KR20150008301A - 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 - Google Patents

기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20150008301A
KR20150008301A KR20130082286A KR20130082286A KR20150008301A KR 20150008301 A KR20150008301 A KR 20150008301A KR 20130082286 A KR20130082286 A KR 20130082286A KR 20130082286 A KR20130082286 A KR 20130082286A KR 20150008301 A KR20150008301 A KR 20150008301A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lubricant
rack gear
supply
transfer arm
arm
Prior art date
Application number
KR20130082286A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101563780B1 (ko
Inventor
윤대규
김동혁
김상현
Original Assignee
현대중공업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 현대중공업 주식회사 filed Critical 현대중공업 주식회사
Priority to KR1020130082286A priority Critical patent/KR101563780B1/ko
Publication of KR20150008301A publication Critical patent/KR20150008301A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101563780B1 publication Critical patent/KR101563780B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
    • B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0062—Lubrication means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/102—Gears specially adapted therefor, e.g. reduction gears
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H57/00—General details of gearing
    • F16H57/04—Features relating to lubrication or cooling or heating
    • F16H57/042—Guidance of lubricant
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68742—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 기판을 지지하기 위한 이송암이 승강 가능하게 결합되는 승강프레임; 상기 이송암이 승강하는 승강방향으로 상기 승강프레임에 결합되는 랙기어, 상기 랙기어에 치합되는 피니언기어, 상기 이송암에 결합되고, 상기 이송암을 승강시키기 위해 상기 피니언기어를 회전시키는 구동부, 및 상기 이송암이 승강함에 따라 상기 랙기어에 윤활유를 공급하기 위한 급유부를 포함하는 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 윤활유를 주입하는 과정 승강부를 분해한 뒤 다시 조립하는 과정을 생략함으로써 기판을 이송하는 작업에 소요되는 시간을 줄일 수 있고, 이에 따라, 기판을 이용하여 제조되는 전자부품의 생산성을 향상시킬 수 있다.

Description

기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치{GOING UP AND DOWN DEVICE AND APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE HAVING THE SAME}
본 발명은 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치에 관한 것이다.
디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 기판 이송장치는 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하기 위한 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치를 나타내는 블록도이다.
도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 기판을 지지하는 이송암(10), 상기 이송암(10)을 승강시키기 위한 승강부(20), 상기 승강부(20)를 회전시키기 위한 선회부(30), 및 상기 선회부(30)를 이동시키기 위한 주행부(40)를 포함한다.
상기 이송암(10)은 상기 기판을 이송하기 위해 이동한다. 상기 이송암(10)은 상기 기판을 지지하는 지지핸드(11), 상기 지지핸드(11)를 이동시키기 위한 암유닛(12), 및 일측에 상기 암유닛(12)이 결합되고 타측에 상기 승강부(20)가 결합되는 암베이스(13)를 포함한다.
상기 승강부(20)는 상기 이송암(10)을 상하방향으로 이동시킨다. 상기 승강부(20)는 상기 암베이스(13)를 승강시킴으로써, 상기 암베이스(13)에 결합된 상기 암유닛(12) 및 상기 암유닛(12)에 결합된 상기 지지핸드(11)를 승강시킨다. 도시되지 않았지만, 상기 승강부(20)는 상기 이송암(10)을 승강시키기 위해 회전 가능하게 상기 이송암(10)에 결합되는 피니언기어 및 상기 피니언기어와 치합되도록 상기 승강부(20)에 결합되는 랙기어를 포함한다.
상기 선회부(30)는 상기 승강부(20)를 회전시킨다. 상기 선회부(30)는 상기 주행부(40)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(30)는 회전축을 중심으로 회전하여 상기 승강부(20)를 회전시킴으로써, 상기 이송암(10)을 회전시킨다.
상기 주행부(40)는 주행방향으로 상기 선회부(30)를 이동시킨다. 상기 주행부(40)는 상기 선회부(30)를 상기 주행방향으로 이동시킴으로써, 상기 승강부(20) 및 상기 이송암(10)을 상기 주행방향으로 이동시킨다.
여기서, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 피니언기어 및 상기 랙기어가 마모되지 않도록 상기 윤활유를 주기적으로 공급해야 한다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 윤활유를 주입하기 위해 상기 승강부(20)를 분해한 뒤 다시 조립하는 과정에서 많은 시간이 소요된다. 따라서, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 윤활유를 주입하는 과정에서 많은 시간이 소요됨에 따라 상기 기판을 이송하는 작업에 많은 시간이 소요된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 기판을 이용하여 제조되는 상기 전자부품의 생산성이 저하되는 문제가 있다.
