KR20190079885A - 증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 평탄도 유지가 용이한 샤프트 커플링의 결합구조 - Google Patents

증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 평탄도 유지가 용이한 샤프트 커플링의 결합구조 Download PDF

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Abstract

본 발명은 증착막 두께 측정 모듈에서 다수개의 QCM센서가 설치되는 캐로셀로 회전력을 전달시키는 샤프트 커플링의 결합구조에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공증착기에서 QCM센서를 이용하여 증착막의 두께를 측정하는 증착막 두께 측정 모듈에 있어서, 방사상으로 QCM센서가 설치되는 캐로셀과, 상기 캐로셀의 하부에 설치되는 피드스루 커넥터와, 상기 캐로셀과 상기 피드스루간을 연결시키는 샤프트 커플링을 포함하되, 상기 샤프트 커플링의 하단부에는 외부로 돌출된 삽입돌기가 형성되고, 상기 피드스루 커넥터의 상단부에는 상기 삽입돌기가 삽입되는 고정안내부가 형성되어, 상기 샤프트 커플링이 상기 피드스루 커넥터에 직결된다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 캐로셀과 피드스루 커넥터 사이에 개재된 샤프트 커플링의 하단부가 피드스루 커넥터의 상단부에 직결되도록 하여 작업자가 별도의 볼트를 이용하여 고정할 필요가 없어 작업성이 매우 우수하며, 특히 샤프트 커플링의 외연에 양측으로 형성된 삽입돌기가 피드스루 커넥터의 상단부 양측에 각각 형성된 고정안내부를 따라 평탄도가 유지되는 상태에서 샤프트 커플링을 회전시켜 체결되도록 하여 체결에 따른 평탄도 유지가 가능하여, 측정 정밀도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 평탄도 유지가 용이한 샤프트 커플링의 결합구조{Combination structure of shaft coupling to easy maintain the Flatness by deposition film thickness measuring module}
본 발명은 증착막 두께 측정 모듈에서 다수개의 QCM센서가 설치되는 캐로셀로 회전력을 전달시키는 샤프트 커플링의 결합구조에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 캐로셀과 피드스루 커넥터 커넥터 사이에 개재된 커플링의 하단부가 피드스루 커넥터 커넥터의 상단부에 직결되도록 하여 별도의 볼트를 이용한 고정작업 없이 평탄도 유지가 용이하도록 하는 커플링의 결합구조에 관한 것이다.
반도체 공정에서 주로 사용되는 진공증착은 알루미늄과 같은 금속재료와, 산화물, 황화물, 질화물 같은 유전체와, 금, 은, 백금, 팔라듐과 같은 귀금속 또는 희토류 등의 소오스를 반도체 기판위에 도포하는데 사용된다.
이러한 소오스는 기재(substrate)에 증착될 때 최종적으로 필요로 하는 요구조건을 충족시키기 위해 증착되는 두께가 정확히 조절되어야만 한다. 따라서, 진공증착을 진행하는 동안에 증착되는 재료의 두께를 정확히 측정할 필요가 있다.
이와 같은 증착재료의 실시간 제어를 위해, 현재 통상적으로 QCM(Quarts Crystal Micorbalance) 센서를 사용하는 증착막 두께 측정 모듈을 사용하고 있다.
증착막 두께 측정 모듈에서 사용되는 석영(QC)은 고유한 공진주파수를 가지고 있고, 외부 요인에 의해 그 무게가 변하게 되면 공진주파수 또한 변하게 된다. 이와 같이 무게에 따라 변하는 공진주파수를 기반으로 증착되는 재료의 두께를 측정할 수 있게 된다.
증착막 두께 측정 모듈은 도 1에 도시된 바와 같이, 진공챔버(1) 내에서 타겟(기재) 근처에 위치하게 된다. 먼저 소오스(S)가 열에 의해 증발되면, 셔터(2)를 개방하고 그러면 증발된 소오스가 타겟(T)에 증착되는 한편 증착막 두께 측정 모듈에서 증착된다.
증착막 두께 측정 모듈에서 원하는 목표값, 즉 원하는 두께를 측정하게 되면 셔터를 폐쇄하여 증발된 소오스가 더 이상 타겟에 증착되지 않게 함으로써, 기재에 증착되는 소오스의 두께를 정확하게 제어할 수 있게 된다.
