KR20180087123A - Developing apparatus - Google Patents

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KR20180087123A
KR20180087123A KR1020170161408A KR20170161408A KR20180087123A KR 20180087123 A KR20180087123 A KR 20180087123A KR 1020170161408 A KR1020170161408 A KR 1020170161408A KR 20170161408 A KR20170161408 A KR 20170161408A KR 20180087123 A KR20180087123 A KR 20180087123A
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도시모토 나카가와
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가부시키가이샤 히라마리카겐큐죠
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Abstract

The present invention provides a developing device capable of measuring and managing the concentration of carbon dioxide absorbed in a developing solution representing alkalinity. According to the present invention, the developing device comprises: a developing solution making device mixing a raw developing solution including a main component of the developing solution representing alkalinity with pure water to make a developing solution with a predetermined concentration as a new developing solution; a new developing solution pipe transferring the new developing solution supplied from the developing solution making device to the repetitively used developing solution; a raw developing solution pipe transferring the raw developing solution supplied to the repetitively used developing solution; a pure water pipe transferring the pure water supplied to the repetitively used developing solution; and a developing solution management device managing the repetitively used developing solution at a predetermined component concentration or a predetermined concentration range.

Description

현상 장치{DEVELOPING APPARATUS}[0001] DEVELOPING APPARATUS [0002]

본 발명은, 반도체나 액정 패널에 있어서의 회로 기판의 현상 공정 등에서 포토레지스트(photoresist)막을 현상하기 위해 사용되는, 현상 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a developing apparatus used for developing a photoresist film in a semiconductor or a liquid crystal panel in a developing process of a circuit board or the like.

반도체나 액정 패널 등에 있어서의 미세 배선 가공을 실현하는 포토리소그래피(photo lithography)의 현상 공정에는, 기판 상에 제막(製膜)된 포토레지스트를 용해하는 약액으로서, 알칼리성을 나타내는 현상액(이하, 「알칼리성 현상액」이라 함)이 사용되고 있다.Description of the Related Art [0002] In a photolithography process for realizing fine wiring in a semiconductor or a liquid crystal panel, a developer (hereinafter referred to as " alkaline solution ") is used as a chemical solution for dissolving a photoresist film- Developing solution ") is used.

반도체나 액정 패널 기판의 제조 공정에서는, 최근, 웨이퍼나 글래스 기판의 대형화와 배선 가공의 미세화, 및 고집적화가 진행되어 왔다. 이러한 상황에서, 대형 기판의 배선 가공의 미세화, 및 고집적화를 실현하기 위해, 알칼리성 현상액의 주요 성분의 농도를 가일층 고정밀도로 측정해서 현상액을 유지 관리하는 것이 필요해지고 있다.BACKGROUND ART [0002] In recent semiconductor and liquid crystal panel substrate manufacturing processes, miniaturization of wafers and glass substrates, miniaturization of wiring processing, and high integration have been progressed. In such a situation, it has become necessary to measure the concentration of the main components of the alkaline developer at a high level of accuracy and to maintain the developer in order to realize miniaturization and high integration of wiring processing on a large substrate.

종래의 알칼리성 현상액의 성분 농도의 측정은, 특허문헌 1에 기재되어 있는 바와 같이, 알칼리성 현상액의 알칼리 성분의 농도(이하, 「알칼리 성분 농도」라 함)와 도전률 사이에 양호한 직선 관계가 얻어지는 것, 및, 알칼리성 현상액에 용해된 포토레지스트의 농도(이하, 「용해 포토레지스트 농도」라 함)와 흡광도 사이에 양호한 직선 관계가 얻어지는 것을 이용한 것이었다.The measurement of the component concentration of the conventional alkaline developer is carried out in such a manner that a good linear relationship is obtained between the concentration of the alkaline component of the alkaline developer (hereinafter referred to as " alkali component concentration ") and the conductivity (Hereinafter referred to as " dissolved photoresist concentration ") and the absorbance of the photoresist dissolved in the alkaline developing solution.

그러나, 알칼리성 현상액은 공기 중의 이산화탄소를 흡수하여 탄산염을 발생시키기 쉽다. 이 때, 현상액 중의 현상 활성을 갖는 알칼리 성분이 소비되어 감소된다. 따라서, 현상액의 현상 성능을 고정밀도로 유지 관리하기 위해서는, 현상액에 흡수된 이산화탄소가 현상 성능에 끼치는 영향을 함께 고려한 현상액 관리가 필요했다.However, the alkaline developer easily absorbs carbon dioxide in the air to generate carbonates. At this time, the alkali component having the developing activity in the developer is consumed and reduced. Therefore, in order to maintain and maintain the developing performance of the developing solution with high accuracy, it was necessary to manage the developing solution taking into consideration the influence of the carbon dioxide absorbed in the developing solution on the developing performance.

이러한 문제를 해결하기 위해, 특허문헌 2에는, 현상액의 초음파 전파 속도, 도전률 및 흡광도를 측정해서, 알칼리 농도, 탄산염 농도 및 용해 수지 농도에 있어서의 초음파 전파 속도와 도전률과 흡광도의 미리 작성된 관계(매트릭스)에 의거하여 현상액의 알칼리 농도, 탄산염 농도 및 용해 수지 농도를 검출하고, 측정된 현상액의 알칼리 농도, 탄산염 농도 및 용해 수지 농도와, CD값(critical dimension value)(선폭)이 일정한 값으로 되도록 하는 용해능을 발휘할 수 있는 알칼리 농도와 탄산염 농도와 용해 수지 농도의 미리 작성된 관계에 의거하여, 현상액 원액의 공급을 제어해서 알칼리 농도를 조절하는 현상액 조제 장치 등이 개시되어 있다.In order to solve such a problem, Patent Document 2 discloses a method of measuring ultrasonic wave propagation speed, conductivity and absorbance of a developer, measuring the ultrasonic wave propagation speed in the alkali concentration, the carbonate concentration and the dissolved resin concentration, The carbonate concentration and the dissolved resin concentration of the developer are detected on the basis of the measured values (matrix), and the alkali concentration, the carbonate concentration and the dissolved resin concentration of the measured developer, and the CD value (critical dimension value) Based on the relationship between the alkali concentration, the carbonate concentration and the dissolved resin concentration that can exert the dissolving ability to control the alkali concentration by controlling the supply of the developer stock solution.

또한, 특허문헌 3에는, 현상액의 굴절률, 도전률, 흡광도를 측정해서, 그들 측정값으로부터 현상액 중의 탄산계 염류 농도를 취득하는 탄산계 염류 농도 측정 장치, 및, 이 탄산계 염류 농도 측정 장치와 현상액 중의 탄산계 염류 농도를 제어하는 제어부를 구비하는 알칼리 현상액 관리 시스템 등이 개시되어 있다.Patent Document 3 discloses a carbonic acid-based salt concentration measuring device for measuring the refractive index, conductivity and absorbance of a developer and obtaining the concentration of carbonate-based salts in the developer from the measured values, and a device for measuring the concentration of carbonic acid- An alkaline developer management system including a control unit for controlling the concentration of carbonate-based salts in the developer.

일본국 특허 제2561578호 공보Japanese Patent No. 2561578 일본국 특개2008-283162호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-283162 일본국 특개2011-128455호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2011-128455

그러나, 알칼리성 현상액의 초음파 전파 속도값이나 굴절률값은, 다성분계인 알칼리성 현상액의 액 전체의 성질을 나타내는 특성값이다. 이러한 액 전체의 성질을 나타내는 특성값은, 일반적으로, 그 액에 포함되는 특정의 성분의 농도와만 상관하고 있는 것은 아니다. 이러한 액 전체의 성질을 나타내는 특성값은, 통상, 그 액에 포함되는 각종 성분의 농도의 각각에 상관을 갖는다. 그 때문에, 현상액의 성분 농도를 이러한 액 전체의 성질을 나타내는 특성값의 측정값으로부터 연산할 경우에 있어서, 어떤 특성값이 어떤 특정의 성분 농도와만 상관하는 것(예를 들면 직선 관계에 있음)으로 하고 다른 성분이 그 특성값에 끼치는 영향을 무시하면, 당해 특정 성분의 농도를 충분한 정밀도를 갖고 산출할 수 없다는 문제가 있었다.However, the ultrasound propagation velocity value or the refractive index value of the alkaline developer is a characteristic value indicating the properties of the liquid of the alkaline developer, which is a multi-component system. The characteristic value indicating the property of the whole liquid generally does not correlate only with the concentration of the specific component contained in the liquid. The characteristic value indicating the properties of such a liquid generally has a correlation with each of the concentrations of various components contained in the liquid. Therefore, when calculating the component concentration of the developing solution from the measured value of the characteristic value indicating the property of such liquid, it is preferable that a certain characteristic value is correlated only with a specific component concentration (for example, in a linear relationship) There is a problem in that the concentration of the specific component can not be calculated with sufficient accuracy if the influence of other components on the characteristic value is ignored.

한편, 현상액의 특성값이 현상액에 포함되는 각종 성분의 농도의 함수인 것으로 해서 현상액의 특성값의 측정값으로부터 각 성분 농도를 산출할 경우에는, 복수의 특성값을 측정한 후, 이들 특성값의 측정값으로부터 각 성분 농도를 산출하기 위한 적절한 연산 방법을 채용하는 것이 필요하다. 그러나, 측정해야할 특성값을 적절히 선택하는 것과, 특성값의 측정값으로부터 각 성분 농도를 정밀하게 산출할 수 있는 적절한 연산 방법을 발견하는 것은, 모두 매우 곤란하다. 그 때문에, 측정되는 특성값과 연산 방법이 적절하지 않으면, 각 성분 농도를 충분한 정밀도를 갖고 산출할 수 없다는 문제가 있었다.On the other hand, when the characteristic value of the developing solution is a function of the concentration of various components contained in the developing solution, and when the concentration of each component is calculated from the measured value of the developer characteristic value, a plurality of characteristic values are measured, It is necessary to adopt an appropriate calculation method for calculating the concentration of each component from the measured value. However, it is very difficult to appropriately select characteristic values to be measured, and to find an appropriate calculation method capable of accurately calculating the concentration of each component from measured values of characteristic values. Therefore, unless the characteristic value and the calculation method to be measured are appropriate, there is a problem that the concentration of each component can not be calculated with sufficient accuracy.

또한, 다성분계의 액체에서는, 일반적으로, 어떤 성분의 농도는 다른 성분의 농도와 서로 독립하지는 않는다. 다성분계의 액체에서는, 어떤 성분의 농도가 변화하면 다른 성분 농도도 동시에 변화한다는 상호 관계가 있다. 이것이, 고정밀도의 성분 농도의 산출 및 고정밀도의 현상액 관리를 보다 곤란한 것으로 하고 있다.Further, in a multicomponent liquid, generally, the concentration of a certain component is not independent of the concentration of the other component. In a multicomponent liquid, there is a correlation that when a concentration of a certain component changes, the concentrations of other components change simultaneously. This makes it more difficult to calculate the component concentration with high precision and to manage the developer with high accuracy.

또한, 현상액에 흡수된 이산화탄소의 농도(이하, 「흡수 이산화탄소 농도」라 함)에 대해서는, 이것과 양호한 상관을 나타내는 현상액의 적당한 특성값이 알려져 있지 않고, 종래는, 흡수 이산화탄소 농도를 정밀하게 측정하는 것은 곤란했다. 그 때문에, 원하는 현상 성능을 유지하는 것이 어려웠다.With respect to the concentration of carbon dioxide absorbed in the developing solution (hereinafter referred to as " absorbed carbon dioxide concentration "), an appropriate characteristic value of a developing solution exhibiting a good correlation with this concentration is not known. Conventionally, It was difficult. Therefore, it has been difficult to maintain desired developing performance.

본 발명은, 상기 제반 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이다. 본 발명은, 다성분계인 현상액의 밀도값으로부터 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 측정할 수 있고, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 소정의 관리값으로 되도록, 또는, 소정의 관리값을 넘지 않도록 관리할 수 있어, 현상의 균일성을 유지할 수 있는 현상 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above problems. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can measure the absorbed carbon dioxide concentration of a developer from the density value of a developer in a multi-component system, and can manage the absorbed carbon dioxide concentration of the developer to a predetermined management value or a predetermined management value, And it is an object of the present invention to provide a developing device capable of maintaining the uniformity of development.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 현상 장치는, 알칼리성을 나타내는 현상액의 주성분을 포함하는 현상 원액과 순수를 혼합해서, 설정된 농도의 상기 현상액을 현상 신액으로서 조제하는 현상액 조제 장치와, 반복 사용되는 상기 현상액에 상기 현상액 조제 장치로부터 보급되는 상기 현상 신액이 송액되는 현상 신액용 관로와, 상기 반복 사용되는 상기 현상액에 보급되는 상기 현상 원액이 송액되는 현상 원액용 관로와, 상기 반복 사용되는 상기 현상액에 보급되는 순수가 송액되는 순수용 관로와, 상기 반복 사용되는 상기 현상액을 소정의 성분 농도로 또는 소정의 농도 범위로 관리하는 현상액 관리 장치를 구비한다.In order to achieve the above object, a developing apparatus of the present invention is a developing apparatus comprising: a developer dispensing apparatus for mixing a developing stock solution containing a main component of a developing solution exhibiting alkalinity with pure water to prepare the developing solution of a predetermined concentration as a developing solution; A developing liquid channel for supplying the developing liquid replenished from the developing solution dispensing apparatus to the developing solution; and a developing liquid channel for supplying the developing liquid replenished to the developing solution repeatedly used, And a developer management device for managing the developer to be used repeatedly at a predetermined concentration or within a predetermined concentration range.

본 발명에 따르면, 반복 사용되는 상기 현상액을 소정의 성분 농도로 또는 소정의 농도 범위로 관리할 수 있으므로, 원하는 현상 성능을 유지할 수 있다.According to the present invention, since the developer to be used repeatedly can be managed at a predetermined component concentration or a predetermined concentration range, the desired developing performance can be maintained.

본 발명의 현상 장치에 있어서, 상기 현상액 관리 장치가, 또한, 상기 반복 사용되는 상기 현상액의 밀도값을 측정하는 밀도계와, 상기 밀도계에 의해 측정된 상기 밀도값에 의거하여, 상기 반복 사용되는 상기 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도 사이의 대응 관계를 사용해서, 상기 반복 사용되는 상기 현상액의 흡수 이산화탄소 농도가 소정의 관리값 또는 소정의 관리값 이하로 되도록, 상기 현상 신액용 관로에 설치된 제어 밸브, 상기 현상 원액용 관로에 설치된 제어 밸브 및 상기 순수용 관로에 설치된 제어 밸브 중 적어도 어느 하나에 제어 신호를 발하는 제어 수단을 구비한다.In the developing apparatus of the present invention, it is preferable that the developer management apparatus further comprises: a density meter for measuring the density value of the developer to be used repeatedly; and a density meter for measuring the density value of the developer A control valve provided in the development / delivery pipeline so that the absorbed carbon dioxide concentration of the developer to be used repeatedly becomes equal to or lower than a predetermined management value or a predetermined management value by using a corresponding relationship between the density of the developer and the absorbed carbon dioxide concentration, And control means for issuing a control signal to at least one of a control valve provided in the development source channel and a control valve provided in the pure water channel.

