KR20140145383A

KR20140145383A - 인라인형 대면적 oled 하향식 증착기

Info

Publication number: KR20140145383A
Application number: KR1020130067762A
Authority: KR
Inventors: 진중 김
Original assignee: 진중 김
Priority date: 2013-06-13
Filing date: 2013-06-13
Publication date: 2014-12-23

Abstract

본 발명은 파티클의 발생이 방지되는 구조를 가지는 고진공 하향식 증착챔버로서, 그 내부엔느 트레이의 상부에 기판과 마스크 홈이 형성되고, 트레이의 하부에는 다수개의 지지핀이 부착되어 롤러에 닿아서 트레이의 하중을 지지하고, 트레이가 모터의 회전력을 받아 직선운동이 가능하게 되어, 파티클의 발생이 방지되어 트레이의 이송이 가능하고, 롤러에서 발생하는 파티클은 분리벽을 사이에 두고, 디퍼런셜 펌핑이 되므로, 파티클이 기판에 접근이 방지되는 효과가 있다. 파티클의 발생이 방지되는 구조로 기판이 이송되고, 챔버의 상부에는 다수개의 하향식 선형 증발원이 고정되어, 한번의 기판이송으로도, 다수개의 유기박막을 형성하여, 유기소자의 생산성을 향상하기도 하고, 두개의 트레이가 형성된 듀얼증착기를 사용하여 유기소자의 생산성을 2배 향상시킬 수도 있다. 또한, 다수개의 챔버들이 선형으로 연결되어, 인라인화 되어 있어, 다층의 유기박막과 금속 박막의 연속공정이 가능하여 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Description

인라인형 대면적 OLED 하향식 증착기{Inline Type OLED Face Up Evaporator for large size OLED}

본 발명은 초대면적(8세대 ~ 11세대급) OLED(Organic Lighting Emission Display) 박막의 대량생산 제조용 하향식 선형 증발원과 기판과 마스크 얼라인장치를 사용한 하향식 증착기 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 대형 유기 박막 제조의 대량 생산성을 획기적으로 향상시킬 수 있도록 기판의 처짐이 전혀 없도록 하기 위하여, 매우 얇은 유리 기판등을 챔버의 하부에서 이송되는 기판 트레이상에 놓이게 하고, 기판위에 발광용 유기물로 구성되는 박막을 연속 제조하기 위하여 고진공 분위기의 챔버 내에서 다수개의 하향식 선형 증발원을 챔버의 상부에 구성하게 하고, 기판트레이의 이송작동으로 인한 파티클이 발생되는 것을 방지하여, 유기박막에 오염되지 않도록 하기 위하여 기판트레이의 하부에 이송롤러 장치를 설치하고 분리벽을 설치하여 디퍼런셜 펌핑을 하여 파티클의 발생을 방지하고, 하향으로 유기물 기체를 유도 증발하여 처짐이 전형 없는 기판 마스크가 얼라인되어 이송되어, 기판에 유기물을 증착 형성하게 함으로써, 대면적의 유기박막을 대량 생산 하는 하향식 증착기의 파티클의 발생이 방지된 기판 이송 장치와 생산성을 더욱 향상하는 인라인형 듀얼 증착기 장치에 관한 것이다.

OLED 디스플레이는 포스트 엘시디(Post LCD) 디스플레이로서뿐만 아니라 조명용 면 발광장치로서 그 에너지성과 저렴성이 입증되어 세계적으로 각광받고 있다. OLED 발광장치의 핵심 공정기술로서, 유기물 발광재료를 기체 증발하여 유리기판에 고진공 상태에서 증착하여 유기물 박막을 제조하는 열증발 증착공정(thermal evaporation deposition)이 주로 사용되고 있다.

열증발 증착공정은 유기물을 증발하기 위한 소스로서, 열복사에 의한 유도 증발장치인 증발원과 기판을 고정해주는 기판 트레이와 패터닝을 제조하는 세도우 마스크장치 및 증발기체의 양을 미세 조정하는 두께 센서인 QCM 다점 센서등이 고진공 챔버내에 구성되어 사용 된다.

