KR20180115839A - 기판 처리 시스템 및 기판 반송 방법 - Google Patents

기판 처리 시스템 및 기판 반송 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템은, 적어도 두 개의 기판이 동시에 반입 또는 반출되는 제1 챔버, 상기 제1 챔버 내에 배치되며, 상기 적어도 두 개의 기판을 미리 정해진 간격으로 이격되도록 정렬시키는 기판 정렬 유닛, 상기 제1 챔버에서 정렬된 상기 적어도 두 개의 기판을 처리하는 복수의 제2 챔버 및 정렬된 상기 적어도 두 개의 기판을 상기 제1 챔버에서 상기 제2 챔버로, 또는 상기 제2 챔버에서 상기 제1 챔버로 반송하는 기판 반송 유닛를 포함할 수 있다.

Description

기판 처리 시스템 및 기판 반송 방법{SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM AND CONTROL METHOD OF TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 발명은 기판 처리 시스템 및 기판 처리 시스템에서의 기판 반송 방법에 관한 것이다.
표시장치의 제조 공정은 서로 상이한 복수의 단위 공정들을 포함하는데, 이들 각각의 단위 공정은 일반적으로 서로 다른 공간에서 수행된다. 따라서 기판을 이용하여 표시장치가 제조되는 경우, 서로 이격된 각각의 공간으로 기판이 이동되어 단위 공정들이 실시하게 된다.
이와 같이 각각의 단위 공정을 수행하는 각각의 공정 챔버(Processing Chamber)에는 하나의 대형 기판이 투입되고, 대형 기판에 대해 증착 공정 등이 수행될 수 있다.
최근에는 제조되는 표시 장치의 크기가 다양해짐에 따라, 증착 공정에 투입되는 기판의 크기 또한 다양해지고 있다. 예를 들어, 종전의 대형 기판 대신에, 대형 기판의 절반에 해당되는 기판이 사용될 수 있다.
그러나, 이러한 절반 크기의 기판을 종전의 공정 챔버에 투입하면 공정 챔버의 공간이 불필요하게 남게 되거나, 또는 절반 크기의 기판을 위한 새로운 공정 챔버를 제조하는 등의 설계 변경이 필요하게 된다.
본 발명은 종전의 대형 기판용 공정 챔버를 이용하여 하나의 공정 챔버에서 복수의 기판을 처리할 수 있는 복수의 기판 처리 시스템을 제공하고자 한다.
또한, 기판을 운반 및 보관하는 카세트에서 적어도 두 개 이상의 기판을 챔버 내부로 반송하는 기판 반송 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템은, 적어도 두 개의 기판이 동시에 반입 또는 반출되는 제1 챔버, 상기 제1 챔버 내에 배치되며, 상기 적어도 두 개의 기판을 미리 정해진 간격으로 이격되도록 정렬시키는 기판 정렬 유닛, 상기 제1 챔버에서 정렬된 상기 적어도 두 개의 기판을 처리하는 복수의 제2 챔버 및 정렬된 상기 적어도 두 개의 기판을 상기 제1 챔버에서 상기 제2 챔버로, 또는 상기 제2 챔버에서 상기 제1 챔버로 반송하는 기판 반송 유닛를 포함할 수 있다.
상기 제1 기판은, 제1 방향과 나란하며, 상기 제1 기판의 위에 위치하는 제1 측면, 상기 제1 측면과 나란하며, 상기 제1 기판의 아래에 위치하는 제2 측면 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향과 나란한 제3 측면 및 제4 측면을 포함하고, 상기 제2 기판은, 상기 제1 방향과 나란하며, 상기 제2 기판의 위에 위치하는 제5 측면, 상기 제5 측면과 나란하며, 상기 제2 기판의 아래에 위치하는 제6 측면, 상기 제2 방향과 나란하며, 상기 제1 기판의 상기 제3 측면과 마주보는 제7 측면 및 상기 제7 측면과 나란한 제8 측면을 포함할 수 있다.
상기 기판 정렬 유닛은, 상기 제1 방향을 따라 서로 이격 배치된 상기 적어도 두 개의 기판 중 제1 기판 및 제2 기판을 지지하는 기판 지지대, 상기 제1 방향으로의 양 단부측에 위치하는 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판의 모서리를 지지하는 복수의 모서리 지지부 및 상기 제2 방향을 따라 이동 가능하며, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이의 공간으로 삽입되어, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판을 각각 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판과 접촉하는 상기 복수의 모서리 지지부 측으로 미는 복수의 간격 조절부를 포함할 수 있다.
상기 복수의 간격 조절부는, 상기 제2 방향을 따라 위에서 아래로 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이의 상기 공간으로 삽입 가능한 제1 간격 조절부 및 상기 제2 방향을 따라 아래에서 위로 상기 공간으로 삽입 가능한 제2 간격 조절부를 포함할 수 있다.
상기 제1 간격 조절부 각각은, 제1 몸체, 상기 제1 몸체 위에 상기 제1 방향을 따라 서로 이격 배치되며, 각각 상기 제1 기판의 제1 측면 및 상기 제2 기판의 측면의 제5 측면과 접촉 가능한 제1 기판 측면 지지대 및 상기 제1 몸체 위에 회전 가능하게 결합되며, 상기 제1 기판의 상기 제3 측면과 상기 제2 기판의 상기 제7 측면을 동시에 밀 수 있는 제1 간격 확장부를 포함할 수 있다.
상기 제2 간격 조절부 각각은, 제2 몸체, 상기 제2 몸체 위에 상기 제1 방향을 따라 서로 이격 배치되며, 각각 상기 제1 기판의 제2 측면 및 상기 제2 기판의 측면의 제6 측면과 접촉 가능한 제2 기판 측면 지지대 및 상기 제2 몸체 위에 회전 가능하게 결합되며, 상기 제1 기판의 상기 제3 측면과 상기 제2 기판의 상기 제7 측면을 동시에 밀 수 있는 제2 간격 확장부를 포함할 수 있다.
