KR20150056436A - 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법 - Google Patents

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KR20150056436A
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Abstract

본 발명은 스크라이브되는 기판들을 연속적으로 이어 받아 이송하는 이송 밸트; 및 상기 이송 밸트의 적어도 하나 이상의 위치에서 상기 이송 밸트의 이동 방향을 가변시켜 이송되는 상기 기판들에 대해 후속 공정을 연속적으로 진행하도록 하는 공정 제어 유닛을 포함하는 스크라이브 장치를 제공한다. 또한, 본 발명은 스크라이브 방법도 제공한다.

Description

스크라이브 장치 및 스크라이브 방법{SCRIBE APPARATUS AND SCRIBE METHOD}
본 발명은 스크라이브 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 하나의 이송 밸트를 사용하여 스크라이브되는 기판들을 브레이킹 또는 픽업과 같은 후속 공정을 연속적으로 수행할 수 있는 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 평판형 디스플레이로 이용되는 LCD나 유기EL패널, 무기EL패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 마더 글래스 패널(MOTHER GLASS PANEL)로부터 소정 크기로 절단된 단위 글래스 패널을 사용한다.
상기 단위 글래스 패널의 절단은, 패널의 표면에 절단 예정선을 따라 다이아몬드와 같은 재질의 스크라이브 휠을 가압 이동시켜 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과, 상기 단위 글래스 패널을 스크라이브 라인으로부터 분리하는 브레이킹 공정을 통해 수행된다.
이에 따라, 글래스 패널인 기판은 브레이킹 공정을 통해, 각 셀로 분단되고, 셀을 에워싸는 영역인 더미들은 셀 픽업 후 외부로 배출된다.
이와 같이 글래스 패널(이하, 기판이라 한다.)을 스크라이브하는 장치는 벨트 타입의 스크라이브 장치를 주로 사용한다.
종래의 밸트 타입의 스트라이브 장치는 스크라이브된 기판에 대해 각 후속 공정을 진행하는 경우 각 후속 공정 마다 기판을 이송하고 해당 공정을 진행하는 밸트를 구비한다.
예컨대, 어느 하나의 밸트를 통해 스크라이브된 기판을 이송하면서, 브레이킹 공정을 수행하고, 이를 다른 밸트에서 이어 받아 픽업 공정을 진행하는 경우, 각 밸트들 사이에는 이격 공간이 형성된다.
상기 이격 공간을 브레이킹된 기판이 이동되는 경우, 셀을 에워싸는 더미가 밸트들 사이의 이격 공간을 통해 하방으로 낙하되는 문제점이 있다.
즉, 종래에는 각 후속 공정을 진행하는 경우 독립적으로 운용되는 밸트들을 사용하기 때문에, 각 공정 마다 기판을 이송시 평탄도 유지가 어렵고, 밸트들 간 이동시 글라스의 정렬 유지가 어려운 문제점이 있다.
또한, 기판이 밸트 간 이동시 충격이 발생되어 기판 자체에 손상이 발생되는 문제점도 있다.
본 발명과 관련된 선행문헌으로는 대한민국 공개특허 제10-2009-0128081호(공개일: 2009년 12월 15일)가 있으며, 상기 선행문헌에는 모 기판의 상하면에 대한 스크라이빙 공정을 동시에 진행할 때 스크라이버들과 모 기판이 접촉하는 지점의 양측이 수평 상태를 이루도록 모 기판으로 공기를 분사하는 스크라이브 장치에 대한 기술이 개시된다.
본 발명의 목적은, 하나의 이송 밸트를 사용하여 기판들에 스크라이브 공정과 후속 공정을 연속적으로 진행하도록 하여, 공정들 간의 평탄도를 유지함과 이울러, 텍 타임을 증가시킬 수 있는 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법을 제공함에 있다.
일 양태에 있어서, 본 발명은 기판들을 연속적으로 이송하는 이송 밸트; 및
상기 이송 밸트의 적어도 하나 이상의 위치에서 상기 이송 밸트의 이동 방향을 가변시켜 이송되는 상기 기판들에 대해 스크라이브 공정 및 후속 공정을 연속적으로 진행하는 공정 제어 유닛을 포함하는 스크라이브 장치를 제공한다.
상기 후속 공정은, 스크라이브되는 상기 기판을 브레이킹하는 브레이킹 공정 또는, 브레이킹된 상기 기판을 픽업하는 픽업 공정인 것이 바람직하다.
상기 공정 제어 유닛은, 상기 이송 밸트의 전단과 상기 후속 공정이 이루어지는 영역의 사이에 배치되며, 상기 이송 밸트와 직교를 이루는 축을 따라 승강 가능하게 배치되어, 상기 이송 밸트를 처지게 하거나 처짐을 해제함으로써 상기 이송 밸트의 이동 방향을 우회시키는 제 1웨이트 롤러와, 상기 이송 밸트의 전단과 상기 후속 공정이 이루어지는 영역의 후단 사이에 배치되며, 상기 이송 밸트와 직교를 이루는 축을 따라 승강 가능하게 배치되어, 상기 이송 밸트를 처지게 하거나 처짐을 해제함으로써 상기 이송 밸트를 우회시키는 제 2웨이트 롤러와, 상기 이송 밸트의 전단과 상기 제 2웨이트 롤러의 사이에 배치되며, 상기 이송 밸트를 강제 구동시키는 구동 롤러와, 상기 제 1웨이트 롤러의 양측부에 위치되며, 해당 위치에서 상기 이송 밸트를 번갈아 그립하여 상기 기판을 상기 이송 밸트의 전단에서 상기 후속 공정이 이루어지는 영역으로 연속적으로 이동시키는 밸트 클램프를 구비하는 것이 바람직하다.