본 발명에 따르면, 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도의 대응 관계에 의해, 밀도계에 의해 측정된 현상액의 밀도값으로부터 보급해야 할 보충액의 양을 알 수 있으므로, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 소정의 관리값 또는 관리값 이하로 되도록 보충액을 보급해서 관리할 수 있다.According to the present invention, since the amount of the replenishing liquid to be replenished can be known from the density value of the developing solution measured by the density meter by the correspondence between the density of the developing solution and the absorbed carbon dioxide concentration, Or the replenishment amount can be controlled so as to be equal to or less than the control value.

본 발명의 현상 장치에 있어서, 현상액 관리 장치가, 또한, 상기 반복 사용되는 상기 현상액의 밀도값을 측정하는 밀도계와, 상기 밀도계에 의해 측정된 상기 밀도값에 의거하여, 상기 반복 사용되는 상기 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도 사이의 대응 관계로부터, 상기 반복 사용되는 상기 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 산출하는 연산부와, 상기 연산부에서 산출되는 상기 흡수 이산화탄소 농도의 값에 의거하여, 상기 반복 사용되는 상기 현상액의 흡수 이산화탄소 농도가 소정의 관리값 또는 소정의 관리값 이하로 되도록, 상기 현상 신액용 관로에 설치된 제어 밸브, 상기 현상 원액용 관로에 설치된 제어 밸브 및 상기 순수용 관로에 설치된 제어 밸브 중 적어도 어느 하나에 제어 신호를 발하는 제어부를 구비하는 연산 제어 수단을 구비한다.In the developing apparatus of the present invention, the developer managing apparatus may further include a density meter for measuring the density value of the developer to be used repeatedly, and a density meter for measuring the density value of the developer, An operation section for calculating the absorbed carbon dioxide concentration of the developer to be used repeatedly from the corresponding relationship between the density of the developer and the absorbed carbon dioxide concentration; and a control section for controlling, based on the value of the absorbed carbon dioxide concentration calculated in the calculating section, At least one of a control valve provided in the development fresh liquid pipeline, a control valve provided in the development raw liquid pipeline, and a control valve provided in the pure water pipeline so that the absorbed carbon dioxide concentration of the pure water pipeline becomes a predetermined management value or a predetermined management value And a control section for issuing a control signal to the control section .

본 발명에 따르면, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도와 양호한 대응 관계를 갖는 밀도값을 측정하는 밀도계를 구비하고 있으므로, 밀도계에 의해 측정된 밀도값으로부터 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 산출할 수 있고, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 소정의 관리값 또는 관리값 이하로 되도록 보충액을 보급해서 관리할 수 있다.According to the present invention, since the density meter for measuring the density value having a good correspondence relationship with the absorbed carbon dioxide concentration of the developer is provided, the absorbed carbon dioxide concentration of the developer can be calculated from the density value measured by the density meter, The replenishing liquid can be supplied and managed so that the absorbed carbon dioxide concentration becomes equal to or less than a predetermined control value or a control value.

본 발명의 현상 장치에 있어서, 현상액 관리 장치가, 또한, 상기 반복 사용되는 상기 현상액의 밀도값을 측정하는 밀도계와, 상기 밀도계에 의해 측정된 상기 밀도값에 의거하여, 상기 반복 사용되는 상기 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도 사이의 대응 관계로부터, 상기 반복 사용되는 상기 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 산출하는 연산 수단과, 상기 연산 수단으로 산출되는 상기 흡수 이산화탄소 농도의 값에 의거하여, 상기 반복 사용되는 상기 현상액의 흡수 이산화탄소 농도가 소정의 관리값 또는 소정의 관리값 이하로 되도록, 상기 현상 신액용 관로에 설치된 제어 밸브, 상기 현상 원액용 관로에 설치된 제어 밸브 및 상기 순수용 관로에 설치된 제어 밸브 중 적어도 어느 하나에 제어 신호를 발하는 제어 수단을 구비한다.In the developing apparatus of the present invention, the developer managing apparatus may further include a density meter for measuring the density value of the developer to be used repeatedly, and a density meter for measuring the density value of the developer, Calculating means for calculating the absorbed carbon dioxide concentration of the developer to be used repeatedly based on the correspondence relation between the density of the developing solution and the absorbed carbon dioxide concentration; and a calculating means for calculating, based on the absorbed carbon dioxide concentration value calculated by the calculating means, A control valve provided in the development fresh liquid pipeline, a control valve provided in the development raw liquid pipeline, and a control valve provided in the pure water pipeline so that the absorbed carbon dioxide concentration of the developer becomes a predetermined management value or a predetermined management value or less And control means for issuing a control signal to any one of them.

본 발명에 따르면, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도와 양호한 대응 관계를 갖는 밀도값을 측정하는 밀도계를 구비하고 있으므로, 밀도계에 의해 측정된 밀도값으로부터 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 산출할 수 있고, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 소정의 관리값 또는 관리값 이하로 되도록 보충액을 보급해서 관리할 수 있다.According to the present invention, since the density meter for measuring the density value having a good correspondence relationship with the absorbed carbon dioxide concentration of the developer is provided, the absorbed carbon dioxide concentration of the developer can be calculated from the density value measured by the density meter, The replenishing liquid can be supplied and managed so that the absorbed carbon dioxide concentration becomes equal to or less than a predetermined control value or a control value.

본 발명에 따르면, 종래는 측정하는 것이 곤란했던 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 측정할 수 있다. 또한, 측정한 밀도값 또는 산출한 흡수 이산화탄소 농도값에 의거하여, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도가 소정의 관리값 또는 관리값 이하로 되도록, 현상액에 보충액을 보급해서 관리할 수 있어, 원하는 현상 특성을 유지할 수 있다.According to the present invention, it is possible to measure the absorbed carbon dioxide concentration of a developer which was conventionally difficult to measure. The replenishing liquid can be supplied to the developer so that the absorbed carbon dioxide concentration of the developer becomes equal to or less than a predetermined control value or a control value based on the measured density value or the calculated absorbed carbon dioxide concentration value, .

도 1은 현상액의 흡수 이산화탄소 농도와 밀도의 관계를 나타내는 그래프.
도 2는 현상액의 성분 농도 측정 장치의 모식도.
도 3은 진동식 밀도계의 대표적인 구성의 모식도.
도 4는 제1 실시형태의 현상 장치의 모식도.
도 5는 제2 실시형태의 현상 장치의 모식도.
도 6은 제3 실시형태의 현상 장치의 모식도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a graph showing the relationship between the absorbed carbon dioxide concentration and density of a developer. FIG.
2 is a schematic view of an apparatus for measuring the component concentration of a developer.
3 is a schematic diagram of a typical configuration of a vibration density meter.
4 is a schematic view of the developing apparatus of the first embodiment.
5 is a schematic view of the developing apparatus of the second embodiment.
6 is a schematic view of the developing apparatus of the third embodiment.

이하, 적절히 도면을 참조하면서, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해 상세히 설명한다. 단, 이들 실시형태에 기재되어 있는 장치 등의 형상, 크기, 치수 비, 그 상대 배치 등은, 특별히 특정적인 기재가 없는 한, 본 발명의 범위를 도시하고 있는 것으로만 한정하는 것은 아니다. 단순한 설명 예로서, 모식적으로 도시하고 있는 것에 지나지 않는다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate. However, the shape, size, dimensional ratio, relative arrangement, and the like of the apparatuses described in these embodiments are not limited to those shown in the scope of the present invention unless otherwise specified. As a simple explanation example, it is only schematically shown.

실시형태의 현상 장치는, 알칼리성을 나타내는 현상액의 주성분을 포함하는 현상 원액과 순수를 혼합해서, 설정된 농도의 상기 현상액을 현상 신액으로서 조제하는 현상액 조제 장치와, 반복 사용되는 상기 현상액에 상기 현상액 조제 장치로부터 보급되는 상기 현상 신액이 송액되는 현상 신액용 관로와, 상기 반복 사용되는 상기 현상액에 보급되는 상기 현상 원액이 송액되는 현상 원액용 관로와, 상기 반복 사용되는 상기 현상액에 보급되는 순수가 송액되는 순수용 관로와, 상기 반복 사용되는 상기 현상액을 소정의 성분 농도로 또는 소정의 농도 범위로 관리하는 현상액 관리 장치를 구비한다.The developing apparatus of the embodiment is a developing apparatus which comprises a developer solution preparing apparatus for mixing developer stock solution containing a main component of a developer exhibiting alkalinity with pure water and preparing the developer solution with a predetermined concentration as a developer solution for developing solution, A developing liquid supply channel for supplying the developing liquid replenished from the developing solution supply unit to the development liquid supply line for supplying the developing liquid replenished to the developing solution repeatedly used; And a developer management device for managing the developer to be used repeatedly at a predetermined component concentration or within a predetermined concentration range.

현상 장치에 포함되는 현상액 관리 장치에 대해 설명한다.The developer management device included in the developing apparatus will be described.

이하의 설명에서는, 현상액의 구체예로서, 반도체나 액정 패널 기판의 제조 공정에서 주로 사용되는 2.38wt％ 테트라메틸암모늄하이드로옥사이드 수용액(이하, 테트라메틸암모늄하이드로옥사이드를 TMAH이라 함)을, 적절히 사용해서 설명한다. 단, 본 발명이 적용되는 현상액은 이것에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 현상액의 성분 농도 측정 장치나 현상액 관리 장치 등이 적용할 수 있는 다른 현상액의 예로서, 수산화칼륨, 수산화나트륨, 인산나트륨, 규산나트륨 등의 무기 화합물의 수용액이나, 트리메틸모노에탄올암모늄하이드로옥사이드(콜린) 등의 유기 화합물의 수용액을 들 수 있다.In the following description, as a concrete example of the developer, a 2.38 wt% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution (hereinafter, referred to as tetramethylammonium hydroxide), which is mainly used in a semiconductor or liquid crystal panel substrate manufacturing process, Explain. However, the developer to which the present invention is applied is not limited to this. Examples of other developing solutions to which the apparatus for measuring the concentration of the developer of the present invention and the developing solution management apparatus can be applied are an aqueous solution of an inorganic compound such as potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium phosphate, sodium silicate or the like, or an aqueous solution of trimethylmonoethanol ammonium hydroxide (Choline), and the like.

또한, 이하의 설명에서는, 알칼리 성분 농도, 용해 포토레지스트 농도, 흡수 이산화탄소 농도 등의 성분 농도는, 중량백분률 농도(wt％)에 따른 농도이다. 「용해 포토레지스트 농도」란, 용해된 포토레지스트를 포토레지스트의 양으로서 환산했을 경우의 농도를 말하고, 「흡수 이산화탄소 농도」란, 흡수된 이산화탄소를 이산화탄소의 양으로서 환산했을 경우의 농도를 말하는 것으로 한다.In the following description, the component concentrations such as the alkali component concentration, the dissolved photoresist concentration, and the absorbed carbon dioxide concentration are the concentrations according to the weight percent concentration (wt%). The "dissolved photoresist concentration" refers to the concentration when the dissolved photoresist is converted into the amount of photoresist, and the "absorbed carbon dioxide concentration" refers to the concentration when the absorbed carbon dioxide is converted into the amount of carbon dioxide .

현상 처리 프로세스에서는, 현상액이 노광 처리 후의 포토레지스트막의 불필요 부분을 녹임에 의해, 현상을 행하고 있다. 현상액에 의해 용해된 포토레지스트는, 현상액의 알칼리 성분과의 사이에 포토레지스트염을 발생시킨다. 이 때문에, 현상액을 적절히 관리하지 않으면, 현상 처리가 진행됨에 따라, 현상액은 현상 활성을 갖는 알칼리 성분이 소비되어 열화되어, 현상 성능이 악화되어 간다. 동시에, 현상액 중에는 용해된 포토레지스트가 알칼리 성분과의 포토레지스트염으로서 축적되어 간다.In the developing process, the developer is developed by dissolving unnecessary portions of the photoresist film after the exposure process. The photoresist dissolved by the developing solution generates a photoresist salt with the alkali component of the developing solution. Therefore, unless the developer is appropriately managed, as the developing process proceeds, the developer is consumed by the alkaline component having the developing activity and is deteriorated to deteriorate the developing performance. Simultaneously, the dissolved photoresist accumulates as a photoresist salt with the alkali component in the developer.

현상액에 의해 용해된 포토레지스트는, 현상액 중에서 계면활성 작용을 나타낸다. 이 때문에, 현상액에 의해 용해된 포토레지스트는, 현상 처리에 제공되는 포토레지스트막의 현상액에 대한 젖음성을 높여, 현상액과 포토레지스트막의 친화성을 양호하게 한다. 따라서, 적당히 포토레지스트를 포함하는 현상액에서는, 현상액이 포토레지스트막의 미세한 오목부 내에도 잘 고루 퍼지게 되어, 미세한 요철을 갖는 포토레지스트막의 현상 처리를 양호하게 실시할 수 있다.The photoresist dissolved by the developer shows a surfactant activity in the developer. Therefore, the photoresist dissolved by the developer increases the wettability of the photoresist film provided in the developing process with respect to the developing solution, thereby improving the affinity between the developer and the photoresist film. Therefore, in a developer containing an appropriate photoresist, the developer can be spread evenly through the fine recesses of the photoresist film, so that the development processing of the photoresist film having fine irregularities can be satisfactorily performed.

또한, 최근 현상 처리에서는, 기판이 대형화한 것에 수반해서, 대량의 현상액이 반복 사용되게 되었기 때문에, 현상액이 공기에 노출될 기회가 늘고 있다. 그런데, 알칼리성 현상액은, 공기에 노출되면 공기 중의 이산화탄소를 흡수한다. 흡수된 이산화탄소는, 현상액의 알칼리 성분과의 사이에 탄산염을 발생시킨다. 이 때문에, 현상액을 적절히 관리하지 않으면, 현상액은 현상 활성을 갖는 알칼리 성분이 흡수된 이산화탄소에 의해 소비되어 감소된다. 동시에, 현상액 중에는 흡수된 이산화탄소가 알칼리 성분과의 탄산염으로서 축적되어 간다.Further, in the recent developing process, since a large amount of developer is repeatedly used due to the enlargement of the substrate, the chance that the developer is exposed to the air is increasing. However, the alkaline developer absorbs carbon dioxide in the air when exposed to air. The absorbed carbon dioxide generates a carbonate between itself and the alkali component of the developer. For this reason, unless the developer is appropriately managed, the developer is consumed by the absorbed carbon dioxide of the alkaline component having the developing activity and is reduced. At the same time, the absorbed carbon dioxide accumulates as a carbonate with the alkali component in the developer.

현상액 중의 탄산염은, 현상액 중에서 알칼리성을 나타내기 때문에, 현상 작용을 갖는다. 예를 들면 2.38％ TMAH 수용액의 경우, 현상액 중에 이산화탄소가 대략 0.4wt％정도 이하이면, 현상이 가능하다.The carbonate in the developer has alkalinity in the developer, and therefore has a developing effect. For example, in the case of a 2.38% aqueous solution of TMAH, development is possible if the concentration of carbon dioxide in the developer is about 0.4 wt% or less.

이와 같이, 현상액에 용해된 포토레지스트나 흡수된 이산화탄소는, 현상 처리에 불필요한 것이라는 종래의 인식과는 달리, 실제에는 현상액의 현상 성능에 기여하고 있다. 그 때문에, 용해 포토레지스트나 흡수 이산화탄소를 완전히 배제하도록 하는 현상액 관리를 하는 것이 아닌, 현상액 중에 약간 용존하는 것을 허용하면서, 이들을 최적인 농도로 유지 관리하는 현상액 관리가 필요하다.As described above, unlike the conventional recognition that the photoresist dissolved in the developer or the absorbed carbon dioxide is unnecessary for the development, actually contributes to the developing performance of the developer. Therefore, it is necessary to manage the developer to maintain them at an optimum concentration while permitting the developer to be slightly dissolved in the developer, not to control the developer to completely eliminate the dissolved photoresist and the absorbed carbon dioxide.

