KR20180051861A - 약액 공급 장치 및 이를 포함하는 약액 토출 장치 - Google Patents

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Abstract

약액 공급 장치에 있어서, 음압 제공부는 상기 레저버로 제공되는 음압을 형성하는 음압 형성부와, 제1 직경을 가지면서 상기 음압 형성부와 연결되는 제1 연결 라인과, 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경을 가지면서 상기 제1 연결 라인과 상기 레저버 사이를 연결하는 제2 연결 라인과, 상기 제2 연결 라인 내부를 따라 움직이면서 상기 제2 연결 라인과 연결되는 상기 제1 연결 라인의 단부를 차단할 수 있게 상기 제1 직경보다는 크고 상기 제2 직경보다는 작은 크기를 가지면서 상기 제2 연결 라인 내부에 배치되는 차단부를 포함할 수 있다.

Description

약액 공급 장치 및 이를 포함하는 약액 토출 장치{Apparatus for Supplying Droplet Formation and Apparatus for Droplet Formation having the same}
본 발명은 약액 공급 장치 및 이를 포함하는 약액 토출 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 레저버로부터 잉크젯 헤드로 약액이 공급되는 것을 중단시키면서 메니스커스를 유지할 수 있도록 레저버에 음압을 제공하기 위한 음압 제공부를 구비하는 약액 공급 장치 및 이를 포함하는 약액 토출 장치에 관한 것이다.
액정 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판(투명 기판) 상에 배향막의 형성이나 UV 잉크를 도포할 경우, 또는 유기 EL 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 컬러 필터를 도포할 경우 등에 대해서는 잉크젯 헤드를 구비하는 인쇄 장치, 즉 약액 토출 장치를 사용하고 있다.
상기 약액 토출 장치는 기판을 향하여 약액을 토출하는 잉크젯 헤드, 상기 잉크젯 헤드로 공급하기 위한 약액을 저장하는 레저버, 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로 약액을 공급할 수 있도록 상기 레저버에 양압을 제공하기 위한 양압 제공부, 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로 약액이 공급되는 것을 중단시키면서 메니스커스를 유지할 수 있도록 상기 레저버에 음압을 제공하기 위한 음압 제공부 등을 포함할 수 있다.
상기 약액 토출 장치의 사용시 상기 레저버로 약액이 과다하게 공급될 경우 상기 음압 제공부 등으로 약액이 역류하는 상황이 발생할 수 있다. 또한, 상기 레저버로 음압을 제공할 때에도 상기 음압 제공부로 약액이 역류하는 상황이 발생할 수 있다.
본 발명은 일 목적은 레저버로부터 음압 제공부로 약액이 역류하는 것을 방지하기 위한 약액 공급 장치를 제공하는데 있다.
본 발명은 다른 목적은 언급한 약액 공급 장치를 포함하는 약액 토출 장치를 제공하는데 있다.
언급한 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치는 레저버(reservoir)로부터 잉크젯 헤드로 약액이 공급되는 것을 중단시키면서 메니스커스(meniscus)를 유지할 수 있도록 상기 레저버에 음압을 제공하기 위한 음압 제공부를 포함하는 약액 공급 장치에 있어서, 상기 음압 제공부는 상기 레저버로 제공되는 음압을 형성하는 음압 형성부; 제1 직경을 가지면서 상기 음압 형성부와 연결되는 제1 연결 라인; 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경을 가지면서 상기 제1 연결 라인과 상기 레저버 사이를 연결하는 제2 연결 라인; 및 상기 제2 연결 라인 내부를 따라 움직이면서 상기 제2 연결 라인과 연결되는 상기 제1 연결 라인의 단부를 차단할 수 있게 상기 제1 직경보다는 크고 상기 제2 직경보다는 작은 크기를 가지면서 상기 제2 연결 라인 내부에 배치되는 차단부;를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에서, 상기 제1 연결 라인과 상기 제2 연결 라인은 수직하게 연결되고, 상기 차단부는 상기 약액보다 낮은 밀도를 갖는 재질로 이루어질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에서, 상기 차단부는 상기 음압의 크기가 설정 범위를 벗어날 경우 상기 설정 범위를 벗어난 음압에 의해 상기 제1 연결 라인의 단부 또는 상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부 쪽으로 이동하도록 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에서, 상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부는 상기 차단부의 크기보다 작은 직경을 갖도록 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에서, 상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부에는 상기 차단부가 상기 레저버로 빠지는 것을 방지하는 빠짐 방지부가 더 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에서, 상기 제1 연결 라인으로 상기 약액이 역류하는 것을 센싱하는 센서, 및 상기 센서로부터 센싱 신호를 전달받아 상기 제1 연결 라인을 폐쇄시키는 밸브로 이루어지는 역류 방지부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에서, 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로 약액을 공급할 수 있도록 상기 레저버에 양압을 제공하기 위한 양압 제공부를 더 포함할 수 있다.
