KR20160006092A - Coating apparatus and method to improve a coating apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 도포 대상물의 이송 기능을 구비하여, 설비를 공간 절약화하는 것이 가능함과 아울러, 설비의 레이아웃 변경 등으로 이전할 때에도, 비용 상승을 초래하지 않는 도포 장치 및 그 개량 방법에 관한 것이다.An object of the present invention is to provide a coating apparatus and a method of improving a coating apparatus which are equipped with a transporting function of an object to be coated,
도포액을 도포하는 노즐과 도포 대상물이 상대적으로 이동하면서 도포 대상물에 도포액을 도포하는 도포 장치로서, 예를 들면, 특허 문헌 1이 알려져 있다. 특허 문헌 1의 「도포 장치 및 도포 방법, 및 칼라 필터 제조 장치 및 제조 방법」은, 도포액을 토출하는 토출구를 가지는 도포기를 테이블 상에 유지된 기판의 도포 위치로 이동시키면서, 해당 도포기로부터 도포액을 토출하는 것에 의해, 기판 표면에 도막을 형성하는 도포 방법에 있어서, 상기 테이블은 복수의 기판을 서로 겹치지 않고 유지할 수 있는 것이며, 해당 테이블 상의 임의의 기판 유지 위치에 재치(載置)된 기판에 도막을 형성하는 동안에, 다른 기판 유지 위치에서는 기판의 배출 및/또는 기판의 재치를 행하도록 하고 있다.
특히, 테이블로 기판을 반입하고, 테이블로부터 기판을 반출하는 이재(移載, 전달) 장치(로봇)가, 테이블이 설치되어 있는 베이스에 대해서, 기판 반송 방향 상류측 및 하류측에 설치되어 있다. Particularly, a transfer device (robot) for carrying a substrate into a table and carrying the substrate out of the table is provided on the upstream side and the downstream side in the substrate transport direction with respect to the base on which the table is mounted.
배경 기술에서는, 도포 장치와, 기판의 반입, 반출을 행하는 로봇 등의 이재 장치가, 별개로 설치되어 있었다. 이 때문에, 도포 장치 및 이재 장치 쌍방을 설치할 수 있는 넓은 스페이스가 필요했었다. 또, 설비의 레이아웃 변경이나 설비의 이전 등을 함에 있어서, 공장 등의 스페이스가 좁은 등의 이유에 의해, 도포 장치와 이재 장치를, 원하는 위치에 설치할 수 없을 우려가 있어, 기존의 이재 장치를 이용하여 도포 장치에 대해 기판의 반입, 반출을 행할 수 없는 경우에는, 이재 장치를 새롭게 구입하거나 제작해야 하기 때문에, 비용이 상승하게 되어 버린다고 하는 과제가 있었다. In the background art, a coating apparatus and a transfer apparatus such as a robot for carrying in and carrying out a substrate are provided separately. Therefore, it has been necessary to provide a large space in which both the application device and the transfer device can be installed. In addition, there is a possibility that the application device and the transfer device can not be installed at a desired position due to a reason such as a space of a factory or the like being small in the layout change of the facility or transfer of the facility, If the substrate can not be carried in or out of the application device, the transfer device must be newly purchased or manufactured, which leads to an increase in cost.
본 발명은 상기 종래의 과제를 감안하여 창안된 것으로서, 도포 대상물의 이송 기능을 구비하여, 설비를 공간 절약화하는 것이 가능함과 아울러, 설비의 레이아웃 변경 등으로 이전할 때에도, 비용 상승을 초래하지 않는 도포 장치 및 그 개량 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and it is an object of the present invention to provide a transfer function of an object to be coated so as to save space in facilities, And an object of the present invention is to provide a coating apparatus and a method of improving the same.
본 발명에 관한 도포 장치는, 도포액을 토출하는 노즐을 가지는 노즐 유닛과 테이블에 재치(載置)된 도포 대상물이 상대적으로 이동되며, 해당 노즐로부터 토출되는 도포액을 도포 대상물에 도포하도록 한 도포 장치로서, 도포 대상물을 지지하면서 상기 테이블로 이송하는 지지 암이, 상기 노즐 유닛에 마련되는 것을 특징으로 한다. A coating device according to the present invention is a coating device in which a nozzle unit having a nozzle for discharging a coating liquid and an object to be coated placed on the table are relatively moved and a coating liquid discharged from the nozzle is applied to an object to be coated As the apparatus, a support arm for supporting the object to be coated and being transferred to the table is provided in the nozzle unit.
상기 테이블은, 도포 대상물을 지지하여 승강할 수 있는 리프트 핀을 구비하고, 상기 지지 암은, 상기 리프트 핀에 의해 상승된 상태의 도포 대상물의 하부로 들어가고, 해당 리프트 핀이 강하되는 것에 의해 도포 대상물을 지지하며, 상기 리프트 핀은, 상승하는 것에 의해, 상기 지지 암에 지지된 상태의 도포 대상물을 들어 올려 지지하는 것을 특징으로 한다. The table is provided with a lift pin capable of lifting and lowering by supporting the object to be coated. The support arm enters the lower portion of the object to be coated, which is raised by the lift pin, and the lift pin is lowered, And the lift pin lifts up the object to be coated in a state of being supported by the support arm by lifting the lift pin.
