KR20160033583A - 레이저 빔 출력 측정 구조를 포함하는 레이저 조사 시스템 및 이를 이용한 레이저 빔 출력 제어 방법 - Google Patents

레이저 빔 출력 측정 구조를 포함하는 레이저 조사 시스템 및 이를 이용한 레이저 빔 출력 제어 방법 Download PDF

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비손메디칼 주식회사
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Abstract

본 발명에 따른 레이저 빔 출력 측정 구조를 포함하는 레이저 조사 시스템은, 소정의 전력을 공급하는 전원 공급기; 상기 전원 공급기로부터의 전력에 의해 동작하여 소정의 광을 방출하는 광원; 입사되는 광을 90% 이상의 반사율로 반사시키는 제1면을 구비한 후면경; 상기 후면경과 마주하도록 배치되어 광을 40~95%의 반사율로 반사시키는 제1면을 구비하고, 상기 제1면을 투과한 광을 레이저 빔으로서 출력하는 출력경; 상기 후면경의 상기 제1면을 투과하여 누출되는 광의 출력을 측정하는 센서; 및 상기 측정된 출력에 기초하여 상기 레이저 빔의 출력을 산출하고, 사용자의 조작에 의하여 또는 산출된 상기 레이저 빔의 출력에 의하여 상기 전원 공급기 또는 상기 광원의 동작을 제어하는 제어기를 포함하여 이루어진다.

Description

레이저 빔 출력 측정 구조를 포함하는 레이저 조사 시스템 및 이를 이용한 레이저 빔 출력 제어 방법{LASER IRRADIATION SYSTEM HAVING LASER BEAM POWER SENSING STRUCTURE AND LASER BEAM POWER CONTROL METHOD FOR THE SYSTEM}
본 발명은 레이저 조사 시스템 및 이를 이용한 레이저 빔 출력 제어 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 레이저 조사 시스템에 레이저 빔 출력 측정 구조를 부가한 것에 관한 것이다.
레이저 조사기에서 레이저를 발진하는 레이저 모듈은 발진하는 레이저의 출력에 의해 수명이 결정될 수 있다. 따라서, 레이저 모듈의 수명을 연장하기 위해서는, 사용가능한 최소한의 출력로 레이저를 발진해야 할 것이다.
도 1은 레이저 모듈의 발진 방식을 설명하기 위한 도면이다. 레이저는 임의의 광을 서로 마주보는 거울 사이에서 반사시켜 동일 방향의 빔(beam)으로서 출력되도록 한 것이다.
한편, 레이저 모듈(100)에서 발진하는 레이저 빔(L)의 출력(출력)을 측정하기 위하여, 종래에는, 레이저 모듈(100)을 동작시킨 후, 대상에 적용하기 직전에 테스트 샷을 출력하고, 출력된 테스트 샷의 출력을 측정하였다.
이러한 방식에서는, 도 2에 도시된 바와 같이, 레이저 모듈(100)이 테스트 샷을 출력할 때에는 레이저 모듈(100)의 전방(레이저 출력측)에 레이저 출력 측정 수단(110)을 모터 등을 이용하여 삽입하고, 대상에 실제 적용할 때에는 출력 측정 수단(110)을 레이저 모듈(100)의 전방에서 제거하는 방식으로 동작하도록 구성된다.
한편, 이러한 종래의 방식에 따른 출력 측정 장치는, 한국공개특허공보 제2010-0079585호(2010.07.08)(명칭: 레이저 빔 출력 측정장치)를 참고할 수 있다. 이 종래 기술에서는, 레이저 소스로부터 발진된 레이저 빔을 하나 이상으로 분기시키는 빔 스플리터 및 상기 빔 스플리터를 통해 분기된 레이저 빔을 가공물상에 조사하되 상기 레이저 빔의 출력을 감쇠시켜 그 출력의 변동폭을 상대적으로 감쇠시키는 감쇠기(Attenuator)가 구비된 스캔헤드를 포함하고 있다.
