KR20180085110A - 스크라이빙 장치 - Google Patents

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주식회사 탑 엔지니어링
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스크라이빙 휠을 자동으로 교체할 수 있도록 하여 스크라이빙 공정에 소요되는 시간을 줄이고 작업자의 편의성을 향상시키기 위한 것으로, 스크라이빙 휠을 유지하는 휠 홀더와, 휠 홀더가 끼워지는 휠 홀더 지지 부재와, 휠 홀더 지지 부재가 연결되는 스크라이빙 헤드를 포함하는 스크라이빙 유닛; 및 둘레 방향으로 복수의 휠 홀더 수용홈을 가지며 복수의 휠 홀더 수용홈 중 하나가 휠 홀더 지지 부재에 대응하도록 회전되는 휠 홀더 수용 유닛을 포함하는 휠 홀더 교체 장치를 포함할 수 있다.

Description

스크라이빙 장치{SCRIBING APPARATUS}
본 발명은 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(이하, '기판'이라 함)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(이하, '단위 기판'이라 함)을 사용한다.
기판을 절단하는 공정은, 기판이 절단될 절단 예정선을 따라 다이아몬드와 같은 재질의 스크라이빙 휠을 가압하면서 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정과, 스크라이빙 라인을 따라 기판을 가압하는 것에 의해 기판을 절단하여 단위 기판을 얻는 브레이킹 공정을 포함한다.
스크라이빙 공정에서는, 기판의 이송 방향을 기준으로 기판의 전방측 단부 및 후방측 단부가 지지된 상태에서, 기판의 전방측 단부 및 후방측 단부 사이의 영역에서 스크라이빙 휠이 이동하면서 기판에 스크라이빙 라인을 형성하게 된다.
한편, 다수의 기판에 다수의 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서, 스크라이빙 휠이 마모되므로, 스크라이빙 라인을 형성하는 공정을 원활하게 수행하기 위해, 마모된 스크라이빙 휠을 새로운 스크라이빙 휠로 교체할 필요가 있다.
그러나, 종래에는 스크라이빙 휠을 작업자가 수동으로 교체하였으므로, 스크라이빙 휠을 교체하는 데에 장시간이 요구되며, 스크라이빙 휠의 교체 후, 스크라이빙 휠의 위치를 조절하는 별도의 과정이 요구되는 문제점이 있다.
대한민국공개특허 제10-2007-0070824호(2007.07.04)
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 스크라이빙 휠을 자동으로 교체할 수 있도록 하여 스크라이빙 공정에 소요되는 시간을 줄이고 작업자의 편의성을 향상시킬 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스크라이빙 휠을 유지하는 휠 홀더와, 휠 홀더가 끼워지는 휠 홀더 지지 부재와, 휠 홀더 지지 부재가 연결되는 스크라이빙 헤드를 포함하는 스크라이빙 유닛; 및 둘레 방향으로 복수의 휠 홀더 수용홈을 가지며 복수의 휠 홀더 수용홈 중 하나가 휠 홀더 지지 부재에 대응하도록 회전되는 휠 홀더 수용 유닛을 포함하는 휠 홀더 교체 장치를 포함할 수 있다.
휠 홀더 수용 유닛은, 서로 대향하게 배치되는 한 쌍의 스크라이빙 헤드 중 어느 하나의 스크라이빙 헤드에 대응하며 휠 홀더 수용홈을 갖는 제1 휠 홀더 수용 부재와, 다른 하나의 스크라이빙 헤드에 대응하며 휠 홀더 수용홈을 갖는 제2 휠 홀더 수용 부재를 포함할 수 있다.
제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재 사이에 설치되어 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 상대 회전시키는 회전 유닛을 더 포함할 수 있다.
회전 유닛은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 상이한 방향으로 회전시킬 수 있다.
회전 유닛은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 상이한 각도로 회전시킬 수 있다.
휠 홀더 수용홈에 구비되어 휠 홀더 수용홈에 삽입된 휠 홀더를 고정시키는 잠금 유닛을 더 포함할 수 있다.