상기 밸트 클램프는, 상기 제 1웨이트 롤러의 전후에 각각 설치되는 제 1밸트 클램프와, 제 2밸트 클램프를 구비하는 것이 바람직하다.
상기 제 1밸트 클램프의 그립이 해제되고, 상기 제 2밸트 클램프에 의해 해당 위치에서 상기 이송 밸트가 그립되면, 상기 제 1웨이트 롤러의 하방으로의 이동에 의해 이송 밸트는 강제 처짐되고, 상기 기판은 상기 후속 공정이 이루어지는 영역 전단으로 이동되고, 상기 제 1밸트 클램프와 상기 제 2밸트 클램프의 그립이 해제되면, 상기 강제 처짐된 이송 밸트가 원위치로 복귀되면서 상기 기판은 상기 후속 공정이 이루어지는 영역으로 연속적으로 이동되는 것이 바람직하다.
상기 제 1웨이트 롤러와 상기 제 2웨이트 롤러는, 자중에 의해 하강 가능하게 배치되어, 상기 이송 밸트를 처지게 하는 것이 바람직하다.
상기 제 1웨이트 롤러와 상기 제 2웨이트 롤러는, 구동부로부터의 구동력에 의해 강제 승강되어 상기 이송 밸트를 처짐 또는 처짐 해제하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제 1웨이트 롤러와 상기 제 2웨이트 롤러 각각은, 한 쌍으로 배치되는 것이 바람직하다.
상기 외부 구동력은, 직선 구동력 또는 탄성력 중 적어도 어느 하나일 수 있다.
또한, 상기 제 1웨이트 롤러와 상기 제 2웨이트 롤러의 승강 경로는 상기 축을 따르는 가이드에 의해 안내되는 것이 바람직하다.
상기 가이드는, 상기 제 1웨이트 롤러 및, 상기 제 2웨이트 롤러의 회전축에 연결되어 승강을 안내하는 랙-피니언을 포함할 수 있다.
상기 제 1웨이트 롤러와, 상기 제 2웨이트 롤러 각각은, 양단에 회전축이 형성되는 원봉 형상의 내측 몸체와, 상기 내측 몸체가 끼워지는 중공 형상으로 형성되며, 상기 이송 밸트가 이동됨에 따라 상기 이송 밸트의 외면에 접하여 회전되는 것이 바람직하다.
다른 양태에 있어서, 본 발명은 이송 밸트를 사용하여 기판들을 연속적으로 이어 받아 이송하는 기판 이송 단계; 및 상기 이송 밸트의 적어도 하나 이상의 위치에서 상기 이송 밸트의 이동 방향을 가변시켜 이송되는 상기 기판들에 대해 스크라이브 공정 및 후속 공정을 연속적으로 진행하는 공정 진행 단계를 포함하는 스크라이브 방법을 제공한다.
상기 후속 공정을, 스크라이브되는 상기 기판을 브레이킹하는 브레이킹 공정 또는, 브레이킹된 상기 기판을 픽업하는 픽업 공정인 것이 바람직하다.
상기 기판을 상기 이송 밸트의 전단으로 이동시키는 경우, 상기 이송 밸트의 전단과 상기 후속 공정이 이루어지는 영역 사이에서의 이송 밸트를 우회시키고, 상기 기판을 상기 후속 공정이 이루어지는 영역으로 이동 위치시키는 경우, 상기 이송 밸트의 전단과 상기 후속 공정이 이루어지는 영역 사이에서의 이송 밸트의 우회 상태를 해제하고, 상기 이송 밸트의 전단과 상기 후속 공정이 이루어지는 영역의 후단 사이에서의 이송 밸트를 우회시키는 것이 바람직하다.
상기 이송 밸트의 전단에서 상기 이송 밸트를 구동시키기 위한 구동력을 제공하는 것이 바람직하다.
상기 이송 밸트의 우회는, 해당 위치에서 롤러의 승강 동작을 통해 상기 이송 밸트를 눌러 처지도록 하여 형성하는 것이 바람직하다.
상기 롤러를, 자중에 의해 하방으로 이동시키는 것이 바람직하다.
상기 롤러를, 별도의 외부 구동력을 사용하여 강제 승강시키는 것이 바람직하다.
또한, 상기 롤러를 한 쌍으로 배치하는 것이 바람직하다.
상기 외부 구동력을, 직선 구동력 또는 탄성력 중 적어도 어느 하나를 사용하는 것이 바람직하다.
상기 롤러를, 가이드를 사용하여 설정된 축 방향을 따르도록 안내하는 것이 바람직하다.
