KR20180075138A - 검사장비용 동축 조명장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 검사 대상물에 광을 조사하여 카메라로 대상물의 이미지를 획득한 후 검사를 수행할 수 있도록 하는 검사장비에 사용되는 동축 조명장치에 관한 것으로, 카메라의 촬영 방향에 대해 광원판을 경사 형성하도록 배치함으로써, 검사 대상물이 차지하는 영역(FOV) 내에서의 광 균질성을 향상시킬 수 있도록 해 주는 검사장비용 동축 조명장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 검사장비용 동축 조명장치는 검사 대상물과 카메라 사이에 배치되어, 광원부로부터 조사되는 광을 검사 대상물로 반사시킴과 더불어, 검사 대상물로부터 반사되어 입력되는 광을 카메라로 굴절시켜 출력하도록 광 경로를 형성하는 빔 스플리터를 포함하여 구성됨으로써, 검사 대상물에 대한 외관 검사를 위한 조명을 제공하는 동축 조명장치에 있어서, 상기 빔 스플리터는 감사 대상물로부터 카메라로 수직하게 형성되는 광 경로에 대해 경사지게 배치되고, 상기 광원부는 상기 빔 스플리터의 일측에 일정 거리 이격되게 배치되되, 빔 스플리터에 의해 감사 대상물로부터 카메라로 수직하게 형성되는 광 경로에 대해 빔 스플리터와 보다 거리가 먼 쪽의 광원부 위치가 빔 스플리터와 가까워지는 방향으로 경사 형성되도록 배치되어 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

검사장비용 동축 조명장치{Coaxial lighting device for inspection}
본 발명은 검사 대상물에 광을 조사하여 카메라로 대상물의 이미지를 획득한 후 검사를 수행할 수 있도록 하는 검사장비에 사용되는 동축 조명장치에 관한 것으로, 수직방향의 카메라 촬영 방향에 대해 광원판을 경사 형성하도록 배치함으로써, 검사 대상물이 차지하는 영역(FOV) 내에서의 광 균질성을 향상시킬 수 있도록 해 주는 검사장비용 동축 조명장치에 관한 것이다.
일반적으로, 머신 비전 시스템(Machine Vision System)이란, 카메라를 이용하여 2차원의 위치 데이터를 입력받아 제품의 불량 유무를 판별 및 검사하는 비접촉 방식의 검사 장비로서, 인간의 육안검사와 가장 근접한 품질을 기대할 수 있는 장점으로 인해 많이 사용되고 있다.
머신 비전 시스템과 같은 비 접촉 방식의 검사장비에서 검사 대상물에 빛을 조사하는 장치 중 하나로 동축 조명장치가 사용된다. 동축 조명장치는 조명의 조사방향과 카메라의 촬영방향이 동일한 축상에 배열된 조명장치를 말한다.
도1은 머신 비전 시스템의 개략적인 구성을 도시한 도면이다.
도1에 도시된 바와 같이 머신 비전 시스템은 검사 대상물(10)이 플레이트(1)상에 배치된 상태에서, 영상처리장치(2)의 제어에 따라 광원판(3)으로부터 광이 빔 스플리터(4)로 조사된다. 빔 스플리터(4)로 조사된 광은 플레이트(1)로 반사되며, 플레이트(1)에서 반사된 광은 빔 스플리터(4)에 의해 굴절되어 카메라(5)로 입사됨으로써, 카메라(5)에서 검사 대상물(10)에 대한 영상 이미지를 획득하여 영상처리장치(2)로 제공한다.
그리고, 영상처리장치(2)는 영상 이미지를 분석하여 검사 대상물(10)에 대한 불량 유무를 판별 및 검사한다.
일반적으로 광원판(3)은 플레이트(1)로부터 반사되어 빔 스플리터(3)를 통해 카메라(5)로 수직방향으로 입사되는 광 방향에 대해 평행하게 배치된다.