언급한 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치는 기판을 향하여 약액을 토출하기 위한 잉크젯 헤드; 상기 잉크젯 헤드로 공급하기 위한 상기 약액을 저장하는 레저버; 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로 상기 약액을 공급할 수 있도록 상기 레저버에 양압을 제공하기 위한 양압 제공부; 및 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로 상기 약액이 공급되는 것을 중단시키면서 메니스커스를 유지할 수 있도록 상기 레저버에 음압을 제공하기 위한 음압 제공부;를 포함하고, 상기 음압 제공부는 상기 레저버로 제공되는 음압을 형성하는 음압 형성부와, 제1 직경을 가지면서 상기 음압 형성부와 연결되는 제1 연결 라인과, 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경을 가지면서 상기 제1 연결 라인과 상기 레저버 사이를 연결하는 제2 연결 라인과, 상기 제2 연결 라인 내부를 따라 움직이면서 상기 제2 연결 라인과 연결되는 상기 제1 연결 라인의 단부를 차단할 수 있게 상기 제1 직경보다는 크고 상기 제2 직경보다는 작은 크기를 가지면서 상기 제2 연결 라인 내부에 배치되는 차단부로 이루어질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치에서, 상기 제1 연결 라인과 상기 제2 연결 라인은 수직하게 연결되고, 상기 차단부는 상기 약액보다 낮은 밀도를 갖는 재질로 이루어지면서 상기 음압의 크기가 설정 범위를 벗어날 경우 상기 설정 범위를 벗어난 음압에 의해 상기 제1 연결 라인의 단부 또는 상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부 쪽으로 이동하도록 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치에서, 상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부는 상기 차단부의 크기보다 작은 직경을 갖도록 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치에서, 상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부에는 상기 차단부가 상기 레저버로 빠지는 것을 방지하는 빠짐 방지부가 더 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치에서, 상기 제1 연결 라인으로 상기 약액이 역류하는 것을 센싱하는 센서, 및 상기 센서로부터 센싱 신호를 전달받아 상기 제1 연결 라인을 폐쇄시키는 밸브로 이루어지는 역류 방지부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치에 따르면 음압 형성부와 연결되는 제1 연결 라인과 레저버 사이를 연결하는 제2 연결 라인 내부에 차단부를 배치함으로써 음압 제공부로 약액이 역류할 경우 차단부가 제1 연결 라인의 단부를 차단할 수 있다. 이에, 본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치는 음압 제공부로 약액이 역류하는 것을 방지할 수 있다.
따라서 본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치는 음압 제공부로 약액이 역류함에 따라 발생하는 불량 요인을 없앨 수 있기 때문에 안정적인 공정 수행이 가능할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치 및 이를 포함하는 약액 토출 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 A 부분을 확대한 도면이다.
도 3은 도 1에서의 제2 연결 라인의 단부를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치 및 이를 포함하는 약액 토출 장치를 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치 및 이를 포함하는 약액 토출 장치를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 2는 도 1의 A 부분을 확대한 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치(10)는 액정 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 배향막의 형성이나 UV 잉크를 도포하거나, 또는 유기 EL 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 컬러 필터를 도포하는데 사용할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치(10)는 기판을 향하여 약액을 토출하기 위한 잉크젯 헤드(11), 상기 잉크젯 헤드(11)로 공급하기 위한 약액을 저장하는 레저버(13), 상기 레저버(13)로부터 상기 잉크젯 헤드(11)로 약액을 공급할 수 있도록 상기 레저버(13)에 양압을 제공하기 위한 양압 제공부(40), 상기 레저버(13)로부터 상기 잉크젯 헤드(11)로 약액이 공급되는 것을 중단시키면서 메니스커스를 유지할 수 있도록 상기 레저버(13)에 음압을 제공하기 위한 음압 제공부(20) 등을 포함할 수 있다.