상기 지지 암은, 상하 방향의 축을 중심으로, 상기 리프트 핀에 지지된 도포 대상물을 지지할 수 있는 지지 위치와, 해당 리프트 핀에 지지된 도포 대상물로부터 퇴피되는 퇴피 위치와의 사이에서 수평 방향으로 선회되는 것을 특징으로 한다. Wherein the support arm includes a support arm which is rotatable about a vertical axis in a horizontal direction between a support position capable of supporting an object supported by the lift pin and a retreat position retracted from the object supported by the lift pin, .
본 발명에 관한 도포 장치의 개량 방법은, 도포액을 토출하는 노즐을 가지는 노즐 유닛과, 테이블에 재치된 도포 대상물이 상대적으로 이동되며, 해당 노즐로부터 토출되는 도포액을 도포 대상물에 도포하도록 한 기존의 도포 장치의 해당 노즐 유닛에, 도포 대상물을 지지하면서 상기 테이블로 이송하는 지지 암을 추가적으로 부착하는 공정을 포함하여, 해당 기존의 도포 장치를 개량하도록 한 것을 특징으로 한다. A method for improving a coating device according to the present invention is a method for improving a coating device comprising a nozzle unit having a nozzle for discharging a coating liquid and a nozzle unit for applying a coating liquid dispensed from the nozzle, And a step of additionally attaching a support arm to be transferred to the table while supporting the object to be coated, on the nozzle unit of the application device of the applicator of the present invention.
본 발명에 관한 도포 장치 및 그 개량 방법으로서는, 도포 대상물의 이송 기능을 구비하여, 설비를 공간 절약화할 수 있음과 아울러, 설비의 레이아웃 변경 등으로 이전할 때에도, 비용 상승을 방지할 수 있다. As a coating device and its improving method according to the present invention, it is possible to save a space of a facility by providing a transporting function of an object to be coated, and to prevent an increase in cost even when transferring to a layout change of the facility.
도 1은 본 발명에 관한 도포 장치 및 그 개량 방법의 바람직한 일 실시 형태를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 도포 장치에 채용되는 암 본체의 요부 확대 사시도이다.
도 3은 도 1에 나타낸 도포 장치의 동작의 전반(前半)을 나타내는 도면으로서, 도 3의 (a) ~ (i)는 제1 동작 내지 제9 동작까지를, 정면측으로부터 본 모식도이다.
도 4는 도 1에 나타낸 도포 장치의 동작의 후반(後半)을 나타내는 도면으로서, 도 4의 (j) ~ (r)은 제10 동작 내지 제18 동작까지를, 정면측으로부터 본 모식도이다.
도 5는 도 1에 나타낸 도포 장치의 동작을 나타내는 도면으로서, 도 5의 (a) ~ (e)는 각각, 도 3 중, A 화살표로부터, B 화살표로부터, C 화살표로부터, D 화살표로부터, 및 E 화살표로부터 상태를 나타내는 도면이다.
도 6은 도 1에 나타낸 도포 장치에 채용되는 암 유닛과 대비하여, 변형예에 관한 암 유닛을 나타내는 도면으로서, 도 6의 (a)는 도 1의 실시 형태의 암 유닛의 동작을, 도 6의 (b)는 변형예에 관한 암 유닛의 동작을, 도 6의 (c)는 다른 변형예에 관한 암 유닛의 동작을 나타내는 평면도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a perspective view showing a preferred embodiment of a coating apparatus and its improving method according to the present invention. Fig.
2 is an enlarged perspective view of a main portion of the arm body employed in the coating apparatus shown in Fig.
Fig. 3 is a diagram showing the first half of the operation of the coating apparatus shown in Fig. 1. Figs. 3 (a) to 3 (i) are schematic views of the first to ninth operations from the front side.
Fig. 4 is a diagram showing the second half of the operation of the coating apparatus shown in Fig. 1, and Figs. 4 (j) to 4 (r) are schematic views of the tenth to eighteen operations from the front side.
Fig. 5 is a view showing the operation of the coating apparatus shown in Fig. 1, wherein (a) to (e) of Fig. 5 each show, from arrow A, arrow B, arrow C, arrow D, E Fig.
Fig. 6 is a view showing the arm unit according to the modified example in comparison with the arm unit employed in the coating apparatus shown in Fig. 1. Fig. 6 (a) shows the operation of the arm unit in the embodiment of Fig. 1, FIG. 6B is a plan view showing the operation of the arm unit according to the modified example, and FIG. 6C is a plan view showing the operation of the arm unit according to another modified example.
