KR20160033339A

KR20160033339A - 마그넷 플레이트 조립체, 이를 포함하는 증착 장치 및 증착 방법

Info

Publication number: KR20160033339A
Application number: KR1020140123711A
Authority: KR
Inventors: 한정원; 김도선; 마사오 니시구치; 백영민
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2014-09-17
Filing date: 2014-09-17
Publication date: 2016-03-28
Also published as: KR102227479B1; US20160078988A1; US9773600B2

Abstract

본 발명의 일 실시예는 소정의 자기력을 갖는 자성체와, 자성체를 지지하며, 제1 돌기를 구비하는 마그넷 서포터와, 마그넷 서포터를 지지하며, 제1 돌기를 관통시키는 제1 개구를 구비하는 가이드부와, 마그넷 서포터의 폭 방향인 제1 방향으로 연장 형성되어 제1 돌기를 수용하는 제1 프레임과, 가이드부의 일단과 접촉 가능하도록 가이드부의 일단측과 인접하여 배치되며, 가이드부를 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동시키는 제1 마더블록과, 가이드부의 타단과 접촉 가능하도록 가이드부의 타단측과 인접하여 배치되며, 가이드부를 고정하거나 이동시키는 제2 마더블록을 포함하고, 제1 돌기는 제1 프레임에 대하여 제1 방향으로 슬라이딩 가능하도록 형성되는 마그넷 플레이트 조립체를 개시한다.

Description

마그넷 플레이트 조립체, 이를 포함하는 증착 장치 및 증착 방법{Magnet plate assembly, and apparatus for deposition comprising the same and the method of depositing using the same}

본 발명의 실시예들은 마그넷 플레이트 조립체와, 이를 포함하는 증착 장치 및 증착 방법에 관한 것이다.

일반적으로 평탄 디스크플레이 중의 하나인 유기 발광 표시 장치는 능동 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 저전압으로 구동이 가능하며, 경량의 박형이면서 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 표시 소자로서 주목을 받고 있다.

이러한 발광 소자는 발광층을 형성하는 물질에 따라 무기 발광 소자와 유기 발광 소자로 구분되는데, 유기 발광 소자는 무기 발광 소자에 비해 휘도, 응답속도 등의 특성이 우수하고, 컬러 디스플레이가 가능하다는 장점을 가지고 있어 최근 그 개발이 활발하게 진행되고 있다.

유기 발광 표시 장치는 유기막 및/또는 전극을 진공 증착법에 의해 형성한다. 그러나 유기 발광 표시 장치가 점차 고해상도화 함에 따라 증착 공정시 사용되는 마스크의 오픈슬릿(open slit)의 폭이 점점 좁아지고 있으며 그 산포 또한 점점 더 감소될 것이 요구되어지고 있다.

또한, 고해상도 유기 발광 표시 장치를 제작하기 위해서는 쉐도우 현상(shadow effect)을 줄이거나 없애는 것이 필요하다. 그에 따라, 기판과 마스크를 밀착시킨 상태에서 증착 공정을 진행하고 있으며, 기판과 마스크의 밀착도를 향상시키기 위한 기술의 개발이 대두되고 있다.

전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.

본 발명의 실시예들은 마그넷 플레이트 조립체와, 이를 포함하는 증착 장치 및 증착 방법을 제공한다.

본 실시예에 있어서, 마그넷 서포터는 자성체가 안착되는 제1 홈을 구비할 수 있다.

본 실시예에 있어서, 제1 개구는 제1 방향 및 제2 방향과 상이한 제3 방향으로 형성될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 가이드부는 마그넷 서포터가 안착되는 제2 홈을 더 구비하며, 제2 홈은 마그넷 서포터의 너비보다 큰 너비를 갖도록 형성될 수 있다..

본 실시예에 있어서, 제2 방향으로 연장 형성되는 제2 프레임을 더 구비하고, 가이드부는 제2 프레임에 수용되어 제2 프레임에 대하여 제2 방향으로 슬라이딩 가능하도록 형성되는 제2 돌기를 더 구비할 수 있다.

본 실시예에 있어서, 리니어 모터, 스텝 모터 및 서보 모터 중 적어도 하나를 포함하는 구동부를 더 포함하고, 구동부는 제1 마더블록 및 제2 마더블록 중 하나 이상에 연결되어 제1 마더블록 및 제2 마더블록 중 하나 이상을 이동시킬 수 있다.