특히 최근 들어서, OLED 제품의 단가를 낮추기 위하여, 기판의 크기를 더욱 크게 제작한 후, 나중에 작게 잘라서 여러 장 제조하는 기술이 필요하게 되었다. 이를 테면, 4세대나 5세대급 기판을 증착하여 유기박막을 만들고, 용도에 맞추어 2인치나 4인치용으로 잘라 쓰면, 그 생산성이 향상되어 제조원가를 떨어뜨리게 되는 것이다. 하지만, 최근 대형(55인치이상)의 OLED TV를 대량생산하기 위하여, 8세대급(2200mmX2500mm) 크기의 유리 기판이 사용되는데, 이때 유리기판의 두께가 0.7mm 정도이므로, 쉽게 처짐으로 인하여 기판 핸들링 시 깨어지기가 매우 쉽다.

이러한 8세대급 이상의 대형의 유리기판(1)에 유기박막을 상향 증착할 경우에 기존에 사용되는 증착기 내부의 개념도를 도 1에서 나타낸 바와 같이, 증착기의 상부에는 선형의 상향식 증발원(3)이 놓이고, 상향으로 유기물이 복사열에 의해 유도 가열되어 증발된다. 챔버의 상부에는 대형의 기판 처짐을 방지하기 위하여 기판척 장치가 놓이게 되고, 기판 가장자리는 IC 회로 연결부로서, 증착을 방지하도록 하기 위하여, 오픈 마스크(2)를 사용하고, 마스크 처짐방지용 마스크 척을 사용하며, 척과 기판등이 합치되도록 클램프 장치를 사용한다. 문제는 이러한 기판 반송용 척 장치가 800kg이상 1.5톤까지 되므로 장치가 매우 비싸지기도 하고, 무거운 장치를 이송하여주는 롤러 장치등이 너무 부하가 심하여, 장비의 내구성이 떨어지게 되므로 양산성 수율이 매우 낮아지게 되는 것이다.

이러한 문제를 해결하기 위하여는 기판 처짐을 방지하게 되는 하향식 증착기를 개발하여야 하며, 특히, 기판과 트레이가 선형 이송시 이송 장치등에 의해 발생되는 파티클 발생이 억제되도록 하는 특수하고도 역 발상적인 대형 OLED 박막 증착용 기판이송 장치의 개발이 절실하며, 신개념의 증착기술이 세계적인 경쟁기술로 부상하고 있으나, 아직 개발에 성공한 사례는 보고 되고 있지 않다.

기존의 고진공 증착 챔버 내에는 기판의 이송을 위하여 롤러장치를 사용하는데, 이때 롤러에서 발생하는 마찰에 의한 파티클이 기판에 착지되어 유기박막이 오염되어, 소자의 발광효율이 저하된다. 즉, 기판이송에 의한 파티클을 방지하여야 하는 하향식 고진공 증착챔버의 기술의 개발이 요원하다.

상기의 파티클 발생을 방지하기 위하여, 본 발명에서는 디퍼런셜 펌핑을 활용하고자 한다. 즉, 트레이가 이송롤러를 타고 직선모션이 가능하게 하고, 롤러 마찰에 의한 파티클의 발생을 방지하게 된다. 또한, 기판 트레이의 하중을 가볍게 하기 위하여, 트레이의 하부에는 지지부가 부착하여 하중을 지지하도록 할 것이다. 트레이 지지핀과 롤러사이에서 발생하는 미세한 파티클이 기판에 접근하는 것을 방지하도록, 분리벽을 설치하여 디퍼런셜 펌핑을 시도할 것이다.

본 발명에 의하면, 고진공 하향식 OLED 증착 챔버내에 형성되는 기판의 이송을 위한 롤러장치가 발명되고, 트레이와 롤러사이의 마찰에 의한 파티클의 발생을 방지하게 되어, 파티클에 의한 유기박막의 오염을 방지하게 되어, 유기소자의 생산 수율을 향상하는 효과가 있다.

