KR20180038339A - 셀어레이 불량 테스트 방법 및 이를 수행하는 반도체장치 - Google Patents
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Abstract
반도체장치는 패턴데이터를 생성하는 패턴데이터생성회로; 리드동작에 의해 코어영역에 포함된 셀어레이에 저장된 데이터를 리드데이터로 입력받고, 상기 패턴데이터와 상기 리드데이터를 비교하여 불량코드를 생성하는 데이터비교회로; 및 상기 불량코드와 설정코드를 비교하여 불량플래그를 생성하는 불량플래그생성회로를 포함한다.
Description
본 발명은 셀어레이 불량 테스트 방법을 수행하는 반도체장치에 관한 것이다.
최근 반도체장치의 동작속도를 증가시키기 위해 클럭 사이클(cycle)마다 4비트 또는 8비트의 데이터를 입/출력하는 DDR2, DDR3 방식 등이 사용되고 있다. 데이터의 입/출력 속도가 빨라지는 경우 데이터가 전송되는 과정 중 발생되는 불량의 발생 확률도 증가 되므로, 데이터 전송의 신뢰성을 보장하기 위한 별도의 장치와 방법이 추가적으로 요구되고 있다.
데이터 전송시마다 불량 발생 여부를 확인할 수 있는 불량코드를 생성하여 데이터와 함께 전송함으로써, 데이터 전송의 신뢰성을 보장하는 불량정정회로가 사용되고 있다.
본 발명은 설정된 비트 수 이상의 불량이 발생된 셀어레이를 검출하고 리던던시셀어레이로 교체할 수 있는 반도체장치를 제공한다.
이를 위해 본 발명은 패턴데이터를 생성하는 패턴데이터생성회로; 리드동작에 의해 코어영역에 포함된 셀어레이에 저장된 데이터를 리드데이터로 입력받고, 상기 패턴데이터와 상기 리드데이터를 비교하여 불량코드를 생성하는 데이터비교회로; 및 상기 불량코드와 설정코드를 비교하여 불량플래그를 생성하는 불량플래그생성회로를 포함하는 반도체장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 라이트동작에 의해 라이트데이터가 저장되는 셀어레이들을 포함하고, 리드동작에 의해 상기 셀어레이에 저장된 데이터를 리드데이터로 출력하는 메모리회로; 및 상기 라이트데이터에 응답하여 생성되는 패턴데이터를 상기 리드데이터와 비교하여 상기 리드데이터에 포함된 불량이 발생된 비트수가 설정된 불량비트수 이상인 경우 인에이블되는 불량플래그를 생성하는 불량테스트회로를 포함하는 반도체장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 불량비트수를 설정하는 단계; 코어영역에 라이트데이터를 저장하는 단계; 패턴데이터를 생성하는 단계; 상기 코어영역에 저장된 데이터를 리드데이터로 출력하는 단계; 및 상기 패턴데이터와 상기 리드데이터를 비교하여 불량플래그를 생성하는 단계를 포함하는 셀어레이 불량 테스트 방법을 제공한다.
본 발명에 의하면 불량코드를 사용한 불량정정회로를 사용하지 않고 웨이퍼테스트 또는 패키지테스트에서 셀어레이의 불량 여부를 확인할 수 있는 효과가 있다.
본 발명에 의하면 불량이 확인된 셀어레이의 어드레스를 저장함으로써, 저장된 어드레스에 의해 리페어동작을 수행하여 수율을 증가시킬 수 있는 효과도 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체장치의 구성을 도시한 블럭도이다.
도 2는 도 1에 도시된 반도체장치에서 불량비트수의 설정값에 따른 불량플래그의 생성 동작을 설명하기 위한 표이다.
도 3은 도 1에 도시된 반도체장치의 동작을 설명하기 위한 플로우차트이다.
도 4는 도 1에 도시된 반도체장치가 적용된 반도체모듈의 일 실시예에 따른 구성을 도시한 블럭도이다.
도 5 및 도 6은 도 1에 도시된 반도체장치가 적용된 전자시스템의 일 실시예에 따른 구성을 도시한 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 반도체장치에서 불량비트수의 설정값에 따른 불량플래그의 생성 동작을 설명하기 위한 표이다.
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도 4는 도 1에 도시된 반도체장치가 적용된 반도체모듈의 일 실시예에 따른 구성을 도시한 블럭도이다.
도 5 및 도 6은 도 1에 도시된 반도체장치가 적용된 전자시스템의 일 실시예에 따른 구성을 도시한 도면이다.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하기로 한다. 이들 실시예는 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 본 발명의 권리 보호 범위가 이들 실시예에 의해 제한되는 것은 아니다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체장치는 패드회로(1), 버퍼회로(2), 내부어드레스생성회로(3), 메모리회로(4), 불량테스트회로(5) 및 불량어드레스저장회로(6)를 포함할 수 있다. 패드회로(1)는 제1 패드(11) 및 제 2 패드(12)를 포함할 수 있다.
