KR20180111538A - Compression bonding device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 압착 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a compression bonding apparatus.
액정 디스 플레이, 유기 EL 디스 플레이 등의 표시 장치는, 유리판 위에 회로 및 신호선을 형성하는 어레이 공정, 한쌍의 유리판을 접합하여 표시 영역을 구성하는 기판으로서의 패널을 형성하는 셀 공정, 패널에 있어서의 표시 영역의 외측에 구동용의 드라이버 IC 등을 부착하는 모듈 공정을 거쳐 제조된다.Display devices such as a liquid crystal display and an organic EL display include an array process for forming circuits and signal lines on a glass plate, a cell process for forming a panel as a substrate constituting a display area by bonding a pair of glass plates, And a module process for attaching a driver IC or the like for driving to the outside of the region.
드라이버 IC의 실장 방법으로서, 종래부터, COF(chip on film) 등의 드라이버 IC를 탑재한 플렉시블한 필름형의 전자 부품을 이용한 방법이 행해지고 있다. 이것은, 패널의 표시 영역의 주위로부터, 표시면과 평행한 수평 방향으로 노출되어 형성된 전극에 대하여, 전자 부품의 단자를 압착하여 접속하는 방법이다(특허문헌 1 참조).As a method for mounting a driver IC, a method using a flexible film-type electronic component on which a driver IC such as COF (chip on film) is mounted has been conventionally performed. This is a method in which a terminal of an electronic component is connected to an electrode formed in a horizontal direction parallel to the display surface from the periphery of the display region of the panel to connect the electronic component (refer to Patent Document 1).
이하, 이러한 기판과 전자 부품 등의 압착 대상을 워크라고 부른다. 또한, 워크의 전극, 단자 등의 상호 전기적으로 접속되어야 하는 도전성을 갖는 부분을 리드라고 부른다.Hereinafter, such an object to be pressed with a substrate, an electronic part, or the like is called a work. In addition, a portion having conductivity that is to be electrically connected to an electrode, a terminal, or the like of a work is called a lead.
워크끼리의 접속에는, 가열 압착에 의해, 각각의 워크의 리드 사이의 도전성을 확보하는 이방성 도전 필름(ACF: Anisotropic Conductive Film)이 이용되고 있다. 이방성 도전 필름은, 기재가 되는 수지 중에, 작은 도전 입자가 다수 들어간 시트형의 부재이다. 기재의 수지로서는, 열경화성 수지가 이용되고 있다.Anisotropic conductive films (ACFs) for securing the conductivity between the leads of the respective workpieces are used for connection between the workpieces by heating and pressing. The anisotropic conductive film is a sheet-like member in which a small number of small conductive particles are contained in a resin serving as a base. As the resin of the substrate, a thermosetting resin is used.
한쌍의 워크의 리드 사이에 이방성 도전 필름을 끼우고, 가열하면서 가압하면, 서로의 리드의 부분이 워크의 표면보다 돌출되어 있기 때문에, 그 부분의 도전 입자가 찌부러짐으로써 리드끼리가 전기적으로 접속된다. 다른 부분은 찌부러지지 않고 두께가 유지되기 때문에, 도전성이 생기는 일이 없어, 절연성이 확보된다. 열경화성 수지의 기재는, 가열에 의해 경화하기 때문에, 워크끼리가 기계적으로 접속된다.When the anisotropic conductive film is sandwiched between the leads of the pair of works and pressed while heating, since the portions of the leads of the leads protrude from the surface of the work, the conductive particles in that portion are broken and the leads are electrically connected . The other portion is not crushed and the thickness is maintained, so that conductivity is not generated and insulation is ensured. Since the base material of the thermosetting resin is cured by heating, the works are mechanically connected to each other.
이상과 같이, 한쌍의 워크를 이방성 도전 필름을 통해 가열 압착하여, 리드끼리의 도전성을 확보하기 위해서는, 도전 입자를 필요량만큼만 찌부러뜨릴 필요가 있다. 이 때문에, 워크를 가열 압착시키는 압착 장치는, 워크에 비교적 큰 하중을 가할 필요가 있다. 그러나, 워크에 큰 하중이 가해지면, 워크끼리에 위치 어긋남이 생기는 경우가 있다. 그렇게 되면, 서로 접속되어야 하는 리드의 위치도 어긋나 버리기 때문에, 불량품의 발생으로 이어진다.As described above, in order to secure the conductivity between the leads by thermocompression bonding a pair of workpieces through an anisotropic conductive film, it is necessary to collapse the conductive particles only by a necessary amount. For this reason, it is necessary for the compression bonding apparatus for hot-pressing the work to apply a relatively large load to the work. However, when a large load is applied to the work, there is a case where positional deviation occurs between the works. In this case, the positions of the leads to be connected to each other also deviate, leading to the generation of defective products.
이에 대처하기 위해, 압착 장치가, 어긋남이 생기기 어려운 작은 압력으로부터, 도전성을 확보하기 위해 필요한 압력까지, 서서히 크게 해 가는 것이 생각된다. 그러나, 이 경우에는, 최종적으로 압착이 완료될 때까지 시간이 걸리며, 가열 시간이 길어지기 때문에, 워크의 열팽창이 확대하는 것에 따른 리드 사이의 위치 어긋남도 초래하게 된다.To cope with this, it is conceivable that the compression device gradually increases the pressure from a small pressure which is difficult to shift to a pressure necessary for securing the conductivity. However, in this case, it takes time to finally complete the pressing, and since the heating time becomes longer, the positional deviation between the leads due to expansion of the thermal expansion of the work also occurs.
본 발명은 전술한 바와 같이 과제를 해결하기 위해 제안된 것으로서, 한쌍의 워크를 이방성 도전 부재를 통해 단시간에 가열 압착시키면서, 워크 사이의 어긋남의 발생을 방지할 수 있는 압착 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been proposed in order to solve the problems as described above, and it is an object of the present invention to provide a compression bonding apparatus capable of preventing the occurrence of misalignment between works while thermocompression bonding a pair of works through an anisotropic conductive member in a short time do.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 압착 장치는, 열경화성 수지를 기재로 하는 이방성 도전 부재를 통해, 한쌍의 워크의 도전성을 갖는 부분을 가열 압착하는 압착부를 가지고, 상기 압착부는, 상기 한쌍의 워크 중 적어도 한쪽을 가압하는 가압 부재와, 상기 가압 부재를 가열하는 가열부와, 상기 가열부에 의해 가열된 상기 가압 부재에, 상기 이방성 도전 부재에 의한 도전성의 확보에 필요한 압력보다 낮은 제1 압력에 의해 상기 워크를 가압시키며 열에 의해 상기 기재를 용융시켜, 상기 기재의 경화가 개시되고 나서 접착 가능한 경도가 유지되고 있는 동안에, 도전성의 확보에 필요한 제2 압력에 의해 상기 워크를 가압시키는 압력 조정부를 갖는다.In order to achieve the above object, a compression bonding apparatus of the present invention includes a compression bonding portion for heating and pressing a conductive portion of a pair of work through an anisotropic conductive member made of a thermosetting resin as a base, A heating section for heating the pressing member, and a pressing section for pressing the pressing member heated by the heating section to a first pressure lower than a pressure necessary for ensuring conductivity by the anisotropic conductive member And a pressure adjusting section for pressing the workpiece by a second pressure necessary for ensuring conductivity while the workpiece is pressed and the substrate is melted by heat to keep the hardness that can be adhered after the initiation of curing of the substrate is started .
