KR20150056805A

KR20150056805A - 음향 포트 폐색을 이용한 장치 검사

Info

Publication number: KR20150056805A
Application number: KR1020157009124A
Authority: KR
Inventors: 앤드류 제이. 돌러; 데이브 프라브릭
Original assignee: 로베르트 보쉬 게엠베하
Priority date: 2012-09-14
Filing date: 2013-09-12
Publication date: 2015-05-27
Also published as: TW201414321A; US9326080B2; CN104620605A; DE112013004483T5; WO2014043358A1; US20140079229A1; MY174974A; CN104620605B; TWI609590B; KR102062197B1

Abstract

마이크로폰 패키지를 위해 비음향 노이즈를 측정하는 것을 포함한, 마이크로폰 패키지를 검사하기 위한 방법 및 시스템에 대해 교시한다. 패키지 위치결정기는 마이크로폰 패키지의 음향 입력 포트가 플러그와 정렬될 수 있도록 마이크로폰 패키지를 유지시킨다. 작동기는 플러그를 마이크로폰 패키지에 대해 이동시키되, 플러그가 마이크로폰 패키지의 음향 입력 포트를 폐색하지 않는 제1 위치와 플러그가 음향 입력 포트를 폐색해서 음압이 음향 입력 포트를 통해서 마이크로폰 패키지 안으로 들어가지 못하게 되는 제2 위치 사이에서 이동시킨다. 제어기는 마이크로폰 패키지의 출력을 모니터하며, 또한 플러그가 제2 위치에 있을 때에는 마이크로폰 패키지의 출력을 격리된 비음향 노이즈를 나타내는 것으로 인식한다.

Description

음향 포트 폐색을 이용한 장치 검사{DEVICE TESTING USING ACOUSTIC PORT OBSTRUCTION}

관련 출원

본 출원은 발명의 명칭이 “음향 포트 폐색을 이용한 노이즈 제어 및 측정(NOISE CONTROL AND MEASUREMENT USING ACOUSTIC PORT OBSTRUCTION)”인 2013년 9월 14일 출원된 미국 가특허 출원 61/701,040호의 우선권을 주장하는 출원으로, 상기 가특허 출원의 전체 내용은 본 명세서에 참조로 포함된다.

기술 분야

본 발명은 마이크로폰 성능을 검사하기 위한 방법 및 시스템에 관한 것이다.

일 실시예에 있어서, 본 발명은 플러그(plug)를 포함하는 검사 장치를 사용하여 마이크로폰 패키지를 검사하는 방법을 제공한다. 마이크로폰 패키지는 검사 장치 위에 놓이는데, 마이크로폰 패키지의 음향 입력 포트가 검사 장치의 플러그와 정렬되도록 해서 놓인다. 플러그는, 음향 입력 포트가 상기 플러그에 의해 폐색되지 않는 제1 위치와 상기 플러그가 음향 입력 포트를 폐색해서 음압(acoustic pressure)이 음향 입력 포트를 통해서 마이크로폰 패키지 안으로 들어가지 못하게 되는 제2 위치 사이에서, 마이크로폰 패키지에 대해 제어 가능하게 이동된다. 이어서 플러그가 제2 위치에 있는 동안에 마이크로폰 패키지의 출력이 분석된다.

몇몇 실시예에서는, 마이크로폰 패키지를 정지 상태로 유지시킨 채로 플러그를 제어 가능하게 상승 및 하강시킴으로써, 플러그가 마이크로폰 패키지에 대해 제어 가능하게 이동된다. 다른 실시예에서는, 플러그를 정지 상태로 유지시킨 채로 마이크로폰 패키지를 제어 가능하게 상승 및 하강시킴으로써, 플러그가 마이크로폰 패키지에 대해 제어 가능하게 이동된다.