버퍼회로(2)는 데이터입력버퍼(21), 데이터출력버퍼(22) 및 어드레스버퍼(23)를 포함할 수 있다.
데이터입력버퍼(21)는 라이트동작이 수행되는 경우 코어영역(41)에 저장되는 라이트데이터(WD<1:N>)를 생성할 수 있다. 라이트데이터(WD<1:N>)는 제1 패드(11)로 입력되는 외부데이터(미도시)를 버퍼링하여 생성될 수 있다. 데이터입력버퍼(21)는 데이터버퍼회로로 구현될 수 있다.
데이터출력버퍼(22)는 불량플래그(FAIL_FLAG)를 버퍼링하여 제1 패드(11)를 통해 외부로 출력할 수 있다. 데이터출력버퍼(22)에서 불량플래그(FAIL_FLAG)가 출력되는 시점은 실시예에 따라서 다양하게 설정될 수 있다.
어드레스버퍼(23)는 코어영역(41)에 포함된 셀어레이에 엑세스하기 위한 내부어드레스(ADD)를 생성할 수 있다. 내부어드레스(ADD)는 제2 패드(12)를 통해 입력되는 외부어드레스(미도시)를 버퍼링하여 생성될 수 있다. 내부어드레스(ADD)는 실시예에 따라 다수의 비트를 포함하는 신호로 생성될 수 있다.
내부어드레스생성회로(3)는 액티브신호(ACT), 리드신호(RDS) 및 라이트신호(WTS)에 응답하여 내부어드레스(ADD)로부터 로우어드레스(XADD) 및 컬럼어드레스(YADD)를 생성할 수 있다. 액티브신호(ACT)는 코어영역(41)에 포함된 워드라인을 활성화하는 액티브동작을 위해 인에이블될 수 있다. 리드신호(RDS)는 코어영역(41)에 포함된 셀어레이에 저장된 데이터를 출력하는 리드동작을 위해 인에이블될 수 있다. 라이트신호(WTS)는 코어영역(41)에 포함된 셀어레이에 데이터를 저장하는 라이트동작을 위해 인에이블될 수 있다. 액티브신호(ACT), 리드신호(RDS) 및 라이트신호(WTS)는 외부커맨드(미도시)를 디코딩하여 생성될 수 있다. 액티브신호(ACT), 리드신호(RDS) 및 라이트신호(WTS)는 셀어레이의 불량여부를 확인하고 리페어하기 위한 테스트를 수행할 때 코어영역(41)에 포함된 셀어레이에 대한 액티브동작, 리드동작 및 라이트동작을 수행하기 위해 내부적으로 생성될 수도 있다. 로우어드레스(XADD) 및 컬럼어드레스(YADD)는 실시예에 따라 다양한 비트수를 갖는 신호로 설정될 수 있다.
메모리회로(4)는 코어영역(41), 로우제어회로(42) 및 컬럼제어회로(43)를 포함할 수 있다.
코어영역(41)은 다수의 셀어레이들을 포함할 수 있다. 코어영역(41)에 포함된 다수의 셀어레이들은 액티브동작 시 활성화되는 워드라인에 의해 엑세스될 수 있다. 코어영역(41)에 포함된 다수의 셀어레이들은 액티브동작에 의해 엑세스된 후 라이트동작에 의해 데이터를 저장할 수 있다. 코어영역(41)에 포함된 다수의 셀어레이들은 액티브동작에 의해 엑세스된 후 리드동작에 의해 저장된 데이터를 출력할 수 있다. 코어영역(41)에 포함된 셀어레이에는 리페어동작 시 노멀어레이(미도시)를 교체하기 위한 리던던시셀어레이(미도시)가 포함될 수 있다.
로우제어회로(42)는 액티브동작이 수행되는 경우 로우어드레스(XADD) 및 퓨즈데이터(FZD)에 응답하여 코어영역(41)에 포함된 셀어레이에 엑세스하기 위해 워드라인을 활성화할 수 있다. 로우제어회로(42)는 액티브동작 시 로우어드레스(XADD) 및 퓨즈데이터(FZD)에 포함된 비트들의 논리레벨조합에 따라 코어영역(41)에 포함된 노멀셀어레이(미도시) 또는 리던던시셀어레이(미도시)를 엑세스할 수 있다.
