KR20140137500A - 기판이송장치 및 기판이송장치 제어방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판이송장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판이송장치는 기판을 파지하는 핸드; 상기 핸드에 연결되어, 상기 핸드를 수평방향 또는 수직방향으로 이동시키는 구동부재; 및 상기 핸드가 상기 수평방향으로 이동되는 구간에서 상기 수직방향으로의 이동도 함께 이루어 지도록 상기 구동부재를 제어하는 제어부를 포함한다.

Description

기판이송장치 및 기판이송장치 제어방법{Substrate transfering apparatus and Substrate transfering apparatus control method}
본 발명은 기판이송장치 및 기판이송장치 제어방법에 관한 것이다.
반도체 소자 및 평판 디스플레이를 제조하기 위해서는 사진, 식각, 그리고 세정 등 다양한 공정들이 수행된다. 이러한 공정들을 진행하는 기판처리시스템은 크게 공정유닛 및 버퍼유닛으로 제공되며, 기판은 기판이송장치에 의해 각각의 유닛들 간에 반송된다.
기판이송장치는 기판을 픽업하는 핸드를 가진다. 핸드는 챔버 또는 풉(FOUP: front opening unified pod)등에 제공되는 지지부재에 기판을 반입하거나 반출할 수 있다. 기판이송장치에 의한 기판의 반입 또는 반출에 소요되는 시간은 공정의 생산성에 영향을 준다.
본 발명은 기판의 반입 또는 반출에 소요되는 시간이 감소되는 기판이송장치 및 그 제어방법을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 기판의 반입 또는 반출시 오작동이 체크될 수 있는 기판이송장치 및 그 제어방법을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 기판의 반입 또는 반출시 기판의 파손이 발생되는 것이 방지되는 기판이송장치 및 그 제어방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판을 파지하는 핸드; 상기 핸드에 연결되어, 상기 핸드를 수평방향 또는 수직방향으로 이동시키는 구동부재; 및 상기 핸드가 상기 수평방향으로 이동되는 구간에서 상기 수직방향으로의 이동도 함께 이루어 지도록 상기 구동부재를 제어하는 제어부를 포함하는 기판이송장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 제어부는, 상기 핸드의 수평방향으로의 이동이 이루어지는 전단구간; 상기 전단구간의 종료지점에서 수직방향으로의 이동 만이 이루어지는 중간구간; 및 상기 전단구간과 상이한 높이에서 상기 전단구간의 반대방향으로 수평방향 이동이 이루어 지는 후단 구간에 따라 상기 구동부재를 제어할 수 있다.
또한, 상기 제어부는 상기 전단구간 또는 상기 후단구간에서 상기 핸드가 상기 수평방향으로의 이동과 함께 상기 수직방향으로의 이동되도록 상기 구동부재를 제어할 수 있다.
또한, 상기 제어부는 상기 핸드의 수직방향 가속이 이루어지는 수직가속구간과 상기 핸드의 수직방향으로의 감속이 이루어지는 수직감속구간 사이에 일정속도로 이동되는 수직등속구간이 형성되도록 상기 구동부재를 제어할 수 있다.
또한, 상기 제어부는 상기 수직등속구간의 일부 또는 전부가 상기 중간구간에 포함되도록 상기 구동부재를 제어할 수 있다.
또한, 상기 제어부는 상기 수직가속구간과 상기 수직등속구간 사이에 상기 핸드의 상기 수직방향 이동 속도가 감속되는 버퍼구간이 형성되도록 상기 구동부재를 제어할 수 있다.
또한, 상기 제어부는 상기 수직등속구간에 상기 핸드의 상기 수직방향 이동 속도가 감소되는 안전구간이 포함되도록 상기 구동부재를 제어할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판이송장치를 이용하여 기판을 지지부재에 위치시키거나, 상기 지지부재에 위치된 상기 기판을 반출하는 기판이송장치 제어방법에 있어서, 상기 기판이송장치에 제공되는 핸드에 위치된 상기 기판을 상기 지지부재에 위치시키거나 상기 지지부재에 위치된 상기 기판을 상기 핸드로 반출하기 상기 핸드가 이동되는 과정에서, 핸드가 수평방향으로 이동되는 구간에서 상기 핸드가 수직방향으로 함께 이동되는 기판이송장치 제어방법이 제공될 수 있다.