또한, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 피니언기어 및 상기 랙기어에 공급되는 상기 윤활유가 부족할 경우, 상기 이송암(10)을 이송하는 과정에서 상기 피니언기어 및 상기 랙기어 사이에 마찰이 발생한다. 따라서, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 피니언기어 및 상기 랙기어가 마찰됨에 따라 상기 피니언기어 및 상기 랙기어의 수명이 짧아진다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 피니언기어 및 상기 랙기어에 대해 잦은 유지보수 작업이 요구됨으로써, 기판 이송장치(1)에 대한 가동률이 저하될 뿐만 아니라 유지보수비용이 증가하는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 피니언기어 및 랙기어에 자동으로 윤활유를 공급하기 위한 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치는 기판을 지지하기 위한 이송암이 승강 가능하게 결합되는 승강프레임; 상기 이송암이 승강하는 승강방향으로 상기 승강프레임에 결합되는 랙기어; 상기 랙기어에 치합되는 피니언기어; 상기 이송암에 결합되고, 상기 이송암을 승강시키기 위해 상기 피니언기어를 회전시키는 구동부; 및 상기 이송암이 승강함에 따라 상기 랙기어에 윤활유를 공급하기 위한 급유부를 포함하고, 상기 급유부는 상기 윤활유를 상기 랙기어에 공급하기 위해 상기 이송암에 회전가능하도록 결합되는 제 1 공급기구를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치에 따르면 상기 제 1 공급기구는 상기 피니언기어가 기설정된 이동거리만큼 이동함에 따라 상기 랙기어에 상기 윤활유를 공급하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치에 따르면 상기 급유부는 상기 윤활유를 저장한 상태에서 상기 윤활유를 상기 제 1 공급기구 측으로 분사하기 위한 급유기구를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치는 상기 피니언기어의 이동거리에 따라 상기 랙기어에 상기 윤활유를 공급하기 위한 공급주기를 결정하기 위해 상기 피니언기어의 이동거리를 획득하기 위한 획득부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치는 상기 이송암의 승강경로를 가이드하기 위해 상기 승강프레임에 결합되는 가이드부 및 상기 가이드부에 이동가능하도록 결합되는 가이드블록을 포함하고, 상기 급유부는 상기 가이드부에 상기 윤활유를 공급하기 위해 상기 가이드블록에 결합되는 제 2 공급기구를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치는 상기 이송암의 승강경로를 가이드하기 위해 상기 승강프레임에 결합되는 가이드부 및 상기 가이드부에 이동가능하도록 결합되는 가이드블록을 포함하고, 상기 획득부는 상기 가이드블록의 이동거리에 따라 상기 가이드부에 공급되는 상기 윤활유의 양을 조절하기 위해 상기 가이드블록의 이동거리를 획득하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치에 따르면 상기 급유부는 상기 제1공급기구에 윤활유를 분사하는 급유기구를 포함하고; 상기 제1공급기구는 상기 급유기구로부터 분사되는 윤활유를 상기 랙기어에 공급하기 위한 전달부재를 포함하며; 상기 전달부재는 상기 급유기구로부터 분사되는 윤활유로부터 윤활층이 형성되도록 합성수지로 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치에 따르면 상기 제 1 공급기구는 상기 윤활유가 상기 랙기어에 공급되도록 외면에 상기 윤활유가 공급되기 위한 공급홈을 포함하고, 상기 제 1 공급기구는 상기 공급홈이 상기 랙기어에 밀착되어 승강되도록 상기 이송암에 결합되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치에 따르면 상기 제1공급기구는 상기 랙기어에 형성되는 이홈에 삽입되는 삽입부재를 포함하고, 상기 삽입부재는 상기 제 1 공급기구의 외면을 따라 복수 개가 서로 이격되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 이송하기 위한 이송암; 상기 이송암이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키기 위한 제1항 내지 제8항 중에서 어느 하나의 승강장치; 상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부; 및 상기 선회부를 주행방향으로 이동시키기 위한 주행부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
본 발명은 윤활유를 주입하는 과정 승강부를 분해한 뒤 다시 조립하는 과정을 생략함으로써 기판을 이송하는 작업에 소요되는 시간을 줄일 수 있고, 이에 따라, 기판을 이용하여 제조되는 전자부품의 생산성을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 피니언기어 및 랙기어가 마찰되는 것을 방지함으로써, 기판 이송장치에 대한 가동률을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 피니언기어 및 랙기어의 유지보수비용을 줄일 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치를 나타내는 블록도이고,
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송장치를 나타내는 사시도이고,
도 3은 도 2의 기판 이송장치에서 승강장치를 개략적으로 나타내는 블록도이고,
도 4는 도 3의 승강장치에서 제 1 공급기구의 공급홈을 설명하기 위한 단면도이고,
도 5는 도 3의 승강장치에서 삽입부재를 설명하기 위한 단면도이고,
도 6은 도 3의 승강장치에서 전달부재를 설명하기 위한 단면도이고,
도 7은 도 3의 승강장치에서 제 2 공급기구를 설명하기 위한 단면도이다.