컬럼제어회로(43)는 라이트동작이 수행되는 경우 컬럼어드레스(YADD) 및 퓨즈데이터(FZD)에 응답하여 코어영역(41)에 포함된 셀어레이에 라이트데이터(WD<1:N>)를 저장할 수 있다. 컬럼제어회로(43)는 라이트동작 시 컬럼어드레스(YADD) 및 퓨즈데이터(FZD)에 포함된 비트들의 논리레벨조합에 따라 코어영역(41)에 포함된 노멀셀어레이(미도시) 또는 리던던시셀어레이(미도시)에 라이트데이터(WD<1:N>)를 저장할 수 있다. 컬럼제어회로(43)는 리드동작이 수행되는 경우 컬럼어드레스(YADD) 및 퓨즈데이터(FZD)에 응답하여 코어영역(41)에 포함된 셀어레이에서 리드데이터(RD<1:N>)를 출력할 수 있다. 컬럼제어회로(43)는 리드동작 시 컬럼어드레스(YADD) 및 퓨즈데이터(FZD)에 포함된 비트들의 논리레벨조합에 따라 코어영역(41)에 포함된 노멀셀어레이(미도시) 또는 리던던시셀어레이(미도시)에서 리드데이터(RD<1:N>)를 출력할 수 있다.
불량테스트회로(5)는 패턴데이터생성회로(51), 데이터비교회로(52) 및 불량플래그생성회로(53)를 포함할 수 있다.
패턴데이터생성회로(51)는 라이트데이터(WD<1:N>) 또는 내부어드레스(ADD)에 응답하여 패턴데이터(PD<1:N>)를 생성할 수 있다. 라이트데이터(WD<1:N>)는 라이트동작 중에 생성될 수 있다. 내부어드레스(ADD)는 라이트동작 또는 리드동작 중에 생성될 수 있다. 패턴데이터생성회로(51)는 리드동작 중에 패턴데이터(PD<1:N>)를 생성할 수 있다. 패턴데이터(PD<1:N>)의 논리레벨조합은 라이트동작에서 코어영역(41)에 포함된 셀어레이에 저장하기 위해 입력되는 라이트데이터(WD<1:N>)의 논리레벨조합과 동일하게 설정될 수 있다.
데이터비교회로(52)는 패턴데이터(PD<1:N>)와 리드데이터(RD<1:N>)를 비교하여 불량코드(FCD<1:M>)를 생성할 수 있다. 데이터비교회로(52)는 패턴데이터(PD<1:N>)와 리드데이터(RD<1:N>)에 포함된 상이한 비트들의 수만큼 카운팅되어 논리레벨조합을 갖는 불량코드(FCD<1:M>)를 생성할 수 있다. 예를 들어, 패턴데이터(PD<1:N>)와 리드데이터(RD<1:N>)에 포함된 비트들이 모두 동일한 경우 불량코드(FCD<1:3>)는 'L,L,L'의 로직레벨조합을 갖고, 패턴데이터(PD<1:N>)와 리드데이터(RD<1:N>)에 포함된 비트들이 1비트만 상이한 경우 불량코드(FCD<1:3>)는 'L,L,H'의 로직레벨조합을 가지며, 패턴데이터(PD<1:N>)와 리드데이터(RD<1:N>)에 포함된 비트들이 2비트만 상이한 경우 불량코드(FCD<1:3>)는 'L,H,L'의 로직레벨조합을 가질 수 있다. 불량코드(FCD<1:3>)가 'L,L,H'의 논리레벨조합을 갖는 경우라 함은 불량코드의 제1 비트(FCD<1>)가 로직하이레벨이고, 불량코드의 제2 및 제3 비트(FCD<2:3>)가 모두 로직로우레벨임을 의미한다. 불량코드(FCD<1:M>)는 리드데이터(RD<1:N>)에 포함된 불량이 발생된 비트수의 정보를 포함할 수 있다. 불량코드(FCD<1:M>)에 포함된 비트수는 실시예에 따라서 다양하게 설정될 수 있다.
불량플래그생성회로(53)는 불량코드(FCD<1:M>)와 설정코드(SCD<1:J>)를 비교하여 불량플래그(FAIL_FLAG)를 생성할 수 있다. 불량플래그생성회로(53)는 불량코드(FCD<1:M>)에 의해 판단된 리드데이터(RD<1:N>)에 포함된 불량이 발생된 비트수가 설정코드(SCD<1:J>)에 의해 설정된 불량 비트수보다 큰 경우 인에이블되는 불량플래그(FAIL_FLAG)를 생성할 수 있다. 불량코드(FCD<1:M>)와 설정코드(SCD<1:J>)에 포함된 비트수는 실시예에 따라서 동일하게 설정되거나 상이하게 설정될 수 있다. 설정코드(SCD<1:J>)는 실시예에 따라서 외부에서 입력되거나 초기화 동작 시 내부에 저장된 신호로 설정될 수 있다.