도1은 종래의 OLED 박막을 증착하는 상향식 증착기를 개략적으로 나타낸 개념도
도2는 하향식 OLED 증착기의 측면 내부구조를 나타내는 개략도
도3은 하향식 OLED 증착기의 단면 내부구조를 나타내는 개략도
도4는 하향식 OLED 양산용 증착기의 하향식 선형 증발원이 일렬로 구성되는 형상을 나타내는 개략도
도5은 듀얼 기판을 적재하여, 번갈아 증착이 가능한 증발원의 위치 변경이 가능한 듀얼 증착기의 개략도
도6은 듀얼증착기를 사용하는 파티클 발생이 방지되며, OLED 소자를 제작하는 클러스터형의 증착기의 개념도
도7은 듀얼증착기를 사용하는 파티클 발생이 방지되며, OLED 소자를 제작하는 선형의 증착기의 개념도
도8은 기판로딩챔버, TM챔버, 플라즈마 전처리챔버, 선형증착챔버, 메탈증착챔버, 기판언로딩 챔버들이 일렬로 연결되어, 유기소자를 제작할 수 있는 턴키용 양산용 하향식 증착라인을 나타내는 개념도
도9는 기판로딩 챔버,TM챔버, 트레이인챔버, 유기마스크인챔버, 선형증착챔버, 유기마스크아웃챔버, 메탈마스크인챔버, 메탈증착챔버, 메탈마스크아웃챔버, 트레이아웃챔버, TM챔버, 기판언로딩 챔버들이 일렬로 연결되어, 유기소자를 제작할 수 있는 턴키용 양산용 인라인 하향식 증착라인을 나타내는 개념도
도10은 하향식 선형 증발원 하부에 파인마스크와 얼라이너와 마스크홀더의 구조를 나타내는 개념도
도11은 파인 홀(fine hole)의 배열을 가진 프레임 파인마스크의 개념도

도2에 나타낸 바와 같이, 고진공챔버(10)의 내부에는 중앙상부에 2개이상의 하향식 선형 증발원(11)이 고정되어 있으며, 하향으로 유기물이 증발된다. 기판 트레이(17)의 상부에는 마스크프레임(14) 홈과 기판 홈이 형성되어 있어 트레이와 기판(16) 마스크(15)는 한몸이 되어 이송이 가능하여, 기판상에 증발증착이 가능하게 된다. 트레이의 하부에는 지지핀(20)이 부착되어 있고, 트레이가 이송롤러(21)를 타고 선형 이송된다. 챔버의 왼측 상부에는 마스크 얼라이너(12)가 다수개 형성되고, 챔버 안쪽으로 마스크 홀딩 바(13)가 달려있어, 이 홀딩바에 마스크 프레임(14)이 홀딩되어 마스크의 업다운 모션이 가능하여, 트레이로부터 마스크의 이탈이 가능하기도 하고, 마스크와 기판의 얼라인기능이 가능하기도 하는 것이다.

도3에는 하향식 고진공 증착챔버(10)의 단면을 보여주고 있다. 챔버의 측면에는 펌핑포트(23)가 다수개 형성되어 있으며, 고진공 펌프를 대칭으로 설치하게 된다. 트레이(17)의 하부에는 다수개의 트레이 지지핀(20)이 부착되어 있으며, 이 핀들은 롤러에 지지되어 있다. 즉 트레이의 하중은 이 지지핀에 의해 지지하게 되므로, 트레이의 무게를 가볍게 할 수 있게 된다. 또한, 지지핀은 분리벽(22)에 형성된 구멍들을 관통하도록 되어 있고, 분리벽을 사이에 놓고 디퍼런셜 펌핑이 가능하다. 즉, 분리벽을 기준으로 상하로 펌핌포트(23)들이 형성되는 것이다. 결국, 마찰에 의한 파티클 발생을 방지하게되는 효과가 있어서, 고진공 증착챔버내에서 이송에 의한 파티클 발생을 방지하게 되어, 고성능의 유기박막의 제조가 가능하게 되는 것이다. 이때, 분리벽에 형성되는 구멍의 사이즈가 작으면 작을수록 좋다.(예를 들면, 약 1cm) 즉, Mean free path(약 100m이상)가 충분히 긴 파티클 입자가 작은 크기의 구멍을 통해 기판까지 전달되기는 어려우므로, 롤러면에서 발생하는 마찰에 의한 파티클들이 기판상에 유입되어 기판에 달라붙는 현상을 방지하게 된다. 즉, 파티클의 발생을 방지하는 효과가 있는 것이다. 도2에는 지지핀이 3개 나타내었지만, 트레이의 크기에 따라서, 더욱 많은 개수를 설치할 수도 있다. 이렇게 하면, 대형의 트레이가 처짐이 없이, 트레이의 무게를 가볍게 유지할 수도 있는 것이다.