잠금 유닛은 휠 홀더 수용홈 내에 삽입된 휠 홀더의 일면을 가압하는 가압 부재와, 가압 부재를 이동시키는 구동 장치를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 휠 홀더를 자동으로 교체하는 휠 홀더 교체 장치를 구비하므로, 스크라이빙 휠을 신속하게 교체하여 스크라이빙 공정에 소요되는 시간을 줄이고 작업자의 편의성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 스크라이빙 유닛의 일부분의 개략적인 확대도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 휠 홀더 교체 장치의 일부분의 개략적인 확대도이다.
도 5 내지 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 동작이 개략적으로 도시된 측면도이다.
첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다.
이하, 스크라이빙 공정이 수행될 기판(S)이 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의하고, 기판(S)이 이송되는 방향(Y축 방향)에 교차하는 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판(S)이 놓이는 X-Y평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스테이지(10)와, 스크라이빙 휠(21)을 유지하는 휠 홀더(22) 및 휠 홀더(22)를 지지하는 스크라이빙 헤드(23)를 포함하는 스크라이빙 유닛(20)과, 기판(S)을 파지하여 스크라이빙 유닛(20)으로 이송하는 기판 이송 장치(30)와, 휠 홀더(22)를 교체하도록 구성되는 휠 홀더 교체 장치(40)를 포함할 수 있다.
스테이지는 Y축 방향으로 소정의 간격으로 이격되게 배치되는 로딩 스테이지(11) 및 언로딩 스테이지(12)를 포함한다. 로딩 스테이지(11)는 기판(S)이 스크라이빙 장치로 로딩되는 영역을 제공하며, 언로딩 스테이지(12)는 스크라이빙 공정을 통하여 스크라이빙 라인이 형성된 기판(S)이 스크라이빙 장치로부터 언로딩되는 영역을 제공한다.
로딩 스테이지(11) 및 언로딩 스테이지(12)는 각각 복수의 벨트(13)를 포함할 수 있다. 복수의 벨트(13)는 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 각 벨트(13)는 복수의 롤러(14)에 의해 지지되며, 복수의 롤러(14) 중 적어도 하나는 벨트(13)를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 롤러일 수 있다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 유닛(20)은 스크라이빙 헤드(23)가 장착되는 헤드 지지대(24)와, 헤드 지지대(24)가 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 프레임(25)을 포함한다.
복수의 스크라이빙 헤드(23)가 Z축 방향으로 서로 이격되어 서로 대향하도록 구비될 수 있다. 예를 들면, 한 쌍의 스크라이빙 헤드(23)가 Z축 방향으로 서로 이격되어 서로 대향하도록 배치됨에 따라, 한 쌍의 스크라이빙 휠(21)이 기판(S)의 일면(상면) 및 타면(하면)에 서로 대향하도록 배치될 수 있다. 따라서, 한 쌍의 스크라이빙 휠(21)이 기판(S)의 일면 및 타면을 가압한 상태에서, 한 쌍의 스크라이빙 헤드(23)에 대한 기판(S)의 상대 이동 및/또는 기판(S)에 대한 한 쌍의 스크라이빙 헤드(23)의 상대 이동에 의하여, 기판(S)의 일면 및 타면에는 각각 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다.
스크라이빙 헤드(23)는 헤드 지지대(24)에 대하여 Z축 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 스크라이빙 헤드(23) 및 헤드 지지대(24) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 이에 따라, 스크라이빙 헤드(23)는 직선 이동 기구에 의해 헤드 지지대(24)에 대하여 Z축 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 스크라이빙 헤드(23)에 지지된 휠 홀더(22)도 Z축 방향으로 이동될 수 있다.
헤드 지지대(24)와 프레임(25) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 헤드 지지대(24)는 직선 이동 기구에 의해 프레임(24)을 따라 X축 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 스크라이빙 헤드(23)가 X축 방향으로 이동될 수 있다.
예를 들면, 프레임(25)에는 X축 방향으로 소정의 간격으로 복수의 스크라이빙 헤드(23)가 구비될 수 있다.