하지만, 이러한 스캔 헤드를 구성하는 각 구성 요소들은, 고강도의 레이저 빔을 직접 수광하여야 하기 때문에, 고내압이어야 하고 고정밀도이어야 한다. 따라서, 전체 장치가 고가일 수밖에 없다. 더욱, 스캔 헤드를 레이저 소스의 전방으로 삽입하고 제거하기 위한 구성 요소 또는 동작 방식이 추가되어야 한다는 문제점이 있다.
한국공개특허공보 제2010-0079585호(2010.07.08)
본 발명은 상술한 바와 같은 종래 방식에서의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 실제 조사되는 레이저에 비해서 약한 강도의 레이저를 수신하여 출력을 측정할 수 있고, 또한, 출력 측정 수단을 레이저 모듈의 전방에 삽입하거나 제거하지 않으면서도 레이저 빔의 출력을 측정할 수 있는 레이저 출력 측정 장치 및 이를 이용한 레이저 빔 출력 제어 방법을 제공하고자 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 빔 출력 측정 구조를 포함하는 레이저 조사 시스템은, 소정의 전력을 공급하는 전원 공급기; 상기 전원 공급기로부터의 전력에 의해 동작하여 소정의 광을 방출하는 광원; 상기 광원에 의해 방출되어 입사되는 광을 90% 이상의 반사율로 반사시키는 제1면을 구비한 후면경; 상기 후면경과 마주하도록 배치되어 상기 광원에 의해 방출되는 광 및 상기 후면경에 의해 반사되는 광을 40~95%의 반사율로 반사시키는 제1면을 구비하고, 상기 제1면을 투과한 광이 레이저 빔으로서 출력되는 출력경; 상기 후면경의 상기 제1면을 투과하여 누출되는 광의 출력을 측정하는 센서; 및 상기 측정된 출력에 기초하여 상기 레이저 빔의 출력을 산출하고, 사용자의 조작에 의하여 또는 산출된 상기 레이저 빔의 출력에 의하여 상기 광원의 광 방출 동작을 제어하는 제어기를 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 후면경과 상기 센서의 사이에는, 상기 후면경의 중심을 투과한 광만을 투과시키기 위한 핀홀 슬릿, 상기 후면경을 투과한 광의 출력을 소정 비율로 감쇠시키는 ND 필터, 상기 후면경을 투과한 광의 단면 형태를 상기 센서의 표면에 대응하는 단면 형태로 변환하는 디퓨저, 상기 후면경을 투과한 광에 포함된 복수 파장의 광 중 출력 측정을 원하는 파장의 광을 선택적으로 투과시키는 파장 필터 중 적어도 하나가 더 배치될 수 있다.
또한, 상기 광원은, 755nm의 파장을 갖는 알렉산드라이트 레이저 광을 방출하기 위한 매질, 또는, 1064nm 또는 1320nm의 파장을 갖는 엔디야그(Nd:YAG) 레이저 광을 방출하기 위한 매질을 포함할 수 있다.
또한, 상술한 목적을 달성하기 위한 또다른 실시예에 따른 본 발명은, 전원 공급기로부터의 전력에 의해 소정의 광을 방출하는 광원과, 입사되는 광을 90% 이상의 반사율로 반사시키는 제1면을 구비한 후면경과, 상기 후면경의 제1면과 마주보게 배치되어 입사되는 광을 40~95%의 반사율로 반사시키는 제1면을 구비하고 상기 제1면을 투과한 광을 레이저 빔으로서 출력하는 출력경과, 상기 후면경의 상기 제1면을 투과하여 누출되는 광의 출력을 측정하는 센서와, 상기 레이저 빔의 출력을 측정하고 사용자의 조작에 의하여 또는 상기 레이저 빔의 출력에 의하여 상기 광원의 광 방출 동작을 제어하는 제어기를 포함하는 레이저 조사 시스템에 있어서: 광을 방출하도록 상기 광원에 전력을 공급하는 단계; 상기 센서가 상기 후면경의 제1면을 투과하여 누출되는 광을 감지하여 생성한 측정 신호를 수신하는 단계; 상기 측정 신호에 기초하여 상기 출력경에서 출력하는 상기 레이저 빔의 출력을 예측하는 단계; 및 상기 예측된 출력에 기초하여 상기 광원의 광 방출 동작을 제어하는 단계를 포함하는, 레이저 빔 출력 제어 방법을 제공한다.