그리고 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치는 상기 음압 제공부(20)를 구비할 수 있고, 아울러 상기 양압 제공부(40)를 더 구비할 수 있다. 즉, 상기 약액 공급 장치는 상기 음압 제공부(20) 및 상기 양압 제공부(40)로 이루어질 수 있다.
또한 도시하지는 않았지만, 상기 약액 토출 장치(10)는 상기 레저버(13)로 약액을 공급하기 위한 캐니스터(canister)를 더 포함할 수 있다. 상기 캐니스터는 상기 약액을 저장하는 저장 탱크 등과 같은 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 캐니스터가 언급한 바와 같이 저장 탱크 등과 같은 구조로 구비되기 때문에 별도 장소에 배치되도록 구비될 수 있다.
상기 잉크젯 헤드(11)에는 기판을 향하여 약액을 토출할 수 있는 노즐이 구비될 수 있다. 특히, 상기 노즐은 상기 잉크젯 헤드(11)의 저면(노즐면)에 구비될 수 있다. 또한, 상기 잉크젯 헤드(11)에는 노즐이 복수개가 구비될 수 있는데, 본 발명에서는 128개 또는 256개의 노즐이 구비될 수 있다. 이때, 상기 노즐은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있고, ㎍ 단위의 양으로 약액을 토출할 수 있도록 구비될 수 있다. 상기 잉크젯 헤드(11)에서의 상기 노즐에는 상기 노즐에 대응하는 수만큼의 압전 소자(도시되지 않음)가 구비될 수 있고, 이에 상기 압전 소자의 동작에 의해 상기 노즐을 통하여 약액을 토출시킬 수 있다. 상기 노즐이 128개 구비될 경우에는 상기 압전 소자 또한 128개가 구비되고, 상기 노즐이 256개 구비될 경우에는 상기 압전 소자 또한 256개가 구비되는 것이다. 그리고 상기 노즐로부터 토출되는 약액량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
그리고 상기 레저버(13)는 상기 잉크젯 헤드(11)로 공급하기 위한 상기 약액을 저장하는 것으로써, 상기 잉크젯 헤드(11)와 연결되도록 구비될 수 있다.
상기 양압 제공부(40)는 상기 레저버(13)에 양압을 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 양압 제공부(40)는 상기 레저버(13)로 제공되는 양압을 형성하는 양압 형성부(41)를 포함한다. 또한 상기 양압 제공부(40)는 상기 양압 형성부(41)와 상기 레저버(13) 사이를 연결하는 제3 연결 라인(43)을 포함한다. 상기 양압 제공부(40)를 사용하여 상기 레저버(13)에 양압을 제공함으로써 상기 레저버(13)로부터 상기 잉크젯 헤드(11)로 약액의 공급이 진행될 수 있다
상기 음압 제공부(20)는 상기 레저버(13)에 음압을 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 음압 제공부(20)를 사용하여 상기 레저버(13)에 음압을 제공함으로써 상기 레저버(13)로부터 상기 잉크젯 헤드(11)로 약액의 공급을 중단시킬 수 있다.
그리고 상기 잉크젯 헤드(11)로 약액의 공급을 중단할 경우 상기 잉크젯 헤드(11)의 노즐 단부에 잔류하는 약액은 메니스커스 상태를 유지해야 한다. 즉, 상기 약액을 토출하지 않는 대기 상태에서는 상기 노즐 단부에서의 약액이 메니스커스 상태를 유지해야 하는 것이다. 만약 상기 잉크젯 헤드(11)의 노즐 단부에서 약액이 메니스커스 상태를 유지하지 못할 경우에는 상기 잉크젯 헤드(11)의 노즐면으로 상기 약액이 흘러내리거나 또는 유막을 형성할 수 있고, 그 결과 상기 잉크젯 헤드(11)의 노즐을 통하여 토출되는 약액에 대한 토출 타점의 이상이 발생하거나 약액이 토출되지 않는 상황이 발생할 수도 있다.
따라서 상기 잉크젯 헤드(11)로 약액의 공급을 중단할 경우 상기 레저버(13)로부터 상기 잉크젯 헤드(11)로 다시 약액을 공급하기 이전까지는 상기 음압 제공부(20)를 사용하여 상기 레저버(13)에 계속해서 음압을 제공해야 한다.