또한, 상기 핸드의 수평방향으로의 이동이 이루어지는 전단구간과 상기 전단구간의 종료시점에서 수직방향으로의 이동 만이 이루어 지는 중간구간 사이에서 및 상기 중간구간의 종료시점에서 상기 전단구간과 반대 방향으로 상기 수평방향으로 이동이 이루어지는 후단구간사에서, 상기 핸드의 단부의 궤적이 원호를 그리도록 상기 핸드가 이동될 수 있다.
또한, 상기 핸드의 수평방향으로의 이동이 이루어지는 전단구간의 종료시점에서 상기 핸드가 일시 정지된 후, 상기 핸드의 수직방향으로의 이동이 개시될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판의 반입 또는 반출에 소요되는 시간이 감소될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판의 반입 또는 반출 시 오작동이 체크될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판의 반입 또는 반출 시 기판의 파손되는 것이 방지될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판이송장치가 지지부재와 인접하게 위치된 사시도이다.
도 2 는 도 1의 기판이송장치 및 지지부재의 측면도이다.
도 3은 전단구간에서의 기판이송장치의 동작을 나타낸 측면도이다.
도 4는 중간구간에서의 기판이송장치의 동작을 나타낸 측면도이다.
도 5는 후단구간에서의 기판이송장치의 동작을 나타낸 측면도이다.
도 6은 파지부의 제1방향 및 제2방향의 이동 속도를 나타내는 도면이다.
도 7은 도 6에 도시된 제1방향 및 제2방향의 속도로 이동되는 파지부의 단부의 궤적을 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 파지부의 제1방향 및 제2방향의 이동 속도를 나타내는 도면이다.
도 9는 도 8에 도시된 제1방향 및 제2방향의 속도로 이동되는 파지부의 단부의 궤적을 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 파지부의 제1방향 및 제2방향의 이동속도를 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판이송장치가 지지부재와 인접하게 위치된 사시도이다.
도 1을 참조하면, 기판이송장치(10)는 핸드(100), 구동부재(200) 및 제어부(300)를 포함한다. 기판이송장치(10)는 기판(도 2의 W)을 지지부재(20)에 위치시키거나, 지지부재(20)에 위치된 기판(W)을 반출할 수 있다. 지지부재(20)는 기판(W)이 현상, 식각, 애싱, 베이크 또는 세정 공정 등이 수행되는 챔버에 제공되는 서셉터, 기판(W)이 일시저장되는 풉(FOUP: front opening unified pod) 등 일 수 있다.
이하, 핸드(100)가 수평이동되는 방향을 제1방향(X), 제1방향(X)에 수직한 상하 방향을 제2방향(Z)이라 한다.
핸드(100)는 파지부(110) 및 연결블록(120)을 포함한다. 핸드(100)는 기판(W)을 파지할 수 있다.
파지부(110)는 기판(W)을 적재한다. 파지부(110)는 판 형상으로 제공될 수 있다. 예를 들어, 파지부(110)는 'Y' 자 또는 'U' 자의 판 형상으로 제공될 수 있다. 연결블록(120)은 파지부(110)와 구동부재(200)를 연결한다.
구동부재(200)는 수평구동부(210) 및 수직구동부(220)를 포함한다.
수평구동부(210)는 연결블록(120)에 연결될 수 있다. 수평구동부(210)는 연결블록(120)을 제1방향(X)으로 이동시킬 수 있다. 수직구동부(220)는 수평구동부(210)에 연결된다. 예를 들어, 수평구동부(210)에 연결된 축(211)은 수직구동부(220)에 연결될 수 있다. 수직구동부(220)는 수평구동부(210) 및 핸드(100)를 제2방향(Z)을 따라 상하로 이동 시킬 수 있다. 제어부(300)는 수평구동부(210) 및 수직구동부(220)를 제어한다.