본 실시예에 있어서, 제2 마더블록은 가이드부의 타단을 탄성력으로 지지하는 탄성체를 구비할 수 있다.

본 실시예에 있어서, 가이드부가 제2 방향으로 이동할 때 마그넷 서포터는 제1 방향으로 이동 가능한 것을 특징으로 할 수 있다.

본 발명의 다른 실시예는 증착 물질을 방사하는 증착원과, 증착원과 기판 사이에 개재되어 증착 물질을 통과시켜 기판 상에 증착 물질을 증착시키는 마스크와, 기판과 마스크가 접촉하는 면의 반대측 면에 배치되어 마스크에 소정의 자기력을 가하는 본 발명의 일시예에 따른 마그넷 플레이트 조립체를 포함하는 증착 장치를 개시한다.

본 실시예에 있어서, 기판과 마그넷 플레이트 조립체 사이에 개재되어 기판을 가압하는 쿨플레이트를 더 구비할 수 있다.

본 발명의 또 다른 실시예는 챔버 내에서 기판의 일면에 마스크를 배치하는 단계와, 기판의 타면 방향에 마그넷 플레이트 조립체를 배치하는 단계와, 제1 마더블록과 제2 마더블록 중 적어도 하나를 이동시켜 자성체의 배열을 조정하는 단계와, 챔버 내에 구비된 증착원에서 증발된 증착 물질이 마스크에 형성된 슬릿을 통해 기판에 증착되는 단계를 포함하는 증착 방법을 개시한다.

본 실시예에 있어서, 마그넷 플레이트 조립체는 소정의 자기력을 갖는 자성체와, 자성체를 지지하며, 제1 돌기를 구비하는 마그넷 서포터와, 마그넷 서포터를 지지하며, 제1 돌기를 관통시키는 제1 개구를 구비하는 가이드부와, 마그넷 서포터의 폭 방향인 제1 방향으로 연장 형성되어 제1 돌기를 수용하는 제1 프레임과, 가이드부의 일단과 접촉 가능하도록 가이드부의 일단측과 인접하여 배치되며, 가이드부를 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동시키는 제1 마더블록과, 가이드부의 타단과 접촉 가능하도록 가이드부의 타단측과 인접하여 배치되며, 가이드부를 고정하거나 이동시키는 제2 마더블록을 포함하고, 제1 돌기는 제1 프레임에 대하여 제1 방향으로 슬라이딩 가능하도록 형성될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 챔버 내에서 기판의 일면에 마스크를 배치하는 단계와 기판의 타면 방향에 마그넷 플레이트 조립체를 배치하는 단계 사이에, 쿨플레이트가 마그넷 플레이트 조립체와 기판이 접촉하는 면의 방향으로 이동하여 기판을 가압하는 단계를 더 포함할 수 있다.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.

본 발명의 실시예들에 따르면 마그넷 플레이트 조립체와, 이를 포함하는 증착 장치 및 증착 방법은 마스크에 균일한 자기력을 제공함으로써 기판과 마스크 사이의 간격을 최소화시켜 기판 상에 정밀하게 증착 물질을 증착시킬 수 있다.

도 1는 본 발명의 일 실시예에 따른 마그넷 플레이트 조립체의 개략적인 구성을 나타내는 개념도이다.
도 2는 도 1에 나타난 마그넷 플레이트 조립체의 측면을 나타내는 측면도이다.
도 3은 도 1에 나타난 마그넷 플레이트 조립체의 가이드부의 다른 변형예를 나타내는 분해사시도이다.
도 4는 도 1의 마그넷 플레이트 조립체의 제2 마더블록이 탄성체를 구비한 모습을 나타내는 부분상면도이다.
도 5는 도 1에 나타난 마그넷 플레이트 조립체를 포함하는 증착 장치의 개략적인 단면을 보여주는 개념도이다.
도 6은 도 1에 나타난 마그넷 플레이트 조립체를 포함하는 증착 방법을 나타낸 순서도이다.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. 이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. 또한, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.