이들 점에 대해, 발명자는, 예의 연구를 계속한 결과, 다음 지견을 얻었다. 즉, 현상액의 알칼리 성분 농도나 용해 포토레지스트 농도에 상관없이, 현상액의 밀도값과 흡수 이산화탄소 농도값 사이에는 비교적 양호한 대응 관계(직선 관계)를 얻을 수 있는 것이다. 또한, 이 대응 관계(직선 관계)를 사용하면 밀도계에 의해 현상액의 밀도를 측정함으로써 종래 곤란했던 흡수 이산화탄소 농도를 측정할 수 있는 것이다. 또한, 이 대응 관계(직선 관계)를 사용하면, 측정된 밀도값 또는 산출된 흡수 이산화탄소 농도값에 의거하여 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 보충액의 보급에 의해 관리할 수 있는 것이다.With respect to these points, the inventor continued the intensive research, and as a result, the following findings were obtained. That is, a relatively good correspondence relationship (linear relationship) can be obtained between the density value of the developing solution and the absorbed carbon dioxide concentration value irrespective of the alkaline component concentration of the developer or the dissolved photoresist concentration. Further, by using the correspondence relationship (linear relationship), it is possible to measure the concentration of absorbed carbon dioxide, which has been difficult conventionally, by measuring the density of the developer with the density meter. In addition, when this correspondence relationship (linear relationship) is used, the absorbed carbon dioxide concentration of the developer can be managed by the replenishment of the replenisher based on the measured density value or the calculated absorbed carbon dioxide concentration value.

발명자는, 2.38％ TMAH 수용액의 관리를 행할 경우를 상정해서, 알칼리 성분 농도, 용해 포토레지스트 농도, 흡수 이산화탄소 농도를 다양하게 변화시킨 TMAH 수용액을 모의 현상액 샘플로서 조제했다. 발명자는, 2.38％ TMAH 수용액을 현상액의 기본 조성으로 해서, 알칼리 성분 농도(TMAH 농도), 용해 포토레지스트 농도, 흡수 이산화탄소 농도를 다양하게 변화시킨 11개의 교정 표준 용액을 조제했다.The inventor prepared a TMAH aqueous solution having various alkali carrier concentration, dissolved photoresist concentration and absorbed carbon dioxide concentration as a simulated developer sample on the assumption that management of 2.38% TMAH aqueous solution was carried out. The inventors prepared 11 calibration standard solutions in which the alkali component concentration (TMAH concentration), the dissolved photoresist concentration, and the absorbed carbon dioxide concentration were variously changed with the 2.38% TMAH aqueous solution as the basic composition of the developer.

발명자는, 이들 모의 현상액 샘플에 대해 알칼리 성분 농도(TMAH 농도), 흡수 이산화탄소 농도, 및, 밀도를 측정하고, 성분 농도와 밀도의 상관을 확인하는 실험을 행했다.The inventors conducted an experiment to measure the alkaline component concentration (TMAH concentration), the absorbed carbon dioxide concentration, and the density with respect to these simulated developer samples and confirm the correlation between the component concentration and the density.

측정은, 교정 표준 용액을 25.0℃로 온도 조정해서 행했다. 온도 조정은, 25℃ 부근으로 온도 관리된 항온 수조에 교정 표준 용액이 들어간 보틀(bottle)을 장시간 담가 두고, 이것으로부터 샘플링하고, 또한 측정 직전에 온도 컨트롤러로 재차 25.0℃로 한다는 방식이다. 밀도 측정에는, U자관 플로우 셀을 여진(勵振)해서 측정되는 고유진동수로부터 밀도를 구하는 고유진동법을 채용한 밀도계를 사용했다. 측정된 밀도값의 단위는 g/㎤이다.The measurement was performed by adjusting the temperature of the calibration standard solution to 25.0 캜. In the temperature control, a bottle containing a calibration standard solution is immersed in a constant temperature water bath maintained at about 25 ° C for a long period of time and sampled from the bottle for a long period of time. For the density measurement, a densimeter employing the inherent oscillation method of obtaining the density from the natural frequency measured by exciting the U-shaped flow cell was used. The unit of measured density value is g / cm3.

이하의 표 1에, 각 샘플의 성분 농도와 밀도의 측정 결과를 나타낸다.Table 1 below shows measurement results of the component concentration and density of each sample.

[표 1][Table 1]

Figure pat00001
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표 1의 성분 농도는, TMAH 수용액이 강알칼리성이고 이산화탄소를 흡수하여 열화되기 쉬움을 감안해, 알칼리 성분 농도(TMAH 농도)나 흡수 이산화탄소 농도를 정확히 분석할 수 있는 적정(滴定) 분석법에 의해 각 샘플을 별도 측정한 값을 사용했다. 단, 용해 포토레지스트 농도에 관해서는, 중량 조제값을 사용했다.The concentration of the components in Table 1 was determined by a titration method capable of accurately analyzing the alkali component concentration (TMAH concentration) and the absorbed carbon dioxide concentration, taking into consideration that the aqueous solution of TMAH is strongly alkaline and easily absorbed and deteriorated by absorbing carbon dioxide Separately measured values were used. However, regarding the concentration of the dissolved photoresist, a weight preparation value was used.

적정은, 염산을 적정 시약으로 하는 중화 적정이다. 적정 장치로서, 미츠비시가가쿠 아나리테크사제의 자동 적정 장치 GT-200을 사용했다.Titration is neutralization titration using hydrochloric acid as titration reagent. As a titration apparatus, Mitsubishi used the GT-200 automatic titrator manufactured by Gakuenari Tech.

도 1에, 표 1에 나타낸 각 샘플의 흡수 이산화탄소 농도와 밀도의 그래프를 나타낸다. 이 그래프는, 흡수 이산화탄소 농도(wt％)를 횡축으로 취하고, 밀도(g/㎤)를 종축으로 취해, 각 샘플의 값을 플롯한 그래프이다. 플롯한 각 점에서, 최소자승법에 의해 회귀 직선을 구했다.Fig. 1 shows a graph of the absorbed carbon dioxide concentration and density of each sample shown in Table 1. Fig. This graph is a graph plotting the values of the respective samples, taking the absorbed carbon dioxide concentration (wt%) on the abscissa axis and the density (g / cm 3) on the ordinate axis. At each point plotted, the regression line was determined by the least squares method.

도 1로부터, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도는, 알칼리 성분 농도나 용해 포토레지스트 농도가 다양함에도 불구하고, 현상액의 밀도와의 사이에 양호한 직선 관계가 있음을 이해할 수 있다. 이 실험 결과에 의해, 이 현상액의 흡수 이산화탄소 농도와 밀도 사이의 대응 관계(직선 관계)를 사용하면, 현상액의 밀도를 측정함에 의해 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 산출하는 것이 가능함을, 발명자는 지견한 것이다.It can be seen from Fig. 1 that the absorbed carbon dioxide concentration of the developer has a good linear relationship with the density of the developer, although the concentration of the alkaline component and the concentration of the dissolved photoresist varies. Based on the experimental results, the inventors of the present invention have found that, by using the corresponding relationship (linear relationship) between the absorbed carbon dioxide concentration and the density of the developer, the absorbed carbon dioxide concentration of the developer can be calculated by measuring the density of the developer .

따라서, 알칼리 성분 농도(TMAH 농도)나 용해 포토레지스트 농도에 상관없이, 이 대응 관계(직선 관계)에 의해, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도 측정이 가능한, 밀도계를 사용한 현상액의 성분 농도 측정 장치를 실현하는 것이 가능하다.Therefore, it is possible to realize a component concentration measuring apparatus for a developer using a density meter capable of measuring the absorbed carbon dioxide concentration of the developer by the corresponding relationship (linear relationship) irrespective of the alkali component concentration (TMAH concentration) or the dissolved photoresist concentration It is possible.

또한, 현상 처리 공정에서 반복 사용되는 알칼리성 현상액에서는, 통상, 알칼리 성분 농도(TMAH 농도)나 용해 포토레지스트 농도는 현상액 관리 장치에 의해 관리되고 있다. 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도 사이의 직선성을 악화시키는 요인은, 상기 모의 샘플에 있어서의 실험에 비해, 보다 적다. 따라서, 본 발명에 따른 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 측정 가능한 성분 농도 측정 장치는, 흡수 이산화탄소 농도를 모니터하거나 관리하거나 할 수 있는 현상액 관리 장치의 일 부품으로서 더 호적하게 사용할 수 있다.Further, in an alkaline developer to be repeatedly used in a development processing step, the alkaline component concentration (TMAH concentration) and the dissolved photoresist concentration are usually managed by the developer management apparatus. Factors which deteriorate the linearity between the density of the developing solution and the concentration of absorbed carbon dioxide are less than those of the simulated sample. Therefore, the component concentration measuring apparatus capable of measuring the absorbed carbon dioxide concentration of the developer according to the present invention can be more suitably used as a component of the developer managing apparatus capable of monitoring or managing the absorbed carbon dioxide concentration.

또한, 알칼리성 현상액은 흡수 이산화탄소가 증가하는 경향이 있으므로, 보충액으로서 흡수 이산화탄소 농도가 적은 보충액(예를 들면, 현상액의 원액이나 신액 등)을 보충함에 의해, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 소정의 관리값으로 관리하거나, 소정의 관리값 이하로 관리하거나 할 수 있다.In addition, since the alkaline developer tends to increase the absorbed carbon dioxide, the absorbed carbon dioxide concentration of the developer is adjusted to a predetermined control value (for example, Or may be managed under a predetermined management value.

또한, 도 1과 같이, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도와 밀도는 단조증가의 대응 관계(직선 관계)가 있으므로, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 소정의 관리값 또는 관리값 이하로 되도록 하는 것은, 현상액의 밀도값을 대응하는 소정의 관리값 또는 관리값 이하로 되도록 하는 것과 동등하다. 따라서, 흡수 이산화탄소 농도의 관리값에 대응하는 밀도값을 밀도의 관리값으로 하면, 현상액의 밀도를 측정하고, 그 측정된 밀도값을 그 관리값 또는 관리값 이하로 되도록 관리함에 의해서도, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 소정의 관리값 또는 관리값 이하로 되도록 현상액을 관리할 수 있다.1, since the absorbed carbon dioxide concentration and density of the developer have a corresponding relationship (monotonic relationship) to monotone increase, it is preferable that the absorbed carbon dioxide concentration of the developer is made to be equal to or less than a predetermined management value or a management value, Is equal to or smaller than a corresponding predetermined management value or management value. Therefore, when the density value corresponding to the management value of the absorbed carbon dioxide concentration is a control value of density, even if the density of the developer is measured and the density value is controlled to be equal to or lower than the management value or the management value, It is possible to manage the developer so that the carbon dioxide concentration is less than or equal to a predetermined management value or a management value.

여기에서, 소정의 관리값이란, 현상액이 현상 성능을 양호하게 발휘할 수 있는 현상액의 이산화탄소의 농도값의 상한으로서, 미리 확인되어 있는 농도값, 혹은, 그것에 대응하는 밀도값인 것이다. 이하의 설명에 있어서도, 마찬가지이다.Here, the predetermined management value is an upper limit of the concentration value of carbon dioxide in the developing solution which can exhibit the developing performance satisfactorily, and is a concentration value that has been confirmed in advance or a density value corresponding thereto. The same goes for the following description.

다음으로, 구체적인 실시예에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다.Next, specific embodiments will be described with reference to the drawings.

〔제1 실시형태〕[First Embodiment]

도 2는, 본 실시형태에 따른 현상액 관리 장치에 포함되는 현상액의 성분 농도 측정 장치의 모식도이다.Fig. 2 is a schematic diagram of an apparatus for measuring the concentration of a developer contained in a developer managing apparatus according to the present embodiment.

본 실시형태의 현상액의 성분 농도 측정 장치(A)는, 측정부(1)와 연산부(2)를 구비하고 있다.The component concentration measuring apparatus (A) of the developer of the present embodiment is provided with a measuring section (1) and a calculating section (2).

측정부(1)는, 현상액의 밀도를 측정하기 위한 밀도계나 현상액의 다른 특성값을 측정하기 위한 다른 측정 수단(도면 중 11~13), 샘플링 펌프(14), 샘플링한 현상액을 측정 전에 소정의 측정 온도(예를 들면 25℃)로 온도 조정하기 위한 항온조(도시생략) 등을 구비하고 있다.The measuring section 1 includes other measuring means (11 to 13 in the figure) for measuring a density meter for measuring the density of the developing solution and other characteristic values of the developing solution, a sampling pump 14, And a thermostatic chamber (not shown) for adjusting the temperature to a measurement temperature (for example, 25 DEG C).

성분 농도 측정 장치(A)가 밀도를 측정하는 것만으로 좋은 경우는, 측정부(1)의 측정 수단(11~13)으로서는, 밀도계(예를 들면 11로 함)를 구비하고 있으면 되고, 다른 특성값을 측정하는 측정 수단(예를 들면 12, 13)은 불필요하다. 그러나, 알칼리성 현상액의 성분 농도 측정 장치로서는, 흡수 이산화탄소 농도뿐만 아니라, 알칼리 성분의 농도나, 현상액에 용해된 포토레지스트 농도를 측정할 경우가 많다. 그 때문에, 도 2에서는, 알칼리 성분 농도나 용해 포토레지스트 농도 등을 측정하기 위해 필요한 다른 측정 수단도 포함한 측정 수단(11, 12, 13)을 기재하고 있다. 이 중 하나가 밀도계이다. 이하의 성분 농도 측정 장치(A)의 설명에서는, 도 2의 측정 수단(11~13) 중 측정 수단(11)을 밀도계라 한다.In the case where the component concentration measuring apparatus A merely needs to measure the density, the measuring means 11 to 13 of the measuring section 1 may be provided with a density meter (for example, 11) Measurement means (e.g., 12 and 13) for measuring characteristic values are unnecessary. However, as an apparatus for measuring the component concentration of an alkaline developer, there are many cases where not only the absorbed carbon dioxide concentration but also the concentration of the alkaline component and the concentration of the photoresist dissolved in the developer are measured. Therefore, in FIG. 2, measurement means 11, 12, and 13 including other measurement means necessary for measuring the concentration of the alkali component and the concentration of the dissolved photoresist are described. One of these is density. In the following description of the component concentration measuring apparatus A, the measuring means 11 among the measuring means 11 to 13 in FIG. 2 is referred to as a density measuring apparatus.

연산부(2)는, 측정된 밀도값으로부터 흡수 이산화탄소 농도값을 산출하는 연산 블록(21)을 구비하고 있다. 연산 블록(21)에는, 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도 사이의 대응 관계(예를 들면 도 1과 같은 직선 관계)가 미리 입력되어 있다. 연산 블록(21)은, 측정된 현상액의 밀도값으로부터 대응하는 흡수 이산화탄소 농도값을 구하는 기능을 구비하고 있다. 또한, 연산부(2)는, 산출된 흡수 이산화탄소 농도를 표시하기 위한 표시 수단(22)을 구비하고 있는 것이 바람직하다. 또한, 성분 농도 측정 장치(A)는, 샘플링 배관(15)에 의해 현상액의 저류된 수조와 접속된다.The calculation unit 2 includes a calculation block 21 for calculating an absorbed carbon dioxide concentration value from the measured density value. In the calculation block 21, a correspondence relationship (for example, a linear relationship as shown in Fig. 1) between the density of the developer and the absorbed carbon dioxide concentration is input in advance. The calculation block 21 has a function of obtaining a corresponding absorbed carbon dioxide concentration value from the measured density value of the developer. It is preferable that the calculation unit 2 includes display means 22 for displaying the calculated absorbed carbon dioxide concentration. The component concentration measuring apparatus A is connected to a water tank in which the developer is stored by the sampling pipe 15.

