KR20150006550A - Organic Light Emitting Display Device and Method for Manufacturing The Same - Google Patents

Organic Light Emitting Display Device and Method for Manufacturing The Same Download PDF

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KR20150006550A KR20130080036A KR20130080036A KR20150006550A KR 20150006550 A KR20150006550 A KR 20150006550A KR 20130080036 A KR20130080036 A KR 20130080036A KR 20130080036 A KR20130080036 A KR 20130080036A KR 20150006550 A KR20150006550 A KR 20150006550A
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Abstract

According to one aspect of the present invention, an organic light emitting display comprises: a substrate; a thin film transistor disposed on the substrate; an interlayer disposed on the thin film transistor and connected to the thin film transistor; a sub-electrode disposed on the same layer as the interlayer and spaced apart from the interlayer; a first electrode disposed on the interlayer and connected to the thin film transistor by the interlayer; a bank layer disposed on the first electrode and the sub-electrode and includes an opening for exposing the first electrode and the sub-electrode; an organic light emitting layer disposed on the first electrode and the sub-electrode which are exposed by the opening; and a second electrode disposed on the organic light emitting layer. A contact hole is disposed in the organic light emitting layer positioned on the sub-electrode. The second electrode is connected to the sub-electrode through the contact hole.

Description

유기전계발광표시장치 및 그 제조방법{Organic Light Emitting Display Device and Method for Manufacturing The Same}Technical Field [0001] The present invention relates to an organic light emitting display device,

본 발명은 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 능동형 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic light emitting display and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an active organic light emitting display and a method of manufacturing the same.

화면에 다양한 정보를 표시하는 영상 표시 장치는 정보 통신 시대를 이끄는 주요 전자 기기로 더 얇고 더 가벼우며 휴대성 및 성능이 향상되는 방향으로 발전하고 있다. 영상 표시 장치 발전의 초기에는 고화질이 큰 장점이었던 음극선관이 주를 이루었으나, 이후 음극선관에 비해 평판 표시 장치는 경량 박형의 구현이 가능하여 디스플레이 시장에서 최근까지 많은 인기를 끌고 있다.Image display devices that display various information on the screen are leading electronic devices in the era of information communication, and they are becoming thinner and lighter, improving portability and performance. In the early stage of the development of the image display device, the cathode ray tube, which was a great advantage of the high image quality, was mainly made. However, since the flat panel display can realize a light and thin type as compared with the cathode ray tube,

평판 표시 장치에는 액정 표시 장치(liquid crystal display, LCD)를 비롯하여 플라즈마 표시 장치(plasma display panel, PDP), 유기전계발광표시장치(organic light emitting display, OLED) 등이 있으며, 특히 액정 표시 장치가 큰 주목을 받아왔으며, 유기전계발광표시장치는 액정 표시 장치 다음으로 차세대 평판 표시 장치로 각광받고 있다. 특히, 유기전계발광표시장치는 자발광 소자로써, 백라이트(backlight)를 통해 발광하는 액정 표시 장치에 비해 경량 박형의 소자 구현이 가능하다.The flat panel display includes a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), and an organic light emitting display (OLED) And organic electroluminescent display devices have attracted attention as next-generation flat panel displays next to liquid crystal display devices. In particular, the organic electroluminescent display device is a self-luminous device, and it is possible to realize a light-weight thin-type device as compared with a liquid crystal display device which emits light through a backlight.

이러한, 유기전계발광표시장치는 상면 발광 방식(top emission type)과 배면 발광 방식(bottom emission type)이 있다. 상면 발광 방식은 구동소자의 반대 방향의 전극인 상면 전극 방향으로 유기 발광층에서 발광된 빛이 출사하는 방식이며 보통 캐소드 전극 방향으로 빛이 출사한다.The organic electroluminescent display device has a top emission type and a bottom emission type. In the top emission type, light emitted from the organic light emitting layer is emitted in the direction of the upper surface electrode, which is an electrode opposite to the driving element, and light is emitted in the direction of the cathode electrode.

배면 발광 방식은 구동소자가 위치하는 방향의 전극인 배면 전극 방향으로 유기 발광층에서 발광된 빛이 출사하는 방식이며 보통 애노드 전극 방향으로 빛이 출사한다.In the bottom emission type, light emitted from the organic light emitting layer is emitted in the direction of the back electrode, which is an electrode in the direction in which the driving elements are located, and light is emitted normally toward the anode electrode.

이 중, 특히 상면 발광 방식의 경우, 일반적으로 캐소드 전극을 통해 빛이 출사하기 때문에, 발광 영역이 넓어지는 장점이 있으나, 캐소드 전극이 박형으로 형성되어야 하므로 저항이 높아지는 단점이 있다.In particular, in the case of the top surface emission type, light is generally emitted through the cathode electrode, and thus the light emitting region is widened. However, the cathode electrode has to be formed in a thin shape to increase the resistance.

도 1은 일반적인 유기전계발광표시장치의 일부분을 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a portion of a general organic light emitting display device.

도 1에 도시된 바와 같이, 일반적인 유기전계발광표시장치는 기판(110), 애노드 전극(120), 뱅크층(130), 유기 발광층(140) 및 캐소드 전극(150)을 포함한다.1, a typical organic light emitting display device includes a substrate 110, an anode electrode 120, a bank layer 130, an organic light emitting layer 140, and a cathode electrode 150.

먼저, 기판(101) 상에 애노드 전극(120)이 배치된다. 애노드 전극(120)은 도 1에는 도시되지 않았지만 구동회로를 포함하는 구동소자로부터 전기 신호를 받아 이를 유기 발광층(140)으로 전달한다. 따라서, 기판(110)과 애노드 전극(120) 사이에는 구동소자 및 상기 구동소자 사이에 배치되는 절연막 및 평탄화막 등을 더 포함할 수 있다.First, the anode electrode 120 is disposed on the substrate 101. Although not shown in FIG. 1, the anode electrode 120 receives an electric signal from a driving device including a driving circuit, and transmits the electric signal to the organic light emitting layer 140. Accordingly, the substrate 110 and the anode electrode 120 may further include an insulating film and a planarizing film disposed between the driving element and the driving element.

애노드 전극(120) 상에는 애노드 전극(120)의 가장자리 영역과 중첩되면서, 애노드 전극(120)을 노출시키는 뱅크층(130) 배치된다. 뱅크층(130)은 노출되는 애노드 전극(120)의 면적과 동일한 발광 영역을 정의한다. 뱅크층(130) 및 노출된 애노드 전극(120) 상에는 유기 발광층(140)이 형성되고, 유기 발광층(140) 상에는 캐소드 전극(150)이 형성된다. 유기 발광층(140)은 애노드 전극(120)과 캐소드 전극(150)이 접하는 발광 영역에서 빛을 발광할 수 있다.A bank layer 130 exposing the anode electrode 120 is disposed on the anode electrode 120 while overlapping the edge region of the anode electrode 120. The bank layer 130 defines a light emitting region that is the same as the area of the exposed anode electrode 120. The organic light emitting layer 140 is formed on the bank layer 130 and the exposed anode electrode 120 and the cathode electrode 150 is formed on the organic light emitting layer 140. The organic light emitting layer 140 may emit light in a light emitting region where the anode electrode 120 and the cathode electrode 150 are in contact with each other.