본 발명은, 하나의 이송 밸트를 사용하여 기판들을 스크라이브 공정과, 브레이킹 또는 픽업과 같은 후속 공정을 연속적으로 수행하여, 공정들 간의 평탄도를 유지함과 이울러, 텍 타임을 증가시킬 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 웨이트로 사용되는 제 1,2웨이트 롤러를 자중에 의해 하강되도록 하여 이송 밸트를 처지도록 함으로써, 기판 이송시 이송 밸트 자체의 장력을 일정하게 유지하여 밸트가 늘어나는 등의 장치 문제를 해결할 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 제 1,2웨이트 롤러를 강제 구동시키는 경우, 제 1,2밸트 클램프의 동작을 연동시킬 수 있기 때문에, 이의 경우에 있어서도 밸트의 장력을 일정하게 유지할 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 제 1,2웨이트 롤러의 승강을 별도의 가이드를 사용하여 안내함과 아울러, 랙-피니언 기어 연결을 사용하여 승강을 안내하기 때문에, 제 1,2웨이트 롤러의 승강시 축 양단 간의 틀어짐을 방지하여 이송 밸트를 안정적으로 처지도록 할 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 외부 구동력을 통해, 이송 밸트를 처지게 하는 웨이트 롤러의 승강을 강제 승강함과 아울러, 승강 위치를 정학하게 제어함으로써, 이송 밸트가 이동되는 도중에 슬립이 발생되는 것을 효율적으로 방지할 수 있는 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명의 스크라이브 장치를 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 스크라이브 장치를 보여주는 다른 도면이다.
도 3은 본 발명에 따르는 가이드의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명에 따르는 가이드의 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 5는 이송되는 기판에 대해 브레이킹 공정과 픽업 공정이 시작되는 과정을 보여주는 도면이다.
도 6은 이송되는 기판에 대해 스크라이빙과 픽업 공정이 진행되는 과정을 보여주는 도면이다.
도 7은 더미가 배출되는 공정을 보여주는 도면이다
도 8은 픽업 공정 영역에 기판이 이송되는 과정을 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명에 따르는 웨이트 롤러 각각이 한 쌍으로 구성되는 예를 보여주는 도면이다.
도 10은 본 발명에 따르는 제 1,2웨이트 롤러의 구성을 보여주는 도면이다.
도 11은 본 발명에 따르는 가이드의 또 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 12는 본 발명에 따르는 가이드에 의해 웨이트 롤러의 승강이 안내되는 것을 보여주는 도면이다.
도 13은 제 2웨이트 롤러가 한 쌍으로 구성되어 구동되는 예를 보여주는 도면이다.
도 14는 제 1웨이트 롤러가 한 쌍으로 구성되어 구동되는 예를 보여주는 도면이다.
도 15는 제 1,2웨이트 롤러가 한 쌍으로 구성되어 구동되는 예를 보여주는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 스크라이브 장치의 구성을 설명하고, 상기 구성을 참조 하여 본 발명의 스크라이브 방법을 설명한다.
도 1은 본 발명의 스크라이브 장치를 보여주는 도면이다.
도 1을 참조 하면, 본 발명의 스크라이브 장치는 크게 이송 밸트(200)가 설치되는 본체(100)와, 공정 제어 유닛(300)으로 구성된다.
본체 (100)
본 발명에 따르는 본체(100)에는 하나의 이송 밸트(200)가 설치된다.
상기 이송 밸트(200)는 상기 본체(100)에 무한궤도 회전 가능하게 설치된다.
상기 이송 밸트(200)의 양단 각각은 한 쌍의 안내 롤러에 의해 회전 지지된다.
상기 한 쌍의 안내 롤러는, 좌측 제 1,2안내롤러(210)와, 우측 제 1,2안내롤러(220)로 구성된다.
상기 좌측 제 1,2안내롤러(210)는 이송 밸트(200)의 좌측단에서 상하로 이격되도록 배치되어, 이송 밸트(200)의 좌측단을 회전 지지한다.
상기 우측 제 1,2안내롤러(220)는 이송 밸트(200)의 우측단에서 상하로 이격되도록 배치되어, 이송 밸트(200)의 우측단을 회전 지지한다.
이에 따라, 이송 밸트(200)에서 좌측단과 우측단을 수평으로 잇는 2개의 이동 경로(?,?)가 형성된다.
상기 2개의 이동 경로(?,?)는 좌측단에서 우측단을 따르는 제 1이동 경로(?)와, 우측단에서 좌측단을 따르는 제 2이동 경로(?)일 수 있다.
실질적으로 기판이 이동되는 경로는 이동되는 이송 밸트(200)에 의해 형성되는 상기 제 1이동 경로(?)를 따라 이동된다.
여기서, 상기 이송 밸트(200)의 전방에는 전방측 이송 밸트(20)가 배치된다.
상기 전방측 이송 밸트(20) 역시 무한궤도 회전된다.
그리고, 상기 전방측 이송 밸트(20)와 상기 이송 밸트(200)는 기판이 수평으로 이동될 수 있도록 서로 수평을 이루어 나란하게 배치된다.
한편, 본 발명에 따르는 이송 밸트(200)의 전단에는 전방측 이송 밸트(20)에 의해 이송되는 기판을 XY 방향을 따라 스크라이브할 수 있는 스크라이브 유닛(110)이 설치된다.
도면에 도시되지는 않았지만, 상기 스크라이브 유닛(110)은 기판에 XY 방향을 따라 스크라이브 할 수 있는 스크라이브 휠이 설치되며, 스크라이브 휠이 설치되는 헤드는 XY방향을 따라 이동될 수 있다.
그리고, 상기 이송 밸트(200) 상에는 후속 공정이 이루어지는 영역이 형성된다.
상기 후속 공정이 이루어지는 영역에는 해당 공정이 진행되는 유닛이 설치된다.