상기 압력 조정부는, 상기 가압 부재에 의한 상기 워크의 가압 개시로부터 미리 정해진 시간에, 상기 제1 압력에서 상기 제2 압력으로 전환하여도 좋다. 상기 미리 정해진 시간은 0.2초∼1초여도 좋다.The pressure adjusting section may switch from the first pressure to the second pressure at a predetermined time from the start of the pressing of the work by the pressing member. The predetermined time may be 0.2 seconds to 1 second.
상기 제1 압력은 상기 제2 압력의 4분의 1 이하여도 좋다.The first pressure may be one fourth or less of the second pressure.
상기 압력 조정부는, 상기 제2 압력의 가압원과, 상기 가압원과 함께, 상기 가압 부재를 상기 워크에 접촉/분리하는 방향으로 구동시키는 구동 기구를 갖고 있어도 좋다.The pressure adjusting section may include a pressing source of the second pressure and a driving mechanism for driving the pressing member in a direction to contact / separate the pressing member with the pressing source.
상기 제1 압력은 용융된 상태의 상기 기재를 찌부러뜨릴 수 있는 압력보다 작게 설정되어 있어도 좋다.The first pressure may be set to be smaller than a pressure capable of crushing the substrate in a molten state.
본 발명은 한쌍의 워크를 이방성 도전 부재를 통해 단시간에 가열 압착시키면서, 워크 사이의 어긋남의 발생을 방지할 수 있다.According to the present invention, it is possible to prevent the occurrence of misalignment between workpieces while heating and pressing a pair of workpieces through an anisotropic conductive member in a short time.
도 1은 실시형태에 의해 압착되는 워크를 나타내는 사시도이다.
도 2는 실시형태에 의해 압착되는 워크의 리드를 나타내는 평면도이다.
도 3은 실시형태의 압착 장치의 기본 구성을 나타내는 일부 단면 측면도이다.
도 4는 도 3의 실시형태의 가열 압착 부분을 나타내는 개략 측면도이다.
도 5는 도 3의 실시형태의 워크 및 ACF의 압착 부분을 나타내는 단면도이다.
도 6은 도 3의 실시형태의 제어 장치를 나타내는 블록도이다.
도 7은 가압 부재의 압력, 온도, 높이, 기재의 경도의 시간의 경과에 따른 변화를 나타내는 그래프이다.
도 8은 실시형태의 가열 압착의 순서를 나타내는 흐름도이다.1 is a perspective view showing a work to be pressed by the embodiment.
2 is a plan view showing a lead of a work to be pressed by the embodiment;
3 is a partial cross-sectional side view showing a basic configuration of a compression bonding apparatus according to the embodiment.
Fig. 4 is a schematic side view showing a heat-pressed portion of the embodiment of Fig. 3; Fig.
Fig. 5 is a cross-sectional view showing the work of the embodiment of Fig. 3 and the pressing portion of the ACF. Fig.
Fig. 6 is a block diagram showing the control device of the embodiment of Fig. 3;
7 is a graph showing changes in pressure, temperature, height, and hardness of the base material over time of the pressure member.
Fig. 8 is a flowchart showing the procedure of the hot pressing according to the embodiment.
본 발명의 실시형태(이하, 본 실시형태라고 부름)에 대해서, 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention (hereinafter referred to as " present embodiment ") will be described in detail with reference to the drawings.
[압착 대상][Target of squeezing]
도 1 및 도 2를 참조하여, 본 실시형태에 따른 압착 대상이 되는 제1 워크(1) 및 제2 워크(2)와, ACF(3)에 대해서 설명한다. 제1 워크(1)는 액정 디스 플레이, 유기 EL 디스 플레이 등의 표시 영역을 갖는 표시 패널이다. 이러한 표시 패널은, 그 크기에 따라, 도 1의 (a)에 나타내는 바와 같이, 복수의 제2 워크(2)가 압착되는 경우와, 도 1의 (b)에 나타내는 바와 같이, 단일의 제2 워크(2)가 압착되는 경우가 있다. 이 실시형태에서는, 복수의 워크(2)가 압착되는 예로 설명한다.1 and 2, the
도 2에 나타내는 바와 같이, 제1 워크(1)의 변에는, 도전성을 갖는 부분인 리드(11)가 마련되어 있다. 각 리드(11)는, 표시 영역 내의 회로에 신호선을 통해 접속되어 있다. 리드(11)는, 미리 정해진 간격[피치(p)]을 두고, 복수개가 배열되어 배치되어 있다. 복수의 리드(11)는, 예컨대, 최대라도 피치(p)(중심선 사이의 거리)가 40 ㎛ 이하이다.As shown in Fig. 2, on the side of the
제2 워크(2)는, 도 1의 (a)에 나타내는 바와 같이, 제1 워크(1)에 ACF(3)를 통해 접합되는 전자 부품이다. 전자 부품으로서는, COF(chip on film)를 이용한다. COF는, 예컨대, 유연성이 있는 수지를 이용한 플렉시블한 시트에, 드라이버 IC를 탑재하며 프린트 배선을 형성한 부재이다.The