본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 발명에 따른 승강장치는 본 발명에 따른 기판 이송장치에 포함되므로, 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예를 설명하면서 함께 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송장치를 나타내는 사시도이고, 도 3은 도 2의 기판 이송장치에서 승강장치를 개략적으로 나타내는 블록도이고, 도 4는 도 3의 승강장치에서 제 1 공급기구의 공급홈을 설명하기 위한 단면도이고, 도 5는 도 3의 승강장치에서 삽입부재를 설명하기 위한 단면도이고, 도 6은 도 3의 승강장치에서 전달부재를 설명하기 위한 단면도이고, 도 7은 도 3의 승강장치에서 제 2 공급기구를 설명하기 위한 단면도이다.
본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 기판(110)을 이송하기 위한 것이다. 상기 기판(110)은 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등의 전자부품을 제조하기 위한 것이다. 예컨대, 상기 기판(110)은 상기 전자부품을 제조하기 위한 유리기판일 수 있다. 상기 기판(110)은 금속(Metal) 기판, 폴리이미드(Polyimide) 기판, 플라스틱(Plastic) 기판 등일 수도 있다. 상기 전자부품이 디스플레이 장치인 경우, 상기 기판(110)은 2매 이상의 기판이 서로 합착된 합착기판일 수도 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)에 대한 증착공정, 식각공정 등의 제조공정을 수행하는 공정챔버들 간에 상기 기판(110)을 이송할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 공정챔버들 및 상기 기판(110)이 저장되는 카세트 간에 상기 기판(110)을 이송할 수도 있다.
도 2 내지 도 7을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)을 이송하기 위한 이송암(120), 상기 이송암(120)을 승강시키기 위한 승강장치(200), 상기 승강장치(200)를 회전시키기 위한 선회부(130), 및 상기 선회부(130)를 이동시키기 위한 주행부(140)를 포함한다.
상기 승강장치(200)는 상기 이송암(120)이 승강 가능하게 결합되는 승강프레임(210), 상기 승강프레임(210)에 결합되는 랙기어(220), 상기 랙기어(220)에 치합되는 피니언기어(230), 상기 피니언기어(230)를 회전시키는 구동부(240), 및 윤활유(A)를 공급하기 위한 급유부(250)를 포함한다.
상기 이송암(120)은 상기 피니언기어(230)가 상기 랙기어(220)와 치합됨에 따라 상기 승강프레임(120)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 급유부(250)는 상기 랙기어(220)에 윤활유(A)를 공급한다.
이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 랙기어(220)에 윤활유(A)를 공급하기 위해 상기 승강장치(200)를 분해한 뒤 다시 조립하는 과정을 생략할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 윤활유(A)를 공급하는 과정에 소요되는 시간을 줄일 수 있으므로, 상기 기판(110)을 이송하는 작업에 소요되는 시간을 줄일 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)을 이용하여 제조되는 상기 전자부품의 생산성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 랙기어(220)에 윤활유(A)를 공급함으로써, 상기 랙기어(220) 및 상기 피니언기어(230)가 마찰되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 가동률을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 상기 랙기어(220) 및 상기 피니언기어(230)를 유지보수하는데 사용되는 비용을 줄일 수 있다.
이하에서는 상기 이송암(120), 상기 승강장치(200), 상기 선회부(130), 및 상기 주행부(140)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
상기 이송암(120)은 상기 기판(110)을 이송한다. 상기 이송암(120)은 상기 승강장치(200)에 결합된다. 이에 따라, 상기 이송암(120)은 상기 승강장치(200)가 상기 선회부(140)에 의해 회전됨에 따라 함께 회전될 수 있다. 상기 이송암(120)은 암베이스(121), 암바디(122), 암유닛(123) 및 지지핸드(124)를 포함할 수 있다.
상기 암베이스(121)는 상기 승강장치(200)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 암베이스(121)는 상기 승강장치(200)에 의해 승강된다. 이에 따라, 상기 이송암(120)이 위치하는 높이가 변경될 수 있다.
상기 암바디(122)는 상기 암베이스(121)에 결합된다. 상기 암베이스(121)의 일측이 상기 승강장치(200)에 결합되는 경우, 상기 암바디(122)는 상기 암베이스(121)의 타측에 결합될 수 있다.