상기 제1 간격 확장부 및 상기 제2 간격 확장부는, 미리 정해진 간격으로 이격된 한 쌍의 바형 부재를 포함할 수 있다.
상기 한 쌍의 바형 부재는, 고무, 실리콘 또는 우레탄을 포함할 수 있다.
상기 복수의 모서리 지지부 각각은, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판의 상기 모서리에 대응되는 형상을 가질 수 있다.
상기 기판 반송 유닛은, 상기 적어도 두 개의 기판을 지지하는 제1 지지바 및 상기 제1 지지바가 결합되며, 상기 제1 지지바를 이동시키는 제1 구동부를 포함할 수 있다.
상기 제1 챔버로 반입되는 상기 적어도 두 개의 기판을 보관하는 카세트 및 상기 적어도 두 개의 기판을 상기 카세트로부터 상기 제1 챔버로 반송하는 반송부를 더 포함할 수 있다.
상기 반송부는, 서로 나란하게 배치되는 상기 적어도 두 개의 기판을 지지하며, 일 방향으로 연장된 복수의 제2 지지바 및 상기 복수의 제2 지지바가 결합되며, 상기 제2 지지바를 이동시키는 제2 구동부를 포함할 수 있다.
상기 복수의 제2 지지바 각각은, 상기 적어도 두 개의 기판이 안착되는 안착홈을 가질 수 있다.
상기 복수의 모서리 지지부는, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판의 상기 모서리와 접촉 또는 분리될 수 있다.
상기 제1 챔버와 상기 복수의 제2 챔버는, 고리 형상의 가상의 선을 따라 배열될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 방법은, 복수의 수납 슬롯을 포함하는 카세트에서 제1 챔버로 두 개의 기판을 동시에 반송하는 기판 반송 방법으로서, 상기 복수의 수납 슬롯 중 하나의 수납 슬롯에 상기 두 개의 기판이 배치되어 있는지를 확인하는 단계, 상기 하나의 수납 슬롯에 상기 두 개의 기판이 배치되는 경우, 상기 두 개의 기판을 반송부의 지지바 위에 거치하여 상기 두 개의 기판을 상기 제1 챔버로 반송하는 단계 및 상기 하나의 수납 슬롯에 한 개의 기판이 배치되는 경우, 상기 하나의 수납 슬롯에 다른 한 개의 기판을 배치시킨 후, 상기 두 개의 기판을 상기 지지바 위에 거치하여 상기 두 개의 기판을 상기 제1 챔버로 반송하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 하나의 수납 슬롯에 상기 다른 한 개의 기판을 배치시키는 단계는, 상기 한 개의 기판이 상기 하나의 수납 슬롯의 내측에 위치한지 또는 상기 하나의 수납 슬롯의 외측에 위치한지를 확인하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 하나의 수납 슬롯에 상기 다른 한 개의 기판을 배치시키는 단계는, 상기 한 개의 기판이 상기 하나의 수납 슬롯의 내측에 위치하는 경우, 상기 다른 한 개의 기판을 상기 수납 슬롯의 외측에 배치시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 하나의 수납 슬롯에 상기 다른 한 개의 기판을 배치시키는 단계는, 상기 한 개의 기판이 상기 하나의 수납 슬롯의 외측에 위치하는 경우, 상기 외측에 배치된 상기 한 개의 기판을 상기 하나의 수납 슬롯의 내측으로 이동시키고, 상기 다른 한 개의 기판을 상기 수납 슬롯의 외측에 배치시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 하나의 수납 슬롯에 상기 한 개의 기판이 배치되는 경우, 상기 한 개의 기판은 증착용 기판이고, 추가되는 다른 한 개의 기판은 더미 기판일 수 있다.
상기한 바와 같은 기판 처리 시스템에 의하면, 종전의 대형 기판용 공정 챔버 내에서 복수의 기판을 동시에 처리할 수 있다.
또한, 기판 반송 방법에 의하면, 카세트에서 적어도 두 개 이상의 기판을 챔버 내부로 동시에 반송시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 카세트와 반송부의 개략적인 사시도이다.
도 3은 도 1의 반송부에 두 개의 기판이 놓여진 상태를 나타낸 도면이다.
도 4 내지 도 8은 반송부에 의해 카세트에서 제1 챔버로 두 개의 기판이 반송되는 과정을 설명한 도면이다.
도 9 내지 도 15는 두 개의 기판이 카세트에서 제2 챔버로 반송되는 과정을 설명한 도면이다.
도 16 내지 도 19는 기판 정렬 유닛에 의해 두 개의 기판이 정렬되는 과정을 설명한 도면이다.
도 20은 도 16의 간격 조절부를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 21은 도 16의 모서리 지지부를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 22는 정렬된 두 개의 기판이 놓여진 기판 지지대가 옮겨지는 과정을 설명한 도면이다.
