하거나, 레이저 빔을 기판에 조사하여 기판에 스크라이빙 라인을 형성한다.
브레이킹 공정에서는 기판에 형성된 스크라이빙 라인을 따라 기판을 가압하여 기판을 분단하며, 이에 따라, 단위 기판을 얻을 수 있다.
그러나, 종래의 브레이킹 공정은 스크라이빙 라인과 대응하는 길이를 갖는 브레이킹 부재를 기판의 상부로부터 기판을 향하여 이동시키면서 브레이킹 부재를 기판에 가압하여 기판에 충격을 가하는 과정을 통하여 수행되었기 때문에, 브레이킹 부재를 통하여 가해지는 힘에 의해 기판이 손상되는 문제가 발생할 수 있다.
대한민국 공개특허 제10-2013-0117197호
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 기판에 과도한 힘을 가하지 않고 기판을 분단함으로써, 기판의 손상을 방지하고 기판의 분단 시 파편이 발생하는 것을 방지할 수 있는 기판 분단 장치를 제공하는 데에 있다.
본 발명의 다른 목적은 기판을 정밀한 각도로 절곡시켜 기판을 분단할 수 있는 기판 분단 장치를 제공하는 데에 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 분단 장치는, 기판의 제1 부를 지지하는 제1 플레이트; 기판의 제2 부를 지지하는 제2 플레이트; 및 제1 및 제2 플레이트에 지지된 기판을 절곡하여 기판의 제1 및 제2 부를 분할하도록 제2 플레이트를 제1 플레이트에 대하여 회전시키는 회전 유닛을 포함할 수 있다.
회전 유닛은, 제2 플레이트에 연결되는 회동축; 회동축으로부터 이격되어 제2 플레이트에 결합되는 제1 슬라이딩 부재; 제1 슬라이딩 부재에 대향하도록 구비되며 제1 슬라이딩 부재와 접촉하는 제2 슬라이딩 부재; 및 제2 플레이트가 회동축을 중심으로 회전되도록 제2 슬라이딩 부재를 제1 슬라이딩 부재에 가압하는 구동 모듈을 포함할 수 있다.
제2 슬라이딩 부재에는 제2 플레이트의 회전을 제한하는 스토퍼가 구비될 수 있다.
제2 플레이트에는 탄성 부재가 연결될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 분단 장치는 제1 플레이트에 지지되는 기판의 제1 부의 지지면에 반대되는 노출면과 접촉하여 기판을 지지하는 지지 부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 분단 장치는 제1 플레이트를 제2 플레이트에 대하여 상대적으로 이동시키는 플레이트 이동 모듈을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 분단 장치에 따르면, 기판에 충격을 가하지 않고, 기판을 절곡시키는 것에 의해, 기판을 분단할 수 있으므로, 기판의 손상을 방지하고 기판의 분단 시 파편이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 분단 장치에 따르면, 제2 플레이트에 연결되는 종동절의 상하 위치가 경사 부재의 경사면에 따라 정밀하게 조절될 수 있으며, 이에 따라, 제2 플레이트의 회전 각도가 정밀하게 조절될 수 있으므로, 기판을 정밀한 각도로 절곡시켜 적절하게 분단할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 분단 장치가 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 분단 장치가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 분단 장치의 주요부가 확대되어 도시된 도면이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 분단 장치의 작동 과정이 개략적으로 도시된 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 분단 장치에 대하여 설명한다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 분단 장치에 의해 분단될 기판이 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의하고, 기판이 이송되는 방향(Y축 방향)에 교차하는 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판이 놓이는 X-Y평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 분단 장치는, 다양한 부품이 설치되는 베이스(10)와, 기판(S)의 제1 부(S1)를 지지하는 제1 플레이트(21)와, 기판(S)의 제2 부(S2)를 지지하는 제2 플레이트(22)와, 제1 및 제2 플레이트(21, 22)에 지지된 기판(S)을 절곡하여 기판(S)의 제1 부(S1) 및 제2 부(S2)를 분할하도록 제2 플레이트(22)를 제1 플레이트(21)에 대하여 회전시키는 회전 유닛(30)을 포함할 수 있다.