상기 암유닛(123)은 상기 암바디(122)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 암유닛(123)이 이동함에 따라 상기 지지핸드(124)가 함께 이동할 수 있다. 상기 암유닛(123)은 상기 지지핸드(123)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 암유닛(123)은 직선으로 이동함으로써, 상기 지지핸드(123)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 암유닛(123)은 회전 이동함으로써, 상기 지지핸드(123)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 상기 암유닛(123)는 제 1 암기구(123a), 및 제 2 암기구(123b)를 포함할 수 있다.
상기 제 1 암기구(123a)는 상기 암바디(122)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제 1 암기구(123a)는 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제 1 암기구(123a)는 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어 방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터(Linear Motor) 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(123)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제1암기구(123a)는 상기 암바디(122)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암유닛(123)이 회전 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제1암기구(123a)는 상기 암바디(122)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
상기 제2암기구(123b)는 상기 제1암기구(123a)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1암기구(123a)는 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제1암기구(123a)는 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류 방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(123)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제2암기구(123b)는 상기 제1암기구(123a)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암유닛(123)이 회전 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제2암기구(123b)는 상기 제1암기구(123a)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2암기구(123b) 및 상기 제1암기구(123a)는 서로 반대되는 방향으로 회전함으로써, 상기 지지핸드(124)를 직선으로 이동시킬 수 있다.
상기 지지핸드(124)는 상기 암유닛(123)에 결합된다. 상기 지지핸드(124)는 상기 암유닛(123)이 이동함에 따라 직선으로 이동함으로써, 기판(110)을 이송할 수 있다. 상기 지지핸드(124)는 상기 제2암기구(123b)에 결합될 수 있다.
상기 승강장치(200)는 상기 이송암(120)을 승강시킨다. 이에 따라, 상기 승강장치(200)는 상기 이송암(120)이 위치하는 높이를 변경할 수 있다. 상기 승강장치(200)는 상기 승강프레임(210), 상기 랙기어(220), 상기 피니언기어(230), 상기 구동부(240) 및 상기 급유부(250)를 포함한다.
상기 승강프레임(210)은 상기 선회부(130)에 결합된다. 사익 승강프레임(210)에는 상기 이송암(120)이 승강 가능하게 결합된다. 이에 따라, 상기 승강장치(200)는 상기 이송암(120)이 위치하는 높이를 변경할 수 있다.
상기 랙기어(220)는 상기 이송암(120)이 승강하는 승강방향으로 상기 이송암(120)에 결합된다. 상기 랙기어(220)의 일면에는 나사산이 형성된다. 상기 랙기어(220)의 나사산 사이에는 상기 피니언기어(230)의 나사산이 삽입되는 이홈(221)이 형성된다. 상기 랙기어(220)는 나사산에 의해 상기 피니언기어(240)와 치합된다. 상기 랙기어(220)는 상기 승강방향을 따라 상기 피니언기어(240)가 이동하는 경로를 제공한다.
상기 피니언기어(230)는 상기 이송암(120)에 결합된다. 상기 피니언기어(230)의 외면에는 나사산이 형성된다. 상기 피니언기어(230)는 나사산에 의해 상기 랙기어(220)와 치합된다. 이에 따라, 상기 피니언기어(230)가 상기 구동부(240)에 의해 회전됨에 따라 상기 피니언기어(220)의 나사산이 상기 랙기어(220)의 나사산과 치합된 상태로 회전함으로써, 상기 이송암(120)이 승강될 수 있다.
상기 구동부(240)는 상기 이송암(120)에 결합된다. 상기 구동부(240)는 상기 이송암(120)을 승강시키기 위해 상기 피니언기어(230)를 회전시킨다. 상기 구동부(240)가 상기 피니언기어(230)를 회전시킴에 따라 상기 이송암(120)을 승강시킬 수 있다. 상기 구동부(240)는 모터일 수 있다.
상기 급유부(250)는 상기 이송암(120)이 승강함에 따라 상기 랙기어(220)와 상기 피니언기어(230)가 마찰되는 것을 방지하기 위해 상기 랙기어(220)에 윤활유(A)를 공급한다. 상기 급유부(250)는 제 1 공급기구(251) 및 급유기구(252)를 포함한다.
상기 제 1 공급기구(251)는 상기 이송암(120)에 회전가능하도록 결합된다. 이에 따라, 상기 제 1 공급기구(251)는 윤활유(A)를 상기 랙기어(220)에 공급할 수 있다. 상기 제 1 공급기구(251)는 상기 피니언기어(230)가 기설정된 이동거리만큼 이동함에 따라 상기 랙기어(220)에 윤활유(A)를 공급한다. 상기 제 1 공급기구(251)는 공급홈(251a), 삽입부재(251b). 전달부재(251c)를 포함할 수 있다.
