KR20150026728A - 연성 인쇄 회로 기판 제조용 전기 도금 장치 - Google Patents

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KR20150026728A
KR20150026728A KR20140003441A KR20140003441A KR20150026728A KR 20150026728 A KR20150026728 A KR 20150026728A KR 20140003441 A KR20140003441 A KR 20140003441A KR 20140003441 A KR20140003441 A KR 20140003441A KR 20150026728 A KR20150026728 A KR 20150026728A
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스이-호 차이
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플렉스 텍 코., 엘티디.
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Abstract

본 개시는 전기 도금 장치를 제공한다. 전기 도금 장치는 욕조, 복수의 롤, 적어도 하나의 음극 롤, 적어도 하나의 전기 도금 양극, 및 분리 트로프를 포함한다. 이 경우, 분리 트로프는 욕조 내에 위치하고, 분리 트로프의 적어도 한 쪽 표면은 복수의 구멍을 갖는다. 전기 도금액은 분리 트로프 또는 욕조의 바닥을 통해 욕조로 공급되고, 기본적으로 전기 도금 양극의 가까이에 있는 도금물 쪽으로 확산된다.

Description

연성 인쇄 회로 기판 제조용 전기 도금 장치{ELECTROPLATING APPARATUS FOR MANUFACTURING FLEXIBLE PRINTED CIRCUIT BOARD}
본 발명은 연성 인쇄 회로 기판 제조를 위한 전기 도금 장치에 관한 발명이다. 구체적으로, 본 발명은 분리 트로프(separation trough)를 가지는 전기 도금 장치에 관한 발명이다.
일반적으로, 연성 인쇄 회로 기판 제조를 위한 전기 도금 장치는 보통, 도금의 대상이 복수의 롤에 의해 수평 또는 수직으로 이동되는 롤투롤(roll-to-roll) 구조를 갖는다. 전기 도금 욕조에 쓰이는 전기 도금액은, 전기 도금 시간이 길어짐에 따라, 전기 도금액의 금속 이온 농도가 감소될 수 있으므로, 공급을 요하는 전기 도금 욕조(electroplating bath)에 새로운 전기 도금액이 지속적으로 공급되어, 지속적으로 전기 도금 장치가 형성된다.
예를 들어, 일반적인 구리선 전기 도금 프로세스는 보통 연성 인쇄 회로(FPC: Flexible Printed Circuit) 기판 상에서 수행된다. 전기 도금 형태가 수평이든 수직이든, 막힌 구멍을 형성하거나 구리막을 두껍게 할 때 한 개(또는 두 개)의 전기 도금 양극이 트로프 내에 있다. 이와 같은 과정은 FPC 기판의 한 표면 또는 FPC 기판의 두 표면에 대해 행해진다. 그러나, 상술한 전기 도금 방식은 일반적으로 보다 긴 전기 도금 시간을 요하므로, 시간 및 장비의 비용이 증가한다.
또는, 폴리에틸렌 테레프타레이트(PET: polyethylene terephthalate) 또는 폴리이미드(PI: polyimide)를 포함하는 일반적인 연성 도금물은, 증착(evaporation), 스퍼터링(sputtering) 또는 화학 증착(chemical deposition)에 의해 그 표면에 전도층이 형성되고, 이로써 전기 도금을 위한 전단(front-end) 전도성 재료가 된다. 그러나, 전도층은 구리막과 같이 필름으로 된 금속층이기 때문에, 종래의 프로세스에 사용되는 클램프로는 도금물을 고정할 수 없으며, 컨베이어 벨트를 형성하고 음전하를 공급하기 위해 음극 롤이 필요하다.
일반적인 전기 도금 장치에서는, 사용한 전기 도금액과 새 전기 도금액 간의 금속 이온 농도에 차이가 있다. 이와 같은 문제를 해결하기 위해 혼합 장치를 사용하는 것은 효율성에 한계가 있다. 반면, 혼합 장치로 사용한 전기 도금액과 새 전기 도금액을 혼합하는 동안에는 전기 도금액의 정확한 금속 이온 농도를 조절하기가 쉽지 않다. 도금물의 양면은 고전류 영역인데, 이것은 서로 다른 배치(batches) 에서 전기 도금층의 불균일한 두께를 야기시키며, 따라서, 금속 이온 농도의 균일성을 증가시키는 것이 매우 중요하다. 따라서, 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해서는, 개선된 FPC 기판 제조용 전기 도금 장치가 필요하다.