하향식 증발원의 하부에는 증발원셔터(24)가 형성되고, 그 하부에는 고정형 증착가림부(25)가 형성되며, 증착가림부 하부에는 기판셔터(26)가 설치된다. 증발원셔터와 기판셔터는 좌우 이송이 가능하여 증발과 증착을 on-off하는 기능을 가지게 된다. 증착가림부 중앙에는 일정면적을 가지는 오프닝이 형성되어 있어 기판에 증착되는 증착면을 정의하도록 한다.

도4에는 고진공 증착 챔버(50)의 상부면에 HIL박막용 하향식 선형 증발원, HTL용, EML용, HBL용, ETL용, EIL용 유기박막의 제조용 하향식 선형 증발원(51)들이 separator wall(55)을 사이에 두고 선형 정열되어 있으며, 챔부의 하부에는 마스크프레임(54)과 기판(53)이 얹혀진 트레이(52)가 증발원 아래에서 직선방향으로 이송되므로써, 하향증발된 유기물기체들이 기판상에 증착됨으로써, 유기박막이 형성되는 것이다. 트레이의 하부에는 트레이 지지면(56)이 형성되어 있다. 참고로, 도4에는 분리벽을 나타내지 않았다. 이러한 식으로 다수개의 하향식 선형 증발원을 다수개 설치하면, 한 챔버내에 모든 필요한 증발원들을 일거에 설치하여, 한번의 기판 이송을 하여, 원하는 다수개층의 유기박막을 증착하게 되어 그 생산성이 매우 향상되는 것이다. 기존에는 한챔버에 한 개의 증발원만 설치되어, 매우 많은 수의 챔버들이 필요하여, 장비가 고가이며, 생산성이 떨어지기도 한다. EML 박막은 주로 호스트물질 증발원과 도판트물질 증발원으로 구성되어있어 2개이상의 증발원들로 증착공정을 수행하게 된다.One Host, Two Dopant의 경우에는 3개의 증발원이 필요하기도 하다.

도5에는 한 개의 고진공 증착챔버에 두개의 트레이(32, 33)가 구성되어, 두개의 기판(35, 36)이 소개되는 듀얼증착챔버(30)를 나타내었다. 각 트레이의 사이에는 중앙 분리벽(34)이 형성되어 있어, 두개의 트레이를 구분하게 된다. 챔버의 상부에는 하향식 증발원(31)을 좌우로 이송하는 소스 이송 장치(37)가 형성되어 있다. 즉, 기판1이 증착될 때, 기판2는 소개되어 마스크와 얼라인을 수행하고, 기판1의 증착이 완료되면, 증발원은 기판 2쪽으로 이송되어 기판2를 증착하게 되고, 동시에 기판1은 챔버에서 나가게되어 다음공정을 하게되고 새로운 기판1이 다시 소개되어 마스크와 얼라인하게 되고, 증착을 기다리게 되는 것이다. 이렇게 하면, 기존방법보다, 2배로 생산성이 향상되고, 증발원의 물질 사용율도 2배 향상되는 효과가 있게 된다.

도6에는 듀얼 증착챔버(101, 102, 103)가 다수개 설치되고, 케소드 금속 증착챔버(104), 기판 로딩챔버(100), 언로딩 챔버(106), 플라즈마 전처리 챔버(105)등이 7각형 로봇 챔버(110)에 클러스터형으로 연결되어 유기박막의 제조가 향상되는 양산용 장치의 모습을 나타내고 있다. 로봇챔버(110)에는 진공로봇(111)인 arm robot이 설치되어 있어 기판의 소개가 원활하게 된다. 듀얼 증착 챔버에는 기판 2개(107, 108)가 번갈아 소개되어 증착이 가능하다. 케소드 금속 증착 챔버에는 2개의 회전 테이블(112, 113)이 형성되어 있어서, 기판을 회전하면서, 하향식 금속 증발원으로 금속 박막의 형성이 가능하다. 특히 OLED 소자의 양산시, 생산성을 향상하기 위하여, 여러 개의 클러스터형 챔버들이 일렬로 연결되어 사용하게 된다.