도 4를 참고하면, 상기 공급홈(251a)은 상기 제 1 공급기구(251)의 외측으로부터 내측을 향하는 방향을 향하도록 상기 제 1 공급기구(251)의 외면에 형성된다. 여기서, 상기 급유기구(252)는 상기 공급홈(251a)에 윤활유(A)를 분사한다. 이에 따라, 상기 공급홈(251a)이 상기 랙기어(220)에 밀착되어 승강됨으로써, 상기 랙기어(220)에 윤활유(A)를 공급할 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 제 1 공급기구(251)가 상기 랙기어(220)에 윤활유(A)를 공급하도록 상기 이송암(120)에 결합됨에 따라 상기 랙기어(220)에 윤활유(A)를 공급하기 위해 상기 승강장치(200)를 분해한 뒤 다시 조립하는 과정을 생략할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 윤활유(A)를 공급하는 과정에 소요되는 시간을 줄일 수 있으므로, 상기 기판(110)을 이송하는 작업에 소요되는 시간을 줄일 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)을 이용하여 제조되는 상기 전자부품의 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 제 1 공급기구(251)가 상기 랙기어(220)에 윤활유(A)를 공급함으로써, 상기 랙기어(220) 및 상기 피니언기어(230)가 마찰되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 가동률을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 상기 랙기어(220) 및 상기 피니언기어(230)를 유지보수하는데 사용되는 비용을 줄일 수 있다.
도 5를 참고하면, 상기 삽입부재(251b)는 상기 랙기어(220)에 형성되는 상기 이홈(221)에 삽입된다. 상기 삽입부재(251b)는 상기 제 1 공급기구(251)의 외면을 따라 복수 개가 서로 이격되도록 형성된다. 여기서, 상기 급유기구(252)가 상기 삽입부재(251b)에 윤활유(A)를 분사함에 따라, 상기 삽입부재(251b)가 상기 이홈(221)을 따라 이동됨으로써, 상기 랙기어(220)에 윤활유(A)를 공급할 수 있다.
도 6을 참고하면, 상기 전달부재(251c)는 상기 급유기구(252)로부터 분사되는 윤활유(A)를 상기 랙기어(220)에 공급한다. 상기 전달부재(251c)의 외면에는 윤활유(A)로부터 형성되는 윤활층(A')이 형성된다. 상기 전달부재(251c)는 상기 윤활층(A')이 형성된 상태에서 상기 랙기어(220)를 따라 이동함으로써, 상기 랙기어(220)에 윤활유(A)를 공급할 수 있다. 이를 위해, 상기 전달부재(251c)는 합성수지로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 전달부재(251c)는 상기 랙기어(220)와 접함에 따라 상기 랙기어(220)의 나사산 형태와 대응되는 형태로 변형될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 삽입부재(251b)와 상기 전달부재(251c)에 의해 상기 이홈(221)에 윤활유(A)를 공급할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 랙기어(220) 및 상기 피니언기어(230)가 치합된 상태에서 이동될 경우, 상기 이홈(221)과 상기 피니언기어(230)의 나사산 사이에 마모가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 랙기어(220) 및 상기 피니언기어(230)의 수명을 늘릴 수 있으므로, 상기 랙기어(220) 및 상기 피니언기어(230)를 유지보수하는데 사용되는 비용을 줄일 수 있고, 상기 랙기어(220) 및 상기 피니언기어(230)로부터 소음이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 제 1 공급기구(251)는 복수 개가 상기 이송암(120)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 제 1 공급기구(251)들은 상기 피니언기어(230)가 상기 제 1 공급기구(251)들 사이에 위치되도록 서로 이격되게 상기 이송암(120)에 결합될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 제 1 공급기구(251)를 복수 개로 구비함으로써, 상기 랙기어(220)에 상기 윤활유(A)를 균일하게 공급할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 랙기어(220) 및 상기 피니언기어(230)가 마찰되는 것을 더 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 가동률을 더 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 상기 랙기어(220) 및 상기 피니언기어(230)를 유지보수하는데 사용되는 비용을 더 줄일 수 있다.
상기 급유기구(252)는 상기 윤활유(A)가 저장된 상태에서 윤활유(A)를 상기 제 1 공급기구(251) 측으로 분사한다. 상기 제 1 공급기구(251)가 복수 개로 구비될 경우, 상기 급유기구(252)는 복수 개의 상기 제 1 공급기구(251)에 각각 연결됨으로써, 상기 제 1 공급기구(251)들 측으로 윤활유(A)를 분사할 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 윤활유(A)가 상기 급유기구(252)에 저장됨으로써, 상기 제 1 공급기구(251)에 윤활유(A)를 지속적으로 공급할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 윤활유(A)를 공급하는 과정에 있어서, 상기 급유기구(252)에 저장된 윤활유(A)를 상기 제 1 공급기구(251)에 공급하기 위한 공급주기를 늘림으로써, 윤활유(A)를 공급하는 과정에 소요되는 시간을 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)을 이송하는 작업에 소요되는 시간을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 상기 기판(110)을 이용하여 제조되는 상기 전자부품의 생산성을 향상시킬 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치(100)에 있어서, 상기 승강장치(200)는 획득부(260), 가이드부(270), 및 가이드블록(280)을 포함할 수 있다.