기판(S)의 제1 부(S1) 및 제2 부(S2)는 서로로부터 분할될 부분으로, 기판(S)의 제1 부(S1) 및 제2 부(S2)은 Y축 방향으로 배치될 수 있다. 기판(S)의 제1 부(S1) 및 제2 부(S2) 사이에는 스크라이빙 라인(L)이 X축 방향으로 미리 형성될 수 있다.
일 예로서, 스크라이빙 라인(L)은 스크라이빙 휠을 기판에 가압하면서 이동시키는 과정을 통하여 형성될 수 있다. 이 경우, 스크라이빙 라인(L)은 기판(S)의 일면에 홈 또는 크랙의 형태로 형성될 수 있다.
다른 예로서, 스크라이빙 라인(L)은 레이저 빔을 기판에 조사하는 과정을 통하여 형성될 수 있다. 이 경우, 스크라이빙 라인(L)은 기판(S)의 일면에 기판(S)의 특성이 변성된 변성된 부분으로서 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에서는, 제2 플레이트(22)가 제1 플레이트(21)에 대하여 상방으로 회전되는 구성이 제시된다. 이러한 구성에서는, 스크라이빙 라인(L)이 기판(S)의 하측면에 형성될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 않으며, 제2 플레이트(22)가 제1 플레이트(21)에 대하여 하방으로 회전되는 구성의 경우에는, 스크라이빙 라인(L)이 기판(S)의 상측면에 형성될 수 있다.
제1 플레이트(21) 및 제2 플레이트(22)가 동일한 평면을 이루는 상태에서, 기판(S)이 제1 플레이트(21)의 상면 및 제2 플레이트(22)의 상면에 안착될 수 있다. 기판(S)은 로봇, 픽커 등의 기판 이송 수단에 의해 제1 플레이트(21)의 상면 및 제2 플레이트(22)의 상면으로 이송될 수 있다.
제1 플레이트(21) 및 제2 플레이트(22)는 서로 이격되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 제1 플레이트(21) 및 제2 플레이트(22) 사이에는 X축 방향으로 연장되는 이격 공간이 형성될 수 있다. 기판(S)은 제1 플레이트(21) 및 제2 플레이트(22) 사이의 이격 공간에 스크라이빙 라인(L)이 위치되도록 배치될 수 있다.
제1 플레이트(21)는 진공원과 연결된 복수의 연통공을 구비할 수 있다. 따라서, 제1 플레이트(21)는 기판(S)의 제1 부(S1)를 흡착하도록 구성될 수 있다. 마찬가지로, 제2 플레이트(22)는 진공원과 연결되는 복수의 연통공을 구비할 수 있다. 따라서, 제2 플레이트(22)는 기판(S)의 제2 부(S2)를 흡착하도록 구성될 수 있다.
회전 유닛(30)은 기판(S)의 제2 부(S2)를 제1 부(S1)에 대하여 스크라이빙 라인(L)을 중심으로 제1 방향(도면에서 시계 방향)으로 회전시켜, 기판(S)을 제1 부(S1) 및 제2 부(S2)로 분단하는 역할을 한다.
회전 유닛(30)은, 제2 플레이트(22)에 연결되는 회동축(35)과, 제2 플레이트(22)에 결합되는 제1 슬라이딩 부재(31)와, 제1 슬라이딩 부재(31)에 대향하도록 구비되며 제1 슬라이딩 부재(31)와 접촉하는 제2 슬라이딩 부재(32)와, 제2 플레이트(22)가 회동축(35)을 중심으로 제1 방향으로 회전되도록 제2 슬라이딩 부재(32)를 제1 슬라이딩 부재(31)에 가압하는 구동 모듈(33)을 포함할 수 있다.
또한, 회동축(35)의 회전 중심(C)은 기판(S)의 제1 부(S1) 및 제2 부(S2) 사이의 스크라이빙 라인(L)으로부터 Y축 방향으로 소정의 간격(DY)으로 이격될 수 있다. 즉, 스크라이빙 라인(L)으로부터 Z축 방향으로 연장되는 가상선(YL)과 회동축(35)의 회전 중심(C)으로부터 Z축 방향으로 연장되는 가상선(YC)은 서로 Y축 방향으로 소정의 간격(DY)으로 이격될 수 있다.