도7에는 기판의 로딩챔버(120), 플라즈마 전처리 챔버(121), 다수개의 듀얼증착챔버(122,123,124), 금속증착챔버(125), 언로딩챔버(126)들이 선형구조의 로봇 챔버(129)에 부착되어 있으며, 로봇 이송 장치(127)상에 놓여있는 암로봇(128)을 이용하여, 각 챔버에 기판을 소개하는 것이다. 양산지, 이러한 형태의 장비가 다수개 연결되면, 생산성을 향상하게 되는 것이다.

도8에는 기판 로딩챔버(130), TM(Transfer Module) 챔버(131), 플라즈마 전처리 챔버(132), TM챔버(133), 선형 증착챔버(134), TM챔버(135), 메탈 증착챔버(136), TM챔버(137),기판언로딩 챔버(138)들이 일렬로 연결되어 있는 인라인형 턴키용 대면적 하향식 증착라인을 나타낸다. 기판로딩 챔버나 기판 언로딩 챔버의 내부에는 기판을 여러 개 적재하는 카세트가 설치되며, TM챔버 내에는 진공용 로봇이 설치되어, 기판을 한장씩 이웃챔버로 전달해준다. 선형 증착챔버 내에는 마스크를 정열 및 이탈시키는 마스크홀더(140)들이 챔버의 상부 좌우에 설치되며, 마스크와 기판이 놓여진 트레이는 직선이송되어 하향으로 연속적으로 다층의 유기박막이 증착형성된다. 선형 증착챔버의 상부에는 다수개의 하향식 선형 증발원(141)들이 어레이를 이루어 일렬로 정렬되어 있으므로, 하향으로 원하는 유기기체를 동시에 증발하게 된다. 증착이 완료된 기판은 트레이로부터 이탈되어 로봇에 의해 다음공정인 메탈증착 챔버로 이송되는 것이다. 기판이 이탈된 트레이는 선형 증착챔버 내에서 직선운동에 의해 원점으로 되돌아갈 수도 있으나, 생산성을 위한 다음 트레이의 연속 증착을 위해서, 리턴챔버(142)를 통해서, 되돌아가게 된다. 리턴챔버내에는 필요시, 마스크와 트레이가 세정 또는 클리닝될수 있는 장치를 추가로 설치하게된다. 메탈증착챔버의 상부에는 하향식 포인트 소스챔버(139)가 2개이상 설치되어, 번갈아 사용하여, 소스의 물질이 떨어지면, 물질의 재충진이 가능하기도 하며, 기판은 기판 회전테이블(143)상에 놓여져 회전하면서 금속 박막이 증착되므로, 대면적의 경우에도 박막의 균일도를 확보할 수 있게되는 것이다. 이러한 턴키용 인라인 장비를 사용하면, 최소의 숫자로 구성되는 고진공 챔버들로 양산용 장비를 구성하게되어, 초기 설비비용을 절감할 수 있는 효과를 가진다.

도9에는 파티클의 발생이 방지된, 턴키용 대면적 OLED 인라인 하향식 증착기의 모습을 나타내었다. 기판 로딩챔버(150), TM챔버(151), 트레이인챔버(152), 유기마스크인챔버(153), 선형증착챔버(154), 유기마스크아웃챔버(155), 매탈마스크인챔버(156), 메탈증착챔버(157), 메탈마스크아웃챔버(158), 트레이아웃챔버(159), TM챔버(160), 기판언로딩챔버(161)들이 게이트밸브를 사이에 두고 일렬로 선형으로 연결되어 있다. 유기마스인챔버와 유기마스아웃챔버사이에는 유기마스크 리턴챔버(162)가 연결되어 있어, 이미 사용된 유기마스크는 트레이로부터 탈착되어 되돌아간다. 메탈마스크인챔버와 메탈마스크아웃 챔버는 메탈마스크 리턴챔버(163)로 연결되어 있어, 이미 사용된 메탈마스크는 트레이로부터 탈착되어 되돌아간다. 트레이인챔버와 트레이아웃챔버는 트레이 리턴챔버(164)로 서로 연결되어 있어 이미 사용된 트레이는 되돌아가서 재사용된다.

