KR20190052234A - Vapor deposition system for optical fiber preform - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a system for depositing an optical fiber base material, capable of greatly improving the productivity and quality of an optical fiber base material. The system comprises: a deposition chamber having a receiving space formed therein; a core rod installed to be rotated inside the deposition chamber; a burner device including a plurality of burners; and a gasification device for supplying generated raw gas to the burner.

Description

광섬유 모재 증착 시스템{Vapor deposition system for optical fiber preform}Technical Field [0001] The present invention relates to a vapor deposition system for an optical fiber preform,

본 발명은 광섬유 모재 증착 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기존 염소가 포함된 원료물질의 사용에 따른 제반 문제점을 해결하기 위해 대체된 염소가 포함되지 않은 원료물질의 기화점이 높아 기화장치 내에서 원료물질의 기화로 생성된 원료가스가 버너장치로 공급되는 공급라인 상에서 응축되는 문제점을 해결함과 아울러 기화장치로부터 버너장치로 공급되는 원료가스의 양을 보다 정밀하게 제어할 수 있는 구조를 제공하는 광섬유 모재 증착 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to an optical fiber parent material vapor deposition system, and more particularly, to an optical fiber parent material vapor deposition system in which a raw material containing no chlorine is substituted with a high vaporization point to solve various problems associated with the use of a raw material containing chlorine, There is a problem that the raw material gas generated by the vaporization of the material is condensed on the supply line supplied to the burner apparatus and the optical fiber which provides a structure capable of more precisely controlling the amount of the raw material gas supplied from the vaporizer to the burner apparatus To a substrate material deposition system.

일반적으로 광섬유는 중간재인 원기둥 형상의 코어와, 상기 코어의 주변을 둘러싸는 클래드를 포함하며, 광신호의 전송 매체로서, 외부의 전자파에 의한 간섭이나 혼선이 없고 도청이 어려우며, 광섬유 하나로 복수의 통신 회선들을 동시에 수용할 수 있는 이점이 있다.Generally, an optical fiber includes a cylindrical core as an intermediate member and a clad surrounding the core. As a transmission medium for an optical signal, there is no interference or confusion due to external electromagnetic waves and it is difficult to toupee. There is an advantage that the lines can be accommodated at the same time.

상기 광섬유는 중간재인 광섬유 모재를 고온에서 가열한 후 인출함으로써 제작되며, 상술한 광섬유 모재의 제작 방법으로는 내부 화학 기상 증착법(Modified chemical vapor deposition:MCVD), 기상 축 증착법(Vapor axial deposition:VAD), 외부 기상 증착법(Outside chemical vapor deposition:OVD) 및 플라즈마 화학 기상 증착법(Plasma chemical vapor deposition:PCVD) 등이 있다.The optical fiber is manufactured by heating an optical fiber preform, which is an intermediate material, at a high temperature and then drawing the optical fiber preform. The manufacturing method of the optical fiber preform includes the following processes: Modified chemical vapor deposition (MCVD), Vapor axial deposition (VAD) Outside Chemical Vapor Deposition (OVD), and Plasma Chemical Vapor Deposition (PCVD).

이 중 기상 축 증착법 및 외부 기상 증착법은 실리콘 함유 원료물질(Source material) 및 캐리어 가스(N2, O2, HE)를 버너(buner)로 공급하여 화염 가수분해(Flame hydrolysis) 반응을 통해 수트(SiO2)를 생성하고, 생성된 수트(SiO2)를 코어라드(Starting member) 상에 증착하여 광섬유 모재를 제조하는 방식이다.In the vapor phase epitaxy and the external vapor deposition method, a silicon source material and a carrier gas (N 2 , O 2 , HE) are supplied to a burner and subjected to a flame hydrolysis reaction to form a soot SiO 2 ) is formed on the starting member and the resulting soot (SiO 2 ) is deposited on a starting member to manufacture an optical fiber preform.

한편, 기상 축 증착법 및 외부 기상 증착법은 통상적으로 실리콘 함유 원료물질로서 실리콘 테트라클로라이드(SiCl4)를 사용해 왔는데, 이러한 테트라클로라이드(SiCl4)는 염소를 함유하고 있어 가수분해 반응 과정에서 염산이 생성될 수 있다.On the other hand, the vapor phase deposition method and the external vapor deposition method have conventionally used silicon tetrachloride (SiCl 4 ) as a silicon-containing raw material material. Since tetrachloride (SiCl 4 ) contains chlorine, hydrochloric acid is produced during the hydrolysis reaction .

따라서, 종래 실리콘 함유 원료물질로 실리콘 테트라클로라이드(SiCl4)를 사용하는 경우에는 이로 인해 생성된 염산을 처리하기 위한 별도의 처리시설이 요구될 뿐 아니라 염산에 의한 장치 부식이 발생될 수 있으며, 이러한 염산이 인체에 접촉되거나 흡입되는 경우 인체에 치명적인 상해을 입힐 수 있는 문제점이 발생하게 된다.Therefore, when silicon tetrachloride (SiCl 4 ) is used as the silicon-containing raw material in the prior art, a separate treatment facility for treating the generated hydrochloric acid is required, corrosion of the apparatus by hydrochloric acid may occur, When hydrochloric acid is in contact with or inhaled to the human body, there is a problem that the human body may be seriously injured.

위와 같은 이유로 최근에는 실리콘 함유 원료물질로 염소를 함유하지 않는 유기 실리콘 화합물을 사용하는 추세로 바뀌고 있는데, 염소를 함유하지 않는 실리콘 화합물의 예로는 모노실란, 알콕시실란, 실록산 및 실라잔을 들 수 있으며, 이 중 폴리알킬실록산(“실록산”이라고도 약칭됨)이 중량비(weight proportion) 당 실리콘 양이 특히 높아 제조 원가 절감 차원에서 주로 사용된다.For the above reasons, recently, a tendency to use chlorine-free organosilicon compounds as the silicon-containing raw material has been changed. Examples of the chlorine-free silicon compounds include monosilane, alkoxysilane, siloxane and silazane , And polyalkylsiloxane (also abbreviated as " siloxane ") among them is mainly used in terms of production cost reduction because the amount of silicon per weight proportion is particularly high.