아울러 상기 메니스커스 상태의 유지를 위해서는 상기 음압이 설정 압력으로 계속해서 제공되어야 한다. 이에, 도시하지는 않았지만 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치(10)는 서보 밸브 등으로 이루어지는 압력 조정부를 구비하여 상기 레저버(13)로 제공되는 음압이 설정 압력을 유지하도록 조정하고 있다.
상기 음압 제공부(20)는 음압 형성부(21), 제1 연결 라인(23), 제2 연결 라인(25), 차단부(33), 빠짐 방지부(35), 역류 방지부(27) 등으로 이루어질 수 있다.
상기 음압 형성부(21)는 상기 레저버(13)로 제공되는 음압을 형성한다. 상기 음압 제공부(20)의 예로서는 진공 펌프 등을 들 수 있다.
그리고 상기 제1 연결 라인(23)은 상기 음압 형성부(21)와 연결될 수 있다. 그리고 상기 제1 연결 라인(23)은 제1 직경을 갖도록 구비될 수 있다. 특히, 상기 제2 연결 라인(25)과 연결되는 부분인 상기 제1 연결 라인(23)의 단부는 반드시 제1 직경을 갖도록 구비된다. 이에, 상기 제1 연결 라인(23)은 전체가 제1 직경을 갖도록 구비될 수도 있고, 단부 부분만 제1 직경을 갖도록 구비될 수도 있다.
상기 제2 연결 라인(25)은 상기 레저버(13)와 연결될 수 있다. 아울러 상기 제2 연결 라인(25)은 상기 제1 연결 라인(23)과도 연결된다. 이에, 상기 제1 연결 라인(23) 및 상기 제2 연결 라인(25)에 의해 상기 음압 형성부(21)와 상기 레저버(13) 사이가 연결될 수 있다. 그리고 상기 제1 연결 라인(23) 및 상기 제2 연결 라인(25)을 통하여 상기 음압 형성부(21)로부터 상기 레저버(13)로 음압이 제공될 수 있다. 또한, 상기 제2 연결 라인(25)은 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경을 갖도록 구비된다.
상기 차단부(33)는 상기 제2 연결 라인(25) 내부를 따라 움직일 수 있도록 구비된다. 이에, 상기 차단부(33)는 상기 제2 직경보다는 작은 크기를 갖도록 구비될 수 있다. 그리고 상기 차단부(33)는 상기 제1 연결 라인(23)의 단부를 차단시킬 수 있도록 구비된다. 즉, 상기 차단부(33)는 상기 제2 연결 라인(25)과 연결되는 부분인 상기 제1 연결 라인(23)의 단부를 막아버리도록 구비될 수 있는 것이다. 따라서 상기 차단부(33)는 상기 제1 직경보다는 큰 크기를 갖도록 구비될 수 있다.
언급한 바와 같이, 상기 차단부(33)는 상기 제2 연결 라인(25) 내부를 따라 움직이면서 상기 제2 연결 라인(25)과 연결되는 상기 제1 연결 라인(23)의 단부를 차단할 수 있게 상기 제1 직경보다는 크고 상기 제2 직경보다는 작은 크기를 가지면서 상기 제2 연결 라인(25) 내부에 배치된다. 그리고 상기 차단부(33)는 상기 제2 연결 라인(25) 내부에서 움직임이 가능하고, 상기 제1 연결 라인(23)의 단부를 막을 수 있어야 하기 때문에 볼(ball) 구조로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 차단부(33)를 구비하는 것은 상기 레저버(13)로부터 상기 제1 연결 라인(23) 쪽으로 약액이 역류하는 것을 방지하기 위함이다. 즉, 상기 레저버(13)로부터 상기 제2 연결 라인(25) 쪽으로 약액이 역류할 때 부력에 의해서 상기 차단부(33)가 상기 제1 연결 라인(23)의 단부 쪽으로 떠올라서 상기 제1 연결 라인(23)의 단부를 차단함으로써 상기 제1 연결 라인(23) 쪽으로 약액이 역류하는 것을 방지할 수 있는 것이다.
따라서 상기 차단부(33)는 약액보다 낮은 밀도를 갖는 재질로 구비될 수 있다.