본 발명에서, 후속 공정은 기판을 각 셀 별로 브레이킹하는 브레이킹 공정 또는 브레이킹된 셀을 픽업하는 픽업 공정일 수 있다.
하기에서는, 상기 후속 공정이 픽업 공정인 경우를 대표적인 예로 하여 설명한다.
따라서, 이송 밸트(200) 상에서 스크라이브 유닛(110)의 후방에는 픽업 유닛(120)이 배치된다.
상기 픽업 유닛(120)은 스크라이브 유닛(110)에 의해 스크라이브 및 브레이킹된 기판에서 셀들(11a)만을 픽업하여 언로딩 위치에 적재하는 역할을 한다.
공정 제어 유닛 (300)
도 1을 참조 하면, 본 발명의 공정 제어 유닛(300)은 크게 제 1웨이트 롤러(310)와, 제 2웨이트 롤러(320)와, 구동 롤러(330)와, 밸트 클램프(340)로 구성된다.
상기 제 1웨이트 롤러(310)와 제 2웨이트 롤러(320)는 웨이트와 같은 역할을 하고, 이송 밸트(200)를 자중으로 눌러 처지도록 하는 역할을 한다.
상기 제 1웨이트 롤러(310)는 이송 밸트(200)의 전단과, 후속 공정이 이루어지는 영역의 사이에 배치된다.
상기 제 1웨이트 롤러(310)는 상기 배치되는 위치에서 이송 밸트(200)의 제 1이동 경로(?)와 직교를 이루는 축을 따라 승강 가능하게 배치된다.
상기 제 1웨이트 롤러(310)는 가이드(400, 도 3 참조)에 의해 승강이 안내될 수 있다. 상기 가이드(400)의 구성은 후술하기로 한다.
여기서, 상기 이송 밸트(200)의 전단은 스크라이브 영역이고, 상기 후속 공정이 이루어지는 영역은 브레이킹 공정 영역이다.
상기 제 2웨이트 롤러(320)는 이송 밸트(200)의 전단과 후속 공정이 이루어지는 영역의 후단 사이, 제 2이동 경로(?)와 직교를 이루는 축을 따라 승강 가능하게 배치된다.
상기 구동 롤러(330)는 상기 이송 밸트(200)의 전단과 상기 제 2웨이트 롤러(320)의 사이에 배치되며, 이송 밸트(200)를 강제 회전 또는 구동시킨다.
상기 밸트 클램프(340)는 제 1웨이트 롤러(310)의 양측부에 설치되어, 각 그립 위치에서 이송 밸트(200)의 이동을 저지하도록 그립하는 장치이다.
상기 밸트 클램프(340)는 제 1웨이트 롤러(310)의 전후에 각각 배치되는, 제 1밸트 클램프(341)와, 제 2밸트 클램프(342)로 구성된다.
상기 제 1밸트 클램프(341)는 스크라이브 영역과 제 1웨이트 롤러(310)의 사이인 제 1그립 위치에 배치된다.
상기 제 2밸트 클램프(342)는 제 1웨이트 롤러(310)와 픽업 영역의 사이인 제 2그립 위치에 배치된다.
도면에 도시되지는 않았지만, 상기 밸트 클램프(340)는 해당 그립 위치에서 이송 밸트(200)를 그립 또는 그립 해제함으로서, 이송 밸트(200)의 이동을 강제 중지 또는 해제하는 장치이다.
한편, 상술한, 제 1,2웨이트 롤러(310,320)는 자중에 의해 승강 가능하기도 하지만, 도 2에 도시되는 바와 같이, 구동부(500)로부터 구동력을 제공 받아 강제 승강될 수도 있다.
도 3은 본 발명에 따르는 가이드의 일 예를 보여주는 도면이다.
본 발명에 따르는 가이드(400)는 제 1,2웨이트 롤러(310,320) 각각을 이송 밸트(200)와 직교된 축을 따라 승강을 안내하는 장치이다.
또한, 가이드(400)는 제 1,2웨이트 롤러(310,320)에 동일한 구성으로 구성되기 때문에, 하나의 가이드의 예를 설명한다. 또한, 제 1,2웨이트 롤러(310,320)의 구성 역시 동일하기 때문에, 제 1웨이트 롤러(310)를 대표적으로 설명한다.
상기 제 1웨이트 롤러(310)는 중공 형상의 제 1웨이트 롤러 몸체(311)와, 상기 제 1웨이트 롤러 몸체(311)의 중공에 회전 가능하도록 삽입 설치되며, 양단이 제 1웨이트 롤러 몸체(311)의 양단으로 돌출되는 제 1회전축(312)을 갖는다.
상기 가이드(400)는 상기 제 1웨이트 롤러 몸체(311)의 양단측에 위치되는 한 쌍의 가이드 몸체(410)를 갖고, 상기 한 쌍의 가이드 몸체(410)는 본체(100)에 설치된다.
상기 한 쌍의 가이드 몸체(410)에는, 수직 방향을 따르고, 제 1회전축(312)의 양단이 끼워지는 상태로 수직 방향 축을 따라 승강을 안내하는 일정 길이의 안내홀(420)이 형성된다.
따라서, 본 발명에서의 제 1,2웨이트 롤러(310,320)는 가이드(400)를 따라 승강이 안내된다.