또 다른 실시예에 있어서, 본 발명은 마이크로폰 패키지를 위해 비음향 노이즈(non-acoustic noise)를 측정하기 위한 검사 장치를 제공한다. 이 검사 장치는 플러그, 패키지 위치결정기(package positioner), 작동기(actuator), 및 제어기를 포함한다. 패키지 위치결정기는 마이크로폰 패키지의 음향 입력 포트가 플러그와 정렬될 수 있도록 마이크로폰 패키지를 유지시킨다. 작동기는 플러그를 마이크로폰 패키지에 대해 이동시키되, 플러그가 마이크로폰 패키지의 음향 입력 포트를 폐색하지 않는 제1 위치와 플러그가 음향 입력 포트를 폐색해서 음압이 음향 입력 포트를 통해서 마이크로폰 패키지 안으로 들어가지 못하게 되는 제2 위치 사이에서 이동시킨다. 제어기는 마이크로폰 패키지의 출력을 모니터하도록 구성되며 또한 플러그가 제2 위치에 있을 때에는 마이크로폰 패키지의 출력을 격리된 비음향 노이즈(isolated non-acoustic noise)를 나타내는 것으로 인식하도록 구성된다.

다음의 상세한 설명과 첨부된 도면을 고찰하면 본 발명의 다른 태양들도 명백해질 것이다.

도 1a는 피검사 장치(DUT: device under test)와, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치를 제1 위치에서 도시한 횡단면도이다.
도 1b는 도 1a의 검사 장치를 제2 위치에서 도시한 횡단면도이다.
도 2는 도 1a의 검사 장치를 사용하여 마이크로폰을 검사하는 방법의 플로우차트이다.
도 3은 도 1a의 검사 장치를 위한 제어 시스템의 개략도이다.
도 4a는 DUT와, 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사 장치를 제1 위치에서 도시한 횡단면도이다.
도 4b는 도 4a의 검사 장치를 제2 위치에서 도시한 횡단면도이다.
도 5는 포트가 바닥에 형성된 DUT와, 정사각형 플러그를 구비한 검사 장치의 횡단면도이다.
도 6은 포트가 상부에 형성된 DUT와, 정사각형 플러그를 구비한 검사 장치의 횡단면도이다.
도 7은 포트가 바닥에 형성된 DUT와, 둥근 플러그를 구비한 검사 장치의 횡단면도이다.
도 8은 포트가 상부에 형성된 DUT와, 둥근 플러그를 구비한 검사 장치의 횡단면도이다.
도 9는 포트가 바닥에 형성된 DUT와, 자체적으로 중심을 맞추는 원추형 플러그(self-centering conical plug)를 구비한 검사 장치의 횡단면도이다.
도 10은 포트가 상부에 형성된 DUT와, 자체적으로 중심을 맞추는 원추형 플러그를 구비한 검사 장치의 횡단면도이다.

본 발명의 임의의 실시예들을 상세하게 설명하기에 앞서 주지할 점은, 본 발명은 그 응용에 있어서 다음의 상세한 설명에 기재되고 도면에 예시된 구성 요소들의 구성 및 배열의 세부 사항들로 제한되지 않는다는 것이다. 본 발명은 다른 실시예로도 가능하며 여러 가지 방식으로 실시하거나 실행하는 것도 가능하다.

도 1a는 MEMS 마이크로폰 패키지(100)의 한 예를 예시한다. 이 실시예에서의 MEMS 마이크로폰 패키지는 리드(101)와, 기판(105) 위에 장착된 MEMS 마이크로폰 다이(103)를 포함한다. MEMS 마이크로폰 다이(103)를 하우징하는 공동(cavity)이 형성되도록 리드(101)에 기판(105)이 부착된다. 음향 포트 개구(107)가 기판(105)을 관통하여 형성된다. MEMS 마이크로폰 다이(103)가 음향 포트 개구(107)에 인접하게 장착되고, 이에 따라 음압(즉, 소리)이 음향 포트 개구(107)를 통해 마이크로폰 패키지(100) 안으로 들어가서 마이크로폰 다이(103)와 상호 작용하게 된다. 마이크로폰 다이(103)와 부속된 전자 기기(도시되지 않음)가 음압의 전자적 표시(electronic representation)를 출력한다.