또한, 도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 또한, 어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 1는 본 발명의 일 실시예에 따른 마그넷 플레이트 조립체(10)의 개략적인 구성을 나타내는 개념도이고, 도 2는 도 1에 나타난 마그넷 플레이트 조립체(10)의 측면을 나타내는 측면도이다.

먼저 도 1 및 도 2를 참조하면, 마그넷 플레이트 조립체(10)는 자성체(100)와, 마그넷 서포터(200)와, 가이드부(300)와, 제1 프레임(400)과, 제1 마더블록(600)과, 제2 마더블록(700)을 포함한다.

상세히, 마그넷 플레이트 조립체(10)는 소정의 자기력을 갖는 자성체(100)와, 자성체(100)를 지지하며, 제1 돌기(210)를 구비하는 마그넷 서포터(200)와, 마그넷 서포터(200)를 지지하며, 제1 돌기(210)를 관통시키는 제1 개구(310)를 구비하는 가이드부(300)와, 마그넷 서포터(200)의 폭 방향인 제1 방향(도 1의 x축 방향)으로 연장 형성되어 제1 돌기(210)를 수용하는 제1 프레임(400)과, 가이드부(300)의 일단과 접촉 가능하도록 가이드부(300)의 일단측과 인접하여 배치되며, 가이드부(300)를 제1 방향과 교차하는 제2 방향(도 1의 y축 방향)으로 이동시키는 제1 마더블록(600)과, 가이드부(300)의 타단과 접촉 가능하도록 가이드부(300)의 타단측과 인접하여 배치되며, 가이드부(300)를 제2 방향으로 고정하거나 이동시키는 제2 마더블록(700)을 포함하며, 이때, 제1 돌기(210)는 제1 프레임(400)에 대하여 제1 방향으로 슬라이딩 가능하도록 형성된다.

이러한 마그넷 플레이트 조립체(10)는 제1 방향을 따라 복수개가 연속적으로 배치될 수 있으나, 설명의 편의를 위해 하기에서 하나의 마그넷 플레이트 조립체(10)의 구성과 결합구조를 설명하기로 한다.

또한, 편의상 도 1 및 도 2는 두 개의 제1 프레임(400) 만을 나타내나, 본 실시예는 이에 한정되는 것은 아니며 가이드부(300)의 길이에 따라 복수개가 형성될 수도 있다.

자성체(100)는 소정의 자기력을 가지는 구성요소로써, 바람직하게는 영구자석일 수 있으며, 영구자석 이외에도 자기력을 발생시킬 수 있는 그 어떤 물체라도 무방하다. 즉, 영구자석 대신 전자석이 사용될 수도 있다. 이러한 자성체(100)는 제1 방향으로 연장되어 단일품으로 형성될 수도 있으며, 여러 개로 분할되어 복수개가 설치될 수도 있다.

또한, 도 1은 자성체(100)의 단면이 사각형일 경우를 나타내고 있지만, 이밖에도 자성체(100)는 다각형, 원형 또는 타원형 등 여러가지 형태를 가질 수도 있다. 다만, 본 실시예는 이에 한정되지 않으며, 당업자라면 상술한 바 외에도 다양한 변형이 가능함을 알 것이다.

다음으로, 마그넷 서포터(200)는 자성체(100)를 지지하는 역할을 하며, 일측면에 하나 이상의 제1 돌기(210) 를 구비할 수 있다. 도 1은 마그넷 서포터(200)에 구비되는 제1 홈(230)이 자성체(100)를 수용하는 형태로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않고 제1 홈(230) 없이 가이드부(300)가 마그넷 서포터(200)를 지지하는 것처럼 자성체(100)가 마그넷 서포터(200)의 일면에 의해 지지되는 형태로 배치될 수도 있다. 이러한 형태의 자성체(100)와 마그넷 서포터(200)의 배치는 후술할 도 4에 나타나 있다.

가이드부(300)는 마그넷 서포터(200)를 지지하며, 제1 돌기(210)를 관통시키는 적어도 하나 이상의 제1 개구(310)를 구비할 수 있다. 제1 개구(310) 는 제1 방향 및 제2 방향과 상이한 제3 방향으로 형성되며, 이는 제1 개구(310)를 관통하는 제1 돌기(210)가 제3 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 하기 위함이다.