이러한 증착막 두께 측정 모듈은 방사상으로 QCM 센서가 다수개 설치되는 캐로셀과, 캐로셀의 하부에 설치되어 캐로셀을 일정 반경으로 회전시키기 위해 하부에 결합되는 피드스루 커넥터 커넥터(Feedthrough connector), 캐로셀을 내측에 수용하고 상부에 윈도우가 형성된 상부커버를 포함하여 윈도우를 통해 QMC 센서가 진고챔버 내측으로 노출되도록 한다.
이와 같이 형성된 증착막 두께 측정 모듈은 선택된 하나의 QCM 센서가 윈도우를 통해 증발된 소오스에 노출되며, 한 작업이 완료된 후 새로운 QCM 센서를 사용할 필요가 있게 되면, 캐로셀을 일정 반경만큼 회전시켜 사용된 QMC 센서의 인접한 다른 QMC 센서가 윈도우를 통해 노출되도록 하여, 캐로셀을 회전시키면서 순차적으로 QMC 센서를 사용하게 된다.
이러한 캐로셀은 동력을 전달시키는 샤프트 커플링(Shaft coupling)에 의해 피드스루 커넥터 커넥터와 연결되는데, 샤프트 커플링과의 결합불량 또는 커플링의 제조공차 및 장기간 사용에 따른 마모 등에 의해 동력전달이 원활하지 않게 된다.
특히, 캐로셀의 하부에 연결되는 샤프트 커플링은 피드스루 커넥터 커넥터에 누드 볼트(nude bolt)에 의해 고정되어, 작업자의 작업숙련도에 의해 샤프트 커플링의 평탄도가 변하게 되어 상부에 배치되는 캐로셀이 평탄하게 배치되지 못하고 일정 각도로 경사지게 되어 정밀한 두께 측정이 이루어지지 않게 되는 문제점이 발생된다.
또한, 이러한 샤프트 커플링은 평탄도를 맞추기 위해 피드스루 커넥터 커넥터에 3방향으로 누드 볼트를 고정하게 되어, 작업성이 떨어지며 탈착이 매우 어려운 실정이다.
따라서, 이러한 종래 샤프트 커플링과 피드스루 커넥터 커넥터간의 고정시 평탄도가 정확하지 않아 증착면의 정밀한 두께 측정이 불리한 점을 극복하고 샤프트 커플링과 피드스루 커넥터 커넥터간의 고정이 용이하도록 하며, 특히 고정시 평탄도가 유지될 수 있도록 하는 샤프트 커플링의 결합구조에 대한 요구가 높아지고 있는 실정이다.
한국공개특허 제 1996-0034977호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 샤프트 커플링의 하단부가 피드스루 커넥터 커넥터의 상단부에 직결되도록 하여 별도의 볼트체결 없이 고정작업이 매우 용이하며, 직결과 함께 평탄도가 유지되도록 하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 진공증착기에서 QCM센서를 이용하여 증착막의 두께를 측정하는 증착막 두께 측정 모듈에 있어서, 방사상으로 QCM센서가 설치되는 캐로셀과, 상기 캐로셀의 하부에 설치되는 피드스루 커넥터와, 상기 캐로셀과 상기 피드스루간을 연결시키는 샤프트 커플링을 포함하되, 상기 샤프트 커플링의 하단부에는 외부로 돌출된 삽입돌기가 형성되고, 상기 피드스루 커넥터의 상단부에는 상기 삽입돌기가 삽입되는 고정안내부가 형성되어, 상기 샤프트 커플링이 상기 피드스루 커넥터에 직결된다.
아울러, 상기 샤프트 커플링의 하단부에는 외연을 따라 상호 대향되는 방향에 삽입돌기가 각각 형성된다.
또한, 상기 고정안내부는 상기 피드스루 커넥터의 외연을 따라 일정 반경으로 절개형성되는 안내공을 포함한다.
여기서 상기 안내공은 일정길이로 형성되되, 상기 피드스루 커넥터의 길이방향을 따라 일단에서 타단으로 향할수록 하방으로 경사지도록 형성된다.
아울러, 상기 피드스루 커넥터의 상단부 내측에는 상기 삽입돌기가 삽입되는 안내홈이 상기 안내공으로 연장형성된다.
또한, 상기 안내공은 타단부에는 상기 삽입돌기가 고정되는 고정홈부가 형성된다.