이러한 폴리알킬실록산으로는 헥사메틸시클로트리실록산(Hexamethylcyclotrisiloxan, D3), 옥타메틸시클로테트라실록산(Octamethylcyclotetrasiloxan, D4), 데카메틸시클로펜타실록산(Decamethylcyclopentasiloxan, D5), 도데카메틸시클로헥사실록산(Dodecamethylcyclohexasiloxan, D6) 등이 있으며, 이 중에서도 대규모 및 고순도로 이용이 가능한 옥타메틸시클로테트라실록산(Octamethylcyclotetrasiloxan, D4)이 대표적으로 많이 사용된다.Examples of such polyalkylsiloxanes include hexamethylcyclotrisiloxane (D 3 ), octamethylcyclotetrasiloxane (D 4 ), decamethylcyclopentasiloxane (D 5 ), dodecamethylcyclohexasiloxan , D 6 ). Of these, octamethylcyclotetrasiloxane (D4), which can be used in large scale and high purity, is typically used.

그러나, 위와 같은 폴리알킬실록산은 기화점이 57℃인 실리콘 테트라클로라이드(SiCl4)에 비해 기화점이 175℃로 높아 공급 과정에서 응축이 이루어지지 않도록 하는 것이 매우 중요하다.However, the above polyalkylsiloxanes such is very important that the support point is vaporized to condense feed process performed in higher to 175 ℃ than the silicon tetrachloride (SiCl 4) vaporization point 57 ℃.

한편, 한국공개특허 제2014-0095560호에는 염소가 포함되지 않은 옥타메틸시클로테트라실록산(Octamethylcyclotetrasiloxan, D4)을 원료물질로 사용하는 광섬유 모재 증착장치가 개시되어 있다.Korean Patent Laid-Open Publication No. 2014-0095560 discloses an optical fiber parent material deposition apparatus using octamethylcyclotetrasiloxane (D 4 ) without chlorine as a raw material.

한국공개특허 제2014-0095560호의 광섬유 모재 증착장치는 도 1에 도시된 바와 같이, D4(105)가 저장되는 저장기(110), 저장기(110)의 후단에 설치되고 저장기(110)로부터 공급되는 D4(105)를 예열기(115)로 이송하는 펌프(122), 예열기로 이송되는 D4(105)를 계량하는 유량계(123), 유량계(123)로부터 계량된 D4(105)를 공급받아 예열하는 예열기(115), 예열된 D4(105)를 기화시키는 기화기(120), 기화된 D4(105)를 화염 가수분해하는 다수개의 버너(140) 및 화염 가수분해에 의해 생성된 수트(SiO2)가 증착되는 코어라드(160)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 1, the apparatus for depositing an optical fiber base material in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2014-0095560 comprises a reservoir 110 for storing D 4 105, a reservoir 110 installed at a rear end of the reservoir 110, the D 4 weighing from D 4 105, the preheater 115, pump 122, flow meter 123, a flow meter 123 for metering the D 4 (105) are then transferred to a pre-heater for feed to be supplied from the 105 A vaporizer 120 that vaporizes the preheated D 4 105, a plurality of burners 140 that flame hydrolyze the vaporized D 4 105, and a flame hydrolysis And a core rod 160 on which deposited soot (SiO2) is deposited.

그러나, 상기한 한국공개특허 제2014-0095560호의 기화기(120)는 도 2에 도시된 바와 같이, 하부에 캐리어 가스인 질소를 공급하는 라인(121) 상에 설치되어 질소 가스의 공급을 제어하는 질량흐름제어기(124)로부터 공급되는 질소가 유입되는 유입구(150)가 형성되고, 상부에 기화된 D4(105)가 유출되는 유출구(130)가 형성되며, 내부 일측에 예열기(115)와 연결된 공급라인(145)을 통해 공급되는 D4(105)를 분무하는 초음파분무기(128)가 설치되는 증발챔버(125)로 이루어지는데, 이러한 초음파 분무기를 이용한 기화기(120)는 대형의 증발챔버(125)가 요구됨에 따라 장치가 대형화되어 공간적인 제약이 클 뿐 아니라 버너(140)가 설치된 증착 챔버의 한정된 공간 안에 기화기(120)를 동시에 설치하기 어려우므로 기화기(120)로부터 기화된 D4(105)를 버너(140)로 공급하는 공급라인 상에 D4(105)의 응축을 방지하기 위한 별도의 히팅시스템을 설치해야 되는 문제점이 발생한다.However, as shown in FIG. 2, the vaporizer 120 of Korean Patent Laid-Open Publication No. 2014-0095560 is installed on a line 121 for supplying nitrogen, which is a carrier gas, to a lower portion of the vaporizer 120, An inlet port 150 through which the nitrogen supplied from the flow controller 124 is introduced and an outlet port 130 through which the vaporized D 4 105 flows out is formed and the supply port 150 connected to the pre- And a vaporizing chamber 125 in which an ultrasonic atomizer 128 for spraying D 4 105 supplied through a line 145 is installed. The vaporizer 120 using such an ultrasonic atomizer has a large evaporation chamber 125, It is difficult to simultaneously install the vaporizer 120 in the limited space of the deposition chamber in which the burner 140 is installed so that the vaporized D 4 105 from the vaporizer 120 The supply air supplied to the burner 140 There arises a problem that a separate heating system for preventing condensation of the D 4 (105) is installed on the roof.

뿐만 아니라, 증착 효율을 높이기 위해 다수의 버너(140)를 구성할 경우, 증착 챔버의 한정된 공간 안에 다수개의 기화기(120)를 구성할 수 없으므로 단수의 기화기(120)로부터 다수개의 버너(140)로 D4(105)가 분기 공급되는 구조로 인해 각각의 버너(140)로 D4(105)의 양이 불균일하게 공급되므로 증착되는 광섬유 모재용 슈트의 품질이 저하되는 문제점이 발생하게 된다.In addition, when a plurality of burners 140 are formed to increase the deposition efficiency, a plurality of vaporizers 120 can not be formed in a limited space of the deposition chamber. Therefore, a plurality of vaporizers 120 to a plurality of burners 140 The amount of D 4 (105) is unevenly supplied to each of the burners 140 due to the structure in which the D 4 105 is supplied in a branched manner, so that the quality of the deposited optical fiber preform material suffers.