즉, 상기한 동축조명은 빔 스플리터(beam splitter)를 이용하여 카메라와 조명이 동일한 축 상에 위치하도록 하는 조명방식으로, 카메라가 피사체와 수직으로 위치하게 되어 원근감에 의한 이미지의 왜곡이 없으며, 매끄러운 표면은 밝게 보이고 거친 표면은 어둡게 보이게 하는 명시야(明視野) 효과(bright field effect)를 만들 수 있는 효과가 있다.
그러나, 상기한 바와 같이 동축조명을 구현하는 경우, 빔 스플리터에 반사되는 광도 있고, 직접 조사되는 광도 있기 때문에 플레이트(1)에서의 광분포가 편향적 특성을 갖게되는 문제가 있게 된다.
또한, 카메라(5)는 조명 변화에 대한 대응력이 사람의 눈에 비해 떨어지기 때문에 머신 비전 시스템에 의한 측정시 조명의 균일도가 떨어지게 되면 좌/우, 상/하 등의 상반된 위치에서 측정 편차가 발생하고 영상의 해상도와 콘트라스트(contrast)가 저하되게 된다.
또한, 상기한 검사장비는 촬영이미지에서 피듀셜 마크(Fidutial mark)를 확인함으로써, FOV 영역내에 검사 대상물이 정확하게 위치하였는지를 판단하게 되는 데, 상술한 바와 같은 동축 조명장치의 구조적인 문제로 인한 조명 불균일로 인해 피듀셜 마크를 찾는데 어려움이 있게 된다.
따라서, 검사 대상물(10)을 촬영한 이미지를 통해 검사 대상물에 대한 결함을 정확하게 판별하기 위해서는 검사 대상물(10)의 모든 방향에 광이 균일하게 조사되어야 하는데, 상술한 바와 같이 광조사상태가 불균일할 경우 피듀셜 마크 확인이 불가능하게 되는 등에 따라 판별 작업에 문제가 발생할 수 있다.
1. 공개특허공보 제10-2012-0117287호 (명칭 : 검사장비용 조명기구) 2. 공개특허공보 제10-2014-0132877호 (명칭: 동축 조명 장치)
이에, 본 발명은 상기한 사정을 감안하여 창출된 것으로, 빔 스플리터에 의해 형성되는 수직방향의 카메라 촬영방향에 대해 광원판을 경사지게 배치하여 FOV 내에서의 광 균질성을 향상시킴으로써, 카메라를 통해 획득한 검사 대상물에 대한 영상 이미지를 통해 보다 정확한 대상물에 대한 검사를 수행할 수 있도록 해 주는 검사장비용 동축 조명장치를 제공함에 그 기술적 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 검사 대상물과 카메라 사이에 배치되어, 광원부로부터 조사되는 광을 검사 대상물로 반사시킴과 더불어, 검사 대상물로부터 반사되어 입력되는 광을 카메라로 굴절시켜 출력하도록 광 경로를 형성하는 빔 스플리터를 포함하여 구성됨으로써, 검사 대상물에 대한 외관 검사를 위한 조명을 제공하는 동축 조명장치에 있어서, 상기 빔 스플리터는 감사 대상물로부터 카메라로 수직하게 형성되는 광 경로에 대해 경사지게 배치되고, 상기 광원부는 상기 빔 스플리터의 일측에 일정 거리 이격되게 배치되되, 빔 스플리터에 의해 감사 대상물로부터 카메라로 수직하게 형성되는 광 경로에 대해 빔 스플리터와 보다 거리가 먼 쪽의 광원부 위치가 빔 스플리터와 가까워지는 방향으로 경사 형성되도록 배치되어 구성되는 것을 특징으로 하는 검사장비용 동축 조명장치가 제공된다.
또한, 상기 광원부는 빔 스플리터에 의해 감사 대상물로부터 카메라로 수직하게 형성되는 광 경로에 대해 5°~ 30° 범위의 경사각도를 형성하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 검사장비용 동축 조명장치가 제공된다.
또한, 상기 광원부에 밀착되게 배치되어 상하이동 또는 좌우이동을 통해 광원부의 경사각도를 선택적으로 조절하기 위한 구동체를 추가로 구비하여 구성되는 것을 특징으로 하는 검사장비용 동축 조명장치가 제공된다.