여기서, 상기 고정홈부는 상기 안내공의 폭보다 더 큰 폭으로 형성된다.
더욱이, 상기 안내공과 상기 고정홈부 사이에는 상기 피드스루 커넥터의 길이방향과 직교되는 방향으로 일정길이로 형성되어 상기 삽입돌기가 상기 안내공측으로 가이드되는 평탄안내로드가 더 형성된다.
아울러, 상기 샤프트 커플링의 상면에는 상기 피드스루 커넥터의 축방향과 대응되는 방향으로 돌출된 고정핀이 적어도 하나 이상 형성되고, 상기 캐로셀에는 상기 고정핀과 대응되는 위치에 상기 고정핀이 삽입되는 삽입공이 형성된다.
여기서, 상기 샤프트 커플링은 원통형상으로 중심부에 상방으로 돌출형성되는 돌출부가 형성되고, 상기 돌출부의 중심에는 체결공이 형성된다.
더욱이, 상기 샤프트 커플링의 돌출부 외연을 따라 단을 이루는 접촉면이 형성되고, 상기 접촉면 상에 상기 고정핀이 복수개 형성된다.
아울러, 상기 캐로셀은 원판 형상으로 상기 피드스루 커넥터에 연결되어 회전되는 상부 회전판과, 상기 상부 회전판의 하부에 결합되는 하부 고정판을 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 상부 회전판은 방사상으로 상기 QCM센서가 설치되는 설치공이 형성되며, 하부에는 상기 샤프트 커플링의 접촉면과 대응되는 밀착면이 돌출형성되고, 중심부에는 상기 샤프트 커플링의 돌출부가 밀착삽입되기 위한 밀착삽입홈부가 마련되고, 상기 밀착면 상에 상기 고정핀이 삽입되는 삽입공이 형성된다.
또한, 상기 하부 고정판은 원판 형상으로 표면에는 상기 각 설치공에 각각 대응되는 볼트체결공이 형성되며, 중심부에는 상기 샤프트 커플링이 삽입되기 위한 관통공이 형성된다.
아울러, 상기 캐로셀의 상부를 커버하도록 내측 수용공간이 형성되는 상부커버를 더 포함하되, 상기 상부커버는 상기 증착막 두께 측정 모듈의 일측에 고정결합되며, 상부 일측에는 상기 QCM센서와 대응되는 크기의 윈도우가 상기 QCM센서가 설치되는 원호상에 형성되어, 상기 피드스루 커넥터를 일정 반경으로 회전시키면서 상기 캐로셀에 설치된 QCM센서가 상기 윈도우를 통해 순차적으로 노출된다.
더욱이, 상기 QMC센서는 상면에 설치되는 수정 발진자와, 상기 수정 발진자의 하부에 배치되는 핑거스프링과, 상기 핑거스프링과 수정발진자를 고정시키는 고정블럭을 포함하여, 상기 하부 고정판의 하부 볼트 체결공으로 상기 고정블럭이 삽입된다.
아울러, 상기 접촉면 상에 일정 간격으로 제1, 제2 고정핀이 각각 형성되고, 상기 제1, 제2 고정핀이 이루는 간격보다 더 먼 거리에서 제3 고정핀이 형성된다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 캐로셀과 피드스루 커넥터 사이에 개재된 샤프트 커플링의 하단부가 피드스루 커넥터의 상단부에 직결되도록 하여 작업자가 별도의 볼트를 이용하여 고정할 필요가 없어 작업성이 매우 우수하며, 특히 샤프트 커플링의 외연에 양측으로 형성된 삽입돌기가 피드스루 커넥터의 상단부 양측에 각각 형성된 고정안내부를 따라 평탄도가 유지되는 상태에서 샤프트 커플링을 회전시켜 체결되도록 하여 체결에 따른 평탄도 유지가 가능하여, 측정 정밀도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래 증착막 두께 측정 모듈의 구성을 간단하게 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈을 나타낸 분해사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈을 나타낸 평면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 캐로셀 상부에 QMC 센서가 안착되는 상태를 나타낸 분해사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈에서의 샤프트 커플링의 결합구조를 나타낸 측단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 샤프트 커플링의 결합구조를 나타내기 위해 피드스루 커넥터 커넥터에서 분리된 상태를 나타낸 일부 분해 사시도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 피드스루 커넥터의 측면구조를 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명에 따른 샤프트 커플링이 캐로셀의 상부 회전판에서 분리된 상태를 나타낸 일부 분해 사시도이다.