이하에, 본 발명에 관한 도포 장치 및 그 개량 방법의 바람직한 일 실시 형태를, 첨부 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 도 1은, 본 실시 형태에 관한 도포 장치(예를 들면, '테이블 코터(table coater, 일본국등록상표)' 등 이라고 칭해짐)를 나타내는 사시도이다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a coating apparatus and a method for improving the coating apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Fig. 1 is a perspective view showing a coating apparatus (referred to as a 'table coater', for example) in the present embodiment.
본 실시 형태에 관한 도포 장치(1)는 개략적으로는, 도포액을 토출하는 노즐(7)을 가지는 노즐 유닛과, 테이블(4)에 재치(載置)된 도포 대상물인 기판(3)이 상대적으로 이동되며, 노즐(7)로부터 토출되는 도포액을 기판(3)에 도포하도록 한 도포 장치(1)로서, 기판(3)을 도포 장치(1) 외부로부터 테이블(4) 근처까지 반송하는 외부 반송 장치(14)(도 3 및 도 4에 도시)와 테이블(4)과의 사이에서 기판(3)을 지지하면서 이송하는 지지 암(10)이, 노즐 유닛에 마련된다. The
외부 반송 장치(14)는, 소정 위치로 반송된 기판(3)을 지지하여 승강할 수 있는 외부 리프트 핀(14b)을 구비하고, 테이블(4)은, 기판(3)을 지지하여 승강할 수 있는 리프트 핀(4b)을 구비하며, 지지암(10)은, 외부 리프트 핀(14b) 및 리프트 핀(4b) 중 어느 일방에 의해 상승된 상태의 기판(3)의 하부로 들어가고, 외부 리프트 핀(14b) 및 리프트 핀(4b) 중 어느 일방이 강하(降下)되는 것에 의해 기판(3)을 지지하며, 외부 리프트 핀(14b) 및 리프트 핀(4b) 중 어느 일방은, 상승하는 것에 의해, 지지 암(10)에 지지된 상태의 기판(3)을 들어 올려 지지하도록 되어 있다. The
테이블(4)에 재치된 기판(3)에 대해서 노즐 유닛이 이동되는 것에 의해, 노즐 유닛과 기판(3)과의 상대적인 이동이 행해진다. 지지 암(10)은, 상하 방향의 축을 중심으로, 외부 리프트 핀(14b) 및 리프트 핀(4b) 중 어느 일방에 지지된 기판(3)을 지지할 수 있는 지지 위치와, 외부 리프트 핀(14b) 및 리프트 핀(4b) 중 어느 일방에 지지된 기판(3)으로부터 퇴피(退避)되는 퇴피 위치와의 사이에서 수평 방향으로 선회된다. The nozzle unit is moved relative to the
본 실시 형태에 관한 도포 장치(1)는 예를 들면, 기대(基台, 2) 상에 마련되며, 도포액의 도포 대상물로서의 판 모양을 이루는 기판(3)이 재치되는 평면에서 보았을 때 장방형 모양의 테이블(4)과, 기대(2) 상에 마련되며, 테이블(4)의 한 쌍의 평행한 가장자리를 따라서 마련된 한 쌍의 레일(5)과, 한 쌍의 레일(5)을 따라 이동 가능한 이동체(6)와, 이동체(6)에 마련되며, 기판(3)에 도포하는 도포액을 토출 가능한 노즐(7)을 구비한다. 기판(3)은, 테이블(4)보다 면적이 작은 장방형 모양으로 형성되며, 테이블(4) 상에 재치되었을 때에는, 기판(3)의 전체가 테이블(4) 상에 배치된다. The
테이블(4)은, 기판(3)보다 넓은 면적을 가지며, 상면은 고정밀도의 수평면으로 형성된다. 테이블(4)에는, 서로 소정의 간격을 두고, 상하 방향으로 관통하는 관통공(4a)이 복수 마련된다. 관통공(4a)에는 각각, 승강할 수 있는 리프트 핀(4b)이 출몰하도록 마련된다. The table 4 has a larger area than the
리프트 핀(4b)은, 상단에서 기판(3)을 지지한다. 이 때문에, 기판(3)은, 리프트 핀(4b)에 의해 지지되어, 테이블(4)의 상부에서 상하 방향으로 이동 가능함과 아울러, 리프트 핀(4b)의 상단이, 테이블(4)의 상면보다 하부로 몰입하는 것에 의해, 테이블(4) 상에 재치된다. The
한 쌍의 레일(5)은, 기대(2) 상에, 테이블(4)을 사이에 두고 평행하게 배치된다. 레일(5)은, 장방형 모양의 테이블(4)의 장변 보다 길게 마련된다. A pair of