또 다른 실시 예로, 연결블록(120)은 수직구동부(220)에 연결될 수 있다. 수직구동부(220)는 핸드(100)를 제2방향(Z)으로 이동시킨다. 그리고, 수직구동부(220)는 수평구동부(210)에 연결될 수 있다. 수평구동부(210)는 핸드(100) 및 수직구동부(220)를 제1방향(X)으로 이동시킬 수 있다.
이하, 파지부(110)가 제1방향(X)을 따라 지지부재(20) 방향으로 이동되는 구간을 전단구간(0~t1)이라 하고, 파지부(110)가 제1방향(X)을 따라 지지부재(20)에서 멀어지도록 이동되는 구간을 후단구간(t2~t3)이라 한다. 그리고, 전단구간(0~t1) 및 후단구간(t2~t3) 사이를 중간구간(t1~t2)이라 한다.
도 2 는 도 1의 기판이송장치 및 지지부재의 측면도이고, 도 3은 전단구간에서의 기판이송장치의 동작을 나타낸 측면도이다.
이하, 핸드(100)가 기판(W)을 지지부재(20)에 반입하거나, 지지부재(20)에서 기판(W)을 반출하기 위해 동작되는 동작을 시간적 순서에 따라 전단구간(도 6의 0~t1), 중간구간(도 6의 t1~t2) 및 후단구간(도 6의 t2~t3)로 구획하여 설명한다. 전단구간(0~t1) 및 후단구간(t2~t3)에서는 핸드(100)가 제1방향으로 이동된다. 또한, 후단구간(t2~t3)은 전단구간(0~t1)과 상이한 높이에서 반대 방향으로 이동된다. 구제적으로 기판(W)이 핸드(100)에서 지지부재(20)로 반입될 때는, 핸드(100)는 전단구간(0~t1)에서 후단구간(t2~t3)보다 높게 위치된다. 지지부재(20)에 위치된 기판(W)이 핸드(100)로 반출될 때는, 핸드(100)는 후단구간(t2~t3)에서 전단구간(0~t1)보다 높게 위치된다. 그리고, 중간구간(t1~t2)에서 핸드(100)는 전단구간(0~t1)의 종료지점에서 후단구간(t2~t3)의 시작지점으로 수직이동된다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 전단구간(0~t1)에서 제어부(300)는 핸드(100)가 제1방향(X)을 따라 지지부재(20) 방향으로 이동되도록 수평구동부(210)를 제어하여, 파지부(110)를 기판(W)의 아래에 위치시킨다. 또한, 제어부(300)는 전단구간(0~t1)에서 수직구동부(220)를 제어하여, 파지부(110)가 제2방향(Z)을 따라 상승되도록 한다. 이때, 제어부(300)는 파지부(110)와 기판(W) 사이에 충돌이 발생되지 않도록, 핸드(100)의 상승 높이를 조절한다. 기판(W)의 아래에는 파지부(110)가 들어 갈 수 있는 공간이 형성된다. 예를 들어, 지지부재(20)의 상면에는 핀(21)이 제공되어, 기판(W)을 지지부재(20)의 상면에서 이격된 상태로 지지할 수 있다. 또한, 지지부재(20)가 풉으로 제공되는 경우, 기판(W)은 풉의 내벽에 제공되는 슬롯에 의해 풉의 하면에서 이격된 상태로 지지될 수 있다.
도 4는 중간구간에서의 기판이송장치의 동작을 나타낸 측면도이다.
도 4를 참조하면, 중간구간(t1~t2)에서 제어부(300)는 핸드(100)가 제2방향(Z)을 따라 상승되도록 수직구동부(220)를 제어한다. 중간구간(t1~t2)에서 제어부(300)는 수평구동부(210)를 정지상태가 되도록 제어한다. 핸드(100)가 제2방향(Z)을 따라 상승함에 따라, 기판(W)은 파지부(110)의 상면에 위치된다.
도 5는 후단구간에서의 기판이송장치의 동작을 나타낸 측면도이다.