상면 발광 방식의 경우 유기 발광층(140)에서 발광된 빛이 캐소드 전극(150)을 통해 출사하기 때문에, 캐소드 전극(150)의 두께가 얇아야 한다. 박형의 캐소드 전극(150)은 저항이 높아져 전류의 흐름이 둔화될 수 있기 때문에, 특히, 대면적 유기전계발광표시장치의 중앙부의 휘도가 낮아질 수 있는 단점이 있다. 따라서, 상면 발광 방식의 유기전계발광표시장치의 정상적인 구동을 위해서는 캐소드 전극(150)의 저항을 낮춰줄 필요가 있다.In the case of the top surface emission type, light emitted from the organic light emitting layer 140 is emitted through the cathode electrode 150, so that the thickness of the cathode electrode 150 must be thin. The thin cathode electrode 150 has a disadvantage in that the luminance of the central portion of the large-area organic light emitting display device can be lowered, in particular, since the resistance of the cathode electrode 150 is increased and the current flow can be slowed down. Therefore, it is necessary to lower the resistance of the cathode electrode 150 in order to normally drive the organic light emitting display device of the top emission type.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 저저항 캐소드 전극을 구현할 수 있는 유기전계발광표시장치를 제공하는 것을 그 기술적 과제로 한다.An object of the present invention is to provide an organic electroluminescent display device capable of realizing a low-resistance cathode electrode.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 유기전계발광표시장치는 기판; 상기 기판 상에 배치된 박막 트랜지스터; 상기 박막 트랜지스터 상에 배치되며, 상기 박막 트랜지스터와 연결된 중간층; 상기 중간층과 동일층 상에 배치되며, 상기 중간층과 이격된 보조 전극; 상기 중간층 상에 배치되며, 상기 중간층에 의해 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 제 1 전극; 상기 제 1 전극 및 상기 보조 전극 상에 배치되며, 상기 제 1 전극 및 상기 보조 전극을 노출하는 개구부를 포함하는 뱅크층; 상기 개구부에 의해 노출된 상기 제 1 전극 및 상기 보조 전극 상에 배치되는 유기 발광층; 및 상기 유기 발광층 상에 배치된 제 2 전극;을 포함하고, 상기 보조 전극 상에 위치한 상기 유기 발광층 내에 컨택홀이 배치되고, 상기 컨택홀을 통해 상기 제 2 전극이 상기 보조 전극과 연결되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an organic light emitting display including: a substrate; A thin film transistor disposed on the substrate; An intermediate layer disposed on the thin film transistor and connected to the thin film transistor; An auxiliary electrode disposed on the same layer as the intermediate layer and spaced apart from the intermediate layer; A first electrode disposed on the intermediate layer and connected to the thin film transistor by the intermediate layer; A bank layer disposed on the first electrode and the auxiliary electrode and including an opening exposing the first electrode and the auxiliary electrode; An organic light emitting layer disposed on the first electrode and the auxiliary electrode exposed by the opening; And a second electrode disposed on the organic light emitting layer, wherein a contact hole is disposed in the organic light emitting layer disposed on the auxiliary electrode, and the second electrode is connected to the auxiliary electrode through the contact hole .

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 유기전계발광표시장치는 기판; 상기 기판 상에 배치된 박막 트랜지스터; 상기 박막 트랜지스터 상에 배치되며, 상기 박막 트랜지스터와 연결된 중간층; 상기 중간층과 동일층 상에 배치되며, 상기 중간층과 이격된 제 1 보조 전극; 상기 중간층 상에 배치되며, 상기 중간층과 연결되는 제 1 전극; 상기 제 1 전극과 동일층 상에 형성되며, 상기 제 1 보조 전극과 연결되는 제 2 보조 전극; 상기 제 1 전극의 및 상기 제 2 보조 전극 상에 배치되며, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 보조 전극을 노출하는 개구부를 포함하는 뱅크층; 상기 개구부에 의해 노출된 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 보조 전극 상에 배치되는 유기 발광층; 및 상기 유기 발광층 상에 배치된 제 2 전극;을 포함하고, 상기 제 2 보조 전극 상에 위치한 상기 유기 발광층 내에 컨택홀이 배치되고, 상기 컨택홀을 통해 상기 제 2 전극이 상기 제 2 보조 전극과 연결되는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided an organic light emitting display including: a substrate; A thin film transistor disposed on the substrate; An intermediate layer disposed on the thin film transistor and connected to the thin film transistor; A first auxiliary electrode disposed on the same layer as the intermediate layer and spaced apart from the intermediate layer; A first electrode disposed on the intermediate layer and connected to the intermediate layer; A second auxiliary electrode formed on the same layer as the first electrode and connected to the first auxiliary electrode; A bank layer disposed on the first electrode and on the second auxiliary electrode and including an opening exposing the first electrode and the second auxiliary electrode; An organic light emitting layer disposed on the first electrode and the second auxiliary electrode exposed by the opening; And a second electrode disposed on the organic light emitting layer, wherein a contact hole is disposed in the organic light emitting layer disposed on the second auxiliary electrode, the second electrode is connected to the second auxiliary electrode through the contact hole, Respectively.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법은 기판 상에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계; 상기 박막 트랜지스터 상에 상기 박막 트랜지스터와 연결되도록 중간층을 형성하는 단계; 상기 중간층과 동일층 상에 상기 중간층과 이격되도록 보조 전극을 형성하는 단계; 상기 중간층 상에 상기 중간층과 연결되도록 제 1 전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 전극의 및 상기 보조 전극 상에 뱅크층을 형성하는 단계; 상기 뱅크층을 패터닝하여 상기 제 1 전극 및 상기 보조 전극을 노출하는 개구부를 형성하는 단계; 상기 개구부에 의해 노출된 상기 제 1 전극 및 상기 보조 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 단계; 상기 보조 전극 상에 위치한 상기 유기 발광층 내에 컨택홀을 형성하는 단계; 및 상기 유기 발광층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 제 2 전극은 상기 컨택홀을 통해 상기 보조 전극과 연결되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of fabricating an organic light emitting display, including: forming a thin film transistor on a substrate; Forming an intermediate layer on the thin film transistor to be connected to the thin film transistor; Forming an auxiliary electrode on the same layer as the intermediate layer so as to be spaced apart from the intermediate layer; Forming a first electrode to be connected to the intermediate layer on the intermediate layer; Forming a bank layer on the first electrode and on the auxiliary electrode; Forming an opening for exposing the first electrode and the auxiliary electrode by patterning the bank layer; Forming an organic light emitting layer on the first electrode and the auxiliary electrode exposed by the opening; Forming a contact hole in the organic light emitting layer on the auxiliary electrode; And forming a second electrode on the organic light emitting layer, wherein the second electrode is connected to the auxiliary electrode through the contact hole.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법은 기판 상에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계; 상기 박막 트랜지스터 상에 상기 박막 트랜지스터와 연결되도록 중간층을 형성하는 단계; 상기 중간층과 동일층 상에 상기 중간층과 이격되도록 제 1 보조 전극을 형성하는 단계; 상기 중간층 상에 상기 중간층과 연결되도록 제 1 전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 전극과 동일층 상에 상기 제 1 보조 전극과 연결되도록 제 2 보조 전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 전극의 및 상기 제 2 보조 전극 상에 뱅크층을 형성하는 단계; 상기 뱅크층을 패터닝하여 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 보조 전극을 노출하는 개구부를 형성하는 단계; 상기 개구부에 의해 노출된 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 보조 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 단계; 상기 제 2 보조 전극 상에 위치한 상기 유기 발광층 내에 컨택홀을 형성하는 단계; 및 상기 유기 발광층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 제 2 전극은 상기 컨택홀을 통해 상기 제 2 보조 전극과 연결되는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of fabricating an organic light emitting display, including: forming a thin film transistor on a substrate; Forming an intermediate layer on the thin film transistor to be connected to the thin film transistor; Forming a first auxiliary electrode on the same layer as the intermediate layer so as to be spaced apart from the intermediate layer; Forming a first electrode to be connected to the intermediate layer on the intermediate layer; Forming a second auxiliary electrode on the same layer as the first electrode so as to be connected to the first auxiliary electrode; Forming a bank layer on the first electrode and on the second auxiliary electrode; Forming an opening for exposing the first electrode and the second auxiliary electrode by patterning the bank layer; Forming an organic light emitting layer on the first electrode and the second auxiliary electrode exposed by the opening; Forming a contact hole in the organic emission layer on the second auxiliary electrode; And forming a second electrode on the organic light emitting layer, wherein the second electrode is connected to the second auxiliary electrode through the contact hole.