상기한 구성과 같이 이루어지는 본 발명에 따른 레이저 출력 측정 장치는, 레이저 조사기에 있어서, 레이저 모듈의 후방에 배치된 후면경을 투과하는 미량의 레이저를 검출하고 그의 출력을 측정하여 레이저 모듈의 전방으로 출력되는 레이저 빔의 출력을 예측하도록 구성된다. 이로써, 미약한 강도의 레이저를 이용하여 고출력의 레이저 빔의 출력을 측정할 수 있으므로, 출력 측정 장치를 구성하는 구성요소를 저내압 부품을 이용할 수 있게 되고, 이로써 저비용의 부품으로 구성할 수 있게 된다.
또한, 레이저 출력 측정 장치는 레이저 모듈의 후방에 배치되므로, 레이저 측정 장치를 출력되는 레이저의 광경로에 삽입하거나 제거하기 위한 구성 요소를 구비할 필요가 없다.
또한, 레이저 출력 측정 장치는 상시로 레이저 모듈의 후방에 결합되어 유지될 수 있으므로, 실시간으로 출력 측정이 가능하고, 이로써 실시간으로 레이저 빔의 출력을 측정 및 보정할 수 있게 된다.
도 1은 일반적인 레이저 모듈의 발진 방식을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 레이저 빔의 출력을 측정하기 위한 종래의 방식을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 출력 측정 장치의 동작 원리를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 레이저 출력 측정 장치의 세부적 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 레이저 출력 측정 장치를 포함하는 레이저 조사 시스템의 일부를 보여주는 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 레이저 조사 시스템에서, 후면경의 후방에서 누출된 광에 의해 측정된 값과 레이저 빔의 실제 출력과의 관계를 표와 그래프로 도시한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 레이저 빔 출력 측정 구조를 포함하는 레이저 조사 시스템의 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 본 발명의 각 구성 요소를 지칭하는 용어들은 그 기능을 고려하여 예시적으로 명명된 것이므로, 용어 자체에 의하여 본 발명의 기술 내용을 예측하고 한정하여 이해해서는 안 될 것이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 출력 측정 기능을 제공하는 출력 측정기의 원리를 설명하기 위한 도면이다. 도 1에서 볼 수 있는 바와 같이, 레이저 빔(L)은 후면경(20)을 거쳐 출력경(10)을 통해 발진되는데, 이상적인 후면경(20)의 반사율은 100%이지만, 실제로는 그렇지 못하고, 99.9% 내외의 반사율을 갖는다.
따라서, 예를 들어, 출력경(10)의 투과율이 50%이고 후면경(20)의 투과율이 99.9%이고, 출력경(10)에서 발진되는 실제 레이저의 출력이 30W라면, 후면경(20)의 후방으로 투과되는 레이저는 50%:0.1% = 30W:xW에 의하여, 60mW의 미세한 출력이 나오게 된다.
이 점을 이용하여, 후면경(20)의 후방에 레이저 파장에 반응하는 출력 측정기(110)를 배치하면, 후면경(20)을 투과하여 누출되는 미량의 광을 이용하여 전방으로 출력되는 레이저 빔(L)의 출력을 예측할 수 있게 된다.
출력 측정기(110)는, 측정되는 광의 출력에 대응하는 측정 신호를 생성하여 제어기로 전송한다. 측정 신호는 광의 출력에 비례하는 디지털 신호 또는, 아날로그 전류값 또는 전압값일 수 있다.