회동축(35)의 회전 중심(C)은 기판(S)의 제2 부(S2)의 상측면으로부터 Z축방향으로 소정의 간격(DZ)으로 이격될 수 있다. 즉, 기판(S)의 제2 부(S2)의 제1 플레이트(21)에 지지되는 지지면에 반대되어 외부로 노출되는 노출면(도면에서의 기판(S)의 제2 부(S2)의 상측면)으로부터 Y축 방향으로 연장되는 가상선(ZS)과 회동축(35)의 회전 중심(C)으로부터 Y축으로 연장되는 가상선(ZC)은 서로 Z축 방향으로 소정의 간격(DZ)으로 이격될 수 있다.
이와 같이, 회동축(35)의 회전 중심(C)은 제1 부(S1) 및 제2 부(S2) 사이의 스크라이빙 라인(L)으로부터 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이격될 수 있다. 즉, 회동축(35)의 회전 중심(C)은 스크라이빙 라인(L)으로부터 기판(S)의 제2 부(S2)를 향하여 대각 방향으로 이격될 수 있다.
이와 같이, 회동축(35)의 회전 중심(C)이 제1 부(S1) 및 제2 부(S2) 사이의 스크라이빙 라인(L)으로부터 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이격되므로, 도 4에 도시된 바와 같이, 기판(S)이 절곡되어 스크라이빙 라인(L)으로부터 Z축 방향으로 크랙이 성장될 때, 제1 부(S1) 및 제2 부(S2)의 서로 대향하는 단부들이 서로로부터 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이격될 수 있다. 따라서, 제1 부(S1) 및 제2 부(S2)의 서로 대향하는 단부들 사이에 슬립(마찰)이 방지될 수 있다. 제1 부(S1) 및 제2 부(S2)의 서로 대향하는 단부들 사이의 슬립(마찰)이 방지될 수 있으므로, 슬립으로 인한 스크래치나 정전기 등에 제1 부(S1) 및 제2 부(S2)의 서로 대향하는 단부가 파손되는 것이 방지될 수 있으며, 기판(S)의 파손으로 인해 파편이 발생되는 것이 방지될 수 있다.
제1 슬라이딩 부재(31)는 회동축(35)으로부터 Y축 방향 및 Z축 방향으로 소정의 거리로 이격되어 제2 플레이트(22)에 결합될 수 있다. 따라서, 제1 슬라이딩 부재(31)가 제2 슬라이딩 부재(32)에 의해 가압되어 이동되는 것에 의해 제2 플레이트(22)가 회동축(35)을 중심으로 회전될 수 있다.
제2 슬라이딩 부재(32)는 구동 모듈(33)에 의해 Y축 방향으로 직선으로 이동될 수 있다. 제2 슬라이딩 부재(32)가 직선으로 이동하면서 제1 슬라이딩 부재(31)를 가압할 수 있도록, 제1 슬라이딩 부재(31)와 제2 슬라이딩 부재(32) 사이에는 제2 슬라이딩 부재(32)의 직선 운동을 제1 슬라이딩 부재(31)의 회전 운동으로 변환하는 운동 변환 수단이 구비될 수 있다.
운동 변환 수단은, 제2 슬라이딩 부재(32)에 구비되며 소정 각도의 경사면을 갖는 경사 부재(321)와, 경사 부재(321)의 경사면에 접촉되며 경사 부재(321)의 경사면에 따라 이동하면서 변위하는 종동절(311)을 포함할 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 않으며, 제1 슬라이딩 부재(31)가 경사 부재를 구비할 수 있으며, 제2 슬라이딩 부재(32)가 종동절을 구비할 수 있다. 이와 같은 구성에 따르면, 경사 부재(321)가 직선으로 이동됨에 따라 종동절(311)의 상하 위치가 변화될 수 있으며, 종동절(311)의 상하 변위에 따라 제2 플레이트(22)가 회동축(35)을 중심으로 회전될 수 있다. 따라서, 종동절(311)의 상하 위치가 경사 부재(321)의 경사면에 의해 정밀하게 조절될 수 있으며, 이에 따라, 제2 플레이트(22)의 회전 각도가 정밀하게 조절될 수 있다. 따라서, 제1 및 제2 플레이트(21, 22)에 지지된 기판(S)이 정밀한 각도로 절곡될 수 있으며, 이에 따라, 기판(S)이 적절하게 분단될 수 있다.