본 개시는 종래 기술의 문제점을 해결하고, 전기 도금액을 균일하게 혼합하며, 전기 도금의 효율성을 높이는 전기 도금 장치를 제공한다.
본 개시의 일 실시예는 전기 도금 장치를 제공한다. 전기 도금 장치는 욕조, 복수의 롤, 적어도 하나의 음극 롤, 적어도 하나의 전기 도금 양극 및 분리 트로프(separation trough)를 포함한다. 이 경우, 욕조는 전기 도금액을 담기 위해 사용된다. 전기 도금액은 욕조에 담겨진 상태에서 표면을 갖는다.
롤은 욕조 내에 위치되고 이송 경로를 따라 도금물을 연속적으로 이송시킨다. 이송 경로의 적어도 일부에서 도금물은 전기 도금액의 표면 아래로 잠기게 된다.
음극 롤은 욕조 안에서 전기 도금액의 표면 위에 위치하고, 상기 전기 도금액에 접촉하지 않는다. 음극 롤은 도금물에 음전하를 공급하고, 전기 도금액의 금속 이온은 감소되어 도금물에 금속층을 형성한다.
전기 도금 양극은 이송 경로 상에 위치하고, 전기 도금액의 표면 아래에 잠겨 있다. 이 경우, 전기 도금 양극은 도금물의 표면에 평행이거나 수직이다. 전기 도금 양극은 산화되어 전기 도금액 내에 금속 이온을 생성하며, 금속 이온은 도금물에서 음전하와 금속층을 형성하며 감소된다.
분리 트로프는 욕조 내에 위치하고, 분리 트로프의 적어도 한 쪽 표면은 복수의 구멍을 갖는다. 전기 도금액은 분리 트로프를 통해 욕조에 공급되고, 기본적으로 전기 도금 양극의 가까이에 있는 도금물 쪽으로 확산된다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 이송 경로는 U자형, V자형 또는 삼각형이다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 이송 경로는 U자형이다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 롤은 수평, 수직이거나, 전기 도금액의 표면과 각을 이룬다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 음극 롤의 재료는 금속, 또는 금속 및 비금속의 합성물이다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 음극 롤의 재료는 강철, 구리 또는 티타늄을 포함하는 금속, 또는 금속 및 비금속의 합성물이다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 음극 롤은 수평, 수직이거나, 상기 전기 도금액의 표면의 표면과 각을 이룬다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 전기 도금 장치는 욕조 내에 위치한 적어도 하나의 릴리스 트로프(release trough)를 더 포함한다. 릴리스 트로프는, 도금물에 충격을 주어 금속층의 두께 균일성에 영향을 미치는 전기 도금액에 의해 발생하는 터뷸런스(turbulence)를 감소시키기 위해 사용된다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 릴리스 트로프는 복수의 구멍을 포함한다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 상기 도금물에 충격을 주어 금속층의 두께 균일성에 영향을 미치는 상기 전기 도금액에 의해 발생하는 터뷸런스(turbulence)를 감소시키기 위해, 릴리스 트로프의 구멍은 욕조로 전기 도금액을 공급한다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 전기 도금액을 균일하게 혼합하기 위하여, 트로프의 구멍은 복수의 버블(bubble)을 형성한다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 릴리스 트로프의 재료는 화학적 저항 물질(chemical resistant material)이다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 릴리스 트로프의 재료는 PVC(polyvinyl chloride), PP(polypropylene) 또는 PE(polyethylene)를 포함한다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 전기 도금 양극은 금속이다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 전기 도금 양극은 구리, 강철 또는 티타늄이다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 전기 도금 양극은 티타늄 네트(titanium net) 또는 티타늄 플레이트(titanium plate)이다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 전기 도금 양극의 표면은 산화 이리듐, 산화 탄탈륨 또는 그것의 결합물을 포함한다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 전기 도금 양극은 이송 경로의 두 면에 각각 위치하는 두 개의 전기 도금 양극을 포함하고, 전기 도금액의 표면 아래에 담긴다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 전기 도금 양극은 U자형 이송 경로의 두 면에 각각 위치하고, 전기 도금액의 표면 아래에 담긴다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 분리 트로프의 단면도는 직사각형, 역삼각형, 삼각형 또는 복수의 튜브 구조이다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 분리 트로프의 구멍은 원형 또는 벌집형이다.