도 5를 참조하면, 후단구간(t2~t3)에서 제어부(300)는 핸드(100)가 제1방향(X)을 따라 전단구간(0~t1)과 반대 방향으로 이동되도록 수평구동부(210)를 제어한다. 따라서, 기판(W)은 파지부(110)에 위치된 상태로 지지부재(20)에서 반출된다. 또한, 제어부(300)는 수직구동부(220)를 제어하여, 파지부(110)가 제2방향(Z)으로 상승되도록 한다.
또한, 기판이송장치(10)에 의해 기판(W)이 지지부재(20)에 위치되는 과정은 도 2 내지 도5의 과정을 역으로 수행한다. 따라서, 제어부(300)는 전단구간(0~t1), 중간구간(t1~t2) 및 후단구간(t2~t3)에서 핸드(100)가 제2방향(Z)을 따라 하강되도록 수직구동부(200)를 제어한다. 제어부(300)가 구동부재(200)를 제어하는 방법은 핸드(100)가 하강되도록 수직구동부(220)를 제어하는 점 외에는 도 2 내지 도 5와 동일 하므로 반복된 설명은 생략한다.
도 6은 파지부의 제1방향 및 제2방향의 이동 속도를 나타내는 도면이다.
도 6을 참조하면, 전단구간(0~t1)에서 제어부(300)는 핸드(100)의 이동속도가 일정시간 가속된 후 감속되도록 수평구동부(210)를 제어한다. 또한, 제어부(300)는 전단가속구간(a1)과 전단감속구간(d1) 사이에 전단등속구간(e1)이 형성되도록 수평구동부(210)를 제어할 수 있다. 구체적으로, 핸드(100)는 처음 이동을 시작하면, 핸드(100)의 이동속도가 설정속도에 도달되도록 가속된 후 설정속도로 일정 거리 이동된다. 이후, 제어부(300)는 핸드(100)가 다시 감속되어, 제1설정시점(t1)에서 핸드(100)부의 제1방향(X)으로의 이동이 정지되도록 수평구동부(210)를 제어한다.
후단구간(t2~t3)에서 제어부(300)는 전단구간(0~t1)과 유사한 방법으로 수평구동부(210)를 제어한다. 구제적으로, 후단구간(t2~t3)에서 핸드(100)가 다시 제1방향(X)으로 이동을 개시하면, 제어부(300)는 핸드(100)의 이동속도가 설정속도에 도달되도록 가속된 후 설정속도로 일정 거리 이동되되도록 수평구동부(210)를 제어할 수 있다. 이후, 제어부(300)는 핸드(100)가 다시 감속되어, 종료시점(t3)에 핸드(100)부의 제1방향(X)으로의 이동이 정지되도록 수평구동부(210)를 제어한다. 후단구간(t2~t3)의 지속시간은 전단구간(0~t1)의 지속시간과 동일하거나 상이하게 설정될 수 있다. 또한, 후단구간(t2~t3)의 후단가속구간(a3), 후단감속구간(d3)의 가속도의 크기는 전단구간(0~t1)과 동일하거나 상이하게 설정될 수 있다. 또한, 후단구간(t2~t3)의 후단등속구간(e3)의 설정속도는 전단등속구간(e1)의 설정속도와 동일하거나 상이하게 설정될 수 있다.