스크라이빙 헤드(23)에는 휠 홀더(22)를 지지하는 휠 홀더 지지 부재(26)가 장착될 수 있다. 휠 홀더 지지 부재(26)는 스크라이빙 헤드(23)에 삽입될 수 있다. 휠 홀더 지지 부재(26)는 스크라이빙 헤드(23)에 Z축 방향과 평행한 축을 중심으로 회전 가능하게 장착될 수 있다. 이를 위해, 휠 홀더 지지 부재(26)가 스크라이빙 헤드(23)에 연결되는 부분에는 베어링(미도시)이 장착될 수 있다.
이와 같이 휠 홀더 지지 부재(26)가 스크라이빙 헤드(23)에 회전 가능하게 장착되므로, 스크라이빙 휠(21)이 기판(S)에 가압된 상태에서 스크라이빙 헤드(23) 및/또는 기판(S)이 이동하면, 스크라이빙 휠(21)의 날의 방향이 스크라이빙 휠(21)이 이동하는 방향과 일치되도록 휠 홀더 지지 부재(26)가 회전될 수 있다. 이와 같은 휠 홀더 지지 부재(26)의 회전에 의해, 스크라이빙 휠(21) 및 휠 홀더(22)의 방향이 결정될 수 있다.
휠 홀더 지지 부재(26)에는 휠 홀더(22)가 삽입되는 삽입홈(261)이 형성될 수 있다. 삽입홈(261) 내에는 자석(262)이 설치될 수 있으며, 삽입홈(261)에 삽입되는 휠 홀더(22)의 부분은 자석(262)에 부착되는 재료로 이루어질 수 있다. 이에 따라, 휠 홀더(22)가 삽입홈(261)에 삽입되면, 휠 홀더(22)가 자석(262)에 부착되면서, 휠 홀더(22)가 고정될 수 있다. 또한, 휠 홀더(22)를 자석(262)으로부터 잡아당기는 것에 의해, 휠 홀더(22)가 삽입홈(261)으로부터 용이하게 분리될 수 있다.
기판 이송 장치(30)는 기판(S)을 파지하는 파지 유닛(31)과, 파지 유닛(31)을 지지하는 지지바(32)와, 지지바(32)의 양단에 연결되며 Y축 방향으로 연장되는 가이드 레일(33)을 포함할 수 있다. 지지바(32)의 양단과 가이드 레일(33) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 기판(S)은 파지 유닛(31)에 의해 파지된 상태로 직선 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이송될 수 있다.
지지바(32)에는 복수의 파지 유닛(31)이 구비될 수 있다. 이 경우, 복수의 파지 유닛(31)은 기판(S)을 함께 파지할 수 있다. 파지 유닛(31)은 지지바(32)에 X축 방향으로 이동 가능하게 구비될 수 있다. 예를 들면, 파지 유닛(31)과 지지바(32) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 파지 유닛(31)는 직선 이동 기구에 의해 지지바(32)를 따라 X축 방향으로 이동될 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 파지 유닛(31)은, 기판(S)을 파지하도록 구성되는 한 쌍의 파지 부재(311)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 일반적인 클램프와 같이, 한 쌍의 파지 부재(311)는 유압 또는 공압에 의해 서로 이격되거나 인접하게 이동되도록 구성될 수 있다. 한 쌍의 파지 부재(311)는 서로 인접하게 이동되어 기판(S)을 물리적으로 가압하여 유지할 수 있고, 서로 이격되게 이동되어 기판(S)을 해제할 수 있다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 휠 홀더 교체 장치(40)는 교체될 또는 교체된 휠 홀더(22)를 수용하는 휠 홀더 수용 유닛(44)과, 휠 홀더 수용 유닛(44)을 Z축 방향과 평행한 축을 중심으로 회전시키는 회전 유닛(45)과, 휠 홀더 수용 유닛(44)에 설치되어 휠 홀더 수용 유닛(44)에 수용되는 휠 홀더(22)을 선택적으로 잠그고 잠금 해제하는 잠금 유닛(46)과, 휠 홀더 수용 유닛(44)을 Z축 방향으로 이동시키는 승강 유닛(47)과, 휠 홀더 수용 유닛(44)이 X축 방향으로 이동 가능하게 지지되는 지지대(48)와, 지지대(48)의 양단에 연결되어 Y축 방향으로 연장되는 가이드 레일(49)을 포함할 수 있다.