도 23 및 도 24는 정렬된 두 개의 기판이 놓여진 기판 지지대에 차단부가 설치된 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서, "~상에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
이하, 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템을 개략적으로 나타낸 도면이며, 도 2는 도 1의 카세트와 반송부의 개략적인 사시도이며, 도 3은 도 1의 반송부에 두 개의 기판이 놓여진 상태를 나타낸 도면이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예의 기판 처리 시스템은, 카세트(100), 반송부(300), 제1 챔버(510), 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570), 기판 정렬 유닛(710, 720, 730, 740, 750, 760, 도 16 참조) 및 기판 반송 유닛(580)을 포함할 수 있다. 본 실시예에서는, 카세트(100)로부터 두 개의 기판(S1, S2)이 동시에 로드락 챔버인 제1 챔버(510)로 반송되고, 제1 챔버(510)에서 두 개의 기판(S1, S2)이 정렬된 후, 공정 챔버인 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570)로 두 개의 기판(S1, S2)이 동시에 반송될 수 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 카세트(100)는 복수의 기판을 보관하는 것으로, 카세트(100)에는 각 기판(S1, S2)들이 놓여지는 복수의 수납 슬롯을 갖는데, 복수의 수납 슬롯은 수직 방향으로 일렬로 배열될 수 있다. 본 실시예에서는, 각 수납 슬롯에는 두 개의 기판(S1, S2)이 놓여지게 된다. 각 수납 슬롯에 놓여진 두 개의 기판(S1, S2)은 반송부(300)에 의해 동시에 제1 챔버(510)로 반송될 수 있다.
이때, 반송부(300)는 두 개의 기판(S1, S2)을 카세트(100)에서 제1 챔버(510)로 두 개의 기판(S1, S2)을 동시에 반송시키는 것으로, 복수의 제2 지지바(310) 및 제2 구동부(350)를 포함할 수 있다. 복수의 제2 지지바(310)는 두 개의 기판(S1, S2)을 동시에 지지하는데, 복수의 제2 지지바(310)는 일 방향으로 연장되는 바(bar) 형상의 부재일 수 있다. 복수의 제2 지지바(310)는 일정한 간격으로 서로 이격되어 배치될 수 있다.
복수의 제2 지지바(310) 각각에는, 두 개의 기판이 이동 중에 움직이지 않도록 복수의 안착홈이 형성될 수 있다. 복수의 안착홈 내에 두 개의 기판이 안착됨에 따라, 두 개의 기판이 이동 중에 움직이지 않는다.
본 실시예에서는, 복수의 제2 지지바(310)에 결합된 복수의 돌기(330, 331, 333, 335)는 계단 형상의 안착홈을 가질 수 있다. 이때, 복수의 돌기(330, 331, 333, 335)는 복수의 제2 지지바(310)와 일체로 형성될 수 있다.
한편, 제2 구동부(350)는 두 개의 기판이 놓여진 제2 지지바(310)를 카세트(100)에서 제1 챔버(510)로 옮길 수 있다. 제2 구동부(350)는 제2 지지바(310)를 카세트(100)의 원하는 수납 슬롯으로 이동시키기 위해, 제2 지지바(310)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, 제2 구동부(350)는 제2 지지바(310)를 회전시키거나, 제2 지지바(310)를 수평 방향으로 이동시킬 수도 있다.
다시, 도 1을 참조하면, 반송부(300)에 의해 반송되는 두 개의 기판(S1, S2)은 제1 챔버 및 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570)가 배치되는 처리 공간(500)으로 이동할 수 있다. 처리 공간(500)은 외부로부터 옮겨진 기판(S1, S2)에 대해 증착, 식각 등의 다양한 공정을 수행하는 가상의 공간일 수 있다.
처리 공간(500)의 제1 챔버(510)는 외부로부터 처리 공간(500)으로 반입되는 기판(S1, S2)이 투입되는 챔버일 수 있다. 이때, 제1 챔버(510)는 로드락 챔버일 수 있다. 외부에서 반입된 기판(S1, S2)은 제1 챔버(510)를 거쳐 다른 공정 챔버인 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570)로 옮겨질 수 있다. 한편, 제1 챔버(510)는 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570)에서 공정이 완료된 기판(S1, S2)들을 외부로 반출할 수도 있다. 본 실시예에서는, 이에 한정되지 않고, 제1 챔버(510)는 외부로부터 기판(S1, S2)을 반입만 시키고, 별도의 다른 챔버에서 외부로 기판(S1, S2)을 반출시킬 수 있다.
제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570)는 공정 챔버로서, 제1 챔버(510)로부터 옮겨진 기판(S1, S2)에 증착 물질을 증착하고, 특정한 패턴으로 식각하여 특정한 패턴을 형성하는 공정 등을 수행할 수 있다.
이때, 기판 반송 유닛(580)은 제1 챔버(510)에서 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570)로 기판(S1, S2)을 옮기는 과정을 수행할 수 있다. 기판 반송 유닛(580)은 제1 지지바(582) 및 제1 구동부(581)를 포함할 수 있다. 제1 지지바(582)는 일 방향으로 연장된 바(bar) 형상의 부재로서, 제1 챔버(510)에서 정렬된 두 개의 기판(S1, S2)을 동시에 지지할 수 있다. 제1 구동부(581)는 두 개의 기판이 놓여진 제1 지지바(582)를 제1 챔버(510)에서 특정한 위치에 배치된 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570)로 옮길 수 있다. 제1 구동부(581)는 상하 방향 및 수평 방향으로 이동할 수 있으며, 또한 회전할 수도 있다.
하기에서는 도 4 내지 도 8을 참조하여, 카세트(100)에서 제1 챔버(510)로 두 개의 기판(S1, S2)을 동시에 반송시키는 과정에 대해 설명하기로 한다.
도 4 내지 도 8은 반송부에 의해 카세트에서 제1 챔버로 두 개의 기판이 반송되는 과정을 설명한 도면이다.
반송부(300)의 제2 지지바(310, 도 3 참조)는 카세트(100, 도 1 참조)의 수납 슬롯에서 동시에 두 개의 기판(S1, S2)을 지지하여, 두 개의 기판(S1, S2)을 제1 챔버(510)로 옮길 수 있다. 그러나, 카세트(100, 도 1 참조)의 수납 슬롯 내에 두 개의 기판(S1, S2)이 놓여져 있지 않는 경우, 즉, 수납 슬롯 내에 한 개의 기판만 놓여진 경우에는 추가로 한 개의 기판을 수납 슬롯에 투입한 후, 제2 지지바(310, 도 3 참조)가 두 개의 기판을 동시에 옮기게 된다.