이에 더하여, 도 4에 도시되는 바와 같이, 제 1회전축(312)의 양단에는 한 쌍의 피니언 기어(430)가 설치된다.
그리고, 상기 한 쌍의 가이드 몸체(410)에는 상기 한 쌍의 피니언 기어(430)가 기어 연결되는 한 쌍의 랙(440)이 설치된다.
따라서, 제 1웨이트 롤러(310)가 승강되는 경우, 피니언(430)이 랙(440)과 기어 연결되기 때문에, 승강시 제 1회전축(312)의 양단이 뒤틀리는 등의 문제를 해결할 수 있다.
다음은, 상기와 같은 구성을 갖는 스크라이브 장치를 사용한 스크라이브 방법을 설명한다.
도 5는 이송되는 기판에 대해 스크라이브 공정과, 후속 공정인 픽업 공정이 시작되는 과정을 보여준다.
도 5를 참조 하면, 이송 밸트(200)는 구동 롤러(330)의 구동에 따라 무한궤도 회전된다.
여기서, 이송 밸트(200)에는 제 1이동 경로(?)와 제 2이동 경로(?)가 형성된다.
제 1기판(11)은 이송 밸트(200)의 전단에서 스크라이브 유닛(110, 도 1참조)에 의해 스크라이브 및 브레이킹되고, 제 1이동 경로(?)를 따라 이동된다. 이때, 제 1,2밸트 클램프(341,342)는 제 1,2그립 위치에서 이송 밸트(200)의 그립 상태를 해제한 상태를 이루고, 제 1웨이트 롤러(310)는 상승된 상태를 이룬다.
이와 동시에, 제 2이동 경로(?) 상에서, 제 2웨이트 롤러(320)는 자중에 의해 하강되어 이송 밸트(200)를 일정 길이로 처지게 하여 이동 방향을 가변시킨 상태를 이룬다.
따라서, 스크라이브된 제 1기판(11)은 후속 공정이 이루어지는 영역인 픽업 공정 영역으로 이송된다.
이어, 제 2밸트 클램프(342)는 제 2그립 위치에서 이송 밸트(200)를 그립하여, 픽업 유닛(120, 도 1참조)을 사용하여 픽업 공정 영역으로 이송되는 제 1기판(11)에 대해 픽업이 진행되도록 한다.
도 6은 이송되는 기판에 대해 스크라이빙과 픽업 공정이 진행되는 과정을 보여준다.
도 6을 참조 하면, 픽업 공정이 시작된 후에, 하강된 제 2웨이트 롤러(320)는 이송 밸트(200)가 연속적으로 회전되면서, 상승되어 위치된다.
이와 동시에, 제 1웨이트 롤러(310)는 하강되어 해당 위치에서 이송 밸트(200)를 처지게 하여 이동 방향을 우회하도록 가변시킨다. 여기서, 제 1밸트 클램프(341)는 이송 밸트(200)를 그립하지 않은 상태이다.
이때, 전방측 이송 밸트(20)로부터 이송되는 제 2기판(12)은 스크라이브 영역에서 스크라이브 되면서 이송 밸트(200)를 따라 제 1이동 경로(?)를 따라 연속적으로 이동된다.
또한, 상기 도 5에서의 제 1기판(11)은 픽업 공정 영역에서 각 셀(11a)이 픽업될 수 있다.
도 7은 더미가 배출되는 공정을 보여주는 도면이다
도 7을 참조 하면, 제 1이동 경로(?)를 따라 제 2기판(12)이 스크라이브되면서 제 1웨이트 롤러(310) 측으로 이동되면, 제 1밸트 클램프(341)는 제 1그립 위치에서 이송 밸트(200)를 그립한다.
그리고, 제 2밸트 클램프(342)는 제 2그립 위치에서 이송 밸트(200)의 그립 상태를 해제한다.
이에 따라, 셀들(11a)의 픽업 공정이 진행되는 제 1기판(11)은 이송 밸트(200)의 이동에 따라 이동되고, 픽업되는 셀들(11a)을 제외한 더미(D)는 이송 밸트(200)의 후방으로 낙하되어 제거된다.
이와 동시에, 제 2이동 경로(?) 상에서 제 2웨이트 롤러(320)는 자중에 의해 하강하고, 이에 의해 해당 위치에서의 이송 밸트(200)는 처지게 되어 이동 방향이 우회도록 가변된다.
도 8은 픽업 공정 영역에 기판이 이송되는 과정을 보여주는 도면이다.
도 8을 참조 하면, 이어, 도 7과 같은 상태에서 제 1밸트 클램프(341)는 제 1그립 위치에서 이송 밸트(200)의 그립 상태를 해제한다.
이에 따라, 스크라이브된 제 2기판(12)은 후속 공정 영역인, 브레이킹 영역으로 연속적으로 이동되어, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같은 스크라이브 공정 및 픽업 공정이 연속적으로 진행될 수 있다.
한편, 상기의 설명에서는 제 1,2웨이트 롤러(310,320)가 자중에 의해 하강되고, 이송 밸트(200)의 승강에 의해 밀어 올려져 상승되는 예를 대표적인 예로 설명하였다.
한편, 상술한 바와 같은 도 2를 참조 하면, 본 발명에서는, 제 1,2웨이트 롤러(310,320)가 별도의 구동부(500)로부터 구동력을 제공 받아 강제 승강될 수도 있다.