제1 프레임(400)은 마그넷 서포터(200)와 가이드부(300)가 접촉하는 면의 반대면에 배치되어, 제1 방향으로 연장 형성되어 제1 돌기(210)를 수용하록 배치된다. 이때, 제1 돌기(210)는 가이드부(300)의 제1 개구(310)를 관통하여 제1 프레임(400)에 수용되며, 제1 프레임(400)은 바람직하게는 LM가이드로 구성되어 제1 돌기(210)가 제1 방향으로 슬라이딩 가능하도록 인도하는 역할을 할 수 있다.

제1 마더블록(600)은 가이드부(300)의 일단과 접촉 가능하도록 가이드부(300)의 일단측과 인접하여 배치되며, 가이드부(300)를 제1 방향으로 이동시키는 역할을 할 수 있다.

제2 마더블록(700)은 가이드부(300)의 타단과 접촉 가능하도록 가이드부(300)의 타단측과 인접하여 배치되며, 제1 마더블록(600)으로 인해 슬라이딩 이동하는 가이드부(300)를 고정하거나, 제1 마더블록(600)과 같이 가이드부(300)를 이동시키는 역할을 할 수 있다.

상세히, 도 1 및 도 2에 나타난 제2 마더블록(700)은 제1 마더블록(600)과 접촉하여 제2 마더블록(700) 방향으로 이동하는 가이드부(300)가 고정되지 않고 미끄러지는 경우, 제1 마더블록(600)과 접촉한 가이드부(300)의 일측면에서 반대되는 가이드부(300)의 타측면에서 가이드부(300)의 타측면과 접촉함으로써 가이드부(300)의 이동을 방지하여 가이드부(300)를 고정시킬 수 있다.

또한, 제1 마더블록(600) 및 제2 마더블록(700)은 수동방식으로 사람이 직접 제2 마더블록(700)에 힘을 가함으로써 이동할 수 있으며, 후술할 도 3에 나타난 바와 같이 별도의 구동력을 제공하는 구동부(800)에 의해 이동할 수도 있다.

도 3은 도 1에 나타난 마그넷 플레이트 조립체(10)의 가이드부(300)의 다른 변형예를 나타내는 분해사시도이다.

상술한 바와 같이 가이드부(300)는 마그넷 서포터(200)의 일면을 지지하도록 형성되나, 이에 한정되지 않는다. 예를들어, 도 3을 참조하면, 가이드부(300)는 제2 홈(320)을 구비하여 마그넷 서포터(200)를 제2 홈(320)에 수용하는 형태로 배치될 수도 있다. 다만, 이때에는 제2 홈(320)의 너비는 마그넷 서포터(200)의 너비보다 커야하며, 이는 제2 홈(320)내에서 마그넷 서포터(200)가 가이드부(300)에 대해 슬라이딩 운동을 할 수 있는 공간을 마련하기 위함이다.

한편, 가이드부(300)는 제2 돌기(330)를 더 포함할 수 있으며, 이러한 제2 돌기(330)는 제1 프레임(400)이 연장 형성되는 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장 형성되는 제2 프레임(500)에 수용될 수 있다. 예를들어, 제2 프레임(500)은 제1 프레임(400)과 마찬가지로 LM가이드로 구성될 수 있으며, 제2 방향으로 연장 형성되어 제2 돌기(220)가 제2 방향으로 슬라이딩 가능하도록 인도하는 역할을 할 수 있다.

이때, 본 발명의 일 실시예에 따른 마그넷 플레이트 조립체(10)는 제1 마더블록(600)과 제2 마더블록(700)에 힘을 가하여 제1 마더블록(600)과 제2 마더블록(700)을 이동시키는 구동부(800)를 더 포함할 수 있다.

구동부(800)는 제1 마더블록(600)과 제2 마더블록(700) 중 적어도 하나에 연결되어 제1 마더블록(600)과 제2 마더블록(700) 중 적어도 하나를 이동시킬 수 있다. 구동부(800)는 바람직하게는 리니어 모터, 스텝 모터 및 서보 모터 중 하나로 구성되어 제1 마더블록(600) 또는 제2 마더블록(700)에 연결될 수 있으며, 제1 마더블록(600)과 제2 마더블록(700) 중 하나에 제2 방향으로 힘을 가하여 가이드부(300)를 제2 방향으로 이동시키게 된다.