제2 슬라이딩 부재(32)는 구동 모듈(33)에 의해 베이스(10)에 Y축 방향으로 설치되는 가이드(34)를 따라 Y축 방향으로 직선으로 이동될 수 있다.
구동 모듈(33)은 제2 슬라이딩 부재(32)와 연결되는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로 구성될 수 있다.
한편, 제2 슬라이딩 부재(32)에는 제2 플레이트(22)의 회전을 제한하는 스토퍼(39)가 구비될 수 있다. 스토퍼(39)는 제2 슬라이딩 부재(32)로부터 제2 플레이트(22)를 향하여 돌출될 수 있다. 스토퍼(39)는 제1 플레이트(21)에 대하여 제2 플레이트(22)가 동일 평면을 유지하도록 구성될 수 있다. 즉, 제2 플레이트(22)가 회동축(35)을 중심으로 회전되지 않고 제1 플레이트(21)와 동일 평면 상에 유지될 때, 제2 플레이트(22)는 스토퍼(39)에 지지될 수 있다.
이와 같은 구성에 따르면, 제2 플레이트(22)가 제1 플레이트(21)와 동일 평면 상에 유지될 때, 제2 플레이트(22)가 스토퍼(39)에 안정적으로 지지될 수 있다. 또한, 제2 플레이트(22)가 기판(S)을 절곡하여 분단하기 위해 제1 방향으로 회전된 이후 제2 방향으로 회전되면서 원래의 위치로 복귀될 때, 제2 플레이트(22)가 제1 플레이트(21)와 동일 평면을 이루는 상태로부터 제2 방향으로 더 회전되는 것이 방지될 수 있다. 따라서, 제2 플레이트(22)의 제2 방향으로의 회전(기판(S)의 제2 방향으로의 절곡)으로 인한 기판(S)의 제1 부(S1) 및 제2 부(S2)의 서로 대향하는 단부들 사이의 슬립(마찰) 및 이로 인한 기판(S)의 손상을 방지할 수 있다.
한편, 제2 플레이트(22)에는 탄성 부재(37)가 연결될 수 있다. 탄성 부재(37)의 일단은 제2 플레이트(22)에 연결될 수 있고, 탄성 부재(37)의 타단은 베이스(10)에 연결될 수 있다. 탄성 부재(37)는 압축 코일 스프링이나 판 스프링으로 구성될 수 있다. 제2 플레이트(22)에 탄성 부재(37)가 연결되므로, 제2 플레이트(22)가 제1 방향으로 회전된 이후 다시 제2 방향으로 회전되면서 원래의 위치로 복귀될 때, 탄성 부재(37)의 탄성 복원력에 의해 제2 플레이트(22)가 원래의 위치로 원활하게 복귀될 수 있다. 아울러, 탄성 부재(37)는 제2 플레이트(22)가 회전될 때, 제2 플레이트(22)에 가해질 수 있는 충격이나 진동을 흡수할 수 있다. 따라서, 플레이트(22)에 가해질 수 있는 충격이나 진동이 기판(S)으로 전달되는 것을 방지할 수 있으며, 이에 따라, 기판(S)의 파손, 손상 또는 위치 틀어짐을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 분단 장치는, 기판(S)의 제1 부(S1)의 제1 플레이트(21)에 지지되는 지지면에 반대되는 노출면과 접촉하여 기판(S)의 제1 부(S1)를 지지하는 지지 부재(47)를 더 포함할 수 있다.