마이크로폰 패키지(100)와 같은 마이크로폰 패키지는 규정된 기준에 따른 성능을 발휘하는지를 확인하기 위해 검사를 종종 해야 한다. 음향 포트(107)를 통해 음향 공동에 진입하는 실제 음향에 무관하지만, 마이크로폰의 성능에 영향을 미치는 노이즈, 예로서, 마이크로폰 패키지에 통합되어 있는 전자 기기들에 의해 야기되는 전자기 노이즈/간섭을 식별하고, 격리시키고, 궁극적으로는 제어함으로써 마이크로폰 패키지(100)의 작동이 향상될 수 있다.

도 1a는 마이크로폰 패키지의 음향 포트(107)를 플러그로 막음으로써 노이즈 격리를 달성하는 검사 장치(110)의 한 예를 예시하고 있다. 음향 포트(107)를 플러그로 막아서 음압이 음향 포트(107)를 진입하는 것이 방지된 상태에서, 마이크로폰 패키지(100)의 출력을 분석해서 마이크로폰 패키지(100)의 출력 신호에 영향을 미치는 비음향 “노이즈”를 식별하고 완화시킬 수 있다. 검사 장치(110)는 기부(111), 다수의 지지부(113), 및 플러그(115)를 포함한다. 플러그(115)는 이 실시예에서는 고무로 구성된다. 그러나 다른 실시예에서는 예를 들어 코르크와 같은 대체 가능한 재료를 사용하여 플러그(115)를 구성할 수 있다. 마이크로폰 패키지인 피검사 장치(DUT)(100)는 음향 포트 개구(107)가 플러그(115)와 정렬되도록 해서 지지부(113) 위에 위치된다. DUT(100)를 포함한 전체 검사 장치(110)는 DUT(100)에 가해지는 소리를 더 제한하고 통제하는 데 사용될 수 있는 검사 챔버 내측에 위치된다.

도 2는 DUT(100)를 음향학적으로 격리하기 위해 검사 장치(110)를 사용하는 방법을 예시하는 것이다. DUT(100)를 검사 챔버 내에서 검사 플랫폼 위에 배치한다(단계 201). DUT(100)의 음향 포트 개구(107)와 플러그(115)를 정렬시킨다. 몇몇 실시예에서는, DUT 수용 플랫폼(도시되지 않음)을 지지부(113)의 상부에 위치시킨다. DUT 수용 플랫폼(또는 “패키지 위치결정기”)은 DUT(100)를 수용해서 DUT(100)를 적합한 정렬 위치에 유지시킬 수 있도록 구성된 홈이 형성된 표면(recessed surface)을 포함한다.

DUT(100)를 검사 플랫폼 위에 배치시킨 후에, DUT(100) 및/또는 플러그(115)를 서로에 대해 이동시켜서 플러그(115)가 음향 입력 포트(107)를 폐색시킬 수 있게 한다(단계 203). 아래에서 더 상세하게 설명하는 바와 같이, 플러그(115)는, 사용되는 플러그의 유형에 따라, 밀봉이 형성될 때까지 음향 입력 포트(107) 안으로 완전히 혹은 부분적으로 삽입되거나, 전체 음향 입력 포트(107)가 플러그(115)에 의해 덮이도록 DUT(100)의 기부(105)의 바닥면과 접촉하게 해서 배치될 수 있다. 플러그(115)를 제 위치로 이동시킨 후, 마이크로폰 패키지(100)의 올바른 성능을 보장하기 위해 검사 루틴을 적용한다(단계 205). 검사 루틴은, 예를 들면, 마이크로폰 패키지에 음압을 인가하는 것과, 마이크로폰 패키지(100)의 출력에 영향을 미치는 비음향 노이즈를 확인하고 제어할 수 있도록 음향 입력 포트(107)를 플러그로 막고 있는 동안에 응답을 분석하거나 마이크로폰 패키지의 출력을 모니터하는 것을 포함한다.