한국공개특허 제2014-0098174호 “수트법에 따른 합성 석영 유리 제조 방법”Korean Patent Laid-Open Publication No. 2014-0098174 entitled " Method for producing synthetic quartz glass according to soot method "

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기존 염소가 포함된 원료물질의 사용에 따른 제반 문제점을 해결하기 위해 대체된 염소가 포함되지 않은 원료물질의 기화점이 높아 기화장치 내에서 원료물질의 기화로 생성된 원료가스가 버너장치로 공급되는 공급라인 상에서 응축되는 문제점을 해결함과 아울러 기화장치로부터 버너장치로 공급되는 원료가스의 양을 보다 정밀하게 제어할 수 있는 구조를 제공하는 광섬유 모재 증착 시스템을 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a chlorine-free raw material having a high vaporization point It is possible to solve the problem that the raw material gas generated by the vaporization of the raw material in the vaporizing device is condensed on the supply line supplied to the burner device and that the amount of the raw material gas supplied from the vaporizing device to the burner device can be controlled more precisely Structure of the optical fiber base material deposition system.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따르면, 내부에 수용공간이 형성된 증착챔버 및 상기 증착챔버의 내부에 회전 가능하게 설치되는 코어라드 및 상기 증착챔버의 내부 중 상기 코어라드의 하부에 설치되고, 연료가스 및 원료가스를 공급받아 화염을 생성함과 동시에 상기 화염 내에서 상기 원료가스를 반응시켜 수트를 생성하는 복수개의 버너를 포함하는 버너장치 및 상기 증착챔버 내부에 설치되되, 상기 버너장치의 하부에 설치되고, 외부로부터 액상의 원료물질을 공급받아 기화시킴으로써 상기 원료가스를 생성하고, 생성된 상기 원료가스를 버너장치로 공급하는 기화장치를 포함하고, 상기 코어라드와 상기 버너장치 중 어느 하나는 다른 하나에 대해 상하 및 좌우 이동 가능하게 설치되며, 상기 기화장치는 각 버너의 대응되는 하부에 설치되고, 각 버너로 상기 원료가스를 개별적으로 공급하는 복수개의 기화기를 포함하되, 상기 증착챔버의 외부에 설치되고, 각 기화기로 공급되는 액상의 원료물질의 유량을 개별적으로 제어하는 복수개의 유량 제어기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 모재 증착 시스템이 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a plasma processing apparatus comprising: a deposition chamber having a receiving space therein; a core rod rotatably installed in the deposition chamber; And a plurality of burners for generating a flame by supplying a gas and a source gas and reacting the source gas in the flame to generate a soot, and a plurality of burners disposed inside the deposition chamber, And a vaporizer for generating a raw material gas by supplying a liquid raw material from the outside and vaporizing the raw material gas to supply the generated raw material gas to the burner unit, wherein one of the core rod and the burner unit One of which is vertically and horizontally movable, and the vaporizer is installed in a corresponding lower portion of each burner And a plurality of vaporizers disposed on the outside of the deposition chamber for individually controlling the flow rates of liquid raw materials supplied to the respective vaporizers, wherein the plurality of vaporizers include a plurality of vaporizers for individually supplying the source gases to the respective burners, The optical fiber preform deposition system is further provided.

여기서, 상기 버너는 주화염을 분사하는 상부 몸체 및 상기 상부몸체의 하부에 결합되는 버너플레이트 및 상기 버너플레이트의 하부에 결합되고, 상기 버너플레이트의 외측 방향으로 연장형성되는 하부 플레이트를 포함하되, 상기 하부 플레이트에는 둘레 방향을 따라 일정 간격 이격되게 형성되고, 예열을 위한 보조화염을 분사하는 복수개의 보조화염 분사구가 형성되는 것이 바람직하다.The burner includes an upper body for spraying a main flame, a burner plate coupled to a lower portion of the upper body, and a lower plate coupled to a lower portion of the burner plate and extending in an outer direction of the burner plate, Preferably, the lower plate is formed with a predetermined spacing along the circumferential direction, and a plurality of auxiliary flame injection openings for spraying auxiliary flames for preheating are formed.

그리고, 하단부가 상기 버너플레이트의 측면 둘레를 따라 결합되고, 상단부가 상기 상부 몸체의 상부 방향으로 연장 형성되며, 상기 상부몸체에서 분사되는 주화염을 가이드하는 가이드 플레이트를 더 포함하는 것이 보다 바람직하다.The apparatus may further include a guide plate for guiding the main flame injected from the upper body, the lower end of the burner plate being coupled along the side surface of the burner plate, the upper end extending upwardly of the upper body,

또한, 상기 기화기는 상/하부가 개방된 중공의 하우징 및 상기 하우징의 상단에 착탈 가능하게 결합되고, 일측에 유입구가 형성되며, 타측에 유출구가 형성되되, 상기 유입구가 형성된 저면 일측에 외부로부터 유입되는 상기 원료물질을 상기 하우징 내부로 분사하는 분사노즐이 형성된 상부캡 및 상기 하우징의 하단에 착탈 가능하게 결합되는 하부캡 및 상기 하우징 내부에 상기 하우징의 길이 방향을 따라 배치되는 봉상의 부재로서, 다수개가 상호 일정 간격 이격되게 배치되는 가열체를 포함하는 것이 더욱 바람직하다.In addition, the vaporizer may include a hollow housing having an open top and a bottom, and an outlet formed at one end of the housing, an outlet formed at the other end of the housing, A lower cap detachably coupled to a lower end of the housing, and a bar-shaped member disposed inside the housing along a longitudinal direction of the housing, wherein the bar- It is further preferable that the heating body includes the heaters disposed at mutually spaced intervals.

상기와 같은 본 발명에 의하면, 기화점이 높아 기화장치 내에서 원료물질의 기화로 생성된 원료가스가 버너장치로 공급되는 공급라인 상에서 응축되는 문제점을 해결함에 따라 버너장치로 원료가스를 공급하는 공급라인 상에 원료가스의 응축을 방지하기 위한 별도의 히팅 시스템이 요구되지 않아 컴팩트한 장치의 구현이 가능할 뿐 아니라 이에 따른 제작비용을 크게 절감할 수 있게 된다.According to the present invention, since the vaporization point is high and the source gas generated by the vaporization of the raw material in the vaporization apparatus is condensed on the supply line supplied to the burner apparatus, the supply line for supplying the source gas to the burner apparatus A separate heating system for preventing the condensation of the raw material gas is not required, so that it is possible to realize a compact device and also to reduce the production cost accordingly.