본 실시형태의 성분 농도 측정 장치(A)에 의한 성분 농도 측정 방법에 대해 설명한다. 현상액은, 샘플링 펌프(14)에 의해 측정부(1) 내로 송액된다. 측정부(1)로 송액된 현상액은, 우선 항온조에서 소정의 측정 온도(예를 들면 25℃)로 온도 조정된다. 온도 조정된 현상액은, 밀도계(11)나 다른 측정 수단(12, 13)으로 송액된다. 밀도계(11)는 현상액의 밀도를 측정한다. 다른 측정 수단(12, 13)도, 각각 현상액의 특성값을 측정한다. 측정 후의 현상액은, 출구측 배관(16)으로부터 성분 농도 측정 장치(A) 밖으로 배출된다.A method of measuring the component concentration by the component concentration measuring apparatus (A) of the present embodiment will be described. The developing solution is fed into the measuring section 1 by the sampling pump 14. The developer conveyed to the measuring section 1 is first subjected to temperature regulation at a predetermined measurement temperature (for example, 25 DEG C) in a thermostatic chamber. The temperature-adjusted developing solution is sent to the density meter 11 or other measuring means 12, 13. The density meter 11 measures the density of the developer. The other measuring means (12, 13) also measure the characteristic values of the developer. The developer after the measurement is discharged from the outlet side piping 16 to the outside of the component concentration measuring apparatus A. [

밀도계(11)나 다른 측정 수단(12, 13)은, 신호선에 의해 연산부(2)의 연산 블록(21)과 접속되어 있다. 밀도계(11)에 의해 측정된 현상액의 밀도값이나 다른 측정 수단(12, 13)에 의해 측정된 현상액의 특성값의 측정 데이터는, 신호선을 통해 연산 블록(21)에 보내진다.The density meter 11 and other measuring means 12 and 13 are connected to the calculating block 21 of the calculating unit 2 by a signal line. Measurement data of the density value of the developer measured by the density meter 11 or the characteristic values of the developer measured by the other measuring means 12 and 13 are sent to the calculation block 21 via the signal line.

현상액의 밀도값이나 그 밖의 특성값의 측정 데이터를 수취한 연산 블록(21)은, 측정 데이터에 의거하여, 현상액의 성분 농도를 산출한다. 현상액의 흡수 이산화탄소 농도는, 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도 사이의 대응 관계(예를 들면 도 1과 같은 직선 관계)를 사용해서 산출된다. 즉, 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도 사이의 대응 관계로부터, 측정된 현상액의 밀도값에 대응하는 흡수 이산화탄소 농도값을 얻고, 이것을 현상액의 흡수 이산화탄소 농도의 측정값으로 한다.The calculation block 21 that receives the measurement data of the density value or other characteristic value of the developing solution calculates the component concentration of the developing solution based on the measurement data. The absorbed carbon dioxide concentration of the developer is calculated using the corresponding relationship between the density of the developer and the absorbed carbon dioxide concentration (for example, a linear relationship as shown in Fig. 1). That is, an absorbed carbon dioxide concentration value corresponding to the measured density value of the developer is obtained from the corresponding relationship between the density of the developer and the absorbed carbon dioxide concentration, and this is taken as the measured value of the absorbed carbon dioxide concentration of the developer.

이와 같이 해서, 본 실시형태의 현상액의 성분 농도 측정 장치(A)는, 현상액의 밀도의 측정값에 의거하여, 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도의 대응 관계로부터, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 측정할 수 있다.In this manner, the component concentration measuring apparatus A of the developer of the present embodiment can measure the absorbed carbon dioxide concentration of the developer from the correspondence between the density of the developer and the absorbed carbon dioxide concentration have.

본 실시형태의 성분 농도 측정 장치(A)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 측정부(1)와 연산부(2)가 일체의 장치로서 구성되는 경우 외에, 이들이 별개로 구성되는 것이어도 된다. 별개로 구성될 경우는, 측정부(1)의 밀도계(11)나 그 밖의 측정 수단(12, 13)으로 측정된 측정 데이터가, 연산부(2)의 연산 블록(21)에 건네받아지도록, 측정부(1)와 연산부(2)가 신호선 등으로 접속되어 있으면 된다. 측정 데이터가 무선으로 측정부(1)와 연산부(2) 사이에서 송수신되는 것이어도 된다.As shown in Fig. 2, the component concentration measuring apparatus A of the present embodiment may be configured such that the measuring section 1 and the calculating section 2 are configured as a single device, or they may be configured separately. The measurement data measured by the density meter 11 or other measuring means 12 and 13 of the measuring unit 1 is passed to the calculating block 21 of the calculating unit 2. In this case, The measuring section 1 and the calculating section 2 may be connected by a signal line or the like. The measurement data may be wirelessly transmitted and received between the measuring unit 1 and the calculating unit 2. [

본 실시형태의 성분 농도 측정 장치(A)나 그 측정부(1)는, 현상액이 저류되어 있는 저류조로부터 현상액을 샘플링할 수 있도록, 저류조와 접속되어 있어도 된다. 혹은, 성분 농도 측정 장치(A)나 그 측정부(1)는, 현상액을 순환 사용하는 현상 처리 공정의 순환 라인에, 직접 혹은 바이패스해서 접속되는 것이어도 된다.The component concentration measuring apparatus A and the measuring section 1 of the present embodiment may be connected to the storage tank so that the developer can be sampled from the storage tank in which the developer is stored. Alternatively, the component concentration measuring apparatus A and the measuring unit 1 may be connected to the circulating line of the developing process for circulating the developer, either directly or by bypassing.

또한, 도 2에서는, 밀도계를 포함하는 각 측정 수단(11~13)이 직렬로 접속된 태양을 도시했지만, 각 측정 수단의 접속은 이것에 한정되지 않는다. 병렬 접속이어도 되고, 각각이 독립적으로 송액 경로를 구비하고 측정하는 것이어도 된다. 밀도계와 그 밖의 측정 수단의 측정의 순서에 대해서도, 특별히 그 선후를 불문한다. 각 측정 수단의 특징에 따라 적절히 최적인 순서로 측정하면 된다.In Fig. 2, each of the measuring means 11 to 13 including the density meter is connected in series. However, the connection of each measuring means is not limited to this. But may be a parallel connection, and each of them may be independently provided with a liquid delivery path and measured. The order of measurement of the density meter and other measuring means is not specially specified. It may be measured in an optimum order according to the characteristics of each measurement means.

도 2에 나타낸 측정부(1)의 구성 중, 샘플링 펌프(14)는 반드시 필요하다는 것은 아니다. 순환 라인에 직접 접속될 경우에는, 측정부(1) 내에 샘플링 펌프(14)를 구비하고 있을 필요는 없다. 또한, 저류조로부터 현상액을 샘플링할 경우여도, 샘플링 펌프(14)를 측정부(1) 내에 구비하고 있지 않아도 된다. 한편, 도시하지 않았지만, 현상액을 소정의 측정 온도로 조정하기 위한 항온조는, 측정 수단의 직전에 구비되어 있는 것이 바람직하다.The sampling pump 14 is not necessarily required in the configuration of the measuring section 1 shown in Fig. When directly connected to the circulation line, it is not necessary to provide the sampling pump 14 in the measuring unit 1. [ In addition, even when the developer is sampled from the storage tank, the sampling pump 14 may not be provided in the measuring unit 1. [ On the other hand, although not shown, it is preferable that the constant temperature bath for adjusting the developer to a predetermined measurement temperature is provided immediately before the measurement means.

연산부(2)의 연산 블록(21)은, 밀도의 측정값으로부터 흡수 이산화탄소 농도를 산출하는 기능 외에, 현상액의 알칼리 성분 농도나 용해 포토레지스트 농도 등, 다른 성분 농도를 산출하는 기능을 구비하고 있어도 된다. 그렇게 함으로써, 현상액의 알칼리 성분 농도, 용해 포토레지스트 농도, 및, 흡수 이산화탄소 농도를 측정하는 것이 가능한 성분 농도 측정 장치를 실현할 수 있다.The calculation block 21 of the calculation unit 2 may have a function of calculating the concentrations of other components such as the concentration of the alkaline component of the developer and the concentration of the dissolved photoresist in addition to the function of calculating the absorbed carbon dioxide concentration from the measured value of the density . By doing so, it is possible to realize a component concentration measuring apparatus capable of measuring the alkaline component concentration of the developer, the dissolved photoresist concentration, and the absorbed carbon dioxide concentration.

본 실시형태의 성분 농도 측정 장치(A)의 밀도계(11)로서는, 부력을 이용한 부자(浮子)식 밀도계나 액 중의 높이가 서로 다른 2점간의 압력차를 이용한 차압식 밀도계, 감마선의 투과율을 이용한 감마선 밀도계 등, 각종의 밀도계를 채용할 수 있다. 보다 호적하게는, 액체가 채워진 관로의 고유진동수를 검출해서 밀도를 얻는 진동식 밀도계를 채용하는 것이 바람직하다.As the density meter 11 of the component concentration measuring apparatus (A) of the present embodiment, there can be used a pressure differential density meter using a buoyancy density meter or a pressure difference between two points having different liquid heights, And a gamma-ray density meter using a variety of density meters. More preferably, it is preferable to employ a vibratory density meter for detecting the natural frequency of the pipeline filled with the liquid to obtain the density.

도 3에, 진동식 밀도계의 대표적인 구성을 모식적으로 나타낸다.Fig. 3 schematically shows a representative configuration of a vibration type density meter.

진동식 밀도계의 측정부는, U자 형상으로 굴곡된 시료 셀(51)과, 시료 셀(51) 내의 액체 시료의 온도를 측정하는 온도계(52)와, 시료 셀(51)을 둘러싸는 항온 블록(54)과, 또한 항온 블록(54)의 외주에 단열재(55)를 구비한다. 항온 블록(54)에 시료의 온도를 조정하기 위한 펠티에 소자(53)를 구비하고 있다. 시료 셀(51)에는 굴곡부의 선단에 진동자(56)가 구비되어 있고, 진동자(56)에 근접해서, 진동자(56)를 여진시키는 구동부 및 진동자(56)의 진동 주파수를 검출하는 검출부가 배치되어 있다.The measurement unit of the oscillation type densitometer includes a sample cell 51 bent in a U-shape, a thermometer 52 measuring the temperature of the liquid sample in the sample cell 51, a thermostat block 51 surrounding the sample cell 51 54, and a heat insulating material 55 is provided on the outer circumference of the thermostatic block 54. And a Peltier element 53 for adjusting the temperature of the sample is provided in the constant temperature block 54. A vibrator 56 is provided at the tip of the bent portion of the sample cell 51. A detector for detecting the oscillation frequency of the oscillator 56 and a driving unit for exciting the oscillator 56 are disposed close to the oscillator 56 have.

여진된 시료 셀(51)은, 그 내부의 액체의 질량에 관련된 고유의 진동수로 진동한다. 이 고유진동수를 검출함으로써, 시료 셀(51) 내의 액체의 질량을 알 수 있기 때문에, 시료 셀(51)의 내용적(內容積)으로부터, 액체의 밀도가 측정된다.The excited sample cell 51 vibrates at a specific frequency related to the mass of the liquid therein. Since the mass of the liquid in the sample cell 51 can be known by detecting the natural frequency, the density of the liquid is measured from the internal volume of the sample cell 51.

진동식 밀도계는, 고감도이고 또한 안정된 측정이 가능하고, 연속 측정이 가능하다는 특징을 구비하고 있다. 진동식 밀도계는, 온도계와 온도 조정 수단(도 3 중의 펠티에 소자(53)) 및 단열 수단(도 3 중의 단열재(55))에 의해, 양호한 온도조건, 온도 안정성 하에, 측정이 가능하다. 또한, 진동식 밀도계는, 시료 셀에 시료의 액체를 송액하는 것만으로, 시료의 밀도를 측정할 수 있다. 밀도 측정 시, 시약의 첨가 등은 불필요하고, 폐액(廢液)도 없다.The vibration densitometer is characterized in that a highly sensitive and stable measurement is possible and continuous measurement is possible. The vibratory density meter can be measured under a favorable temperature condition and temperature stability by a thermometer, a temperature adjusting means (Peltier element 53 in FIG. 3) and a heat insulating means (heat insulating material 55 in FIG. 3). In the oscillatory density meter, the density of the sample can be measured only by feeding the sample liquid to the sample cell. When measuring the density, the addition of reagents is unnecessary and there is no waste solution.

본 실시형태의 현상액의 성분 농도 측정 장치에 있어서의, 각종의 측정 수단(11~13), 특히 밀도계의 설치의 방법은, 도 2에 나타낸 태양에 한정되지 않는다.The various measuring means (11 to 13), particularly the method of installing the density meter, in the apparatus for measuring the concentration of developer in the developer of the present embodiment is not limited to the embodiment shown in Fig.

밀도계에는 각종 측정 원리, 및 측정 방식이 있고, 각각에 적합한 설치 방법이 있다. 밀도계로서, 부자식 밀도계나 차압식 밀도계를 채용할 경우에는, 밀도계의 부자부나 프로브(probe)부를 현상액의 저류조에 침지하도록, 밀도계를 설치하는 것이 좋다. 감마선 밀도계를 채용할 경우에는, 현상액이 흐르는 관로에 직접 밀도계를 설치할 수 있다. 진동식 밀도계를 채용할 경우는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 저류조와 밀도계를 샘플링 관로에 의해 접속하면, 현상액을 샘플링하여 연속 측정할 수 있다.There are various measurement principles and measurement methods in the density meter, and there are suitable installation methods for each. When employing a density-type density meter or differential pressure-type density meter as the density meter, it is preferable to provide a density meter so that the rich portion or the probe portion of the density meter is immersed in the reservoir of the developer. In the case of employing a gamma ray density meter, a density meter can be provided directly in the channel through which the developer flows. In the case of employing a vibratory density meter, as shown in FIG. 2, when the storage tank and the density meter are connected by a sampling pipe, the developer can be sampled and continuously measured.