지지 부재(47)는 X축 방향(길이 방향)으로 연장되는 바 형상으로 형성될 수 있다. 지지 부재(47)는 Z축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 이에 따라, 지지 부재(47)는 기판(S)의 제1 부(S1)의 노출면과 접촉하도록 기판(S)의 제1 부(S1)를 향하여 Z축 방향으로 이동될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 분단 장치는, Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 프레임(42)과, 프레임(42)에 설치되고 지지 부재(47)에 연결되며 지지 부재(47)를 기판(S)을 향하는 방향 또는 기판(S)으로부터 이격되는 방향으로 이동시키는 승강 모듈(45)을 포함할 수 있다.
프레임(42)이 Y축 방향으로 이동될 수 있도록, 프레임(42)을 베이스(10)에 Y축 방향으로 설치되는 가이드(44)를 따라 Y축 방향으로 이동시키는 프레임 이동 모듈(43)이 구비될 수 있다.
프레임 이동 모듈(43)은 프레임(42)과 연결되는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로 구성될 수 있다.
지지 부재(47)는 프레임(42)에 설치된 승강 모듈(45)에 연결될 수 있다. 지지 부재(47)를 안정적으로 지지하여 이동시킬 수 있도록 프레임(42)에는 복수의 승강 모듈(45)이 설치될 수 있다.
승강 모듈(45)은 지지 부재(47)와 연결되는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로 구성될 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 기판(S)이 절곡되어 분할되는 과정에서, 지지 부재(47)은 기판(S)의 제1 부(S1)의 노출면과 접촉하여 기판(S)의 제1 부(S1)를 지지하는 역할을 한다. 지지 부재(47)와 접촉하는 기판(S)의 제1 부(S1)의 노출면은 기판(S)의 기능에 실질적으로 사용되지 않는 더미 부분일 수 있다.
기판(S)이 절곡되어 분할되는 과정에서, 기판(S)의 제1 부(S1)가 지지 부재(47)에 의해 지지되므로, 기판(S)이 보다 원활하게 절곡될 수 있다. 또한, 기판(S)과 제1 및 제2 플레이트(21, 22) 사이에 주변 공기가 유입되는 것이 방지될 수 있으며, 이에 따라, 기판(S)과 제1 및 제2 플레이트(21, 22) 사이의 진공 흡착력이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 기판(S)이 원활하게 분단될 수 있도록, 지지 부재(47)와 접촉되는 기판(S)의 제1 부(S1)의 부분은 스크라이빙 라인(L)이 형성되는 부분과 가깝게 위치되는 것이 바람직하다. 또한, 기판(S)이 스크라이빙 라인(L)을 중심으로 정확하게 절곡될 수 있도록, 지지 부재(47)가 접촉하는 기판(S)의 제1 부(S1)의 접촉면으로부터 Z축 방향으로 연장되는 가상선(PL)은 스크라이빙 라인(L)으로부터 Z축 방향으로 연장되는 가상선(YL)과 회동축(35)의 회전 중심(C)으로부터 Z축 방향으로 연장되는 가상선(YC) 사이에 위치되는 것이 바람직하다. 기판(S)의 제1 부(S1)에는 가상선(PL)을 따라 힘이 작용하는데, 기판(S)의 제1 부(S1)에 힘이 가해지는 작용점이 스크라이빙 라인(L)과 회동축(35)의 회전 중심(C) 사이에 위치되므로, 기판(S)이 스크라이빙 라인(L)을 중심으로 정확하게 절곡될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 분단 장치는, 제1 플레이트(21)를 제2 플레이트(22)에 대하여 상대적으로 Y축 방향으로 수평으로 이동시키는 플레이트 이동 모듈(53)을 포함할 수 있다.
플레이트 이동 모듈(53)은 제1 플레이트(21)와 연결되는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로 구성될 수 있다.
플레이트 이동 모듈(53)은 제1 플레이트(21)를 베이스(10)에 Y축 방향으로 설치되는 가이드(54)를 따라 이동시키는 역할을 한다.