또한, 상기 광원부와 빔 스플리터는 일정 공간을 갖는 케이스의 내측에 구비되어 구성되고, 상기 케이스는 상기 빔 스플리터가 배치되는 하면과 상면에 검사 대상물 및 카메라와의 광경로를 형성하기 위한 관통공을 각각 형성하도록 구성됨과 더불어, 상기 광원부의 하면에 배치되는 구동체와 나사결합하기 위한 나사공을 형성하도록 구성되며, 상기 구동체는 상기 광원부의 하면에 밀착 배치되어 광원부를 지지하기 위한 지지부재와, 지지부재의 하측에 상기 케이스의 나사공과 나사 결합하기 위한 일정 길이의 나사홈을 형성하여, 케이스의 나사공과 결합되는 나사홈의 위치에 따라 지지부재가 상하이동되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 검사장비용 동축 조명장치가 제공된다.
또한, 상기 광원부와 빔 스플리터는 일정 공간을 갖는 케이스의 내측에 구비되어 구성되고, 상기 케이스는 상기 빔 스플리터가 배치되는 하면과 상면에 검사 대상물 및 카메라와의 광경로를 형성하기 위한 관통공을 각각 형성하도록 구성됨과 더불어, 좌우 방향으로 일정 길이를 갖는 장공을 형성하도록 구성되며, 상기 구동체는 상기 광원부의 하면에 밀착 배치되어 광원부를 지지하기 위한 지지부재와, 지지부재의 하측에 상기 케이스의 장공과 끼움 결합되는 오목홈이 형성되어 케이스의 장공을 따라 좌우 이동함으로써, 지지부재의 상단과 밀착되는 광원부의 위치가 변경되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 검사장비용 동축 조명장치가 제공된다.
본 발명에 의하면, 빔 스플리터에 의해 형성되는 카메라의 촬영방향에 대해 광원판을 경사 형성하도록 배치하는 간단한 구조를 이용하여 FOV 내에서의 광 균질성을 향상시킴으로써, 카메라를 통해 획득한 검사 대상물에 대한 영상 이미지를 통해 보다 정확한 대상물에 대한 검사를 수행할 수 있게 된다.
도1은 머신 비전 시스템의 개략적인 구성을 도시한 도면.
도2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 검사장비용 동축 조명장치의 구성을 나타낸 도면.
도3은 광원부(120)의 경사각에 따른 광 분포도(균일도)를 실험한 결과를 나타낸 도면.
도4는 도2에 도시된 검사장비용 동축 조명장치의 광경로 형성과정을 설명하기 위한 도면.
도5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장비용 동축 조명장치의 구조적 개념을 설명하기 위한 도면.
도6과 도7은 도5의 (A) 및 (B)에 도시된 검사장비용 동축 조명장치의 내부 구성을 예시한 도면.
본 발명에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로, 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 본 발명에서 제시된 목적 또는 효과는 특정 실시예가 이를 전부 포함하여야 한다거나 그러한 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 본 발명의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.
한편, 본 발명에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
"제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어"있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어"있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다"또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
각 단계들에 있어 식별부호(예를 들어, a, b, c 등)는 설명의 편의를 위하여 사용되는 것으로 식별부호는 각 단계들의 순서를 설명하는 것이 아니며, 각 단계들은 문맥상 명백하게 특정 순서를 기재하지 않는 이상 명기된 순서와 다르게 일어날 수 있다. 즉, 각 단계들은 명기된 순서와 동일하게 일어날 수도 있고 실질적으로 동시에 수행될 수도 있으며 반대의 순서대로 수행될 수도 있다.
여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.
도2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 검사장비용 동축 조명장치의 구성을 나타낸 도면으로, 주요 부분에 대한 단면도를 도시한 것이다.
도2에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 검사장비용 동축 조명장치(100)는 플레이트상에 배치되는 검사 대상물(10)과 카메라(20) 사이에 배치되어, 검사 대상물(10)에 대한 외관 검사를 위해 조명을 제공한다.