도 2에 나타내는 바와 같이, 제2 워크(2)의 1변에는, 도전성을 갖는 부분인 리드(21)가 마련되어 있다. 리드(21)는, 제1 워크(1)의 리드(11)와 전기적으로 접속하기 위한 부분이다. 각 리드(21)는, 드라이버 IC에 신호선을 통해 접속되어 있다. 리드(21)는, 미리 정해진 간격을 두고, 복수개가 배열되어 배치되어 있다. 제1 워크(1)의 리드(11), 제2 워크(2)의 리드(21)는, 서로 접속되어야 하는 대응 관계가 정해져 있어, 대응하는 리드(11, 21)끼리의 위치가 맞도록 압착될 필요가 있다. 이 때문에, 리드(11, 22)의 간격도 일치하고 있다. 이 일치는, 대응하는 리드(11, 21)끼리의 도전성을 확보할 수 있으며, 다른 인접하는 리드(11, 21)와의 절연성을 확보할 수 있는 정도이면 좋다.As shown in Fig. 2, a
ACF(3)는, 이방성 도전 부재이며, 기재(31)에 도전 입자(32)를 분산시켜, 막형으로 한 필름이다[도 5의 (a) 참조]. 기재(31)에서는, 가열에 의해 경화하는 열경화성 수지가 이용된다.The
ACF(3)는, 제2 워크(2)와 제1 워크(1) 사이에 끼워져, 가열되면서 가압되면, 리드(21)와 리드(11) 사이에 위치하는 도전 입자(32)가 리드(11, 21)로 끼워져 찌부러짐으로써, 리드(21)와 리드(11)의 두께 방향의 도전성과, 면 방향의 절연성을 실현한다[도 5의 (b) 참조]. 또한, 가열에 의해 기재(31)의 열경화성 수지가 경화하여, 제2 워크(2)를 제1 워크(1)에 접착시킨다. 즉, 가열 압착에 의해, 리드(11)와 리드(21)의 전기적 접속과, 제1 워크(1)와 제2 워크(2)의 기계적 접속을 실현할 수 있다.The ACF 3 is sandwiched between the
(어긋남이 생기는 원인)(Cause of deviation)
상기와 같은 ACF(3)를 통해, 제2 워크(2)를 제1 워크(1)에 가열 압착하면, 제1 워크(1)와 제2 워크(2) 사이에 면 방향의 위치 어긋남이 생기는 경우가 있다. 발명자는, 예의 검토한 결과, 이 위치 어긋남의 원인이, 열경화성 수지가 가열에 의해 경화하기 전에, 일단 용융하여 경도가 현저히 저하한 후에, 경화가 개시된다고 하는 성질에 의한 것을 발견하였다. 즉, 기재(31)가 용융되고, 또한, 가교 반응이 개시되기까지의 경도가 저하하고 있는 단계에서, 높은 압력이 가해지면, 기재(31)가 유동하기 쉽게 안정되어 있지 않기 때문에, 워크(1, 2)사이에 마치 윤활제를 끼운 것 같이 미끄러짐이 발생하기 쉬워지고, 그 결과, 워크(1, 2) 사이에 면 방향의 어긋남이 발생하고 있는 것을 알아내었다. 그래서, 적어도 열경화성 수지가 용융 후, 경화를 개시, 즉, 가교 반응이 개시된 이후에, 높은 압력을 가함으로써, 이 문제를 해결할 수 있는 것을 발견하였다.When the
단, 열경화성 수지는, 경화가 진행되어 경도가 높아져 버리면 접착할 수 없게 되어 버린다. 이 때문에, 경화가 개시된 후에 있어서 용융에 의해 점성이 생기고 있는 동안에, 높은 압력을 가하지 않으면 안 된다. 열경화성 수지가 가열에 의해 용융하여 경화가 개시되고 나서, 워크 사이의 접착이 가능한 경도가 유지되는 시간은 매우 짧다. 따라서, 낮은 압력에 의한 가압에 의해 열경화성 수지의 용융이 개시되고 나서, 매우 짧은 시간 동안에, 높은 압력으로 전환하지 않으면, 어긋남의 방지와, 접착의 확보를 할 수 없게 된다.However, the thermosetting resin can not be bonded if the hardness is increased due to the progress of the curing. For this reason, a high pressure must be applied while the viscosity is generated by melting after the initiation of curing. The time during which the hardness capable of bonding between the work pieces is maintained after the thermosetting resin is melted by heating and curing is started is very short. Therefore, when the thermosetting resin is melted by the pressurization by the low pressure, it is impossible to prevent the misalignment and ensure the adhesion unless switching to a high pressure for a very short period of time.
본 실시형태에서는, 후술하는 바와 같이, 가열부(52)에 의해 가열된 가압 부재(51)에, 도전성의 확보에 필요한 압력보다 낮은 제1 압력에 의해 제2 워크(2)를 가압시키고, 이 상태 하에서, 열에 의해 기재(31)를 용융시킨다. 그리고, 가압 부재(51)에, 용융된 기재(31)가 열에 의해 경화를 개시한 후로서 접착 가능한 경도가 유지되고 있는 동안에, 제1 압력을 도전성의 확보에 필요한 제2 압력으로 전환하고, 이 제2 압력에 의해 제2 워크(2)를 가압시킨다. 이에 의해, 어긋남의 방지와 접착의 확보를 실현하는 것에 성공하였다. 이하, 본 실시형태의 상세를 설명한다.In the present embodiment, as will be described later, the
[구성][Configuration]
본 실시형태의 압착 장치(40)의 구성을, 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다. 또한, 도 3에 있어서, 앞쪽과 안쪽 사이의 방향을 Y 방향, Y 방향에 수평으로 직교하는 방향을 X 방향, 수직 방향을 Z 방향, 수평인 회전 방향을 θ 방향으로 한다. 압착 장치(40)는, 압착부(50)와, 압력 수취부(60), 지지부(70), 제어 장치(80)를 갖는다.The configuration of the
압착부(50)는, ACF(3)를 통해, 제1 워크(1) 및 제2 워크(2)의 리드(11) 및 리드(21)를 가열 압착하는 구성부이다. 압착부(50)는, 가압 부재(51), 가열부(52), 압력 조정부(53)를 갖는다. 또한, 제2 워크(2)는, 압착 장치(40)의 전공정에 배치된 가압착 장치에 의해, 제1 워크에 ACF(3)를 통해 가압착된 상태로, 압착 장치(40)에 공급되는 것으로 하여 설명한다.The crimping
가압 부재(51)는, 제2 워크(2)를 가압하는 부재이다. 가압 부재(51)는, Y 방향으로 장척인 대략 직육면체 형상이고, 제1 워크(1)에 가압착된 복수의 제2 워크(2)를 일괄하여 가열 압착(소위, 본압착)할 수 있는 길이를 가지고 있다. 가압 부재(51)에 있어서의 제2 워크(2)에 대향하는 면에는, 띠형으로 돌출한 가압부(51a)를 갖는다. 이 가압부(51a)는, 제2 워크(2)에 평행하게 대향하는 평탄한 가압면을 갖는다.The pressing