제1 및 제2 플레이트(21, 22)에 안착되는 기판(S)의 종류, 크기 등의 특성, 기판(S)에 형성되는 스크라이빙 라인(L)의 폭, 형상, 깊이 등의 특성에 따라 제1 및 제2 플레이트(21, 22) 사이의 간격(이격 공간의 Y축 방향으로의 폭)이 조절될 수 있도록, 플레이트 이동 모듈(53)은 제1 플레이트(21)를 제2 플레이트(22)와 인접하는 방향 및/또는 제2 플레이트(22)로부터 이격되는 방향으로 이동시키는 역할을 한다.
또한, 제2 플레이트(22)의 회전에 의해 기판(S)이 절곡되면서 분할될 때, 플레이트 이동 모듈(53)에 의해 제1 플레이트(21)가 제2 플레이트(22)로부터 이격되게 이동될 수 있으며, 이에 따라, 기판(S)이 원활하게 분할될 수 있다.
또한, 제2 플레이트(22)의 회전에 의해 기판(S)이 분할된 이후, 플레이트 이동 모듈(53)에 의해 제1 플레이트(21)가 제2 플레이트(22)로부터 이격되게 이동될 수 있으며, 이에 따라, 기판(S)의 제1 부(S1)가 제2 부(S2)로부터 분리될 수 있다.
따라서, 플레이트 이동 모듈(53)에 의해 제1 및 제2 플레이트(21, 22) 사이의 간격이 적절하게 조절될 수 있고, 기판(S)이 원활하게 분할될 수 있으며, 분할된 기판(S)의 제1 부(S1) 및 제2 부(S2)가 원활하게 분리될 수 있다.
이하, 도 5 및 도 6을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 분단 장치의 작동 과정에 대하여 설명한다.
먼저 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 플레이트(21) 및 제2 플레이트(22)가 동일한 평면을 이루는 상태에서, 기판(S)이 기판 이송 수단에 의해 제1 플레이트(21) 및 제2 플레이트(22) 상에 안착된다. 이때, 기판(S)의 제1 부(S1)는 제1 플레이트(21)에 지지되며, 기판(S)의 제2 부(S2)는 제2 플레이트(22)에 지지된다. 그리고, 제1 부(S1) 및 제2 부(S2) 사이의 스크라이빙 라인(L)이 제1 플레이트(21) 및 제2 플레이트(22) 사이의 이격 공간에 위치된다.
이 상태에서, 제1 및 제2 플레이트(21, 22)에 진공 흡착력이 작용하여 기판(S)의 제1 부(S1) 및 제2 부(S2)가 각각 제1 및 제2 플레이트(21, 22)에 안정적으로 흡착된다.
그리고, 도 5에 도시된 바와 같이, 구동 모듈(33)에 의해 제2 슬라이딩 부재(32)가 Y축 방향으로 이동되고, 경사 부재(321)가 Y축 방향으로 이동되고, 종동절(311)이 경사 부재(321)의 경사면을 따라 Z축 방향으로 이동되며, 이에 따라, 제2 플레이트(22)가 회동축(35)을 중심으로 제1 방향으로 회전될 수 있다.
제2 플레이트(22)가 회동축(35)을 중심으로 제1 방향으로 회전됨에 따라, 기판(S)의 제2 부(S2)가 제1 부(S1)에 대해 회전되면서 기판(S)이 절곡되며, 이에 따라, 스크라이빙 라인(L)에서 크랙이 성장하면서 기판(S)이 제1 부(S1) 및 제2 부(S2)로 분단될 수 있다.