진동식 밀도계는, 현상액을 시료 셀에 송액하는 것만으로 밀도를 측정할 수 있으므로 연속되고 또한 온라인으로의 사용에 호적하다. 또한, 액온 등의 측정 조건을 안정되게 관리하는 데 적합하고, 안정되고 또한 고감도인 측정을 할 수 있다. 프로세스용의 진동식 밀도계여도, 0.001(g/㎤) 정도의 정밀도로 측정 가능하고, 도 1의 직선 관계에 따르면, 본 실시형태의 성분 농도 측정 장치로서, 대략 0.15(wt％) 정도의 이산화탄소의 측정 정밀도를 달성할 수 있다. 현상액의 알칼리 성분 농도나 용해 포토레지스트 농도가 관리되고 있는 상황에 있으면, 밀도와 흡수 이산화탄소 농도의 직선성은 보다 좋아지고, 또한, 밀도계의 측정 정밀도의 향상도 기대할 수 있기 때문에, 성분 농도 측정 장치의 흡수 이산화탄소 농도도 보다 고정밀도로 측정 가능해질 것으로 기대된다.The vibratory density meter is continuous and also suitable for on-line use because the density can be measured only by feeding the developer to the sample cell. Further, it is suitable for stably managing the measurement conditions such as the liquid temperature, and can perform stable and high-sensitivity measurement. 1 can be measured with accuracy as high as about 0.001 (g / cm3). According to the linear relationship shown in Fig. 1, as the component concentration measuring apparatus of the present embodiment, the concentration of carbon dioxide Measurement accuracy can be achieved. When the concentration of the alkaline component of the developer or the concentration of the dissolved photoresist is controlled, the linearity of the density and the absorbed carbon dioxide concentration is improved, and the improvement of the measurement accuracy of the density meter can be expected. It is expected that the absorbed carbon dioxide concentration can be measured with higher accuracy.

본 실시형태의 현상액의 성분 농도 측정 장치는, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 측정할 수 있음을 이용해서, 흡수 이산화탄소 농도를 관리하기 위한부품으로서 현상액 관리 장치에 활용하는 것이 가능하다. 성분 농도 측정 장치가 측정한 현상액의 흡수 이산화탄소 농도에 의거하여 현상액의 흡수 이산화탄소 농도가 소정의 관리값 또는 관리값 이하로 되도록 현상액에 보충액을 보급하여 제어하는 제어 수단을, 본 실시형태의 성분 농도 측정 장치와 조합함에 의해, 흡수 이산화탄소 농도를 관리 가능한 현상액 관리 장치를 구성할 수 있다.The component concentration measuring device of the developer of the present embodiment can be utilized as a component for managing the absorbed carbon dioxide concentration by using the fact that the absorbed carbon dioxide concentration of the developer can be measured. The control means for supplying and replenishing the replenishing liquid to the developer so that the absorbed carbon dioxide concentration of the developer becomes equal to or less than a predetermined control value or a control value based on the absorbed carbon dioxide concentration of the developer measured by the component concentration measuring device, By combining with the apparatus, a developer management apparatus capable of managing the absorbed carbon dioxide concentration can be constructed.

또한, 본 실시형태의 현상액의 성분 농도 측정 장치를 사용해서, 측정된 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 현상액의 흡수 이산화탄소 농도의 허용값과 비교해서, 이것을 초과했을 때에 시그널을 발하거나, 경고등을 점멸시키거나, 부저를 울리거나 하도록 하면, 현상액의 성분 농도 감시 장치를 구성할 수도 있다.Further, by using the component concentration measuring apparatus of the present embodiment of the present invention, the measured absorbed carbon dioxide concentration of the developer is compared with the allowable value of the absorbed carbon dioxide concentration of the developer, and a signal is emitted or the warning lamp is blinked , The buzzer may be turned on or off to constitute a component concentration monitor of the developer.

〔제1 실시형태〕[First Embodiment]

도 4는, 제1 실시형태의 현상 장치의 모식도이다. 현상 장치는, 현상액 조제 장치(92)와, 현상 신액용 관로(82)와, 현상 원액용 관로(81)와, 순수용 관로(83)와, 현상액 관리 장치(E)를 구비한다. 현상액 관리 장치(E)는, 밀도계(11)에 의해 측정된 현상액의 밀도값에 의거하여, 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도 사이의 대응 관계를 사용해서, 현상액에 보충액을 보급함에 의해 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 관리할 수 있다.4 is a schematic diagram of the developing apparatus of the first embodiment. The developing apparatus is provided with a developer preparing device 92, a developing and developing solution channel 82, a developing stock solution channel 81, a pure water channel 83 and a developer solution management device E. The developing solution management device E uses the density value of the developing solution measured by the density meter 11 to absorb the developing solution by supplying the developing solution with the replenishing solution by using the corresponding relationship between the density of the developing solution and the absorbed carbon dioxide concentration The carbon dioxide concentration can be managed.

우선, 도 4에 나타내는 현상 공정 설비(B)에 대해 간단히 설명한다.First, the development process facility (B) shown in Fig. 4 will be briefly described.

현상 공정 설비(B)는, 주로, 현상액 저류조(61), 오버플로우조(62), 현상실 후드(64), 롤러 컨베이어(65), 현상액 샤워 노즐(67) 등으로 이루어진다. 현상액 저류조(61)에는 현상액이 저류되어 있다. 현상액은, 보충액이 보충되어 조성 관리된다. 현상액 저류조(61)는, 액면계(63)와 오버플로우조(62)를 구비하고, 보충액을 보급하는 것에 의한 액량의 증가를 관리하고 있다. 현상액 저류조(61)와 현상액 샤워 노즐(67)은, 현상액 관로(80)에 의해 접속되어 있다. 현상액 저류조(61) 내에 저류된 현상액이 현상액 관로(80)에 설치된 순환 펌프(72)에 의해 필터(73)를 통해 현상액 샤워 노즐(67)에 송액된다. 롤러 컨베이어(65)는, 현상액 저류조(61)의 상방에 구비되고, 포토레지스트막이 제막된 기판(66)을 반송한다. 현상액은 현상액 샤워 노즐(67)로부터 적하된다. 롤러 컨베이어(65)에 의해 반송되는 기판(66)은 적하되는 현상액 중을 통과함으로써 현상액에 의해 적셔진다. 그 후, 현상액은, 현상액 저류조(61)로 회수되어, 다시 저류된다. 이와 같이, 현상액은, 현상 공정에서 순환되어 반복 사용된다. 또한, 소형의 글래스 기판에 있어서의 현상실 내는, 질소 가스를 충만시키는 등에 의해, 공기 중의 이산화탄소를 흡수하지 않도록 하는 처리가 실시될 경우도 있다. 현상 공정 설비(B)는, 현상할 수 있으면, 도 4에 나타나는 구성에는 한정되지 않는다.The development process facility B mainly includes a developer storage tank 61, an overflow tank 62, a development chamber hood 64, a roller conveyor 65, a developer shower nozzle 67, and the like. The developing solution is stored in the developer storage tank 61. The developer is supplemented with the replenishing liquid to be compositionally controlled. The developer storage tank 61 is provided with a level gauge 63 and an overflow tank 62 and manages the increase of the liquid amount by replenishing the replenishment liquid. The developer reservoir 61 and the developer shower nozzle 67 are connected to each other by a developer pipe 80. The developer stored in the developer reservoir 61 is sent to the developer shower nozzle 67 through the filter 73 by the circulation pump 72 provided in the developer pipe 80. [ The roller conveyor 65 conveys the substrate 66 provided above the developer storage tank 61 and having the photoresist film formed thereon. The developing solution is dropped from the developer shower nozzle 67. The substrate 66 conveyed by the roller conveyor 65 is wetted by the developing solution by passing through the developer to be dropped. Thereafter, the developer is collected in the developer reservoir 61 and stored again. Thus, the developer is circulated in the developing process and used repeatedly. Further, in the development chamber of the small-size glass substrate, a treatment for preventing the carbon dioxide in the air from being absorbed may be performed by filling the nitrogen gas. The developing facility facility B is not limited to the configuration shown in Fig. 4 if it can be developed.

다음으로, 본 실시형태의 현상액 관리 장치(E)에 대해 설명한다. 본 실시형태의 현상액 관리 장치(E)는, 현상액의 밀도를 밀도계에서 측정하고, 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도의 대응 관계(예를 들면 도 1과 같은 직선 관계)를 사용해서, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도가 소정의 관리값 또는 관리값 이하로 되도록, 측정된 밀도값에 의거하여 현상액에 보충액을 보급하는 방식의 현상액 관리 장치이다.Next, the developer management apparatus E of the present embodiment will be described. The developer managing apparatus E of the present embodiment measures the density of the developer in a density meter and calculates the absorbance of the developer by using the corresponding relationship between the density of the developer and the absorbed carbon dioxide concentration (for example, a linear relationship as shown in Fig. 1) The replenishing liquid is replenished to the developer based on the measured density value so that the carbon dioxide concentration becomes a predetermined management value or a management value or less.

현상액 관리 장치(E)는, 측정부(1)와 연산부(2)와 제어부(3)를 구비하고 있고, 샘플링 배관(15) 및 출구측 배관(16)에 의해 현상액 저류조(61)와 접속되어 있다. 측정부(1)와 연산부(2)와 제어부(3)는 신호선에 의해 접속되어 있다.The developer management apparatus E includes a measuring unit 1, an arithmetic unit 2 and a control unit 3 and is connected to the developer storage tank 61 by a sampling pipe 15 and an outlet pipe 16 have. The measuring unit 1, the calculating unit 2, and the control unit 3 are connected by a signal line.

측정부(1)는, 샘플링 펌프(14)와, 밀도계(11), 및, 현상액의 다른 특성값을 측정하기 위한 측정 수단(12, 13)을 구비하고 있다. 측정 수단(12, 13)은, 예를 들면 현상액의 알칼리 성분 농도나 용해 포토레지스트 농도를 측정하기 위한 것이다. 밀도계(11) 및 측정 수단(12, 13)은, 샘플링 펌프(14)의 후단에 직렬로 접속된다. 측정부(1)는, 또한, 측정 정밀도를 높이기 위해, 샘플링한 현상액을 소정의 온도로 안정시키는 온도 조절 수단(도시생략)을 구비하고 있는 것이 바람직하다. 이 때, 온도 조절 수단은, 측정 수단의 직전에 설치되어 있는 것이 바람직하다. 샘플링 배관(15)은, 측정부(1)의 샘플링 펌프(14)에 접속되어 있고, 출구측 배관(16)은, 측정 수단 말단의 배관과 접속되어 있다.The measuring section 1 is provided with a sampling pump 14, a density meter 11 and measuring means 12 and 13 for measuring other characteristic values of the developer. The measuring means 12 and 13 are for measuring, for example, the alkali component concentration of the developer or the dissolved photoresist concentration. The density meter 11 and measuring means 12 and 13 are connected in series to the rear end of the sampling pump 14. The measuring section 1 is preferably provided with temperature adjusting means (not shown) for stabilizing the sampled developer to a predetermined temperature in order to increase the measurement accuracy. At this time, it is preferable that the temperature adjusting means is provided immediately before the measuring means. The sampling pipe 15 is connected to the sampling pump 14 of the measuring unit 1 and the outlet pipe 16 is connected to the pipe at the end of the measuring unit.

연산부(2)는, 예를 들면 현상액의 알칼리 성분 농도나 용해 포토레지스트 농도를 산출하기 위한 연산 블록(21)을 포함하고 있다. 연산 블록(21)은, 신호선에 의해 측정부(1)에 구비된 측정 수단(12, 13)과 접속되어 있다. 현상액 관리 장치(E)가 현상액의 밀도를 측정해서 흡수 이산화탄소 농도를 제어하는 기능만을 갖고 있으면 될 경우에는, 측정 수단(12 및 13)과 연산부(2)는 불필요하다.The calculation unit 2 includes a calculation block 21 for calculating, for example, the alkali component concentration of the developer and the dissolved photoresist concentration. The calculation block 21 is connected to measurement means 12 and 13 provided in the measurement section 1 by a signal line. The measurement means 12 and 13 and the calculation unit 2 are unnecessary when the developer management apparatus E only needs to have a function of measuring the density of the developer and controlling the absorbed carbon dioxide concentration.

제어부(3)는, 측정부(1)의 밀도계(11)와 신호선에 의해 접속되어 있다. 또한 제어부(3)는, 현상액에 보충액을 송액하는 관로에 설치된 제어 밸브(41~43)와, 신호선에 의해 접속되어 있다. 도 4에서는, 제어 밸브(41~43)는, 현상액 관리 장치(E)의 내부 부품으로서 도시했지만, 제어 밸브(41~43)는, 본 실시형태의 현상액 관리 장치(E)의 부품으로서 필수인 것이라는 것은 아니다. 제어부(3)는, 제어 밸브(41~43)의 동작을 제어해서, 현상액에 보충액을 보급할 수 있도록, 제어 밸브(41~43)와 연락하고 있으면 된다. 제어 밸브(41~43)는, 현상액 관리 장치(E) 밖에 존재하는 것이어도 된다.The control unit 3 is connected to the density meter 11 of the measuring unit 1 through a signal line. Further, the control section 3 is connected to the control valves 41 to 43 provided in the piping for feeding the replenishing liquid to the developing solution by a signal line. Although the control valves 41 to 43 are shown as the internal components of the developer management apparatus E in Fig. 4, the control valves 41 to 43 are required as the components of the developer management apparatus E of this embodiment It is not something. The control unit 3 may be in contact with the control valves 41 to 43 so as to control the operation of the control valves 41 to 43 and to replenish the replenishing liquid to the developer. The control valves 41 to 43 may be located outside the developer management apparatus E. [

이어서, 본 실시형태의 현상액 관리 장치의 동작에 대해 설명한다.Next, the operation of the developer management apparatus of the present embodiment will be described.

현상액 저류조(61)로부터 샘플링된 현상액은, 측정부(1) 내로 송액되고, 온도 조절된다. 현상액은 그 후 밀도계(11)로 송액되고, 밀도값이 측정된다. 밀도의 측정 데이터는 제어부(3)로 보내진다.The developer sampled from the developer storage tank 61 is fed into the measuring section 1 and the temperature is adjusted. The developer is then sent to the density meter 11, and the density value is measured. The density measurement data is sent to the control unit 3.

제어부(3)에는, 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도의 대응 관계(예를 들면 도 1과 같은 직선 관계)에 의거하여 결정되는 흡수 이산화탄소 농도의 관리값에 대응하는 밀도의 관리값이 설정되어 있다. 제어부(3)는, 측정부(1)로부터 수취한 현상액의 밀도의 측정값에 의해, 이하와 같이 제어를 행한다.In the control unit 3, a density management value corresponding to the management value of the absorbed carbon dioxide concentration determined based on the correspondence relationship between the density of developer and the absorbed carbon dioxide concentration (for example, a linear relationship as shown in Fig. 1) is set. The control unit 3 carries out the following control based on the measurement value of the density of the developer received from the measuring unit 1. [

현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 소정의 관리값으로 되도록 관리할 경우는, 다음과 같은 관리를 행한다. 즉, 측정된 현상액의 밀도값이 흡수 이산화탄소 농도의 관리값에 대응하는 밀도의 관리값으로 되도록, 현상액에 보충액을 보급한다. 농도 관리받지 않으면, 현상액은 이산화탄소를 흡수하여, 흡수 이산화탄소 농도가 증가하는 경향이 있음을 감안해, 보급하는 보충액은 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 묽게 하도록 작용하는 보충액을 보급하면 된다.When the absorbed carbon dioxide concentration of the developer is controlled to be a predetermined control value, the following control is performed. That is, the replenishing liquid is replenished to the developer so that the density value of the measured developer becomes the control value of density corresponding to the control value of the absorbed carbon dioxide concentration. Taking into consideration that the developer absorbs carbon dioxide and the absorbed carbon dioxide concentration tends to increase unless the concentration is controlled, the replenishing liquid to be replenished can be replenished with a replenishing liquid which functions to dilute the absorbed carbon dioxide concentration of the developer.

