JP4356817B2 - レーザ照射装置及びレーザ照射方法 - Google Patents
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Description
時刻t11で、次の周期のレーザビームの照射を開始する。時刻t12において、レーザ光源11からのレーザパルスの出射が終了する。この時点で、エネルギの算出値が第1の閾値E1に到達していない。このように、一つのレーザパルスの出射が完了した時点で、エネルギの算出値が第1の閾値E1に到達しない場合もあり得る。この場合には、エネルギの算出値の初期設定を行わない。
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
14 部分反射ミラー(分岐器)
15 加工レンズ
16 加工対象物
17 光強度検出器
18 制御装置
19 トリガパルス発生器
20 パワーメータ
21 ビーム走査器
22 温度測定器
23 アンプ
25 パワー調整器
28 保持台
30 音響光学素子(動的遮光手段)
Claims (5)
- レーザビームを出射するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出射されたレーザビームを遮光する遮光状態と透過させる透過状態とを切り替えることができる動的遮光手段と、
前記動的遮光手段を透過したレーザビームを、測定用経路に沿って伝搬するレーザビームと、加工用経路に沿って伝搬するレーザビームとに分岐させる分岐器と、
前記測定用経路に沿って伝搬するレーザビームの強度を検出する光強度検出器と、
前記動的遮光手段の遮光状態と透過状態との切り替え制御を行うとともに、前記光強度検出器で検出された光強度を第1の周期で取り込み、前記動的遮光手段を透過状態にした後に前記光強度検出器に入射したレーザビームのエネルギを算出し、エネルギの算出値が第1の閾値に到達したら、前記動的遮光手段を遮光状態にする制御装置と
を有するレーザ照射装置。 - 前記レーザ光源がパルスレーザビームを出射し、前記第1の周期が、前記レーザ光源から出射されるパルスレーザビームのパルス幅の70%以下である請求項1に記載のレーザ照射装置。
- 前記レーザ光源がパルスレーザビームを出射し、前記制御装置は、第1のレーザパルスの照射ではエネルギの算出値が前記第1の閾値に達しなかったとき、加工対象物の同じ位置に、追加の第2のレーザパルスを入射させ、前記光強度検出器で検出された該第1のレーザパルスと第2のレーザパルスとの合計のエネルギの算出値が、第2の閾値に到達したら、前記動的遮光手段を遮光状態にする請求項1に記載のレーザ照射装置。
- (a)レーザビームを、測定用経路と加工用経路とに分岐させ、加工用経路に沿って伝搬するレーザビームを加工対象物に入射させて加工を行うとともに、該測定用経路に沿って伝搬したレーザビームのエネルギを算出する工程と、
(b)エネルギの算出値が第1の閾値に到達したときに、前記加工対象物へのレーザビームの入射を停止させる工程と
を有するレーザ照射方法。 - 前記工程aで用いられるレーザビームがパルスレーザビームであり、前記工程bが、さらに、第1のレーザパルスの照射が終了した時点までのエネルギの算出値が前記第1の閾値未満であるとき、前記加工対象物の同じ被加工位置に追加の第2のレーザパルスを入射させるとともに、前記測定用経路に沿って伝搬した前記第1のレーザパルスと第2のレーザパルスとの合計のエネルギの算出値が第2の閾値に到達したとき、該第2のレーザパルスの入射を停止させる工程を含む請求項4に記載のレーザ照射方法。
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