이제 다시 도 1a를 참조하면, 플러그(115)는 DUT(100) 아래의 제1 위치에 있는 것으로 도시되어 있다. 이 위치에 있을 때, 음압(120)(즉, 음파)이 음향 포트 개구(107) 안으로 들어 갈 수 있는데, 상기 음향 포트 개구에서 음압은 마이크로폰 다이(103)에 의해 검출된다. 도 1b에 도시된 바와 같이, DUT(100)가 정지 상태에 유지되고 있는 중에 플러그(115)가 DUT(100)에 대해 상승된다. 플러그(115)는 음향 입력 포트(107)가 폐색되고 음압(120)이 음향 포트 개구(107)를 통해 들어갈 수 없게 될 때까지 상승된다.

도 1a 및 도 1b의 시스템은 마이크로폰 패키지의 음향 포트를 폐색시키기 위해 작업자가 플러그를 수동으로 상승시키는 기계식 장치로 구현될 수 있다. 상기 시스템은 또한 자동 검사 라인의 일부로도 구현될 수 있다. 이러한 자동 시스템의 일부로서, 마이크로폰 패키지는 음향 검사 공동 내측에서 패키지 위치결정기 위에 자동으로 배치되며, 플러그는 검사 프로토콜이 시작되기 전에 자동으로 상승된다. 도 3은 이런 자동 시스템의 한 예를 예시한다. 제어기(301)는 검사 시스템의 작동을 제어한다. 이 실시예에서, 제어기(301)는 메모리(303)에 저장된 지시들을 실행할 수 있는 마이크로프로세서를 포함한다. 그렇지만 대안적인 구성으로서, 예를 들어 특정용도 집적회로(ASIC: application specific integrated circuit)를 포함하는 다수의 다른 방식의 제어기로 구현될 수도 있다.

제어기(301)는 플러그(115)를 검사 장치(110)의 기부(111)에 대해 상승 및 하강시키는 작동기(305)에 결합된다. 작동기(305)는 일례로 제어 가능한 유압 또는 공압 밸브 시스템을 포함할 수 있다. 제어기(301)는 마이크로폰(309)의 출력부에도 결합된다. 음향 입력 포트(107)가 폐색되어 있는 동안, 음압이 마이크로폰에 작용하지 않고 그렇기 때문에 마이크로폰의 출력 신호는 비음향 노이즈를 더욱 직접적으로 나타내게 된다는 점에서, 비음향 노이즈는 “격리(isolated)”된다.

일부 구성에서, 제어기(301)는, 검사 챔버 내의 마이크로폰 패키지(100)의 외부에 음압을 가하는 데 사용되는 음향 발생원(acoustic source)(307)에도 결합된다. 이렇게 해서 검사 장치(110)가 마이크로폰(100)의 출력을 모니터하고, 마이크로폰의 출력이 음향 발생원으로부터 나와서 가해진 소리에 대한 적절한 응답인지 여부를 확인한다.

위에서 논의한 바와 같이, 검사 장치(110)는 제어 가능하게 이동 가능한 플러그, 즉 플러그가 DUT(100)의 음향 입력 포트(107)를 적절하게 폐색시킬 때까지 DUT(100)에 대해 상승할 수 있는, 제어 가능하게 이동 가능한 플러그를 포함한다. 그렇지만 이와 다른 구성으로서, DUT가 제 위치로 이동하는 동안에 플러그는 정지 상태를 유지하게 할 수도 있다. 도 4a는 이와 같은 예를 예시하고 있다. DUT(100)는 도 1a의 예에서의 DUT(100)와 동일하다. 검사 장치(410)는 기부(411), 다수의 지지부(413), 및 플러그(415)를 포함한다. 플러그(415)는 정지형이고, 기부에 대해 이동하지 못한다. 그러나 지지부(413) 각각은, 지지부(413)의 상부에 위치된 DUT(100)를 제어 가능하게 낮출 수 있게 움츠림 가능한 포고 핀(pogo pin)을 포함한다.