현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 소정의 관리값 이하로 되도록 관리할 경우는, 다음과 같은 관리를 행한다. 즉, 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도의 대응 관계가 도 1과 같이 단조증가의 관계이므로, 측정된 현상액의 밀도값이 흡수 이산화탄소 농도의 관리값에 대응하는 밀도의 관리값 이하로 되도록, 현상액에 보충액을 보급한다. 보급하는 보충액은 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 묽게 하도록 작용하는 보충액을 보급하면 된다.When the absorbed carbon dioxide concentration of the developer is controlled to be equal to or less than a predetermined control value, the following management is performed. That is, since the correspondence relationship between the density of the developing solution and the absorbed carbon dioxide concentration is a monotone increasing relationship as shown in Fig. 1, the concentration of the developer to be measured becomes equal to or less than the control value of density corresponding to the control value of the absorbed carbon dioxide concentration, . The replenishing liquid to be replenished can be replenished with a replenishing liquid which serves to dilute the absorbed carbon dioxide concentration of the developer.

여기에서, 「소정의 관리값」이란, 현상액이 최적인 현상 성능을 발휘할 때의 흡수 이산화탄소 농도값으로서 미리 알려져 있는 관리값이다. 예를 들면 현상액의 액 성능을 현상 처리에 의해 얻어지는 선폭이나 잔존 막 두께로 평가할 때는, 이들을 원하는 최적값으로 할 수 있는 현상액의 흡수 이산화탄소 농도값이다. 이하의 설명에 있어서도, 마찬가지이다.Here, the " predetermined management value " is a management value that is known in advance as the absorbed carbon dioxide concentration value when the developer exhibits optimum developing performance. For example, when evaluating the liquid performance of the developer with the line width or the remaining film thickness obtained by the developing treatment, it is the absorbed carbon dioxide concentration value of the developer which can make these optimal values. The same goes for the following description.

현상액의 흡수 이산화탄소 농도의 관리로서는, 예를 들면, 현상액으로서 2.38％ TMAH 수용액을 사용할 경우, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도는 0.40(wt％) 이하로 관리하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는, 0.25(wt％) 이하로 관리하는 것이 좋다.As the management of the absorbed carbon dioxide concentration of the developer, for example, when a 2.38% TMAH aqueous solution is used as the developer, the absorbed carbon dioxide concentration of the developer is preferably controlled to 0.40 (wt%) or less. More preferably 0.25 (wt%) or less.

또한, 현상액 관리 장치(E)에서는, 통상, 알칼리 성분 농도나 용해 포토레지스트 농도를 측정하고 관리하므로, 그를 위해 필요로 되는 현상액의 특성값을 측정하는 측정 수단(12, 13)을 구비하고 있다. 측정 수단(12, 13)으로 측정된 현상액의 특성값은 연산부(2)로 보내진다. 연산부(2)는, 측정된 현상액의 특성값으로부터, 알칼리 성분 농도나 용해 포토레지스트 농도를 산출하고, 그 결과를 제어부(3)로 보낸다. 제어부(3)는, 그 측정 결과 또는 연산 결과에 의거하여, 현상액의 알칼리 성분 농도나 용해 포토레지스트 농도를 최적인 상태로 관리한다.Further, the developer managing apparatus E usually includes measuring means 12, 13 for measuring the characteristics of the developing solution required for the measurement and management of the alkali component concentration and the dissolved photoresist concentration. The characteristic values of the developing solution measured by the measuring means 12 and 13 are sent to the calculating section 2. [ The calculation unit 2 calculates the concentration of the alkali component and the concentration of the dissolved photoresist from the measured characteristic values of the developer, and sends the result to the control unit 3. The control unit 3 manages the alkali component concentration of the developer and the concentration of the dissolved photoresist in an optimal state based on the measurement result or the calculation result.

현상액에 보급되는 보충액으로서는, 예를 들면, 현상액의 원액이나 신액, 순수 등이 있다. 이들 보충액은, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 묽게 하기 위한 것이다. 이들 보충액은, 현상액의 알칼리 성분 농도나 용해 포토레지스트 농도를 관리하기 위해서도 보급된다.Examples of the replenishment liquid replenished to the developer include a stock solution, a fresh solution, and pure water for the developer. These replenishers are intended to dilute the absorbed carbon dioxide concentration of the developer. These replenishing liquids are also used for managing the concentration of the alkali component of the developing solution and the concentration of the dissolved photoresist.

보충액은, 보충액 저류부(C)의 현상 원액 저류조(91), 및 현상액 조제 장치(92)에 있어서의 현상 신액 저류조에 저류되어 있다. 현상 원액 저류조(91), 및 현상액 조제 장치(92)에 있어서의 현상 신액 저류조는, 밸브(46, 47)를 구비한 질소 가스용 관로(86)가 접속되어 있고, 이 관로를 통해 공급되는 질소 가스에 의해 가압되어 있다. 또한, 현상 원액 저류조(91), 및 현상액 조제 장치(92)에 있어서의 현상 신액 저류조에는 각각 현상 원액용 관로(81), 및 현상 신액용 관로(82)가 접속되고, 통상 열린 상태의 밸브(44, 45)를 통해 보충액이 송액된다. 현상 원액용 관로(81), 및 현상 신액용 관로(82) 및 순수용 관로(83)에는 제어 밸브(41~43)가 구비되어 있고, 제어 밸브(41~43)는 제어부(3)에 의해 개폐 제어된다. 제어 밸브가 동작함에 의해, 현상 원액 저류조(91), 및 현상액 조제 장치(92)에 있어서의 현상 신액 저류조에 저류되어 있던 보충액이 압송되고, 또한, 순수가 송액된다. 그 후, 보충액은 합류 관로(84)를 거쳐, 순환 교반 기구(D)와 합류하고, 현상액 저류조(61)에 보급되어 교반된다.The replenishing liquid is stored in the developing liquid reservoir of the replenishing liquid reservoir (C) and the developing liquid reservoir of the developer replenishing device (92). The developing solution reservoir in the developing solution reservoir 91 and the developing solution preparing apparatus 92 is connected to a nitrogen gas channel 86 provided with valves 46 and 47. The nitrogen gas supplied through the channel And is pressurized by gas. The developing liquid reservoir in the developing liquid reservoir 91 and the developing liquid preparing apparatus 92 are respectively connected to the developing liquid pipe 81 and the developing liquid pipe 82, 44, 45). Control valves 41 to 43 are provided in the development source liquid channel 81 and the development liquid supply channel 82 and the pure water channel 83. The control valves 41 to 43 are controlled by the control unit 3 Open / close control. By operating the control valve, the replenishing liquid stored in the developing fresh solution storage tank in the developing stock solution reservoir 91 and the developer solution preparing apparatus 92 is pressure-fed and pure water is fed. Thereafter, the replenishment liquid joins the circulation agitating mechanism (D) via the confluent pipeline (84), and is supplied to the developer storage tank (61) and stirred.

보급에 의해 현상 원액 저류조(91), 및 현상액 조제 장치(92)에 있어서의 현상 신액 저류조 내에 저류된 보충액이 감소되면, 그 내압이 내려가 공급량이 불안정해지기 때문에, 보충액의 감소에 따라 밸브(46, 47)를 적절히 열어 질소 가스를 공급하여, 현상 원액 저류조(91), 및 현상액 조제 장치(92)에 있어서의 현상 신액 저류조의 내압이 유지되도록 유지된다.If the replenishment solution stored in the developing solution reservoir in the developing stock solution reservoir 91 and the developing solution remover in the developing solution reservoir 91 is decreased by the replenishment, the inside pressure becomes lower and the supply amount becomes unstable. And 47 are appropriately opened to supply nitrogen gas so that the internal pressure of the developing solution reservoir in the developing stock solution reservoir 91 and the developer solution preparing apparatus 92 is maintained.

도 4에서는, 현상액 조제 장치(92)에 있어서의 현상 신액 저류조가 질소 가압되어 현상액 조제 장치(92)에 있어서의 현상 신액 저류조로부터 현상 신액이 압송되는 태양을 나타냈지만, 이것에 한정되지 않는다. 현상 장치에서는, 현상 공정 설비(B)가 고층계에, 현상액 조제 장치(92)가 저층계에, 계를 나눠 설치되는 경우가 있다. 이 경우에는, 현상액 조제 장치(92)로부터의 현상 신액의 송액은, 송액 펌프에 의해 이루어지는 경우가 많다. 이하에 설명하는 도 5, 6에 있어서도, 마찬가지이다.4 shows a state in which the developing solution reservoir in the developer solution preparing apparatus 92 is pressurized with nitrogen and the developing solution is transported from the developing solution reservoir in the developing solution preparing apparatus 92. However, the present invention is not limited to this. In the developing apparatus, the developing process facility B may be installed in a high-level system, and the developer preparing apparatus 92 may be installed in a low-level system. In this case, the delivery of the developing solution from the developer dispenser 92 is often performed by a liquid delivery pump. The same holds true in Figs. 5 and 6 described below.

도 4에 나타나는 바와 같이, 현상 원액 저류조(91)에는 제어 밸브(48)를 갖는 현상 원액 공급 관로가 접속되고, 현상액 조제 장치(92)에는 제어 밸브(49)를 갖는 현상 원액 공급 관로, 및 제어 밸브(50)를 갖는 순수용 관로가 접속되어 있다.4, a developer stock solution supply line having a control valve 48 is connected to the developer stock solution reservoir 91, a developer stock solution supply line having a control valve 49 is connected to the developer solution supply line, A pure water channel having a valve 50 is connected.

현상 원액 저류조(91)가 비워졌을 때는, 밸브(44)를 닫고, 현상 원액을 채운 새로운 현상 원액 저류조와 교환하거나, 또는, 별도 조달한 현상액의 원액을 비워진 현상 원액 저류조(91)에 다시 충전한다. 현상액 조제 장치(92)에 있어서의 현상 신액 저류조는, 공급해서 감소한 만큼의 현상액의 신액을 현상액 조제 장치(92)에 의해 자동적으로 조제해서 보충하기 때문에, 비게 되는 경우가 없다.When the developer storage tank 91 has been emptied, the valve 44 is closed and replaced with a new developer storage tank filled with the developer stock solution, or the stock solution of developer solution separately supplied is charged back into the emptied developer storage tank 91 . The developing solution reservoir in the developer solution dispenser 92 is automatically dispensed with the fresh solution of the developer solution supplied and reduced by the developing solution dispenser 92, so that it is not empty.

제어 밸브(41~43)의 제어는, 예를 들면, 다음과 같이 행해진다. 제어 밸브의 개방 시에 흐르는 유량이 조정되어 있으면, 제어 밸브를 열고 있는 시간을 관리함에 의해, 보급해야할 액량의 보충액을 보급할 수 있다. 제어부(3)는, 밀도의 측정값 및 관리값에 의거하여, 보급해야할 액량의 보충액이 흐르도록, 소정 시간 제어 밸브를 열도록 제어 밸브에 제어 신호를 발한다.The control of the control valves 41 to 43 is performed, for example, as follows. When the flow rate at the time of opening the control valve is adjusted, the replenishment amount of the liquid amount to be replenished can be replenished by managing the opening time of the control valve. The control unit 3 issues a control signal to the control valve so as to open the control valve for a predetermined time so that the replenishing liquid of the liquid amount to be supplied flows, based on the measured value of the density and the management value.

또한, 제어의 방식은, 제어량을 목표값에 맞추는 제어에 사용되는 각종 제어 방법을 채용할 수 있다. 특히, 비례 제어(P 제어)(Proportional Control), 적분 제어(I 제어)(Integral Control), 미분 제어(D 제어)(Differential Control), 및, 이들을 조합한 제어(PI 제어 등)(Proportional-Integral Control)가 바람직하다. 보다 바람직하게는, PID 제어(Proportional-Integral-Differential Control)가 적합하다.The control method may employ various control methods used for controlling the control amount to the target value. In particular, Proportional-Integral (P control), Proportional-Control (Integral Control), Differential Control (Differential Control) Control) is preferable. More preferably, PID control (Proportional-Integral-Differential Control) is suitable.

이상에 의해, 본 실시형태에 따른 현상액 관리 장치는, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도가 소정의 관리값 또는 관리값 이하로 되도록 현상액에 보충액을 보급해서, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 관리할 수 있어, 원하는 현상 특성을 유지할 수 있다.As described above, the developer management apparatus according to the present embodiment can manage the absorbed carbon dioxide concentration of the developer by replenishing the developer with the replenishing liquid so that the absorbed carbon dioxide concentration of the developer becomes less than or equal to the predetermined management value or the management value, The characteristics can be maintained.

〔제2 실시형태〕[Second embodiment]

도 5는, 밀도계에 의해 측정된 현상액의 밀도값에 의거하여, 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도 사이의 대응 관계로부터 흡수 이산화탄소 농도를 산출하고, 산출된 현상액의 흡수 이산화탄소 농도에 의거하여 현상액에 보충액을 보급함에 의해 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 관리하는 현상액 관리 장치의 모식도이다. 설명의 편의를 위해, 현상액 관리 장치(E)는, 현상 공정 설비(B)에 접속된 태양에서 현상 공정 설비(B), 보충액 저류부(C), 순환 교반 기구(D)와 함께 도시되어 있다.5 is a graph showing the relationship between the density of the developer measured by the density meter and the absorbed carbon dioxide concentration from the correspondence between the density of the developer and the absorbed carbon dioxide concentration, To thereby manage the absorbed carbon dioxide concentration of the developer. The developing solution management apparatus E is shown together with the developing process facility B, the replenishment liquid storage section C and the circulating stirring mechanism D in a mode connected to the developing process facility B .

본 실시형태의 현상액 관리 장치는, 현상액의 밀도의 측정값으로부터 흡수 이산화탄소 농도를 산출하는 연산부와, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 제어하는 제어부가, 일체의 연산 제어 수단(예를 들면 컴퓨터)의 내부 기능으로서 실현된 방식의 현상액 관리 장치이다.The developer managing apparatus of the present embodiment is provided with an operation unit for calculating the absorbed carbon dioxide concentration from the measured value of the developer density and a control unit for controlling the absorbed carbon dioxide concentration of the developer, Which is realized by the developing device.

본 실시형태의 현상액 관리 장치(E)는, 측정부(1)와 연산 제어부(23)를 구비하고 있다. 측정부(1)는, 밀도계(11)나, 그 밖의 측정 수단(12, 13)을 구비하고 있다. 연산 제어부(23)는, 연산 블록(21)과 제어 블록(31)을 구비하고 있다.The developer managing apparatus E of the present embodiment includes a measuring section 1 and an arithmetic control section 23. The measuring section 1 is provided with a density meter 11 and other measuring means 12 and 13. The operation control unit 23 includes a calculation block 21 and a control block 31. [

측정부(1)에서는, 샘플링된 현상액의 밀도값이 밀도계(11)에 의해 측정된다. 측정된 밀도값은, 신호선에 의해 연산 제어부(23)에 보내진다. 그 외, 측정부(1)의 상세는, 제1 실시형태와 마찬가지이므로 생략한다.In the measuring section 1, the density value of the sampled developer is measured by the density meter 11. The measured density value is sent to the operation control section 23 by a signal line. In addition, details of the measuring unit 1 are the same as those of the first embodiment and therefore will not be described.

현상액의 밀도의 측정값을 수취한 연산 제어부(23)는, 연산 블록(21)에서, 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도 사이의 대응 관계(예를 들면 도 1의 직선 관계)에 의거하여, 밀도의 측정값으로부터 대응하는 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 산출한다. 산출된 흡수 이산화탄소 농도는, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도의 측정값으로서, 제어 블록(31)에 보내진다.Based on the correspondence relationship (for example, the linear relationship in Fig. 1) between the density of the developing solution and the absorbed carbon dioxide concentration, the arithmetic control unit 23 that receives the measured value of the density of the developing solution calculates the density The absorbed carbon dioxide concentration of the corresponding developer is calculated from the measured values. The calculated absorbed carbon dioxide concentration is sent to the control block 31 as a measured value of the absorbed carbon dioxide concentration of the developer.