불량어드레스저장회로(6)는 불량플래그(FAIL_FLAG)에 응답하여 내부어드레스(ADD)를 저장할 수 있다. 불량어드레스저장회로(6)는 불량플래그(FAIL_FLAG)가 인에이블되는 경우 불량이 발생된 셀어레이에 대응되는 내부어드레스(ADD)를 저장할 수 있다. 불량어드레스저장회로(6)는 저장된 내부어드레스(ADD)를 토대로 퓨즈데이터(FZD)를 생성하여 출력할 수 있다. 실시예에 따라 퓨즈데이터(FZD)에는 불량이 발생된 셀어레이의 어드레스의 정보 등이 포함될 수 있다.
도 2를 참고하면 설정코드(SCD<1:3>)에 따라 불량플래그(FAIL_FLAG)가 인에이블되는 조건을 확인할 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 설정코드(SCD<1:3>)가 3비트로 설정된 경우 설정코드(SCD<1:3>)의 논리레벨조합에 따라 불량플래그(FAIL_FLAG)가 인에이블되는 조건을 확인할 수 있다.
설정코드(SCD<1:3>)가 'L,L,H'의 로직레벨조합을 갖는 경우 불량비트수가 1비트로 설정되어 리드데이터(RD<1:N>)에 포함된 불량이 발생된 비트수가 1비트 이상인 경우 불량플래그(FAIL_FLAG)가 인에이블될 수 있다. 설정코드(SCD<1:3>)가 'L,L,H'의 로직레벨조합을 갖는 경우라 함은 설정코드의 제1 비트(SCD<1>)가 로직하이레벨이고, 설정코드의 제2 및 제3 비트(SCD<2:3>)가 모두 로직로우레벨임을 의미한다.
설정코드(SCD<1:3>)가 'L,H,L'의 로직레벨조합을 갖는 경우 불량비트수가 2비트로 설정되어 리드데이터(RD<1:N>)에 포함된 불량이 발생된 비트수가 2비트 이상인 경우 불량플래그(FAIL_FLAG)가 인에이블될 수 있다. 설정코드(SCD<1:3>)가 'L,H,L'의 로직레벨조합을 갖는 경우라 함은 설정코드의 제1 비트(SCD<1>) 및 설정코드의 제3 비트(SCD<3>)가 모두 로직로우레벨이고, 설정코드의 제2 비트(SCD<2>)가 로직하이레벨임을 의미한다.
설정코드(SCD<1:3>)가 'L,H,H'의 로직레벨조합을 갖는 경우 불량비트수가 3비트로 설정되어 리드데이터(RD<1:N>)에 포함된 불량이 발생된 비트수가 3비트 이상인 경우 불량플래그(FAIL_FLAG)가 인에이블될 수 있다. 설정코드(SCD<1:3>)가 'L,H,H'의 로직레벨조합을 갖는 경우라 함은 설정코드의 제1 및 제2 비트(SCD<1:2>)가 모두 로직하이레벨이고, 설정코드의 제3 비트(SCD<3>)가 로직로우레벨임을 의미한다.
설정코드(SCD<1:3>)가 'H,L,L'의 로직레벨조합을 갖는 경우 불량비트수가 4비트로 설정되어 리드데이터(RD<1:N>)에 포함된 불량이 발생된 비트수가 4비트 이상인 경우 불량플래그(FAIL_FLAG)가 인에이블될 수 있다. 설정코드(SCD<1:3>)가 'H,L,L'의 로직레벨조합을 갖는 경우라 함은 설정코드의 제1 및 제2 비트(SCD<1:2>)가 모두 로직로우레벨이고, 설정코드의 제3 비트(SCD<3>)가 로직하이레벨임을 의미한다.
설정코드(SCD<1:3>)가 'H,L,H'의 로직레벨조합을 갖는 경우 불량비트수가 5비트로 설정되어 리드데이터(RD<1:N>)에 포함된 불량이 발생된 비트수가 5비트 이상인 경우 불량플래그(FAIL_FLAG)가 인에이블될 수 있다. 설정코드(SCD<1:3>)가 'H,L,H'의 로직레벨조합을 갖는 경우라 함은 설정코드의 제1 비트(SCD<1>) 및 설정코드의 제3 비트(SCD<3>)가 모두 로직하이레벨이고, 설정코드의 제2 비트(SCD<2>)가 로직로우레벨임을 의미한다.
설정코드(SCD<1:3>)가 'H,H,L'의 로직레벨조합을 갖는 경우 불량비트수가 6비트로 설정되어 리드데이터(RD<1:N>)에 포함된 불량이 발생된 비트수가 6비트 이상인 경우 불량플래그(FAIL_FLAG)가 인에이블될 수 있다. 설정코드(SCD<1:3>)가 'H,H,L'의 로직레벨조합을 갖는 경우라 함은 설정코드의 제1 비트(SCD<1>)가 로직로우레벨이고, 설정코드의 제2 및 제3 비트(SCD<2:3>)가 모두 로직하이레벨임을 의미한다.