도 4는 도 1의 마그넷 플레이트 조립체(10)의 제2 마더블록(700)이 탄성체(710)를 구비한 모습을 나타내는 부분상면도이다.

도 4는 탄성체(710)를 구비하는 제2 마더블록(700)을 나타낸다. 상술한 바와 같이, 제2 마더블록(700)은 제1 마더블록(600)에 의해 이동하는 가이드부(300)를 고정하는 역할을 수행할 수 있다. 따라서, 탄성체(710)는 제1 마더블록(600)이 제2 마더블록(700)측으로 이동하였을 경우에는 수축한 상태로 가이드부(300)의 타측면을 지지하고, 제1 마더블록(600)이 다시 제2 마더블록(700)측에서 멀어지는 방향으로 이동할 경우에는 탄성체(710)의 탄성력에 의해 가이드부(300)를 원상태로 복귀시킬 수 있다.

이하에서, 도 4를 참조하여 제1 마더블록(600)의 이동에 따른 자성체(100), 마그넷 서포터(200) 및 가이드부(300)의 위치변화에 대해 설명하기로 한다.

참조부호 10b와 10d는 제1 마더블록(600)의 가압력과 탄성체(710)의 탄성력이 균형을 이루는 경우을 나타낸다. 그리고 참조부호 10a는 제1 마더블록(600)의 가압력이 탄성체(710)의 탄성력보다 더 큰 경우를 나타내며, 참조부호 10d는 탄성체(710)의 탄성력이 제1 마더블록(600)의 가압력보다 더 큰 경우를 나타낸다.

먼저, 제1 마더블록(600)이 가이드부(300)를 가압하여 탄성체(710)가 수축된 상태를 고려해보도록 한다(참조부호 10a 참조). 제1 마더블록(600)이 가이드부(300)를 가압하면, 가이드부(300)는 탄성체(710)를 압축하는 방향, 즉 우측 방향으로 이동하게 된다. 이때, 가이드부(300)에 형성되는 제1 개구(310) 또한 우측으로 이동하게 된다. 이렇게 가이드부(300)가 우측으로 이동하면, 제1 돌기(210)는 제1 개구(310)와 제1 프레임(400)이 중첩되는 지점에 위치하게 되며, 제1 돌기(210)는 제1 프레임(400)이 형성된 방향을 따라 마그넷 서포터(200)를 상측으로 이동시키게 된다(도 4의 10a 참조).

반대로, 탄성체(710)의 탄성력이 제1 마더블록(600)의 가압력을 능가하여 탄성체(710)가 이완된 상태를 고려해본다(참조부호 10c 참조). 이러한 경우에는, 제1 마더블록(600)이 좌측으로 이동함에 따라 가이드부(300) 또한 왼쪽으로 이동하게 되며, 제1 돌기(210)는 제1 개구(310)와 제1 프레임(400)이 중첩되는 지점, 즉 제1 개구(310)의 하측에 위치하게 된다. 제1 돌기(210)가 제1 개구(310)의 하측에 위치하고 있다는 것은 마그넷 서포터(200)가 가이드부(300) 상에서 하측으로 이동했다는 것을 뜻하며, 이는 자성체(100) 또한 가이드부(300) 상에서 하측으로 이동했다는 것을 의미한다(도 4의 10c 참조).

상술한 바와 같이, 제1 마더블록(600)과 제2 마더블록(700)을 이용하여 자성체(100)의 간격을 조절함으로써 얻을 수 있는 효과에 대해 설명하기로 한다.

고해상도의 디스플레이 장치를 제작하기 위해서는 유기물, 즉 증착 물질의 증착공정 시에 발생하는 쉐도우 현상(shadow effect)을 개선하는 것이 요구된다. 쉐도우 현상은 증착 물질이 증착되는 피증착부재인 기판과, 슬릿을 통해 증착 물질을 통과시켜 기판에 증착 물질을 증착하는 역할을 하는 마스크 사이에 존재하는 간격으로 인해 발생한다. 이러한 쉐도우 현상을 개선하기 위해서는, 기판과 마스크 사이의 간격을 최소화하여, 마스크가 기판에서 들뜨지 않도록 마스크와 기판의 밀착력을 증가시켜야한다.