또한, 기화장치로부터 버너장치로 공급되는 원료가스의 양을 보다 정밀하게 제어할 수 있는 구조를 제공함에 따라 제조되는 광섬유 모재의 생산성 및 품질이 크게 향상된다. In addition, since the structure capable of more precisely controlling the amount of the source gas supplied from the vaporizer to the burner unit is provided, the productivity and quality of the manufactured optical fiber preform are greatly improved.

도 1은 종래 광섬유 모재 증착 시스템을 개략적으로 도시한 것이다.
도 2는 종래 광섬유 모재 증착 시스템의 기화기를 개략적으로 도시한 것이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 광섬유 모재용 슈트 증착 시스템을 개략적으로 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 버너를 개략적으로 도시한 것이다.
도 5는 도 4를 상부에서 바라본 도면이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 기화기를 개략적으로 도시한 것이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 광섬유 모재 증착 시스템의 동작을 설명하기 위한 도면이다.FIG. 1 schematically shows a conventional optical fiber preform deposition system.
2 is a schematic view of a vaporizer of a conventional optical fiber preform deposition system.
FIG. 3 is a schematic view illustrating a deposition system for an optical fiber preform according to an embodiment of the present invention.
4 schematically shows a burner according to an embodiment of the present invention.
Fig. 5 is a top view of Fig. 4; Fig.
Figure 6 schematically illustrates a vaporizer in accordance with an embodiment of the present invention.
7 is a view for explaining the operation of the optical fiber preform deposition system according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다. 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 어느 곳에서든지 동일한 부호들로 나타내고 있음에 유의해야 한다. 또한 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. It is to be noted that like elements in the drawings are represented by the same reference numerals as possible. Further, detailed description of known functions and configurations that may unnecessarily obscure the gist of the invention will be omitted.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 광섬유 모재 증착 시스템을 개략적으로 도시한 것이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 버너를 개략적으로 도시한 것이고, 도 5는 도 4를 상부에서 바라본 도면이고, 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 기화기를 개략적으로 도시한 것이다. FIG. 3 is a schematic view of an optical fiber preform deposition system according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a schematic view of a burner according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a cross- And FIG. 6 is a schematic view of a vaporizer according to an embodiment of the present invention.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 광섬유 모재 증착 시스템(1)은 증착챔버(10), 코어라드(20), 버너장치(30), 기화장치(40), 저장조(50), 예열조(60), 유량제어기(70)를 포함하여 이루어진다.3 to 5, an optical fiber preform deposition system 1 according to an embodiment of the present invention includes a deposition chamber 10, a core rod 20, a burner device 30, a vaporizer 40, (50), a preheating tank (60), and a flow controller (70).

증착챔버(10)는 내부에 수용공간(S)이 형성되는 함체 형상으로 형성되고, 수용공간(S)을 통해 코어라드(20), 버너장치(30), 기화장치(40)의 설치 영역을 제공한다.The deposition chamber 10 is formed in a shape having a housing space S in which a mounting area of the core rod 20, the burner unit 30, and the vaporizer 40 to provide.

코어라드(20)는 증착챔버의 내부에 회전 가능하게 설치되고, 후술하는 버너장치(30)로부터 생성되는 수트(SiO2)가 증착되는 영역을 제공한다.The core rod 20 is rotatably installed inside the deposition chamber and provides a region in which soot (SiO 2 ) generated from a burner device 30 described later is deposited.

버너장치(30)는 증착챔버(10)의 내부에 설치되되, 코어라드(20)의 하부에 상하 및 좌우 이동 가능하게 설치되고, 후술하는 기화기로부터 연료가스(CH4, H2, O2) 및 원료가스를 공급받아 화염을 생성함과 동시에 화염 내에서 원료가스를 반응시켜 수트(SiO2)를 생성하는 역할을 하며, 상호 일정 간격 이격되게 배치되는 복수개 버너(31)로 이루어진다.The burner unit 30 is installed inside the deposition chamber 10 and is vertically and horizontally movable under the core rod 20. The burner unit 30 is provided with fuel gas (CH 4 , H 2 , O 2 ) And a plurality of burners 31 for generating a flame by supplying the source gas and reacting the source gas in the flame to generate soot (SiO 2 ), and are spaced apart from each other by a predetermined distance.

본 실시예에서는 버너장치(30)가 코어라드(20)에 대해 상하 및 좌우 이동 가능하게 설치되는 것으로 예시하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고 코어라드(20)가 버너장치(30)에 대해 상하 및 좌우 이동 가능하게 설치될 수도 있다.The present invention is not limited to this but the present invention is not limited to this but the present invention is not limited to this, And may be installed so as to be movable left and right.

그리고, 각 버너(31)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 세부적으로 상부몸체(31a), 버너플레이트(31b), 가이드 플레이트(31c), 하부 플레이트(31d) 및 하부몸체(31e)을 포함한다.4 and 5, each of the burners 31 has an upper body 31a, a burner plate 31b, a guide plate 31c, a lower plate 31d and a lower body 31e, .

상부몸체(31a)는 원료가스를 반응시키기 위한 주화염을 분사하는 역할을 하는 것으로서, 상단 중앙에 제 1 분사구(31aa)가 형성되고, 제 1 분사구(31aa)의 외측에 방사상으로 복수의 제 2 화염 분사구(31ab)가 배치되는 구조이다.The upper body 31a serves to inject a main flame for reacting the raw material gas. The upper body 31a has a first injection opening 31aa formed at the upper center thereof, and a plurality of second openings 31aa radially outside the first injection opening 31aa. And a flame injection hole 31ab are disposed.

버너 플레이트(31b) 상부몸체(31a)의 하부에 결합되고, 상부몸체(31a)를 지지하는 역할을 함과 아울러, 상부몸체(31a)에서 발생되는 열을 하부로 전달하는 역할을 한다.The burner plate 31b is coupled to the lower portion of the upper body 31a and serves to support the upper body 31a and to transmit the heat generated from the upper body 31a to the lower portion.