이동체(6)는, 각 레일(5) 상을 이동 가능하게 마련된 2개의 이동 기둥체(8)와, 2개의 이동 기둥체(8)에 걸쳐 놓여지며, 이동 기둥체(8)의 상단부끼리를 연결하는 연결 빔체(beam體, 9)로 구성된다. 이동체의 연결 빔체(9)에는, 기판(3)을 지지하면서 외부 반송 장치(14)로부터 테이블(4)로 이송하거나, 혹은, 테이블(4)로부터 외부 반송 장치(14)로 이송하는 지지 암(10)을 가지는 2개의 암 유닛(11)이 마련된다. The
연결 빔체(9)는, 레일(5)을 따르는 방향(이하, '상대 이동 방향'이라고 함)과 직교하는 방향(이하, '폭방향'이라고 함)을 따라서, 2개의 이동 기둥체(8)에 걸쳐 놓여진다. 이동체(6)는, 레일(5)을 따라서 이동하면, 연결 빔체(9)가 테이블(4)의 상면으로부터 간격을 두고, 테이블(4) 상부를 이동한다. The
2개의 암 유닛(11)은, 연결 빔체(9)에, 테이블(4)의 폭방향에서의 중앙으로부터 폭방향으로 나눈 각 위치에 1개씩 고정하여 마련된다. 2개의 암 유닛(11)의 각 지지 암(10)은, 기판(3)을 폭방향 양측으로부터 사이에 두도록 배치되며, 후술하는 돌기(10c)가 기판(3)의 아래로 들어가서 기판(3)을 지지한다. 이 때문에, 지지 암(10)은, 기판(3)을 지지할 때에, 레일(5)의 길이 방향과 평행하게, 서로 마주 향하도록 배치된다. 또, 서로 마주 향했을 때의 2개의 지지 암(10)의 간격은, 2개의 지지 암(10)이 돌기(10c)에 의해 지지한 기판(3)의 폭방향 외측에 위치하도록, 기판(3)의 폭과 거의 동일하도록 배치된다. The two
2개의 암 유닛(11)은 각각, 연결 빔체(9)에 고정되는 베이스(12)와, 베이스(12) 상에 고정되며, 구동축(13a, 도 6 참조)이 베이스(12)를 상하 방향으로 관통하여 마련된 모터(13)와, 모터(13)의 구동축에 연결되어 베이스(12)의 하측에서 수평 방향으로 선회 가능하게 마련되며, 기판(3)을 지지하는 지지 암(10)을 가지고 있다. The two
지지 암(10)은, 모터(13)의 구동축(13a)에 연결된 기단부(基端部, 10a)와, 기단부(10a)로부터 소정 방향으로 연장하여 기판(3)을 유지하는 암 본체(10b)를 가진다. 2개의 지지 암(10)은, 기단부(10a)가 모터(13)에 의해 회전 구동되어, 암 본체(10b)가 선회하고, 기판(3)을 지지할 수 있는 지지 위치(도 3의 (c) 및 도 3의 (e) 참조)와, 리프트 핀(4b) 또는 후술하는 외부 리프트 핀(14b)에 의해 지지된 기판(3)으로부터 퇴피되는 퇴피 위치(도 3의 (a), 도 3의 (b) 및 도 3의 (d) 참조)와의 사이에서 수평 방향으로 선회되도록 구성된다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 지지 위치는, 암 본체(10b)가 레일(5)을 따르는 방향으로 배치되는 위치이며, 퇴피 위치는, 암 본체(10b)가 폭 방향을 따라서 배치되는 위치이다.The
도 2는, 암 본체(10b)의 요부 확대 사시도이다. 암 본체(10b)에는, 지지 암(10)이 지지 위치로 이동했을 때에, 서로 대향하는 측을 향해 돌출하는 돌기(10c)가, 선단측과 기단부(10a)측에 마련된다. 돌기(10c)는, 암 본체(10b)의 두께(상하 방향의 폭)보다 얇게 형성됨과 아울러, 암 본체(10b)의 상면 보다도 낮은 높이 위치에 마련된다. 이것에 의해, 돌기(10c)와 암 본체(10b)와의 사이에 단차(10d)가 형성된다.Fig. 2 is an enlarged perspective view of the
기판(3)은, 지지 위치로 이동한 2개의 지지 암(10)의 돌기(10c) 상에 재치되며, 기판(3)의 가장자리가 수평 방향으로부터 단차(10d) 및 암 본체(10b)의 측면에 맞닿은 상태로 지지 암(10) 상에 지지된다The
2개의 지지 암(10)은, 퇴피 위치에서, 암 본체(10b)가 폭방향으로 서로 반대방향을 향해 테이블(4)로부터 돌출된다. 2개의 지지 암(10)은, 기판(3)을 지지할 때에는, 모터(13)가 우회전 및 좌회전으로 서로 반대 방향으로 회전하는 것에 의해, 기판(3)을 향해 근접하도록 선회된다. 이 때문에, 2개의 지지 암(10)의 암 본체(10b)는, 테이블(4)을 사이에 두고, 대칭인 형상으로 형성된다. The two support