설정코드(SCD<1:3>)가 'H,H,H'의 로직레벨조합을 갖는 경우 불량비트수가 7비트로 설정되어 리드데이터(RD<1:N>)에 포함된 불량이 발생된 비트수가 7비트 이상인 경우 불량플래그(FAIL_FLAG)가 인에이블될 수 있다. 설정코드(SCD<1:3>)가 'H,H,H'의 로직레벨조합을 갖는 경우라 함은 설정코드(SCD<1:3>)에 포함된 비트가 모두 로직하이레벨임을 의미한다.
도 1에 도시된 코어영역(41)에 포함된 셀어레이의 불량 여부를 테스트하는 방법을 도 3을 참고하여 살펴보면 다음과 같다.
우선, 테스트모드에 진입(S11)하면 설정코드(SCD<1:J>)에 의해 불량비트수가 설정될 수 있다. 앞서, 도 2에서 살펴본 바와 같이, 설정코드(SCD<1:J>)의 논리레벨조합에 따라서 불량비트수가 다양하게 설정될 수 있다.
다음으로, 코어영역(41)에 포함된 모든 셀어레이에 라이트데이터(WD<1:N>)가 저장된다.(S13) 코어영역(41)에 포함된 셀어레이들 각각은 액티브신호(ACT) 및 라이트신호(WTS)에 응답하여 입력되는 로우어드레스(XADD) 및 컬럼어드레스(YADD)에 응답하여 순차적으로 엑세스되어 라이트데이터(WD<1:N>)를 입력받아 저장할 수 있다.
다음으로, K번째 셀어레이에 저장된 데이터가 리드데이터(RD<1:N>)로 출력된다.(S14) 코어영역(41)에 포함된 K번째 셀어레이는 액티브신호(ACT) 및 리드신호(RDS)에 응답하여 입력되는 로우어드레스(XADD) 및 컬럼어드레스(YADD)에 응답하여 엑세스되어 리드데이터(RD<1:N>)를 출력할 수 있다.
다음으로, K번째 셀어레이에서 출력된 리드데이터(RD<1:N>)와 패턴데이터(PD<1:N>)가 비교된다.(S15) 리드데이터(RD<1:N>)와 패턴데이터(PD<1:N>)의 비교 결과 리드데이터(RD<1:N>)에 포함된 불량이 발생된 비트수에 대한 정보를 포함하는 불량코드(FCD<1:M>)가 생성된다.
다음으로, 리드데이터(RD<1:N>)에 포함된 불량이 발생된 비트수가 설정된 불량비트수보다 큰 경우 인에이블되는 불량플래그(FAIL_FLAG)가 생성되고, 내부어드레스(ADD)가 불량어드레스로 저장된다.(S16) 불량플래그(FAIL_FLAG)는 제1 패드(11)로 출력된다.
다음으로, K가 설정된 수인지 판단되어(S17) K가 설정된 수가 아닌 경우 K가 카운팅되어 1만큼 상승된 후 S14부터 S17까지의 단계가 반복된다. K의 설정된 수는 코어영역(41)에 포함된 셀어레이들의 수를 의미한다. 즉, 코어영역(41)에 포함된 첫번째 셀어레이부터 마지막 셀어레이까지 S14부터 S17까지의 단계가 반복되어 코어영역(41)에 포함된 모든 셀어레이의 불량이 리드데이터(Rd<1:N>) 단위로 설정된 불량비트수와 비교하여 크면 불량어드레스 정보가 저장될 수 있다. 메모리 테스트가 끝나면 제1 패드(11)로 출력된 불량플래그(FAIL_FLAG) 정보를 토대로 리페어동작이 수행되거나, 불량어드레스 저장회로에 저장된 내부어드레스(ADD)를 토대로 리페어동작이 수행될 수 있다.