휠 홀더 수용 유닛(44)은 스크라이빙 유닛(20)의 스크라이빙 헤드(23)의 휠 홀더 지지 부재(26)로 접근 가능하게 구성될 수 있다. 휠 홀더 수용 유닛(44)는 스테이지(10) 상부에 X축 방향으로 연장되는 지지대(48)를 따라 X축 방향으로 이동될 수 있다. 이를 위하여, 휠 홀더 수용 유닛(44)과 지지대(48) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구(481)가 구비될 수 있다.
휠 홀더 수용 유닛(44)은 직선 이동 기구(481)에 의해 X축 방향으로 이동되어 스크라이빙 헤드(23)로 접근할 수 있다. 또한, 휠 홀더 수용 유닛(44)은 직선 이동 기구(481)에 의해 지지대(48)를 따라 X축 방향으로 이동되어 기판 이송 장치(30)의 파지 유닛(31)의 이동 경로 및 기판 이송 장치(30)에 의해 이송되는 기판(S)의 이송 경로로부터 벗어날 수 있다. 따라서, 휠 홀더 수용 유닛(44)이 기판 이송 장치(30) 또는 기판(S)과 간섭하는 것이 방지될 수 있다.
지지대(48)에는 하나의 휠 홀더 수용 유닛(44)이 설치되는 것으로 도시되지만, 복수의 휠 홀더 수용 유닛(44)이 지지대(48)에 서로 이격되게 설치될 수 있다. 지지대(48)는 가이드 레일(49)을 따라 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 예를 들면, 지지대(48)과 가이드 레일(49) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 지지대(48)가 직선 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이동하는 것에 의해, 휠 홀더 수용 유닛(44)이 Y축 방향으로 이동될 수 있다.
승강 유닛(47)은 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로 구성될 수 있다.
휠 홀더 수용 유닛(44)은 승강 유닛(47)에 의해 Z축 방향으로 이동되면서, 휠 홀더(22)를 휠 홀더 지지 부재(26)로부터 분리시킬 수 있고, 휠 홀더 수용 유닛(44)에 수용된 휠 홀더(22)를 휠 홀더 지지 부재(26)에 장착시킬 수 있다. 또한, 휠 홀더 수용 유닛(44)은 승강 유닛(47)에 의해 Z축 방향으로 이동되어 기판 이송 장치(30)의 파지 유닛(31)의 이동 경로 및 기판(S)의 이송 경로로부터 벗어날 수 있다. 따라서, 휠 홀더 수용 유닛(44)이 기판 이송 장치(30) 또는 기판(S)과 간섭하는 것이 방지될 수 있다.
한편, 스크라이빙 헤드(23)가 Z축 방향으로 서로 이격되어 서로 대향하도록 배치되어, 상부에 배치되는 제1 스크라이빙 헤드(23)와 하부에 배치되는 제2 스크라이빙 헤드(23)를 포함하는 경우, 휠 홀더 수용 유닛(44)은 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(23)의 휠 홀더 지지 부재(26)에 장착된 휠 홀더(22)를 모두 교체하도록 구성될 수 있다.
이를 위하여, 휠 홀더 수용 유닛(44)은 제1 스크라이빙 헤드(23)에 대응하도록 배치되는 제1 휠 홀더 수용 부재(41)와, 제2 스크라이빙 헤드(23)에 대응하도록 배치되는 제2 휠 홀더 수용 부재(42)를 포함할 수 있다. 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)는 원형의 판 형상으로 형성될 수 있다. 이와 같이, 휠 홀더 수용 유닛(44)이 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)를 포함하므로, 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(23)의 휠 홀더(22)를 교체하는 동작을 순차적으로 또는 동시에 신속하게 수행할 수 있다.