상기 구동부(500)는 제 1웨이트 롤러(310) 또는 제 2웨이트 롤러(320)의 회전축(312,322)을 승강시키는 엑츄에이터일 수 있다.
이상, 상기에서는 후속 공정이 픽업 공정인 경우를 대표적인 예로 설명하였다.
그리고, 상기 후속 공정은 스크라이브되는 기판을 브테이킹할 수 있는 브레이킹 공정일 수도 있다.
한편, 본 발명에 따르는 제 1,2웨이트 롤러 각각은 한 쌍으로 구성될 수 있고, 외부 구동력에 의해 승강이 안내될 수 있다.
도 9는 본 발명에 따르는 웨이트 롤러 각각이 한 쌍으로 구성되는 예를 보여주는 도면이다.
도 9를 참조 하여, 제 2웨이트 롤러(360)를 대표적인 예로 설명한다.
제 2웨이트 롤러(360) 각각의 양단에는 제 2회전축(361a)이 형성된다.
상기 한 쌍의 제 2웨이트 롤러(360)의 양단부에는 지지 플레이트(600)가 설치된다.
각각의 지지 플레이트(600)에는 제 2웨이트 롤러(360) 각각의 제 2회전축(361a)이 회전 지지된다.
따라서, 한 쌍의 제 2웨이트 롤러(360)는 지지 플레이트(600)에 지지되는 상태로 동시에 승강될 수 있다.
상기 한 쌍의 제 2웨이트 롤러(360)는 외부 구동력에 의해 강제 승강될 수 있다.
상기 외부 구동력은 직선 구동력 또는 탄성력을 사용할 수 있다.
직선 구동력을 사용하는 경우, 신축되는 실린더 축(720)을 갖는 실린더 몸체(710)로 구성된 실린더(700) 또는 엑츄에이터를 사용할 수 있다.
또한, 탄성력을 사용하는 경우, 각 제 2웨이트 롤러(360)의 제 2회전축(361a)을 수직 방향을 따라 탄성으로 지지하는 탄성 스프링(미도시)일 수 있다.
전자의 경우 있어서, 상기 실린더(700)는 외부 신호를 받아 실린더 축(720)을 삽입 및 돌출시킬 수 있다.
상기 실린더 축(720)의 단부는 상기 지지 플레이트(600)에 연결된다.
여기서, 상기 실린더 축(720)의 신축 방향은 지지 플레이트(600)를 기준으로 수직 방향을 따른다.
도 10은 본 발명에 따르는 제 1,2웨이트 롤러의 구성을 보여주는 도면이다.
도 10을 참조 하면, 상기 제 1,2웨이트 롤러(350,360) 각각은, 양단에 회전축(351a,361a)이 형성되는 원봉 형상의 내측 몸체(351,361)와, 상기 내측 몸체(351,361)가 끼워지는 중공 형상으로 형성되며, 상술한 이송 밸트(200)가 이동됨에 따라 상기 이송 밸트(200)의 외면에 접하여 회전되는 외측 몸체(352,362)로 구성된다.
상기 내측 몸체(351,361)의 회전축(351a,361a)은 지지 플레이트(600)에 회전 지지되고, 외측 몸체(352,362)는 이송 밸트(200)의 외면에 접하는 상태를 이룰 수 있다.
따라서, 이송 밸트(200)가 이동되면 외측 몸체(352,362)는 이송 밸트(200)에 접한 상태로 회전되고, 이때, 내측 몸체(351,361)를 회전되지 않을 수 있다.
도면에 도시되지 않았지만, 내측 몸체(351,361)와 외측 몸체(352,362)의 사이에는 베어링(미도시)이 더 설치되어, 외측 몸체(352,362)가 용이하게 회전되도록 할 수도 있다.
도 11은 본 발명에 따르는 가이드의 또 다른 예를 보여주고, 도 12는 본 발명에 따르는 가이드에 의해 웨이트 롤러의 승강이 안내되는 것을 보여주는 도면이다.
도 11 및 도 12를 참조 하면, 본 발명에 따르는 가이드(800)는 가이드 몸체(810)와, 랙-피니언(811,820) 을 구비한다.
상기 가이드 몸체(810)는 한 쌍의 제 2웨이트 롤러(360)의 양측부에 직립되는 상태로 배치되며, 한 쌍의 제 2웨이트 롤러(360)의 제 2회전축(361a)이 위치되며 승강을 안내하는 한 상의 안내홀(810a)이 형성된다.
상기 한 쌍의 안내홀(810a)의 일측면에는 랙(811)이 각각 형성된다.
상기 한 쌍의 안내홀(810a)에는 내측 몸체(361)의 제 2회전축(351a)이 자유 회전되도로 끼워지는 피니언(820)이 배치되고, 상기 피니언(820)은 상기 랙(811)에 기어 연결된다.
도 13은 제 2웨이트 롤러가 한 쌍으로 구성되어 구동되는 예를 보여준다.
도 13을 참조 하여, 한 쌍의 제 2웨이트 롤러(360)가 하방으로 하강하여 위치된 예를 설명한다.
실린더 축(720)은 지지 플레이트(600)에 연결되는 상태로, 일정 위치로 하강될 수 있다.
지지 플레이트(600)에 연결된 한 쌍의 제 2웨이트 롤러(360)는 지지 플레이트(600)의 하강 동작에 연동되어 하강 위치에 위치된다.