또한, 도 3에서는 도시를 생략하고 있지만, 도 4의 (a)에 나타내는 바와 같이, 가압 부재(51)와 제2 워크(2) 사이에는, 쿠션 시트(B)가 개재된다. 쿠션 시트(B)는, 완충용의 시트이며, 도시하지 않는 공급 릴에 권취되어 있어 회동에 의해 송출되고, 회수 릴에 권취되어 회수된다.3, the cushion sheet B is interposed between the pressing
가열부(52)는, 가압 부재(51)를 가열하는 부재이다. 가열부(52)는, 가압 부재(51)에 내장되어 있다. 가열부(52)는, 예컨대, 전압의 인가에 의해 발열하는 히터를 이용한다. 히터는, 가압부(51a)의 배부에 있어서의 가압 부재(51) 내에, 등간격으로 복수개가 매립되어 있다.The
압력 조정부(53)는, 가열부(52)에 의해 가열된 가압 부재(51)에, ACF(3)에 의한 도전성의 확보에 필요한 압력보다 낮은 제1 압력에 의해 제2 워크(2)를 가압시키며 열에 의해 ACF(3)의 기재(31)를 용융시켜, 기재(31)의 경화가 개시되고 나서 접착 가능한 경도가 유지되고 있는 동안에, 도전성의 확보에 필요한 제2 압력에 의해 제2 워크를 가압시킨다.The
「도전성의 확보에 필요한 압력」이란, 도전 입자(32)가 찌부러져 제1 워크(1)의 리드(11)와 제2 워크(2)의 리드(21) 사이에 도전성이 얻어지는 압력이다. 이보다 낮은 제1 압력은, 예컨대, 제2 압력의 4분의 1 이하로 하는 것이 생각된다. 또한, 제1 압력은, 기재(31)가 용융되어 경도가 가장 저하한 상태라도 기재(31)가 찌부러지지 않고 그 두께를 유지할 수 있는 압력인 것이 바람직하다. 이러한 제1 압력, 제2 압력은, 실험 등에 의해 구해 두면 좋다. 「기재(31)의 경화 개시」는, 가장 경도가 저하한 시점보다 뒤이다. 「접착 가능한 경도가 유지되고 있다」란, 접착 가능한 점성을 가지고 있는 것이며, 접착 가능한 경화율의 범위 내인 것을 말한다.The pressure required for ensuring conductivity is a pressure at which the
압력 조정부(53)는, 가압원(55), 구동 기구(56)를 갖는다. 가압원(55)은, 가압 부재(51)에 압력을 부여하는 장치이다. 본 실시형태에서는, 가압원(55)은, 제1 압력과 제2 압력의 발생원이 된다. 가압원(55)은, 예컨대, 압축 공기의 작용에 의해 압력을 발생시키는 에어 실린더를 이용한다. 가압원(55)은, 직선 운동에 의해 압력을 부여하는 작동 로드(55a)를 갖는다. 작동 로드(55a)는, 가압원(55)에 의해 Z 방향으로 진퇴한다. 또한, 가압원(55)에는, 제2 워크(2)에 가하는 압력을 검출하는 압력 센서(55b)가 마련되어 있다.The
또한, 작동 로드(55a)는, 승강 블록(55c)을 통해, 가압 부재(51)에 연결되어 있다. 승강 블록(55c)은, 직육면체 형상의 부재이며, 작동 로드(55a)의 진퇴와 함께 승강하여, 가압 부재(51)를 승강시킨다.Further, the operating
구동 기구(56)는, 가압원(55)과 함께, 가압 부재(51)를 제2 워크(2)에 접촉/분리하는 방향으로 구동시키는 기구이다. 구동 기구(56)는, 프레임(561), 모터(562), 볼 나사(563), 너트 부재(564), 베이스 플레이트(565), 가이드 레일(566, 567)을 갖는다.The
프레임(561)은, 도시하지 않는 압착 장치(40)의 케이스 등에 고정된 상자형의 부재이다. 모터(562)는, 프레임(561)의 상부에 고정된 구동원이다. 볼 나사(563)는, 프레임(561)의 내부에 Z 방향을 따라 배치되고, 축을 중심으로 회동하도록 지지되어 있다. 너트 부재(564)는, 볼 나사(563)의 회동에 의해 볼 나사(563)를 따라 승강하는 부재이다. 너트 부재(564)는, 프레임(561)의 측면에 형성된 창 구멍으로부터 돌출하고 있다.The
베이스 플레이트(565)는, Z 방향으로 연장되어, 가압원(55)과 함께, 승강 블록(55c)을 지지하는 부재이다. 베이스 플레이트(565)는, 프레임(561)으로부터 돌출한 너트 부재(564)에 부착되어 있다. 가이드 레일(566)은, 베이스 플레이트(565)에 Z 방향을 따라 마련된 레일이며, 승강 블록(55c)을 슬라이드 이동 가능하게 지지한다. 가이드 레일(567)은, 프레임(561)에 Z 방향을 따라 마련된 레일이며, 베이스 플레이트(565)를 슬라이드 이동 가능하게 지지한다.The
압력 수취부(60)는, 가압 부재(51)의 가압부(51a)와의 사이에서, 제2 워크(2) 및 제1 워크(1)를 협지하는 부재이다. 압력 수취부(60)는, 도시하지 않는 승강 기구에 의해 승강 가능한 대략 직육면체 형상의 부재이며, 가압 부재(51)와 동등한 길이를 갖는다. 이 압력 수취부(60)는, 백업부(61), 가열부(62)를 갖는다. 백업부(61)는, 가압부(51a)에 대향하는 면에 마련되고, Y 방향, 즉 제1 워크(1)의 변 방향으로 연장되어 띠형으로 돌출하고 있다. 백업부(61)는, 가압부(51a)의 가압면에 대향하는 면이 평탄한 수취면을 갖는다.The
압력 수취부(60)는, 상승한 위치에 왔을 때에, 백업부(61)의 수취면이, 후술하는 스테이지(71)에 지지된 제1 워크(1)의 하면과 동일 높이가 되도록 설정되어 있다. 또한, 압력 수취부(60)는, 백업부(61)의 수취면이, 제1 워크(1)의 하면과 동일 높이가 되도록 부동으로 마련되어 있어도 좋다.The
가열부(62)는, 압력 수취부(60)에 내장되어, 백업부(61)를 가열하는 부재이다. 가열부(62)는, 예컨대, 전압의 인가에 의해 발열하는 히터를 이용한다. 가열부(62)는, 백업부(61)의 배부에 있어서의 압력 수취부(60) 내에, 등간격으로 복수개 매립되어 있다.The
지지부(70)는, 제1 워크(1)를 지지하는 장치이다. 지지부(70)는, 스테이지(71), 이동 장치(72)를 갖는다. 스테이지(71)는, 제1 워크(1)를 수평 방향으로 지지하는 평탄한 대이다. 스테이지(71)에는, 도시하지 않지만, 진공원에 접속된 복수의 구멍이 형성되어, 제1 워크(1)를 흡착 유지 가능하게 구성되어 있다. 이동 장치(72)는, 스테이지(71)를 X 방향, Y 방향 및 θ 방향으로 이동 가능하게 지지하는 장치이다.The support portion (70) is a device for supporting the first work (1). The supporting
지지부(70)는, 가압착 장치 등의 전공정으로부터, 제2 워크(2)가 ACF(3)를 통해 가압착된 제1 워크(1)를 수취하여, 제2 워크(2)가 가압부(51a)에 의해, 제1 워크(1)에 압착되는 압착 위치에 오도록, 제1 워크(1)를 이동시킨다. 또한, 지지부(70)는, 압착 작업이 완료된 제1 워크(1)를, 기판 수납 장치 등의 후속 공정에 전달한다.The supporting