더욱, 이러한 레이저 출력 측정기(110)는 레이저를 거의 대부분 반사시키는 후면경(20)의 후방(제2면 측)에 상시 배치할 수 있으므로, 실시간으로 레이저 빔(L)의 출력을 측정할 수 있게 된다. 이로써, 현재 전방으로 출력되고 있는 레이저 빔(L)의 출력을 실시간으로 모니터링하고, 그 출력을 실시간 제어할 수 있게 된다.
또한, 출력 측정기(110)는, 후방으로 누출되는 미약한 광을 수광하는 것이므로 저내압 소자를 이용할 수 있으며, 이로써, 소형이며 저가인 출력 측정기(110)를 구현할 수 있게 된다.
또한, 출력 측정기(110)를 후면경(20)의 후방에 항시 배치해 둘 수 있으므로, 측정 센서(90)를 레이저 빔(L) 속으로 개재시켰다가 제거하기 위한 이동 수단(예를 들면, 모터 및 제어 회로)을 부가할 필요가 없다.
도 4는 도 3에 도시된 레이저 출력 측정기(110)의 세부적 구성을 설명하기 위한 도면이다. 출력 측정기(110)는 측정 센서(90)와 후면경(20)의 사이에 핀홀 슬릿(30), ND 필터(40), 디퓨저(50), 파장 필터(60)를 설치하여 최적의 측정 환경을 구성할 수 있다.
후면경(20)의 중앙 부분에서 투과되는 광은, 출력경(10)을 통해 방출되는 레이저 빔(L)의 투과되지 못한 부분(출력경을 투과하여 방출되지 못하고 출력경의 반사면(제1면)에서 반사되어 후면경의 반사면(제1면)을 향하는 부분)일 것이므로, 출력경(10)을 통해 출력되는 레이저 빔(L)의 출력과 비례하는 양일 것이다.
이때, 후면경(20)의 후방으로 후면경(20)의 전체면을 통해 투과되어 나오는 광 중에서, 단지 일부 영역, 특히, 중앙 부분의 작은 영역으로부터 투과되어 나오는 광을 선택하기 위해 핀홀 슬릿(30)을 배치할 수 있다.
후면경(20)의 후방으로 투과되는 모든 광을 이용하게 되면, 각각의 광 빔들이 서로 간섭을 일으켜 출력 측정에 대해 오차를 유발할 수 있기 때문에, 핀홀 슬릿(30)을 이용하는 것이 유리하다.
또한, 출력 측정기(110)의 측정 센서(90)의 실제 사용가능한 면적은 후면경(20)의 면적보다 작을 수 있기 때문에, 측정 센서(90)의 면적 또는 그 형태에 대응하는 핀홀을 형성하여, 투과한 광의 단지 일부만을 이용하여 출력을 측정하도록 구성할 수 있다.
한편, 반사율이 90% 이상, 특히, 99.9% 이상인 후면경(20)을 투과하는 광일지라도, 그 출력은 무시하지 못할 정도로 클 수 있다. 따라서, 후면경(20)을 투과한 광의 출력을, 10%, 1%, 또는 0.1%의 방식으로 줄여줄 필요가 있다.
ND 필터(40)는, 후면경(20)을 투과한 광의 출력이 측정 센서(90)의 입력 한계치보다 커서 측정 오류가 발생할 수 있는 상황을 방지하기 위하여, 광의 출력을 측정 센서(90)에서 허용할 수 있는 정도로 감소시키는 역할을 한다.
핀홀 슬릿(30)을 통과한 광은 지름이 작아지게 되는데, 이 광을 단면의 모든 위치에서 동일한 강도로 골고루 확산시킴으로써, 측정 센서(90)의 표면의 일부에 광의 출력이 집중되지 않도록 하기 위해 디퓨저(50)를 배치할 수 있다.
한편, 광원(도시하지 않음)은, 출력경(10)과 후면경(20) 사이로 광을 출력하는 램프 또는 발광 다이오드일 수 있다. 또한, 광원은, 출력경(10)과 후면경(20) 사이의 공간에 고체 또는 기체 매질을 배치하고 여기에 전압을 인가함으로써 발생하게 되는 방전에 의해 광을 출력하는 원리로 구성될 수도 있다.