카세트(100, 도 1 참조)의 각 수납 슬롯에는 제1 챔버(510, 도 1 참조)에 반입하려는 기판들이 놓여져 있는데, 경우에 따라 하나 수납 슬롯에 두 개의 기판이 아닌 한 개의 기판만 놓여져 있는 경우가 있다.
이때, 제2 지지바(310, 도 3 참조)가 수납 슬롯 내에 배치된 한 개의 기판만 제1 챔버(510, 도 1 참조)로 옮기면, 한 개의 기판만 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570, 도 1 참조)로 반송된다. 두 개의 기판이 놓여져 증착 공정 등이 수행되어야 하는 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570, 도 1 참조) 내에 한 개의 기판만이 놓여지게 된다. 결국, 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570, 도 1 참조)에서는 한 개의 기판의 자리가 비어진 상태에서, 증착 공정 등이 수행될 수 있다.
이와 같이, 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570, 도 1 참조) 내에 빈 자리가 발생되면, 증착 물질의 흐름(flow)에 영향을 미치게 되어 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570, 도 1 참조) 내에 놓여진 기판의 증착에도 영향을 미칠 수 있다.
본 실시예에서는, 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570, 도 1 참조)에 한 개의 기판이 반입되는 것을 방지하기 위해, 즉, 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570, 도 1 참조)에 두 개의 기판(S1, S2)을 투입시키기 위해, 제1 챔버(510, 도 1 참조)로 기판을 반입하기 전에 카세트(100, 도 1 참조)의 각 수납 슬롯에 두 개의 기판을 배치시킨다.
이를 위해, 본 실시예에서는, 먼저 카세트(100, 도 1 참조)의 수납 슬롯에 두 개의 기판이 배치되어 있는지를 확인한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 카세트(100, 도 1 참조)의 수납 슬롯에 한 개의 기판(S)이 놓여진 경우에는, 다른 한 개의 기판을 추가로 배치시킨 후 두 개의 기판을 제1 챔버(510, 도 1 참조)로 반송시킨다.
다른 한 개의 기판을 추가로 배치시키기 전에, 카세트(100, 도 1 참조)의 수납 슬롯에 놓여진 기판(S)이 수납 슬롯의 내측(I)에 위치하는지 또는 외측(II)에 위치하는지 확인한다. 여기에서, 내측(I) 및 외측(II)은, 수납 슬롯에 기판이 투입되는 입구와 가까운 곳이 수납 슬롯의 외측(II)에 해당되고, 수납 슬롯의 입구에서 먼 곳이 수납 슬롯의 내측(I)에 해당될 수 있다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 기판(S)이 수납 슬롯의 내측(I)에 배치된 경우, 수납 슬롯의 외측(II)에 추가적으로 다른 한 개의 기판(D)을 배치시킨다. 이때, 외측(II)에 추가되는 기판(D)은 내측(I)에 배치된 것과 동일한 증착용 기판일 수도 있고, 더미 기판일 수도 있다.
도 4와 달리, 수납 슬롯의 외측(II)에 기판이 놓여진 경우에는, 바로 수납 슬롯의 내측(I)에 추가적인 기판(D)을 배치시키지 않는다. 도 7에서와 같이, 바로 수납 슬롯의 내측(I)에 추가적인 기판(D)을 배치하면, 기판(D)을 놓는 과정에서 반송부(300)의 제2 지지바(310, 도 3 참조)가 외측(II)에 놓여진 기판(S)을 파손시킬 수 있다.
이를 방지하기 위해, 수납 슬롯의 외측(II)에 놓여진 기판(S)을 수납 슬롯(I)의 내측(I)로 옮긴 후, 수납 슬롯의 외측(II)에 추가적인 기판(D)을 배치시킨다. 이러한 과정을 거치면, 수납 슬롯의 내측(I) 및 외측(II)에 모두 기판(S, D)이 놓여지게 된다. 그 후, 수납 슬롯에 배치된 두 개의 기판을 제1 챔버(510, 도 1 참조)로 반송시킨다.
만약, 카세트(100, 도 1 참조)의 수납 슬롯에 두 개의 기판이 배치되어 있는지를 확인하는 과정에서, 수납 슬롯의 내측(I) 및 외측(II)에 각각 기판(S1, S2)이 놓여져 있다면, 도 8에 도시된 바와 같이, 기판을 추가하는 과정을 거치지 않고 반송부(300)의 제2 지지바(310, 도 3 참조)가 두 개의 기판을 제1 챔버(510, 도 1 참조)로 동시에 옮기게 된다.
도 9 내지 도 12를 참조하면, 수납 슬롯에 두 개의 기판(S1, S2)가 모두 놓여지면, 반송부(300)에 의해 두 개의 기판(S1, S2)이 제1 챔버(510)로 반송된다. 도 9 내지 도 12에서는, 기판(S1, S2)가 모두 증착용 기판인 것으로 도시된다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 두 개의 기판 중 하나의 기판이 더미 기판일 수도 있다.
다음으로, 도 12에서와 같이, 제1 챔버(510)에 두 개의 기판(S1, S2)이 놓여지면, 제1 챔버(510) 내에서 기판 정렬 유닛(710, 720, 730, 740, 750, 760, 도 16 참조)이 두 개의 기판(S1, S2)을 정렬시킬 수 있다. 기판 정렬 유닛(710, 720, 730, 740, 750, 760, 도 16 참조)은 제1 챔버(510) 내에 배치되어, 두 개의 기판(S1, S2)이 미리 정해진 간격으로 이격되도록 정렬시킬 수 있다. 기판 정렬 유닛(710, 720, 730, 740, 750, 760, 도 16 참조)이 두 개의 기판(S1, S2)을 정렬시키는 과정에 대해서는, 도 16 내지 도 21을 참조하여 후술하기로 한다.