본 개시의 다양한 실시예에 따르면, 도금물은 연성 인쇄 회로(FPC: flexible printed circuit) 기판을 포함한다.
상술한 일반적인 설명 및 이하의 상세한 설명 모두 예시에 의한 것이며, 청구된 바와 같이 본 발명의 추가적인 설명을 제공하고자 하였음을 이해해야 한다.
본 발명은 이하의 참조 도면에 관하여, 실시예의 구체적인 설명을 따라 읽음으로써 보다 완전하게 이해될 수 있다.
도 1은 본 개시의 다양한 실시예에 따른 전기 도금 장치의 단면도이다.
도 2a 및 도 2b는 릴리스 트로프를 포함하는, 본 개시의 다양한 실시예에 따른 전기 도금 장치의 단면도이다.
도 3a는 도 1의 전기 도금 장치의 평면도이다.
도 3b는 본 개시의 다양한 실시예에 따른 전기 도금 장치의 평면도이다.
도 4a는 분리 트로프의 단면도가 역삼각형인, 본 개시의 다양한 실시예에 따른 전기 도금 장치의 단면도이다.
도 4b는 분리 트로프의 단면도가 삼각형인, 본 개시의 다양한 실시예에 따른 전기 도금 장치의 단면도이다.
도 5a 및 5b는 본 개시의 다양한 실시예에 따른 분리 트로프의 측면의 구멍 패턴이다.
본 개시의 연성 인쇄 회로(FPC) 기판 제조용 전기 도금 장치의 실시예는 이하에서 상세하게 논의되며, 다만 본 개시의 보호범위를 제한하지 않는다. 동일한 부호 및 번호는 도면 또는 설명에서 동일 또는 유사한 부분에 사용된다. 본 개시의 적용은 이하의 실시예 및 예시에 의하여 제한되지 않으며 당업자는 관련 분야에 응용할 수 있다.
본 명세서에서 단수형 용어는 맥락상 명확하게 다른 대상을 지시하지 않는 한 복수의 대상을 포함한다. 따라서, 예를 들어, 맥락상 명확하게 다른 대상을 지시하지 않는 경우, 전기 도금 양극은 2 이상의 전기 도금 양극 등의 실시예를 포함한다. 본 명세서에서 “일 실시예”는, 실시예에 관하여 설명된 특정한 기능, 구조, 또는 특징 등이 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함된다는 것을 의미한다. 따라서, 본 명세서의 곳곳에서 “일 실시예에서” 또는 “하나의 실시예에서” 등의 문구의 발견은 반드시 모두 동일한 실시예를 가리키는 것이 아니다. 또한, 특정 기능, 구조, 또는 특징은 하나 이상의 실시예에서 어떠한 적절한 방식으로도 결합될 수 있다. 이하의 도면은 일정한 비율에 따라 그려진 것이 아니며; 오히려, 본 도면들은 의도되었고; 오히려, 본 도면들은 설명을 위한 것임을 알아야 한다.
도 1은 본 개시의 다양한 실시예에 따른 전기 도금 장치(electroplating apparatus)(100)의 단면도이다. 도 1에서, 전기 도금 장치(100)는 욕조(bath)(10), 복수의 롤(120), 적어도 하나의 음극 롤(cathodic roll)(121), 적어도 하나의 전기 도금 양극(electroplating anode)(130) 및 분리 트로프(separation trough)(14)를 포함한다.