그리고, 회전 유닛(45)은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42) 사이에 설치될 수 있다. 회전 유닛(45)은 연결 로드(451)을 통하여 승강 유닛(47)에 연결될 수 있다. 회전 유닛(45)은 정방향 및 역방향으로 회전할 수 있는 일반적인 회전 모터로 구성될 수 있다. 회전 유닛(45)은 회전 모터와 연결되는 복수의 기어 및/또는 링크를 포함할 수 있으며, 이에 따라, 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)를 다양한 방식으로 상대 회전시킬 수 있다.
예를 들면, 회전 유닛(45)은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)를 서로 동일한 방향 및/또는 상이한 방향으로 회전시킬 수 있다. 또한, 회전 유닛(45)은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)를 상이한 각도로 회전시킬 수 있다. 예를 들면, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)가 회전되면서 제1 스크라이빙 헤드(23)에 휠 홀더(22)를 장착하거나 제1 스크라이빙 헤드(23)로부터 휠 홀더(22)를 분리하는 과정에서, 제2 휠 홀더 수용 부재(42)가 제1 휠 홀더 수용 부재(41)의 회전 방향과 반대 방향으로 회전될 수 있거나 제1 휠 홀더 수용 부재(41)의 회전 각도와 다른 각도로 회전될 수 있다. 따라서, 제1 스크라이빙 헤드(23)에 휠 홀더(22)를 장착하거나 제1 스크라이빙 헤드(23)로부터 휠 홀더(22)를 분리하는 과정에서, 제2 휠 홀더 수용 부재(42)(특히, 제2 휠 홀더 수용 부재(42)에 수용된 휠 홀더(22))가 다른 부품과 간섭하지 않도록 회전될 수 있다.
또한, 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)가 상이한 방향 또는 상이한 각도로 회전되면서, 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(23)로부터 동시에 휠 홀더(22)를 분리시키거나 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(23)에 동시에 휠 홀더(22)를 장착할 수 있다.
또한, 회전 유닛(45)은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42) 중 어느 하나만을 회전시킬 수 있다. 예를 들면, 제1 스크라이빙 헤드(23)에 휠 홀더(22)를 장착하거나 제1 스크라이빙 헤드(23)로부터 휠 홀더(22)를 분리하는 과정에서, 제2 휠 홀더 수용 부재(42)가 정지된 상태에서 제1 휠 홀더 수용 부재(41)만이 회전될 수 있다. 따라서, 제1 스크라이빙 헤드(23)에 휠 홀더(22)를 장착하거나 제1 스크라이빙 헤드(23)로부터 휠 홀더(22)를 분리하는 과정에서 제2 휠 홀더 수용 부재(42)가 정지된 상태에 있을 수 있으므로, 제2 휠 홀더 수용 부재(42)에 수용된 휠 홀더(22)가 주변 구성 부품과 간섭하는 것을 방지할 수 있다.
제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)는 각각 회전 유닛(45)의 회전 중심 주위로 둘레 방향으로 배치되는 복수의 휠 홀더 수용홈(441)을 포함할 수 있다. 복수의 휠 홀더 수용홈(441)에는 휠 홀더(22)가 삽입될 수 있다. 휠 홀더 수용홈(441)은 스크라이빙 휠(21)이 장착된 휠 홀더(22)의 형상에 대응하는 형상을 가질 수 있다.
잠금 유닛(46)은 휠 홀더 수용홈(441) 내에 설치되어 휠 홀더 수용홈(441)에 삽입된 휠 홀더(22)를 선택적으로 잠그고 잠금 해제하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 잠금 유닛(46)은 휠 홀더 수용홈(441) 내에 삽입된 휠 홀더(22)의 일면을 가압하는 가압 부재(461)와, 가압 부재(461)를 이동시키는 구동 장치(462)를 포함할 수 있다. 복수의 잠금 유닛(46)이 하나의 휠 홀더 수용홈(441) 내에 설치될 수 있다. 복수의 가압 부재(461)가 휠 홀더(22)의 측면에 균일한 압력을 가하면서 휠 홀더(22)를 고정시킬 수 있다.