제1 챔버(510) 내에서 두 개의 기판(S1, S2)의 정렬이 완료되면, 도 13 내지 도 15에 도시된 바와 같이, 두 개의 기판(S1, S2)이 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570)로 동시에 반송될 수 있다. 여기에서, 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570)는 전술한 바와 같이 증착 또는 식각 공정 등이 수행되는 공정 챔버일 수 있다. 본 실시예에서는, 종전에 하나의 대형 기판에 대해 증착 공정을 수행하는 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570) 내에, 두 개의 기판(S1, S2)을 투입하여 증착 공정을 수행할 수 있다. 본 실시예에서 적용된 기판(S1, S2)은 기존의 대형 기판의 절반 크기일 수 있다. 즉, 본 실시예에 의하면, 하나의 대형 기판에 사용되던 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570)를 대형 기판 보다 작은 크기의 복수의 기판의 증착 공정에 사용할 수 있다.
한편, 복수의 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570)가 처리 공간(500) 내에 배치될 수 있다. 처리 공간(500) 내에 배치된 복수의 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570) 각각에는 서로 다른 공정이 진행될 수 있다. 이때, 복수의 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570)와 제1 챔버(510)는 처리 공간(500) 내에서 고리 형상의 가상의 선을 따라 배열될 수 있다.
이때, 처리 공간(500) 내에 배치된 기판 반송 유닛(580)이 두 개의 기판(S1, S2)을 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570)로 반송시킬 수 있다. 기판 반송 유닛(580)은 복수의 제1 지지바(582) 및 제1 구동부(581)를 포함할 수 있다. 복수의 제1 지지바(582)는 두 개의 기판(S1, S2)을 동시에 지지하는데, 복수의 제1 지지바(582)는 일 방향으로 연장된 바(bar) 형상의 부재일 수 있다. 복수의 제1 지지바(582)는 일정한 간격으로 서로 이격되어 배치될 수 있다. 이때, 복수의 제1 지지바(582)가 두 개의 기판(S1, S2)을 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570)로 반송할 때, 복수의 제1 지지바(582)는 정렬된 두 개의 기판(S1, S2)이 놓여진 기판 지지대(511, 도 16 참조)를 들어 올려 기판(S1, S2)을 반송시키거나, 복수의 제1 지지바(582)가 직접 두 개의 기판(S1, S2)을 들어 올려 기판(S1, S2)을 반송시킬 수 있다.
한편, 제1 구동부(581)는 두 개의 기판이 놓여진 제1 지지바(582)를 제1 챔버(510)에서 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570)로 옮길 수 있다. 반송부(300)의 제2 구동부(350)와 마찬가지로, 제1 구동부(581)는 제1 지지바(582)를 상하 방향 또는 수평 방향으로 이동시킬 수 있고, 또한 제1 지지바(582)를 회전시킬 수도 있다.
하기에서는, 도 16 내지 도 21을 참조하여, 제1 챔버(510)내의 기판 정렬 유닛(710, 720, 730, 740, 750, 760)이 두 개의 기판(S1, S2)을 정렬하는 과정에 대해 구체적으로 설명하기로 한다.
도 16 내지 도 19는 기판 정렬 유닛에 의해 두 개의 기판이 정렬되는 과정을 설명한 도면이며, 도 20은 도 16의 간격 조절부를 개략적으로 나타낸 사시도이며, 도 21은 도 16의 모서리 지지부를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 16을 참조하면, 기판 정렬 유닛은 기판 지지대(511), 복수의 모서리 지지부(710, 720, 730, 740), 제1 간격 조절부(750) 및 제2 간격 조절부(760)를 포함할 수 있다.
기판 지지대(511)는 카세트(100)로부터 반송된 두 개의 기판(S1, S2)을 지지할 수 있다. 기판 지지대(511)는 사각형의 평면을 갖는 판상 형상을 가질 수 있다.
본 실시예에서는, 두 개의 기판(S1, S2)이 기판 지지대(511) 위에 서로 이격되어 배치되는데, 수납 슬롯에서 두 개의 기판(S1, S2) 사이의 간격을 유지한 채 기판 지지대(511) 위에 배치된다. 하기 설명에서는 설명의 편의상, 도 16을 평면상 바라볼 때, 제1 방향(X축 방향)의 좌측에 배치된 기판을 제1 기판(S1), 제1 방향(X축 방향)의 우측에 배치된 기판을 제2 기판(S2)이라 지칭한다.
한편, 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)의 모서리에는 복수의 모서리 지지부(710, 720, 730, 740)가 배치될 수 있다. 보다 구체적으로, 도 16에 도시된 바와 같이, 제1 기판(S1)의 좌측 모서리에는 모서리 지지부(710, 720)가 배치되고, 제2 기판(S2)의 우측 모서리에는 모서리 지지부(730, 740)가 배치될 수 있다.
이때, 제1 간격 조절부(750) 및 제2 간격 조절부(760)가 제1 기판(S1)을 좌측으로 밀 때, 모서리 지지부(710, 720)는 제1 기판(S1)이 좌측으로 움직이는 것을 방지하면서, 제1 기판(S1)의 좌측 모서리가 미리 정해진 위치에 고정되게 할 수 있다. 제1 간격 조절부(750) 및 제2 간격 조절부(760)가 제2 기판(S2)을 우측으로 밀 때, 모서리 지지부(730, 740)는 제2 기판(S2)이 우측으로 움직이는 것을 방지하면서, 제2 기판(S2)의 우측 모서리가 미리 정해진 위치에 고정되게 할 수 있다.