제어 장치(80)는, 압착 장치(40)를 제어하는 장치이다. 이 제어 장치(80)는, 예컨대, 전용의 전자 회로 혹은 미리 정해진 프로그램으로 동작하는 컴퓨터 등에 의해 구성된다. 즉, 모터(562), 가압원(55), 가열부(52), 가열부(62), 이동 장치(72) 등을 작동시킴으로써, 압착 장치(40)의 동작을 제어한다. 모터(562)의 동작 타이밍, 회전 속도, 가압원(55)의 동작 타이밍 및 압력, 가열부(52) 및 가열부(62)의 가열 온도, 이동 장치(72)의 동작 등에 관해서, 그 제어 내용이 프로그램되어 있고, PLC나 CPU 등의 처리 장치에 의해 그 프로그램이 실행되는 것이며, 압착 대상이 되는 제1 워크(1), 제2 워크(2) 및 ACF(3)가 다종 다양한 사양에 대응 가능하다.The
제어 장치(80)는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 검지부(81), 압력 제어부(82), 제1 온도 제어부(83), 제2 온도 제어부(84), 기구 제어부(85), 기억부(86), 설정부(87), 입출력 제어부(88)를 갖는다. 검지부(81)는, 압력 센서(55b)로부터의 신호에 기초하여, 가압 부재(51)의 제2 워크(2)에 대한 압박을 검지한다.6, the
압력 제어부(82)는, 압력 센서(55b)로부터의 신호 및 설정된 타이밍과 압력에 따라, 압력 조정부(53)에 대한 지시 신호를 출력함으로써, 제2 워크(2) 및 제1 워크(1)에 대한 압착 동작을 제어한다. 보다 구체적으로는, 압력 조정부(53)가 상기한 바와 같이 동작하도록, 구동 기구(56)에 의한 가압원(55)의 승강 타이밍, 승강 속도, 가압원(55)의 가압 타이밍, 가압력을 지시한다.The
제1 온도 제어부(83)는, ACF(3)의 기재(31)의 경화 온도가 되도록, 가열부(52)의 온도를 지시하는 신호를 출력한다. 이 경화 온도는, 기재(31)를 열경화시키기 위해 필요한 온도이며, 예컨대, 200℃이다. 제2 온도 제어부(84)는, 가열부(52)를 보조하는 온도가 되도록, 가열부(62)의 온도를 지시하는 신호를 출력한다. 이 온도는, 예컨대, 80℃이다.The first
기구 제어부(85)는, 압력 제어부(82)의 지시에 따라, 가압원(55), 모터(562), 가열부(52), 가열부(62), 이동 장치(72)를 작동시킨다. 기구 제어부(85)는, 가압원(55)이 에어 실린더인 경우, 에어 실린더에 공급되는 압축 공기의 압력을 제어한다. 기억부(86)는, 본 실시형태의 제어에 필요한 정보를 기억한다. 기억부(86)에 기억되는 정보로서는, 모터(562)의 동작 타이밍, 가압원(55)의 동작 타이밍 및 가압력, 가열부(52, 62)에 의한 가열 온도, 압착의 해방 타이밍 등을 포함한다. 또한, 상기 각종 타이밍은, 예컨대, 압력 센서(55b)에 의해 검출되는 가압 부재(51)에 의한 압박 개시로부터의 시간으로 제어할 수 있다.The
설정부(87)는, 외부로부터 입력된 정보를, 기억부(86)에 설정하는 처리부이다. 입출력 제어부(88)는, 제어 대상이 되는 각 부와의 사이에서의 신호의 변환이나 입출력을 제어하는 인터페이스이다.The setting
또한, 제어 장치(80)에는, 입력 장치(91), 출력 장치(92)가 접속되어 있다. 입력 장치(91)는, 오퍼레이터가, 제어 장치(80)를 통해 압착 장치(40)를 조작하기 위한 스위치, 터치 패널, 키보드, 마우스 등의 입력 수단이다. 오퍼레이터는, 입력 장치(91)에 의해, 원하는 동작 타이밍, 압력, 온도 등을 입력할 수 있다.An
출력 장치(92)는, 장치의 상태를 확인하기 위한 정보를, 오퍼레이터가 시인 가능한 상태로 하는 디스플레이, 램프, 미터 등의 출력 수단이다. 예컨대, 출력 장치(92)는, 입력 장치(91)로부터의 정보의 입력 화면을 표시할 수 있다. 이 경우, 후술하는 도 7에 나타내는 바와 같이, 그래프를 표시시켜, 수치를 입력 또는 그래프 내를 선택함으로써, 정보를 입력할 수 있도록 하여도 좋다.The
[동작][action]
다음에, 본 실시형태의 동작예를, 도 1∼도 6에 더하여, 도 7 및 도 8을 참조하여 설명한다. 도 7은 시간의 경과에 따른 각 부의 동작량을 나타내는 그래프이다. 횡축은 시간(sec)이며 공통이다. 종축은, ACF(3)의 기재(31)의 경도 및 가열 온도, 가압원(55)의 압력, 베이스 플레이트(565)의 높이 방향의 위치에 대해서, 기점(t0)으로부터의 각각의 상대적인 변위량을 나타낸다. 경도는, 아래로 갈수록 낮아 용융에 의해 액화한 상태가 되고, 위로 갈수록 높아 점착성이 없어진다. 베이스 플레이트(565)의 높이는, 하방의 그래프에 나누어 기재하였다. 베이스 플레이트(565)는, t1에서 가압부(51a)의 가압면이 제2 워크(2)에 접촉한 후도 t4에서 높이(h)에 도달할 때까지 하강을 계속한다. 도 8은 본 실시형태의 가열 압착 동작의 순서를 나타내는 흐름도이다.Next, an operation example of the present embodiment will be described with reference to Figs. 7 and 8 in addition to Figs. 1 to 6. Fig. 7 is a graph showing the amount of operation of each part over time. The horizontal axis is time (sec) and is common. The vertical axis represents the relative displacement amount from the starting point t0 with respect to the hardness and heating temperature of the
먼저, 제2 워크(2)가 ACF(3)를 통해 가압착된 제1 워크(1)가, 지지부(70)의 스테이지(71)에 배치되고, 이동 장치(72)에 의해, 제1 워크(1), 제2 워크(2)가 압착 위치에 온다. 그리고, 압력 수취부(60)가 상승하여, 백업부(61)의 수취면이, 제1 워크(1)의 하면에 접하는 위치에 온다. 또한, 가압 부재(51), 백업부(61)는, 각각 가열부(52, 62)에 의해 가열되고 있다.The
이 상태로, 도 7의 t0으로부터, 구동 기구(56)의 동작에 의해, 가압 부재(51)가 하강을 개시한다(단계 101). t1에 있어서, 가압부(51a)의 가압면이, 쿠션 시트(B)를 통해 제2 워크(2)에 접하기 때문에, 도 4의 (b)에 나타내는 바와 같이, 제1 워크(1)의 하면을 지지하는 백업부(61)에 의해, 가압 부재(51)의 하강은 정지한다. 이 가압 부재(51)에 의한 제2 워크(2)에 대한 압박은, 압력 센서(55b)로부터의 신호에 기초하여, 검지부(81)가 검지한다(단계 102의 YES).In this state, the pressing