이를 해결하기 위해, 종래에는 자성체(100)와 같이 소정의 자기력을 발생시키는 물질을 자성체(100)를 지지하는 가이드부(300)와 같은 구조물의 폭방향(제1 방향)으로 복수개 배치하여, 기판을 사이에 둔채 마스크에 자기력을 가함으로써, 마스크를 기판에 밀착시켰다.

하지만, 이렇게 일정한 간격으로 자성체(100)가 제1 방향을 따라 연속적으로 배치될 경우에는, 자성체(100)가 형성하는 자기력은 자성체(100)의 배열에 따라 정해지게 된다. 한번 자성체(100)가 가이드부(300)에 고정되어 증착공정에 쓰이게 되면 추후에 자성체(100)의 배열을 변경하는 데에는 많은 시간과 비용이 소모되므로, 따라서 자성체(100)를 한번 배열하게 되면 그것을 교체하기까지는 증착공정 시 자기력의 세기나 분포를 변경시키는 것이 현실적으로 어려웠다.

이러한 문제를 해결하기 위해, 본 발명의 실시예들에 따른 마그넷 플레이트 조립체(10)는 가이드부(300)를 제2 방향으로 이동시켜 자성체(100)의 배열을 변경시킬 수 있는 제1 마더블록(600)과, 가이드부(300)를 고정하거나 이동시키는 제2 마더블록(700)을 구비하였다.

이렇게 가이드부(300) 상에서 마그넷 서포터(200)가 슬라이딩 이동가능하도록 제1 마더블록(600)과 제2 마더블록(700)을 구비하게 되면, 마그넷 서포터(200)에 의해 지지되는 자성체(100)를 가이드부(300) 상에서 제1 방향으로 슬라이딩 이동시킬 수 있게 되며, 이는 제1 마더블록(600)과 제2 마더블록(700)의 이동에 의해 자성체(100)의 간격을 조절할 수 있음을 의미한다.

이러한 자성체(100)를 제2 방향으로 복수개 배치하게 되면 소정의 자기력을 형성할 수 있게 되는데, 이때 제1 마더블록(600)과 제2 마더블록(700)을 이용하여 자성체(100)의 간격을 조정하게 되면, 자성체(100)에 의해 형성되는 자기력의 세기나 분포를 변경시킬 수 있게 되고, 결과적으로 외부 환경의 변화에 따라 자기력을 조절하여 마스크의 전 영역에 균일한 자기력을 전달하는 것이 가능해진다. 이를통해, 마스크와 기판의 밀착력을 증가시킬 수 있으며, 결과적으로는 증착 공정 시 발생하는 쉐도우 현상을 개선할 수 있게 되는 것이다.

도 5는 도 1에 나타난 마그넷 플레이트 조립체(10)를 포함하는 증착 장치(20)의 개략적인 단면을 보여주는 개념도이다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치(20)는, 기판측으로 증착 물질을 방사하는 증착원(900)과, 증착원(900)과 기판(S)사이에 개재되어 증착 물질을 통과시켜 기판(S) 상에 증착 물질을 증착시키는 마스크(1000)와, 기판(S)과 마스크(1000)가 접촉하는 면의 반대측 면에 배치되어 마스크(1000)에 소정의 자기력을 가하는 본 발명의 일 실시예에 따른 마그넷 플레이트 조립체(10)를 포함할 수 있다.

또한, 증착 장치(20)는 기판(S)과 마그넷 플레이트 조립체(10) 사이에 개재되어 자중으로 기판(S)을 가압하는 쿨플레이트(1100)를 더 구비할 수 있다. 이러한 쿨플레이트(1100)는 마그넷 플레이트 조립체(10)가 기판(S) 쪽으로 이동하여 마스크(1000)에 자기력을 가하기 이전에, 기판(S)과 마스크(1000)의 밀착력을 향상시키는 역할을 수행한다.

도 6은 도 1에 나타난 마그넷 플레이트 조립체(10)를 이용하여 기판(S)에 증착 물질을 증착하는 증착 방법을 나타낸 순서도이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 마그넷 플레이트 조립체(10)를 포함하는 증착 방법은 다음과 같다.