도 4a는 DUT(100)가 제1 위치에 있는 검사 장치(410)를 예시하고 있다. 이 위치에 있을 때에, 플러그(415)가 음향 입력 포트(107)를 폐색하지 않아서, 음압(420)이 음향 입력 포트(107)를 통하여 마이크로폰 패키지(100) 안으로 들어간다. 그러나 도 4b에 도시된 바와 같이 지지부(413)가 움츠려져서 DUT(100)가 제2 위치로 낮추어졌을 때에는, 플러그(415)가 음향 입력 포트(107)를 폐색시키게 되어, 음압(420)이 음향 입력 포트(107)를 통해 마이크로폰 패키지(100) 안으로 들어가지 못하게 된다.

도 4a 및 도 4b의 검사 장치는 수동으로 제어하거나, 혹은 도 3에 도시된 것과 같은 제어 시스템을 사용하여 제어할 수 있다. 그러나 검사 장치(410)에 있어서는, DUT(100)를 플러그(415)에 대해 제어 가능하게 상승 및 하강시키기 위해 작동기(305)가 지지부(413)의 포고 핀의 수축(움츠림) 및 신장을 제어한다.

위에서 설명한 구성들은 검사 장치의 가능성 있는 배치 및 형태의 일부만을 나타내는 것이다. 다른 구성 및 배치도 가능하다. 예를 들면, 위에서 논의된 구성에 있어서, DUT의 음향 입력 포트가 폐색되도록 플러그를 위치시키기 위해 플러그 또는 DUT 중 하나만 이동하게 구성할 수 있다. 그러나 몇몇 다른 실시예에 있어서는, DUT와 플러그 모두가 이동하도록 검사 장치를 배치할 수 있다. 또한, 위에서 논의한 예들은 플러그가 DUT를 향해 직선으로 움직이는 것을 예시하고 있지만, 다른 구성으로서, 플러그를 음향 입력포트에 인접할 때까지 DUT의 기부의 표면을 따라서 횡방향으로 이동시킬 수 있도록 검사 장치를 배치할 수 있다.

검사 장치는 다른 방식의 마이크로폰 패키지들을 수용하고 다른 방식의 플러그들을 사용하도록 조정될 수도 있다. 일례로, 도 5는 정사각형 플러그(501)를 사용하는 검사 장치를 예시하고 있다. 정사각형 플러그(501)는 그 크기가 음향 입력 포트(107)보다 크며, 그렇기 때문에 플러그의 일부분조차도 음향 입력 포트(107) 내측에 삽입되지 않는다. 그 대신에 플러그(501)는, 음향 입력 포트 전체가 플러그(501)에 의해 덮일 수 있도록, DUT(100)의 외부 표면에 있는 음향 포트 개구에 인접하게 위치된다.

도 6은 포트가 상부에 형성된 마이크로폰 패키지(600)를 검사하도록 구성된 검사 장치의 예를 예시하고 있다. DUT(100)와 달리, 포트가 상부에 형성된 마이크로폰 패키지(600)의 음향 입력 포트(607)는 마이크로폰 패키지(600)의 리드(lid)에 위치된다. 이와 같이 포트가 상부에 형성된 구성으로서 역시 정사각형 플러그(601)를 사용하는 구성에 있어서, 검사 장치는, DUT(600)를 플러그(601)와 접촉할 때까지 상승되게 하거나 혹은 플러그(601)를 DUT(600)와 접촉할 때까지 하강되게 하여, 음향 입력 포트(607)를 폐색시킨다.