이때, 에어 실린더인 가압원(55)의 가압력은 일정하게 하고 있지만, 가압 부재(51)는, 가압원(55)의 작동 로드(55a)에 접속되어 있다. 이 때문에, 구동 기구(56)가 하강 동작을 계속시킴으로써, 작동 로드(55a)가 실린더에 압입된다. 이에 의해, 도 7에 나타내는 바와 같이, 제2 워크(2)에 대하여 제1 압력이 부여된다. 이 압력은, ACF(3)에 의한 도전성의 확보에 필요한 압력보다 낮은 제1 압력이다. 여기서, 제1 압력이, 가압 부재(51)와 승강 블록(55c)을 합한 자기 중량에 의해 부여되는 압력보다 작은 것도 생각된다. 이러한 경우에는, 가압원(55)에 의해, 자기 중량에 의한 압력과 제1 압력의 차분만큼 승강 블록(55c)에 인상 방향의 힘을 작용시키도록 하면 좋다. 즉, 가압원(55)은, 가압 부재(51)와 승강 블록(55c)을 합한 자기 중량보다 작은 힘으로 인상 방향의 힘을 작용시키는 것을 포함하여, 압력의 발생원으로서 기능한다.At this time, although the pressing force of the pressurizing
한편, t0으로부터, 가압부(51a)의 가압면은 제2 워크(2)에 접근해 가기 때문에, ACF(3)의 기재(31)는 백업부(61)의 가열부(62)에 의한 가열과 가압부(51a)로부터의 복사열에 의해 가열되어 온도 상승을 개시하여, t1에서 가압면이 제2 워크(2)에 접하면, 온도가 급격히 상승한다. 이 과정에서, 기재(31)가 용융을 개시하여 경도가 저하해 가고, t2, 예컨대, t1로부터 0.2초에서 가장 경도가 낮은 상태에 달하고 나서, 경화가 개시된다. 단, 가장 경도가 낮아지기까지의 시간(t2)은, 기재(31)의 품종에 따라 상이하다. 이와 같이, 기재(31)의 경화가 개시할 때까지는, 제2 워크(2)에 결려 있는 압력은, 낮은 제1 압력이기 때문에, 용융된 기재(31)가 찌부러지지 않고 이루어지기 때문에, 용융된 기재(31)가 찌부러질 때에 생기기 쉬운 제2 워크(2)가 제1 워크(1)에 대하여 미끄러지는 것에 의한 리드(21)와 리드(11)의 어긋남이 방지된다.On the other hand, since the pressing surface of the
t2에서 경화가 개시된 후, t3에서, 가압원(55)의 압력을 상승시킨다. 즉, 압박 개시(t1)로부터 미리 정해진 시간 경과한 타이밍에(단계 103의 YES), 가압원(55)의 압력을 상승시킨다(단계 104). 미리 정해진 시간은, 예컨대, 0.5초이다. 이에 의해, t4에서, ACF(3)에 의한 도전성의 확보에 필요한 제2 압력까지 상승시킨다. 이와 같이, 제2 압력에 달하는 시점(t4)은, 기재(31)의 경화가 개시(t2) 후, 제2 워크(2)와 제1 워크(1)의 접착이 가능한 점성을 가지고 있는 t5까지의 사이이다. 즉, 「접착 가능한 경도가 유지되고 있다」란, 접착 가능한 점성을 가지고 있는 것을 말한다. 도 7로 말하자면, t2부터 t5 사이의 기간이며, 예컨대, 압박 개시(t1)로부터 0.2∼1초의 기간이다.After curing starts at t2, the pressure of the
t4에서는, 구동 기구(56)가 하강 동작을 정지한다. 이에 의해, 도 5의 (b)에 나타내는 바와 같이, 도전 입자(32)가 찌부러져, 리드(21)와 리드(11)의 도전성이 확보되어, 전기적인 접속이 확립된다. 그 후, 기재(31)의 경화가 더욱 진행되어 가열 압착이 완료, 즉, 압착 시간이 경과하는 시점인 t6에 달하기까지의 사이에 경화하여, 제2 워크(2)와 제1 워크(1)가 접합되어, 기계적인 접속이 확립된다.At t4, the
t1, 즉 압박 개시로부터, 미리 정해진 압착 시간이 경과한 타이밍에(단계 105의 YES), 구동 기구(56)가 가압원(55)을 상승시킴으로써 가압 부재(51)가 상승하여, 제2 워크(2)를 가압으로부터 해방한다(단계 106). 압착 시간은, 예컨대, 5초이다.the pressing
[작용 효과][Function and effect]
(1) 이상과 같은 실시형태에 따르면, 열경화성 수지를 기재(31)로 하는 ACF(3)를 통해, 제1 워크(1)의 리드(11) 및 제2 워크(2)의 리드(21)를 가열 압착하는 압착부(50)를 가지고, 압착부(50)는, 제2 워크(2)를 제1 워크(1)에 대하여 가압하는 가압 부재(51)와, 가압 부재(51)를 가열하는 가열부(52)와, 가열부(52)에 의해 가열된 가압 부재(51)에, ACF(3)에 의한 도전성의 확보에 필요한 압력보다 낮은 제1 압력에 의해 제2 워크(2)를 가압시키며 열에 의해 기재(31)를 용융시켜, 기재(31)의 경화가 개시되고 나서 접착 가능한 경도가 유지되고 있는 동안에, 도전성의 확보에 필요한 제2 압력에 의해 제2 워크(2)를 가압시키는 압력 조정부(53)를 갖는다.(1) According to the embodiment described above, the
이 때문에, 열경화성 수지가 용융되고 있음으로써, 제1 및 제2 워크(1, 2) 사이에 위치 어긋남이 생기기 쉬운 기간은 낮은 압력으로 가압함으로써 위치 어긋남을 방지하면서, 열경화성 수지가 경화를 개시하여 위치 어긋남이 생기기 어려워진 후에, 도전 입자가 찌부러져 도전성을 확보할 수 있는 압력을 가할 수 있다. 또한, 접착 가능한 경도가 유지되고 있는 동안에, 높은 압력을 가하기 때문에, 기계적인 접속에 대해서도 문제가 없다. 따라서, 도전성을 확보할 수 있는 압력까지 서서히 상승시켜 가는 것이 아니라, 매우 단시간에, 제1 압력에서 제2 압력으로 전환하기 때문에, 압착 시간이 단축되고, 열팽창에 의한 리드(11, 21)의 위치 어긋남도 방지할 수 있다.Therefore, the thermosetting resin is melted and a period in which the positional deviation is likely to occur between the first and
(2) 압력 조정부(53)는, 가압 부재(51)에 의한 제2 워크(2)의 가압 개시로부터 미리 정해진 시간에, 제1 압력에서 제2 압력으로 전환한다. 전환하는 타이밍은, 실험 등에 의해 구할 수 있다. 예컨대, 가열된 가압 부재(51)가 가압을 개시하고 나서 기재(31)가 경화를 개시하고, 접합에 필요한 점성이 유지되고 있는 시간 사이에, 제2 압력을 가하여도 제1, 제2 워크(1, 2) 사이에 어긋남이 생기지 않는 타이밍을 구해 두면 좋다. 이에 따라 압력 조정부(53)가 압력을 전환하는 제어를 행함으로써, 어긋남을 방지할 수 있다.(2) The