본 발명에 따르면, 유기전계발광표시장치에서 저저항 캐소드 전극을 구현할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, a low-resistance cathode electrode can be realized in an organic light emitting display.

또한, 본 발명에 따르면, 이온빔 공정으로 보조 전극 상의 유기 발광층 내부에 컨택홀을 형성하여 캐소드 전극과 보조 전극을 직접 연결시킴으로써, 유기 발광층을 제거하는 별도의 공정을 생략하여 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 수 있는 효과가 있다.Further, according to the present invention, by forming a contact hole in the organic light emitting layer on the auxiliary electrode by the ion beam process and directly connecting the cathode electrode and the auxiliary electrode, a separate process for removing the organic light emitting layer can be omitted, There is an effect that can be.

또한, 본 발명에 따르면, 대면적 유기전계발광표시장치의 휘도 균일도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Further, according to the present invention, luminance uniformity of a large area organic light emitting display device can be improved.

도 1은 종래의 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도;
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도;
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도;
도 4a ~ 4d는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법을 도시한 단면도; 및
도 5a ~ 5d는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법을 도시한 단면도.1 is a cross-sectional view of a conventional organic light emitting display device;
2 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention;
3 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention;
4A to 4D are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention. And
5A to 5D are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부되는 도면들을 참고하여 본 발명의 실시예들에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치은, 기판(210), 평탄화층(220), 보조 전극(225), 중간층(227), 제 1 전극(230), 뱅크층(240), 유기 발광층(250) 및 제 2 전극(260)을 포함한다.2, an organic light emitting display according to an exemplary embodiment of the present invention includes a substrate 210, a planarization layer 220, an auxiliary electrode 225, an intermediate layer 227, a first electrode 230, A bank layer 240, an organic light emitting layer 250, and a second electrode 260.

먼저 기판(210)은 유리(glass), 금속(metal) 혹은 플라스틱(plastic)으로 이루어질 수 있다. 상기 플라스틱은 폴리에테르술폰(Polyethersulphone; PES), 폴리아크릴레이트(Polyacrylate; PAR), 폴리에테르 이미드(Polyetherimide; PEI), 폴리에틸렌 나프탈레이트(Polyethyelenen Napthalate; PEN), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(Polyethyelene Terepthalate; PET), 폴리페닐렌 설파이드(Polyphenylene Sulfide; PPS), 폴리아릴레이트(Polyallylate), 폴리이미드(Polyimide), 폴리카보네이트(PC), 셀룰로오스 트리 아세테이트(TAC), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(Cellulose Acetate Propionate: CAP) 등으로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 어느 하나이거나 둘 이상의 혼합물 혹은 화합물일 수 있다.First, the substrate 210 may be formed of glass, metal, or plastic. The plastic may be formed of a material such as polyethersulphone (PES), polyacrylate (PAR), polyetherimide (PEI), polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene terephthalate (PET) , Polyphenylene sulfide (PPS), polyallylate, polyimide, polycarbonate (PC), cellulose triacetate (TAC), cellulose acetate propionate (CAP) And the like, or a mixture or a combination of two or more thereof.

그 다음으로, 기판(210) 상에는 유기전계발광표시장치를 구동하는 구동회로(driving circuit) 또는 구동소자(driving element)가 형성될 수 있다. 일반적으로, 구동회로 또는 구동소자는 게이트 신호를 전달하는 게이트 라인(미도시), 데이터 신호를 전달하는 데이터 라인(미도시), 상기 게이트 신호에 따라 데이터 신호를 선택적으로 전달하는 박막 트랜지스터(thin film transistor; 미도시) 및 유기 발광층(250)의 발광을 한 프레임 동안 유지시켜주는 스토리지 전극(미도시) 등을 포함할 수 있다.Next, a driving circuit or a driving element for driving the organic light emitting display device may be formed on the substrate 210. In general, a driving circuit or a driving device includes a gate line (not shown) for transmitting a gate signal, a data line (not shown) for transmitting a data signal, a thin film transistor and a storage electrode (not shown) for maintaining the emission of the organic light emitting layer 250 for one frame.

다음으로, 기판(210) 상에 보조 전극(225) 및 중간층(227)이 배치된다. 보조 전극(225) 및 중간층(227)은 동일한 물질로 형성될 수 있으며, 상기 물질은 일반적으로 형성되는 금속 배선과 동일한 물질일 수 있다. 예를 들어, 보조 전극(225) 및 중간층(227)은 몰리브데늄(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있다.Next, an auxiliary electrode 225 and an intermediate layer 227 are disposed on the substrate 210. [ The auxiliary electrode 225 and the intermediate layer 227 may be formed of the same material, and the material may be the same material as the metal wiring generally formed. For example, the auxiliary electrode 225 and the intermediate layer 227 may be formed of at least one selected from the group consisting of Mo, Al, Cr, Au, Ti, ) And copper (Cu), or an alloy thereof.

중간층(227) 및 보조 전극(225)은 동일층 상에 배치되며, 서로 이격 형성된다. 또한, 중간층(227)은 바람직하게 상기 박막 트랜지스터 상에 배치되며, 상기 박막 트랜지스터와 연결되어 상기 박막 트랜지스터로부터 인가받은 신호를 제 1 전극(230)으로 전달한다.The intermediate layer 227 and the auxiliary electrode 225 are disposed on the same layer and are spaced apart from each other. The intermediate layer 227 is preferably disposed on the thin film transistor and is connected to the thin film transistor to transmit a signal received from the thin film transistor to the first electrode 230.

보조 전극(225)은 제 2 전극(260)과 연결되어 제 2 전극(260)의 저항을 감소시킬 수 있다. 중간층(227)은 박막 트랜지스터(미도시)와 제 1 전극(230)을 보다 안정적으로 컨택할 수 있도록 연결되는 중간 연결층(interconnection layer)의 역할을 할 수 있다.The auxiliary electrode 225 may be connected to the second electrode 260 to reduce the resistance of the second electrode 260. The intermediate layer 227 may serve as an interconnection layer connected to the first electrode 230 to more reliably contact the thin film transistor (not shown) and the first electrode 230.

그 다음으로, 보조 전극(225) 및 중간층(227) 상에 평탄화층(220)이 배치된다. 평탄화층(220)은 보조 전극(225) 및 중간층(227)을 덮도록 형성되어 보조 전극(225) 및 중간층(227)을 평탄화시키고 그 상부에 형성되는 제 1 전극(230), 유기 발광층(250) 및 제 2 전극(260) 등의 안정적인 형성을 도운다.Next, the planarization layer 220 is disposed on the auxiliary electrode 225 and the intermediate layer 227. The planarization layer 220 is formed to cover the auxiliary electrode 225 and the intermediate layer 227 and includes a first electrode 230 formed on the upper surface of the auxiliary electrode 225 and the intermediate layer 227, And the second electrode 260 and the like.

평탄화층(220)은 아크릴계 수지(polyacrylates resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드계 수지(polyamides resin), 폴리이미드계 수지(polyimides rein), 불포화 폴리에스테르계 수지(unsaturated polyesters resin), 폴리페닐렌계 수지(poly phenylenethers resin), 폴리페닐렌설파이드계 수지(poly phenylenesulfides resin), 및 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene, BCB) 중 어느 하나일 수 있다. The planarization layer 220 may be formed of a resin such as polyacrylates resin, epoxy resin, phenolic resin, polyamide resin, polyimide resin, unsaturated polyesters resin, polyphenylenethers resin, polyphenylenesulfides resin, and benzocyclobutene (BCB) may be used.