욕조(110)는 전기 도금액(150)을 담기 위해 사용된다. 전기 도금액(150)이 욕조(110)에 담기면, 전기 도금액(150)은 표면(151)을 갖는다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 욕조는 바닥판(bottom board), 두 개의 측판(two side plate) 및 넘침판(overflow plate)으로 구성된다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 전기 도금액은 금속 이온을 포함하며, 금속 이온은 구리 이온, 코발트 이온, 니켈 이온, 아연 이온, 주석 이온 또는 은 이온일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
롤(120)은 욕조(110) 내에 위치한다. 롤(120)은 욕조 내에 줄지어 이송 경로를 형성하고, 이송 경로에 의해 도금물(160)을 지속적으로 이송시킨다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 롤은 수평, 수직이거나, 전기 도금액 표면의 표면과 각을 이룬다.
이송 경로 중 적어도 일부에서 도금물(160)은 전기 도금액(150)의 표면(151) 아래에 잠긴다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 이송 경로는 U자형, V자형 또는 삼각형일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 도 1에 도시된 바와 같이 이송 경로는 U자형이며, 이송 경로의 일부는 전기 도금액의 표면 아래에 잠긴다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 도금물은 FPC 기판 또는 FCCL(Flexible Copper Clad Laminate)일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
음극 롤(121)은 욕조(110) 안에서 전기 도금액(150)의 표면(151) 위에 위치하지만, 전기 도금액(150)에 접촉하지 않는다. 이 경우, 음극 롤(121)은 도금물(160)에 음전하를 공급하기 때문에, 전기 도금액(150)의 금속 이온은 감소될 수 있다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 음극 롤의 물질은 강철, 구리 및 티타늄 등의 금속이거나, 금속과 비금속의 합성물이나, 이에 제한되지 않는다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 음극 롤의 표면은 연삭(grind)되고 광택(polish) 처리된다.
전기 도금 양극(130)은 이송 경로 상에 위치하고, 전기 도금액(150)의 표면 아래에 잠긴다. 이 경우, 전기 도금 양극(130)은 도금물(160)의 표면에 평행하다. 전기 도금 양극(130)은 양전하를 제공하고, 산화를 수행하여 전기 도금액(150) 내에 금속 이온을 생성한다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 전기 도금 양극은 이송 경로의 두 양측에 각각 위치한 두 개의 전기 도금 양극이고, 전기 도금액의 표면 아래에 잠긴다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 전기 도금 양극은 각각 U자형 이송 경로의 두 양측에 개별적으로 위치하며, 도 1에 도시된 바와 같이, 전기 도금액의 표면 아래에 잠긴다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 전기 도금 양극은 구리, 강철, 또는 구리 등의 금속으로 만들어지나, 이에 제한되지 않는다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 전기 도금 양극은 티타늄 네트 또는 티타늄 플레이트이고, 나아가 산화 이리듐, 산화 탄탈륨 또는 전기 도금 양극 상 그것의 결합물을 포함한다.
분리 트로프(140)은 욕조(110) 내에 위치하고, 분리 트로프(140)의 적어도 한쪽 표면은 복수의 구멍(hole)(141)을 갖는다. 이 경우, 전기 도금액(150)이 분리 트로프(140)을 통해 욕조(110)로 공급되고, 기본적으로 전기 도금 양극(130)에 가까운 도금물(160) 쪽으로 확산된다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 분리 트로프의 단면도는 직사각형, 역삼각형, 삼각형 또는 복수의 튜브 구조이다.
도 1에서, 전기 도금액(150)은 화살선 A를 통해 분리 트로프(140)로 공급되며, 화살선 B를 따라 전기 도금 양극(130) 가까이의 도금물(160) 쪽으로 확산된다. 과도한 전기 도금액(150)의 표면(151)은 욕조(110)보다 더 높을 수 있으며, 그러면 화살선 C가 지시하는 바와 같이 욕조(110)로부터 넘쳐난다.