도 5 및 6을 참조하면, 챔버(1200) 내에서 기판(S)의 일면에 마스크(1000)를 배치한다(S601). 그 다음 기판(S)의 타면에 마그넷 플레이트 조립체(10)를 배치한다(S602). 그리고 제1 마더블록(600)을 작동시켜 자성체(100)의 배열을 조절하여 마스크(1000)에 가해지는 자기력을 제어한다(S603). 그 뒤, 챔버(1200) 내에 구비된 증착원(900)에서 증발된 증착 물질이 마스크(1000)에 형성된 슬릿(미도시)을 통해 기판(S)에 증착된다(S604).

아울러, 챔버(1200) 내에서 기판(S)의 일면에 마스크(1000)를 배치하는 단계와 기판(S)의 타면에 마그넷 플레이트 조립체(10)를 배치하는 단계 사이에, 쿨플레이트(1100)가 마그넷 플레이트 조립체(10)와 기판(S)이 접촉하는 면의 방향으로 이동하여 기판(S)을 가압하는 단계(S601a)를 더 포함할 수도 있다.

이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

10: 마그넷 플레이트 조립체 400: 제1 프레임
20: 증착 장치 500: 제2 프레임
100: 자성체 600: 제1 마더블록
200: 마그넷 서포터 700: 제2 마더블록
210: 제1 돌기 710: 탄성체
230: 제1 홈 800: 구동부
300: 가이드부 900: 증착원
310: 제1 개구 1000: 마스크
320: 제2 홈 1100: 쿨플레이트
330: 제2 돌기 1200: 챔버