연산 제어부(23)는, 연산 기능으로서, 예를 들면, 현상액의 알칼리 성분 농도나 용해 포토레지스트 농도를 산출하기 위한 연산 블록을 구비하고 있어도 된다.The arithmetic control unit 23 may be provided with a calculation block for calculating the concentration of the alkaline component of the developer or the concentration of the dissolved photoresist, for example, as the arithmetic function.

제어 블록(31)은, 측정된 흡수 이산화탄소 농도에 의거하여, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도가 소정의 관리값 또는 관리값 이하로 되도록, 제어 밸브(41~43)에 제어 신호를 발한다. 현상액은 이산화탄소를 흡수하여 그 농도가 증가하는 경향이 있으므로, 제어는 흡수 이산화탄소 농도를 묽게 하는 작용을 갖는 보충액을 보급함에 의해 이루어진다. 제어의 상세는, 제1 실시형태에 있어서의 설명과 마찬가지이므로, 생략한다.The control block 31 sends a control signal to the control valves 41 to 43 so that the absorbed carbon dioxide concentration of the developer is equal to or lower than a predetermined control value or a control value based on the measured absorbed carbon dioxide concentration. Since the developer tends to absorb carbon dioxide and increase its concentration, the control is accomplished by supplying a replenishment liquid which acts to dilute the absorbed carbon dioxide concentration. The details of the control are the same as those in the first embodiment, and therefore will not be described.

제어부(3)는, 제어 기능으로서, 예를 들면, 현상액의 알칼리 성분 농도나 용해 포토레지스트 농도를 제어하기 위한 제어 블록을 구비하고 있어도 된다.As the control function, the control unit 3 may be provided with a control block for controlling, for example, the alkali component concentration of the developer and the dissolved photoresist concentration.

이상과 같이, 본 실시형태의 현상액 관리 장치(E)에 따르면, 알칼리성 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 소정의 관리값 또는 관리값 이하로 되도록 관리할 수 있다.As described above, according to the developer managing apparatus E of the present embodiment, it is possible to manage the absorbed carbon dioxide concentration of the alkaline developer to be equal to or less than a predetermined management value or a management value.

〔제3 실시형태〕[Third embodiment]

도 6은, 밀도계에 의해 측정된 현상액의 밀도값에 의거하여, 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도 사이의 대응 관계로부터 흡수 이산화탄소 농도를 산출하고, 산출된 현상액의 흡수 이산화탄소 농도에 의거하여 현상액에 보충액을 보급함에 의해 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 관리하는 현상액 관리 장치의 모식도이다. 설명의 편의를 위해, 현상액 관리 장치(E)는, 현상 공정 설비(B)에 접속된 태양에서 현상 공정 설비(B), 보충액 저류부(C), 순환 교반 기구(D)와 함께 도시되어 있다.6 is a graph showing the relationship between the density of the developer measured by the density meter and the absorbed carbon dioxide concentration from the correspondence between the density of the developer and the absorbed carbon dioxide concentration, To thereby manage the absorbed carbon dioxide concentration of the developer. The developing solution management apparatus E is shown together with the developing process facility B, the replenishment liquid storage section C and the circulating stirring mechanism D in a mode connected to the developing process facility B .

본 실시형태의 현상액 관리 장치는, 현상액의 밀도의 측정값으로부터 흡수 이산화탄소 농도를 산출하는 연산 수단과, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 제어하는 제어 수단이, 별개로 구성되어 있는 방식의 현상액 관리 장치이다.The developer management apparatus of the present embodiment is a developer management apparatus of a system in which calculation means for calculating the absorbed carbon dioxide concentration from the measured value of the density of the developer and control means for controlling the absorbed carbon dioxide concentration of the developer are configured separately.

본 실시형태의 현상액 관리 장치(E)는, 측정부(1)와 연산부(2)와 제어부(3)를 구비하고 있다. 측정부(1)는, 밀도계(11)나, 그 밖의 측정 수단(12, 13)을 구비하고 있다. 연산부(2)는, 밀도의 측정값으로부터 밀도와 흡수 이산화탄소 농도의 대응 관계(예를 들면 도 1의 직선 관계)에 의거하여 현상액에 흡수 이산화탄소 농도를 산출하는 연산 블록(21)을 구비하고 있다. 제어부(3)는, 산출된 흡수 이산화탄소 농도에 의거하여, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도가 소정의 관리값 또는 관리값 이하로 되도록, 현상액에 보충액을 보급하여 제어하기 위한 제어 블록(31)을 구비하고 있다.The developer managing apparatus E of the present embodiment includes a measuring section 1, an arithmetic section 2, and a control section 3. The measuring section 1 is provided with a density meter 11 and other measuring means 12 and 13. The calculation unit 2 includes a calculation block 21 for calculating the absorbed carbon dioxide concentration in the developer based on the correspondence relationship between the density and the absorbed carbon dioxide concentration (for example, the linear relationship in FIG. 1) from the measured value of the density. The control unit 3 includes a control block 31 for controlling the replenishment of replenishment liquid to the developer so that the absorbed carbon dioxide concentration of the developer becomes equal to or less than a predetermined control value or a control value based on the calculated absorbed carbon dioxide concentration .

측정부(1)에서는, 샘플링된 현상액의 밀도값이 밀도계(11)에 의해 측정된다. 측정된 밀도값은, 신호선에 의해 연산부(2)로 보내진다. 그 외에, 측정부(1)의 상세는, 제1 실시형태와 마찬가지이므로 생략한다.In the measuring section 1, the density value of the sampled developer is measured by the density meter 11. The measured density value is sent to the arithmetic unit 2 by a signal line. In addition, the details of the measuring unit 1 are the same as those of the first embodiment, and therefore will not be described.

현상액의 밀도의 측정값을 수취한 연산부(2)는, 연산 블록(21)에서, 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도 사이의 대응 관계(예를 들면 도 1의 직선 관계)에 의거하여, 밀도의 측정값으로부터 대응하는 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 산출한다. 산출된 흡수 이산화탄소 농도는, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도의 측정값으로서, 제어부(3)에 보내진다.Based on the correspondence relationship between the density of the developing solution and the absorbed carbon dioxide concentration (for example, the linear relationship in Fig. 1), the calculation unit 2 that has received the measured value of the density of the developing solution measures the density The absorbed carbon dioxide concentration of the corresponding developing solution is calculated. The calculated absorbed carbon dioxide concentration is sent to the control unit 3 as a measured value of the absorbed carbon dioxide concentration of the developer.

연산부(2)는, 연산 기능으로서, 예를 들면, 현상액의 알칼리 성분 농도나 용해 포토레지스트 농도를 산출하기 위한 연산 블록을 구비하고 있어도 된다.The calculation unit 2 may include a calculation block for calculating the concentration of the alkali component of the developer or the concentration of the dissolved photoresist, for example, as the calculation function.

제어부(3)는, 측정된 흡수 이산화탄소 농도에 의거하여, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도가 소정의 관리값 또는 관리값 이하로 되도록, 제어 밸브(41~43)에 제어 신호를 발한다. 현상액은 이산화탄소를 흡수하여 그 농도가 증가하는 경향이 있으므로, 제어는 흡수 이산화탄소 농도를 묽게 하는 작용을 갖는 보충액을 보급함에 의해 이루어진다. 제어의 상세는, 제1 실시형태에 있어서의 설명과 마찬가지이므로, 생략한다.The control unit 3 sends a control signal to the control valves 41 to 43 so that the absorbed carbon dioxide concentration of the developer becomes equal to or lower than a predetermined control value or a control value based on the measured absorbed carbon dioxide concentration. Since the developer tends to absorb carbon dioxide and increase its concentration, the control is accomplished by supplying a replenishment liquid which acts to dilute the absorbed carbon dioxide concentration. The details of the control are the same as those in the first embodiment, and therefore will not be described.

제어부(3)는, 제어 기능으로서, 예를 들면, 현상액의 알칼리 성분 농도나 용해 포토레지스트 농도를 제어하기 위한 제어 블록을 구비하고 있어도 된다.As the control function, the control unit 3 may be provided with a control block for controlling, for example, the alkali component concentration of the developer and the dissolved photoresist concentration.

이상과 같이, 본 실시형태의 현상액 관리 장치(E)에 따르면, 알칼리성 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 소정의 관리값 또는 관리값 이하로 되도록 관리할 수 있다.As described above, according to the developer managing apparatus E of the present embodiment, it is possible to manage the absorbed carbon dioxide concentration of the alkaline developer to be equal to or less than a predetermined management value or a management value.

다음으로, 본 실시형태의 현상액 관리 장치(E)의 변형예에 대해, 설명한다.Next, modified examples of the developer managing apparatus E of the present embodiment will be described.

도 4~도 6에서는, 현상액 관리 장치의 측정부(1)는, 연산부(2)나 제어부(3)와 일체로 구성되는 현상액 관리 장치를 도시했지만, 본 실시형태의 현상액 관리 장치(E)는 이것에 한정되지 않는다. 측정부(1)를 연산부(2) 및 제어부(3)와 별개의 구성으로 할 수도 있다.4 to 6, the measuring section 1 of the developer managing apparatus shows a developer managing apparatus that is integrally formed with the calculating section 2 and the control section 3. However, the developer managing apparatus E of the present embodiment But it is not limited thereto. The measuring section 1 may be configured separately from the calculating section 2 and the control section 3. [

밀도계를 포함하는 각 측정 수단(11~13)은, 각각이 채용하는 측정 원리에 따라 최적인 설치 방법이 있으므로, 예를 들면, 측정부(1)를 현상액 관로(80)에 인라인 접속하거나, 현상액 저류조(61)에 측정 프로브를 침지하도록 설치하거나 하는 것이어도 된다. 각 측정 수단(11~13)이 각각 별개로 설치되는 것이어도 된다. 본 실시형태의 현상액 관리 장치(E)는, 각 측정 수단(11~13)이 연산부(2)나 제어부(3)와 측정 데이터의 주고받기가 가능하도록 상호 연락한 태양으로 되어 있으면 실현 가능하다.Since each measuring means 11 to 13 including the density meter has an optimal mounting method in accordance with the measurement principle employed by each of them, for example, the measuring portion 1 may be in-line connected to the developer duct 80, Or may be provided so as to immerse the measurement probe in the developer reservoir 61. The measuring means 11 to 13 may be provided separately from each other. The developer managing apparatus E of the present embodiment can be realized when the measuring units 11 to 13 are mutually communicated so as to be able to exchange measurement data with the calculating unit 2 and the control unit 3. [

마찬가지로, 도 4~도 6에서는, 밀도계 기타 측정 수단(11~13)이 직렬로 접속된 태양의 현상액 관리 장치(E)를 도시했지만, 본 실시형태의 현상액 관리 장치(E)는 이것에 한정되지 않는다. 각 측정 수단(11~13)은 병렬로 접속되어 있는 것이어도 되고, 각각 독립적으로 배관되어 있는 것이어도 된다. 각 측정 수단이 채용한 측정 원리에 따라, 시약 첨가가 필요하면, 각 측정 수단이 그를 위한 배관을 구비하고 있어도 되고, 폐액이 필요하면, 각 측정 수단이 그를 위한 관로를 구비하고 있어도 된다. 각 측정 수단이 직렬로 접속되어 있지 않아도, 본 실시형태의 현상액 관리 장치(E)는 실현 가능하다.Similarly, although FIGS. 4 to 6 show the developing solution management apparatus E of the present embodiment in which the density and other measurement means 11 to 13 are connected in series, the developer management apparatus E of this embodiment is limited to this It does not. The measuring means 11 to 13 may be connected in parallel or may be connected independently of each other. According to the measuring principle employed by each measuring means, when reagent addition is required, each measuring means may have a pipe for it, or, if a waste liquid is required, each measuring means may have a conduit for it. Even if each measuring means is not connected in series, the developer managing apparatus E of the present embodiment can be realized.

본 실시형태의 현상액 관리 장치(E)의 연산부(2)는, 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도 사이의 대응 관계(예를 들면 도 1과 같은 직선 관계)로부터, 현상액의 밀도의 측정값에 의거하여 흡수 이산화탄소 농도를 산출하는 연산 기능 외에, 다른 연산 기능을 구비하고 있어도 된다. 예를 들면, 현상액의 알칼리 성분 농도나 용해 포토레지스트 농도 등, 다른 성분 농도를 산출하기 위한 연산 기능을 구비하고 있어도 된다.The calculation unit 2 of the developer management apparatus E of the present embodiment calculates the concentration of the developer based on the measured value of the density of the developer from the corresponding relationship between the density of the developer and the absorbed carbon dioxide concentration (for example, In addition to the calculation function for calculating the absorbed carbon dioxide concentration, other calculation functions may be provided. For example, an arithmetic function for calculating other component concentrations such as a concentration of an alkali component of a developing solution and a concentration of a dissolved photoresist may be provided.

본 실시형태의 현상액 관리 장치(E)의 제어부(3)는, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 소정의 관리값 또는 관리값 이하로 되도록 현상액에 보충액을 보급하여 제어하기 위한 제어 기능 외에, 다른 제어 기능을 구비하고 있어도 된다. 예를 들면, 현상액의 알칼리 성분 농도나 용해 포토레지스트 농도 등, 다른 성분 농도를 소정의 관리값 또는 관리값 이하, 관리 범위 내로 되도록 제어하기 위한 제어 기능을 구비하고 있어도 된다. 이를 위한 제어는, 현상액에 보충액을 보급하는 것에 의한 것 외에, 적절히 현상액을 폐액하는 제어를 부가한 것이나, 필터 등에 의해 불순물을 여과해서 재생한 재생 현상액을 되돌리는 제어를 부가한 것 등, 다양한 제어가 가능하다.The control section 3 of the developer managing apparatus E of the present embodiment has a control function for controlling the supply of the replenishing liquid to the developer so that the absorbed carbon dioxide concentration of the developer becomes equal to or less than a predetermined control value or a control value, . For example, a control function may be provided for controlling the concentrations of other components such as the alkali component concentration of the developing solution and the dissolved photoresist concentration to be within a control range below a predetermined control value or a control value. The control for this is not limited to the application of the replenishing liquid to the developer, the addition of the control for appropriately linting the developer, the addition of the control for returning the regenerated developer by filtering the impurities with a filter or the like, Is possible.

도 4~도 6에서는, 현상액에 보급되는 보충액을 송액하는 관로에 설치된 제어 밸브(41~43)가 현상액 관리 장치(E)의 내부 부품으로 되도록, 현상액 관리 장치(E)가 보충액용 관로(81, 82) 및 순수용 관로(83)와 접속된 태양을 도시했지만, 본 실시형태의 현상액 관리 장치(E)는 이것에 한정되지 않는다. 현상액 관리 장치는 제어 밸브(41~43)를 내부 부품으로서 구비하고 있지 않아도 되고, 현상액에 보충액을 보급하기 위한 관로(81~83)와 접속되어 있지 않아도 된다.4 to 6 show a state in which the developer management apparatus E is connected to the replenishment liquid channel 81 so that the control valves 41 to 43 provided in the pipeline for feeding the replenishment liquid to be supplied to the developer are internal components of the developer management apparatus E. [ , 82, and the pure water line 83, but the developer management apparatus E of the present embodiment is not limited to this. The developer management device does not need to have the control valves 41 to 43 as internal components or may not be connected to the conduits 81 to 83 for replenishing the developer.