한편, 평탄화층(220)은 앞서 설명한 구동회로 또는 구동소자 상에도 형성될 수 있다. 이런 경우, 구동회로 또는 구동소자 상에 배치된 평탄화층은 제 1 평탄화층, 보조 전극(225) 및 중간층(227) 상에 배치된 평탄화층은 제 2 평탄화층이라고 할 수 있다. 즉, 제 1 평탄화층은 제 1 전극(230)과 연결되는 박막 트랜지스터(미도시)와 보조 전극(225) 및 중간층(227) 사이에 배치되고, 제 2 평탄화층은 보조 전극(225) 및 중간층(227)과 제 1 전극(230) 사이에 배치된다.Meanwhile, the planarization layer 220 may be formed on the driving circuit or the driving element described above. In this case, the planarization layer disposed on the driving circuit or the driving element may be referred to as a second planarization layer, and the planarization layer disposed on the first planarization layer, the auxiliary electrode 225, and the intermediate layer 227 may be referred to as a second planarization layer. The first planarization layer is disposed between the thin film transistor (not shown) connected to the first electrode 230 and the auxiliary electrode 225 and the intermediate layer 227. The second planarization layer is disposed between the auxiliary electrode 225 and the intermediate layer 227. [ (227) and the first electrode (230).

상기와 같이 평탄화층(220)이 이중으로 형성될 경우, 보조 전극(225)의 설계 자유도가 향상되고, 기생 정전용량의 생성이 저하될 수 있는 이점이 있다.When the planarization layer 220 is formed as described above, the degree of freedom in designing the auxiliary electrode 225 is improved, and generation of parasitic capacitance is advantageously reduced.

그 다음으로, 평탄화층(220) 상에 제 1 전극(230)이 배치된다. 제 1 전극(230)은 바람직하게 애노드 전극일 수 있다. 애노드 전극은 인듐(Indium), 주석(Tin), 아연(Zinc), 몰리브덴(Mo) 및 텅스텐(W) 중 어느 하나를 포함하는 전도성 산화물로 형성될 수 있는데, 예컨대, 인듐 주석 산화물(Indium Tin Oxide, ITO), 인듐 아연 산화물(Indium Zinc Oxide, IZO) 및 인듐 주석 아연 산화물(Indium Tin Zink Oxide, ITZO) 중 어느 하나일 수 있다.Next, the first electrode 230 is disposed on the planarization layer 220. The first electrode 230 may preferably be an anode electrode. The anode electrode may be formed of a conductive oxide including any one of indium, tin, zinc, molybdenum, and tungsten. For example, indium tin oxide , Indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), and indium tin zinc oxide (ITZO).

제 1 전극(230)은 중간층(227)과 연결되어, 중간층(227)을 통해 박막 트랜지스터(미도시)와 연결된다. 제 1 전극(230)은 박막 트랜지스터(미도시)로부터 전류를 공급받아 유기 발광층(250)에 정공을 공급한다.The first electrode 230 is connected to the intermediate layer 227 and is connected to the thin film transistor (not shown) through the intermediate layer 227. The first electrode 230 receives a current from a thin film transistor (not shown) and supplies holes to the organic light emitting layer 250.

그 다음으로, 제 1 전극(230) 및 보조 전극(225) 상에 뱅크층(240)이 배치된다. 뱅크층(240)은 제 1 전극(230) 상부의 전면에 증착된 후 패터닝되며, 뱅크층(240)이 패터닝되어 제 1 전극(230) 및 보조 전극(225)을 노출하는 개구부가 형성된다. 상기 개구부는 보조 전극(225)을 노출시키기 위해 형성되므로, 상기 개구부와 대응되는 평탄화층(220)도 패터닝되어 상기 개구부가 연장될 수 있다. 상기 개구부에 의해 보조 전극(225)은 뱅크층(240) 외부로 노출될 수 있다.Next, the bank layer 240 is disposed on the first electrode 230 and the auxiliary electrode 225. The bank layer 240 is deposited on the entire upper surface of the first electrode 230 and then patterned so that the bank layer 240 is patterned to form an opening exposing the first electrode 230 and the auxiliary electrode 225. Since the opening is formed to expose the auxiliary electrode 225, the planarization layer 220 corresponding to the opening may also be patterned to extend the opening. The auxiliary electrode 225 may be exposed to the outside of the bank layer 240 by the opening.

뱅크층(240)은 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene; BCB)계 수지, 아크릴(acryl)계 수지 또는 폴리이미드(polyimide) 수지, 실리카 계열의 무기물 중 어느 하나를 포함할 수 있다.The bank layer 240 may include any one of a benzocyclobutene (BCB) resin, an acryl resin, a polyimide resin, and a silica-based inorganic material.

그 다음으로, 상기 개구부에 의해 노출된 제 1 전극(230) 및 보조 전극(225)상에 유기 발광층(250)이 배치된다. 유기 발광층(250)은 각 화소별로 독립적으로 형성될 수도 있지만, 이 경우 수율이 낮아 대량 양산이 어렵다. 따라서, 유기 발광층(250)은 기판(210) 상부의 전면에 형성될 수 있는데, 이 경우 유기 발광층(250)은 모든 화소에서 공통적으로 백색(white) 광이 방출되며, 컬러 필터(미도시) 등으로 각 화소별로 독립적인 색상 및 계조를 표현하게 된다.Next, the organic light emitting layer 250 is disposed on the first electrode 230 and the auxiliary electrode 225 exposed by the opening. The organic light emitting layer 250 may be formed independently for each pixel, but in this case, the yield is low and mass production is difficult. Accordingly, the organic light emitting layer 250 may be formed on the entire upper surface of the substrate 210. In this case, white light is commonly emitted from all the pixels of the organic light emitting layer 250, and a color filter (not shown) So that independent colors and gradations are displayed for each pixel.

상기와 같이 유기 발광층(250)이 기판(210) 상부 전면에 형성되는 경우, 유기 발광층(250)이 빛을 발광하지 않는 뱅크층(240) 및 보조 전극(225) 상부를 덮도록 배치된다. 따라서, 제 2 전극(260)과 보조 전극(225)과의 전기적 연결을 위해 보조 전극(225) 상에 위치하는 유기 발광층(250) 내에 컨택홀(CH)이 형성될 수 있다.When the organic light emitting layer 250 is formed on the entire upper surface of the substrate 210 as described above, the organic light emitting layer 250 is disposed to cover the upper portion of the bank layer 240 and the auxiliary electrode 225, A contact hole CH may be formed in the organic light emitting layer 250 on the auxiliary electrode 225 for electrical connection between the second electrode 260 and the auxiliary electrode 225.

일반적으로, 유기 발광층(250)은 기존의 포토리소그래피(photolithography) 방식으로 패터닝할 경우 손상이 발생하기 때문에, 컨택홀(CH)은 이온빔을 이용하여 유기 발광층(250)이 식각되어 형성될 수 있다.Generally, damage occurs when the organic light emitting layer 250 is patterned by a conventional photolithography method, so that the contact hole CH can be formed by etching the organic light emitting layer 250 using an ion beam.

그 다음으로, 유기 발광층(250) 상에 제 2 전극(260)이 배치된다. 제 2 전극(260)도 유기 발광층(250)과 마찬가지로 제 2 전극(260) 상부 전면에 배치되며, 특히 제 2 전극(260)은 컨택홀(CH)을 통해 보조 전극(225)과 연결될 수 있다.Next, a second electrode 260 is disposed on the organic light emitting layer 250. The second electrode 260 is disposed on the upper surface of the second electrode 260 in the same manner as the organic light emitting layer 250 and the second electrode 260 may be connected to the auxiliary electrode 225 through the contact hole CH. .