도 9는 본 발명에 따른 샤프트 커플링의 구조를 나타낸 도면이다.
도 10은 본 발명에 따른 샤프트 커플링의 다른 구조를 나타낸 도면이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈을 나타낸 분해사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈을 나타낸 평면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 캐로셀 상부에 QMC 센서가 안착되는 상태를 나타낸 분해사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈에서의 샤프트 커플링의 결합구조를 나타낸 측단면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 샤프트 커플링의 결합구조를 나타내기 위해 피드스루 커넥터 커넥터에서 분리된 상태를 나타낸 일부 분해 사시도이다.
도면을 참조하면, 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈은 내측에 캐로셀(200)이 수납되며 상부면에 윈도우(110)가 형성되는 상부커버(100)와, 상부커버(100) 내측에 수납되며 방사상으로 QCM센서(240)가 설치되는 캐로셀(200)과, 캐로셀(200)의 하부에 설치되어 캐로셀(200)을 일정 반경으로 회전시키는 피드스루 커넥터(400)와, 캐로셀(200)과 피드스루 커넥터(400) 간에 축결합되어 피드스루 커넥터(400)의 회전력을 캐로셀(200)로 전달시키는 샤프트 커플링(300)를 포함하여 구성된다.
상부커버(100)는 캐로셀(200)의 상부를 커버하도록 내측 수용공(501)간이 형성되어 증착막 두께 측정 모듈의 일측에 고정결합되며, 상부 일측면에는 QCM센서(240)와 대응되는 크기의 윈도우(110)가 형성된다. 여기서 상부커버(100)에 형성되는 윈도우(110)는 캐로셀(200)에 방사상으로 설치되는 QCM센서(240)와 동일한 원호상에 형성되어, 캐로셀(200)이 피드스루 커넥터(400)의 회전에 의해 일정 반경으로 회전되면 윈도우(110)를 통해 QCM센서(240)가 순차적으로 노출된다.
캐로셀(200)은 원판 형상으로 하부에 후술될 샤프트 커플링(300)의 돌출부(301)에 대응되는 홈부(201)가 형성되어 돌출부(301)가 홈부(201)로 삽입되고, 홈부(201)상에는 상하로 관통된 체결공(202)이 형성되어, 하단부에 결합부(211)가 형성되는 고정캡(210)이 캐로셀(200)의 체결공(202)에서 샤프트 커플링(300)의 체결공(302)으로 관통결합된다. 여기서 고정캡(210)은 하방으로 연장되는 결합부(211)가 형성되고, 결합부(211)의 상단부에는 원판 형상의 고정플레이트(212)가 일체로 형성된다.
상기와 같은 캐로셀(200)에 대해 더욱 자세히 설명하자면, 캐로셀(200)은 피드스루 커넥터(400)에 연결되어 회전되는 상부 회전판(220)과, 상부 회전판(220)의 하부에 결합되는 하부 고정판(230)을 포함하여 구성된다.
상부 회전판(220)은 방사상으로 QCM센서(240)가 설치되는 설치공(221)이 형성되며, 하부에는 후술될 샤프트 커플링(300)의 접촉면(303)과 대응되는 밀착면(222)이 돌출형성되고, 중심부에는 샤프트 커플링(300)의 돌출부(301)가 밀착삽입되기 위한 밀착삽입홈부(223)가 마련되고, 밀착면(222) 상에 고정핀(310)이 삽입되는 삽입공(224)이 형성된다.
하부 고정판(230)은 원판 형상으로 표면에는 각 설치공(221)에 각각 대응되는 볼트체결공(231)이 형성되며, 중심부에는 샤프트 커플링(300)가 삽입되기 위한 관통공(232)이 형성된다.
아울러, QCM센서(240)는 상면에 설치되는 수정 발진자(241)와, 수정 발진자(241)의 하부에 배치되는 핑거스프링(242)과, 핑거스프링(242)과 수정발진자를 고정시키는 고정블럭(243)을 포함하여, 하부 고정판(230)의 하부 볼트체결공(231)으로 고정블럭(243)이 삽입된다.