동축 조명장치(100)는 일정 공간을 갖는 케이스(110)의 내측에 광원부(120)와, 광원부(120)로부터 조사되는 광을 검사 대상물(10)로 반사시킴과 더불어, 검사 대상물(10)로부터 반사되어 입력되는 광을 카메라(20)로 굴절시켜 출력하도록 광 경로를 형성하는 빔 스플리터(130)를 포함하여 구성된다.
상기 케이스(110)는 검사 대상물(10)과 대향되는 하면 일측에 제1 관통공(111)을 형성함과 더불어, 카메라(20)와 대향되는 상면 일측에 제2 관통공(112)을 형성하도록 구성된다. 이때, 상기 검사 대상물(10)과 제1 관통공(111), 제2 관통공(112) 및, 카메라(20)는 그 중심이 동일하도록 배치되어 수직방향의 동일한 중심축(C)을 형성하도록 배치된다. 이때, 상기 중심축(C)은 카메라(20)의 촬영방향이 된다.
상기 빔 스플리터(130)는 검사 대상물(10)로부터 카메라(20)로 수직하게 형성되는 중심축(C) 즉, 카메라(200 촬영방향 광 경로에 대해 비스듬히 배치된다. 즉, 상기 빔 스플리터(130)는 케이스(110)의 제1 관통홈(111)과 제2 관통홈(112) 사이에 수직방향을 중심으로 45°경사지게 배치된다.
상기 광원부(120)는 다수의 LED 램프가 다수 배치되는 엘이디 기판(121)과, 엘이디 기판(121)의 전면에 일정 거리 이격배치되는 디퓨저(122)를 포함하여 구성된다. 이때, 엘이디 기판(121)과 디퓨저(122)는 상호 평행하게 배치된다.
또한, 상기 광원부(120)는 상기 빔 스플리터(130)의 일측에 일정 거리 이격되게 배치되되, 검사 대상물(10)과 카메라(20)가 이루는 중심축(C)에 대해 일정 각도 경사지게 배치된다.
상기 광원부(120)는 종래 빔 스플리터(130)와 거리가 보다 먼 쪽의 광원부(120)의 위치가 빔 스플리터(130)와 가까워지는 방향으로 경사 형성되도록 배치된다.
이때, 광원부(120)의 경사각도는 검사 대상물(10)로부터 카메라(20)로 수직하게 형성되는 중심축(C)에 대해 5°~ 30° 범위로 설정될 수 있으며, 바람직하게는 광원부(120)의 경사각도는 20°로 설정될 수 있다.
도3은 광원부(120)의 경사각에 따른 광 분포도(균일도)를 실험한 결과를 나타낸 도면으로, 도시된 바와 같이 광원부(120)의 경사각도가 0°인 경우(종래 구성) 에 비해 경사각도가 "15°"인 경우 균일도가 향상됨을 알 수 있다.
다시말해, 종래에 비해 검사 대상물(10)로 보다 균일한 광 특성의 조명이 제공된다.
한편, 도4에 도시된 바와 같이, 광원부(120)가 검사 대상물(10)로부터 카메라(20)로 수직하게 형성되는 중심축(C)에 대해 배치된 경사각도에 따라 빔 스플리터(130)를 통해 검사 대상물(10)로 반사되는 반사광 분포 영역 즉, FOV 영역이 감소된다. 즉, 도4에 광원부(120)의 경사각도가 작은 경우(θ1)에 형성되는 FOV 영역 크기(X1)가 경사각도가 보다 큰 경우(θ2)에 형성되는 FOV 영역 크기(X2)에 비해 커지게 된다.
이에 따라, 검사 대상물(10)의 크기 등을 고려하여 FOV 영역이 충분히 확보되도록 광원부(120)의 경사각도를 적절히 설정하는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명에 있어서는 광원부(120)의 경사각도를 임의로 선택 조절하기 위한 구동체를 추가로 구비하여 구성될 수 있다.
상기 구동체는 도5에 도시된 바와 같이 기본적으로 광원부(120)의 하면에 밀착되게 배치되어 상하이동(도5의 (A)) 또는 좌우이동(도5의 (B))을 통해 광원부(120)의 경사각도가 조절되도록 구성된다.
도6은 구동체의 상하이동을 통해 광원부(120)의 경사각도를 조절하는 구성을 예시한 도면이다.