도 7은 포트가 바닥에 형성된 마이크로폰 패키지(100)를 위한 검사 장치의 다른 예를 예시하고 있다. 그러나 도 7의 검사 장치는, 도 5와는 달리, 둥근 플러그(701)를 포함한다. DUT(100)의 음향 입력 포트(107)가 둥근 플러그(701)로 폐색되었을 때, 둥근 플러그(701)의 일부는 음향 입력 포트(107) 안으로 연장된다. 도 8은 포트가 상부에 형성된 마이크로폰 패키지(600)를 위한 것으로서 둥근 플러그(801)를 사용하는 검사 장치를 예시하고 있다.

도 9는 포트가 바닥에 형성된 마이크로폰 패키지(100)를 위한 검사 장치의 다른 예를 예시하고 있다. 이 실시예에서, 플러그(901)는 원추형이다. 자체적으로 중심을 맞추는(self-centering) 방식인 플러그(901)의 원추 형상으로 인해, 각기 다른 마이크로폰 패키지들에 있어서의 제조상의 변화를 감안하여서 플러그를 삽입하는 것처럼 플러그(901)(또는 마이크로폰 패키지)를 횡방향으로 움직일 수 있게 되고, 그러면서도 검사 중에 음향 포트(107)를 충분히 폐색시키는 것도 보장된다. 도 10은 포트가 상부에 형성된 마이크로폰 패키지(600)를 위한 자체적으로 중심을 맞추는 원추형 플러그(self-centering conical plug)를 사용하는 검사 장치를 예시하고 있다.

이렇게 해서, 본 발명은, 마이크로폰 패키지를 검사하는 많은 것들 중에서도 특히, 플러그로 음향 입력 포트를 폐색시켜서 마이크로폰 패키지를 검사하는 시스템 및 방법을 제공한다. 본 발명의 여러 가지 특징들과 이점들은 청구범위에 기재된다.