도 17을 참조하면, 복수의 모서리 지지부(710, 720, 730, 740)가 미리 정해진 위치로 이동할 수 있다. 여기에서, 미리 정해진 위치는, 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)의 간격 조절이 완료되었을 때, 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)의 모서리가 배치되어야 할 위치를 나타낼 수 있다. 한편, 도 17에서는, 복수의 모서리 지지부(710, 720, 730, 740)와 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)의 모서리가 서로 접촉하는 것으로 도시되나, 서로 접촉되어 있지 않을 수도 있다.
도 17에서와 같이, 복수의 모서리 지지부(710, 720, 730, 740)가 미리 정해진 위치에 놓여지면, 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)의 간격 조절이 완료될 때까지 복수의 모서리 지지부(710, 720, 730, 740)는 고정된다.
도 18 및 도 19를 참조하면, 복수의 모서리 지지부(710, 720, 730, 740)가 미리 정해진 위치에 놓여지면, 제1 간격 조절부(750) 및 제2 간격 조절부(760)가 서로 마주보는 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2) 사이의 공간으로 삽입될 수 있다. 이때, 제1 간격 조절부(750) 및 제2 간격 조절부(760)는 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)을 각각 제1 기판(S1)의 모서리 측 및 제2 기판(S2)의 모서리 측으로 밀 수 있다. 보다 구체적으로, 제1 간격 조절부(750) 및 제2 간격 조절부(760)는 제1 기판(S1)을 좌측으로 밀고, 제2 기판(S2)을 우측으로 밀 수 있다. 이에 의해, 제1 기판(S1)의 좌측 모서리가 모서리 지지부(710, 720)에 밀착되게 하고, 제2 기판(S2)의 우측 모서리가 모서리 지지부(730, 740)에 밀착되게 한다.
본 실시예에서, 제1 간격 조절부(750)는 제2 방향(Y축 방향)을 따라 위에서 아래로 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2) 사이의 공간으로 삽입될 수 있다. 그리고, 제2 간격 조절부(760)는 제2 방향(Y축 방향)을 따라 아래에서 위로 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2) 사이의 공간으로 삽입될 수 있다.
한편, 제1 간격 조절부(750)는 제1 몸체(751), 제1 기판 측면 지지대(755) 및 제1 간격 확장부(753)를 포함할 수 있다. 그리고, 제2 간격 조절부(760)는 제2 몸체(761), 제2 기판 측면 지지대(765) 및 제2 간격 확장부(763)를 포함할 수 있다.
제1 기판 측면 지지대(755)는 제1 몸체(751)에 결합되어, 제1 기판(S1)의 제1 측면(P1)과 제2 기판의 제5 측면(P5)과 접촉할 수 있다. 그리고, 제2 기판 측면 지지대(765)는 제2 몸체(761)에 결합되어, 제1 기판(S1)의 제2 측면(P2)과 제2 기판의 제6 측면(P6)과 접촉할 수 있다. 제1 간격 조절부(750) 및 제2 간격 조절부(760)가 작동할 때, 제1 기판 측면 지지대(755) 및 제2 기판 측면 지지대(765)는 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)이 제2 방향(Y축 방향)을 따라 상측 또는 하측으로 움직이는 것을 방지할 수 있다. 본 설명에서는 설명의 편의상, 도 18을 평면상 바라볼 때, 제1 기판(S1)은 상측에 위치하는 제1 측면(P1), 하측에 위치하는 제2 측면(P2), 우측에 위치하는 제3 측면(P3) 및 좌측에 위치하는 제4 측면(P4)을 포함하는 것으로 설명한다. 또한, 제2 기판(S2)은 상측에 위치하는 제5 측면(P5), 하측에 위치하는 제6 측면(P6), 좌측에 위치하는 제7 측면(P7) 및 우측에 위치하는 제8 측면(P8)을 포함하는 것으로 설명한다.
이때, 제1 간격 확장부(753)는 제1 몸체(751)에 회전 가능하게 결합되며, 제1 기판의 제3 측면(P3)과 제2 기판(S2)의 제7 측면(P7)을 동시에 밀 수 있다 그리고, 마찬가지로, 제2 간격 확장부(763)는 제2 몸체(761)에 회전 가능하게 결합되며, 제1 기판의 제3 측면(P3)과 제2 기판(S2)의 제7 측면(P7)을 동시에 밀 수 있다. 즉, 제1 간격 확장부(753) 및 제2 간격 확장부(763)는 제1 기판의 제3 측면(P3)을 좌측으로, 제2 기판(S2)의 제7 측면(P7)을 우측으로 밀 수 있다.
본 실시예에서는, 제1 간격 확장부(753) 및 제2 간격 확장부(763)는 미리 정해진 간격으로 이격된 한 쌍의 바형 부재를 포함할 수 있다. 제1 간격 확장부(753)가 제1 기판의 제3 측면(P3)과 제2 기판(S2)의 제7 측면(P7) 사이의 공간에 처음 삽입될 때에는, 한 쌍의 바형 부재가 제2 방향(Y축 방향)과 나란하게 일렬로 배열된다. 그리고 나서, 도 19에 도시된 바와 같이, 제1 간격 확장부(753) 및 제2 간격 확장부(763)가 회전하여, 한 쌍의 바형 부재가 제1 방향(X축 방향)과 나란하게 배열된다. 이에 의해, 제1 간격 확장부(753) 및 제2 간격 확장부(763)가 제1 기판의 제3 측면(P3)과 제2 기판(S2)의 제7 측면(P7)을 동시에 밀 수 있다.
도 20을 참조하면, 제1 기판 측면 지지대(755)는 한 쌍의 바형 부재를 포함할 수 있다. 그러나, 제1 기판 측면 지지대(755)는 이에 한정되지 않고, 연장된 하나의 판재 형상으로 이루어질 수도 있다.