여기서, 상부몸체(31a) 및 버너 플레이트(31b)는 화염에 의한 온도 상승시간을 단축시킬 수 있도록 열 전도성이 높은 금속재질로 이루어지는 것이 바람직하다.Here, the upper body 31a and the burner plate 31b are preferably made of a metal material having a high thermal conductivity so as to shorten the temperature raising time due to the flame.

가이드 플레이트(31c)는 석영 재질로서 하단부가 버너 플레이트(31b)의 측면 둘레를 따라 결합되고, 상단부가 상부몸체(31a)의 상부 방향으로 연장 형성되며, 상부몸체(31a)에서 분사되는 주화염을 상부 방향으로 가이드하는 역할을 한다.The guide plate 31c is made of quartz and has a lower end joined to the burner plate 31b along the circumference of the burner plate 31b and an upper end extended toward the upper side of the upper body 31a and a main flame injected from the upper body 31a And serves to guide it to the upper direction.

이러한 가이드 플레이트(31c)는 주화염에 의해 발생되는 열이 외부로 전도되는 것을 차단할 수 있도록 충분한 두께로 형성되는 것이 바람직하다.It is preferable that the guide plate 31c is formed to have a thickness sufficient to prevent the heat generated by the main flame from being transmitted to the outside.

위와 같이, 본 발명은 하단부가 버너 플레이트(31b)의 상부에 결합되는 종래 가이드 플레이트의 설치구조와는 달리 가이드 플레이트(31c)의 하단부가 버너 플레이트(31b)의 측면 둘레를 따라 결합되어 상부몸체(31a)와 버너 플레이트(31b)를 감싸는 구조로 형성됨에 따라 상부몸체(31a)와 버너 플레이트(31b)로 더 많은 열이 전달되며, 이로 인해 버너 플레이트(31b)의 하부로 보다 많은 열을 전달할 수 있게 된다.The lower end of the guide plate 31c is coupled with the lower end of the guide plate 31c along the circumference of the burner plate 31b so that the lower end of the guide plate 31c is coupled to the upper end of the burner plate 31b, 31a and the burner plate 31b so that more heat is transferred to the upper body 31a and the burner plate 31b so that more heat can be transferred to the lower portion of the burner plate 31b .

상기와 같이, 본 발명은 버너 플레이트(31b)의 하부로 보다 많은 열이 전달되는 구조로 인해 버너 플레이트(31b)의 하부로 전달되는 열에 의해 기화장치(40)로부터 버너장치(30)로 원료가스가 공급되는 공급라인이 높은 온도로 유지됨에 따라 기화장치(40)로부터 버너장치(30)로 원료가스가 공급되는 공급라인에 원료가스의 기화온도를 유지하기 위한 별도의 히팅수단이 요구되지 않으므로 이에 따른 비용을 크게 절감할 수 있게 된다.As described above, according to the present invention, since more heat is transferred to the lower portion of the burner plate 31b, the raw material gas is supplied from the vaporizer 40 to the burner unit 30 by heat transmitted to the lower portion of the burner plate 31b. It is not necessary to provide a separate heating means for maintaining the vaporization temperature of the raw material gas in the supply line through which the raw material gas is supplied from the vaporization device 40 to the burner device 30, It is possible to greatly reduce the cost of the system.

하부 플레이트(31d)는 버너 플레이트(31b)의 하부에 결합되고, 버너 플레이트(31b)의 외측 방향으로 연장형성된다. 이러한 하부 플레이트(31d)는 둘레 방향을 따라 일정 간격 이격된 위치에 예열을 위한 보조화염을 분사하는 복수개의 보조화염 분사구(31da)가 형성되는 것을 특징으로 한다.The lower plate 31d is coupled to the lower portion of the burner plate 31b and extends in the outer direction of the burner plate 31b. The lower plate 31d is formed with a plurality of sub-flame ejection openings 31da for ejecting auxiliary flames for preheating at positions spaced apart from each other by a predetermined distance along the circumferential direction.

위와 같이, 본 발명은 하부 플레이트(31d)에 보조화염 분사구(31da)가 형성됨에 따라 증착전 예열을 위한 수단으로 주화염과 보조화염을 동시에 사용하므로 예열시간을 크게 단축할 수 있게 되며, 이에 따라 광섬유 모재의 생산성이 크게 향상된다.As described above, according to the present invention, since the auxiliary flame injection opening 31da is formed in the lower plate 31d, the main flame and the auxiliary flame are simultaneously used as means for preheating before deposition, so that the preheating time can be greatly shortened. The productivity of the optical fiber preform is greatly improved.

하부몸체(31e)은 하부 플레이트(31d)의 하부에 설치되고, 내부에 상부몸체(31a)로 원료가스 및 연료가스(CH4, H2, O2)를 공급함과 아울러 예열시 보조화염 분사구(31da)로 연료가스(CH4, H2, O2)를 공급하는 공급로(31ea)가 형성된다.The lower body (31e) is provided on the lower portion of the lower plate (31d), in the upper body (31a) inside the raw material gas and fuel gas (CH 4, H 2, O 2) for supplying the addition auxiliary flame during warm-up opening ( is a supply for supplying a fuel gas (CH 4, H 2, O 2) to 31da) (31ea) are formed.

기화장치(40)는 증착챔버(10)의 내부에 설치되되, 버너장치(30)의 하부에 설치되고, 액상의 원료물질을 공급받아 이를 기화시킴으로써 원료가스를 생성하고, 생성된 원료가스를 버너장치(30)로 공급하는 역할을 한다.The vaporizing unit 40 is installed inside the deposition chamber 10 and is disposed under the burner unit 30. The vaporizing unit 40 generates a raw material gas by supplying a liquid raw material and vaporizing the liquid raw material, To the device (30).

이러한 기화장치(40)는 복수개의 기화기(41)로 구성되되, 각 기화기(41)가 버너장치(30)의 각 버너(31)의 대응되는 하부에 각각 설치되어 각 버너(31)로 원료가스를 개별적으로 공급하는 구조이다.The vaporizer 40 is constituted by a plurality of vaporizers 41. The vaporizers 41 are provided in corresponding lower portions of the respective burners 31 of the burner apparatus 30 so as to supply the raw material gas Respectively.