이때, 광원은, 정확한 어느 한가지의 일정한 파장의 광을 방출하는 것이 아니라, 원하지 않는 다양한 종류의 파장을 갖는 광을 방출할 수 있다. 또한, 광원 또는 광원에 포함된 매질의 제조자의 의도에 따라서, 원하는 복수 종류의 광을 방출하도록 설계될 수도 있다.
따라서, 후면경(20)의 후방으로 투과되는 광도 이러한 다양한 파장의 광이 모두 섞여 있을 수 있으므로, 출력 측정을 원하는 특정 파장의 레이저 광 이외의 광은 잡음일 수밖에 없다.
파장 필터(60)는, 광원에서 발생하여 후면경(20)을 투과한 여러 파장의 광 중에서 측정하고자 하는 특정 파장의 광만을 선택적으로 통과시킨다.
측정 센서(90)는, 극미량으로 입력되는 레이저 광의 출력을 측정할 수 있도록 구성된다. 측정 센서(90)는, 가격이 저렴한 포토 다이오드 센서를 이용할 수 있다.
한편, 이러한 본 발명에 따른 측정 방식을 이용하기 위해서, 출력경(10)의 후면측을 연마(polishing)하여 투과율을 높일 수 있다.
본 발명에 따른 레이저 빔 출력 측정기(110)는, 의료용으로 사용되는 레이저 모듈로서, 특히, 인체 피부에 의료용으로 활용되는 파장을 가지며 그 출력이 조정될 수 있는 레이저 빔(L)을 조사하여 다양한 병증에 대한 치료 또는 피부 상태를 개선하기 위한 레이저 조사 시스템(100)에 부가될 수 있다.
의료용 레이저는, 755nm 파장의 알렉산드라이트 레이저, 1064nm 또는 1320nm 파장의 엔디야그(Nd:YAG) 레이저를 포함할 수 있다. 알렉산드라이트 레이저는 주로 제모용 레이저로 사용되는데, 피부의 털에 대하여 모근 깊이까지 침투하여 영구 제모에 가까운 제모 효과를 나타낸다. 알렉산드라이트 레이저는 또한, 레이저 토닝이라든지 기미 및 주근깨를 비롯한 피부 질환에서부터 화이트닝 또는 브라이트닝이라고 불리는 미백 효과를 나타내므로, 오랫동안 피부 치료용 레이저로 각광을 받아 왔다.
1064nm 파장 엔디야그 레이저는 혈관성 병변(vascular lesion)에서부터 미백, 화이트닝, 브라이트닝 등 피부 개선 효과를 얻을 수 있는 피부 치료용 레이저로 평가되고 있다. 또한, 1320nm 파장 엔디야그 레이저는 피부 탄력을 개선하고 주름 및 미세 라인을 감소시킬 수 있는 피부 치료용 레이저로 평가되고 있다.
도 5는, 본 발명에 따른 레이저 출력 측정 장치를 포함하는 레이저 조사 시스템의 일부를 보여주는 도면이다. 도 5의 상측은 레이저 조사 시스템을 위에서 본 평면도이고, 하측은 옆에서 본 측면도이다.
레이저 조사 시스템(100)은 양단에 출력경(10)과 후면경(20)을 가지며, 그 내부에서 광이 반사된다. 레이저 빔(L)은 출력경(10)의 투과율에 의해 레이저 모듈(100)의 내부로부터 빠져나와 빔을 형성한다.
후면경(20)의 후방에는 본 발명에 따른 출력 측정기(110)가 배치된다. 일반적인 레이저 조사 시스템(100)에서 출력경(10)으로부터 조사되는 레이저 빔(L)을 직접 수광하여 레이저 빔의 출력을 측정하던 것과 달리, 본 발명에 따른 레이저 조사 시스템(100)은, 후면경(20)의 후방에 배치되어 후면경(20)으로부터 투과되어 누출되는 광을 측정하도록 출력 측정기(110)가 배치되어 있다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에서는, 상술한 바와 같이, 후면경(20)의 후방에서 레이저 빔(L)의 출력을 측정하고, 이를 이용하여, 레이저 빔(L)의 출력을 실시간으로 제어하는 방법을 제공한다.