한편, 제1 간격 확장부(753)의 한 쌍의 바형 부재는 제1 회전판(753c) 위에 배치될 수 있다. 제1 회전판(753c)이 회전함에 따라, 한 쌍의 바형 부재가 제1 방향(X축 방향)과 나란하거나, 제2 방향(Y축 방향)과 나란하게 배치될 수 있다. 이때, 제1 회전판(753c)은 모터에 의해 제어될 수 있다. 본 실시예에 적용되는 모터는 서보 모터일 수 있다. 그러나, 제1 회전판(753c)은 이에 한정되지 않고, 제1 회전판(753c)과 모터 사이에 링크 부재가 결합될 수도 있다.
제1 간격 확장부(753)의 한 쌍의 바형 부재는, 고무, 실리콘 또는 우레탄을 포함할 수 있다. 그러나, 한 쌍의 바형 부재의 재질은 이에 한정되지 않고, 한 쌍의 바형 부재와 접촉하는 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)이 파손되지 않도록 연한(soft)한 재질로 이루어질 수 있다. 한편, 제2 간격 확장부(763)는 제1 간격 확장부(753)와 동일한 구성을 포함하는 바, 이에 대한 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 21을 참조하면, 모서리 지지부(730)는 접촉하는 제2 기판(S2)의 모서리에 대응되는 형상을 가질 수 있다. 본 실시예에서는, 모서리 지지부(730)가 제2 기판(S2)의 모서리에 대응되어 90도로 절곡된 형상을 가질 수 있다. 한편, 모서리 지지부(730)는 복수의 링크 부재(820, 830) 및 구동부(810)에 결합될 수 있다. 도 16에 도시된 바와 같이, 제1 챔버(510)의 기판 지지대(511) 위에 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)이 놓여진 후, 모서리 지지부(730)가 이동하여 미리 정해진 위치로 이동하게 된다. 이와 같이, 복수의 링크 부재(820, 830) 및 구동부(810)는 모서리 지지부(730)를 미리 정해진 위치로 이동시킬 수 있다.
한편, 제1 챔버(510) 내에서 기판 정렬 유닛(710, 720, 730, 740, 750, 760, 도 16 참조)에 의해 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)의 정렬이 완료되면, 도 22에서와 같이 기판 반송 유닛(580)에 의해 정렬된 상태로 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570)로 반송될 수 있다.
도 23 및 도 24를 참조하면, 본 실시예에서는, 정렬된 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)이 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570)로 반송되기 전에, 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2) 둘레에 차단부(610, 611, 613)가 배치될 수 있다. 도 23을 평면상 바라볼 때, 차단부(610, 611, 613)는 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)의 둘레를 따라 배치될 수 있다. 제2 챔버(520, 530, 540, 560, 570, 도 13 참조) 내에서 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)에 플라즈마에 의한 증착 공정이 수행될 때, 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)의 측면이 플라즈마에 의해 영향을 받을 수 있다. 이러한 플라즈마에 의해, 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)이 손상될 수 있다. 즉, 본 실시예에서는, 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)의 둘레에 차단부(610, 611, 613)가 배치되어, 플라즈마에 의한 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)의 측면이 손상되는 것을 최소화할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명은 한정된 실시예와 도면을 통하여 설명되었으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재된 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
100 카세트
300 반송부
500 처리 공간
510 제1 챔버
520, 530, 540, 560, 570 제2 챔버
511 기판 지지대
710, 720, 730, 740 복수의 모서리 지지부
750 제1 간격 조절부
751 제1 몸체
753 제1 간격 확장부
755 제1 기판 측면 지지대
760 제2 간격 조절부

Claims (20)

  1. 적어도 두 개의 기판이 동시에 반입 또는 반출되는 제1 챔버;
    상기 제1 챔버 내에 배치되며, 상기 적어도 두 개의 기판을 미리 정해진 간격으로 이격되도록 정렬시키는 기판 정렬 유닛;
    상기 제1 챔버에서 정렬된 상기 적어도 두 개의 기판을 처리하는 복수의 제2 챔버; 및
    정렬된 상기 적어도 두 개의 기판을 상기 제1 챔버에서 상기 제2 챔버로, 또는 상기 제2 챔버에서 상기 제1 챔버로 반송하는 기판 반송 유닛를 포함하는, 기판 처리 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 기판은,
    제1 방향과 나란하며, 상기 제1 기판의 위에 위치하는 제1 측면;
    상기 제1 측면과 나란하며, 상기 제1 기판의 아래에 위치하는 제2 측면; 및
    상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향과 나란한 제3 측면 및 제4 측면을 포함하고,
    상기 제2 기판은,
    상기 제1 방향과 나란하며, 상기 제2 기판의 위에 위치하는 제5 측면;
    상기 제5 측면과 나란하며, 상기 제2 기판의 아래에 위치하는 제6 측면;
    상기 제2 방향과 나란하며, 상기 제1 기판의 상기 제3 측면과 마주보는 제7 측면; 및
    상기 제7 측면과 나란한 제8 측면을 포함하는,
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 기판 정렬 유닛은,
    상기 제1 방향을 따라 서로 이격 배치된 상기 적어도 두 개의 기판 중 제1 기판 및 제2 기판을 지지하는 기판 지지대;
    상기 제1 방향으로의 양 단부측에 위치하는 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판의 모서리를 지지하는 복수의 모서리 지지부; 및