도 2a는 릴리스 트로프(210a)를 포함하는, 본 개시의 다양한 실시예에 따른 전기 도금 장치(200a)의 단면도이다. 도 2a에서, 전기 도금 장치(200a)의 구조는 도 1과 유사하나, 전기 도금 장치(200a) 내에 릴리스 트로프(210a), 네 개의 음극 롤(121) 및 네 개의 전기 도금 양극(130)을 더 포함한다.
릴리스 트로프(210a)는 욕조(110)의 바닥에 위치한다. 이 경우, 릴리스 트로프(210a)는 새 전기 도금액을 공급하는 개구(opening)(211)를 갖는다. 욕조(110) 내에서 전기 도금액을 균일하게 혼합하기 위해, 릴리스 트로프(210a)는 또한 욕조(110)의 내부 방향으로 복수의 구멍(212)을 포함한다.
음극 롤(121) 및 전기 도금 양극(130)은 도금물(160)의 양면에 각각 위치한다. 따라서, 도금물(160)의 두 양쪽 표면은 동시에 전기 도금될 수 있어, 전기 도금 효율 및 수율이 향상된다.
도 2b는 릴리스 트로프(210b)를 포함하는, 본 개시의 다양한 실시예에 따른 전기 도금 장치(200b)의 단면도이다. 도 2b에서, 전기 도금 장치(200b)의 구조는 도 2a와 유사하나, 릴리스 트로프(210b)가 욕조(110)의 두 면으로 확장된다.
릴리스 트로프(210b)가 욕조(110)의 두 면으로 확장되기 때문에, 새 전기 도금액은 릴리스 트로프(210b)의 구멍(212)을 따라 전기 도금 양극 가까이의 도금물 쪽으로 확산될 수 있으며, 이로써 도금물에 충격을 주어 금속층의 두께 균일성에 영향을 미치는 전기 도금액에 의해 발생하는 터뷸런스(turbulence)가 감소된다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 릴리스 트로프의 재료는 화학적 저항성 물질이다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 릴리스 트로프의 재료는 PVC(polyvinyl chloride), PP(polypropylene) 또는 PE(polyethylene)을 포함한다.
본 개시의 다양한 실시예에서, 도금물 양면의 음극 롤과 전기 도금 양극의 결합으로 인해, 전기 도급 장치는 전기 도금 효율성을 높이고 수율을 현저하게 향상시킬 수 있다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 도금물의 전기 도금 속도는 200% 증가할 수 있다.
일면으로, 본 개시의 다양한 실시예에 따른 전기 도금 장치는 모두 정확한 농도로 욕조에 새 전기 도금액을 공급하는 분리 트로프를 갖는다. 전기 도금 시간이 길어질수록, 전기 도금액의 금속 이온 농도는 감소할 것이다. 따라서, 본 개시의 다양한 실시예에서는, 도금물의 도금막(plating flim)의 품질 향상을 위해, 정확한 농도의 새 전기 도금액이 분리 트로프의 구멍을 통해 전기 도금 양극 가까이의 도금물 쪽으로 확산될 수 있다.
또 다른 관점에서, 전기 도금 효율과 수율을 높이기 위해, 본 개시의 다양한 실시예에 따른 전기 도금 장치는 모두 적어도 두 개의 전기 도금 양극을 갖는다. 전기 도금 장치에서, 전기 도금 프로세스를 수행하기 위해 도금물이 전기 도금 양극의 가까이에 있어야 하므로, 이송 경로의 두 양면에 위치한 두 개의 전기 도금 양극은 전기장의 영향을 피할 수 있으며 동일한 도금층 두께의 전기 도금 시간을 줄일 수 있고, 따라서 수율이 증가한다.
도 3a는 도 1의 전기 도금 장치(100)의 평면도이다. 도 3a에서, 도금물(160)은 욕조(110)의 두 면에 각각 위치한 롤을 따라 이동하고, 전기 도금액(150)에 담긴다. 분리 트로프(140)는 욕조(110)의 중심에 위치하며, 분리 트로프(140)의 두 면의 구멍(141)은 화살선 B를 따라 새 전기 도금액(150)을 도금물(160) 쪽으로 확산한다.