(3) 발명자의 실험에 따르면, 가압 부재(51)에 의한 압박을 개시하고 나서 기재(31)가 경화를 개시하여, 접착에 필요한 점성이 유지되는 기간은, 0.2초∼1초이다. 이 경우, 압박을 개시한 시점으로부터 제2 압력으로 전환하기까지의 시간(전환 시간)을 0.2초∼1초 사이로 설정하면 좋다. 보다 바람직하게는, 전환 시간을 0.5초∼1초 사이로 제2 압력을 부여하면 좋다. 이와 같이 함으로써, 위치 어긋남을 방지할 수 있다.(3) According to the experiment of the inventor, the period in which the
(4) 제1 압력은, 제2 압력의 4분의 1 이하이다. 이 때문에, 기재(31)가 용융하여 경화가 개시하기 전에는, 도전성을 확보하기 위한 압력보다 매우 낮은 압력으로 하여, 위치 어긋남을 확실하게 방지할 수 있다. 보다 구체적으로는, 제1 압력은, 용융된 상태의 기재(31)를 찌부러뜨리는 일이 없을 정도의 압력, 바꾸어 말하면, 용융된 상태의 기재(31)의 형상을 유지할 수 있는 압력이다. 이 때문에, 제2 압력이 부여되기까지의 동안, 용융된 기재(31)가 찌부러지지 않고 이루어지기 때문에, 용융된 기재(31)가 찌부러질 때에 생기기 쉬운 제1, 제2 워크(1, 2) 사이의 위치 어긋남을 방지할 수 있다. 이 결과, 제1, 제2 워크(1, 2)의 압착 정밀도를 향상시킬 수 있다.(4) The first pressure is not more than 1/4 of the second pressure. Therefore, before the base 31 is melted and hardening is started, the pressure is set to be much lower than the pressure for securing the conductivity, so that the positional deviation can be reliably prevented. More specifically, the first pressure is a pressure at which the
(5) 압력 조정부(53)는, 제2 압력의 가압원(55)과, 가압원(55)과 함께, 가압 부재(51)를 제2 워크(2)에 접촉/분리하는 방향으로 구동시키는 구동 기구(56)를 갖는다. 이 때문에, 구동 기구(56)에 의해 가압 부재(51)를 제2 워크(2)에 압박하여 제1 압력을 가한 후, 상기와 같은 타이밍에 가압원(55)에 의해 가압 부재(51)를 가압하여 제2 압력을 가할 수 있다. 그렇게 되면, 가압원(55)은, 미리 설정된 타이밍에 압력을 일정 상태로부터 상승으로 전환하는 것만으로 되기 때문에, 단일의 가압원(55)에 의해 압력 상승의 기울기를 도중에 변경하는 것보다, 제1 압력으로부터 제2 압력으로의 전환 타이밍을 정확하게 제어할 수 있다.(5) The
(6) 한쌍의 워크의 도전성을 갖는 부분은, 복수의 리드(11, 21)이며, 복수의 리드(11, 21)의 피치(p)는 최대로도 40 ㎛ 이하이다. 이와 같이, 제1 워크(1) 및 제2 워크(2)가 고선명인 부품이라도, 대응하는 리드끼리의 도전성과, 대응하지 않는 리드끼리의 절연을 확실하게 확보할 수 있다.(6) The conductive parts of a pair of works are a plurality of
[변형예][Modifications]
(1) 압력 조정부(53)는, 가압원(55)과 구동 기구(56)의 조합에 의해 압력을 조정하는 양태에는 한정되지 않는다. 가압원(55)에 의해서만 압력을 조정하는 양태여도 좋다. 가압원(55)으로서는, 공기압 실린더 이외에도, 유압 실린더, 볼 나사 기구 등을 이용하여도 좋다.(1) The
(2) 제1 워크(1)는, 표시 패널 이외의 도전성을 갖는 부분을 구비한 부재로 하여도 좋다. 도전성을 갖는 부분은, 제1 워크(1)의 평면에는 한정되지 않고, 제1 워크(1)의 측면이어도 좋다. 예컨대, 제1 워크(1)가 사각형의 기판으로서, 그 측면에 리드가 노출되어 있는 경우라도 좋다. 이 경우, 압착부(50)에 대향하는 측에서 제2 워크(2) 및 제1 워크(1)를 사이에 끼우는 압력 수취부(60)를 마련하지 않아도 좋다.(2) The
제2 워크(2)의 기판의 재질은 수지제가 플렉시블한 것에는 한정되지 않는다. 제2 워크(2)에 유리제의 기판을 이용하여도 좋다. 제1 워크(1)로서 유리제의 기판이 아니라, 수지제의 플렉시블한 기판을 이용하여도 좋다.The material of the substrate of the
(3) 상기 양태는, 제1 워크(1)의 하나의 변에 가압착된 복수의 제2 워크(2)를, 장척의 하나의 가압 부재(51)를 이용하여, 일괄하여 본압착하는 양태였다. 그러나, 본압착의 방식은, 이것에는 한정되지 않고, 제2 워크(2)에 대응하는 길이의 가압 부재(51)의 가압면을, 하나하나에 대응하여 배열하여 복수 배치한 구성으로 할 수도 있다. 가압원(55) 등의 가압 부재(51)에 압력을 가하는 구성도, 복수의 가압 부재(51)에 대응시켜 하나하나 개별로 마련되어 있어도 좋다.(3) In the above-described aspect, a plurality of
또한, 상기 양태는, 제1 워크(1)의 하나의 변에 복수의 제2 워크(2)를 본압착하는 양태이지만, 도 1의 (b)에 나타내는 바와 같이, 제1 워크(1)의 하나의 변에 단일의 제2 워크(2)를 본압착하는 양태에도 적용할 수 있다. 또한, 제1 워크(1)의 복수의 변에, 단수 또는 복수의 제2 워크를 본압착하는 양태에도 적용할 수 있다.In this embodiment, a plurality of
또한, 제2 워크(2)가 지지되는 수취측으로서, 제1 워크(1)가 가압되는 측으로 하는 구성이어도, 제1 워크(1)와 제2 워크(2)의 쌍방으로부터 가압하는 구성이어도 좋다.The
(4) 상기 양태에서, 제1 워크(1)의 리드(11)의 간격과 제2 워크(2)의 리드(21)의 간격이 일치한다는 것은, 양자 간격이 워크(1, 2)끼리를 가열 압착하기 전의 상태로 일치하는 것에 한정되지 않고, 가열 압착 후에 간격이 일치하도록, 열팽창을 예측하여, 양 워크(1, 2)의 리드(11, 21)의 간격을 다르게 하여 형성한 것도 포함한다.(4) In the above-described aspect, the distance between the
[다른 실시형태][Other Embodiments]