노즐(7)은, 연결 빔체(9)의 아래에 마련된다. 노즐(7)은, 도포액을 테이블(4)에 재치된 기판(3)을 향해서 토출하도록 되어 있다. 노즐(7)은, 테이블(4)의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서, 해당 테이블(4)과 대향하도록 마련된다. 이동체(6)가 레일(5)을 따라서 이동하면서 노즐(7)로부터 도포액이 토출되면, 테이블(4)의 거의 전면(全面)에 재치된 기판(3)에 대해 도포액을 도포할 수 있다. 노즐(7)을 구비한 이동체(6)가 노즐 유닛에 상당한다. 그리고, 노즐 유닛이 테이블(4)에 대해서 상대 이동하는 것에 의해, 기판(3)에 도포액이 도포된다. A nozzle (7) is provided below the connecting beam body (9). The
상기 구성의 도포 장치(1)는, 이미 공장 등의 설비에 설치되어 있는 기존의 도포 장치를 개량하는 경우에, 해당 기존의 도포 장치의 이동체(6, 노즐 유닛에 상당)에, 상술한 바와 같이, 기판(3)을 지지하면서 테이블(4)로 이송하는 지지 암(10)을 추가적으로 부착하는 공정을 포함하는 개량 방법을 적용하는 것에 의해서도, 도포 장치(1)를 신설하는 경우와 동일하게 설비에 조립할 수 있다. The
다음으로, 본 실시 형태에 관한 도포 장치(1)의 동작에 대해서, 도 3 ~ 도 5를 이용하여 설명한다. 도 3의 (a) ~ (i)는, 도포 장치(1)의 제1 동작 내지 제9 동작까지를, 정면측으로부터 본 모식도이다. 도 4의 (j) ~ (r)은, 도포 장치(1)의 제10 동작 내지 제18 동작까지를, 정면측으로부터 본 모식도이다. 도 5의 (a) ~ (e)는 각각, 도 3에서의 A 화살표로부터, B 화살표로부터,C 화살표로부터, D 화살표로부터, 및 E 화살표로부터 본 상태를 나타내는 도면이다. Next, the operation of the
도 3의 (a) 및 도 5의 (a)에 나타내는 바와 같이, 도포 장치(1)의 이동체(6)의 이동 방향(레일(5)의 길이 방향)으로 늘어서 마련된 외부 반송 장치(14)에 의해, 기판(3)이 도포 장치(1)측의 소정 위치로 반송된다. 이 때, 지지 암(10)은, 퇴피 위치에 위치하고 있다. As shown in Figs. 3 (a) and 5 (a), in the
외부 반송 장치(14)는 예를 들면, 기판(3)을 아래로부터 지지하면서 반송하는 것이 가능한, 가느다란 복수개의 반송 벨트(14a)를, 반송 벨트(14a)끼리의 사이에 간극을 두어, 배치한 것이며, 상단에서 기판(3)을 지지하여 승강 이동이 가능한 외부 리프트 핀(14b)은, 반송 벨트(14a)끼리의 간극에 배치된다. 기판(3)은, 외부 리프트 핀(14b)에 의해 지지되어 외부 반송 장치(14)의 상부에서 상하 방향으로 이동 가능하게 된다. 외부 리프트 핀(14b)의 상단이, 외부 반송 장치(14)의 상면보다 하부로 몰입하는 것에 의해, 기판(3)은 외부 반송 장치(14) 상에 재치된다.The external conveying
기판(3)이, 도 3의 (b) 및 도 5의 (b)에 나타내는 바와 같이, 외부 리프트 핀(14b)에 의해, 지지암(10)보다도 높은 위치까지 상승되면, 지지 암(10)이 퇴피 위치인 채로, 이동체(6)는 레일(5)을 따라서 기대(2)의 외부 반송 장치(14)측의 단부까지 이동한다. When the
다음으로, 2개의 지지 암(10)은 수평 방향으로 선회하여, 도 3의 (c) 및 도 5의 (c)에 나타내는 바와 같이, 2개의 지지 암(10)끼리가 거의 평행이 되는 기판(3)의 지지 위치로 이동한다. 이것에 의해, 돌기(10c)가 기판(3)의 하부로 들어간다. Next, the two
다음으로, 도 3의 (d)에 나타내는 바와 같이, 외부 리프트 핀(14b)이 강하하여, 기판(3)이 지지 암(10) 상에 재치된다. 그 후, 도 3의 (e)에 나타내는 바와 같이, 지지 암(10)이 기판(3)을 지지한 상태로, 이동체(6)가 레일(5)을 따라서 기대(2)의 외부 반송 장치(14)측과는 반대측의 단부까지 이동한다. Next, as shown in Fig. 3 (d), the
다음으로, 도 3의 (f) 및 도 5의 (d)에 나타내는 바와 같이, 리프트 핀(4b)이 상승하고, 그 상단이 지지 암(10)보다도 높은 위치까지 상승하는 것에 의해, 기판(3)은, 지지 암(2)으로부터 리프트 핀(4b)으로 주고 받아져 지지된다3 (f) and 5 (d), the
다음으로, 도 3의 (g) 및 도 5의 (e)에 나타내는 바와 같이, 지지 암(10)이 퇴피 위치로 이동한다. 그 다음으로, 도 3의 (h)에 나타내는 바와 같이, 리프트 핀(4b)이 강하하여, 기판(3)은 테이블(4) 상에 재치된다. Next, as shown in Figs. 3 (g) and 5 (e), the