상기 획득부(260)는 상기 피니언기어(230)의 이동거리에 따라 상기 랙기어(220)에 윤활유(A)를 공급하기 위한 공급주기를 결정하기 위해 상기 피니언기어(230)의 이동거리를 획득한다. 상기 획득부(260)는 획득한 상기 피니언기어(230)의 이동거리에 따라 상기 랙기어(220)에 윤활유(A)를 공급하도록 상기 급유기구(252)를 제어할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 피니언기어(230)의 이동거리에 따라 상기 랙기어(220)에 윤활유(A)를 공급할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 피니언기어(230)의 구동 시간에 따라 윤활유(A)를 공급하는 경우와 비교하면, 상기 피니언기어(230)의 이동거리에 따라 윤활유(A)를 적절하게 공급할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 피니언기어(230)의 이동거리에 따라 상기 랙기어(220)에 공급되는 윤활유(A)의 양을 조절할 수 있으므로, 윤활유(A)가 낭비되는 것을 방지할 수 있다.
상기 가이드부(270)는 상기 승강프레임(210)의 양단에 결합된다. 상기 가이드부(270)는 상기 이송암(120)는 상기 이송암(120)이 승강되는 승강 경로를 제공한다. 이에 따라, 상기 이송암(120)이 상기 가이드부(270)를 따라 승강함으로써, 상기 기판(110)이 이동될 수 있다. 상기 가이드부(270)는 LM 가이드일 수 있다.
상기 가이드블록(280)은 상기 가이드부(270)를 따라 이동하도록 상기 가이드부(270)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 가이드블록(280)에는 상기 이송암(120)이 결합된다. 이에 따라, 상기 가이드블록(280)이 상기 가이드부(270)를 따라 이동함으로써, 상기 이송암(120), 및 상기 기판(110)이 함께 이동될 수 있다. 상기 가이드블록(280)는 LM 블록일 수 있다.
이 경우, 상기 급유부(250)는 상기 가이드블록(280)에 결합되는 제 2 공급기구(253)를 포함할 수 있다.
상기 제 2 공급기구(253)는 상기 가이드블록(280)을 따라 이동 가능하도록 상기 가이드블록(280)에 결합된다. 상기 제 2 공급기구(253)는 상기 가이드부(270)에 윤활유(A)를 공급할 수 있다. 상기 제 2 공급기구(253)는 상기 가이드블록(280)이 기설정된 이동거리만큼 이동함에 따라 상기 가이드부(270)에 윤활유(A)를 공급한다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 제 2 공급기구(253)가 상기 가이드블록(280)의 이동거리에 따라 상기 가이드부(270)에 윤활유(A)를 공급함으로써, 상기 가이드부(270) 및 상기 가이드블록(280)이 마모되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 가이드부(270) 및 상기 가이드블록(280)의 수명을 늘릴 수 있으므로, 상기 가이드부(270) 및 상기 가이드블록(280)을 유지보수하는데 소요되는 시간을 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 이송암(120)이 승강되는 작업의 효율성을 향상시킬 수 있고, 상기 가이드부(270) 및 상기 가이드블록(280)이 마모됨에 따라 상기 이송암(120)의 승강경로가 변경되는 것을 방지함에 따라, 상기 기판(110)을 이송하는 작업의 정확성을 향상시킬 수 있다.