또한, 제 2웨이트 롤러(360)는 하강되면서 가이드(800)의 랙-피니언(811,820)에 의해 수직 방향을 이루는 승강 경로를 따라 좌우로의 뒤틀림 없이 이동될 수 있다.
또한, 제 2웨이트 롤러(360)는 실린더 축(720)의 상하를 따르는 신축에 의해 강제 승강되기 때문에, 승강 속도 역시 일정할 수 있다.
또한, 하강되는 제 2웨이트 롤러(360)에 있어서, 외륜을 이루는 외측 몸체(362)가 내륜을 이루는 내측 몸체(361)의 외주에서 회전 가능하게 설치되기 때문에, 제 2웨이트 롤러(360)가 승강되는 경우, 이송 밸트(200)와 접하는 외측 몸체(362)와, 실린더 축(720)에 의해 직접적인 승강 구동력을 전달 받는 내측 몸체(361) 간의 간섭이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
상기의 경우, 제 2웨이트 롤러(360)가 한 쌍으로 구성되어 구동되는 예를 대표적으로 설명하였지만, 도 14에 보여지는 바와 같이, 제 1웨이트 롤러(350)가 한 쌍으로 구성될 수도 있고, 도 15에 보여지는 바와 같이, 제 1,2웨이트 롤러(350,360)가 모두 한 쌍으로 구성될 수도 있다.
도 14 및 도 15에서의 웨이트 롤러(350,360)의 승강 동작은 상술한 바와 동일하기 때문에 설명을 생략하기로 한다.
본 발명에 따르는 실시예는 외부 구동력을 통해, 이송 밸트를 처지게 하는 웨이트 롤러의 승강을 강제 승강함과 아울러, 승강 위치를 정학하게 제어함으로써, 이송 밸트가 이동되는 도중에 슬립이 발생되는 것을 효율적으로 방지할 수 있다.
상기의 장치의 구성 및 스크라이브 방법을 통해, 본 발명에 따르는 실시예는 하나의 이송 밸트를 사용하여 스크라이브되는 기판들을 브레이킹 또는 픽업과 같은 후속 공정을 연속적으로 수행하여, 공정들 간의 평탄도를 유지함과 이울러, 텍 타임을 증가시킬 수 있는 잇점이 있다.
또한, 웨이트로 사용되는 제 1,2웨이트 롤러를 자중에 의해 하강되도록 하여 이송 밸트를 처지도록 함으로써, 기판 이송시 이송 밸트 자체의 장력을 일정하게 유지하여 밸트가 늘어나는 등의 장치 문제를 해결할 수 있는 잇점이 있다.
또한, 제 1,2웨이트 롤러를 강제 구동시키는 경우, 제 1,2밸트 클램프의 동작을 연동시킬 수 있기 때문에, 이의 경우에 있어서도 밸트의 장력을 일정하게 유지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르는 실시예는 제 1,2웨이트 롤러의 승강을 별도의 가이드를 사용하여 안내함과 아울러, 랙-피니언 기어 연결을 사용하여 승강을 안내하기 때문에, 제 1,2웨이트 롤러의 승강시 축 양단 간의 틀어짐을 방지하여 이송 밸트를 안정적으로 처지도록 할 수 있다.
이상, 본 발명의 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법에 관한 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 실시 변형이 가능함은 자명하다.
그러므로 본 발명의 범위에는 설명된 실시예에 국한되어 전해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
즉, 전술된 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며, 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술될 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 그 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
11 : 제 1기판 12 : 제 2기판
20 : 전방측 이송 밸트 100 : 본체
110 : 스크라이브 유닛 120 : 픽업 유닛
200 : 이송 밸트 210 : 제 1좌측 안내롤러
220 : 제 2좌측 안내롤러 300 : 공정 제어 유닛
310 : 제 1웨이트 롤러 310a : 제 1지지 롤러
311 : 제 1웨이트 롤러 몸체 312 : 제 1회전축
320 : 제 2웨이트 롤러 320a : 제 2지지 롤러
321 : 제 2웨이트 롤러 몸체 322 : 제 2회전축
330 : 구동 롤러 340 : 밸트 클램프
341 : 제 1밸트 클램프 342 : 제 2밸트 클램프
350 : 제 1웨이트 롤러 351 : 내측 몸체
351a : 제 1회전축 352 : 외측 몸체
360 : 제 2웨이트 롤러 361 : 내측 몸체
361a : 제 2회전축 362 : 외측 몸체
400,400' : 가이드 410,410' : 가이드 몸채
420,420' : 안내홀 430 : 피니언
440 : 랙 600 : 지지 플레이트
700 : 실린더 710 : 실린더 몸체
720 : 실린더 축 800 : 가이드
810 : 가이드 몸체 811 : 랙
820 : 피니언

Claims (21)

  1. 기판들을 연속적으로 이송하는 이송 밸트; 및
    상기 이송 밸트의 적어도 하나 이상의 위치에서 상기 이송 밸트의 이동 방향을 가변시켜 이송되는 상기 기판들에 대해 스크라이브 공정 및 후속 공정을 연속적으로 진행하는 공정 제어 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 후속 공정은,
    상기 기판을 브레이킹하는 브레이킹 공정 또는,
    상기 기판을 픽업하는 픽업 공정인 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 공정 제어 유닛은,
    상기 이송 밸트의 전단과 상기 후속 공정이 이루어지는 영역의 사이에 배치되며, 상기 이송 밸트와 직교를 이루는 축을 따라 승강 가능하게 배치되어, 상기 이송 밸트를 처지게 하거나 처짐을 해제함으로써 상기 이송 밸트의 이동 방향을 우회시키는 제 1웨이트 롤러와,
    상기 이송 밸트의 전단과 상기 후속 공정이 이루어지는 영역의 후단 사이에 배치되며, 상기 이송 밸트와 직교를 이루는 축을 따라 승강 가능하게 배치되어, 상기 이송 밸트를 처지게 하거나 처짐을 해제함으로써 상기 이송 밸트를 우회시키는 제 2웨이트 롤러와,