다음으로, 도 3의 (i)에 나타내는 바와 같이, 이동체(6)가 기대(2) 상에서 외부 반송 장치(14)의 반대측으로부터 외부 반송 장치(14)측을 향해 레일(5)을 따라서 이동한다(화살표 f 참조). 이 때, 테이블(4)에 재치되어 있는 기판(3)에 대해, 노즐(7)로부터 도포액을 토출하는 도막(塗膜, 3a)을 형성한다. 그 후, 도 4의 (j)에 나타내는 바와 같이, 이동체(6)가 레일(5)을 따라서 반대 방향으로 이동하여, 원래의 위치로 되돌아온다(화살표 g 참조).Next, as shown in Fig. 3 (i), the moving
이동체(6)가 원래의 위치로 되돌아온 후, 도 4의 (k)에 나타내는 바와 같이, 리프트 핀(4b)이 상승하고, 기판(3)이 리프트 핀(4b)에 의해서 지지된다. 다음으로, 2개의 지지 암(10)이 퇴피 위치로부터 지지 위치를 향해 선회한다. 도 4의 (l)에 나타내는 바와 같이, 2개의 암 본체(10b)가 거의 평행이 되는 지지 위치로 이동하면, 기판(3)의 하부로 돌기(10c)가 들어간다. 그 후, 도 4의 (m)에 나타내는 바와 같이, 리프트 핀(4b)이 강하하여, 기판(3)은 지지 암(10)의 돌기(10c) 상에 재치되어, 암 본체(10b)에 유지된다. The lift pins 4b are lifted and the
도막(3a)이 형성된 기판(3)이 지지 암(10)에 지지된 상태로, 도 4의 (n)에 나타내는 바와 같이, 이동체(6)가 레일(5)을 따라서 기대(2)의 외부 반송 장치(14)측의 단부까지 이동한다(화살표 f 참조). 이것에 의해, 기판(3)이 외부 반송 장치(14)의 상부에 위치된다. The moving
다음으로, 도 4의 (o)에 나타내는 바와 같이, 외부 리프트 핀(14b)이 지지 암(10)보다도 높은 위치까지 상승하여, 기판(3)은 지지 암(10)으로부터 외부 리프트 핀(14b)으로 주고 받아져 지지된다. 그 후, 도 4의 (p)에 나타내는 바와 같이, 지지 암(10)이 선회하여 퇴피 위치로 이동한다. 그 다음으로, 도 4의 (q)에 나타내는 바와 같이, 외부 리프트 핀(14b)이 강하하여, 기판(3)은 외부 반송 장치(14) 상에 재치된다. 4 (o), the
마지막으로, 도 4의 (r)에 나타내는 바와 같이, 외부 반송 장치(14)가 가동하여, 도막(3a)이 형성된 기판(3)이 반송됨과 아울러, 이동체(6)가 원래의 위치로 되돌아와(화살표 g 참조), 이것에 의해 일련의 공정이 종료한다. Finally, as shown in Fig. 4 (r), the
본 실시 형태에 관한 도포 장치(1) 및 그 개량 방법에서는, 기판(3)을 반송하는 외부 반송 장치(14)와 도포를 행하는 테이블(4)과의 사이에서 기판(3)을 이송하는 지지 암(10)이, 노즐(7)을 구비하는 이동체(6)에 마련되어 있다. 즉, 도포액을 도포할 때의 이동 장치와, 기판(3)을 외부 반송 장치(14)와 테이블(4)과의 사이에서 주고 받을 때의 이동 장치를 겸하고 있다. 이것에 대해, 배경 기술에서 설명한 특허 문헌 1의 「도포 장치 및 도포 방법, 및 칼라 필터 제조 장치 및 제조 방법」(일본특허공개 제2002-102771호 공보)에서는, 테이블과, 테이블로 기판을 반입하고, 테이블로부터 기판을 반출하는, 핸드를 구비한 로봇을 별개로 설치하고 있다. 별개로 설치하는 특허 문헌 1에서는, 테이블 및 로봇에 대해, 개개로 설비 스페이스를 확보할 필요가 있다. 또, 테이블 및 로봇은 각각, 개별로 장치로서 완성한 것이기 때문에, 대형인 장치가 되어 버림과 동시에, 비용이 상승하게 되어 버린다. 이것에 대해, 본 실시 형태에 관한 도포 장치(1) 및 그 개량 방법에서는, 상술한 바와 같이, 테이블(4)에 구비되는 도포용 이동체(6)에, 반송용 지지 암(10)을 조립하도록 하고 있어, 테이블과 핸드가 부착된 로봇이 별개인 특허 문헌 1과는 다르며, 도포 기능과 반송 기능을 일체화한 구성으로 하고 있다. 이 때문에, 특허 문헌 1과 같이, 각각 별개의 이동 장치 등을 구비하는 경우 보다도, 코스트를 저감할 수 있음과 아울러, 장치 그 자체를 작게 할 수 있어, 설치 스페이스도 좁게 할 수 있다. 요컨데, 본 실시 형태에 관한 도포 장치(1) 및 그 개량 방법에서는, 외부 반송 장치(14)와 테이블(4)과의 사이에서의 기판(3)의 이송 기능을 구비하여, 설비를 공간 절약화할 수 있음과 아울러, 설비의 레이 아웃 변경 등으로 이전할 때에도, 비용 상승을 방지할 수 있다. The