제 2 전극(260)은 바람직하게 캐소드 전극일 수 있다. 캐소드 전극은 은(Ag), 마그네슘(Mg), 칼슘(Ca), 알루미늄(Al), 리튬(Li), 네오디뮴(Nd) 중 어느 하나를 포함할 수 있으며, 예를 들어 LiF/Al, CsF/Al, Mg:Ag, Ca/Ag, Ca:Ag, LiF/Mg:Ag, LiF/Ca/Ag, LiF/Ca:Ag 중 어느 하나일 수 있다.The second electrode 260 may preferably be a cathode electrode. The cathode electrode may include any one of silver (Ag), magnesium (Mg), calcium (Ca), aluminum (Al), lithium (Li), and neodymium (Nd), for example, LiF / Al, CsF / Al, Mg: Ag, Ca / Ag, Ca: Ag, LiF / Mg: Ag, LiF / Ca / Ag and LiF / Ca: Ag.

상기와 같이 제 2 전극(260)이 보조 전극(225)과 연결되면서, 저저항 캐소드를 구현할 수 있으며, 특히 대면적 유기전계발광표시장치의 경우 화면의 중앙 영역의 휘도가 떨어지는 휘도 불균일 현상을 방지할 수 있다.As described above, the second electrode 260 is connected to the auxiliary electrode 225 to realize a low-resistance cathode. In particular, in the case of the large-area organic light emitting display device, the luminance unevenness can do.

제 2 전극(260) 상부에 캐핑층(capping layer), 보호층, 봉지층, 컬러필터층 및 편광판을 포함한 다양한 구성요소가 형성되어 유기전계발광표시장치를 형성할 수 있다.Various components including a capping layer, a protective layer, a sealing layer, a color filter layer, and a polarizing plate may be formed on the second electrode 260 to form an organic light emitting display device.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display according to another embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치은, 기판(210), 평탄화층(220), 제 1 보조 전극(225), 중간층(227), 제 1 전극(230), 제 2 보조 전극(235), 뱅크층(240), 유기 발광층(250) 및 제 2 전극(260)을 포함한다.3, the organic light emitting display according to another embodiment of the present invention includes a substrate 210, a planarization layer 220, a first auxiliary electrode 225, an intermediate layer 227, a first electrode (not shown) A second auxiliary electrode 235, a bank layer 240, an organic light emitting layer 250, and a second electrode 260.

도 2의 실시예에서와 동일한 부분은 설명을 생략하도록 한다.The same parts as those in the embodiment of Fig. 2 are not described.

도 3에 도시된 실시예와 대비하여 본 실시예는 두 개의 보조 전극(225, 235)이 형성된다는 점에서 차이가 있다. 일례로 도 3에 도시된 바와 같이, 제 1 보조 전극(225)은 중간층(227)과 동일한 층 상에 서로 이격되어 배치될 수 있고, 제 2 보조 전극(235)은 제 1 전극(230)과 동일한 층 상에 서로 이격되어 배치될 수 있다.In contrast to the embodiment shown in FIG. 3, this embodiment differs in that two auxiliary electrodes 225 and 235 are formed. 3, the first auxiliary electrode 225 may be disposed on the same layer as the intermediate layer 227 and the second auxiliary electrode 235 may be disposed on the same layer as the first electrode 230 and the second auxiliary electrode 235. [ They can be arranged on the same layer and spaced apart from each other.

유기 발광층(250)에 컨택홀(CH)이 형성되는 것도 도 2의 실시예에서와 동일하며, 상기 컨택홀(CH)을 통해 제 2 보조 전극(235)이 제 2 전극(260)과 연결된다는 점이 도 2의 실시예와의 차이점이다.The contact hole CH is also formed in the organic light emitting layer 250 in the same manner as in the embodiment of FIG. 2 and the second auxiliary electrode 235 is connected to the second electrode 260 through the contact hole CH This is a difference from the embodiment of Fig.

우선, 기판(210) 상에 박막 트랜지스터(미도시)를 포함하는 구동회로(driving circuit) 또는 구동소자(driving element)가 형성될 수 있으며, 상기 박막 트랜지스터와 제 1 전극(230) 사이에 평탄화층(220)이 배치된다. 기판(210) 및 평탄화층(220) 사이에 추가 평탄화층(미도시)이 배치될 경우, 추가 평탄화층을 제 1 평탄화층이라고 하고 평탄화층(220)을 제 2 평탄화층이라고 한다면, 제 1 평탄화층 및 제 2 평탄화층이 박막 트랜지스터와 제 1 전극(230) 사이에 순차적으로 배치될 수 있다.First, a driving circuit or a driving element including a thin film transistor (not shown) may be formed on the substrate 210. A planarization layer may be formed between the thin film transistor and the first electrode 230, (220). When a further planarization layer (not shown) is disposed between the substrate 210 and the planarization layer 220, if the additional planarization layer is referred to as a first planarization layer and the planarization layer 220 is referred to as a second planarization layer, Layer and a second planarization layer may be sequentially disposed between the thin film transistor and the first electrode 230. [

따라서, 제 1 보조 전극(225) 및 중간층(227)은 제 1 평탄화층과 제 2 평탄화층 사이에 배치될 수 있다. 또한, 중간층(227)은 상기 박막 트랜지스터 상에 배치되어 상기 박막 트랜지스터와 연결되며, 제 1 전극(230) 및 제 2 보조 전극(235) 상에는 뱅크층(240)이 형성된다.Accordingly, the first auxiliary electrode 225 and the intermediate layer 227 may be disposed between the first planarization layer and the second planarization layer. The intermediate layer 227 is disposed on the thin film transistor and connected to the thin film transistor and the bank layer 240 is formed on the first electrode 230 and the second auxiliary electrode 235.

제 2 보조 전극(235)은 제 1 전극(230)과 동일층 상에 배치되고, 제 1 보조 전극(225)과 연결되며, 동시에 유기 발광층(250) 내에 형성된 컨택홀(CH)을 통해 제 2 전극(260)과 연결된다.The second auxiliary electrode 235 is disposed on the same layer as the first electrode 230 and is connected to the first auxiliary electrode 225. The second auxiliary electrode 235 is connected to the second auxiliary electrode 225 through the contact hole CH formed in the organic light- And is connected to the electrode 260.

본 실시예에서는 두 개의 보조 전극(225, 235)을 구비하여, 제 2 전극(260)의 저항을 보다 더 낮출 수 있다. 더불어, 제 2 전극(260)과 바로 인접해 있는 제 2 보조 전극(235)이 제 2 전극(260)과 연결되어, 보다 안정적으로 제 2 보조 전극(235)과 제 2 전극(260) 간의 컨택이 구현될 수 있다.In this embodiment, two auxiliary electrodes 225 and 235 are provided to further lower the resistance of the second electrode 260. [ The second auxiliary electrode 235 immediately adjacent to the second electrode 260 is connected to the second electrode 260 so that the contact between the second auxiliary electrode 235 and the second electrode 260 can be more stably performed. Can be implemented.

도 4a ~ 4d는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법을 도시한 단면도이다.4A to 4D are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention.

먼저 도 4a에 도시된 바와 같이, 기판(210) 상에 보조 전극(225) 및 중간층(227)을 형성한다. 보조 전극(225) 및 중간층(227)은 동일한 층 상에 동시에 형성될 수 있다. 보조 전극(225) 및 중간층(227)은 일반적인 배선과 동일한 물질로 형성될 수 있으며, 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.First, an auxiliary electrode 225 and an intermediate layer 227 are formed on a substrate 210, as shown in FIG. 4A. The auxiliary electrode 225 and the intermediate layer 227 can be formed on the same layer at the same time. The auxiliary electrode 225 and the intermediate layer 227 may be formed of the same material as a general wiring and may be formed of a material such as molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti) ), And neodymium (Nd).