    상기 제2 방향을 따라 이동 가능하며, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이의 공간으로 삽입되어, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판을 각각 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판과 접촉하는 상기 복수의 모서리 지지부 측으로 미는 복수의 간격 조절부를 포함하는, 기판 처리 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 복수의 간격 조절부는,
    상기 제2 방향을 따라 위에서 아래로 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이의 상기 공간으로 삽입 가능한 제1 간격 조절부 및
    상기 제2 방향을 따라 아래에서 위로 상기 공간으로 삽입 가능한 제2 간격 조절부를 포함하는, 기판 처리 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제1 간격 조절부 각각은,
    제1 몸체;
    상기 제1 몸체 위에 상기 제1 방향을 따라 서로 이격 배치되며, 각각 상기 제1 기판의 제1 측면 및 상기 제2 기판의 측면의 제5 측면과 접촉 가능한 제1 기판 측면 지지대 및
    상기 제1 몸체 위에 회전 가능하게 결합되며, 상기 제1 기판의 상기 제3 측면과 상기 제2 기판의 상기 제7 측면을 동시에 밀 수 있는 제1 간격 확장부를 포함하는, 기판 처리 시스템.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제2 간격 조절부 각각은,
    제2 몸체;
    상기 제2 몸체 위에 상기 제1 방향을 따라 서로 이격 배치되며, 각각 상기 제1 기판의 제2 측면 및 상기 제2 기판의 측면의 제6 측면과 접촉 가능한 제2 기판 측면 지지대 및
    상기 제2 몸체 위에 회전 가능하게 결합되며, 상기 제1 기판의 상기 제3 측면과 상기 제2 기판의 상기 제7 측면을 동시에 밀 수 있는 제2 간격 확장부를 포함하는, 기판 처리 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제1 간격 확장부 및 상기 제2 간격 확장부는, 미리 정해진 간격으로 이격된 한 쌍의 바형 부재를 포함하는, 기판 처리 시스템.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 한 쌍의 바형 부재는, 고무, 실리콘 또는 우레탄을 포함하는, 기판 처리 시스템.
  9. 제 3 항에 있어서,
    상기 복수의 모서리 지지부 각각은, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판의 상기 모서리에 대응되는 형상을 갖는, 기판 처리 시스템.
  10. 제 3 항에 있어서,
    상기 기판 반송 유닛은,
    상기 적어도 두 개의 기판을 지지하는 제1 지지바 및
    상기 제1 지지바가 결합되며, 상기 제1 지지바를 이동시키는 제1 구동부를 포함하는, 기판 처리 시스템.
  11. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1 챔버로 반입되는 상기 적어도 두 개의 기판을 보관하는 카세트 및
    상기 적어도 두 개의 기판을 상기 카세트로부터 상기 제1 챔버로 반송하는 반송부를 더 포함하는, 기판 처리 시스템.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 반송부는,
    서로 나란하게 배치되는 상기 적어도 두 개의 기판을 지지하며, 일 방향으로 연장된 복수의 제2 지지바 및
    상기 복수의 제2 지지바가 결합되며, 상기 제2 지지바를 이동시키는 제2 구동부를 포함하는, 기판 처리 시스템.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 복수의 제2 지지바 각각은, 상기 적어도 두 개의 기판이 안착되는 안착홈을 갖는, 기판 처리 시스템.
  14. 제 3 항에 있어서,
    상기 복수의 모서리 지지부는, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판의 상기 모서리와 접촉 또는 분리되는, 기판 처리 시스템.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 챔버와 상기 복수의 제2 챔버는, 고리 형상의 가상의 선을 따라 배열되는, 기판 처리 시스템.
  16. 복수의 수납 슬롯을 포함하는 카세트에서 제1 챔버로 두 개의 기판을 동시에 반송하는 기판 반송 방법으로서,
    상기 복수의 수납 슬롯 중 하나의 수납 슬롯에 상기 두 개의 기판이 배치되어 있는지를 확인하는 단계;
    상기 하나의 수납 슬롯에 상기 두 개의 기판이 배치되는 경우, 상기 두 개의 기판을 반송부의 지지바 위에 거치하여 상기 두 개의 기판을 상기 제1 챔버로 반송하는 단계; 및
    상기 하나의 수납 슬롯에 한 개의 기판이 배치되는 경우, 상기 하나의 수납 슬롯에 다른 한 개의 기판을 배치시킨 후, 상기 두 개의 기판을 상기 지지바 위에 거치하여 상기 두 개의 기판을 상기 제1 챔버로 반송하는 단계를 포함하는, 기판 반송 방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 하나의 수납 슬롯에 상기 다른 한 개의 기판을 배치시키는 단계는,
    상기 한 개의 기판이 상기 하나의 수납 슬롯의 내측에 위치한지 또는 상기 하나의 수납 슬롯의 외측에 위치한지를 확인하는 단계를 포함하는, 기판 반송 방법.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 하나의 수납 슬롯에 상기 다른 한 개의 기판을 배치시키는 단계는,
    상기 한 개의 기판이 상기 하나의 수납 슬롯의 내측에 위치하는 경우, 상기 다른 한 개의 기판을 상기 수납 슬롯의 외측에 배치시키는 단계를 포함하는, 기판 반송 방법.
  19. 제 17 항에 있어서,
    상기 하나의 수납 슬롯에 상기 다른 한 개의 기판을 배치시키는 단계는,
    상기 한 개의 기판이 상기 하나의 수납 슬롯의 외측에 위치하는 경우,
    상기 외측에 배치된 상기 한 개의 기판을 상기 하나의 수납 슬롯의 내측으로 이동시키고, 상기 다른 한 개의 기판을 상기 수납 슬롯의 외측에 배치시키는 단계를 포함하는, 기판 반송 방법.
  20. 제 16 항에 있어서,
    상기 하나의 수납 슬롯에 상기 한 개의 기판이 배치되는 경우,
    상기 한 개의 기판은 증착용 기판이고, 추가되는 다른 한 개의 기판은 더미 기판인, 기판 반송 방법.
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