    상기 이송 밸트의 전단과 상기 제 2웨이트 롤러의 사이에 배치되며, 상기 이송 밸트를 강제 구동시키는 구동 롤러와;
    상기 제 1웨이트 롤러의 양측부에 위치되며, 해당 위치에서 상기 이송 밸트를 번갈아 그립하여 상기 기판을 상기 이송 밸트의 전단에서 상기 후속 공정이 이루어지는 영역으로 연속적으로 이동시키는 밸트 클램프를 구비하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 밸트 클램프는,
    상기 제 1웨이트 롤러의 전후에 각각 설치되는 제 1밸트 클램프와, 제 2밸트 클램프를 구비하되,
    상기 제 1밸트 클램프의 그립이 해제되고, 상기 제 2밸트 클램프에 의해 해당 위치에서 상기 이송 밸트가 그립되면, 상기 제 1웨이트 롤러의 하방으로의 이동에 의해 이송 밸트는 강제 처짐되고, 상기 기판은 상기 후속 공정이 이루어지는 영역 전단으로 이동되고,
    상기 제 1밸트 클램프와 상기 제 2밸트 클램프의 그립이 해제되면, 상기 강제 처짐된 이송 밸트가 원위치로 복귀되면서 상기 기판은 상기 후속 공정이 이루어지는 영역으로 연속적으로 이동되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제 1웨이트 롤러와 상기 제 2웨이트 롤러는,
    자중에 의해 하강 가능하게 배치되어, 상기 이송 밸트를 처지게 하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  6. 제 4항에 있어서,
    상기 제 1웨이트 롤러와 상기 제 2웨이트 롤러는,
    외부 구동력에 의해 강제 승강되어 상기 이송 밸트를 처짐 또는 처짐 해제하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 제 1웨이트 롤러와 상기 제 2웨이트 롤러 각각은, 한 쌍으로 배치되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 외부 구동력은,
    직선 구동력 또는 탄성력 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  9. 제 5항 또는 제 6항에 있어서,
    상기 제 1웨이트 롤러와 상기 제 2웨이트 롤러의 승강 경로는 상기 축을 따르는 가이드에 의해 안내되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 가이드는,
    상기 제 1웨이트 롤러 및, 상기 제 2웨이트 롤러의 회전축에 연결되어 승강을 안내하는 랙-피니언을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  11. 제 9항에 있어서,
    상기 제 1웨이트 롤러와, 상기 제 2웨이트 롤러 각각은,
    양단에 회전축이 형성되는 원봉 형상의 내측 몸체와,
    상기 내측 몸체가 끼워지는 중공 형상으로 형성되며, 상기 이송 밸트가 이동됨에 따라 상기 이송 밸트의 외면에 접하여 회전되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  12. 이송 밸트를 사용하여 기판들을 이송하는 기판 이송 단계; 및
    상기 이송 밸트의 적어도 하나 이상의 위치에서 상기 이송 밸트의 이동 방향을 가변시켜 이송되는 상기 기판들에 대해 스크라이브 공정 및 후속 공정을 연속적으로 진행하는 공정 진행 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 후속 공정은,
    상기 기판을 브레이킹하는 브레이킹 공정 또는, 상기 기판을 픽업하는 픽업 공정인 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
  14. 제 12항에 있어서,
    상기 기판을 상기 이송 밸트의 전단으로 이동시키는 경우,
    상기 이송 밸트의 전단과 상기 후속 공정이 이루어지는 영역 사이에서의 이송 밸트를 우회시키고,
    상기 기판을 상기 후속 공정이 이루어지는 영역으로 이동 위치시키는 경우,
    상기 이송 밸트의 전단과 상기 후속 공정이 이루어지는 영역 사이에서의 이송 밸트의 우회 상태를 해제하고, 상기 이송 밸트의 전단과 상기 후속 공정이 이루어지는 영역의 후단 사이에서의 이송 밸트를 우회시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 이송 밸트의 전단에서 상기 이송 밸트를 구동시키기 위한 구동력을 제공하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
  16. 제 14항에 있어서,
    상기 이송 밸트의 우회는,
    해당 위치에서 롤러의 승강 동작을 통해 상기 이송 밸트를 눌러 처지도록 하여 형성하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 롤러를, 자중에 의해 하방으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
  18. 제 16항에 있어서,
    상기 롤러를, 외부 구동력을 사용하여 강제 승강시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
  19. 제 18항에 있어서,
    상기 롤러를 한 쌍으로 배치하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
  20. 제 18항에 있어서,
    상기 외부 구동력를,
    직선 구동력 또는 탄성력 중 적어도 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
  21. 제 17항 또는 제 18항에 있어서,
    상기 롤러를, 가이드를 사용하여 설정된 축 방향을 따르도록 안내하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
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