위와 같은 기화장치(40)는 구조변경을 통해 기화기(41)를 소형화함으로써, 버너장치(30)가 설치되는 증착챔버(10)의 한정된 공간 안에 동시에 설치 가능하며, 소형화를 위한 기화기(41)의 구조변경의 일예는 이하에서 보다 상세하게 설명하기로 한다.The vaporizer 40 can be installed at the same time in a limited space of the deposition chamber 10 where the burner unit 30 is installed by reducing the size of the vaporizer 41 through structural modification, An example of the structure change will be described in more detail below.

저장조(50)는 증착챔버(10)의 외부에 설치되고, 액상의 원료물질을 저장하는 역할을 한다.The storage tank 50 is installed outside the deposition chamber 10 and serves to store the liquid raw material.

예열조(60)는 저장조(50)의 후단에 설치되고, 저장조(50)로부터 공급되는 액상의 원료물질을 예열하는 역할을 한다.The preheating tank 60 is installed at the rear end of the storage tank 50 and serves to preheat the liquid raw material supplied from the storage tank 50.

유량제어기(70)는 예열조(60)의 후단에 설치되어 예열조(60)로부터 공급되는 액상의 원료물질을 계량하여 기화장치(40)로 공급하는 것으로서, 복수개가 기화장치(40)의 각 기화기(41)와 개별적으로 연결되어 각 기화기(41)로 공급되는 액상의 원료물질의 유량을 개별적으로 제어하는 역할을 한다.The flow controller 70 is provided at the downstream of the preheating tank 60 to measure liquid raw materials supplied from the preheating tank 60 and to supply the liquid raw materials to the vaporizer 40. A plurality of the flow controllers 70 And is separately connected to the vaporizer 41 to separately control the flow rates of liquid raw materials supplied to the respective vaporizers 41. [

한편, 저장조(50)와 예열조(60) 사이 및 예열조(60)와 유량제어기(70) 사이에 액상의 원료물질을 이송하기 위한 이송펌프(P)가 설치될 수 있는데, 이러한 이송펌프(P)는 무맥동 펌프가 사용되는 것이 바람직하다.A transfer pump P may be provided between the reservoir 50 and the preheater 60 and between the preheater 60 and the flow controller 70 to transfer the liquid raw material. P) is preferably a pulsating pump.

또한, 본 발명은 도면에 도시되진 않았으나, 기화장치(40)의 각 기화기(41)로 연료가스(CH4, H2, O2) 및 미리 설정된 온도로 예열된 캐리어 가스(N2, O2, HE)가 공급된다.Although not shown in the drawings, the present invention is also applicable to the case where the carrier gas (N 2 , O 2 ) preheated to the predetermined temperature and the fuel gas (CH 4 , H 2 , O 2 ) are supplied to each vaporizer 41 of the vaporizer 40 , HE) are supplied.

위와 같이, 본 발명은 복수의 유량제어기(70)를 통해 각 기화기(41)로 공급되는 액상의 원료물질의 유량을 개별적으로 제어함으로써, 각 기화기(41)로부터 버너장치(30)의 각 버너(31)로 공급되는 원료가스의 양의 개별적인 제어가 가능하다.As described above, according to the present invention, the flow rates of liquid raw materials supplied to the respective vaporizers 41 are controlled individually through the plurality of flow controllers 70, 31 can be controlled individually.

즉, 본 발명은 각 버너(31)로 공급되는 원료가스의 양의 개별적인 제어를 통해 각 버너(31)로 공급되는 원료가스의 양을 보다 정밀하게 제어할 수 있으므로 증착되는 광섬유 모재의 생산성 및 품질이 크게 향상된다.That is, since the amount of the raw material gas supplied to each burner 31 can be controlled more precisely by controlling the amount of the raw material gas supplied to each burner 31, the productivity and the quality of the deposited optical fiber preform .

요약하면, 본 발명은 전술한 바와 같이, 기화기(41)의 구조변경을 통해 기화장치(40)를 소형화하여 버너장치(30)가 설치된 증착챔버(10)의 한정된 공간 안에 기화장치(40)가 동시에 설치됨에 따라 기화점이 높은 원료물질을 사용하더라도 기화장치(40)로부터 버너장치(30)로 원료가스를 공급하는 공급라인 상에 원료가스의 응축을 방지하기 위한 별도의 히팅 시스템이 요구되지 않아 컴팩트한 장치의 구현이 가능할 뿐 아니라 이에 따른 제작비용을 크게 절감할 수 있게 된다.In summary, the present invention is characterized in that the vaporization device 40 is miniaturized by changing the structure of the vaporizer 41 so that the vaporizer 40 is disposed in a limited space of the deposition chamber 10 in which the burner device 30 is installed A separate heating system for preventing the condensation of the raw material gas is not required on the supply line for supplying the raw material gas from the vaporizer 40 to the burner unit 30 even when the raw material having a high vaporization point is used, It is possible not only to realize a single device but also to greatly reduce manufacturing costs.

또한, 기화장치(40)의 각 기화기(41)로부터 대응되는 버너장치(30)의 각 버너(31)로 공급되는 원료가스의 양을 보다 정밀하게 제어함에 따라 증착되는 광섬유 모재의 생산성 및 품질이 크게 향상된다.Further, since the amount of the raw material gas supplied from each vaporizer 41 of the vaporizer 40 to each burner 31 of the corresponding burner unit 30 is controlled more precisely, the productivity and quality of the deposited optical fiber preform Greatly improved.

한편, 앞서 설명한 본 발명의 기화기는 소형화를 위한 구조변경을 다양한 방법으로 실현할 수 있으나, 이하에서는 도 6을 참조하여 구조변경을 통해 소형화된 기화기의 일예를 설명하기로 한다.Meanwhile, the above-described vaporizer of the present invention can realize the structure change for miniaturization by various methods. Hereinafter, an example of the miniaturized vaporizer will be described with reference to FIG.

기화기(41)는 도 6에 도시된 바와 같이,, 세부적으로 하우징(41a), 상부캡(41b), 하부캡(41c) 및 가열체(41d)를 포함한다.The vaporizer 41 includes a housing 41a, an upper cap 41b, a lower cap 41c and a heating body 41d in detail, as shown in Fig.

하우징(41a)은 투명한 석영 재질로서 상하부가 개방된 중공의 원통 형상으로 형성된다. 이러한 하우징(41a)은 후술하는 가열체(41d)의 설치영역을 제공함과 아울러 하우징(41a)의 내부로 유입되는 액상의 원료물질이 기화되는 공간을 제공한다.The housing 41a is made of a transparent quartz material and is formed into a hollow cylindrical shape whose upper and lower portions are opened. The housing 41a provides a space for installing the heating body 41d to be described later and a space for vaporizing the liquid raw material flowing into the housing 41a.