Claims

플러그를 포함하는 검사 장치를 이용한 마이크로폰 패키지 검사 방법이며,
마이크로폰 패키지의 음향 입력 포트가 검사 장치의 플러그와 정렬될 수 있도록 해서 마이크로폰 패키지를 검사 장치 위에 위치시키는 단계와;
플러그를, 음향 입력 포트가 상기 플러그에 의해 폐색되지 않는 제1 위치와 상기 플러그가 음향 입력 포트를 폐색해서 음압이 음향 입력 포트를 통해서 마이크로폰 패키지 안으로 들어가지 못하게 되는 제2 위치 사이에서, 마이크로폰 패키지에 대해 제어 가능하게 이동시키는 단계와;
플러그가 제2 위치에 있는 상태에서 마이크로폰 패키지의 출력을 분석하는 단계를 포함하는,
마이크로폰 패키지 검사 방법.
제1항에 있어서, 플러그를 마이크로폰 패키지에 대해 제어 가능하게 이동시키는 단계는 마이크로폰 패키지를 정지 상태로 유지한 채로 플러그를 상승 및 하강시키는 것을 포함하는 마이크로폰 패키지 검사 방법.
제1항에 있어서, 플러그를 마이크로폰 패키지에 대해 제어 가능하게 이동시키는 단계는 플러그를 정지 상태로 유지한 채로 마이크로폰 패키지를 상승 및 하강시키는 것을 포함하는, 마이크로폰 패키지 검사 방법.
제1항에 있어서, 마이크로폰 패키지의 출력을 분석하는 단계는 마이크로폰 패키지의 출력을 격리된 비음향 노이즈로 식별하는 것을 더 포함하는, 마이크로폰 패키지 검사 방법.
제4항에 있어서, 상기 격리된 비음향 노이즈는 마이크로폰 패키지의 출력에 영향을 미치는 전자기 간섭을 나타내는 마이크로폰 패키지 검사 방법.
제4항에 있어서, 비음향 노이즈를 고려하기 위해 마이크로폰 패키지의 동작을 플러그가 제2 위치에 위치해 있을 때의 마이크로폰 패키지의 출력에 기초하여 조정하는 것을 추가로 포함하는 마이크로폰 패키지 검사 방법.
제1항에 있어서, 상기 플러그는 플러그가 제2 위치에 위치해 있을 때에 마이크로폰 패키지의 음향 입력 포트 안으로 일부가 연장되는 부분적으로 둥근 표면을 포함하는 마이크로폰 패키지 검사 방법.
제1항에 있어서, 상기 플러그는 플러그가 제2 위치에 위치해 있을 때에 음향 입력 포트를 덮는 마이크로폰 패키지의 외부 표면에 대해서 위치되는 편평한 표면을 포함하는 마이크로폰 패키지 검사 방법.
제1항에 있어서, 상기 플러그는 플러그가 제1 위치에서 제2 위치로 이동함에 따라 음향 입력 포트 안으로 삽입될 때에 자체적으로 중심을 맞추는 원추형 플러그를 포함하는 마이크로폰 패키지 검사 방법.
마이크로폰 패키지를 위한 비음향 노이즈 측정용 검사 장치이며,
플러그;
마이크로폰 패키지의 음향 입력 포트가 플러그와 정렬될 수 있게 마이크로폰 패키지를 유지시키도록 구성된 패키지 위치결정기;
플러그가 마이크로폰 패키지의 음향 입력 포트를 폐색하지 않는 제1 위치와 플러그가 마이크로폰 패키지의 음향 입력 포트를 폐색해서 음압이 음향 입력 포트를 통해서 마이크로폰 패키지 안으로 들어가지 못하게 되는 제2 위치 사이에서, 플러그를 마이크로폰 패키지에 대해 이동시키도록 구성된 작동기; 및
마이크로폰 패키지의 출력을 모니터하도록 구성되며 또한 플러그가 제2 위치에 있을 때에는 마이크로폰 패키지의 출력을 격리된 비음향 노이즈를 나타내는 것으로 식별하도록 구성된 제어기를 포함하는, 검사 장치.
제10항에 있어서, 상기 작동기는 마이크로폰 패키지를 정지 상태로 유지한 채로 플러그를 상승 및 하강시켜서 플러그를 마이크로폰 패키지에 대해 이동시킬 수 있도록 구성된 검사 장치.
제10항에 있어서, 상기 작동기는 플러그를 정지 상태로 유지한 채로 패키지 위치결정기를 상승 및 하강시켜서 플러그를 마이크로폰 패키지에 대해 이동시킬 수 있도록 구성된 검사 장치.
제10항에 있어서, 상기 제어기는 마이크로폰 패키지의 출력에 영향을 미치는 전자기 간섭을 플러그가 제2 위치에 있을 때의 마이크로폰 패키지의 출력에 기초하여 식별하도록 구성된 검사 장치.
제10항에 있어서, 마이크로폰 패키지가 검사 중에 있을 때에 플러그와 패키지 위치결정기와 마이크로폰 패키지를 둘러싸는 검사 챔버를 추가로 포함하는 검사 장치.
제10항에 있어서, 상기 플러그는 플러그가 제2 위치에 있을 때에 마이크로폰 패키지의 음향 입력 포트 안으로 일부가 연장되는 부분적으로 둥근 표면을 포함하는, 검사 장치.
제10항에 있어서, 상기 플러그는 플러그가 제2 위치에 있을 때에 음향 입력 포트를 덮는 마이크로폰 패키지의 외부 표면에 대해 위치되는 편평한 표면을 포함하는 검사 장치.
제10항에 있어서, 상기 플러그는 작동기가 플러그를 제1 위치에서 제2 위치로 이동시킴에 따라 플러그가 음향 입력 포트 안으로 삽입될 때에 자체적으로 중심을 맞추는 원추형 플러그를 포함하는 검사 장치.