도6에 도시된 바와 같이, 광원부(120)의 후면에 광원부(120)의 경사각도 조절을 위한 구동체(150)가 구비된다.
구동체(150)는 광원부(120)의 후면에 밀착되게 배치되면서 케이스(110)와의 나사 결합을 통해 상하방향으로 이동가능하도록 구성된다.
상기 구동체(150)는 광원부(120)를 밀착 지지하기 위한 봉 또는 판 형상의 지지부재(151)와, 지지부재(151)의 하측에 케이스(110)와 나사 결합하기 위한 일정 길이의 나사홈(152) 및, 나사홈(152)의 하측에 케이스(110)의 외측으로 돌출되어 사용자가 지지부재(151)를 상하 이동시키도록 조절하도록 하기 위한 손잡이(153)를 포함하여 구성된다. 이때, 도7에 도시된 바와 같이 지지부재(151)가 봉 형상으로 이루어지는 경우, 광원부(120)을 보다 안정적으로 지지하기 위해 적어도 둘 이상의 구동체(150)가 배치될 수 있다.
또한, 상기 나사홈(152)의 길이는 구동체(150)의 상하 이동에 따라 광원부(120)의 경사각도가 5°~30°로 설정되는 적당한 길이로 설정된다. 여기서, 도시되지는 않았지만, 상기 나사홈(152)의 상단이나 하단 또는, 상단과 하단 모두에는 구동체(150)의 상하 이동범위를 제한하기 위한 스토퍼가 추가로 구성될 수 있다.
또한, 도6에서 케이스(110)는 상기 구동체(150)의 나사홈(152)과 나사 결합하기 위한 나사공(115)이 형성되도록 구성된다.
즉, 도6에 의하면, 사용자가 손잡이(153)를 임의 방향으로 돌림으로써, 케이스(110)의 나사공(115)에 결합되는 구동체(150)의 나사홈(152)의 위치가 변경되고, 이에 따라 광원부(120)와 밀착 배치된 구동체(150)의 지지부재(151)가 상측 또는 하측 방향으로 이동함으로써 광원부(120)의 경사각도가 변경된다.
한편, 도7은 구동체(160)의 좌우이동을 통해 광원부(120)의 경사각도를 조절하는 구성을 예시한 도면이다.
도7에 도시된 바와 같이, 광원부(120)의 후면에 광원부(120)의 경사각도 조절을 위한 구동체(160)가 광원부(120)의 후면에 밀착되게 배치되되, 좌우 방향 이동을 통해 광원부(120)와 밀착 위치를 변경시키도록 구성된다.
상기 구동체(160)는 광원부(120)를 밀착 지지하기 위한 봉 또는 판 형상의 지지부재(161)와, 지지부재(161)의 하측에 케이스(110)에 형성된 좌우 방향의 일정 길이를 갖는 장공(116)을 통해 이동 가능하도록 끼움 결합되는 오목홈(162) 및, 오목홈(162)의 하측에 케이스(110)의 외측으로 돌출되어 사용자가 지지부재(161)를 좌우 이동시키도록 조절하도록 하기 위한 손잡이(163)를 포함하여 구성된다. 이때, 도7에 도시된 바와 같이 지지부재(161)가 봉 형상으로 이루어지는 경우, 광원판(120)을 보다 안정적으로 지지하기 위해 적어도 둘 이상의 구동체(160)가 배치될 수 있다.
또한, 상기 케이스(110)에 형성되는 장공(116)의 길이는 구동체(160)의 좌우 이동에 따라 광원부(120)의 경사각도가 5°~ 30°로 설정되도록 구성된다.
또한, 도시되지는 않았지만, 상기 광원부(120)의 하면에는 상기 지지부재(161)의 좌우 이동에 대응되는 밀착 위치를 안내하기 위한 안내홈이 추가로 형성될 수 있다. 이때, 광원부(120)의 하면에 형성되는 안내홈의 길이는 광원부(120)의 경사각도가 5°~ 30°로 설정되는 길이로 이루어질 수 있다.