그 다음으로, 보조 전극(225) 및 중간층(227) 상에 평탄화층(220)이 형성된다. 평탄화층(220)은 스핀 코팅(spin coating) 방식, 슬릿 코팅(slit coating) 방식, 스크린 프린팅(screen printing) 방식이나 열증착(thermal deposition) 방식으로 형성될 수 있다.Next, a planarization layer 220 is formed on the auxiliary electrode 225 and the intermediate layer 227. The planarization layer 220 may be formed by a spin coating method, a slit coating method, a screen printing method, or a thermal deposition method.

한편, 기판(210) 상에는 박막 트랜지스터(미도시)를 포함하는 구동회로(driving circuit) 또는 구동소자(driving element)가 형성될 수 있으며, 그 상부에 추가 평탄화층(미도시)이 더 구비될 수 있다. 즉, 박막 트랜지스터 상에 추가 평탄화층이 배치되고, 상기 추가 평탄화층 상에 보조 전극(225) 및 중간층(227)이 배치될 수 있다. 중간층(227)은 박막 트랜지스터 추가 평탄화층을 제 1 평탄화층이라고 하고 평탄화층(220)을 제 2 평탄화층이라고 한다면, 제 1 평탄화층 및 제 2 평탄화층이 박막 트랜지스터와 제 1 전극(230) 사이에 순차적으로 배치될 수 있다.On the other hand, a driving circuit or a driving element including a thin film transistor (not shown) may be formed on the substrate 210, and a further planarization layer (not shown) may be further provided on the driving circuit or driving element have. That is, a further planarization layer may be disposed on the thin film transistor, and an auxiliary electrode 225 and an intermediate layer 227 may be disposed on the additional planarization layer. The intermediate layer 227 may be formed between the thin film transistor and the first electrode 230 by forming the first planarization layer and the second planarization layer in the case where the thin film transistor additional planarization layer is referred to as a first planarization layer and the planarization layer 220 is referred to as a second planarization layer, As shown in FIG.

그 다음으로, 중간층(227)이 노출되도록 평탄화층(220)을 패터닝한 후, 상기 노출된 중간층(227)과 연결되도록 제 1 전극(230)을 형성한다. 제 1 전극(230)은 바람직하게 애노드 전극일 수 있다. 애노드 전극은 인듐(Indium), 주석(Tin), 아연(Zinc), 몰리브덴(Mo) 및 텅스텐(W) 중 어느 하나를 포함하는 전도성 산화물로 형성될 수 있다.Next, the planarization layer 220 is patterned to expose the intermediate layer 227, and then the first electrode 230 is formed to be connected to the exposed intermediate layer 227. The first electrode 230 may preferably be an anode electrode. The anode electrode may be formed of a conductive oxide containing any one of indium, tin, zinc, molybdenum (Mo), and tungsten (W).

다음으로, 도 4b에 도시된 바와 같이, 뱅크층(240)을 형성하고 패터닝하여 제 1 전극(230)을 노출시키는 개구부를 형성한다. 또한, 개구부는 보조 전극(225)과 대응되는 영역에도 형성되며, 보조 전극(225)이 노출되도록, 개구부는 평탄화층(220)까지 연장되어 형성된다. 즉, 보조 전극(225)과 대응되는 영역의 뱅크층(240)을 패터닝한 후, 노출된 평탄화층(220)을 연속으로 패터닝하여 개구부가 평탄화층(220)까지 연장 형성될 수 있도록 한다.Next, as shown in FIG. 4B, the bank layer 240 is formed and patterned to form an opening for exposing the first electrode 230. [0052] Next, as shown in FIG. The opening is also formed in a region corresponding to the auxiliary electrode 225 and the opening is extended to the planarization layer 220 so that the auxiliary electrode 225 is exposed. That is, after patterning the bank layer 240 corresponding to the auxiliary electrode 225, the exposed planarization layer 220 is continuously patterned so that the opening can be extended to the planarization layer 220.

그 다음으로, 제 1 전극(230), 뱅크층(240) 및 보조 전극(225) 상에 유기 발광층(250)을 형성한다.Next, the organic light emitting layer 250 is formed on the first electrode 230, the bank layer 240, and the auxiliary electrode 225.

다음으로, 도 4c에 도시된 바와 같이, 보조 전극(225)과 대응되는 유기 발광층(250)과 마스크(M)의 오픈 영역을 일치시켜 얼라인시킨 후, 오픈 영역을 통해 이온빔(ion beam)을 조사한다. 상기 이온빔이 조사된 유기 발광층(250)은 이온빔에 의해 식각(etching)되어, 유기 발광층(250) 내부에 컨택홀(CH)이 형성된다.Next, as shown in FIG. 4C, the organic light emitting layer 250 corresponding to the auxiliary electrode 225 is aligned with the open region of the mask M, and then an ion beam is emitted through the open region Investigate. The organic light emitting layer 250 irradiated with the ion beam is etched by an ion beam to form a contact hole CH in the organic light emitting layer 250.

상기와 같이 이온빔을 이용하게 되면, 진공압력 10-4 torr 이하의 고진공 유지가 가능하여 컨택홀(CH) 형성 공정의 신뢰성이 향상될 수 있다. 또한, 일반 스퍼터링 방식의 경우 공정 중 생성되는 플라즈마(plasma)에 의해 유기 발광층(250)의 표면에 변화가 발생할 수 있으나, 이온빔을 방식을 사용하는 경우, 기판(210)이 이온빔 외부에 존재하여 유기 발광층(250)의 표면 변화를 방지할 수 있다.When the ion beam is used as described above, the vacuum can be maintained at a vacuum of 10 -4 torr or less, thereby improving the reliability of the contact hole forming process. In the case of the general sputtering method, the surface of the organic light emitting layer 250 may be changed by a plasma generated during the process. However, when the ion beam is used, the substrate 210 exists outside the ion beam, The surface of the light emitting layer 250 can be prevented from being changed.

다음으로, 도 4d에 도시된 바와 같이, 제 2 전극(260)을 유기 발광층(250) 상에 형성한다. 유기 발광층(250)에는 이온빔에 의해 컨택홀(CH)이 형성되어 있으므로, 제 2 전극(260)은 유기 발광층(250) 상에 증착되면서 자연스럽게 컨택홀(CH)을 통해 보조 전극(225)과 컨택하게 된다.Next, as shown in FIG. 4D, a second electrode 260 is formed on the organic light emitting layer 250. Since the contact hole CH is formed in the organic light emitting layer 250 by the ion beam, the second electrode 260 is deposited on the organic light emitting layer 250 and naturally contacts the auxiliary electrode 225 through the contact hole CH. .

도 5a ~ 5d는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법 도시한 단면도이다.5A to 5D are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display according to another embodiment of the present invention.

먼저, 도 5a에 도시된 바와 같이, 기판(210) 상에 제 1 보조 전극(225) 및 중간층(227)을 형성한 후, 평탄화층(220)을 형성한다. 제 1 보조 전극(225) 및 중간층(227)은 동일한 층 상에 동시에 형성될 수 있다. 그리고, 평탄화층(220)을 패터닝하여 제 1 보조 전극(225) 및 중간층(227)의 일부를 노출시킨 후, 평탄화층(220) 상에 제 1 전극(230) 및 제 2 보조 전극(235)을 형성한다. 제 1 전극(230)은 노출된 중간층(227)과 연결되도록 형성되며, 제 2 보조 전극(235)는 노출된 제 1 보조 전극(225)과 연결되도록 형성된다. 제 1 전극(230) 및 제 2 보조 전극(235)도 동일한 층 상에 동시에 형성될 수 있다.First, as shown in FIG. 5A, a first auxiliary electrode 225 and an intermediate layer 227 are formed on a substrate 210, and then a planarization layer 220 is formed. The first auxiliary electrode 225 and the intermediate layer 227 may be formed on the same layer at the same time. The planarization layer 220 is patterned to expose a part of the first auxiliary electrode 225 and the intermediate layer 227 and then the first electrode 230 and the second auxiliary electrode 235 are formed on the planarization layer 220, . The first electrode 230 is formed to be connected to the exposed intermediate layer 227 and the second auxiliary electrode 235 is formed to be connected to the exposed first auxiliary electrode 225. The first electrode 230 and the second auxiliary electrode 235 may be simultaneously formed on the same layer.