상부캡(41b)은 하우징(41a)의 상단에 착탈 가능하게 결합되어 하우징(41a)의 상단을 차폐함과 아울러, 일측에 액상의 원료물질이 유입되는 유입구(41ba)가 형성되며, 타측에 액상의 원료물질이 기화되어 생성되는 원료가스가 유출되는 유출구(41bb)가 형성된다.The upper cap 41b is detachably coupled to the upper end of the housing 41a to shield the upper end of the housing 41a and has an inlet 41ba through which liquid raw material flows into one side, And the outlet port 41bb through which the raw material gas generated by vaporization of the raw material is discharged.

그리고, 유입구(41ba)가 형성된 저면 일측에 유입구(41ba)를 통해 유입되는 액상의 원료물질을 하우징(41a)의 내부로 분사하는 분사노즐(41bc)이 더 설치된다.Further, a spray nozzle 41bc for spraying the liquid raw material flowing into the housing 41a through the inlet port 41ba is further provided on one side of the bottom surface of the bottom surface of the housing 41a.

하부캡(41c)은 하우징의 하단에 착탈 가능하게 결합되어 하우징(41a)의 하단을 차폐하는 역할을 한다.The lower cap 41c is detachably coupled to the lower end of the housing to shield the lower end of the housing 41a.

가열체(41d)는 하우징(41a)의 내부에 하우징(41a)의 길이 방향을 따라 배치되는 봉상의 부재로서, 다수개가 상호 일정 간격 이격되게 배치되는 구조로 이루어진다. 가열체(41a)의 구조를 위와 같이 형성하는 이유는 분사노즐(41bc)을 통해 하우징(41a) 내부로 분사되는 액상의 원료물질이 가열체(41d)에 접촉되는 표면적을 증가시키기 위함이다.The heating body 41d is a rod-like member arranged inside the housing 41a along the longitudinal direction of the housing 41a, and has a structure in which a plurality of the heating bodies 41d are arranged at a predetermined interval. The reason why the heating body 41a is formed as described above is to increase the surface area in which the liquid raw material injected into the housing 41a through the injection nozzle 41bc contacts the heating body 41d.

즉, 본 발명은 액상의 원료물질이 접촉되어 기화되는 가열체(41d)의 표면적을 증가시켜 기화효율을 향상시킴으로써, 하우징(41a)의 용적을 줄일 수 있으며, 이에 따라 기화기(41)를 소형으로 제작할 수 있게 된다.That is, the present invention can reduce the volume of the housing 41a by improving the vaporization efficiency by increasing the surface area of the heating body 41d vaporized by contact with the liquid raw material, and accordingly, the vaporizer 41 can be made compact .

도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 광섬유 모재 증착 시스템의 동작을 설명하기 위한 도면이다.7 is a view for explaining the operation of the optical fiber preform deposition system according to an embodiment of the present invention.

도 7을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 광섬유 모재 증착 시스템(1)의 동작을 살펴보면, 저장조(50)의 저장된 액상의 원료물질은 이송펌프(P)에 의해 예열조(60)로 유입되고, 예열조(60)로 유입된 액상의 원료물질은 미리 설정된 온도로 예열된 후, 이송펌프(P)에 의해 복수의 유량제어기(70)로 분기되어 공급된다.7, the operation of the optical fiber preform material deposition system 1 according to an embodiment of the present invention will be described. The liquid raw material stored in the storage tank 50 is introduced into the preheating tank 60 by the transfer pump P The liquid raw material flowing into the preheating tank 60 is preheated to a predetermined temperature and then branched to a plurality of flow controllers 70 by a transfer pump P. [

그리고, 각 유량제어기(70)로 공급되는 액상의 원료물질은 각 유량제어기(70)에 의해 미리 설정된 양으로 개별적으로 계량되어 기화장치(40)의 각 기화기(41)로 공급된다.The liquid raw materials supplied to the respective flow controllers 70 are individually metered in a predetermined amount by the respective flow controllers 70 and supplied to the respective vaporizers 41 of the vaporizer 40.

이 때, 도면에 도시되진 않았으나, 각 기화기(41)에는 각 버너(31)의 화염을 생성하기 위한 화염 생성가스(CH4, H2, O2) 및 각 기화기(41) 내에서 기화된 원료가스와 화염 생성가스(CH4, H2, O2)를 각 버너(31)로 이송하기 위한 캐리어 가스(N2, O2, HE)가 공급된다.Although not shown in the drawing, flame generation gases (CH 4 , H 2 , O 2 ) for generating the flame of each burner 31 and raw materials vaporized in each vaporizer 41 are supplied to the respective vaporizers 41, Carrier gas (N 2 , O 2 , HE) is supplied for transferring gas and flame generating gases (CH 4 , H 2 , O 2 ) to each burner 31.

한편, 각 기화기(41) 내로 공급된 캐리어 가스(N2, O2, HE)는 기화기(41) 내에서 기화된 원료가스와 화염 생성가스(CH4, H2, O2)를 각 버너로 이송한다.On the other hand, the carrier gas (N 2 , O 2 , HE) supplied into each vaporizer 41 is supplied to the burner 41 and the source gas and the flame generating gas (CH 4 , H 2 , O 2 ) Transfer.

그러면, 각 버너(31)에서는 화염 생성가스(CH4, H2, O2)에 의해 화염이 생성됨과 동시에, 생성된 화염 내에서 원료가스가 반응하여 수트(SiO2)가 생성된다.Then, in each burner 31, a flame is generated by the flame generating gas (CH 4 , H 2 , O 2 ), and a soot (SiO 2 ) is produced by reacting the source gas in the generated flame.

그리고, 각 버너(31)에서 생성된 수트(SiO2)는 회전하는 코어라드(20)의 외면에 증착되고, 이에 따라 광섬유 모재가 제조된다.The soot (SiO 2 ) generated in each burner 31 is deposited on the outer surface of the rotating core rod 20, and an optical fiber preform is produced accordingly.