도 4를 참고하면 반도체모듈(5)은 제1 내지 제L+1 반도체칩(51<1:L+1>)과 컨트롤러(52)를 포함할 수 있다. 제1 내지 제L+1 반도체칩(51<1:L+1>)은 각각 데이터가 입출력되는 P개의 입출력라인을 포함할 수 있다. 즉, 제1 반도체칩(51<1>)은 제1 내지 제P 입출력라인(IO<1:P>)을 포함할 수 있고, 제2 반도체칩(51<2>)은 제P+1 내지 제2P 입출력라인(IO<P+1:2P>)을 포함할 수 있으며, 제L+1 반도체칩(51<L+1>)은 제LP+1 내지 제(L+1)P 입출력라인(IO<LP+1:(L+1)P>)을 포함할 수 있다. 컨트롤러(52)는 제1 내지 제L+1 반도체칩(51<1:L+1>)과 각각 데이터를 상호 교환하기 위해 제1 내지 제(L+1)P 입출력라인(IO<1:(L+1)P>)을 포함한다. 컨트롤러(52)는 ECC(Error Correction Code)를 이용한 불량정정회로를 포함하여 제1 내지 제L+1 반도체칩(51<1:L+1>)으로부터 입력된 데이터에 포함된 불량을 정정하여 사용될 수 있다. 제1 내지 제L+1 반도체칩(51<1:L+1>) 각각은 도 1에 도시된 반도체장치로 구현될 수 있다. 제1 내지 제L+1 반도체칩(51<1:L+1>)은 컨트롤러(52)와 달리 불량정정회로를 포함하지 않고, 도 1에 도시된 반도체장치와 같이 테스트모드를 통한 테스트동작을 수행하여 불량이 발생된 셀어레이를 리페어하여 사용할 수 있다.
앞서, 도 1에서 살펴본 반도체장치는 메모리시스템, 그래픽시스템, 컴퓨팅시스템 및 모바일시스템 등을 포함하는 전자시스템에 적용될 수 있다. 예를 들어, 도 5를 참고하면 본 발명의 일 실시예에 따른 전자시스템(1000)은 데이터저장부(1001), 메모리컨트롤러(1002), 버퍼메모리(1003) 및 입출력인터페이스(1004)를 포함할 수 있다.
데이터저장부(1001)는 메모리컨트롤러(1002)로부터의 제어신호에 따라 메모리컨트롤러(1002)로부터 인가되는 데이터를 저장하고 저장된 데이터를 판독하여 메모리컨트롤러(1002)에 출력한다. 데이터저장부(1001)는 도 1에 도시된 반도체장치를 포함할 수 있다. 한편, 데이터저장부(1001)는 전원이 차단되어도 데이터를 잃지 않고 계속 저장할 수 있는 비휘발성 메모리를 포함할 수 있다. 비휘발성 메모리는 플래쉬 메모리(Nor Flash Memory, NAND Flash Memory), 상변환 메모리(Phase Change Random Access Memory; PRAM), 저항 메모리(Resistive Random Access Memory;RRAM), 스핀 주입자화반전 메모리(Spin Transfer Torque Random Access Memory; STTRAM), 자기메모리(Magnetic Random Access Memory; MRAM)로 구현될 수 있다.
메모리컨트롤러(1002)는 입출력인터페이스(1004)를 통해 외부기기(호스트 장치)로부터 인가되는 명령어를 디코딩하고 디코딩된 결과에 따라 데이터저장부(1001) 및 버퍼메모리(1003)에 대한 데이터 입출력을 제어한다. 도 5에서는 메모리컨트롤러(1002)가 하나의 블록으로 표시되었으나, 메모리컨트롤러(1002)는 데이터저장부(1001)를 제어하기 위한 컨트롤러와 휘발성 메모리인 버퍼메모리(1003)를 제어하기 위한 컨트롤러가 독립적으로 구성될 수 있다.
버퍼메모리(1003)는 메모리컨트롤러(1002)에서 처리할 데이터 즉 데이터저장부(1001)에 입출력되는 데이터를 임시적으로 저장할 수 있다. 버퍼메모리(1003)는 제어신호에 따라 메모리컨트롤러(1002)에서 인가되는 데이터(DATA)를 저장할 수 있다. 버퍼메모리(1003)는 저장된 데이터를 판독하여 메모리컨트롤러(1002)에 출력한다. 버퍼메모리(1003)는 DRAM(Dynamic Random Access Memory), Moblie DRAM, SRAM(Static Random Access Memory) 등의 휘발성 메모리를 포함할 수 있다.
입출력인터페이스(1004)는 메모리컨트롤러(1002)와 외부기기(호스트) 사이의 물리적 연결을 제공하여 메모리컨트롤러(1002)가 외부기기로부터 데이터 입출력을 위한 제어신호를 수신하고 외부기기와 데이터를 교환할 수 있도록 해준다. 입출력인터페이스(1004)는 USB, MMC, PCI-E, SAS, SATA, PATA, SCSI, ESDI, 및 IDE 등과 같은 다양한 인터페이스 프로토콜들 중 하나를 포함할 수 있다.
전자시스템(1000)은 호스트 장치의 보조 기억장치 또는 외부 저장장치로 사용될 수 있다. 전자시스템(1000)은 고상 디스크(Solid State Disk; SSD), USB 메모리(Universal Serial Bus Memory), 씨큐어 디지털 카드(Secure Digital; SD), 미니 씨큐어 디지털 카드(mini Secure Digital card; mSD), 마이크로 씨큐어 디지털 카드(micro SD), 고용량 씨큐어 디지털 카드(Secure Digital High Capacity; SDHC), 메모리 스틱 카드(Memory Stick Card), 스마트 미디어 카드(Smart Media Card; SM), 멀티 미디어 카드(Multi Media Card; MMC), 내장 멀티 미디어 카드(Embedded MMC; eMMC), 컴팩트 플래시 카드(Compact Flash; CF) 등을 포함할 수 있다.