다른 예로서, 잠금 유닛(46)은 휠 홀더 수용홈(441) 내에 설치되어 휠 홀더 수용홈(441)에 삽입된 휠 홀더(22)을 흡착하도록 구성될 수 있다. 이와 같이, 휠 홀더 수용홈(441)에 삽입된 휠 홀더(22)를 고정시킬 수 있다면, 잠금 유닛(46)의 구성은 한정되지 않는다.
이하, 도 5 내지 도 11을 참조하여, 스크라이빙 장치의 동작에 대하여 설명한다.
먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판 이송 장치(30)의 파지 유닛(31)이 기판(S)의 후행단을 파지한 상태에서 지지바(32)가 가이드 레일(33)을 따라 Y축 방향으로 이동되면, 기판(S)이 스크라이빙 유닛(20)으로 이송될 수 있다. 기판(S)이 기판 이송 장치(30)에 의해 단속적으로 이동되면서, 스크라이빙 유닛(20)에 의해 기판(S)에 스크라이빙 라인이 형성된다.
다수의 기판(S)에 다수의 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서, 스크라이빙 휠(21)이 마모된다. 따라서, 스크라이빙 라인을 형성하는 공정을 원활하게 수행하기 위해, 마모된 스크라이빙 휠(21)을 새로운 스크라이빙 휠(21)로 교체할 필요가 있다. 이러한 스크라이빙 휠(21)의 교체는 미리 설정된 개수의 기판(S)에 스크라이빙 라인을 형성한 이후 또는 소정의 시간 간격으로 수행될 수 있다. 스크라이빙 휠(21)의 교체는 휠 홀더(22)를 교체하는 것을 통하여 수행될 수 있다.
도 5 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 휠 홀더(22)의 교체는 본 발명의 실시예에 따른 휠 홀더 교체 장치(40)에 의해 수행될 수 있다. 이하, 휠 홀더(22)를 교체하는 과정이 도면에서 상측에 배치된 제1 스크라이빙 헤드(23)와 연관되어 설명되지만, 유사한 과정이 도면에서 하측에 배치된 스크라이빙 헤드(23)에 대해서도 수행될 수 있다.
먼저, 도 5에 도시된 바와 같이, 휠 홀더 수용 유닛(44)은 기판 이송 장치(30)의 파지 유닛(31)의 이동 경로 및 기판(S)의 이송 경로로부터 벗어난 위치로부터 스크라이빙 유닛(20)에 인접한 위치로 이동될 수 있다. 이와 같은 과정에서, 휠 홀더 수용 유닛(44)은 직선 이동 기구(481)에 의해 지지대(48)를 따라 X축 방향으로 이동될 수 있고, 지지대(48)가 가이드 레일(49)을 따라 Y축 방향으로 이동됨에 따라 휠 홀더 수용 유닛(44)이 Y축 방향으로 이동될 수 있으며, 휠 홀더 수용 유닛(44)은 승강 유닛(47)에 의해 Z축 방향으로 이동될 수 있다.
그리고, 도 6에 도시된 바와 같이, 지지대(48)가 가이드 레일(49)을 따라 Y축 방향으로 이동됨에 따라 휠 홀더 수용 유닛(44)이 Y축 방향으로 스크라이빙 유닛(20)을 향하여 이동된다. 이때, 휠 홀더 수용 유닛(44)이 휠 홀더 지지 부재(26)에 끼워진 휠 홀더(22)로 용이하게 접근할 수 있도록, 스크라이빙 헤드(23)가 소정의 높이로 상승될 수 있다.
그리고, 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)의 휠 홀더 수용홈(441)이 휠 홀더 지지 부재(26)에 끼워진 휠 홀더(22) 아래에 위치되면, 승강 유닛(47)에 의해 제1 휠 홀더 수용 부재(41)가 휠 홀더(22)를 향하여 상승되며, 이에 따라, 휠 홀더(41)가 휠 홀더 수용홈(441) 내에 삽입된다.