비록 본 발명이 상기 바람직한 실시 예들과 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서, 첨부된 특허 청구범위는 본 발명의 요지에 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described in connection with the preferred embodiments, it is possible to make various modifications and variations without departing from the spirit and scope of the invention. It is, therefore, to be understood that the appended claims will include all such modifications and changes as fall within the true spirit of the invention.

1 : 광섬유 모재용 슈트 증착 시스템
10 : 증착챔버 20 : 코어라드
30 : 버너장치 31 : 버너
31a : 상부몸체 31aa : 제 1 분사구
31ab : 제 2 분사구 31b : 버너 플레이트
31c : 가이드 플레이트 31d : 하부 플레이트
31da : 보조화염 분사구 31e : 하부몸체
31ea : 공급로 40 : 기화장치
41 : 기화기 41a : 하우징
41b : 상부캡 41ba : 유입구
41bb : 유출구 41bc : 분사노즐
41d : 가열체 50 : 저장조
60 : 예열조 70 : 유량제어기1: Shoot deposition system for optical fiber base material
10: deposition chamber 20: core rod
30: burner device 31: burner
31a: upper body 31aa: first jet opening
31ab: second jetting port 31b: burner plate
31c: Guide plate 31d: Lower plate
31da: auxiliary flame injection hole 31e: lower body
31ea: supply line 40: vaporizer
41: vaporizer 41a: housing
41b: upper cap 41ba: inlet
41bb: outlet 41bc: injection nozzle
41d: heating body 50: storage tank
60: preheating tank 70: flow controller

Claims (4)

내부에 수용공간이 형성된 증착챔버와;
상기 증착챔버의 내부에 회전 가능하게 설치되는 코어라드와;
상기 증착챔버의 내부 중 상기 코어라드의 하부에 설치되고, 연료가스 및 원료가스를 공급받아 화염을 생성함과 동시에 상기 화염 내에서 상기 원료가스를 반응시켜 수트를 생성하는 복수개의 버너를 포함하는 버너장치와;
상기 증착챔버 내부에 설치되되, 상기 버너장치의 하부에 설치되고, 외부로부터 액상의 원료물질을 공급받아 기화시킴으로써 상기 원료가스를 생성하고, 생성된 상기 원료가스를 버너장치로 공급하는 기화장치를 포함하고,
상기 코어라드와 상기 버너장치 중 어느 하나는 다른 하나에 대해 상하 및 좌우 이동 가능하게 설치되며,
상기 기화장치는 각 버너의 대응되는 하부에 설치되고, 각 버너로 상기 원료가스를 개별적으로 공급하는 복수개의 기화기를 포함하되,
상기 증착챔버의 외부에 설치되고, 각 기화기로 공급되는 액상의 원료물질의 유량을 개별적으로 제어하는 복수개의 유량 제어기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 모재 증착 시스템.A deposition chamber having a receiving space therein;
A core rod rotatably installed in the deposition chamber;
And a plurality of burners provided at a lower portion of the core rod in the inside of the deposition chamber to generate a flame by supplying a fuel gas and a source gas and reacting the source gas in the flame to generate a soot A device;
A vaporizing device installed in the deposition chamber and provided at a lower portion of the burner device to generate the raw material gas by supplying a liquid raw material from the outside and vaporizing the raw raw material gas and supplying the generated raw material gas to the burner device and,
Wherein one of the core rod and the burner device is installed to be vertically and horizontally movable with respect to the other core rod,
Wherein the vaporizer comprises a plurality of vaporizers provided at corresponding lower portions of the respective burners and separately supplying the source gases to the respective burners,
Further comprising a plurality of flow controllers provided outside the deposition chamber for individually controlling the flow rates of the liquid raw materials supplied to the respective vaporizers. 제 1 항에 있어서,
상기 버너는
주화염을 분사하는 상부 몸체와;
상기 상부몸체의 하부에 결합되는 버너플레이트와;
상기 버너플레이트의 하부에 결합되고, 상기 버너플레이트의 외측 방향으로 연장형성되는 하부 플레이트를 포함하되,
상기 하부 플레이트에는 둘레 방향을 따라 일정 간격 이격되게 형성되고, 예열을 위한 보조화염을 분사하는 복수개의 보조화염 분사구가 형성되는 것을 특징으로 하는 광섬유 모재 증착 시스템The method according to claim 1,
The burner
An upper body for spraying a main flame;
A burner plate coupled to a lower portion of the upper body;
And a lower plate coupled to a lower portion of the burner plate and extending in an outward direction of the burner plate,
Wherein a plurality of auxiliary flame ejection openings are formed in the lower plate at predetermined intervals along the circumferential direction and spray auxiliary flame for preheating. 제 2 항에 있어서,
하단부가 상기 버너플레이트의 측면 둘레를 따라 결합되고, 상단부가 상기 상부 몸체의 상부 방향으로 연장 형성되며, 상기 상부몸체에서 분사되는 주화염을 가이드하는 가이드 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 모재 증착 시스템.3. The method of claim 2,
Further comprising a guide plate coupled to a lower end of the burner plate along a side surface of the burner plate and having an upper end extending in an upper direction of the upper body and guiding a main flame injected from the upper body, system. 제 1 항에 있어서,
상기 기화기는
상/하부가 개방된 중공의 하우징과;
상기 하우징의 상단에 착탈 가능하게 결합되고, 일측에 유입구가 형성되며, 타측에 유출구가 형성되되, 상기 유입구가 형성된 저면 일측에 외부로부터 유입되는 상기 원료물질을 상기 하우징 내부로 분사하는 분사노즐이 형성된 상부 캡과;
상기 하우징의 하단에 착탈 가능하게 결합되는 하부캡과;
상기 하우징 내부에 상기 하우징의 길이 방향을 따라 배치되는 봉상의 부재로서, 다수개가 상호 일정 간격 이격되게 배치되는 가열체를 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 모재 증착 시스템.
The method according to claim 1,
The vaporizer
A hollow housing having an open top / bottom;
An injection port is formed at one side of the housing and an outlet is formed at the other side of the housing, and a spray nozzle for spraying the raw material introduced from the outside into the housing is formed at one side of the bottom surface where the inlet is formed An upper cap;
A lower cap detachably coupled to the lower end of the housing;
And a plurality of heating elements disposed in the housing and spaced apart from each other by a predetermined distance, the rod-shaped members being disposed along the longitudinal direction of the housing.
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