샤프트 커플링(300)은 하단부에 외부로 돌출된 삽입돌기(320)가 형성되고, 피드스루 커넥터(400)의 상단부에는 삽입돌기(320)가 삽입되는 고정안내부(410)가 형성되어, 샤프트 커플링(300)의 삽입돌기(320)가 피드스루 커넥터(400)의 고정안내부(410)에 직결된다.
이러한 직결체결 구조에 대해 더욱 자세히 설명하자면, 도 6에서와 같이 샤프트 커플링(300)의 하단부 외연에는 외부로 돌출된 삽입돌기(320)가 형성되는데, 이러한 삽입돌기(320)는 샤프트 커플링(300)의 외연을 따라 상호 대향되는 방향에 각각 형성되고, 피드스루 커넥터(400)의 상단부에는 삽입돌기(320)가 삽입되는 고정안내부(410)가 형성되어, 이러한 고정안내부(410)에 삽입돌기(320)가 길이방향을 따라 회전되면서 직접 체결되도록 한다.
여기서 고정안내부(410)는 피드스루 커넥터(400)의 외연을 따라 일정 반경으로 절개형성되는 안내공(411)을 포함하며, 이러한 안내공(411)은 일정길이로 형성되되, 피드스루 커넥터(400)의 길이방향을 따라 일단에서 타단으로 향할수록 하방으로 경사지도록 형성된다.
아울러, 피드스루 커넥터(400)의 상단부 내측에는 삽입돌기(320)가 삽입되는 안내홈(412)이 안내공(411)으로 연장형성되고, 안내공(411)의 타단부에는 삽입돌기(320)가 고정되는 고정홈부(413)가 형성되는데, 이러한 고정홈부(413)는 안내공(411)의 폭보다 더 큰 폭으로 형성된다.
이와 같은 구성에 의해, 작업자는 샤프트 커플링(300)의 하부에 피드스루 커넥터(400)를 위치시키고 샤프트 커플링(300)의 하단 양측에 대향되는 방향에 돌출된 삽입돌기(320)를 피드스루 커넥터(400)의 각 안내홈(412)에 맞춘 다음, 삽입돌기(320)를 안내홈(412)의 하방으로 끼우고, 안내홈(412)에서 연장된 안내공(411)을 따라 샤프트 커플링(300)을 회전시켜 삽입돌기(320)가 고정홈부(413)에 끼워지도록 한다.
이러한 동작에 의해 샤프트 커플링(300)을 간단하게 피드스루 커넥터(400)에 결합시킬 수 있어, 다른 결합수단이 필요치 않고 단순히 삽입돌기(320)를 끼워 회전시키는 동작만으로 용이하게 고정시킬 수 있어 작업성이 뛰어나다.
특히, 샤프트 커플링(300)의 양측에 형성된 2개의 삽입돌기(320)가 기설정된 안내공(411)의 경사를 따라 평탄도가 흐트러지지 않은 상태로 삽입돌기(320)가 회전되어 최종적으로 고정홈부(413) 상에 고정되도록 하여, 작업자와 전혀 상관없이 평탄도를 유지하기에 매우 용이하다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 피드스루 커넥터의 측면구조를 나타낸 도면으로, 도면을 참조하면, 안내공(411)과 고정홈부(413) 사이에는 피드스루 커넥터(400)의 길이방향과 직교되는 방향으로 일정길이로 형성되어 삽입돌기(320)가 고정홈부(413) 측으로 가이드되도록 하는 평탄안내로드(414)가 더 형성되어, 수평방향으로 정확하게 삽입돌기(320)가 이동되면서 고정홈부(413) 측으로 삽입되도록 한다.
상기에서와 같이 샤프트 커플링(300)은 하부에 결합되는 피드스루 커넥터(400) 뿐만 아니라 상부에 연결되는 캐로셀(200)과의 결합이 안정적이지 못할 경우에도 평탄도가 틀어질 수 있으며, 또한 피드스루 커넥터(400)와 함께 일체로 회전되지 않아 윈도우(110) 상으로 QCM센서가 정위치에 틀어져 두께값 측정 정밀도가 떨어지게 된다.
이에 본 발명에서는 샤프트 커플링(300) 상부에 고정핀(310)을 형성시켜 캐로셀(200)과의 지지력을 향상시키도록 할 수 있다.