Claims

소정의 자기력을 갖는 자성체;
상기 자성체를 지지하며, 제1 돌기를 구비하는 마그넷 서포터;
상기 마그넷 서포터를 지지하며, 상기 제1 돌기를 관통시키는 제1 개구를 구비하는 가이드부;
상기 마그넷 서포터의 폭 방향인 제1 방향으로 연장 형성되어 상기 제1 돌기를 수용하는 제1 프레임;
상기 가이드부의 일단과 접촉 가능하도록 상기 가이드부의 일단측과 인접하여 배치되며, 상기 가이드부를 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동시키는 제1 마더블록; 및
상기 가이드부의 타단과 접촉 가능하도록 상기 가이드부의 타단측과 인접하여 배치되며, 상기 가이드부를 고정하거나 이동시키는 제2 마더블록;을 포함하고,
상기 제1 돌기는 상기 제1 프레임에 대하여 상기 제1 방향으로 슬라이딩 가능하도록 형성되는, 마그넷 플레이트 조립체.
제 1항에 있어서,
상기 마그넷 서포터는 상기 자성체가 안착되는 제1 홈을 구비하는, 마그넷 플레이트 조립체.
제 1항에 있어서,
상기 제1 개구는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 상이한 제3 방향으로 형성되는, 마그넷 플레이트 조립체.
제 1항에 있어서,
상기 가이드부는 상기 마그넷 서포터가 안착되는 제2 홈을 더 구비하며,
상기 제2 홈은 상기 마그넷 서포터의 너비보다 큰 너비를 갖도록 형성되는, 마그넷 플레이트 조립체.
제 1항 또는 제 4항에 있어서,
상기 제2 방향으로 연장 형성되는 제2 프레임을 더 구비하고,
상기 가이드부는 상기 제2 프레임에 수용되어 상기 제2 프레임에 대하여 상기 제2 방향으로 슬라이딩 가능하도록 형성되는 제2 돌기를 더 구비하는, 마그넷 플레이트 조립체.
제 1항에 있어서,
리니어 모터, 스텝 모터 및 서보 모터 중 적어도 하나를 포함하는 구동부를 더 포함하고,
상기 구동부는 상기 제1 마더블록 및 상기 제2 마더블록 중 하나 이상에 연결되어 상기 제1 마더블록 및 상기 제2 마더블록 중 하나 이상을 이동시키는, 마그넷 플레이트 조립체.
제 1항에 있어서,
상기 제2 마더블록은 상기 가이드부의 상기 타단을 탄성력으로 지지하는 탄성체를 구비하는, 마그넷 플레이트 조립체.
제 1항에 있어서,
상기 가이드부가 제2 방향으로 이동할 때 상기 마그넷 서포터는 제1 방향으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는, 마그넷 플레이트 조립체.
증착 물질을 방사하는 증착원;
상기 증착원과 기판 사이에 개재되어 상기 증착 물질을 통과시켜 상기 기판 상에 상기 증착 물질을 증착시키는 마스크; 및
상기 기판과 상기 마스크가 접촉하는 면의 반대측 면에 배치되어 상기 마스크에 소정의 자기력을 가하는 제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항의 마그넷 플레이트 조립체;를 포함하는, 증착 장치.
제 9항에 있어서,
상기 기판과 상기 마그넷 플레이트 조립체 사이에 개재되어 상기 기판을 가압하는 쿨플레이트를 더 구비하는, 증착 장치.
챔버 내에서 기판의 일면에 마스크를 배치하는 단계;
상기 기판의 타면 방향에 마그넷 플레이트 조립체를 배치하는 단계;
제1 마더블록과 제2 마더블록 중 적어도 하나를 이동시켜 자성체의 배열을 조정하는 단계; 및
상기 챔버 내에 구비된 증착원에서 증발된 증착 물질이 상기 마스크에 형성된 슬릿을 통해 상기 기판에 증착되는 단계;를 포함하는, 증착 방법.
제 11항에 있어서,
상기 마그넷 플레이트 조립체는,
소정의 자기력을 갖는 자성체;
상기 자성체를 지지하며, 제1 돌기를 구비하는 마그넷 서포터;
상기 마그넷 서포터를 지지하며, 상기 제1 돌기를 관통시키는 제1 개구를 구비하는 가이드부;
상기 마그넷 서포터의 폭 방향인 제1 방향으로 연장 형성되어 상기 제1 돌기를 수용하는 제1 프레임;
상기 가이드부의 일단과 접촉 가능하도록 상기 가이드부의 일단측과 인접하여 배치되며, 상기 가이드부를 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동시키는 제1 마더블록; 및
상기 가이드부의 타단과 접촉 가능하도록 상기 가이드부의 타단측과 인접하여 배치되며, 상기 가이드부를 고정하거나 이동시키는 제2 마더블록;을 포함하고,
상기 제1 돌기는 상기 제1 프레임에 대하여 상기 제1 방향으로 슬라이딩 가능하도록 형성되는, 증착 방법.
제 12항에 있어서,
상기 마그넷 서포터는 상기 자성체가 안착되는 제1 홈을 구비하는, 증착 방법.
제 12항에 있어서,
상기 제1 개구는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 상이한 제3 방향으로 형성되는, 증착 방법
제 12항에 있어서,
상기 가이드부는 상기 마그넷 서포터가 안착되는 제2 홈을 더 구비하며,
상기 제2 홈은 상기 마그넷 서포터의 너비보다 큰 너비를 갖도록 형성되는, 증착 방법.
제 12항 또는 제 15항에 있어서,
상기 제2 방향으로 연장 형성되는 제2 프레임을 더 구비하고,
상기 가이드부는 상기 제2 프레임에 수용되어 상기 제2 프레임에 대하여 상기 제2 방향으로 슬라이딩 가능하도록 형성되는 제2 돌기를 더 구비하는, 증착 방법.
제 12항에 있어서,
리니어 모터, 스텝 모터 및 서보 모터 중 적어도 하나를 포함하는 구동부를 더 포함하고,
상기 구동부는 상기 제1 마더블록 및 상기 제2 마더블록 중 하나 이상에 연결되어 상기 제1 마더블록 및 상기 제2 마더블록 중 하나 이상을 이동시키는, 증착 방법.
제 12항에 있어서,
상기 제2 마더블록은 상기 가이드부의 상기 타단을 탄성력으로 지지하는 탄성체를 구비하는, 증착 방법.
제 12항에 있어서,
상기 가이드부가 제2 방향으로 이동할 때 상기 마그넷 서포터는 제1 방향으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는, 마그넷 플레이트 조립체.
제 11항에 있어서,
상기 챔버 내에서 기판의 일면에 마스크를 배치하는 단계와 상기 기판의 타면 방향에 마그넷 플레이트 조립체를 배치하는 단계 사이에,
쿨플레이트가 상기 마그넷 플레이트 조립체와 상기 기판이 접촉하는 면의 방향으로 이동하여 상기 기판을 가압하는 단계를 더 포함하는, 증착 방법.