즉, 도7에 의하면 사용자가 손잡이(163)를 케이스(110)의 장공(116)을 따라 좌우 방향으로 이동시키게 되면, 지지부재(161) 상단과 밀착되는 광원부(120)의 위치가 변경됨으로써, 광원부(120)의 경사각도가 변경된다.
한편, 도6과 도7에는 구동체를 사용자에 의해 수동으로 상하 또는 좌우 방향으로 이동시키는 구성이 도시되어 있으나, 모터 등의 구동수단을 통해 자동으로 구동체를 상하 또는 좌우방향으로 이동시킴으로써, 광원부의 경사각도를 조절하도록 실시할 수 있음은 물론이다.
10 : 검사 대상물, 100 : 동축 조명장치,
110 : 케이스, 120 : 광원부,
121 : 광원판, 122 : 디퓨져,
130 : 빔 스플리터, 150, 160 : 구동체.

Claims (5)

  1. 검사 대상물과 카메라 사이에 배치되어, 광원부로부터 조사되는 광을 검사 대상물로 반사시킴과 더불어, 검사 대상물로부터 반사되어 입력되는 광을 카메라로 굴절시켜 출력하도록 광 경로를 형성하는 빔 스플리터를 포함하여 구성됨으로써, 검사 대상물에 대한 외관 검사를 위한 조명을 제공하는 동축 조명장치에 있어서,
    상기 빔 스플리터는 감사 대상물로부터 카메라로 수직하게 형성되는 광 경로에 대해 경사지게 배치되고,
    상기 광원부는 상기 빔 스플리터의 일측에 일정 거리 이격되게 배치되되, 빔 스플리터에 의해 감사 대상물로부터 카메라로 수직하게 형성되는 광 경로에 대해 빔 스플리터와 보다 거리가 먼 쪽의 광원부 위치가 빔 스플리터와 가까워지는 방향으로 경사 형성되도록 배치되어 구성되는 것을 특징으로 하는 검사장비용 동축 조명장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 광원부는 빔 스플리터에 의해 감사 대상물로부터 카메라로 수직하게 형성되는 광 경로에 대해 5°~ 30° 범위의 경사각도를 형성하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 검사장비용 동축 조명장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 광원부에 밀착되게 배치되어 상하이동 또는 좌우이동을 통해 광원부의 경사각도를 선택적으로 조절하기 위한 구동체를 추가로 구비하여 구성되는 것을 특징으로 하는 검사장비용 동축 조명장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 광원부와 빔 스플리터는 일정 공간을 갖는 케이스의 내측에 구비되어 구성되고,
    상기 케이스는 상기 빔 스플리터가 배치되는 하면과 상면에 검사 대상물 및 카메라와의 광경로를 형성하기 위한 관통공을 각각 형성하도록 구성됨과 더불어, 상기 광원부의 하면에 배치되는 구동체와 나사결합하기 위한 나사공을 형성하도록 구성되며,
    상기 구동체는 상기 광원부의 하면에 밀착 배치되어 광원부를 지지하기 위한 지지부재와, 지지부재의 하측에 상기 케이스의 나사공과 나사 결합하기 위한 일정 길이의 나사홈을 형성하여, 케이스의 나사공에 결합되는 나사홈의 위치에 따라 지지부재가 상하이동되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 검사장비용 동축 조명장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 광원부와 빔 스플리터는 일정 공간을 갖는 케이스의 내측에 구비되어 구성되고,
    상기 케이스는 상기 빔 스플리터가 배치되는 하면과 상면에 검사 대상물 및 카메라와의 광경로를 형성하기 위한 관통공을 각각 형성하도록 구성됨과 더불어, 좌우 방향으로 일정 길이를 갖는 장공을 형성하도록 구성되며,
    상기 구동체는 상기 광원부의 하면에 밀착 배치되어 광원부를 지지하기 위한 지지부재와, 지지부재의 하측에 상기 케이스의 장공과 끼움 결합되는 오목홈이 형성되어 케이스의 장공을 따라 좌우 이동함으로써, 지지부재의 상단과 밀착되는 광원부의 위치가 변경되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 검사장비용 동축 조명장치.
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