도 3b는 본 개시의 다양한 실시예에 따른 전기 도금 장치(300)의 평면도이다. 도 3b에서, 전기 도금 장치(300)는 욕조(310), 복수의 롤(320), 적어도 하나의 음극 롤(321), 적어도 하나의 전기 도금 양극(330) 및 분리 트로프(340)를 포함한다. 이 경우, 욕조(310)는 전기 도금액(350)을 담기 위해 사용된다. 롤(320)은 줄지어 욕조(310)의 이송 경로를 형성하고, 이송 경로에 의해 도금물(360)을 지속적으로 전달한다. 전기 도금 양극(330)은 이송 경로 상에 위치하고, 도금물(360)의 표면에 평행이다.
분리 트로프(340)는 욕조(310)의 중심에 위치하며, 분리 트로프(340)의 두 면의 구멍은 화살선 B를 따라 새 전기 도금액(350)을 도금물(360) 쪽으로 확산시킨다.
도 3a와는 달리, 도 3b의 전기 도금 장치(300)의 롤(320) 및 음극 롤(321)은 모두 전기 도금액(350) 의 표면에 수직이다. 이 경우, 롤(320)은 욕조 안에서 전기 도금액(350)의 표면 아래에 위치한다. 음극 롤(321)은 욕조(310) 밖에 위치하며, 전기 도금액(350)에 접촉하지 않는다. 도금물(360)이 이송 경로에 위치할 때, 도금물(360)은 전기 도금액(350)의 표면 아래에 수직으로 있게 된다.
도 4a는 본 개시의 다양한 실시예에 따른 전기 도금 장치(400a)의 단면도이다. 도 4a에서, 전기 도금 장치(400a)는 욕조(410), 복수의 롤(420), 적어도 하나의 음극 롤(421), 적어도 하나의 전기 도금 양극(430) 및 분리 트로프(440a)를 포함하며, 분리 트로프(440a)의 단면도는 역삼각형이다.
전기 도금 장치(400a)의 롤(420)은 V자형 이송 경로를 형성하고, V자형 이송 경로에 의해 도금물(460)을 지속적으로 이송한다. 이송 경로가 V자형이므로, 분리 트로프(440a)의 단면도는 역삼각형이다. 새 전기 도금액(450)은 화살선 A를 따라 분리 트로프(440a)에 공급되고, 화살선 B를 따라 전기 도금 양극(430)의 가까이에 있는 도금물(460) 쪽으로 확산된다. 이후에, 과도한 전기 도금액(450)의 표면(451)은 화살선 C가 지시하는 바와 같이 욕조(410)로부터 넘쳐난다.
음극 롤(421)은 도금물(460)에 음전하를 공급하며, 이에 따라 전기 도금액(450)의 금속 이온이 감소될 수 있고, 도금물(460)에 금속층을 형성할 수 있다. 전기 도금 양극(430)은 양전하를 공급하고, 산화하여 전기 도금액(450) 내에 금속 이온을 생성한다.
본 개시의 다양한 실시예에서, 음극 롤의 재료는 강철, 구리 및 티타늄 등의 금속이나, 이에 제한되지 않는다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 음극 롤의 표면은 갈리고 다듬어진다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 전기 도금 양극은 구리, 강철 또는 구리 등의 금속으로 이루어지나, 이에 제한되지 않는다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 전기 도금 양극은 티타늄 네트 또는 티타늄 플레이트이고, 나아가 산화 이리듐, 산화 탄탈륨 또는 전기 도금 양극 상 그것의 결합물을 포함한다.
도 4b는 본 개시의 다양한 실시예에 따른 전기 도금 장치의 단면도이다. 도 4b에서, 전기 도금 장치(400b)는 욕조(410), 복수의 롤(420), 적어도 하나의 음극 롤(421), 적어도 하나의 전기 도금 양극(430) 및 분리 트로프(440b)를 포함하며, 분리 트로프(440b)의 단면도는 삼각형이다.