그리고, 본 실시 형태에 관한 도포 장치(1)의 개량 방법에 의하면, 기존의 도포 장치의 이동체(6)에, 지지 암(10) 등을 추가적으로 부착하는 공정을 포함하여, 기존의 도포 장치를 개량하도록 하고 있으므로, 이것에 의해, 기존의 도포 장치 자체, 그 자리에서 개량할 수 있는 것은 물론, 이 기존의 도포 장치를 다른 곳으로 이전했을 때에, 로봇 등의 이재 장치를 별도로 마련할 필요가 없게 되어, 필요 설치 면적을 작게 좁히는 것이 가능해진다. According to the method for improving the
또, 본 실시 형태에 관한 도포 장치(1) 및 그 개량 방법에서는, 테이블(4)이, 기판(3)을 지지하여 승강할 수 있는 리프트 핀(4b)을 구비하고, 지지 암(10)은, 그 돌기(10c)가 리프트 핀(4b)에 의해 상승된 상태의 기판(3)의 하부로 들어가, 리프트 핀(4b)이 강하되는 것에 의해 기판(3)을 지지하며, 리프트 핀(4b)은, 상승하는 것에 의해, 지지 암(10)에 지지된 상태의 기판(3)을 들어 올려 지지하도록 되어 있다. 이 때문에, 지지 암(10)에 의해 기판(3)을 상하 방향으로 이동시킬 필요가 없다. 즉, 지지 암(10)은, 기판(3)을 수평 방향으로 이송하는 것만으로 충분하며, 복잡한 동작이 요구되지는 않는다. 지지 암(10)은, 로봇과 같은 복잡한 운동 기구가 불필요한 것으로, 비용 절감을 도모할 수 있다. In the
외부 반송 장치(14)에 대해서도 마찬가지로, 기판(3)이 외부 리프트 핀(14b)에 의해 상승된 상태로, 지지 암(10)의 돌기(10c)가 기판(3)의 아래로 들어가, 외부 리프트 핀(14b)이 강하하는 것에 의해 지지 암(10)에 기판(3)이 지지되며, 또, 지지 암(10)에 지지되어 있는 기판(3)은, 외부 리프트 핀(14b)이 상승하는 것에 의해, 해당 외부 리프트 핀(14b)으로 옮겨져 지지된다. 따라서, 지지 암(10)은, 복잡한 운동 기구가 불필요하여, 비용 절감을 도모할 수 있다. The
또, 지지 암(10)은, 상하 방향의 축(구동축(13a))을 중심으로, 리프트 핀(4b)에 의해 지지된 기판(3)을 지지할 수 있는 지지 위치와, 리프트 핀(4b)에 의해 지지된 기판(3)으로부터 퇴피되는 퇴피 위치와의 사이에서 수평 방향으로 선회되므로, 간단한 기구로 기판(3)을 이송하는 것이 가능하다. The
상기 실시 형태에서는, 고정하여 설치된 테이블(4)에 재치된 기판(3)에 대해서 노즐(7)을 구비한 이동체(6)(노즐 유닛)가 이동하는 것에 의해, 노즐(7)과 기판(3)과의 상대 이동이 행해지는 예에 대해 설명했지만, 노즐(7)이 고정되고, 기판(3)이 재치되는 테이블(4)이 이동하는 구성이라도 괜찮다. The moving body 6 (nozzle unit) provided with the
상기 실시 형태에서는, 이동체(6)에 근접하는 위치에, 지지 암(10)을 구동하는 모터(13)의 구동축(13a)을 마련하는 경우에 대해 설명했지만, 이것으로 한정하는 것은 아니다. 도 6에는, 상기 실시 형태의 암 유닛(11)의 구성(도 6의 (a) 참조)과 대비하여, 변형예에 관한 암 유닛(11)의 구성(도 6의 (b) 참조)이 나타내어져 있다. In the above embodiment, the case where the
도 6의 (b)에 나타내는 바와 같이, 도 1에 나타낸 폭방향에 관해, 구동축(13a)을 이동체(6)의 중앙측에 가까이 함과 아울러, 해당 구동축(13a)을, 이동체(6)로부터 지지 암(10)이 선회하는 측으로 돌출시킨 베이스(12)의 선단측에 마련하는 것에 의해, 이동체(6)로부터 이격시켜 배치하고, 또, 지지 암(10)을 L자 모양으로 형성하는 것에 의해서, 지지 암(10)의 선회 범위를 좁히는 것이 가능하다. 이것에 의해, 지지 암(10)의 퇴피 위치에서의 폭 치수 W2를, 도 6의 (a)에 나타낸 상기 실시 형태의 지지 암(10)의 퇴피 위치에서의 폭 치수 W1 보다도 작게 하는 것이 가능하다. 이것에 의해, 더 공간 절약화를 달성할 수 있다. The
또, 2개의 지지 암(10)은, 반드시 선회 운동시키지 않아도 좋다. 도 6의 (c)에는, 암 유닛의 구성에 대해서, 다른 변형예가 나타내어져 있다. 구체적으로는, 2개의 지지암(10)이 기판(3)을 지지하는 것이 가능한 평행 상태를 유지한 채로, 도 1에 나타낸 폭방향으로 슬라이드 이동 가능하게 되며, 이동체(6)를 따라서 슬라이드 이동되어 돌기(10c)가 기판(3)의 아래로 들어가는 지지 위치와, 돌기(10c)가 기판(3)의 아래로부터 벗어난 퇴피 위치와의 사이에서 이동되는 구성으로 해도 좋다. In addition, the two