기판로딩과 언로딩챔버내에는 다수개의 기판을 적재할 목적으로 기판 카세트가 설치되어 업다운 모션을 하여 TM챔버에 설치된 진공로봇이 기판을 이웃공정챔버로 전달하게 된다. 트레이인챔버에는 트레이가 놓여있고, 트레이상에 기판이 놓여지며, 유기마스크챔버로 이송롤러에 의해 이송된다. 유기마스크는 핀얼라인되어 트레이상에 놓여지고, 기판과 얼라인 되어진다. 즉, 마스크, 기판, 트레이는 한몸이 되어 직선이송하며, 선형증착챔버내에 일렬로 설치된 하향식 선형 증발원으로부터 분출되는 유기물이 증착되어 다층의 유기박막이 연속으로 형성된다. 유기증착이 완료되어 유기마스크아웃챔버로 이송되면, 유기마스크는 이탈되어 되돌아가고, 메탈마스크가 얼라인 된다. 메탈박막증착이 완료되면, 메탈마스크가 이탈되고, 기판은 로봇에의해 언로딩챔버의 카세트에 적재되고, 트레이는 되돌아 가게되는 것이다. 이렇게 하여, 연속적으로 대면적의 OLED 소자를 인라인으로 양산화하게 되는 것이다. 메탈증착챔버내에는 하향식 포인트증발원이 정열되거나, 하향식 선형 증발원이 설치되어 하향식 금속(Al, Ag등)박막의 증착공정이 이루어진다. 특히, 기존의 상향식 인라인 장비와는 다르게, 기판의 인버전기능이 없고, 기판의 처짐이 없어, 기판척 및 디척하는 기능이 없으므로, 생산성이 매우 향상되는 효과를 가지게 된다. 특히, 트레이인 챔버로부터, 트레이 아웃챔버까지 기판트레이가 이송시, 롤러에 지지되는 트레이의 지지핀으로부터 발생되는 미미한 파티클은 분리벽과 디퍼런셜펌핑에 의해 펌핑되므로, 파티클이 기판상에 접근되는 것이 방지되므로 파티클 오염이 방지된 유기박막 양산장비가 완성되는 것이다.

도10에는 하향식 선형 증발원(11) 하부에 일정거리의 높이에 파인마스크(183)가 설치되는 구조를 나타내고 있다. 파인마스크는 파인홀(fine hole)(185)의 배열을 길이 방향으로 형성되며, 파인 마스크 프레임(184)에 고정되어 있으며, 도 11에 나타내었다. 파인마스크 프레임은 파인마스크 얼라이너(180,181)와 마스크홀더(182)에 의해 챔버에 달려서 고정되어 있으며, 기판과 미세얼라인이 가능하도록 구성된다. 기판을 이송하는 기판트레이가 하향식 선형 증발원 하부를 선형이송하면, 파인홀을 관통하는 유기물 기체가 기판상에 스트립(strip)형의 패턴된 박막이 형성되어 화소패턴을 비로소 형성하게 되는 것이다. 또한, 대형의 마스크를 제작하지 않아도 되므로, 마스크의 처짐이 발생하지 않아 마스크 척이 필요없게 된다. 파인마스크와 기판사이의 거리를 매우 적게 (예, 10 ~ 20um) 유지하여 미세한 폭을 가지는 스트립 패턴을 형성하게 되어, 풀칼라(full color)의 유기박막의 제조가 가능하게 된다.