먼저, 제어기(도시하지 않음)는, 광원에 소정의 전력을 공급하여 광을 방출하도록 한다. 이때 공급되는 전력은, 사용자가 소정의 조작 수단을 통해 선택한 출력에 대응하는 전력일 수 있다.
또는, 광원은 전력 공급과 동시에 원하는 출력으로 광을 방출할 수 없으므로(즉, 광원 및 그 주변 회로의 예열 동작이 필요할 수 있음), 특정의 출력에 도달할 때까지 순차적으로 레이저 빔의 출력을 증가시키는 방식으로 제어될 수 있다. 이 경우, 제어기에는 레이저 빔 출력의 제어 방식이 저장되어 있을 수 있으며, 이를 위한 공급 전력에 대한 제어 방식도 저장되어 있을 수 있다.
이어서, 측정 센서(90)는, 후면경(20)의 제1면을 투과하여 누출되는 광을 감지하고, 광의 양에 대응하는 측정 신호를 생성한다.
측정 신호를 수신한 제어기는, 상기 측정 신호에 기초하여 출력경에서 출력되는 레이저 빔의 출력을 예측할 수 있다. 이는, 미리 정해진 계산식을 이용할 수 있다.
한편, 계산에 의해 예측된 출력은, 레이저 빔(L)의 실제 출력과 거의 유사하며, 제어기는 예측된 출력에 기초하여 광원의 광 방출 동작을 실시간으로 제어할 수 있게 된다.
이와 같은 본 발명에 따른 레이저 빔 출력 측정 구조를 포함하는 레이저 조사 시스템에 있어서, 상술한 바와 같이, 후면경의 후방에서 누출된 광에 의해 측정된 값(측정 신호)과 레이저 빔의 실제 출력과의 관계에 대해서, 도 6을 참조하여 설명한다.
좌측의 표에는, 레이저 조사 시스템에서 레이저 빔을 조사하기 위해 전원이 인가되는 시점으로부터의 다양한 측정값을 보여준다. 시간(표에서는 분:초 단위로 표시됨)이 증가할수록 레이저 모듈의 온도가 상승한다.
우측의 그래프는, 세로축으로 레이저 빔의 실제 출력과 측정 센서의 출력값을 배치하고, 가로축으로 시간을 배치함으로써, 시간에 따른 레이저 빔의 변화와 센서 측정값의 변화를 보여준다.
레이저 빔의 출력은 레이저 모듈이 소정의 온도에 도달하여, 충분한 출력의 빔이 생성될 때 출력되도록 제어된다. 여기서는 약 8분 시점으로부터 레이저 빔이 출력되고 있다.
한편, 후면경의 후방에 배치된 측정 센서의 측정값은, 초기 시점으로부터 증가하고 있으며, 레이저 빔의 출력과 거의 유사한 증가 및 감소 형태를 보여준다.
센서 측정값으로부터 레이저 출력을 예측하기 위한 계산은, 센서 측정값에 소정의 계수를 곱해주는 간단한 계산식에 의해 이루어질 수 있다. 물론, 더욱 많은 계수를 갖는 고차항 계산이 적용될 수도 있다.
따라서, 도면을 참조하면, 센서 측정값을 이용하더라도, 비록 정확하게 레이저 빔의 출력에 대응하지 않지만, 매우 적은 오차로써 레이저 빔의 출력을 예측할 수 있으며, 이로써, 실시간으로 레이저 빔의 출력을 관찰하면서 그 출력을 조정할 수 있게 된다.