그리고 상기 제1 연결 라인(23)과 상기 제2 연결 라인(25)은 서로 수직하게 연결될 수 있다. 특히, 상기 제2 연결 라인(25)은 전체가 수직 구조를 가져야 한다. 아울러 상기 제2 연결 라인(25)은 상기 레저버(13)로부터 수직 방향으로 연장되도록 구비되어야 한다. 상기 제1 연결 라인(23)은 상기 제2 연결 라인(25)과 연결되는 부분은 수직 구조를 가져야 한다. 다만 상기 제1 연결 라인(23)은 상기 제2 연결 라인(25)과 연결되는 부분을 제외하고는 수직 구조로 이루어질 필요는 없다.
또한, 상기 레저버(13)로 제공되는 음압이 설정 범위를 유지할 경우 상기 차단부(33)는 상기 음압에 의해 상기 제2 연결 라인(25)의 일정 위치에 계속적으로 머물러 있을 것이다. 상기 레저버(13)로 제공되는 음압이 설정 범위를 벗어날 경우 상기 잉크젯 헤드(11)의 노즐 단부는 메니스커스 상태를 유지하지 못할 것이다. 따라서 상기 레저버(13)로 제공되는 음압이 설정 범위를 벗어날 경우 상기 잉크젯 헤드(11)로 제공되는 음압을 중단시킬 필요가 있다.
이에, 상기 레저버(13)로 제공되는 음압이 설정 범위를 벗어날 경우 상기 차단부(33)는 상기 제1 연결 라인(23)의 단부 또는 상기 레저버(13)와 연결되는 상기 제2 연결 라인(25)의 단부 쪽으로 이동하도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 음압이 설정 범위보다 높아지면 상기 차단부(33)는 상기 제1 연결 라인(23)의 단부 쪽으로 이동할 것이고. 상기 음압이 설정 범위보다 낮아지면 상기 차단부(33)는 상기 제2 연결 라인(25)의 단부 쪽으로 이동할 것이다.
여기서 상기 차단부(33)가 상기 제2 연결 라인(25)의 단부 쪽으로 이동할 경우 상기 차단부(33)가 상기 레저버(13)로 빠지는 것을 방지해야 한다.
이에, 도 2에서와 같이 상기 제2 연결 라인(25)의 단부에 상기 차단부(33)가 상기 레저버(13)로 빠지는 것을 방지하는 빠짐 방지부(35)가 구비될 수 있다. 상기 빠짐 방지부(35)는 스토퍼(stopper) 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
도 3은 도 1에서의 제2 연결 라인의 단부를 설명하기 위한 도면이다.
도 3을 참조하면, 상기 차단부(33)가 상기 제2 연결 라인(25)의 단부 쪽으로 이동할 경우 상기 차단부(33)가 상기 레저버(13)로 빠지는 것을 방지하도록 상기 빠짐 방지부(35)를 구비하는 것이 아니라 상기 레저버(13)와 연결되는 상기 제2 연결 라인(25)의 단부(37)를 상기 차단부(33)의 크기보다 작은 직경을 갖도록 구비할 수도 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치(10)는 상기 제2 연결 라인(25)에 상기 차단부(33)를 구비함으로써 상기 레저버(13)로부터 상기 제1 연결 라인(23) 쪽으로 약액이 역류하는 것을 방지할 수 있다.
따라서 본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치(10)는 상기 약액의 역류로 인하여 장치 자체를 손상시키는 상황을 사전에 방지할 수 있다.