1: 기판 2: 프레임 마스크
3: 상향식 증발원
10: 증착챔버 11:하향식 선형 증발원
12: 마스크얼라이너 13: 마스크 홀딩바
14: 마스크 프레임 15: 마스크
16: 기판 17: 트레이
18: 증발원 셔터
20: 트레이 지지핀 21: 롤러
22: 분리벽 23: 펌핑 포트
24: 증발원 셔터 25: 고정형 증착가림부
26: 기판셔터
30: 듀얼 증착챔버 31:하향식 선형 증발원
32: 트레이1 33: 트레이2
34: 중앙 분리벽 35: 기판1
36: 기판2 37: 증발원 이송 장치
38: 이송롤러 39: 이송롤러
50: 증착챔버 51: 하향식 선형 증발원
52: 기판트레이 53: 기판
54: 마스크 55: separator wall
56: 트레이 지지면
100: 기판로딩챔버 101: OLED 듀얼증착챔버1
102: OLED 듀얼증착챔버2 103: OLED 듀얼증착챔버3
104: 케소드 금속 듀얼증착챔버 105: 플라즈마 전처리 챔버
106: 언로딩 챔버 107: 기판1
108: 기판2 109: 하향식 선형 증발원
110: 7각형 로봇 챔버 111: Arm Robot
112: 회전 테이블1 113: 회전 테이블2
120: 로딩 챔버 121 플라즈마 전처리 챔버
122: HIL/HTL 듀얼증착챔버 123: EML 듀얼증착챔버
124: ETL 듀얼증착챔버 125: EIL/Al 듀얼증착챔버
126: 언로딩 챔버 127: 로봇 이송 장치
128: 암 로봇 129: 로봇 챔버
130: 기판로딩챔버 131:TM챔버
132: 플라즈마 전처리챔버 133: TM챔버
134: 선형증착챔버 135:TM챔버
136: 메탈증착챔버 137: TM챔버
138: 기판 언로딩챔버 139: 하향식 포인트 소스챔버
140: 마스크 홀더 141: 하향식 선형 증발원
142: 리턴챔버 143: 기판 회전 테이블
150: 기판 로딩 챔버 151:TM 챔버
152: 트레이인챔버 153: 유기마스크인챔버
154: 선형증착챔버 155: 유기마스크아웃챔버
156: 메탈마스크인챔버 157: 메탈증착챔버
158: 메탈마스크아웃챔버 159: 트레이아웃챔버
160: TM 챔버 161: 기판언로딩챔버
162: 유기마스크 리턴 챔버 163: 메탈 마스크 리턴 챔버
164: 트레이 리턴 챔버
180: 파인마스크 얼라이너 181: 파인마스크 얼라이너
182: 마스크홀더 183: 파인마스크
184: 파인 마스크 프레임 185: 파인홀(fine hole)