기판(S)이 분단되면, 도 6에 도시된 바와 같이. 플레이트 이동 모듈(53)에 의해 제1 플레이트(21)가 제2 플레이트(22)로부터 이격되게 이동되며, 이에 따라, 기판(S)의 제1 부(S1)가 제2 부(S2)로부터 분리될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 분단 장치에 따르면, 기판(S)에 충격을 가하지 않고, 기판(S)을 절곡시키는 것에 의해, 기판(S)을 분단할 수 있으므로, 기판(S)의 손상을 방지하고 파편이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 분단 장치에 따르면, 제2 플레이트(22)에 연결되는 종동절(311)의 상하 위치가 경사 부재(321)의 경사면에 따라 정밀하게 조절될 수 있으며, 이에 따라, 제2 플레이트(22)의 회전 각도가 정밀하게 조절될 수 있으므로, 기판(S)을 정밀한 각도로 절곡시켜 적절하게 분단할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
21: 제1 플레이트 22: 제2 플레이트
31: 제1 슬라이딩 부재 32: 제2 슬라이딩 부재
35: 회동축 47: 지지 부재

Claims (6)

  1. 기판의 제1 부를 지지하는 제1 플레이트;
    상기 기판의 제2 부를 지지하는 제2 플레이트; 및
    상기 제1 및 제2 플레이트에 지지된 상기 기판을 절곡하여 상기 기판의 제1 부 및 제2 부를 분할하도록 상기 제2 플레이트를 상기 제1 플레이트에 대하여 회전시키는 회전 유닛을 포함하는 기판 분단 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 회전 유닛은,
    상기 제2 플레이트에 연결되는 회동축;
    상기 회동축으로부터 이격되어 상기 제2 플레이트에 결합되는 제1 슬라이딩 부재;
    상기 제1 슬라이딩 부재에 대향하도록 구비되며 상기 제1 슬라이딩 부재와 접촉하는 제2 슬라이딩 부재; 및
    상기 제2 플레이트가 회동축을 중심으로 회전되도록 상기 제2 슬라이딩 부재를 상기 제1 슬라이딩 부재에 가압하는 구동 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 분단 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제2 슬라이딩 부재에는 상기 제2 플레이트의 회전을 제한하는 스토퍼가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 분단 장치.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 제2 플레이트에는 탄성 부재가 연결되는 것을 특징으로 하는 기판 분단 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 플레이트에 지지되는 상기 기판의 제1 부의 지지면에 반대되는 노출면과 접촉하여 상기 기판을 지지하는 지지 부재를 더 포함하는 기판 분단 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 플레이트를 상기 제2 플레이트에 대하여 이동시키는 플레이트 이동 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 분단 장치.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200122741A (ko) * 2019-04-19 2020-10-28 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) 스테이지 경사 조절 장치 및 이를 이용하는 기판 분단 장치

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004223797A (ja) * 2003-01-21 2004-08-12 Kyoto Seisakusho Co Ltd 脆性材料の切断加工方法および切断加工装置
JP2009101692A (ja) * 2001-06-28 2009-05-14 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd ブレイク装置、ブレイク方法及びマザー貼合基板の分断システム
JP5228852B2 (ja) * 2008-12-01 2013-07-03 セイコーエプソン株式会社 基板の分割方法および基板の分割装置
KR20130117197A (ko) 2012-04-18 2013-10-25 주식회사 탑 엔지니어링 브레이킹 유닛 및 이를 갖는 스크라이브 장치
KR200482040Y1 (ko) * 2014-07-17 2016-12-08 가부시키가이샤 시라이텍크 패널의 절단장치
KR101749087B1 (ko) * 2016-05-10 2017-06-21 주식회사 엘아이에스 기판 절단장치

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009101692A (ja) * 2001-06-28 2009-05-14 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd ブレイク装置、ブレイク方法及びマザー貼合基板の分断システム
JP2004223797A (ja) * 2003-01-21 2004-08-12 Kyoto Seisakusho Co Ltd 脆性材料の切断加工方法および切断加工装置
JP5228852B2 (ja) * 2008-12-01 2013-07-03 セイコーエプソン株式会社 基板の分割方法および基板の分割装置
KR20130117197A (ko) 2012-04-18 2013-10-25 주식회사 탑 엔지니어링 브레이킹 유닛 및 이를 갖는 스크라이브 장치
KR200482040Y1 (ko) * 2014-07-17 2016-12-08 가부시키가이샤 시라이텍크 패널의 절단장치
KR101749087B1 (ko) * 2016-05-10 2017-06-21 주식회사 엘아이에스 기판 절단장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200122741A (ko) * 2019-04-19 2020-10-28 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) 스테이지 경사 조절 장치 및 이를 이용하는 기판 분단 장치

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