본 실시형태의 현상액 관리 장치(E)에 있어서의 제어부(3)와, 보충액을 보급하기 위한 관로에 설치된 제어 밸브(41~43)는, 제어 밸브(41~43)가 현상액 관리 장치(E)의 제어부(3)에 의해 발해진 제어 신호를 수취해서 제어되도록 상호 연락한 태양으로 되어 있으면 된다. 제어 밸브가 현상액 관리 장치(E)의 내부 부품으로 되어 있지 않아도, 본 실시형태의 현상액 관리 장치(E)는 실현 가능하다.The control section 3 in the developer management apparatus E and the control valves 41 to 43 provided in the pipeline for replenishing the replenishing liquid are controlled by the control valves 41 to 43, As long as the control signal received by the control unit 3 of the controller 3 is received and controlled. Even if the control valve is not an internal component of the developer management apparatus E, the developer management apparatus E of the present embodiment can be realized.

현상액 관리 장치(E)의 제어부(3)는, 측정부(1)나 연산부(2)와 일체로 구성되어 있지 않아도 되고, 측정부(1) 및 연산부(2)와는 별개여도 된다. 측정부(1)와 연산부(2)와 제어부(3)가, 각각 개별적인 장치로서 존재하는 것이어도 된다. 측정 데이터나 연산 결과, 제어 신호 등이 신호선 등에 의해 상호 주고받도록 연락되어 있으면, 본 실시형태의 현상액 관리 장치(E)는 실현 가능하다.The control section 3 of the developer management apparatus E may not be integrally formed with the measurement section 1 or the calculation section 2 and may be separate from the measurement section 1 and the calculation section 2. [ The measuring section 1, the calculating section 2, and the controlling section 3 may be present as individual devices. When the measurement data, calculation results, control signals, and the like are communicated with each other by signal lines or the like, the developer managing apparatus E of the present embodiment can be realized.

제어부(3)의 흡수 이산화탄소 농도를 제어하는 기능과, 알칼리 성분 농도나 용해 포토레지스트 농도 등 다른 성분을 제어하는 기능은, 공통의 제어 수단에 의해 실현되는 것이 바람직하지만, 각각의 기능은 별개의 제어 수단에 의해 실현되어 있어도 된다. 제어에 사용되는 보충액이나 이것을 송액하는 관로 및 제어 밸브 등은, 제어되는 현상액의 대상 성분마다 개별적으로 준비되어 있어도 되지만, 공통되게 사용할 수 있는 것이면 공통되어 있는 것이 바람직하다.It is preferable that the function of controlling the absorbed carbon dioxide concentration of the control unit 3 and the function of controlling other components such as the concentration of the alkali component and the concentration of the dissolved photoresist are realized by the common control means, Or may be realized by a means. The replenishing liquid used for the control, the channel and the control valve for conveying the replenishing liquid may be individually prepared for each component of the developer to be controlled, but it is preferable that the replenishing liquid and the control valve are common if they can be used in common.

본 발명의 현상 장치의 현상액 관리 장치는, 상기와 같은 각종의 변형예가 허용됨에도 불구하고, 밀도계를 구비하고 있고, 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도 사이의 대응 관계(예를 들면 도 1과 같은 직선 관계)를 사용해서, 밀도계에 의해 측정된 현상액의 밀도값에 의거하거나, 또는, 밀도계에 의해 측정된 현상액의 밀도값으로부터 산출되는 현상액의 흡수 이산화탄소 농도값에 의거하여, 현상액의 흡수 이산화탄소 농도가 소정의 관리값 또는 관리값 이하로 되도록 현상액에 보충액을 보급하여 제어하는 것이다.Although the developer managing apparatus of the developing apparatus of the present invention is provided with the density meter even though various variations as described above are allowed, the density of the developing solution is controlled by the corresponding relationship between the density of the developer and the absorbed carbon dioxide concentration Based on the density value of the developer measured by the density meter or the absorbed carbon dioxide concentration value of the developer calculated from the density value of the developer measured by the density meter, the absorbed carbon dioxide concentration Is controlled to be equal to or less than a predetermined control value or a control value.

이상과 같이, 본 발명의 현상 장치에 따르면, 알칼리성 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 소정의 관리값 또는 관리값 이하로 관리할 수 있다. 따라서, 본 실시형태의 현상 장치의 현상액 관리 장치에 의해, 알칼리성 현상액을 최적인 현상 성능을 발휘하는 흡수 이산화탄소 농도의 상태로 유지할 수 있어, 원하는 선폭이나 잔존 막 두께를 실현할 수 있다.As described above, according to the developing apparatus of the present invention, the absorbed carbon dioxide concentration of the alkaline developer can be controlled to be less than a predetermined management value or a management value. Therefore, the alkaline developer can be maintained in the state of the absorbed carbon dioxide concentration exhibiting optimum developing performance, and the desired line width and remaining film thickness can be realized by the developing agent management apparatus of the developing apparatus of the present embodiment.

본 발명의 현상 장치의 현상액 관리 장치가 알칼리성 현상액의 알칼리 성분 농도나 용해 포토레지스트 농도도 더 관리할 수 있을 경우에는, 알칼리성 현상액의 각 성분 농도가 소정의 상태로 관리된다. 그 때문에, 흡수 이산화탄소 농도를 관리할 수 없었던 종래의 현상액 관리에 비해, 본 발명의 현상 장치에 따르면, 알칼리성 현상액의 현상 성능이 가일층 정밀하게 일정해지도록 유지 관리할 수 있다. 따라서, 포토레지스트를 현상할 때의 현상 속도가 일정하게 안정화되고, 현상 처리에 의한 선폭이나 잔존 막 두께가 일정화되어, 제품 품질이 향상됨과 함께, 가일층의 미세화 및 고집적화의 실현에 기여할 것으로 기대된다.When the developer management apparatus of the developing apparatus of the present invention can further manage the concentration of the alkali component or the dissolved photoresist concentration of the alkaline developer, the concentration of each component of the alkaline developer is controlled to a predetermined state. Therefore, according to the developing apparatus of the present invention, compared with the conventional developer solution management in which the absorbed carbon dioxide concentration can not be managed, the development performance of the alkaline developer solution can be maintained more precisely and uniformly. Therefore, the developing speed at the time of developing the photoresist is stabilized, the line width and the remaining film thickness by the developing treatment are stabilized, the product quality is improved, and it is expected to contribute to the realization of the miniaturization and high integration of the single layer .

또한, 본 발명의 현상 장치에 따르면, 현상액이 자동으로 상시 최적인 현상 성능으로 유지되기 때문에, 제품 수율을 향상시킴과 함께, 현상액의 교환작업이 불필요해져, 러닝 비용이나 폐액 비용의 저감에 기여할 것으로 기대된다.Further, according to the developing apparatus of the present invention, since the developing solution is automatically maintained at the optimum developing performance at all times, the yield of the product is improved and the replacement operation of the developing solution becomes unnecessary, thereby contributing to the reduction of the running cost and the waste solution cost It is expected.

A…성분 농도 측정 장치, B…현상 공정 설비, C…보충액 저류부, D…순환 교반 기구, E…현상액 관리 장치
1…측정부
11…밀도계, 12, 13…측정 수단, 14…샘플링 펌프, 15…샘플링 배관, 16…출구측 배관
2…연산부
21…연산 블록, 22…표시 수단
23…연산 제어부(예를 들면 컴퓨터)
3…제어부
31…제어 블록
41~43, 48~50…제어 밸브, 44, 45, 46, 47…밸브
51…시료 셀, 52…온도계, 53…펠티에 소자, 54…항온 블록, 55…단열재, 56…진동자, 61…현상액 저류조, 62…오버플로우조, 63…액면계, 64…현상실 후드, 65…롤러 컨베이어, 66…기판, 67…현상액 샤워 노즐, 71…폐액 펌프, 72, 74…순환 펌프, 73, 75…필터, 80…현상액 관로, 81…현상 원액용 관로, 82…현상 신액용 관로, 83…순수용 관로, 84…합류 관로, 85…순환 관로, 86…질소 가스용 관로, 91…현상액 저류조, 92…현상액 조제 장치A ... Component concentration measuring device, B ... Development process equipment, C ... Refill solution reservoir, D ... Circulating stirring device, E ... The developer-
One… Measuring part
11 ... Density meter, 12, 13 ... Measuring means, 14 ... Sampling pump, 15 ... Sampling piping, 16 ... Outlet pipe
2… [0040]
21 ... Operation block, 22 ... Display means
23 ... An arithmetic control unit (e.g., a computer)
3 ... The control unit
31 ... Control block
41-43, 48-50 ... Control valve, 44, 45, 46, 47 ... valve
51 ... Sample cell, 52 ... Thermometer, 53 ... Peltier element, 54 ... Constant temperature block, 55 ... Insulation, 56 ... Oscillator, 61 ... Developer reservoir, 62 ... Overflow tank, 63 ... Level gauge, 64 ... Developing room hood, 65 ... Roller conveyor, 66 ... Substrate, 67 ... Developer nozzle, 71 ... Waste liquid pump, 72, 74 ... Circulation pumps, 73, 75 ... Filter, 80 ... The development pipeline, 81 ... Pipes for developing p ... Pipe for new development liquid, 83 ... Pure water pipeline, 84 ... Confluence channel, 85 ... Circulation duct, 86 ... Nitrogen gas pipeline, 91 ... Developer reservoir, 92 ... Developing device

Claims (4)

알칼리성을 나타내는 현상액의 주성분을 포함하는 현상 원액과 순수를 혼합해서, 설정된 농도의 상기 현상액을 현상 신액으로서 조제하는 현상액 조제 장치와,
반복 사용되는 상기 현상액에 상기 현상액 조제 장치로부터 보급되는 상기 현상 신액이 송액(送液)되는 현상 신액용 관로와,
상기 반복 사용되는 상기 현상액에 보급되는 상기 현상 원액이 송액되는 현상 원액용 관로와,
상기 반복 사용되는 상기 현상액에 보급되는 순수가 송액되는 순수용 관로와,
상기 반복 사용되는 상기 현상액을 소정의 성분 농도로 또는 소정의 농도 범위로 관리하는 현상액 관리 장치
를 구비하는 현상 장치.A developing liquid preparing apparatus for mixing the developing liquid containing the main component of the developing liquid exhibiting alkalinity with pure water to prepare the developing liquid of the set concentration as a developing liquid,
A developing liquid supply channel in which the developing liquid replenished from the developing solution dispensing apparatus is fed to the developing solution repeatedly used,
A development source liquid channel to which the developer stock solution to be replenished to the developer to be used repeatedly is fed,
A pure water channel to which the pure water supplied to the developing solution repeatedly used is fed,
A developing solution management device for managing the developer to be used repeatedly at a predetermined component concentration or within a predetermined concentration range,
. 제1항에 있어서,
상기 현상액 관리 장치가, 또한,
상기 반복 사용되는 상기 현상액의 밀도값을 측정하는 밀도계와,
상기 밀도계에 의해 측정된 상기 밀도값에 의거하여, 상기 반복 사용되는 상기 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도 사이의 대응 관계를 사용해서, 상기 반복 사용되는 상기 현상액의 흡수 이산화탄소 농도가 소정의 관리값 또는 소정의 관리값 이하로 되도록, 상기 현상 신액용 관로에 설치된 제어 밸브, 상기 현상 원액용 관로에 설치된 제어 밸브 및 상기 순수용 관로에 설치된 제어 밸브 중 적어도 어느 하나에 제어 신호를 발하는 제어 수단
을 구비하는 현상 장치.The method according to claim 1,
The developer management apparatus may further include:
A density meter for measuring a density value of the developer to be used repeatedly,
Wherein the absorbed carbon dioxide concentration of the developer to be used repeatedly is determined based on the density value measured by the density meter by using a corresponding relationship between the density of the developer to be used repeatedly and the absorbed carbon dioxide concentration, A control valve provided in the development and replacement pipeline, a control valve provided in the development raw material pipeline, and a control valve provided in the pure water pipeline so as to be equal to or less than a predetermined control value,
. 제1항에 있어서,
상기 현상액 관리 장치가, 또한,
상기 반복 사용되는 상기 현상액의 밀도값을 측정하는 밀도계와,
상기 밀도계에 의해 측정된 상기 밀도값에 의거하여, 상기 반복 사용되는 상기 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도 사이의 대응 관계로부터, 상기 반복 사용되는 상기 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 산출하는 연산부와, 상기 연산부에서 산출되는 상기 흡수 이산화탄소 농도의 값에 의거하여, 상기 반복 사용되는 상기 현상액의 흡수 이산화탄소 농도가 소정의 관리값 또는 소정의 관리값 이하로 되도록, 상기 현상 신액용 관로에 설치된 제어 밸브, 상기 현상 원액용 관로에 설치된 제어 밸브 및 상기 순수용 관로에 설치된 제어 밸브 중 적어도 어느 하나에 제어 신호를 발하는 제어부를 구비하는 연산 제어 수단
을 구비하는 현상 장치.The method according to claim 1,
The developer management apparatus may further include:
A density meter for measuring a density value of the developer to be used repeatedly,
An operation unit for calculating the absorbed carbon dioxide concentration of the developer to be used repeatedly based on the correspondence relation between the density of the developer to be used repeatedly and the absorbed carbon dioxide concentration based on the density value measured by the density meter; A control valve provided in the development / delivery pipeline so that the absorbed carbon dioxide concentration of the developer to be used repeatedly becomes a predetermined management value or a predetermined management value or less based on the value of the absorbed carbon dioxide concentration calculated in the step And a control unit for issuing a control signal to at least one of a control valve installed in the conduit for the pure water and a control valve installed in the pure water conduit,
. 제1항에 있어서,
상기 현상액 관리 장치가, 또한,
상기 반복 사용되는 상기 현상액의 밀도값을 측정하는 밀도계와,
상기 밀도계에 의해 측정된 상기 밀도값에 의거하여, 상기 반복 사용되는 상기 현상액의 밀도와 흡수 이산화탄소 농도 사이의 대응 관계로부터, 상기 반복 사용되는 상기 현상액의 흡수 이산화탄소 농도를 산출하는 연산 수단과,
상기 연산 수단으로 산출되는 상기 흡수 이산화탄소 농도의 값에 의거하여, 상기 반복 사용되는 상기 현상액의 흡수 이산화탄소 농도가 소정의 관리값 또는 소정의 관리값 이하로 되도록, 상기 현상 신액용 관로에 설치된 제어 밸브, 상기 현상 원액용 관로에 설치된 제어 밸브 및 상기 순수용 관로에 설치된 제어 밸브 중 적어도 어느 하나에 제어 신호를 발하는 제어 수단
을 구비하는 현상 장치.The method according to claim 1,
The developer management apparatus may further include:
A density meter for measuring a density value of the developer to be used repeatedly,
Calculating means for calculating the absorbed carbon dioxide concentration of the developer to be used repeatedly based on the correspondence relation between the density of the developer to be used repeatedly and the absorbed carbon dioxide concentration on the basis of the density value measured by the density meter;
A control valve provided in the development / delivery pipeline so that the absorbed carbon dioxide concentration of the developer to be used repeatedly becomes a predetermined management value or a predetermined management value or less based on the value of the absorbed carbon dioxide concentration calculated by the calculation means, A control valve provided in the development source channel and a control valve provided in the pure water channel,
.
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