기판(3)을 도포 장치(1) 외부로부터 테이블(4) 근처까지 반송하는 외부 반송 장치(14)는, 상술한 실시 형태의 예에 한정하지 않고, 기판(3)을 도포 장치(1)에 구비한 지지 암(10)에 건네 받을 수 있는 것이면, 어떠한 것이라도 괜찮고, 반송용 로봇으로 반송하여 건네 받음을 행하여도, 작업원이 반송하여 건네 받음을 행하여도 괜찮다. The
1 : 도포 장치
2 : 기대
3 : 기판
3a : 도막
4 : 테이블
4a : 관통공
4b : 리프트 핀
5 : 레일
6 : 이동체
7 : 노즐
8 : 이동 기둥체
9 : 연결 빔체
10 : 지지 암
10a : 기단부
10b : 암 본체
10c : 돌기
10d : 단차
11 : 암 유닛
12 : 베이스
13 : 모터
13a : 구동축
14 : 외부 반송 장치
14a : 반송 벨트
14b : 외부 리프트 핀1: Coating device 2: Expectation
3:
4: Table 4a: Through-hole
4b: Lift pin 5: Rail
6: moving body 7: nozzle
8: movable column body 9: connecting beam body
10:
10b:
10d: step 11: arm unit
12: base 13: motor
13a: drive shaft 14: external carrier
14a:
Claims (4)
도포 대상물을 지지하면서 상기 테이블로 이송하는 지지 암이, 상기 노즐 유닛에 마련되는 것을 특징으로 하는 도포 장치.A coating unit for coating a coating liquid discharged from the nozzle relative to a coating object placed on a table, the coating unit comprising: a nozzle unit having a nozzle for discharging a coating liquid;
Wherein a support arm for supporting the object to be coated and transferring the object to the table is provided in the nozzle unit.
상기 테이블은, 도포 대상물을 지지하여 승강할 수 있는 리프트 핀을 구비하고,
상기 지지 암은, 상기 리프트 핀에 의해 상승된 상태의 도포 대상물의 하부로 들어가고, 해당 리프트 핀이 강하(降下)되는 것에 의해 도포 대상물을 지지하며,
상기 리프트 핀은, 상승하는 것에 의해, 상기 지지 암에 지지된 상태의 도포 대상물을 들어 올려 지지하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.The method according to claim 1,
The table is provided with a lift pin capable of supporting and lifting the object to be coated,
The support arm supports the object to be coated by being lowered by the lift pin and lowered by the lift pin,
Wherein the lift pin lifts up the object to be coated in a state of being supported by the support arm by lifting up the lift pin.
상기 지지 암은, 상하 방향의 축을 중심으로, 상기 리프트 핀에 지지된 도포 대상물을 지지할 수 있는 지지 위치와, 해당 리프트 핀에 지지된 도포 대상물로부터 퇴피(退避)되는 퇴피 위치와의 사이에서 수평 방향으로 선회(旋回)되는 것을 특징으로 하는 도포 장치.The method according to claim 1 or 2,
The support arm includes a support arm for supporting a support object supported by the lift pin and a retracted position retracted from the object to be coated supported by the lift pin, (Swirling) in the direction of the arrow.
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