Claims

고진공 증착챔버의 상부에 마스크 얼라이너가 2개이상 부착되고, 마스크 홀딩바가 연결되고, 마스크홈과 기판 홈이 형성되어 있는 트레이가 있고, 트레이의 하부에는 지지핀이 부착되고, 트레이는 롤러에 의해 이송되는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 하향식 증착기
청구항 1에 있어서, 다수개의 이송롤러 장치가 배열되는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 하향식 증착기
청구항 1에 있어서, 트레이의 상부에는 프레임마스크와 기판이 놓여 한몸이 되어 이송되는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 하향식 증착기
청구항 1에 있어서, 회전 롤러들이 회전축상에 일정거리로 형성된 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 하향식 증착기
청구항 1에 있어서, 하향식 선형증발원이 챔버의 상부에 고정 설치되고, 챔버의 하부에 기판 트레이가 분리벽에 형성된 개구부를 관통하는 트레이 지지핀을 다수개 가지는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 하향식 증착기
청구항 5에 있어서, 기판트레이의 하부에는 2개이상의 지지핀이 부착되는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 하향식 증착기
청구항 5에 있어서, 기판트레이의 지지핀은 롤러의 상부면에 얹혀지게 되어 지지되는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 하향식 증착기
청구항 5에 있어서, 분리벽을 기준으로 하부에 펌핑포트가 챔버에 형성되어 디퍼런셜 펌핑이 가능한 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 하향식 증착기
청구항 5에 있어서, 다수개의 하향식 선형 증발원이 Separator wall을 사이에 두고 일렬로 챔버의 상부에 달려있고, 기판과 마스크를 실은 기판 트레이가 선형 이송되어 증착공정이 수행되는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 하향식 증착기
고진공 챔버의 상부에는 하향식 증발원 이송장치가 형성되고, 2개의 기판이 적재 가능 하고 2개의 기판 트레이가 중앙 분리벽을 사이에 두고 형성되는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 하향식 증착기
듀얼 증착기가 다수개 포함되고, 듀얼 케소드 금속 증착챔버, 플라즈마 전처리 챔버와 로딩챔버, 언로딩 챔버가 다각형의 진공로봇 챔버를 중앙에 두고 클러스터형으로 연결되는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 하향식 증착기
듀얼중착기, 플라즈마 전처리챔버, 케소드 금속 증착기, 로딩챔버, 언로딩 챔버들이, 직육면채형 구조의 로봇챔버에 선형으로 연결되는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 하향식 증착기
청구항 12에 있어서, 암로봇이 로봇 이송 장치상에 놓여진 것을 특징으로 하는
대면적 OLED 하향식 증착기
청구항 1에 있어서, 하향식 증발원 하부에는 증발원셔터, 고정형 증착가림부, 기판셔터가 형성되고, 증발원셔터와 기판 셔터는 좌우 이송이 가능한 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 하향식 증착기
기판로딩챔버, TM챔버, 전처리챔버, TM챔버, 선형증착챔버,TM챔버, 메탈증착챔버, TM챔버, 언로딩챔버가 일렬로 연결되어 구성되고, 선형증착챔버에는 리턴챔버가 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 하향식 증착기
청구항 15에 있어서, 리턴챔버내에는 트레이와 마스크를 되돌리는 기능을 하는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 하향식 증착기
청구항 15에 있어서, 리턴챔버내에는 트레이와 마스크를 크리닝하는 기능을 하는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 하향식 증착기
청구항 15에 있어서, 메탈증착 챔버외곽 상부에는 두개 이상의 하향식 포인트 소스 챔버가 구성되고, 메탈증착 챔버내 하부에는 기판회전 테이블이 구성되는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 하향식 증착기
기판로딩챔버, TM챔버, 트레이인챔버, 유기마스크인챔버, 선형증착챔버, 유기마스크아웃챔버, 메탈마스크인챔버, 메탈증착챔버, 메탈마스크아웃챔버, 트레이아웃챔버, TM챔버, 기판 언로딩챔버가 일렬로 연결되어 구성되고, 트레이인챔버에는 트레이 리턴챔버가 연결되고, 유기마스크인챔버에는 유기마스크 리턴챔버가 연결되고, 메탈마스크인챔버에는 메탈마스크리턴챔버가 연결되는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 인라인 하향식 증착기
청구항 19에 있어서, 기판로딩 및 언로딩 챔버내에는 기판카세트가 장착되어 업다운 모션을 하는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 인라인 하향식 증착기
청구항 19에 있어서, 트레이인/아웃챔버에는 기판트레이가 장착되어 이탈착 모션을 하는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 인라인 하향식 증착기
청구항 19에 있어서, 유기마스크인/아웃챔버에는 유기박막제작용 오픈마스크가 장착되어 이탈착 모션을 하는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 인라인 하향식 증착기
청구항 19에 있어서, 메탈마스크인/아웃챔버에는 메탈박막제작용 오픈마스크가 장착되어 이탈착 모션을 하는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 인라인 하향식 증착기
청구항 19에 있어서, 메탈증착챔버에는 하향식 메탈박막제작용 선형 및 포인트형 증발원이 다수개 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 인라인 하향식 증착기
청구항 19에 있어서, TM 챔버에는 진공용 암로봇 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 인라인 하향식 증착기
청구항 19에 있어서, 트레이인/아웃챔버, 유기마스크인/아웃챔버, 선형 증착챔버, 메탈마스트인/아웃챔버, 메탈증착챔버에는 전자석 코일장치와 트레이 가이드장치가 장착되어 있고, 트레이는 챔버들사이를 직선모션하여 이송되는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 인라인 하향식 증착기
하향식 선형 증발원 하부에 증발원의 길이 방향으로 파인마스크가 위치하도록 파인마스크 얼라이너들과 마스크홀더들이 구성되고, 파인마스크와 기판이 미세 얼라인되는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 인라인 하향식 증착기
청구항 26에 있어서, 파인마스크는 다수개의 파인홀의 배열을 가지는 파인마스크가 프레임에 고정되고, 파인홀의 배열은 하향식 증발원의 길이 방향으로 배열되는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 인라인 하향식 증착기
청구항 26에 있어서, 위치가 고정된 파인마스크 하부에 일정 거리를 두고 기판트레이가 선형 이송되어 기판상에 스트립 모양의 유기물 패턴박막이 형성되는 것을 특징으로 하는 대면적 OLED 인라인 하향식 증착기