도 6을 참고하면 본 발명의 다른 실시예에 따른 전자시스템(2000)은 호스트(2001), 메모리컨트롤러(2002) 및 데이터저장부(2003)를 포함할 수 있다.
호스트(2001)는 데이터저장부(2003)를 엑세스 하기 위해 메모리컨트롤러(2002)로 리퀘스트 및 데이터를 전송할 수 있다. 메모리컨트롤러(2002)는 리퀘스트에 응답하여 데이터, 데이터 스트로브, 커맨드, 어드레스 및 클럭 등을 데이터저장부(2003)에 제공하고, 이에 응답하여 데이터저장부(2003)는 라이트 또는 리드동작을 수행하게 할 수 있다. 호스트(2001)는 데이터저장부(2003)로 데이터를 저장시키기 위해 데이터를 메모리컨트롤러(2002)로 전송할 수 있다. 또한 호스트는 데이터저장부(2003)로부터 출력된 데이터를 메모리컨트롤러(2002)를 통해 수신할 수 있다. 호스트(2001)는 오류정정코드(Error Correction Code, ECC) 방식을 사용하여 데이터에 포함된 에러를 정정하는 회로를 포함할 수 있다.
메모리컨트롤러(2002)는 호스트(2001)와 데이터저장부(2003) 사이의 통신을 중계할 수 있다. 메모리컨트롤러(2002)는 호스트(2001)로부터 리퀘스트와 데이터를 수신하고, 데이터저장부(2003)의 동작을 제어하기 위하여 데이터, 데이터 스트로브, 커맨드, 어드레스 및 클럭 등을 생성하여 데이터저장부(2003)로 제공할 수 있다. 또한, 메모리컨트롤러(2002)는 데이터저장부(2003)로부터 출력된 데이터를 호스트(2001)로 제공할 수 있다.
데이터저장부(2003)는 다수의 메모리들을 포함할 수 있다. 데이터저장부(2003)는 메모리컨트롤러(2002)로부터 데이터, 데이터 스트로브, 커맨드, 어드레스 및 클럭 등을 수신하여 라이트 또는 리드동작을 수행할 수 있다. 데이터저장부(2003)에 포함된 다수의 메모리들은 오류정정코드(Error Correction Code, ECC) 방식을 사용하여 데이터에 포함된 에러를 정정하는 회로를 포함할 수 있다.
호스트(2001)에 포함된 에러를 정정하는 회로 및 다수의 메모리들에 포함된 에러를 정정하는 회로는 실시예에 따라서 모두 동작하거나 선택적으로 동작하도록 구현될 수 있다. 호스트(2001) 및 메모리컨트롤러(2002)는 실시예에 따라서 동일한 칩으로 구현될 수 있다. 메모리컨트롤러(2002) 및 데이터저장부(2003)는 실시예에 따라서 동일한 칩으로 구현될 수 있다.
1: 패드회로
2: 버퍼회로
3: 내부어드레스생성회로 4: 메모리회로
5: 불량테스트회로 6: 불량어드레스저장회로
11: 제1 패드 12: 제2 패드
21: 데이터입력버퍼 22: 데이터출력버퍼
23: 어드레스버퍼 41: 코어영역
42: 로우제어회로 43: 컬럼제어회로
51: 패턴데이터생성회로 52: 데이터비교회로
53: 불량플래그생성회로
3: 내부어드레스생성회로 4: 메모리회로
5: 불량테스트회로 6: 불량어드레스저장회로
11: 제1 패드 12: 제2 패드
21: 데이터입력버퍼 22: 데이터출력버퍼
23: 어드레스버퍼 41: 코어영역
42: 로우제어회로 43: 컬럼제어회로
51: 패턴데이터생성회로 52: 데이터비교회로
53: 불량플래그생성회로
Claims (20)
- 패턴데이터를 생성하는 패턴데이터생성회로;
리드동작에 의해 코어영역에 포함된 셀어레이에 저장된 데이터를 리드데이터로 입력받고, 상기 패턴데이터와 상기 리드데이터를 비교하여 불량코드를 생성하는 데이터비교회로; 및
상기 불량코드와 설정코드를 비교하여 불량플래그를 생성하는 불량플래그생성회로를 포함하는 반도체장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 패턴데이터는 라이트동작에서 상기 코어영역에 입력되는 라이트데이터와 동일한 논리레벨조합을 갖도록 설정되는 반도체장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 불량코드는 상기 리드데이터에 포함된 불량이 발생된 비트수에 대응되는 논리레벨조합을 갖는 반도체장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 설정코드는 불량비트수를 설정하기 위해 외부에서 입력되거나 초기화 동작 시 내부에 저장된 신호로 설정되는 반도체장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 불량플래그생성회로는 상기 리드데이터에 포함된 불량이 발생된 비트수가 상기 설정코드에 의해 설정된 불량비트수 이상인 경우 인에이블되는 상기 불량플래그를 생성하는 반도체장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 불량플래그에 응답하여 내부어드레스를 저장하고, 상기 저장된 내부어드레스에 응답하여 상기 코어영역에 포함된 셀어레이에 대한 리페어동작을 수행하기 위한 퓨즈데이터를 생성하는 불량어드레스저장회로를 더 포함하는 반도체장치.