다음으로, 도 5b에 도시된 바와 같이, 평탄화층(220), 제 1 전극(230) 및 제 2 보조 전극(235) 상에 뱅크층(240)을 형성하고 패터닝하여 제 1 전극(230) 및 제 2 보조 전극(235)를 노출시키는 개구부를 형성한다. 그 상부에, 유기 발광층(250)을 형성한다. 즉, 유기 발광층(250)은 상기 개구부에 의해 노출된 제 1 전극(230) 및 상기 개구부에 의해 노출된 제 2 보조 전극(235) 상에 형성되며, 뱅크층(240) 상부에도 형성된다.5B, a bank layer 240 is formed on the planarization layer 220, the first electrode 230, and the second auxiliary electrode 235 and patterned to form the first electrode 230 and the second electrode 230. [ An opening for exposing the second auxiliary electrode 235 is formed. And an organic light emitting layer 250 is formed thereon. That is, the organic light emitting layer 250 is formed on the first electrode 230 exposed by the opening portion and on the second auxiliary electrode 235 exposed by the opening portion, and also on the bank layer 240.

다음으로, 도 5c에 도시된 바와 같이, 제 2 보조 전극(235)과 대응되는 유기 발광층(250)과 마스크(M)의 오픈 영역을 일치시켜 얼라인시킨 후, 오픈 영역을 통해 이온빔(ion beam)을 조사한다. 상기 이온빔이 조사된 유기 발광층(250)은 이온빔에 의해 식각(etching)되어, 유기 발광층(250) 내부에는 컨택홀(CH)이 형성된다.Next, as shown in FIG. 5C, the organic light emitting layer 250 corresponding to the second auxiliary electrode 235 is aligned with the open region of the mask M, and then an ion beam ). The organic light emitting layer 250 irradiated with the ion beam is etched by an ion beam, and a contact hole CH is formed in the organic light emitting layer 250.

다음으로, 도 5d에 도시된 바와 같이, 유기 발광층(250) 상에 제 2 전극(260)을 형성한다. 제 2 전극(260)이 증착되면서, 유기 발광층(250) 내부에 형성된 컨택홀(CH)을 통해, 제 2 전극(260)이 제 2 보조 전극(235)와 자연스럽게 연결될 수 있다.Next, a second electrode 260 is formed on the organic light emitting layer 250, as shown in FIG. 5D. The second electrode 260 can be naturally connected to the second auxiliary electrode 235 through the contact hole CH formed in the organic light emitting layer 250 while the second electrode 260 is deposited.

본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 상술한 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.

그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.

210: 기판 220: 평탄화층
225: 보조 전극 227: 중간층
230: 제 1 전극 240: 뱅크층
250: 유기 발광층 260: 제 2 전극
CH: 컨택홀210: substrate 220: planarization layer
225: auxiliary electrode 227: middle layer
230: first electrode 240: bank layer
250: organic light emitting layer 260: second electrode
CH: Contact hole

Claims (18)