제어부(300)는 전단구간(0~t1), 중간구간(t1~t2) 및 후단구간(t2~t3)에 걸쳐 핸드(100)가 수직이동되도록 수평구동부(210)를 제어한다. 일 예로, 제어부(300)는 전단구간(0~t1)의 일 시점에서 핸드(100)의 수직이동이 개시되고, 후단구간(t2~t3)의 일 시점에서 핸드(100)의 수직이동이 종료되도록 구동부재(200)를 제어할 수 있다. 또한, 제어부(300)는 개시시점(0)에서 핸드(100)의 수직이동이 개시되고, 후단구간(t2~t3)의 일 시점에서 핸드(100)의 수직이동이 종료되도록 구동부재(200)를 제어할 수 있다. 또한, 제어부(300)는 전단구간(0~t1)의 일 시점에서 핸드(100)의 수직이동이 개시되고, 종료시점(t3)에서 핸드(100)의 수직이동이 종료되도록 구동부재(200)를 제어할 수 있다. 제어부(300)는 핸드(100)의 수직 이동속도가 일정시간 가속된 후 감속되도록 수직구동부(220)를 제어한다. 또한, 제어부(300)는 수직가속구간(a2)과 수직감속구간(d2) 사이에 제2방향(X)속도가 일정한 수직등속구간(e2)이 형성되도록 수직구동부(220)를 제어할 수 있다. 제어부(300)는 수직등속구간(e2)이 중간구간(t1~t2)에 포함되도록 수직구동부(220)를 제어할 수 있다. 또한, 제어부(300)는 수직등속구간(e2)이 전단구간(0~t1), 중간구간(t1~t2) 및 후단구간(t2~t3)에 걸쳐 형성되도록 수직구동부(220)를 제어할 수 있다. 또한, 제어부(300)는 수직등속구간(e2)이 전단구간(0~t1) 및 중간구간(t1~t2)에 걸쳐 형성되도록 수직구동부(220)를 제어할 수 있다. 또한, 제어부(300)는 수직등속구간(e2)이 중간구간(t1~t2) 및 후단구간(t2~t3)에 걸쳐 형성되도록 수직구동부(220)를 제어할 수 있다.
도 7은 도 6에 도시된 제1방향 및 제2방향의 속도로 이동되는 파지부의 단부의 궤적을 나타내는 도면이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 파지부(110)의 단부 궤적은 전단구간(0~t1)에서 중간구간(t1~t2)으로 넘어갈 때 또는 중간구간(t1~t2)에서 후단 구간으로 넘어 갈 때 원호를 그린다. 또한, 중간구간(t1~t2)에서 파지부(110)의 단부 궤적은 제2방향(Z)을 따라 형성된다. 제어부(300)는 중간구간(t1~t2)의 궤적이 마진영역(M)을 포함하여 형성되도록 구동부재(200)를 제어할 수 있다. 또한, 제어부(300)는 마진영역(M)이 수직등속구간(e2)에 위치되도록 구동부재(200)를 제어할 수 있다. 마진영역(M)에서 지지부재(20)에 위치된 기판(W)이 파지부(110)로 파지되거나, 파지부(110)의 기판(W)이 지지부재(20)에 위치된다. 마진영역(M)은 기판(W)이 지지부재(20) 또는 기판이송장치(10)에 위치되는 과정에서 발생할 수 있는 오차값을 고려하여 설정될 수 있다.
또한, 기판이송장치(10)에 의해 기판(W)이 지지부재(20)에 위치될 때는 제2방향의 속도 및 궤적이 각각 도 6 및 도 7과 반대방향으로 형성되는 점 외에는 동일 하므로 반복된 설명은 생략한다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 핸드(100)가 전단구간(0~t1) 또는 후단구간(t2~t3)에서도 제2방향으로 이동됨에 따라 중간구간(t1~t2)이 짧아질 수 있다. 따라서, 기판(W)을 반입 또는 반출하는데 소요되는 시간이 감소된다.
도 8은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 파지부의 제1방향 및 제2방향의 이동 속도를 나타내는 도면이다.
전단구간(0~t1) 및 후단구간(t2~t3 )에서 핸드(100)의 제1방향(X) 속도는 도 6과 동일하게 제어되므로 반복된 설명은 생략한다.
제어부(300)는 수직가속구간(a2)과 수직등속구간(e2)사이에 버퍼구간(BP)이 형성되도록 수직구동부(220)를 제어한다. 버퍼구간(BP)은 전단구간(0~t1)에서 후단구간(t2~t3)으로 넘어가는 시점에서 핸드(100)의 제2방향(Z) 이동속도가 감속되는 구간이다. 버퍼구간(BP)은 핸드(100)가 제1방향(X)으로 설정거리에 맞게 이동되었는지 체크되는 시간을 제공할 수 있다. 일 예로, 버퍼구간(BP)은 제1설정시점(t1)에 핸드(100)의 수직이동속도가 0이 되게 형성될 수 있다. 따라서 전단구간(0~t1)이 끝나고 중간구간(t1~t2)이 시작되는 시점에서 핸드(100)는 일시적으로 정지된 상태로 제1방향(X) 이동거리가 체크될 수 있다.