그리고 상기 역류 방지부(27) 또한 상기 제1 연결 라인(23)으로 약액이 역류하는 것을 차단하도록 구비될 수 있다. 상기 역류 방지부(27)는 상기 제1 연결 라인(23)으로 약액이 역류하는 것을 센싱하는 센서(29), 상기 센서(29)로부터 센싱 신호를 전달받아 상기 제1 연결 라인(23)을 폐쇄시키는 밸브(31) 등을 포함할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실싱예에 따른 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치(10)는 상기 차단부(33)와 함께 상기 역류 방지부(27)를 구비함으로써 상기 레저버(13)부터 상기 제1 연결 라인(23)으로 약액이 역류하는 것을 이중으로 차단할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치는 음압 제공부로 약액이 역류함에 따라 발생하는 불량 요인을 없앨 수 있기 때문에 안정적인 공정 수행이 가능할 것이고, 그 결과 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
또한, 본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치는 약액의 역류로 인하여 장치 자체를 손상시키는 상황을 사전에 방지할 수 있기 때문에 장치 자체의 보다 안정적인 관리가 가능할 것이고, 그 결과 장치 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 약액 토출 장치 11 : 잉크젯 헤드
13 : 레저버 20 : 음압 제공부
21 : 음압 형성부 23 : 제1 연결 라인
25 : 제2 연결 라인 27 : 역류 방지부
29 : 센서 31 : 밸브
33 : 차단부 35 : 빠짐 방지부
40 : 양압 제공부 41 : 양압 형성부
43 : 제3 연결 라인

Claims (12)

  1. 레저버(reservoir)로부터 잉크젯 헤드로 약액이 공급되는 것을 중단시키면서 메니스커스(meniscus)를 유지할 수 있도록 상기 레저버에 음압을 제공하기 위한 음압 제공부를 포함하는 약액 공급 장치에 있어서,
    상기 음압 제공부는
    상기 레저버로 제공되는 음압을 형성하는 음압 형성부;
    제1 직경을 가지면서 상기 음압 형성부와 연결되는 제1 연결 라인;
    상기 제1 직경보다 큰 제2 직경을 가지면서 상기 제1 연결 라인과 상기 레저버 사이를 연결하는 제2 연결 라인; 및
    상기 제2 연결 라인 내부를 따라 움직이면서 상기 제2 연결 라인과 연결되는 상기 제1 연결 라인의 단부를 차단할 수 있게 상기 제1 직경보다는 크고 상기 제2 직경보다는 작은 크기를 가지면서 상기 제2 연결 라인 내부에 배치되는 차단부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 연결 라인과 상기 제2 연결 라인은 수직하게 연결되고, 상기 차단부는 상기 약액보다 낮은 밀도를 갖는 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 차단부는 상기 음압의 크기가 설정 범위를 벗어날 경우 상기 설정 범위를 벗어난 음압에 의해 상기 제1 연결 라인의 단부 또는 상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부 쪽으로 이동하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부는 상기 차단부의 크기보다 작은 직경을 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부에는 상기 차단부가 상기 레저버로 빠지는 것을 방지하는 빠짐 방지부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 연결 라인으로 상기 약액이 역류하는 것을 센싱하는 센서, 및 상기 센서로부터 센싱 신호를 전달받아 상기 제1 연결 라인을 폐쇄시키는 밸브로 이루어지는 역류 방지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로 약액을 공급할 수 있도록 상기 레저버에 양압을 제공하기 위한 양압 제공부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  8. 기판을 향하여 약액을 토출하기 위한 잉크젯 헤드;
    상기 잉크젯 헤드로 공급하기 위한 상기 약액을 저장하는 레저버;
    상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로 상기 약액을 공급할 수 있도록 상기 레저버에 양압을 제공하기 위한 양압 제공부; 및
    상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로 상기 약액이 공급되는 것을 중단시키면서 메니스커스를 유지할 수 있도록 상기 레저버에 음압을 제공하기 위한 음압 제공부;를 포함하고,
    상기 음압 제공부는 상기 레저버로 제공되는 음압을 형성하는 음압 형성부와, 제1 직경을 가지면서 상기 음압 형성부와 연결되는 제1 연결 라인과, 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경을 가지면서 상기 제1 연결 라인과 상기 레저버 사이를 연결하는 제2 연결 라인과, 상기 제2 연결 라인 내부를 따라 움직이면서 상기 제2 연결 라인과 연결되는 상기 제1 연결 라인의 단부를 차단할 수 있게 상기 제1 직경보다는 크고 상기 제2 직경보다는 작은 크기를 가지면서 상기 제2 연결 라인 내부에 배치되는 차단부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 제1 연결 라인과 상기 제2 연결 라인은 수직하게 연결되고, 상기 차단부는 상기 약액보다 낮은 밀도를 갖는 재질로 이루어지면서 상기 음압의 크기가 설정 범위를 벗어날 경우 상기 설정 범위를 벗어난 음압에 의해 상기 제1 연결 라인의 단부 또는 상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부 쪽으로 이동하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부는 상기 차단부의 크기보다 작은 직경을 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  11. 제9 항에 있어서,
    상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부에는 상기 차단부가 상기 레저버로 빠지는 것을 방지하는 빠짐 방지부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  12. 제8 항에 있어서,
    상기 제1 연결 라인으로 상기 약액이 역류하는 것을 센싱하는 센서, 및 상기 센서로부터 센싱 신호를 전달받아 상기 제1 연결 라인을 폐쇄시키는 밸브로 이루어지는 역류 방지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
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