- 라이트동작에 의해 라이트데이터가 저장되는 셀어레이들을 포함하고, 리드동작에 의해 상기 셀어레이에 저장된 데이터를 리드데이터로 출력하는 메모리회로; 및
상기 라이트데이터에 응답하여 생성되는 패턴데이터를 상기 리드데이터와 비교하여 상기 리드데이터에 포함된 불량이 발생된 비트수가 설정된 불량비트수 이상인 경우 인에이블되는 불량플래그를 생성하는 불량테스트회로를 포함하는 반도체장치.
- 제 7 항에 있어서, 상기 패턴데이터는 상기 라이트데이터와 동일한 논리레벨조합을 갖는 반도체장치.
- 제 7 항에 있어서, 상기 불량테스트회로는
상기 패턴데이터를 생성하는 패턴데이터생성회로;
상기 리드동작에 의해 상기 메모리회로에 포함된 셀어레이에 저장된 데이터를 상기 리드데이터로 입력받고, 상기 패턴데이터와 상기 리드데이터를 비교하여 불량코드를 생성하는 데이터비교회로; 및
상기 불량코드와 설정코드를 비교하여 상기 불량플래그를 생성하는 불량플래그생성회로를 포함하는 반도체장치.
- 제 9 항에 있어서, 상기 불량코드는 상기 리드데이터에 포함된 불량이 발생된 비트수에 대응되는 논리레벨조합을 갖는 반도체장치.
- 제 9 항에 있어서, 상기 설정코드는 상기 불량비트수를 설정하기 위해 외부에서 입력되거나 초기화 동작 시 내부에 저장된 신호로 설정되는 반도체장치.
- 제 9 항에 있어서, 상기 불량플래그생성회로는 상기 리드데이터에 포함된 불량이 발생된 비트수가 상기 불량비트수 이상인 경우 인에이블되는 상기 불량플래그를 생성하는 반도체장치.
- 제 7 항에 있어서,
상기 불량플래그에 응답하여 내부어드레스를 저장하고, 상기 저장된 내부어드레스에 응답하여 상기 메모리회로에 포함된 셀어레이에 대한 리페어동작을 수행하기 위한 퓨즈데이터를 생성하는 불량어드레스저장회로를 더 포함하는 반도체장치.
- 불량비트수를 설정하는 단계;
코어영역에 라이트데이터를 저장하는 단계;
패턴데이터를 생성하는 단계;
상기 코어영역에 저장된 데이터를 리드데이터로 출력하는 단계; 및
상기 패턴데이터와 상기 리드데이터를 비교하여 불량플래그를 생성하는 단계를 포함하는 셀어레이 불량 테스트 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 불량비트수는 설정코드에 의해 설정되고, 상기 설정코드는 외부에서 입력되거나 초기화 동작 시 내부에 저장된 신호인 셀어레이 불량 테스트 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 패턴데이터는 라이트동작에서 상기 코어영역에 저장되는 상기 라이트데이터와 동일한 논리레벨조합을 갖도록 설정되는 셀어레이 불량 테스트 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 불량플래그는 상기 리드데이터에 포함된 불량이 발생된 비트수가 상기 불량비트수 이상인 경우 인에이블되는 셀어레이 불량 테스트 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 불량플래그를 생성하는 단계는
상기 패턴데이터와 상기 리드데이터를 비교하여 불량코드를 생성하는 단계를 포함하는 셀어레이 불량 테스트 방법.
- 제 18 항에 있어서, 상기 불량코드는 상기 리드데이터에 포함된 불량이 발생된 비트수에 대응되는 논리레벨조합을 갖는 셀어레이 불량 테스트 방법.
- 제 18 항에 있어서, 상기 불량플래그를 생성하는 단계는
상기 불량코드와 상기 설정코드를 비교하여 상기 불량플래그를 생성하는 단계를 더 포함하는 셀어레이 불량 테스트 방법.
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