이상에서 설명된 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 보여준 것에 불과하며, 본 발명의 보호 범위는 이하 특허청구범위에 의하여 해석되어야 마땅할 것이다. 또한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것인 바, 본 발명과 균등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (4)

  1. 소정의 전력을 공급하는 전원 공급기;
    상기 전원 공급기로부터의 전력에 의해 동작하여 소정의 광을 방출하는 광원;
    상기 광원에 의해 방출되어 입사되는 광을 90% 이상의 반사율로 반사시키는 제1면을 구비한 후면경;
    상기 후면경과 마주하도록 배치되어 상기 광원에 의해 방출되는 광 및 상기 후면경에 의해 반사되는 광을 40~95%의 반사율로 반사시키는 제1면을 구비하고, 상기 제1면을 투과한 광이 레이저 빔으로서 출력되는 출력경;
    상기 후면경의 상기 제1면을 투과하여 누출되는 광의 출력을 측정하는 센서; 및
    상기 측정된 출력에 기초하여 상기 레이저 빔의 출력을 산출하고, 사용자의 조작에 의하여 또는 산출된 상기 레이저 빔의 출력에 의하여 상기 광원의 광 방출 동작을 제어하는 제어기를 포함하는 레이저 빔 출력 측정 구조를 포함하는 레이저 조사 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 후면경과 상기 센서의 사이에는,
    상기 후면경의 중심을 투과한 광만을 투과시키기 위한 핀홀 슬릿, 상기 후면경을 투과한 광의 출력을 소정 비율로 감쇠시키는 ND 필터, 상기 후면경을 투과한 광의 단면 형태를 상기 센서의 표면에 대응하는 단면 형태로 변환하는 디퓨저, 상기 후면경을 투과한 광에 포함된 복수 파장의 광 중 출력 측정을 원하는 파장의 광을 선택적으로 투과시키는 파장 필터 중 적어도 하나가 더 배치되는 것을 특징으로 하는, 레이저 빔 출력 측정 구조를 포함하는 레이저 조사 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 광원은,
    755nm의 파장을 갖는 알렉산드라이트 레이저 광을 방출하기 위한 매질, 또는, 1064nm 또는 1320nm의 파장을 갖는 엔디야그(Nd:YAG) 레이저 광을 방출하기 위한 매질을 포함하는 것을 특징으로 하는, 레이저 빔 출력 측정 구조를 포함하는 레이저 조사 시스템.
  4. 전원 공급기로부터의 전력에 의해 소정의 광을 방출하는 광원과, 입사되는 광을 90% 이상의 반사율로 반사시키는 제1면을 구비한 후면경과, 상기 후면경의 제1면과 마주보게 배치되어 입사되는 광을 40~95%의 반사율로 반사시키는 제1면을 구비하고 상기 제1면을 투과한 광을 레이저 빔으로서 출력하는 출력경과, 상기 후면경의 상기 제1면을 투과하여 누출되는 광의 출력을 측정하는 센서와, 상기 레이저 빔의 출력을 측정하고 사용자의 조작에 의하여 또는 상기 레이저 빔의 출력에 의하여 상기 광원의 광 방출 동작을 제어하는 제어기를 포함하는 레이저 조사 시스템에 있어서:
    광을 방출하도록 상기 광원에 전력을 공급하는 단계;
    상기 센서가 상기 후면경의 제1면을 투과하여 누출되는 광을 감지하여 생성한 측정 신호를 수신하는 단계;
    상기 측정 신호에 기초하여 상기 출력경에서 출력하는 상기 레이저 빔의 출력을 예측하는 단계; 및
    상기 예측된 출력에 기초하여 상기 광원의 광 방출 동작을 제어하는 단계를 포함하는, 레이저 빔 출력 제어 방법.
KR1020150063684A 2014-09-18 2015-05-07 레이저 빔 출력 측정 구조를 포함하는 레이저 조사 시스템 및 이를 이용한 레이저 빔 출력 제어 방법 KR20160033583A (ko)

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KR20100079585A (ko) 2008-12-31 2010-07-08 (주)와이티에스 레이저 빔 출력 측정장치

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