이상, 본 발명의 실시형태 및 각 부의 변형예를 설명하였지만, 이 실시형태나 각 부의 변형예는, 일례로서 제시한 것이고, 발명의 범위를 한정하는 것은 의도하지 않는다. 전술한 이들 신규의 실시형태는, 그 외의 여러 가지 형태로 실시되는 것이 가능하고, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 여러 가지의 생략, 치환, 변경을 행할 수 있다. 이들 실시형태나 그 변형은, 발명의 범위나 요지에 포함되며, 특허청구의 범위에 기재된 발명에 포함된다.Although the embodiment of the present invention and the modified examples of the respective parts have been described above, the embodiments and the modified examples of the parts are presented as an example, and the scope of the invention is not intended to be limited. The above-described new embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, substitutions, and alterations can be made without departing from the gist of the invention. These embodiments and their modifications fall within the scope and spirit of the invention and are included in the invention as defined in the claims.
1 제1 워크
11 리드
2 제2 워크
21 리드
3 ACF
31 기재
32 도전 입자
40 압착 장치
50 압착부
51 가압 부재
52 가열부
53 압력 조정부
55 가압원
55a 작동 로드
55b 압력 센서
55c 승강 블록
56 구동 기구
561 프레임
562 모터
563 볼 나사
564 너트 부재
565 베이스 플레이트
566, 567 가이드 레일
60 압력 수취부
61 백업부
62 가열부
70 지지부
71 스테이지
72 이동 장치
B 쿠션 시트
80 제어 장치
81 검지부
82 압력 제어부
83 제1 온도 제어부
84 제2 온도 제어부
85 기구 제어부
86 기억부
87 설정부
88 입출력 제어부1
2
3
32
50
52
55
56
562
564
566, 567
61
70
72 Mobile Unit B Cushion Sheet
80
82
84 second
86
88 Input /
Claims (6)
상기 압착부는,
상기 한쌍의 워크 중 적어도 한쪽을 가압하는 가압 부재와,
상기 가압 부재를 가열하는 가열부와,
상기 가열부에 의해 가열된 상기 가압 부재에, 상기 이방성 도전 부재에 의한 도전성의 확보에 필요한 압력보다 낮은 제1 압력에 의해 상기 워크를 가압시키며 열에 의해 상기 기재를 용융시켜, 상기 기재의 경화가 개시되고 나서 접착 가능한 경도가 유지되고 있는 동안에, 도전성의 확보에 필요한 제2 압력에 의해 상기 워크를 가압시키는 압력 조정부
를 갖는 것인, 압착 장치.A pressing portion for thermally compressing and bonding a portion having conductivity of the pair of works through an anisotropic conductive member made of a thermosetting resin as a base,
The press-
A pressing member for pressing at least one of the pair of works,
A heating unit for heating the pressing member,
The work is pressed against the pressing member heated by the heating section by a first pressure lower than a pressure necessary for securing the conductivity by the anisotropic conductive member and the base material is melted by heat to cause curing of the base material A pressure adjusting section for pressing the workpiece by a second pressure necessary for ensuring conductivity while maintaining a hardness that can be adhered to the workpiece,
. ≪ / RTI >
상기 압력 조정부는, 상기 가압 부재에 의한 상기 워크의 가압 개시로부터 미리 정해진 시간에, 상기 제1 압력에서 상기 제2 압력으로 전환하는 것인, 압착 장치.The method according to claim 1,
Wherein the pressure adjusting portion switches from the first pressure to the second pressure at a predetermined time from the start of pressing of the work by the pressing member.
상기 미리 정해진 시간은 0.2초∼1초인 것인, 압착 장치.3. The method of claim 2,
Wherein the predetermined time is 0.2 seconds to 1 second.
상기 제1 압력은 상기 제2 압력의 4분의 1 이하인 것인, 압착 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the first pressure is one fourth or less of the second pressure.
상기 압력 조정부는,
상기 제2 압력의 가압원과,
상기 가압원과 함께, 상기 가압 부재를 상기 워크에 접촉/분리하는 방향으로 구동시키는 구동 기구
를 갖는 것인, 압착 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The pressure adjusting unit may include:
A pressure source of the second pressure,
A driving mechanism for driving the pressing member in a direction to contact / separate the pressing member with the pressing source,
. ≪ / RTI >
상기 제1 압력은, 용융된 상태의 상기 기재를 찌부러뜨릴 수 있는 압력보다 작게 설정되는 것인, 압착 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the first pressure is set to be smaller than a pressure capable of crushing the substrate in a molten state.
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