기판;
상기 기판 상에 배치된 박막 트랜지스터;
상기 박막 트랜지스터 상에 배치되며, 상기 박막 트랜지스터와 연결된 중간층;
상기 중간층과 동일층 상에 배치되며, 상기 중간층과 이격된 보조 전극;
상기 중간층 상에 배치되며, 상기 중간층에 의해 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 제 1 전극;
상기 제 1 전극 및 상기 보조 전극 상에 배치되며, 상기 제 1 전극 및 상기 보조 전극을 노출하는 개구부를 포함하는 뱅크층;
상기 개구부에 의해 노출된 상기 제 1 전극 및 상기 보조 전극 상에 배치되는 유기 발광층; 및
상기 유기 발광층 상에 배치된 제 2 전극;을 포함하고,
상기 보조 전극 상에 위치한 상기 유기 발광층 내에 컨택홀이 배치되고, 상기 컨택홀을 통해 상기 제 2 전극이 상기 보조 전극과 연결되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.Board;
A thin film transistor disposed on the substrate;
An intermediate layer disposed on the thin film transistor and connected to the thin film transistor;
An auxiliary electrode disposed on the same layer as the intermediate layer and spaced apart from the intermediate layer;
A first electrode disposed on the intermediate layer and connected to the thin film transistor by the intermediate layer;
A bank layer disposed on the first electrode and the auxiliary electrode and including an opening exposing the first electrode and the auxiliary electrode;
An organic light emitting layer disposed on the first electrode and the auxiliary electrode exposed by the opening; And
And a second electrode disposed on the organic light emitting layer,
Wherein a contact hole is disposed in the organic light emitting layer disposed on the auxiliary electrode and the second electrode is connected to the auxiliary electrode through the contact hole. 제 1 항에 있어서,
상기 중간층과 상기 보조 전극은 동일한 물질인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.The method according to claim 1,
Wherein the intermediate layer and the auxiliary electrode are the same material. 제 1 항에 있어서,
상기 중간층과 상기 제 1 전극 사이에 배치되는 평탄화층을 더 포함하고,
상기 개구부는 상기 평탄화층까지 연장되어 상기 보조 전극을 노출하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.The method according to claim 1,
And a planarization layer disposed between the intermediate layer and the first electrode,
Wherein the opening extends to the planarization layer to expose the auxiliary electrode. 제 1 항에 있어서,
상기 박막 트랜지스터와 상기 제 1 전극 사이에 순차적으로 배치되는 제 1 평탄화막 및 제 2 평탄화막을 더 포함하고,
상기 중간층 및 상기 보조 전극은 상기 제 1 평탄화막과 상기 제 2 평탄화막 사이에 배치되며, 상기 개구부는 상기 제 2 평탄화막까지 연장되어 상기 보조 전극을 노출시키는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.The method according to claim 1,
Further comprising a first planarization film and a second planarization film sequentially disposed between the thin film transistor and the first electrode,
Wherein the intermediate layer and the auxiliary electrode are disposed between the first planarization layer and the second planarization layer and the opening extends to the second planarization layer to expose the auxiliary electrode. 기판;
상기 기판 상에 배치된 박막 트랜지스터;
상기 박막 트랜지스터 상에 배치되며, 상기 박막 트랜지스터와 연결된 중간층;
상기 중간층과 동일층 상에 배치되며, 상기 중간층과 이격된 제 1 보조 전극;
상기 중간층 상에 배치되며, 상기 중간층과 연결되는 제 1 전극;
상기 제 1 전극과 동일층 상에 형성되며, 상기 제 1 보조 전극과 연결되는 제 2 보조 전극;
상기 제 1 전극의 및 상기 제 2 보조 전극 상에 배치되며, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 보조 전극을 노출하는 개구부를 포함하는 뱅크층;
상기 개구부에 의해 노출된 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 보조 전극 상에 배치되는 유기 발광층; 및
상기 유기 발광층 상에 배치된 제 2 전극;을 포함하고,
상기 제 2 보조 전극 상에 위치한 상기 유기 발광층 내에 컨택홀이 배치되고, 상기 컨택홀을 통해 상기 제 2 전극이 상기 제 2 보조 전극과 연결되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.Board;
A thin film transistor disposed on the substrate;
An intermediate layer disposed on the thin film transistor and connected to the thin film transistor;
A first auxiliary electrode disposed on the same layer as the intermediate layer and spaced apart from the intermediate layer;
A first electrode disposed on the intermediate layer and connected to the intermediate layer;
A second auxiliary electrode formed on the same layer as the first electrode and connected to the first auxiliary electrode;
A bank layer disposed on the first electrode and on the second auxiliary electrode and including an opening exposing the first electrode and the second auxiliary electrode;
An organic light emitting layer disposed on the first electrode and the second auxiliary electrode exposed by the opening; And
And a second electrode disposed on the organic light emitting layer,
Wherein a contact hole is disposed in the organic light emitting layer disposed on the second auxiliary electrode and the second electrode is connected to the second auxiliary electrode through the contact hole. 제 5 항에 있어서,
상기 중간층과 상기 제 1 보조 전극은 동일한 물질인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.6. The method of claim 5,
Wherein the intermediate layer and the first auxiliary electrode are the same material. 제 5 항에 있어서,
상기 제 1 전극과 상기 제 2 보조 전극은 동일한 물질인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.6. The method of claim 5,
Wherein the first electrode and the second auxiliary electrode are the same material. 제 5 항에 있어서,
상기 박막 트랜지스터와 상기 제 1 전극 사이에 순차적으로 배치되는 제 1 평탄화막 및 제 2 평탄화막을 더 포함하고,
상기 중간층 및 상기 제 1 보조 전극은 상기 제 1 평탄화막과 상기 제 2 평탄화막 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.6. The method of claim 5,
Further comprising a first planarization film and a second planarization film sequentially disposed between the thin film transistor and the first electrode,
Wherein the intermediate layer and the first auxiliary electrode are disposed between the first planarization layer and the second planarization layer. 기판 상에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계;
상기 박막 트랜지스터 상에 상기 박막 트랜지스터와 연결되도록 중간층을 형성하는 단계;
상기 중간층과 동일층 상에 상기 중간층과 이격되도록 보조 전극을 형성하는 단계;
상기 중간층 상에 상기 중간층과 연결되도록 제 1 전극을 형성하는 단계;
상기 제 1 전극의 및 상기 보조 전극 상에 뱅크층을 형성하는 단계;
상기 뱅크층을 패터닝하여 상기 제 1 전극 및 상기 보조 전극을 노출하는 개구부를 형성하는 단계;
상기 개구부에 의해 노출된 상기 제 1 전극 및 상기 보조 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 단계;
상기 보조 전극 상에 위치한 상기 유기 발광층 내에 컨택홀을 형성하는 단계; 및
상기 유기 발광층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계;를 포함하고,
상기 제 2 전극은 상기 컨택홀을 통해 상기 보조 전극과 연결되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.Forming a thin film transistor on a substrate;
Forming an intermediate layer on the thin film transistor to be connected to the thin film transistor;
Forming an auxiliary electrode on the same layer as the intermediate layer so as to be spaced apart from the intermediate layer;
Forming a first electrode to be connected to the intermediate layer on the intermediate layer;
Forming a bank layer on the first electrode and on the auxiliary electrode;
Forming an opening for exposing the first electrode and the auxiliary electrode by patterning the bank layer;
Forming an organic light emitting layer on the first electrode and the auxiliary electrode exposed by the opening;
Forming a contact hole in the organic light emitting layer on the auxiliary electrode; And
And forming a second electrode on the organic light emitting layer,
And the second electrode is connected to the auxiliary electrode through the contact hole. 제 9 항에 있어서,
상기 컨택홀은 이온빔 에칭에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.10. The method of claim 9,
Wherein the contact hole is formed by ion beam etching. 제 9 항에 있어서,
상기 중간층과 상기 보조 전극은 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.10. The method of claim 9,
Wherein the intermediate layer and the auxiliary electrode are simultaneously formed. 제 9 항에 있어서,
상기 중간층과 상기 제 1 전극 사이에 평탄화막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.10. The method of claim 9,
And forming a planarization layer between the intermediate layer and the first electrode. 제 9 항에 있어서,
상기 박막 트랜지스터와 상기 제 1 전극 사이에 순차적으로 제 1 평탄화막 및 제 2 평탄화막을 형성하는 단계를 더 포함하고,
상기 중간층 및 상기 보조 전극은 상기 제 2 평탄화막이 형성되기 전에 상기 제 1 평탄화막 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.10. The method of claim 9,
Further comprising forming a first planarization layer and a second planarization layer sequentially between the thin film transistor and the first electrode,
Wherein the intermediate layer and the auxiliary electrode are formed on the first planarization layer before the second planarization layer is formed. 기판 상에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계;
상기 박막 트랜지스터 상에 상기 박막 트랜지스터와 연결되도록 중간층을 형성하는 단계;
상기 중간층과 동일층 상에 상기 중간층과 이격되도록 제 1 보조 전극을 형성하는 단계;
상기 중간층 상에 상기 중간층과 연결되도록 제 1 전극을 형성하는 단계;
상기 제 1 전극과 동일층 상에 상기 제 1 보조 전극과 연결되도록 제 2 보조 전극을 형성하는 단계;
상기 제 1 전극의 및 상기 제 2 보조 전극 상에 뱅크층을 형성하는 단계;
상기 뱅크층을 패터닝하여 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 보조 전극을 노출하는 개구부를 형성하는 단계;
상기 개구부에 의해 노출된 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 보조 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 단계;
상기 제 2 보조 전극 상에 위치한 상기 유기 발광층 내에 컨택홀을 형성하는 단계; 및
상기 유기 발광층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계;를 포함하고,
상기 제 2 전극은 상기 컨택홀을 통해 상기 제 2 보조 전극과 연결되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.Forming a thin film transistor on a substrate;
Forming an intermediate layer on the thin film transistor to be connected to the thin film transistor;
Forming a first auxiliary electrode on the same layer as the intermediate layer so as to be spaced apart from the intermediate layer;
Forming a first electrode to be connected to the intermediate layer on the intermediate layer;
Forming a second auxiliary electrode on the same layer as the first electrode so as to be connected to the first auxiliary electrode;
Forming a bank layer on the first electrode and on the second auxiliary electrode;
Forming an opening for exposing the first electrode and the second auxiliary electrode by patterning the bank layer;
Forming an organic light emitting layer on the first electrode and the second auxiliary electrode exposed by the opening;
Forming a contact hole in the organic emission layer on the second auxiliary electrode; And
And forming a second electrode on the organic light emitting layer,
And the second electrode is connected to the second auxiliary electrode through the contact hole. 제 14 항에 있어서,
상기 컨택홀은 이온빔 에칭에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.15. The method of claim 14,
Wherein the contact hole is formed by ion beam etching. 제 14 항에 있어서,
상기 중간층과 상기 제 1 보조 전극은 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.15. The method of claim 14,
Wherein the intermediate layer and the first auxiliary electrode are simultaneously formed. 제 14 항에 있어서,
상기 제 1 전극과 상기 제 2 보조 전극은 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.15. The method of claim 14,
Wherein the first electrode and the second auxiliary electrode are simultaneously formed. 제 14 항에 있어서,
상기 박막 트랜지스터와 상기 제 1 전극 사이에 순차적으로 제 1 평탄화막 및 제 2 평탄화막을 형성하는 단계를 더 포함하고,
상기 중간층 및 상기 제 1 보조 전극은 상기 제 2 평탄화막이 형성되기 전에 상기 제 1 평탄화막 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.15. The method of claim 14,
Further comprising forming a first planarization layer and a second planarization layer sequentially between the thin film transistor and the first electrode,
Wherein the intermediate layer and the first auxiliary electrode are formed on the first planarization layer before the second planarization layer is formed.
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