여기서, 상기 획득부(260)는 상기 가이드블록(280)의 이동거리에 따라 상기 가이드부(270)에 윤활유(A)를 공급하기 위한 공급주기를 결정하기 위해 상기 가이드부(280)의 이동거리를 획득할 수 있다. 상기 획득부(260)는 획득한 상기 가이드블록(280)의 이동거리에 따라 상기 가이드부(270)에 윤활유(A)를 공급하도록 상기 급유기구(252)를 제어할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 가이드블록(280)의 이동거리에 따라 상기 가이드부(270)에 공급되는 윤활유(A)의 양을 조절할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 가이드부(270) 및 상기 가이드블록(280)의 이동시간에 따라 윤활유(A)를 공급하는 경우와 비교하면, 상기 가이드부(270)에 공급되는 윤활유(A)의 양을 적절하게 조절할 수 있으므로, 윤활유(A)가 낭비되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 상기 획득부(260)는 상기 피니언기어(230)와 상기 가이드블록(280)의 이동거리에 따라 상기 랙기어(220)와 상기 가이드부(270)에 공급되는 윤활유(A)의 양이 상이(相異)하도록 상기 급유기구(252)를 제어할 수 있다. 예컨대, 상기 피니언기어(230)의 이동거리가 상기 가이드블록(280)의 이동거리보다 많을 경우, 상기 획득부(260)는 상기 랙기어(220)에 공급되는 윤활유(A)가 상기 가이드부(270)에 공급되는 윤활유(A)의 양보다 많도록 상기 급유기구(252)를 제어할 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 피니언기어(230)와 상기 가이드블록(280)의 이동거리에 따라 상기 랙기어(220)와 상기 가이드부(270)에 공급되는 윤활유(A)의 양을 적절하게 조절할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 피니언기어(230)와 상기 가이드블록(280)의 이동거리에 대응되도록 윤활유(A)를 공급할 수 있으므로, 윤활유(A)가 낭비되는 것을 방지할 수 있다.
상기 선회부(140)는 상기 승강장치(200)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 선회부(140)는 상기 이송암(120)이 향하는 방향을 변경시킬 수 있다. 상기 선회부(140)는 상기 주행장치(200)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(140)는 상기 주행장치(200)에 결합된 상태에서 회전축을 중심으로 회전함으로써, 상기 승강장치(200)를 회전시킬 수 있다.
상기 주행부(140)는 상기 선회부(130)를 주행방향을 따라 이동시킨다. 이에 따라, 상기 주행부(140)는 상기 이송암(200)에 기기된 기판(110)을 주행방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 주행부(140)는 주행베이스(141) 및 주행가이드부(142)를 포함한다.
상기 주행베이스(141)는 상기 주행가이드부(142) 따라 주행방향으로 이동한다. 상기 주행베이스(141)는 구동부(미도시)로부터 제공되는 구동력에 의해 주행방향으로 이동한다. 예컨대, 상기 주행베이스(141)가 주행방향을 따라 이동함으로써, 상기 기판(110)이 주행방향을 따라 이송될 수 있다. 상기 주행베이스(141)에는 상기 선회부(130)가 결합된다.
상기 주행가이드부(142)는 주행방향을 따라 설치된다. 상기 주행가이드부(142)는 상기 주행베이스(141)가 이동되는 경로를 제공한다. 상기 주행가이드부(142)에는 상기 주행베이스(141)가 결합된다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
A: 윤활유 A': 윤활층
100: 기판 이송장치 110: 기판
120: 이송암 121: 암베이스
122: 암바디 123: 암유닛
123a: 제 1 암기구 123b: 제 2 암기구
124: 지지핸드 130: 선회부
140: 주행부 141: 주행베이스
142: 주행가이드 200: 승강장치
210: 승강프레임 220: 랙기어
221: 이홈 230: 피니언기어
240: 구동부 250: 급유부
251: 제 1 공급기구 251a: 공급홈
251b: 삽입부재 251c: 전달부재
252: 급유기구 253: 제 2 공급기구
260: 획득부 270: 가이드부
280: 가이드블록

Claims (10)

  1. 기판을 지지하기 위한 이송암이 승강 가능하게 결합되는 승강프레임;
    상기 이송암이 승강하는 승강방향으로 상기 승강프레임에 결합되는 랙기어;
    상기 랙기어에 치합되는 피니언기어;
    상기 이송암에 결합되고, 상기 이송암을 승강시키기 위해 상기 피니언기어를 회전시키는 구동부; 및
    상기 이송암이 승강함에 따라 상기 랙기어에 윤활유를 공급하기 위한 급유부를 포함하고,
    상기 급유부는 상기 윤활유를 상기 랙기어에 공급하기 위해 상기 이송암에 회전가능하도록 결합되는 제 1 공급기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제 1 공급기구는 상기 피니언기어가 기설정된 이동거리만큼 이동함에 따라 상기 랙기어에 상기 윤활유를 공급하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 급유부는 상기 윤활유를 저장한 상태에서 상기 윤활유를 상기 제 1 공급기구 측으로 분사하기 위한 급유기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 피니언기어의 이동거리에 따라 상기 랙기어에 상기 윤활유를 공급하기 위한 공급주기를 결정하기 위해 상기 피니언기어의 이동거리를 획득하기 위한 획득부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 이송암의 승강경로를 가이드하기 위해 상기 승강프레임에 결합되는 가이드부 및 상기 가이드부에 이동가능하도록 결합되는 가이드블록을 포함하고,
    상기 급유부는 상기 가이드부에 상기 윤활유를 공급하기 위해 상기 가이드블록에 결합되는 제 2 공급기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 이송암의 승강경로를 가이드하기 위해 상기 승강프레임에 결합되는 가이드부 및 상기 가이드부에 이동가능하도록 결합되는 가이드블록을 포함하고,
    상기 획득부는 상기 가이드블록의 이동거리에 따라 상기 가이드부에 공급되는 상기 윤활유의 양을 조절하기 위해 상기 가이드블록의 이동거리를 획득하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 급유부는 상기 제1공급기구에 윤활유를 분사하는 급유기구를 포함하고;
    상기 제1공급기구는 상기 급유기구로부터 분사되는 윤활유를 상기 랙기어에 공급하기 위한 전달부재를 포함하며;
    상기 전달부재는 상기 급유기구로부터 분사되는 윤활유로부터 윤활층이 형성되도록 합성수지로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제 1 공급기구는 상기 윤활유가 상기 랙기어에 공급되도록 외면에 상기 윤활유가 공급되기 위한 공급홈을 포함하고,