이때, 잠금 유닛(46)이 휠 홀더 수용홈(441) 내에 삽입된 휠 홀더(22)를 고정시킨다.
그리고, 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)가 하강하며, 이에 따라, 잠금 유닛(46)에 의해 고정된 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)로부터 분리된다.
그리고, 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)가 회전 유닛(45)에 의해 회전되며, 이에 따라, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)에 미리 수용된 새로운 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 아래에 위치된다.
그리고, 도 10에 도시된 바와 같이, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)가 다시 상승되며, 이에 따라, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)에 수용된 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 삽입홈(261)에 삽입된다.
이때, 잠금 유닛(46)이 휠 홀더(22)를 잠금 해제하면, 휠 홀더(22)는 삽입홈(261) 내에 설치된 자석(262)의 자력에 의해 삽입홈(261) 내에 유지될 수 있다.
그리고, 도 11에 도시된 바와 같이, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)는 하강한 다음, 원래의 위치로 복귀하거나, 다른 스크라이빙 헤드(23)에 장착된 휠 홀더(22)를 교체하기 위해 이동할 수 있다.
한편, 지지대(48)에 복수의 휠 홀더 수용 유닛(44)이 구비되는 경우, 복수의 휠 홀더 수용 유닛(44) 중 일부는 제1 스크라이빙 헤드(23)의 휠 홀더(22)를 교체하는 동작을 수행할 수 있으며, 다른 일부는 제2 스크라이빙 헤드(23)의 휠 홀더(22)를 교체하는 동작을 수행할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 휠 홀더(22)를 자동으로 교체하는 휠 홀더 교체 장치(40)를 구비하므로, 스크라이빙 휠(21)을 신속하게 교체하여 스크라이빙 공정에 소요되는 시간을 줄이고 작업자의 편의성을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
10: 스테이지 20: 스크라이빙 유닛
30: 기판 이송 장치 40: 휠 홀더 교체 장치
44: 휠 홀더 수용 유닛 45: 회전 유닛
46: 잠금 유닛 47: 승강 유닛
48: 지지대 49: 가이드 레일

Claims (7)

  1. 스크라이빙 휠을 유지하는 휠 홀더와, 상기 휠 홀더가 끼워지는 휠 홀더 지지 부재와, 상기 휠 홀더 지지 부재가 연결되는 스크라이빙 헤드를 포함하는 스크라이빙 유닛; 및
    둘레 방향으로 복수의 휠 홀더 수용홈을 가지며 상기 복수의 휠 홀더 수용홈 중 하나가 상기 휠 홀더 지지 부재에 대응하도록 회전되는 휠 홀더 수용 유닛을 포함하는 휠 홀더 교체 장치를 포함하는 스크라이빙 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 휠 홀더 수용 유닛은, 서로 대향하게 배치되는 한 쌍의 스크라이빙 헤드 중 어느 하나의 스크라이빙 헤드에 대응하며 상기 복수의 휠 홀더 수용홈을 갖는 제1 휠 홀더 수용 부재와, 다른 하나의 스크라이빙 헤드에 대응하며 상기 휠 홀더 수용홈을 갖는 제2 휠 홀더 수용 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재 사이에 설치되어 상기 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 상대 회전시키는 회전 유닛을 더 포함하는 스크라이빙 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 회전 유닛은 상기 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 상이한 방향으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 회전 유닛은 상기 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 상이한 각도로 회전시키는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 휠 홀더 수용홈에 구비되어 상기 휠 홀더 수용홈에 삽입된 상기 휠 홀더를 고정시키는 잠금 유닛을 더 포함하는 스크라이빙 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 잠금 유닛은 상기 휠 홀더 수용홈 내에 삽입된 상기 휠 홀더의 일면을 가압하는 가압 부재와, 상기 가압 부재를 이동시키는 구동 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
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