전기 도금 장치(400b)의 롤(420)은 삼각형의 이송 경로를 형성하고, 삼각형 이송 경로에 의해 도금물(460)을 지속적으로 이송한다. 이송 경로가 삼각형이므로, 분리 트로프(440b)의 단면도는 삼각형이다. 새 전기 도금액(450)은 화살선 A를 따라 분리 트로프(440b)에 공급되고, 화살선 B를 따라 전기 도금 양극(430)의 가까이에 있는 도금물(460) 쪽으로 확산된다. 이후에, 과도한 전기 도금액(450)의 표면(451)은 화살선 C가 지시하는 바와 같이 욕조(410)로부터 넘쳐난다.
음극 롤(421)은 도금물(460)에 음전하를 공급하며, 이에 따라 전기 도금액(450)의 금속 이온이 감소될 수 있고, 도금물(460)에 금속층을 형성할 수 있다. 전기 도금 양극(430)은 양전하를 공급하고, 산화하여 전기 도금액(450) 내에 금속 이온을 생성한다.
본 개시의 다양한 실시예에서, 음극 롤의 재료는 강철, 구리 및 티타늄 등의 금속이나, 이에 제한되지 않는다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 음극 롤의 표면은 갈리고 다듬어진다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 전기 도금 양극은 구리, 강철 또는 구리 등의 금속으로 이루어지나, 이에 제한되지 않는다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 전기 도금 양극은 티타늄 네트 또는 티타늄 플레이트이고, 나아가 산화 이리듐, 산화 탄탈륨 또는 전기 도금 양극 상 그것의 결합물을 포함한다.
도 5a 및 도 5b는 각각 본 개시의 다양한 실시예에 따른 분리 트로프(500a 및 500b)의 양 표면의 구멍 패턴(510a 및 510b)이다. 일반적으로, 분리 트로프의 구멍 패턴은 원형, 벌집형(honeycomb), 삼각형, 직사각형 또는 기하학적 형태일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 도 5a에 도시된 바와 같이 분리 트로프(500a)의 구멍 패턴(510a)은 원형이다. 본 개시의 다양한 실시예에서, 도 5b에 도시된 바와 같이, 분리 트로프(500b)의 구멍 패턴은 벌집형이다.
본 개시의 다양한 실시예에서, 도금막의 품질을 현저하게 향상시키기 위해, 분리 트로프는 전기 도금 양극의 가까이에 있는 도금물에 정확한 농도로 새 전기 도금액을 공급할 수 있다. 또는, 릴리스 트로프를 갖는 전기 도금 장치가 균일성을 지니면서 빠르게 혼합하는 믹싱(mixing) 방법인 일반적인 스터링(stirring)으로 대신할 수 있고, 또한 새 전기 도금액을 욕조로 공급한다. 반면, 수율을 높이기 위해, 이송 경로에 위치한 두 전기 도금 양극은 동일한 도금층 두께의 도금 시간을 줄일 수 있다.
해당 특정 실시예에 관하여 매우 구체적으로 본 발명을 설명하였으나, 다른 실시예도 가능하다. 따라서, 첨부된 청구항의 본질 및 범위는 여기에 포함된 실시예의 설명에 제한되어서는 안된다.
본 발명의 범위 또는 본질에서 벗어나지 않는 다양한 변경 및 변형이 당업자에 의하여 본 발명의 구조에 가해질 수 있음이 명백해질 것이다. 상술한 바와 같이, 본 발명은 제공된 본 발명의 변형 및 변경을 커버하며 이는 이하의 청구항의 범위에 포함된다.