    상기 제 1 공급기구는 상기 공급홈이 상기 랙기어에 밀착되어 승강되도록 상기 이송암에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제1공급기구는 상기 랙기어에 형성되는 이홈에 삽입되는 삽입부재를 포함하고,
    상기 삽입부재는 상기 제 1 공급기구의 외면을 따라 복수 개가 서로 이격되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치.
  10. 기판을 이송하기 위한 이송암;
    상기 이송암이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키기 위한 제1항 내지 제9항 중에서 어느 하나의 승강장치;
    상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부; 및
    상기 선회부를 주행방향으로 이동시키기 위한 주행부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
KR1020130082286A 2013-07-12 2013-07-12 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 KR101563780B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130082286A KR101563780B1 (ko) 2013-07-12 2013-07-12 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130082286A KR101563780B1 (ko) 2013-07-12 2013-07-12 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150008301A true KR20150008301A (ko) 2015-01-22
KR101563780B1 KR101563780B1 (ko) 2015-10-27

Family

ID=52571999

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130082286A KR101563780B1 (ko) 2013-07-12 2013-07-12 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101563780B1 (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101866785B1 (ko) * 2016-11-29 2018-06-12 신영환 펠트 기어를 이용한 고속 윤활장치
CN109129424A (zh) * 2018-09-13 2019-01-04 泉州市信贵机械设备有限公司 一种可提升使用者维修效率的智能机械臂
CN112157668A (zh) * 2020-09-26 2021-01-01 刘金海 一种多工位机械手物流***
CN113733493A (zh) * 2021-09-03 2021-12-03 安徽登耀汽车零部件有限公司 一种卡扣水口分切上料控制***

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101866785B1 (ko) * 2016-11-29 2018-06-12 신영환 펠트 기어를 이용한 고속 윤활장치
CN109129424A (zh) * 2018-09-13 2019-01-04 泉州市信贵机械设备有限公司 一种可提升使用者维修效率的智能机械臂
CN112157668A (zh) * 2020-09-26 2021-01-01 刘金海 一种多工位机械手物流***
CN113733493A (zh) * 2021-09-03 2021-12-03 安徽登耀汽车零部件有限公司 一种卡扣水口分切上料控制***

Also Published As

Publication number Publication date
KR101563780B1 (ko) 2015-10-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101563780B1 (ko) 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
CN108656123B (zh) 工业机器人
KR102539039B1 (ko) 산업용 로봇
KR20080070498A (ko) 가공 테이블
KR20160027716A (ko) 기판 이송장치
KR100746304B1 (ko) 평판 디스플레이용 디스펜서
CN104125717A (zh) 支撑销、基板支撑装置、基板处理装置
CN111908123B (zh) 储料器输送机
KR101587337B1 (ko) 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR20160042281A (ko) 회전제한장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR20150008297A (ko) 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR20160041178A (ko) 이송가이드장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR101500158B1 (ko) 기판 이송장치용 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
CN100587935C (zh) 升降销驱动装置以及具有该装置的制造设备
KR20150009195A (ko) 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
CN104511396A (zh) 涂布装置
KR20150009189A (ko) 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR20150104472A (ko) 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR101587336B1 (ko) 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR100730459B1 (ko) 액정표시장치의 글라스 셀 자동 로딩장치
KR101478915B1 (ko) 구동장치용 풀리, 구동장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR101767667B1 (ko) 기판 이송 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법
KR101488091B1 (ko) 이물질 차단장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR20200072689A (ko) 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리
KR101371159B1 (ko) 유리기판 충격 방지 에칭 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180918

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190925

Year of fee payment: 5