도 9는 도 8에 도시된 제1방향 및 제2방향의 속도로 이동되는 파지부의 단부의 궤적을 나타내는 도면이다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 파지부(110)의 단부 궤적은 전단구간(0~t1)에서 중간구간(t1~t2)으로 넘어가는 시점이 원호를 그린다. 또한, 원호는 버퍼구간(BP)에 의해 완만하게 형성되어 사선에 가깝게 형성될 수 있다. 중간구간(t1~t2)에서 후단구간(t2~t3)으로 넘어 갈 때의 궤적의 형상, 마진영역(M)은 도 7과 동일하므로 반복된 설명은 생략한다.
또한, 기판이송장치(10)에 의해 기판(W)이 지지부재(20)에 위치될 때는 제2방향의 속도 및 파지부(110) 단부의 궤적은 각각 도 8 및 도 9와 반대 방향으로 형성되는 점 외에는 동일 하므로 반복된 설명은 생략한다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 핸드(100)가 제1방향(X)으로의 이동거리가 설정거리에 맞게 이동되었는지 체크될 수 있다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 파지부의 제1방향 및 제2방향의 이동속도를 나타내는 도면이다.
핸드(100)의 제1방향(X)의 속도 및 후술할 안전구간(S)을 제외한 제2방향(Z)의 속도는 도 8과 동일하게 제어되므로 반복된 설명은 생략한다.
도 10을 참조하면, 제어부(300)는 수직등속구간(e2)에 안전구간(S)이 형성되도록 수직구동부(220)를 제어한다. 안전구간(S)은 수평구간보다 핸드(100)의 수직이동 속도가 작게 형성되는 구간이다. 제어부(300)는 핸드(100)의 이동속도가 일정시간 감속된 후 가속되도록 수직구동부(220)를 제어한다. 또한, 제어부(300)는 감속 후 가속전 안전등속구간(se)이 형성되도록 수직구동부(220)를 제어한다. 제어부(300)는 마진영역(M)이 안전등속구간(se)에 위치되도록 수직구동부(220)를 제어할 수 있다. 파지부(100)의 단부의 궤적은 도 9와 동일하므로 반복된 설명은 생략한다.
또한, 기판이송장치(10)에 의해 기판(W)이 지지부재(20)에 위치될 때는 제2방향의 속도 및 파지부(110) 단부의 궤적이 각각 도 10 및 도 9와 반대 방향으로 형성되는 점 외에는 동일 하므로 반복된 설명은 생략한다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 핸드(100)가 감속된 상태에서 기판(W)이 핸드(100) 또는 지지부재(20)에 위치될 수 있다. 따라서, 기판(W)이 핸드(100) 또는 지지부재(20)에 위치되는 과정에서, 기판(W)에 전달되는 충격이 감소될 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
10: 기판이송장치 20: 지지부재
110: 파지부 120: 연결블록
200: 구동부재 210: 수평구동부
220: 수직구동부 300: 제어부

Claims (2)

  1. 기판을 파지하는 핸드;
    상기 핸드에 연결되어, 상기 핸드를 수평방향 또는 수직방향으로 이동시키는 구동부재; 및
    상기 핸드가 상기 수평방향으로 이동되는 구간에서 상기 수직방향으로의 이동도 함께 이루어 지도록 상기 구동부재를 제어하는 제어부를 포함하는 기판이송장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 핸드의 수평방향으로의 이동이 이루어지는 전단구간;
    상기 전단구간의 종료지점에서 수직방향으로의 이동 만이 이루어지는 중간구간; 및
    상기 전단구간과 상이한 높이에서 상기 전단구간의 반대방향으로 수평방향 이동이 이루어지는 후단 구간에 따라 상기 구동부재를 제어하는 기판이송장치.
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