도 8은 본 발명에 따른 샤프트 커플링이 캐로셀의 상부 회전판에서 분리된 상태를 나타낸 일부 분해 사시도이고, 도 9는 본 발명에 따른 샤프트 커플링의 구조를 나타낸 도면이고, 도 10은 본 발명에 따른 샤프트 커플링의 다른 구조를 나타낸 도면이다.
도면을 참조하면, 샤프트 커플링(300)의 상면에는 피드스루 커넥터(400)의 축방향과 대응되는 방향으로 돌출된 고정핀(310)이 적어도 하나 이상 형성되는데, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 샤프트 커플링(300)은 원통형상으로 중심부에 상방으로 돌출형성되는 돌출부(301)가 형성되고, 돌출부(301)의 중심에는 체결공(302)이 형성되며, 돌출부(301)의 외연을 따라 단을 이루는 접촉면(303)이 형성되고, 접촉면(303) 상에 고정핀(310)이 방사상으로 복수개 형성되는데, 도면에서는 일정 간격을 두고 2개의 고정핀(310)이 형성된다. 아울러 샤프트 커플링(300)의 하단부에는 피드스루 커넥터(400)와 고정결합되어 피드스루 커넥터(400)의 회전력이 샤프트 커플링(300)를 통해 캐로셀(200)로 전달되도록 한다.
본 발명의 일실시예에서는 샤프트 커플링(300)의 고정핀(310)이 캐로셀(200)에 삽입되어 고정핀(310)의 고정력에 의해 캐로셀(200)이 샤프트 커플링(300)와 일체로 회전하게 된다. 이러한 샤프트 커플링(300)의 고정핀(310)은 캐로셀(200)의 안정적인 지지를 위해 다수개로 설치될 수 있다.
아울러, 도 10을 통해 본 발명에 따른 샤프트 커플링(300)의 다른 구조를 살펴보면 접촉면(303) 상에 인접한 거리에서 일정 간격으로 제1, 제2 고정핀(311, 312)이 각각 형성되고, 제1, 제2 고정핀(311, 312)이 이루는 간격보다 더 먼 거리 즉, 제1, 제2 고정핀(311, 312)의 반대방향에 제3 고정핀(313)이 형성되어, 캐로셀(200)의 중심부에서 양측으로 고정핀(310)에 의해 안정적으로 지지된다.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허등록청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.
100 : 상부커버 110 : 윈도우
200 : 캐로셀 201 : 홈부
202 : 체결공 210 : 고정캡
211 : 결합부 212 : 고정플레이트
220 : 상부 회전판 221 : 설치공
222 : 밀착면 223 : 밀착삽입홈부
224 : 삽입공
230 : 하부 고정판 231 : 볼트체결공
232 : 관통공
240 : QCM센서 241 : 수정 발진자
242 : 핑거스프링 243 : 고정블럭
300 : 샤프트 커플링 310 : 고정핀
311 : 제1 고정핀 312 : 제2 고정핀
313 : 제3 고정핀 320 : 삽입돌기
301 : 돌출부 302 : 체결공
303 : 접촉면
400 : 피드스루 커넥터 410 : 고정안내부
411 : 안내공 412 : 안내홈
413 : 고정홈부 414 : 평탄안내로드

Claims (17)

  1. 진공증착기에서 QCM센서를 이용하여 증착막의 두께를 측정하는 증착막 두께 측정 모듈에 있어서,
    방사상으로 QCM센서가 설치되는 캐로셀과, 상기 캐로셀의 하부에 설치되는 피드스루 커넥터와, 상기 캐로셀과 상기 피드스루간을 연결시키는 샤프트 커플링을 포함하되,
    상기 샤프트 커플링의 하단부에는 외부로 돌출된 삽입돌기가 형성되고, 상기 피드스루 커넥터의 상단부에는 상기 삽입돌기가 삽입되는 고정안내부가 형성되어, 상기 샤프트 커플링이 상기 피드스루 커넥터에 직결되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 평탄도 유지가 용이한 샤프트 커플링의 결합구조.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 샤프트 커플링의 하단부에는 외연을 따라 상호 대향되는 방향에 삽입돌기가 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 평탄도 유지가 용이한 샤프트 커플링의 결합구조.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 고정안내부는 상기 피드스루 커넥터의 외연을 따라 일정 반경으로 절개형성되는 안내공을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 평탄도 유지가 용이한 샤프트 커플링의 결합구조.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 안내공은 일정길이로 형성되되, 상기 피드스루 커넥터의 길이방향을 따라 일단에서 타단으로 향할수록 하방으로 경사진 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 평탄도 유지가 용이한 샤프트 커플링의 결합구조.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 피드스루 커넥터의 상단부 내측에는 상기 삽입돌기가 삽입되는 안내홈이 상기 안내공으로 연장형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 평탄도 유지가 용이한 샤프트 커플링의 결합구조.