Claims (21)

  1. 전기 도금 장치에 있어서,
    전기 도금액을 담고 있는 욕조(bath)로서, 상기 욕조 내에 담긴 상기 전기 도금액이 표면을 갖는, 상기 욕조;
    상기 욕조 내에 위치하는 복수의 롤(roll);
    상기 욕조 안에서 상기 전기 도금액의 표면 위에 위치하고, 상기 전기 도금액에 접촉하지 않는 적어도 하나의 음극 롤로서, 상기 음극 롤 및 상기 롤은 도금물을 연속으로 이송시키는 이송 경로 상에 형성 되고, 상기 이송 경로의 적어도 일부에서 상기 도금물은 상기 전기 도금액의 표면 아래에 잠기는, 상기 적어도 하나의 음극 롤;
    상기 이송 경로 상에 위치하고, 상기 전기 도금액의 표면 아래에 잠겨 있는 적어도 하나의 전기 도금 양극으로서, 상기 전기 도금 양극은 상기 도금물의 표면에 평행인, 상기 전기 도금 양극; 및
    상기 욕조 내에 위치하는 분리 트로프(separation trough)로서, 상기 분리 트로프의 적어도 한 쪽 표면은 복수의 구멍을 가지고, 상기 전기 도금액이 상기 분리 트로프를 통해 상기 욕조에 공급되어 , 상기 전기 도금 양극의 가까이에 있는 도금물 쪽으로 확산되는, 상기 분리 트로프
    를 포함하는 전기 도금 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이송 경로는 U자형, V자형 또는 삼각형인, 전기 도금 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 이송 경로는 U자형인, 전기 도금 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 전기 도금 양극은 상기 이송 경로의 두 개의 측에 각각 위치하는 두 개의 전기 도금 양극을 포함하고, 상기 전기 도금액의 표면 아래에 잠겨 있는, 전기 도금 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 전기 도금 양극은 U자형 이송 경로의 두 개의 측에 각각 위치하고, 상기 전기 도금액의 표면 아래에 잠겨 있는, 전기 도금 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 롤은 수평, 수직이거나, 상기 전기 도금액의 표면의 표면과 각을 이루는, 전기 도금 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 음극 롤의 재료는 금속, 또는 금속 및 비금속의 합성물인, 전기 도금 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 음극 롤의 재료는 강철, 구리 또는 티타늄을 포함하는 금속, 또는 금속 및 비금속의 합성물인, 전기 도금 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 음극 롤은 수평, 수직이거나, 상기 전기 도금액의 표면과 각을 이루는, 전기 도금 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 욕조 내에 위치한 적어도 하나의 릴리스 트로프(release trough)를 더 포함하고,
    상기 릴리스 트로프는, 상기 도금물에 충격을 주어 금속층의 두께 균일성에 영향을 미치는, 상기 전기 도금액에 의해 발생하는 터뷸런스(turbulence)를 감소시키기 위해 사용되는, 전기 도금 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 릴리스 트로프는 복수의 구멍을 포함하는, 전기 도금 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 도금물에 충격을 주어 금속층의 두께 균일성에 영향을 미치는, 상기 전기 도금액에 의해 발생하는 터뷸런스(turbulence)를 감소시키기 위해, 상기 릴리스 트로프의 구멍이 상기 전기 도금액을 상기 욕조로 공급하는, 전기 도금 장치.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 릴리스 트로프의 재료는 화학적 저항 물질인, 전기 도금 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 릴리스 트로프의 재료는 PVC(polyvinyl chloride), PP(polypropylene) 또는 PE(polyethylene)를 포함하는, 전기 도금 장치.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 전기 도금 양극은 금속인, 전기 도금 장치.
  16. 제1항에 있어서,
    상기 전기 도금 양극은 구리, 강철 또는 티타늄인, 전기 도금 장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 전기 도금 양극은 티타늄 네트(titanium net) 또는 티타늄 플레이트(titanium plate)인, 전기 도금 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 전기 도금 양극의 표면은 산화 이리듐, 산화 탄탈륨 또는 그 조합을 포함하는, 전기 도금 장치.
  19. 제1항에 있어서,
    상기 분리 트로프의 단면도는 직사각형, 역삼각형, 삼각형 또는 복수의 튜브 구조인, 전기 도금 장치.
  20. 제1항에 있어서,
    상기 분리 트로프의 구멍은 원형 또는 벌집형인, 전기 도금 장치.
  21. 제1항에 있어서,
    상기 도금물은 연성 인쇄 회로(FPC: flexible printed circuit) 기판을 포함하는, 전기 도금 장치.
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