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 안내공은 타단부에는 상기 삽입돌기가 고정되는 고정홈부가 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 평탄도 유지가 용이한 샤프트 커플링의 결합구조.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 고정홈부는 상기 안내공의 폭보다 더 큰 폭으로 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 평탄도 유지가 용이한 샤프트 커플링의 결합구조.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 안내공과 상기 고정홈부 사이에는 상기 피드스루 커넥터의 길이방향과 직교되는 방향으로 일정길이로 형성되어 상기 삽입돌기가 상기 안내공측으로 가이드되는 평탄안내로드가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 평탄도 유지가 용이한 샤프트 커플링의 결합구조.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 샤프트 커플링의 상면에는 상기 피드스루 커넥터의 축방향과 대응되는 방향으로 돌출된 고정핀이 적어도 하나 이상 형성되고, 상기 캐로셀에는 상기 고정핀과 대응되는 위치에 상기 고정핀이 삽입되는 삽입공이 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 평탄도 유지가 용이한 샤프트 커플링의 결합구조.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 샤프트 커플링은 원통형상으로 중심부에 상방으로 돌출형성되는 돌출부가 형성되고, 상기 돌출부의 중심에는 체결공이 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 평탄도 유지가 용이한 샤프트 커플링의 결합구조.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 샤프트 커플링의 돌출부 외연을 따라 단을 이루는 접촉면이 형성되고, 상기 접촉면 상에 상기 고정핀이 복수개 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 평탄도 유지가 용이한 샤프트 커플링의 결합구조.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 캐로셀은 원판 형상으로 상기 피드스루 커넥터에 연결되어 회전되는 상부 회전판과, 상기 상부 회전판의 하부에 결합되는 하부 고정판을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 평탄도 유지가 용이한 샤프트 커플링의 결합구조.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 상부 회전판은
    방사상으로 상기 QCM센서가 설치되는 설치공이 형성되며, 하부에는 상기 샤프트 커플링의 접촉면과 대응되는 밀착면이 돌출형성되고, 중심부에는 상기 샤프트 커플링의 돌출부가 밀착삽입되기 위한 밀착삽입홈부가 마련되고, 상기 밀착면 상에 상기 고정핀이 삽입되는 삽입공이 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 평탄도 유지가 용이한 샤프트 커플링의 결합구조.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 하부 고정판은
    원판 형상으로 표면에는 상기 각 설치공에 각각 대응되는 볼트체결공이 형성되며, 중심부에는 상기 샤프트 커플링이 삽입되기 위한 관통공이 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 평탄도 유지가 용이한 샤프트 커플링의 결합구조.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 캐로셀의 상부를 커버하도록 내측 수용공간이 형성되는 상부커버를 더 포함하되,
    상기 상부커버는 상기 증착막 두께 측정 모듈의 일측에 고정결합되며, 상부 일측에는 상기 QCM센서와 대응되는 크기의 윈도우가 상기 QCM센서가 설치되는 원호상에 형성되어, 상기 피드스루 커넥터를 일정 반경으로 회전시키면서 상기 캐로셀에 설치된 QCM센서가 상기 윈도우를 통해 순차적으로 노출되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 평탄도 유지가 용이한 샤프트 커플링의 결합구조.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 QMC센서는 상면에 설치되는 수정 발진자와, 상기 수정 발진자의 하부에 배치되는 핑거스프링과, 상기 핑거스프링과 수정발진자를 고정시키는 고정블럭을 포함하여, 상기 하부 고정판의 하부 볼트 체결공으로 상기 고정블럭이 삽입되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 평탄도 유지가 용이한 샤프트 커플링의 결합구조.
  17. 제 8항에 있어서,
    상기 접촉면 상에 일정 간격으로 제1, 제2 고정핀이 각각 형성되고, 상기 제1, 제2 고정핀이 이루는 간격보다 더 먼 거리에서 제3 고정핀이 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 평탄도 유지가 용이한 샤프트 커플링의 결합구조.
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